JP2013222520A - Organic electroluminescent display device having color filter layer - Google Patents

Organic electroluminescent display device having color filter layer Download PDF

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Kenichi Kawabe
憲一 川邉
Masahito Nishiyama
雅仁 西山
Akira Nagase
亮 長瀬
Haruki Nonaka
晴支 野中
Masahiro Yoshioka
正裕 吉岡
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter substrate suitable for an image display device, specifically an organic electroluminescent display device, high in reliability and less in defects, and an organic electroluminescent display device including the color filter substrate, clear and excellent in display quality.SOLUTION: In an organic electroluminescent display device, a resin used in a coloring layer constituting a color filter layer is a polyimide resin.

Description

本発明は、表示装置、特にカラーフィルター層を有する有機エレクトロルミネッセンス表示装置に関するものである。   The present invention relates to a display device, and more particularly to an organic electroluminescence display device having a color filter layer.

近年、新しい薄型ディスプレイの1つとして有機エレクトロルミネッセンスディスプレイが注目を集めており、携帯電話やモバイル機器などの表示用ディスプレイとして市場に出回り始めている。薄型ディスプレイの先駆者である液晶ディスプレイが非自発光型であるのに対し、有機ディスプレイは自発光型表示素子であるため、色再現範囲が広く鮮やかな発色が可能であること、応答性が速くより滑らかな動画映像を実現可能であるなどの点で液晶ディスプレイよりも優れており、次世代薄型ディスプレイの本命候補として有望視されている。   In recent years, organic electroluminescence displays have attracted attention as one of new thin displays, and have begun to appear on the market as display displays for mobile phones and mobile devices. The liquid crystal display, the pioneer of thin displays, is non-self-luminous, whereas the organic display is a self-luminous display element. It is superior to liquid crystal displays in that it can achieve smoother video images, and is considered a promising candidate for next-generation thin displays.

有機エレクトロルミネッセンスディスプレイをフルカラー化する方法としては、従来から赤(R)、緑(G)、青(B)の各発光材料を製膜するRGB塗り分け方式の開発が進められてきたが、ディスプレイの大型化に伴い製膜装置の巨大化によるコスト増や、高精細化に限界があるなどの弊害がでてきており、各種方式が検討されている。なかでも、白色発光の有機EL素子とRGBの各着色層を有するカラーフィルター基板を組み合わせるカラーフィルター方式が注目を集めており、さまざまな提案がなされている(例えば、特許文献1〜3)。   As a method for full-coloring an organic electroluminescence display, development of an RGB coating method for forming red (R), green (G), and blue (B) light emitting materials has been progressing. As the size of the film increases, there are adverse effects such as an increase in cost due to the enlargement of the film forming apparatus and a limit to high definition, and various methods are being studied. In particular, a color filter system that combines a white light-emitting organic EL element and a color filter substrate having RGB colored layers attracts attention, and various proposals have been made (for example, Patent Documents 1 to 3).

カラーフィルター方式の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの一例を図1に示す。ガラス基板1上に有機エレクトロルミネッセンス駆動素子用のTFT2が形成されている。TFT2上にはカラーフィルター層3が形成されている。カラーフィルター層3をオーバーコート層4が保護している。TFT2にはITOからなるアノード層5が接続され、アノード層5の端部を被覆するように絶縁膜6が形成されている。アノード層5上に有機エレクトロルミネッセンス層7が形成され、有機エレクトロルミネッセンス層7上にカソード層8が形成されている。これらは封止剤9と封止ガラス10によって封止されている。   An example of a color filter type organic electroluminescence display is shown in FIG. A TFT 2 for an organic electroluminescence driving element is formed on a glass substrate 1. A color filter layer 3 is formed on the TFT 2. The overcoat layer 4 protects the color filter layer 3. An anode layer 5 made of ITO is connected to the TFT 2, and an insulating film 6 is formed so as to cover the end of the anode layer 5. An organic electroluminescence layer 7 is formed on the anode layer 5, and a cathode layer 8 is formed on the organic electroluminescence layer 7. These are sealed with a sealant 9 and a sealing glass 10.

有機エレクトロルミネッセンス層7から放出された白色光がカラーフィルター層3のRGB画素を通過して色度変換されることにより、フルカラー表示が可能となっている。したがって、有機エレクトロルミネッセンス層7は白色発光する1種類のみで良いため、コスト面や製造歩留り、大画面化の容易さなどの点でRGB塗り分け方式よりも優れている。   The white light emitted from the organic electroluminescence layer 7 passes through the RGB pixels of the color filter layer 3 and is subjected to chromaticity conversion, thereby enabling full color display. Therefore, since only one type of organic electroluminescence layer 7 emits white light is required, the organic electroluminescence layer 7 is superior to the RGB coating method in terms of cost, production yield, and ease of enlargement.

しかしながら、このようなカラーフィルター方式有機エレクトロルミネッセンスディスプレイにおいては、電気エネルギーを光に変換する有機エレクトロルミネッセンス素子の原理上、不純物や水分などによる不具合(ダークスポットなどの欠陥等)が生じやすく、従来のカラーフィルター基板を用いた場合、安定した製造や画像表示が困難であり、その解決が望まれていた。また、ITOからなるアノード層5を形成する場合、240℃以上の温度で形成するため、また、有機エレクトロルミネッセンス素子は上述のとおり電気エネルギーを光に変換するものであるが、光に変換できなかった電気エネルギーは熱エネルギーとなってしまうため、従来のカラーフィルター基板では耐熱性に課題があり、アノード層5の形成前後での、あるいは有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの作動中に色度が変化する課題があった。   However, in such a color filter type organic electroluminescence display, defects (defects such as dark spots) due to impurities and moisture are likely to occur due to the principle of the organic electroluminescence element that converts electric energy into light. When a color filter substrate is used, stable production and image display are difficult, and the solution has been desired. In addition, when forming the anode layer 5 made of ITO, it is formed at a temperature of 240 ° C. or higher, and the organic electroluminescence element converts electric energy into light as described above, but it cannot be converted into light. Therefore, the conventional color filter substrate has a problem in heat resistance, and the chromaticity changes before and after the formation of the anode layer 5 or during the operation of the organic electroluminescence display. there were.

特開2004−227853号公報JP 2004-227853 A 特開2004−273317号公報JP 2004-273317 A 特開2010−072106号公報JP 2010-072106 A

本発明はこれらの問題点に鑑みてなされたものであり、ダークスポットなどの欠陥等が少なく、また色度が変化しない、表示品位に優れ、また表示信頼性が高い、有機エレクトロルミネッセンス表示装置を提供することが目的である。   The present invention has been made in view of these problems, and an organic electroluminescence display device having few defects such as dark spots, no change in chromaticity, excellent display quality, and high display reliability. The purpose is to provide.

上記の課題は、以下の手段により解決することが可能である。すなわち、少なくともカラーフィルター層を有する有機エレクトロルミネッセンス表示装置であって、カラーフィルター層を構成する着色層に使用されている樹脂がポリイミド樹脂であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置である。   The above problem can be solved by the following means. That is, an organic electroluminescence display device having at least a color filter layer, wherein the resin used in the colored layer constituting the color filter layer is a polyimide resin.

また、有機エレクトロルミネッセンス表示素子駆動用のTFTを具備し、前記カラーフィルター層が前記TFTと同一基板上に形成された請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置である。   The organic electroluminescence display device according to claim 1, further comprising a TFT for driving the organic electroluminescence display element, wherein the color filter layer is formed on the same substrate as the TFT.

本発明により、ダークスポットなどの欠陥等が少なく、また色度が変化しない、表示品位に優れ、また表示信頼性が高い有機エレクトロルミネッセンス表示装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an organic electroluminescence display device that has few defects such as dark spots, has no change in chromaticity, has excellent display quality, and has high display reliability.

本発明における画像表示装置の一例(構成1)を示す概略断面図であるIt is a schematic sectional drawing which shows an example (structure 1) of the image display apparatus in this invention. 本発明における画像表示装置の一例(構成2)を示す概略断面図であるIt is a schematic sectional drawing which shows an example (structure 2) of the image display apparatus in this invention. 本発明における画像表示装置の一例(構成3)を示す概略断面図であるIt is a schematic sectional drawing which shows an example (structure 3) of the image display apparatus in this invention.

以下、本発明の実施の形態について説明する。   Embodiments of the present invention will be described below.

本発明は、カラーフィルター層を有する有機エレクトロルミネッセンス表示装置であって、カラーフィルター層を構成する着色層に使用されている樹脂がポリイミド樹脂であることを特徴とする。着色層に使用されている樹脂がポリイミド樹脂であることによって、不純物や水分が染み出しにくく、ダークスポットなどの欠陥等が少なくなる。また、耐熱性が高く、色度が変化しにくい。   The present invention is an organic electroluminescence display device having a color filter layer, wherein the resin used in the colored layer constituting the color filter layer is a polyimide resin. When the resin used for the colored layer is a polyimide resin, impurities and moisture are hardly oozed out, and defects such as dark spots are reduced. Moreover, heat resistance is high and chromaticity does not change easily.

ポリイミド樹脂からなるカラーフィルター層を形成するためには、少なくともポリアミック酸、着色剤、溶剤からなる非感光性カラーペーストを、基板上に塗布した後、風乾、加熱乾燥、真空乾燥などにより乾燥し、非感光性ポリアミック酸着色被膜を形成し、ポジ型フォトレジストを用いて、所望パターンを形成後、フォトレジストをアルカリ剥離し、最後に200〜300℃で1分〜3時間加熱することにより着色層を硬化(ポリイミド化)させる方法が一般的である。   In order to form a color filter layer comprising a polyimide resin, at least a non-photosensitive color paste comprising a polyamic acid, a colorant, and a solvent is applied on the substrate, and then dried by air drying, heat drying, vacuum drying, etc. A non-photosensitive polyamic acid coloring film is formed, a desired pattern is formed using a positive photoresist, the photoresist is alkali peeled, and finally heated at 200 to 300 ° C. for 1 minute to 3 hours to form a colored layer Is generally cured (polyimidized).

本発明で用いる非感光性カラーペーストについて以下に述べる。   The non-photosensitive color paste used in the present invention is described below.

非感光性カラーペーストに含まれるポリアミック酸は、テトラカルボン酸二無水物とジアミンを反応させることにより得ることができる。   The polyamic acid contained in the non-photosensitive color paste can be obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride and diamine.

ポリアミック酸の合成には、テトラカルボン酸二無水物として、たとえば、脂肪族系または脂環式系のものを用いることができ、その具体的な例として、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロペンタンテトラカルボン酸
二無水物、1,2,3,5−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−ビシクロヘキセンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、1,3,3a,4,5,9b−ヘキサヒドロ−5−(テトラヒドロ−2,5−ジオキソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−C]フラン−1,3−ジオンなどが挙げられる。また、芳香族系のものを用いると、耐熱性の良好な膜に変換しうるポリアミック酸を得ることができる。
For the synthesis of polyamic acid, for example, an aliphatic or alicyclic one can be used as a tetracarboxylic dianhydride, and specific examples thereof include 1,2,3,4-cyclobutanetetra. Carboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,5-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-bicyclohexene Tetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-5- (tetrahydro-2,5-dioxo-3- Furanyl) -naphtho [1,2-C] furan-1,3-dione. Moreover, when an aromatic material is used, a polyamic acid that can be converted into a film having good heat resistance can be obtained.

