JP2013242507A - Curable resin composition for photospacer, columnar spacer and liquid crystal display - Google Patents

Curable resin composition for photospacer, columnar spacer and liquid crystal display Download PDF

Info

Publication number
JP2013242507A
JP2013242507A JP2012137483A JP2012137483A JP2013242507A JP 2013242507 A JP2013242507 A JP 2013242507A JP 2012137483 A JP2012137483 A JP 2012137483A JP 2012137483 A JP2012137483 A JP 2012137483A JP 2013242507 A JP2013242507 A JP 2013242507A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
parts
monomer
meth
pgmea
resin composition
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012137483A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6038498B2 (en
Inventor
Hiromi Tachibana
裕己 橘
Shinsuke Tanaka
晋介 田中
Yuta Minatobe
悠太 湊邉
Koji Kahara
浩二 加原
Masatoshi Yoshida
雅年 吉田
Nobuaki Otsuki
信章 大槻
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Shokubai Co Ltd
Original Assignee
Nippon Shokubai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Shokubai Co Ltd filed Critical Nippon Shokubai Co Ltd
Priority to JP2012137483A priority Critical patent/JP6038498B2/en
Publication of JP2013242507A publication Critical patent/JP2013242507A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6038498B2 publication Critical patent/JP6038498B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F20/00Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride, ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F20/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms, Derivatives thereof
    • C08F20/52Amides or imides
    • C08F20/54Amides, e.g. N,N-dimethylacrylamide or N-isopropylacrylamide
    • C08F20/56Acrylamide; Methacrylamide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F2/00Processes of polymerisation
    • C08F2/46Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
    • C08F2/48Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light
    • C08F2/50Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light with sensitising agents
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F8/00Chemical modification by after-treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L79/00Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon only, not provided for in groups C08L61/00 - C08L77/00
    • C08L79/04Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain; Polyhydrazides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • C08L79/08Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • C08L79/085Unsaturated polyimide precursors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/038Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13398Spacer materials; Spacer properties

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
  • Graft Or Block Polymers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a curable resin composition for a photospacer capable of obtaining a columnar spacer based on a provision of the columnar spacer which is excellent in adhesion to a glass substrate or elastic recovery.SOLUTION: There is provided a curable resin composition for a photospacer which is used for manufacturing a columnar spacer of a liquid crystal cell and comprises: a photosensitive polymer obtained by reacting an acid group of an acid-group-containing polymer synthesized from a monomer component containing a monomer in which an acid group can be introduced and a monomer having two or more aromatic rings as an essential component with a compound having a radical polymerizable unsaturated double bond and a functional group reactable with an acid group; a polyfunctional monomer; and a photopolymerization initiator.

Description

本発明は、液晶セル等に用いられる柱状スペーサーを得るためのフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物、これを用いて硬化させて得られる柱状スペーサー、およびこの柱状スペーサーを用いて得られる液晶ディスプレイに関するものである。   The present invention relates to a curable resin composition for a photospacer for obtaining a columnar spacer used in a liquid crystal cell, a columnar spacer obtained by curing using the same, and a liquid crystal display obtained using the columnar spacer. It is.

液晶セルは、液晶分子が2枚のガラス板に挟まれて封入された構造を採っているが、2枚のガラス板の隙間距離を一定にするためスペーサーが使用されている。従来は、ガラス板の隙間に、スペーサーとして粒子径が揃った球状微粒子を分散させていたが、球状微粒子は、球状であるがために転がりやすく、均一に散布しても液晶注入時に押し流されて偏在化したり、液晶パネルを立てたときに下に沈んだりして、色抜けの原因となることがあった。   The liquid crystal cell has a structure in which liquid crystal molecules are sandwiched and enclosed between two glass plates, but a spacer is used to make the gap distance between the two glass plates constant. Conventionally, spherical fine particles with a uniform particle size were dispersed as a spacer in the gap between the glass plates, but the spherical fine particles are easy to roll because they are spherical, and even when sprayed uniformly, they are swept away during liquid crystal injection. When the LCD panel is erected, it may become unevenly distributed or sink down to cause color loss.

そこで最近、特に大型液晶パネルには、柱状のスペーサーが採用されている(例えば、特許文献1)。柱状スペーサーとは、フォトリソグラフィーによってガラス基板上(正確にはガラス基板の上の配向膜の上)に立てられた樹脂製の柱である。柱状スペーサーのメリットは、ガラス基板上(正確にはガラス基板の上の配向膜の上)に密着しているので押し流されて偏在化することがない点にある。   Therefore, recently, columnar spacers have been adopted particularly for large liquid crystal panels (for example, Patent Document 1). The columnar spacer is a resin column which is erected on a glass substrate (more precisely, on an alignment film on the glass substrate) by photolithography. The merit of the columnar spacer is that it is in close contact with the glass substrate (exactly on the alignment film on the glass substrate), so that it is not pushed away and unevenly distributed.

このような柱状スペーサーには、上述したようなガラス基板への密着性に加えて、弾性回復力が求められる。すなわち、セルの中に液晶を注入して液晶分子を配向させる際に、セルに圧縮力がかけられ、この際、柱状スペーサーには、圧縮力に追従できる柔軟性や圧縮力を緩和したときの弾性回復力が要求される。スペーサーは2枚のガラス基板間の距離を一定に保つためのものであるので、弾性回復力に乏しいと圧縮後に充分回復できず、所望の基板間距離が維持できなくなるという問題が発生する。   Such columnar spacers are required to have elastic recovery in addition to the adhesion to the glass substrate as described above. In other words, when the liquid crystal is injected into the cell and the liquid crystal molecules are aligned, a compressive force is applied to the cell. At this time, the columnar spacer has a flexibility that can follow the compressive force and a compressive force when relaxing. Elastic recovery force is required. Since the spacer is used to keep the distance between the two glass substrates constant, there is a problem that if the elastic recovery force is insufficient, the spacer cannot be sufficiently recovered after compression and the desired distance between the substrates cannot be maintained.

特開2003−15136号公報JP 2003-15136 A

そこで、本発明では、上記従来技術の問題点を考慮して、ガラス基板に対する密着性や弾性回復力に優れた柱状スペーサーの提供を前提として、このような柱状スペーサーを得ることのできるフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物の提供を課題として掲げた。   Therefore, in the present invention, in consideration of the above-mentioned problems of the prior art, on the premise of providing a columnar spacer excellent in adhesion to a glass substrate and elastic recovery, it is possible to obtain such a columnar spacer. Providing a curable resin composition was raised as an issue.

上記課題を解決することのできた本発明は、液晶セルの柱状スペーサーの製造のために用いられるフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物であって、酸基を導入し得るモノマーと、芳香環を2個以上含有するモノマーとを必須モノマーとして含むモノマー成分から合成された酸基含有ポリマーの酸基に、ラジカル重合性不飽和二重結合と酸基と反応し得る官能基を有する化合物を反応させることによって得られる感光性ポリマーと、多官能モノマーと、光重合開始剤とを有することを特徴とする。上記モノマー成分100質量%中、芳香環を2個以上含有するモノマーは5〜70質量%であることが好ましい。   The present invention that has solved the above-mentioned problems is a curable resin composition for a photospacer used for the production of a columnar spacer of a liquid crystal cell, comprising a monomer capable of introducing an acid group and two aromatic rings. By reacting a compound having a radical polymerizable unsaturated double bond and a functional group capable of reacting with an acid group with an acid group of an acid group-containing polymer synthesized from a monomer component containing the above-described monomer as an essential monomer. It has the photosensitive polymer obtained, a polyfunctional monomer, and a photoinitiator. It is preferable that the monomer containing 2 or more aromatic rings is 5 to 70% by mass in 100% by mass of the monomer component.

上記モノマー成分が、さらに、主鎖に環構造を導入し得るモノマーを含むことが好まし
く、この場合、主鎖に環構造を導入し得るモノマーが、N−置換マレイミド類である態様が好ましい。上記フォトスペーサー用硬化性樹脂組成物が、さらに、波長280〜380nmに最大吸収波長を有する紫外線吸収剤を含む態様も好適である。また、上記感光性ポリマーの酸価は、20〜180mgKOH/gであることが好ましい。
The monomer component preferably further includes a monomer capable of introducing a ring structure into the main chain. In this case, an embodiment in which the monomer capable of introducing a ring structure into the main chain is N-substituted maleimides is preferable. An embodiment in which the curable resin composition for a photospacer further includes an ultraviolet absorber having a maximum absorption wavelength at a wavelength of 280 to 380 nm is also suitable. Moreover, it is preferable that the acid value of the said photosensitive polymer is 20-180 mgKOH / g.

本発明には、上記フォトスペーサー用硬化性樹脂組成物を硬化させて得られたものである柱状スペーサー、並びにこの柱状スペーサーを用いた液晶ディスプレイも含まれる。   The present invention includes a columnar spacer obtained by curing the curable resin composition for a photospacer, and a liquid crystal display using the columnar spacer.

本発明のフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物から得られる柱状スペーサーは、基板密着性、弾性回復力に優れたものとなった。   The columnar spacer obtained from the curable resin composition for photospacers of the present invention has excellent substrate adhesion and elastic recovery.

本発明のフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物(以下、単に硬化性樹脂組成物ということがある)は、液晶セルの柱状スペーサーの製造のために用いられ、酸基を導入し得るモノマーと、芳香環を2個以上含有するモノマーとを必須モノマーとして含むモノマー成分から合成された酸基含有ポリマーの酸基に、ラジカル重合性不飽和二重結合と酸基と反応し得る官能基を有する化合物を反応させることによって得られる感光性ポリマーと、多官能モノマーと、光重合開始剤とを有することを特徴とするものである。以下、各成分ごとに説明する。   The curable resin composition for a photospacer of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as a curable resin composition) is used for the production of a columnar spacer of a liquid crystal cell. A compound having a functional group capable of reacting with a radically polymerizable unsaturated double bond and an acid group on an acid group of an acid group-containing polymer synthesized from a monomer component containing a monomer containing two or more rings as an essential monomer It has the photosensitive polymer obtained by making it react, a polyfunctional monomer, and a photoinitiator. Hereinafter, each component will be described.

[酸基含有ポリマー]
本発明の硬化性樹脂組成物の主成分である感光性ポリマーは、側鎖に酸基を有している必要がある。アルカリ現像性を確保するためである。また、酸基は後述するとおり、ポリマーの側鎖にラジカル重合性不飽和二重結合を導入するための反応点にもなる。
[Acid group-containing polymer]
The photosensitive polymer which is the main component of the curable resin composition of the present invention needs to have an acid group in the side chain. This is to ensure alkali developability. Further, as will be described later, the acid group also serves as a reaction point for introducing a radical polymerizable unsaturated double bond into the side chain of the polymer.

本発明では、ラジカル重合性不飽和二重結合を有さない酸基含有ポリマーを先に合成し、続いて、ラジカル重合性不飽和二重結合の導入反応を行う。酸基含有ポリマーは、側鎖に酸基を導入し得るモノマーを用いて合成することができる。なお、感光性ポリマーも酸基を含有しているので、「酸基含有ポリマー」であるが、以下の説明では、ラジカル重合性不飽和二重結合導入前のポリマーを酸基含有ポリマー、導入後のポリマーを感光性ポリマーという。   In the present invention, an acid group-containing polymer having no radically polymerizable unsaturated double bond is synthesized first, and then a radically polymerizable unsaturated double bond is introduced. The acid group-containing polymer can be synthesized using a monomer capable of introducing an acid group into the side chain. In addition, since the photosensitive polymer also contains an acid group, it is an “acid group-containing polymer”. However, in the following explanation, a polymer before introduction of a radical polymerizable unsaturated double bond is referred to as an acid group-containing polymer. These polymers are called photosensitive polymers.

[酸基を導入し得るモノマー]
側鎖に酸基を導入し得るモノマーには、もともと酸基を有するモノマーと、重合後に酸基を付与し得るモノマーが含まれる。なお、重合後に酸基を付与し得るモノマーを用いる場合には、重合後に例えば後述するような酸基を付与するための処理(後処理)が必要となる。
[Monomer capable of introducing an acid group]
Monomers that can introduce an acid group into the side chain include monomers that originally have an acid group and monomers that can give an acid group after polymerization. In addition, when using the monomer which can provide an acid group after superposition | polymerization, the process (post-processing) for providing an acid group as mentioned later after superposition | polymerization is required.

酸基を有するモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルコハク酸、および、イタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマー、無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー等が挙げられるが、これらの中でも特に、(メタ)アクリル酸が好ましい。また、重合後に酸基を付与し得るモノマーとしては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基を有するモノマー、グリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有するモノマー、2−イソシアナートエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基を有するモノマー等が挙げられる。これら酸基を導入し得るモノマーは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。   Examples of the monomer having an acid group include (meth) acrylic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl succinic acid, monomers having a carboxyl group such as itaconic acid, and carboxyls such as maleic anhydride and itaconic anhydride. Although the monomer etc. which have an acid anhydride group are mentioned, Especially, (meth) acrylic acid is preferable among these. Moreover, as a monomer which can provide an acid group after superposition | polymerization, the monomer which has hydroxyl groups, such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, the monomer which has epoxy groups, such as glycidyl (meth) acrylate, 2-isocyanatoethyl ( And monomers having an isocyanate group such as (meth) acrylate. Only one type of monomer capable of introducing these acid groups may be used, or two or more types may be used.

また、酸基を導入し得るモノマーは、酸基含有ポリマーを構成するためのモノマー成分
100質量%中、15質量%以上が好ましく、20質量%以上がより好ましく、90質量%以下が好ましく、80質量%以下がより好ましい。酸基を導入し得るモノマーが少ないと、充分なアルカリ現像性が発現しないおそれがあり、また、ラジカル重合性不飽和二重結合を感光性ポリマーに充分量導入することができなくなる。一方、酸基を導入し得るモノマーが多すぎると、好適なモノマーとして後述する主鎖に環構造を導入し得るモノマーが少なくなるため、スペーサーの耐熱性や基板密着性が不充分となるおそれがある。
The monomer capable of introducing an acid group is preferably 15% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and preferably 90% by mass or less, in 100% by mass of the monomer component for constituting the acid group-containing polymer. The mass% or less is more preferable. If the monomer capable of introducing an acid group is small, sufficient alkali developability may not be exhibited, and a sufficient amount of radically polymerizable unsaturated double bonds cannot be introduced into the photosensitive polymer. On the other hand, if there are too many monomers capable of introducing an acid group, there will be less monomers capable of introducing a ring structure into the main chain, which will be described later, as suitable monomers, which may result in insufficient spacer heat resistance and substrate adhesion. is there.

酸基を付与するための後処理は、用いる酸基を付与し得るモノマーの種類によって異なるが、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートのような水酸基を有するモノマーを用いた場合には、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させるようにすればよく、グリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有するモノマーを用いた場合には、例えば、N−メチルアミノ安息香酸、N−メチルアミノフェノール等のアミノ基と酸基を有する化合物を付加させるようにするか、もしくは、例えば(メタ)アクリル酸のような酸を付加させた後に生じた水酸基に、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させるようにすればよく、2−イソシアナートエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基を有するモノマーを用いた場合には、例えば、2−ヒドロキシ酪酸等の水酸基と酸基を有する化合物を付加させるようにすればよい。   The post-treatment for imparting an acid group varies depending on the type of monomer that can impart an acid group to be used. For example, when a monomer having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate is used, , Succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, maleic anhydride and other acid anhydrides may be added. When a monomer having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate is used, for example, , N-methylaminobenzoic acid, N-methylaminophenol, or the like, or after adding an acid group such as (meth) acrylic acid. For example, an acid anhydride such as succinic acid anhydride, tetrahydrophthalic acid anhydride, maleic acid anhydride or the like may be added to the hydroxyl group. Ku, in the case of using a monomer having an isocyanate group such as 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate may be, for example, so as to be added with a compound having a hydroxyl group and an acid group such as 2-hydroxybutyric acid.

[芳香環を2個以上含有するモノマー]
本発明の感光性ポリマーには、側鎖に2個以上の芳香環を導入する必要がある。2個以上の芳香環の導入によって、弾性回復力が向上することが見出されたためである。その理由は明確にはなっていないが、芳香環がスタック構造を採って相互作用が発現したことで、架橋密度を上げることによる硬さではない、相互作用による硬さが付与されたためではないかと推測される。なお、2個以上の芳香環とは、ナフタレン環やアントラセン環のような縮合環であってもよい。
[Monomer containing two or more aromatic rings]
In the photosensitive polymer of the present invention, it is necessary to introduce two or more aromatic rings in the side chain. This is because it has been found that the elastic recovery force is improved by introducing two or more aromatic rings. The reason for this is not clear, but it is because the aromatic ring has a stack structure and the interaction is manifested, so it is not the hardness due to increasing the crosslinking density, but because the hardness due to the interaction is given. Guessed. The two or more aromatic rings may be a condensed ring such as a naphthalene ring or an anthracene ring.

