JP2013217888A - Ultrasonic level meter - Google Patents

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一正 大西
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic level meter capable of measuring a liquid position of a container having various environments.SOLUTION: To a piezoelectric element 3 of an ultrasonic vibration body 1, a sine-wave pulse of 50 Vp-p with applied voltage of 500 KHz is applied. As a result, an ultrasonic wave propagates through a carbon fiber composite material 2 and a stainless steel container 6 and propagates to a liquid of about 150°C; and most of it reflects on an inner surface of the opposing stainless steel container 6 and propagates again to the liquid of about 150°C, and propagates through the stainless steel container 6, propagates through the carbon fiber composite material 2 and propagates to the piezoelectric element 3. By measuring a time difference between the time when the sine-wave pulse is applied and the time when the received propagation waveform is detected, the existence of a liquid in the stainless steel container 6 is confirmed. As for a method of measuring the time difference, a trigger method is used. If liquid does not exist, a received waveform does not exist in a position of a time difference for propagating through liquid, so it can be confirmed that liquid does not exist in the position.

Description

本発明は、超音波の伝搬時間を利用して容器内の液面レベルを計測するための超音波トランスジューサを備えた超音波レベル計に関するものである。  The present invention relates to an ultrasonic level meter provided with an ultrasonic transducer for measuring a liquid level in a container using ultrasonic propagation time.

超音波レベル計は、容器内の液面の位置を測定するものであり、液面に対して平行に超音波を送受する方式と、液面に対して垂直に超音波を送受する方式がある。どちらの方式にしても液体を検知するために受信波形の形状が重要である。受信波形は、トリガ法を用いる簡単な時間差測定回路で測定できるものがよく、そのためには急峻に立ち上がる波形形状が良い。  The ultrasonic level meter measures the position of the liquid surface in the container, and there are a method for transmitting and receiving ultrasonic waves parallel to the liquid surface and a method for transmitting and receiving ultrasonic waves perpendicular to the liquid surface. . In either method, the shape of the received waveform is important in order to detect liquid. The received waveform is preferably one that can be measured by a simple time difference measuring circuit using a trigger method, and for this purpose, a waveform shape that rises sharply is good.

特許文献1は、受信感度の感度を示すS/Nを上げ、トリガのかけ易さを示す波形の立ち上がり特性を良好にする超音波流量計の構成を説明している。整合層の厚さを、整合層の音速(m/s)と超音波の周波数(Hz)から求められる整合層材料の波長λ(m)の0.18λ以上で0.22λ以下、好ましくは0.2λとすると記載されている。  Patent Document 1 describes the configuration of an ultrasonic flowmeter that increases the S / N that indicates the sensitivity of the reception sensitivity and improves the rising characteristics of the waveform that indicates the ease of triggering. The thickness of the matching layer is not less than 0.18λ and not more than 0.22λ, preferably 0, of the wavelength λ (m) of the matching layer material obtained from the acoustic velocity (m / s) of the matching layer and the ultrasonic frequency (Hz). .2λ.

特許文献2は、トリガ法と相関法を併用した伝搬時間差式の超音波流量計について記述してある。その中で、トリガ法は、受信波形から直接時間差を求めるという点から、高精度な計測が可能であるという反面、流体に異物や気泡などが混入し、受信波形が乱れた場合に計測ができなくなりやすいという欠点がある。しかし、相関法は両波形を相関した波形から求めているため、ある程度の異物や気泡などが混入しても計測可能であるが、トリガ法ほどの精度が得られないという欠点を持つと記載ある。  Patent Document 2 describes a propagation time difference type ultrasonic flow meter using both a trigger method and a correlation method. Among them, the trigger method is capable of measuring with high accuracy because it obtains the time difference directly from the received waveform. On the other hand, the trigger method can measure when the received waveform is disturbed by foreign matter or bubbles mixed in the fluid. There is a drawback that it is easy to disappear. However, since the correlation method obtains both waveforms from the correlated waveforms, it can be measured even if a certain amount of foreign matter, bubbles, etc. are mixed in, but it is described that it has the disadvantage of not being as accurate as the trigger method. .

特許文献3、特許文献4は、繊維複合材料中の高弾性繊維の配向方向の音響振動を抑制し、該高弾性繊維と直交する方向の音響振動を優先的に伝達する圧電振動体について記載されている。  Patent Documents 3 and 4 describe piezoelectric vibrators that suppress acoustic vibration in the orientation direction of high-elasticity fibers in a fiber composite material and preferentially transmit acoustic vibrations in a direction orthogonal to the high-elasticity fibers. ing.

特開2001−330485号公報  JP 2001-330485 A 特開2010−38667号公報  JP 2010-38667 A 特開平7−284198号公報  Japanese Patent Laid-Open No. 7-284198 WO2004/075753号公報  WO2004 / 075753

超音波便覧編集委員会、「超音波便覧」、丸善株式会社、平成11年8月、p346−347  Ultrasonic Handbook Editorial Committee, “Ultrasonic Handbook”, Maruzen Co., Ltd., August 1999, p346-347 塩嵜 忠、「新・圧電材料の製造と応用」、株式会社シーエムシー、1987年12月、p99−109  Tadashi Shiogama, “Manufacture and Application of New Piezoelectric Materials”, CMC Corporation, December 1987, p99-109

しかし振動損失の小さい(機械的品質係数の大きい)材料、例えばステンレスのような金属材料では、特許文献1に記述された方法では、受信する超音波振動の立ち上がりが十分ではない。  However, in the case of a material having a small vibration loss (a mechanical quality factor is large), for example, a metal material such as stainless steel, the method described in Patent Document 1 does not sufficiently raise the received ultrasonic vibration.

また、特許文献2のトリガ法と相関法を併用した伝搬時間差式を併用する方式においても受信波形の立ち上がりが悪いと、常に相関法を用いることになり精度の高い伝播時間差を求められないという問題点がある。  Further, even in the method using the propagation time difference formula that uses the trigger method and the correlation method in combination with Patent Document 2, if the rising of the received waveform is bad, the correlation method is always used and a highly accurate propagation time difference cannot be obtained. There is a point.

さらに、整合特性の最も良好である材料の1つである整合材料である繊維複合材料を、超音波の伝搬方向に繊維複合材料中の繊維を直交する方向に繊維を配置する方法を用いても受信波形の立ち上がりが十分でない場合もあり、そして超音波伝搬損失が大きく、十分な感度が取れないという問題点がある。  Furthermore, even if the fiber composite material which is a matching material which is one of the materials having the best matching characteristics is used, the fiber is arranged in a direction orthogonal to the fibers in the fiber composite material in the propagation direction of the ultrasonic wave. There are cases where the rising of the received waveform is not sufficient, and there is a problem that the ultrasonic wave propagation loss is large and sufficient sensitivity cannot be obtained.

そして、測定対象の流体の温度が100℃を超える場合、超音波振動子が常時、流体の温度近くの高温中にあることになり超音波振動子の劣化の心配がある。また、超音波振動子の温度特性により超音波伝搬波形に問題が生じることが多い。  When the temperature of the fluid to be measured exceeds 100 ° C., the ultrasonic vibrator is always in a high temperature near the temperature of the fluid, and the ultrasonic vibrator may be deteriorated. Further, there are many problems in the ultrasonic wave propagation waveform due to the temperature characteristics of the ultrasonic vibrator.

そこで、測定対象の流体の温度が100℃を超える場合においても、受信波形を改善するため、繊維複合材料の使用する方法を従来の方法と異ならせることにより上記の問題点を解決する方法を考案した。  Therefore, in order to improve the reception waveform even when the temperature of the fluid to be measured exceeds 100 ° C., a method for solving the above-described problems by changing the method of using the fiber composite material from the conventional method is devised. did.

本発明は、超音波レベル計の超音波振動子として、樹脂もしくは樹脂の炭素化物からなる母材中に引張り弾性率が100GPa以上の複数の高弾性繊維がそれぞれ同一方向に配向し、その高弾性繊維の配向方向が圧電素子との接合面に垂直である繊維複合材料と圧電素子を接合してなる超音波振動体を用いるものである。  The present invention provides an ultrasonic vibrator for an ultrasonic level meter, in which a plurality of high elastic fibers having a tensile elastic modulus of 100 GPa or more are oriented in the same direction in a base material made of a resin or a carbonized resin, and the high elasticity An ultrasonic vibrating body is used in which a fiber composite material having a fiber orientation direction perpendicular to a bonding surface with a piezoelectric element and a piezoelectric element are bonded.

本発明はまた、超音波レベル計の超音波振動子として、円柱状の繊維複合材料が柱方向に繊維を配向させ、かつ柱方向の長さを直径より大きくする超音波振動体を用いるものである。  The present invention also uses an ultrasonic vibrator in which a cylindrical fiber composite material orients fibers in the column direction and the length in the column direction is larger than the diameter as an ultrasonic transducer of an ultrasonic level meter. is there.

本発明はまた、超音波レベル計の超音波振動子として、多角形柱状の繊維複合材料が柱方向に繊維を配向させ、かつ柱方向の長さを多角形の辺の長さより大きくする超音波振動体を用いるものである。  The present invention also provides an ultrasonic transducer in which a polygonal columnar fiber composite material orients fibers in the column direction and the length in the column direction is larger than the length of the side of the polygon as an ultrasonic transducer of an ultrasonic level meter. A vibrating body is used.

本発明はまた、超音波レベル計の超音波振動子として、円柱状の繊維複合材料に柱方向に繊維を配向させ、かつ柱方向の長さを直径以下で0.2mmより長くする超音波振動体を用いるものである。  The present invention also provides an ultrasonic vibration for an ultrasonic transducer for an ultrasonic level meter, in which fibers are oriented in a columnar fiber composite material in the column direction and the length in the column direction is less than the diameter and longer than 0.2 mm. It uses the body.

本発明はまた、超音波レベル計の超音波振動子として、多角形柱状の繊維複合材料の柱方向に繊維を配向させ、かつ柱方向の長さを多角形の辺の長さ以下にして、0.2mmより長くする超音波振動体を用いるものである。  The present invention is also an ultrasonic vibrator of an ultrasonic level meter, orienting fibers in the column direction of a polygonal columnar fiber composite material, and the length in the column direction is equal to or less than the length of the side of the polygon, An ultrasonic vibrator that is longer than 0.2 mm is used.