その具体的な例として、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,4´−オキシジフタル酸無水物、3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3”,4,4”−パラターフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3”,4,4”−メタターフェニルテトラカルボン酸二無水物が挙げられる。また、フッ素系のものを用いると、短波長領域での透明性が良好な膜に変換しうるポリアミック酸を得ることができ、その具体的な例として、4,4´−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物などが挙げられる。なお、本発明は、これらに限定されずにテトラカルボン酸二無水物が1種または2種以上用いられる。   Specific examples thereof include 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, 3, 3 ', 4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic anhydride, 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,2,5 , 6-Naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ", 4,4" -paraterphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ", 4,4" -metaterphenyltetracarboxylic dianhydride Is mentioned. In addition, when a fluorine-based material is used, a polyamic acid that can be converted into a film having good transparency in a short wavelength region can be obtained. As a specific example, 4,4 ′-(hexafluoroisopropylidene ) Diphthalic anhydride. In addition, this invention is not limited to these, The tetracarboxylic dianhydride is used 1 type (s) or 2 or more types.

また、ジアミンとして、たとえば、脂肪族系または脂環式系のものを用いることができ、その具体的な例として、1,3−ジアミノシクロヘキサン、1,4−ジアミノシクロヘキサン、4,4´−ジアミノ−3,3´−ジメチルジシクロヘキシルメタン、4,4´−ジアミノ−3,3´−ジメチルジシクロヘキシルなどが挙げられる。また、芳香族系のものを用いると、耐熱性の良好な膜に変換しうるポリアミック酸を得ることができる。   Further, as the diamine, for example, aliphatic or alicyclic ones can be used, and specific examples thereof include 1,3-diaminocyclohexane, 1,4-diaminocyclohexane, 4,4′-diamino. -3,3'-dimethyldicyclohexylmethane, 4,4'-diamino-3,3'-dimethyldicyclohexyl and the like. Moreover, when an aromatic material is used, a polyamic acid that can be converted into a film having good heat resistance can be obtained.

その具体的な例として、4,4´−ジアミノジフェニルエーテル、3,4´−ジアミノジフェニルエーテル、4,4´−ジアミノジフェニルメタン、3,3´−ジアミノジフェニルメタン、4,4´−ジアミノジフェニルスルホン、3,3´−ジアミノジフェニルスルホン、4,4´−ジアミノジフェニルサルファイド、m−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、2,4−ジアミノトルエン、2,5−ジアミノトルエン、2,6−ジアミノトルエン、ベンジジン、3,3´−ジメチルベンジジン、3,3´−ジメトキシベンジジン、o−トリジン、4,4”−ジアミノターフェニル、1,5−ジアミノナフタレン、3,3´−ジメチル−4,4´−ジアミノジフェニルメタン、4,4´−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エ−テル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホンなどが挙げられる。また、フッ素系のものを用いると、短波長領域での透明性が良好な膜に変換しうるポリアミック酸を得ることができ、その具体的な例として、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパンなどが挙げられる。   Specific examples thereof include 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3, 3'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 2,4-diaminotoluene, 2,5-diaminotoluene, 2,6-diaminotoluene, benzidine, 3 , 3'-dimethylbenzidine, 3,3'-dimethoxybenzidine, o-tolidine, 4,4 "-diaminoterphenyl, 1,5-diaminonaphthalene, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 2,2 Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3 -Aminophenoxy) phenyl] sulfone, etc. In addition, when a fluorine-based one is used, a polyamic acid that can be converted into a film having good transparency in a short wavelength region can be obtained, and a specific example thereof 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane and the like.

また、ジアミンの一部として、シロキサンジアミンを用いると、無機基板との接着性を良好にすることができる。シロキサンジアミンは、通常、全ジアミン中の1〜20モル%量用いる。シロキサンジアミンの量が少なすぎれば接着性向上効果が発揮されず、多すぎれば耐熱性が低下する。シロキサンジアミンの具体例としては、ビス−3−(アミノプロピル)テトラメチルシロキサンなどが挙げられる。本発明は、これに限定されずにジアミンが1種または2種以上用いられる。ポリアミック酸の合成は、極性有機溶媒中でテトラカルボン酸二無水物とジアミンを混合して反応させることにより行うのが一般的である。この時、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物の混合比により、得られるポリアミック酸の重合度を調節することができる。   Moreover, when siloxane diamine is used as a part of diamine, the adhesiveness with an inorganic substrate can be made favorable. Siloxane diamine is usually used in an amount of 1 to 20 mol% in the total diamine. If the amount of siloxane diamine is too small, the effect of improving the adhesiveness is not exhibited, and if it is too large, the heat resistance is lowered. Specific examples of the siloxane diamine include bis-3- (aminopropyl) tetramethylsiloxane. The present invention is not limited to this, and one or more diamines are used. In general, the polyamic acid is synthesized by mixing and reacting a tetracarboxylic dianhydride and a diamine in a polar organic solvent. At this time, the polymerization degree of the resulting polyamic acid can be adjusted by the mixing ratio of diamine and tetracarboxylic dianhydride.

このほか、テトラカルボン酸ジクロライドとジアミンを極性有機溶媒中で反応させて、その後、塩酸と溶媒を除去することによってポリアミック酸を得るなど、ポリアミック酸を得るには種々の方法がある。   In addition, there are various methods for obtaining polyamic acid, such as reacting tetracarboxylic acid dichloride and diamine in a polar organic solvent and then removing hydrochloric acid and the solvent to obtain polyamic acid.

本発明の非感光カラーペーストに用いられる着色剤としては、耐光性、耐熱性、耐薬品性に優れたものであれば顔料でも染料でも特に制限はない。代表的な顔料の具体的な例をカラーインデックス(CI)ナンバーで示す。黄色顔料の例としてはピグメントイエロー20、24、83、86、93、94、109、110、117、125、137、138、139、147、148、153、154、166、173などが挙げられる。橙色顔料の例としてはピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65などが挙げられる。赤色顔料の例としてはピグメントレッド9、97、122、123、144、149、166、168、177、180、192、215、216、224などが挙げられる。紫色顔料の例としてはピグメントバイオレット19、23、29、32、33、36、37、38などが挙げられる。青色顔料の例としてはピグメントブルー15(15:3、15:4、15:6など)、21、22、60、64などが挙げられる。緑色顔料の例としてはピグメントグリーン7、10、36、47、58などが挙げられる。本発明ではこれらに限定されずに種々の顔料を使用することができる。なお、顔料は必要に応じて、ロジン処理、酸性基処理、塩基性処理などの表面処理が施されているものを使用してもよい。   The colorant used in the non-photosensitive color paste of the present invention is not particularly limited as long as it is excellent in light resistance, heat resistance and chemical resistance. Specific examples of typical pigments are indicated by color index (CI) numbers. Examples of yellow pigments include Pigment Yellow 20, 24, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 137, 138, 139, 147, 148, 153, 154, 166, 173, and the like. Examples of orange pigments include CI Pigment Orange 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65, and the like. Examples of the red pigment include Pigment Red 9, 97, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 177, 180, 192, 215, 216, 224 and the like. Examples of purple pigments include pigment violet 19, 23, 29, 32, 33, 36, 37, 38, and the like. Examples of blue pigments include Pigment Blue 15 (15: 3, 15: 4, 15: 6, etc.), 21, 22, 60, 64, and the like. Examples of green pigments include Pigment Green 7, 10, 36, 47, 58, and the like. In the present invention, various pigments can be used without being limited thereto. In addition, you may use the pigment to which surface treatments, such as a rosin process, an acidic group process, a basic process, are given as needed.

本発明の非感光カラーペーストにおける溶媒としては、ポリアミック酸を溶解するものを使用するのが一般的である。具体的な例としては、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミドなどのアミド系極性溶媒、β−プロピオラクトン、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、δ−バレロラクトン、γ−カプロラクトン、ε−カプロラクトンなどのラクトン類などが挙げられる。また、これらの溶媒とともに、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、メチルカルビトール、エチルカルビトール、プロピレングリコールモノエチルエーテルなどのエチレングリコールあるいはプロピレングリコール誘導体、あるいは、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、アセト酢酸エチル、メチル−3−メトキシプロピオネート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテートなどの脂肪族エステル類などを副溶媒として添加することも可能である。   As a solvent in the non-photosensitive color paste of the present invention, a solvent that dissolves polyamic acid is generally used. Specific examples include polar amide solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, β-propiolactone, γ-butyrolactone, γ-valerolactone, Examples include lactones such as δ-valerolactone, γ-caprolactone, and ε-caprolactone. In addition to these solvents, ethylene glycol or propylene glycol derivatives such as methyl cellosolve, ethyl cellosolve, methyl carbitol, ethyl carbitol, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monoethyl ether acetate, ethyl acetoacetate, methyl- Aliphatic esters such as 3-methoxypropionate and 3-methyl-3-methoxybutyl acetate can also be added as a co-solvent.

本発明の非感光カラーペーストの製造には、溶媒と顔料を混合してあらかじめ分散した顔料分散液に、ポリアミック酸溶液を混合する方法、あるいは、ポリアミック酸と、溶媒と、顔料とを混合して分散する方法などを用いることができる。これら製造方法の選択については、顔料の種類により、適宜、適当なものを選ぶことが好ましい。
本発明のペーストにおいては、顔料の分散方法は特に限定されず、ボールミル、サンドグラインダー、3本ロールミル、高速度衝撃ミルなど、種々の方法がとりうる。
In the production of the non-photosensitive color paste of the present invention, a method in which a polyamic acid solution is mixed with a pigment dispersion in which a solvent and a pigment are mixed and dispersed in advance, or a polyamic acid, a solvent, and a pigment are mixed. A dispersion method or the like can be used. About selection of these manufacturing methods, it is preferable to select a suitable thing suitably according to the kind of pigment.
In the paste of the present invention, the method for dispersing the pigment is not particularly limited, and various methods such as a ball mill, a sand grinder, a three roll mill, and a high speed impact mill can be used.

本発明のペーストには、塗布性、着色被膜の乾燥性の改良、あるいは、顔料の分散性を良好にする目的で、本発明のペーストに界面活性剤を添加することもできる。界面活性剤の添加量は通常、顔料の0.001〜10重量%、好ましくは0.01〜1重量%である。添加量が少なすぎると塗布性、着色被膜の乾燥性の改良、あるいは顔料の分散性の改良の効果がなく、多すぎると逆に塗布性が不良となったり、顔料の凝集が起こる。   In the paste of the present invention, a surfactant may be added to the paste of the present invention for the purpose of improving the coating property, drying of the colored film, or improving the dispersibility of the pigment. The addition amount of the surfactant is usually 0.001 to 10% by weight, preferably 0.01 to 1% by weight of the pigment. If the addition amount is too small, there is no effect of improving the coating property, drying property of the colored film, or improving the dispersibility of the pigment, and if it is too much, the coating property is poor or the pigment is aggregated.

