JP2013195263A

JP2013195263A - Width dimension measurement device

Info

Publication number: JP2013195263A
Application number: JP2012063505A
Authority: JP
Inventors: Seiji Sasada; 星児笹田; Koichi Kitagishi; 浩一北岸; Makoto Yamaguchi; 真山口; Atsushi Otani; 篤史大谷
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2012-03-21
Filing date: 2012-03-21
Publication date: 2013-09-30
Anticipated expiration: 2032-03-21
Also published as: JP5724917B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a width measurement device configured to measure width dimension of an image irrespective of lateral inclination of an inspection object with depth.SOLUTION: A width dimension measurement device 10 includes: a telecentric optical system T that selects incident light from a width direction of a measurement object 1 by means of a slit diaphragm 6 with a slit parallel in a width direction to emit it as parallel light; an oblique slit optical system N comprising a cylindrical convex lens 14 that focuses the light emitted from the telecentric optical system at different distances in X- and Y-directions, an oblique slit diaphragm 5 for selectively allowing the light emitted from the cylindrical convex lens 14 to pass by use of an oblique slit, and a cylindrical concave lens 15 that focuses the light emitted from the oblique slit diaphragm 5 at the same distance; an imaging device 4 arranged at a focal position of the light emitted from the oblique slit optical system N; and an image processing device 8 for measuring the thinnest width in a horizontal direction of an image obtained by the imaging device 4 as a width dimension of the object 1.

Description

本発明は、テレセントリック光学系を用いて撮影した画像から奥行のある測定対象物の幅寸法を測定する幅寸法の測定装置に関する。 The present invention relates to a width dimension measuring device for measuring a width dimension of a measuring object having a depth from an image photographed using a telecentric optical system.

従来、奥行のある物品を正面から見た場合の横幅（幅寸法）を測定したいという要望がある。そして、奥行のある物品を正面から見た時の幅寸法を測定する方法の１つとして、テレセンメトリック光学系を使用した測定方法がある。テレセンメトリック光学系は、レンズ主軸に対して平行な光線のみを結像させるものであり、画角が殆どないために、奥行がある測定対象物の画像による幅寸法の測定に有用な光学系である。 Conventionally, there is a demand for measuring the width (width dimension) when an article with depth is viewed from the front. And as one of the methods for measuring the width dimension when an article with depth is viewed from the front, there is a measuring method using a telecentric optical system. A telecentric optical system is an optical system that focuses only light rays parallel to the lens main axis and has no angle of view. Therefore, the telecentric optical system is useful for measuring the width of an object image with depth. is there.

幅寸法の測定が必要な奥行のある物品（測定対象物）の一例として、自動車用空調装置の熱交換器に近年使用され始めたインナーフィンチューブがある。インナーフィンチューブは、帯状板材が折り曲げられて偏平な管に形成され、管の内壁面に波状のインナーフィンの折り返し部がロウ付けされて多孔管が形成されたものであり、このようなインナーフィンチューブを採用した熱交換器が特許文献１に開示されている。インナーフィンチューブの幅寸法の測定が必要な理由は、インナーフィンのロウ付け不良があるとインナーフィンチューブの厚さが変化する（例えば特許文献２参照）ためであり、幅寸法の測定によりロウ付け不良を検出できるためである。このような幅寸法の測定が必要な奥行のある測定対象物は、工業製品の中に多い。 As an example of an article (measurement object) having a depth that requires measurement of a width dimension, there is an inner fin tube that has recently started to be used in a heat exchanger of an automotive air conditioner. The inner fin tube is a flat tube formed by bending a strip-shaped plate material, and a folded portion of a wavy inner fin is brazed to the inner wall surface of the tube to form a porous tube. A heat exchanger employing a tube is disclosed in Patent Document 1. The reason why it is necessary to measure the width of the inner fin tube is that if there is a brazing failure of the inner fin, the thickness of the inner fin tube changes (see, for example, Patent Document 2). This is because a defect can be detected. There are many measuring objects with depths that require measurement of such width dimensions among industrial products.

しかし、テレセンメトリック光学系を用いた寸法測定では、測定対象物がレンズ主軸に対して傾くと、奥行がある測定対象物の側面が見えて正確な測定ができないため、測定対象物の傾きにレンズの傾きを物理的に合致させて測定を行う必要があった。即ち、工業製品の検査工程において、テレセンメトリック光学系を使用して奥行がある物の幅の寸法測定を行う場合は、測定対象物又はレンズの角度を補正する必要があり、検査装置の機構の煩雑性を招くと共に、検査サイクル時間が長くなるという問題点があった。 However, in dimension measurement using a telecentric optical system, if the measurement object is tilted with respect to the lens main axis, the side of the measurement object with depth can be seen and accurate measurement cannot be performed. It was necessary to perform the measurement by physically matching the slopes of the two. That is, in the inspection process of industrial products, when measuring the width of an object with depth using a telecentric optical system, it is necessary to correct the angle of the object to be measured or the lens. In addition to inconvenience, the inspection cycle time is increased.

この課題に対して、テレセンメトリック光学系を使用するが、レンズ本体、ＣＣＤカメラ、測定対象を一切動かさず、レンズ内の絞りを可動させ、角度を補正した画像を取得する技術が特許文献３に開示されている。 To solve this problem, Patent Document 3 discloses a technique that uses a telecentric optical system, but does not move the lens body, the CCD camera, and the measurement target at all, and moves the aperture in the lens to acquire an angle-corrected image. It is disclosed.

特開２００７−１２５５９０号公報JP 2007-125590 A

特開２０１０−２５４４７号公報JP 2010-25447 A

特開２００９−９２５９６号公報JP 2009-92596 A

ところが、様々な方向に傾いた測定対象の幅寸法の計測では、個々の傾きに対して検査するカメラの向きをいちいち合致させていたので、多数の走査により膨大な時間が必要であった。また、特許文献３に開示のテレセンメトリック光学系を使用した幅寸法の検査システムでは、計測する対象物の傾斜に応じて可動絞り部の位置を高速で可動させなければならないので、耐久性に問題があった。 However, in the measurement of the width dimension of the measurement object tilted in various directions, the direction of the camera to be inspected is matched to each tilt, so that a large amount of time is required for many scans. Further, in the width dimension inspection system using the telecentric optical system disclosed in Patent Document 3, the position of the movable diaphragm portion must be moved at a high speed according to the inclination of the object to be measured. was there.

