JP2013214353A - Magnetic recording device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、多値記録を可能とする磁気記録装置に関する。 The present invention relates to a magnetic recording apparatus capable of multi-value recording.
磁気記録装置(Hard Disk Drive)の高密度化・大容量化の進展は、PC、サーバーだけに留まらず、携帯型音楽・ビデオプレーヤー、ビデオレコーダーなどの進展に大きく寄与した。磁気記録装置の普及は、大容量化が実現できるか否かに大きく依存する。大容量化を実現する技術的なキーポイントは、いかにして高密度化記録が実現できるかに尽きる。 The progress in increasing the density and capacity of magnetic recording devices (Hard Disk Drive) has greatly contributed to the progress of not only PCs and servers, but also portable music / video players and video recorders. The widespread use of magnetic recording devices greatly depends on whether a large capacity can be realized. The technical key point for realizing large capacity is how to achieve high density recording.
記録密度の指標として、単位平方インチあたりのビット数、つまり、bit/inch2(bpsi)という単位を用いる。これまで記録密度の向上は、1ビットあたりのサイズを小さくするという手法で行ってきた。このようなビットサイズを小さくするという技術を用いた場合、数Tbpsiという記録密度まで到達すると、1ビットあたりの一辺のサイズは10nm以下となる。 As an index of recording density, the number of bits per square inch, that is, a unit of bit / inch 2 (bpsi) is used. Up to now, the recording density has been improved by reducing the size per bit. When such a technique for reducing the bit size is used, when the recording density reaches several Tbpsi, the size of one side per bit becomes 10 nm or less.
しかしながら、従来技術の延長で1ビットのサイズを縮小化し続けることに限界があるのは自明である。その理由の一例を以下に示す。 However, it is obvious that there is a limit to continuously reducing the size of 1 bit by extending the conventional technology. An example of the reason is shown below.
小さいビットを読むためには磁気ヘッドの素子サイズも小さくしなければならないが、前記素子サイズはリソグラフィー技術の最小線幅限界に左右される。またリソグラフィー技術が進展したとしても、1ビットサイズが小さくなると、媒体の熱揺らぎの問題がでてきて、ビット情報を保持することが困難になる。また、たとえ高い磁気異方性の材料による媒体が実現できたとしても、磁気ヘッドでビットを反転させる、つまり記録を行うことが困難になってしまう。さらに、1ビットが10nm以下となると、1ビットを形成する原子総数も少なくなってくるため、もはや材料本来の特性を示すことも困難になってくる。つまり、20−30nm程度では実現可能性のある高い磁気異方性の材料であっても、10nm以下の領域ではその使用が不可能になってくる可能性が高い。 In order to read a small bit, the element size of the magnetic head must be reduced, but the element size depends on the minimum line width limit of the lithography technique. Even if the lithography technology advances, if the bit size is reduced, there will be a problem of thermal fluctuation of the medium, making it difficult to hold bit information. Further, even if a medium made of a material having high magnetic anisotropy can be realized, it is difficult to invert the bits by the magnetic head, that is, to perform recording. Furthermore, when one bit is 10 nm or less, the total number of atoms forming one bit decreases, and it becomes difficult to show the original characteristics of the material. In other words, even a highly magnetic anisotropy material that is feasible at about 20-30 nm is likely to become unusable in the region of 10 nm or less.
以上のように、現状の延長技術で、1ビットのサイズを小さくし続けるという手法においては、磁気記録装置の高密度化の限界がきてしまい、ストレージデバイスの限界がきてしまう。 As described above, in the technique of continuously reducing the size of 1 bit with the current extension technology, the limit of the density increase of the magnetic recording apparatus comes and the limit of the storage device comes.
上述のように、ビットの微細化による高密度化だけでは、物理的な限界に到達することは自明である。ビット微細化だけに頼らない高密度化手法としては、多値記録・多層記録を行うことが考えられる。多値・多層記録は半導体メモリでは既に行われている手法である。これが磁気記録においても実現できると、従来の1bit/1patternと同じ占有面積においても、多値や多層を用いると、記録密度の向上が実現されることになる。 As described above, it is obvious that the physical limit is reached only by increasing the density by reducing the bit size. As a high-density method that does not rely only on bit miniaturization, it is conceivable to perform multi-value recording / multi-layer recording. Multi-level / multi-layer recording is a technique already performed in a semiconductor memory. If this can be realized also in magnetic recording, even in the same occupied area as the conventional 1 bit / 1 pattern, an improvement in recording density can be realized by using multiple values or multiple layers.
しかしながら、磁気記録においては半導体メモリ以上に多値記録・多層記録を実現することは容易ではない。 However, in magnetic recording, it is not easy to realize multilevel recording / multilayer recording more than semiconductor memory.
まず多層記録の状況について考えると、半導体メモリにおいては、多層化された各素子に電気的な配線が接続された状態を実現しておき、各素子への配線に選択的に電流を流すようにすることで多層記録を実現することができる。多層配線を実現することは微細加工技術の観点で困難なことではあるが、電気配線があることで各素子の選択は原理上可能になる。 First, considering the situation of multilayer recording, in a semiconductor memory, a state in which electrical wiring is connected to each multilayered element is realized, and a current is selectively passed to the wiring to each element. By doing so, multilayer recording can be realized. Although it is difficult to realize multilayer wiring from the viewpoint of microfabrication technology, the selection of each element becomes possible in principle due to the presence of electrical wiring.
しかしながら、磁気記録装置においては磁気ヘッドと媒体との間に磁気配線という概念はなく、空間があるだけである。このような状況においては、各ビットを配線によって選択するということは不可能であり、ヘッドから距離が遠いビットに書きこもうとすると、そのビットよりも距離が近いビットにも同時に情報が書き込まれることになり、選択的な書き込みを行うことができなくなる。つまり、磁気記録媒体が複数の記録層からなるような媒体に書き込む状況を想定すると、このような状況においては、下層の記録層に対して記録を行おうとすると、上層の記録層にも記録がなされてしまうことになってしまい、多層記録の上層と下層への記録を選択的に行うことは不可能となる。すなわち、多層記録というのは磁気記録においては原理上非常に困難な課題である。 However, in the magnetic recording apparatus, there is no concept of magnetic wiring between the magnetic head and the medium, and there is only a space. In such a situation, it is impossible to select each bit by wiring. If an attempt is made to write to a bit that is far from the head, information is simultaneously written to a bit that is closer than that bit. As a result, selective writing cannot be performed. In other words, assuming a situation in which a magnetic recording medium is written to a medium composed of a plurality of recording layers, in such a situation, when recording is performed on the lower recording layer, recording is also performed on the upper recording layer. As a result, it becomes impossible to selectively perform recording on the upper layer and the lower layer of the multilayer recording. That is, multilayer recording is a very difficult problem in principle in magnetic recording.
また、多層記録に加え、多値記録の状況について考えると、磁気記録装置においては、媒体の記録ビットの情報は膜面上向き、下向きで“1”、“0”を識別している。この状態を打破して多値記録を行うためには、膜面内に磁化がある状態、膜面垂直から45度傾斜した磁化がある状態、などという状態を実現しなければならない。しかしながら、このような傾斜した磁化状態と、膜面内の磁化状態とが安定に存在することは極めて困難であり、現段階では具体的実現方法がない。このような状態から、多値記録を磁気記録装置において実現することは極めて困難であるのが現状である。 Considering the situation of multi-level recording in addition to multi-layer recording, in the magnetic recording apparatus, the information of the recording bits of the medium identifies “1” and “0” upward and downward on the film surface. In order to overcome this state and perform multilevel recording, it is necessary to realize a state in which there is magnetization in the film surface, a state in which there is magnetization inclined 45 degrees from the film surface perpendicular, and the like. However, it is extremely difficult for such a tilted magnetization state and a magnetization state in the film surface to exist stably, and there is no concrete realization method at this stage. Under such circumstances, it is extremely difficult to realize multi-level recording in a magnetic recording apparatus.
本発明はかかる認識のもと、これまでビットサイズの微小化のみに頼ってきた記録密度の向上の限界を打破し、現在まで実現されていなかった、磁気記録装置における多層記録・多値記録を実現する解決手段を提供することを目的とする。 Based on this recognition, the present invention overcomes the limit of recording density improvement that has been relied only on the miniaturization of the bit size so far, and has achieved multilayer recording and multi-value recording in a magnetic recording apparatus that has not been realized so far. The object is to provide a solution to realize.
