JP2013140314A - Manufacturing method of antireflection film, manufacturing method of mold for manufacturing antireflection film, and mold for manufacturing antireflection film - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、モスアイ構造に係る反射防止フィルムに関するものである。 The present invention relates to an antireflection film according to a moth-eye structure.
近年、フラットパネルディスプレイにおける反射防止技術の1つとして、凹凸の周期が可視光の波長以下に制御された微細な凹凸パターンを表面に形成することによって反射防止を図る技術が注目されている(特許文献1〜6参照)。このような方法は、いわゆるモスアイ(moth eye(蛾の目))構造の原理を利用したものであり、入射光に対する屈折率を基板の厚み方向に連続的に変化させ、屈折率の不連続界面を消失させることによって光の反射を防止するものである。 In recent years, attention has been focused on a technique for preventing reflection by forming a fine concavo-convex pattern on the surface with a concavo-convex cycle controlled to be equal to or less than the wavelength of visible light as one of the antireflection techniques in flat panel displays (patent) Reference 1-6). Such a method is based on the principle of a so-called moth-eye structure, in which the refractive index for incident light is continuously changed in the thickness direction of the substrate, and the discontinuous interface of the refractive index. The reflection of light is prevented by eliminating the light.
このようなモスアイ構造は、その微細な凹凸形状を反転させた形状を有する製造用金型を用いて、その凹凸形状を任意の樹脂層に転写することによって製造されるのが一般的である。従ってモスアイ構造の反射防止フィルムを作製する方法としては、基板上に紫外線硬化性樹脂等からなる樹脂層を形成した後、上記のような製造用金型を用いて当該樹脂層の表面にモスアイ構造を賦型し、さらに当該樹脂層を硬化させることによって形成する方法を用いることができる。このような製造方法は、簡易な方法で、かつ高い製造効率で反射防止フィルムを連続的に製造することができる。 Such a moth-eye structure is generally manufactured by transferring the concavo-convex shape to an arbitrary resin layer using a manufacturing mold having a shape obtained by inverting the fine concavo-convex shape. Therefore, as a method for producing an antireflection film having a moth-eye structure, a resin layer made of an ultraviolet curable resin or the like is formed on a substrate, and then the moth-eye structure is formed on the surface of the resin layer using the manufacturing mold as described above. And forming the resin layer by curing the resin layer. Such a manufacturing method can manufacture an antireflection film continuously with a simple method and high manufacturing efficiency.
このような反射防止フィルムの製造に関して、特許文献7には、転写用の微細な凹凸形状を周側面に作製した円柱形状による製造用金型(いわゆるロール版である)を使用して、効率良く反射防止フィルムを生産する工夫が提案されている。またこの種の製造用金型は、アルミニウムの陽極酸化を利用して微細穴を密に形成して作製され、例えば特許文献8にはこの種の製造用金型の作製に関する工夫が提案されている。
With respect to the production of such an antireflection film, Patent Document 7 discloses that a manufacturing die (a so-called roll plate) having a cylindrical shape in which fine irregularities for transfer are produced on the peripheral side surface is used efficiently. A device for producing an antireflection film has been proposed. In addition, this type of manufacturing mold is manufactured by densely forming fine holes by utilizing anodization of aluminum. For example,
ところでロール版を使用して反射防止フィルムを作製する場合には、長尺のフィルム材を連続処理して作製することができることにより、反射防止フィルムを簡易かつ大量に量産することができる。しかしながらロール版を使用した反射防止フィルムの製造では、実用上未だ不十分な問題がある。 By the way, when producing an antireflection film using a roll plate, an antireflection film can be easily mass-produced easily and in large quantities because it can be produced by continuously treating a long film material. However, in the production of an antireflection film using a roll plate, there is a problem that is still insufficient in practice.
すなわち賦型に供する金型は、微細な凹凸形状を均一かつ精度良く作製することが必要である。ロール版では、このような微細な凹凸形状を周側面に作製することが必要であり、これにより精度の高いロール版を簡易に作製することが困難な問題があった。 In other words, the mold used for shaping needs to produce a fine uneven shape uniformly and accurately. In the roll plate, it is necessary to produce such a fine uneven shape on the peripheral side surface, which makes it difficult to easily produce a highly accurate roll plate.
