JP2013221543A - Check valve - Google Patents

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Motoharu Takai
基治 高井
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a stable valve open state without causing a hunting phenomenon in a check valve.SOLUTION: A check valve includes, in a valve housing 10, an abutting seat part 38 separated from a diaphragm 26 in a state where a valve element 32 is located in a valve closing position while abutting on a diaphragm surface on the secondary chamber 30 side of the diaphragm 26 due to the displacement of the diaphragm 26 in a state where the valve element 32 is located in a valve opening position, to reduce a pressure receiving area on the secondary chamber 30 side of the diaphragm 26.

Description

本発明は、チェック弁に関し、更に詳細にはダイヤフラム式のチェック弁に関する。   The present invention relates to a check valve, and more particularly to a diaphragm check valve.

チェック弁として、弁室を画定し前記弁室に開口した入口ポート及び出口ポートとを有する弁ハウジングと、前記入口ポートの前記弁室に対する開口端周りに画定された弁座部と、外周部を弁ハウジングに固定され、前記弁室を、前記入口ポートを含む1次室と前記出口ポートを含む2次室とに区分するダイヤフラムと、前記1次室と前記2次室とを連通する連通路と、前記ダイヤフラムに担持され、当該ダイヤフラムの変位のもとに前記弁座部に着座して前記入口ポートを閉じる閉弁位置と前記弁座部より離間して前記入口ポートを開く開弁位置との間に移動可能な弁体と、前記弁体を閉弁方向に付勢する閉弁ばねとを有するダイヤフラム式のチェック弁が知られている(例えば、特許文献1)。   As a check valve, a valve housing having an inlet port and an outlet port which define a valve chamber and open to the valve chamber, a valve seat portion defined around an opening end of the inlet port with respect to the valve chamber, and an outer peripheral portion A diaphragm fixed to a valve housing and dividing the valve chamber into a primary chamber including the inlet port and a secondary chamber including the outlet port, and a communication path communicating the primary chamber and the secondary chamber A valve closing position that is supported by the diaphragm and that is seated on the valve seat portion under the displacement of the diaphragm to close the inlet port, and a valve opening position that is spaced apart from the valve seat portion and opens the inlet port. There is known a diaphragm type check valve having a valve body movable between the valve body and a valve closing spring that biases the valve body in a valve closing direction (for example, Patent Document 1).

このチェック弁では、入口ポートの圧力が出口ポートの圧力より所定値以上高くなると、閉弁ばねのばね力に抗して弁体が弁座部より離間し、入口ポートが開かれ、入口ポートより1次室、連通路、2次室を経て出口ポートへ流体が流れる。この状態では、1次室と2次室の圧力がほぼ等しくなる。   In this check valve, when the pressure of the inlet port becomes higher than the pressure of the outlet port by a predetermined value or more, the valve body is separated from the valve seat against the spring force of the valve closing spring, the inlet port is opened, and the inlet port is opened. The fluid flows to the outlet port through the primary chamber, the communication path, and the secondary chamber. In this state, the pressures in the primary chamber and the secondary chamber are substantially equal.

特開2001−41333号公報JP 2001-41333 A

上述のようなチェック弁では、ダイヤフラムと弁体とが1次室に露呈する面積と2次室に露呈する面積とがほぼ等しいと、開弁によって1次室と2次室の圧力とがほぼ等しくなると、ダイヤフラム及び弁体の両面にほぼ同じ荷重が作用するようなる。このため、閉弁ばねのばね力によって弁体が閉弁あるいは閉弁に近い状態になり、以降、この状態と開弁とを繰り返すハンチング現象を生じ、安定した開弁状態が得られなくなることがある。   In the check valve as described above, when the area exposed to the primary chamber and the area exposed to the secondary chamber are substantially equal to each other, the pressure in the primary chamber and the secondary chamber is substantially reduced by opening the valve. When equal, almost the same load is applied to both the diaphragm and the valve body. For this reason, the valve element is closed or close to the closed state by the spring force of the valve closing spring. Thereafter, a hunting phenomenon that repeats this state and the valve opening occurs, and a stable valve opening state cannot be obtained. is there.