界面活性剤の具体例としては、ラウリル硫酸アンモニウム、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸トリエタノールアミンなどの陰イオン界面活性剤、ステアリルアミンアセテート、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライドなどの陽イオン界面活性剤、ラウリルジメチルアミンオキサイド、ラウリルカルボキシメチルヒドロキシエチルイミダゾリウムベタインなどの両性界面活性剤、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ソルビタンモノステアレートなどの非イオン界面活性剤などが挙げられる。本発明では、これらに限定されずに、界面活性剤が1種または2種以上用いることができる。界面活性剤の添加は、顔料の分散工程中またはその工程の前後のどの時点でも行うことができる。しかし、添加の時点により顔料の分散性が変わる場合があるので、注意を要する。   Specific examples of the surfactant include anionic surfactants such as ammonium lauryl sulfate and polyoxyethylene alkyl ether sulfate triethanolamine, cationic surfactants such as stearylamine acetate and lauryltrimethylammonium chloride, lauryldimethylamine oxide, Examples include amphoteric surfactants such as lauryl carboxymethyl hydroxyethyl imidazolium betaine, and nonionic surfactants such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, and sorbitan monostearate. In this invention, it is not limited to these, Surfactant can use 1 type (s) or 2 or more types. The surfactant can be added at any time during or before or after the pigment dispersion process. However, care must be taken because the dispersibility of the pigment may change depending on the point of addition.

本発明の非感光カラーペーストには、顔料の分散性を向上させる目的で、分散剤を添加することができる。分散剤としては、上記の界面活性剤や、その他の化合物、とくに顔料の表面に吸着しやすい化合物を用いることができる。分散剤の添加は、顔料の分散工程中またはその工程の前後のどの時点でも行うことができる。   A dispersant can be added to the non-photosensitive color paste of the present invention for the purpose of improving the dispersibility of the pigment. As the dispersant, the above-described surfactants and other compounds, particularly compounds that are easily adsorbed on the surface of the pigment can be used. The dispersant can be added at any time during or before the pigment dispersion step.

本発明の非感光カラーペーストを基板上に塗布する方法としては、スピンコーター、バーコーター、ブレードコーター、ロールコーター、ダイコーター、スクリーン印刷法などで基板に塗布する方法、基板を溶液中に浸漬する方法、溶液を基板に噴霧するなどの種々の方法を用い
ることができる。基板としては通常、ソーダガラス、無アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラスなどの透明基板や、シリコン、ガリウム−ひ素などの半導体基板などが用いられるが、特にこれらに限定されない。なお、基板上にペーストを塗布する場合、シランカップリング剤、アルミニウムキレート剤、チタニウムキレート剤などの接着助剤で基板表面を処理しておくと、着色被膜と基板の接着力を向上させることができる。
As a method of applying the non-photosensitive color paste of the present invention on a substrate, a method of applying to a substrate by a spin coater, a bar coater, a blade coater, a roll coater, a die coater, a screen printing method, or the like, or immersing the substrate in a solution Various methods, such as a method and spraying a solution on a substrate, can be used. As the substrate, a transparent substrate such as soda glass, non-alkali glass, borosilicate glass, or quartz glass, or a semiconductor substrate such as silicon or gallium arsenide is usually used, but is not particularly limited thereto. In addition, when applying a paste on a substrate, if the substrate surface is treated with an adhesion aid such as a silane coupling agent, an aluminum chelating agent, or a titanium chelating agent, the adhesion between the colored coating and the substrate can be improved. it can.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の構成は図1に示す構成1以外に、図2、図3に示すような構成2、構成3であってもよい。   The configuration of the organic electroluminescence display device of the present invention may be configurations 2 and 3 as shown in FIGS. 2 and 3 in addition to the configuration 1 shown in FIG.

図2において、ガラス基板11に有機エレクトロルミネッセンス駆動用TFT12を形成している。オーバーコート層13の上にTFT12に接続したITOからなるアノード層14が形成されている。アノード層14の端部を被覆するように絶縁膜15、またアノード層14の上部には有機エレクトロルミネッセンス層16を形成している。さらに有機エレクトロルミネッセンス層16の上にカソード層17を形成したものが、有機EL基板24である。一方、ガラス基板18にブラックマトリックス層19、カラーフィルター層20、オーバーコート層21、無機バリア層22を形成したものが、カラーフィルター基板25である。
有機エレクトロルミネッセンス基板24とカラーフィルター基板25を真空下、封着剤23で封着したのが構成2である。
In FIG. 2, an organic electroluminescence driving TFT 12 is formed on a glass substrate 11. An anode layer 14 made of ITO connected to the TFT 12 is formed on the overcoat layer 13. An insulating film 15 is formed so as to cover an end portion of the anode layer 14, and an organic electroluminescence layer 16 is formed on the anode layer 14. Further, the organic EL substrate 24 is obtained by forming the cathode layer 17 on the organic electroluminescence layer 16. On the other hand, a color filter substrate 25 is formed by forming a black matrix layer 19, a color filter layer 20, an overcoat layer 21, and an inorganic barrier layer 22 on a glass substrate 18.
In the configuration 2, the organic electroluminescence substrate 24 and the color filter substrate 25 are sealed with a sealing agent 23 under vacuum.

図3において、ガラス基板26に遮光層27、カラーフィルター層28、オーバーコート層29、無機バリア層30を形成する。無機バリア層30の上にITOをからなるアノード層31、アノード層31の端部に絶縁層32を形成する。この上に有機エレクトロルミネッセンス層33を形成し、さらにその上に、カソード層34を形成する。封止ガラス35を封止剤36で封止したのが構成3である。   In FIG. 3, a light shielding layer 27, a color filter layer 28, an overcoat layer 29, and an inorganic barrier layer 30 are formed on a glass substrate 26. An anode layer 31 made of ITO is formed on the inorganic barrier layer 30, and an insulating layer 32 is formed at the end of the anode layer 31. An organic electroluminescence layer 33 is formed thereon, and a cathode layer 34 is further formed thereon. In the configuration 3, the sealing glass 35 is sealed with the sealing agent 36.

構成2、3においても本発明のポリイミド樹脂からなるカラーフィルター層を用いることにより、表示信頼性の優れた効果を発現することができるが、これらの構成では無機バリア層により、カラーフィルター層から出る水分、有機ガスが有機エレクトロルミネッセンス層に浸透するのを低減できる。この点では、本発明の効果は無機バリア層を設けることが困難な、構成1でより効果を発揮する。   Even in configurations 2 and 3, by using the color filter layer made of the polyimide resin of the present invention, an effect of excellent display reliability can be expressed, but in these configurations, the color filter layer comes out of the inorganic barrier layer. It is possible to reduce the penetration of moisture and organic gas into the organic electroluminescence layer. In this respect, the effect of the present invention is more effective in the configuration 1 in which it is difficult to provide the inorganic barrier layer.

すなわち、カラーフィルター層が有機エレクトロルミネッセンス表示素子駆動用のTFTと同一基板上に形成され有機エレクトロルミネッセンス表示装置に適用させることが好ましい。   That is, it is preferable that the color filter layer is formed on the same substrate as the TFT for driving the organic electroluminescence display element and applied to the organic electroluminescence display device.

以下に構成1について図1で説明する。   The configuration 1 will be described below with reference to FIG.

カラーフィルター方式の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの一例を図1に示す。   An example of a color filter type organic electroluminescence display is shown in FIG.

少なくともポリアミック酸、着色剤、溶剤からなる前記非感光性カラーペーストを、TFT2が形成された基板上に塗布した後、風乾、加熱乾燥、真空乾燥などにより乾燥し、非感光性ポリアミック酸着色被膜を形成する。ポリアミック酸着色被膜の厚さとしては通常0.5〜3.0μmの範囲が用いられる。加熱乾燥の場合、オーブン、ホットプレートなどを使用し、60〜200℃の範囲で1分〜60分行うのが好ましい。次に、このようにして得られたポリアミック酸着色被膜の上にポジ型フォトレジストを塗布し、ホットプレートなどを使用して60〜150℃の範囲で1〜30分加熱乾燥させる(プリベーク)。次に、フォトマスクと近接露光装置を用いてh線露光量20〜300mJ/cm2の紫外線を照射し、目的のパターンを焼き付けた後、アルカリ現像して所望位置に所望パターンで着色層を得る。フォトレジストをアルカリ剥離し、最後に200〜300℃で1分〜3時間加熱することにより着色層を硬化(ポリイミド化)させる。 After applying the non-photosensitive color paste comprising at least a polyamic acid, a colorant, and a solvent on the substrate on which the TFT 2 is formed, it is dried by air drying, heat drying, vacuum drying, or the like to form a non-photosensitive polyamic acid colored film. Form. The thickness of the polyamic acid colored coating is usually in the range of 0.5 to 3.0 μm. In the case of heat drying, it is preferable to use an oven, a hot plate, or the like and perform the treatment at 60 to 200 ° C. for 1 to 60 minutes. Next, a positive type photoresist is applied on the polyamic acid-colored coating film thus obtained, and is heated and dried at 60 to 150 ° C. for 1 to 30 minutes using a hot plate or the like (prebaking). Next, using a photomask and a proximity exposure apparatus, an ultraviolet ray having an h-ray exposure of 20 to 300 mJ / cm 2 is irradiated to print a target pattern, and then alkali development is performed to obtain a colored layer in a desired pattern at a desired position. . The photoresist is alkali peeled, and finally the colored layer is cured (polyimide) by heating at 200 to 300 ° C. for 1 minute to 3 hours.

本発明はカラーフィルター層を形成する着色層に使用されている樹脂がポリイミド樹脂であることによって、不純物や水分が染み出しにくく、ダークスポットなどの欠陥等が少なくなることを特徴とする。   The present invention is characterized in that since the resin used in the colored layer forming the color filter layer is a polyimide resin, impurities and moisture are hardly oozed out and defects such as dark spots are reduced.

すなわち、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイに使用される好適なカラーフィルター層として、ヘリウム雰囲気中で300℃まで加熱したときのRGB各着色層、単位体積(mm)当りから発生する、水分、窒素、一酸化炭素、二酸化炭素、有機ガス等を含めた全気体発生量が3.0(wtppm)以下であることが好ましい。また全気体発生量に対して水分が2.0(wtppm)以下、窒素/一酸化炭素/二酸化炭素の合計が1.0(wtppm)以下、有機ガスが1.0(wtppm)以下であることが好ましい。 That is, as a suitable color filter layer used for an organic electroluminescence display, moisture, nitrogen, and monoxide generated from each RGB colored layer, unit volume (mm) 3 when heated to 300 ° C. in a helium atmosphere The total gas generation amount including carbon, carbon dioxide, organic gas, etc. is preferably 3.0 (wtppm) or less. Also, the water content is 2.0 (wtppm) or less, the total of nitrogen / carbon monoxide / carbon dioxide is 1.0 (wtppm) or less, and the organic gas is 1.0 (wtppm) or less with respect to the total gas generation amount. Is preferred.

このような気体の発生量の測定方法としては、昇温脱離−質量分析法を使用することができ、例えば10mm×20mm程度に切断した着色層を形成した基板を準備し、ヘリウム雰囲気下、50ml/分のヘリウム流の雰囲気下において、室温より300℃まで昇温速度10℃/分の条件下で発生する気体の量を定量し、各気体質量数のピークとして観測することができる。   As a method for measuring the amount of generated gas, temperature-programmed desorption-mass spectrometry can be used. For example, a substrate on which a colored layer cut to about 10 mm × 20 mm is formed is prepared in a helium atmosphere. Under the atmosphere of helium flow of 50 ml / min, the amount of gas generated under the condition of a heating rate of 10 ° C./min from room temperature to 300 ° C. can be quantified and observed as a peak of each gas mass number.

