JP2014012324A - Precision machine tool - Google Patents

Precision machine tool Download PDF

Info

Publication number
JP2014012324A
JP2014012324A JP2012151533A JP2012151533A JP2014012324A JP 2014012324 A JP2014012324 A JP 2014012324A JP 2012151533 A JP2012151533 A JP 2012151533A JP 2012151533 A JP2012151533 A JP 2012151533A JP 2014012324 A JP2014012324 A JP 2014012324A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cooling water
column
machine tool
precision machine
portal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012151533A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5964160B2 (en
Inventor
Norio Yamanishi
西 紀 男 山
Hiroshi Uchimura
村 浩 内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Machine Co Ltd filed Critical Toshiba Machine Co Ltd
Priority to JP2012151533A priority Critical patent/JP5964160B2/en
Publication of JP2014012324A publication Critical patent/JP2014012324A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5964160B2 publication Critical patent/JP5964160B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a precision machine tool capable of efficiently pouring a coolant to a column, which is thermally stabilized regardless of fluctuations of environmental temperature changes thereby effectively suppressing thermal displacement, and draining the coolant therefrom.SOLUTION: In a precision machine tool, a spindle head 20, which may move in a vertical direction, is provided in a column 14 erected on a bed 10, and a coolant storage space, in which a temperature is controlled, is formed in the column 14. A lower part of the column 14 includes water inlet ports 38a, 38b for introducing a coolant to the coolant storage space, and an upper part of the column 14 includes a first drain port 40 for leading out the coolant to the exterior. The water inlet ports 38a, 38b serve as second drain ports for draining an entire amount of the coolant from the column 14.

Description

本発明は、精密工作機械に係り、特に、レンズなどの光学部品を成形する金型等を超精密加工する精密工作機械に関する。   The present invention relates to a precision machine tool, and more particularly to a precision machine tool that performs ultra-precision machining of a mold or the like for molding an optical component such as a lens.

近年、高度の加工精度を必要する部品、例えば、光学関連機器の反射鏡やレンズなどを成形する精密金型を高精度に加工する、立形、横形、門形の精密工作機械や、あるいは旋盤などの精密工作機械が開発されるようになっている。   In recent years, vertical, horizontal, and gate-shaped precision machine tools or lathes that process high-precision precision molds for molding parts that require high processing accuracy, such as reflectors and lenses for optical equipment. Precision machine tools such as are being developed.

例えば、門形工作機械を例にとって説明すると、門形工作機械は、ベッドの両側に立設されたコラムにクロスレールが水平に架け渡された門形のコラムを有する工作機械である。左右のコラムの間にテーブルが設けられ、クロスレールには、主軸頭を保持したサドルが移動可能に設けられている。   For example, a portal machine tool will be described as an example. A portal machine tool is a machine tool having a portal column in which cross rails are horizontally stretched over columns erected on both sides of a bed. A table is provided between the left and right columns, and a saddle holding the spindle head is movably provided on the cross rail.

従来の門形工作機械は、大型、長尺のワークの加工を行う大型の工作機械が一般的であったが、近年では、高精度の加工を行える小型の門形精密工作機械が開発されている。この門形精密工作機械によって、精密機械関連の精密部品や光学関連機器の部品製造に使用する精密金型が加工されている。   Conventional portal machine tools were generally large machine tools that process large and long workpieces, but in recent years, small portal precision machine tools capable of high-precision machining have been developed. Yes. This portal precision machine tool processes precision molds used for manufacturing precision parts related to precision machines and parts for optical equipment.

例えば、反射鏡やレンズなどの光学部品の成形に使用する金型の加工では、金型表面を高精度の鏡面に加工するには、サブミクロンあるいはナノメータオーダの超精密レベルの精度が要求される。このような高精度の鏡面をもつ金型を加工する場合には、加工仕上げ時間は必然的に長くなるので、加工開始から加工終了までの間の環境の温度変化が加工精度に影響しないようにする必要がある。同様の必要性は、立形や横形の精密工作機械や旋盤にも生じる。   For example, in the processing of molds used for molding optical parts such as reflectors and lenses, in order to process the mold surface into a highly accurate mirror surface, submicron or nanometer order precision is required. . When machining a mold with such a high-precision mirror surface, the machining finishing time will inevitably become longer, so the environmental temperature change from the start to the end of machining will not affect the machining accuracy. There is a need to. A similar need arises for vertical and horizontal precision machine tools and lathes.

一般的に、工作機械では、モータや案内面の発熱や室温変動により、ベッドやコラムに熱変形が生じるので、熱変形対策として冷却水の流れる配管をコラムやベッドに設けることが行われている。例えば、コラムを冷却する従来技術としては、例えば、特許文献1、2に記載されたコラム冷却構造を挙げることができる。   Generally, in machine tools, heat generation of the motor and guide surfaces and room temperature fluctuations cause thermal deformation of the bed and column. Therefore, piping for cooling water is provided in the column and bed as a countermeasure against thermal deformation. . For example, as a conventional technique for cooling a column, for example, column cooling structures described in Patent Documents 1 and 2 can be cited.

門形精密工作機械や立形精密工作機械の場合、工具の切り込み方向(Z軸)は、コラムと同じく鉛直方向になり、コラムが温度変動の影響を受けて熱変形すると、加工精度はたちまち低下してしまって、鏡面のような超精密加工をすることができなくなる。   In the case of a portal precision machine tool or a vertical precision machine tool, the cutting direction of the tool (Z-axis) is the same as that of the column, and if the column is thermally deformed due to the influence of temperature fluctuations, the machining accuracy will drop quickly. As a result, it becomes impossible to perform ultra-precision machining like a mirror surface.

従来、精密工作機械は、他の加工機と同様に、軸を駆動するモータや案内面等の発熱部に対して冷却水を供給する冷却装置を備えており、冷却水の一部をコラム内で循環させることも行われているが、コラムの一部分しか冷却することができないため、超精密加工の場合にはその効果は薄かった。   Conventionally, precision machine tools, like other processing machines, have been equipped with a cooling device that supplies cooling water to the heat generating parts such as the motor that drives the shaft and the guide surface. However, since only a part of the column can be cooled, the effect is low in ultra-precision machining.