本発明が解決しようとする課題は、チェック弁において、ハンチング現象を生じることなく安定した開弁状態が得られるようにすることである。   The problem to be solved by the present invention is to enable a check valve to obtain a stable valve opening state without causing a hunting phenomenon.

本発明によるチェック弁は、弁室(16)を画定し、前記弁室(16)に開口した入口ポート(20)及び出口ポート(22)とを有する弁ハウジング(10)と、前記入口ポート(20)の前記弁室(16)に対する開口端周りに画定された弁座部(24)と、外周部を弁ハウジング(10)に固定され、前記弁室(16)を、前記入口ポート(20)を含む1次室(28)と前記出口ポート(22)を含む2次室(30)とに区分するダイヤフラム(26)と、前記1次室(28)と前記2次室(30)とを連通する連通路(36)と、前記ダイヤフラム(26)に担持され、当該ダイヤフラム(26)の変位のもとに前記弁座部(24)に着座して前記入口ポート(20)を閉じる閉弁位置と前記弁座部(24)より離間して前記入口ポート(20)を開く開弁位置との間に移動可能な弁体(32)と、前記弁体(32)を閉弁方向に付勢する閉弁ばね(34)とを有し、前記弁体(32)が前記閉弁位置に位置している状態では前記ダイヤフラム(26)より離間し、前記弁体(32)が前記開弁位置に位置している状態では前記ダイヤフラム(26)の前記2次室(30)側のダイヤフラム面に当接し、前記ダイヤフラム(26)の前記2次室(30)側の受圧面積を減少する当接座部(38)が前記弁ハウジング(10)に設けられている。   The check valve according to the present invention comprises a valve housing (10) that defines a valve chamber (16) and has an inlet port (20) and an outlet port (22) open to the valve chamber (16), and the inlet port ( 20) and a valve seat (24) defined around an opening end of the valve chamber (16) with respect to the valve chamber (16), and an outer peripheral portion is fixed to the valve housing (10), and the valve chamber (16) is connected to the inlet port (20). ) Including a primary chamber (28) and a secondary chamber (30) including the outlet port (22), the primary chamber (28), and the secondary chamber (30). The communication passage (36) communicating with the diaphragm (26) and the diaphragm (26) are supported, and the valve seat (24) is seated under the displacement of the diaphragm (26) to close the inlet port (20). The valve position and the inlet spaced apart from the valve seat (24) A valve body (32) movable between a valve opening position for opening the valve (20) and a valve closing spring (34) for urging the valve body (32) in the valve closing direction, When the valve element (32) is located at the valve closing position, the valve element (32) is separated from the diaphragm (26). When the valve element (32) is located at the valve opening position, the diaphragm (26) The valve housing (10) has a contact seat (38) that abuts against the diaphragm surface on the secondary chamber (30) side and reduces the pressure receiving area on the secondary chamber (30) side of the diaphragm (26). Is provided.

この構成によれば、弁体(32)が開弁位置に位置すると、ダイヤフラム(26)の2次室(30)側のダイヤフラム面が当接座部(38)に着座することにより、ダイヤフラム(26)及び弁体(32)の2次室(30)側の受圧面積が、ダイヤフラム(26)及び弁体(32)の1次室(28)側の受圧面積に比して小さくなるので、ダイヤフラム(26)及び弁体(32)の2次室(30)側に作用する閉弁方向の荷重がダイヤフラム(26)及び弁体(32)の1次室(28)側に作用する開弁方向の荷重より小さいものになる。これにより、開弁と閉弁とを繰り返すハンチング現象が生じることがなく、安定した開弁状態が得られる。   According to this configuration, when the valve body (32) is positioned at the valve opening position, the diaphragm surface on the secondary chamber (30) side of the diaphragm (26) is seated on the contact seat (38), so that the diaphragm ( 26) and the pressure receiving area on the secondary chamber (30) side of the valve body (32) is smaller than the pressure receiving area on the primary chamber (28) side of the diaphragm (26) and valve body (32), A valve opening direction load acting on the secondary chamber (30) side of the diaphragm (26) and the valve body (32) acts on the primary chamber (28) side of the diaphragm (26) and the valve body (32). It will be smaller than the load in the direction. Thereby, the hunting phenomenon which repeats valve opening and valve closing does not occur, and a stable valve opening state is obtained.