本発明は、上記問題に鑑み、直立すべき測定対象が傾斜している場合でも、可動部のないテレセンメトリック光学系を使用して、奥行のある全ての測定対象物の、画像による幅方向の寸法測定が可能な、幅寸法の測定装置を提供するものである。 In view of the above problems, the present invention uses a telecentric optical system having no moving parts, even when a measurement object to be erected is inclined. It is an object of the present invention to provide a width dimension measuring apparatus capable of measuring dimensions.

上記課題を解決する本発明の幅寸法の測定装置は、奥行のある測定対象１の幅寸法の測定装置であって、絞り位置に幅方向に平行なスリットを備える第１のスリット絞り６を使用して、測定対象１の幅方向からの入射光を選択して平行光として出射するテレセントリック光学系Ｔと、テレセントリック光学系Ｔから出射された光のＸ，Ｙ方向の焦点距離を異ならせる第１のシリンドリカルレンズ１４と、斜め方向のスリットを有して第１のシリンドリカルレンズ１４の出射光を選択的に通過させる第２のスリット絞り５及び第２のスリット絞り５の出射光の焦点距離を同じに合わせる第２のシリンドリカルレンズ１５を備える斜めスリット光学系Ｎと、斜めスリット光学系Ｎからの出射光の焦点位置に置かれた撮像装置４、及び、撮像装置４から得られた画像の、水平方向の最も細い幅を測定対象１の幅寸法として測定する画像処理装置８を備えることを特徴としている。 The width dimension measuring device of the present invention that solves the above-mentioned problem is a width dimension measuring device for a measuring object 1 having a depth, and uses a first slit stop 6 having a slit parallel to the width direction at the stop position. Then, the telecentric optical system T that selects the incident light from the width direction of the measurement object 1 and emits it as parallel light, and the first and the focal lengths in the X and Y directions of the light emitted from the telecentric optical system T are different. The focal lengths of the emitted light from the second slit diaphragm 5 and the second slit diaphragm 5 are the same as those of the cylindrical lens 14 and the second slit diaphragm 5 which has a slit in the oblique direction and selectively allows the emitted light from the first cylindrical lens 14 to pass therethrough. And the imaging device 4 placed at the focal position of the outgoing light from the oblique slit optical system N, and the imaging device 4 Luo resulting image, is characterized in that it comprises an image processing apparatus 8 for measuring the narrowest width in the horizontal direction as the width of the measuring object 1.

これにより、奥行のある被検査対称物が任意の角度で傾斜している場合でも、撮影した被検査対象物の画像による幅方向の寸法を測定することが可能である。 As a result, even when the object to be inspected with depth is inclined at an arbitrary angle, it is possible to measure the dimension in the width direction by the image of the object to be inspected.

なお、上記に付した符号は、後述する実施形態に記載の具体的実施態様との対応関係を示す一例である。 In addition, the code | symbol attached | subjected above is an example which shows a corresponding relationship with the specific embodiment as described in embodiment mentioned later.

幅寸法の測定装置の構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structure of the measuring apparatus of a width dimension. （ａ）はテレセントリック光学系と斜めスリット光学系におけるレンズと絞りの配置を示す配置図、（ｂ）は（ａ）に示した第１のスリット絞りの正面図、（ｃ）は（ａ）に示した第２のスリット絞りの正面図である。(A) is a layout view showing the arrangement of lenses and diaphragms in a telecentric optical system and an oblique slit optical system, (b) is a front view of the first slit diaphragm shown in (a), and (c) is in (a). It is a front view of the 2nd slit aperture shown. （ａ）は測定対象が直立した状態の正面図、（ｂ）は（ａ）に示した測定対象の矢印Ａ方向の矢視図、（ｃ）は（ａ）に示した測定対象を撮像装置で撮影した画像を示す図である。(A) is a front view of the state in which the measuring object is upright, (b) is an arrow view in the direction of the arrow A of the measuring object shown in (a), and (c) is an imaging device showing the measuring object shown in (a) It is a figure which shows the image image | photographed by. （ａ）は測定対象が直立した状態から左側に傾いた状態の正面図、（ｂ）は（ａ）に示した測定対象の矢印Ａ方向の矢視図、（ｃ）は（ａ）に示した測定対象を撮像装置で撮影した画像を示す図である。(A) is a front view of the measuring object tilted to the left from the upright state, (b) is an arrow view of the measuring object in the direction of arrow A shown in (a), and (c) is shown in (a). It is a figure which shows the image which image | photographed the measured object with the imaging device. （ａ）は測定対象が直立した状態から右側に傾いた状態の正面図、（ｂ）は（ａ）に示した測定対象の矢印Ａ方向の矢視図、（ｃ）は（ａ）に示した測定対象を撮像装置で撮影した画像を示す図である。(A) is a front view of a state in which the measuring object is tilted to the right from an upright state, (b) is an arrow view in the direction of arrow A of the measuring object shown in (a), and (c) is shown in (a). It is a figure which shows the image which image | photographed the measured object with the imaging device. （ａ）は図２（ｃ）に示した第２のスリット絞りのスリットの傾斜角度が３０°の場合の正面図、（ｂ）は（ａ）に示した第２のスリット絞りを使用した時の、直立した測定対象を撮像装置で撮影した画像を示す図である。(A) is a front view when the inclination angle of the slit of the second slit diaphragm shown in FIG. 2 (c) is 30 °, and (b) is when the second slit diaphragm shown in (a) is used. It is a figure which shows the image which image | photographed the upright measuring object with the imaging device. （ａ）は図２（ｃ）に示した第２のスリット絞りのスリットの傾斜角度が４５°の場合の正面図、（ｂ）は（ａ）に示した第２のスリット絞りを使用した時の、直立した測定対象を撮像装置で撮影した画像を示す図である。(A) is a front view when the inclination angle of the slit of the second slit diaphragm shown in FIG. 2 (c) is 45 °, and (b) is when the second slit diaphragm shown in (a) is used. It is a figure which shows the image which image | photographed the upright measuring object with the imaging device. （ａ）は図２（ｃ）に示した第２のスリット絞りのスリットの傾斜角度が６０°の場合の正面図、（ｂ）は（ａ）に示した第２のスリット絞りを使用した時の、直立した測定対象を撮像装置で撮影した画像を示す図である。(A) is a front view when the inclination angle of the slit of the second slit stop shown in FIG. 2 (c) is 60 °, and (b) is when the second slit stop shown in (a) is used. It is a figure which shows the image which image | photographed the upright measuring object with the imaging device. （ａ）は図２（ｃ）に示した第２のスリット絞りのスリットの傾斜角度と撮影された画像におけるチルト角度及び被写界震度の関係を示す線図、（ｂ）は被写界震度に対する撮影された画像におけるチルト角度の関係を示す線図である。(A) is a diagram showing the relationship between the tilt angle of the slit of the second slit stop shown in FIG. 2 (c), the tilt angle in the photographed image and the field seismic intensity, and (b) is the field seismic intensity. It is a diagram which shows the relationship of the tilt angle in the image | photographed image with respect to. （ａ）は本発明で使用するテレセントリック光学系と斜めスリット光学系を並列に並べた光学系における測定対象から出た光の光路を側面から見た側面図、（ｂ）は（ａ）に示した光路を上方から見た平面図である。(A) is the side view which looked at the optical path of the light emitted from the measuring object in the optical system which arranged the telecentric optical system and the slant slit optical system used in the present invention in parallel, and (b) is shown in (a). It is the top view which looked at the optical path which looked from the upper direction. 図１０（ａ）、（ｂ）に示した光路において、測定対象の上部から出た水平方向に斜めに出た光束の第２のスリット絞り通過後の様子を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the mode after the 2nd slit aperture stop of the light beam which came out of the optical path shown to Fig.10 (a), (b) in the horizontal direction diagonally from the upper part of the measuring object. 図１０（ａ）、（ｂ）に示した光路において、測定対象の中央から出た水平方向に斜めに出た光束の第２のスリット絞り通過後の様子を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the mode after the 2nd slit aperture stop of the light beam which came out from the center of the measuring object diagonally in the horizontal direction in the optical path shown to Fig.10 (a), (b). 図１０（ａ）、（ｂ）に示した光路において、測定対象の下部から出た水平方向に斜めに出た光束の第２のスリット絞り通過後の様子を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the mode after the 2nd slit aperture stop of the light beam which came out of the optical path shown to Fig.10 (a), (b) in the horizontal direction diagonally from the lower part of the measuring object. （ａ）は２５本の円柱で構成された測定対象の一例を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）に示した測定対象を図１０（ａ）、（ｂ）に示した光路の第１のスリット絞りの後段で撮影した時の画像を示す図、（ｃ）は（ａ）に示した測定対象を図１０（ａ）、（ｂ）に示した光路の第２のスリット絞りの後段にある撮像装置で撮影した時の画像を示す図である。(A) is a perspective view showing an example of a measurement object composed of 25 cylinders, (b) is a first view of the optical path shown in FIGS. 10 (a) and 10 (b), showing the measurement object shown in (a). The figure which shows the image when image | photographing in the back | latter stage of the slit aperture of (a), (c) is the measurement object shown to (a) in the back | latter stage of the 2nd slit aperture of the optical path shown to Fig.10 (a), (b). It is a figure which shows the image when it image | photographs with a certain imaging device.