この問題を解決するために、精密工作機械を恒温室に設置したり、機械を囲むカバー内の温度を制御することが行われている。しかし、このような恒温室では、工作機械自身から発生する熱や環境温度変化に原因するコラムの熱変位を超精密加工が可能になる程度にまで抑制するには必ずしも十分でなく、しかも、これらの設備は非常に高価になるという問題があった。   In order to solve this problem, a precision machine tool is installed in a temperature-controlled room, or the temperature in a cover surrounding the machine is controlled. However, in such a temperature-controlled room, it is not always sufficient to suppress the column's thermal displacement caused by the heat generated from the machine tool itself and environmental temperature changes to such an extent that ultra-precision machining is possible. The equipment was very expensive.

このような問題を解決するため、本出願人は、コラムそのものを冷却水を貯水するタンクとして構成し、環境温度の変化を最も受け易いコラムを熱的に効果的に安定させることを提案している(特願2012−037304号)。   In order to solve such problems, the present applicant proposes that the column itself is configured as a tank for storing cooling water, and that the column that is most susceptible to changes in environmental temperature is thermally and effectively stabilized. (Japanese Patent Application No. 2012-037304).

特開平5−309536号公報JP-A-5-309536 特開平6−126564号公報JP-A-6-126564

本来、コラムは、タンクとして利用されることを予定していない構造物であり、このコラムの内部を冷却水で満たすと、新たに様々な課題が生じてくる。
例えば、コラムに冷却水を満たすには、冷却水の取水口やドレイン口を形成する必要があるが、これらの取水口やドレイン口をどのようにコラムに設けるかは、冷却効果や排水の能率などに大きく関係してくる。
Originally, a column is a structure that is not planned to be used as a tank, and various new problems arise when the interior of the column is filled with cooling water.
For example, in order to fill the column with cooling water, it is necessary to form cooling water intakes and drain openings. How to install these intakes and drain openings in the column depends on the cooling effect and efficiency of drainage. And so on.

本発明は、コラムが冷却水で満たされたタンクを兼ねるという発明に関連してなされたものであって、環境温度変化の変動に関わらずコラムを熱的に安定させて熱変位を効果的に抑制するコラムに冷却水を効率良く注水し排水することのできる精密工作機械を提供することにある。   The present invention has been made in connection with the invention in which the column also serves as a tank filled with cooling water. The column is thermally stabilized regardless of fluctuations in the environmental temperature change, thereby effectively preventing thermal displacement. The object is to provide a precision machine tool capable of efficiently injecting and draining cooling water to the column to be suppressed.

前記の目的を達成するために、本発明は、ベッド上に立設されるコラムに上下方向に移動可能な主軸頭が設けられ、前記コラムの内部には、温度管理された冷却水の貯水空間が形成された精密工作機械において、前記コラムの下部には冷却水が前記貯水空間に導入される取水口を有し、前記コラムの上部には冷却水を外部に導出する第1のドレイン口を有し、前記取水口は、前記コラム内部から冷却水全量を抜く第2のドレイン口を兼ねることを特徴とするものである。   In order to achieve the above object, according to the present invention, a spindle head that is vertically movable is provided on a column that is erected on a bed, and a temperature-controlled cooling water storage space is provided inside the column. In the precision machine tool in which is formed, a lower part of the column has a water intake port through which cooling water is introduced into the water storage space, and an upper part of the column has a first drain port for leading the cooling water to the outside. And the intake port also serves as a second drain port for extracting the entire amount of cooling water from the inside of the column.

本発明が適用される門形精密工作機械を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the portal precision machine tool to which this invention is applied. 門形精密工作機械の門形コラムの正面図である。It is a front view of the portal column of a portal precision machine tool. 図2に示した門形コラムの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the portal column shown in FIG. 門形精密工作機械の冷却水系統の系統図である。It is a systematic diagram of the cooling water system of the portal precision machine tool. 本発明の第2実施形態による横形精密工作機械の冷却水系統を示す図である。It is a figure which shows the cooling water system | strain of the horizontal precision machine tool by 2nd Embodiment of this invention.

以下、本発明による精密工作機械の実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。
第1実施形態
図1は、本発明が適用される門形精密工作機械を示す。図1において、参照番号10は、ベッドを示す。このベッド10の上には、案内面11にそって前後方向に移動可能にテーブル12が設置されている。参照番号14は、門形コラムの全体を示している。この門形コラム14は、テーブル12の左右に配置され鉛直に立ち上がっているコラム15と、このコラム15、15間に水平に架け渡されたクロスレール16とから構成されている。この実施形態では、門形コラム14は、コラム15、15とクロスレール16とが一体構造の鋳造物である。この門形コラム14の詳細な構造については後述する。
Embodiments of a precision machine tool according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
First embodiment
FIG. 1 shows a portal precision machine tool to which the present invention is applied. In FIG. 1, reference numeral 10 indicates a bed. A table 12 is installed on the bed 10 so as to be movable in the front-rear direction along the guide surface 11. Reference numeral 14 denotes the entire portal column. The portal column 14 includes a column 15 that is arranged on the left and right of the table 12 and stands vertically, and a cross rail 16 that extends horizontally between the columns 15 and 15. In this embodiment, the portal column 14 is a casting in which the columns 15 and 15 and the cross rail 16 are integrated. The detailed structure of the portal column 14 will be described later.

クロスレール16の上面には、サドル17が案内面18に沿って左右方向に移動可能に設置されている。このサドル17には主軸頭20が保持されており、この主軸頭20には上下方向に移動する主軸22が設けられている。この門形精密工作機械は、ワークにサブミクロンあるいはナノメータオーダの超精密加工を行う機械である。主軸22は、高速空気軸受で支持されており、最大で120000/分もの超高速回転が可能になっている。   A saddle 17 is installed on the upper surface of the cross rail 16 so as to be movable in the left-right direction along the guide surface 18. The saddle 17 holds a spindle head 20, and the spindle head 20 is provided with a spindle 22 that moves in the vertical direction. This double precision machine tool is a machine that performs ultra-precise machining of submicron or nanometer order on a workpiece. The main shaft 22 is supported by a high-speed air bearing and can rotate at a super-high speed of 120,000 / min at the maximum.