なお、本願出願人は、側鎖末端にビフェニル基などのメソゲン基を有するラジカル重合可能な単量体を用いた硬化性樹脂組成物について既に出願している(特開2008−239782号公報)。しかしながら、この特許文献では、樹脂組成物から得られる硬化物の熱伝導率を検討するにとどまっており、アルカリ現像可能なフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物としての検討(特に弾性回復率)は何らなされていない。   The applicant of the present application has already filed an application for a curable resin composition using a radically polymerizable monomer having a mesogenic group such as a biphenyl group at a side chain terminal (Japanese Patent Laid-Open No. 2008-239782). However, in this patent document, only the thermal conductivity of the cured product obtained from the resin composition is examined, and there is no examination (particularly, the elastic recovery rate) as a curable resin composition for a photospacer capable of alkali development. Not done.

芳香環を2個以上含有するモノマーとしては、ビフェニル(メタ)アクリレート、o−ビフェニルオキシエチル(メタ)アクリレート(エトキシ化o−フェニルフェノール(メタ)アクリレート)、o−ビフェニルオキシエトキシエチル(メタ)アクリレート、m−ビフェニルオキシエチルアクリレート、p−ビフェニルオキシエチル(メタ)アクリレート、o−ビフェニルオキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、p−ビフェニルオキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、m−ビフェニルオキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、N−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−ビフェニル=カルバマート、N−(メタ)アクリロイルオキシエチル−p−ビフェニ
ル=カルバマート(下式(A)はN−アクリロイルオキシエチル−p−ビフェニル=カルバマート)、N−(メタ)アクリロイルオキシエチル−m−ビフェニル=カルバマート、o−フェニルフェノールグリシジルエーテルアクリレート等のビフェニル基含有モノマー、ビニルナフタレン等のナフタレン環含有モノマー、ターフェニル(メタ)アクリレート、o−ターフェニルオキシエチル(メタ)アクリレート等のターフェニル基含有モノマー等が挙げられる。中でも、ビフェニル基含有モノマーが好ましい。
Monomers containing two or more aromatic rings include biphenyl (meth) acrylate, o-biphenyloxyethyl (meth) acrylate (ethoxylated o-phenylphenol (meth) acrylate), o-biphenyloxyethoxyethyl (meth) acrylate. , M-biphenyloxyethyl acrylate, p-biphenyloxyethyl (meth) acrylate, o-biphenyloxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, p-biphenyloxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, m-biphenyloxy 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, N- (meth) acryloyloxyethyl-o-biphenyl = carbamate, N- (meth) acryloyloxyethyl-p-biphenyl = carbamate (the following formula (A) is N-acryloyloxyethyl-p-biphenyl = carbamate), N- (meth) acryloyloxyethyl-m-biphenyl = carbamate, biphenyl group-containing monomers such as o-phenylphenol glycidyl ether acrylate, naphthalene ring-containing monomers such as vinylnaphthalene And terphenyl group-containing monomers such as terphenyl (meth) acrylate and o-terphenyloxyethyl (meth) acrylate. Among these, a biphenyl group-containing monomer is preferable.

芳香環を2個以上含有するモノマーは、酸基含有ポリマーを構成するためのモノマー成分100質量%中、5質量%以上が好ましく、8質量%以上がより好ましく、70質量%以下が好ましく、60質量%以下がより好ましい。芳香環を2個以上含有するモノマーが少ないと、弾性回復率の向上効果が不足するおそれがある。一方、芳香環を2個以上含有するモノマーが多くなり過ぎると、酸基を導入し得るモノマーや、好適なモノマーとして後述する主鎖に環構造を導入し得るモノマーが少なくなるため、アルカリ現像性が劣ったり、スペーサーの耐熱性や基板密着性が不充分となるおそれがある。   The monomer containing two or more aromatic rings is preferably 5% by mass or more, more preferably 8% by mass or more, and preferably 70% by mass or less, in 100% by mass of the monomer component for constituting the acid group-containing polymer. The mass% or less is more preferable. If there are few monomers containing two or more aromatic rings, the effect of improving the elastic recovery rate may be insufficient. On the other hand, if there are too many monomers containing two or more aromatic rings, the monomer capable of introducing an acid group and the monomer capable of introducing a ring structure into the main chain, which will be described later as a suitable monomer, are reduced. May be inferior, and the heat resistance and substrate adhesion of the spacer may be insufficient.

[主鎖に環構造を導入し得るモノマー]
本発明では、酸基含有ポリマーおよび感光性ポリマーの必須構成モノマーとして、上記したように、酸基を導入し得るモノマーと芳香環を2個以上含有するモノマーとを用いるが、これらに加えて、主鎖に環構造を導入し得るモノマーも用いることが好ましい。主鎖に環構造を導入することにより、柱状スペーサーの耐熱性が高まり、また、基板への密着性が向上する。
[Monomer capable of introducing a ring structure into the main chain]
In the present invention, as an essential constituent monomer of the acid group-containing polymer and the photosensitive polymer, as described above, a monomer capable of introducing an acid group and a monomer containing two or more aromatic rings are used. In addition to these, It is also preferable to use a monomer capable of introducing a ring structure into the main chain. By introducing a ring structure into the main chain, the heat resistance of the columnar spacer is increased and the adhesion to the substrate is improved.

主鎖に環構造を導入し得るモノマーとしては、もともと環構造を有するモノマーと、分子内環化工程によって環構造を形成し得るモノマーが含まれる。   Monomers that can introduce a ring structure into the main chain include monomers that originally have a ring structure and monomers that can form a ring structure by an intramolecular cyclization step.

環構造を有するモノマーとしては、耐熱性、基板への密着性の観点から、マレイミドやN−置換マレイミド類が好ましい。具体的には、フェニルマレイミド、ベンジルマレイミド、ナフチルマレイミド、N−o−(またはm−、またはp−)ヒドロキシフェニルマレイミド、N−o−(またはm−、またはp−)クロロフェニルマレイミド、N−o−(またはm−、またはp−)メチルフェニルマレイミド、N−o−(またはm−、またはp−)メトキシフェニルマレイミド等の芳香族置換マレイミド類;メチルマレイミド、エチルマレイミド、プロピルマレイミド、イソプロピルマレイミド、シクロヘキシルマレイミド等のアルキル置換マレイミド類等が挙げられる。これらの中でも、シクロヘキシルマレイミド、フェニルマレイミド、ベンジルマレイミドが好ましく、シクロヘキシルマレイミド、ベンジルマレイミドがより好ましく、ベンジルマレイミドが最も好ましい。これら環構造を有するモノマーは、単独で使用しても、2種以上使用してもよい。環構造を有するモノマーの使用量は、酸基含有ポリマーを構成するためのモノマー成分100質量%中、2〜50質量%であることが好ましい。より好ましくは、5〜40質量%であり、さらに好ましくは5〜30質量%である。   As the monomer having a ring structure, maleimide and N-substituted maleimides are preferable from the viewpoint of heat resistance and adhesion to a substrate. Specifically, phenylmaleimide, benzylmaleimide, naphthylmaleimide, No- (or m-, or p-) hydroxyphenylmaleimide, No- (or m-, or p-) chlorophenylmaleimide, No Aromatic substituted maleimides such as-(or m-, or p-) methylphenylmaleimide, N-o- (or m-, or p-) methoxyphenylmaleimide; methylmaleimide, ethylmaleimide, propylmaleimide, isopropylmaleimide, And alkyl-substituted maleimides such as cyclohexylmaleimide. Among these, cyclohexylmaleimide, phenylmaleimide, and benzylmaleimide are preferable, cyclohexylmaleimide and benzylmaleimide are more preferable, and benzylmaleimide is most preferable. These monomers having a ring structure may be used alone or in combination of two or more. It is preferable that the usage-amount of the monomer which has a ring structure is 2-50 mass% in 100 mass% of monomer components for comprising an acid group containing polymer. More preferably, it is 5-40 mass%, More preferably, it is 5-30 mass%.

また、環構造を形成し得るモノマーとしては、主鎖中に5員環または6員環を形成しながら重合する化合物であることが好ましい。このような化合物としては、例えば、1,6−ジエン類が好適である。1,6−ジエン類は、下記一般式(1)で表すことができる。   The monomer capable of forming a ring structure is preferably a compound that polymerizes while forming a 5-membered or 6-membered ring in the main chain. As such a compound, for example, 1,6-dienes are suitable. 1,6-dienes can be represented by the following general formula (1).

上記式(1)において、Xが−CH2−CH2−CH2−であり、Y,Zが同一または異
なってアルキル基であるときは、2,6−アルキル置換−1,6−ヘプタジエン類を表し、Xが−CH2−CH2−CH2−であり、Y,Zが同一または異なって−C(=O)−O
−R(Rは置換基を有していてもよいアルキル基またはアリール基を表す。)であるときは、2位置換−ビスアクリレート系化合物を表し、Xが−C(=O)−O−C(=O)−であり、Y,Zが同一または異なってHかCH3であるときは、(メタ)アクリル酸無水
物を表し、Xが−CH2−O−CH2−であり、Y,Zが同一または異なって−C(=O)−O−R(Rは、置換基を有してもよいアルキル基またはアリール基を表す。)であるときは、α−ヒドロキシメチルアクリル酸エステルのエーテルダイマー類(例えば、下記式(2)で示されるジメチル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート;(α−ヒドロキシメチル)アクリル酸メチルダイマーともいう)を表し、このときに、YまたはZのいずれか一方がHであれば、2−アリルオキシメチルアクリル酸メチル(下記式(3))を表す。上記環構造を形成し得るモノマーの使用量は、酸基含有ポリマーを構成するためのモノマー成分100質量%中、2〜50質量%であることが好ましい。より好ましくは、5〜40質量%であり、さらに好ましくは5〜30質量%である。
In the above formula (1), when X is —CH 2 —CH 2 —CH 2 — and Y and Z are the same or different and are alkyl groups, 2,6-alkyl-substituted-1,6-heptadiene X is —CH 2 —CH 2 —CH 2 —, Y and Z are the same or different, and —C (═O) —O
When it is -R (R represents an alkyl group or an aryl group which may have a substituent), it represents a 2-position-substituted bisacrylate compound, and X represents -C (= O) -O-. When C (═O) — and Y and Z are the same or different and are H or CH 3 , they represent (meth) acrylic anhydride, X is —CH 2 —O—CH 2 —, When Y and Z are the same or different and are —C (═O) —O—R (R represents an alkyl group or an aryl group which may have a substituent), α-hydroxymethylacrylic acid Ester ether dimers (for example, dimethyl-2,2 ′-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate represented by the following formula (2); also referred to as (α-hydroxymethyl) methyl acrylate dimer) At this time, either Y or Z If it represents H, 2-allyloxy methyl acrylate (the following formula (3)) a. It is preferable that the usage-amount of the monomer which can form the said ring structure is 2-50 mass% in 100 mass% of monomer components for comprising an acid group containing polymer. More preferably, it is 5-40 mass%, More preferably, it is 5-30 mass%.

[アミド基含有モノマー]
本発明の感光性ポリマーに、アミド結合を導入することも好適な態様である。アミド結合の導入によって、一層弾性回復力を向上させることができる。その理由は明確にはなっていないが、アミド結合が存在していると、ポリマー分子鎖間で水素結合等のインタラクションが強くなるため、強い圧縮力が負荷された後でも、優れた回復力が発現するものと推定される。また、本発明の感光性ポリマーはアルカリ現像が可能な程度の親水性を有しているが、アミド結合の存在によって親水性が一層増大するため、現像時に硬化物の表面近傍も溶解して、パターンよりも小径の硬化物を作りやすいというメリットも見出された。
[Amide group-containing monomer]
It is also a preferable embodiment to introduce an amide bond into the photosensitive polymer of the present invention. By introducing an amide bond, the elastic recovery force can be further improved. The reason is not clear, but if an amide bond is present, interaction such as hydrogen bonding between polymer molecular chains becomes strong, so that even after a strong compressive force is applied, excellent resilience is achieved. Presumed to be expressed. In addition, the photosensitive polymer of the present invention has hydrophilicity to the extent that alkali development is possible, but since the hydrophilicity is further increased by the presence of an amide bond, the vicinity of the surface of the cured product is also dissolved during development, It has also been found that it is easier to make a cured product having a smaller diameter than the pattern.

よって、酸基含有ポリマーを得るためのモノマー成分には、アミド基含有モノマーが含まれていることが好ましい。アミド基含有モノマーは、下記一般式(4)で表される。   Therefore, the monomer component for obtaining the acid group-containing polymer preferably contains an amide group-containing monomer. The amide group-containing monomer is represented by the following general formula (4).


(式(4)中、R1、R2は、それぞれ独立して、(メタ)アクリロイル基以外の水素原子
、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、置換アリール基を表す。置換基の例としては、フェニル基、水酸基、アルコキシ基等が挙げられる。R1とR2がこれらと結合している窒素原子と共に、非金属原子からなる環構造を形成してもよく、例えば、下記に示される環構造が挙げられる。)

(In Formula (4), R 1 and R 2 each independently represents a hydrogen atom other than a (meth) acryloyl group, an alkyl group, a substituted alkyl group, an aryl group, or a substituted aryl group. Includes a phenyl group, a hydroxyl group, an alkoxy group, etc. R 1 and R 2 may form a ring structure composed of a nonmetallic atom together with the nitrogen atom bonded to these, for example, as shown below. Ring structure.)

アミド基含有モノマーとしては、(メタ)アクリロイルモルホリン(モルホリノ(メタ)アクリレート)、(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミド、N−イソプロピル(メタ)アクリルアミド、N−ブチル(メタ)アクリルアミド、N−イソブチル(メタ)アクリルアミド、N−t−ブチル(メタ)アクリルアミド、N−t−オクチル(メタ)アクリルアミド、ダイアセトン(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド、N−シクロヘキシル(メタ)アクリルアミド、N−フェニル(メタ)アクリルアミド、N−ベンジル(メタ)アクリルアミド、N−トリフェニルメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド等が挙げられ、これらの1種または2種以上を用いることができる。   Examples of the amide group-containing monomer include (meth) acryloylmorpholine (morpholino (meth) acrylate), (meth) acrylamide, N-methyl (meth) acrylamide, N-isopropyl (meth) acrylamide, N-butyl (meth) acrylamide, N -Isobutyl (meth) acrylamide, Nt-butyl (meth) acrylamide, Nt-octyl (meth) acrylamide, diacetone (meth) acrylamide, N-hydroxymethyl (meth) acrylamide, N-hydroxyethyl (meth) Acrylamide, N-cyclohexyl (meth) acrylamide, N-phenyl (meth) acrylamide, N-benzyl (meth) acrylamide, N-triphenylmethyl (meth) acrylamide, N, N-dimethyl (meth) acrylamide And the like, may be used alone or two or more thereof.

アミド基含有モノマーは、酸基含有ポリマーを構成するためのモノマー成分100質量%中、2質量%以上が好ましく、5質量%以上がより好ましく、70質量%以下が好ましく、40質量%以下がさらに好ましい。アミド基含有モノマーが少ないと、充分な弾性回復力が発現しない場合があるが、アミド基含有モノマーが多すぎると、基板への密着性が低下する上に、親水性が強くなり過ぎるため、良好な形状を持つスペーサーを形成しにくい。   The amide group-containing monomer is preferably 2% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, preferably 70% by mass or less, and more preferably 40% by mass or less, in 100% by mass of the monomer component for constituting the acid group-containing polymer. preferable. If there are few amide group-containing monomers, sufficient elastic recovery may not be exhibited, but if there are too many amide group-containing monomers, the adhesion to the substrate will decrease and the hydrophilicity will become too strong, so it will be good It is difficult to form a spacer with a simple shape.

酸基含有ポリマーを得る際に用いられるモノマー成分は、上述した酸基を導入し得るモノマーと芳香環を2個以上含有するモノマーといった必須モノマー、好適に用いられる主鎖に環構造を導入し得るモノマー、アミド基含有モノマーのほかに、スペーサーとしての要求特性を満足させるため、必要に応じてその他の共重合可能なモノマーを含むことができる。このような共重合可能なモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸メチル2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ラウリル、(メタ)アクリル酸ステアリル、(メタ)アクリル酸トリシクロデシル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル等の(メタ)アクリル酸エステル類;スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン等の芳香族ビニル化合物;ブタジエン、イソプレン等のブタジエンまたは置換ブタジエン化合物;エチレン、プロピレン、塩化ビニル、アクリロニトリル等のエチレンまたは置換エチレン化合物;酢酸ビニル等のビニルエステル類;等が挙げられる。   The monomer component used for obtaining the acid group-containing polymer can introduce a ring structure into the main chain, which is an essential monomer such as the monomer capable of introducing an acid group and a monomer containing two or more aromatic rings, as described above. In addition to the monomer and the amide group-containing monomer, other copolymerizable monomers can be included as necessary in order to satisfy the required properties as a spacer. Examples of such copolymerizable monomers include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, and n- (meth) acrylate. Butyl, isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, methyl 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, ( (Meth) acrylic acid esters such as tricyclodecyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate; styrene, vinyltoluene, α -Aromatic vinyl compounds such as methylstyrene; Butadie such as butadiene and isoprene Or substituted butadiene compounds, ethylene, propylene, vinyl chloride, ethylene or substituted ethylene compound such as acrylonitrile, vinyl esters such as vinyl acetate; and the like.