本発明によるチェック弁は、好ましくは、前記弁体(32)は前記ダイヤフラム(26)の中心位置にあり、前記当接座部(38)は前記ダイヤフラム(26)と同心の環状に設けられている。   In the check valve according to the present invention, preferably, the valve element (32) is provided at a center position of the diaphragm (26), and the contact seat (38) is provided in an annular shape concentric with the diaphragm (26). Yes.

この構成によれば、ダイヤフラム(26)が当接座部(38)に着座した状態の時にダイヤフラム(26)に捩れ変形が生じることがない。   According to this configuration, the diaphragm (26) is not twisted and deformed when the diaphragm (26) is seated on the contact seat (38).

本発明によるチェック弁は、好ましくは、前記連通路は前記ダイヤフラム(26)に設けられた貫通開口(36)により構成されている。   In the check valve according to the present invention, preferably, the communication path is constituted by a through opening (36) provided in the diaphragm (26).

この構成によれば、1次室(28)と2次室(30)とを連通する連通路がダイヤフラム(26)に設けられた開口(36)だけの簡単なものですむ。   According to this structure, the communication path which connects the primary chamber (28) and the secondary chamber (30) can be a simple one having only the opening (36) provided in the diaphragm (26).

本発明によるチェック弁によれば、弁体が開弁位置に位置すると、ダイヤフラムの2次室)側のダイヤフラム面が当接座部に着座するので、ダイヤフラム及び弁体の2次室側の受圧面積が、ダイヤフラム及び弁体の1次室側の受圧面積に比して小さくなり、ダイヤフラム及び弁体の2次室側に作用する閉弁方向の荷重がダイヤフラム及び弁体の1次室側に作用する開弁方向の荷重より小さいものになる。これにより、開弁と閉弁とを繰り返すハンチング現象が生じることがなく、安定した開弁状態が得られる。   According to the check valve of the present invention, when the valve body is located at the valve open position, the diaphragm surface on the side of the secondary chamber of the diaphragm is seated on the abutting seat, so that the pressure received on the side of the secondary chamber of the diaphragm and valve body The area becomes smaller than the pressure receiving area on the primary chamber side of the diaphragm and valve body, and the load in the valve closing direction acting on the secondary chamber side of the diaphragm and valve body is applied to the primary chamber side of the diaphragm and valve body. It becomes smaller than the load in the valve opening direction that acts. Thereby, the hunting phenomenon which repeats valve opening and valve closing does not occur, and a stable valve opening state is obtained.

本発明によるチェック弁のひとつの実施形態の閉弁状態を示す断面図。Sectional drawing which shows the valve closing state of one Embodiment of the check valve by this invention. 同実施形態のチェック弁の開弁状態を示す断面図。Sectional drawing which shows the valve opening state of the check valve of the embodiment. 同実施形態のチェック弁の閉弁状態を示す半断面斜視図。The half cross-sectional perspective view which shows the valve closing state of the check valve of the embodiment. 同実施形態のチェック弁の開弁状態を示す半断面斜視図。The half cross-sectional perspective view which shows the valve opening state of the check valve of the embodiment. 同実施形態のチェック弁の分解斜視図。The disassembled perspective view of the check valve of the embodiment.

以下に、本発明によるチェック弁のひとつの実施形態を、図1〜図5を参照して説明する。   Hereinafter, one embodiment of a check valve according to the present invention will be described with reference to FIGS.