実施形態の磁気記録装置は、それぞれが異なる磁気共鳴周波数を有する複数の記録層を含む磁気記憶媒体と、前記磁気記録媒体に対して情報を書き込むための磁気記録ヘッドと、前記磁気記録媒体から前記情報を読み取るための磁気再生ヘッドとを具える。前記磁気記録ヘッドは、前記記録層の少なくとも1層に対して前記情報の書き込みを磁気的にアシストする高周波発振素子を含み、前記高周波発振素子は、前記少なくとも1層の記録層に対して高周波を印加することにより、その磁化を選択的に変化させるように構成されており、前記高周波は、前記少なくとも1層の記録層の磁気共鳴周波数と実質的に等しい。 The magnetic recording apparatus of the embodiment includes a magnetic storage medium including a plurality of recording layers each having a different magnetic resonance frequency, a magnetic recording head for writing information to the magnetic recording medium, and the magnetic recording medium from the magnetic recording medium A magnetic reproducing head for reading information. The magnetic recording head includes a high-frequency oscillation element that magnetically assists writing of the information to at least one of the recording layers, and the high-frequency oscillation element applies a high frequency to the at least one recording layer. When applied, the magnetization is selectively changed, and the high frequency is substantially equal to the magnetic resonance frequency of the at least one recording layer.
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(多層記録・多値記録の原理)
最初に、本実施形態に係わる磁気記録装置の多層記録・多値記録の原理について、従来技術と比較しながら説明する。
(Principle of multi-layer recording / multi-value recording)
First, the principle of multilayer recording / multi-value recording of the magnetic recording apparatus according to this embodiment will be described in comparison with the prior art.
<再生>
図1は、従来の磁気記録装置の磁気記録媒体における“0”、“1”の磁化状態(記録状態)を示す図である。図1に示すように、磁気記録媒体において、磁化状態が膜面上向き、及び下向きのビットに対応させて“1”、“0”の値を記録する。この場合、膜面上向きの磁化状態に対して“1”を対応させて記録し、膜面下向きの磁化状態に対して“0”を対応させて記録することもできるし、膜面上向きの磁化状態に対して“0”を対応させて記録し、膜面下向きの磁化状態に対して“1”を対応させて記録することもできる。
<Playback>
FIG. 1 is a diagram showing magnetization states (recording states) of “0” and “1” in a magnetic recording medium of a conventional magnetic recording apparatus. As shown in FIG. 1, in the magnetic recording medium, values of “1” and “0” are recorded corresponding to the upward and downward bits of the magnetization surface. In this case, “1” can be recorded corresponding to the upward magnetization state of the film surface, and “0” can be recorded corresponding to the downward magnetization state of the film surface. It is also possible to record with “0” corresponding to the state, and with “1” corresponding to the magnetization state facing down the film surface.
ここで、各ビットは現在の媒体で標準的に用いられているように、連続膜媒体だけでなく、各トラック間が非磁性材料で分断されたDiscrete Track 媒体(Discrete Track Media: DTM)、さらには各トラックだけでなく各ビットが非磁性材料で分断されたBit Patterned媒体(Bit Patterned Media: BPM)でも原理は同じである。 Here, each bit is not only a continuous film medium, but also a Discrete Track Media (Discrete Track Media: DTM) in which each track is divided by a non-magnetic material, as used in the current medium as standard. The principle is the same not only for each track but also for Bit Patterned Media (BPM) in which each bit is divided by a non-magnetic material.
この状態を磁気ヘッドで検知する再生のために、現在は磁気抵抗効果素子が用いられている。磁気抵抗効果素子とは、外部磁界の状態によって通電された素子の抵抗が高抵抗か低抵抗かで変化する素子であり、これまで広く用いられてきたCIP-GMR (current-in-plane giantmagnetoresistive)膜や、最近使われ始めたTMR (tunneling magnetoresistive)膜だけでなく、将来の候補であるCPP-GMR (current-perpendicular-to-plane)膜など、いずれの原理を用いた磁気抵抗効果素子でも、外部磁界によって抵抗が変化するという原理は変わらない。そこで図示したように、磁気抵抗効果素子の抵抗が高い状態と低い状態を識別することで、“1”、“0”の状態を判別することが可能となる。 A magnetoresistive element is currently used for reproduction in which this state is detected by a magnetic head. A magnetoresistive element is an element that changes depending on the state of an external magnetic field depending on whether the resistance is high or low. The CIP-GMR (current-in-plane giantmagnetoresistive) has been widely used so far. Magnetoresistive elements using any of the principles, such as CMR-GMR (current-perpendicular-to-plane) film, which is a candidate for the future, as well as TMR (tunneling magnetoresistive) film that has recently been used, The principle that resistance is changed by an external magnetic field does not change. Therefore, as shown in the figure, it is possible to discriminate between “1” and “0” states by identifying the high resistance state and the low resistance state of the magnetoresistive effect element.
図2は、本実施形態の磁気記録装置の磁気記録媒体における記録状態を示す図である。図2に示すように、磁気記録媒体の多値記録状態を実現するために、磁気記録媒体の磁化状態を上向きでもその磁化量が強い状態、および弱い状態を実現させ(図2における左側)、下向きの磁化状態のときも同様に磁化量が強い状態、および弱い状態の二つを実現する(図2における右側)。なお、このような磁化状態(記録状態)の実現に対しては以下に詳述する。 FIG. 2 is a diagram showing a recording state on the magnetic recording medium of the magnetic recording apparatus of the present embodiment. As shown in FIG. 2, in order to realize the multi-valued recording state of the magnetic recording medium, even if the magnetization state of the magnetic recording medium is upward, the magnetization amount is strong and weak (left side in FIG. 2), Similarly, in the downward magnetization state, two states are realized: a strong state and a weak state (right side in FIG. 2). The realization of such a magnetized state (recorded state) will be described in detail below.
磁気記録媒体の残留磁化状態が、垂直磁化の状態で強弱が異なる状態が実現できていたときには、磁気抵抗効果素子からみた場合には、外部磁界がそれぞれ異なる状態が実現できていることになる。すると、磁気抵抗効果素子に印加される磁界が複数値存在し、それぞれの磁界に応じて磁気抵抗効果素子の抵抗値が変化することになる。磁気抵抗効果素子の複数の抵抗値に応じて、図2の場合には“0” 、“1” 、“2” 、“3”の四値を識別することが可能となる。 When the remanent magnetization state of the magnetic recording medium has realized a state in which the strength is different in the perpendicular magnetization state, the state in which the external magnetic field is different can be realized as viewed from the magnetoresistive effect element. Then, there are multiple values of the magnetic field applied to the magnetoresistive effect element, and the resistance value of the magnetoresistive effect element changes according to each magnetic field. According to the plurality of resistance values of the magnetoresistive effect element, in the case of FIG. 2, four values of “0”, “1”, “2”, “3” can be identified.
このような抵抗による四値の判断は、磁気抵抗効果素子の抵抗変化量が小さい場合には不可能だが、磁気抵抗効果素子の抵抗変化量、すなわちMR変化率(magnetoresistance ratio)が大きい素子であれば実現可能となる。例えば、上述したようなCIP-GMR膜、TMR及びCPP-GMR膜などの原理を用いた磁気抵抗効果素子を用いることによって実現することができる。但し、外部磁界によって抵抗が大きく変化する膜であれば、いずれでも構わない。さらには全く別の原理で抵抗が変化する新原理のMR素子など、いずれの原理を用いた磁気抵抗効果素子でも構わない。 Such a four-value determination based on resistance is impossible when the resistance change amount of the magnetoresistive effect element is small. However, the resistance change amount of the magnetoresistive effect element, that is, an element having a large MR change ratio (magnetoresistance ratio). This is possible. For example, it can be realized by using a magnetoresistive effect element using a principle such as the above-described CIP-GMR film, TMR and CPP-GMR film. However, any film may be used as long as the resistance is largely changed by an external magnetic field. Furthermore, a magnetoresistive effect element using any principle may be used, such as a new principle MR element whose resistance changes according to a completely different principle.
図2のような垂直磁化状態の残留磁化状態の強弱を変化させることは、従来の媒体構造だけでは実現することはできない。このような磁化状態を実現させるためには、媒体側に工夫が必要である。その基本概念を図3に示す。 Changing the strength of the remanent magnetization state of the perpendicular magnetization state as shown in FIG. 2 cannot be realized only by the conventional medium structure. In order to realize such a magnetization state, a device is required on the medium side. The basic concept is shown in FIG.