またこの種のモスアイ構造に係る反射防止フィルムは、可視光の波長以下の周期による微細な凹凸構造を備える。これによりこの種の金型は、賦型後の離型時に加わる応力等により徐々に劣化する問題ある。 An antireflection film according to this type of moth-eye structure has a fine concavo-convex structure with a period equal to or shorter than the wavelength of visible light. As a result, this type of mold has a problem that it gradually deteriorates due to stress applied at the time of mold release after molding.
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、モスアイ構造に係る反射防止フィルムに関して、ロール版に関する各種の問題点を一挙に回避して、均一かつ精度良く微細構造を作製し、かつ生産による劣化を有効に回避することができる反射防止フィルムの製造方法、反射防止フィルム製造用金型の製造方法及び反射防止フィルム製造用金型を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a situation, and regarding the antireflection film according to the moth-eye structure, various problems related to the roll plate are avoided at once, and a fine structure is produced uniformly and accurately, and It is an object of the present invention to provide an antireflection film manufacturing method, an antireflection film manufacturing mold manufacturing method, and an antireflection film manufacturing mold capable of effectively avoiding deterioration due to production.
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ね、長尺のアルミニウムのフィルムを用いて製造用金型を生産する、との着想に至り、本発明を完成するに至った。 The present inventor has intensively studied to solve the above-mentioned problems, and has come to the idea of producing a mold for production using a long aluminum film, and has completed the present invention.
具体的には、本発明では、以下のようなものを提供する Specifically, the present invention provides the following.
(1) 長尺のロール材による基材と、長尺のロール材であって、表面にモスアイ構造の賦型に供する凹凸形状が作製されたアルミニウムのフィルムによる製造用金型とを積層して、前記製造用金型に作製された凹凸形状を前記基材に賦型する賦型工程と、
前記製造用金型より前記基材を剥離させる剥離工程とを備えるようにする。
(1) Laminating a base material made of a long roll material and a production die made of an aluminum film, which is a long roll material and has a concavo-convex shape for forming a moth-eye structure on the surface. , A forming step of forming the uneven shape produced in the manufacturing mold on the base material,
A peeling step of peeling the base material from the manufacturing mold.
長尺のロール材であって、表面にモスアイ構造の賦型に供する凹凸形状が作製されたアルミニウムのフィルムによる製造用金型は、アルミニウムのフィルムの連続した処理により作製することができ、これにより均一かつ高い精度により賦型に供する微細形状を作製することができる。また例えば一回限りの使い捨てとすることも可能であることにより、製造による劣化を何ら考慮することなく、反射防止フィルムを生産することができる。これらによりロール版に関する各種の問題点を一挙に回避して、高い精度により反射防止フィルムを効率良く量産することができる。 A long roll material, on the surface of which an uneven shape for forming a moth-eye structure is produced, an aluminum mold for production can be produced by continuous treatment of an aluminum film, thereby A fine shape for shaping can be produced with uniform and high accuracy. Further, for example, since it can be used only once, it is possible to produce an antireflection film without considering deterioration due to manufacturing. Thus, various problems related to the roll plate can be avoided at once, and the antireflection film can be efficiently mass-produced with high accuracy.
(2) (1)において、さらに長尺のロール材によるアルミニウムのフィルムを陽極酸化処理及びエッチング処理して、前記凹凸形状を作製する金型作製工程を有する。 (2) In (1), the method further includes a mold manufacturing step in which an aluminum film made of a long roll material is anodized and etched to produce the uneven shape.
(2)によれば、長尺のロール材であって、表面にモスアイ構造の賦型に供する凹凸形状が作製されたアルミニウムのフィルムによる製造用金型を具体的に作製することができる。 According to (2), it is possible to specifically produce a production die made of an aluminum film, which is a long roll material and has a concavo-convex shape to be used for shaping a moth-eye structure on the surface.
(3) (1)又は(2)において、
前記アルミニウムのフィルムは、
前記凹凸形状を作製する面とは逆側面に保護フィルムが設けられた。
(3) In (1) or (2),
The aluminum film is
A protective film was provided on the side opposite to the surface on which the uneven shape was produced.