このような門形精密工作機械では、X軸はテーブル12の移動を制御する軸で、Y軸はサドル17の移動を制御する軸であり、X軸とY軸とで工具の水平面上での位置決めを行う。Z軸は、主軸22の上下方向の位置決めを行う軸で、主に工具の切り込み量を制御する。   In such a portal precision machine tool, the X-axis is an axis that controls the movement of the table 12, the Y-axis is an axis that controls the movement of the saddle 17, and the X-axis and the Y-axis are on the horizontal plane of the tool. Perform positioning. The Z axis is an axis for positioning the main shaft 22 in the vertical direction, and mainly controls the cutting amount of the tool.

門形精密工作機械の場合、クロスレール16の案内面18を移動するサドル17上で主軸22の上下方向の位置決めが行われ、この案内面18は位置決めのいわば基準面になる。他方、門形コラム14では、案内面18とテーブル12上のワークとの間の高低差が大きいので、門形コラム14を構成しているコラム15やクロスレール16に熱変形が生じると、工具の上下方向の位置決め精度に大きな影響を及ぼす。サブミクロン単位やナノメートル単位での超精密加工の場合には、鏡面加工等の仕上げ加工が終わるまでには長時間かかる。その間、工作機械の各部からは熱が発生し続け、温度環境は変化していくので、温度変動による門形コラム14のごく微小な変形でさえも、位置決め精度には大きく影響する。   In the case of a portal precision machine tool, the main shaft 22 is positioned in the vertical direction on the saddle 17 that moves on the guide surface 18 of the cross rail 16, and this guide surface 18 serves as a so-called reference surface for positioning. On the other hand, since the height difference between the guide surface 18 and the workpiece on the table 12 is large in the portal column 14, if the column 15 or the cross rail 16 constituting the portal column 14 is thermally deformed, the tool This greatly affects the vertical positioning accuracy. In the case of ultra-precise machining in submicron or nanometer units, it takes a long time to finish finishing such as mirror finishing. In the meantime, heat continues to be generated from each part of the machine tool, and the temperature environment changes. Therefore, even a very small deformation of the portal column 14 due to the temperature fluctuation greatly affects the positioning accuracy.

本実施形態では、門形コラム14を安定した熱的状態に保つために、門形コラム14の本体が温度管理された冷却水を貯水する冷却水貯水槽を兼ねるように、門形コラム14の内部には以下のような冷却水貯水空間が形成されている。   In this embodiment, in order to keep the portal column 14 in a stable thermal state, the main body of the portal column 14 serves as a cooling water reservoir for storing the temperature-controlled cooling water. The following cooling water storage space is formed inside.

ここで、図2は、門形コラム14の正面を示す図で、図3は、門形コラム14の断面を示す図である。
この実施形態による門形コラム14は、コラム15、15とクロスレール16とが一体構造となっている鋳造物である。門形コラム14の内部は、中空になっているとともに、複数の区画に分かれてそこに冷却水貯水空間が形成されている。この実施形態の場合、門形コラム14の内部は、剛性を確保するための傾斜隔壁30、31、32、33を利用して左右対称に7つの第1乃至第7冷却水貯水区画36a乃至36gに区画されている。
Here, FIG. 2 is a diagram showing the front of the portal column 14, and FIG. 3 is a diagram showing a cross section of the portal column 14.
The portal column 14 according to this embodiment is a casting in which the columns 15 and 15 and the cross rail 16 are integrated. The inside of the portal column 14 is hollow, and is divided into a plurality of sections, and a cooling water storage space is formed there. In the case of this embodiment, the inside of the portal column 14 is symmetrically provided with seven first to seventh cooling water storage compartments 36a to 36g by using inclined partition walls 30, 31, 32, 33 for securing rigidity. It is divided into.

左右のコラム15の下部には、第1冷却水貯水区画36a、第7冷却水貯水区画36gのそれぞれに連通する取水口38a、38bが形成されている。この取水口38a、38bは、後述するように、コラム15内から冷却水を抜くドレイン口も兼ねるので、コラム15のできるだけ下の位置に設けることが好ましい。   In the lower portions of the left and right columns 15, water intake ports 38a and 38b communicating with the first cooling water storage section 36a and the seventh cooling water storage section 36g are formed. As will be described later, the water intake ports 38a and 38b also serve as a drain port through which cooling water is extracted from the column 15, so that the water intake ports 38a and 38b are preferably provided as low as possible below the column 15.

これに対して、クロスレール16の中央部の高い位置には第4冷却水貯水区画36dに連通するドレイン穴40が形成されている。このドレイン穴40の位置は、取水口38a、38bに対して相対的にできるだけ高い位置にして、クロスレール16の上面に近い位置に設けることが好ましい。   On the other hand, a drain hole 40 communicating with the fourth cooling water storage compartment 36d is formed at a high position in the center of the cross rail 16. The position of the drain hole 40 is preferably set as high as possible relative to the water intake ports 38a and 38b, and provided near the top surface of the cross rail 16.