本実施形態のチェック弁は、入口側ハウジング12と出口側ハウジング14との結合体による弁ハウジング10を有する。弁ハウジング10は気密な円筒状の弁室16を画定している。入口側ハウジング12には入口側ハウジング12より弁室16内に突出した円筒体18によって弁室16に開口した入口ポート20が形成されている。出口側ハウジング14には弁室16に開口した出口ポート22が形成されている。入口ポート20の弁室16に対する開口端周り、つまり円筒体18の先端部には弁室16の中心部に位置する円環状の弁座部24が画定されている。   The check valve of this embodiment has a valve housing 10 that is a combination of an inlet side housing 12 and an outlet side housing 14. The valve housing 10 defines an airtight cylindrical valve chamber 16. The inlet side housing 12 is formed with an inlet port 20 opened to the valve chamber 16 by a cylindrical body 18 protruding into the valve chamber 16 from the inlet side housing 12. An outlet port 22 that opens to the valve chamber 16 is formed in the outlet side housing 14. An annular valve seat 24 located in the center of the valve chamber 16 is defined around the opening end of the inlet port 20 with respect to the valve chamber 16, that is, at the tip of the cylindrical body 18.

弁ハウジング10には入口側ハウジング12と出口側ハウジング14とで厚肉の円環状の取付外縁部26Aを両側から挟むようにしてダイヤフラム26が取り付けられている。ダイヤフラム26は、全体をゴム状弾性材により構成され、弁ハウジング10との固定部である取付外縁部26Aと、取付外縁部26Aの内方にあって取付外縁部26Aより十分に薄い可撓性を有する円盤状のダイヤフラム面部26Bとを一体に有し、弁室16を、入口ポート20を含む1次室28と出口ポート22を含む2次室30とに区分している。   A diaphragm 26 is attached to the valve housing 10 so that the inlet-side housing 12 and the outlet-side housing 14 sandwich a thick annular mounting outer edge portion 26A from both sides. The diaphragm 26 is entirely made of a rubber-like elastic material, and has a mounting outer edge portion 26A that is a fixed portion to the valve housing 10 and a flexibility that is inside the mounting outer edge portion 26A and is sufficiently thinner than the mounting outer edge portion 26A. The valve chamber 16 is divided into a primary chamber 28 including the inlet port 20 and a secondary chamber 30 including the outlet port 22.

ダイヤフラム26の中心部には弁体32が設けられている。弁体32は、平板状のもので、ダイヤフラム26のダイヤフラム面部26Bの中心部分を円盤状に厚肉化することにより所要の合成した剛性を確保した形態でダイヤフラム26と一体成形されている。弁体32は弁座部24と正対向し、ダイヤフラム26の変位のもとに、つまり、ダイヤフラム26の弾性変形を伴って、図1、図3に示されているように弁座部24に着座して入口ポート20を閉じる閉弁位置と、図2、図4に示されているように弁座部24より離間して入口ポート20を開く開弁位置との間に移動可能である。   A valve body 32 is provided at the center of the diaphragm 26. The valve body 32 has a flat plate shape and is integrally formed with the diaphragm 26 in a form in which a required combined rigidity is ensured by thickening the central portion of the diaphragm surface portion 26B of the diaphragm 26 into a disk shape. The valve body 32 is directly opposed to the valve seat portion 24, and is moved to the valve seat portion 24 as shown in FIGS. 1 and 3 under the displacement of the diaphragm 26, that is, with elastic deformation of the diaphragm 26. The valve can be moved between a valve closing position in which it sits and closes the inlet port 20 and a valve opening position in which the inlet port 20 is opened apart from the valve seat portion 24 as shown in FIGS.

