JP2013129855A - Pretreatment agent for use in electroless plating, and pretreatment method for use in electroless plating employing the same - Google Patents

Pretreatment agent for use in electroless plating, and pretreatment method for use in electroless plating employing the same Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pretreatment agent for use in electroless plating and a pretreatment method for use in electroless plating, capable of improving adhesion of a coating film formed by electroless plating.SOLUTION: The pretreatment agent for use in electroless plating is characterized by including an aqueous solution containing a compound comprising a carbodiimide group. The pretreatment method for use in electroless plating is characterized by using the pretreatment agent for use in electroless plating.

Description

本発明は、無電解めっき前処理剤及び該前処理剤を用いた無電解めっき前処理方法に関する。   The present invention relates to an electroless plating pretreatment agent and an electroless plating pretreatment method using the pretreatment agent.

無電解めっきは、ニッケル、ニッケル合金、銅、銀等の被膜を得る方法として工業的に用いられており、ニッケル合金およびコバルトの無電解めっきは、磁気記録材料等として、銅の無電解めっきは、プリント回路の導電膜等として、また、銀の無電解めっきは、鏡の反射体等に用いられている。   Electroless plating is used industrially as a method for obtaining coatings of nickel, nickel alloys, copper, silver, etc. Electroless plating of nickel alloys and cobalt is used as a magnetic recording material, etc. Silver electroless plating is used for mirror reflectors and the like as conductive films for printed circuits.

基板等の被めっき体へ無電解めっきを施す際には、前処理剤が使用されている。前処理剤としては、例えば、特許文献1には、アルカリとノニオン系エーテル型界面活性剤とアミン系錯化剤とを含有する無電解めっき前処理剤が開示されている。
また、特許文献2には、ガラス繊維やシリカ系フィラーを含有する樹脂基材をパラジウム化合物を含む触媒液で触媒化するのに先立ち、当該樹脂基材をフッ素化合物を含有するガラスエッチング液で処理した後、過マンガン酸塩またはクロム酸を含有する酸化剤液に浸漬することを特徴とする触媒化処理の前処理方法が開示されている。
A pretreatment agent is used when electroless plating is performed on an object to be plated such as a substrate. As the pretreatment agent, for example, Patent Document 1 discloses an electroless plating pretreatment agent containing an alkali, a nonionic ether type surfactant and an amine complexing agent.
Further, in Patent Document 2, prior to catalyzing a resin substrate containing glass fiber or silica filler with a catalyst solution containing a palladium compound, the resin substrate is treated with a glass etching solution containing a fluorine compound. After that, a pretreatment method for catalyzing treatment is disclosed which is immersed in an oxidizing agent solution containing permanganate or chromic acid.

特許文献1は、デスミア処理等によって基板表面に露出した密着性の弱いフィラーを除去するための前処理剤であり、フィラーを除去することで、触媒の付着性を上げることを目的としたものである。
また、特許文献2は無電解めっき用パラジウム触媒を十分な量付着させ、無電解めっき被膜の密着性を高めることを目的としたものである。
Patent Document 1 is a pretreatment agent for removing fillers with low adhesion exposed on the substrate surface by desmear treatment or the like, and is intended to increase the adhesion of the catalyst by removing the fillers. is there.
Patent Document 2 is intended to increase the adhesion of an electroless plating film by attaching a sufficient amount of a palladium catalyst for electroless plating.

特開2010−229536号公報JP 2010-229536 A 特開2001−316833号公報JP 2001-316833 A

従来の無電解めっき方法によって得られるめっき被膜は、密着性に問題がある。この原因として、例えば、被めっき体がフィラーを含む樹脂基体の場合には、表面に露出したフィラーやガラス繊維の中には樹脂との接合が不十分で密着が弱いものがあり、被めっき体表面の粗化度を上げることや前処理剤を用いてフィラーを取り除くことで無電解めっき被膜の密着性を向上させる検討がされてきた。しかし、被めっき体が薄膜化していくに従い、粗化度を上げることが困難となり、さらにフィラー除去によって被めっき体の強度が下がることが問題となる場合があることから、低粗化表面に対して、フィラーを除去することなく、無電解めっき被膜の密着性を向上させることのできる無電解めっき前処理剤及び無電解めっき前処理方法が望まれている。さらに、ステンレス基体、水晶基体、ソーダ石灰ガラス等のガラス基体やシリコン基体に代表される樹脂基体以外の被めっき体についても、無電解めっき被膜の密着性を向上させるための無電解めっき前処理剤及び無電解めっき前処理方法が望まれている。   The plating film obtained by the conventional electroless plating method has a problem in adhesion. As this cause, for example, when the object to be plated is a resin substrate containing a filler, some of the filler and glass fibers exposed on the surface are insufficiently bonded to the resin and have poor adhesion, Studies have been made to improve the adhesion of the electroless plating film by increasing the surface roughness or removing the filler using a pretreatment agent. However, as the body to be plated becomes thinner, it becomes difficult to increase the degree of roughening, and it may become a problem that the strength of the body to be plated decreases due to filler removal. Thus, an electroless plating pretreatment agent and an electroless plating pretreatment method capable of improving the adhesion of the electroless plating film without removing the filler are desired. Further, an electroless plating pretreatment agent for improving the adhesion of the electroless plating film on a plated body other than a glass substrate such as a stainless steel substrate, a quartz substrate, and soda lime glass, and a resin substrate represented by a silicon substrate. And an electroless plating pretreatment method is desired.

従って、本発明の目的は、無電解めっき被膜の密着性を向上させることができる無電解めっき前処理剤及び無電解めっき前処理方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an electroless plating pretreatment agent and an electroless plating pretreatment method capable of improving the adhesion of an electroless plating film.

本発明者等は、鋭意検討を重ねた結果、被めっき体に対してカルボジイミド基を有する化合物を含有する水溶液からなる無電解めっき前処理剤を用いること及び、該前処理剤を用いた前処理を行う前に、カルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液を用いて被めっき体を処理することで上記課題を解決しうることを知見し、本発明に到達した。   As a result of intensive studies, the present inventors have used an electroless plating pretreatment agent comprising an aqueous solution containing a compound having a carbodiimide group for the object to be plated, and a pretreatment using the pretreatment agent. Before performing this, it was found that the above problem could be solved by treating the object to be plated with a solution containing an alkoxysilane compound having a carboxyl group, and the present invention was achieved.

すなわち、本発明は、カルボジイミド基を有する化合物を含有する水溶液からなる無電解めっき前処理剤を提供するものである。   That is, the present invention provides an electroless plating pretreatment agent comprising an aqueous solution containing a compound having a carbodiimide group.

また、本発明は、上記の無電解めっき前処理剤を使用することを特徴とする無電解めっき前処理方法を提供するものである。   Moreover, this invention provides the electroless-plating pretreatment method characterized by using said electroless-plating pretreatment agent.

更に、本発明は、カルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液を用いた前処理を1次前処理として被めっき体へ施し、さらに上記の前処理を2次前処理として該被めっき体へ施すことを特徴とする無電解めっき前処理方法を提供するものである。   Furthermore, in the present invention, a pretreatment using a solution containing an alkoxysilane compound having a carboxyl group is applied to the object to be plated as a primary pretreatment, and the above pretreatment is applied to the object as a secondary pretreatment. An electroless plating pretreatment method characterized by being applied is provided.

また、本発明は上記に記載の前処理方法を前記被めっき体に施し、さらに銅、銀、金、亜鉛、ニッケル、スズ、コバルト、クロム、パラジウム、タングステン、白金、ロジウムおよびルテニウムからなる群より選択される1種又は2種以上の成分を無電解めっきすることによって無電解めっき被膜を形成する無電解めっき被膜の製造方法を提供するものである。   Further, the present invention provides the above-mentioned pretreatment method to the object to be plated, and further from the group consisting of copper, silver, gold, zinc, nickel, tin, cobalt, chromium, palladium, tungsten, platinum, rhodium and ruthenium. The present invention provides a method for producing an electroless plating film that forms an electroless plating film by electroless plating selected one or more components.

本発明によれば、上記無電解めっき前処理剤及び無電解めっき前処理方法を用いることにより、密着性の高い無電解めっき被膜を得ることができる。   According to the present invention, an electroless plating film having high adhesion can be obtained by using the electroless plating pretreatment agent and the electroless plating pretreatment method.

以下、本発明の無電解めっき前処理剤及び無電解めっき前処理方法を説明する。
本発明の無電解めっき前処理剤に使用されるカルボジイミド基を有する化合物は、被めっき体表面に存在するカルボジイミドと反応性を有するか、親和性を有する基と結合・親和して、被めっき体表面を改質することにより、被めっき体と無電解めっき膜との間の密着強度を向上する役割を果たすものである。
Hereinafter, the electroless plating pretreatment agent and the electroless plating pretreatment method of the present invention will be described.
The compound having a carbodiimide group used in the electroless plating pretreatment agent of the present invention has reactivity with carbodiimide present on the surface of the object to be plated, or binds and has affinity with the group having affinity to be plated. By improving the surface, it serves to improve the adhesion strength between the object to be plated and the electroless plating film.

カルボジイミドと反応性を有するか、親和性を有する基としては、カルボキシル基が好ましい基として挙げられ、特に好ましい例として、被めっき体としてデスミア処理を施した有機合成樹脂基体を用いた場合が挙げられ、具体的にはデスミア処理によって該基体表面に生じたカルボキシル基と反応し、基体表面をN−アシルウレア化することによって被めっき体表面を改質し、被めっき体とめっき膜との間の密着強度を向上させることができる。   Examples of the group having reactivity or affinity with carbodiimide include a carboxyl group as a preferable group, and a particularly preferable example is a case where an organic synthetic resin substrate subjected to desmear treatment is used as an object to be plated. Specifically, it reacts with a carboxyl group generated on the surface of the substrate by desmear treatment, and the surface of the substrate is modified by N-acyl urea formation on the surface of the substrate, so that the adhesion between the body to be plated and the plating film is improved. Strength can be improved.

本発明の無電解めっき前処理剤に使用されるカルボジイミド基を有する化合物は、カルボジイミド基を有する化合物であれば特に制限されないが、例えば、有機ジイソシアネートを、ホスホレン化合物、金属カルボニル錯体化合物及びリン酸エステル等のようにカルボジイミド化を促進する触媒の存在下に反応させることにより得られるイソシアネート末端カルボジイミド化合物を用いることができる。カルボジイミド基を有する化合物としては、さらに該イソシアネート末端カルボジイミド化合物に親水性セグメント化合物を反応させた水性カルボジイミド化合物も用いることができる。   The compound having a carbodiimide group used in the electroless plating pretreatment agent of the present invention is not particularly limited as long as it is a compound having a carbodiimide group. For example, an organic diisocyanate, a phospholene compound, a metal carbonyl complex compound, and a phosphate ester are used. The isocyanate terminal carbodiimide compound obtained by making it react in presence of the catalyst which accelerates | stimulates carbodiimidation like these can be used. As the compound having a carbodiimide group, an aqueous carbodiimide compound obtained by reacting the isocyanate-terminated carbodiimide compound with a hydrophilic segment compound can also be used.

上記イソシアネート末端カルボジイミド化合物の具体例としては、イソシアネート末端イソホロンカルボジイミド、イソシアネート末端ジシクロヘキシルメタンカルボジイミド、イソシアネート末端ヘキサメチレンカルボジイミド、イソシアネート末端ジフェニルメタンカルボジイミド、イソシアネート末端トリレンカルボジイミド、イソシアネート末端テトラメチルキシリレンカルボジイミド等が挙げられ、各々の重合度は、好ましくは1〜30の範囲であるが、該重合度は、使用条件や所望の密着強度等により適宜選択することができる。   Specific examples of the isocyanate-terminated carbodiimide compound include isocyanate-terminated isophorone carbodiimide, isocyanate-terminated dicyclohexylmethane carbodiimide, isocyanate-terminated hexamethylene carbodiimide, isocyanate-terminated diphenylmethane carbodiimide, isocyanate-terminated tolylene carbodiimide, isocyanate-terminated tetramethylxylylene carbodiimide, and the like. The degree of polymerization is preferably in the range of 1 to 30, but the degree of polymerization can be appropriately selected depending on the use conditions, desired adhesion strength, and the like.

また、上記水性カルボジイミド化合物の具体例としては、水性イソホロンカルボジイミド、水性ジシクロヘキシルメタンカルボジイミド、水性ヘキサメチレンカルボジイミド、水性ジフェニルメタンカルボジイミド、水性トリレンカルボジイミド、水性テトラメチルキシリレンカルボジイミド等が挙げられる。また、重合度は、上記イソシアネート末端カルボジイミド化合物と同様に、好ましくは1〜30の範囲から適宜選択される。   Specific examples of the aqueous carbodiimide compound include aqueous isophorone carbodiimide, aqueous dicyclohexylmethane carbodiimide, aqueous hexamethylene carbodiimide, aqueous diphenylmethane carbodiimide, aqueous tolylene carbodiimide, aqueous tetramethylxylylene carbodiimide, and the like. Moreover, like the said isocyanate terminal carbodiimide compound, Preferably a polymerization degree is suitably selected from the range of 1-30.