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態を説明する。各実施態様について、同一構成の部分には、同一の符号を付してその説明を省略する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. About each embodiment, the same code | symbol is attached | subjected to the part of the same structure, and the description is abbreviate | omitted.

図１は、幅寸法の測定装置１０の一実施例の構成を模式的に示すものであり、図２（ａ）は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎにおけるレンズと絞りの配置を示すものである。幅寸法の測定装置１０は、奥行のある測定対象１の幅寸法の測定装置であり、測定装置本体７の内部に、テレセントリック光学系Ｔと、斜めスリット光学系Ｎ、及び撮像装置４を備え、測定装置本体７の外部に画像処理装置８を備える。また、幅を測定する測定対象１は、この実施例では検査台３の上に置かれた面光源であるバックライト２の上に設置されており、背面から照射されるようになっている。 FIG. 1 schematically shows a configuration of an embodiment of a width dimension measuring apparatus 10, and FIG. 2A shows an arrangement of lenses and diaphragms in a telecentric optical system T and an oblique slit optical system N. FIG. Is. The width measurement device 10 is a measurement device for measuring the width of the measurement object 1 having a depth, and includes a telecentric optical system T, an oblique slit optical system N, and an imaging device 4 inside the measurement device main body 7. An image processing device 8 is provided outside the measuring device body 7. Moreover, the measuring object 1 for measuring the width is installed on the backlight 2 which is a surface light source placed on the examination table 3 in this embodiment, and is irradiated from the back surface.

テレセントリック光学系Ｔは、対物レンズ１１と第１のスリット絞り６及び凸レンズ１２を備えている。第１のスリット絞り６は、対物レンズ１１と凸レンズ１２に挟まれており、対物レンズ１１の絞り位置に配置されている。テレセントリック光学系Ｔは、主光線がレンズ光軸に対して平行である光学系のことである。第１のスリット絞り６は、図２（ｂ）に示すように、測定対象１の幅方向に平行なスリットＳを備えており、測定対象１の幅方向からの入射光を選択して平行光として出射する。図１、図２では、第１のスリット絞り６は測定対象の幅方向に設けられているので、第１のスリット絞り６を通過するのは測定対象１の幅方向の光だけである。 The telecentric optical system T includes an objective lens 11, a first slit stop 6, and a convex lens 12. The first slit diaphragm 6 is sandwiched between the objective lens 11 and the convex lens 12 and is disposed at the diaphragm position of the objective lens 11. The telecentric optical system T is an optical system in which the principal ray is parallel to the lens optical axis. As shown in FIG. 2B, the first slit stop 6 includes a slit S parallel to the width direction of the measurement target 1, and selects incident light from the width direction of the measurement target 1 to generate parallel light. To be emitted. In FIG. 1 and FIG. 2, since the first slit diaphragm 6 is provided in the width direction of the measurement object, only the light in the width direction of the measurement object 1 passes through the first slit diaphragm 6.

一方、斜めスリット光学系Ｎは、テレセントリック光学系Ｔからの出射光が入射される凸レンズ１３、第１と第２のシリンドリカルレンズ１４、１５、第１と第２のシリンドリカルレンズ１４、１５に挟まれた斜めスリット絞り５及び凸レンズ１６を備える。第１のシリンドリカルレンズ１４はシリンドリカル凸レンズであり、第２のシリンドリカルレンズ１５はシリンドリカル凹レンズである。また、斜めスリット絞り５は、図２（ｃ）に示すように、測定対象１の幅方向に対して斜めに傾斜するスリットＳを備える。 On the other hand, the oblique slit optical system N is sandwiched between the convex lens 13 to which the light emitted from the telecentric optical system T is incident, the first and second cylindrical lenses 14 and 15, and the first and second cylindrical lenses 14 and 15. And an oblique slit diaphragm 5 and a convex lens 16. The first cylindrical lens 14 is a cylindrical convex lens, and the second cylindrical lens 15 is a cylindrical concave lens. In addition, the oblique slit diaphragm 5 includes a slit S that is inclined obliquely with respect to the width direction of the measuring object 1 as shown in FIG.