出口側ハウジング14にはばね着座段部14Aが形成されている。ばね着座段部14Aと弁体32との間に圧縮コイルばねによる閉弁ばね34が取り付けられている。閉弁ばね34は、出口側ハウジング14と弁体32との間に作用し、弁体32を閉弁方向、つまり弁座部24に着座する方向に付勢する。出口側ハウジング14には閉弁ばね34を取り囲む部位に複数個のばねリテーナ片40が突出形成されている。   The outlet side housing 14 is formed with a spring seating step 14A. A valve closing spring 34 is attached between the spring seating step 14A and the valve body 32 by a compression coil spring. The valve closing spring 34 acts between the outlet side housing 14 and the valve body 32 and urges the valve body 32 in the valve closing direction, that is, the direction in which the valve seat portion 24 is seated. A plurality of spring retainer pieces 40 protrude from the outlet housing 14 at a portion surrounding the valve closing spring 34.

ばねリテーナ片40は閉弁ばね34の周りに等間隔に複数個あって閉弁ばね34が斜めにずれ変形することを防止するものである。ばねリテーナ片40の先端は開弁位置にある弁体32が着座する開弁着座部40Aになっている。これにより、弁体32の開弁位置は、弁体32が開弁着座部40Aに着座する位置によって一義的に決められる。   A plurality of spring retainer pieces 40 are provided at equal intervals around the valve closing spring 34 to prevent the valve closing spring 34 from being obliquely displaced and deformed. The tip of the spring retainer piece 40 is a valve-opening seating portion 40A on which the valve body 32 in the valve-opening position is seated. Thereby, the valve opening position of the valve body 32 is uniquely determined by the position where the valve body 32 is seated on the valve opening seat portion 40A.

ダイヤフラム26のダイヤフラム面部26Bには円周周りに等間隔に複数個の開口36が貫通形成されている。開口36は、1次室28と2次室30とを連通する連通路をなすのであり、ダイヤフラム26の中心周りに均等に分布していることが、ダイヤフラム面部26Bの捩れ変形を避ける上で好ましい。   A plurality of openings 36 are formed through the diaphragm surface portion 26B of the diaphragm 26 at equal intervals around the circumference. The openings 36 form a communication path that allows the primary chamber 28 and the secondary chamber 30 to communicate with each other, and it is preferable that the openings 36 be evenly distributed around the center of the diaphragm 26 in order to avoid torsional deformation of the diaphragm surface portion 26B. .

出口側ハウジング14にはダイヤフラム26の側に向けて突出した当接座部38が一体形成されている。当接座部38は、ダイヤフラム26と同心の円環状に設けられており、弁体32が閉弁位置に位置している状態では、図1、図3に示されているように、ダイヤフラム26より離間し、弁体32が開弁位置に位置することによるダイヤフラム26の変位によってダイヤフラム26のダイヤフラム面部26Bの2次室30側の面に当接する。換言すると、弁体32が開弁位置に位置することによるダイヤフラム26の変位によってダイヤフラム26のダイヤフラム面部26Bの2次室30側の面が当接座部38に着座する。   The outlet side housing 14 is integrally formed with a contact seat portion 38 that protrudes toward the diaphragm 26 side. The contact seat portion 38 is provided in an annular shape concentric with the diaphragm 26, and when the valve body 32 is located at the valve closing position, as shown in FIGS. 1 and 3, the diaphragm 26. When the diaphragm 26 is displaced further away from the valve opening position, the diaphragm 26 is displaced to contact the surface of the diaphragm surface portion 26B of the diaphragm 26 on the secondary chamber 30 side. In other words, the surface of the diaphragm surface portion 26 </ b> B of the diaphragm 26 on the side of the secondary chamber 30 is seated on the contact seat portion 38 due to the displacement of the diaphragm 26 due to the valve body 32 being positioned at the valve opening position.