上記水性カルボジイミド化合物には、上記親水性セグメント化合物の選択により、カチオン性、アニオン性、ノニオン性の3種のイオン性を有する水性カルボジイミド化合物がある。具体的には、例えば、上記親水性セグメント化合物として、ジアルキルアミノアルコールを使用した場合はカチオン性となり、反応性ヒドロキシル基を少なくとも1つ有するアルキルスルホン酸塩を使用した場合はアニオン性となり、反応性ヒドロキシル基を少なくとも1つ有するアルコキシ基で末端封鎖されたポリ(アルキレンオキサイド)を使用した場合はノニオン性となる。該ポリ(アルキレンオキサイド)のアルキレンオキサイドの種類としては、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、ブチレンオキサイド等が挙げられる。ノニオン性とする場合に使用する上記ポリ(アルキレンオキサイド)としては、重合度が4〜30の範囲のものが好ましく使用される。尚、本発明でいう「水性」という語は、本発明に係るカルボジイミド基を有する化合物が、水溶性或いは自己乳化性、その他の水と均一になじむ性質を有していることを意味するものである。   The aqueous carbodiimide compound includes an aqueous carbodiimide compound having three types of ionicity, cationic, anionic and nonionic, depending on the selection of the hydrophilic segment compound. Specifically, for example, when the dialkylamino alcohol is used as the hydrophilic segment compound, it becomes cationic, and when an alkyl sulfonate having at least one reactive hydroxyl group is used, it becomes anionic and reactive. When poly (alkylene oxide) end-capped with an alkoxy group having at least one hydroxyl group is used, it becomes nonionic. Examples of the alkylene oxide of the poly (alkylene oxide) include ethylene oxide, propylene oxide, butylene oxide and the like. As said poly (alkylene oxide) used when making it nonionic, the thing of the polymerization degree of the range of 4-30 is used preferably. The term “aqueous” as used in the present invention means that the compound having a carbodiimide group according to the present invention has water-soluble properties, self-emulsifying properties, and other properties that are compatible with water. is there.

カルボジイミド基を有する化合物を水に溶解又は分散させる方法は、周知一般の方法を用いることができる。例えば、水性のカルボジイミド化合物は、分子中に親水性基が導入されているので、自己乳化(ソープフリー)法により水に溶解させることができる。非水性のカルボジイミド化合物は、ノニオン性乳化剤を用いて強制乳化法(エマルジョン)により、水に分散させることができる。   As a method for dissolving or dispersing the compound having a carbodiimide group in water, a well-known general method can be used. For example, since an aqueous carbodiimide compound has a hydrophilic group introduced in the molecule, it can be dissolved in water by a self-emulsification (soap-free) method. The non-aqueous carbodiimide compound can be dispersed in water by a forced emulsification method (emulsion) using a nonionic emulsifier.

カルボジイミド基を有する化合物としては、市販品を用いてもよい。自己乳化(ソープフリー)法により水に溶解している水性のノニオン性カルボジイミド化合物の市販品としては、カルボジライトSV−02(有効成分濃度40%、NCN当量429)、カルボジライトV−02(有効成分濃度40%、NCN当量600)、カルボジライトV−02−L2(有効成分濃度40%、NCN当量385)、カルボジライトV−04(有効成分濃度40%、NCN当量335)、等が挙げられ、ノニオン性乳化剤を用いて強制乳化法(エマルジョン)により水に分散しているエマルジョンタイプのカルボジイミド化合物の市販品としては、カルボジライトE−01(有効成分濃度40%、NCN当量425)、カルボジライトE−02(有効成分濃度40%、NCN当量445)が挙げられる[いずれも日清紡ケミカル(株)製]。   A commercially available product may be used as the compound having a carbodiimide group. Commercial products of aqueous nonionic carbodiimide compounds dissolved in water by the self-emulsification (soap-free) method include carbodilite SV-02 (active ingredient concentration 40%, NCN equivalent 429), carbodilite V-02 (active ingredient concentration). 40%, NCN equivalent 600), Carbodilite V-02-L2 (active ingredient concentration 40%, NCN equivalent 385), Carbodilite V-04 (active ingredient concentration 40%, NCN equivalent 335), etc., nonionic emulsifier Examples of commercially available emulsion-type carbodiimide compounds dispersed in water using a forced emulsification method (emulsion) include carbodilite E-01 (active ingredient concentration 40%, NCN equivalent 425), carbodilite E-02 (active ingredient) Concentration of 40%, NCN equivalent of 445). Cal Co., Ltd.].

本発明の無電解めっき前処理剤に使用されるカルボジイミド基を有する化合物は、溶解性が高い点、密着性向上の効果が高い点及び取り扱いが容易な点から、ノニオン性ポリカルボジイミド化合物が特に好ましく、中でもカルボジイミド基1モルあたりの化学式量(以下、NCN当量と記載する場合がある。)が100〜650であるものが好ましく、該化学式量が300〜500であるものを用いた場合に、無電解めっき被膜の密着性を向上する効果が高く特に好ましい。   The compound having a carbodiimide group used in the electroless plating pretreatment agent of the present invention is particularly preferably a nonionic polycarbodiimide compound from the viewpoint of high solubility, high effect of improving adhesion, and easy handling. Of these, those having a chemical formula amount per mole of carbodiimide groups (hereinafter sometimes referred to as NCN equivalents) of 100 to 650 are preferred, and those having a chemical formula amount of 300 to 500 are not used. The effect of improving the adhesiveness of the electrolytic plating film is particularly high, which is particularly preferable.

本発明の無電解めっき前処理剤に使用されるカルボジイミド基を有する化合物の濃度は、用いられる被めっき体によって適宜調節すればよいが、0.001〜10%が好ましく、0.005〜5%が特に好ましい。ここで、0.001質量%未満であると、密着性向上効果が発現しないために好ましくなく、また、10質量%を超えても、配合量の増加に伴う配合効果の向上が見られない。   The concentration of the compound having a carbodiimide group used in the electroless plating pretreatment agent of the present invention may be appropriately adjusted depending on the object to be plated, but is preferably 0.001 to 10%, preferably 0.005 to 5%. Is particularly preferred. Here, if it is less than 0.001% by mass, the effect of improving the adhesion is not exhibited, and this is not preferable.

本発明の無電解めっき前処理剤における好ましいpH値は、pH5〜13となるように適宜調節すればよい。本発明の無電解めっき前処理剤のpHはpH6〜12以上が特に好ましい。なお、pHの調節に際しては、pH緩衝液を使用することもできる。   What is necessary is just to adjust suitably the preferable pH value in the electroless-plating pretreatment agent of this invention so that it may become pH 5-13. The pH of the electroless plating pretreatment agent of the present invention is particularly preferably 6 to 12 or more. In adjusting the pH, a pH buffer solution can also be used.

上記pH緩衝液は、特に限定されるものではないが、周知一般のpH緩衝液を用いればよく、例えば、酢酸緩衝液、リン酸緩衝液、クエン酸緩衝液、ホウ酸緩衝液等が挙げられる。   The pH buffer solution is not particularly limited, and a well-known general pH buffer solution may be used. Examples thereof include an acetate buffer solution, a phosphate buffer solution, a citrate buffer solution, and a borate buffer solution. .

本発明の無電解めっき前処理剤には、本発明の効果を損なわない範囲で必要に応じて公知のその他の添加剤と混合することができる。このようなその他の添加剤として、例えば、界面活性剤などが挙げられる。   The electroless plating pretreatment agent of the present invention can be mixed with other known additives as necessary as long as the effects of the present invention are not impaired. Examples of such other additives include a surfactant.

上記の界面活性剤は、無電解めっき前処理剤の濡れ性を向上させるために用いられる。例えば、カチオン性、ノニオン性、アニオン性、ベタイン性などの界面活性剤が挙げられ、カチオン性、ノニオン性またはアニオン性界面活性剤が好ましく用いられる。界面活性剤を使用する場合の使用量は、0.01〜5質量%が好ましい。   Said surfactant is used in order to improve the wettability of the electroless-plating pretreatment agent. For example, surfactants such as cationic, nonionic, anionic, and betaine are listed, and cationic, nonionic, or anionic surfactants are preferably used. As for the usage-amount in the case of using surfactant, 0.01-5 mass% is preferable.

本発明の無電解めっき前処理剤に使用してもよいカチオン性界面活性剤としては、例えば、アルキル(またはアルケニル)トリメチルアンモニウム塩、ジアルキル(またはアルケニル)ジメチルアンモニウム塩、アルキル(またはアルケニル)四級アンモニウム塩、エーテル基或いはエステル基或いはアミド基を含有するモノ或いはジアルキル(またはアルケニル)四級アンモニウム塩、アルキル(またはアルケニル)ピリジニウム塩、アルキル(またはアルケニル)ジメチルベンジルアンモニウム塩、アルキル(またはアルケニル)イソキノリニウム塩、ジアルキル(またはアルケニル)モルホニウム塩、ポリオキシエチレンアルキル(またはアルケニル)アミン、アルキル(またはアルケニル)アミン塩、ポリアミン脂肪酸誘導体、アミルアルコール脂肪酸誘導体、塩化ベンザルコニウム、塩化ベンゼトニウム等が挙げられ、これらの構造中にフッ素原子が含まれていてもよい。   Examples of the cationic surfactant that may be used in the electroless plating pretreatment agent of the present invention include alkyl (or alkenyl) trimethylammonium salt, dialkyl (or alkenyl) dimethylammonium salt, and alkyl (or alkenyl) quaternary. Ammonium salt, mono- or dialkyl (or alkenyl) quaternary ammonium salt, ether (or alkenyl) pyridinium salt, alkyl (or alkenyl) dimethylbenzylammonium salt, alkyl (or alkenyl) isoquinolinium containing ether group or ester group or amide group Salts, dialkyl (or alkenyl) morphonium salts, polyoxyethylene alkyl (or alkenyl) amines, alkyl (or alkenyl) amine salts, polyamine fatty acid derivatives, amino acids Alcohol fatty acid derivatives, benzalkonium chloride, etc. benzethonium chloride and the like, may contain fluorine atoms in these structures.

本発明の無電解めっき前処理剤に使用してもよいノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル、ポリオキシアルキレンアルケニルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンアルキルエーテル(エチレンオキサイドとプロピレンオキサイドの付加形態は、ランダム状、ブロック状の何れでもよい)、ポリエチレングリコールプロピレンオキサイド付加物、ポリプロピレングリコールエチレンオキサイド付加物、グリセリン脂肪酸エステルまたはそのエチレンオキサイド付加物、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、アルキルポリグルコシド、脂肪酸モノエタノールアミドまたはそのエチレンオキサイド付加物、脂肪酸−N−メチルモノエタノールアミドまたはそのエチレンオキサイド付加物、脂肪酸ジエタノールアミドまたはそのエチレンオキサイド付加物、ショ糖脂肪酸エステル、アルキルグリセリンエーテル、アルキルポリグリセリンエーテル、ポリグリセリン脂肪酸エステル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、脂肪酸メチルエステルエトキシレート、N−長鎖アルキルジメチルアミンオキサイドなどが挙げられ、これらの構造中にフッ素原子が含まれていてもよい。   Nonionic surfactants that may be used in the electroless plating pretreatment agent of the present invention include, for example, polyoxyalkylene alkyl ethers, polyoxyalkylene alkenyl ethers, polyoxyethylene polyoxypropylene alkyl ethers (ethylene oxide and propylene). The addition form of oxide may be random or block), polyethylene glycol propylene oxide adduct, polypropylene glycol ethylene oxide adduct, glycerin fatty acid ester or its ethylene oxide adduct, sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitan fatty acid Esters, alkylpolyglucosides, fatty acid monoethanolamides or their ethylene oxide adducts, fatty acid-N-methylmonoethanolamide Is its ethylene oxide adduct, fatty acid diethanolamide or its ethylene oxide adduct, sucrose fatty acid ester, alkyl glycerin ether, alkyl polyglycerin ether, polyglycerin fatty acid ester, polyethylene glycol fatty acid ester, fatty acid methyl ester ethoxylate, N-length Examples thereof include chain alkyldimethylamine oxide, and these structures may contain a fluorine atom.