図3(a)に示したものが、各ビットで残留磁化状態の強弱が異なる状態である。これを実現させるための具体的構造を示したものがその下に示された図3(b)である。重要な必要条件として、ビットとして記録されるハード膜からなる磁気記録層が複数層からなり、各磁気記録層に独立に記録できるように、各磁気記録層の間が磁気分離層で分断されていることである。なお、前記磁気分離層は、非磁性元素を含む材料によって構成することが可能である。一例としてRu、Pd、Ir及びPtからなる群より選ばれる少なくとも一つの元素を含むことができる。 What is shown in FIG. 3A is a state in which the strength of the residual magnetization state differs for each bit. A concrete structure for realizing this is shown in FIG. 3B shown below. An important requirement is that the magnetic recording layer consisting of a hard film recorded as bits consists of multiple layers, and each magnetic recording layer is separated by a magnetic separation layer so that recording can be performed independently on each magnetic recording layer. It is that you are. The magnetic separation layer can be made of a material containing a nonmagnetic element. As an example, at least one element selected from the group consisting of Ru, Pd, Ir, and Pt can be included.
図3(b)のように磁気記録層が二層からなる場合の例を用いてさらに説明すると、上層の記録層、および下層の記録層において、それぞれの磁化が上向き、下向きの状態が存在するため、合計4つの状態が存在することになる。このとき、上下磁気記録層の磁気膜厚Mrδ(Mr:残留磁化、δ:磁気記録層の膜厚)を全く同じにしてしまうと、[磁気記録層上層:↑]&[磁気記録層下層:↓]の状態と、[磁気記録層上層:↓]&[磁気記録層下層:↑]の状態は、媒体上部から見た場合には、外部に漏れ出る磁界が共にゼロとなってしまい、二つの状態に違いが存在しなくなってしまう。 Further explanation will be given using an example in which the magnetic recording layer is composed of two layers as shown in FIG. 3B. In the upper recording layer and the lower recording layer, the respective magnetizations are upward and downward. Therefore, a total of four states exist. At this time, if the magnetic film thickness Mrδ (Mr: residual magnetization, δ: film thickness of the magnetic recording layer) of the upper and lower magnetic recording layers is made the same, [magnetic recording layer upper layer: ↑] & [magnetic recording layer lower layer: The state of [↓] and the state of [Upper magnetic recording layer: ↓] & [Lower magnetic recording layer: ↑] are both zero when viewed from the top of the medium. There is no difference between the two states.
したがって、[磁気記録層上層:↑]&[磁気記録層下層:↓]の状態と、[磁気記録層上層:↓]&[磁気記録層下層:↑]の状態が、媒体上部から見て残留磁化状態が異なるようにするためには、媒体記録部上層のMrδと媒体記録部下層のMrδとを異なるように設定する必要がある。上層、および下層のうちどちらのMrδを大きくするかは、どちらでも構わない。図においては、上層の膜厚のほうが薄く、下層の膜厚のほうを厚くしており、Mrδとしても上層のMrδのほうを小さく、下層のMrδのほうを大きく設定した場合について示してある。こうすることで、図示されたような四値の残留磁化状態を実現することが可能となる。 Therefore, the [magnetic recording layer upper layer: ↑] & [magnetic recording layer lower layer: ↓] state and [magnetic recording layer upper layer: ↓] & [magnetic recording layer lower layer: ↑] state remain as viewed from above the medium. In order to make the magnetization states different, it is necessary to set Mrδ in the upper layer of the medium recording unit and Mrδ in the lower layer of the medium recording unit to be different. It does not matter which of the upper layer and the lower layer, Mrδ is increased. In the figure, the upper layer is thinner, the lower layer is thicker, and the upper layer Mrδ is set smaller and the lower layer Mrδ is set larger. By doing so, it becomes possible to realize a four-valued residual magnetization state as shown in the figure.
このような基本概念の下、磁気記録層を三層以上にすることでさらなる多値化である八値の実現が可能となる。三層の状態を示したのが、図3(c)である。磁気記録層を三層から形成し、各層間を非磁性の磁気分離層で分断してある。さらに各層のMrδを異なる値に設定してある。そうすることで、図3(c)で示されたような八値の状態の実現か可能となる。八値になったときも、磁気抵抗効果素子での再生方法は図2の場合と全く同様であり、抵抗値を八値に分割し、どの抵抗値を示すかによって、八値の識別が磁気再生ヘッドで可能となる。 Under such a basic concept, by using three or more magnetic recording layers, it is possible to realize eight values that are further multi-valued. FIG. 3 (c) shows a three-layer state. The magnetic recording layer is formed of three layers, and each layer is divided by a nonmagnetic magnetic separation layer. Furthermore, Mrδ of each layer is set to a different value. By doing so, it becomes possible to realize an eight-valued state as shown in FIG. Even when the octal value is reached, the reproduction method using the magnetoresistive effect element is exactly the same as in FIG. 2. The resistance value is divided into eight values, and the eight values are discriminated depending on which resistance value is indicated. This is possible with the playhead.
このような記録媒体において、記録媒体を形成する膜はディスク全面に二次元的に一様に形成された連続媒体や、各トラック間が非磁性材料で分断されたDiscrete Track 媒体、さらには各トラックだけでなく各ビットが非磁性材料で分断されたBit Patterned媒体のいずれでも構わない。連続媒体の場合を図4に、Discrete Track 媒体の場合を図5に、Bit Patterned媒体の場合を図6にそれぞれ示す。 In such a recording medium, the film forming the recording medium is a continuous medium formed two-dimensionally uniformly on the entire surface of the disk, a discrete track medium in which each track is divided by a nonmagnetic material, and each track. In addition, any bit patterned medium in which each bit is divided by a nonmagnetic material may be used. FIG. 4 shows the case of a continuous medium, FIG. 5 shows the case of a Discrete Track medium, and FIG. 6 shows the case of a Bit Patterned medium.
連続膜媒体の場合には、媒体膜としてはディスクのほぼ全面にわたり記録層が一様に成膜されており、ビットとして機能する箇所は記録ヘッドによって記録されたか否かで決まり、記録ビットとして機能しない箇所についても同一材料で形成されている。ここで、記録ビットとして機能しない箇所は図示されていないが、各トラック間、および同一トラックの各ビット間についても、記録されたビット部と同一材料によって形成されている。一方、Discrete媒体の場合には各トラックの間が非磁性材料で分断された構造になっており(非磁性材料については図示せず)、Bit Patterned媒体の場合には各トラック間だけでなく、同一トラックのビット間についても非磁性材料で分断された構造となっている(非磁性材料については図示せず)。再生原理からすると、上記媒体構造のいずれであっても構わないが、記録原理からすると、上記媒体構造それぞれによって、メリットがでる場合もある。これについては後述する。 In the case of a continuous film medium, the recording layer is uniformly formed over almost the entire surface of the disk as the medium film, and the place that functions as a bit is determined by whether or not it is recorded by the recording head and functions as a recording bit. The parts not to be formed are made of the same material. Here, the portions that do not function as recording bits are not shown in the figure, but between the tracks and between the bits of the same track are also formed of the same material as the recorded bit portion. On the other hand, in the case of Discrete media, each track is separated by a non-magnetic material (the non-magnetic material is not shown), and in the case of Bit Patterned media, not only between each track, The bit of the same track is also divided by a nonmagnetic material (the nonmagnetic material is not shown). From the reproduction principle, any of the above-described medium structures may be used, but from the recording principle, there may be a merit depending on each of the medium structures. This will be described later.
また、図においては磁気記録層と各記録層を磁気的に分断する磁気分離層のみ示されているが、当然のことながら、最上層の磁気記録層の上には保護膜や潤滑剤(ルブリカント)が形成されている。また、最下層の磁気記録層よりも下層側には、非磁性下地層を介して、垂直磁気記録には必要な裏打ち磁性層等が形成されている。磁気記録層よりも下層側の媒体構造を示した一例を図7に示す。 Further, in the figure, only the magnetic recording layer and the magnetic separation layer that magnetically divides each recording layer are shown, but it goes without saying that a protective film or lubricant (lubricant) is formed on the uppermost magnetic recording layer. ) Is formed. Further, on the lower layer side of the lowermost magnetic recording layer, a backing magnetic layer and the like necessary for perpendicular magnetic recording are formed via a nonmagnetic underlayer. An example showing the medium structure on the lower layer side than the magnetic recording layer is shown in FIG.