これらの中でも、(メタ)アクリル酸エステル類が好ましいものとして挙げられる。これらの共重合可能なその他のモノマーは、1種のみ用いても2種以上を併用してもよい。   Among these, (meth) acrylic acid esters are preferable. These other copolymerizable monomers may be used alone or in combination of two or more.

これらの共重合可能なその他のモノマーを用いる場合、酸基含有ポリマーを構成するためのモノマー成分中での含有割合は特に制限されないが、モノマー成分100質量%中、5質量%以上が好ましく、10質量%以上がより好ましく、75質量%以下が好ましく、
65質量%以下がより好ましい。
When these other copolymerizable monomers are used, the content ratio in the monomer component for constituting the acid group-containing polymer is not particularly limited, but is preferably 5% by mass or more in 100% by mass of the monomer component. % By mass or more is more preferable, 75% by mass or less is preferable,
65 mass% or less is more preferable.

本発明で好ましい酸基含有ポリマーを具体的に示すと、以下の態様が挙げられる。
・ベンジルマレイミド/(メタ)アクリル酸/エトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート(商品名「A−LEN−10」;新中村化学社製)を共重合したポリマー
・ベンジルマレイミド/(メタ)アクリル酸/エトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート/ジシクロペンタニル(メタ)アクリレートを共重合したポリマー
・ベンジルマレイミド/(メタ)アクリル酸/エトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート/(メタ)アクリロイルモルホリンを共重合したポリマー
・(α−ヒドロキシメチル)アクリル酸メチルダイマー/(メタ)アクリル酸/エトキシ化o−フェニルフェノールアクリレートを共重合したポリマー
・(α−ヒドロキシメチル)アクリル酸メチルダイマー/(メタ)アクリル酸/エトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート/ジシクロペンタニル(メタ)アクリレートを共重合したポリマー
・(α−ヒドロキシメチル)アクリル酸メチルダイマー/(メタ)アクリル酸/エトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート/(メタ)アクリロイルモルホリンを共重合したポリマー
・2−アリルオキシメチルアクリル酸メチル/(メタ)アクリル酸/エトキシ化o−フェニルフェノールアクリレートを共重合したポリマー
・2−アリルオキシメチルアクリル酸メチル/(メタ)アクリル酸/エトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート/ジシクロペンタニル(メタ)アクリレートを共重合したポリマー
・2−アリルオキシメチルアクリル酸メチル/(メタ)アクリル酸/エトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート/(メタ)アクリロイルモルホリンを共重合したポリマー
Specific examples of preferred acid group-containing polymers in the present invention include the following embodiments.
A polymer obtained by copolymerizing benzyl maleimide / (meth) acrylic acid / ethoxylated o-phenylphenol acrylate (trade name “A-LEN-10” manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.). Benzyl maleimide / (meth) acrylic acid / ethoxy O-phenylphenol acrylate / dicyclopentanyl (meth) acrylate copolymerized polymer benzylmaleimide / (meth) acrylic acid / ethoxylated o-phenylphenol acrylate / (meth) acryloylmorpholine copolymerized polymer ( Polymer obtained by copolymerization of [alpha] -hydroxymethyl) methyl acrylate dimer / (meth) acrylic acid / ethoxylated o-phenylphenol acrylate / [[alpha] -hydroxymethyl) methyl acrylate dimer / (meth) acrylic acid / ethoxylated o- Phenylph Copolymers of enol acrylate / dicyclopentanyl (meth) acrylate copolymerized (α-hydroxymethyl) methyl acrylate dimer / (meth) acrylic acid / ethoxylated o-phenylphenol acrylate / (meth) acryloylmorpholine Polymer ・ Methyl 2-allyloxymethyl acrylate / (meth) acrylic acid / ethoxylated o-phenylphenol acrylate copolymerized ・ Methyl 2-allyloxymethyl acrylate / (meth) acrylic acid / ethoxylated o- Polymer obtained by copolymerization of phenylphenol acrylate / dicyclopentanyl (meth) acrylate, methyl 2-allyloxymethyl acrylate / (meth) acrylic acid / ethoxylated o-phenylphenol acrylate / (meth) acryloyl Polymers obtained by copolymerizing morpholine

[酸基含有ポリマー中へラジカル重合性不飽和二重結合を導入する方法]
本発明の感光性ポリマーは、前記酸基に加えて、側鎖にラジカル重合性不飽和二重結合を有している必要がある。二重結合を有する感光性ポリマーを硬化性樹脂組成物のポリマー成分として使用すれば、感光性ポリマー同士がラジカル重合可能となり、あるいは、感光性ポリマーと多官能モノマーとがラジカル重合可能となるので、三次元的に架橋した硬化塗膜を得ることができる。酸基含有ポリマーに二重結合を導入して感光性ポリマーを得るには、例えば、官能基含有モノマー(以下「二重結合を導入するためのモノマー」と称することもある。)をモノマー成分に含めて重合して酸基含有ポリマーを得た後に、酸基含有ポリマー中の当該官能基に、この官能基と反応し得る官能基と二重結合とを有するモノマーを付加させればよい。
[Method of introducing radically polymerizable unsaturated double bond into acid group-containing polymer]
The photosensitive polymer of the present invention needs to have a radical polymerizable unsaturated double bond in the side chain in addition to the acid group. If a photosensitive polymer having a double bond is used as the polymer component of the curable resin composition, the photosensitive polymers can be radically polymerized, or the photosensitive polymer and the polyfunctional monomer can be radically polymerized. A three-dimensionally crosslinked cured coating film can be obtained. In order to obtain a photosensitive polymer by introducing a double bond into an acid group-containing polymer, for example, a functional group-containing monomer (hereinafter sometimes referred to as “monomer for introducing a double bond”) is used as a monomer component. In addition, after obtaining an acid group-containing polymer by polymerization, a monomer having a functional group capable of reacting with the functional group and a double bond may be added to the functional group in the acid group-containing polymer.

二重結合を導入するためのモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸、イタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマー;無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー;(メタ)アクリル酸グリシジル、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o−(またはm−、またはp−)ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基を有するモノマー;2−イソシアナトエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基を有するモノマー;(メタ)アクリル酸2−ビニロキシエトキシエチル等のビニルエーテル基を有するモノマー等が挙げられる。これら二重結合を導入するためのモノマーは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。   Examples of the monomer for introducing a double bond include monomers having a carboxyl group such as (meth) acrylic acid and itaconic acid; monomers having a carboxylic acid anhydride group such as maleic anhydride and itaconic anhydride; ) Monomers having an epoxy group such as glycidyl acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o- (or m-, or p-) vinylbenzyl glycidyl ether; 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate, etc. And a monomer having a vinyl ether group such as 2-vinyloxyethoxyethyl (meth) acrylate. Only one type of monomer for introducing these double bonds may be used, or two or more types may be used.

酸基含有ポリマーに二重結合を付与するための処理は、二重結合を導入するためのモノマーの種類によって異なるが、例えば、酸基含有ポリマーを得る際に、二重結合を導入するためのモノマーとして(メタ)アクリル酸やイタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマーを用いた場合には、(メタ)アクリル酸グリシジル、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o−(またはm−、またはp−)ビニルベンジルグリ
シジルエーテル等のエポキシ基と二重結合とを有する化合物を付加させたり、2−イソシアナトエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基と二重結合を有する化合物を付加させたり、(メタ)アクリル酸2−ビニロキシエトキシエチル等のビニルエーテル基と二重結合とを有する化合物を付加させればよい。二重結合を導入するためのモノマーとして、無水マレイン酸や無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマーを用いた場合には、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基と二重結合とを有する化合物を付加させればよく、二重結合を導入するためのモノマーとして(メタ)アクリル酸グリシジル、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o−(またはm−、またはp−)ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基を有するモノマーを用いた場合には、(メタ)アクリル酸等の酸基と重合性二重結合とを有する化合物を付加させるようにすればよい。
The treatment for imparting a double bond to the acid group-containing polymer differs depending on the type of monomer for introducing the double bond. For example, when obtaining an acid group-containing polymer, the treatment for introducing the double bond is performed. When a monomer having a carboxyl group such as (meth) acrylic acid or itaconic acid is used as the monomer, glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o- (or m-, Or p-) a compound having an epoxy group and a double bond such as vinylbenzyl glycidyl ether, or a compound having an isocyanate group and a double bond such as 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate, A compound having a vinyl ether group and a double bond, such as 2-vinyloxyethoxyethyl (meth) acrylate, is attached. It is sufficient to. When a monomer having a carboxylic anhydride group such as maleic anhydride or itaconic anhydride is used as a monomer for introducing a double bond, a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and a double bond As a monomer for introducing a double bond, glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o- (or m-, or p- When a monomer having an epoxy group such as vinylbenzyl glycidyl ether is used, a compound having an acid group such as (meth) acrylic acid and a polymerizable double bond may be added.

これらの中でも、酸基含有ポリマー中の酸基(後処理で付与した場合も含む)に対し、(メタ)アクリル酸グリシジルを付加する方法が、簡便であり、着色が少ないという利点を有する。なお、この二重結合導入反応によって酸基が消費されるため、消費される酸基の量(二重結合導入量)を勘案して、モノマー成分中の酸基を導入し得るモノマーの使用量を決定する必要がある。感光性ポリマー中の酸基が少な過ぎると、アルカリ現像性が発現しないおそれがあるからである。よって、最終的に得られる感光性ポリマーの酸価は、20〜180mgKOH/g程度が好ましく、30〜150mgKOH/gがより好ましく、30〜130mgKOH/gがさらに好ましい。   Among these, the method of adding glycidyl (meth) acrylate to the acid groups in the acid group-containing polymer (including the case where they are imparted by post-treatment) has the advantage of being simple and less colored. Since acid groups are consumed by this double bond introduction reaction, the amount of monomer that can introduce acid groups in the monomer component in consideration of the amount of acid groups consumed (double bond introduction amount) is used. Need to be determined. This is because if there are too few acid groups in the photosensitive polymer, alkali developability may not be exhibited. Therefore, the acid value of the finally obtained photosensitive polymer is preferably about 20 to 180 mgKOH / g, more preferably 30 to 150 mgKOH / g, and further preferably 30 to 130 mgKOH / g.

(メタ)アクリル酸グリシジルは、酸基含有ポリマー100質量部に対し、5質量部以上反応させることが好ましく、10質量部以上がより好ましく、15質量部以上がさらに好ましく、20質量部以上が特に好ましい。(メタ)アクリル酸グリシジルが5質量部よりも少ないと、得られる感光性ポリマーの側鎖の二重結合量が少なすぎて、露光感度が低下したり、緻密な硬化塗膜が形成できないため、特性が低下するおそれがある。また、(メタ)アクリル酸グリシジルが酸基に付加して生成する水酸基は、アルカリ現像液への溶解性を高める作用を有するが、この水酸基が少なくなることにより、アルカリ現像液への溶解度が不足し、スペーサー形状の製版特性が低下するおそれがある。(メタ)アクリル酸グリシジルの付加量は、酸基含有ポリマー100質量部に対し、170質量部以下が好ましく、150質量部以下がより好ましく、140質量部以下がさらに好ましい。(メタ)アクリル酸グリシジルの付加量が多過ぎると、樹脂組成物の保存安定性が低下したり、有機溶媒への溶解性が低下することがある。   The glycidyl (meth) acrylate is preferably reacted in an amount of 5 parts by mass or more, more preferably 10 parts by mass or more, further preferably 15 parts by mass or more, and particularly preferably 20 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the acid group-containing polymer. preferable. When the amount of glycidyl (meth) acrylate is less than 5 parts by mass, the amount of double bonds in the side chain of the resulting photosensitive polymer is too small, and the exposure sensitivity is lowered, or a dense cured coating film cannot be formed. There is a risk that the characteristics will deteriorate. In addition, the hydroxyl group produced by adding glycidyl (meth) acrylate to the acid group has the effect of increasing the solubility in an alkali developer, but the solubility in the alkali developer is insufficient due to the reduction of the hydroxyl group. In addition, the plate-forming characteristics of the spacer shape may be deteriorated. The addition amount of glycidyl (meth) acrylate is preferably 170 parts by mass or less, more preferably 150 parts by mass or less, and still more preferably 140 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the acid group-containing polymer. If the addition amount of glycidyl (meth) acrylate is too large, the storage stability of the resin composition may be reduced, or the solubility in an organic solvent may be reduced.

[酸基含有ポリマーの重合方法]
本発明では、酸基含有ポリマーの重合に際し、連鎖移動剤を用いてもよい。連鎖移動剤としては、n−ドデシルメルカプタンやβ―メルカプトプロピオン酸のような公知の単官能チオール化合物の他、両末端メルカプト変性ポリシロキサン(信越シリコーン社製;X−22−167B;下式;Rはアルキレン基)といった2官能チオール化合物、側鎖がメルカプト変性された側鎖多官能メルカプト変性ポリシロキサン(信越シリコーン社製;KF2001,KF2004;下式;Rはアルキレン基)である。両末端メルカプト変性ポリシロキサンを用いた場合は、酸基含有ポリマー2分子が、両末端メルカプト変性ポリシロキサンを介して結合したポリマーが得られる。また、側鎖多官能メルカプト変性ポリシロキサンを用いた場合には、側鎖のメルカプト基のところに酸基含有ポリマーが結合した分岐型のポリマーが得られる。これらのメルカプト変性ポリシロキサンを用いることで、得られるポリマーにはポリシロキサン結合が導入されることとなる。これらのメルカプト変性ポリシロキサンの1種または2種以上と、n−ドデシルメルカプタンやβ―メルカプトプロピオン酸のような公知の単官能チオール化合物を組み合わせて用いてもよい。メルカプト変性ポリシロキサンを用いると、弾性回復率がより一層向上する。この理由は、ポリマー中に溶媒に難溶のポリシロキサン部分を導入することで、樹脂組成物中でポリシロ
キサン部分の凝集が起こり、擬似的な微粒子を形成し、この擬似的な微粒子が弾性回復率の向上に寄与しているためと推測される。
[Method of polymerizing acid group-containing polymer]
In the present invention, a chain transfer agent may be used in the polymerization of the acid group-containing polymer. As chain transfer agents, in addition to known monofunctional thiol compounds such as n-dodecyl mercaptan and β-mercaptopropionic acid, both terminal mercapto-modified polysiloxanes (manufactured by Shin-Etsu Silicone; X-22-167B; the following formula; R Is a bifunctional thiol compound such as an alkylene group), and a side-chain polyfunctional mercapto-modified polysiloxane having a side chain mercapto-modified (manufactured by Shin-Etsu Silicone; KF2001, KF2004; the following formula; R is an alkylene group). When both terminal mercapto-modified polysiloxane is used, a polymer in which two molecules of acid group-containing polymer are bonded via both terminal mercapto-modified polysiloxane is obtained. When a side chain polyfunctional mercapto-modified polysiloxane is used, a branched polymer in which an acid group-containing polymer is bonded to a side chain mercapto group is obtained. By using these mercapto-modified polysiloxanes, polysiloxane bonds are introduced into the resulting polymer. One or more of these mercapto-modified polysiloxanes may be used in combination with a known monofunctional thiol compound such as n-dodecyl mercaptan or β-mercaptopropionic acid. When a mercapto-modified polysiloxane is used, the elastic recovery rate is further improved. The reason for this is that by introducing a polysiloxane part that is sparingly soluble in a solvent into the polymer, the polysiloxane part aggregates in the resin composition, forming pseudo fine particles, and these pseudo fine particles are elastically recovered. Presumably because it contributes to the improvement of the rate.

上記連鎖移動剤は、モノマー成分100質量部に対し0.1〜20質量部(0.2〜20質量部がより好ましく、0.3〜20質量部がさらに好ましい)用いることが好ましい。この範囲であれば、重量平均分子量(Mw)が3000〜50000程度の酸基含有ポリマーを得ることができる。Mwが50000を超える場合、最終的に得られる感光性ポリマーが高粘度となりすぎて塗膜を形成しにくくなり、一方、3000未満であると充分な耐熱性を確保しにくくなる傾向がある。   The chain transfer agent is preferably used in an amount of 0.1 to 20 parts by mass (more preferably 0.2 to 20 parts by mass and further preferably 0.3 to 20 parts by mass) with respect to 100 parts by mass of the monomer component. Within this range, an acid group-containing polymer having a weight average molecular weight (Mw) of about 3000 to 50000 can be obtained. When Mw exceeds 50000, the finally obtained photosensitive polymer becomes too viscous to form a coating film, and when it is less than 3000, sufficient heat resistance tends to be difficult to ensure.