本発明の無電解めっき前処理剤に使用してもよいアニオン系界面活性剤としては、例えば、高級脂肪酸塩、高級アルコール硫酸エステル塩、硫化オレフィン塩、高級アルキルスルホン酸塩、α−オレフィンスルホン酸塩、硫酸化脂肪酸塩、スルホン化脂肪酸塩、リン酸エステル塩、脂肪酸エステルの硫酸エステル塩、グリセライド硫酸エステル塩、脂肪酸エステルのスルホン酸塩、α−スルホ脂肪酸メチルエステル塩、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル硫酸エステル塩、ポリオキシアルキレンアルキルフェニルエーテル硫酸エステル塩、ポリオキシアルキレンアルキルエーテルカルボン酸塩、アシル化ペプチド、脂肪酸アルカノールアミドまたはそのアルキレンオキサイド付加物の硫酸エステル塩、スルホコハク酸エステル、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタレンスルホン酸塩、アルキルベンゾイミダゾールスルホン酸塩、ポリオキシアルキレンスルホコハク酸塩、N−アシル−N−メチルタウリンの塩、N−アシルグルタミン酸またはその塩、アシルオキシエタンスルホン酸塩、アルコキシエタンスルホン酸塩、N−アシル−β−アラニンまたはその塩、N−アシル−N−カルボキシエチルタウリンまたはその塩、N−アシル−N−カルボキシメチルグリシンまたはその塩、アシル乳酸塩、N−アシルサルコシン塩、およびアルキルまたはアルケニルアミノカルボキシメチル硫酸塩などを挙げられ、これらの構造中にフッ素原子が含まれていてもよい。   Examples of the anionic surfactant that may be used in the electroless plating pretreatment agent of the present invention include higher fatty acid salts, higher alcohol sulfate esters, sulfurized olefin salts, higher alkyl sulfonates, α-olefin sulfonic acids. Salt, sulfated fatty acid salt, sulfonated fatty acid salt, phosphate ester salt, sulfate ester salt of fatty acid ester, glyceride sulfate ester, sulfonate salt of fatty acid ester, α-sulfo fatty acid methyl ester salt, polyoxyalkylene alkyl ether sulfate Ester salt, polyoxyalkylene alkyl phenyl ether sulfate, polyoxyalkylene alkyl ether carboxylate, acylated peptide, sulfate ester of fatty acid alkanolamide or its alkylene oxide adduct, sulfosuccinate, alkyl base Benzene sulfonate, alkyl naphthalene sulfonate, alkyl benzimidazole sulfonate, polyoxyalkylene sulfosuccinate, N-acyl-N-methyl taurine salt, N-acyl glutamic acid or salt thereof, acyloxyethane sulfonate, Alkoxyethanesulfonate, N-acyl-β-alanine or a salt thereof, N-acyl-N-carboxyethyltaurine or a salt thereof, N-acyl-N-carboxymethylglycine or a salt thereof, acyl lactate, N-acyl Examples thereof include sarcosine salts and alkyl or alkenylaminocarboxymethyl sulfates, and these structures may contain a fluorine atom.

本発明の無電解めっき前処理剤を用いた無電解めっきの前処理方法とは、本発明の無電解めっき前処理剤と被めっき体を接触させることによるものである。   The pretreatment method of electroless plating using the electroless plating pretreatment agent of the present invention is by bringing the electroless plating pretreatment agent of the present invention into contact with the object to be plated.

本発明の無電解めっき前処理剤と被めっき体を接触させる方法としては、特に限定されるものではなく、周知一般の前処理方法を用いればよい。例えば、ディップ式、スプレー式、スピン式による前処理方法が挙げられる。   The method for bringing the electroless plating pretreatment agent of the present invention into contact with the object to be plated is not particularly limited, and a known general pretreatment method may be used. For example, a pretreatment method using a dip method, a spray method, or a spin method can be used.

なお、本発明の無電解めっき前処理剤を用いた無電解めっきの前処理方法は、デスミア処理工程内に組み込むことができる。   In addition, the pretreatment method of electroless plating using the electroless plating pretreatment agent of the present invention can be incorporated in the desmear treatment process.

例えば、エポキシ系樹脂基体に対して、本発明の無電解めっき前処理剤を用いた前処理方法による工程をデスミア処理工程内に組み込んで無電解銅めっきを行う場合は、(1)スミア膨潤工程[以下、(1)工程と略す場合がある。]、(2)マイクロエッチング工程[以下、(2)工程と略す場合がある。]、(3)還元工程[以下、(3)工程と略す場合がある。]、(4)本発明の無電解めっき前処理剤を用いた無電解めっき前処理方法による工程[以下、(4)工程と略す場合がある。]、(5)乾燥工程[以下、(5)工程と略す場合がある。]、(6)触媒付与工程[以下、(6)工程と略す場合がある。]、(7)無電解銅めっき工程[以下、(7)工程と略す場合がある。]という工程を経ることで無電解銅めっき被膜を被めっき体に形成することができる。各工程の間もしくは工程中に水洗工程を加えても良い。   For example, when electroless copper plating is carried out by incorporating a process by a pretreatment method using an electroless plating pretreatment agent of the present invention into a desmear treatment process on an epoxy resin substrate, (1) smear swelling process [Hereafter, it may be abbreviated as (1) step. ], (2) Micro-etching process [Hereafter, it may be abbreviated as (2) process. ], (3) Reduction step [hereinafter sometimes abbreviated as (3) step. ], (4) Steps by the electroless plating pretreatment method using the electroless plating pretreatment agent of the present invention [hereinafter sometimes referred to as (4) step. ], (5) Drying step [Hereafter, it may be abbreviated as (5) step. ], (6) Catalyst application process [Hereafter, it may be abbreviated as (6) process. ], (7) Electroless copper plating process [Hereafter, it may be abbreviated as (7) process. ], An electroless copper plating film can be formed on the object to be plated. A water washing step may be added between or during each step.

具体的には、エポキシ樹脂基体の表面は(1)〜(3)工程によって該基体表面にカルボキシル基が露出させられた状態となっており、(4)工程で該基体を本発明の無電解めっき前処理剤と適切な条件下で接触させることによって、該基体表面のカルボキシル基はN−アシルウレア化される。さらに、(5)〜(7)工程を経ることで密着性に優れる無電解銅めっき被膜を得ることができる。   Specifically, the surface of the epoxy resin substrate is in a state where carboxyl groups are exposed on the surface of the substrate by the steps (1) to (3), and the substrate is electrolessly electrolyzed according to the present invention in the step (4). By contacting with a plating pretreatment agent under appropriate conditions, the carboxyl group on the substrate surface is N-acyl uread. Furthermore, the electroless copper plating film which is excellent in adhesiveness can be obtained through steps (5) to (7).

(4)本発明の無電解めっき前処理剤を用いた無電解めっき前処理工程における、本発明の無電解めっき前処理剤と被めっき体を接触させる際の条件は特に限定されるものではなく被めっき体の形状や膜厚などに応じて任意に設定することができる。例えば、浸漬することで接触させる場合には、温度は、10℃〜90℃が好ましく、30℃〜80℃が特に好ましい。前処理剤の温度は反応熱により上昇することがあるので、必要なら上記温度範囲内に維持するよう公知の手段によって温度制御してもよい。また、時間は、被めっき体表面が完全に処理されるのに十分必要な時間とすればよいので特に限定されるものではない。例えば、エポキシ樹脂基体を処理する場合、上記温度範囲であれば1〜30分程度接触することで前処理を行えばよい。   (4) In the electroless plating pretreatment step using the electroless plating pretreatment agent of the present invention, the conditions for bringing the electroless plating pretreatment agent of the present invention into contact with the object to be plated are not particularly limited. It can be set arbitrarily according to the shape and film thickness of the object to be plated. For example, when making it contact by immersing, 10 to 90 degreeC is preferable and, as for temperature, 30 to 80 degreeC is especially preferable. Since the temperature of the pretreatment agent may be increased by the heat of reaction, the temperature may be controlled by a known means so as to maintain it within the above temperature range if necessary. Further, the time is not particularly limited because it is sufficient to make the time sufficiently necessary for the surface of the object to be plated to be completely processed. For example, when an epoxy resin substrate is processed, pretreatment may be performed by contacting for about 1 to 30 minutes within the above temperature range.

また、フィラーを含む有機樹脂基体やステンレス基体等において、上記(1)〜(7)工程だけでは十分な密着性効果が得られない場合がある。これは、フィラーを含む有機樹脂基体やステンレス基体等は上記(1)〜(3)工程だけでは基体表面に十分なカルボジイミドと反応性を有するか、親和性を有する基が露出していないためと考えられる。そこで、フィラーを含む有機樹脂基体やステンレス基体等の表面に十分なカルボジイミドと反応性を有するか、親和性を有する基を露出させるために、上記(1)〜(7)工程中の上記(4)工程よりも前に、カルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液で被めっき体を処理する工程を実施することで、フィラーを含む有機樹脂基体やステンレス基体等においても密着性の高い無電解めっき被膜を得ることができる。カルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液で被めっき体を処理する工程を実施するタイミングとしては、上記(1)〜(7)工程中の(3)工程と(4)工程との間が好ましい。カルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液を用いた前処理を1次前処理として被めっき体へ施し、さらに上記(4)工程を2次前処理として該被めっき体へ施すことによって得られる密着性向上効果は相乗的なものであり、該両工程を単独で実施した場合と比較して、特に大きな密着性向上効果を得ることができる。   In addition, in an organic resin substrate, a stainless steel substrate or the like containing a filler, a sufficient adhesion effect may not be obtained only by the above steps (1) to (7). This is because organic resin bases and stainless steel bases containing fillers have sufficient reactivity with the carbodiimide on the surface of the base body only by the steps (1) to (3), or the affinity groups are not exposed. Conceivable. Therefore, in order to expose a group having reactivity or sufficient affinity with carbodiimide on the surface of an organic resin substrate or a stainless steel substrate containing a filler, the above (4) in the above steps (1) to (7) ) Electroless electrolysis with high adhesion even in the case of an organic resin substrate or a stainless steel substrate containing a filler by performing a step of treating the object to be plated with a solution containing an alkoxysilane compound having a carboxyl group before the step) A plating film can be obtained. As the timing for carrying out the step of treating the object to be plated with a solution containing an alkoxysilane compound having a carboxyl group, the interval between the steps (3) and (4) in the steps (1) to (7) is as follows. preferable. A pretreatment using a solution containing an alkoxysilane compound having a carboxyl group is applied to the object as a primary pretreatment, and the step (4) is applied to the object as a secondary pretreatment. The effect of improving the adhesion is synergistic, and a particularly large effect of improving the adhesion can be obtained as compared with the case where both the steps are performed alone.

前記カルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液で被めっき体を処理する方法とは、カルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液と被めっき体を接触させることによるものである。   The method of treating the object to be plated with the solution containing the alkoxysilane compound having a carboxyl group is to bring the solution containing the alkoxysilane compound having a carboxyl group into contact with the object to be plated.

本発明に用いられるカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液と被めっき体を接触させる方法としては、特に限定されるものではなく、周知一般の処理方法を用いればよい。例えば、ディップ式、スプレー式、スピン式による処理方法が挙げられる。   The method of bringing the solution containing the alkoxysilane compound having a carboxyl group used in the present invention into contact with the object to be plated is not particularly limited, and a well-known general treatment method may be used. For example, a dip type, spray type or spin type processing method can be mentioned.

例えば、ディップ式による処理方法で被めっき体とカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液と接触させる際の条件としては、特に限定されるものではなく、無電解めっき対象となる基体の形状や膜厚などに応じて任意に設定することができる。例えば、温度は、10℃〜90℃が好ましく、30℃〜80℃が特に好ましい。カルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液の温度は反応熱により上昇することがあるので、必要なら上記温度範囲内に維持するよう公知の手段によって温度制御してもよい。また、時間は、被めっき体表面が完全に処理されるのに十分必要な時間とすればよいので特に限定されるものではない。例えば、ステンレス基体を処理する場合、上記温度範囲であれば1〜30分程度接触することで処理を行えばよい。    For example, the conditions for contacting the object to be plated with a solution containing an alkoxysilane compound having a carboxyl group by a dip-type treatment method are not particularly limited, and the shape of the substrate to be electrolessly plated or It can be arbitrarily set according to the film thickness. For example, the temperature is preferably 10 ° C to 90 ° C, particularly preferably 30 ° C to 80 ° C. Since the temperature of the solution containing the alkoxysilane compound having a carboxyl group may rise due to heat of reaction, the temperature may be controlled by a known means so as to maintain it within the above temperature range if necessary. Further, the time is not particularly limited because it is sufficient to make the time sufficiently necessary for the surface of the object to be plated to be completely processed. For example, when processing a stainless steel substrate, the processing may be performed by contacting for about 1 to 30 minutes within the above temperature range.

本発明に用いられるカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液に用いられるアルコキシシラン化合物としては、特に限定されるものではなく、被めっき体表面に吸着するものであればよい。シラノール基(Si−OH)または加水分解によりシラノール基を与える加水分解性官能基を有する化合物が、吸着性が良く好ましい。   The alkoxysilane compound used in the solution containing the alkoxysilane compound having a carboxyl group used in the present invention is not particularly limited as long as it is adsorbed on the surface of the object to be plated. A compound having a silanol group (Si—OH) or a hydrolyzable functional group that gives a silanol group by hydrolysis is preferable because of good adsorptivity.

加水分解性官能基としては、例えば、Si原子に直接結合したアルコキシ(−OR)基等を挙げることができる。当該アルコキシ基を構成するRとしては、例えば、炭素数が1〜12である直鎖状、分岐状、環状いずれかのアルキル基が好ましい。より具体的には、メチル基、エチル基、ノルマルプロピル基、イソプロピル基、ノルマルブチル基、イソブチル基、セカンダリーブチル基、ターシャリーブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などを挙げられるが、中でもメチル基であることが好ましい。 Examples of the hydrolyzable functional group include an alkoxy (—OR A ) group directly bonded to a Si atom. As R A constituting the alkoxy group, for example, a linear, branched, or cyclic alkyl group having 1 to 12 carbon atoms is preferable. More specifically, methyl group, ethyl group, normal propyl group, isopropyl group, normal butyl group, isobutyl group, secondary butyl group, tertiary butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, A decyl group, an undecyl group, a dodecyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group and the like can be mentioned, and among them, a methyl group is preferable.