第1冷却水貯水区画36aと第2冷却水貯水区画36bは傾斜隔壁30の鋳抜き穴41を介して連通し、第2冷却水貯水区画36bと第3冷却水貯水区画36cは傾斜隔壁31の鋳抜き穴42を介して連通している。第3冷却水貯水区画36cと第4冷却水貯水区画36dは傾斜隔壁30の鋳抜き穴43を介して連通するようになっている。同様に、第4冷却水貯水区画36dと第5冷却水貯水区画36eは傾斜隔壁32の鋳抜き穴44を介して連通している。第5冷却水貯水区画36eと第6冷却水貯水区画36fは傾斜隔壁33の鋳抜き穴45を介して連通し、第6冷却水貯水区画36fと第7冷却水貯水区画36gは傾斜隔壁32の鋳抜き穴46を介して連通するようになっている。   The first cooling water storage section 36 a and the second cooling water storage section 36 b communicate with each other through a cast hole 41 of the inclined partition wall 30, and the second cooling water storage section 36 b and the third cooling water storage section 36 c are connected to the inclined partition wall 31. It communicates through the cast hole 42. The third cooling water storage section 36 c and the fourth cooling water storage section 36 d are communicated with each other through a cast hole 43 of the inclined partition wall 30. Similarly, the fourth cooling water storage section 36d and the fifth cooling water storage section 36e communicate with each other through the cast hole 44 of the inclined partition wall 32. The fifth cooling water storage section 36e and the sixth cooling water storage section 36f communicate with each other through the cast hole 45 of the inclined partition wall 33, and the sixth cooling water storage section 36f and the seventh cooling water storage section 36g are provided on the inclined partition wall 32. It communicates through the cast hole 46.

本実施形態では、クロスレール16の内部に区画されている第3乃至第5冷却水貯水区画36c、36d、36eにそれぞれ連通するように、エア抜き穴49が設けられている。このエア抜き穴49は、ドレイン穴40よりも高い位置にある。   In the present embodiment, air vent holes 49 are provided so as to communicate with the third to fifth cooling water storage compartments 36c, 36d, and 36e partitioned inside the cross rail 16, respectively. The air vent hole 49 is located higher than the drain hole 40.

なお、図2に示すように、門形コラム14の正面には、鋳造上の必要から鋳抜き穴47、48が形成されているが、これらの鋳抜き穴47、48はカバーによって閉塞される。   As shown in FIG. 2, cast holes 47 and 48 are formed on the front surface of the portal column 14 because of the necessity for casting. These cast holes 47 and 48 are closed by a cover. .

次に、図4は、門形精密工作機械における冷却水系統を示す図である。図4において、参照番号50は、冷却水の温度を所望の一定温度に制御する冷却水温調装置である。この冷却水温調装置50と、門形コラム14の取水口38a、38bとは配管51によって接続されている。この配管51には、門形コラム14から冷却水温調装置50への冷却水の逆流を防止する逆流防止弁52が設けられている。この実施形態では、取水口38a、38bは、門形コラム14の内部から冷却水を抜くためのドレイン口を兼ねており、配管51からは、ドレイン配管53が分岐している。このドレイン配管53には、ドレイン弁58が設けられている。冷却水を冷却水温調装置50から門形コラム14に供給するときには、逆流防止弁52が開、ドレイン弁58は閉とされている。門形コラム14から冷却水を抜くときは、逆流防止弁52が閉、ドレイン弁58は閉とされており、これらの弁によって管路を切り換える手段を構成している。   Next, FIG. 4 is a diagram showing a cooling water system in the portal precision machine tool. In FIG. 4, reference numeral 50 is a cooling water temperature adjusting device that controls the temperature of the cooling water to a desired constant temperature. The cooling water temperature control device 50 and the water intakes 38 a and 38 b of the portal column 14 are connected by a pipe 51. The pipe 51 is provided with a backflow prevention valve 52 for preventing a backflow of cooling water from the portal column 14 to the cooling water temperature adjusting device 50. In this embodiment, the water intake ports 38 a and 38 b also serve as a drain port for extracting cooling water from the inside of the portal column 14, and a drain pipe 53 is branched from the pipe 51. The drain pipe 53 is provided with a drain valve 58. When the cooling water is supplied from the cooling water temperature adjusting device 50 to the portal column 14, the backflow prevention valve 52 is opened and the drain valve 58 is closed. When the cooling water is drained from the portal column 14, the backflow prevention valve 52 is closed and the drain valve 58 is closed, and these valves constitute means for switching the pipeline.

他方、門形コラム14の上部に設けられているドレイン穴40から延びる冷却水回収用配管54は、冷却水タンク55まで延びるようになっている。この冷却水タンク55は、門形コラム14からオーバーフローした冷却水を溜めておくタンクである。この実施形態では、冷却水タンク55には、冷却水の水量を監視するためにレベルセンサ56a、56bが設けられている。レベルセンサ56aは水面レベルの下限を検知し、レベルセンサ56bは水面レベルの上限を検知する。冷却水タンク55と冷却水温調装置50とは戻り配管57によって接続されており、冷却水タンク55に溜まっている冷却水は、所定の流量で冷却水温調装置50に戻されるようになっている。   On the other hand, the cooling water recovery pipe 54 extending from the drain hole 40 provided in the upper part of the portal column 14 extends to the cooling water tank 55. The cooling water tank 55 is a tank that stores cooling water that has overflowed from the portal column 14. In this embodiment, the cooling water tank 55 is provided with level sensors 56a and 56b for monitoring the amount of cooling water. The level sensor 56a detects the lower limit of the water surface level, and the level sensor 56b detects the upper limit of the water surface level. The cooling water tank 55 and the cooling water temperature adjusting device 50 are connected by a return pipe 57, and the cooling water accumulated in the cooling water tank 55 is returned to the cooling water temperature adjusting device 50 at a predetermined flow rate. .

なお、冷却水については、水でもよいが、好ましくは、例えば、プリサイスフルード2001(商品名)、JX日鉱日石エネルギー株式会社製のような工作機械温度制御用の水溶性冷却液を水に溶したものを冷却水として用いると好適である。このような冷却液を用いることで冷却水の熱交換性能が高まり、また、防食効果も高まる。   The cooling water may be water, but preferably, water-soluble cooling liquid for machine tool temperature control such as Precise Fluid 2001 (trade name), manufactured by JX Nippon Oil & Energy Corporation is dissolved in water. It is preferable to use the above as cooling water. By using such a cooling liquid, the heat exchange performance of the cooling water is enhanced, and the anticorrosion effect is also enhanced.