次にその上に表面平坦化のためのオーバーコート層4を形成する。オーバーコート層に要求される性能としては平坦性、高透過率、低脱ガス性、高耐熱性、パターン加工性が要求される。オーバーコートの材質としては上記要求を満たせば、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、シロキサン系樹脂のいずれであっても構わない。本発明ではポジ型感光性シロキサンペーストを例に説明する。   Next, an overcoat layer 4 for surface planarization is formed thereon. As the performance required for the overcoat layer, flatness, high transmittance, low degassing property, high heat resistance and pattern workability are required. As a material for the overcoat, any of a polyimide resin, an acrylic resin, and a siloxane resin may be used as long as the above requirements are satisfied. In the present invention, a positive photosensitive siloxane paste will be described as an example.

ポジ型感光性シロキサンペーストは少なくともアルカリ可溶性ポリシロキサン樹脂、ナフトキノンジアジド化合物、溶剤、金属キレート化合物から構成される。
本発明におけるポリシロキサンは、オルガノシランなどのモノマーを加水分解および部分縮合させることにより合成される。加水分解および部分縮合には一般的な方法を用いることができる。例えば、混合物に溶媒、水、必要に応じて触媒を添加し、50〜150℃、好ましくは、90〜130℃で0.5〜100時間程度加熱攪拌する。なお、攪拌中、必要に応じて、蒸留によって加水分解副生物(メタノールなどのアルコール)や縮合副生物(水)の留去を行ってもよい。 上記の反応溶媒としては特に制限は無い。溶媒の添加量はオルガノシランなどのモノマー100重量部に対して10〜1000重量部が好ましい。また加水分解反応に用いる水の添加量は、加水分解性基1モルに対して0.5〜2モルが好ましい。
The positive photosensitive siloxane paste is composed of at least an alkali-soluble polysiloxane resin, a naphthoquinonediazide compound, a solvent, and a metal chelate compound.
The polysiloxane in the present invention is synthesized by hydrolysis and partial condensation of a monomer such as organosilane. A general method can be used for hydrolysis and partial condensation. For example, a solvent, water and, if necessary, a catalyst are added to the mixture, and the mixture is heated and stirred at 50 to 150 ° C., preferably 90 to 130 ° C. for about 0.5 to 100 hours. During stirring, if necessary, hydrolysis by-products (alcohols such as methanol) and condensation by-products (water) may be distilled off by distillation. There is no restriction | limiting in particular as said reaction solvent. The addition amount of the solvent is preferably 10 to 1000 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the monomer such as organosilane. The amount of water used for the hydrolysis reaction is preferably 0.5 to 2 mol with respect to 1 mol of the hydrolyzable group.

必要に応じて添加される触媒に特に制限はないが、酸触媒、塩基触媒が好ましく用いられる。酸触媒の具体例としては塩酸、硝酸、硫酸、フッ酸、リン酸、酢酸、トリフルオロ酢酸、ギ酸、多価カルボン酸あるいはその無水物、イオン交換樹脂が挙げられる。塩基触媒の具体例としては、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、ジエチルアミン、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アミノ基を有するアルコキシシラン、イオン交換樹脂が挙げられる。触媒の添加量はオルガノシランなどのモノマー100重量部に対して0.01〜10重量部が好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular in the catalyst added as needed, An acid catalyst and a base catalyst are used preferably. Specific examples of the acid catalyst include hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid, hydrofluoric acid, phosphoric acid, acetic acid, trifluoroacetic acid, formic acid, polyvalent carboxylic acid or anhydride thereof, and ion exchange resin. Specific examples of the base catalyst include triethylamine, tripropylamine, tributylamine, tritylamine, trihexylamine, triheptylamine, trioctylamine, diethylamine, triethanolamine, diethanolamine, sodium hydroxide, potassium hydroxide, amino Examples include alkoxysilanes having groups and ion exchange resins. The addition amount of the catalyst is preferably 0.01 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the monomer such as organosilane.

ナフトキノンジアジド化合物に特に制限は無いが、好ましくはフェノール性水酸基を有する化合物にナフトキノンジアジドスルホン酸がエステル結合した化合物であり、当該化合物のフェノール性水酸基のオルト位、およびパラ位がそれぞれ独立して水素、水酸基のいずれかである化合物などが用いられる。
ナフトキノンジアジド化合物の添加量は特に制限されないが、好ましくはアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して2〜30重量部であり、さらに好ましくは3〜15重量部である。
The naphthoquinone diazide compound is not particularly limited, but is preferably a compound in which naphthoquinone diazide sulfonic acid is ester-bonded to a compound having a phenolic hydroxyl group, and the ortho position and the para position of the phenolic hydroxyl group of the compound are independently hydrogenated. Or a compound which is any of hydroxyl groups.
The addition amount of the naphthoquinone diazide compound is not particularly limited, but is preferably 2 to 30 parts by weight, more preferably 3 to 15 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin.

ナフトキノンジアジド化合物の添加量が1重量部より少ない場合、露光部と未露光部との溶解コントラストが低すぎて、実用に足る感光性を発現しない。また、さらに良好な溶解コントラストを得るためには5重量部以上が好ましい。一方、ナフトキノンジアジド化合物の添加量が30重量部より多い場合、ポリシロキサンとナフトキノンジアジド化合物との相溶性が悪くなることによる塗布膜の白化が生じたり、熱硬化時に起こるキノンジアジド化合物の分解による着色が生じたりするために、硬化膜の無色透明性が低下する。また、さらに高透明性の膜を得るためには20重量部以下、好ましくは15重量部以下、さらに好ましくは10重量部以下が好ましい。   When the addition amount of the naphthoquinone diazide compound is less than 1 part by weight, the dissolution contrast between the exposed part and the unexposed part is too low, and the photosensitivity sufficient for practical use is not exhibited. Further, in order to obtain a better dissolution contrast, 5 parts by weight or more is preferable. On the other hand, when the addition amount of the naphthoquinone diazide compound is more than 30 parts by weight, the coating film may be whitened due to poor compatibility between the polysiloxane and the naphthoquinone diazide compound, or coloring due to decomposition of the quinone diazide compound that occurs during thermal curing may occur. As a result, the colorless transparency of the cured film decreases. Further, in order to obtain a highly transparent film, the amount is 20 parts by weight or less, preferably 15 parts by weight or less, more preferably 10 parts by weight or less.

使用する溶剤に特に制限はないが、好ましくはアルコール性水酸基を有する化合物が用いられる。これらの溶剤を用いると、アルカリ可溶性樹脂とキノンジアジド化合物とが均一に溶解し、組成物を塗布成膜しても膜は白化することなく、高透明性が達成できる。   Although there is no restriction | limiting in particular in the solvent to be used, Preferably the compound which has alcoholic hydroxyl group is used. When these solvents are used, the alkali-soluble resin and the quinonediazide compound are uniformly dissolved, and high transparency can be achieved without whitening the film even when the composition is coated.

上記アルコール性水酸基を有する化合物は特に制限されないが、好ましくは大気圧下の沸点が110〜250℃である化合物である。沸点が250℃より高いと膜中の残存溶剤量が多くなりキュア時の膜収縮が大きくなり、良好な平坦性が得られなくなる。一方、沸点が110℃より低いと、塗膜時の乾燥が速すぎて膜表面が荒れるなど塗膜性が悪くなる。   The compound having an alcoholic hydroxyl group is not particularly limited, but is preferably a compound having a boiling point of 110 to 250 ° C. under atmospheric pressure. When the boiling point is higher than 250 ° C., the amount of residual solvent in the film increases and film shrinkage during curing increases, and good flatness cannot be obtained. On the other hand, if the boiling point is lower than 110 ° C., the coating properties deteriorate, such as drying at the time of coating is too fast and the film surface becomes rough.

アルコール性水酸基を有する化合物の具体例としては、アセトール、3−ヒドロキシ−3−メチル−2−ブタノン、4−ヒドロキシ−3−メチル−2−ブタノン、5−ヒドロキシ−2−ペンタノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン(ジアセトンアルコール)、乳酸エチル、乳酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノn−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノn−ブチルエーテル、プロピレングリコールモノt−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、3−メトキシ−1−ブタノール、3−メチル−3−メトキシ−1−ブタノールなどが挙げられる。なお、これらのアルコール性水酸基を有する化合物は、単独、あるいは2種以上を組み合わせて使用してもよい。   Specific examples of the compound having an alcoholic hydroxyl group include acetol, 3-hydroxy-3-methyl-2-butanone, 4-hydroxy-3-methyl-2-butanone, 5-hydroxy-2-pentanone, 4-hydroxy- 4-methyl-2-pentanone (diacetone alcohol), ethyl lactate, butyl lactate, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono n-propyl ether, propylene glycol mono n-butyl ether, propylene glycol mono t- Butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, 3-methoxy-1- Pentanol, 3-methyl-3-methoxy-1-butanol. In addition, you may use the compound which has these alcoholic hydroxyl groups individually or in combination of 2 or more types.

金属キレート化合物の含有量に特に制限はないが、(a)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して0.1〜5重量部である。さらに好ましくは、0.3〜4重量部である。上記範囲であることにより、現像密着性、耐湿熱性を高いレベルで両立できる。   Although there is no restriction | limiting in particular in content of a metal chelate compound, (a) It is 0.1-5 weight part with respect to 100 weight part of alkali-soluble resin. More preferably, it is 0.3 to 4 parts by weight. By being in the above range, it is possible to achieve both high development adhesion and heat-and-moisture resistance.

以上のポジ型感光性シロキサンペーストを、前記のカラーフィルター層が形成された基板上に塗布した後、風乾、加熱乾燥、真空乾燥などにより乾燥し、フォトマスクと近接露光装置を用いてh線露光量20〜300mJ/cm2の紫外線を照射し、目的のパターンを焼き付けた後、アルカリ現像して所望位置に所望パターンでオーバーコート層を得る。この後、h線露光量50〜300mJ/cm2の紫外線を照射するブリーチング工程を実施することにより、元々黄色を帯びていた余剰増感材を失活させ、透明なオーバーコート層を得ることができる。次の加熱工程によっても増感材をほぼ失活させることは可能なため、このブリーチング工程は省略しても良い。最後に200〜300℃で1分〜3時間加熱することにより増感材の失活および樹脂の硬化反応を完了させて、オーバーコート層を得る。 The above positive photosensitive siloxane paste is applied onto the substrate on which the color filter layer is formed, and then dried by air drying, heat drying, vacuum drying, etc., and h-line exposure is performed using a photomask and a proximity exposure apparatus. After irradiating an ultraviolet ray of 20 to 300 mJ / cm 2 and baking a target pattern, an alkali development is performed to obtain an overcoat layer in a desired pattern at a desired position. After that, by carrying out a bleaching step of irradiating with an ultraviolet ray having an h-ray exposure amount of 50 to 300 mJ / cm 2 , the excess sensitizing material originally tinged with yellow is deactivated to obtain a transparent overcoat layer. Can do. Since the sensitizer can be almost deactivated by the next heating step, this bleaching step may be omitted. Finally, by heating at 200 to 300 ° C. for 1 minute to 3 hours, the desensitization of the sensitizer and the curing reaction of the resin are completed to obtain an overcoat layer.