本発明はまた、超音波レベル計の超音波振動子として、高弾性繊維が炭素繊維もしくは炭素含有繊維とする超音波振動体を用いるものである。  The present invention also uses an ultrasonic vibrator in which a high elastic fiber is a carbon fiber or a carbon-containing fiber as an ultrasonic vibrator of an ultrasonic level meter.

本発明の超音波振動体によれば、測定対象の流体の温度が100℃を超える場合においても、受信波形が良好であり、かつ超音波振動の伝搬損失が小さいためトリガ法を用いてステンレス容器内の液面のレベルを高精度に測定できるか、または液の有無を信頼性高く測定できる。  According to the ultrasonic vibrator of the present invention, even when the temperature of the fluid to be measured exceeds 100 ° C., the reception waveform is good and the propagation loss of the ultrasonic vibration is small, so the trigger method is used to make the stainless steel container. The level of the liquid level inside can be measured with high accuracy, or the presence or absence of liquid can be measured with high reliability.

本発明による超音波振動体を評価する構成である。It is the structure which evaluates the ultrasonic vibrating body by this invention. 図1の超音波振動体を伝搬した超音波の受信波形である。It is a received waveform of the ultrasonic wave which propagated the ultrasonic vibrating body of FIG. 図2の受信波形から求めた音速である。It is the sound speed calculated | required from the received waveform of FIG. 図1の構成において超音波振動体の長さと検出電圧の関係を示すグラフである。2 is a graph showing the relationship between the length of an ultrasonic vibrator and a detection voltage in the configuration of FIG. ステンレス容器に超音波振動子を取り付けた平面図である。It is the top view which attached the ultrasonic transducer | vibrator to the stainless steel container. 図5の側面図である。FIG. 6 is a side view of FIG. 5. 炭素繊維複合材料を用いた超音波振動子を示す平面図である。It is a top view which shows the ultrasonic transducer | vibrator using a carbon fiber composite material. 図7でのA−A線での断面を示す図である。It is a figure which shows the cross section in the AA in FIG. 図5の構成での受信波形である。6 is a received waveform in the configuration of FIG. PFA容器に本発明の超音波振動体を用いた超音波振動子を取付けたことを示す断面図である。It is sectional drawing which shows having attached the ultrasonic transducer | vibrator using the ultrasonic vibrating body of this invention to the PFA container. 図10での構成においての受信波形である。It is a received waveform in the structure in FIG. 炭素繊維複合材料の炭素繊維の配向について説明する図である。It is a figure explaining the orientation of the carbon fiber of a carbon fiber composite material. ステンレス容器側面に本発明の超音波振動体を取付けた断面図である。It is sectional drawing which attached the ultrasonic vibrating body of this invention to the stainless steel container side surface.

本発明の形態である基本的な構成を図1の斜視図を用いて説明する。本発明は図1(a)の構成であるが、比較のため図1(b)、図1(c)そして図(d)の構成についても説明する。図1(a)は、炭素繊維複合材料2の超音波伝搬方向の両側にエポキシ樹脂7により圧電素子3a、3b直径10mmそして厚さ1mmを接着する。炭素繊維複合材料2は長さ40mm、幅10mmそして高さ10mmである。そして炭素繊維複合材料2の超音波伝搬方向と同じ方向(図中の2点鎖線)に炭素繊維を配向させている。図中に記した座標軸X、Y、Zを用いて図1(a)を説明する。炭素繊維複合材料2のX方向の長さは40mm、Y方向の長さが10mmそしてZ方向の長さは10mmである。そして炭素繊維複合材料2のX方向の両側にエポキシ樹脂7により圧電素子3a、3b直径10mmそして厚さ1mmを接着する。炭素繊維複合材料2の炭素繊維はX方向に配向している。  A basic configuration which is an embodiment of the present invention will be described with reference to the perspective view of FIG. Although the present invention has the configuration of FIG. 1A, the configurations of FIG. 1B, FIG. 1C, and FIG. In FIG. 1A, the piezoelectric elements 3a and 3b having a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm are bonded to both sides of the carbon fiber composite material 2 in the ultrasonic wave propagation direction by an epoxy resin 7. The carbon fiber composite material 2 has a length of 40 mm, a width of 10 mm, and a height of 10 mm. The carbon fibers are oriented in the same direction as the ultrasonic propagation direction of the carbon fiber composite material 2 (two-dot chain line in the figure). FIG. 1A will be described using the coordinate axes X, Y, and Z shown in the drawing. The carbon fiber composite material 2 has a length in the X direction of 40 mm, a length in the Y direction of 10 mm, and a length in the Z direction of 10 mm. Then, the piezoelectric elements 3a and 3b having a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm are bonded to both sides of the carbon fiber composite material 2 in the X direction by the epoxy resin 7. The carbon fibers of the carbon fiber composite material 2 are oriented in the X direction.

前記圧電素子3は鉛系の圧電セラミックであり、機械的品質係数Qmが約80のLowQ材である。そして両面に銀電極を焼付けにより設けている。また銀電極面に垂直である方向に分極されている。  The piezoelectric element 3 is a lead-based piezoelectric ceramic, and is a LowQ material having a mechanical quality factor Qm of about 80. Silver electrodes are provided on both sides by baking. It is polarized in a direction perpendicular to the silver electrode surface.

ここで炭素繊維複合材料2中の超音波伝搬を観察する方法について説明する。まず圧電素子3aに2MHz、10Vp−pのサイン波パルスを印加する。炭素繊維複合材料2中の炭素繊維方向と同じ方向に超音波は伝搬し、圧電素子3bに伝搬し、圧電効果により電圧を発生させる。この電圧をオシロスコープにより測定することにより波動を観察する。そして図2(a)に観察した波形を示す。ここでは最大電圧が2波目であり約1.12Vp−pであった。  Here, a method for observing ultrasonic propagation in the carbon fiber composite material 2 will be described. First, a sine wave pulse of 2 MHz and 10 Vp-p is applied to the piezoelectric element 3a. The ultrasonic wave propagates in the same direction as the carbon fiber direction in the carbon fiber composite material 2, propagates to the piezoelectric element 3b, and generates a voltage by the piezoelectric effect. Waves are observed by measuring this voltage with an oscilloscope. And the observed waveform is shown in FIG. Here, the maximum voltage was the second wave, which was about 1.12 Vp-p.

X、Y、Zを用いて図1(b)を説明する。炭素繊維複合材料2のX方向の長さは40mm、Y方向の長さが10mmそしてZ方向の長さは10mmである。そして炭素繊維複合材料2のX方向の両側にエポキシ樹脂7により圧電素子3a、3b直径10mmそして厚さ1mmを接着する。炭素繊維複合材料2中の炭素繊維はY方向に配向している。超音波伝搬方向と炭素繊維複合材料2中の炭素繊維の配向方向とは直交している。前記圧電素子3は鉛系の圧電セラミックであり、機械的品質係数Qmが約80のLowQ材である。そして両面に銀電極を焼付けにより設けている。また銀電極面に垂直である方向に分極されている。  FIG. 1B will be described using X, Y, and Z. The carbon fiber composite material 2 has a length in the X direction of 40 mm, a length in the Y direction of 10 mm, and a length in the Z direction of 10 mm. Then, the piezoelectric elements 3a and 3b having a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm are bonded to both sides of the carbon fiber composite material 2 in the X direction by the epoxy resin 7. The carbon fibers in the carbon fiber composite material 2 are oriented in the Y direction. The ultrasonic wave propagation direction and the orientation direction of the carbon fibers in the carbon fiber composite material 2 are orthogonal to each other. The piezoelectric element 3 is a lead-based piezoelectric ceramic, and is a LowQ material having a mechanical quality factor Qm of about 80. Silver electrodes are provided on both sides by baking. It is polarized in a direction perpendicular to the silver electrode surface.

ここで炭素繊維複合材料2中の超音波伝搬を観察する方法について説明する。まず圧電素子3aに2MHz、10Vp−pのサイン波パルスを印加する。炭素繊維複合材料2中の炭素繊維方向と直交する方向に超音波は伝搬し、圧電素子3bに伝搬し、圧電効果により電圧を発生させる。この電圧をオシロスコープにより測定することにより波動を観察する。そして図2(b)に観察した波形を示す。ここでは最大電圧が3波目であり約0.039Vp−pであった。  Here, a method for observing ultrasonic propagation in the carbon fiber composite material 2 will be described. First, a sine wave pulse of 2 MHz and 10 Vp-p is applied to the piezoelectric element 3a. The ultrasonic wave propagates in a direction orthogonal to the carbon fiber direction in the carbon fiber composite material 2, propagates to the piezoelectric element 3b, and generates a voltage by the piezoelectric effect. Waves are observed by measuring this voltage with an oscilloscope. The observed waveform is shown in FIG. Here, the maximum voltage was the third wave, which was about 0.039 Vp-p.

X、Y、Zを用いて図1(c)を説明する。炭素繊維複合材料2のX方向の長さは40mm、Y方向の長さが10mmそしてZ方向の長さは10mmである。そして炭素繊維複合材料2のX方向の両側にエポキシ樹脂7により圧電素子3a、3b直径10mmそして厚さ1mmを接着する。炭素繊維複合材料2中の炭素繊維はX方向とY方向の2方向に配向している。超音波伝搬方向と炭素繊維複合材料2中のX方向に配向した炭素繊維の配向方向は同じであり、超音波伝搬方向と炭素繊維複合材料2中のY方向に配向した炭素繊維の配向方向とは直交している。  FIG. 1C will be described using X, Y, and Z. The carbon fiber composite material 2 has a length in the X direction of 40 mm, a length in the Y direction of 10 mm, and a length in the Z direction of 10 mm. Then, the piezoelectric elements 3a and 3b having a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm are bonded to both sides of the carbon fiber composite material 2 in the X direction by the epoxy resin 7. The carbon fibers in the carbon fiber composite material 2 are oriented in two directions, the X direction and the Y direction. The ultrasonic propagation direction and the orientation direction of the carbon fibers oriented in the X direction in the carbon fiber composite material 2 are the same, and the ultrasonic propagation direction and the orientation direction of the carbon fibers oriented in the Y direction in the carbon fiber composite material 2 Are orthogonal.

