JP2013120285A - Microscope device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microscope device capable of obtaining a three dimensional stereoscopic image of the whole observation area of a sample while suppressing increase in size of the whole device, increase in image data volume, and increase in imaging time, even when deviation of focal point of the objective lens occurs.SOLUTION: A microscope device 1 includes an objective lens 4 focusing on a sample 3, an imaging element 12 for imaging the sample 3 focused by the objective lens 4, and a stage 5 capable of moving while holding the sample 3. The microscope device moves the stage 5 in an optical axis direction of the objective lens 4 and images the sample 3 at a plurality of different positions in the optical axis direction so as to acquire a plurality of images of the sample 3. The microscope device 1 further includes image identification means 17 for identifying a sample image containing the image of the sample 3 and a non-sample image not containing the images of the sample 3 from among the plurality of images, and non-sample image recording means 18 for acquiring variation of the number of the non-sample images. Based on the variation, the microscope device 1 adjusts an imaging starting point of the stage 5.

Description

本発明は、試料の三次元立体画像を取得する顕微鏡装置に関する。   The present invention relates to a microscope apparatus that acquires a three-dimensional stereoscopic image of a sample.

従来、顕微鏡装置を用いて試料(細胞や組織切片等)を観察する際に、対物レンズの光軸方向の異なる複数の位置で、試料の断面のスライス画像を連続取得する方法(Zスタック)が知られている。Zスタックでは、試料を保持するステージを一定のサンプリングピッチで光軸方向にシフトさせることにより、複数のスライス画像を取得する。このZスタックによれば、試料における観察したい部位(観察領域)の複数のスライス画像を画像処理によって合成することで、試料の三次元立体画像を形成することができる。   Conventionally, when observing a sample (cell, tissue section, etc.) using a microscope device, there has been a method (Z stack) for continuously acquiring slice images of a cross section of the sample at a plurality of different positions in the optical axis direction of the objective lens. Are known. In the Z stack, a plurality of slice images are acquired by shifting the stage holding the sample in the optical axis direction at a constant sampling pitch. According to this Z stack, a three-dimensional stereoscopic image of a sample can be formed by synthesizing a plurality of slice images of a portion (observation region) to be observed in the sample by image processing.

しかし、周囲環境の温度変動や装置内部の発熱等により、例えば、対物レンズにおける光学素子の屈折率変化や、光学素子を保持する鏡筒の熱変形などが生じ、焦点位置が変動してしまう場合がある。一般的に、対物レンズの温度敏感度は高く、環境温度が5℃程度変動することで、焦点位置が10μm近くずれてしまう。焦点位置が変動してデフォーカスが生じると、設定した光軸方向の撮像範囲内に試料の観察領域の一部が収まらず、取得したい画像の一部が欠けて観察領域全体の三次元立体画像を形成できなくなる。そのため、顕微鏡装置においては、温度変動等の影響を抑制し、焦点位置を安定的に維持することが重要となる。   However, when the focus position fluctuates due to, for example, changes in the refractive index of the optical element in the objective lens or thermal deformation of the lens barrel holding the optical element due to temperature fluctuations in the surrounding environment, heat generation inside the apparatus, etc. There is. In general, the temperature sensitivity of the objective lens is high, and the focal position shifts by about 10 μm when the environmental temperature fluctuates by about 5 ° C. When defocusing occurs due to fluctuations in the focal position, a part of the observation area of the sample does not fit within the set imaging range in the optical axis direction, and a part of the image to be acquired is missing, resulting in a three-dimensional stereoscopic image of the entire observation area Cannot be formed. For this reason, in the microscope apparatus, it is important to suppress the influence of temperature fluctuations and to maintain the focal position stably.

ここで、特許文献1では、熱変形によって生じた対物レンズの焦点位置のずれを検出し、そのずれに応じた焦点誤差信号を出力する焦点誤差検出光学系を備えた3次元顕微鏡システムが提案されている。このシステムでは、焦点誤差信号に基づいてアクチュエータを制御することにより、焦点位置のずれを補正している。また、特許文献2では、対物レンズや共焦点ピンホール等の各部材を、断熱材からなる外装カバーで囲い、その内部空間を恒温化する手段を備えた走査型共焦点顕微鏡装置が提案されている。この装置では、温度センサおよびヒータにより外装カバー内部の空気の温度を調節することで、熱影響によって光学系や機械系に歪みが発生することを防止している。   Here, Patent Document 1 proposes a three-dimensional microscope system including a focus error detection optical system that detects a shift in the focal position of the objective lens caused by thermal deformation and outputs a focus error signal corresponding to the shift. ing. In this system, the deviation of the focus position is corrected by controlling the actuator based on the focus error signal. Further, Patent Document 2 proposes a scanning confocal microscope apparatus including a member for enclosing each member such as an objective lens and a confocal pinhole with an exterior cover made of a heat insulating material and isolating the internal space. Yes. In this apparatus, the temperature of the air inside the exterior cover is adjusted by a temperature sensor and a heater, thereby preventing distortion of the optical system and the mechanical system due to the thermal effect.

特開2008−122629号公報JP 2008-122629 A 特開2008−256927号公報JP 2008-256927 A

しかしながら、特許文献1に記載の構成では、焦点誤差検出光学系を新たに設けるためのスペースが必要になる上、この焦点誤差検出光学系自体が熱変形してしまう可能性がある。また、特許文献2に記載の構成において、対物レンズに対する高精度な温度管理が要求される場合は大量の温調空気が必要となるため、装置全体の大型化およびコスト・アップを招いてしまう。   However, the configuration described in Patent Document 1 requires a space for newly providing a focus error detection optical system, and the focus error detection optical system itself may be thermally deformed. Further, in the configuration described in Patent Document 2, when high-precision temperature management for the objective lens is required, a large amount of temperature-controlled air is required, which leads to an increase in the size and cost of the entire apparatus.

ここで、周囲環境の温度変動等により生じる焦点位置のずれ量を考慮して、対物レンズの光軸方向に予備撮像範囲を設けてステージの駆動量を大きくすることで、試料の計測範囲を広げる方法が考えられる。しかし、温度変動等による対物レンズの焦点位置のずれ量は、試料の光軸方向の厚さに対して大きいため、予備撮像範囲を多く設ける必要がある。よって、この方法では、観察に必要なスライス画像と比較して、予備撮像範囲に対するスライス画像の枚数が非常に多くなり、画像データ量や撮像時間が増大してしまう。   Here, taking into account the amount of focal position deviation caused by temperature fluctuations in the surrounding environment, a preliminary imaging range is provided in the optical axis direction of the objective lens to increase the stage driving amount, thereby widening the measurement range of the sample. A method is conceivable. However, since the amount of deviation of the focal position of the objective lens due to temperature fluctuation or the like is large with respect to the thickness of the sample in the optical axis direction, it is necessary to provide a large number of preliminary imaging ranges. Therefore, in this method, the number of slice images with respect to the preliminary imaging range is very large as compared with slice images necessary for observation, and the amount of image data and imaging time increase.

