JP2013234587A - 圧力伝達装置 - Google Patents

Abstract

【課題】キャンドモータポンプの取り扱う流体側の圧力の変動に直結してシール液の圧力を追従させ、メカニカルシールの機能を維持する圧力伝達装置を提供する。
【解決手段】圧力伝達装置15は、一次側と二次側とを隔離するとともに一次側と二次側との差圧に応じて変位する隔離手段を有する。キャンドモータポンプ14のポンプ部21が取り扱う流体側の圧力を隔離手段の一次側に直接導入し、キャンドモータポンプ14のキャンドモータ部22のシール液を隔離手段の二次側に直接導入し、隔離手段を介して流体側の圧力をシール液に伝達する。
【選択図】図１

Description

本発明は、ポンプ部とキャンドモータ部との間で回転軸を軸封するメカニカルシールを備えたキャンドモータポンプに用いる圧力伝達装置に関する。

従来、例えば固形物やガスが混入したポンプ取扱液である流体を取り扱う用途に用いられるキャンドモータポンプには、ポンプ部と、このポンプ部に延設されて回転を伝達する回転軸を有するキャンドモータ部との間で、回転軸を軸封するメカニカルシールを備えたキャンドモータポンプが用いられている。

このメカニカルシールを備えたキャンドモータポンプでは、キャンドモータ部にシール液が封入されており、シール液の圧力をポンプ部の流体の圧力より少し高くすることにより、メカニカルシールを通じてポンプ部の流体がキャンドモータ部内に侵入するのを防止している。

しかしながら、ポンプ部の流体の圧力は、用途に応じて大幅に変動する場合がある。このような場合でも、ポンプ部の流体とキャンドモータ部のシール液との差圧を一定に保ち、メカニカルシールの機能を維持する必要がある。

ポンプ部の流体とシール液との差圧を一定に保つには、ポンプ部の流体の圧力をセンサで検出し、センサからの電気信号に応じてシール液用圧力源からシール液にかける圧力を可変制御するのが一般的である。

あるいは、ポンプ部の流体の圧力を空気圧に変換するセンサを用い、このセンサで変換された空気圧を空気圧装置の入力空気圧とし、この空気圧装置で入力空気圧に応じた出力空気圧を生じ、この出力空気圧をシール液補給装置に導き、このシール液補給装置でシール液に出力空気圧を伝達している（例えば、特許文献１参照。）。

特開平１１−６４９２号公報（第１２−１３頁、図４）

ところで、用途によってはポンプ部の流体の圧力が急激に変動する場合がある。

従来のように、ポンプ部の流体の圧力をセンサで検出し、センサからの電気信号に応じてシール液用圧力源からシール液にかける圧力を可変制御する場合には、シール液用圧力源の動作の遅れから、ポンプ部の流体の急激な圧力の変動に追従できずにシール液の圧力制御に遅れが生じることがある。

あるいは、ポンプ部の流体の圧力を空気圧に変換するセンサを用い、このセンサで変換された空気圧を空気圧装置の入力空気圧とし、この空気圧装置で入力空気圧に応じた出力空気圧を生じ、この出力空気圧をシール液補給装置に導き、シール液補給装置でシール液に出力空気圧を伝達する場合には、センサでの動作遅れ、空気圧装置での動作遅れ、シール液補給装置での動作遅れがあり、ポンプ部の流体の急激な圧力の変動に追従できずにシール液の圧力制御に遅れが生じることがある。

このように、ポンプ部の流体の急激な圧力の変動に追従できずにシール液の圧力制御に遅れが生じると、ポンプ部の流体の圧力がシール液の圧力より高くなってポンプ部の流体がメカニカルシールに侵入したり、差圧が過大になってメカニカルシールの差圧強度不足となり、メカニカルシールに不具合が発生する。

本発明は、このような点に鑑みなされたもので、キャンドモータポンプの取り扱う流体側の圧力の変動に直結してシール液の圧力を追従させることにより、メカニカルシールの機能を維持できる圧力伝達装置を提供することを目的とする。

請求項１記載の圧力伝達装置は、流体を取り扱うポンプ部、このポンプ部に延設されて回転を伝達する回転軸を有するキャンドモータ部、およびこれらポンプ部とキャンドモータ部との間で前記回転軸を軸封するメカニカルシールを備え、前記キャンドモータ部にシール液が封入されたキャンドモータポンプに用いる圧力伝達装置であって、一次側と二次側とを隔離するとともに一次側と二次側との差圧に応じて変位する隔離手段を有し、前記ポンプ部が取り扱う前記流体側の圧力を前記隔離手段の一次側に直接導入し、前記シール液を前記隔離手段の二次側に直接導入し、前記隔離手段を介して前記流体側の圧力を前記シール液に伝達するものである。