図7に示す例では、磁気記録層1,2及び3が磁気分離層4及び5を介して互いに積層されており、磁気記録層3の下層には、磁気記録層の結晶制御を行うための記録層用下地層6が形成されている。この下地層6としては、そのさらに下層に位置する裏打ち磁性層7と磁気的に分断するために、非磁性材料を用いることが望ましい。そして、記録層下地層6のさらに下層には、裏打ち磁性層7が用いられる。裏打ち磁性層7は垂直磁気記録において、記録ヘッドをひとつの磁極とすると、裏打ち磁性層7がもう一方の磁極としての機能を担う層であり、軟磁性材料が用いられる。さらに裏打ち磁性層7の下層には、裏打ち磁性層7の結晶性を制御するための、裏打ち磁性層用下地層8が用いられる。そのさらに下層には、媒体の基板として、ガラス基板やアルミ基板等が用いられる(図示せず)。
In the example shown in FIG. 7, the
<記録>
次に、図示したような多値記録状態を記録ヘッドで実現する方法について説明する。図3のような状態は従来の記録ヘッドを用いている限りにおいては実現することは不可能である。従来の記録ヘッドで磁界を印加した場合には、すべての層に印加される磁界方向が同一なため、多層構造の記録媒体層すべて同じ方向の記録しか行うことができない。具体的には、図3(b)のような二層構成の記録媒体層を有する場合に、下層の磁気記録層に記録を行おうとしても、上層の記録媒体層も同じ方向に磁界が印加されるため、上層も下層と必ず同じ方向に磁界印加され、磁化固着されることとなってしまう。これでは実質的な多層構造の意味はなくなってしまい、図3で示したような多値記録を行うことは不可能となる。
<Record>
Next, a method for realizing the multi-value recording state as shown in the drawing with the recording head will be described. The state as shown in FIG. 3 cannot be realized as long as a conventional recording head is used. When a magnetic field is applied by a conventional recording head, the direction of the magnetic field applied to all the layers is the same, so that recording can be performed only in the same direction for all the recording medium layers having a multilayer structure. Specifically, when a recording medium layer having a two-layer structure as shown in FIG. 3B is used, even if recording is performed on the lower magnetic recording layer, a magnetic field is applied to the upper recording medium layer in the same direction. Therefore, a magnetic field is always applied to the upper layer in the same direction as the lower layer, and the magnetization is fixed. In this case, the meaning of the substantial multilayer structure disappears, and it is impossible to perform multi-value recording as shown in FIG.
そこで、具体的な実現手段を示したものを図8に示す。図8に示す磁気記録ヘッドでは、記録磁極に加えて、発振周波数が可変な高周波発振素子を用いて高周波アシスト記録を行う。この場合、磁気記録層の上下位置に関わらず、各磁気記録層に選択的に記録することが可能となる。その原理について以下に説明する。 Therefore, FIG. 8 shows specific realization means. In the magnetic recording head shown in FIG. 8, high-frequency assist recording is performed using a high-frequency oscillation element having a variable oscillation frequency in addition to the recording magnetic pole. In this case, it is possible to selectively record on each magnetic recording layer regardless of the vertical position of the magnetic recording layer. The principle will be described below.
まず、公知技術である高周波アシスト記録の原理について説明する。高周波アシスト記録はJian-Gang Zhu et al, CMU, B6 “Microwave Assisted Magnetic Recording for 1 Terabit/in2 Density and Beyond”, The 18th International Conference on Magnetic Recording Heads and Systems, May 21-23, 2007, Minneapolis, MN, USAで記載されているように、スピントルク効果を用いて少なくとも磁性層/非磁性層/磁性層の三層構造からなる積層膜に膜面垂直に直流電流を通電することで、高周波発振を生じさせ、その高周波をエネルギーアシスト源として、記録媒体への書き込み磁界を低減させるものである。高周波アシスト磁界の周波数を記録媒体の磁気共鳴周波数に近い値を用いることで、反転磁界を低減させるためのアシスト効果が大きくなり、反転に必要な外部磁界の大きさを小さくすることが可能となる。 First, the principle of high-frequency assist recording, which is a known technique, will be described. The high frequency assisted recording is Jian-Gang Zhu et al, CMU, B6 “Microwave Assisted Magnetic Recording for 1 Terabit / in 2 Density and Beyond”, The 18 th International Conference on Magnetic Recording Heads and Systems, May 21-23, 2007, Minneapolis , MN, USA, by applying a direct current perpendicular to the film surface to a laminated film consisting of at least a magnetic layer / non-magnetic layer / magnetic layer using a spin torque effect, the high frequency Oscillation is generated, and the high frequency is used as an energy assist source to reduce the magnetic field to be written on the recording medium. By using a value close to the magnetic resonance frequency of the recording medium as the frequency of the high-frequency assist magnetic field, the assist effect for reducing the reversal magnetic field is increased, and the magnitude of the external magnetic field required for reversal can be reduced. .
発明者らは、書き込み磁界を低減させることを目的とした高周波アシスト記録に、以下のような工夫を加えることで、多値記録が実現可能になることを見出した。まず、図3で示したような多値記録の前提条件となる複数の記録層からなる媒体において、各磁気記録層の磁気共鳴周波数を変えるように設定する。こうすることで、記録ヘッドの高周波発振素子からでた高周波磁界に対し、ある特定の媒体のみ高周波信号によるエネルギーアシスト効果が得られ、ほかの媒体にとっては何のエネルギーアシスト効果も持たない状態になる。 The inventors have found that multi-value recording can be realized by adding the following device to high-frequency assist recording for the purpose of reducing the writing magnetic field. First, in a medium composed of a plurality of recording layers which is a precondition for multilevel recording as shown in FIG. 3, the magnetic resonance frequency of each magnetic recording layer is set to be changed. By doing so, the energy assist effect by the high frequency signal can be obtained only for a specific medium with respect to the high frequency magnetic field generated from the high frequency oscillation element of the recording head, and the other medium has no energy assist effect. .
本実施形態では、図8に示すように、記録磁極近傍に高周波発振素子を配置させる。記録磁極から書き込み磁界を発生させるのとほぼ同時に、高周波発振素子からある特定周波数の高周波アシスト磁界を発生させる。すると複数層の記録層からなる媒体において特定の記録層のみ高周波信号によるアシスト効果が得られる。より具体的には、ある特定の磁気記録層の磁気共鳴周波数とほぼ等しい高周波信号を記録ヘッドから発振させることで、エネルギーアシスト効果が得られ、記録磁極からの磁界の大きさが、磁界だけで書き込むために必要な磁界より小さい値でも、磁気記録層に書き込むことが可能となる。 In the present embodiment, as shown in FIG. 8, a high-frequency oscillation element is disposed in the vicinity of the recording magnetic pole. Almost simultaneously with the generation of the write magnetic field from the recording magnetic pole, a high frequency assist magnetic field having a specific frequency is generated from the high frequency oscillation element. Then, in a medium composed of a plurality of recording layers, an assist effect by a high frequency signal can be obtained only for a specific recording layer. More specifically, an energy assist effect is obtained by oscillating a high-frequency signal substantially equal to the magnetic resonance frequency of a specific magnetic recording layer from the recording head, and the magnitude of the magnetic field from the recording magnetic pole is only the magnetic field. Even a value smaller than the magnetic field required for writing can be written to the magnetic recording layer.
ここで、複数層の記録層の材料が同じにしてしまうと、どの記録層でも高周波信号によるアシスト効果が得られてしまい、特定層のみの記録を行うことが不可能になってしまう。図8に関連した本実施形態では、磁気記録層2の磁気共鳴周波数f2’近傍の高周波アシスト磁界f2を照射することで、磁気記録層2のみに対してエネルギーアシスト効果を付与し、同時に書き込み磁界Hで書き込み(磁化反転)を行うことが可能となる。この書き込み磁界Hは、これだけの磁界では磁気記録層1〜3の磁化を反転させるには不十分な値であるので、磁気記録層1や3については磁化反転が生じない。
Here, if the materials of a plurality of recording layers are the same, an assist effect by a high-frequency signal is obtained in any recording layer, and it becomes impossible to perform recording only on a specific layer. In the present embodiment related to FIG. 8, by irradiating a high frequency assist magnetic field f2 in the vicinity of the magnetic resonance frequency f2 ′ of the
磁気記録層1や3に書き込むときも磁気記録層2と全く同様に行うことができる。磁気記録層1を書き込むときには、磁気記録層1の強磁性共鳴周波数f1’に対応した高周波磁界f1を高周波発振素子から発振させ、記録磁極から書き込み磁界Hを印加する。磁気記録層3に書き込むときには、磁気記録層3の強磁性共鳴周波数f3’に対応した高周波磁界f3’を高周波発振素子から発振させ、記録磁極から書き込み磁界Hを印加する。
The writing to the
ここで、高周波磁界f1〜f3は、それぞれ対応する強磁性共鳴周波数f1’〜f3’にほぼ等しい値にすることが最も素直な設計思想である。こうすることで、高周波信号によるエネルギーを効率的に媒体層に与えることができ、強磁性共鳴を生じさせることが可能となるからである。但し、高周波磁界f1〜f3は、それぞれ対応する強磁性共鳴周波数f1’〜f3’に対し、±1GHz以下の範囲内で設定すれば、上述したような強磁性共鳴を利用した記録動作を行うことが可能である。 Here, the most straightforward design philosophy is to set the high frequency magnetic fields f1 to f3 to values substantially equal to the corresponding ferromagnetic resonance frequencies f1 'to f3'. By doing so, energy from the high-frequency signal can be efficiently applied to the medium layer, and ferromagnetic resonance can be generated. However, if the high frequency magnetic fields f1 to f3 are set within a range of ± 1 GHz or less with respect to the corresponding ferromagnetic resonance frequencies f1 ′ to f3 ′, the recording operation using the ferromagnetic resonance as described above is performed. Is possible.