そこで本発明は、対物レンズの焦点位置のずれが生じた場合においても、装置全体の大型化および画像データ量や撮像時間の増大を抑制しつつ、試料の観察領域全体の三次元立体画像を取得することができる顕微鏡装置を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention acquires a three-dimensional stereoscopic image of the entire observation region of the sample while suppressing an increase in the size of the entire apparatus and an increase in the amount of image data and imaging time even when the focal position of the objective lens shifts. An object of the present invention is to provide a microscope apparatus capable of performing the above.

上記目的を達成するための、本発明の一側面としての顕微鏡装置は、試料を結像する対物レンズと、該対物レンズにより結像された前記試料を撮像する撮像素子と、前記試料を保持して移動可能なステージと、を備え、前記ステージを前記対物レンズの光軸方向に移動して、該光軸方向の異なる複数の位置で前記試料を撮像することにより、前記試料の複数の画像を取得する顕微鏡装置であって、前記複数の画像のうちの、前記試料の像を含む試料画像と前記試料の像を含まない非試料画像とを識別する画像認識手段と、前記非試料画像の枚数の変動量を取得する非試料画像記録手段と、を有しており、前記変動量に基づいて前記ステージの撮像開始位置を調整することを特徴とする。   In order to achieve the above object, a microscope apparatus according to one aspect of the present invention includes an objective lens that forms an image of a sample, an imaging element that images the sample imaged by the objective lens, and the sample. And moving the stage in the optical axis direction of the objective lens, and imaging the sample at a plurality of positions different in the optical axis direction, thereby obtaining a plurality of images of the sample. A microscope apparatus for obtaining the image recognition means for identifying a sample image including the image of the sample and a non-sample image not including the image of the sample, and the number of the non-sample images. And a non-sample image recording means for acquiring the fluctuation amount of the stage, and adjusting the imaging start position of the stage based on the fluctuation amount.

なお、本発明の更なる目的またはその他の特徴は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施の形態によって明らかにされる。   Further objects and other features of the present invention will become apparent from the preferred embodiments described below with reference to the accompanying drawings.

本発明によれば、対物レンズの焦点位置のずれが生じた場合においても、装置全体の大型化および画像データ量や撮像時間の増大を抑制しつつ、試料の観察領域全体の三次元立体画像を取得することができる顕微鏡装置を提供することができる。   According to the present invention, even when the focal position of the objective lens shifts, a three-dimensional stereoscopic image of the entire observation region of the sample is suppressed while suppressing an increase in the size of the entire apparatus and an increase in the amount of image data and imaging time. A microscope apparatus that can be obtained can be provided.

本発明の実施例1に係る顕微鏡装置を示すブロック図。1 is a block diagram showing a microscope apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施例1に係る顕微鏡装置におけるステージの調整動作を示す説明図。Explanatory drawing which shows the adjustment operation of the stage in the microscope apparatus which concerns on Example 1 of this invention. 本発明の実施例2に係る顕微鏡装置を示すブロック図。FIG. 6 is a block diagram showing a microscope apparatus according to Embodiment 2 of the present invention. 本発明の実施例3に係る顕微鏡装置を示すブロック図。FIG. 6 is a block diagram showing a microscope apparatus according to Embodiment 3 of the present invention. 本発明の実施例4に係る顕微鏡装置を示すブロック図。FIG. 9 is a block diagram showing a microscope apparatus according to Embodiment 4 of the present invention.

以下、本発明の好ましい実施例について図面を用いて説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

[実施例1]
図1に示すブロック図を用いて、本発明の実施例1に係る顕微鏡装置1により観察対象の試料3を撮像する動作を説明する。試料3は開口が設けられたステージ5上に配置および固定されており、その開口を通して光源(不図示)からの光が試料3に照射される。試料3を透過した光6は、対物レンズ4を介して撮像素子12の撮像面上に結像され、撮像素子12によって試料3の像が電気信号に変換される。そして、この電気信号は画像処理手段15に送られ、画像処理が施されることにより画像として形成される。なお、撮像素子12による撮像動作は、撮像素子制御手段13によって制御できるものとしている。
[Example 1]
With reference to the block diagram shown in FIG. 1, the operation of imaging the sample 3 to be observed by the microscope apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention will be described. The sample 3 is disposed and fixed on a stage 5 provided with an opening, and light from a light source (not shown) is irradiated to the sample 3 through the opening. The light 6 that has passed through the sample 3 is imaged on the imaging surface of the image sensor 12 via the objective lens 4, and the image of the sample 3 is converted into an electrical signal by the image sensor 12. Then, this electric signal is sent to the image processing means 15 and subjected to image processing to form an image. Note that the imaging operation by the imaging device 12 can be controlled by the imaging device control means 13.

本実施例では、上述した撮像動作を試料におけるZ方向(対物レンズ4の光軸方向)の複数の位置で行う方法(Zスタック)を用いることにより、試料3のスライス画像を取得する。具体的には、ステージ制御手段14により、ステージ5をZ方向にステップ駆動することによって、Z方向の異なる複数の位置で試料3を撮像してスライス画像を取得することができる。そして、取得した複数のスライス画像を画像処理手段15により合成して、試料3全体の三次元立体画像を形成することができる。また、取得した各スライス画像および三次元立体画像は、画像データベース16に保存され、不図示のPCモニタに表示することができる。なお、このようなZスタックを行う場合は、顕微鏡装置1として共焦点顕微鏡を用いることが望ましい。   In this embodiment, a slice image of the sample 3 is acquired by using a method (Z stack) in which the above-described imaging operation is performed at a plurality of positions in the Z direction (the optical axis direction of the objective lens 4) in the sample. Specifically, the stage controller 14 step-drives the stage 5 in the Z direction, whereby the sample 3 can be imaged at a plurality of different positions in the Z direction to obtain slice images. Then, the acquired slice images can be synthesized by the image processing means 15 to form a three-dimensional stereoscopic image of the entire sample 3. Each acquired slice image and three-dimensional stereoscopic image are stored in the image database 16 and can be displayed on a PC monitor (not shown). In addition, when performing such Z stacking, it is desirable to use a confocal microscope as the microscope apparatus 1.