前記圧電素子は鉛系の圧電セラミックであり、機械的品質係数Qmが約80のLowQ材である。そして両面に銀電極を焼付けにより設けている。また銀電極面に垂直である方向に分極されている。  The piezoelectric element is a lead-based piezoelectric ceramic, and is a LowQ material having a mechanical quality factor Qm of about 80. Silver electrodes are provided on both sides by baking. It is polarized in a direction perpendicular to the silver electrode surface.

ここで炭素繊維複合材料2中の超音波伝搬を観察する方法について説明する。まず圧電素子3aに2MHz、10Vp−pのサイン波パルスを印加する。炭素繊維複合材料2中に超音波は伝搬し、圧電素子3bに伝搬し、圧電効果により電圧を発生させる。この電圧をオシロスコープにより測定することにより波動を観察する。そして図2(c)に観察した波形を示す。ここでは最大電圧が5波目であり約0.146Vp−pであった。また波形が乱れているが、これは炭素繊維複合材料2中の炭素繊維の配向方向が、超音波の伝搬方向と同じ方向に配向しているものと、直交しているものが存在することによるものであると考えられる。  Here, a method for observing ultrasonic propagation in the carbon fiber composite material 2 will be described. First, a sine wave pulse of 2 MHz and 10 Vp-p is applied to the piezoelectric element 3a. The ultrasonic wave propagates in the carbon fiber composite material 2, propagates to the piezoelectric element 3b, and generates a voltage due to the piezoelectric effect. Waves are observed by measuring this voltage with an oscilloscope. And the observed waveform is shown in FIG. Here, the maximum voltage was the fifth wave, which was about 0.146 Vp-p. Moreover, although the waveform is disordered, this is because the orientation direction of the carbon fiber in the carbon fiber composite material 2 is oriented in the same direction as the propagation direction of the ultrasonic wave and the perpendicular direction exists. It is thought to be a thing.

X、Y、Zを用いて図1(d)を説明する。炭素繊維複合材料2のX方向の長さは40mm、Y方向の長さが10mmそしてZ方向の長さは10mmである。そして炭素繊維複合材料2のX方向の両側にエポキシ樹脂7により圧電素子3a、3b直径10mmそして長さ1mmを接着する。炭素繊維複合材料2中の炭素繊維はY方向とZ方向の2方向に配向している。超音波伝搬方向と炭素繊維複合材料2中のY、Z方向に配向した炭素繊維の配向方向とは直交している。  FIG. 1D will be described using X, Y, and Z. The carbon fiber composite material 2 has a length in the X direction of 40 mm, a length in the Y direction of 10 mm, and a length in the Z direction of 10 mm. Then, the piezoelectric elements 3a and 3b having a diameter of 10 mm and a length of 1 mm are bonded to both sides of the carbon fiber composite material 2 in the X direction by the epoxy resin 7. The carbon fibers in the carbon fiber composite material 2 are oriented in two directions, the Y direction and the Z direction. The ultrasonic propagation direction and the orientation direction of the carbon fibers oriented in the Y and Z directions in the carbon fiber composite material 2 are orthogonal to each other.

前記圧電素子は鉛系の圧電セラミックであり、機械的品質係数Qmが約80のLowQ材である。そして両面に銀電極を焼付けにより設けている。また銀電極面に垂直である方向に分極されている。  The piezoelectric element is a lead-based piezoelectric ceramic, and is a LowQ material having a mechanical quality factor Qm of about 80. Silver electrodes are provided on both sides by baking. It is polarized in a direction perpendicular to the silver electrode surface.

ここで炭素繊維複合材料2中の超音波伝搬を観察する方法について説明する。まず圧電素子3aに2MHz、10Vp−pのサイン波パルスを印加する。炭素繊維複合材料2中の炭素繊維方向と直交方向に超音波は伝搬し、圧電素子3bに伝搬し、圧電効果により電圧を発生させる。この電圧をオシロスコープにより測定することにより波動を観察する。そして図2(d)に観察した波形を示す。ここでは最大電圧が3波目であり約0.051Vp−pであった。  Here, a method for observing ultrasonic propagation in the carbon fiber composite material 2 will be described. First, a sine wave pulse of 2 MHz and 10 Vp-p is applied to the piezoelectric element 3a. The ultrasonic wave propagates in the direction perpendicular to the carbon fiber direction in the carbon fiber composite material 2, propagates to the piezoelectric element 3b, and generates a voltage by the piezoelectric effect. Waves are observed by measuring this voltage with an oscilloscope. FIG. 2D shows the observed waveform. Here, the maximum voltage was the third wave, which was about 0.051 Vp-p.

ここで、炭素繊維複合材料2の材料物性を表1に示す。一方向とあるのは炭素繊維複合材料2中に炭素繊維がX方向にだけ配置しているものである。直交とあるのは、炭素繊維複合材料2中に炭素繊維がY方向とZ方向にだけ配置しているものである。  Here, the physical properties of the carbon fiber composite material 2 are shown in Table 1. One direction means that carbon fibers are arranged only in the X direction in the carbon fiber composite material 2. The term “perpendicular” means that carbon fibers are arranged only in the Y direction and the Z direction in the carbon fiber composite material 2.

Figure 2013217888
Figure 2013217888

図2(a)、図2(b)、図2(c)そして図2(d)より超音波の伝播時間と音速、そして受信波形で最大ピークを持つ受信波数とそのピーク値を表2にまとめた。受信波形を10波以下としたのは、トリガ法と関連するものである。なお、音速は例えば図2(a)の構成において炭素繊維複合材料2の長さを5mm、10mm、20mm、30mmを追加して伝播時間を測定して図3のグラフを作成し、直線回帰式を求めることにより算出した。  2 (a), FIG. 2 (b), FIG. 2 (c) and FIG. 2 (d) show the propagation time and speed of the ultrasonic wave, the received wave number having the maximum peak in the received waveform and the peak value in Table 2. Summarized. The reason why the reception waveform is 10 waves or less is related to the trigger method. The speed of sound is, for example, the graph of FIG. 3 is created by measuring the propagation time by adding 5 mm, 10 mm, 20 mm, and 30 mm to the length of the carbon fiber composite material 2 in the configuration of FIG. Was calculated.

伝搬時間の測定法にトリガ波を用いてゼロクロス点を測定することによりnsオーダーまで精密に伝播時間を測定されると非特許文献1に記載されている。  Non-Patent Document 1 describes that a propagation time can be accurately measured to the ns order by measuring a zero cross point using a trigger wave as a method for measuring a propagation time.

Figure 2013217888
ここでULとは図1(a)の構成、UTは図1(b)の構成、LTは図1(c)の構成、TTは図1(d)の構成を示すものである。
Figure 2013217888
Here, UL indicates the configuration of FIG. 1A, UT indicates the configuration of FIG. 1B, LT indicates the configuration of FIG. 1C, and TT indicates the configuration of FIG. 1D.

以上の結果より、超音波振動の減衰の小さい材料は炭素繊維の方向が超音波伝搬方向と同じものであり、炭素繊維の配向方向が超音波伝搬方向に直交するものは、減衰が大きくなる。したがって、超音波伝搬方向と炭素繊維複合材料2中の炭素繊維の配向方向が同じであるときだけが超音波振動の減衰の小さい材料になる。  From the above results, the material with small attenuation of ultrasonic vibration has the same carbon fiber direction as the ultrasonic propagation direction, and the material with the carbon fiber orientation direction orthogonal to the ultrasonic propagation direction has high attenuation. Therefore, only when the ultrasonic wave propagation direction and the orientation direction of the carbon fibers in the carbon fiber composite material 2 are the same, a material with a small attenuation of ultrasonic vibration is obtained.

また炭素繊維は、炭素繊維複合材料2中では、連続であることが望ましい。なぜなら、連続でない場合、樹脂が炭素繊維の間に入り込み、超音波振動を減衰させる。  The carbon fiber is preferably continuous in the carbon fiber composite material 2. This is because if not continuous, the resin penetrates between the carbon fibers and attenuates the ultrasonic vibration.

ここで受信波形の立ち上がりを受信波形のピークの最大である波数で表現する。表2で示すように超音波伝搬方向と炭素繊維複合材料2中の炭素繊維の配向方向が同じであるとき、2波目のピークの電圧値が最大である。他のUT、TTは、3波目であり、LTが5波目である。LTは炭素繊維複合材料2中に超音波伝搬方向と同じ方向に配向した繊維と直交する方向に配向した繊維がある。これにより伝搬経路が複雑になり受信波形が乱れたと考えられる。10波目までに最大のピークがないということは、立ち上がりの悪い波形であるので、10波目までに最大のピークがない波形は、トリガ法を用いることができないと判断することができる。  Here, the rising edge of the received waveform is expressed by the wave number that is the maximum peak of the received waveform. As shown in Table 2, when the ultrasonic wave propagation direction and the orientation direction of the carbon fibers in the carbon fiber composite material 2 are the same, the voltage value at the peak of the second wave is the maximum. The other UT and TT are the third wave, and the LT is the fifth wave. LT is a fiber in the carbon fiber composite material 2 oriented in a direction orthogonal to the fiber oriented in the same direction as the ultrasonic wave propagation direction. As a result, the propagation path becomes complicated and the received waveform is considered to be disturbed. The fact that there is no maximum peak by the 10th wave is a waveform with a bad rise, so it can be determined that a waveform having no maximum peak by the 10th wave cannot be used for the trigger method.

以上のように超音波伝搬の損失の小さいことと受信波形の立ち上がりの両者が良好であるのは、異方性のある繊維複合材料中の炭素繊維が超音波伝搬方向だけに配向しているものだけであることがわかる。  As described above, both the low loss of ultrasonic propagation and the rise of the received waveform are good because the carbon fibers in the anisotropic fiber composite are oriented only in the ultrasonic propagation direction. It turns out that it is only.