また、高周波磁界f1〜f3及び強磁性共鳴周波数f1’〜f3’は等しい値でなくてもエネルギーアシスト効果を生じさせることは可能である。具体的には、強磁性共鳴周波数f1’に対し、(1/2)×f1’倍の周波数、もしくはn×(1/2)×f1’といった(1/2)×f1’の整数倍の周波数の高周波を印加することによっても、エネルギーアシスト効果が得られる。f2、f3についても全く同様である。 Further, even if the high frequency magnetic fields f1 to f3 and the ferromagnetic resonance frequencies f1 'to f3' are not equal values, it is possible to produce an energy assist effect. Specifically, the frequency is (1/2) × f1 ′ times the ferromagnetic resonance frequency f1 ′, or an integer multiple of (1/2) × f1 ′ such as n × (1/2) × f1 ′. An energy assist effect can also be obtained by applying a high frequency. The same applies to f2 and f3.
ここで、各磁気記録層の磁気共鳴周波数(上述した強磁性共鳴周波数)、すなわち反転磁界を変えるためには、磁気記録層の材料を変えることが最も効率的である。良く知られているように、磁性体の磁気共鳴周波数は、磁性体の異方性磁界が強くなるほど発振周波数が大きくなることが知られている。 Here, in order to change the magnetic resonance frequency (the above-described ferromagnetic resonance frequency) of each magnetic recording layer, that is, the switching magnetic field, it is most efficient to change the material of the magnetic recording layer. As is well known, it is known that the magnetic resonance frequency of a magnetic material increases as the anisotropic magnetic field of the magnetic material increases.
この式からわかるように、磁気共鳴周波数を変えるためには、強磁性体の磁気異方性エネルギーを変えればよいことがわかる。磁気異方性エネルギーは、強磁性体に添加する添加元素の種類、濃度や、磁気記録層に積層する別の強磁性層を積層することなどによって、変えることが可能となる。 As can be seen from this equation, in order to change the magnetic resonance frequency, it is necessary to change the magnetic anisotropy energy of the ferromagnetic material. The magnetic anisotropy energy can be changed by, for example, stacking another ferromagnetic layer to be stacked on the magnetic recording layer, or the type and concentration of the additive element added to the ferromagnetic material.
なお、前記複数の記録層の磁気共鳴周波数が、少なくとも1GHz以上異なることが好ましい。これによって、例えば上述した磁気共鳴周波数の相違を利用した磁気記録層への選択的な記録を簡易に行うことができるようになる。 The magnetic resonance frequencies of the plurality of recording layers are preferably different by at least 1 GHz. Thereby, for example, selective recording on the magnetic recording layer using the above-described difference in magnetic resonance frequency can be easily performed.
また、上述したような複数の記録層のそれぞれにおいて、互いに1GHz以上異なるような磁気共鳴周波数を有するようにするためには、前記複数の記録層は、Co、Fe、Ni及びPtからなる群から選ばれる少なくとも一種の元素を含み、前記元素の含有量が前記複数の記録層それぞれにおいて、互いに5atomic%以上異なるようにすることが好ましい。 Further, in order to have each of the plurality of recording layers as described above have magnetic resonance frequencies different from each other by 1 GHz or more, the plurality of recording layers are made of a group consisting of Co, Fe, Ni, and Pt. It is preferable that at least one element selected is included, and the content of the element is different from each other by 5 atomic% or more in each of the plurality of recording layers.
また、以上の原理からわかるように、高周波発振素子として必要とされる事項としては、発振周波数を任意に変えられることが重要な機能として求められる。その可変周波数範囲としては、ある特定の周波数の高周波発振素子を媒体に印加したときに、ある特定の媒体のみ強磁性共鳴を起こし、別の磁気記録層に関しては強磁性共鳴を生じさせないことが重要である。具体的には、1GHz以上のオーダーで前記発振周波数を可変できるように構成することが好ましい。なお、このような高周波発振素子の具体例については後述する。 Further, as can be seen from the above principle, an important function required as a high-frequency oscillation element is that the oscillation frequency can be arbitrarily changed. As for the variable frequency range, it is important that when a high-frequency oscillation element with a specific frequency is applied to the medium, only a specific medium causes ferromagnetic resonance and no other magnetic recording layer causes ferromagnetic resonance. It is. Specifically, it is preferable that the oscillation frequency be variable on the order of 1 GHz or more. A specific example of such a high-frequency oscillation element will be described later.
<磁気記録媒体>
上述した多層記録・多値記録を行う磁気記録媒体の種類は、媒体全体として相異なる情報の記録に応じた異なる磁化量を呈するべく、複数の記録層を有するものであれば特に限定されない。例えば、ディスクのほぼ全面にわたり記録層が一様に成膜された連続膜媒体を用いることもできるが、各トラック間が非磁性材料で分断されたDiscrete Track 媒体や、さらには各トラックだけでなく各ビットが非磁性材料で分断されたBit Patterned媒体を用いることが好ましい。
<Magnetic recording medium>
The type of magnetic recording medium that performs the above-described multi-layer recording / multi-value recording is not particularly limited as long as it has a plurality of recording layers so as to exhibit different amounts of magnetization according to recording of different information as the whole medium. For example, a continuous film medium in which the recording layer is uniformly formed on almost the entire surface of the disk can be used. However, not only the discrete track medium in which each track is divided by a nonmagnetic material, but also each track. It is preferable to use a Bit Patterned medium in which each bit is divided by a nonmagnetic material.
このようなDiscrete Track 媒体及びBit Patterned媒体に高周波磁界を印加した際には、非磁性材料で周囲が分断されていることで、磁気共鳴を効率的に記録ビット部のみに集中させることが可能となる場合がある。これらの媒体では、記録部が金属層からなり、非記録部のビット間が絶縁層からなるので、高周波磁界が記録部である前記金属層に効率的に印加され、高周波エネルギーを効率的に記録ビット部に印加させることが可能となるからである。なお、連続膜媒体、Discrete Track 媒体及びBit Patterned媒体の態様は、従来同様に図4〜6に示すようなものである。 When a high frequency magnetic field is applied to such Discrete Track media and Bit Patterned media, the periphery is divided by a non-magnetic material, so that magnetic resonance can be efficiently concentrated only on the recording bit part. There is a case. In these media, the recording part is made of a metal layer, and the bits between the non-recording parts are made of an insulating layer. Therefore, a high-frequency magnetic field is efficiently applied to the metal layer, which is the recording part, and high-frequency energy is efficiently recorded. This is because it can be applied to the bit portion. Note that the forms of the continuous film medium, the discrete track medium, and the bit patterned medium are as shown in FIGS.
(磁気ヘッドの全体構造)
次に、本実施形態の磁気記録装置で使用する磁気ヘッドの全体構造について説明する。図9〜図12は、前記磁気ヘッドの構成を概略的に示したものである。
(Overall structure of magnetic head)
Next, the overall structure of the magnetic head used in the magnetic recording apparatus of this embodiment will be described. 9 to 12 schematically show the configuration of the magnetic head.