より具体的には、下記一般式(I)で表されるアルコキシシラン化合物と、2価以上のカルボン酸化合物もしくは2価以上のカルボン酸化合物が脱水してなる一無水物又は二無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種類のカルボン酸化合物もしくはカルボン酸無水物とを反応させて得られたアルコキシシラン化合物を用いることが好ましい。   More specifically, it comprises a monoanhydride or dianhydride formed by dehydrating an alkoxysilane compound represented by the following general formula (I) and a divalent or higher carboxylic acid compound or a divalent or higher carboxylic acid compound. It is preferable to use an alkoxysilane compound obtained by reacting at least one carboxylic acid compound or carboxylic acid anhydride selected from the group.

(RO)Si−Z−R (I)
[上記式(I)中、Rは炭素原子数1〜12の炭化水素基を表し、Rは、−NH、−NCO、イミダゾリル基又はトリアゾリル基を表し、Zは炭化水素数1〜10のアルキレン基を表し、かつ、該アルキレン基は、−NH−、−O−又は−S−で中断されていてもよい。]
(R 1 O) 3 Si—Z—R 2 (I)
[In the formula (I), R 1 represents a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, R 2 represents —NH 2 , —NCO, an imidazolyl group or a triazolyl group, and Z represents a hydrocarbon group having 1 to 1 carbon atoms. Represents 10 alkylene groups, and the alkylene group may be interrupted by —NH—, —O— or —S—. ]

上記一般式(I)で表されるアルコキシシラン化合物において、Rに使用できる炭素原子数1〜12の炭化水素基としては、例えば、下記のようなアルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アリール基等が使用できる。これらの中でも、水溶性が高いため一般式(I)の中のRは、炭素原子数1〜6のアルキル基がより好ましく、メチル基又はエチル基が更に好ましく、メチル基が最も好ましい。 In the alkoxysilane compound represented by the general formula (I), examples of the hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms that can be used for R 1 include an alkyl group, an alkenyl group, a cycloalkyl group, and an aryl as shown below. Groups etc. can be used. Among these, since it is highly water-soluble, R 1 in the general formula (I) is more preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group, and most preferably a methyl group.

上記アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、セカンダリーブチル基、ターシャリーブチル基、ペンチル基、アミル基、イソアミル基、ヘキシル基、ヘプチル基、イソヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、2−エチルヘキシル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、ドデシル(ラウリル)基等が挙げられる。   Examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, secondary butyl group, tertiary butyl group, pentyl group, amyl group, isoamyl group, hexyl group, heptyl group, Examples include isoheptyl group, octyl group, isooctyl group, 2-ethylhexyl group, nonyl group, isononyl group, decyl group, dodecyl (lauryl) group and the like.

上記アルケニル基としては、例えば、ビニル基、1−メチルエテニル基、2−メチルエテニル基、プロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、デセニル基等が挙げられる。   Examples of the alkenyl group include a vinyl group, 1-methylethenyl group, 2-methylethenyl group, propenyl group, butenyl group, isobutenyl group, pentenyl group, hexenyl group, heptenyl group, octenyl group, decenyl group and the like.

上記シクロアルキル基としては、例えば、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、シクロヘプチル基、メチルシクロペンチル基、メチルシクロヘキシル基、メチルシクロヘプチル基、シクロペンテニル基、シクロヘキセニル基、シクロヘプテニル基、メチルシクロペンテニル基、メチルシクロヘキセニル基、メチルシクロヘプテニル基等が挙げられる。   Examples of the cycloalkyl group include cyclohexyl, cyclopentyl, cycloheptyl, methylcyclopentyl, methylcyclohexyl, methylcycloheptyl, cyclopentenyl, cyclohexenyl, cycloheptenyl, methylcyclopentenyl, methylcyclopentyl, and the like. A hexenyl group, a methylcycloheptenyl group, etc. are mentioned.

上記アリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、2−メチルフェニル基、3−メチルフェニル基、4−メチルフェニル基、4−ビニルフェニル基、3−イソプロピルフェニル基、4−イソプロピルフェニル基、4−ブチルフェニル基、4−イソブチルフェニル基、4−ターシャリーブチルフェニル基、4−ヘキシルフェニル基、4−シクロヘキシルフェニル基等が挙げられる。   Examples of the aryl group include phenyl group, naphthyl group, 2-methylphenyl group, 3-methylphenyl group, 4-methylphenyl group, 4-vinylphenyl group, 3-isopropylphenyl group, 4-isopropylphenyl group, 4-butylphenyl group, 4-isobutylphenyl group, 4-tertiarybutylphenyl group, 4-hexylphenyl group, 4-cyclohexylphenyl group and the like can be mentioned.

また、上記一般式(I)中のZは、炭化水素数1〜10のアルキレン基を表す。Zに使用することができるアルキレン基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、イソブチレン基、ペンチレン基、ヘキシレン基、ヘプチレン基、オクチレン基等が挙げられ、該アルキレン基は、−NH−、−O−又は−S−で中断されていてもよい。水溶性が良好なことから、炭素原子数2〜5のアルキレン基がより好ましい。該アルキレン基は−NH−、−O−または−S−で中断されていてもよいが、中断されていないことが好ましい。このような一般式(I)で表される化合物の具体例としては、例えば、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−(2−アミノエチルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−(3−トリエトキシシリルプロピル)−4,5−ジヒドロイミダゾール、3−イソシアナトプロピルトリメトキシシラン、3−イソシアナトプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。中でも、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−イソシアナトプロピルトリメトキシシランが好ましい。   Moreover, Z in the said general formula (I) represents a C1-C10 alkylene group. Examples of the alkylene group that can be used for Z include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a butylene group, an isobutylene group, a pentylene group, a hexylene group, a heptylene group, an octylene group, and the like. It may be interrupted by —NH—, —O— or —S—. From the viewpoint of good water solubility, an alkylene group having 2 to 5 carbon atoms is more preferable. The alkylene group may be interrupted by —NH—, —O— or —S—, but is preferably not interrupted. Specific examples of such a compound represented by the general formula (I) include, for example, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3- (2-aminoethylamino) propyltrimethoxysilane. N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, N- (3-triethoxysilylpropyl) -4,5-dihydroimidazole, 3-isocyanatopropyltrimethoxysilane, 3-isocyanatopropyl Examples include triethoxysilane. Of these, 3-aminopropyltrimethoxysilane and 3-isocyanatopropyltrimethoxysilane are preferable.

上記2価以上のカルボン酸化合物もしくは2価以上のカルボン酸化合物が脱水してなる一無水物または二無水物としては、ジカルボン酸化合物、トリカルボン酸化合物、テトラカルボン酸化合物、ジカルボン酸化合物が脱水してなる一無水物、トリカルボン酸化合物が脱水してなる一無水物、テトラカルボン酸化合物が脱水してなる一無水物またはニ無水物が挙げられる。   Examples of the monoanhydride or dianhydride formed by dehydrating the divalent or higher carboxylic acid compound or the divalent or higher carboxylic acid compound include dicarboxylic acid compounds, tricarboxylic acid compounds, tetracarboxylic acid compounds, and dicarboxylic acid compounds. A monoanhydride formed by dehydrating a tricarboxylic acid compound, a monoanhydride formed by dehydrating a tetracarboxylic acid compound, or a dianhydride.

上記ジカルボン酸化合物またはジカルボン酸一無水物としては、特に限定するものではないが、例えば、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、フマル酸、マレイン酸等が挙げられ、さらにこれらが脱水してなる一無水物が挙げられる。   The dicarboxylic acid compound or dicarboxylic acid monoanhydride is not particularly limited, and examples thereof include oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, fumaric acid, maleic acid, and the like. Monoanhydride obtained by dehydration.

上記トリカルボン酸またはトリカルボン酸一無水物としては特に限定するものではないが、例えば、下記に挙げる(1−1〜1−4)のトリカルボン酸が挙げられ、さらにこれらが脱水してなる一無水物等が挙げられる。   Although it does not specifically limit as said tricarboxylic acid or tricarboxylic acid monoanhydride, For example, the tricarboxylic acid of (1-1-1-4) mentioned below is mentioned, Furthermore, these monoanhydrides formed by dehydrating Etc.

Figure 2013129855
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上記テトラカルボン酸、テトラカルボン酸一無水物またはニ無水物としては特に限定するものではないが、例えば、下記に挙げる(2−1〜2−19)のテトラカルボン酸が挙げられ、さらにこれらが脱水してなる一無水物またはニ無水物等が挙げられる。   Although it does not specifically limit as said tetracarboxylic acid, tetracarboxylic acid monoanhydride, or dianhydride, For example, the tetracarboxylic acid of (2-1 to 2-19) mentioned below is mentioned, Furthermore, these are these. Examples thereof include monoanhydrides and dianhydrides obtained by dehydration.

Figure 2013129855
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Figure 2013129855
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次に、本発明に用いられるカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液に用いられるアルコキシシラン化合物の製造方法について説明する。本発明に用いられるカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液に用いられるアルコキシシラン化合物の製造方法は特に限定されず、公知の方法によって製造することができる。例えば、下記の(A)または(B)に挙げるような方法によって反応させることにより、目的物であるカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を得ることができる。   Next, the manufacturing method of the alkoxysilane compound used for the solution containing the alkoxysilane compound which has a carboxyl group used for this invention is demonstrated. The manufacturing method of the alkoxysilane compound used for the solution containing the alkoxysilane compound which has a carboxyl group used for this invention is not specifically limited, It can manufacture by a well-known method. For example, an alkoxysilane compound having a carboxyl group, which is a target product, can be obtained by reacting by a method such as the following (A) or (B).

(A)一般式(I)のRが−NH、イミダゾリル基又はトリアゾリル基の場合、一般式(I)の化合物を溶媒に溶解させた溶液を、カルボン酸無水物を溶媒に溶解させた溶液に0〜25℃で滴下し、滴下終了後、5〜60℃で0.1〜5時間撹拌する。
(B)一般式(I)のRが−NCOの場合、一般式(I)の化合物を溶媒に溶解させた溶液を、カルボン酸無水物を溶媒に溶解させた溶液に30〜80℃で滴下し、滴下終了後、30〜80℃で0.5〜6時間撹拌する。
(A) When R 2 in the general formula (I) is —NH 2 , an imidazolyl group or a triazolyl group, a solution obtained by dissolving the compound of the general formula (I) in a solvent is dissolved in a carboxylic acid anhydride in the solvent. The solution is added dropwise to the solution at 0 to 25 ° C., and stirred at 5 to 60 ° C. for 0.1 to 5 hours after the completion of the addition.
(B) When R 2 of the general formula (I) is —NCO, a solution obtained by dissolving the compound of the general formula (I) in a solvent is added to a solution obtained by dissolving a carboxylic acid anhydride in a solvent at 30 to 80 ° C. The solution is added dropwise, and stirred at 30 to 80 ° C. for 0.5 to 6 hours after completion of the dropping.

一般式(I)で表される化合物と、2価以上のカルボン酸化合物もしくは2価以上のカルボン酸化合物が脱水してなる一無水物または二無水物との比は、下記のようになるようにすることが好ましい。具体的には、一般式(I)で表される化合物と2価以上のカルボン酸化合物もしくは2価以上のカルボン酸化合物が脱水してなる一無水物または二無水物との比が、モル比で一般式(1)の化合物/2価以上のカルボン酸化合物もしくは2価以上のカルボン酸化合物が脱水してなる一無水物または二無水物=1.5/1〜1/1.5となるように構成することが好ましく、1.2/1〜1/1.2となるように構成することがより好ましく、1.1/1〜1/1.1となるように構成することが更に好ましい。   The ratio of the compound represented by the general formula (I) and the monoanhydride or dianhydride obtained by dehydrating a divalent or higher carboxylic acid compound or a divalent or higher carboxylic acid compound is as follows: It is preferable to make it. Specifically, the ratio of the compound represented by the general formula (I) to a dihydride or higher carboxylic acid compound or a monoanhydride or dianhydride formed by dehydration of a divalent or higher carboxylic acid compound is a molar ratio. In formula (1), a monoanhydride or dianhydride obtained by dehydrating a divalent or higher carboxylic acid compound or a divalent or higher carboxylic acid compound = 1.5 / 1 to 1 / 1.5. Preferably, it is configured to be 1.2 / 1 to 1 / 1.2, more preferably 1.1 / 1 to 1 / 1.1. preferable.