本実施形態による精密工作機械は、以上のように構成されるものであり、次に、その作用並びに効果について説明する。
図4において、冷却水温調装置50から配管51を通して送られてくる冷却水は、門形コラム14の下部にある取水口38a、38bから門形コラム14内部に導かれ、第1乃至第7冷却水貯水区画36a乃至36gのそれぞれの区画が冷却水で満たされる。そして、最上位の冷却水貯水区画36dからドレイン穴40を通して溢れ出した冷却水は、冷却水回収用配管54を通って冷却水タンク55に回収される。この冷却水タンク55に溜まっている冷却水は、冷却水温調装置50で一定温度に冷却されてから、再び門形コラム14に送られることになる。
The precision machine tool according to the present embodiment is configured as described above. Next, its operation and effect will be described.
In FIG. 4, the cooling water sent from the cooling water temperature adjusting device 50 through the pipe 51 is led into the portal column 14 from the intake ports 38a and 38b at the lower part of the portal column 14, and the first to seventh cooling waters are introduced. Each of the water storage compartments 36a to 36g is filled with cooling water. Then, the cooling water overflowing from the uppermost cooling water storage section 36 d through the drain hole 40 is recovered in the cooling water tank 55 through the cooling water recovery pipe 54. The cooling water accumulated in the cooling water tank 55 is cooled to a constant temperature by the cooling water temperature adjusting device 50 and then sent to the portal column 14 again.

本実施形態では、門形コラム14の内部を一定温度に管理された冷却水で満たすにあたって、門形コラム14の上部にドレイン穴40とは別に、エア抜き穴49を設けている。これにより、コラム内部で冷却水の水面が上がっていくにしたがって、エア抜き穴49からはエアが排出されていくので、空気圧力を受けることなく、ドレイン穴40のある高さまで門形コラム14の内部を冷却水で満たすことができる。しかも、ドレイン穴40の位置を門形コラム14の上部に配置しているので、門形コラム14の内部全体に冷却水を貯水することができる。   In the present embodiment, in order to fill the interior of the portal column 14 with cooling water controlled at a constant temperature, an air vent hole 49 is provided in the upper portion of the portal column 14 in addition to the drain hole 40. Thereby, as the water level of the cooling water rises inside the column, air is discharged from the air vent hole 49, so that the gate column 14 has a height up to a height where the drain hole 40 is located without receiving air pressure. The inside can be filled with cooling water. In addition, since the drain hole 40 is disposed at the upper part of the portal column 14, the cooling water can be stored in the entire interior of the portal column 14.

このようにして、本実施形態によれば、門形コラム14の内部全体に区画されている第1冷却水貯水区画36a乃至第7冷却水貯水区画36gには所定の温度に保たれた冷却水が常に貯水された状態になっており、いわば、門形コラム14そのもの全体を温調された冷却水のタンクとすることができる。   In this way, according to the present embodiment, the cooling water maintained at a predetermined temperature in the first cooling water storage compartment 36a to the seventh cooling water storage compartment 36g that is partitioned in the entire interior of the portal column 14. In other words, the gate column 14 itself can be used as a temperature-controlled cooling water tank.

しかも、門形コラム14の内部では、冷却水に対流が生じ、温まった冷却水は、上昇していき、ドレイン穴40から冷却タンク55に排出される。この間も、冷却水温調装置50からは冷却水が門形コラム14の内部に供給され続けている。このようにして、コラム上部にドレイン穴40を設けることにより、門形コラム14内部の冷却水の温度上昇を抑えて冷却効果を高め、冷却水の温度を環境温度の変化によらず一定に管理することが可能になる。   In addition, convection occurs in the cooling water inside the portal column 14, and the heated cooling water rises and is discharged from the drain hole 40 to the cooling tank 55. During this time, cooling water continues to be supplied from the cooling water temperature control device 50 to the inside of the gate column 14. Thus, by providing the drain hole 40 in the upper part of the column, the cooling effect is suppressed by suppressing the temperature rise of the cooling water inside the portal column 14, and the temperature of the cooling water is managed uniformly regardless of the environmental temperature change. It becomes possible to do.

さらに、本実施形態では、門形コラム14の内部に常に一定量の冷却水が貯水されるように、ドレイン穴40からオーバーフローした冷却水を冷却水タンク55に一旦回収しておき、この冷却水タンク55から冷却水温調装置50に送るように循環系が構成されている。オーバーフローした冷却水を冷却タンク55に溜めておけば、常に、一定量の冷却水を門形コラム14の内部に貯水することができる。そして、この実施形態では、冷却界タンク55に冷却水のレベルを検知するレベルセンサ56a、56bにより、冷却水のレベルを監視している。冷却水のレベルが下限よりも低下した場合にはレベルセンサ56bによって検知され、逆に、冷却水のレベルが上限を超えた場合には、レベルセンサ56aにより検知されるので、冷却水不足や冷却水があふれてしまうのを未然に防止することができる。   Further, in the present embodiment, the cooling water overflowed from the drain hole 40 is once collected in the cooling water tank 55 so that a constant amount of cooling water is always stored in the portal column 14, and this cooling water A circulation system is configured so as to be sent from the tank 55 to the cooling water temperature adjusting device 50. If the overflowed cooling water is stored in the cooling tank 55, a constant amount of cooling water can always be stored in the portal column 14. In this embodiment, the cooling water level is monitored by the level sensors 56 a and 56 b that detect the cooling water level in the cooling field tank 55. When the level of the cooling water is lower than the lower limit, the level sensor 56b detects it. Conversely, when the level of the cooling water exceeds the upper limit, it is detected by the level sensor 56a. Can be prevented from overflowing.

以上のように、本実施形態によれば、工具の切り込み方向(Z軸)が鉛直方向にあって、ワークとクロスレール16の案内面18との距離が大きく、温度変動の影響を受けやすい門形コラム14をもつ門形精密工作機械であっても、門形コラム14の内部が常時温調された冷却水で満たし、コラム下部の取水口38a、38bから導入した冷却水をコラム上部に設けたドレイン穴40からオーバーフローさせることで冷却効果を高めているので、部分的ではなく門形コラム14の全体の熱的状態を長時間にわたって一定に保つことが可能になり、ワークに対する高精度な鏡面の加工のような時間のかかるナノメータオーダの超精密加工の実現に寄与する。   As described above, according to this embodiment, the cutting direction (Z axis) of the tool is in the vertical direction, the distance between the workpiece and the guide surface 18 of the cross rail 16 is large, and the gate is susceptible to temperature fluctuations. Even in a portal precision machine tool having a column 14, the interior of the column 14 is always filled with cooling water whose temperature is controlled, and cooling water introduced from water intakes 38 a and 38 b at the bottom of the column is provided at the top of the column. Since the cooling effect is enhanced by overflowing from the drain hole 40, the entire thermal state of the portal column 14 can be kept constant over a long period of time, not a partial area, and a highly accurate mirror surface for the workpiece This contributes to the realization of nanometer-order ultra-precise machining such as the above-mentioned machining.