そして、炭素繊維複合材料2の形状においては、円柱である場合は、直径より長さが大きいことが望ましい。これは、基本振動を長さ方向の振動モードにするためである。こうすることで炭素繊維複合材料2の特徴を繊維方向と形状によるものとを一致させることでさらにその特徴を強めることができる。また多角形柱状の場合は、最大の辺の長さより、柱の長さを大きくすることにより基本振動を柱の長さ方向の振動モードにする。さらに多角形柱状の場合、四角形以上は対角線での最大の長さより、柱の長さを大きくすることにより、より確実に基本振動を柱の長さ方向の振動モードにすることができる。  And in the shape of carbon fiber composite material 2, when it is a cylinder, it is desirable that length is larger than a diameter. This is to make the fundamental vibration a vibration mode in the length direction. By doing so, the characteristics of the carbon fiber composite material 2 can be further enhanced by matching the characteristics of the carbon fiber composite material 2 with those of the fiber direction and shape. In the case of a polygonal columnar shape, the fundamental vibration is changed to a vibration mode in the column length direction by increasing the column length from the maximum side length. Further, in the case of a polygonal columnar shape, the fundamental vibration can be more surely set to the vibration mode in the length direction of the column by increasing the length of the column than the maximum length of the diagonal line in the case of a square or more.

図4は、図1の構成での超音波伝搬長さと検出電圧の関係を示すが、ULは、炭素繊維複合材料2の長さが10mm以上になると他のUT、LT、TTと比較して、2倍以上の検出電圧が得られ、さらに長くなると他との差が大きくなる。これは、材料の伝搬損失に形状の効果が付加されたものによると考える。  FIG. 4 shows the relationship between the ultrasonic propagation length and the detection voltage in the configuration of FIG. 1, but the UL is compared with other UTs, LTs, and TTs when the length of the carbon fiber composite material 2 is 10 mm or more. A detection voltage twice or more can be obtained, and the difference from others increases as the detection voltage becomes longer. This is considered to be due to the addition of the shape effect to the material propagation loss.

そこで、炭素繊維複合材料2の形状の影響が、円柱の場合は、柱の長さと直径の大きさが等しい位置を境界にして異なると考えられる。多角形柱の場合は辺の長さまたは対角線の長さと柱の長さが等しい位置を境界にして異なると考えられる。つまり円柱の場合は、柱の長さが直径の大きさより大きいと柱の長さ方向の振動が基本モードになるため、超音波は柱の長さ方向により伝搬する。そして柱方向に配向した炭素繊維を持つので炭素繊維複合材料2の柱方向の振動損失は小さくなる。以上の2点の相乗効果によりこの構成だけがきわめて優れた超音波振動子となると考えられる。  Therefore, in the case of a cylinder, the influence of the shape of the carbon fiber composite material 2 is considered to be different at a position where the column length and the diameter are equal. In the case of a polygonal column, it is considered that the side length or the diagonal length and the column length are different at a boundary. That is, in the case of a cylinder, since the vibration in the length direction of the column becomes a fundamental mode when the length of the column is larger than the diameter, the ultrasonic wave propagates in the length direction of the column. Since the carbon fibers are oriented in the column direction, the vibration loss in the column direction of the carbon fiber composite material 2 is reduced. Due to the synergistic effect of the above two points, only this configuration is considered to be an extremely excellent ultrasonic transducer.

円柱の長さが直径の大きさ以下である場合、基本振動モードは、径方向の振動であり炭素繊維の方向とは直交する。したがって炭素繊維の効果のみが強く現れると考えられる。炭素繊維は高弾性である効果より波形の立ち上がりが良くなることが考えられる。  When the length of the cylinder is equal to or less than the size of the diameter, the fundamental vibration mode is vibration in the radial direction and is orthogonal to the direction of the carbon fiber. Therefore, it is thought that only the effect of carbon fiber appears strongly. It is conceivable that the rise of the waveform is improved due to the effect that carbon fiber is highly elastic.

多角形柱の場合にも同様であり、柱の長さが辺または対角線の大きさより大きい場合は、伝搬波形も良好そして受信感度も高くなると考えられる。柱の長さが辺または対角線の大きさ以下であるときは、高弾性繊維の効果で波形の立ち上がりが良くなることが考えられる。  The same applies to a polygonal column. When the column length is larger than the size of a side or a diagonal line, it is considered that the propagation waveform is good and the reception sensitivity is also high. When the length of the column is equal to or smaller than the size of the side or the diagonal, it is conceivable that the rising of the waveform is improved by the effect of the high elastic fiber.

次に、圧電素子3と炭素繊維複合材料2を接合した超音波振動子からステンレスへの超音波伝搬特性について説明する。通常、伝搬特性を向上させるために整合層は伝搬する振動の波長の1/4の長さに設定する。しかし、ここでは整合という概念を用いないで、超音波を伝搬させる新しい概念によるものであるから超音波振動子を構成する炭素繊維複合材料2の長さを0.21mmから40mmまでの広い範囲の波形と感度を観察する。  Next, the ultrasonic propagation characteristics from the ultrasonic transducer in which the piezoelectric element 3 and the carbon fiber composite material 2 are joined to stainless steel will be described. Usually, in order to improve the propagation characteristics, the matching layer is set to a length of 1/4 of the wavelength of the vibration to propagate. However, here, the concept of matching is not used, and it is based on a new concept of propagating ultrasonic waves. Therefore, the length of the carbon fiber composite material 2 constituting the ultrasonic vibrator is in a wide range from 0.21 mm to 40 mm. Observe the waveform and sensitivity.

図5の平面図、図6の側面図を用いて説明する。ステンレス容器6の寸法は、内側が長さ100mm、幅70mmそして高さが100mmであり、そしてステンレス容器6の厚みは6mmである。また純水9が容器の底から約80mmの高さの位置まである。  This will be described with reference to the plan view of FIG. 5 and the side view of FIG. The dimensions of the stainless steel container 6 are 100 mm in length, 70 mm in width and 100 mm in height, and the thickness of the stainless steel container 6 is 6 mm. Pure water 9 is located at a height of about 80 mm from the bottom of the container.

図7の平面図と図7のA−A線での断面を示す図8を用いて超音波振動体1を説明する。炭素繊維複合材料2は10mm角、長さ0.21mmから40mmまでのものである。また炭素繊維は面に垂直方向であり長さ方向に配向させている。つまり超音波伝播方向と同じ方向に炭素繊維は配向したものである。そして炭素繊維複合材料2の一方の面にエポキシ樹脂7により圧電素子3を接合し、超音波振動体1を構成する。  The ultrasonic vibrator 1 will be described with reference to a plan view of FIG. 7 and FIG. 8 showing a cross section taken along line AA of FIG. The carbon fiber composite material 2 has a size of 10 mm square and a length of 0.21 mm to 40 mm. The carbon fibers are oriented in the length direction perpendicular to the surface. That is, the carbon fibers are oriented in the same direction as the ultrasonic wave propagation direction. Then, the piezoelectric element 3 is bonded to one surface of the carbon fiber composite material 2 by the epoxy resin 7 to constitute the ultrasonic vibrator 1.

圧電素子3は直径10mmで厚さが1mmであり、材料は鉛系の圧電セラミックであり、機械的品質係数Qmが約80のLowQ材である。炭素繊維複合材料2と圧電素子3を図7、図8のようにそれぞれの面の中心を一致させエポキシ樹脂7により接合する。炭素繊維複合材料2と圧電素子3を接合した構成は超音波振動体1となる。  The piezoelectric element 3 has a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm. The material is a lead-based piezoelectric ceramic, and is a LowQ material having a mechanical quality factor Qm of about 80. The carbon fiber composite material 2 and the piezoelectric element 3 are joined by the epoxy resin 7 with the centers of the respective surfaces being aligned as shown in FIGS. The structure in which the carbon fiber composite material 2 and the piezoelectric element 3 are joined is the ultrasonic vibrator 1.

上記に説明した超音波振動体1の炭素繊維複合材料2側をステンレス容器6の側面に接触媒質であるシリコン系グリースを介して接触させた。なお、超音波振動体1の中心軸位置をステンレス容器6の底面から高さ約40mmにする。  The carbon fiber composite material 2 side of the ultrasonic vibrator 1 described above was brought into contact with the side surface of the stainless steel container 6 via silicon grease as a contact medium. The central axis position of the ultrasonic vibrator 1 is set to a height of about 40 mm from the bottom surface of the stainless steel container 6.

次に超音波振動体1の圧電素子3に印加電圧が2MHz、10Vp−pのsin波パルスを印加する。その結果、超音波は、炭素繊維複合材料2、ステンレス容器6を伝搬し、純水9に伝搬し、対向するステンレス容器6の内面でほとんどが反射して再び純水9中に伝搬し、ステンレスを伝搬し炭素繊維複合材料2を伝搬し圧電素子3に伝搬する。  Next, a sin wave pulse having an applied voltage of 2 MHz and 10 Vp-p is applied to the piezoelectric element 3 of the ultrasonic vibrator 1. As a result, the ultrasonic wave propagates through the carbon fiber composite material 2 and the stainless steel container 6, propagates to the pure water 9, almost reflects off the inner surface of the opposing stainless steel container 6, and propagates again into the pure water 9. , Propagates through the carbon fiber composite material 2 and propagates to the piezoelectric element 3.

前記圧電素子3に伝搬した超音波振動により、圧電素子3に電圧が発生し、図9で示す受信波形が得られる。図9aは炭素繊維複合材料2の厚さが0.21mmであり、図9bは0.43mm、図9cが40mmの受信波形を示す。そして図8dは炭素繊維複合材料2を使用しないで直接圧電素子3をステンレス容器6にシリコン系グリースを介して接触させたときの受信波形である。  Due to the ultrasonic vibration propagated to the piezoelectric element 3, a voltage is generated in the piezoelectric element 3, and the received waveform shown in FIG. 9 is obtained. FIG. 9a shows a received waveform in which the thickness of the carbon fiber composite material 2 is 0.21 mm, FIG. 9b shows a received waveform of 0.43 mm, and FIG. 9c shows 40 mm. FIG. 8d shows a received waveform when the piezoelectric element 3 is directly brought into contact with the stainless steel container 6 through silicon-based grease without using the carbon fiber composite material 2.