ここで、周囲環境の温度変動等により、対物レンズ4における光学素子の屈折率変化や、光学素子を保持する鏡筒の熱変形などが生じ、焦点位置が変動してしまう場合がある。そこで、本実施例では、温度変動等により生じる焦点位置のずれ量を考慮して、Z方向に予備撮像範囲を設けている。すなわち、ステージ5のステップ駆動における予備分ストロークを設定することで、試料3におけるZ方向の計測範囲を広げている。このことにより、焦点位置のずれ量を検出するための光学系や、対物レンズ4を温調するための構成が不要となるため、装置全体の大型化を招くことなく、試料の観察領域全体の三次元立体画像を取得することができる。   Here, a change in the refractive index of the optical element in the objective lens 4 or a thermal deformation of the lens barrel holding the optical element may occur due to a temperature change in the surrounding environment, and the focal position may change. Therefore, in the present embodiment, a preliminary imaging range is provided in the Z direction in consideration of the amount of focus position shift caused by temperature fluctuation or the like. That is, by setting a preliminary stroke in the step drive of the stage 5, the measurement range in the Z direction of the sample 3 is expanded. This eliminates the need for an optical system for detecting the shift amount of the focal position and a configuration for adjusting the temperature of the objective lens 4, so that the entire observation area of the sample is not increased without increasing the size of the entire apparatus. A three-dimensional stereoscopic image can be acquired.

しかし、エアコン等の空調機器により温度管理された部屋においても、一般的に2〜3℃程度の温度変動が生じ、この程度の温度変動による対物レンズ4の焦点位置のずれ量は試料3の厚さに対して大きい。よって、焦点位置のずれ量に応じて予備撮像範囲を多く設ける必要がある。例えば、3℃の温度変動が生じた時の対物レンズ4の焦点位置のずれ量が7.5μmであるとし、厚さ5μmの細胞のスライス画像を、0.5μmの等間隔のサンプリングピッチで取得する場合を考える。この場合、細胞全体の三次元立体画像を取得するためには、細胞の厚さ5μmに対して11枚のスライス画像が必要となる。一方で、細胞の表面側および裏面側に対して、焦点位置のずれ量7.5μm分の予備分ストロークを設定した場合、その予備分ストロークで撮像して得られるスライス画像の予備撮像枚数は30枚となる。よって、この方法では、観察に必要なスライス画像と比較して、予備撮像範囲に対するスライス画像の枚数が非常に多くなり、画像データ量や撮像時間が増大してしまうという問題が生じる。   However, even in a room whose temperature is controlled by an air conditioner such as an air conditioner, a temperature fluctuation of about 2 to 3 ° C. generally occurs. The amount of shift of the focal position of the objective lens 4 due to this temperature fluctuation is the thickness of the sample 3 It is big against. Therefore, it is necessary to provide a large number of preliminary imaging ranges according to the focal position shift amount. For example, assuming that the focal position shift amount of the objective lens 4 when a temperature fluctuation of 3 ° C. occurs is 7.5 μm, slice images of cells having a thickness of 5 μm are acquired at a sampling pitch of 0.5 μm at regular intervals. Consider the case. In this case, in order to obtain a three-dimensional stereoscopic image of the entire cell, eleven slice images are required for a cell thickness of 5 μm. On the other hand, when a preliminary stroke corresponding to a focal position shift amount of 7.5 μm is set for the front surface side and the back surface side of the cell, the number of preliminary captured images of slice images obtained by imaging with the preliminary stroke is 30. It becomes a sheet. Therefore, this method has a problem that the number of slice images for the preliminary imaging range is very large as compared with slice images necessary for observation, and the amount of image data and imaging time increase.

そこで、顕微鏡装置1において、周囲環境の温度変動等により生じる焦点位置のずれ量を考慮して予備撮像範囲を設ける場合に、予備撮像枚数を減らし、撮像時間を短縮するための構成を以下に説明する。   Therefore, in the microscope apparatus 1, in the case where the preliminary imaging range is provided in consideration of the shift amount of the focus position caused by the temperature fluctuation of the surrounding environment, a configuration for reducing the number of preliminary imaging and shortening the imaging time will be described below. To do.

図1に示すように、顕微鏡装置1は前述した構成の他に、条件設定手段2と、画像認識手段17と、非試料画像記録手段18と、補正量算出手段19と、を有している。なお、これらの各手段や撮像素子制御手段13および画像処理手段15としてはCPUを用いることができる。また、ステージ制御手段14としては、CPUの他にステージを駆動させるためのアクチュエータや、ステージ位置検出器(例えばエンコーダ等)を含む構成とすることができる。   As shown in FIG. 1, the microscope apparatus 1 includes a condition setting unit 2, an image recognition unit 17, a non-sample image recording unit 18, and a correction amount calculation unit 19 in addition to the configuration described above. . Note that a CPU can be used as each of these units, the image sensor control unit 13 and the image processing unit 15. In addition to the CPU, the stage control means 14 may include an actuator for driving the stage and a stage position detector (for example, an encoder).

条件設定手段2によって、Zスタックを行う際の初期設定を以下のように行う。まず、予め取得しておいた試料3の厚さ情報に基づいて、図2(a)に示すように、試料撮像分のステージ移動量である試料分ストローク7を設定する。この試料分ストローク7と、ユーザーが任意に設定したサンプリングピッチと、により試料撮像枚数を求める。また、試料分ストローク7に加えて予備分ストローク8aおよび8bをそれぞれ設定し、試料撮像枚数と同様にサンプリングピッチから予備撮像枚数を求める。ここで、図2(a)では、予備分ストローク8aおよび8bは、試料分ストローク7の上側および下側に設定されており、これらを含めて撮像ストローク9としている。そして、条件設定手段2において、撮像ストローク9に応じて撮像する撮像範囲を設定するために、ステージ5の撮像開始位置を決定し、かつ試料撮像枚数および予備撮像枚数から撮像回数を算出する。このように、条件設定手段2によって求めた各初期設定情報が、ステージ制御手段14および撮像素子制御手段13に送られることにより、試料3の撮像が開始される。   The initial setting when performing Z stacking is performed by the condition setting means 2 as follows. First, based on the thickness information of the sample 3 acquired in advance, as shown in FIG. 2A, a sample stroke 7 that is a stage movement amount for sample imaging is set. The number of sampled images is obtained from the sample stroke 7 and the sampling pitch arbitrarily set by the user. Also, preliminary strokes 8a and 8b are set in addition to the sample stroke 7, and the number of preliminary images is obtained from the sampling pitch in the same manner as the number of sample images. Here, in FIG. 2A, the preparatory strokes 8a and 8b are set on the upper side and the lower side of the sample stroke 7, and are included in the imaging stroke 9. Then, the condition setting means 2 determines the imaging start position of the stage 5 in order to set the imaging range for imaging according to the imaging stroke 9, and calculates the number of imaging from the sample imaging number and the preliminary imaging number. In this way, the initial setting information obtained by the condition setting unit 2 is sent to the stage control unit 14 and the image sensor control unit 13, whereby imaging of the sample 3 is started.