ところで、工作機械を移設したり、あるいは、修理を行う場合には、門形コラム14の内部に溜めてある冷却水を抜く必要がある。その場合には、次のようにして冷却水を門形コラム14から抜くことができる。   By the way, when the machine tool is moved or repaired, it is necessary to drain the cooling water stored in the portal column 14. In that case, the cooling water can be extracted from the portal column 14 as follows.

図4において、逆流防止弁52を閉じて、冷却水温調装置50に冷却が逆流しないようにしておいてから、ドレイン弁57を開くと、門形コラム14の内部に溜まっていた冷却水は、ドレイン配管53を通して排出される。   In FIG. 4, when the backflow prevention valve 52 is closed so that the cooling does not flow back to the cooling water temperature adjusting device 50, when the drain valve 57 is opened, the cooling water accumulated in the portal column 14 is It is discharged through the drain pipe 53.

このように本実施形態よれば、逆流防止弁52とドレイン弁57を切り換えることによって、冷却水の取水口38から冷却水を排出させることができるので、取水口38がドレイン口を兼用することが可能になる。このため、門形コラム14には、冷却水を抜くためのドレイン口を設けるために穴をあける必要がなくなり、門形コラム14に冷却水を貯水できるようにする構造が簡素化し、コラム改造のための工数を削減することができる。   As described above, according to the present embodiment, by switching the backflow prevention valve 52 and the drain valve 57, the cooling water can be discharged from the cooling water intake 38, so that the intake 38 can also serve as the drain. It becomes possible. For this reason, it is not necessary to make a hole in the portal column 14 in order to provide a drain port for draining the cooling water, and a structure for allowing the cooling water to be stored in the portal column 14 is simplified. Therefore, the man-hour for this can be reduced.

第2実施形態
次に、本発明の第2実施形態について、図5を参照しながら説明する。この第2実施形態は、本発明を横形の精密工作機械に適用した実施の形態である。なお、図4と同一の構成要素には同一の参照番号を付してその詳細な説明は省略する。
Second embodiment
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The second embodiment is an embodiment in which the present invention is applied to a horizontal precision machine tool. The same components as those in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図5において、参照番号84はベッドを示す。このベッド84の上には、サドル85が前後方向に移動可能に設けられている。また、サドル85の上には、テーブル86が左右方向に移動可能に設置されている。ベッド84に設置されたコラム87には、主軸頭88が上下に移動可能に保持されており、この主軸頭88には主軸90が水平に支持されている。   In FIG. 5, reference numeral 84 indicates a bed. A saddle 85 is provided on the bed 84 so as to be movable in the front-rear direction. A table 86 is installed on the saddle 85 so as to be movable in the left-right direction. A spindle head 88 is held on a column 87 installed on the bed 84 so as to be movable up and down, and a spindle 90 is supported horizontally on the spindle head 88.

本実施形態の横形精密工作機械においては、コラム87が鋳造物である事を活用して内部には複数の冷却水貯蔵区画92が仕切られ、コラム87の下部に設けた取水口91を通じて冷却水温調装置50から送られてくる冷却水が導入される。そして、第1実施形態と同様に、コラム85の内部には、常に一定量の冷却水が貯水されるように、ドレイン穴93からオーバーフローした冷却水を冷却水タンク55に一旦回収して溜めておき、この冷却水タンク55から冷却水温調装置50に送るように循環系が構成されている。なお、ドレイン穴93とは別に、より高い位置にエア抜き穴94が設けられている。   In the horizontal precision machine tool of this embodiment, a plurality of cooling water storage sections 92 are partitioned inside by utilizing the fact that the column 87 is a casting, and the cooling water temperature is passed through a water intake 91 provided at the lower part of the column 87. Cooling water sent from the adjusting device 50 is introduced. As in the first embodiment, the cooling water overflowed from the drain hole 93 is once collected and stored in the cooling water tank 55 so that a constant amount of cooling water is always stored in the column 85. In addition, the circulation system is configured so as to be sent from the cooling water tank 55 to the cooling water temperature adjusting device 50. Apart from the drain hole 93, an air vent hole 94 is provided at a higher position.

また、第1実施形態と同様に、取水口91は、コラム87の内部から冷却水を抜くためのドレイン口を兼ねており、配管51からは、ドレイン配管53が分岐している。このドレイン配管53には、ドレイン弁58が設けられている。   Similarly to the first embodiment, the water intake port 91 also serves as a drain port for extracting cooling water from the column 87, and a drain pipe 53 branches from the pipe 51. The drain pipe 53 is provided with a drain valve 58.

このように、ドレイン穴93とは別に、エア抜き穴94を設けているので、空気圧力を受けて妨げられることなく、ドレイン穴93のある高さまでコラム87の内部全体を冷却水で満たすことができる。しかも、コラム87の上部に設けたドレイン穴93から冷却水をオーバーフローさせることで冷却効果を高めているので、部分的ではなくコラム87の全体の熱的状態を長時間にわたって一定に保つことが可能になり、ワークに対する高精度な鏡面の加工のような時間のかかる超精密加工の実現に寄与する。   Thus, since the air vent hole 94 is provided separately from the drain hole 93, the entire interior of the column 87 can be filled with the cooling water to the height at which the drain hole 93 is present without being blocked by receiving air pressure. it can. Moreover, since the cooling effect is enhanced by overflowing the cooling water from the drain hole 93 provided in the upper part of the column 87, it is possible to keep the entire thermal state of the column 87 constant for a long time, not partially. Therefore, it contributes to the realization of time-consuming ultra-precision machining such as high-precision mirror machining of workpieces.