第１のシリンドリカルレンズ１４は、テレセントリック光学系Ｔから出射された光のＸ，Ｙ方向の焦点距離を異ならせるものであり、第２のスリット絞り５は斜め方向のスリットＳを有して第１のシリンドリカルレンズ１４の出射光を選択的に通過させる。そして、第２のシリンドリカルレンズ１５は、第２のスリット絞り５の出射光の焦点距離を同じに合わせる働きをする。撮像装置４は、斜めスリット光学系Ｎからの出射光の焦点位置に置かれており、斜めスリット光学系Ｎから出射された測定対象１の画像を撮影する。撮像装置４としては、ＣＣＤ素子１７を内蔵するＣＣＤカメラを使用することができる。 The first cylindrical lens 14 varies the focal length in the X and Y directions of the light emitted from the telecentric optical system T, and the second slit diaphragm 5 has a slit S in the oblique direction and has a first slit S. The light emitted from the cylindrical lens 14 is selectively passed. The second cylindrical lens 15 serves to adjust the focal length of the emitted light from the second slit diaphragm 5 to be the same. The imaging device 4 is placed at the focal position of the outgoing light from the oblique slit optical system N, and takes an image of the measuring object 1 emitted from the oblique slit optical system N. As the imaging device 4, a CCD camera incorporating a CCD element 17 can be used.

図１に符号９で示す図形が、撮像装置４から得られた画像を示している。画像処理装置８にはコンピュータを使用することができ、画像処理装置８は、得られた画像９の水平方向の最も細い幅Ｗ２を、測定対象１の幅Ｗ１の寸法として測定する。 A graphic indicated by reference numeral 9 in FIG. 1 indicates an image obtained from the imaging device 4. A computer can be used for the image processing apparatus 8, and the image processing apparatus 8 measures the narrowest width W 2 of the obtained image 9 in the horizontal direction as the dimension of the width W 1 of the measuring object 1.

ここで、図１０から図１４を用いて、以上のように形成されたテレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを用いると、図１に示したような画像９が得られる理由について説明する。また、得られた画像９の水平方向の最も細い幅Ｗ２が、測定対象１の幅Ｗ１の寸法となるのかについて説明する。 Here, the reason why the image 9 as shown in FIG. 1 is obtained by using the telecentric optical system T and the oblique slit optical system N formed as described above will be described with reference to FIGS. In addition, description will be made as to whether or not the horizontal width W2 of the obtained image 9 is the dimension of the width W1 of the measuring object 1.

図１０（ａ）は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを並列に並べた光学系における測定対象１から出た光の光路を側面から見たものであり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）に示した光路を上方から見たものである。ここでは、測定対象１は、矩形の板状物を、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを並列に並べた光学系の光軸に対して平行に、所定間隔を開けて並べてたものであり、奥行を備えるものである。前述のように、テレセントリック光学系Ｔは対物レンズ１１、第１のスリット絞り６及び凸レンズ１２を備えており、斜めスリット光学系Ｎは凸レンズ１３、１６、第１と第２のシリンドリカルレンズ１４，１５及び第２のスリット絞り５を備えている。 FIG. 10A is a side view of the optical path of the light emitted from the measuring object 1 in the optical system in which the telecentric optical system T and the oblique slit optical system N are arranged in parallel, and FIG. This is a view of the optical path shown in FIG. Here, the measurement object 1 is a rectangular plate-like object arranged in parallel with an optical axis of an optical system in which a telecentric optical system T and an oblique slit optical system N are arranged in parallel with a predetermined interval. Yes, with depth. As described above, the telecentric optical system T includes the objective lens 11, the first slit diaphragm 6, and the convex lens 12, and the oblique slit optical system N includes the convex lenses 13 and 16, and the first and second cylindrical lenses 14 and 15. And a second slit stop 5.

図１０（ａ）に示すように、測定対象１の上部から出た破線で示す光は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを通過すると、ＣＣＤカメラ４のＣＣＤ素子１７の上部に達する。また、測定対象１の中央の部分から出た実線で示す光は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを通過すると、ＣＣＤカメラ４のＣＣＤ素子１７の中央に達する。更に、測定対象１の下部から出た一点差線で示す光は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを通過すると、ＣＣＤカメラ４のＣＣＤ素子１７の下部に達する。 As shown in FIG. 10A, the light indicated by the broken line from the upper part of the measuring object 1 reaches the upper part of the CCD element 17 of the CCD camera 4 after passing through the telecentric optical system T and the oblique slit optical system N. Further, the light indicated by the solid line from the central portion of the measuring object 1 reaches the center of the CCD element 17 of the CCD camera 4 after passing through the telecentric optical system T and the oblique slit optical system N. Further, the light indicated by the one-point difference line coming out from the lower part of the measuring object 1 reaches the lower part of the CCD element 17 of the CCD camera 4 after passing through the telecentric optical system T and the oblique slit optical system N.

図１０（ｂ）は、３つの測定対象１から斜めに出た光の光路を示すものである。図１０（ｂ）には、測定対象１の前端面に垂直な方向（０度）の光を実線で示してあり、左側に斜めに出た光を破線で示してあり、右側に斜めに出た光を一点鎖線で示してある。各測定対象１から出た破線で示す光は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを通過すると、ＣＣＤカメラ４のＣＣＤ素子１７の左側に達する。また、各測定対象１から出た実線で示す光は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを通過すると、ＣＣＤカメラ４のＣＣＤ素子１７の中央に達する。更に、各測定対象１から出た一点差線で示す光は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを通過すると、ＣＣＤカメラ４のＣＣＤ素子１７の右側に達する。 FIG. 10B shows the optical paths of light emitted obliquely from the three measurement objects 1. In FIG. 10B, light in a direction perpendicular to the front end face of the measuring object 1 (0 degree) is indicated by a solid line, light emitted obliquely on the left side is indicated by a broken line, and light emitted obliquely on the right side. The light is shown with a dashed line. The light indicated by the broken line from each measurement object 1 reaches the left side of the CCD element 17 of the CCD camera 4 when passing through the telecentric optical system T and the oblique slit optical system N. Further, the light indicated by the solid line from each measurement object 1 reaches the center of the CCD element 17 of the CCD camera 4 after passing through the telecentric optical system T and the oblique slit optical system N. Further, the light indicated by the one-point difference line from each measurement object 1 reaches the right side of the CCD element 17 of the CCD camera 4 after passing through the telecentric optical system T and the oblique slit optical system N.