上記した反応で用いる溶媒としては特に限定されないが、非プロトン性の極性溶媒が好ましい。より具体的には、テトラヒドロフラン、メチルターシャリーブチルエーテル、1,4−ジオキサン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、1,3−ジオキソラン、2−メチルテトラヒドロフラン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、アセトン、N−メチル−2−ピロリドン(以下、NMPと略す場合がある。)、アセトニトリル、プロピオニトリル、ジメチルスルホキシド、スルホラン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノンが挙げられる。より好ましいものとしては、アセトン、NMP、アセトニトリル、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド等が挙げられ、NMPを使用することがより好ましい。   The solvent used in the above reaction is not particularly limited, but an aprotic polar solvent is preferable. More specifically, tetrahydrofuran, methyl tertiary butyl ether, 1,4-dioxane, diethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, 1,3-dioxolane, 2-methyltetrahydrofuran, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide , Acetone, N-methyl-2-pyrrolidone (hereinafter sometimes abbreviated as NMP), acetonitrile, propionitrile, dimethyl sulfoxide, sulfolane, and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone. More preferable examples include acetone, NMP, acetonitrile, N, N-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide and the like, and it is more preferable to use NMP.

本発明に用いられるカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液に用いられるアルコキシシラン化合物の濃度は用いられる被めっき体によって適宜調節すればよいが、0.001〜10%が好ましく、0.005〜5%が特に好ましい。ここで、0.001質量%未満であると、密着性向上効果が発現しないために好ましくなく、また、10質量%を超えても、配合量の増加に伴う配合効果の向上が見られない。   The concentration of the alkoxysilane compound used in the solution containing the alkoxysilane compound having a carboxyl group used in the present invention may be appropriately adjusted depending on the object to be plated, but is preferably 0.001 to 10%, 0.005 ˜5% is particularly preferred. Here, if it is less than 0.001% by mass, the effect of improving the adhesion is not exhibited, and this is not preferable.

本発明に用いられるカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液に使用してもよい溶媒としては、特に制限を受けることはなく周知一般の溶媒を用いることが出来る。該溶媒としては、例えば、水;メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、n−ブタノール等のアルコール類;酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸メトキシエチル等の酢酸エステル類;テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジブチルエーテル、ジオキサン等のエーテル類;メチルブチルケトン、メチルイソブチルケトン、エチルブチルケトン、ジプロピルケトン、ジイソブチルケトン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン等のケトン類;ヘキサン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ジメチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、ヘプタン、オクタン、トルエン、キシレン等の炭化水素類;1−シアノプロパン、1−シアノブタン、1−シアノヘキサン、シアノシクロヘキサン、シアノベンゼン、1,3−ジシアノプロパン、1,4−ジシアノブタン、1,6−ジシアノヘキサン、1,4−ジシアノシクロヘキサン、1,4−ジシアノベンゼン等のシアノ基を有する炭化水素類;ピリジン、ルチジンが挙げられ、これらは、溶質の溶解性、使用温度と沸点、引火点の関係等により、単独又は二種類以上混合溶媒として用いられる。   The solvent that may be used in the solution containing the alkoxysilane compound having a carboxyl group used in the present invention is not particularly limited, and a known general solvent can be used. Examples of the solvent include water; alcohols such as methanol, ethanol, isopropyl alcohol, and n-butanol; acetates such as ethyl acetate, butyl acetate, and methoxyethyl acetate; tetrahydrofuran, tetrahydropyran, ethylene glycol dimethyl ether, and diethylene glycol dimethyl ether. , Ethers such as triethylene glycol dimethyl ether, dibutyl ether and dioxane; ketones such as methyl butyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethyl butyl ketone, dipropyl ketone, diisobutyl ketone, methyl amyl ketone, cyclohexanone and methylcyclohexanone; hexane, cyclohexane , Methylcyclohexane, dimethylcyclohexane, ethylcyclohexane, heptane, octane, toluene Hydrocarbons such as xylene; 1-cyanopropane, 1-cyanobutane, 1-cyanohexane, cyanocyclohexane, cyanobenzene, 1,3-dicyanopropane, 1,4-dicyanobutane, 1,6-dicyanohexane, 1, Hydrocarbons having a cyano group such as 4-dicyanocyclohexane and 1,4-dicyanobenzene; pyridine, lutidine, and the like. These may be used alone or in combination depending on the solubility of the solute, the use temperature and boiling point, the flash point, etc. Used as a mixed solvent of two or more.

本発明に用いられるカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液には、本発明の効果を損なわない範囲で必要に応じて公知のその他の添加剤と混合することができる。このようなその他の添加剤として、例えば、pH緩衝液、界面活性剤などが挙げられる。   The solution containing the alkoxysilane compound having a carboxyl group used in the present invention can be mixed with other known additives as necessary within a range not impairing the effects of the present invention. Examples of such other additives include a pH buffer solution and a surfactant.

上記pH緩衝液は、特に限定されるものではないが、周知一般のpH緩衝液を用いればよく、例えば、酢酸緩衝液、リン酸緩衝液、クエン酸緩衝液、ホウ酸緩衝液等が挙げられる。   The pH buffer solution is not particularly limited, and a well-known general pH buffer solution may be used. Examples thereof include an acetate buffer solution, a phosphate buffer solution, a citrate buffer solution, and a borate buffer solution. .

上記の界面活性剤は、濡れ性を向上させるために用いられる。例えば、カチオン性、ノニオン性、アニオン性、ベタイン性などの界面活性剤が挙げられ、カチオン性、ノニオン性またはアニオン性界面活性剤が好ましく用いられる。界面活性剤を使用する場合の使用量は、0.01〜5質量%が好ましい。   Said surfactant is used in order to improve wettability. For example, surfactants such as cationic, nonionic, anionic, and betaine are listed, and cationic, nonionic, or anionic surfactants are preferably used. As for the usage-amount in the case of using surfactant, 0.01-5 mass% is preferable.

本発明に用いられるカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液に使用してもよいカチオン性界面活性剤としては、例えば、アルキル(アルケニル)トリメチルアンモニウム塩、ジアルキル(アルケニル)ジメチルアンモニウム塩、アルキル(アルケニル)四級アンモニウム塩、エーテル基或いはエステル基或いはアミド基を含有するモノ或いはジアルキル(アルケニル)四級アンモニウム塩、アルキル(アルケニル)ピリジニウム塩、アルキル(アルケニル)ジメチルベンジルアンモニウム塩、アルキル(アルケニル)イソキノリニウム塩、ジアルキル(アルケニル)モルホニウム塩、ポリオキシエチレンアルキル(アルケニル)アミン、アルキル(アルケニル)アミン塩、ポリアミン脂肪酸誘導体、アミルアルコール脂肪酸誘導体、塩化ベンザルコニウム、塩化ベンゼトニウム等が挙げられ、これらの構造中にフッ素原子が含まれていてもよい。   Examples of the cationic surfactant that may be used in the solution containing an alkoxysilane compound having a carboxyl group used in the present invention include alkyl (alkenyl) trimethyl ammonium salts, dialkyl (alkenyl) dimethyl ammonium salts, alkyl ( Alkenyl) quaternary ammonium salt, mono- or dialkyl (alkenyl) quaternary ammonium salt containing ether group or ester group or amide group, alkyl (alkenyl) pyridinium salt, alkyl (alkenyl) dimethylbenzylammonium salt, alkyl (alkenyl) isoquinolinium Salt, dialkyl (alkenyl) morphonium salt, polyoxyethylene alkyl (alkenyl) amine, alkyl (alkenyl) amine salt, polyamine fatty acid derivative, amyl alcohol Fatty acid derivatives, benzalkonium chloride, etc. benzethonium chloride and the like, may contain fluorine atoms in these structures.

本発明に用いられるカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液に使用してもよいノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル、ポリオキシアルキレンアルケニルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンアルキルエーテル(エチレンオキサイドとプロピレンオキサイドの付加形態は、ランダム状、ブロック状の何れでもよい)、ポリエチレングリコールプロピレンオキサイド付加物、ポリプロピレングリコールエチレンオキサイド付加物、グリセリン脂肪酸エステルまたはそのエチレンオキサイド付加物、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、アルキルポリグルコシド、脂肪酸モノエタノールアミドまたはそのエチレンオキサイド付加物、脂肪酸−N−メチルモノエタノールアミドまたはそのエチレンオキサイド付加物、脂肪酸ジエタノールアミドまたはそのエチレンオキサイド付加物、ショ糖脂肪酸エステル、アルキルグリセリンエーテル、アルキルポリグリセリンエーテル、ポリグリセリン脂肪酸エステル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、脂肪酸メチルエステルエトキシレート、N−長鎖アルキルジメチルアミンオキサイドなどが挙げられ、これらの構造中にフッ素原子が含まれていてもよい。   Nonionic surfactants that may be used in the solution containing the alkoxysilane compound having a carboxyl group used in the present invention include, for example, polyoxyalkylene alkyl ether, polyoxyalkylene alkenyl ether, polyoxyethylene polyoxypropylene Alkyl ether (addition form of ethylene oxide and propylene oxide may be random or block), polyethylene glycol propylene oxide adduct, polypropylene glycol ethylene oxide adduct, glycerin fatty acid ester or its ethylene oxide adduct, sorbitan fatty acid Esters, polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters, alkyl polyglucosides, fatty acid monoethanolamides or their ethylene oxide Adduct, fatty acid-N-methylmonoethanolamide or its ethylene oxide adduct, fatty acid diethanolamide or its ethylene oxide adduct, sucrose fatty acid ester, alkyl glycerin ether, alkyl polyglycerin ether, polyglycerin fatty acid ester, polyethylene glycol fatty acid Examples thereof include esters, fatty acid methyl ester ethoxylates, and N-long chain alkyldimethylamine oxides, and these structures may contain a fluorine atom.

本発明に用いられるカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液に使用してもよいアニオン系界面活性剤としては、例えば、高級脂肪酸塩、高級アルコール硫酸エステル塩、硫化オレフィン塩、高級アルキルスルホン酸塩、α−オレフィンスルホン酸塩、硫酸化脂肪酸塩、スルホン化脂肪酸塩、リン酸エステル塩、脂肪酸エステルの硫酸エステル塩、グリセライド硫酸エステル塩、脂肪酸エステルのスルホン酸塩、α−スルホ脂肪酸メチルエステル塩、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル硫酸エステル塩、ポリオキシアルキレンアルキルフェニルエーテル硫酸エステル塩、ポリオキシアルキレンアルキルエーテルカルボン酸塩、アシル化ペプチド、脂肪酸アルカノールアミドまたはそのアルキレンオキサイド付加物の硫酸エステル塩、スルホコハク酸エステル、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタレンスルホン酸塩、アルキルベンゾイミダゾールスルホン酸塩、ポリオキシアルキレンスルホコハク酸塩、N−アシル−N−メチルタウリンの塩、N−アシルグルタミン酸またはその塩、アシルオキシエタンスルホン酸塩、アルコキシエタンスルホン酸塩、N−アシル−β−アラニンまたはその塩、N−アシル−N−カルボキシエチルタウリンまたはその塩、N−アシル−N−カルボキシメチルグリシンまたはその塩、アシル乳酸塩、N−アシルサルコシン塩、およびアルキルまたはアルケニルアミノカルボキシメチル硫酸塩などを挙げられ、これらの構造中にフッ素原子が含まれていてもよい。   Examples of the anionic surfactant that may be used in the solution containing the alkoxysilane compound having a carboxyl group used in the present invention include higher fatty acid salts, higher alcohol sulfate esters, sulfurized olefin salts, and higher alkyl sulfonic acids. Salt, α-olefin sulfonate, sulfated fatty acid salt, sulfonated fatty acid salt, phosphate ester salt, sulfate ester salt of fatty acid ester, glyceride sulfate ester salt, sulfonate salt of fatty acid ester, α-sulfo fatty acid methyl ester salt , Polyoxyalkylene alkyl ether sulfates, polyoxyalkylene alkyl phenyl ether sulfates, polyoxyalkylene alkyl ether carboxylates, acylated peptides, fatty acid alkanolamides or sulfur oxides thereof. Acid ester salt, sulfosuccinic acid ester, alkylbenzene sulfonate, alkyl naphthalene sulfonate, alkyl benzimidazole sulfonate, polyoxyalkylene sulfosuccinate, salt of N-acyl-N-methyltaurine, N-acyl glutamic acid or its Salt, acyloxyethanesulfonate, alkoxyethanesulfonate, N-acyl-β-alanine or a salt thereof, N-acyl-N-carboxyethyltaurine or a salt thereof, N-acyl-N-carboxymethylglycine or a salt thereof , Acyl lactate, N-acyl sarcosine salt, alkyl or alkenylaminocarboxymethyl sulfate, and the like, and a fluorine atom may be contained in these structures.