(3)によれば、アルミニウム箔を設けた各種のフィルム材等を利用して製造用金型を作製することができる。また強度を確保することができる。 According to (3), it is possible to produce a manufacturing mold using various film materials provided with an aluminum foil. Moreover, strength can be ensured.
(4) 前記保護フィルムを、前記凹凸形状を作製する面とは逆側面に配置する補強工程を有する。
(4)によれば、製造時の要求に対応するように強度等を種々に設定することができる。
(4) It has the reinforcement process which arrange | positions the said protective film on the opposite side to the surface which produces the said uneven | corrugated shape.
According to (4), the strength and the like can be variously set so as to correspond to the requirements at the time of manufacture.
(5) 基材への凹凸形状の賦型により反射防止フィルムを製造する反射防止フィルム製造用金型の製造方法において、
長尺のロール材によるアルミニウムのフィルムを陽極酸化処理及びエッチング処理して、前記凹凸形状を作製する金型作製工程を有する。
(5) In the manufacturing method of the metal mold | die for antireflection film manufacture which manufactures an antireflection film by the shaping | molding of the uneven | corrugated shape to a base material,
It has the metal mold | die preparation process which produces the said uneven | corrugated shape by anodizing and etching the aluminum film by a long roll material.
(5)によれば、アルミニウムのフィルムの連続した処理により作製することができ、これにより均一かつ高い精度により賦型に供する微細形状を作製することができる。また例えば一回限りの使い捨てとすることも可能であることにより、製造による劣化を何ら考慮することなく、反射防止フィルムを生産することができる。これらによりロール版に関する各種の問題点を一挙に回避して、高い精度により反射防止フィルムを効率良く量産することができる。 According to (5), it can produce by the continuous process of the film of aluminum, and, thereby, the fine shape which uses for shaping with uniform and high precision can be produced. Further, for example, since it can be used only once, it is possible to produce an antireflection film without considering deterioration due to manufacturing. Thus, various problems related to the roll plate can be avoided at once, and the antireflection film can be efficiently mass-produced with high accuracy.
(6) 基材への凹凸形状の賦型により反射防止フィルムを製造する反射防止フィルム製造用金型において、
長尺のロール材によるアルミニウムのフィルムであって、
陽極酸化処理及びエッチング処理により、表面に、賦型に供する前記凹凸形状が作製された。
(6) In an antireflection film manufacturing mold for manufacturing an antireflection film by forming an uneven shape on a substrate,
An aluminum film made of a long roll material,
By the anodizing treatment and the etching treatment, the concavo-convex shape for forming was produced on the surface.
(6)によれば、アルミニウムのフィルムの連続した処理により作製することができ、これにより均一かつ高い精度により賦型に供する微細形状を作製することができる。また例えば一回限りの使い捨てとすることも可能であることにより、製造による劣化を何ら考慮することなく、反射防止フィルムを生産することができる。これらによりロール版に関する各種の問題点を一挙に回避して、高い精度により反射防止フィルムを効率良く量産することができる。 According to (6), it can produce by the continuous process of the film of aluminum, and, thereby, the fine shape used for shaping can be produced with uniform and high precision. Further, for example, since it can be used only once, it is possible to produce an antireflection film without considering deterioration due to manufacturing. Thus, various problems related to the roll plate can be avoided at once, and the antireflection film can be efficiently mass-produced with high accuracy.
モスアイ構造に係る反射防止フィルムに関して、ロール版に関する各種の問題点を一挙に回避して、均一かつ精度良く微細構造を作製し、かつ生産による劣化を有効に回避することができる。 With respect to the antireflection film related to the moth-eye structure, various problems related to the roll plate can be avoided at once, a fine structure can be produced uniformly and accurately, and deterioration due to production can be effectively avoided.