請求項２記載の圧力伝達装置は、請求項１記載の圧力伝達装置において、前記隔離手段の変位を検出する検出手段を備えているものである。

請求項３記載の圧力伝達装置は、請求項１または２記載の圧力伝達装置において、前記隔離手段は、内側と外側とを隔離する変位可能な変位媒体および隔離板を備え、これら変位媒体および隔離板によって隔離する内側および外側のいずれか一方に前記流体側の圧力が導入され、他方に前記シール液が導入されるものである。

請求項４記載の圧力伝達装置は、請求項１ないし３いずれか記載の圧力伝達装置において、前記隔離手段の変位を所定の変位許容範囲内に制限する変位制限手段を具備しているものである。

請求項５記載のキャンドモータポンプ装置は、流体を取り扱うポンプ部、このポンプ部に延設されて回転を伝達する回転軸を有するキャンドモータ部、およびこれらポンプ部とキャンドモータ部との間で前記回転軸を軸封するメカニカルシールを備え、前記キャンドモータ部にシール液が封入されたキャンドモータポンプと、請求項１ないし４いずれか記載の圧力伝達装置とを具備しているものである。

請求項６記載のプロセス装置は、前記流体を収容する容器と、この容器に接続されて流体を取り扱うポンプ部、このポンプ部に延設されて回転を伝達する回転軸を有するキャンドモータ部、およびこれらポンプ部とキャンドモータ部との間で前記回転軸を軸封するメカニカルシールを備え、前記キャンドモータ部にシール液が封入されたキャンドモータポンプと、前記容器内の圧力が前記隔離手段の一次側に直接導入される請求項１ないし４いずれか記載の圧力伝達装置とを具備しているものである。

請求項１記載の圧力伝達装置によれば、隔離手段の一次側にポンプ部の流体側の圧力を直接導入し、隔離手段の二次側にキャンドモータ部のシール液を直接導入し、流体側の圧力をそのまま圧力源として使用し、隔離手段を介して流体側の圧力をそのままシール液に伝達するため、流体側の圧力が急激に変動した場合でも、その流体側の圧力の変動に直結してシール液の圧力を追従させることにより、ポンプ部の流体の圧力がキャンドモータ部のシール液の圧力より高くなってポンプ部の流体がメカニカルシールに侵入したり、差圧が過大になってメカニカルシールの差圧強度不足となるのを防止し、メカニカルシールの機能を確実に維持できる。しかも、隔離手段により、一次側の流体が二次側のシール液に溶け込むのを防止することができる。

請求項２記載の圧力伝達装置によれば、請求項１記載の圧力伝達装置の効果に加えて、隔離手段の変位を検出手段で検出できるため、隔離手段の変位に応じて、外部からは目視できないメカニカルシールからのシール液の漏洩量やシール液の液膨張などによる容量変化を確認できる。

請求項３記載の圧力伝達装置によれば、請求項１または２記載の圧力伝達装置の効果に加えて、隔離手段は内側と外側とを隔離する変位可能な変位媒体および隔離板を備え、これら変位媒体および隔離板によって隔離する内側および外側のいずれか一方に流体側の圧力を導入し、他方にシール液を導入するため、流体側の圧力の変動に直結してシール液の圧力を追従させることができる。

請求項４記載の圧力伝達装置によれば、請求項１ないし３いずれか記載の圧力伝達装置の効果に加えて、変位制限手段により隔離手段の変位を所定の変位許容範囲内に制限するため、隔離手段が変位した場合でも、隔離手段が変位限度以上に変位して破損するのを防止でき、隔離手段を保護できる。

請求項５記載のキャンドモータポンプ装置によれば、請求項１ないし４いずれか記載の圧力伝達装置を備えるため、キャンドモータポンプが取り扱う流体の圧力の変動に直結してキャンドモータポンプのシール液の圧力を追従させることができ、キャンドモータポンプを保護できる。

請求項６記載のプロセス装置によれば、請求項１ないし４いずれか記載の圧力伝達装置を備えるため、容器内の圧力の変動に直結してキャンドモータポンプのシール液の圧力を追従させることができ、キャンドモータポンプを保護できる。