図１０（ａ）、（ｂ）に示した測定対象１から出た光を上部から出た光束、中央から出た光束及び下部から出た光束に分け、更に各光束を測定対象１に垂直な光束Ｃと左右に傾いた光束Ｌ，Ｒに分けた時の、各光束Ｌ，Ｃ，Ｒの光路を図１１から図１３に示す。図１１から図１３により、測定対象１の各部位（上部、中央、下部）から出た光束Ｌ，Ｃ，Ｒの第２のスリット絞り５までの光路と、第２のスリット絞り５をどの光束Ｌ，Ｃ，Ｒが通過できるかが分かる。なお、光束Ｌ，Ｃ，Ｒは以後単に光Ｌ，Ｃ，Ｒと記す。 The light emitted from the measuring object 1 shown in FIGS. 10A and 10B is divided into a light beam emitted from the upper part, a light beam emitted from the center, and a light beam emitted from the lower part, and each light beam is perpendicular to the measuring object 1. The optical paths of the light beams L, C, and R when divided into the light beam C and the light beams L and R tilted to the left and right are shown in FIGS. 11 to 13, the optical path to the second slit stop 5 of the light beams L, C, and R emitted from each part (upper, center, and lower) of the measurement target 1 and which light beam passes through the second slit stop 5. You can see if L, C, and R can pass through. The light beams L, C, and R are hereinafter simply referred to as lights L, C, and R.

図１１は、測定対象１の上部から出た３方向の光Ｌ，Ｃ，Ｒの光路を示すものである。光Ｌ，Ｃ，Ｒは、対物レンズ１１の上部を通過し、第１のスリット絞り６のスリットＳを通って凸レンズ１２，１３からなるフィールドレンズの下部に並んで達するが、並び順は左右逆になる。凸レンズ１２，１３を通過した光Ｌ，Ｃ，Ｒは、第１のシリンドリカルレンズ（シリンドリカル凸レンズ）１４で絞られ、第２のスリット絞り５の上部に達する。このとき、光Ｌ，Ｃ，Ｒの並び順は元に戻る。第２のスリット絞り５に、測定対象１の方向から見て左上がりのスリットＳがある場合、第２のスリット絞り５を通過できるのは、スリットＳの位置と到達位置が一致した左に傾いた光Ｌだけであり、この角度の光しかスリットＳを通過できない。 FIG. 11 shows the optical paths of the three directions of light L, C, and R emitted from the upper part of the measuring object 1. Lights L, C, and R pass through the upper part of the objective lens 11, pass through the slit S of the first slit diaphragm 6 and reach the lower part of the field lens including the convex lenses 12 and 13, but the order of arrangement is reversed. become. The lights L, C, and R that have passed through the convex lenses 12 and 13 are stopped by the first cylindrical lens (cylindrical convex lens) 14 and reach the upper part of the second slit stop 5. At this time, the arrangement order of the lights L, C, and R is restored. When the second slit diaphragm 5 has a slit S that is raised to the left when viewed from the direction of the measuring object 1, the second slit diaphragm 5 can pass through the second slit diaphragm 5 and is tilted to the left where the position of the slit S matches the arrival position. Only the light L, and only light having this angle can pass through the slit S.

図１２は、測定対象１の中央から出た３方向の光Ｌ，Ｃ，Ｒの光路を示すものである。光Ｌ，Ｃ，Ｒは、対物レンズ１１の中央を通過し、第１のスリット絞り６のスリットＳを通って凸レンズ１２，１３の中央に並んで達するが、並び順は左右逆になる。凸レンズ１２，１３を通過した光Ｌ，Ｃ，Ｒは、第１のシリンドリカルレンズ１４で絞られ、第２のスリット絞り５の中央に達する。このとき、光Ｌ，Ｃ，Ｒの並び順は元に戻る。第２のスリット絞り５に、測定対象１の方向から見て斜め方向のスリットＳがある場合、第２のスリット絞り５を通過できるのは、スリットＳの位置と到達位置が一致した傾きのない光Ｃだけであり、この角度の光しかスリットＳを通過できない。 FIG. 12 shows the optical paths of the light L, C, and R in three directions from the center of the measuring object 1. The lights L, C, and R pass through the center of the objective lens 11 and reach the center of the convex lenses 12 and 13 through the slit S of the first slit stop 6, but the order of arrangement is reversed left and right. The lights L, C, and R that have passed through the convex lenses 12 and 13 are stopped by the first cylindrical lens 14 and reach the center of the second slit stop 5. At this time, the arrangement order of the lights L, C, and R is restored. When the second slit diaphragm 5 has an oblique slit S as viewed from the direction of the measuring object 1, the second slit diaphragm 5 can pass through the second slit diaphragm 5 without an inclination in which the position of the slit S matches the arrival position. Only the light C can pass through the slit S.

図１３は、測定対象１の下部から出た３方向の光Ｌ，Ｃ，Ｒの光路を示すものである。光Ｌ，Ｃ，Ｒは、対物レンズ１１の下部を通過し、第１のスリット絞り６のスリットＳを通って凸レンズ１２，１３の上部に並んで達するが、並び順は左右逆になる。凸レンズ１２，１３を通過した光Ｌ，Ｃ，Ｒは、第１のシリンドリカルレンズ１４で絞られ、第２のスリット絞り５の下部に達する。このとき、光Ｌ，Ｃ，Ｒの並び順は元に戻る。第２のスリット絞り５に、測定対象１の方向から見て左上がりのスリットＳがある場合、第２のスリット絞り５を通過できるのは、スリットＳの位置と到達位置が一致した右に傾いた光Ｒだけであり、この角度の光しかスリットＳを通過できない。 FIG. 13 shows the optical paths of the light L, C, and R in three directions emitted from the lower part of the measuring object 1. The lights L, C, and R pass through the lower part of the objective lens 11 and reach the upper parts of the convex lenses 12 and 13 through the slits S of the first slit diaphragm 6, but the arrangement order is reversed left and right. The lights L, C, and R that have passed through the convex lenses 12 and 13 are stopped by the first cylindrical lens 14 and reach the lower portion of the second slit stop 5. At this time, the arrangement order of the lights L, C, and R is restored. When the second slit diaphragm 5 has a slit S that is left-upward when viewed from the direction of the measuring object 1, the second slit diaphragm 5 can pass through the second slit diaphragm 5 and is tilted to the right where the position of the slit S matches the arrival position. Only the light R, and only light having this angle can pass through the slit S.