重合方法としては、溶液重合法が好ましく、重合温度や重合濃度(重合濃度=[モノマー成分の全質量/(モノマー成分の全質量+溶媒質量)]×100とする)は、使用するモノマー成分の組成や比率、目標とするポリマーの分子量によって異なるが、好ましくは、重合温度40〜150℃、重合濃度5〜60質量%とするのがよく、さらに好ましくは、重合温度60〜130℃、重合濃度10〜50質量%とするのがよい。   As the polymerization method, a solution polymerization method is preferable, and a polymerization temperature and a polymerization concentration (polymerization concentration = [total mass of monomer component / (total mass of monomer component + solvent mass)] × 100) are determined based on the monomer component used. Although it varies depending on the composition and ratio and the molecular weight of the target polymer, the polymerization temperature is preferably 40 to 150 ° C. and the polymerization concentration is 5 to 60% by mass, and more preferably, the polymerization temperature is 60 to 130 ° C. It is good to set it as 10-50 mass%.

前記モノマー成分の重合において溶媒を用いる場合には、通常のラジカル重合反応で使用される溶媒を用いればよい。具体的には、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等のエステル類;メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;クロロホルム;ジメチルスルホキシド;等が挙げられる。これら溶媒は、1種のみを用いても2種以上を併用してもよい。   When a solvent is used in the polymerization of the monomer component, a solvent used in a normal radical polymerization reaction may be used. Specifically, for example, ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone; ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl Esters such as ether acetate and 3-methoxybutyl acetate; Alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol, ethylene glycol monomethyl ether, and propylene glycol monomethyl ether; Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, and ethylbenzene; Chloroform; dimethyl sulfoxide; and the like. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

前記モノマー成分をラジカル重合する際には、必要に応じて、通常用いられるラジカル重合開始剤を添加してもよい。重合開始剤としては特に限定されないが、例えば、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、t−アミルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート等の有機過酸化物;2,2’−
アゾビス(イソブチロニトリル)、1,1’−アゾビス(シクロヘキサンカルボニトリル)、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、ジメチル−2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)等のアゾ化合物;が挙げられる。これら重合開始剤は、1種のみを用いても2種以上を併用してもよい。なお、開始剤の使用量は、用いるモノマー成分の組成や、反応条件、目標とするポリマーの分子量等に応じて適宜設定すればよく、特に限定されないが、ゲル化することなく重量平均分子量が数千〜数万のポリマーを得ることができる点で、全モノマー成分100質量部に対して、0.1質量部〜15質量部、より好ましくは0.5質量部〜10質量部とするのがよい。
When radically polymerizing the monomer component, a commonly used radical polymerization initiator may be added as necessary. Although it does not specifically limit as a polymerization initiator, For example, cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, di-t-butyl peroxide, lauroyl peroxide, benzoyl peroxide, t-butylperoxyisopropyl carbonate, t-amyl Organic peroxides such as peroxy-2-ethylhexanoate and t-butylperoxy-2-ethylhexanoate; 2,2′-
Azobis (isobutyronitrile), 1,1′-azobis (cyclohexanecarbonitrile), 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), dimethyl-2,2′-azobis (2-methylpropio) Azo compounds such as nate). These polymerization initiators may be used alone or in combination of two or more. The amount of the initiator used may be appropriately set according to the composition of the monomer component used, the reaction conditions, the molecular weight of the target polymer, etc., and is not particularly limited, but the weight average molecular weight is several times without gelation. It is 0.1 to 15 parts by mass, more preferably 0.5 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of all monomer components in that 1,000 to tens of thousands of polymers can be obtained. Good.

重合後は、前記したように、二重結合導入反応を行う。二重結合導入反応は公知の方法が採用でき、酸素や他の重合禁止剤および触媒の存在下で、二重結合導入用モノマー(例えば(メタ)アクリル酸グリシジル)を酸基含有ポリマー中の酸基に反応させればよい。これにより、本発明の硬化性樹脂組成物の主成分である感光性ポリマーが得られる。   After the polymerization, a double bond introduction reaction is performed as described above. For the double bond introduction reaction, a known method can be adopted. In the presence of oxygen or other polymerization inhibitor and catalyst, a double bond introduction monomer (for example, glycidyl (meth) acrylate) is added to the acid in the acid group-containing polymer. What is necessary is just to make it react with group. Thereby, the photosensitive polymer which is a main component of the curable resin composition of this invention is obtained.

[硬化性樹脂組成物]
本発明の硬化性樹脂組成物には、多官能モノマーが含まれる。感光性ポリマーと多官能モノマーとで硬化性樹脂を構成する。多官能モノマーの仕様により、光重合の際やポストベークの際に、多官能モノマー同士が、あるいは多官能モノマーと感光性ポリマー中の二重結合とが反応して、三次元架橋された硬化塗膜を形成する。多官能モノマーの具体例としては、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルベンゼンホスホネート等の多官能芳香族ビニル系モノマー;(ジ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレート類等が挙げられる。中でも、官能基数の多い(ジ)ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリ(メタ)アクリレート等が好ましい。また、これらの多官能(メタ)アクリレートのエトキシ化変性物(例:多官能(メタ)アクリレートの原料であるペンタエリスリトール等にエチレンオキサイドを付加させて鎖延長し、得られた多官能アルコールを(メタ)アクリレート化したもの:エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、エトキシ化ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、エトキシ化ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート等)や、ε−カプロラクトン変性物(例:多官能(メタ)アクリレートの原料であるペンタエリスリトール等にε−カプロラクトンを付加させて鎖延長し、得られた多官能アルコールを(メタ)アクリレート化したもの:ε−カプロラクトン変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ε−カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ε−カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ε−カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、ε−カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、ε−カプロラクトン変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート)も好ましく使用できる。これら多官能モノマーは、1種のみを用いても2種以上を併用しても良い。
[Curable resin composition]
The curable resin composition of the present invention contains a polyfunctional monomer. A curable resin is composed of the photosensitive polymer and the polyfunctional monomer. Depending on the specifications of the polyfunctional monomer, during photopolymerization or post-baking, the polyfunctional monomers react with each other, or the polyfunctional monomer and the double bond in the photosensitive polymer react to form a three-dimensionally crosslinked cured coating. A film is formed. Specific examples of the polyfunctional monomer include polyfunctional aromatic vinyl monomers such as divinylbenzene, diallyl phthalate, and diallylbenzene phosphonate; (di) ethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane Di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol di (meth) acrylate, dipenta Erythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol And polyfunctional (meth) acrylates such as trihexa (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, and tris (hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate. . Among them, (di) pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, tripentaerythritol hepta (meta) having a large number of functional groups ) Acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tris (hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate, and the like are preferable. Further, these polyfunctional (meth) acrylates are modified with ethoxylation (eg, pentaerythritol or the like, which is a raw material of polyfunctional (meth) acrylate) to add ethylene oxide to extend the chain, and the resulting polyfunctional alcohol ( Meth) acrylated: ethoxylated pentaerythritol tetra (meth) acrylate, ethoxylated dipentaerythritol penta (meth) acrylate, ethoxylated dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, ethoxylated tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, Ethoxylated tripentaerythritol octa (meth) acrylate, ethoxylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, etc.) and ε-caprolactone modified products (eg, pentae which is a raw material of polyfunctional (meth) acrylate) Ε-caprolactone is added to sitolol to extend the chain, and the resulting polyfunctional alcohol is (meth) acrylated: ε-caprolactone modified pentaerythritol tetra (meth) acrylate, ε-caprolactone modified dipentaerythritol penta ( (Meth) acrylate, ε-caprolactone-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, ε-caprolactone-modified tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, ε-caprolactone-modified tripentaerythritol octa (meth) acrylate, ε-caprolactone-modified trimethylolpropane Tri (meth) acrylate) can also be preferably used. These polyfunctional monomers may be used alone or in combination of two or more.

これらの多官能モノマーは、感光性ポリマーとの合計質量を100質量%としたときに、30質量%以上が好ましく、40質量%以上がより好ましく、50質量%以上がさらに好ましく、95質量%以下が好ましく、90質量%以下がより好ましく、85質量%以下がさらに好ましい。多官能モノマー量が上記範囲外の場合、充分な架橋効果が得られず、弾性回復力も満足に得られない可能性がある。   These polyfunctional monomers are preferably 30% by mass or more, more preferably 40% by mass or more, further preferably 50% by mass or more, and 95% by mass or less when the total mass with the photosensitive polymer is 100% by mass. Is preferable, 90 mass% or less is more preferable, and 85 mass% or less is further more preferable. When the amount of the polyfunctional monomer is out of the above range, there is a possibility that a sufficient crosslinking effect cannot be obtained and the elastic recovery force cannot be obtained satisfactorily.

本発明の硬化性樹脂組成物には、光重合開始剤が含まれる。光重合開始剤としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル等のベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン等のアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等のチオキサントン類;アセトフェノンジメチ
ルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−プロパン−1−オンや2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1;アシルホスフィンオキサイド類およびキサントン類等が挙げられる。
The curable resin composition of the present invention contains a photopolymerization initiator. Examples of the photopolymerization initiator include benzoin such as benzoin, benzoin methyl ether, and benzoin ethyl ether and alkyl ethers thereof; acetophenones such as acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone; 2 -Anthraquinones such as methylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone; thioxanthones such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone; acetophenone dimethyl Ketals such as ketal and benzyldimethyl ketal; benzophenones such as benzophenone; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propane- - one or 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) - butanone-1; acylphosphine oxides and xanthones and the like.

これらの光重合開始剤は、感光性ポリマー、多官能モノマーおよび、必要に応じて添加されるラジカル重合性オリゴマー(後述する)の合計100質量部に対して、好ましくは0.1質量部〜50質量部、より好ましくは0.5質量部〜30質量部である。   These photopolymerization initiators are preferably 0.1 parts by mass to 50 parts with respect to 100 parts by mass in total of the photosensitive polymer, the polyfunctional monomer, and a radical polymerizable oligomer (described later) added as necessary. Parts by mass, more preferably 0.5 to 30 parts by mass.

なお、光重合開始剤に加えて、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、ラウリルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−アミルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート等の有機過酸化物;2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)、1,1’−アゾビス(シクロヘキサンカルボニトリル)、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、ジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)等のアゾ化合物等の熱重合開始剤を加えても構わない。   In addition to the photopolymerization initiator, cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene peroxide, di-t-butyl peroxide, lauryl peroxide, benzoyl peroxide, t-butylperoxyisopropyl carbonate, t-butylperoxy- Organic peroxides such as 2-ethylhexanoate and t-amylperoxy-2-ethylhexanoate; 2,2′-azobis (isobutyronitrile), 1,1′-azobis (cyclohexanecarbonitrile) Thermal polymerization initiators such as azo compounds such as 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and dimethyl 2,2′-azobis (2-methylpropionate) may be added.

また、光重合開始剤に加えて光重合開始助剤を組み合わせて用いることもでき、光重合開始助剤を複数の組み合わせで用いることもできる。光重合開始助剤の具体例としては、1,3,5−トリス(3−メルカプトプロピオニルオキシエチル)−イソシアヌレート、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−イソシアヌレート(昭和電工社製、カレンズMT(登録商標)NR1)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート等の3官能チオール化合物;ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工社製、カレンズMT(登録商標)PEI)等の4官能チオール化合物;ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−プロピオネート)等の6官能チオール化合物等の多官能チオールが挙げられる。   In addition to the photopolymerization initiator, a photopolymerization initiation assistant can be used in combination, and the photopolymerization initiation assistant can be used in a plurality of combinations. Specific examples of the photopolymerization initiation assistant include 1,3,5-tris (3-mercaptopropionyloxyethyl) -isocyanurate, 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -isocyanurate (Showa Manufactured by Denko Co., Ltd., Karenz MT (registered trademark) NR1), trimethylolpropane tris (trifunctional thiol compounds such as 3-mercaptopropionate; pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercapto) Butyrate) (made by Showa Denko KK, Karenz MT (registered trademark) PEI) and the like; and polyfunctional thiols such as hexafunctional thiol compounds such as dipentaerythritol hexakis (3-propionate).

本発明の硬化性樹脂組成物には、不飽和ポリエステル、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート等のラジカル重合性オリゴマーを添加してもよく、また、エポキシ樹脂等の硬化性樹脂を、必要により硬化剤と共に添加してもよい。   Radical polymerizable oligomers such as unsaturated polyester, epoxy acrylate, urethane acrylate, and polyester acrylate may be added to the curable resin composition of the present invention, and curable resins such as epoxy resins are cured as necessary. You may add with an agent.

本発明の硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、希釈剤としての溶媒を含有するものであってもよい。溶媒としては、感光性ポリマー、多官能モノマー、必要に応じて用いられるラジカル重合性オリゴマー、および光重合開始剤の各成分を均一に溶解し、かつ各成分と反応しないものであれば、特に制限はない。具体的には、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等のエステル類;メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;クロロホルム、ジメチルスルホキシド;等が挙げられる。なお、溶媒の含有量は、樹脂組成物を使用する際の最適粘度に応じて適宜設定すればよい。   The curable resin composition of this invention may contain the solvent as a diluent as needed. The solvent is not particularly limited as long as it can uniformly dissolve each component of the photosensitive polymer, the polyfunctional monomer, the radically polymerizable oligomer used as necessary, and the photopolymerization initiator, and does not react with each component. There is no. Specifically, for example, ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone; ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, 3- Esters such as methoxybutyl acetate; Alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol, ethylene glycol monomethyl ether and propylene glycol monomethyl ether; Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and ethylbenzene; Chloroform and dimethyl sulfoxide; Etc. In addition, what is necessary is just to set content of a solvent suitably according to the optimal viscosity at the time of using a resin composition.

本発明の硬化性樹脂組成物には、紫外線吸収剤を配合してもよい。スペーサーを作製する際に、上径に比べて下径が大きくなる傾向があるが、これは、ガラス基板に達した光が反射して、スペーサー底部の塗膜が上からの入射光とガラス基板からの反射光の両方を受
光して光硬化が進みすぎるためであることがわかった。そして、組成物中に紫外線吸収剤が含有されていると、余剰の光エネルギーを吸収するため、スペーサーの下径が大きくなるのを抑制することができる。
You may mix | blend a ultraviolet absorber with the curable resin composition of this invention. When manufacturing the spacer, the lower diameter tends to be larger than the upper diameter. This is because the light reaching the glass substrate is reflected, and the coating film on the bottom of the spacer reflects the incident light from above and the glass substrate. It was found that this was because both the reflected light from the light received and the photocuring progressed too much. And when the ultraviolet absorber contains in a composition, since excess light energy is absorbed, it can suppress that the lower diameter of a spacer becomes large.

紫外線吸収剤としては、波長280〜380nmに最大吸収波長(ピーク)を有するものが好ましい。光重合開始剤のピークとは重ならないためである。具体的には、下記化学式で示される化合物が、最大吸収波長が光重合開始剤のピークと重ならず、かつ、入手が容易であり、好ましい。   As the ultraviolet absorber, those having a maximum absorption wavelength (peak) at a wavelength of 280 to 380 nm are preferable. This is because it does not overlap with the peak of the photopolymerization initiator. Specifically, a compound represented by the following chemical formula is preferable because the maximum absorption wavelength does not overlap with the peak of the photopolymerization initiator and is easily available.

上記の化合物のうち、チヌビン(登録商標)シリーズとCHIMASSORB(登録商標)は、BASF・ジャパン社から、SEESORB(登録商標)はシプロ化成社から、それぞれ入手可能である。   Among the above compounds, Tinuvin (registered trademark) series and CHIMASSORB (registered trademark) can be obtained from BASF Japan, and SEESORB (registered trademark) from Cypro Kasei.

紫外線吸収剤の量は、樹脂組成物の固形分100質量%中、0.03〜1.0質量%とすることが好ましい。この範囲であれば、実用上問題ないレベルの弾性回復率を有し、かつ下径の小さなスペーサーを得ることができる。紫外線吸収剤を入れ過ぎると、光重合開始剤の量を増やしても、スペーサーの上側は硬化するが、下側が硬化不足となるおそれがあり、好ましくない。また、紫外線吸収剤が0.03質量%より少ないと、余剰の光を吸収することができず、ガラス基板に対する反射光の抑制が不充分となって、スペーサーの下径を小さくできないおそれがある。紫外線吸収剤は、0.05質量%以上がより好ましく、0.1質量%以上がさらに好ましく、1.0質量%以下がより好ましく、0.75質量%以下がさらに好ましく、0.6質量%以下が特に好ましい。   The amount of the ultraviolet absorber is preferably 0.03 to 1.0% by mass in 100% by mass of the solid content of the resin composition. Within this range, it is possible to obtain a spacer having a level of elastic recovery with no problem in practical use and a small lower diameter. If the ultraviolet absorber is added too much, the upper side of the spacer is cured even if the amount of the photopolymerization initiator is increased, but the lower side may be insufficiently cured, which is not preferable. On the other hand, if the ultraviolet absorber is less than 0.03% by mass, it is not possible to absorb excess light, and the suppression of reflected light to the glass substrate becomes insufficient, and the lower diameter of the spacer may not be reduced. . The ultraviolet absorber is more preferably 0.05% by mass or more, further preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1.0% by mass or less, further preferably 0.75% by mass or less, and 0.6% by mass. The following are particularly preferred:

本発明の硬化性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で、さらに、水酸化アルミニウム、タルク、クレー、硫酸バリウム等の充填材、染料、顔料、消泡剤、カップリング剤、レベリング剤、増感剤、離型剤、滑剤、可塑剤、酸化防止剤、難燃剤、重合抑制剤、増粘剤、分散剤等の公知の添加剤を含有することができる。   The curable resin composition of the present invention is within the range that does not impair the effects of the present invention, and further, fillers such as aluminum hydroxide, talc, clay, barium sulfate, dyes, pigments, antifoaming agents, coupling agents, leveling It may contain known additives such as an agent, a sensitizer, a release agent, a lubricant, a plasticizer, an antioxidant, a flame retardant, a polymerization inhibitor, a thickener, and a dispersant.