本発明の一実施の形態を示すキャンドモータポンプを用いたキャンドモータポンプ装置およびプロセス装置の構成図である。 同上キャンドモータポンプの圧力伝達装置の断面図である。 同上キャンドモータポンプの断面図である。

以下、本発明の一実施の形態を、図面を参照して説明する。

図１において、プロセス装置11は、高圧装置などに用いられる。

プロセス装置11は、容器12およびキャンドモータポンプ装置13を備えている。さらに、キャンドモータポンプ装置13は、キャンドモータポンプ14および圧力伝達装置15を備えている。

容器12は、ポンプ取扱液である液体Ｌとこの液体Ｌに反応させるガスＧとを収容し、これら液体ＬおよびガスＧを含む流体を加熱および加圧可能としている。容器12内で液体ＬにガスＧを反応させる反応処理中には、容器12内の液体ＬおよびガスＧを所定の温度に加熱するとともに所定の圧力に加圧しながら、キャンドモータポンプ14によって容器12内の液体Ｌを循環させ、効率的に液体ＬにガスＧを反応させる。

次に、図３に示すように、キャンドモータポンプ14は、ポンプ部21とキャンドモータ部22とが液密に一体に結合されて構成されている。

キャンドモータ部22は、固定子23を有し、この固定子23が固定子枠24内に固着されているとともに固定子23の内周面に固定子キャン25が密着され、この固定子キャン25の両端縁が固定子枠24に液密に溶着されている。さらに、キャンドモータ部22は、ポンプ部21まで延設される回転子26を有し、この回転子26に回転軸27が挿入固着され、回転子26の外周面に回転子キャン28が被着されている。そして、固定子23の内側に回転子26が挿入され、これら固定子23の固定子キャン25と回転子26の回転子キャン28とがキャン隙間29を介して対向配設されている。

固定子枠24には、ポンプ部21側である前側とその反対側である後側とに軸受箱30，31が取り付けられている。これら軸受箱30，31には、回転軸27を回転可能に支承する軸受32，33が装着されている。

回転軸27には、ポンプ部21とキャンドモータ部22との間に位置し、回転軸27と共に回転するメカニカルシール34の回転環35が固着されている。この回転環35と回転摺動するメカニカルシール34の固定環36が前側の軸受箱30に固着されている。これら回転環35と固定環36とにより、ポンプ部21とキャンドモータ部22との間で回転軸27を軸封するメカニカルシール34が構成されている。

軸受箱30，31には循環口37，38が形成され、これら循環口37，38に循環路39が接続されている。図１に示すように、循環路39には、差圧制御装置40、循環ポンプ（加圧ポンプ）41および熱交換器42が接続されている。そして、キャンドモータ部22内、および熱交換器42内を含む循環路39内にシール液Ｓが封入されている。循環ポンプ41の動作により、シール液Ｓが、循環ポンプ41から、熱交換器42、後側の循環口38、後側の軸受33、キャン隙間29、前側の軸受32、前側の循環口37、差圧制御装置40を通じて循環ポンプ41に戻るように循環され、キャンドモータ部22の冷却および軸受32，33の潤滑が行われる。

差圧制御装置40は、シール液Ｓの差圧を調整する調整弁40a、およびこの調整弁40aの前後の差圧を検知して予め設定された所定の差圧となるように調整弁40aを制御する制御部40bを備えている。

また、図３に示すように、ポンプ部21は、前側の軸受箱30とこの軸受箱30に結合されるケーシング43内との間にポンプ室44が形成され、このポンプ室44内に突出する回転軸27の先端に羽根車45が固着されている。ケーシング43には液体Ｌを吸い込む吸込口46、および液体を吐出する吐出口47が形成されている。

そして、図１に示すように、ポンプ部21の吸込口46と容器12の下部とが配管48で接続され、ポンプ部21の吐出口47と容器12の側面とが配管49で接続されている。配管49の途中には、流通する液体Ｌを加熱または冷却する熱交換器50が接続されている。

次に、図２に示すように、圧力伝達装置15は、一端である上端が閉塞されるとともに他端である下端が開口された円筒状のケース61とこのケース61の下端の開口を閉塞する円板状のベース62とによって構成される圧力伝達装置本体63を有している。