本発明の前処理方法に使用可能な被めっき体としては、特に制限はないが、例えば、銅、銀、金、亜鉛、ニッケル、スズ、コバルト、クロム等の金属、又ステンレス等のこれらの金属の合金、ポリシロキサンポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン−1、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリスチレン、アクリロニトリルブタジエンスチレン、ポリカーボネート、ポリヘキサメチレンアジパミド、ノルボルネン樹脂、ニトロセルロース、ウレタン樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、アミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、アクリロニトリルブタジエンゴム、シリコーンゴム等の合成樹脂、ガラス、シリカ、アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ヒドロキシアパタイト、蛍石、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、フェライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト、コーディエライト、サイアロン、マシナブルセラミックス等のセラミックスが挙げられ、1種又は2種以上が選択される。特に、無電解めっき後の密着性の改善効果が高いため、ステンレス、ガラス、合成樹脂が好ましい。2種以上併用する場合は、合成樹脂を上記の好ましい条件で使用できる被めっき体と少なくとも一つ組み合わせて使用することが好ましい。上記に挙げた被めっき体はフィラーを含有しても良く、含有しなくてもよい。また、被めっき体表面は粗面化処理されていても、されていなくてもよく、粗化度は高くてもよく、低くてもよい。   The object to be plated that can be used in the pretreatment method of the present invention is not particularly limited. For example, metals such as copper, silver, gold, zinc, nickel, tin, cobalt, and chromium, and these metals such as stainless steel. Alloys, polysiloxane polyethylene, polypropylene, polybutene-1, ethylene-vinyl acetate copolymer, polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polystyrene, acrylonitrile butadiene styrene, polycarbonate, polyhexamethylene adipamide, norbornene resin, Synthetic resins such as nitrocellulose, urethane resin, phenol resin, urea resin, melamine resin, amide resin, acrylic resin, epoxy resin, acrylonitrile butadiene rubber, silicone rubber, glass, silica, alumina, zirconia, nitriding Ceramics such as iodine, silicon carbide, aluminum nitride, boron nitride, hydroxyapatite, fluorite, barium titanate, lead zirconate titanate, ferrite, mullite, steatite, forsterite, cordierite, sialon, machinable ceramics 1 type or 2 types or more are selected. In particular, stainless steel, glass, and synthetic resin are preferable because the effect of improving adhesion after electroless plating is high. When using 2 or more types together, it is preferable to use a synthetic resin in combination with at least one object to be plated that can be used under the above-mentioned preferable conditions. The to-be-plated body mentioned above may contain a filler and does not need to contain it. The surface of the object to be plated may or may not be roughened, and the degree of roughening may be high or low.

本発明の無電解めっき被膜の製造方法とは、本発明の無電解めっき前処理剤を用いた無電解めっきの前処理や、カルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液を用いた前処理を1次前処理として被めっき体へ施し、さらに本発明の無電解めっき前処理剤を用いた無電解めっきの前処理方法を2次前処理として該被めっき体へ施した被めっき体に無電解めっきを施すことによるものである。   The method for producing an electroless plating film of the present invention includes pretreatment of electroless plating using the electroless plating pretreatment agent of the present invention and pretreatment using a solution containing an alkoxysilane compound having a carboxyl group. An electroless plating is applied to a body to be plated as a primary pretreatment, and the electroless plating pretreatment method using the electroless plating pretreatment agent of the present invention is applied as a secondary pretreatment to the body to be plated. This is due to plating.

本発明の無電解めっき被膜の製造方法に用いられる無電解めっき液は、公知のものを使用することが可能であり、例えば、銅、銀、金、亜鉛、ニッケル、スズ、コバルト、クロム、パラジウム、タングステン、白金、ロジウム或いはルテニウムからなる群より選ばれる1種又は2種以上の無電解めっきするための成分であればよく、密着性向上効果が高い点から、特に銅、ニッケル、銀をめっきするための無電解めっき液が好ましい。   As the electroless plating solution used in the method for producing an electroless plating film of the present invention, a known one can be used. For example, copper, silver, gold, zinc, nickel, tin, cobalt, chromium, palladium , Tungsten, platinum, rhodium or ruthenium selected from the group consisting of one or more components for electroless plating, particularly plating copper, nickel and silver from the viewpoint of high adhesion improvement effect An electroless plating solution is preferable.

本発明の無電解めっき被膜の製造方法に用いられる無電解めっきの製造条件は、特に制限を受けるものではなく、用いられる無電解めっき液に応じて、周知一般の条件、方法を用いることができる。   The electroless plating production conditions used in the electroless plating film production method of the present invention are not particularly limited, and well-known general conditions and methods can be used according to the electroless plating solution used. .

本発明の無電解めっき被膜の製造方法によって、例えば1μmの無電解銅めっき被膜を製造する場合の無電解銅めっき条件としては、めっき浴温度は10〜60℃が好ましく、20〜40℃が特に好ましい。無電解めっき時間は1〜60分が好ましく、1〜30分が特に好ましい。   As an electroless copper plating condition when, for example, a 1 μm electroless copper plating film is manufactured by the method for manufacturing an electroless plating film of the present invention, the plating bath temperature is preferably 10 to 60 ° C., particularly 20 to 40 ° C. preferable. The electroless plating time is preferably 1 to 60 minutes, particularly preferably 1 to 30 minutes.

本発明の無電解めっきの前処理方法を使用して製造される、めっきが施された製品は特に限定されないが、例えば、自動車工業材料(ヒートシンク、キャブレータ部品、燃料注入器、シリンダー、各種弁、エンジン内部等)、電子工業材料(接点、回路、半導体パッケージ、プリント基板、薄膜抵抗体、コンデンサー、ハードディスク、磁性体、リードフレーム、ナット、マグネット、抵抗体、ステム、コンピューター部品、電子部品、レーザー発振素子、光メモリ素子、光ファイバー、フィルター、サーミスタ、発熱体、高温用発熱体、バリスタ、磁気ヘッド、各種センサー(ガス、温度、湿度、光、速度等)、MEMS等)、精密機器(複写機部品、光学機器部品、時計部品等)、航空・船舶材料(水圧系機器、スクリュー、エンジン、タービン等)、化学工業材料(ボール、ゲート、プラグ、チェック等)、各種金型、工作機械部品、真空機器部品等、広範なものが挙げられる。本発明の無電解めっきの前処理方法は、特に無電解めっきと被めっき体との密着性が求められる電子工業材料に使用することが好ましく、中でも、半導体パッケージ、プリント基板の製造においてめっき処理を施す際に使用することがより好ましく、半導体パッケージが更に好ましい。   The plated product manufactured using the pretreatment method of electroless plating of the present invention is not particularly limited. For example, automotive industrial materials (heat sinks, carburetor parts, fuel injectors, cylinders, various valves, Engine internals, etc., electronics industry materials (contacts, circuits, semiconductor packages, printed circuit boards, thin film resistors, capacitors, hard disks, magnetic materials, lead frames, nuts, magnets, resistors, stems, computer components, electronic components, laser oscillation) Element, optical memory element, optical fiber, filter, thermistor, heating element, high temperature heating element, varistor, magnetic head, various sensors (gas, temperature, humidity, light, speed, etc.), MEMS, etc., precision equipment (copier parts, Optical equipment parts, watch parts, etc.), aviation and ship materials (hydraulic equipment, screws, engines, Turbines, etc.), chemical industrial materials (ball, gate, plug, check, etc.), various molds, machine tool parts, vacuum equipment parts like, include those extensive. The electroless plating pretreatment method of the present invention is particularly preferably used for electronic industrial materials that require adhesion between the electroless plating and the object to be plated. In particular, the plating process is used in the manufacture of semiconductor packages and printed circuit boards. More preferably, the semiconductor package is more preferable.

以下、実施例等により本発明を更に詳細に説明する。しかしながら、本発明は以下の実施例等によって何ら制限を受けるものではない。
実施例1:前処理剤の調製1
表1に示すカルボジイミド化合物を用い、表2に示す化合物及び配合量によって、実施例組成物No.1〜3を全体質量が500gとなるように調製した。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples and the like. However, the present invention is not limited by the following examples.
Example 1 Preparation 1 of Pretreatment Agent
By using the carbodiimide compounds shown in Table 1 and the compounds and blending amounts shown in Table 2, Example Composition No. 1 to 3 were prepared so that the total mass was 500 g.

比較例1:比較組成物1の調製
表2に示す化合物及び配合量によって、比較組成物1を全体質量が500gとなるように調製した。
Comparative Example 1: Preparation of Comparative Composition 1 Comparative composition 1 was prepared according to the compounds and blending amounts shown in Table 2 so that the total mass was 500 g.

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表2中、実施例組成物No.1のpHは、9.6であり、実施例組成物No.2のpHは、9.3であり、実施例組成物No.3のpHは、10.0であった。
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In Table 2, Example Composition No. 1 has a pH of 9.6. The pH of No. 2 is 9.3. The pH of 3 was 10.0.

実施例2:前処理1
被めっき体として、スミア膨潤工程、マイクロエッチング工程、還元工程を施した含フィラー芳香族エポキシ系樹脂組成物(粗度:Ra=1.3μm、形状:50mm×130mm×1mm)を用いた。この被めっき体を実施例1で調製した各組成物に60℃で10分間浸漬した後、室温で1分間水洗し、130℃で15分間乾燥させることで無電解めっきの前処理を行った。
Example 2: Pretreatment 1
As the object to be plated, a filler-containing aromatic epoxy resin composition (roughness: Ra = 1.3 μm, shape: 50 mm × 130 mm × 1 mm) subjected to a smear swelling process, a microetching process, and a reduction process was used. This object to be plated was immersed in each composition prepared in Example 10 at 60 ° C. for 10 minutes, washed with water at room temperature for 1 minute, and dried at 130 ° C. for 15 minutes to perform pretreatment of electroless plating.

評価例1:密着性評価1
実施例2に記載の方法で前処理した被めっき体にPd触媒を付与した後、32℃に調節した無電解銅めっき浴へ被めっき体を浸漬し、空気攪拌下、20分間無電解銅めっきを行った。無電解銅めっき溶液はアトテック社製、製品名:MSK−DKを使用した。得られためっき厚は1μmである。これを25℃、1分間水洗した後、恒温槽内で、150℃、30分乾燥し、10%硫酸に1分間浸漬した。そして、この無電解銅めっき上に、電解銅めっきを20μm形成し、25℃、1分間水洗した後、恒温槽内で、180℃で30分乾燥して、めっき物を得た。得られためっき物について、島津製作所社製 卓上試験機EZ−Sを用いてピール強度を測定した。測定条件は、ピール速度50mm/分であり、幅5mmである。結果を表3に示す。
Evaluation Example 1: Adhesion evaluation 1
After applying a Pd catalyst to the object to be plated pretreated by the method described in Example 2, the object to be plated is immersed in an electroless copper plating bath adjusted to 32 ° C., and electroless copper plating is performed for 20 minutes with air stirring. Went. The electroless copper plating solution used was Atotech Co., Ltd., product name: MSK-DK. The obtained plating thickness is 1 μm. This was washed with water at 25 ° C. for 1 minute, dried in a constant temperature bath at 150 ° C. for 30 minutes, and immersed in 10% sulfuric acid for 1 minute. Then, 20 μm of electrolytic copper plating was formed on the electroless copper plating, washed with water at 25 ° C. for 1 minute, and then dried at 180 ° C. for 30 minutes in a thermostatic bath to obtain a plated product. About the obtained plating object, peel strength was measured using the Shimadzu Corporation desk test machine EZ-S. The measurement conditions are a peel speed of 50 mm / min and a width of 5 mm. The results are shown in Table 3.

Figure 2013129855
Figure 2013129855

表3の結果より、評価例1−1〜1−3は比較例1と比べて大幅にCuピール強度が向上しており、実施例組成物No.1〜3を用いた前処理を行うことにより、密着性の高いめっき膜が得られることがわかった。   From the results of Table 3, the evaluation examples 1-1 to 1-3 have significantly improved Cu peel strength as compared with Comparative Example 1. It was found that a plating film with high adhesion can be obtained by performing pretreatment using 1 to 3.

カルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液の調製
下記製造例1−1〜1−5によって、カルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液である製造例組成物No.1〜5を得た。
Preparation of Solution Containing Alkoxysilane Compound Having Carboxyl Group According to the following Production Examples 1-1 to 1-5, Production Example Composition No. 1 is a solution containing an alkoxysilane compound having a carboxyl group. 1-5 were obtained.

製造例1−1:製造例組成物No.1の調製
meso−ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸(23.4g)をNMP(158.2g)に溶解し、60℃に加温した。加温後、攪拌しながら3−イソシアナトプロピルトリメトキシシラン(20.5g)を10分掛けて滴下した。滴下終了後、80℃まで加温し、1時間攪拌した。ガスクロマトグラフィーにて3−イソシアナトプロピルトリメトキシシランの消失を確認し終了とした。得られたNMP溶液(25.0g)とイオン交換水(475.0g)を混合することで製造例組成物No.1を得た。
Production Example 1-1 Production Example Composition No. Preparation of 1 Meso-butane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid (23.4 g) was dissolved in NMP (158.2 g) and heated to 60 ° C. After heating, 3-isocyanatopropyltrimethoxysilane (20.5 g) was added dropwise over 10 minutes with stirring. After completion of dropping, the mixture was heated to 80 ° C. and stirred for 1 hour. The disappearance of 3-isocyanatopropyltrimethoxysilane was confirmed by gas chromatography and the process was completed. By mixing the obtained NMP solution (25.0 g) and ion-exchanged water (475.0 g), Production Example Composition No. 1 was obtained.