本発明の硬化性樹脂組成物は、必須成分である感光性ポリマー、多官能モノマー、光重合開始剤の他、必要に応じて用いられるラジカル重合性オリゴマー、溶媒、紫外線吸収剤やその他の添加物を、均一に混合することによって調製することができる。   The curable resin composition of the present invention is an essential component of a photosensitive polymer, a polyfunctional monomer, a photopolymerization initiator, a radical polymerizable oligomer, a solvent, an ultraviolet absorber and other additives used as necessary. Can be prepared by mixing uniformly.

本発明には、本発明の硬化性樹脂組成物を硬化させて得られる柱状スペーサーが含まれる。柱状スペーサーの形成方法は、特に限定されるものではないが、例えば、本発明の硬化性樹脂組成物を、ガラスや透明プラスチックフィルム等の基板に塗布、乾燥し、塗膜を
形成し、次いで、フォトリソグラフィーにより形成することができる。
The present invention includes a columnar spacer obtained by curing the curable resin composition of the present invention. The method for forming the columnar spacer is not particularly limited. For example, the curable resin composition of the present invention is applied to a substrate such as glass or a transparent plastic film, dried, and then a coating film is formed. It can be formed by photolithography.

現像に際しては、アルカリ水溶液を用いることが好ましい。環境への負荷が少なく高感度の現像を行うことができる。アルカリ成分としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム等が好ましい。アルカリの濃度としては、0.01〜5質量%が好ましく、0.02〜3質量%がさらに好ましく、0.03〜1質量%が最も好ましい。アルカリ濃度が上記範囲より低いと前記硬化性樹脂の溶解性が不足するおそれがあり、逆に高いと溶解力が高すぎて現像性が劣る場合がある。さらに、アルカリ水溶液には、界面活性剤を添加してもよい。   In development, an aqueous alkali solution is preferably used. Highly sensitive development can be performed with little impact on the environment. As the alkali component, potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate and the like are preferable. The alkali concentration is preferably 0.01 to 5% by mass, more preferably 0.02 to 3% by mass, and most preferably 0.03 to 1% by mass. If the alkali concentration is lower than the above range, the solubility of the curable resin may be insufficient. Conversely, if the alkali concentration is high, the dissolving power may be too high and developability may be poor. Further, a surfactant may be added to the alkaline aqueous solution.

フォトリソグラフィーでは、例えば、塗膜から150μm程度の距離にフォトマスクを配置して2.0kWの超高圧水銀ランプを装着したUVアライナ(TME−150RNS、TOPCON社製)によって50mJ/cm2の強度(365nm照度換算)で紫外線
を照射することにより、硬化性樹脂組成物の塗膜を光硬化させる。紫外線照射後、塗布膜に0.05質量%の水酸化カリウム水溶液をスピン現像機にて40秒間散布し、未露光部を溶解、除去し、残った露光部を純水で10秒間水洗して現像することにより、柱状スペーサーを得ることできる。その後、ポストベークを行ってもよい。フォトマスクまでの距離、UV強度、現像条件等は、適宜変更が可能である。
In photolithography, for example, a UV aligner (TME-150RNS, manufactured by TOPCON) having a photomask disposed at a distance of about 150 μm from the coating film and equipped with a 2.0 kW ultrahigh pressure mercury lamp has an intensity of 50 mJ / cm 2 ( The coating film of the curable resin composition is photocured by irradiating ultraviolet rays at 365 nm illuminance. After UV irradiation, a 0.05% by weight potassium hydroxide aqueous solution is sprayed on the coating film with a spin developing machine for 40 seconds to dissolve and remove the unexposed area, and the remaining exposed area is washed with pure water for 10 seconds. A columnar spacer can be obtained by developing. Then, you may post-bake. The distance to the photomask, UV intensity, development conditions, and the like can be changed as appropriate.

柱状スペーサーの形状としては、例えば、円柱状、角柱状、円錐台形状、角錐台形状等を挙げることができる。また、本発明の柱状スペーサーは、後述する圧縮特性の弾性回復率が、60%以上であることが好ましく、65%以上であることがより好ましく、75%以上であることがより好ましい。弾性回復率が上記のような柱状スペーサーを用いることによって、液晶セルの製造上の問題を解決することができる。   Examples of the shape of the columnar spacer include a columnar shape, a prismatic shape, a truncated cone shape, and a truncated pyramid shape. In addition, the columnar spacer of the present invention preferably has an elastic recovery rate of compression characteristics described later of 60% or more, more preferably 65% or more, and more preferably 75% or more. By using the columnar spacer having an elastic recovery rate as described above, the problem in manufacturing the liquid crystal cell can be solved.

本発明には、本発明の柱状スペーサーを用いた液晶ディスプレイも包含される。液晶ディスプレイの構成や使用材料については、特に限定されず、公知の構成や材料がいずれも採用可能である。   The present invention includes a liquid crystal display using the columnar spacer of the present invention. The configuration and materials used for the liquid crystal display are not particularly limited, and any known configuration or material can be used.

以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお、実施例および比較例の評価は次のようにして行った。また、以下では、部は質量部を、%は質量%を意味する。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. The examples and comparative examples were evaluated as follows. Moreover, below, a part means a mass part and% means the mass%.

[評価方法]
(重量平均分子量:Mw)
GPC(HLC−8220GPC、東ソー社製)にてTHFを溶離液とし、カラムにTSKgel SuperHZM−N(東ソー社製)を用いて測定し、標準ポリスチレン換算にて算出した。
[Evaluation method]
(Weight average molecular weight: Mw)
GPC (HLC-8220GPC, manufactured by Tosoh Corporation) was used as an eluent, and TSKgel SuperHZM-N (manufactured by Tosoh Corporation) was used as a column for the measurement.

(固形分)
ポリマー溶液をアルミカップに約0.3gはかり取り、アセトン約1gを加えて溶解させた後、常温で自然乾燥させた。その後、熱風乾燥機(商品名:PHH−101、エスペック社製)を用い、140℃で3時間乾燥した後、デシケータ内で放冷し、質量を測定した。その質量減少量から、ポリマー溶液の固形分を計算した。
(Solid content)
About 0.3 g of the polymer solution was weighed in an aluminum cup, dissolved by adding about 1 g of acetone, and then naturally dried at room temperature. Thereafter, using a hot air dryer (trade name: PHH-101, manufactured by Espec Corp.), the mixture was dried at 140 ° C. for 3 hours, then allowed to cool in a desiccator, and the mass was measured. From the mass loss, the solid content of the polymer solution was calculated.

(酸価)
ポリマー溶液を1.5g程度精秤し、アセトン90部と水10部の混合溶媒に溶解させ、0.1NのKOH水溶液で滴定した。滴定は、自動滴定装置(商品名:COM−555、平沼産業社製)を用いて行い、固形分濃度から、ポリマー1g当たりの酸価を求めた(mgKOH/g)。
(Acid value)
About 1.5 g of the polymer solution was precisely weighed, dissolved in a mixed solvent of 90 parts of acetone and 10 parts of water, and titrated with a 0.1N aqueous KOH solution. Titration was performed using an automatic titrator (trade name: COM-555, manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.), and the acid value per 1 g of polymer was determined from the solid content concentration (mgKOH / g).

[実施例1−1]
モノマー滴下槽に、ベンジルマレイミド(BzMI)35部、アクリル酸(AA)114部、アクリロイルモルホリン(ACMO;興人社製)42部、エトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート(商品名「A−LEN−10」;新中村化学社製)42部、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート(「パーブチル(登録商標)O」、日油社製;(PBO))4.7部、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)56部およびプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)84部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−ドデシルメルカプタン(n−DM)2.8部、両末端メルカプト変性ポリシロキサン(商品名「X−22−167B」;信越シリコーン社製)12部、PGMEA19部およびPGME29部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 1-1]
In a monomer dropping tank, 35 parts of benzylmaleimide (BzMI), 114 parts of acrylic acid (AA), 42 parts of acryloylmorpholine (ACMO; manufactured by Kojin Co., Ltd.), ethoxylated o-phenylphenol acrylate (trade name “A-LEN-10” "Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) 42 parts, t-butyl peroxy-2-ethylhexanoate (" Perbutyl (registered trademark) O ", NOF Corporation; (PBO)) 4.7 parts, propylene glycol methyl A solution obtained by thoroughly stirring and mixing 56 parts of ether acetate (PGMEA) and 84 parts of propylene glycol monomethyl ether (PGME) was added. In a chain transfer agent dropping tank, n-dodecyl mercaptan (n-DM) 2.8 parts, both terminal mercapto-modified polysiloxane (trade name “X-22-167B”; manufactured by Shin-Etsu Silicone) 12 parts, PGMEA 19 parts Then, 29 parts of PGME and well mixed with stirring were added.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA142部とPGME214部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, and prepare 142 parts of PGMEA and 214 parts of PGMEA in this reaction tank, replace with nitrogen, and then heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA15部、PGME22部、メタクリル酸グリシジル(GMA)161部、重合禁止剤として6−t−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」;東京化成工業社製)0.6部、触媒としてジメチルベンジルアミン(DMBA)1.2部を仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が39%の感光性ポリマー溶液No.1を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、重量平均分子量(Mw)は14,500、酸価は76mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, 15 parts of PGMEA, 22 parts of PGME, 161 parts of glycidyl methacrylate (GMA), 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol” as a polymerization inhibitor) ”; Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) 0.6 parts, 1.2 parts of dimethylbenzylamine (DMBA) as a catalyst were charged, and nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) was bubbled for 1 hour at 110 ° C. Then, the mixture was reacted at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 3 whose solid content is 39%. 1 was obtained. The polymer had a double bond equivalent of 350 g / equivalent, a weight average molecular weight (Mw) of 14,500, and an acid value of 76 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[実施例1−2]
[モノマーの合成]
撹拌装置、温度計、還流冷却器、窒素導入管、および滴下ロートを備えた容器に、溶媒としてテトラヒドロフラン200部、p-ヒドロキシジフェニル106部、触媒としてジ
ブチルスズジラウレート1部、重合禁止剤として2,6−ジブチルー4−メチルフェノール0.1部を仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、40℃で滴下ロートから2−イソシアネートエチルアクリレート(商品名「カレンズAOI(登録商標)」、昭和電工社製)88部を1時間かけて滴下し、その後60℃で2時間反応させた。その後、合成されたビフェニル基含有モノマーである前出の化合物(A)を貧溶媒であるヘキサンを用いて析出させることにより化合物(A)を得た。
[Example 1-2]
[Monomer synthesis]
In a vessel equipped with a stirrer, thermometer, reflux condenser, nitrogen inlet tube, and dropping funnel, 200 parts of tetrahydrofuran as a solvent, 106 parts of p-hydroxydiphenyl, 1 part of dibutyltin dilaurate as a catalyst, 2,6 as a polymerization inhibitor -While charging 0.1 part of dibutyl-4-methylphenol and bubbling a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume), from a dropping funnel at 40 ° C, 2-isocyanatoethyl acrylate (trade name "Karenz AOI (registered trademark)" ) ", Manufactured by Showa Denko KK), 88 parts was added dropwise over 1 hour, and then reacted at 60 ° C for 2 hours. Then, the compound (A) was obtained by precipitating the compound (A), which is a synthesized biphenyl group-containing monomer, using hexane, which is a poor solvent.