これにより、弁体32が開弁位置にある時には、弁体32が閉弁位置にある時に比して、当接座部38との円環状の当接部分より外周側に存在する領域分、ダイヤフラム26の2次室30側の受圧面積が減少する。つまり、当接座部38がダイヤフラム面部26Bの2次室30側の面に当接することにより、ダイヤフラム面部26Bと当接座部38との円環状の当接部分より外周側の領域には2次室30の圧力が有効に作用しなくなる。   Thereby, when the valve body 32 is in the valve-opening position, compared to when the valve body 32 is in the valve-closed position, the region existing on the outer peripheral side from the annular contact portion with the contact seat portion 38, The pressure receiving area on the secondary chamber 30 side of the diaphragm 26 decreases. In other words, the contact seat portion 38 contacts the surface of the diaphragm surface portion 26B on the secondary chamber 30 side, so that there is 2 in the outer peripheral region from the annular contact portion of the diaphragm surface portion 26B and the contact seat portion 38. The pressure in the next chamber 30 does not work effectively.

弁体32が閉弁位置にある時には、ダイヤフラム面部26Bの1次室28側と2次室30側の有効受圧面は、ともに取付外縁部26Aとの接続部を外郭として表裏同一であり、ダイヤフラム26の1次室28側の受圧面積と2次室30側の受圧面積とは同じであるが、弁体32が閉弁位置にある時には、ダイヤフラム面部26Bと当接座部38との円環状の当接部分より外周側の領域分、ダイヤフラム面部26Bの2次室30側の有効受圧面がダイヤフラム面部26Bの1次室28側の有効受圧面が減少し、その分、ダイヤフラム26の2次室30側の受圧面積が1次室28側の受圧面積より小さくなる。   When the valve body 32 is in the closed position, the effective pressure receiving surfaces on the primary chamber 28 side and the secondary chamber 30 side of the diaphragm surface portion 26B are the same on both sides with the connecting portion with the mounting outer edge portion 26A as the outer shell. 26, the pressure receiving area on the primary chamber 28 side and the pressure receiving area on the secondary chamber 30 side are the same, but when the valve body 32 is in the closed position, the annular surface of the diaphragm surface portion 26B and the contact seat portion 38 is formed. The effective pressure receiving surface on the secondary chamber 30 side of the diaphragm surface portion 26B is reduced by the area on the outer peripheral side of the contact portion of the diaphragm surface portion 26B. The pressure receiving area on the chamber 30 side is smaller than the pressure receiving area on the primary chamber 28 side.

上述の構成によれば、入口ポート20の圧力が出口ポート22の圧力より所定値以上高くなると、弁体32に作用する開弁方向の荷重によって閉弁ばね34のばね力に抗して弁体32がダイヤフラム26を伴って変位し、弁座部24より離間する。弁体32が弁座部24より離間すると、ダイヤフラム26にも入口ポート20の圧力が作用し、弁体32が一気に開弁着座部40Aに着座する開弁位置に位置する。これにより、入口ポート20が全開になり、入口ポート20より1次室28、開口36、2次室30を経て出口ポート22へ流体が低圧損で流れる。   According to the above-described configuration, when the pressure at the inlet port 20 becomes higher than the pressure at the outlet port 22 by a predetermined value or more, the valve body resists the spring force of the valve closing spring 34 by the load in the valve opening direction acting on the valve body 32. 32 is displaced with the diaphragm 26 and is separated from the valve seat portion 24. When the valve body 32 is separated from the valve seat portion 24, the pressure of the inlet port 20 also acts on the diaphragm 26, and the valve body 32 is positioned at the valve opening position where the valve body 32 is seated on the valve opening seat portion 40A all at once. Thereby, the inlet port 20 is fully opened, and the fluid flows from the inlet port 20 to the outlet port 22 through the primary chamber 28, the opening 36, and the secondary chamber 30 with low pressure loss.