ところで、工作機械を移設したり、あるいは、修理を行う際に、コラム87の内部に溜めてある冷却水を抜く場合には、次のようにして冷却水を抜くことができる。   By the way, when the cooling water stored in the column 87 is drained when the machine tool is moved or repaired, the cooling water can be drained as follows.

逆流防止弁52を閉じて、冷却水温調装置50に冷却が逆流しないようにしておいてから、ドレイン弁58を開くと、コラム87の内部に溜まっていた冷却水は、ドレイン配管53を通して排出される。   When the backflow prevention valve 52 is closed so that the cooling does not flow back to the cooling water temperature adjusting device 50 and the drain valve 58 is opened, the cooling water accumulated in the column 87 is discharged through the drain pipe 53. The

このように本実施形態よれば、逆流防止弁52とドレイン弁58を切り換えることによって、冷却水の取水口91から冷却水を排出させることができるので、取水口91がドレイン口を兼用することが可能になる。   Thus, according to this embodiment, since the cooling water can be discharged from the cooling water intake 91 by switching the backflow prevention valve 52 and the drain valve 58, the intake 91 can also serve as the drain. It becomes possible.

なお、この第2実施形態では、横形の精密工作機械のコラムをタンクとして構成した例を示したが、主軸が鉛直に支持されている立型の精密工作機械のコラムについても同様に主軸頭をタンクとして構成することも可能である。   In the second embodiment, an example is shown in which a column of a horizontal precision machine tool is configured as a tank. However, a spindle head is similarly applied to a vertical precision machine tool column in which the spindle is supported vertically. It can also be configured as a tank.

10…ベッド、11…案内面、12…テーブル、14…門形コラム、15…コラム、16…クロスレール、17…サドル、18…案内面、20…主軸頭、22…主軸、30、31、32、33…傾斜隔壁、36a〜36g…冷却水貯蔵区画、38a、38b…取水口、40…ドレイン口、50…冷却水温調装置、   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Bed, 11 ... Guide surface, 12 ... Table, 14 ... Portal column, 15 ... Column, 16 ... Cross rail, 17 ... Saddle, 18 ... Guide surface, 20 ... Spindle head, 22 ... Spindle, 30, 31, 32, 33 ... inclined partition walls, 36a-36g ... cooling water storage compartment, 38a, 38b ... intake port, 40 ... drain port, 50 ... cooling water temperature control device,

Claims (6)

ベッド上に立設されるコラムに上下方向に移動可能な主軸頭が設けられ、前記コラムの内部には、温度管理された冷却水の貯水空間が形成された精密工作機械において、
前記コラムの下部には冷却水が前記貯水空間に導入される取水口を有し、前記コラムの上部には冷却水を外部に導出する第1のドレイン口を有し、前記取水口は、前記コラム内部から冷却水全量を抜く第2のドレイン口を兼ねることを特徴とする精密工作機械。
In a precision machine tool in which a spindle head that is vertically movable is provided on a column that is erected on a bed, and a temperature-controlled cooling water storage space is formed inside the column,
The lower part of the column has a water intake port through which cooling water is introduced into the water storage space, and the upper part of the column has a first drain port through which the cooling water is led to the outside. A precision machine tool that also serves as a second drain port that drains the entire amount of cooling water from the inside of the column.
前記取水口からオーバーフローした冷却水を回収する冷却水タンクと、
前記冷却水タンクから取り込んだ冷却水の温度を制御し、前記取水口に温度管理された冷却水を送り出す冷却水温調装置と、を有する冷却水循環系統をさらに備え、
前記冷却水温調装置と前記取水口を接続する配管からドレイン配管を分岐させ、前記冷却水温調装置と前記取水口とを連通する流路と、前記ドレイン配管と前記取水口を連通する流路と、のうち一方の流路に切り換える切換弁機構を設けたことを特徴とする請求項1に記載の精密工作機械。
A cooling water tank for collecting cooling water overflowed from the water intake;
A cooling water temperature control device that controls the temperature of the cooling water taken from the cooling water tank and sends out the temperature-controlled cooling water to the water intake, further comprising a cooling water circulation system,
A drain pipe is branched from a pipe connecting the cooling water temperature control device and the water intake, a flow path communicating the cooling water temperature control device and the water intake, and a flow path connecting the drain pipe and the water intake. The precision machine tool according to claim 1, further comprising a switching valve mechanism for switching to one of the flow paths.
前記ドレイン口よりも高い位置に、前記コラム内の空気を排出させるエア抜き穴を設けたことを特徴とする請求項1に記載の精密工作機械。   2. The precision machine tool according to claim 1, wherein an air vent hole for discharging the air in the column is provided at a position higher than the drain port. 前記精密工作機械は、前記前記ベッドの左右両側に立設されたコラムにクロスレールが水平に架け渡され、前記クロスレールにサドルが左右方向に移動可能に設けられ、前記サドルには上下方向に移動可能な主軸頭が設けられた門形のコラムを備えた門形精密工作機械であることを特徴とする請求項1に記載の精密工作機械。   In the precision machine tool, a cross rail is horizontally mounted on columns erected on both the left and right sides of the bed, and a saddle is provided on the cross rail so as to be movable in the left-right direction. The precision machine tool according to claim 1, wherein the precision machine tool is a portal precision machine tool having a portal column provided with a movable spindle head. 前記門形コラムは、前記コラムと前記クロスレールとが一体構造の鋳造物であることを特徴とする請求項1に記載の精密工作機械。   The precision machine tool according to claim 1, wherein the portal column is a casting in which the column and the cross rail are integrally structured. 前記精密工作機械は、ベッド上に立設される1つのコラムに上下方向に移動可能な主軸頭が設けられた立形または横形の精密工作機械であることを特徴とする請求項1に記載の精密工作機械。   2. The precision machine tool according to claim 1, wherein the precision machine tool is a vertical or horizontal precision machine tool in which a spindle head that is movable in a vertical direction is provided on one column that is erected on a bed. Precision machine tool.
JP2012151533A 2012-07-05 2012-07-05 Precision machine tools Active JP5964160B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012151533A JP5964160B2 (en) 2012-07-05 2012-07-05 Precision machine tools