実際に受信波形を観察したのは、炭素繊維複合材料2の厚さ、0.21mm、0.43mm、0.86mm、1.72mm、3.42mm、5.14mm、6.85mm、8.58mm、10.3mm、12.0mm、13.7mm、20mm、30mm、40mmの14種類である。それに炭素繊維複合材料2を使用しないで直接圧電素子3をステンレス容器6にシリコン系グリースを介して接触させたときの受信波形である。  Actually, the received waveform was observed with the thickness of the carbon fiber composite material 2, 0.21 mm, 0.43 mm, 0.86 mm, 1.72 mm, 3.42 mm, 5.14 mm, 6.85 mm, 8.58 mm. There are 14 types: 10.3 mm, 12.0 mm, 13.7 mm, 20 mm, 30 mm, and 40 mm. It is a received waveform when the piezoelectric element 3 is directly brought into contact with the stainless steel container 6 via silicon grease without using the carbon fiber composite material 2.

炭素繊維複合材料2を使用しないで直接圧電素子3(直径10mm、厚さ1mm)をステンレス容器にシリコン系グリースを介して接触させたときの受信波形は、プラス側のピーク電圧は17.8mVであった。これと比較して炭素繊維複合材料2の厚さが0.21mmの受信波形はほぼ同じでありプラス側のピーク電圧は8.38mVであった。したがって厚さが0.21mmの炭素繊維複合材料2は、ほぼ負荷になっているだけであり超音波伝播体としては作用していない。超音波伝播体の作用とは、従来の材料に比較して受信波形の立ち上がりが良くなっていること、または受信感度が高くなっていること、あるいはもちろん両方でも良い。  When the piezoelectric element 3 (diameter 10 mm, thickness 1 mm) is directly contacted with a stainless steel container via silicon grease without using the carbon fiber composite material 2, the received waveform has a positive peak voltage of 17.8 mV. there were. Compared with this, the reception waveform when the thickness of the carbon fiber composite material 2 was 0.21 mm was almost the same, and the peak voltage on the plus side was 8.38 mV. Therefore, the carbon fiber composite material 2 having a thickness of 0.21 mm is merely a load and does not act as an ultrasonic wave propagation body. The action of the ultrasonic wave propagating body may be that the rising of the received waveform is improved as compared with the conventional material, the receiving sensitivity is increased, or of course both.

炭素繊維複合材料2の厚さが0.43mmである受信波形は3波目にプラス側の第1のピーク電圧は15.8mVであり、7波目にプラス側の第2のピーク電圧は20.4mVである。厚さが0.43mmの炭素繊維複合材料2は、同等以上の受信電圧を持ち、トリガが可能なピークが3波目にある。したがって超音波振動体としての作用がある。  In the received waveform in which the thickness of the carbon fiber composite material 2 is 0.43 mm, the first peak voltage on the plus side is 15.8 mV at the third wave, and the second peak voltage on the plus side is 20 at the seventh wave. .4 mV. The carbon fiber composite material 2 having a thickness of 0.43 mm has a reception voltage equal to or higher than that, and has a peak that can be triggered in the third wave. Therefore, there exists an effect | action as an ultrasonic vibration body.

さらに炭素繊維複合材料2の長さが40mmの受信波形は、2波目にプラス側のピーク電圧があり、10.7mVである。波形はトリガ法に適している。SN比が良好であるため受信波形を増幅することによりさらに適した波形になる。受信電圧を上げる他の手段としては、駆動電圧を大きくする。例えば印加電圧を2MHz、30Vp−pのsin波パルスにすることである。  Further, the reception waveform of the carbon fiber composite material 2 having a length of 40 mm has a positive peak voltage in the second wave and is 10.7 mV. The waveform is suitable for the trigger method. Since the signal-to-noise ratio is good, it becomes a more suitable waveform by amplifying the received waveform. As another means for increasing the reception voltage, the drive voltage is increased. For example, the applied voltage is a 2 MHz, 30 Vp-p sine wave pulse.

トリガ法に適しているとは、次に説明する状態である。前後の波より高い電圧値を持つ波のピーク電圧値が、前の波形より電圧値が大きさでだけでなく、ピーク電圧値と前の波の中で最も大きい電圧値との比較が重要である。トリガ法にとっては、前の波の電圧値をノイズと考えることができるのでSN比と同様の取り扱いができる。したがってピーク電圧値と前の波と比較した電圧比が大きいことの両方が望まれる。  The state described below is suitable for the trigger method. It is important to compare the peak voltage value of a wave with a higher voltage value than the preceding and following waves, not only the magnitude of the voltage value of the previous waveform, but also the peak voltage value and the largest voltage value of the previous wave. is there. For the trigger method, since the voltage value of the previous wave can be considered as noise, it can be handled in the same manner as the S / N ratio. Therefore, both the peak voltage value and the large voltage ratio compared to the previous wave are desired.

そこで波形のSN比が高ければ、波形を電気的に増幅することにより、トリガ法に適した波形にすることができる。  Therefore, if the S / N ratio of the waveform is high, a waveform suitable for the trigger method can be obtained by electrically amplifying the waveform.

比較のためにステンレス棒10mmφ長さ40mmの片方に端面に直径10mmで厚さが1mmの圧電素子3をエポキシ樹脂7で接合し、上と同様のことをして受信波形を観察したが、ステンレスを伝搬する大きなノイズのため小さな受信波形を確認できなかった。  For comparison, a piezoelectric rod 3 having a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm was joined to one end of a stainless rod 10 mmφ 40 mm in length with an epoxy resin 7 and the received waveform was observed in the same manner as above. A small received waveform could not be confirmed due to large noise propagating through the.

さらに比較のためにアクリル棒10mmφ長さ40mmの片方に端面に直径10mmで厚さが1mmの圧電素子3をエポキシ樹脂7で接合し、上と同様のことをして受信波形を観察したが、アクリルを伝搬する低周波の大きな受信波形に非常に小さい信号となる波形が乗ってしまい、トリガ法を用いることができない。  For comparison, the piezoelectric element 3 having a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm was joined to one end of an acrylic rod 10 mmφ 40 mm in length with an epoxy resin 7 and the received waveform was observed in the same manner as above. A waveform that becomes a very small signal is placed on a large low-frequency received waveform that propagates through the acrylic, and the trigger method cannot be used.

したがって、炭素繊維複合材料2の長さが40mmの受信波形は、従来の材料に比較して受信波形の立ち上がりが良くなっていること、そして受信感度が高くなっていることから超音波振動体としての作用がある。  Therefore, the reception waveform having a length of 40 mm of the carbon fiber composite material 2 has an improved rising of the reception waveform and higher reception sensitivity than the conventional material. There is an effect of.

炭素繊維複合材料2の長さが40mmでも超音波の送受信に使用できるということは、例えば200℃の流体を収納する容器に接する超音波振動体1としては非常に有効である。容器に接する炭素繊維複合材料2の温度が200℃でも圧電素子3と接する炭素繊維複合材料2の温度はかなり低くなるので通常の圧電素子3を用いることができる。また圧電素子3の温度変化が小さくなるため測定精度を高めることができる。このような高温用途は、超音波流量計、超音波レベル計などがある。また、さらに高い温度で使用される場合は、炭素繊維複合材料2の母材である有機材料を不活性雰囲気で熱処理することにより炭素化または一部炭素化することにより炭素繊維複合材料2の耐熱性を高める。  The fact that the carbon fiber composite material 2 can be used for transmission / reception of ultrasonic waves even when the length of the carbon fiber composite material 2 is 40 mm is very effective as the ultrasonic vibrator 1 in contact with a container containing a fluid at 200 ° C. Even if the temperature of the carbon fiber composite material 2 in contact with the container is 200 ° C., the temperature of the carbon fiber composite material 2 in contact with the piezoelectric element 3 becomes considerably low, so that the normal piezoelectric element 3 can be used. Moreover, since the temperature change of the piezoelectric element 3 becomes small, the measurement accuracy can be increased. Such high-temperature applications include an ultrasonic flow meter and an ultrasonic level meter. In addition, when used at a higher temperature, the heat resistance of the carbon fiber composite material 2 is obtained by carbonizing or partially carbonizing the organic material that is the base material of the carbon fiber composite material 2 by heat treatment in an inert atmosphere. Increase sex.

炭素繊維複合材料2の形状の作用を考えない10mm以下の長さで、炭素繊維複合材料2内の炭素繊維の効果により立ち上がり特性を改善できたことを確認した。その長さは0.42mmであったが、0.21mmでは確認できなかった。したがって形状の作用を考えない10mm以下の厚さで0.2mmより大きい長さが必要であることが明らかになった。  It was confirmed that the rising characteristics could be improved by the effect of the carbon fiber in the carbon fiber composite material 2 with a length of 10 mm or less that does not consider the action of the shape of the carbon fiber composite material 2. The length was 0.42 mm, but could not be confirmed at 0.21 mm. Therefore, it became clear that a length greater than 0.2 mm was necessary with a thickness of 10 mm or less without considering the effect of the shape.

炭素繊維複合材料2の形状の作用を利用できると考える10mm以上の厚さで、炭素繊維複合材料2内の炭素繊維の効果により立ち上がり特性を改善できたこと、そして受信感度を高めることができることを確認した。その長さは40mmであった。上限は実際に使用するときの問題である。実際、炭素繊維複合材料2の長さを60mmにして同じように測定した結果、2波目にプラス側のピーク電圧があり、14.8mVである。波形は40mmよりさらによくなった。  The rise characteristic can be improved by the effect of the carbon fiber in the carbon fiber composite material 2 at a thickness of 10 mm or more that the action of the shape of the carbon fiber composite material 2 can be used, and the reception sensitivity can be increased. confirmed. Its length was 40 mm. The upper limit is a problem in actual use. Actually, the length of the carbon fiber composite material 2 was measured in the same manner as 60 mm. As a result, the second wave had a plus-side peak voltage of 14.8 mV. The waveform was even better than 40 mm.