前述した各設定情報に基づいて取得した複数のスライス画像は、画像データベース16に保存される。ここで、画像認識手段17は、取得した各スライス画像のコントラストに基づいて、試料3の像を含む試料画像と試料3の像を含まない非試料画像とを識別する。この時、試料3の表面位置および裏面位置のそれぞれにおけるスライス画像(表面画像および裏面画像)を検出することができる。そして、非試料画像記録手段18により、画像認識手段17の識別結果に基づき、試料3の表面側および裏面側のそれぞれにおける非試料画像枚数を取得および記録する。非試料画像記録手段18は、同じ試料3を複数回観察したり、複数の試料3を連続して観察したりする場合など、三次元立体画像の取得毎に非試料画像枚数を随時記録していく。なお、表面画像および裏面画像は、試料画像から非試料画像に切り替わる境界の画像であるため、画像認識手段17により表面画像および裏面画像を検出しておけば、非試料画像の枚数を容易に検出することができる。   A plurality of slice images acquired based on each setting information described above are stored in the image database 16. Here, the image recognition means 17 discriminates between the sample image including the image of the sample 3 and the non-sample image not including the image of the sample 3 based on the acquired contrast of each slice image. At this time, slice images (front surface image and back surface image) at the front surface position and the back surface position of the sample 3 can be detected. Then, the non-sample image recording unit 18 acquires and records the number of non-sample images on the front side and the back side of the sample 3 based on the identification result of the image recognition unit 17. The non-sample image recording means 18 records the number of non-sample images as needed every time a three-dimensional stereoscopic image is acquired, such as when observing the same sample 3 a plurality of times or continuously observing a plurality of samples 3. Go. Since the front image and the back image are images of the boundary where the sample image is switched to the non-sample image, if the front image and the back image are detected by the image recognition means 17, the number of non-sample images can be easily detected. can do.

ここで、図2(b)では、撮像範囲の最上端と対物レンズ4の焦点位置とが一致する位置をステージ5の撮像開始位置として設定しており、対物レンズ4の焦点位置のずれが発生していない場合を示している。なお、ここでは、試料3の表面側から裏面側の順に撮像する場合を想定しているが、試料3の裏面側から表面側の順に撮像するようにステージ5の撮像開始位置を設定してもよい。また、撮像ストローク9に対して撮像される撮像範囲のうち、試料3が撮像される範囲を試料撮像範囲10、試料3が撮像されない範囲を非試料撮像範囲11aおよび11bとしている。すると、対物レンズ4の焦点位置のずれが生じていないため、条件設定手段2で設定した試料分ストローク7は、試料撮像範囲10に一致することになる。すなわち、予備分ストローク8aおよび8bと、試料3の表面側の非試料撮像範囲11aおよび裏面側の非試料撮像範囲11bとがそれぞれ一致し、かつ非試料撮像範囲11aおよび11bにおける非試料画像枚数が予備撮像枚数と等しくなる。   Here, in FIG. 2B, the position where the uppermost end of the imaging range coincides with the focal position of the objective lens 4 is set as the imaging start position of the stage 5, and the deviation of the focal position of the objective lens 4 occurs. It shows a case that is not. Here, it is assumed that the imaging is performed in the order from the front surface side to the back surface side of the sample 3, but the imaging start position of the stage 5 may be set so that the imaging is performed in the order from the back surface side to the front surface side of the sample 3. Good. In addition, in the imaging range captured with respect to the imaging stroke 9, the range in which the sample 3 is imaged is defined as the sample imaging range 10, and the range in which the sample 3 is not imaged is defined as the non-sample imaging ranges 11a and 11b. Then, since the deviation of the focal position of the objective lens 4 does not occur, the sample stroke 7 set by the condition setting means 2 coincides with the sample imaging range 10. That is, the preliminary strokes 8a and 8b coincide with the non-sample imaging range 11a on the front side of the sample 3 and the non-sample imaging range 11b on the back side, respectively, and the number of non-sample images in the non-sample imaging ranges 11a and 11b is the same. It becomes equal to the number of preliminary images.

一方、試料3を連続して観察していくうちに周囲環境の温度変動等が生じ、対物レンズ4の焦点位置がずれていった場合、非試料画像記録手段18により随時記録される非試料画像枚数が変動してしまう。例えば、図2(c)に示すように、焦点位置が対物レンズ4側に移動した場合、条件設定手段2により設定していた撮像範囲も焦点位置のずれ量と同じ分だけ移動する。よって、試料3の表面側の非試料撮像範囲11a(非試料画像枚数)は増加し、試料3の裏面側の非試料撮像範囲11b(非試料画像枚数)は減少することになる。   On the other hand, when the sample 3 is continuously observed, a temperature variation or the like of the surrounding environment occurs, and when the focal position of the objective lens 4 is deviated, the non-sample image recorded at any time by the non-sample image recording means 18. The number of sheets will fluctuate. For example, as shown in FIG. 2C, when the focal position moves to the objective lens 4 side, the imaging range set by the condition setting means 2 also moves by the same amount as the focal position deviation amount. Therefore, the non-sample imaging range 11a (the number of non-sample images) on the front side of the sample 3 increases, and the non-sample imaging range 11b (the number of non-sample images) on the back side of the sample 3 decreases.

そこで、非試料画像記録手段18は、記録した非試料画像枚数に基づいて、試料3の三次元立体画像の取得毎に、または試料3を変更する毎に非試料画像枚数の変動量を算出および記録する。この時、条件設定手段2により設定した予備撮像枚数を非試料画像枚数の基準としてその基準からの変動量を取得したり、試料3の観察毎に記録した非試料画像枚数の差分を取得したりすることで、焦点位置のずれ量20を算出してもよい。   Therefore, the non-sample image recording means 18 calculates the variation amount of the number of non-sample images every time a three-dimensional stereoscopic image of the sample 3 is acquired or every time the sample 3 is changed based on the recorded number of non-sample images. Record. At this time, using the number of preliminary images set by the condition setting means 2 as a reference for the number of non-sample images, the amount of variation from that reference is acquired, or the difference in the number of non-sample images recorded for each observation of the sample 3 is acquired. By doing so, the deviation amount 20 of the focal position may be calculated.