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012151533A JP5964160B2 (en) 2012-07-05 2012-07-05 Precision machine tools

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014012324A true JP2014012324A (en) 2014-01-23
JP5964160B2 JP5964160B2 (en) 2016-08-03

Family

ID=50108395

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012151533A Active JP5964160B2 (en) 2012-07-05 2012-07-05 Precision machine tools

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5964160B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107734825A (en) * 2017-10-30 2018-02-23 台州伟博环保设备科技有限公司 The anode generator of plasma generator
CN115431097A (en) * 2022-10-21 2022-12-06 黄鹄(浙江)精密机床有限公司 Crossbeam movable type gantry vertical and horizontal machine tool with circulating cooling and circulating device

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2279569A (en) * 1940-07-20 1942-04-14 Cleveland Automatic Machine Co Heat exchanger for machine tools
JP2001054839A (en) * 1999-08-20 2001-02-27 Okuma Corp Thermal displacement reducing device for machine
JP2002120570A (en) * 2000-10-19 2002-04-23 Honda Motor Co Ltd Cooling device for vehicle motor
JP2002239857A (en) * 2001-02-13 2002-08-28 Makino Milling Mach Co Ltd Machine tool provided with thermal deformation suppressing function
US20020166422A1 (en) * 2001-04-25 2002-11-14 Tornos Sa Method of optimizing the functioning of a machining center through adjustment of its temperature
JP2002331430A (en) * 2001-05-07 2002-11-19 Takamatsu Machinery Co Ltd Machine tool
JP2003025185A (en) * 2001-07-16 2003-01-29 Nippei Toyama Corp Coolant supply device
JP2004148426A (en) * 2002-10-30 2004-05-27 Toshiba Mach Co Ltd Double column machine tool
US20100183393A1 (en) * 2007-09-07 2010-07-22 Makino Milling Mahine Co., Ltd. Method and apparatus for cooling mobile body of machine tool
JP2010188433A (en) * 2009-02-16 2010-09-02 Disco Abrasive Syst Ltd Machining device with rotary tool
JP2010203638A (en) * 2009-02-28 2010-09-16 Noritz Corp Mist generator
JP2011073108A (en) * 2009-09-30 2011-04-14 Makino Milling Mach Co Ltd Feed shaft cooling system of machine tool

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2279569A (en) * 1940-07-20 1942-04-14 Cleveland Automatic Machine Co Heat exchanger for machine tools
JP2001054839A (en) * 1999-08-20 2001-02-27 Okuma Corp Thermal displacement reducing device for machine
JP2002120570A (en) * 2000-10-19 2002-04-23 Honda Motor Co Ltd Cooling device for vehicle motor
JP2002239857A (en) * 2001-02-13 2002-08-28 Makino Milling Mach Co Ltd Machine tool provided with thermal deformation suppressing function
US20020166422A1 (en) * 2001-04-25 2002-11-14 Tornos Sa Method of optimizing the functioning of a machining center through adjustment of its temperature
JP2002331430A (en) * 2001-05-07 2002-11-19 Takamatsu Machinery Co Ltd Machine tool
JP2003025185A (en) * 2001-07-16 2003-01-29 Nippei Toyama Corp Coolant supply device
JP2004148426A (en) * 2002-10-30 2004-05-27 Toshiba Mach Co Ltd Double column machine tool
US20100183393A1 (en) * 2007-09-07 2010-07-22 Makino Milling Mahine Co., Ltd. Method and apparatus for cooling mobile body of machine tool
JP2010188433A (en) * 2009-02-16 2010-09-02 Disco Abrasive Syst Ltd Machining device with rotary tool
JP2010203638A (en) * 2009-02-28 2010-09-16 Noritz Corp Mist generator
JP2011073108A (en) * 2009-09-30 2011-04-14 Makino Milling Mach Co Ltd Feed shaft cooling system of machine tool

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107734825A (en) * 2017-10-30 2018-02-23 台州伟博环保设备科技有限公司 The anode generator of plasma generator
CN115431097A (en) * 2022-10-21 2022-12-06 黄鹄(浙江)精密机床有限公司 Crossbeam movable type gantry vertical and horizontal machine tool with circulating cooling and circulating device

Also Published As

Publication number Publication date
JP5964160B2 (en) 2016-08-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5964159B2 (en) Precision machine tools
JP5964161B2 (en) Precision machine tools
JP5964160B2 (en) Precision machine tools
CN104942650A (en) Machine tool having functional components that produce heating during operation
US9999952B2 (en) Structure for reducing thermal displacement of machine tool structure
CN102284878B (en) Automatic head changing head warehouse mechanism for gantry processing center
JP4827959B2 (en) Machine tool feed shaft cooling system
JP5039597B2 (en) Machine Tools
WO2002064307A1 (en) Machine tool with thermal deformation suppressing function
JP2013169641A (en) Precision machine tool
CN201511134U (en) Combined-type spindle box
JP5892705B2 (en) Machine tool machining fluid tank
US20180104784A1 (en) Liquid drainage mechanism and machine tool equipped with liquid drainage mechanism
WO2023088498A2 (en) Cooling cycle structure of numerically controlled machine tool, and numerically controlled machine tool
JP6445395B2 (en) Method for controlling temperature adjustment system in machine tool
JP5252392B2 (en) Precision machine
KR102146611B1 (en) Spindle head of working machine
CN106001626A (en) Double-main-shaft numerical control lathe
KR100956126B1 (en) Machine tools and device for supporting main shaft device used in the same
JP2005081479A (en) Machine tool
JP6333053B2 (en) Machine Tools
CN219562373U (en) Circulation cooling device for machining
JP5354332B2 (en) Coolant device
JPS6243697Y2 (en)
CN205967438U (en) Blade holder component structure of lathe

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150514

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160315

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160316

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160513

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160531

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160629

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5964160

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350