図9に示す磁気ヘッドでは、磁気抵抗効果素子11を上シールド12及び下シールド13で挟むようにして構成された再生部10と、記録磁極21及びこの記録磁極21の後端が接続されたヨーク22、並びに記録磁極21を巻回してなり、記録磁極21に対して所定の記録磁界を生ぜしめるコイル23、記録磁極21及びヨーク22間に配置されてなる高周波発振素子25を含むようにして構成された記録部20とを含む。再生部10及び記録部20は、互いに隣接して位置する。
In the magnetic head shown in FIG. 9, a reproducing
図10に示す磁気ヘッドでは、記録部20において高周波発振素子25が記録磁極21の外方に配置されている点で図9に示す磁気ヘッドと異なり、他の点では同一である。図11に示す磁気ヘッドでは、再生部10の上シールド12が記録部20のヨーク22を兼用している場合であって、その他の構成については、図10に示す磁気ヘッドと同様である。図12に示す磁気ヘッドでは、再生部10における磁気抵抗効果素子11が記録部20の高周波発振素子25を兼用している場合である。
The magnetic head shown in FIG. 10 differs from the magnetic head shown in FIG. 9 in that the high-
後述するように、磁気抵抗効果素子及び高周波発振素子の膜構成はほぼ同じであるため、図12に示すように、磁気抵抗効果素子11は高周波発振素子25を兼用することができる。これによって、磁気ヘッド作製に必要な時間が大幅に削減でき、歩留まりの向上をも図ることができるようになる。この場合、磁気抵抗効果素子11は、再生時には本来の再生素子機能を発揮すべく、所定の駆動電流が通電されることになるが、記録時には高周波アシスト源となる高周波発振素子としての機能を発揮すべく、所定の駆動電流が通電されることになる。この場合、再生時と記録時には通電される電流値は異なる設計となり、記録時の高周波発振素子として用いるときのほうが、より多くの電流値を必要とするデザインとなる。
As will be described later, since the magnetoresistive effect element and the high-frequency oscillation element have substantially the same film configuration, the
なお、上記態様に限ることなく、上述した多層記録・多値記録及びその再生ができるものであれば、その他任意の構成の磁気ヘッドを用いることができる。 In addition, the magnetic head of any other configuration can be used as long as it can perform the above-described multi-layer recording / multi-value recording and reproduction without being limited to the above embodiment.
(高周波発生素子)
次に、本実施形態の磁気記録装置で使用する高周波発振素子について具体的に説明する。図13は、前記高周波発振素子の一例を示す概略構成図である。
(High frequency generator)
Next, the high-frequency oscillation element used in the magnetic recording apparatus of this embodiment will be specifically described. FIG. 13 is a schematic configuration diagram illustrating an example of the high-frequency oscillation element.
図13に示す高周波発振素子25においては、下電極251及び上電極260間において、下地層252、ピニング層253、第1ピン層254、磁気結合層255、第2ピン層256、スペーサ層257、フリー層258及びキャップ層259が順次に積層された構成を呈している。ピニング層253からフリー層258までは垂直通電型のスピンバルブ構造を構成し、下電極251及び上電極260は、前記スピンバルブ構造に対してその積層方向(垂直方向)に通電するための電極を構成している。
In the high-
第1ピン層254はピニング層253によって磁化固着されており、第2ピン層256は磁気結合層255を介して第1ピン層254と反強磁性的に結合しており、いわゆるシンセティックアンチフェロ(もしくはシンセティックアンチフェリ)構造を呈している。
The first pinned
図13に示す高周波発振素子25においては、第2ピン層256、スペーサ層257及びフリー層258の三層構造が、上述した通電によるスピントルク効果によって高周波発振を生じさせ、その高周波をエネルギーアシスト源として、記録媒体への書き込み磁界を低減させるものである。
In the high-
下電極251及び上電極260には、電気抵抗が比較的小さいNiFe、Cuなどを用いることができる。
For the
下地層252は、例えば、バッファ層及びシード層に区分することができる。バッファ層は下電極251の表面の荒れを緩和したりするための層である。シード層は、その上に成膜されるスピンバルブ膜の結晶配向および結晶粒径を制御するための層である。バッファ層としては、Ta、Ti、W、Zr、Hf、Crまたはこれらの合金を用いることができ、2〜10nm程度、好ましくは3〜5nm程度の厚さとする。シード層は、fcc構造(face-centered cubic structure:面心立方格子構造)またはhcp構造(hexagonal close-packed structure:六方最密格子構造)やbcc構造(body-centered cubic structure:体心立方格子構造)を有するRu,NiFeなどの金属層が好ましい。シード層の厚さは、例えば1〜5nm、好ましくは5〜3nmとすることができる。
The
ピニング層253は、その上に成膜される第1ピン層254に一方向異方性(unidirectional anisotropy)を付与して磁化を固着する機能を有する。ピニング層253の材料としては、PtMn、PdPtMn、IrMn、RuRhMnなどの反強磁性材料を用いることができる。また、その最適な厚さは材料に応じて変化するが、例えば数nm〜数十nmのオーダである。
The pinning
第1ピン層254及び第2ピン層256は、CoFe、NiFeなどの強磁性材料から構成する。また、磁気結合層255はRu、Cuなどの非強磁性材料から構成する。第1ピン層254、磁気結合層255及び第2ピン層256は、例えばCo90Fe103.5nm/Ru/(Fe50Co50[1nm]/Cu[0.25nm])×2/Fe50Co50[1nm])のように構成することができる。
The first pinned
スペーサ層257は、酸化物、窒化物、酸窒化物等から構成される。例えば、Al2O3のようなアモルファス構造や、MgOのような結晶構造の双方が有り得る。スペーサ層としての機能を発揮するために、1〜3.5nmが好ましく、1.5〜3nmの範囲がより好ましい。また、Ti、Hf、Mg、Zr,V,Mo、Si,Cr,Nb,Ta,W、B,C、Vなどを添加元素として含有させることができる。これらの添加元素の添加量は0%〜50%程度の範囲で適宜変えることができる。一例として、約2nmのAl2O3をスペーサ層257として用いることができる。
The
スペーサ層257には、Al2O3のようなAl酸化物の換わりに、Ti酸化物、Hf酸化物、Mg酸化物、Zr酸化物、Cr酸化物、Ta酸化物、Nb酸化物、Mo酸化物、Si酸化物、V酸化物なども用いることができる。これらの酸化物の場合でも、添加元素として上述の材料を用いることができる。また、添加元素の量を0%〜50%程度の範囲で適宜に変えることができる。
For the
フリー層258は、スピントルク効果を発現させるものであり、例えば、界面にCoFeを挿入してNiFeを用いたCo90Fe10[1nm]/Ni83Fe17[3.5nm]という二層構成を挙げることができる。この場合、スペーサ層257との界面には、NiFe合金よりもCoFe合金を設けることが好ましい。また、フリー層258として、1〜2nmのCoFe層またはFe層と、0.1〜0.8nm程度の極薄Cu層とを、複数層交互に積層したものを用いてもよい。
The
キャップ層259は、スピンバルブ膜を保護する機能を有する。キャップ層259は、例えば、複数の金属層、例えば、Cu層とRu層の2層構造(Cu[1nm]/Ru[10nm])とすることができる。また、キャップ層259として、Ruをフリー層258側に配置したRu/Cu層なども用いることができる。この場合、Ruの膜厚は0.5〜2nm程度が好ましい。この構成のキャップ層259は、特に、フリー層258がNiFeからなる場合に望ましい。RuはNiと非固溶な関係にあるので、フリー層258とキャップ層259の間に形成される界面ミキシング層の磁歪を低減できるからである。
The
図14は、本実施形態の磁気記録装置で使用する高周波発振素子の他の例を示す概略構成図である。図14に示す高周波発振素子25では、図13に示す高周波発振素子25に比較して、スペーサ257が、絶縁層257A及び電流パス257Bを有し、さらに下部金属層257C及び上部金属層257Dを有する点で相違し、その他の構成については同様である。したがって、以下においては、スペーサ258についてのみ詳細に説明し、その他の構成要素に関する説明は省略する。
FIG. 14 is a schematic configuration diagram showing another example of the high-frequency oscillation element used in the magnetic recording apparatus of the present embodiment. In the high-
絶縁層257Aは、酸化物、窒化物、酸窒化物等から構成される。絶縁層257Aは、Al2O3のようなアモルファス構造や、MgOのような結晶構造の双方が有り得る。スペーサ層としての機能を発揮するために、その厚さは、1〜3.5nmが好ましく、1.5〜3nmの範囲がより好ましい。
The insulating
絶縁層257Aに用いる典型的な絶縁材料として、Al2O3をベース材料としたものや、これに添加元素を加えたものがある。添加元素として、Ti、Hf、Mg、Zr,V,Mo、Si,Cr,Nb,Ta,W、B,C、Vなどがある。これらの添加元素の添加量は0%〜50%程度の範囲で適宜変えることができる。一例として、約2nmのAl2O3を絶縁層257Aとして用いることができる。また、Al2O3のようなAl酸化物の換わりに、Ti酸化物、Hf酸化物、Mg酸化物、Zr酸化物、Cr酸化物、Ta酸化物、Nb酸化物、Mo酸化物、Si酸化物、V酸化物なども用いることができる。これらの酸化物の場合でも、添加元素として上述の材料を用いることができる。また、添加元素の量を0%〜50%程度の範囲で適宜に変えることができる。