図１４（ａ）は、測定対象１が縦横に所定間隔で規則正しく並べられた２５本の円柱Ｐである場合を示すものである。図１０から図１３を用いて説明したように、第１のスリット絞り６のスリットＳを通過できるのは一方向の光であり、この場合は幅Ｗ８の方向の光である。従って、測定対象１が図１４（ａ）に示すような２５本の円Ｐ柱である場合、幅Ｗ８の方向に延びるスリットＳを備える第１のスリット絞り６を通過する光は測定対象１の幅方向の光のみである。そして、幅方向の両端に位置する円柱ＰＬと円柱ＰＲは、主光軸から見ると傾いて見える。従って、第１のスリット絞り６を通過した光を撮像装置で撮影したとすると、図１４（ｂ）に示すような画像９が得られる。 FIG. 14A shows a case where the measuring object 1 is 25 cylinders P regularly arranged at predetermined intervals vertically and horizontally. As described with reference to FIGS. 10 to 13, light in one direction can pass through the slit S of the first slit diaphragm 6, and in this case, light in the direction of the width W 8. Therefore, when the measurement object 1 is 25 circular P pillars as shown in FIG. 14A, the light passing through the first slit stop 6 having the slit S extending in the width W8 direction is the measurement object 1. Only light in the width direction. The cylinders PL and PR located at both ends in the width direction appear to be inclined when viewed from the main optical axis. Therefore, if the light that has passed through the first slit diaphragm 6 is captured by the imaging device, an image 9 as shown in FIG. 14B is obtained.

ここで、図１４（ｂ）に示す画像９において、左上に位置する円柱の画像を画像９Ｘ、右下に位置する円柱の画像を画像９Ｙとする。図１３で説明したように、図１４（ｂ）の左上に位置する画像９Ｘは、凸レンズ１２，１３を通過した後に第１のシリンドリカルレンズ１４で絞られ、第２のスリット絞り５の右下に達してこれを通過する。また、図１１で説明したように、図１４（ｂ）の右下に位置する画像９Ｙは、凸レンズ１２，１３を通過した後に第１のシリンドリカルレンズ１４で絞られ、第２のスリット絞り５の左上に達してこれを通過する。この結果、図１４（ｂ）に示す画像９が凸レンズ１２，１３を通過した後にシリンドリカル凸レンズ１４で絞られ、第２のスリット絞り５を通過すると、図１４（ｃ）に示すような画像９が得られる。 Here, in the image 9 shown in FIG. 14B, an image of a cylinder located at the upper left is an image 9X, and an image of a cylinder located at the lower right is an image 9Y. As described with reference to FIG. 13, the image 9 X located in the upper left of FIG. 14B is stopped by the first cylindrical lens 14 after passing through the convex lenses 12 and 13, and is displayed at the lower right of the second slit stop 5. Reach and pass this. Further, as described with reference to FIG. 11, the image 9 Y located in the lower right of FIG. 14B is stopped by the first cylindrical lens 14 after passing through the convex lenses 12 and 13, and the second slit stop 5. Pass through this by reaching the top left. As a result, when the image 9 shown in FIG. 14B passes through the convex lenses 12 and 13 and is then stopped by the cylindrical convex lens 14 and passes through the second slit stop 5, the image 9 as shown in FIG. can get.

ここで図３に戻って、本発明の幅寸法測定装置から得られる画像について説明する。図３（ａ）は、測定対象１が直立した状態の正面図を示しており、図３（ｂ）は図３（ａ）に示した測定対象１の矢印Ａ方向の矢視図である。このような測定対象１を図１に示した幅寸法の測定装置１０で撮影すると、図３（ｃ）に示す画像９が得られる。画像９は、測定対象１そのものの影の上下部分に、左と右に片方ずつ斜めに突出する側面影部が加わったものである。よって、得られた画像９の最も細い水平方向の部分Ｗ１の長さを画像処理装置８で計測すれば、測定対象１の幅Ｗを測定することが可能である。 Here, returning to FIG. 3, an image obtained from the width dimension measuring apparatus of the present invention will be described. FIG. 3A shows a front view of the measuring object 1 in an upright state, and FIG. 3B is an arrow view of the measuring object 1 in the arrow A direction shown in FIG. When such a measuring object 1 is photographed with the measuring device 10 having the width shown in FIG. 1, an image 9 shown in FIG. 3C is obtained. The image 9 is obtained by adding a side shadow portion that protrudes obliquely to the left and to the right on the upper and lower portions of the shadow of the measurement object 1 itself. Therefore, if the length of the thinnest horizontal portion W1 of the obtained image 9 is measured by the image processing device 8, the width W of the measuring object 1 can be measured.

ところで、図３（ａ）に示した幅Ｗの測定対象１を、図４（ａ）に示すように左側に傾けた場合、測定対象１を矢印Ａ方向から見ると図４（ｂ）のようになり、これを図１に示した幅寸法の測定装置１０で撮影すると、図４（ｃ）に示す画像９が得られた。図４（ｃ）に示す画像９では、左と右に片方ずつ突出する側面影部の間にある画像の最も短い水平方向の部分Ｗ２は上部側に移動している。しかしながら、水平方向の部分Ｗ２の長さを画像処理装置８で計測すると、図３（ｃ）に示す画像９から得られた画像９の最も細い水平方向の部分Ｗ１の長さと同じ値であった。従って、図４（ｃ）に示す画像９を画像処理装置８で計測すれば、測定対象１の幅Ｗを測定することが可能である。 When the measuring object 1 having the width W shown in FIG. 3A is tilted to the left as shown in FIG. 4A, the measuring object 1 is viewed from the direction of arrow A as shown in FIG. 4B. Then, when this was photographed with the measuring apparatus 10 having the width shown in FIG. 1, an image 9 shown in FIG. 4C was obtained. In the image 9 shown in FIG. 4C, the shortest horizontal portion W2 of the image located between the side shadows protruding one by one to the left and right has moved upward. However, when the length of the horizontal portion W2 is measured by the image processing device 8, it is the same value as the length of the thinnest horizontal portion W1 of the image 9 obtained from the image 9 shown in FIG. . Therefore, if the image 9 shown in FIG. 4C is measured by the image processing device 8, the width W of the measuring object 1 can be measured.