この際、平坦化層の膜厚としては1.5μm以上が好ましい。その理由としては、着色層の端部にはフォトレジストを剥離する際の応力緩和でバリが生じることがあり、このようなバリを完全に埋めるためには膜厚1.5μm以上の平坦化層が必要となるからである。バリが埋めきれていない場合、バリによる凹凸が残ってしまい、脱ガスの通り道となり、ダークスポットの発生に至らしめてしまう。   At this time, the thickness of the planarizing layer is preferably 1.5 μm or more. The reason is that burrs may occur at the end of the colored layer due to stress relaxation when the photoresist is peeled off. To completely fill such burrs, a flattening layer with a thickness of 1.5 μm or more is required. This is because it is necessary. If the burrs are not filled, irregularities due to burrs will remain, resulting in degassing paths and dark spots.

オーバーコート層4の上にアノード層5を形成する。アノード層の形成材料としては、例えば透明性および導電性を有する金属酸化物等が挙げられる。このような金属酸化物としては、例えば酸化インジウム錫(ITO)、酸化インジウム、酸化亜鉛、もしくは酸化第二錫等が挙げられる。 また、透明電極層の膜厚としては、通常100nm〜300nm程度である。上記透明電極層の形成方法としては、例えば蒸着法もしくはスパッタリング法等によって薄膜を形成した後に、フォトリソグラフィー法によりパターニングする方法が好ましく用いられる。   An anode layer 5 is formed on the overcoat layer 4. Examples of the material for forming the anode layer include metal oxides having transparency and conductivity. Examples of such a metal oxide include indium tin oxide (ITO), indium oxide, zinc oxide, and stannic oxide. Moreover, as a film thickness of a transparent electrode layer, it is about 100 nm-about 300 nm normally. As a method for forming the transparent electrode layer, for example, a method of patterning by photolithography after forming a thin film by vapor deposition or sputtering is preferably used.

本発明の構成ではアノード層5の端部を被覆するために、絶縁層6を形成する。絶縁層の形成材料としては、例えば感光性ポリイミド樹脂、アクリル系樹脂等の光硬化型樹脂、または熱硬化型樹脂、あるいは無機材料などを用いることができる。絶縁層のパターンは、通常、線状であり、例えばマトリクス状またはストライプ状等の開口部を有するパターンが例示される。 また、絶縁層の形成方法としては、上記材料を塗布して、フォトリソグラフィー法によりパターニングする方法が挙げられる。また、印刷法等を用いることもできる。   In the configuration of the present invention, the insulating layer 6 is formed to cover the end of the anode layer 5. As a material for forming the insulating layer, for example, a photocurable resin such as a photosensitive polyimide resin or an acrylic resin, a thermosetting resin, an inorganic material, or the like can be used. The pattern of the insulating layer is usually linear, and for example, a pattern having openings such as a matrix shape or a stripe shape is exemplified. Moreover, as a formation method of an insulating layer, the method of apply | coating the said material and patterning by the photolithographic method is mentioned. Also, a printing method or the like can be used.

本発明の構成1では絶縁層6を形成後、アノード増5の上に有機エレクトロルミネッセンス層7を形成する。有機エレクトロルミネッセンス層はRGB発光タイプで、カラーフィルターによりさらに色純度を向上させても構わないが、有機エレクトロルミネッセンス層は白色発光タイプを用いることが好ましい。   In the configuration 1 of the present invention, after the insulating layer 6 is formed, the organic electroluminescence layer 7 is formed on the anode increase 5. The organic electroluminescence layer is an RGB emission type, and the color purity may be further improved by a color filter, but the organic electroluminescence layer is preferably a white emission type.

本発明に用いられる白色発光層は、白色光を発光することができるものであれば良い。このような白色発光層としては、具体的には、上記有機EL層に電圧が加えられた際に、少なくとも青色光(430nm〜470nm)、緑色光(470nm〜600nm)、および赤色光(600nm〜700nm)の波長域の発光スペクトルを有するものであれば良いが、発光スペクトルのうち緑色光(470nm〜600nm)の最大発光強度である緑色ピークと、青色光(430nm〜470nm)の最大発光強度である青色ピークとの比(緑色ピーク/青色ピーク)が、0.3〜0.8の範囲内であることが好ましく、なかでも、0.3〜0.7の範囲内であることが好ましく、特に0.3〜0.5の範囲内であることが好ましい。   The white light emitting layer used in the present invention only needs to be capable of emitting white light. Specifically, as such a white light emitting layer, when a voltage is applied to the organic EL layer, at least blue light (430 nm to 470 nm), green light (470 nm to 600 nm), and red light (600 nm to 600 nm) 700 nm) as long as it has an emission spectrum in the wavelength range, but the green peak in the emission spectrum is the maximum emission intensity of green light (470 nm to 600 nm) and the maximum emission intensity of blue light (430 nm to 470 nm). The ratio to a certain blue peak (green peak / blue peak) is preferably in the range of 0.3 to 0.8, and more preferably in the range of 0.3 to 0.7, In particular, it is preferably within the range of 0.3 to 0.5.

上記緑色ピークおよび青色ピークの比が上記範囲内であることにより、上記緑色パターンの透過率が大きいことによる消費電力低減効果を、より効果的に発揮することができるからである。 また、赤色光(600nm〜700nm)については、その最大発光強度と青色光の最大発光強度との比が所定の範囲内にあれば良い。   This is because, when the ratio between the green peak and the blue peak is within the above range, the power consumption reduction effect due to the high transmittance of the green pattern can be more effectively exhibited. For red light (600 nm to 700 nm), the ratio of the maximum emission intensity to the maximum emission intensity of blue light may be within a predetermined range.

このような白色発光層を構成する材料としては、蛍光または燐光を発するものであれば特に限定されるものではない。また、発光材料は、正孔輸送性や電子輸送性を有していていもよい。発光材料としては、色素系材料、金属錯体系材料、および高分子系材料を挙げることができる。   The material constituting the white light emitting layer is not particularly limited as long as it emits fluorescence or phosphorescence. In addition, the light emitting material may have a hole transport property or an electron transport property. Examples of the light emitting material include a dye material, a metal complex material, and a polymer material.

上記色素系材料としては、シクロペンダミン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体
、トリフェニルアミン誘導体、オキサジアゾ−ル誘導体、ピラゾロキノリン誘導体、ジス
チリルベンゼン誘導体、ジスチリルアリーレン誘導体、シロール誘導体、チオフェン環化
合物、ピリジン環化合物、ペリノン誘導体、ペリレン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、
トリフマニルアミン誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマー等を挙げる
ことができる。
Examples of the dye material include cyclopentamine derivatives, tetraphenylbutadiene derivatives, triphenylamine derivatives, oxadiazol derivatives, pyrazoloquinoline derivatives, distyrylbenzene derivatives, distyrylarylene derivatives, silole derivatives, thiophene ring compounds, pyridine Ring compounds, perinone derivatives, perylene derivatives, oligothiophene derivatives,
Examples thereof include a trifumanylamine derivative, an oxadiazole dimer, and a pyrazoline dimer.

上記金属錯体系材料としては、アルミキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウ
ム錯体、ベンゾオキサゾール亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体
、ポルフィリン亜鉛錯体、ユーロピウム錯体、あるいは、中心金属に、Al、Zn、Be
等またはTb、Eu、Dy等の希土類金属を有し、配位子に、オキサジアゾール、チアジ
アゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造等を有する金
属錯体などを挙げることができる。
Examples of the metal complex material include an aluminum quinolinol complex, a benzoquinolinol beryllium complex, a benzoxazole zinc complex, a benzothiazole zinc complex, an azomethylzinc complex, a porphyrin zinc complex, a europium complex, or Al, Zn, Be on a central metal.
Or a metal complex having a rare earth metal such as Tb, Eu, or Dy, and having a ligand such as oxadiazole, thiadiazole, phenylpyridine, phenylbenzimidazole, or quinoline structure.

上記高分子系の材料としては、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘
導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体等、ポリフ
ルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、上記の色素系材料や金属錯体系材料を
高分子化したもの等を挙げることができる。
Examples of the polymer material include polyparaphenylene vinylene derivatives, polythiophene derivatives, polyparaphenylene derivatives, polysilane derivatives, polyacetylene derivatives, polyfluorene derivatives, polyvinylcarbazole derivatives, and the above-described dye materials and metal complex materials. Examples thereof include molecularized ones.

上記白色発光層の形成方法としては、例えば蒸着法、印刷法、インクジェット法、また
はスピンコート法、キャスティング法、ディッピング法、バーコート法、ブレードコート
法、ロールコート法、グラビアコート法、フレキソ印刷法、スプレーコート法、および自
己組織化法(交互吸着法、自己組織化単分子膜法)等を挙げることができる。中でも、蒸
着法、スピンコート法、およびインクジェット法を用いることが好ましい。
Examples of the method for forming the white light emitting layer include a vapor deposition method, a printing method, an inkjet method, a spin coating method, a casting method, a dipping method, a bar coating method, a blade coating method, a roll coating method, a gravure coating method, and a flexographic printing method. , Spray coating, and self-assembly method (alternate adsorption method, self-assembled monolayer method). Among these, it is preferable to use a vapor deposition method, a spin coating method, and an ink jet method.

本発明に用いられる白色発光層の膜厚としては、通常5nm〜5μm程度である。
本発明においては、白色発光層と陽極(透明電極層もしくは背面電極層)との間に正孔
注入層が形成されていても良い。正孔注入層を設けることにより、白色発光層への正孔の
注入が安定化し、発光効率を高めることができるからである。
The thickness of the white light emitting layer used in the present invention is usually about 5 nm to 5 μm.
In the present invention, a hole injection layer may be formed between the white light emitting layer and the anode (transparent electrode layer or back electrode layer). This is because by providing the hole injection layer, the injection of holes into the white light emitting layer is stabilized and the light emission efficiency can be increased.

本発明に用いられる正孔注入層の形成材料としては、一般的に有機EL素子の正孔注入
層に使用されている材料を用いることができる。また、正孔注入層の形成材料は、正孔の
注入性もしくは電子の障壁性のいずれかを有するものであれば良い。
As a material for forming the hole injection layer used in the present invention, a material generally used for a hole injection layer of an organic EL element can be used. The material for forming the hole injection layer may be any material that has either a hole injection property or an electron barrier property.

具体的に正孔注入層の形成材料としては、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導
体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン
誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体
、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン
誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、ポリシラン系、アニリン系共重合体、もし
くはチオフェンオリゴマー等の導電性高分子オリゴマー等を例示することができる。さら
に、正孔注入層の形成材料としては、ポルフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物、
もしくはスチリルアミン化合物等を例示することができる。
Specific examples of the material for forming the hole injection layer include triazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives. And styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, stilbene derivatives, silazane derivatives, polysilane-based, aniline-based copolymers, or conductive polymer oligomers such as thiophene oligomers. Furthermore, as a material for forming the hole injection layer, a porphyrin compound, an aromatic tertiary amine compound,
Or a styrylamine compound etc. can be illustrated.

また、正孔注入層の膜厚としては、通常5nm〜1μm程度である。   The thickness of the hole injection layer is usually about 5 nm to 1 μm.