〔第1実施形態〕
図1は、本発明の第1実施形態に係る反射防止フィルムを示す図である。反射防止フィルム1は、透明フィルムによる基材2に凹凸膜3を配置して作製される。ここで基材2は、例えばTAC(Triacetylcellulose)、アクリル、PET(Polyethylene terephthalate)、PC(Polycarbonate)等の各種透明フィルムを適用することができる。反射防止フィルム1は、反射防止フィルム製造用金型を使用して、基材2の表面に、紫外線硬化性樹脂4により微細な凹凸形状を作製して凹凸膜3が作製成される。反射防止フィルム1は、この凹凸膜3による微細な凹凸形状により厚み方向に徐々に屈折率が変化するように作製され、モスアイ構造の原理により広い波長範囲で入射光の反射を防止する。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a view showing an antireflection film according to the first embodiment of the present invention. The
図2は、この反射防止フィルム1の製造工程を示す図である。この製造工程10は、金型作製工程11において、モスアイ構造の賦型に供する金型を作製する。より具体的に金型作製工程11では、アルミニウムの陽極酸化処理とエッチング処理(符号12により示す)との繰り返しにより、賦型に供する微細穴を密に作製し、この微細穴を掘り進めながら穴径を拡大して金型を作製する。
FIG. 2 is a diagram showing a manufacturing process of the
続いてこの製造工程10は、賦型工程13において、金型作製工程で作製した金型を使用して基材2にモスアイ構造に係る微細構造を賦型する。すなわちこの賦型工程13において、基材2は長尺のロール材により供給される。賦型工程13では、紫外線硬化性樹脂塗布工程(UV樹脂塗布)14において、基材2に紫外線硬化性樹脂4を塗布した後、金型作製工程11で作製した製造用金型に基材2を押し付け、続く紫外線硬化性樹脂硬化工程(UV硬化)15において、紫外線を照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させ、これにより基材2にモスアイ構造に係る微細構造を賦型する。
Subsequently, in the
続いてこの製造工程10は、剥離工程16において、基材2から賦型に供した製造用金型を剥離する。製造工程10は、必要に応じてこの基材2に粘着層等を作製した後、所望の大きさに切断して反射防止フィルム1が作製される。これにより反射防止フィルム1は、ロール材による長尺の基材2の連続処理により効率良く量産される。
Subsequently, in the
図3は、金型作製工程11を詳細に示す図である。この金型作製工程11では、ロール材による長尺のアルミニウムのフィルムに、陽極酸化処理とエッチング処理とを繰り返してモスアイ構造に係る微細構造を作製し、賦型に供する製造用金型を作製する。ここでこのアルミニウムのフィルムは、不純物が少なく、かつピンホールの無い高純度圧延フィルムが適用される。また少なくともモスアイ構造を作製する側の面が、鏡面(例えば算術平均粗さRaが0.05μm以下)に仕上げられているものが適用され、反射率が90%以上のものが適用される。また後述する一連の処理を適用可能な一定のいわゆる腰の出る厚みのものが適用される。
FIG. 3 is a diagram showing the
この実施形態では、このロール材による長尺のアルミニウムのフィルムを処理して作製された製造用金型を使用して、モスアイ構造に係る微細な凹凸形状を賦型し、これによりロール版を使用する場合の各種の問題点を一挙に解決して、高い精度により効率良く反射防止フィルムを量産する。 In this embodiment, by using a manufacturing die produced by processing a long aluminum film with this roll material, a fine uneven shape relating to the moth-eye structure is formed, thereby using a roll plate Various problems in doing so are solved at once, and mass production of antireflection films is efficiently performed with high accuracy.
すなわちこのようなロール材による長尺のアルミニウムのフィルムを処理して作製された製造用金型にあっては、後述するように、アルミニウムのフィルムを搬送しながらの連続した処理により陽極酸化処理、エッチング処理を実行できることにより、均一かつ高い精度により賦型に供する微細形状を作製することができる。また例えば一回限りの使い捨てとすることも可能であることにより、製造による劣化を何ら考慮することなく、反射防止フィルムを生産することができる。 That is, in the manufacturing mold produced by processing a long aluminum film with such a roll material, as will be described later, anodizing treatment is performed by continuous processing while conveying the aluminum film, By performing the etching process, it is possible to produce a fine shape to be subjected to shaping with uniform and high accuracy. Further, for example, since it can be used only once, it is possible to produce an antireflection film without considering deterioration due to manufacturing.