圧力伝達装置本体63内には、この圧力伝達装置本体63内に形成される空間を一次室64と二次室65とに隔離する隔離手段66が収容されている。この隔離手段66は、円筒状で軸方向である上下方向に伸縮可能（変位可能）な変位媒体としてのベローズ67を有している。このベローズ67は、例えば、金属、樹脂、それらの複合材から圧力、温度、耐食性に応じて選定される。そして、ベローズ67は、その上端が円板状の隔離板68に液密に固着され、下端が環状のホルダ69に液密に固着され、このホルダ69の周辺部がケース61とベース62との間に挟み込まれて液密および気密に固着されている。

隔離板68は、ベース62を上下方向にスライド可能に貫通してケース61内に突出するスライド軸70の上端に固着され、スライド軸70と一体に上下方向に移動可能とする。スライド軸70の下端は、ベース62を貫通し、ベース62の下部に気密に固着された円筒状の支持筒71に挿入されて上下方向にスライド可能に支持されている。支持筒71は、一次室64に連通するが、下端が閉塞されていて一次室64を密閉している。

支持筒71の周囲には、隔離手段66の変位位置を検出する変位計である検出手段72のセンサ73が配置されている。この検出手段72は、センサ73に対するスライド軸70の下端の位置に応じた電気信号をセンサ73から出力し、このセンサ73からの電気信号に基づいて隔離手段66の変位位置を検出する。

ベース62の下部には、支持筒71およびセンサ73を覆う円筒状のカバー74が取り付けられている。

ベース62の上部には、スライド軸70が上下方向にスライド可能に貫通する円筒状の収縮側ストッパ75が固着されている。この収縮側ストッパ75は、一次室64が収縮するように変位する隔離手段66の隔離板68が当接することにより、隔離手段66の収縮側の変位を所定の変位限度位置で規制する。この収縮側の変位限度位置は、検出手段72が隔離手段66の変位位置を検出する検出基準位置でもある。また、隔離手段66の隔離板68の上面が対向するケース61内の内壁面が、伸長側ストッパ76として構成されている。この伸長側ストッパ76は、一次室64が伸長するように変位する隔離手段66の隔離板68が当接することにより、隔離手段66の伸長側の変位を所定の変位限度位置で規制する。そして、これらストッパ75，76により、隔離手段66の変位を所定の変位許容範囲内に制限する変位制限手段77が構成されている。

ベース62には、一次室64に連通する一次側導入口78が形成されている。ケース61の側部には二次室65の下部に連通する二次側導入口79が形成され、ケース61の上部には二次室65の上部に連通するガス抜き口80が形成されている。

そして、図１に示すように、圧力伝達装置15の一次側導入口78と容器12側とが一次側配管81で接続され、圧力伝達装置15の二次側導入口79と循環路39とが二次側配管82で接続されている。一次側配管81は、容器12内にガスＧを導入する配管に介して容器12側に接続され、また、二次側配管82は、循環路39の差圧制御装置40と循環ポンプ41との間に接続されている。この接続により、圧力伝達装置15の一次室64に容器12内の流体圧力と同圧のガスＧが直接導入されてそのガスＧの圧力が直接加わり、圧力伝達装置15の二次室65にシール液Ｓが直接度導入されてシール液Ｓの圧力が直接加わり、隔離手段66を介してガスＧとシール液Ｓとの間で圧力の伝達が行われる。

圧力伝達装置15のガス抜き口80は、二次室65のシール液Ｓに含まれるガスを排出する図示しないガス排出部にガス抜き弁83を介して配管されている。

また、容器12には、原料液である液体Ｌが導入されるとともに、原料ガスであるガスＧが圧力調整弁91を介して導入される。容器12の上部は容器12内の廃ガスを処理する図示しない処理部にガス抜き弁92を介して配管されている。

次に、プロセス装置11の動作を説明する。

圧力伝達装置15の検出手段72で隔離手段66の変位位置を検出するための検出基準位置を設定する場合には、図示しないシール液供給源からキャンドモータ部22および循環路39や圧力伝達装置15の二次室65にシール液Ｓを導入する。これにより、隔離手段66のベローズ67が下方へ移動し、隔離板68が収縮側ストッパ75に当接し、隔離手段66が変位限度位置で停止する。この隔離手段66の変位限度位置を、検出手段72で隔離手段66の変位位置を検出する検出基準位置に設定する。検出基準位置の設定後は、循環路39からシール液Ｓの一部を排出し、隔離手段66のベローズ67を上方へ移動させるとともに、検出手段72によって検知される隔離手段66の位置を、検出基準位置を基準とした所定の圧力伝達位置に移動させて停止させる。