さらに、超音波振動体1の炭素繊維複合材料2からPFAへの超音波伝搬特性について説明する。通常、伝搬特性を向上させるために整合層は伝搬する振動の波長の1/4の長さに設定する。しかし、ここでは整合という概念を用いないで、超音波を伝搬させる新しい概念によるものであるから、炭素繊維複合材料2の長さを0.21mmから40mmまでの広い範囲での波形と感度を観察する。  Furthermore, the ultrasonic propagation characteristics from the carbon fiber composite material 2 of the ultrasonic vibrator 1 to the PFA will be described. Usually, in order to improve the propagation characteristics, the matching layer is set to a length of 1/4 of the wavelength of the vibration to propagate. However, since the concept of matching is not used here, it is based on a new concept of propagating ultrasonic waves, so the waveform and sensitivity of the carbon fiber composite material 2 are observed over a wide range from 0.21 mm to 40 mm. To do.

図10の断面図を用いて説明する。図10に示す全体をPFA容器8という。PFA(ポリテトラフルオロエチレン)製の円管の寸法は、内径が4mm、外径16mmそして超音波を送受信する長さが約60mmである。また超音波振動体1と流体との間のPFAの長さは3mmである。そして炭素繊維複合材料2と接する面の距離が92mmである。円管内の流体は純水9である。  This will be described with reference to the cross-sectional view of FIG. The whole shown in FIG. The dimensions of a circular tube made of PFA (polytetrafluoroethylene) are an inner diameter of 4 mm, an outer diameter of 16 mm, and a length for transmitting and receiving ultrasonic waves of about 60 mm. The length of the PFA between the ultrasonic vibrator 1 and the fluid is 3 mm. And the distance of the surface which contact | connects the carbon fiber composite material 2 is 92 mm. The fluid in the circular pipe is pure water 9.

そして、前記と同様に炭素繊維複合材料2は10mm角、厚さ0.21mmから40mmまでの長さである。また炭素繊維は超音波伝播方向と同じ方向に配向したものである。そして超音波振動体1は、炭素繊維複合材料2の一方の面にエポキシ樹脂7により圧電素子3を接合した。  Similarly to the above, the carbon fiber composite material 2 has a length of 10 mm square and a thickness of 0.21 mm to 40 mm. The carbon fibers are oriented in the same direction as the ultrasonic wave propagation direction. In the ultrasonic vibrator 1, the piezoelectric element 3 was bonded to one surface of the carbon fiber composite material 2 with an epoxy resin 7.

圧電素子3は直径10mmで厚さが1mmであり、材料は鉛系の圧電セラミックであり、機械的品質係数Qmが約80のLowQ材である。図のように炭素繊維複合材料2と圧電素子3をエポキシ樹脂7により接合して超音波振動体1を作成した。  The piezoelectric element 3 has a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm. The material is a lead-based piezoelectric ceramic, and is a LowQ material having a mechanical quality factor Qm of about 80. As shown in the figure, the ultrasonic vibration body 1 was prepared by bonding the carbon fiber composite material 2 and the piezoelectric element 3 with an epoxy resin 7.

上記に説明した超音波振動体1をPFAに接触媒質であるシリコン系グリースを介して接触面を炭素繊維複合材料2として接触させた。  The ultrasonic vibrating body 1 described above was brought into contact with PFA as a carbon fiber composite material 2 through silicon-based grease as a contact medium.

次に超音波振動体1の圧電素子3aに印加電圧が2MHz、10Vp−pのsin波パルスを印加する。その結果、超音波は、炭素繊維複合材料2、PFAを伝搬し、純水9に伝搬し、対向するPFA面伝搬し、炭素繊維複合材料2を伝搬し圧電素子3bに伝搬する。  Next, a sin wave pulse with an applied voltage of 2 MHz and 10 Vp-p is applied to the piezoelectric element 3 a of the ultrasonic vibrator 1. As a result, the ultrasonic wave propagates through the carbon fiber composite material 2 and PFA, propagates to the pure water 9, propagates to the opposing PFA surface, propagates through the carbon fiber composite material 2, and propagates to the piezoelectric element 3b.

前記圧電素子3bに伝搬した超音波振動により、圧電素子3bに電圧が発生し、図11で示す受信波形が得られる。図11aは炭素繊維複合材料2の厚さが0.21mmであり、図11bは0.43mm、図11cが40mm、そして図11dは炭素繊維複合材料2を使用しないで直接圧電素子3a、3bをPFAにシリコン系グリースを介して接触させたときの受信波形である。  Due to the ultrasonic vibration propagated to the piezoelectric element 3b, a voltage is generated in the piezoelectric element 3b, and the received waveform shown in FIG. 11 is obtained. 11a shows that the thickness of the carbon fiber composite material 2 is 0.21 mm, FIG. 11b shows 0.43 mm, FIG. 11c shows 40 mm, and FIG. 11d shows that the piezoelectric elements 3a and 3b are directly used without using the carbon fiber composite material 2. It is a received waveform when making it contact with PFA via a silicon-type grease.

ここで炭素繊維複合材料2を使用しないで直接圧電素子3a、3bをPFAにシリコン系グリースを介して接触させたときの受信波形において、7波目にプラス側のピークがあり電圧は7.10mVであった。これと比較して炭素繊維複合材料2の長さが0.21mmの受信波形はほぼ同じであるが4波目にプラス側のピークがあり、プラス側のピーク電圧は10.8mVであった。1波目からピーク電圧をもつ4波目の電圧の増加が緩やかであるためトリガ法には適さない波形である。長さ0.21mmの炭素繊維複合材料2は、少し改善されているが超音波伝播体としては目立った作用はしていない。  Here, in the received waveform when the piezoelectric elements 3a and 3b are directly brought into contact with the PFA via the silicon-based grease without using the carbon fiber composite material 2, there is a positive peak at the seventh wave, and the voltage is 7.10 mV. Met. Compared with this, the reception waveform when the length of the carbon fiber composite material 2 is 0.21 mm is substantially the same, but the fourth wave has a plus-side peak, and the plus-side peak voltage is 10.8 mV. Since the increase in the voltage of the fourth wave having the peak voltage from the first wave is gentle, the waveform is not suitable for the trigger method. Although the carbon fiber composite material 2 having a length of 0.21 mm is slightly improved, it does not have a noticeable effect as an ultrasonic wave propagation body.

炭素繊維複合材料2の厚さが0.43mmの受信波形は、3波目にプラス側のピーク電圧に9.38mVを持つ。したがって厚さが0.43mmの炭素繊維複合材料2は、炭素繊維複合材料2を使用しないで直接圧電素子3a、3bをPFAにシリコン系グリースを介して接触させたときと同等以上の受信電圧を持ち、トリガが可能なピークが3波目にある。したがって超音波振動体としての作用がある。  The received waveform with the carbon fiber composite material 2 having a thickness of 0.43 mm has a positive peak voltage of 9.38 mV in the third wave. Therefore, the carbon fiber composite material 2 having a thickness of 0.43 mm has a reception voltage equal to or higher than that obtained when the piezoelectric elements 3a and 3b are directly brought into contact with the PFA via silicon grease without using the carbon fiber composite material 2. The third wave has a peak that can be triggered. Therefore, there exists an effect | action as an ultrasonic vibration body.

炭素繊維複合材料2の長さが40mmの受信波形は、3波目にプラス側のピーク電圧があり、5.2mVである。波形はトリガ法に適している。SN比が良好であるため受信波形を増幅することによりさらに適した波形になる。受信電圧を上げる他の手段としては、駆動電圧を大きくする。例えば印加電圧を2MHz、30Vp−pのsin波パルスにすることである。  The reception waveform of the carbon fiber composite material 2 having a length of 40 mm has a positive peak voltage in the third wave and is 5.2 mV. The waveform is suitable for the trigger method. Since the signal-to-noise ratio is good, it becomes a more suitable waveform by amplifying the received waveform. As another means for increasing the reception voltage, the drive voltage is increased. For example, the applied voltage is a 2 MHz, 30 Vp-p sine wave pulse.

比較のためにステンレス棒10mmφ長さ40mmの片方に端面に直径10mmで厚さが1mmの圧電素子3をエポキシ樹脂7で接合し、上と同様のことをして受信波形を観察したが、ほとんど受信波形を確認できなかった。  For comparison, a piezoelectric rod 3 having a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm was joined to one end of a stainless steel rod 10 mmφ 40 mm in length with an epoxy resin 7 and the received waveform was observed in the same manner as above. The received waveform could not be confirmed.

さらに比較のためにアクリル棒10mmφ長さ40mmの片方に端面に直径10mmで厚さが1mmの圧電素子3をエポキシ樹脂7で接合し、上と同様のことをして受信波形を観察したが、ほとんど受信波形を確認できなかった。  For comparison, the piezoelectric element 3 having a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm was joined to one end of an acrylic rod 10 mmφ 40 mm in length with an epoxy resin 7 and the received waveform was observed in the same manner as above. The received waveform could hardly be confirmed.

したがって、炭素繊維複合材料2の長さが40mmの受信波形は、従来の材料に比較して受信波形の立ち上がりが良くなっていること、そして受信感度が高くなっていることから超音波振動体としての作用がある。  Therefore, the reception waveform having a length of 40 mm of the carbon fiber composite material 2 has an improved rising of the reception waveform and higher reception sensitivity than the conventional material. There is an effect of.

炭素繊維複合材料2の形状の作用を考えない10mm以下の長さで、炭素繊維複合材料2内の炭素繊維の効果により立ち上がり特性を改善できたことを確認した。その長さは0.42mmであったが、0.21mmでは十分に確認できなかった。したがって形状の作用を考えない10mm以下の厚さで0.2mmより大きい長さが必要であることが明らかになった。  It was confirmed that the rising characteristics could be improved by the effect of the carbon fiber in the carbon fiber composite material 2 with a length of 10 mm or less that does not consider the action of the shape of the carbon fiber composite material 2. The length was 0.42 mm, but could not be confirmed sufficiently at 0.21 mm. Therefore, it became clear that a length greater than 0.2 mm was necessary with a thickness of 10 mm or less without considering the effect of the shape.

炭素繊維複合材料2の形状の作用を利用できると考える10mm以上の厚さで、炭素繊維複合材料2内の炭素繊維の効果により立ち上がり特性を改善できたこと、そして受信感度を高めることができることを確認した。その長さは40mmであった。上限は実際に使用するときの問題である。  The rise characteristic can be improved by the effect of the carbon fiber in the carbon fiber composite material 2 at a thickness of 10 mm or more that the action of the shape of the carbon fiber composite material 2 can be used, and the reception sensitivity can be increased. confirmed. Its length was 40 mm. The upper limit is a problem in actual use.