この金型作製工程11では、供給ロール21からこのアルミニウムのフィルム20が順次供給される。この金型作製工程11は、このアルミニウムのフィルム20を電解研磨した後(12A)、陽極酸化12B、水洗12C、エッチング12Dの処理を所定回数繰り返し、水洗12Eする。また続いて乾燥機22により乾燥させ、これによりアルミニウムのフィルムに賦型に供する微細構造を作製した製造用金型25を作製し、この製造用金型25を中間リール23に巻き取って次工程に搬送する。この時必要に応じて中間リール23にシリコーンなどを離型剤として塗布してもよい。
In the
図4は、紫外線硬化性樹脂塗布工程14を示す図である。この紫外線硬化性樹脂塗布工程14は、供給ロール30から長尺のロール材による基材2が順次供給される。この紫外線硬化性樹脂塗布工程14は、ローラ31を介してこの基材2を搬送し、グラビアコートの手法を適用して紫外線硬化性樹脂4を塗布する。すなわち紫外線硬化性樹脂塗布工程14は、基材2をシリンダーロール33及びバックロール32に導く。さらにこれらシリンダーロール33及びバックロール32により基材2を挟持して搬送し、インクパン34に保持された紫外線硬化性樹脂4の塗布液をシリンダーロール33により塗布する。
FIG. 4 is a diagram showing the ultraviolet curable
紫外線硬化性樹脂塗布工程14は、続いてローラ35を介してこの基材2を乾燥機36に搬送し、ここで紫外線硬化性樹脂4を乾燥させる。さらに中間リール23より引き出した製造用金型25に基材2を重ね合わせて押圧ローラ38A、38Bに搬送し、ここで基材2に製造用金型25を押し付け、基材2に塗布した紫外線硬化性樹脂4を賦型する。続いてこの工程は、製造用金型25と基材2とを重ね合わせた状態で、中間リール39に巻き取って次工程に搬送する。
In the ultraviolet curable
図5は、紫外線硬化性樹脂硬化工程15を示す図である。この工程15は、基材2及び製造用金型25の積層体を中間リール39から引き出して搬送し、ローラ41により押圧しながらこの積層体をローラ43に巻き付ける。ここでこのローラ43には周囲に紫外線を照射する光源44が配置され、これによりこの光源44から照射される紫外線により基材2に塗布した紫外線を硬化させる。その後、紫外線硬化性樹脂硬化工程15は、ローラ42、45を介して基材2及び製造用金型5の積層体を搬送し、中間リール46に巻き取って次工程に搬送する。
FIG. 5 is a diagram showing the ultraviolet curable
図6は、剥離工程16を示す図である。この工程16は、中間リール46から基材2及び製造用金型5の積層体を引き出し、ローラ51、52に搬送する。ここでこの工程16は、ローラ51、52により挟持して基材2及び製造用金型5の積層体を搬送し、基材2側をリール54に巻き取ると共に、基材2から製造用金型5を剥離してリール53に巻き取る。これによりこの剥離工程16は、このリール54に反射防止フィルム1が巻き取られ、この製造工程は、このリール54に巻き取った反射防止フィルム1を切断等の工程に搬送することになる。
FIG. 6 is a diagram showing the
図7は、金型作製工程11における陽極酸化12B及び水洗12C(図7(A))とエッチング12D(図7(B))との処理の説明に供する図である。陽極酸化の工程では、陽極酸化用の電圧供給電極を兼用するローラ61を介して、アルミニウムのフィルム20を洗浄槽62に搬送して洗浄した後、第1〜第3の陽極酸化槽63A、63B、64Bにより順次陽極酸化処理を実行する。また続いて洗浄槽64により陽極酸化に供した薬液を洗浄した後、図示しない乾燥機により乾燥させてローラ65により次工程に搬送する。
FIG. 7 is a diagram for explaining the processing of
エッチングの工程では、前処理槽66により前処理した後、エッチング槽67によりエッチング処理し、続く水洗槽68A、68B、純水処理槽68Cによりエッチングに供した薬液を順次洗浄して搬送する。
In the etching step, the pretreatment is performed in the
以上の構成によれば、ロール材による長尺のアルミニウムのフィルムを処理して製造用金型を作製することにより、均一かつ高い精度により賦型に供する微細形状を作製することができ、また例えば一回限りの使い捨てとすることも可能であることにより、製造による劣化も何ら考慮することなく反射防止フィルムを生産することができる。これによりロール版に関する各種の問題点を一挙に回避して、高い精度により反射防止フィルムを効率良く量産することができる。 According to the above configuration, by processing a long aluminum film with a roll material to produce a production mold, it is possible to produce a fine shape to be subjected to shaping with uniform and high accuracy. Since it can be made disposable once, an antireflection film can be produced without considering any deterioration due to production. Accordingly, various problems relating to the roll plate can be avoided at once, and the antireflection film can be mass-produced efficiently with high accuracy.