本発明においては、白色発光層と陰極(透明電極層もしくは背面電極層)との間に電子
注入層が形成されていても良い。電子注入層を設けることにより、白色発光層への電子の
注入が安定化し、発光効率を高めることができるからである。
In the present invention, an electron injection layer may be formed between the white light emitting layer and the cathode (transparent electrode layer or back electrode layer). This is because by providing the electron injection layer, the injection of electrons into the white light emitting layer is stabilized, and the light emission efficiency can be increased.

本発明に用いられる電子注入層の形成材料としては、例えばニトロ置換フルオレン誘導
体、アントラキノジメタン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導
体、ナフタレンペリレン等の複素環テトラカルボン酸無水物、カルボジイミド、フレオレ
ニリデンメタン誘導体、アントラキノジメタンおよびアントロン誘導体、オキサジアゾー
ル誘導体、もしくはオキサジアゾール誘導体のオキサジアゾール環の酸素原子をイオウ原
子に置換したチアゾール誘導体、電子吸引基として知られているキノキサリン環を有した
キノキサリン誘導体、トリス(8−キノリノール)アルミニウム等の8−キノリノール誘
導体の金属錯体、フタロシアニン、金属フタロシアニン、もしくはジスチリルピラジン誘
導体等を例示することができる。 上記電子注入層の膜厚としては、通常5nm〜1μm程度である。
Examples of the material for forming the electron injection layer used in the present invention include heterocyclic tetracarboxylic anhydrides such as nitro-substituted fluorene derivatives, anthraquinodimethane derivatives, diphenylquinone derivatives, thiopyrandioxide derivatives, naphthaleneperylene, carbodiimides, Fluorenylidenemethane derivatives, anthraquinodimethane and anthrone derivatives, oxadiazole derivatives, or thiazole derivatives in which the oxygen atom of the oxadiazole ring of the oxadiazole derivative is substituted with a sulfur atom, quinoxaline known as an electron withdrawing group Examples thereof include quinoxaline derivatives having a ring, metal complexes of 8-quinolinol derivatives such as tris (8-quinolinol) aluminum, phthalocyanine, metal phthalocyanine, or distyrylpyrazine derivatives. The film thickness of the electron injection layer is usually about 5 nm to 1 μm.

有機エレクトロルミネッセンス層7を形成後、カソード層8を形成する。カソード層の形成材料としては、例えば仕事関数が4eV以下程度と小さい金属、合金、もしくはそれらの混合物等が挙げられる。具体的には、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al)混合物、インジウム、もしくはリチウム/アルミニウム混合物、希土類金属等を例示することができる。より好ましくは、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al)混合物、もしくはリチウム/アルミニウム混合物を挙げることができる。上記カソード層は、シート抵抗が数Ω/cm以下であることが好ましい。 After forming the organic electroluminescence layer 7, the cathode layer 8 is formed. Examples of the material for forming the cathode layer include metals, alloys, or mixtures thereof having a work function as small as about 4 eV or less. Specifically, sodium, sodium-potassium alloy, magnesium, lithium, magnesium / copper mixture, magnesium / silver mixture, magnesium / aluminum mixture, magnesium / indium mixture, aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) mixture, indium, Or a lithium / aluminum mixture, a rare earth metal, etc. can be illustrated. More preferable examples include a magnesium / silver mixture, a magnesium / aluminum mixture, a magnesium / indium mixture, an aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) mixture, or a lithium / aluminum mixture. The cathode layer preferably has a sheet resistance of several Ω / cm or less.

また、カソードの膜厚としては、通常10nm〜1μm程度である。   The film thickness of the cathode is usually about 10 nm to 1 μm.

上記カソード層の形成方法としては、例えば蒸着法もしくはスパッタリング法等によっ
て薄膜を形成した後に、フォトリソグラフィー法によりパターニングする方法が好ましく
用いられる。
As the method for forming the cathode layer, for example, a method of forming a thin film by a vapor deposition method or a sputtering method and then patterning by a photolithography method is preferably used.

カソード層8を形成後、封止剤で有機エレクトロルミネッセンス素子を封止する。このような封止剤の構成材料としては、上記有機EL素子を、大気中の水分等と接触することを抑制することができるものであれば良く、有機EL表示装置に一般的に用いられるものを使用することができる。   After forming the cathode layer 8, the organic electroluminescence element is sealed with a sealant. As a constituent material of such a sealant, any material can be used as long as it can prevent the organic EL element from coming into contact with moisture or the like in the atmosphere, and is generally used for an organic EL display device. Can be used.

以下、実施例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated concretely based on an Example, this invention is not limited to these.

実施例
(ポリアミック酸溶液の作製)
4,4′−ジアミノジフェニルエーテル95.1g及びビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン6.2gをN−メチルピロリドン745gと共に仕込み、3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物144.1gを添加し、70℃で3時間反応させた後、無水フタル酸3.0gを添加し、更に70℃で2時間反応させ、25重量%のポリアミック酸溶液(PAA)を得た。
Example (Preparation of polyamic acid solution)
Charge 95.1 g of 4,4'-diaminodiphenyl ether and 6.2 g of bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane together with 745 g of N-methylpyrrolidone to give 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride 144.1 g of the product was added and reacted at 70 ° C. for 3 hours, then 3.0 g of phthalic anhydride was added, and further reacted at 70 ° C. for 2 hours to obtain a 25 wt% polyamic acid solution (PAA). .

( 高分子分散剤の合成)
4,4′−ジアミノベンズアニリド161.3g、3,3′−ジアミノジフェニルスルホン176.7g、及びビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン18.6gをN−メチルピロリドン3194gと共に仕込み、3,3′,4,4 ′ −ビフェニルテトラカルボン酸二無水物439.1gを添加し、70℃で3時間反応させた後、無水フタル酸2.2gを添加し、更に70℃で2時間反応させ、20重量%のポリアミック酸溶液である高分子分散剤(PD)を得た。
(Synthesis of polymer dispersant)
161.3 g of 4,4′-diaminobenzanilide, 176.7 g of 3,3′-diaminodiphenylsulfone, and 18.6 g of bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane were charged together with 3194 g of N-methylpyrrolidone, After adding 439.1 g of 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and reacting at 70 ° C. for 3 hours, 2.2 g of phthalic anhydride was added and further reacted at 70 ° C. for 2 hours. Thus, a polymer dispersant (PD) which is a 20% by weight polyamic acid solution was obtained.

( 非感光カラーペーストの作製)
ピグメントレッドPR254、3.6g(80wt%)、ピグメントレッドPR177、0.9g(20wt%)とポリマー分散剤(PD) 22.5g及びN−メチルピロリドン63gをガラスビーズ 90gとともに仕込み、ホモジナイザーを用い、7000rpmで5時間分散後、ガラスビーズを濾過し、除去した。このようにしてPR254とPR177からなる分散液5%溶液(RD)を得た。
(Preparation of non-photosensitive color paste)
Pigment Red PR254, 3.6 g (80 wt%), Pigment Red PR 177, 0.9 g (20 wt%), 22.5 g of a polymer dispersant (PD) and N-methylpyrrolidone 63 g are charged together with 90 g of glass beads, and a homogenizer is used. After dispersing at 7000 rpm for 5 hours, the glass beads were filtered and removed. In this way, a 5% dispersion (RD) of PR254 and PR177 was obtained.

分散液(RD) 45.6gにポリアミック酸溶液(PAA) 18.2g、密着改良剤として3−アミノプロピルトリエトキシシランを0.1g、界面活性剤としてアクリル系界面活性剤を0.03g、および適量のN−メチルピロリドンを添加混合し、顔料/樹脂比率が25/75、固形分濃度が6%で溶剤としてNMPを94%含む赤色カラーペースト(PR−1)を得た。同様にして、ピグメントグリーンPG36とピグメントイエローPY150の重量混合比(G/Y)が60/40で、顔料/樹脂比率が25/75、固形分濃度6%、溶剤としてNMPを94%含む緑色カラーペースト(PG−1)、ピグメントブルーPB15:6からなり、顔料/樹脂比率が25/75で固形分濃度6%、溶剤としてNMPを94%含む青色カラーペースト(PB−1)を得た。   Dispersion (RD) 45.6 g, polyamic acid solution (PAA) 18.2 g, 3-aminopropyltriethoxysilane 0.1 g as adhesion improver, acrylic surfactant 0.03 g as surfactant, and An appropriate amount of N-methylpyrrolidone was added and mixed to obtain a red color paste (PR-1) having a pigment / resin ratio of 25/75, a solid content concentration of 6% and NMP as a solvent of 94%. Similarly, a green color containing Pigment Green PG36 and Pigment Yellow PY150 with a weight mixing ratio (G / Y) of 60/40, a pigment / resin ratio of 25/75, a solid content concentration of 6%, and NMP as a solvent of 94%. A blue color paste (PB-1) comprising a paste (PG-1) and pigment blue PB15: 6, having a pigment / resin ratio of 25/75, a solid content concentration of 6%, and NMP as a solvent at 94% was obtained.

(ポリシロキサン溶液の合成)
500mlの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを81.72g(0.60mol)、フェニルトリメトキシシランを59.49g(0.30mol)、(2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランを24.64g(0.10mol)、DAAを163.1g仕込み、室温で攪拌しながら水55.8gにリン酸0.54g(仕込みモノマーに対して0.3重量%)を溶かしたリン酸水溶液を10分かけて添加した。その後、フラスコを40℃のオイルバスに浸けて30分攪拌した後、オイルバスを30分かけて115℃まで昇温した。昇温開始1時間後に溶液の内温が100℃に到達し、そこから1.5時間加熱攪拌し(内温は100〜110℃)、ポリシロキサン溶液を得た。なお、加熱攪拌中、窒素を0.05l(リットル)/min流した。反応中に副生成物であるメタノール、水が合計131g留出した。
(Synthesis of polysiloxane solution)
In a 500 ml three-necked flask, 81.72 g (0.60 mol) of methyltrimethoxysilane, 59.49 g (0.30 mol) of phenyltrimethoxysilane, 24 of (2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane .64 g (0.10 mol) and 163.1 g of DAA were charged, and an aqueous phosphoric acid solution prepared by dissolving 0.54 g of phosphoric acid (0.3 wt% with respect to the charged monomer) in 55.8 g of water while stirring at room temperature After that, the flask was immersed in an oil bath at 40 ° C. and stirred for 30 minutes, and then the oil bath was heated to 115 ° C. over 30 minutes. Then, the mixture was heated and stirred for 1.5 hours (internal temperature was 100 to 110 ° C.) to obtain a polysiloxane solution. 05L (liter) / min shed. Methanol during the reaction by-product, water has issued a total 131g distilled.

得られたポリシロキサン溶液の固形分濃度は43重量%、ポリシロキサンの重量平均分子量は4200であった。なお、ポリシロキサン中のフェニル基置換シランの含有比はSi原子モル比で30%であった。
(感光性ポジ型透明レジストの作製)
上記合成で得られたポリシロキサン溶液15.43g、合成例7で得られたキノンジアジド化合物0.59g、溶剤としてDAA3.73g、PGMEA9.84gを黄色灯下で混合、攪拌して均一溶液とした後、0.45μmのフィルターで濾過して組成物1を調製した。
The resulting polysiloxane solution had a solid content concentration of 43% by weight, and the polysiloxane had a weight average molecular weight of 4200. The content ratio of phenyl group-substituted silane in the polysiloxane was 30% in terms of Si atom molar ratio.
(Preparation of photosensitive positive transparent resist)
After mixing 15.43 g of the polysiloxane solution obtained in the above synthesis, 0.59 g of the quinonediazide compound obtained in Synthesis Example 7 and 3.73 g of DAA as a solvent and 9.84 g of PGMEA under a yellow light, stirring to obtain a uniform solution The composition 1 was prepared by filtering through a 0.45 μm filter.