ここで炭素繊維複合材料2中の炭素繊維の配向方向について図12を用いて説明する。図12(a)の破線の矢印は超音波伝搬方向を示す。炭素繊維複合材料中の繊維の配向方向10aは超音波伝搬方向と同一であり0度の配向方向である。繊維の配向方向10bは超音波伝搬方向との角度が5度であり、5度の配向方向である。繊維の配向方向10cは超音波伝搬方向との角度が30度であり、30度の配向方向である。  Here, the orientation direction of the carbon fibers in the carbon fiber composite material 2 will be described with reference to FIG. The broken arrow in FIG. 12A indicates the ultrasonic wave propagation direction. The orientation direction 10a of the fibers in the carbon fiber composite material is the same as the ultrasonic wave propagation direction and is the 0 degree orientation direction. The orientation direction 10b of the fiber is 5 degrees with respect to the ultrasonic wave propagation direction, and is an orientation direction of 5 degrees. The fiber orientation direction 10c has an angle of 30 degrees with respect to the ultrasonic wave propagation direction, and is an orientation direction of 30 degrees.

0度の配向の炭素繊維複合材料は、繊維方向を同一にしてプリプレグシートを積層して樹脂を硬化させて作成する。5度の配向の炭素繊維複合材料は、図12(b)と図12(c)のプリプレグシートを交互に積層して樹脂を硬化させて作成する。作成した炭素繊維複合材料は超音波伝搬方向に対して+5度と−5度の配向方向の炭素繊維を持っている。そしての30度の配向の炭素繊維複合材料も上記と同様に作成するので、作成した炭素繊維複合材料は超音波伝搬方向に対して+30度と−30度の配向方向の炭素繊維を持っている。  The carbon fiber composite material with 0 degree orientation is prepared by laminating prepreg sheets with the same fiber direction and curing the resin. The carbon fiber composite material oriented at 5 degrees is formed by alternately laminating the prepreg sheets of FIGS. 12B and 12C and curing the resin. The produced carbon fiber composite material has carbon fibers having orientation directions of +5 degrees and -5 degrees with respect to the ultrasonic wave propagation direction. Since the carbon fiber composite material with 30 degree orientation is produced in the same manner as described above, the produced carbon fiber composite material has carbon fibers with orientation directions of +30 degrees and −30 degrees with respect to the ultrasonic wave propagation direction. .

炭素繊維複合材料の超音波伝搬は、繊維方向に伝搬するため0度の配向の炭素繊維複合材料の音速は13700m/sであり、90度の配向の炭素繊維複合材料の音速は2650m/sであった。このことより炭素繊維の配向方向が45度では、マトリックスの影響が約半分になるため考えられるため繊維の効果が十分に発揮できない。したがって繊維の効果を発揮するには40度以下の配向方向が望ましい。さらに好ましくは30度以内であり、もちろん最も受信信号が大きいのは0度の炭素繊維の配向方向である。  Since the ultrasonic propagation of the carbon fiber composite material propagates in the fiber direction, the sound speed of the carbon fiber composite material with 0 degree orientation is 13700 m / s, and the sound speed of the carbon fiber composite material with 90 degree orientation is 2650 m / s. there were. From this, when the orientation direction of the carbon fiber is 45 degrees, it is considered that the influence of the matrix is about half, so that the effect of the fiber cannot be sufficiently exhibited. Therefore, an orientation direction of 40 degrees or less is desirable for exerting the fiber effect. More preferably, it is within 30 degrees, and of course, the largest received signal is in the orientation direction of the carbon fiber at 0 degrees.

以上に述べた炭素繊維複合材料の特徴を用いることで超音波レベル計の性能を大幅に向上させることができる。以下に炭素繊維複合材料を用いた超音波レベル計について述べる。  The performance of the ultrasonic level meter can be greatly improved by using the characteristics of the carbon fiber composite material described above. An ultrasonic level meter using a carbon fiber composite material will be described below.

またステンレス容器6の一部と超音波振動体などの断面を示す図13において、超音波レベル計としてステンレス容器6側面に超音波振動体1を取付けた一例を示す。まず、ステンレス容器6の外側面にステンレス製の取付け台11を使用最高温度が約200℃のエポキシ樹脂により取付ける。円筒形状の取付け台11の中心部にはメネジを設けてある。  Further, FIG. 13 showing a cross section of a part of the stainless steel container 6 and the ultrasonic vibration body shows an example in which the ultrasonic vibration body 1 is attached to the side surface of the stainless steel container 6 as an ultrasonic level meter. First, a stainless steel mounting base 11 is attached to the outer surface of the stainless steel container 6 with an epoxy resin having a maximum operating temperature of about 200 ° C. A female screw is provided at the center of the cylindrical mounting base 11.

矢印方向に炭素繊維を配向させた円柱状の炭素繊維複合材料2の先端部にテーパーを設け、その先が細くなった先端に円板状のシリコンゲル11を接合する。なおテーパーにより細くなった先端の直径は元の直径の70%以下、20%以上が好ましい。70%以下であると先端面積が約半分以下になるので、より位相の揃った超音波を伝搬させることができる。また伝熱面積も小さくなるためステンレス容器6からの伝熱を小さくすることができる。さらに炭素繊維複合材料2とステンレス容器6とのシリコンゲル11を介しての接触圧力を約2倍以上にすることができる。20%以上が好ましい理由は、20%以下であると先端面積が4%以下になるため、接触面積が小さくなりすぎ十分にステンレス容器6に超音波を伝搬させるのが困難になるためである。シリコンゲル11は炭素繊維複合材料2とステンレス容器6の密着性を高める接触媒質であり、炭素繊維複合材料2とステンレス容器6の超音波伝搬ロスを小さくすることができる。  A taper is provided at the tip of the columnar carbon fiber composite material 2 in which the carbon fibers are oriented in the direction of the arrow, and the disc-shaped silicon gel 11 is joined to the tip of which the tip is tapered. The diameter of the tip narrowed by the taper is preferably 70% or less and 20% or more of the original diameter. If it is 70% or less, the tip area is about half or less, so that ultrasonic waves with more uniform phases can be propagated. Further, since the heat transfer area is also reduced, the heat transfer from the stainless steel container 6 can be reduced. Furthermore, the contact pressure between the carbon fiber composite material 2 and the stainless steel container 6 through the silicon gel 11 can be increased by about twice or more. The reason why 20% or more is preferable is that when the area is 20% or less, the tip area becomes 4% or less, and the contact area becomes too small to sufficiently propagate the ultrasonic wave to the stainless steel container 6. The silicon gel 11 is a contact medium that improves the adhesion between the carbon fiber composite material 2 and the stainless steel container 6, and can reduce the ultrasonic propagation loss between the carbon fiber composite material 2 and the stainless steel container 6.

炭素繊維複合材料2の先端部のテーパーを設けることに受信波形が良好になる。これは、接触面において位相が異なる部分がる場合には、接触面積を小さくすることにより均一な位相の情報が得られることによるものであると考えられる。また、先端部のテーパーを設けることによりステンレス容器6との接触面が小さくなるため、例えばステンレス容器6が100℃を越える高温の場合、炭素繊維複合材料2への伝熱を小さくすることができるため、圧電素子3の温度上昇を小さくすることができる。  The reception waveform is improved by providing a taper at the tip of the carbon fiber composite material 2. This is considered to be due to the fact that uniform phase information can be obtained by reducing the contact area when there are portions with different phases on the contact surface. Further, since the contact surface with the stainless steel container 6 is reduced by providing a taper at the tip, for example, when the stainless steel container 6 is at a high temperature exceeding 100 ° C., the heat transfer to the carbon fiber composite material 2 can be reduced. Therefore, the temperature rise of the piezoelectric element 3 can be reduced.

また炭素繊維複合材料2の側面部にオネジを設ける。これは取付け台11に取付けるためのものである。また、この炭素繊維複合材料2の側面部のオネジは、炭素繊維複合材料2の直径に対してオネジにより減少する最も小さい径が元の炭素繊維複合材料2の直径の70パーセント以上あれば、炭素繊維複合材料2中を伝搬する超音波に対してそれほど影響を与えない。  A male screw is provided on the side surface of the carbon fiber composite material 2. This is for mounting on the mounting base 11. Further, the male screw on the side surface of the carbon fiber composite material 2 is carbon if the smallest diameter reduced by the male screw with respect to the diameter of the carbon fiber composite material 2 is 70% or more of the diameter of the original carbon fiber composite material 2. The ultrasonic wave propagating through the fiber composite material 2 is not so affected.

さらに炭素繊維複合材料2の側面部に放熱用のヒートシンク13を接合することにより炭素繊維複合材料2の熱を効率的に外気中に放出することができる。これにより炭素繊維複合材料2の温度を小さくできるため圧電素子の温度上昇を小さくすることができる。そして炭素繊維複合材料2の側面部に放熱用のヒートシンク13を接合しても伝搬する超音波にほとんど影響を与えなかった。これは、炭素繊維複合材料2中の炭素繊維を曲げたり切断することがないため、超音波の伝搬に影響を与えないものと考えられる。  Furthermore, the heat of the carbon fiber composite material 2 can be efficiently released into the outside air by joining the heat sink 13 for heat dissipation to the side surface portion of the carbon fiber composite material 2. Thereby, since the temperature of the carbon fiber composite material 2 can be reduced, the temperature rise of the piezoelectric element can be reduced. And even if the heat sink 13 for heat dissipation was joined to the side surface portion of the carbon fiber composite material 2, the ultrasonic wave propagated was hardly affected. It is considered that this does not affect the propagation of ultrasonic waves because the carbon fiber in the carbon fiber composite material 2 is not bent or cut.