またこのとき長尺のロール材によるアルミニウムのフィルムを陽極酸化処理及びエッチング処理して、賦型用の金型を作製することにより、具体的に表面にモスアイ構造の賦型に供する凹凸形状が作製されたアルミニウムのフィルムによる製造用金型を作製することができる。 Also, at this time, an aluminum film made of a long roll material is anodized and etched to produce a mold for molding, so that a concavo-convex shape to be used for molding a moth-eye structure on the surface is produced. A mold for production of the aluminum film thus produced can be produced.
〔第2実施形態〕
図8は、図2との対比により本発明の第2実施形態に係る反射防止フィルムの製造工程を示す図である。この製造工程10では、原反作製工程70において、事前にアルミニウムのフィルムを処理する点を除いて、上述の実施形態と同一に構成される。
[Second Embodiment]
FIG. 8 is a diagram showing a manufacturing process of the antireflection film according to the second embodiment of the present invention in comparison with FIG. This
ここでこの原反作製工程70は、アルミニウムのフィルムの裏面に、補強用の保護フィルムを配置する。これによりこの実施形態では、アルミニウムの使用量を低減して、充分な強度を確保する。なおこの補強用の保護フィルムは、TAC、アクリル、PET、PC等の各種のフィルムを適用することができる。またこの配置には、粘着層を使用した貼合わせ、接着材を使用した貼合わせ等の各種の手法を適用することができる。
Here, in the original
図9は、原反作製工程70を詳細に示す図である。この実施形態では、保護フィルムにPETを適用し、粘着剤を使用した貼合わせにより保護フィルムを配置する。すなわちこの原反作製工程70は、供給ロール81から粘着剤を塗布した保護フィルム83が供給され、ローラ82を介してこの保護フィルム83をローラ85A、85Bに搬送する。またこの工程70は、供給ロール84からアルミニウムのフィルム71が供給され、このアルミニウムのフィルム71をローラ85A、85Bに搬送する。この工程70は、保護フィルム83とアルミニウムのフィルム71とを積層してローラ85A、85Bにより押圧し、これによりアルミニウムのフィルム71に保護フィルム83を配置して中間リール87に巻き取る。
FIG. 9 is a diagram showing the original
この第2実施形態では、この中間リール87に巻き取ったアルミニウムのフィルムを第1実施形態と同様に処理して反射防止フィルムを製造する。
In the second embodiment, an aluminum film wound on the
この実施形態では、アルミニウムのフィルムに保護フィルムを配置するようにしても、第1実施形態と同様の効果を得ることができる。またこのように保護フィルムを配置することにより、一連の反射防止フィルムの製造工程で求められる各種の要求に柔軟に対応できるようにして製造用金型を生産することができる。 In this embodiment, even if a protective film is disposed on an aluminum film, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. Further, by disposing the protective film in this way, it is possible to produce a production die so as to be able to flexibly meet various demands required in a series of manufacturing processes of the antireflection film.
〔第3実施形態〕
図10は、図9との対比による本発明の第3実施形態に係る原反作製工程を示す図である。この実施形態では、この図10に示す構成が異なる点を除いて、第2実施形態と同一に構成される。この実施形態では、保護フィルムにPETを適用し、ドライラミネートである接着剤を使用した貼合わせにより保護フィルムを配置する。
[Third Embodiment]
FIG. 10 is a diagram showing an original fabric manufacturing process according to the third embodiment of the present invention in comparison with FIG. This embodiment has the same configuration as that of the second embodiment except that the configuration shown in FIG. 10 is different. In this embodiment, PET is applied to the protective film, and the protective film is disposed by bonding using an adhesive that is a dry laminate.