さらに、補正量算出手段19により、非試料画像枚数の変動量に基づいて、対物レンズ4の焦点位置のずれ量20を算出することができる。なお、補正量算出手段19により、予め焦点位置のずれ量20の許容範囲に対応する非試料画像枚数の許容変動量(非試料画像の許容枚数)を設定しておくことができる。そして、試料3の表面側または裏面側の非試料画像枚数が、その許容変動量の分だけ変動して許容枚数と一致した時に、ステージ5の撮像開始位置の調整が必要であると判定される。具体的には、焦点位置のずれ量20を、撮像範囲補正量21としてステージ制御手段14にフィードバックし、試料3の非試料撮像範囲11aおよび非試料撮像範囲11bが等しくなるように、ステージ5の撮像開始位置を調整する。その結果、焦点位置のずれ量20の影響が相殺され、撮像範囲が補正される。   Further, the correction amount calculation means 19 can calculate the focal position deviation amount 20 of the objective lens 4 based on the fluctuation amount of the number of non-sample images. The correction amount calculation means 19 can set in advance an allowable variation amount of the number of non-sample images (allowable number of non-sample images) corresponding to the allowable range of the focal position deviation amount 20. When the number of non-sample images on the front side or the back side of the sample 3 changes by the allowable fluctuation amount and matches the allowable number, it is determined that the imaging start position of the stage 5 needs to be adjusted. . Specifically, the shift amount 20 of the focal position is fed back to the stage control unit 14 as an imaging range correction amount 21 so that the non-sample imaging range 11a and the non-sample imaging range 11b of the sample 3 are equal. Adjust the imaging start position. As a result, the influence of the focal position shift amount 20 is canceled and the imaging range is corrected.

具体例として、試料3の厚さを5μm、スライス画像のサンプリングピッチを0.5μmとし、3℃の温度変動が生じた時の対物レンズ4の焦点位置のずれ量が7.5μmである場合を考える。   As a specific example, the thickness of the sample 3 is 5 μm, the sampling pitch of the slice image is 0.5 μm, and the amount of deviation of the focal position of the objective lens 4 when a temperature variation of 3 ° C. occurs is 7.5 μm. Think.

この場合、条件設定手段2により、試料3の厚さ情報に基づき試料分ストローク7を5μmと設定でき、この時算出される試料撮像枚数は11枚となる。ここで、本発明を用いない場合は、焦点位置のずれ量が7.5μmであることを考慮すると、予備分ストローク8aおよび8bのそれぞれを7.5μmに設定する必要があり、その時の予備撮像枚数30枚となる。しかし本実施例では、上述したように、焦点位置のずれに応じて随時ステージ5の撮像開始位置を調整することができるため、予備分ストローク8aおよび8bのそれぞれを小さい値(例えば2μm)に設定することができる。予備分ストローク8aおよび8bをそれぞれ2μmとした時の予備撮像枚数は8枚(各4枚)となり、本発明を適用せずに予備分ストロークを設けた場合に対して予備撮像枚数を削減することができる。なお、周囲環境の温度変動等が少ない場合には、予備分ストローク8aおよび8bをさらに小さな値にすることができる。   In this case, the condition setting means 2 can set the sample stroke 7 to 5 μm based on the thickness information of the sample 3, and the number of sampled images calculated at this time is 11. Here, when the present invention is not used, it is necessary to set each of the preliminary strokes 8a and 8b to 7.5 μm in consideration of the focal position deviation amount of 7.5 μm. The number will be 30. However, in the present embodiment, as described above, since the imaging start position of the stage 5 can be adjusted at any time according to the shift of the focal position, each of the preliminary strokes 8a and 8b is set to a small value (for example, 2 μm). can do. When the preliminary strokes 8a and 8b are each 2 μm, the number of preliminary images to be captured is eight (four each), and the number of preliminary images to be captured is reduced as compared with the case where the preliminary strokes are provided without applying the present invention. Can do. When the temperature fluctuations in the surrounding environment are small, the preliminary strokes 8a and 8b can be made smaller.

対物レンズ4の焦点位置のずれが発生していない場合は、図2(b)に示したように、試料3の表面側および裏面側の非試料画像枚数は、設定した予備撮像枚数(各4枚)と等しくなる。しかし、図2(c)に示したように、対物レンズ4の焦点位置が経時的に上方にずれていく場合、試料3の表面側の非試料画像枚数は4枚から5枚、6枚と増加していき、試料3の裏面側の非試料画像枚数は4枚から3枚、2枚と減少していく。ここで、補正量算出手段19により非試料画像枚数の許容変動量を2枚に設定した場合、試料3の表面側および裏面側の非試料画像の許容枚数はそれぞれ6枚および2枚となる。よって、非試料画像記録手段18が取得する非試料画像枚数がこの許容枚数に一致した時点で、撮像範囲の補正が必要であると判定される。そして、補正量算出手段19により、スライス画像のサンプリングピッチ(0.5μm)と、非試料画像枚数の変動量(2枚)とに基づき、対物レンズ4の焦点位置のずれ量20が1μmとして算出される。よって、このずれ量20が撮像範囲補正量21としてステージ制御手段14に送られることで、ステージ5の撮像開始位置に対するフィードバック調整が行われる。その結果、焦点位置のずれ量20に対して撮像範囲が補正され、試料3の表面側および裏面側の非試料画像枚数をそれぞれ4枚に戻すことができる。   When the focal position of the objective lens 4 is not shifted, as shown in FIG. 2B, the number of non-sample images on the front side and the back side of the sample 3 is equal to the set number of pre-imaging images (each 4 Sheet). However, as shown in FIG. 2C, when the focal position of the objective lens 4 is shifted upward with time, the number of non-sample images on the surface side of the sample 3 is 4 to 5, 6 and so on. As the number increases, the number of non-sample images on the back side of the sample 3 decreases from four to three and two. Here, when the allowable variation amount of the number of non-sample images is set to 2 by the correction amount calculation means 19, the allowable number of non-sample images on the front side and the back side of the sample 3 is 6 and 2, respectively. Therefore, when the number of non-sample images acquired by the non-sample image recording means 18 matches this allowable number, it is determined that the imaging range needs to be corrected. Then, the correction amount calculation means 19 calculates the focal position deviation amount 20 of the objective lens 4 as 1 μm based on the sampling pitch (0.5 μm) of the slice image and the variation amount (2 sheets) of the number of non-sample images. Is done. Therefore, the deviation amount 20 is sent to the stage control unit 14 as the imaging range correction amount 21 so that feedback adjustment with respect to the imaging start position of the stage 5 is performed. As a result, the imaging range is corrected with respect to the focal position shift amount 20, and the number of non-sample images on the front surface side and the back surface side of the sample 3 can be returned to 4, respectively.