炭素繊維複合材料2の後部には圧電素子をエポキシ樹脂を用いて接合する。圧電素子は複合圧電素子であり、その複合圧電素子については、例えば非特許文献2に詳しく記載されている。そして複合圧電素子を使用する場合は、複合圧電素子が圧電セラミックとエポキシ樹脂などの有機材料からなる複合材料であるため、温度をできる限り常温に近い状態で使用することが望ましい。特にエポキシ樹脂の耐熱温度を超える温度では使用できない。  A piezoelectric element is bonded to the rear portion of the carbon fiber composite material 2 using an epoxy resin. The piezoelectric element is a composite piezoelectric element, and the composite piezoelectric element is described in detail in Non-Patent Document 2, for example. When the composite piezoelectric element is used, since the composite piezoelectric element is a composite material made of an organic material such as a piezoelectric ceramic and an epoxy resin, it is desirable that the temperature be used as close to room temperature as possible. In particular, it cannot be used at temperatures exceeding the heat resistance temperature of epoxy resin.

超音波振動体1をステンレス容器6に取付ける。ステンレス容器6に耐熱グレードのエポキシ樹脂により取付けた取付け台12のメネジに炭素繊維複合材料2の側面部のオネジをねじ込むことにより、ステンレス容器6にシリコンゲルを介して炭素繊維複合材料2の先端を確実に接触させることができる。もし、接触が不十分であるときは超音波がステンレス容器6に十分に伝搬しないためステンレス容器6の液体にも十分伝搬しない。  The ultrasonic vibrator 1 is attached to the stainless steel container 6. By screwing the male screw of the side surface portion of the carbon fiber composite material 2 into the female screw of the mounting base 12 attached to the stainless steel container 6 with a heat-resistant grade epoxy resin, the tip of the carbon fiber composite material 2 is attached to the stainless steel container 6 through the silicon gel. It can be reliably contacted. If the contact is insufficient, the ultrasonic wave does not sufficiently propagate to the stainless steel container 6 and therefore does not sufficiently propagate to the liquid in the stainless steel container 6.

次に図13の構成を用いてステンレス容器6に超音波振動体1を取付けた位置に液体が存在するか否かを測定する方法について説明する。  Next, a method for measuring whether or not a liquid exists at a position where the ultrasonic vibrator 1 is attached to the stainless steel container 6 will be described using the configuration of FIG.

例えば超音波振動体1の圧電素子3に印加電圧が500KHz、50Vp−pのsin波パルスを印加する。その結果、超音波は、炭素繊維複合材料2、ステンレス容器6を伝搬し、約150℃の液体に伝搬し、対向するステンレス容器6の内面でほとんどが反射して再び約150℃の液体中に伝搬し、ステンレス容器6を伝搬し炭素繊維複合材料2を伝搬し圧電素子3に伝搬する。  For example, a sin wave pulse with an applied voltage of 500 KHz and 50 Vp-p is applied to the piezoelectric element 3 of the ultrasonic vibrator 1. As a result, the ultrasonic wave propagates through the carbon fiber composite material 2 and the stainless steel container 6, propagates to the liquid at about 150 ° C., is mostly reflected by the inner surface of the opposing stainless steel container 6, and again enters the liquid at about 150 ° C. Propagate, propagate through the stainless steel container 6, propagate through the carbon fiber composite material 2, and propagate to the piezoelectric element 3.

sin波パルスを印加した時間から受信した伝搬波形を検出した時間との時間差を測定することによりステンレス容器6の液体の存在を確認する。なお、時間差を測定する方法として、トリガ法を用いた。もし、液体の存在がなければ液体を伝搬する時間差の位置に受信波形が存在しないため液体がその位置にないことを確認できる。  The presence of the liquid in the stainless steel container 6 is confirmed by measuring the time difference from the time when the received propagation waveform is detected from the time when the sin wave pulse is applied. The trigger method was used as a method for measuring the time difference. If there is no liquid, it can be confirmed that there is no liquid at that position because the received waveform does not exist at the position of the time difference in which the liquid propagates.

さらにステンレス容器6の底面に超音波振動体1を取付け、ステンレス容器6内の液体の位置を測定する方法について説明する。ここでステンレス容器6内の液面に対して垂直に超音波が送受されるように超音波振動体1を取付ける。  Further, a method for attaching the ultrasonic vibrator 1 to the bottom surface of the stainless steel container 6 and measuring the position of the liquid in the stainless steel container 6 will be described. Here, the ultrasonic vibrator 1 is attached so that ultrasonic waves are transmitted and received perpendicular to the liquid level in the stainless steel container 6.

そして、例えば超音波振動体1の圧電素子3に印加電圧が700KHz、50Vp−pのsin波パルスを印加する。その結果、超音波は、炭素繊維複合材料2、ステンレス容器6を伝搬し、約150℃の液体に伝搬し、液面でほとんどが反射して再び約150℃の液体中に伝搬し、ステンレスを伝搬し炭素繊維複合材料2を伝搬し圧電素子3に伝搬する。  Then, for example, a sin wave pulse with an applied voltage of 700 KHz and 50 Vp-p is applied to the piezoelectric element 3 of the ultrasonic vibrator 1. As a result, the ultrasonic wave propagates through the carbon fiber composite material 2 and the stainless steel container 6, propagates to the liquid at about 150 ° C., almost reflects off the liquid surface, and propagates again into the liquid at about 150 ° C. Propagate, propagate through the carbon fiber composite material 2, and propagate to the piezoelectric element 3.

sin波パルスを印加した時間から受信した伝搬波形を検出した時間との時間差を測定することによりステンレス容器6の液面の位置を測定する。なお、時間差を測定する方法として、トリガ法を用いた。  The position of the liquid surface of the stainless steel container 6 is measured by measuring the time difference from the time when the received propagation waveform is detected from the time when the sin wave pulse is applied. The trigger method was used as a method for measuring the time difference.

上記では炭素繊維複合材料について述べたが、引張り弾性率が100Gpaを超える高弾性繊維は、炭素繊維だけではなく例えばSiC繊維、アルミナ繊維、パラ系アラミド繊維、PBO繊維、超高分子量ポリエチレン繊維、ポリアリレート繊維などある。したがって炭素繊維以外の複合材料も使用できる。  Although the carbon fiber composite material has been described above, the high elastic fiber having a tensile elastic modulus exceeding 100 Gpa is not limited to the carbon fiber, for example, SiC fiber, alumina fiber, para-aramid fiber, PBO fiber, ultrahigh molecular weight polyethylene fiber, poly There are arylate fibers. Therefore, composite materials other than carbon fibers can also be used.

上記では圧電素子として複合圧電素子を用いたが、ニオブ酸リチウムなどのような圧電単結晶、PVDFのような有機圧電材料そして圧電セラミックも使用できる。  In the above, a composite piezoelectric element is used as the piezoelectric element, but a piezoelectric single crystal such as lithium niobate, an organic piezoelectric material such as PVDF, and a piezoelectric ceramic can also be used.

以上述べたように本発明の超音波振動体は、超音波レベル計に好適に用いることができる。  As described above, the ultrasonic vibrator of the present invention can be suitably used for an ultrasonic level meter.

1 超音波振動体
2 炭素繊維複合材料
3 圧電素子
4 炭素繊維
5 受信波形
6 ステンレス容器
7 エポキシ樹脂
8 PFA容器
9 純水
10 繊維の配向方向
11 シリコンゲル
12 取付け台
13 ヒートシンク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ultrasonic vibrator 2 Carbon fiber composite material 3 Piezoelectric element 4 Carbon fiber 5 Received waveform 6 Stainless steel container 7 Epoxy resin 8 PFA container 9 Pure water 10 Fiber orientation direction 11 Silicon gel 12 Mounting base 13 Heat sink

Claims (6)

樹脂もしくは樹脂の炭素化物からなる母材中に引張り弾性率が100GPa以上の複数の高弾性繊維がそれぞれ同一方向に配向し、その高弾性繊維の配向方向が圧電素子との接合面に垂直である繊維複合材料と圧電素子を接合してなる超音波振動体を有する超音波レベル計。  A plurality of high elastic fibers having a tensile modulus of 100 GPa or more are oriented in the same direction in a base material made of resin or a carbonized product of the resin, and the orientation direction of the high elastic fibers is perpendicular to the bonding surface with the piezoelectric element. An ultrasonic level meter having an ultrasonic vibrator formed by bonding a fiber composite material and a piezoelectric element. 円柱状の繊維複合材料が柱方向に繊維が配向しており、柱方向の長さが直径より大きいことを特徴とする請求項1に記載の超音波振動体を有する超音波レベル計。  2. The ultrasonic level meter having an ultrasonic vibrator according to claim 1, wherein the cylindrical fiber composite material has fibers oriented in the column direction, and the length in the column direction is larger than the diameter. 多角形柱状の繊維複合材料が柱方向に繊維が配向しており、柱方向の長さが多角形の辺の長さより大きいことを特徴とする請求項1に記載の超音波振動体を有する超音波レベル計。  2. The ultrasonic vibrator according to claim 1, wherein the fiber composite material in the shape of a polygonal column has fibers oriented in the column direction, and the length in the column direction is larger than the length of the side of the polygon. Sonic level meter. 円柱状の繊維複合材料が柱方向に繊維が配向しており、柱方向の長さが直径以下で0.2mmより長いことを特徴とする請求項1に記載の超音波振動体を有する超音波レベル計。  2. The ultrasonic wave having an ultrasonic vibrator according to claim 1, wherein the cylindrical fiber composite material has fibers oriented in a column direction, and a length in the column direction is equal to or less than a diameter and longer than 0.2 mm. Level meter. 多角形柱状の繊維複合材料が柱方向に繊維が配向しており、柱方向の長さが多角形の辺の長さ以下であり、0.2mmより長いことを特徴とする請求項1、請求項2に記載の超音波振動体を有する超音波レベル計。  The polygonal columnar fiber composite material has fibers oriented in the column direction, and the length in the column direction is equal to or less than the length of the side of the polygon and longer than 0.2 mm. An ultrasonic level meter having the ultrasonic vibrator according to Item 2. 高弾性繊維が炭素繊維もしくは炭素含有繊維であることを特徴とする請求項1に記載の超音波振動体を有する超音波レベル計。  The ultrasonic level meter having an ultrasonic vibrator according to claim 1, wherein the highly elastic fiber is a carbon fiber or a carbon-containing fiber.
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