(TFT基板の作製)
ガラス基板(コーニング社製1737)ガラス、100mm×100mm、厚み0.7mmを準備した。この基板を定法に従って、TFT基板を作製した。
(Production of TFT substrate)
A glass substrate (Corning 1737) glass, 100 mm × 100 mm, thickness 0.7 mm was prepared. A TFT substrate was produced from this substrate according to a conventional method.

(カラーフィルター層の作製)
前記TFT基板に上記非感光カラーペーストPR−1をスリットコーターで塗布し、120℃のホットプレートで、10分間加熱することによりセミキュア処理した赤色の樹脂塗膜を形成した。ポジ型フォトレジスト(ロームアンドハース電子材料社製、“LC−100A”)をスリットコーターでプリベーク後の膜厚が1.0μmになるように塗布し、100℃のホットプレートで、5分間乾燥し、プリベークを行った。
(Preparation of color filter layer)
The non-photosensitive color paste PR-1 was applied to the TFT substrate with a slit coater and heated on a hot plate at 120 ° C. for 10 minutes to form a semi-cured red resin coating film. Positive type photoresist (Rohm and Haas Electronic Materials, "LC-100A") is applied with a slit coater so that the film thickness after pre-baking is 1.0 μm, and dried on a hot plate at 100 ° C. for 5 minutes. And pre-baked.

キャノン株式会社製紫外線露光機PLA−501Fを用い、フォトマスクを介して100mJ/cm2 (365nmの紫外線強度)でマスク露光し、次に2.0%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いて、フォトレジストの現像と樹脂塗膜のエッチングを同時に行い、パターンを形成、続いてメチルセロソルブアセテートでレジストを剥離した。次に270℃のオーブンで、30分間熱処理することでキュアを行い、膜厚1.9μmの赤色カラーフィルター層を形成した。 Using a UV exposure machine PLA-501F manufactured by Canon Inc., mask exposure was performed at 100 mJ / cm 2 (ultraviolet intensity of 365 nm) through a photomask, and then using a 2.0% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution, Photoresist development and resin coating etching were simultaneously performed to form a pattern, and then the resist was peeled off with methyl cellosolve acetate. Next, curing was performed by heat treatment in an oven at 270 ° C. for 30 minutes to form a red color filter layer having a thickness of 1.9 μm.

同様にして緑色カラーペーストPG−1を用いて緑色カラーフィルター層を、青色カラーペーストを用いて青色カラーフィルター層を形成した。   Similarly, a green color filter layer was formed using the green color paste PG-1, and a blue color filter layer was formed using the blue color paste.

(カラーフィルター層の脱ガス性評価)
カラーフィルター層からの気体発生量は昇温脱離−質量分析法にて測定を行った。ガラス基板(0.7mm)に上記非感光カラーペーストPR−1をスリットコーターで塗布し、120℃のホットプレートで、10分間加熱することによりセミキュア処理したRの樹脂塗膜を形成した。次に270℃のオーブンで、30分間熱処理することでキュアを行い、膜厚1.9μmのR着色ベタ層を形成した。PG−1、PB−1についても同様に形成した。
(Evaluation of degassing property of color filter layer)
The amount of gas generated from the color filter layer was measured by temperature programmed desorption-mass spectrometry. The non-photosensitive color paste PR-1 was applied to a glass substrate (0.7 mm) with a slit coater and heated on a hot plate at 120 ° C. for 10 minutes to form a semi-cured R resin coating film. Next, curing was performed by heat-treating in an oven at 270 ° C. for 30 minutes to form an R-colored solid layer having a thickness of 1.9 μm. PG-1 and PB-1 were formed in the same manner.

作製した基板を10mm×20mmに切断し、切断基板10枚をヘリウム雰囲気下、50ml/分のヘリウム流の雰囲気下において、室温より300℃まで昇温速度10℃/分の条件下で発生する気体の量を定量した。発生した気体は島津製作所製のガスクロマトグラフィー質量分析装置GC/MS“QP5050A”を使用して分析し、各気体質量数のピークをNMPの発生量として求めた。PR−1の全気体発生量0.5、水分0.4、窒素/一酸化炭素/二酸化炭素総量0.05、有機ガス0.05(単位:wtppm/mm)。PG−1の全気体発生量0.5、水分0.4、窒素/一酸化炭素/二酸化炭素総量0.05、有機ガス0.05(単位:wtppm/mm)。PB−1の全気体発生量0.5、水分0.4、窒素/一酸化炭素/二酸化炭素総量0.05、有機ガス0.05(単位:wtppm/mm)。いずれの着色層も脱ガス性は良好であった。 The produced substrate is cut into 10 mm × 20 mm, and 10 pieces of cut substrates are generated in a helium atmosphere under a helium flow atmosphere of 50 ml / min from room temperature to 300 ° C. under a temperature rising rate of 10 ° C./min. The amount of was quantified. The generated gas was analyzed using a gas chromatography mass spectrometer GC / MS “QP5050A” manufactured by Shimadzu Corporation, and the peak of each gas mass number was determined as the amount of NMP generated. PR-1 total gas generation amount 0.5, moisture 0.4, nitrogen / carbon monoxide / carbon dioxide total amount 0.05, organic gas 0.05 (unit: wtppm / mm 3 ). PG-1 total gas generation amount 0.5, moisture 0.4, nitrogen / carbon monoxide / carbon dioxide total amount 0.05, organic gas 0.05 (unit: wtppm / mm 3 ). PB-1 total gas generation amount 0.5, moisture 0.4, nitrogen / carbon monoxide / carbon dioxide total amount 0.05, organic gas 0.05 (unit: wtppm / mm 3 ). All of the colored layers had good degassing properties.

(カラーフィルター層の耐熱性評価)
上記で得られたカラーフィルター層の色度を大塚電子(株)製MCPD2000を用いて測定した。次にカラーフィルター層を形成した基板をオーブン240℃、60分加熱した。加熱前と同じ測定場所の色度をMCPD2000で再度測定し、色差ΔE*abを求めた。結果を表1に示す。240℃、60分加熱前後の色差はRGBともに1.0以下で耐熱性が良好であることがわかった。
(Evaluation of heat resistance of color filter layer)
The chromaticity of the color filter layer obtained above was measured using MCPD2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd. Next, the substrate on which the color filter layer was formed was heated in an oven at 240 ° C. for 60 minutes. The chromaticity at the same measurement location as before the heating was measured again with MCPD2000, and the color difference ΔE * ab was determined. The results are shown in Table 1. The color difference before and after heating at 240 ° C. for 60 minutes was 1.0 or less for both RGB, indicating that the heat resistance was good.

(オーバーコート層の作製)
組成物1をカラーフィルター層を形成した基板にスピンコーター(ミカサ(株)製1H−360S)を用いて任意の回転数でスピンコートした後、ホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製SCW−636)を用いて90℃で2分間プリベークし、膜厚3μmの膜を作製した。作製した膜をパラレルライトマスクアライナー(以下、PLAと略する)(キヤノン(株)製PLA−501F)を用いて、超高圧水銀灯を感度測定用のグレースケールマスクを介してパターン露光した後、自動現像装置(滝沢産業(株)製AD−2000)を用いて2.38重量%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液であるELM−D(商品名、三菱ガス化学(株)製)で60秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスした。その後、ブリーチング露光として、PLA(キヤノン(株)製PLA−501F)を用いて、膜全面に超高圧水銀灯を3000J/m(波長365nm露光量換算)露光した。
(Preparation of overcoat layer)
The composition 1 was spin-coated on the substrate on which the color filter layer was formed using a spin coater (1H-360S manufactured by Mikasa Co., Ltd.) at an arbitrary rotation number, and then hot plate (SCW- manufactured by Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.). 636) for 2 minutes at 90 ° C. to prepare a film having a thickness of 3 μm. Using a parallel light mask aligner (hereinafter abbreviated as PLA) (PLA-501F manufactured by Canon Inc.), the ultra-high pressure mercury lamp was subjected to pattern exposure through a gray scale mask for sensitivity measurement. Using a developing device (AD-2000, manufactured by Takizawa Sangyo Co., Ltd.), shower development was performed for 60 seconds with ELM-D (trade name, manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.) which is a 2.38 wt% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution. Then rinsed with water for 30 seconds. After that, as bleaching exposure, PLA (Canon Co., Ltd. PLA-501F) was used, and the entire surface of the film was exposed to 3000 J / m 2 (wavelength 365 nm exposure amount conversion) with an ultrahigh pressure mercury lamp.

その後、ホットプレートを用いて110℃で2分間ソフトベークし、次いでオーブン(タバイエスペック(株)製IHPS−222)を用いて空気中230℃で1時間キュアして硬化膜を作製した。   After that, soft baking was performed at 110 ° C. for 2 minutes using a hot plate, and then cured in an air at 230 ° C. for 1 hour using an oven (IHPS-222 manufactured by Tabai Espec Co., Ltd.) to prepare a cured film.

(アノード層の作製)
オーバーコート層を形成した基板上に、DCスパッタリング法により膜厚0.4μmのクロム膜を形成し、さらに連続してスパッタリング法により膜厚150nmのITO膜を形成した。次に、このITO膜上の全面に感光性レジストを塗布し、マスク露光、現像、ITO膜のエッチングを行って、透明電極層を形成した。その後、クロム膜をパターニングするために、ITO膜およびクロム膜の上に感光性レジストを塗布し、マスク露光、現像、クロム膜のエッチングを行って、補助電極を形成した。
(Preparation of anode layer)
On the substrate on which the overcoat layer was formed, a chromium film having a thickness of 0.4 μm was formed by a DC sputtering method, and an ITO film having a thickness of 150 nm was continuously formed by a sputtering method. Next, a photosensitive resist was applied to the entire surface of the ITO film, mask exposure, development, and etching of the ITO film were performed to form a transparent electrode layer. Thereafter, in order to pattern the chromium film, a photosensitive resist was applied on the ITO film and the chromium film, mask exposure, development, and etching of the chromium film were performed to form auxiliary electrodes.

(絶縁層の形成)
ポリイミド系樹脂(東レ社製、DL1602)を用いて絶縁層形成用塗工液を調製した。この絶縁層形成用塗工液をスピンコート法により透明電極層上に塗布した後、プリベーク(100℃、5分間)を行って、厚み1μmの樹脂膜を形成した。次に、マスク露光、現像、ポストベーク(200℃、30分間)を行って、絶縁層を形成した。
(Formation of insulating layer)
A coating solution for forming an insulating layer was prepared using a polyimide resin (DL1602 manufactured by Toray Industries, Inc.). This insulating layer forming coating solution was applied on the transparent electrode layer by spin coating, and then pre-baked (100 ° C., 5 minutes) to form a resin film having a thickness of 1 μm. Next, mask exposure, development, and post-baking (200 ° C., 30 minutes) were performed to form an insulating layer.