製造例1−2:製造例組成物No.2の調製
meso−ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸(23.4g)をNMP(175.0g)に溶解し、60℃に加温した。加温後、攪拌しながら3−イソシアナトプロピルトリエトキシシラン(24.7g)を10分掛けて滴下した。滴下終了後、80℃まで加温し、1時間攪拌した。ガスクロマトグラフィーにて3−イソシアナトプロピルトリエトキシシランの消失を確認し終了とした。得られたNMP溶液(25.0g)とイオン交換水(475.0g)を混合することで製造例組成物No.2を得た。
Production Example 1-2: Production Example Composition No. Preparation of 2 Meso-butane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid (23.4 g) was dissolved in NMP (175.0 g) and heated to 60 ° C. After heating, 3-isocyanatopropyltriethoxysilane (24.7 g) was added dropwise over 10 minutes with stirring. After completion of dropping, the mixture was heated to 80 ° C. and stirred for 1 hour. The disappearance of 3-isocyanatopropyltriethoxysilane was confirmed by gas chromatography and the process was completed. By mixing the obtained NMP solution (25.0 g) and ion-exchanged water (475.0 g), Production Example Composition No. 2 was obtained.

製造例1−3:製造例組成物No.3の調製
無水コハク酸(10.0g)をNMP(128.6g)に室温で溶解させた。水浴で冷却しながら、攪拌下、3−アミノプロピルトリエトキシシラン(22.2g)を10分掛けて滴下した。滴下終了後、50℃まで加温し、1時間攪拌した。ガスクロマトグラフィーにて3−アミノプロピルトリエトキシシランの消失を確認し終了とした。得られたNMP溶液(25.0g)とイオン交換水(475.0g)を混合することで製造例組成物No.3を得た。
Production Example 1-3: Production Example Composition No. Preparation of 3 Succinic anhydride (10.0 g) was dissolved in NMP (128.6 g) at room temperature. While stirring in a water bath, 3-aminopropyltriethoxysilane (22.2 g) was added dropwise over 10 minutes with stirring. After completion of dropping, the mixture was heated to 50 ° C. and stirred for 1 hour. The disappearance of 3-aminopropyltriethoxysilane was confirmed by gas chromatography and the process was completed. By mixing the obtained NMP solution (25.0 g) and ion-exchanged water (475.0 g), Production Example Composition No. 3 was obtained.

製造例1−4:製造例組成物No.4の調製
meso−ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸(23.4g)をNMP(222.7g)に溶解し、60℃に加温した。加温後、攪拌しながら3−イソシアナトプロピルトリメトキシシラン(41.1g)を20分掛けて滴下した。滴下終了後、80℃まで加温し、1時間攪拌する。ガスクロマトグラフィーにて3−イソシアナトプロピルトリメトキシシランの消失を確認し終了とした。得られたNMP溶液(25.0g)とイオン交換水(475.0g)を混合することで製造例組成物No.4を得た。
Production Example 1-4: Production Example Composition No. Preparation of 4 Meso-butane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid (23.4 g) was dissolved in NMP (222.7 g) and heated to 60 ° C. After heating, 3-isocyanatopropyltrimethoxysilane (41.1 g) was added dropwise over 20 minutes with stirring. After completion of dropping, the mixture is heated to 80 ° C. and stirred for 1 hour. The disappearance of 3-isocyanatopropyltrimethoxysilane was confirmed by gas chromatography and the process was completed. By mixing the obtained NMP solution (25.0 g) and ion-exchanged water (475.0 g), Production Example Composition No. 4 was obtained.

製造例1−5:製造例組成物No.5の調製
無水トリメリット酸(19.2g)をNMP(165.5g)に室温で溶解させた。水浴で冷却しながら、攪拌下、3−アミノプロピルトリエトキシシラン(22.2g)を10分掛けて滴下した。滴下終了後、50℃まで加温し、1時間攪拌した。ガスクロマトグラフィーにて3−アミノプロピルトリエトキシシランの消失を確認し終了とした。得られたNMP溶液(25.0g)にトリエタノールアミン(3.6g)を添加し、イオン交換水(471.4g)を混合することで製造例組成物No.5を得た。
Production Example 1-5: Production Example Composition No. Preparation of 5 Trimellitic anhydride (19.2 g) was dissolved in NMP (165.5 g) at room temperature. While stirring in a water bath, 3-aminopropyltriethoxysilane (22.2 g) was added dropwise over 10 minutes with stirring. After completion of dropping, the mixture was heated to 50 ° C. and stirred for 1 hour. The disappearance of 3-aminopropyltriethoxysilane was confirmed by gas chromatography and the process was completed. Triethanolamine (3.6 g) was added to the obtained NMP solution (25.0 g), and ion-exchanged water (471.4 g) was mixed, whereby Production Example Composition No. 5 was obtained.

比較例2:比較組成物2の調製
3−アミノプロピルトリメトキシシラン(5.0g)とイオン交換水(495.0g)を混合することで、比較組成物2を得た。
Comparative Example 2: Preparation of Comparative Composition 2 Comparative composition 2 was obtained by mixing 3-aminopropyltrimethoxysilane (5.0 g) and ion-exchanged water (495.0 g).

実施例3:前処理2
被めっき体として、スミア膨潤工程、マイクロエッチング工程、還元工程を施した含フィラー芳香族エポキシ系樹脂組成物(粗度:Ra=1.3μm、形状:50mm×130mm×1mm)を用いた。この被めっき体を実施例3で調製したカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液にそれぞれ浸漬し、空気雰囲気下、40℃、5分間攪拌した後、25℃、1分間水洗を行い、実施例1で調製したカルボジイミド基を有する化合物を含有する水溶液にそれぞれ浸漬し、25℃、1分間水洗し、130℃、15分間乾燥させることで無電解めっきの前処理を行った。以降、カルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液による処理を1次処理と定義し、カルボジイミド基を有する化合物を含有する水溶液による処理を2次処理と定義した。
Example 3: Pretreatment 2
As the object to be plated, a filler-containing aromatic epoxy resin composition (roughness: Ra = 1.3 μm, shape: 50 mm × 130 mm × 1 mm) subjected to a smear swelling process, a microetching process, and a reduction process was used. This object to be plated was immersed in a solution containing an alkoxysilane compound having a carboxyl group prepared in Example 3 and stirred at 40 ° C. for 5 minutes in an air atmosphere, followed by washing with water at 25 ° C. for 1 minute. Each was immersed in an aqueous solution containing a compound having a carbodiimide group prepared in Example 1, washed with water at 25 ° C. for 1 minute, and dried at 130 ° C. for 15 minutes to perform a pretreatment for electroless plating. Hereinafter, treatment with a solution containing an alkoxysilane compound having a carboxyl group was defined as primary treatment, and treatment with an aqueous solution containing a compound having a carbodiimide group was defined as secondary treatment.

評価例2:密着性評価2
実施例3に記載の方法で前処理した被めっき体にPd触媒を付与した後、32℃に調節した無電解銅めっき浴へ被めっき体を浸漬し、空気攪拌下、20分間無電解銅めっきを行った。無電解銅めっき溶液はアトテック社製、製品名:MSK−DKを使用した。得られためっき厚は1μmである。これを25℃、1分間水洗した後、恒温槽内で、150℃、30分乾燥し、10%硫酸に1分間浸漬した。そして、この無電解銅めっき上に、電解銅めっきを20μm形成し、25℃、1分間水洗した後、恒温槽内で、180℃で30分乾燥して、めっき物を得た。得られためっき物について、島津製作所社製 卓上試験機EZ−Sを用いてピール強度を測定した。測定条件は、ピール速度50mm/分であり、幅5mmである。結果を表4に示す。
Evaluation example 2: Adhesion evaluation 2
After applying a Pd catalyst to the object to be plated pretreated by the method described in Example 3, the object to be plated is immersed in an electroless copper plating bath adjusted to 32 ° C., and electroless copper plating is performed for 20 minutes with air stirring. Went. The electroless copper plating solution used was Atotech Co., Ltd., product name: MSK-DK. The obtained plating thickness is 1 μm. This was washed with water at 25 ° C. for 1 minute, dried in a constant temperature bath at 150 ° C. for 30 minutes, and immersed in 10% sulfuric acid for 1 minute. Then, 20 μm of electrolytic copper plating was formed on the electroless copper plating, washed with water at 25 ° C. for 1 minute, and then dried at 180 ° C. for 30 minutes in a thermostatic bath to obtain a plated product. About the obtained plating object, peel strength was measured using the Shimadzu Corporation desk test machine EZ-S. The measurement conditions are a peel speed of 50 mm / min and a width of 5 mm. The results are shown in Table 4.

Figure 2013129855
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表4より、1次処理のみ行った比較例2−2〜2−4及び2次処理のみ行った評価例2−8〜2−10は、比較例1と比較して密着性の向上が確認できた。また、1次処理及び2次処理を行った評価例2−1〜2−7は比較例2−1〜2−4及び評価例2−8〜2−10と比較して、さらに大幅に密着性が向上していることが確認できた。この中でも、2次処理に実施例組成物No.2を用いた評価例2−2、2−4〜2−7では特に高い密着性が得られていることが確認できた。このことから、本発明の前処理方法の組み合わせによる相乗的な密着性向上効果を確認することができた。一方、評価例2−11のように、1次処理にカルボキシル基を有さないアルコキシシラン化合物を用いた場合には相乗的な密着性向上効果を確認することはできなかった。   From Table 4, Comparative Examples 2-2 to 2-4 in which only the primary treatment was performed and Evaluation Examples 2-8 to 2-10 in which only the secondary treatment was performed were confirmed to have improved adhesion as compared with Comparative Example 1. did it. In addition, Evaluation Examples 2-1 to 2-7 subjected to the primary treatment and the secondary treatment are more closely adhered to Comparative Examples 2-1 to 2-4 and Evaluation Examples 2-8 to 2-10. It was confirmed that the performance was improved. Among these, in the secondary treatment, Example Composition No. In Evaluation Examples 2-2 and 2-4 to 2-7 using 2, it was confirmed that particularly high adhesion was obtained. From this, the synergistic adhesive improvement effect by the combination of the pre-processing method of this invention was able to be confirmed. On the other hand, when the alkoxysilane compound which does not have a carboxyl group was used for primary treatment like the evaluation example 2-11, the synergistic adhesive improvement effect was not able to be confirmed.

評価例3:密着性評価3
実施例3に記載の方法で前処理をした被めっき体にPd触媒を付与した後、60℃に調節した無電解ニッケルめっき浴へ被めっき体を浸漬し、空気攪拌下、15分間無電解ニッケルめっきを行った。無電解ニッケルめっき溶液には、表5に記載の成分が含有されている無電解ニッケルめっき浴を用いた。得られためっき厚は2.0μmである。これを25℃、1分間水洗した後、恒温槽内で、180℃、30分乾燥し、10%硫酸に1分間浸漬した。そして、この無電解ニッケルめっき上に、電解銅めっきを20μm形成し、25℃、1分間水洗後、恒温槽内で、180℃、30分乾燥して、めっき物を得た。得られためっき物について、島津製作所社製 卓上試験機EZ−Sを用いてピール強度を測定した。測定条件は、ピール速度50mm/分であり、幅5mmである。結果を表6に示す。
Evaluation Example 3: Adhesion evaluation 3
After the Pd catalyst was applied to the object to be plated pretreated by the method described in Example 3, the object to be plated was immersed in an electroless nickel plating bath adjusted to 60 ° C., and electroless nickel was stirred for 15 minutes under air stirring. Plating was performed. As the electroless nickel plating solution, an electroless nickel plating bath containing the components shown in Table 5 was used. The obtained plating thickness is 2.0 μm. This was washed with water at 25 ° C. for 1 minute, dried in a constant temperature bath at 180 ° C. for 30 minutes, and immersed in 10% sulfuric acid for 1 minute. Then, 20 μm of electrolytic copper plating was formed on the electroless nickel plating, washed with water at 25 ° C. for 1 minute, and then dried at 180 ° C. for 30 minutes in a thermostatic bath to obtain a plated product. About the obtained plating object, peel strength was measured using the Shimadzu Corporation desk test machine EZ-S. The measurement conditions are a peel speed of 50 mm / min and a width of 5 mm. The results are shown in Table 6.

Figure 2013129855
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Figure 2013129855
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表6の結果より、評価例3−1及び評価例3−2は比較例3に比べて、大きくピール強度が向上しており、特に評価例3−2は大幅にピール強度が向上していることが確認できた。このことから、無電解ニッケルめっきの場合にも、本発明は密着性向上効果があることがわかった。   From the results of Table 6, the evaluation examples 3-1 and 3-2 are greatly improved in peel strength as compared with comparative example 3, and particularly in evaluation example 3-2, the peel strength is greatly improved. I was able to confirm. From this, it was found that the present invention has an effect of improving adhesion even in the case of electroless nickel plating.