以上、本実施例に係る顕微鏡装置1によれば、対物レンズ4の焦点位置のずれが生じた場合でも、随時記録される非試料画像枚数の変化から算出した補正量に基づきステージ5をフィードバック調整し、撮像範囲を補正することができる。そのため、予備分ストローク8aおよび8bを小さく設定しても、試料3の観察領域全体の三次元立体画像を取得することができるため、装置全体の大型化および画像データ量や撮像時間の増大を抑制することができる。   As described above, according to the microscope apparatus 1 according to the present embodiment, even when the focus position of the objective lens 4 is deviated, the stage 5 is feedback adjusted based on the correction amount calculated from the change in the number of non-sample images recorded at any time. Thus, the imaging range can be corrected. Therefore, even if the preliminary strokes 8a and 8b are set to be small, a three-dimensional stereoscopic image of the entire observation region of the sample 3 can be acquired, so that the overall size of the apparatus and the increase in image data amount and imaging time are suppressed. can do.

[実施例2]
以下、図3を参照して、本発明の別の実施例について説明する。なお、以下の説明において、実施例1と同一または同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。
[Example 2]
Hereinafter, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the following description, the same or equivalent components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.

本実施例に係る顕微鏡装置1は、実施例1の構成に加えて予備撮像調整手段22を備えている。例えば、周囲環境の温度変動等の量が当初想定していたよりも少なかった場合、図2(c)に示したような対物レンズ4の焦点位置のずれ量20に対して、条件設定手段2で設定した予備分ストローク8aおよび8bに不要分が生じることになる。そこで、予備撮像調整手段22は、非試料画像記録手段18で取得される非試料画像枚数の変動量から、非試料画像枚数の不要分(不要枚数)を取得し、その不要枚数より予備分補正値を算出する。そして、その予備分補正値を条件設定手段2にフィードバックすることにより、以降の測定において条件設定手段2により設定される予備分ストローク8aおよび8bを減らすことができ、画像データ量および撮像時間の増大を抑制することができる。   The microscope apparatus 1 according to the present embodiment includes a preliminary imaging adjustment unit 22 in addition to the configuration of the first embodiment. For example, when the amount of temperature fluctuation in the surrounding environment is smaller than originally assumed, the condition setting means 2 uses the focal position shift amount 20 of the objective lens 4 as shown in FIG. An unnecessary portion is generated in the set preliminary portion strokes 8a and 8b. Therefore, the preliminary imaging adjustment unit 22 acquires an unnecessary amount (unnecessary number) of the number of non-sample images from the fluctuation amount of the number of non-sample images acquired by the non-sample image recording unit 18 and corrects the preliminary amount from the unnecessary number. Calculate the value. Then, by feeding back the preliminary correction value to the condition setting unit 2, the preliminary strokes 8a and 8b set by the condition setting unit 2 in the subsequent measurement can be reduced, and the amount of image data and the imaging time are increased. Can be suppressed.

ここで、実施例1において説明した具体例に基づき、本実施例の予備撮像調整手段22について説明する。例えば、予備撮像調整手段22が非試料画像枚数の不要分を検出すると、対物レンズ4の焦点位置のずれ量20に対して、予備分ストローク8aおよび8b(各2μm)が大きすぎると判断する。そして、予備撮像調整手段22は、予備分ストローク8aおよび8bに対応する予備撮像枚数(各4枚)のうちの不要枚数(例えば各1枚)を求め、算出した予備分補正値を条件設定手段2にフィードバックする。そして、この予備分補正値に基づき、条件設定手段2により予備分ストローク8aおよび8bを新たに設定することで、予備撮像枚数を各1枚ずつ削減することができる。   Here, based on the specific example described in the first embodiment, the preliminary imaging adjustment unit 22 of the present embodiment will be described. For example, when the preliminary imaging adjustment unit 22 detects an unnecessary portion of the number of non-sample images, it is determined that the preliminary strokes 8a and 8b (each 2 μm) are too large with respect to the focal position shift amount 20 of the objective lens 4. Then, the preliminary imaging adjustment unit 22 obtains an unnecessary number (for example, one each) of the preliminary imaging number (four each) corresponding to the preliminary strokes 8a and 8b, and sets the calculated preliminary correction value as the condition setting unit. Feedback to 2. Then, based on this preliminary correction value, the preliminary setting strokes 8a and 8b are newly set by the condition setting means 2, whereby the number of preliminary images to be captured can be reduced one by one.

なお、予備撮像調整手段22により、対物レンズ4の焦点位置のずれ量20に対して、予備分ストローク8aおよび8bが小さすぎると判断した場合には、予備撮像枚数の不足分に基づき予備分ストロークを増やすようにすることができる。   When the preliminary imaging adjustment means 22 determines that the preliminary strokes 8a and 8b are too small with respect to the focal position shift amount 20 of the objective lens 4, the preliminary stroke is based on the shortage of the preliminary imaging number. Can be increased.

[実施例3]
以下、図4を参照して、本発明の別の実施例について説明する。なお、以下の説明において、上述した他の実施例と同一または同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。
[Example 3]
Hereinafter, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the following description, the same or equivalent components as those in the other embodiments described above are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.

実施例1では、撮像ストローク9に対するスライス画像を全て取得した後に、画像認識手段17により試料3の表面位置および裏面位置のそれぞれにおけるスライス画像(表面画像および裏面画像)を検出する場合について説明した。一方、本実施例では、試料3のZ方向の各位置における撮像中に、画像処理手段15によって形成されるスライス画像を画像認識手段17により順次識別して、表面画像および裏面画像を検出する場合を考える。   In the first embodiment, a case has been described in which after the slice images for the imaging stroke 9 are all acquired, the image recognition unit 17 detects slice images (front surface image and back surface image) at each of the front surface position and the back surface position of the sample 3. On the other hand, in this embodiment, the slice image formed by the image processing unit 15 is sequentially identified by the image recognition unit 17 and the front image and the back image are detected during imaging at each position in the Z direction of the sample 3. think of.