すなわちこの原反作製工程70は、供給ロール91から保護フィルム92が供給される。この工程70は、ローラ93を介して保護フィルム92を搬送し、グラビアコートの手法を適用して接着剤を塗布する。すなわちこの工程70は、保護フィルム92をシリンダーロール95及びバックロール94に導く。さらにこれらシリンダーロール95及びバックロール94により保護フィルム92を挟持して搬送し、インクパン96に保持された塗布液をシリンダーロール95により塗布する。
That is, in the original
この工程70は、続いてローラ97を介してこの保護フィルム92を乾燥機98に搬送し、ここで塗布液を乾燥させる。さらに供給ロール84より引き出したアルミニウムのフィルム71に保護フィルム92を重ね合わせて押圧ローラ99A、99Bに搬送し、ここでアルミニウムのフィルム71に保護フィルム92を押し付けて貼り合わせる。続いてこの工程は、この貼合わせたフィルム101を中間リール100に巻き取る。この第3実施形態では、この中間リール100に巻き取ったアルミニウムのフィルムを第1実施形態と同様に処理して反射防止フィルムを製造する。
In this
この実施形態では、接着により保護フィルムを配置するようにしても、第2実施形態と同様の効果を得ることができる。 In this embodiment, even if the protective film is disposed by adhesion, the same effect as that of the second embodiment can be obtained.
〔他の実施形態〕
以上、本発明の実施に好適な具体的な構成を詳述したが、本発明は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述の実施形態の構成を組み合わせ、さらには上述の実施形態の構成を種々に変更し、さらには従来構成と組み合わせることができる。
[Other Embodiments]
The specific configuration suitable for the implementation of the present invention has been described in detail above. However, the present invention is combined with the configuration of the above-described embodiment, and further the configuration of the above-described embodiment without departing from the spirit of the present invention. Can be variously changed and further combined with the conventional configuration.
すなわち上述の実施形態では、製造用金型を一回限りの使い捨てにする場合について述べたが、本発明はこれに限らず、必要に応じて繰り返し使用しても良い。 That is, in the above-described embodiment, the case where the manufacturing mold is made disposable once is described. However, the present invention is not limited to this, and may be repeatedly used as necessary.
また上述の実施形態では、工程毎に、中間リールにフィルムを巻き取って次工程に搬送する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、連続した工程により一連の処理を実行しても良い。 In the above-described embodiment, the case where the film is wound around the intermediate reel and conveyed to the next process is described for each process. However, the present invention is not limited to this, and a series of processes may be executed by a continuous process. good.
また上述の実施形態では、陽極酸化処理とエッチング処理とを繰り返す場合について述べたが、本発明はこれに限らず、実用上充分に所望の形状に微細穴を作製できる場合には、1回の処理により実行してもよい。 In the above-described embodiment, the case where the anodizing treatment and the etching treatment are repeated has been described. However, the present invention is not limited to this, and in the case where a fine hole can be formed in a desired shape sufficiently for practical use, It may be executed by processing.
また上述の実施形態では、基材側に紫外線硬化性樹脂を塗布して賦型する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、金型側に紫外線硬化性樹脂を塗布する場合にも広く適用することができる。 Further, in the above-described embodiment, the case where the ultraviolet curable resin is applied to the base material side for shaping is described. However, the present invention is not limited to this, and the case where the ultraviolet curable resin is applied to the mold side is also described. Can be widely applied.
また上述の実施形態では、紫外線の照射により硬化する樹脂である紫外線硬化性樹脂を使用して賦型する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、この賦型に供する樹脂材料にあっては、電子線等の各種エネルギーの照射により硬化する樹脂材料、熱の供給等による各種のエネルギーの供給により硬化する樹脂材料等を広く適用することができる。 Further, in the above-described embodiment, the case where molding is performed using an ultraviolet curable resin that is a resin that is cured by irradiation with ultraviolet rays has been described. However, the present invention is not limited to this, and there is a resin material used for molding. For example, a resin material that is cured by irradiation with various energy such as an electron beam, a resin material that is cured by supplying various energy by supplying heat, and the like can be widely applied.
また上述の実施形態では、紫外線硬化性樹脂の賦型により金型の凹凸形状を転写(賦型)する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば加熱した熱可塑性の樹脂を押圧して賦型する場合等に広く適用することができる。 In the above-described embodiment, the case where the uneven shape of the mold is transferred (molded) by molding of the ultraviolet curable resin is described. However, the present invention is not limited to this, and for example, a heated thermoplastic resin is pressed. Thus, it can be widely applied to molding.