そして、プロセス装置11を運転する場合には、容器12に液体Ｌを導入し、キャンドモータポンプ14を起動し、容器12内の液体Ｌを循環させる。すなわち、キャンドモータポンプ14のキャンドモータ部22の起動により、ポンプ部21の羽根車45が回転し、容器12の下部から液体Ｌをポンプ部21に吸い込むとともに、ポンプ部21から吐出する液体Ｌを容器12の側部から戻し、液体Ｌを循環させる。このとき、液体Ｌを熱交換器50で所定の温度（例えば２００℃）に加熱する。その後、容器12にガスＧを導入し、容器12内を所定の圧力（例えば３０ＭＰａ）に加圧する。そして、高温高圧下においてガスＧを液体Ｌに溶解させ、さらに、ポンプ循環によってガスＧを液体Ｌに巻き込み、ガスＧを液体Ｌに効率よく反応させる。

ガスＧを液体Ｌに反応させる反応処理の完了後は、循環させている液体Ｌを熱交換器50によって所定温度に冷却し、キャンドモータポンプ14を停止させ、容器12の上部から容器12内のガスＧを排出し、容器12内からガスＧを反応させた液体Ｌである反応液Ｒを次工程に移送する。

また、プロセス装置11の運転時においては、容器12に導入されるガスＧの一部が圧力伝達装置15の一次室64に導入される。この圧力伝達装置15の一次室64に導入されるガスＧの圧力は容器12内の圧力と同圧である。

さらに、キャンドモータポンプ14の運転中は循環ポンプ41が作動し、シール液Ｓをキャンドモータ部22と循環路39との間で循環させ、キャンドモータ部22の冷却および軸受32，33の潤滑を行い、シール液Ｓを熱交換器42で冷却する。さらに、差圧制御装置40によって、ポンプ部21内の液体Ｌの圧力よりキャンドモータ部22内のシール液Ｓの圧力が高く、その差圧が所定の差圧（例えば０．１〜０．５ＭＰａ）となるように設定する。そのため、ポンプ部21内の液体Ｌがメカニカルシール34に侵入することはない。

また、容器12内で圧力の変動が生じた場合、それに応じて一次室64のガスＧの圧力も変動し、一次室64のガスＧの圧力を隔離手段66のベローズ67を介して二次室65のシール液Ｓに伝達し、メカニカルシール34を介したポンプ部21の液体Ｌの圧力とキャンドモータ部22のシール液Ｓの圧力との圧力関係を維持する。

このように、圧力伝達装置15では、容器12内の流体の圧力と同圧のガスＧが圧力伝達装置15の一次室64に直接導入されているとともに、キャンドモータ部22のシール液Ｓが圧力伝達装置15の二次室65に直接導入されており、ガスＧの圧力をそのまま圧力源として使用し、隔離手段66を介してガスＧの圧力をそのままシール液Ｓに伝達するため、ガスＧの圧力が急激に変動した場合でも、そのガスＧの圧力の変動に直結してシール液Ｓの圧力を追従させることができ、ポンプ部21の液体Ｌの圧力がキャンドモータ部22のシール液Ｓの圧力より高くなってポンプ部21の液体Ｌがメカニカルシール34に侵入したり、差圧が過大になってメカニカルシール34の差圧強度不足となるのを防止し、メカニカルシール34の機能を確実に維持できる。しかも、隔離手段66により、一次側のガスＧが二次側のシール液Ｓに溶け込むのを防止することができる。

また、圧力伝達装置15は、隔離手段66の変位位置を検出手段72で検出できるため、隔離手段66の変位位置に応じて、外部からは目視できないメカニカルシール34からのシール液Ｓの漏洩量やシール液Ｓの液膨張などによる容量変化を確認できる。

また、圧力伝達装置15は、隔離手段66は内側と外側とを隔離する変位可能なベローズ67および隔離板68を備え、このベローズ67および隔離板68の内側にガスＧを導入し、外側にシール液Ｓを導入するため、ガスＧの圧力の変動に直結してシール液Ｓの圧力を追従させることができる。なお、ベローズ67および隔離板68の内側にシール液Ｓを導入し、外側にガスＧを導入しても同様の作用効果が得られる。