本実施例に係る顕微鏡装置1は、画像認識手段17が表面画像または裏面画像を検出した時点で、ステージ制御手段14および撮像素子制御手段13に指令を与え、撮像動作を停止させることができる撮像停止手段23を備えている。例えば図2で示したように、試料3の表面側の非試料撮像範囲11aから撮像を開始した場合、画像認識手段17により裏面画像が検出された時点で、撮像停止手段23により撮像動作を終了させる。これにより、試料3の裏面側の非試料画像は取得されなくなるため、非試料画像記録手段18は、試料3の表面側の非試料画像枚数の変動量のみを記録しておけばよく、画像データ量および撮像時間の増大の抑制を実現することができる。   The microscope apparatus 1 according to the present embodiment gives an instruction to the stage control unit 14 and the image sensor control unit 13 to stop the imaging operation when the image recognition unit 17 detects the front image or the back image. Stop means 23 is provided. For example, as shown in FIG. 2, when imaging is started from the non-sample imaging range 11 a on the front surface side of the sample 3, the imaging operation is terminated by the imaging stop unit 23 when the back image is detected by the image recognition unit 17. Let Thereby, since the non-sample image on the back surface side of the sample 3 is not acquired, the non-sample image recording means 18 only needs to record the fluctuation amount of the number of non-sample images on the front surface side of the sample 3. The increase in the amount and the imaging time can be suppressed.

[実施例4]
以下、図5を参照して、本発明の別の実施例について説明する。なお、以下の説明において、上述した他の実施例と同一または同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。
[Example 4]
Hereinafter, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the following description, the same or equivalent components as those in the other embodiments described above are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.

実施例1では、予め外部で取得された試料3の厚さ情報に基づき、条件設定手段2により試料分ストローク7を設定している。ここで、一般的な試料3(生体組織など)は、例えば5μm程の厚さにスライスされたものを用いるが、実際は試料3毎の厚さに対して数μmのばらつきが生じてしまう。そのため、撮像する試料3毎にその厚さ情報を取得した上で、試料分ストローク7を決定する必要がある。   In the first embodiment, the sample stroke 7 is set by the condition setting unit 2 based on the thickness information of the sample 3 acquired in advance outside. Here, a general sample 3 (biological tissue or the like) is sliced to a thickness of about 5 μm, for example, but in actuality, a variation of several μm occurs with respect to the thickness of each sample 3. Therefore, it is necessary to determine the sample stroke 7 after acquiring the thickness information for each sample 3 to be imaged.

そこで、本実施例では、顕微鏡装置1の内部に厚さ計測エリア25を設けており、厚さ計測エリア25において試料3の厚さ情報を取得する構成となっている。この構成によれば、対物レンズ4および撮像素子12を含む本撮像エリア24において試料3のスライス画像を取得する前に、厚さ計測エリア25において試料3の厚さ情報を取得することができる。この時、試料3を配置したステージ5は、Z方向だけでなくXY方向の位置制御が可能であり、本撮像エリア24と厚さ計測エリア25とのを往復するものとしている。   Therefore, in this embodiment, a thickness measurement area 25 is provided inside the microscope apparatus 1, and the thickness information of the sample 3 is acquired in the thickness measurement area 25. According to this configuration, the thickness information of the sample 3 can be acquired in the thickness measurement area 25 before acquiring the slice image of the sample 3 in the main imaging area 24 including the objective lens 4 and the imaging element 12. At this time, the stage 5 on which the sample 3 is arranged can be controlled not only in the Z direction but also in the XY direction, and reciprocates between the main imaging area 24 and the thickness measurement area 25.

厚さ計測エリア25には、Z方向におけるステージ5の位置を計測するステージ位置計測器26と、Z方向における試料3の位置を計測する試料位置計測器27とが設けられている。このステージ位置計測器26および試料位置計測器27は、互いの相対位置がずれないように同一定盤上に固定されている。試料3の厚さ情報は、ステージ位置計測器26により取得されるステージ高さ情報と、試料位置計測器27により取得される試料3の高さ情報とに基づき、ステージ5上面から試料3表面までの距離として算出される。そして、ステージ5により試料3を本撮像エリア24まで移動し、算出された試料3の厚さ情報に基づいて条件設定手段2により試料分ストローク7を設定する。したがって、本実施例に係る顕微鏡装置1によれば、複数の試料3のそれぞれに対して厚さ情報を取得し、各厚さ情報に基づいて試料分ストローク7を設定することが可能となる。   In the thickness measurement area 25, a stage position measuring device 26 that measures the position of the stage 5 in the Z direction and a sample position measuring device 27 that measures the position of the sample 3 in the Z direction are provided. The stage position measuring device 26 and the sample position measuring device 27 are fixed on the same surface plate so that their relative positions do not shift. The thickness information of the sample 3 is based on the stage height information acquired by the stage position measuring device 26 and the height information of the sample 3 acquired by the sample position measuring device 27 from the upper surface of the stage 5 to the surface of the sample 3. Is calculated as the distance. Then, the sample 3 is moved to the main imaging area 24 by the stage 5, and the sample stroke 7 is set by the condition setting means 2 based on the calculated thickness information of the sample 3. Therefore, according to the microscope apparatus 1 according to the present embodiment, it is possible to obtain thickness information for each of the plurality of samples 3 and set the sample stroke 7 based on each thickness information.

なお、本実施例では厚さ情報を取得するために、ステージ位置計測器26および試料位置計測器27の2つの計測器を設けているが、試料3の厚さ情報の取得方法はこれに限るものではない。例えば、1つの計測器のみを設け、それに対してステージ5をXY方向に移動することにより、試料3およびステージ5の高さ情報をそれぞれ取得してもよい。   In this embodiment, in order to acquire thickness information, two measuring instruments, a stage position measuring instrument 26 and a sample position measuring instrument 27, are provided, but the method for acquiring the thickness information of the sample 3 is limited to this. It is not a thing. For example, the height information of the sample 3 and the stage 5 may be acquired by providing only one measuring instrument and moving the stage 5 in the XY direction relative to the measuring instrument.

[その他の実施例]
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されないことは言うまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
[Other Examples]
The preferred embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications and changes can be made within the scope of the gist.

例えば、実施例1では、スライス画像を取得する際のサンプリングピッチを等間隔に設けているが、本発明はこれに限らない。すなわち、試料分ストローク7のサンプリングピッチを小さく、予備分ストローク8aおよび8bのサンプリングピッチを長くするなど、観察対象の試料3に応じて任意に設定することができるものとする。   For example, in the first embodiment, the sampling pitch for obtaining slice images is provided at equal intervals, but the present invention is not limited to this. That is, it can be arbitrarily set according to the sample 3 to be observed, such as decreasing the sampling pitch of the sample stroke 7 and increasing the sampling pitch of the preliminary strokes 8a and 8b.