1 反射防止フィルム
2 基材
3 凹凸膜
4 紫外線硬化性樹脂
10 製造工程
11 金型作製工程
12 陽極酸化処理、エッチング処理
12A 電解研磨処理
12B 陽極酸化処理
12C、12E 水洗処理
12D エッチング処理
13 賦型工程
14 紫外線硬化性樹脂塗布工程
15 紫外線硬化性樹脂硬化工程
16 剥離工程
20、71 アルミニウムのフィルム
21、30、81、84、87、91 供給ロール
22、36、98 乾燥機
23、39、46、100 中間リール
25 製造用金型
31、35、41、42、43、45、51、52、61、65、82、85A、85B、93、97 ローラ
32、94 バックロール
33、95 シリンダーロール
34、96 インクパン
38A、38B、99A、99B 押圧ローラ
44 光源
53、54 リール
62、68A、68B 水洗槽
63A、63B、64B 陽極酸化槽
64 洗浄槽
66 前処理槽
67 エッチング槽
68C 純水処理槽
70 原反作製工程
83、92 保護フィルム
DESCRIPTION OF
図7は、金型作製工程11における陽極酸化12B及び水洗12C(図7(A))とエッチング12D(図7(B))との処理の説明に供する図である。陽極酸化の工程では、ローラ61を介して、アルミニウムのフィルム20を洗浄槽62に搬送して洗浄した後、第1〜第3の陽極酸化槽63A、63B、64Bにより順次陽極酸化処理を実行する。また続いて洗浄槽64により陽極酸化に供した薬液を洗浄した後、図示しない乾燥機により乾燥させてローラ65により次工程に搬送する。
FIG. 7 is a diagram for explaining the processing of
Claims (6)
前記製造用金型より前記基材を剥離させる剥離工程とを備える
反射防止フィルムの製造方法。 Laminating a base material made of a long roll material and a production die made of an aluminum film, which is a long roll material and has a concavo-convex shape for forming a moth-eye structure on the surface, the production A molding step of molding the uneven shape produced in the mold for the substrate into the substrate;
The manufacturing method of an antireflection film provided with the peeling process which peels the said base material from the said metal mold | die for manufacture.
請求項1に記載の反射防止フィルムの製造方法。 The method for producing an antireflection film according to claim 1, further comprising a mold production step of producing an irregular shape by anodizing and etching an aluminum film using a long roll material.
前記凹凸形状を作製する面とは逆側面に保護フィルムが設けられた
請求項1、又は請求項2に記載の反射防止フィルムの製造方法。 The aluminum film is
The method for producing an antireflection film according to claim 1, wherein a protective film is provided on a side surface opposite to a surface on which the uneven shape is produced.
請求項3に記載の反射防止フィルムの製造方法。 The method for producing an antireflection film according to claim 3, further comprising a reinforcing step of disposing the protective film on a side surface opposite to a surface on which the uneven shape is formed.
長尺のロール材によるアルミニウムのフィルムを陽極酸化処理及びエッチング処理して、前記凹凸形状を作製する金型作製工程を有する
反射防止フィルム製造用金型の製造方法。 In the manufacturing method of the antireflection film manufacturing mold for manufacturing the antireflection film by forming the uneven shape on the substrate,
The manufacturing method of the metal mold | die for anti-reflective film manufacture which has the metal mold | die preparation process which anodizes and etches the aluminum film by a long roll material, and produces the said uneven | corrugated shape.
長尺のロール材によるアルミニウムのフィルムであって、
陽極酸化処理及びエッチング処理により、表面に、賦型に供する前記凹凸形状が作製された
反射防止フィルム製造用金型。 In the mold for producing an antireflection film for producing an antireflection film by forming an uneven shape on a substrate,
An aluminum film made of a long roll material,
A mold for producing an antireflective film, in which the concavo-convex shape for shaping is produced on the surface by anodizing treatment and etching treatment.
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KR102206491B1 (en) * | 2019-11-04 | 2021-01-22 | 주식회사 기가레인 | Transfer apparatus and method of manufacturing a transferred wafer using the same |
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- 2012-01-06 JP JP2012001178A patent/JP2013140314A/en active Pending
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