As a typical insulating material used for the insulating
電流パス257Bは、スペーサ層257の膜面垂直に電流を流すパス(経路)であり、電流を狭窄するためのものである。絶縁層257Aの膜面垂直方向に電流を通過させる導電体として機能し、例えば、Cu等の金属層から構成できる。即ち、スペーサ層257では、電流狭窄構造(CCP構造)を有し、電流狭窄効果によりスピントルク効果を増大することが可能である。電流パス257B(CCP)を形成する材料は、Cu以外には、Au,Ag、Alや、Ni,Co,Fe、もしくはこれらの元素を少なくとも一つは含む合金層を挙げることができる。なお、電流パス257Bの直径は数nmのオーダ、具体的には1nm以上10nm以下である。
The
上部金属層257Dは、広義のスペーサ層の一部を形成するものである。その上に成膜されるフリー層258がスペーサ層257の酸化物に接して酸化されないように保護するバリア層としての機能、およびフリー層258の結晶性を良好にする機能を有する。例えば、絶縁層257Aの材料がアモルファス(例えば、Al2O3)の場合には、その上に成膜される金属層の結晶性が悪くなるが、fcc結晶性を良好にする層(例えば、Cu層)を配置することで(1nm以下程度の膜厚で良い)、フリー層258の結晶性を著しく改善することが可能となる。
The
なお、上部金属層257Dは必ずしも設ける必要はない。また、下部金属層257Cは、電流パス257Bを作製する際の元になる層であって、電流パス257Bと同じ材料から構成される。
Note that the
図14に示す構成の高周波発振素子25においては、例えば特開2007−124340に開示されているように、電流狭窄効果によって電流パス257Bにおける電流密度が108A/cm2を超えるため、スピントランスファー効果が生じやすくなるためである。すなわち、電流パス257Bはスピントランスファー効果のトリガーとして機能するようになる。このようなスピントランスファー効果が生じるようになると、高周波の発振をより簡易に実行することができる。すなわち、多値記録多層記録をするための高周波発振素子という位置づけだけでなく、高周波アシスト記録用の高周波発振素子という用途にはこのような電流パス257B、すなわちナノ電流パス構造を有する素子が適する場合がある。
In the high-
図15は、図14に示す高周波発振素子25の変形例である。図14に示す例では、ナノ電流パス構造を有するスペーサ層を単層で設けているが、図15に示す高周波発振素子25では、ナノ電流パス構造を有するスペーサ層を二層設けている。具体的には、新たに第3ピン層262を設け、この第3ピン層262を挟むようにして一対の(二層の)スペーサ層257を設けている。図15に示す高周波発振素子25においては、二層のナノ電流パス構造を有するスペーサ層257を設けているので、電流狭窄効果がより増長され、上述したスピントランスファー効果が生じやすくなる。したがって、高周波の発振をより簡易に行うことができるようになる。
FIG. 15 is a modification of the high-
なお、図15に示す高周波発振素子25において、スペーサ層257の具体的な構成は図14に示す高周波発振素子25と同様の構成を呈する。また、スペーサ層257を除くその他の構成は、図13に示す高周波発振素子25と同様の構成を呈する。
In the high
また、スペーサ層の数は、上述したような単層及び二層に限らず、三層以上とすることもできる。 The number of spacer layers is not limited to the single layer and the two layers as described above, and may be three or more.
図16は、本実施形態の磁気記録装置で使用する高周波発振素子のその他の例を示す概略構成図である。図16に示す高周波発振素子25では、図13に示す高周波発振素子25に比較して、下電極251及び上電極260の間において、下地層252からキャップ層259の積層構造の側面に、絶縁層263を介してハードバイアス層264が形成されている点で相違し、その他の構成については同様である。
FIG. 16 is a schematic configuration diagram showing another example of the high-frequency oscillation element used in the magnetic recording apparatus of the present embodiment. In the high-
高周波発振素子の場合には、高周波を発振させるために、フリー層となる層の磁気異方性を大きくする必要がある。つまり磁性層を磁気的に硬く、つまり磁界バイアスを印加させた状態で使用することが必要となる。そのために、図16のように、下地層252からキャップ層259の積層構造の側面に、絶縁層263を介してハードバイアス層264を形成することによって、フリー層258を磁気的に硬く、磁化の回転がしづらいようにすることができる。
In the case of a high frequency oscillation element, in order to oscillate a high frequency, it is necessary to increase the magnetic anisotropy of the layer to be a free layer. That is, it is necessary to use the magnetic layer in a magnetically hard state, that is, in a state where a magnetic field bias is applied. Therefore, as shown in FIG. 16, by forming a
なお、磁気抵抗効果素子の場合には、ハードバイアス層は、フリー層の磁区を単一方向に向けることを第一の目的としていることからあまり強いバイアス磁化を印加しないが、高周波発振素子の場合は、上記のようにフリー層258を磁気的に硬くするために比較的強いバイアス磁化を印加する。これは特開2007−124340で開示されたものと全く同様の目的で用いられる。
In the case of a magnetoresistive effect element, the hard bias layer does not apply a very strong bias magnetization because the primary purpose is to direct the magnetic domain of the free layer in a single direction. Applies a relatively strong bias magnetization to magnetically harden the
ハードバイアス層264は、例えばCoPt、CoCrPt、CoCr及びFePtなどから構成することができる。
The
図17は、本実施形態の磁気記録装置で使用する高周波発振素子のさらにその他の例を示す概略構成図である。図17に示す高周波発振素子25では、図13に示す高周波発振素子25の積層構造の側面側に、一対の電流配線265が設けられている点で相違し、その他の構成については同様である。
FIG. 17 is a schematic configuration diagram showing still another example of the high-frequency oscillation element used in the magnetic recording apparatus of the present embodiment. The high-
図17に示すような構成の高周波発振素子25においては、一対の電流配線265からの電流磁界を用いて、フリー層258に印加される磁界強度を制御することができる。これは特開2007−124340で開示されたものと全く同様の目的で用いられる。したがって、前記電流磁界の大きさを適宜に制御して印加する前記磁界強度を調節することにより、発振高周波の周波数を数十GHzオーダーまで簡易に高めることもできる。
In the high-
図18は、図17に示す高周波発振素子の変形例である。図16に示す高周波発振素子25では、一対の電流配線265を高周波発振素子25の積層構造の側面側に設けたが、図18に示す高周波発振素子25では、電流配線266を高周波発振素子25の積層構造(上電極260)の上方に設けている。この場合においても、電流配線266からの電流磁界を用いて、フリー層258に印加される磁界強度を制御することができ、前記電流磁界の大きさを適宜に制御して印加する前記磁界強度を調節することにより、発振高周波の周波数を数十GHzオーダーまで簡易に高めることもできる。
FIG. 18 shows a modification of the high-frequency oscillation device shown in FIG. In the high-
また、特に図示しないが、電流配線は、高周波発振素子25の積層構造(下電極251)の下方に設けることもできるし、積層構造の上方及び下方に一対の電流配線を設けるようにすることもできる。
Although not particularly illustrated, the current wiring can be provided below the laminated structure (lower electrode 251) of the high-
(磁気抵抗効果素子)
次に、本実施形態の磁気記録装置で使用する磁気抵抗効果素子について説明する。上述したように、前記磁気抵抗効果素子としては、CIP-GMR膜、TMR膜及びCPP-GMR膜などの原理を用いた磁気抵抗効果素子を用いることができる。
(Magnetoresistive element)
Next, the magnetoresistive effect element used in the magnetic recording apparatus of this embodiment will be described. As described above, as the magnetoresistive effect element, a magnetoresistive effect element using a principle such as a CIP-GMR film, a TMR film, and a CPP-GMR film can be used.