同様に、図３（ａ）に示した幅Ｗの測定対象１を、図５（ａ）に示すように右側に傾けた場合、測定対象１を矢印Ａ方向から見ると図５（ｂ）のようになり、これを図１に示した幅寸法の測定装置１０で撮影すると、図５（ｃ）に示す画像９が得られた。図５（ｃ）に示す画像９では、左と右に片方ずつ突出する側面影部の間にある画像の最も短い水平方向の部分Ｗ３は下部側に移動している。しかしながら、水平方向の部分Ｗ２の長さを画像処理装置８で計測すると、図３（ｃ）に示す画像９から得られた画像９の最も細い水平方向の部分Ｗ１の長さと同じ値であった。従って、図５（ｃ）に示す画像９を画像処理装置８で計測すれば、測定対象１の幅Ｗを測定することが可能である。 Similarly, when the measuring object 1 having the width W shown in FIG. 3A is tilted to the right as shown in FIG. 5A, the measuring object 1 shown in FIG. When this was photographed with the measuring device 10 having the width shown in FIG. 1, an image 9 shown in FIG. 5C was obtained. In the image 9 shown in FIG. 5C, the shortest horizontal portion W3 of the image located between the side shadow portions protruding one by one to the left and right has moved downward. However, when the length of the horizontal portion W2 is measured by the image processing device 8, it is the same value as the length of the thinnest horizontal portion W1 of the image 9 obtained from the image 9 shown in FIG. . Therefore, if the image 9 shown in FIG. 5C is measured by the image processing device 8, the width W of the measurement object 1 can be measured.

図６（ａ）は、図２（ｃ）に示した第２のスリット絞り５のスリットＳの傾斜角度が、測定対象の幅方向から３０°である場合を示すものである。第２のスリット絞り５のスリットＳの傾斜角度が３０°である場合は、図１に示した幅寸法の測定装置１０で測定対象１を撮影すると、得られた画像９の左右に突出する側面影部のチルト角ＴＡが大きい。しかしながら、図６（ｂ）に示すように、得られた画像９には最も細い測定対象の幅方向の部分Ｗ４が現れるので、この部分Ｗ４の長さを測定すれば、測定対象１の幅方向の長さＷを測定することができる。 FIG. 6A shows a case where the inclination angle of the slit S of the second slit diaphragm 5 shown in FIG. 2C is 30 ° from the width direction of the measurement object. When the inclination angle of the slit S of the second slit diaphragm 5 is 30 °, when the measuring object 1 is photographed with the measuring device 10 having the width dimension shown in FIG. The shadow tilt angle TA is large. However, as shown in FIG. 6 (b), since the portion W4 in the width direction of the thinnest measurement object appears in the obtained image 9, if the length of this portion W4 is measured, the width direction of the measurement object 1 is measured. Can be measured.

図７（ａ）は、図２（ｃ）に示した第２のスリット絞り５のスリットＳの傾斜角度が、水平方向から４５°である場合を示すものである。第２のスリット絞り５のスリットＳの傾斜角度が４５°である場合は、図１に示した幅寸法の測定装置１０で測定対象１を撮影すると、得られた画像９の左右に突出する側面影部のチルト角ＴＡが、スリットＳの傾斜角度が３０°である場合に比べて小さい。しかしながら、図７（ｂ）に示すように、得られた画像９には最も細い測定対象の幅方向の部分Ｗ５が現れるので、この部分Ｗ５の長さを測定すれば、測定対象１の幅方向の長さＷを測定することができる。 FIG. 7A shows a case where the inclination angle of the slit S of the second slit diaphragm 5 shown in FIG. 2C is 45 ° from the horizontal direction. When the inclination angle of the slit S of the second slit diaphragm 5 is 45 °, when the measuring object 1 is photographed with the measuring device 10 having the width dimension shown in FIG. The tilt angle TA of the shadow portion is smaller than that when the tilt angle of the slit S is 30 °. However, as shown in FIG. 7B, since the portion W5 in the width direction of the thinnest measurement object appears in the obtained image 9, if the length of this portion W5 is measured, the width direction of the measurement object 1 is measured. Can be measured.

図８（ａ）は、図２（ｃ）に示した第２のスリット絞り５のスリットＳの傾斜角度が、水平方向から６０°である場合を示すものである。第２のスリット絞り５のスリットＳの傾斜角度が６０°である場合は、図１に示した幅寸法の測定装置１０で測定対象１を撮影すると、得られた画像９の左右に突出する側面影部のチルト角ＴＡが、スリットＳの傾斜角度が４５°である場合に比べて小さい。しかしながら、図８（ｃ）に示すように、得られた画像９には最も細い測定対象の幅方向の部分Ｗ６が現れるので、この部分Ｗ６の長さを測定すれば、測定対象１の幅方向の長さＷを測定することができる。 FIG. 8A shows a case where the inclination angle of the slit S of the second slit diaphragm 5 shown in FIG. 2C is 60 ° from the horizontal direction. When the inclination angle of the slit S of the second slit diaphragm 5 is 60 °, when the measuring object 1 is photographed with the measuring device 10 having the width dimension shown in FIG. The tilt angle TA of the shadow portion is smaller than when the tilt angle of the slit S is 45 °. However, as shown in FIG. 8C, since the width W of the thinnest measurement object appears in the obtained image 9, if the length of the part W6 is measured, the width direction of the measurement object 1 is measured. Can be measured.