この状態では、1次室28の圧力と2次室30の圧力とがほぼ等しくなるが、弁体32が開弁位置に位置することによるダイヤフラム26の変位によってダイヤフラム26のダイヤフラム面部26Bの2次室30側の面が当接座部38に着座することにより、ダイヤフラム26と弁体32とが2次室30に露呈する面積(受圧面積)が、ダイヤフラム面部26Bと当接座部38との円環状の当接部分より外周側の領域分、ダイヤフラム26と弁体32とが1次室28に露呈する面積(受圧面積)に比して小さくなるので、その分、ダイヤフラム26及び弁体32の2次室30側に作用する閉弁方向の荷重が、ダイヤフラム26及び弁体32の1次室28側に作用する開弁方向の荷重より小さいものになる。   In this state, the pressure in the primary chamber 28 and the pressure in the secondary chamber 30 are substantially equal, but due to the displacement of the diaphragm 26 due to the valve body 32 being located at the valve opening position, the secondary of the diaphragm surface portion 26B of the diaphragm 26 is increased. Since the surface on the chamber 30 side is seated on the contact seat 38, the area (pressure receiving area) where the diaphragm 26 and the valve body 32 are exposed to the secondary chamber 30 is the same as that between the diaphragm surface 26B and the contact seat 38. Since the diaphragm 26 and the valve body 32 are smaller than the area exposed to the primary chamber 28 (pressure receiving area) by the region on the outer peripheral side from the annular contact portion, the diaphragm 26 and the valve body 32 are correspondingly reduced. The load in the valve closing direction acting on the secondary chamber 30 side is smaller than the load in the valve opening direction acting on the primary chamber 28 side of the diaphragm 26 and the valve body 32.

この荷重差が、閉弁ばね34のばね力がダイヤフラム26及び弁体32に及ぼす閉弁方向の荷重より大きくなるように、当接座部38によるダイヤフラム26の2次室30側の受圧面積の減少量が設定されていればよい。   This load difference is the pressure receiving area of the diaphragm 26 on the secondary chamber 30 side by the contact seat 38 so that the spring force of the valve closing spring 34 is larger than the load in the valve closing direction applied to the diaphragm 26 and the valve body 32. It is only necessary to set a decrease amount.

これにより、開弁と閉弁とを繰り返すハンチング現象が生じることがなく、低圧損の開弁状態が安定して得られる。   Thereby, the hunting phenomenon which repeats valve opening and closing does not occur, and a valve opening state with low pressure loss can be stably obtained.

本実施形態では、弁体32がダイヤフラム26の中心位置にあり、当接座部38がダイヤフラム26と同心の円環状に設けられているから、当接座部38によるダイヤフラム26の支えが中心周りに均等なものになり、ダイヤフラム26が当接座部38に着座した状態の時にダイヤフラム26に捩れ変形が生じることがない。これにより、ダイヤフラム26の耐久性の低下が回避される。また、1次室28と2次室30とを連通する連通路がダイヤフラム26に設けられた開口36によって構成されているので、連通路の構成がダイヤフラム26に設ける開口36だけの簡単なものですみ、しかも開口36はダイヤフラム26の形成と同時に形成することができる。   In the present embodiment, since the valve body 32 is located at the center position of the diaphragm 26 and the contact seat 38 is provided in an annular shape concentric with the diaphragm 26, the support of the diaphragm 26 by the contact seat 38 is around the center. Therefore, the diaphragm 26 is not twisted and deformed when the diaphragm 26 is seated on the contact seat 38. Thereby, the fall of the durability of the diaphragm 26 is avoided. In addition, since the communication path that communicates the primary chamber 28 and the secondary chamber 30 is configured by the opening 36 provided in the diaphragm 26, the configuration of the communication path is simply the opening 36 provided in the diaphragm 26. In addition, the opening 36 can be formed simultaneously with the formation of the diaphragm 26.