CPP-GMR膜を用いた磁気抵抗効果素子は、高周波発振素子で説明した図13〜図15に示すような構成を採る。また、各構成要素(各層)に要求される特性も上記高周波発振素子と同様である。但し、第2ピン層256、スペーサ層257及びフリー層258の三層構造は、いわゆる磁気抵抗効果膜として機能し、スピントルク効果によって高周波発振を生じさせる代わりに磁気抵抗効果を発現し、磁気記録媒体からの磁界強度を検出してその磁化の大きさを検知し、書き込まれた情報を読出すように機能するものである。
The magnetoresistive effect element using the CPP-GMR film adopts the configuration shown in FIGS. 13 to 15 described in the high-frequency oscillation element. Further, the characteristics required for each component (each layer) are the same as those of the high-frequency oscillation element. However, the three-layer structure of the second pinned
また、上記磁気抵抗効果素子は、図16に示す高周波発振素子と同様に、基本となる積層構造の側面にハードバイアス層を設けるようにすることもできる。この場合、ハードバイアス層は、フリー層の磁区を単一方向に向けることを第一の目的としていることからあるので、フリー層258を磁気的に硬くするため高周波発振素子のハードバイアス層と異なり、比較的弱いバイアス磁化を印加する。
Also, the magnetoresistive effect element can be provided with a hard bias layer on the side surface of the basic laminated structure, similarly to the high-frequency oscillation element shown in FIG. In this case, since the hard bias layer has a primary purpose of directing the magnetic domain of the free layer in a single direction, the hard layer is different from the hard bias layer of the high-frequency oscillation element in order to make the
なお、CIP-GMR膜、TMR膜の原理を用いた磁気抵抗効果素子については既に汎用されており、これらの中から適宜選択して使用することができる。例えば、TMR膜の原理を用いた磁気抵抗効果素子の構成は、図13に示す構成の高周波発振素子において、スペーサ層257をMgOなどの絶縁膜で構成することによって得ることができる。
Note that magnetoresistive elements using the principles of the CIP-GMR film and the TMR film are already widely used, and can be appropriately selected from these. For example, the configuration of the magnetoresistive effect element using the principle of the TMR film can be obtained by configuring the
(ハードディスクおよびヘッドジンバルアセンブリー)
図9〜図12に示した磁気ヘッドは、記録再生一体型の磁気ヘッドアセンブリ((HGA)に組み込んで、磁気記録再生装置に搭載することができる。図19は、磁気記録再生装置の概略構成を示す図であり、図20は、図19に示す磁気記録再生装置に組み込んだ磁気ヘッドアセンブリの概略構成を示す図である。
(Hard disk and head gimbal assembly)
9 to 12 can be incorporated in a recording / reproducing integrated magnetic head assembly (HGA) and mounted on a magnetic recording / reproducing apparatus. FIG. 20 is a diagram showing a schematic configuration of a magnetic head assembly incorporated in the magnetic recording / reproducing apparatus shown in FIG.
本実施形態の磁気記録再生装置300は、ロータリーアクチュエータを用いた形式の装置である。同図において、磁気ディスク370は、スピンドル310に装着され、図示しない駆動装置制御部からの制御信号に応答する図示しないモータにより矢印Aの方向に回転する。本実施形態の磁気記録再生装置300は、複数の磁気ディスク370を備えてもよい。
The magnetic recording / reproducing
磁気ディスク370に格納する情報の記録再生を行うヘッドスライダ320は、薄膜状のサスペンション330の先端に取り付けられている。ヘッドスライダ320は、上述したいずれかの実施形態に係る磁気抵抗効果素子を含む磁気ヘッドをその先端付近に搭載している。
A
磁気ディスク370が回転すると、ヘッドスライダ320の媒体対向面(ABS)は磁気ディスク370の表面から所定の浮上量をもって保持される。あるいはスライダが磁気ディスク370と接触するいわゆる「接触走行型」でもよい。
When the
サスペンション330はアクチュエータアーム340の一端に接続されている。アクチュエータアーム340の他端には、リニアモータの一種であるボイスコイルモータ350が設けられている。ボイスコイルモータ350は、ボビン部に巻かれた図示しない駆動コイルと、このコイルを挟み込むように対向して配置された永久磁石および対向ヨークからなる磁気回路とから構成される。
The
アクチュエータアーム340は、スピンドル360の上下2箇所に設けられた図示しないボールベアリングによって保持され、ボイスコイルモータ350により回転摺動が自在にできるようになっている。
The
図20に示す磁気ヘッドアセンブリ400は、アクチュエータアーム340から先のヘッドジンバルアセンブリーをディスク側から眺めた場合の状態を示しており、アクチュエータアーム340を有し、アクチュエータアーム340の一端にはサスペンション330が接続されている。サスペンション330の先端には、上述したいずれかの実施形態に係る磁気ヘッドを具備するヘッドスライダ320が取り付けられている。サスペンション330は信号の書き込みおよび読み取り用のリード線410を有し、このリード線410とヘッドスライダ320に組み込まれた磁気ヘッドの各電極とが電気的に接続されている。図中420はアセンブリ400の電極パッドである。
A
本実施形態の磁気記録再生装置及び磁気ヘッドアセンブリによれば、上述した高周波発振素子を含む磁気ヘッドを具えているので、高周波アシスト効果によって上述したような多層記録・多値記録及びそれの再生を実現することができる。 According to the magnetic recording / reproducing apparatus and magnetic head assembly of the present embodiment, the magnetic head including the above-described high-frequency oscillation element is provided. Can be realized.
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は例として掲示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。 As mentioned above, although several embodiment of this invention was described, these embodiment was posted as an example and is not intending limiting the range of invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.
1,2,3 磁気記録層
4,5 磁気分離層
6 記録用下地層
7 裏打ち磁性層
8 裏打ち層用下地層
10 再生部
11 磁気抵抗効果素子
12 上シールド
13 下シールド
20 記録部
21 記録磁極
22 ヨーク
23 コイル
25 高周波発振素子
1, 2, 3 Magnetic recording layers 4, 5 Magnetic separation layer 6 Recording underlayer 7 Backing magnetic layer 8
Claims (18)
前記磁気記録媒体に対して情報を書き込むための磁気記録ヘッドと、
前記磁気記録媒体から前記情報を読み取るための磁気再生ヘッドとを具え、
前記磁気記録ヘッドは、前記記録層の少なくとも1層に対して前記情報の書き込みを磁気的にアシストする高周波発振素子を含み、
前記高周波発振素子は、前記少なくとも1層の記録層に対して高周波を印加することにより、その磁化を選択的に変化させるように構成されており、
前記高周波は、前記少なくとも1層の記録層の磁気共鳴周波数と実質的に等しいことを特徴とする、磁気記録装置。 A magnetic storage medium comprising a plurality of recording layers each having a different magnetic resonance frequency;
A magnetic recording head for writing information to the magnetic recording medium;
A magnetic reproducing head for reading the information from the magnetic recording medium,
The magnetic recording head includes a high-frequency oscillation element that magnetically assists writing of the information to at least one of the recording layers,
The high-frequency oscillation element is configured to selectively change its magnetization by applying a high frequency to the at least one recording layer,
The magnetic recording apparatus according to claim 1, wherein the high frequency is substantially equal to a magnetic resonance frequency of the at least one recording layer.
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003317220A (en) * | 2002-04-15 | 2003-11-07 | Canon Inc | Perpendicular magnetic recording medium, magnetic recording and reproducing device, and information processor |
JP2006059474A (en) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Fujitsu Ltd | Magnetic recording method, magnetic recording medium, and magnetic recording device |
JP2006244693A (en) * | 2005-03-01 | 2006-09-14 | Seagate Technology Llc | Writer structure equipped with auxiliary bias |
JP2007115960A (en) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Toshiba Corp | Manufacturing method of magnetoresistive element |
JP2007124340A (en) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Toshiba Corp | High-frequency oscillation element, onboard radar device using same, inter-vehicle communication device and inter-information terminal communication device |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003317220A (en) * | 2002-04-15 | 2003-11-07 | Canon Inc | Perpendicular magnetic recording medium, magnetic recording and reproducing device, and information processor |
JP2006059474A (en) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Fujitsu Ltd | Magnetic recording method, magnetic recording medium, and magnetic recording device |
JP2006244693A (en) * | 2005-03-01 | 2006-09-14 | Seagate Technology Llc | Writer structure equipped with auxiliary bias |
JP2007115960A (en) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Toshiba Corp | Manufacturing method of magnetoresistive element |
JP2007124340A (en) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Toshiba Corp | High-frequency oscillation element, onboard radar device using same, inter-vehicle communication device and inter-information terminal communication device |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9373356B2 (en) | 2014-11-10 | 2016-06-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording and reproducing device and magnetic recording and reproducing method |
US9583134B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-02-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording and reproducing device |
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