評価例4:密着性評価4
実施例3に記載の方法で前処理をした基板にPd触媒を付与した後、25℃に調節した無電解銀浴へ被めっき体を浸漬し、空気雰囲気下、浴を撹拌しながら10%グルコース水溶液を7分かけて滴下した。滴下終了後、30分間撹拌し、無電解銀めっきを行った。無電解銀めっき溶液には、表7に記載の成分が含有されている無電解銀めっき浴を用いた。得られためっき厚は0.5μmである。これを、25℃、1分間水洗した後、恒温槽内で、180℃、30分乾燥し、10%硫酸に1分間浸漬した。そして、この無電解銀めっき上に、電解銅めっきを20μm形成し、25℃、1分間水洗した後、恒温槽内で、180℃、30分間乾燥して、めっき物を得た。得られためっき物について、島津製作所社製 卓上試験機EZ−Sを用いてピール強度を測定した。測定条件は、ピール速度50mm/分であり、幅5mmである。結果を表8に示す。
Evaluation Example 4: Adhesion evaluation 4
After the Pd catalyst was applied to the substrate pretreated by the method described in Example 3, the object to be plated was immersed in an electroless silver bath adjusted to 25 ° C., and 10% glucose was stirred while stirring the bath in an air atmosphere. The aqueous solution was added dropwise over 7 minutes. After completion of dropping, the mixture was stirred for 30 minutes and electroless silver plating was performed. As the electroless silver plating solution, an electroless silver plating bath containing the components shown in Table 7 was used. The obtained plating thickness is 0.5 μm. This was washed with water at 25 ° C. for 1 minute, dried in a constant temperature bath at 180 ° C. for 30 minutes, and immersed in 10% sulfuric acid for 1 minute. Then, 20 μm of electrolytic copper plating was formed on this electroless silver plating, washed with water at 25 ° C. for 1 minute, and then dried at 180 ° C. for 30 minutes in a thermostatic bath to obtain a plated product. About the obtained plating object, peel strength was measured using the Shimadzu Corporation desk test machine EZ-S. The measurement conditions are a peel speed of 50 mm / min and a width of 5 mm. The results are shown in Table 8.

Figure 2013129855
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Figure 2013129855
Figure 2013129855

表8の結果より、評価例4−1及び評価例4−2は比較例4に比べて、大きくピール強度が向上しており、特に評価例4−2は大幅にピール強度が向上していることが確認できた。このことから、無電解銀めっきの場合にも、本発明は密着性向上効果があることがわかった。   From the results of Table 8, Evaluation Example 4-1 and Evaluation Example 4-2 have greatly improved peel strength compared to Comparative Example 4, and in particular, Evaluation Example 4-2 has greatly improved peel strength. I was able to confirm. From this, it was found that the present invention has an effect of improving adhesion even in the case of electroless silver plating.

実施例4:前処理3
被めっき体として、スミア膨潤工程、マイクロエッチング工程、還元工程を施したソーダ石灰ガラス基板(粗度:Ra≒0.6μm、形状:50mm×130mm×1mm)を用いた。この被めっき体を実施例3で調製したカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液にそれぞれ浸漬し、空気雰囲気下、40℃、5分間攪拌した後、25℃、1分間水洗を行い、実施例1で調整したカルボジイミド基を有する化合物を含有する水溶液にそれぞれ浸漬し、25℃、1分間水洗し、130℃、15分間乾燥させることで無電解めっきの前処理を行った。
Example 4: Pretreatment 3
As the object to be plated, a soda-lime glass substrate (roughness: Ra≈0.6 μm, shape: 50 mm × 130 mm × 1 mm) subjected to a smear swelling process, a microetching process, and a reduction process was used. This object to be plated was immersed in a solution containing an alkoxysilane compound having a carboxyl group prepared in Example 3 and stirred at 40 ° C. for 5 minutes in an air atmosphere, followed by washing with water at 25 ° C. for 1 minute. Each was immersed in an aqueous solution containing a compound having a carbodiimide group prepared in Example 1, washed with water at 25 ° C. for 1 minute, and dried at 130 ° C. for 15 minutes to perform a pretreatment for electroless plating.

評価例5:密着性評価5
実施例4に記載の方法で前処理した被めっき体にPd触媒を付与した後、32℃に調節した無電解銅めっき浴へ被めっき体を浸漬し、空気攪拌下、20分間無電解銅めっきを行った。無電解銅めっき溶液はアトテック社製、製品名:MSK−DKを使用した。得られためっき厚は1μmである。これを25℃、1分間水洗した後、恒温槽内で、150℃、30分乾燥し、10%硫酸に1分間浸漬した。そして、この無電解銅めっき上に、電解銅めっきを20μm形成し、25℃、1分間水洗した後、恒温槽内で、180℃で30分乾燥して、めっき物を得た。得られためっき物について、島津製作所社製 卓上試験機EZ−Sを用いてピール強度を測定した。測定条件は、ピール速度50mm/分であり、幅5mmである。結果を表9に示す。
Evaluation Example 5: Adhesion evaluation 5
After applying a Pd catalyst to the object to be plated pretreated by the method described in Example 4, the object to be plated is immersed in an electroless copper plating bath adjusted to 32 ° C., and electroless copper plating is performed for 20 minutes with air stirring. Went. The electroless copper plating solution used was Atotech Co., Ltd., product name: MSK-DK. The obtained plating thickness is 1 μm. This was washed with water at 25 ° C. for 1 minute, dried in a constant temperature bath at 150 ° C. for 30 minutes, and immersed in 10% sulfuric acid for 1 minute. Then, 20 μm of electrolytic copper plating was formed on the electroless copper plating, washed with water at 25 ° C. for 1 minute, and then dried at 180 ° C. for 30 minutes in a thermostatic bath to obtain a plated product. About the obtained plating object, peel strength was measured using the Shimadzu Corporation desk test machine EZ-S. The measurement conditions are a peel speed of 50 mm / min and a width of 5 mm. The results are shown in Table 9.

Figure 2013129855
※1 実験を試みたものの、無電解銅めっき被膜が付着しなかった。
Figure 2013129855
* 1 Although an experiment was attempted, the electroless copper plating film did not adhere.

表9の結果より、比較例5では無電解銅めっき被膜を付着することができなかったが、評価例5−1ではソーダ石灰ガラス基板に無電解銅めっき被膜を付着させることができ、さらにピール強度を得ることができた。このことから、本発明の前処理方法によって、ソーダ石灰ガラス基板に対しても無電解銅めっき被膜を付着させることができることがわかった。   From the results of Table 9, in Comparative Example 5, the electroless copper plating film could not be adhered, but in Evaluation Example 5-1, the electroless copper plating film could be adhered to the soda-lime glass substrate, and further peeled. The strength could be obtained. From this, it was found that the electroless copper plating film can be adhered to the soda-lime glass substrate by the pretreatment method of the present invention.

実施例5:前処理4
被めっき体として、スミア膨潤工程、マイクロエッチング工程、還元工程を施したステンレス基板(SUS−304、粗度:Ra≒0.2μm、形状:50mm×130mm×1mm)を用いた。この被めっき体を実施例1で調製したカルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液にそれぞれ浸漬し、空気雰囲気下、40℃、5分間攪拌した後、25℃、1分間水洗を行い、実施例3で調整したカルボジイミド基を有する化合物を含む水溶液にそれぞれ浸漬し、25℃、1分間水洗し、130℃、15分間乾燥させることで無電解めっきの前処理を行った。
Example 5: Pretreatment 4
As the object to be plated, a stainless steel substrate (SUS-304, roughness: Ra≈0.2 μm, shape: 50 mm × 130 mm × 1 mm) subjected to a smear swelling process, a microetching process, and a reduction process was used. Each of the objects to be plated was immersed in a solution containing an alkoxysilane compound having a carboxyl group prepared in Example 1 and stirred in an air atmosphere at 40 ° C. for 5 minutes, followed by washing with water at 25 ° C. for 1 minute. Each was immersed in an aqueous solution containing a compound having a carbodiimide group prepared in Example 3, washed with water at 25 ° C. for 1 minute, and dried at 130 ° C. for 15 minutes to perform a pretreatment for electroless plating.

評価例6:密着性評価6
実施例5に記載の方法で前処理した被めっき体にPd触媒を付与した後、32℃に調節した無電解銅めっき浴へ被めっき体を浸漬し、空気攪拌下、20分間無電解銅めっきを行った。無電解銅めっき溶液はアトテック社製、製品名:MSK−DKを使用した。得られためっき厚は1μmである。これを25℃、1分間水洗した後、恒温槽内で、150℃、30分乾燥し、10%硫酸に1分間浸漬した。そして、この無電解銅めっき上に、電解銅めっきを20μm形成し、25℃、1分間水洗した後、恒温槽内で、180℃で30分乾燥して、めっき物を得た。得られためっき物について、島津製作所社製 卓上試験機EZ−Sを用いてピール強度を測定した。測定条件は、ピール速度50mm/分であり、幅5mmである。結果を表10に示す。
Evaluation Example 6: Adhesion evaluation 6
After applying a Pd catalyst to the object to be plated pretreated by the method described in Example 5, the object to be plated is immersed in an electroless copper plating bath adjusted to 32 ° C., and electroless copper plating is performed for 20 minutes with air stirring. Went. The electroless copper plating solution used was Atotech Co., Ltd., product name: MSK-DK. The obtained plating thickness is 1 μm. This was washed with water at 25 ° C. for 1 minute, dried in a constant temperature bath at 150 ° C. for 30 minutes, and immersed in 10% sulfuric acid for 1 minute. Then, 20 μm of electrolytic copper plating was formed on the electroless copper plating, washed with water at 25 ° C. for 1 minute, and then dried at 180 ° C. for 30 minutes in a thermostatic bath to obtain a plated product. About the obtained plating object, peel strength was measured using the Shimadzu Corporation desk test machine EZ-S. The measurement conditions are a peel speed of 50 mm / min and a width of 5 mm. The results are shown in Table 10.

Figure 2013129855
※2 実験を試みたものの、無電解銅めっき被膜が付着しなかった。
Figure 2013129855
* 2 Although an experiment was attempted, the electroless copper plating film did not adhere.

表10の結果より、比較例6では無電解銅めっき被膜を付着することができなかったが、評価例6−1ではステンレス基板(SUS−304)に無電解銅めっき被膜を付着させることができ、さらにピール強度を得ることができた。このことから、本発明の前処理方法によって、ステンレス基板(SUS−304)に対しても無電解銅めっき被膜を付着させることができることがわかった。   From the results of Table 10, the electroless copper plating film could not be attached in Comparative Example 6, but the electroless copper plating film could be attached to the stainless steel substrate (SUS-304) in Evaluation Example 6-1. Furthermore, peel strength could be obtained. From this, it was found that the electroless copper plating film can be adhered to the stainless steel substrate (SUS-304) by the pretreatment method of the present invention.

Claims (6)

カルボジイミド基を有する化合物を含有する水溶液からなることを特徴とする無電解めっき前処理剤。   An electroless plating pretreatment agent comprising an aqueous solution containing a compound having a carbodiimide group. 前記カルボジイミド基を有する化合物が、カルボジイミド基1モルあたりの化学式量が300〜500であるノニオン性ポリカルボジイミド化合物である、請求項1に記載の無電解めっき前処理剤。   The electroless plating pretreatment agent according to claim 1, wherein the compound having a carbodiimide group is a nonionic polycarbodiimide compound having a chemical formula amount of 300 to 500 per mole of the carbodiimide group. 請求項1または2に記載の無電解めっき前処理剤を使用して、被めっき体へ前処理を施すことを特徴とする無電解めっき前処理方法。   A pretreatment method for electroless plating, which comprises pretreating an object to be plated using the pretreatment agent for electroless plating according to claim 1 or 2. カルボキシル基を有するアルコキシシラン化合物を含有する溶液を用いた前処理を1次前処理として被めっき体へ施し、さらに請求項3に記載の前処理を2次前処理として該被めっき体へ施すことを特徴とする無電解めっき前処理方法。   A pretreatment using a solution containing an alkoxysilane compound having a carboxyl group is applied to the object as a primary pretreatment, and the pretreatment according to claim 3 is further applied to the object as a secondary pretreatment. An electroless plating pretreatment method characterized by the above. 前記被めっき体が、銅、銀、金、亜鉛、ニッケル、スズ、コバルト、クロム、ステンレス、セラミックス、ガラスおよび合成樹脂からなる群より選択される1種又は2種以上である請求項3または4に記載の無電解めっき前処理方法。   The said to-be-plated body is 1 type, or 2 or more types selected from the group which consists of copper, silver, gold | metal | money, zinc, nickel, tin, cobalt, chromium, stainless steel, ceramics, glass, and a synthetic resin. The electroless plating pretreatment method according to 1. 請求項3または4に記載の前処理方法を前記被めっき体に施し、さらに銅、銀、金、亜鉛、ニッケル、スズ、コバルト、クロム、パラジウム、タングステン、白金、ロジウムおよびルテニウムからなる群より選択される1種又は2種以上の成分を無電解めっきすることによって無電解めっき被膜を形成する無電解めっき被膜の製造方法。   The pretreatment method according to claim 3 or 4 is applied to the object to be plated, and further selected from the group consisting of copper, silver, gold, zinc, nickel, tin, cobalt, chromium, palladium, tungsten, platinum, rhodium and ruthenium. The manufacturing method of the electroless-plating film which forms an electroless-plating film by electroless-plating the 1 type, or 2 or more types of component by which it is carried out.
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