以上、本発明を、その好適形態実施例について説明したが、当業者であれば容易に理解できるように、本発明はこのような実施例により限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。たとえば、当接座部38は、ダイヤフラムと同心の円環状に限られることなく、多角形環状であっても、島状に部分的に設けられていてもよい。1次室28と2次室30とを連通する連通路は、ダイヤフラム26に形成された開口36に限られることなく、弁ハウジング10に形成された内部通路や弁ハウジング10外に配管された外部配管によって構成されてもよい。また、上記実施形態に示した構成要素は必ずしも全てが必須なものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて適宜取捨選択することが可能である。   Although the present invention has been described above with reference to preferred embodiments, the present invention is not limited to such embodiments so that those skilled in the art can easily understand, and departs from the spirit of the present invention. It is possible to change appropriately within the range not to be. For example, the contact seat portion 38 is not limited to an annular shape concentric with the diaphragm, and may be a polygonal annular shape or partially provided in an island shape. The communication passage that communicates the primary chamber 28 and the secondary chamber 30 is not limited to the opening 36 formed in the diaphragm 26, but an internal passage formed in the valve housing 10 or an external pipe piped outside the valve housing 10. You may be comprised by piping. In addition, all the components shown in the above embodiment are not necessarily essential, and can be appropriately selected without departing from the gist of the present invention.

10 弁ハウジング
16 弁室
20 入口ポート
22 出口ポート
24 弁座部
26 ダイヤフラム
28 1次室
30 2次室
32 弁体
34 閉弁ばね
36 開口
38 当接座部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Valve housing 16 Valve chamber 20 Inlet port 22 Outlet port 24 Valve seat part 26 Diaphragm 28 Primary chamber 30 Secondary chamber 32 Valve body 34 Valve closing spring 36 Opening 38 Contacting seat part

Claims (3)

弁室を画定し、前記弁室に開口した入口ポート及び出口ポートとを有する弁ハウジングと、
前記入口ポートの前記弁室に対する開口端周りに画定された弁座部と、
外周部を弁ハウジングに固定され、前記弁室を、前記入口ポートを含む1次室と前記出口ポートを含む2次室とに区分するダイヤフラムと、
前記1次室と前記2次室とを連通する連通路と、
前記ダイヤフラムに担持され、当該ダイヤフラムの変位のもとに前記弁座部に着座して前記入口ポートを閉じる閉弁位置と前記弁座部より離間して前記入口ポートを開く開弁位置との間に移動可能な弁体と、
前記弁体を閉弁方向に付勢する閉弁ばねとを有し、
前記弁体が前記閉弁位置に位置している状態では前記ダイヤフラムより離間し、前記弁体が前記開弁位置に位置している状態では前記ダイヤフラムの前記2次室側のダイヤフラム面に当接し、前記ダイヤフラムの前記2次室側の受圧面積を減少する当接座部が前記弁ハウジングに設けられているチェック弁。
A valve housing defining a valve chamber and having an inlet port and an outlet port open to the valve chamber;
A valve seat defined around an open end of the inlet port relative to the valve chamber;
A diaphragm having an outer peripheral portion fixed to a valve housing, and dividing the valve chamber into a primary chamber including the inlet port and a secondary chamber including the outlet port;
A communication path communicating the primary chamber and the secondary chamber;
Between a valve closing position that is carried by the diaphragm and is seated on the valve seat under the displacement of the diaphragm and closes the inlet port, and a valve opening position that is spaced apart from the valve seat and opens the inlet port A movable valve body,
A valve closing spring for urging the valve body in the valve closing direction;
When the valve body is in the valve closing position, the valve body is separated from the diaphragm, and when the valve body is in the valve opening position, the diaphragm contacts the diaphragm surface of the diaphragm on the secondary chamber side. A check valve in which a contact seat for reducing a pressure receiving area on the secondary chamber side of the diaphragm is provided in the valve housing.
前記弁体は前記ダイヤフラムの中心位置にあり、前記当接座部は前記ダイヤフラムと同心の環状に設けられている請求項1に記載のチェック弁。   2. The check valve according to claim 1, wherein the valve body is located at a center position of the diaphragm, and the contact seat portion is provided in an annular shape concentric with the diaphragm. 前記連通路は前記ダイヤフラムに設けられた貫通開口により構成されている請求項1または2に記載のチェック弁。   The check valve according to claim 1, wherein the communication path is configured by a through opening provided in the diaphragm.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022168287A1 (en) * 2021-02-05 2022-08-11 ミライアル株式会社 Substrate storage container and filter part

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