(有機エレクトロルミネッセンス層の作製)
絶縁層を形成した基板に電子輸送層としてトリス(8-キノリノラト)アルミニウム(以下、Alq3と略す)を真空蒸着法により成膜した後、発光層としてAlq3にジシアノメチレンピラン、キナクリドン、4,4’−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ビフェニルをドーピングした白色発光層を形成した。次に正孔輸送層としてN,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(α−ナフチル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミンを真空蒸着法にて成膜した。最後に透明電極としてITOをスパッタリングにて成膜し、白色発光層を有する有機エレクトロルミネッセンス層を形成した。
(Preparation of organic electroluminescence layer)
Tris (8-quinolinolato) aluminum (hereinafter abbreviated as Alq3) was deposited on the substrate on which the insulating layer was formed by vacuum deposition as an electron transport layer, and then dicyanomethylenepyran, quinacridone, 4,4 ′ as a light emitting layer on Alq3. A white light emitting layer doped with -bis (2,2-diphenylvinyl) biphenyl was formed. Next, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (α-naphthyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine was formed into a film by a vacuum evaporation method as a hole transport layer. Finally, ITO was deposited as a transparent electrode by sputtering to form an organic electroluminescence layer having a white light emitting layer.

(カソード層の作製)
次に、表示領域よりも広い所定の開口部を備えたマスクを介して、真空蒸着法によりマ
グネシウムと銀とを同時に蒸着(マグネシウムの蒸着速度=1.3nm/秒〜1.4nm
/秒、銀の蒸着速度=0.1nm/秒)して成膜した。これにより、隔壁がマスクとなっ
て、マグネシウム/銀化合物からなる厚み200nmのカソード層を有機EL層上に形成
した。
(Preparation of cathode layer)
Next, magnesium and silver are simultaneously deposited by a vacuum deposition method through a mask having a predetermined opening wider than the display region (magnesium deposition rate = 1.3 nm / second to 1.4 nm).
/ Second, silver deposition rate = 0.1 nm / second). Thus, a 200 nm-thick cathode layer made of magnesium / silver compound was formed on the organic EL layer using the partition walls as a mask.

最後に、窒素が充填されたグローボックスにてカラーフィルター基板により封止を行い、有機エレクトロルミネッセンス表示装置を得た。   Finally, sealing was performed with a color filter substrate in a glow box filled with nitrogen to obtain an organic electroluminescence display device.

(有機レクトロルミネッセンス表示装置の評価)
大気中、85℃、100時間、点灯させ、ダークスポットの有無を評価した。ダークスポットの有無は直径30μm以上のものをダークスポットと認識した。結果を表1に示す。100時間後の評価結果、ダークスポットは確認できず、良好な結果であった。
(Evaluation of organic electroluminescence display device)
It was turned on in the atmosphere at 85 ° C. for 100 hours, and the presence or absence of dark spots was evaluated. As for the presence or absence of dark spots, those having a diameter of 30 μm or more were recognized as dark spots. The results are shown in Table 1. As a result of evaluation after 100 hours, dark spots could not be confirmed, and the results were good.

比較例
キュア温度、および着色ペーストの溶剤を変更した以外は実施例1と同様にしてカラーフィルター基板および画像表示装置を作製した。結果を表1に示した。比較例3
( 着色ペーストの作製)
着色ペーストとして、顔料、アクリル系樹脂、光重合開始剤、溶剤を含む感光性カラーペーストを用いた。固形分濃度20%、溶剤としてPMAを80%含む赤色感光性カラーペースト(AR−1)、同じく緑色感光性カラーペースト(AG−1)、同じく青色感光性カラーペースト(AB−1)を作製した。
Comparative Example A color filter substrate and an image display device were produced in the same manner as in Example 1 except that the curing temperature and the solvent of the colored paste were changed. The results are shown in Table 1. Comparative Example 3
(Preparation of colored paste)
As the coloring paste, a photosensitive color paste containing a pigment, an acrylic resin, a photopolymerization initiator, and a solvent was used. A red photosensitive color paste (AR-1) containing 20% solid content and 80% PMA as a solvent, a green photosensitive color paste (AG-1), and a blue photosensitive color paste (AB-1) were prepared. .

(カラーフィルター層の作製)
TFT作製基板(コーニング製、イーグルXG材)に上記赤色感光性カラーペーストAR−1をスリットコーターで塗布し、90℃のホットプレートで、10分間加熱することによりプリベーク処理した赤色の樹脂塗膜を形成した。キャノン株式会社製紫外線露光機PLA−501Fを用い、フォトマスクを介して100mJ/cm2(365nmの紫外線強度)でマスク露光し、次に0.05%の水酸化カリウム水溶液を用いて現像を行いパターン形成した。次に230℃のオーブンで、30分間熱処理することでキュアを行い、膜厚1.9μmの赤色着色層を形成した。
(Preparation of color filter layer)
A red resin coating film pre-baked by applying the red photosensitive color paste AR-1 on a TFT fabrication substrate (Corning, Eagle XG material) with a slit coater and heating on a 90 ° C. hot plate for 10 minutes. Formed. Using a UV exposure machine PLA-501F manufactured by Canon Inc., a mask exposure is performed through a photomask at 100 mJ / cm 2 (ultraviolet intensity of 365 nm), followed by development using a 0.05% aqueous potassium hydroxide solution. A pattern was formed. Next, it was cured by heat treatment in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to form a red colored layer having a thickness of 1.9 μm.

同様にして緑色感光性カラーペーストAG−1を用いて緑色着色層を、青色感光性カラーペーストAB−1を用いて青色着色層を形成した。   Similarly, a green colored layer was formed using the green photosensitive color paste AG-1, and a blue colored layer was formed using the blue photosensitive color paste AB-1.

(カラーフィルター層の脱ガス性評価)
各着色ベタ層形成において、230℃のオーブンで、30分間熱処理すること以外は、実施例同様の操作を実施した。AR−1の全気体発生量4.0、水分1.0、窒素/一酸化炭素/二酸化炭素総量1.0、有機ガス2.0(単位:wtppm/mm)。AG−1の全気体発生量4.0、水分1.0、窒素/一酸化炭素/二酸化炭素総量1.0、有機ガス2.0(単位:wtppm/mm)。AB−1の全気体発生量4.0、水分1.0、窒素/一酸化炭素/二酸化炭素総量1.0、有機ガス2.0(単位:wtppm/mm)。いずれの着色層も全気体発生量が多く、特に有機ガスの発生が実施例に比べ多かった。
(Evaluation of degassing property of color filter layer)
In the formation of each colored solid layer, the same operation as in the example was performed except that heat treatment was performed in an oven at 230 ° C. for 30 minutes. Total gas generation amount of AR-1, 4.0, moisture 1.0, nitrogen / carbon monoxide / carbon dioxide total amount 1.0, organic gas 2.0 (unit: wtppm / mm 3 ). AG-1 total gas generation amount 4.0, moisture 1.0, nitrogen / carbon monoxide / carbon dioxide total amount 1.0, organic gas 2.0 (unit: wtppm / mm 3 ). Total gas generation amount of AB-1, 4.0, moisture 1.0, nitrogen / carbon monoxide / carbon dioxide total amount 1.0, organic gas 2.0 (unit: wtppm / mm 3 ). All the colored layers generated a large amount of total gas, and in particular, more organic gas was generated than in the examples.

上記の違い以外は実施例と同様にして、カラーフィルター層の耐熱性評価および有機エレクトロルミネッセンス表示装置の作製、評価を行った。結果は表1に示す。カラーフィルター層の耐熱性を示す、色差はRGBともに1.0より大きく、特にB着色層の色差が大きかった。また表示装置の信頼性評価では100時間後、ダークスポットが無数に発生し、表示性能は悪かった。   Except for the above differences, the heat resistance evaluation of the color filter layer and the production and evaluation of the organic electroluminescence display device were performed in the same manner as in the examples. The results are shown in Table 1. The color difference indicating the heat resistance of the color filter layer was larger than 1.0 for both RGB, and the color difference of the B colored layer was particularly large. In the reliability evaluation of the display device, countless dark spots occurred after 100 hours, and the display performance was poor.

Figure 2013222520
Figure 2013222520

1 ・・・ガラス基板
2 ・・・TFT
3 ・・・カラーフィルター層
4 ・・・オーバーコート層
5 ・・・アノード層
6 ・・・絶縁層
7 ・・・有機エレクトロルミネッセンス層
8 ・・・カソード層
9 ・・・封止剤
10 ・・・封止ガラス
11 ・・・ガラス基板
12 ・・・TFT
13 ・・・オーバーコート層
14 ・・・アノード層
15 ・・・絶縁層
16 ・・・有機エレクトロルミネッセンス層
17 ・・・カソード層
18 ・・・ガラス基板
19 ・・・遮光層
20 ・・・カラーフィルター層
21 ・・・オーバーコート層
22 ・・・無機バリア層
23 ・・・封止剤
24 ・・・有機エレクロトルミネッセンス素子基板
25 ・・・カラーフィルター基板
26 ・・・ガラス基板
27 ・・・遮光層
28 ・・・カラーフィルター層
29 ・・・オーバーコート層
30 ・・・無機バリア層
31 ・・・アノード層
32 ・・・絶縁層
33 ・・・有機エレクトロルミネッセンス層
34 ・・・カソード層
35 ・・・封止ガラス
36 ・・・封止剤
1 ... Glass substrate 2 ... TFT
DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 ... Color filter layer 4 ... Overcoat layer 5 ... Anode layer 6 ... Insulating layer 7 ... Organic electroluminescent layer 8 ... Cathode layer 9 ... Sealant 10 ...・ Sealing glass 11 ・ ・ ・ Glass substrate 12 ・ ・ ・ TFT
DESCRIPTION OF SYMBOLS 13 ... Overcoat layer 14 ... Anode layer 15 ... Insulating layer 16 ... Organic electroluminescence layer 17 ... Cathode layer 18 ... Glass substrate 19 ... Light-shielding layer 20 ... Color Filter layer 21 ... Overcoat layer 22 ... Inorganic barrier layer 23 ... Sealant 24 ... Organic electroluminescence element substrate 25 ... Color filter substrate 26 ... Glass substrate 27 ... Light shielding layer 28 ... Color filter layer 29 ... Overcoat layer 30 ... Inorganic barrier layer 31 ... Anode layer 32 ... Insulating layer 33 ... Organic electroluminescence layer 34 ... Cathode layer 35・ ・ ・ Sealing glass 36 ・ ・ ・ Sealing agent

Claims (2)

少なくともカラーフィルター層を有する有機エレクトロルミネッセンス表示装置であって、カラーフィルター層を構成する着色層に使用されている樹脂がポリイミド樹脂であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 An organic electroluminescence display device having at least a color filter layer, wherein the resin used in the colored layer constituting the color filter layer is a polyimide resin. 有機エレクトロルミネッセンス表示素子駆動用のTFTを具備し、前記カラーフィルター層が前記TFTと同一基板上に形成された請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 2. The organic electroluminescence display device according to claim 1, further comprising a TFT for driving an organic electroluminescence display element, wherein the color filter layer is formed on the same substrate as the TFT.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2022113415A1 (en) * 2020-11-27 2022-06-02 東洋紡株式会社 Laminate

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