図９（ａ）は、図２（ｃ）に示した第２のスリット絞り５のスリットＳの傾斜角度と撮影された画像におけるチルト角度ＴＡ及び被写界震度の関係を示すものである。図９（ａ）から、スリットＳの傾斜角度と被写界震度の関係が分かるので、第２のスリット絞り５は、測定対象の奥行に応じて、斜め方向のスリットＳの傾斜角度が異なるものに交換すれば良い。このため、図１に示した幅寸法の測定装置１０では、第２のスリット絞り５を交換できるようにすれば良い。そして、図９（ａ）に示す特性から、測定対象１の奥行が長いほど、第２のスリット絞り５として、斜め方向のスリットＳの傾斜角度が大きいものを使用すれば良いことが分かる。 FIG. 9A shows the relationship between the tilt angle of the slit S of the second slit diaphragm 5 shown in FIG. 2C, the tilt angle TA and the seismic field intensity in the photographed image. 9A shows the relationship between the inclination angle of the slit S and the seismic intensity of the object field, the second slit diaphragm 5 has a different inclination angle of the slit S in the oblique direction according to the depth of the measurement object. You can replace it. For this reason, in the measuring device 10 of the width dimension shown in FIG. 1, the second slit diaphragm 5 may be exchanged. From the characteristics shown in FIG. 9A, it can be seen that the longer the depth of the measuring object 1, the larger the tilt angle of the oblique slit S may be used as the second slit diaphragm 5.

図９（ａ）に示す特性から、スリットの傾斜角度は０から９０度の範囲であり、この範囲における被写界深度の大きさには上限があり、また、被写界深度とチルト角度とが背反の関係にあることも分かる。従って、本発明の幅寸法の測定装置１０には、図９（ｂ）に示す被写界震度に対する撮影された画像におけるチルト角度の関係から分かるように、適用が出来ない範囲があり、適用可能範囲に制限がある。 From the characteristics shown in FIG. 9A, the tilt angle of the slit is in the range of 0 to 90 degrees, and there is an upper limit to the depth of field in this range, and the depth of field, tilt angle, and It can also be seen that there is a contradiction. Accordingly, the width dimension measuring apparatus 10 according to the present invention has a range in which it cannot be applied, as can be seen from the relationship of the tilt angle in the captured image with respect to the seismic intensity of the field shown in FIG. The range is limited.

このように、本発明の幅寸法の測定装置では、測定装置に対して測定対象が傾いていても、第２のスリット絞りにあるスリットの傾斜角度を調整することで得られた画像の最も細い水平方向の部分の長さを測定すれば、測定対象の幅方向の長さが得られる。 As described above, in the width dimension measuring device according to the present invention, even when the measurement target is tilted with respect to the measuring device, the thinnest image obtained by adjusting the tilt angle of the slit in the second slit diaphragm. If the length of the horizontal portion is measured, the length in the width direction of the measurement object can be obtained.

また近年、自動車用空調装置の冷媒凝縮器に適用される熱交換器においては、素材費のコストダウンを図るために、多孔管を帯状板材を折り曲げてチューブを形成し、内部にインナーフィンを設ける板成型によるインナーフィンチューブが使用される。このようなインナーフィンチューブを採用した熱交換器では、インナーフィンチューブは、帯状板材が折り曲げられて偏平な管に形成され、管の内壁面に波状のインナーフィンの折り返し部がロウ付けされて多孔管が形成される。そして、インナーフィンのロウ付け不良があるとインナーフィンチューブの厚さが変化する。従って、このようなインナーフィンチューブの幅寸法の測定に本発明の幅寸法の測定装置は有効に使用することができる。 Further, in recent years, in a heat exchanger applied to a refrigerant condenser of an automotive air conditioner, in order to reduce the material cost, a tube is formed by bending a strip of a perforated tube and an inner fin is provided inside. An inner fin tube by plate molding is used. In a heat exchanger that employs such an inner fin tube, the inner fin tube is formed into a flat tube by bending a strip-shaped plate material, and the folded portion of the corrugated inner fin is brazed to the inner wall surface of the tube. A tube is formed. And when there is a brazing defect of the inner fin, the thickness of the inner fin tube changes. Therefore, the width dimension measuring device of the present invention can be effectively used for measuring the width dimension of such an inner fin tube.

１測定対象
４撮像装置（ＣＣＤカメラ）
５第２のスリット絞り（斜め絞り）
６第１のスリット絞り
８画像処理装置
９画像
１０幅寸法の測定装置
１１対物レンズ
１２，１３、１６凸レンズ
１４第１のシリンドリカルレンズ（シリンドリカル凸レンズ）
１５第２のシリンドリカルレンズ（シリンドリカル凹レンズ）
１７ＣＣＤ素子
Ｓスリット
ＴＡチルト角度 1 Measurement object 4 Imaging device (CCD camera)
5 Second slit diaphragm (diagonal diaphragm)
6 first slit stop 8 image processing device 9 image 10 width dimension measuring device 11 objective lens 12, 13, 16 convex lens 14 first cylindrical lens (cylindrical convex lens)
15 Second cylindrical lens (cylindrical concave lens)
17 CCD element S Slit TA Tilt angle

Claims

A measuring device for measuring the width of a measuring object (1) having a depth,
A telecentric optical system that uses a first slit diaphragm (6) having a slit parallel to the width direction at the diaphragm position to select incident light from the width direction of the measurement object (1) and emit it as parallel light. (T),
A first cylindrical lens (14) for varying the focal lengths of the light emitted from the telecentric optical system (T) in the X and Y directions, and the first cylindrical lens (14) having an oblique slit. The second slit diaphragm (5) that selectively allows the outgoing light to pass through and the second slit lens (15) that adjusts the focal length of the outgoing light from the second slit diaphragm (5) to be the same. System (N),
An imaging device (4) placed at the focal position of the outgoing light from the oblique slit optical system (N), and
A width dimension measuring device comprising an image processing device (8) for measuring the narrowest horizontal width of an image obtained from the imaging device (4) as the width dimension of the measuring object (1). .

The telecentric optical system (T) includes an objective lens (11) and a convex lens (12) sandwiching the first slit stop (6),
The first cylindrical lens (14) is a cylindrical convex lens, the second cylindrical lens (15) is a cylindrical concave lens, and a convex lens (12) is disposed in front of the first cylindrical lens (14). The width dimension measuring device according to claim 1, wherein a convex lens (16) is arranged downstream of the second cylindrical lens (15).

The said width dimension measuring apparatus is provided with the surface light source (2) which irradiates the said measuring object (1) from back, The width dimension measuring apparatus of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned.

The second slit diaphragm (5) is replaceable;
4. The apparatus according to claim 1, wherein the second slit diaphragm is replaced with the second slit diaphragm having an inclination angle of the oblique slit according to the depth of the measurement object. Measuring device for the width dimension.

The longer the depth of the measuring object (1), the larger the inclination angle of the oblique slit (S) is used as the second slit diaphragm (5). Measuring device for the width dimension.