[重合体の合成]
モノマー滴下槽に、BzMI35部、AA114部、上記化合物(A)84部、PBO4.7部、PGMEA98部およびPGME42部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.5部、PGMEA43部およびPGME18部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Synthesis of polymer]
In a monomer dropping tank, 35 parts of BzMI, 114 parts of AA, 84 parts of the above compound (A), 4.7 parts of PBO, 98 parts of PGMEA and 42 parts of PGME were mixed well. Further, a mixture obtained by thoroughly stirring and mixing 3.5 parts of n-DM, 43 parts of PGMEA and 18 parts of PGME was put into a chain transfer agent dropping tank.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA230部とPGME128部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を
90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。
Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 230 parts of PGMEA and 128 parts of PGMEA in this reaction tank, replace with nitrogen, and then heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA35部、PGME15部、GMA161部、トパノール0.6部、DMBA1.2部を仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が37%の感光性ポリマー溶液No.2を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは14,000、酸価は84mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, 35 parts of PGMEA, 15 parts of PGME, 161 parts of GMA, 0.6 part of topanol and 1.2 parts of DMBA were charged into the reaction vessel, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) was added. While bubbling, the reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 37 whose solid content is 37%. 2 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 14,000, and the acid value was 84 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[実施例1−3]
モノマー滴下槽に、BzMI38部、AA124部、A−LEN−10を91部、PBO5.1部、PGMEA106部およびPGME46部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.8部、PGMEA47部およびPGME20部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 1-3]
In a monomer dropping tank, 38 parts of BzMI, 124 parts of AA, 91 parts of A-LEN-10, 5.1 parts of PBO, 106 parts of PGMEA, and 46 parts of PGME were mixed well. A chain transfer agent dropping tank was charged with 3.8 parts of n-DM, 47 parts of PGMEA, and 20 parts of PGME with sufficient stirring and mixing.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA414部とPGME177部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 414 parts of PGMEA and 177 parts of PGMEA in this reaction tank, and after replacing with nitrogen, heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA38部、PGME16部、GMA175部、トパノール0.6部、DMBA1.3部を仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が32%の感光性ポリマー溶液No.3を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは15,000、酸価は84mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, the reaction vessel was charged with 38 parts of PGMEA, 16 parts of PGME, 175 parts of GMA, 0.6 part of topanol and 1.3 parts of DMBA, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume). While bubbling, the reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 32 with a solid content of 32%. 3 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 15,000, and the acid value was 84 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[実施例1−4]
モノマー滴下槽に、BzMI35部、AA114部、o−フェニルフェノールグリシジルエーテルアクリレート(商品名「NKエステル401P」;401P;新中村化学社製)84部、PBO4.7部、PGMEA98部およびPGME42部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.5部、PGMEA43部およびPGME18部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 1-4]
In the monomer dropping tank, 35 parts of BzMI, 114 parts of AA, o-phenylphenol glycidyl ether acrylate (trade name “NK ester 401P”; 401P; manufactured by Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.) 84 parts, 4.7 parts of PBO, 98 parts of PGMEA and 42 parts of PGME What was stirred and mixed was added. Further, a mixture obtained by thoroughly stirring and mixing 3.5 parts of n-DM, 43 parts of PGMEA and 18 parts of PGME was put into a chain transfer agent dropping tank.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA230部とPGME128部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 230 parts of PGMEA and 128 parts of PGMEA in this reaction tank, replace with nitrogen, and then heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA35部、PGME15部、GMA161部、トパノール0.6部、DMBA1.2部を仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が39%の感光性ポリマー溶液No.4を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは13,500、酸価は80mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, 35 parts of PGMEA, 15 parts of PGME, 161 parts of GMA, 0.6 part of topanol and 1.2 parts of DMBA were charged into the reaction vessel, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) was added. While bubbling, the reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 3 whose solid content is 39%. 4 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 13,500, and the acid value was 80 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[実施例1−5]
モノマー滴下槽に、BzMI20部、AA39部、A−LEN−10を75部、PBO2.7部、PGMEA56部およびPGME24部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM1.3部、PGMEA34部およびPGME15部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 1-5]
A monomer dropping tank was charged with 20 parts of BzMI, 39 parts of AA, 75 parts of A-LEN-10, 2.7 parts of PBO, 56 parts of PGMEA, and 24 parts of PGME. A chain transfer agent dripping tank was charged with 1.3 parts of n-DM, 34 parts of PGMEA and 15 parts of PGMEA with sufficient stirring and mixing.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA128部とPGME55部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 128 parts of PGMEA and 55 parts of PGMEA in this reaction tank, replace with nitrogen, and then heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA8部、PGME2部、GMA39部、トパノール0.3部、DMBA0.5部を仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が33%の感光性ポリマー溶液No.5を得た。ポリマーの二重結合当量は630g/当量、Mwは10,200、酸価は98mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a reaction vessel was charged with 8 parts of PGMEA, 2 parts of PGME, 39 parts of GMA, 0.3 part of topanol and 0.5 part of DMBA, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume). While bubbling, the reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 3 whose solid content is 33%. 5 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 630 g / equivalent, Mw was 10,200, and the acid value was 98 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[実施例1−6]
モノマー滴下槽に、BzMIを18部、AA98部、A−LEN−10を92部、PBO4部、PGMEA28部およびPGME12部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3部、PGMEA37部およびPGME16部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 1-6]
To the monomer dropping tank, 18 parts of BzMI, 98 parts of AA, 92 parts of A-LEN-10, 4 parts of PBO, 28 parts of PGMEA, and 12 parts of PGME were mixed well. A chain transfer agent dripping tank was charged with 3 parts of n-DM, 37 parts of PGMEA and 16 parts of PGMEA well stirred and mixed.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA262部とPGME112部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 262 parts of PGMEA and 112 parts of PGMEA in this reaction tank, replace with nitrogen, and then heat in an oil bath with stirring until the temperature of the reaction tank reaches 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA30部、PGME13部、GMA138部、トパノール0.5部、DMBAを1部仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が40%の感光性ポリマー溶液No.6を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは14,000、酸価は80mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, 30 parts of PGMEA, 13 parts of PGME, 138 parts of GMA, 0.5 part of topanol and 1 part of DMBA were charged into the reaction vessel, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) was bubbled. The reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 40 whose solid content is 40%. 6 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 14,000, and the acid value was 80 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[実施例1−7]
モノマー滴下槽に、AA100部、A−LEN−10を104部、PBO4.1部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.1部、PGMEA38部およびPGME16部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 1-7]
A monomer dropping tank was charged with 100 parts of AA, 104 parts of A-LEN-10, and 4.1 parts of PBO which were well stirred and mixed. A chain transfer agent dropping tank was charged with 3.1 parts of n-DM, 38 parts of PGMEA, and 16 parts of PGMEA well mixed.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA296部とPGME127部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を
90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。
Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 296 parts of PGMEA and 127 parts of PGMEA in this reaction tank, and after purging with nitrogen, heat in an oil bath with stirring until the temperature of the reaction tank reaches 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA31部、PGME13部、GMA141部、トパノール0.5部、DMBAを1部仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が39%の感光性ポリマー溶液No.7を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは14,500、酸価は81mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, 31 parts of PGMEA, 13 parts of PGME, 141 parts of GMA, 0.5 part of topanol and 1 part of DMBA were charged into the reaction vessel, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) was bubbled. The reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 3 whose solid content is 39%. 7 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 14,500, and the acid value was 81 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[実施例1−8]
モノマー滴下槽に、BzMIを30部、AA98部、シクロヘキシルアクリレート(CHA)58部、A−LEN−10を20部、PBO4部、PGMEA84部およびPGME36部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3部、PGMEA37部およびPGME16部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 1-8]
A monomer dropping tank was charged with 30 parts of BzMI, 98 parts of AA, 58 parts of cyclohexyl acrylate (CHA), 20 parts of A-LEN-10, 4 parts of PBO, 84 parts of PGMEA and 36 parts of PGME. A chain transfer agent dripping tank was charged with 3 parts of n-DM, 37 parts of PGMEA and 16 parts of PGMEA well stirred and mixed.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA206部とPGME88部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 206 parts of PGMEA and 88 parts of PGME in this reaction tank, replace with nitrogen, and then heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA30部、PGME13部、GMA138部、トパノール0.5部、DMBAを1部仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が40%の感光性ポリマー溶液No.8を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは13,000、酸価は80mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, 30 parts of PGMEA, 13 parts of PGME, 138 parts of GMA, 0.5 part of topanol and 1 part of DMBA were charged into the reaction vessel, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) was bubbled. The reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 40 whose solid content is 40%. 8 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 13,000, and the acid value was 80 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[実施例1−9]
モノマー滴下槽に、BzMIを30部、AA58部、A−LEN−10を187部、PBO5.5部、PGMEA84部およびPGME36部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM4.1部、PGMEA50部およびPGME22部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 1-9]
A monomer dropping tank was charged with 30 parts of BzMI, 58 parts of AA, 187 parts of A-LEN-10, 5.5 parts of PBO, 84 parts of PGMEA, and 36 parts of PGME. A chain transfer agent dropping tank was charged with 4.1 parts of n-DM, 50 parts of PGMEA, and 22 parts of PGME with sufficient stirring and mixing.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA155部とPGME66部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 155 parts of PGMEA and 66 parts of PGMEA in this reaction tank, replace with nitrogen, and then heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA63部、PGME27部、GMA58部、トパノール0.5部、DMBAを1部仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が41%の感光性ポリマー溶液No.9を得た。ポリマーの二重結合当量は820g/当量、Mwは14,000、酸価は83mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, 63 parts of PGMEA, 27 parts of PGME, 58 parts of GMA, 0.5 part of topanol and 1 part of DMBA were charged into the reaction vessel, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) was bubbled. The reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 41 whose solid content is 41%. 9 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 820 g / equivalent, Mw was 14,000, and the acid value was 83 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[実施例1−10]
モノマー滴下槽に、BzMIを30部、AA98部、CHA62部、A−LEN−10を15部、PBO4.1部、PGMEA84部およびPGME36部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.1部、PGMEA38部およびPGME16部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 1-10]
A monomer dropping tank was charged with 30 parts of BzMI, 98 parts of AA, 62 parts of CHA, 15 parts of A-LEN-10, 4.1 parts of PBO, 84 parts of PGMEA and 36 parts of PGME. A chain transfer agent dropping tank was charged with 3.1 parts of n-DM, 38 parts of PGMEA, and 16 parts of PGMEA well mixed.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA214部とPGME92部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, and in this reaction tank, charge 214 parts of PGMEA and 92 parts of PGME, purge with nitrogen, and then heat in an oil bath with stirring until the temperature of the reaction tank reaches 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA31部、PGME13部、GMA142部、トパノール0.5部、DMBAを1部仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が39%の感光性ポリマー溶液No.10を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは15,000、酸価は63mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, 31 parts of PGMEA, 13 parts of PGME, 142 parts of GMA, 0.5 part of topanol and 1 part of DMBA were charged into the reaction vessel, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) was bubbled. The reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 3 whose solid content is 39%. 10 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 15,000, and the acid value was 63 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[実施例1−11]
モノマー滴下槽に、BzMIを40部、AA93部、A−LEN−10を133部、PBO5.3部、PGMEA112部およびPGME48部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM4部、PGMEA49部およびPGME21部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 1-11]
Into the monomer dropping tank, 40 parts of BzMI, 93 parts of AA, 133 parts of A-LEN-10, 5.3 parts of PBO, 112 parts of PGMEA and 48 parts of PGME were thoroughly mixed. A chain transfer agent dripping tank was charged with 4 parts of n-DM, 49 parts of PGMEA, and 21 parts of PGMEA with sufficient stirring and mixing.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA274部とPGME118部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, and in this reaction tank, 274 parts of PGMEA and 118 parts of PGME were charged, purged with nitrogen, and then heated in an oil bath with stirring until the temperature of the reaction tank reached 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA13部、PGME5部、GMA158部、トパノール0.6部、DMBAを1.3部仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が38%の感光性ポリマー溶液No.11を得た。ポリマーの二重結合当量は380g/当量、Mwは14,500、酸価は35mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a reaction vessel was charged with 13 parts of PGMEA, 5 parts of PGME, 158 parts of GMA, 0.6 part of topanol and 1.3 parts of DMBA, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) Was allowed to react at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. with a solid content of 38%. 11 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 380 g / equivalent, Mw was 14,500, and the acid value was 35 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[実施例1−12]
モノマー滴下槽に、BzMIを25部、AA138部、A−LEN−10を88部、PBO5部、PGMEA70部およびPGME30部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.8部、PGMEA46部およびPGME19部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 1-12]
Into the monomer dropping tank, 25 parts of BzMI, 138 parts of AA, 88 parts of A-LEN-10, 5 parts of PBO, 70 parts of PGMEA and 30 parts of PGME were mixed well. A chain transfer agent dropping tank was charged with 3.8 parts of n-DM, 46 parts of PGMEA, and 19 parts of PGME with sufficient stirring and mixing.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA209部とPGME89部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を9
0℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。
Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 209 parts of PGMEA and 89 parts of PGME to this reaction tank, replace with nitrogen, and then heat in an oil bath with stirring until the temperature of the reaction tank reaches 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. Addition of the flask inside temperature to 9
While maintaining at 0 ° C., each was performed for 180 minutes. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA69部、PGME30部、GMA123部、トパノール0.6部、DMBAを1.1部仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が41%の感光性ポリマー溶液No.12を得た。ポリマーの二重結合当量は430g/当量、Mwは13,000、酸価は168mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, 69 parts of PGMEA, 30 parts of PGME, 123 parts of GMA, 0.6 parts of topanol and 1.1 parts of DMBA were charged into the reaction vessel, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) Was allowed to react at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 41 whose solid content is 41%. 12 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 430 g / equivalent, Mw was 13,000, and the acid value was 168 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[実施例1−13]
モノマー滴下槽に、(α−ヒドロキシメチル)アクリル酸メチルダイマー(前記式(2)の化合物;MD)35部、AA114部、A−LEN−10を84部、PBO4.7部、PGMEA98部およびPGME42部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.5部、PGMEA43部およびPGME18部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 1-13]
(Α-Hydroxymethyl) methyl acrylate dimer (compound of formula (2); MD) 35 parts, AA 114 parts, A-LEN-10 84 parts, PBO 4.7 parts, PGMEA 98 parts and PGME 42 What was well stirred and mixed was charged. Further, a mixture obtained by thoroughly stirring and mixing 3.5 parts of n-DM, 43 parts of PGMEA and 18 parts of PGME was put into a chain transfer agent dropping tank.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA240部とPGME103部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 240 parts of PGMEA and 103 parts of PGMEA in this reaction tank, purge with nitrogen, and then heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA35部、PGME15部、GMA161部、トパノール0.6部、DMBAを1.2部仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が40%の感光性ポリマー溶液No.13を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは13,000、酸価は80mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, 35 parts of PGMEA, 15 parts of PGME, 161 parts of GMA, 0.6 part of topanol and 1.2 parts of DMBA were charged into the reaction vessel, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) Was allowed to react at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 40 whose solid content is 40%. 13 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 13,000, and the acid value was 80 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[実施例1−14]
モノマー滴下槽に、BzMIを35部、AA114部、エチルアクリレート(EA)42部、A−LEN−10を42部、PBO4.7部、PGMEA98部およびPGME42部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.5部、PGMEA43部およびPGME18部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 1-14]
In a monomer dropping tank, 35 parts of BzMI, 114 parts of AA, 42 parts of ethyl acrylate (EA), 42 parts of A-LEN-10, 4.7 parts of PBO, 98 parts of PGMEA, and 42 parts of PGMEA were charged. Further, a mixture obtained by thoroughly stirring and mixing 3.5 parts of n-DM, 43 parts of PGMEA and 18 parts of PGME was put into a chain transfer agent dropping tank.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA240部とPGME103部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 240 parts of PGMEA and 103 parts of PGMEA in this reaction tank, purge with nitrogen, and then heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA35部、PGME15部、GMA161部、トパノール0.6部、DMBAを1.2部仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が39%の感光性ポリマー溶液No.14を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは12,500、酸価は63mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, 35 parts of PGMEA, 15 parts of PGME, 161 parts of GMA, 0.6 part of topanol and 1.2 parts of DMBA were charged into the reaction vessel, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) Was allowed to react at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 3 whose solid content is 39%. 14 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 12,500, and the acid value was 63 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[比較例1−1]
モノマー滴下槽に、BzMIを36部、AA118部、CHA86部、PBO4.8部、PGMEA101部およびPGME43部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.6部、PGMEA44部およびPGME19部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Comparative Example 1-1]
To the monomer dropping tank, 36 parts of BzMI, 118 parts of AA, 86 parts of CHA, 4.8 parts of PBO, 101 parts of PGMEA, and 43 parts of PGMEA were stirred and mixed. A chain transfer agent dropping tank was charged with 3.6 parts of n-DM, 44 parts of PGMEA, and 19 parts of PGMEA mixed well.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA247部とPGME106部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 247 parts of PGMEA and 106 parts of PGME to this reaction tank, replace with nitrogen, and then heat in an oil bath with stirring until the temperature of the reaction tank reaches 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA36部、PGME16部、GMA166部、トパノール0.6部、DMBAを1.2部仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が39%の感光性ポリマー溶液No.15を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは19,000、酸価は75mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, the reaction vessel was charged with 36 parts of PGMEA, 16 parts of PGME, 166 parts of GMA, 0.6 part of topanol and 1.2 parts of DMBA, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) Was allowed to react at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 3 whose solid content is 39%. 15 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 19,000, and the acid value was 75 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[比較例1−2]
モノマー滴下槽に、BzMIを7部、AA116部、シクロヘキシルメタクリレート(CHMA)25部、PBO2.2部およびPGME30部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.7部およびPGME60部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Comparative Example 1-2]
In a monomer dropping tank, 7 parts of BzMI, 116 parts of AA, 25 parts of cyclohexyl methacrylate (CHMA), 2.2 parts of PBO, and 30 parts of PGME were mixed well. In addition, a chain transfer agent dropping tank was charged with 3.7 parts of n-DM and 60 parts of PGME well mixed.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGME305部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   A separable flask equipped with a cooling pipe was prepared as a reaction tank, and 305 parts of PGME were charged into this reaction tank, and after replacing with nitrogen, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating with an oil bath while stirring. . After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA535部、PGME188部、GMA184部、トパノール0.5部、DMBAを1部仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が34%の感光性ポリマー溶液No.16を得た。ポリマーの二重結合当量は260g/当量、Mwは16,000、酸価は65mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, 535 parts of PGMEA, 188 parts of PGME, 184 parts of GMA, 0.5 part of topanol and 1 part of DMBA are charged into the reaction vessel, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) is bubbled. The reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 34 whose solid content was 34%. 16 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 260 g / equivalent, Mw was 16,000, and the acid value was 65 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

[比較例1−3]
モノマー滴下槽に、BzMIを36部、AA118部、ベンジルメタクリレート(BzMA)86部、PBO4.8部、PGMEA101部およびPGME43部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.6部、PGMEA44部およびPGME19部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Comparative Example 1-3]
In a monomer dropping tank, 36 parts of BzMI, 118 parts of AA, 86 parts of benzyl methacrylate (BzMA), 4.8 parts of PBO, 101 parts of PGMEA, and 43 parts of PGME were charged. A chain transfer agent dropping tank was charged with 3.6 parts of n-DM, 44 parts of PGMEA, and 19 parts of PGMEA mixed well.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA247部とPGME106部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー
滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。
Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 247 parts of PGMEA and 106 parts of PGME to this reaction tank, replace with nitrogen, and then heat in an oil bath with stirring until the temperature of the reaction tank reaches 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA36部、PGME16部、GMA166部、トパノール0.6部、DMBAを1.2部仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が40%の感光性ポリマー溶液No.17を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは15,000、酸価は75mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表1に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, the reaction vessel was charged with 36 parts of PGMEA, 16 parts of PGME, 166 parts of GMA, 0.6 part of topanol and 1.2 parts of DMBA, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) Was allowed to react at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 40 whose solid content is 40%. 17 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 15,000, and the acid value was 75 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 1.

(スペーサーの評価)
各実施例および比較例で得られた感光性ポリマー溶液1〜17と、多官能モノマーとしてペンタエリスリトールテトラアクリレート(PETA;共栄社化学社製)、光重合開始剤として2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1
−オン(IRGACURE(登録商標)907;BASFジャパン社製)を、感光性ポリマー溶液の固形分が44部、PETAが56部、IRGACUREが1.75部となるように混合し、その後、樹脂組成物の固形分が35%になるようにPGMEAを加えて溶解させた後、孔径0.5μmのミリポアフィルタで濾過して、樹脂組成物溶液を調製した。
(Evaluation of spacer)
Photosensitive polymer solutions 1 to 17 obtained in each Example and Comparative Example, pentaerythritol tetraacrylate (PETA; manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) as a polyfunctional monomer, and 2-methyl-1- (4- Methylthiophenyl) -2-morpholinopropane-1
-ON (IRGACURE (registered trademark) 907; manufactured by BASF Japan) was mixed so that the solid content of the photosensitive polymer solution was 44 parts, 56 parts of PETA, and 1.75 parts of IRGACURE, and then the resin composition PGMEA was added and dissolved so that the solid content of the product was 35%, and then filtered through a Millipore filter having a pore size of 0.5 μm to prepare a resin composition solution.