また、圧力伝達装置15は、例えば二次側のシール液Ｓのガス抜きが十分でない場合に若干のガスが残存すると、一次側が開放された場合、一次側の圧力の低下によって追従する二次側の降圧によるガス膨張によって隔離手段66が変位するが、その変位する隔離手段66を収縮側ストッパ75により所定の変位限度位置で規制するため、隔離手段66が変位限度位置以上に変位して破損するのを防止でき、隔離手段66を保護できる。さらに、伸長側ストッパ76により、隔離手段66の伸長側の変位を所定の変位限度位置で規制することができ、隔離手段66を保護できる。したがって、これらストッパ75，76で構成される変位制限手段77により、隔離手段66の変位を所定の変位許容範囲内に制限するため、隔離手段66が変位限度以上に変位して破損するのを防止でき、隔離手段66を保護できる。

しかも、収縮側ストッパ75により規制された隔離手段66の変位限度位置を、検出手段72で隔離手段66の変位位置を検出する検出基準位置に設定することができ、隔離手段66の変位位置を正確に検出することができる。

なお、圧力伝達装置15の隔離手段66としては、ベローズ67に限らず、ダイヤフラムや、ピストンとシリンダなどを用いても同様の作用効果が得られる。

また、圧力伝達装置15の一次室64に容器12内の圧力を直接導入するのに、ガスＧを用いる場合に限らず、液体Ｌを用いても同様の作用効果が得られる。

また、圧力伝達装置15の一次室64に容器12内の圧力を直接導入するのに、容器12と圧力伝達装置15の一次室64とを接続するのに限らず、容器12とポンプ部21とを接続する配管48あるいは容器12内の圧力と同じくする他の配管系と圧力伝達装置15の一次室64とを接続してもよい。

また、プロセス装置11は、炭酸ジアルキル反応やアルキルカーボネートなどの高圧装置に用いることができる。

また、圧力伝達装置15は、キャンドモータ攪拌機に組み合わせて利用することができる。

11 プロセス装置
12 容器
13 キャンドモータポンプ装置
14 キャンドモータポンプ
15 圧力伝達装置
21 ポンプ部
22 キャンドモータ部
27 回転軸
34 メカニカルシール
66 隔離手段
67 変位媒体としてのベローズ
68 隔離板
72 検出手段
77 変位制限手段
Ｓ シール液

Claims (6)

1. 流体を取り扱うポンプ部、このポンプ部に延設されて回転を伝達する回転軸を有するキャンドモータ部、およびこれらポンプ部とキャンドモータ部との間で前記回転軸を軸封するメカニカルシールを備え、前記キャンドモータ部にシール液が封入されたキャンドモータポンプに用いる圧力伝達装置であって、
   一次側と二次側とを隔離するとともに一次側と二次側との差圧に応じて変位する隔離手段を有し、前記ポンプ部が取り扱う前記流体側の圧力を前記隔離手段の一次側に直接導入し、前記シール液を前記隔離手段の二次側に直接導入し、前記隔離手段を介して前記流体側の圧力を前記シール液に伝達する
   ことを特徴とする圧力伝達装置。
2. 前記隔離手段の変位を検出する検出手段を備えている
   ことを特徴とする請求項１記載の圧力伝達装置。
3. 前記隔離手段は、内側と外側とを隔離する変位可能な変位媒体および隔離板を備え、これら変位媒体および隔離板によって隔離する内側および外側のいずれか一方に前記流体側の圧力が導入され、他方に前記シール液が導入される
   ことを特徴とする請求項１または２記載の圧力伝達装置。
4. 前記隔離手段の変位を所定の変位許容範囲内に制限する変位制限手段を具備している
   ことを特徴とする請求項１ないし３いずれか記載の圧力伝達装置。
5. 流体を取り扱うポンプ部、このポンプ部に延設されて回転を伝達する回転軸を有するキャンドモータ部、およびこれらポンプ部とキャンドモータ部との間で前記回転軸を軸封するメカニカルシールを備え、前記キャンドモータ部にシール液が封入されたキャンドモータポンプと、
   請求項１ないし４いずれか記載の圧力伝達装置と
   を具備していることを特徴とするキャンドモータポンプ装置。
6. 前記流体を収容する容器と、
   この容器に接続されて流体を取り扱うポンプ部、このポンプ部に延設されて回転を伝達する回転軸を有するキャンドモータ部、およびこれらポンプ部とキャンドモータ部との間で前記回転軸を軸封するメカニカルシールを備え、前記キャンドモータ部にシール液が封入されたキャンドモータポンプと、
   前記容器内の圧力が前記隔離手段の一次側に直接導入される請求項１ないし４いずれか記載の圧力伝達装置と
   を具備していることを特徴とするプロセス装置。

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