(ネガ型レジストの現像性評価)
各樹脂組成物溶液を、10cm角のガラス基板上にスピンコータにより塗布し、オーブンで80℃で3分間乾燥した。乾燥後、塗膜から150μmの距離のところに8μmφのパターンフォトマスクを配置して2.0kWの超高圧水銀ランプを装着したUVアライナ(TME−150RNS、TOPCON社製)によって50mJ/cm2の強度(365
nm照度換算)で紫外線を照射した。紫外線照射後、塗布膜に0.05%の水酸化カリウム水溶液をスピン現像機にて40秒間散布し、未露光部を溶解、除去し、残った露光部を純水で10秒間水洗することにより現像した。
(Evaluation of developability of negative resist)
Each resin composition solution was applied onto a 10 cm square glass substrate by a spin coater and dried in an oven at 80 ° C. for 3 minutes. After drying, an intensity of 50 mJ / cm 2 by a UV aligner (TME-150RNS, manufactured by TOPCON) equipped with a 2.0 kW ultra high pressure mercury lamp and an 8 μmφ pattern photomask placed at a distance of 150 μm from the coating film (365
Ultraviolet rays were irradiated in terms of nm illuminance. After UV irradiation, 0.05% potassium hydroxide aqueous solution is sprayed on the coating film with a spin developing machine for 40 seconds to dissolve and remove the unexposed area, and the remaining exposed area is washed with pure water for 10 seconds. Developed.

密着性として、現像後におけるスペーサーの欠損の有無をレーザー顕微鏡(VK−9700、キーエンス社製)で評価した。欠損なしを◎、欠損範囲1割未満を○、欠損範囲3割未満を△、全欠損を×とした。評価結果を表2に示した。   As adhesion, the presence or absence of a spacer defect after development was evaluated with a laser microscope (VK-9700, manufactured by Keyence Corporation). No defect, ◎, less than 10% of the defect range, ◯, less than 30% of the defect range, and x for all defects. The evaluation results are shown in Table 2.

また、未露光部の現像性を樹脂組成物の残渣の有無で評価した。残渣なしを◎、スペーサーに残渣が少し確認できる場合を○、未露光部に残渣が少し確認できる場合を△とした。評価結果を表2に示した。   Moreover, the developability of the unexposed part was evaluated by the presence or absence of a residue of the resin composition. ◎ indicates no residue, ○ indicates that a residue can be slightly confirmed in the spacer, and △ indicates that a residue can be slightly confirmed in an unexposed portion. The evaluation results are shown in Table 2.

(圧縮率・弾性回復率)
上記で得られた現像後の塗膜を230℃で30分間加熱し、下底径8μm、厚さ3.5μmのスペーサーを得た。このスペーサーについて、微小圧縮試験機(MCTW−500、島津製作所社製)を用い、直径50μmの平面圧子により、圧縮試験を行った。圧縮試験の条件としては、最大試験力80mNとし、速度2.28mN/secで圧縮した。この際、変位―試験力曲線を作成し、最大試験力荷重時の変位量を用いて、圧縮率を以下の数式で求めた。
圧縮率(%)=100×最大試験力荷重時の変位量(μm)/測定スペーサーの厚み(μm)
弾性回復率は、上記微小圧縮試験機を用い、直径50μmの平面圧子により、負荷除荷試験を行って求めた。負荷除荷試験条件は、負荷除荷ともに、最小試験力0.5mN、最大試験力80mNとし、速度2.28mN/sec、保持時間5秒とし、弾性回復率を以下の数式で求めた。
弾性回復率(%)=100×(1−除荷後残存変位量(μm)/負荷時最大変位量(μm))
(Compression rate / elastic recovery rate)
The developed coating film obtained above was heated at 230 ° C. for 30 minutes to obtain a spacer having a bottom diameter of 8 μm and a thickness of 3.5 μm. This spacer was subjected to a compression test using a flat indenter having a diameter of 50 μm using a micro compression tester (MCTW-500, manufactured by Shimadzu Corporation). The compression test conditions were a maximum test force of 80 mN and compression at a speed of 2.28 mN / sec. At this time, a displacement-test force curve was created, and the compression rate was determined by the following formula using the displacement amount when the maximum test force was applied.
Compression rate (%) = 100 × displacement amount at maximum test force load (μm) / measurement spacer thickness (μm)
The elastic recovery rate was determined by performing a load unloading test using the above-described micro compression tester and a flat indenter having a diameter of 50 μm. The load unloading test conditions were as follows. For both unloading and loading, the minimum test force was 0.5 mN, the maximum test force was 80 mN, the speed was 2.28 mN / sec, the holding time was 5 seconds, and the elastic recovery rate was obtained by the following formula.
Elastic recovery rate (%) = 100 × (1−residual displacement after unloading (μm) / maximum displacement during loading (μm))

表2より、本発明の硬化性樹脂組成物はいずれも弾性回復率が大きくなっており、ビフ
ェニル基の導入による効果が有意に現れていることがわかる。
From Table 2, it can be seen that the curable resin composition of the present invention has a large elastic recovery rate, and the effect of introducing the biphenyl group appears significantly.

また、以下の表3は、各評価に用いた硬化性樹脂組成物の組成と評価結果をまとめた表である。   Table 3 below is a table summarizing the composition and evaluation results of the curable resin composition used for each evaluation.

[実施例2−1]
モノマー滴下槽に、BzMI30部、AA98部、ジシクロペンタニルアクリレート(DCPA)36部、A−LEN−10 36部、PBO4部、PGMEA84部およびPGME36部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.0部、PGMEA37部およびPGME18部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 2-1]
A monomer dropping tank was charged with 30 parts of BzMI, 98 parts of AA, 36 parts of dicyclopentanyl acrylate (DCPA), 36 parts of A-LEN-10, 4 parts of PBO, 84 parts of PGMEA and 36 parts of PGMEA. Further, a well-stirred and mixed solution of 3.0 parts of n-DM, 37 parts of PGMEA and 18 parts of PGMEA was put into a chain transfer agent dropping tank.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA206部とPGME88部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 206 parts of PGMEA and 88 parts of PGME in this reaction tank, replace with nitrogen, and then heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA30部、PGME13部、GMA138部、トパノール0.5部、DMBA1.0部を仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が38.8%の感光性ポリマー溶液No.18を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは20,000、酸価は73mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表4に、性能評価結果を表5に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a reaction vessel was charged with 30 parts of PGMEA, 13 parts of PGME, 138 parts of GMA, 0.5 part of topanol and 1.0 part of DMBA, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration 7% by volume). While bubbling, the reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 3 whose solid content was 38.8%. 18 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 20,000, and the acid value was 73 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 4, and the performance evaluation results are shown in Table 5.

[実施例2−2]
モノマー滴下槽に、MD30部、AA98部、DCPA36部、A−LEN−10 36部、PBO4部、PGMEA84部およびPGME36部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.0部、PGMEA37部およびPGME18部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 2-2]
A monomer dropping tank was charged with 30 parts of MD, 98 parts of AA, 36 parts of DCPA, 36 parts of A-LEN-10, 4 parts of PBO, 84 parts of PGMEA and 36 parts of PGME. Further, a well-stirred and mixed solution of 3.0 parts of n-DM, 37 parts of PGMEA and 18 parts of PGMEA was put into a chain transfer agent dropping tank.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA206部とPGME88部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 206 parts of PGMEA and 88 parts of PGME in this reaction tank, replace with nitrogen, and then heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA30部、PGME13部、GMA138部、トパノール0.5部、DMBA1.0部を仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が38.6%の感光性ポリマー溶液No.19を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは19,000、酸価は75mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表4に、性能評価結果を表5に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a reaction vessel was charged with 30 parts of PGMEA, 13 parts of PGME, 138 parts of GMA, 0.5 part of topanol and 1.0 part of DMBA, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration 7% by volume). While bubbling, the reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. with a solid content of 38.6%. 19 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 19,000, and the acid value was 75 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 4, and the performance evaluation results are shown in Table 5.

[実施例2−3]
モノマー滴下槽に、2−アリルオキシメチルアクリル酸メチル(AMA)30部、AA98部、DCPA36部、A−LEN−10 36部、PBO4部、PGMEA84部およびPGME36部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.0部、PGMEA37部およびPGME18部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 2-3]
Into the monomer dropping tank, a mixture of 30 parts of methyl 2-allyloxymethyl acrylate (AMA), 98 parts of AA, 36 parts of DCPA, 36 parts of A-LEN-10, 4 parts of PBO, 84 parts of PGMEA and 36 parts of PGMEA was added. . Further, a well-stirred and mixed solution of 3.0 parts of n-DM, 37 parts of PGMEA and 18 parts of PGMEA was put into a chain transfer agent dropping tank.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA206部とPGME88部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 206 parts of PGMEA and 88 parts of PGME in this reaction tank, replace with nitrogen, and then heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA30部、PGME13部、GMA138部、トパノール0.5部、DMBA1.0部を仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が38.7%の感光性ポリマー溶液No.20を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは18,000、酸価は73mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表4に、性能評価結果を表5に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a reaction vessel was charged with 30 parts of PGMEA, 13 parts of PGME, 138 parts of GMA, 0.5 part of topanol and 1.0 part of DMBA, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration 7% by volume). While bubbling, the reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 3 with a solid content of 38.7%. 20 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 18,000, and the acid value was 73 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 4, and the performance evaluation results are shown in Table 5.

[実施例2−4]
モノマー滴下槽に、BzMI30部、AA89部、ACMO36部、A−LEN−10
45部、PBO4部、PGMEA60部およびPGME60部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.0部、PGMEA27部およびPGME27部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 2-4]
In the monomer dropping tank, 30 parts of BzMI, 89 parts of AA, 36 parts of ACMO, A-LEN-10
45 parts, 4 parts of PBO, 60 parts of PGMEA, and 60 parts of PGMEA were mixed and mixed well. Moreover, what mixed and mixed 3.0 parts of n-DM, 27 parts of PGMEA, and 27 parts of PGMME well was thrown into the chain transfer agent dripping tank.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA147部とPGME147部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, and charge 147 parts of PGMEA and 147 parts of PGMEA in this reaction tank, and after replacing with nitrogen, heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA22部、PGME22部、GMA138部、トパノール0.5部、DMBA1.0部を仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が38.1%の感光性ポリマー溶液No.21を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは11,000、酸価は66mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表4に、性能評価結果を表5に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a reaction vessel was charged with 22 parts of PGMEA, 22 parts of PGME, 138 parts of GMA, 0.5 part of topanol and 1.0 part of DMBA, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume). While bubbling, the reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. with a solid content of 38.1%. 21 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 11,000, and the acid value was 66 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 4, and the performance evaluation results are shown in Table 5.

[実施例2−5]
モノマー滴下槽に、MD30部、AA89部、ACMO36部、A−LEN−10 45部、PBO4部、PGMEA60部およびPGME60部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.0部、PGMEA27部およびPGME27部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 2-5]
A monomer dropping tank was charged with 30 parts of MD, 89 parts of AA, 36 parts of ACMO, 45 parts of A-LEN-10, 4 parts of PBO, 60 parts of PGMEA and 60 parts of PGME. Moreover, what mixed and mixed 3.0 parts of n-DM, 27 parts of PGMEA, and 27 parts of PGMME well was thrown into the chain transfer agent dripping tank.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA147部とPGME147部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, and charge 147 parts of PGMEA and 147 parts of PGMEA in this reaction tank, and after replacing with nitrogen, heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA22部、PGME22部、G
MA138部、トパノール0.5部、DMBA1.0部を仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が38.0%の感光性ポリマー溶液No.22を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは10,500、酸価は64mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表4に、性能評価結果を表5に示した。
After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, the reaction vessel was charged with 22 parts of PGMEA, 22 parts of PGMEA, G
138 parts of MA, 0.5 part of topanol and 1.0 part of DMBA were charged and reacted at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours while bubbling a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume). Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. with a solid content of 38.0%. 22 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 10,500, and the acid value was 64 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 4, and the performance evaluation results are shown in Table 5.

[実施例2−6]
モノマー滴下槽に、AMA30部、AA89部、ACMO36部、A−LEN−10 45部、PBO4部、PGMEA60部およびPGME60部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM3.0部、PGMEA27部およびPGME27部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 2-6]
Into the monomer dropping tank, 30 parts of AMA, 89 parts of AA, 36 parts of ACMO, 45 parts of A-LEN-10, 4 parts of PBO, 60 parts of PGMEA and 60 parts of PGME were charged. Moreover, what mixed and mixed 3.0 parts of n-DM, 27 parts of PGMEA, and 27 parts of PGMME well was thrown into the chain transfer agent dripping tank.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA147部とPGME147部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, and charge 147 parts of PGMEA and 147 parts of PGMEA in this reaction tank, and after replacing with nitrogen, heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA22部、PGME22部、GMA138部、トパノール0.5部、DMBA1.0部を仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が38.3%の感光性ポリマー溶液No.23を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、Mwは11,000、酸価は67mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表4に、性能評価結果を表5に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a reaction vessel was charged with 22 parts of PGMEA, 22 parts of PGME, 138 parts of GMA, 0.5 part of topanol and 1.0 part of DMBA, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume). While bubbling, the reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. with a solid content of 38.3%. 23 was obtained. The double bond equivalent of the polymer was 350 g / equivalent, Mw was 11,000, and the acid value was 67 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 4, and the performance evaluation results are shown in Table 5.

[実施例2−7]
モノマー滴下槽に、BzMI30部、AA130部、A−LEN−10 40部、PBO4部、PGMEA60部およびPGME60部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM2.0部、PGMEA26部およびPGME26部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Example 2-7]
A monomer dropping tank was charged with 30 parts of BzMI, 130 parts of AA, 40 parts of A-LEN-10, 4 parts of PBO, 60 parts of PGMEA, and 60 parts of PGME. Further, a mixture obtained by thoroughly stirring and mixing 2.0 parts of n-DM, 26 parts of PGMEA and 26 parts of PGME was put into a chain transfer agent dropping tank.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA147部とPGME147部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, and charge 147 parts of PGMEA and 147 parts of PGMEA in this reaction tank, and after replacing with nitrogen, heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After the completion of dropping, the temperature was maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽に、PGMEA65部、PGME65部、GMA197部、トパノール0.6部、DMBA1.2部を仕込み、窒素/酸素混合ガス(酸素濃度7体積%)をバブリングしながら、110℃で1時間、次いで115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が39.8%の感光性ポリマー溶液No.24を得た。ポリマーの二重結合当量は290g/当量、Mwは23,000、酸価は71mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表4に、性能評価結果を表5に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, 65 parts of PGMEA, 65 parts of PGME, 197 parts of GMA, 0.6 parts of topanol and 1.2 parts of DMBA were charged into the reaction vessel, and a nitrogen / oxygen mixed gas (oxygen concentration: 7% by volume) was added. While bubbling, the reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and then at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. 3 with a solid content of 39.8%. 24 was obtained. The polymer had a double bond equivalent of 290 g / equivalent, Mw of 23,000, and an acid value of 71 mgKOH / g. The polymer production conditions and the like are shown in Table 4, and the performance evaluation results are shown in Table 5.

[実施例3−1〜3−9]
用いる樹脂溶液とその量、多官能アクリレートの種類とその量を、表6に示したように変更した以外は、上記と同様にして、現像性、密着性、圧縮率(%)、弾性回復率(%)を評価し、その結果を表6に示した。DPHAとあるのは、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(商品名:DPE−6A:共栄社化学社製)、ビスコート#802(大阪
有機化学工業社製)とあるのは、トリペンタエリスリトールオクタアクリレートである。
[Examples 3-1 to 3-9]
Developability, adhesion, compressibility (%), elastic recovery rate in the same manner as above except that the resin solution used and its amount, and the type and amount of polyfunctional acrylate were changed as shown in Table 6. (%) Was evaluated and the results are shown in Table 6. DPHA is dipentaerythritol hexaacrylate (trade name: DPE-6A: manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) and biscoat # 802 (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.) is tripentaerythritol octaacrylate.

表3、表5、表6の比較から、多官能アクリレートの量や官能基数が増えると、弾性回復率が向上することが分かる。   From the comparison of Table 3, Table 5, and Table 6, it can be seen that the elastic recovery rate improves as the amount of the polyfunctional acrylate and the number of functional groups increase.

[実施例4−1〜4−15]
モノマー滴下槽に、BzMI 15部、AA44.5部、A−LEN−10 40.5部、PBO2部、PGMEA42部およびPGME18部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n−DM2.0部、PGMEA18部およびPGME8部をよく攪拌混合したものを投入した。
[Examples 4-1 to 4-15]
Into the monomer dropping tank, 15 parts of BzMI, 44.5 parts of AA, 40.5 parts of A-LEN-10, 2 parts of PBO, 42 parts of PGMEA, and 18 parts of PGME were charged. A chain transfer agent dripping tank was charged with 2.0 parts of n-DM, 18 parts of PGMEA, and 8 parts of PGME with sufficient stirring and mixing.

反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA98部とPGME42部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90℃に保ちながら、それぞれ180分間かけて行った。滴下が終了してから30分後にPBOを0.5部加え、30分90℃を保持した後、昇温を開始して反応槽内部を115℃にした。   Prepare a separable flask with a cooling tube as a reaction tank, charge 98 parts of PGMEA and 42 parts of PGME to this reaction tank, replace with nitrogen, and then heat in an oil bath while stirring to 90 ° C. The temperature rose. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., dropping of each component was started from the monomer dropping tank and the chain transfer agent dropping tank. The dropwise addition was performed for 180 minutes each while maintaining the flask internal temperature at 90 ° C. After 30 minutes from the completion of the dropping, 0.5 part of PBO was added and maintained at 90 ° C. for 30 minutes, and then the temperature was raised to 115 ° C. inside the reaction vessel.

1.5時間115℃を維持した後、反応槽にガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95(v/v)の混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応層に、GMA69部、トパノール0.3部、DMBA0.5部、PGMEA16部、PGME6部を仕込み、そのまま110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、固形分が39.4%の感光性ポリマー溶液No.25を得た。ポリマーの二重結合当量は350g/当量、重量平均分子量(Mw)は17,200、酸価は55mgKOH/gであった。ポリマーの製造条件等を表7に示した。   After maintaining at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the reaction vessel, and bubbling of a mixed gas of oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) was started. Next, 69 parts of GMA, 0.3 part of topanol, 0.5 part of DMBA, 16 parts of PGMEA and 6 parts of PGME were charged in the reaction layer and reacted at 110 ° C. for 1 hour and 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and photosensitive polymer solution No. with a solid content of 39.4%. 25 was obtained. The polymer had a double bond equivalent of 350 g / equivalent, a weight average molecular weight (Mw) of 17,200, and an acid value of 55 mgKOH / g. Table 7 shows the polymer production conditions.

(スペーサーの評価)
上記感光性ポリマー溶液25を用いたことと、紫外線吸収剤として、前出のチヌビン(登録商標)479(T479)または、SEESORB(登録商標)707(SB707)を用いたこと以外は、これまでの実施例と同様にして、表8に示した配合で硬化性樹脂組成物を製造した。また、現像性、密着性、圧縮率(%)、弾性回復率(%)は下記条件で評価した。結果を表8に併記した。
(Evaluation of spacer)
Except for using the photosensitive polymer solution 25 and using the aforementioned Tinuvin (registered trademark) 479 (T479) or SEESORB (registered trademark) 707 (SB707) as an ultraviolet absorber. In the same manner as in Examples, a curable resin composition was produced with the formulation shown in Table 8. Further, developability, adhesion, compression rate (%), and elastic recovery rate (%) were evaluated under the following conditions. The results are also shown in Table 8.

(ネガ型レジストの現像性評価)
各樹脂組成物溶液を、10cm角のガラス基板上にスピンコータにより塗布し、オーブンで80℃で3分間乾燥した。乾燥後、塗膜から100μmの距離のところに8μmφのパターンフォトマスクを配置して2.0kWの超高圧水銀ランプを装着したUVアライナ(TME−150RNS、TOPCON社製)によって50mJ/cm2の強度(365
nm照度換算)で紫外線を照射した。紫外線照射後、塗布膜に0.05%の水酸化カリウム水溶液をスピン現像機にて40秒間散布し、未露光部を溶解、除去し、残った露光部を純水で10秒間水洗することにより現像した。
密着性として、現像後におけるスペーサーの欠損の有無をレーザー顕微鏡(VK−9700、キーエンス社製)で評価した。欠損なしを○、一部欠損有りを△、全欠損を×とした。
(Evaluation of developability of negative resist)
Each resin composition solution was applied onto a 10 cm square glass substrate by a spin coater and dried in an oven at 80 ° C. for 3 minutes. After drying, an intensity of 50 mJ / cm 2 by a UV aligner (TME-150RNS, manufactured by TOPCON) equipped with a 2.0 kW ultrahigh pressure mercury lamp with a pattern photomask of 8 μmφ placed at a distance of 100 μm from the coating film (365
Ultraviolet rays were irradiated in terms of nm illuminance. After UV irradiation, 0.05% potassium hydroxide aqueous solution is sprayed on the coating film with a spin developing machine for 40 seconds to dissolve and remove the unexposed area, and the remaining exposed area is washed with pure water for 10 seconds. Developed.
As adhesion, the presence or absence of a spacer defect after development was evaluated with a laser microscope (VK-9700, manufactured by Keyence Corporation). No defect was indicated by ○, partial defect was indicated by Δ, and all defects were indicated by ×.

また、現像後のスペーサーをホットプレートで230℃で30分間加熱し、その後のスペーサー径および高さを上記レーザー顕微鏡で評価した。   Further, the developed spacer was heated on a hot plate at 230 ° C. for 30 minutes, and the spacer diameter and height thereafter were evaluated with the laser microscope.

(圧縮率・弾性回復率)
現像後のスペーサーを230℃で30分間加熱し、下底径5.9〜7.7μm、高さ3.6μmのスペーサーを得た。このスペーサーについて、微小圧縮試験機(HM2000、フィッシャー・インストルメンツ社製)を用い、直径100μmの平面圧子により、負
荷速度、除荷速度をともに4.7mN/secとして、80mNまでの荷重を負荷した後、0.49mNまで除荷した。負荷時および除荷時の荷重−変形量曲線を作成し、前記式を用いて圧縮率と弾性回復率を求めた。
(Compression rate / elastic recovery rate)
The developed spacer was heated at 230 ° C. for 30 minutes to obtain a spacer having a bottom diameter of 5.9 to 7.7 μm and a height of 3.6 μm. With respect to this spacer, a load of up to 80 mN was applied using a micro compression tester (HM2000, manufactured by Fischer Instruments Co., Ltd.) with a flat indenter having a diameter of 100 μm, with both loading speed and unloading speed set to 4.7 mN / sec. After that, it was unloaded to 0.49 mN. A load-deformation curve at the time of loading and unloading was created, and the compression rate and the elastic recovery rate were obtained using the above formulas.

本発明の硬化性樹脂組成物は、液晶セルの柱状スペーサーの製造に好適に用いることができる。   The curable resin composition of this invention can be used suitably for manufacture of the columnar spacer of a liquid crystal cell.

Claims (10)

液晶セルの柱状スペーサーの製造のために用いられるフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物であって、酸基を導入し得るモノマーと、芳香環を2個以上含有するモノマーとを必須モノマーとして含むモノマー成分から合成された酸基含有ポリマーの酸基に、ラジカル重合性不飽和二重結合と酸基と反応し得る官能基を有する化合物を反応させることによって得られる感光性ポリマーと、多官能モノマーと、光重合開始剤とを有することを特徴とするフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物。   A curable resin composition for a photospacer used for the production of a columnar spacer of a liquid crystal cell, comprising a monomer capable of introducing an acid group and a monomer containing two or more aromatic rings as essential monomers A photosensitive polymer obtained by reacting a radical polymerizable unsaturated double bond and a compound having a functional group capable of reacting with the acid group of the acid group-containing polymer synthesized from the above, a polyfunctional monomer, A curable resin composition for a photospacer, comprising a photopolymerization initiator. 上記モノマー成分100質量%中、芳香環を2個以上含有するモノマーが5〜70質量%である請求項1に記載のフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物。   2. The curable resin composition for a photospacer according to claim 1, wherein a monomer containing two or more aromatic rings is 5 to 70% by mass in 100% by mass of the monomer component. 上記芳香環を2個以上含有するモノマーがビフェニル基含有モノマーである請求項1または2に記載のフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition for a photospacer according to claim 1 or 2, wherein the monomer containing two or more aromatic rings is a biphenyl group-containing monomer. 上記感光性ポリマーと上記多官能モノマーとの合計を100質量%としたときに、多官能モノマーが45質量%〜90質量%である請求項1〜3のいずれかに記載のフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物。   The curability for photospacer according to any one of claims 1 to 3, wherein the polyfunctional monomer is 45 mass% to 90 mass% when the total of the photosensitive polymer and the polyfunctional monomer is 100 mass%. Resin composition. 上記モノマー成分が、さらに、主鎖に環構造を導入し得るモノマーを含むものである請求項1〜4のいずれかに記載のフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition for a photospacer according to any one of claims 1 to 4, wherein the monomer component further contains a monomer capable of introducing a ring structure into the main chain. 上記主鎖に環構造を導入し得るモノマーが、N−置換マレイミド類である請求項5に記載のフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition for a photospacer according to claim 5, wherein the monomer capable of introducing a ring structure into the main chain is an N-substituted maleimide. さらに、波長280〜380nmに最大吸収波長を有する紫外線吸収剤を含むものである請求項1〜6のいずれかに記載のフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition for a photospacer according to any one of claims 1 to 6, further comprising an ultraviolet absorber having a maximum absorption wavelength at a wavelength of 280 to 380 nm. 上記感光性ポリマーの酸価が、20〜180mgKOH/gである請求項1〜7のいずれかに記載のフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition for a photospacer according to any one of claims 1 to 7, wherein the acid value of the photosensitive polymer is 20 to 180 mgKOH / g. 請求項1〜8のいずれかに記載のフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物を硬化させて得られたものであることを特徴とする柱状スペーサー。   A columnar spacer, which is obtained by curing the curable resin composition for a photospacer according to claim 1. 請求項9に記載の柱状スペーサーを用いたものであることを特徴とする液晶ディスプレイ。   A liquid crystal display using the columnar spacer according to claim 9.
JP2012137483A 2011-06-28 2012-06-19 Curable resin composition for photospacer, columnar spacer, and liquid crystal display Active JP6038498B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012137483A JP6038498B2 (en) 2011-06-28 2012-06-19 Curable resin composition for photospacer, columnar spacer, and liquid crystal display

Applications Claiming Priority (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011143422 2011-06-28
JP2011143422 2011-06-28
JP2011254309 2011-11-21
JP2011254309 2011-11-21
JP2012101713 2012-04-26
JP2012101713 2012-04-26
JP2012137483A JP6038498B2 (en) 2011-06-28 2012-06-19 Curable resin composition for photospacer, columnar spacer, and liquid crystal display

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013242507A true JP2013242507A (en) 2013-12-05
JP6038498B2 JP6038498B2 (en) 2016-12-07

Family

ID=47401444

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012137483A Active JP6038498B2 (en) 2011-06-28 2012-06-19 Curable resin composition for photospacer, columnar spacer, and liquid crystal display

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6038498B2 (en)
KR (1) KR101931725B1 (en)
CN (1) CN102854746B (en)
TW (1) TWI534535B (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016042157A (en) * 2014-08-18 2016-03-31 株式会社日本触媒 Curable resin composition
JP2016079199A (en) * 2014-10-10 2016-05-16 株式会社リコー Novel copolymer, aqueous ink and ink cartridge
KR101636178B1 (en) * 2014-12-30 2016-07-04 동우 화인켐 주식회사 Photosensitive resin composition for spacer and spacer manufactured by the same
JP2017031230A (en) * 2015-07-28 2017-02-09 株式会社日本触媒 Curable resin composition
CN111149058A (en) * 2017-09-22 2020-05-12 东丽株式会社 Transparent photosensitive resin composition, photo spacer, liquid crystal display device, method for manufacturing photo spacer, method for manufacturing liquid crystal display device, and use of transparent photosensitive resin composition in lens scanning exposure

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013180504A1 (en) 2012-06-01 2013-12-05 주식회사 엘지화학 Resin composition, optical film formed using same, and polarizer and liquid crystal display device comprising same
KR102090930B1 (en) * 2013-07-26 2020-03-20 엘지디스플레이 주식회사 Method of fabricating liquid crystal display device
CN106519116A (en) * 2016-11-05 2017-03-22 中国乐凯集团有限公司 Resin for positive-acting thermosensitive CTP plate coating layer
CN107153282B (en) * 2017-06-01 2020-07-31 武汉华星光电技术有限公司 Preparation method of display panel and display panel
CN108051956B (en) * 2017-12-28 2020-07-31 深圳市华星光电技术有限公司 Manufacturing method of liquid crystal panel, frame glue and manufacturing method thereof
US11718580B2 (en) 2019-05-08 2023-08-08 Meta Platforms Technologies, Llc Fluorene derivatized monomers and polymers for volume Bragg gratings
US11780819B2 (en) 2019-11-27 2023-10-10 Meta Platforms Technologies, Llc Aromatic substituted alkane-core monomers and polymers thereof for volume Bragg gratings
US11879024B1 (en) 2020-07-14 2024-01-23 Meta Platforms Technologies, Llc Soft mold formulations for surface relief grating fabrication with imprinting lithography
US20220153693A1 (en) * 2020-11-13 2022-05-19 Facebook Technologies, Llc Substituted mono- and poly-phenyl-core monomers and polymers thereof for volume bragg gratings

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009109879A (en) * 2007-10-31 2009-05-21 Sekisui Chem Co Ltd Negative-working resist for formation for protrusion for liquid crystal alignment, protrusion for the liquid crystal alignment, color filter and liquid crystal display device

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3593066B2 (en) 2001-06-28 2004-11-24 株式会社日本触媒 Photosensitive resin for liquid crystal spacer and photosensitive resin composition
WO2009034966A1 (en) * 2007-09-11 2009-03-19 Kaneka Corporation Liquid resin composition and cured product using the liquid resin composition

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009109879A (en) * 2007-10-31 2009-05-21 Sekisui Chem Co Ltd Negative-working resist for formation for protrusion for liquid crystal alignment, protrusion for the liquid crystal alignment, color filter and liquid crystal display device

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016042157A (en) * 2014-08-18 2016-03-31 株式会社日本触媒 Curable resin composition
JP2016079199A (en) * 2014-10-10 2016-05-16 株式会社リコー Novel copolymer, aqueous ink and ink cartridge
KR101636178B1 (en) * 2014-12-30 2016-07-04 동우 화인켐 주식회사 Photosensitive resin composition for spacer and spacer manufactured by the same
JP2016126320A (en) * 2014-12-30 2016-07-11 東友ファインケム株式会社Dongwoo Fine−Chem Co., Ltd. Photosensitive resin composition for forming spacer and spacer produced therefrom
TWI684828B (en) * 2014-12-30 2020-02-11 南韓商東友精細化工有限公司 Photosensitive resin composition for spacer and spacer manufactured by the same
JP2017031230A (en) * 2015-07-28 2017-02-09 株式会社日本触媒 Curable resin composition
CN111149058A (en) * 2017-09-22 2020-05-12 东丽株式会社 Transparent photosensitive resin composition, photo spacer, liquid crystal display device, method for manufacturing photo spacer, method for manufacturing liquid crystal display device, and use of transparent photosensitive resin composition in lens scanning exposure
JPWO2019059169A1 (en) * 2017-09-22 2020-09-03 東レ株式会社 Transparent photosensitive resin composition, photo spacer, liquid crystal display device, method for manufacturing photo spacer, manufacturing method for liquid crystal display device, and use of transparent photosensitive resin composition for lens scan exposure
CN111149058B (en) * 2017-09-22 2024-03-08 东丽株式会社 Transparent photosensitive resin composition and application thereof, photoetching spacer, liquid crystal display device and manufacturing method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
KR101931725B1 (en) 2018-12-21
CN102854746A (en) 2013-01-02
TW201316121A (en) 2013-04-16
TWI534535B (en) 2016-05-21
CN102854746B (en) 2017-04-12
KR20130002280A (en) 2013-01-07
JP6038498B2 (en) 2016-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6038498B2 (en) Curable resin composition for photospacer, columnar spacer, and liquid crystal display
JP6001877B2 (en) Curable resin composition for photospacer and columnar spacer
JP6404557B2 (en) Curable resin composition
JP2013024930A (en) Curable resin composition for photo spacer, and columnar spacer
KR101388818B1 (en) Novel polymer
TW201841980A (en) Fluorine-containing acetophenone derivative, fluorine based additive, curable composition including same, and cured product thereof
JP6184094B2 (en) Photosensitive resin composition and photospacer using the photosensitive resin composition
WO2014038576A1 (en) Photosensitive resin composition for photo spacer, and photo spacer
JP6236280B2 (en) Photo spacer
JP6254389B2 (en) Photosensitive resin composition for photospacer and photospacer
JP2013007866A (en) Alkali-soluble curable resin composition and cured product obtained from the same
JP5671369B2 (en) Curable resin composition having alkali developability and cured product obtained from the composition
JP6694230B2 (en) Alkali-soluble resin and curable resin composition containing the same
JP6669439B2 (en) A curable resin composition for forming a photospacer, comprising an alkali-soluble resin
JP6553439B2 (en) Curable resin composition
JP6431324B2 (en) Alkali-soluble resin and curable resin composition containing the same
JP2009282408A (en) Curable composition for image formation and its application
JP6854147B2 (en) Resin for photo spacers, resin composition for photo spacers, photo spacers and color filters
JP2013011695A (en) Hardened resin composition for photo-spacers, and columnar spacer
JP2009263546A (en) Curable resin composition, curable composition for image formation, and pillar spacer obtained by curing composition
JP2016042157A (en) Curable resin composition
JP2012042517A (en) Hardening resin composition and columnar spacer
JP2019044193A (en) Polymer and use thereof
KR101779215B1 (en) Colored photosensitive resin composition and light shielding spacer prepared therefrom
JP2019061052A (en) Photosensitive resin composition

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150108

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20151022

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20151110

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20151225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160531

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160630

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161025

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161102

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6038498

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150