また、実施例1では、予備分ストローク8aおよび8bの値を互いに等しく設定しているが、本発明はこれに限らず、試料分ストローク7の上側と下側とで異なる値に設定してもよい。また、予備分ストロークを試料分ストローク7の上側または下側のいずれか一方のみに設けてもよい。例えば、実施例1の具体例においては、予備分ストローク8aおよび8bをそれぞれ2μmに設定しているが、予備分ストローク8aまたは8bのいずれか一方のみを設け、その予備分ストロークを4μmに設定することができる。このような場合でも、図2で示した試料撮像範囲10が撮像ストローク9による撮像範囲に収まるようにステージ5の撮像開始位置を設定することで、非試料画像記録手段18により非試料画像枚数の変動量を算出することができる。   In the first embodiment, the preliminary strokes 8a and 8b are set to be equal to each other. However, the present invention is not limited to this, and the upper and lower sides of the sample stroke 7 may be set to different values. Good. Further, the preliminary stroke may be provided only on either the upper side or the lower side of the sample stroke 7. For example, in the specific example of the first embodiment, the preliminary strokes 8a and 8b are set to 2 μm, respectively, but only one of the preliminary strokes 8a and 8b is provided and the preliminary stroke is set to 4 μm. be able to. Even in such a case, by setting the imaging start position of the stage 5 so that the sample imaging range 10 shown in FIG. The amount of variation can be calculated.

また、実施例1に係る補正量算出手段19は、非試料画像枚数が予め設定した許容枚数になった時に、撮像範囲の補正を行う構成としている。しかし、ノイズ等(急激な温度変動等)により非試料画像枚数のばらつきが生じる場合がある。そのため、ノイズ等を考慮して予め補正値を決めてフィルタ処理をおこなうのが望ましく、例えば、連続取得した非試料画像枚数の変動量を移動平均処理した結果を用いて撮像範囲補正量21を求める構成としてもよい。   The correction amount calculation unit 19 according to the first embodiment is configured to correct the imaging range when the number of non-sample images reaches a preset allowable number. However, variations in the number of non-sample images may occur due to noise or the like (rapid temperature fluctuation or the like). For this reason, it is desirable to determine the correction value in advance in consideration of noise or the like and perform the filter processing. For example, the imaging range correction amount 21 is obtained using the result of moving average processing of the fluctuation amount of the number of non-sample images acquired continuously. It is good also as a structure.

なお、上述した各実施例のそれぞれを組み合わせてもよく、実施例1に係る顕微鏡装置1に対して、予備撮像調整手段22、撮像停止手段23、厚さ計測エリア25のそれぞれを任意に設けることができる。また、実施例3のように撮像停止手段23を備えない場合でも、試料3の撮像中にスライス画像を画像認識手段17により順次認識して、表面画像および裏面画像を検出するようにしてもよい。   Each of the above-described embodiments may be combined, and the preliminary imaging adjustment unit 22, the imaging stop unit 23, and the thickness measurement area 25 may be arbitrarily provided for the microscope apparatus 1 according to the first embodiment. Can do. Even if the imaging stop unit 23 is not provided as in the third embodiment, the slice image may be sequentially recognized by the image recognition unit 17 during the imaging of the sample 3, and the front image and the back image may be detected. .

1 顕微鏡装置
2 条件設定手段
3 試料
4 対物レンズ
5 ステージ
12 撮像素子
17 画像認識手段
18 非試料画像記録手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Microscope apparatus 2 Condition setting means 3 Sample 4 Objective lens 5 Stage 12 Image sensor 17 Image recognition means 18 Non-sample image recording means

Claims (7)

試料を結像する対物レンズと、該対物レンズにより結像された前記試料を撮像する撮像素子と、前記試料を保持して移動可能なステージと、を備え、
前記ステージを前記対物レンズの光軸方向に移動して、該光軸方向の異なる複数の位置で前記試料を撮像することにより、前記試料の複数の画像を取得する顕微鏡装置であって、
前記複数の画像のうちの、前記試料の像を含む試料画像と前記試料の像を含まない非試料画像とを識別する画像認識手段と、
前記非試料画像の枚数の変動量を取得する非試料画像記録手段と、を有しており、
前記変動量に基づいて前記ステージの撮像開始位置を調整する
ことを特徴とする顕微鏡装置。
An objective lens that forms an image of the sample, an imaging element that images the sample imaged by the objective lens, and a stage that holds and moves the sample, and
A microscope apparatus for acquiring a plurality of images of the sample by moving the stage in the optical axis direction of the objective lens and imaging the sample at a plurality of positions different in the optical axis direction,
Image recognition means for identifying a sample image including the sample image and a non-sample image not including the sample image of the plurality of images;
A non-sample image recording means for acquiring a variation amount of the number of the non-sample images,
A microscope apparatus, wherein an imaging start position of the stage is adjusted based on the fluctuation amount.
前記試料の厚さ情報に応じた前記ステージの移動量である試料分ストロークと、前記試料に対する予備撮像範囲に応じた前記ステージの移動量である予備分ストロークと、を設定する条件設定手段を有しており、
前記ステージを前記予備分ストロークおよび前記試料分ストロークに基づいて前記光軸方向に移動して、前記複数の画像を取得する
ことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡装置。
Condition setting means is provided for setting a sample stroke, which is the amount of movement of the stage according to the thickness information of the sample, and a preliminary stroke, which is the amount of movement of the stage, according to the preliminary imaging range with respect to the sample. And
The microscope apparatus according to claim 1, wherein the stage is moved in the optical axis direction based on the preliminary stroke and the sample stroke to acquire the plurality of images.
前記変動量に基づいて予備分補正値を算出する予備撮像調整手段を有し、
前記条件設定手段は、前記予備分補正値に基づいて前記予備分ストロークを設定することを特徴とする請求項2に記載の顕微鏡装置。
Preliminary imaging adjustment means for calculating a preliminary correction value based on the variation amount;
The microscope apparatus according to claim 2, wherein the condition setting unit sets the preliminary stroke based on the preliminary correction value.
前記試料の厚さ情報を取得する計測器を有し、
前記条件設定手段は、該計測器で取得した前記試料の厚さ情報に基づいて前記試料分ストロークを設定することを特徴とする請求項2または3に記載の顕微鏡装置。
Having a measuring instrument to obtain thickness information of the sample;
4. The microscope apparatus according to claim 2, wherein the condition setting unit sets the sample stroke based on thickness information of the sample acquired by the measuring instrument.
前記画像認識手段が、前記複数の画像のうち前記試料の表面位置または裏面位置の画像を識別した時に、撮像動作を終了させる撮像停止手段を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の顕微鏡装置。   5. The image capturing unit according to claim 1, further comprising: an imaging stop unit that terminates an imaging operation when the image recognition unit identifies an image at the front surface position or the back surface position of the sample among the plurality of images. The microscope apparatus according to item 1. 前記画像認識手段は、前記複数の画像の夫々のコントラストに基づいて、前記試料画像と前記非試料画像とを識別することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の顕微鏡装置。   The microscope apparatus according to claim 1, wherein the image recognition unit identifies the sample image and the non-sample image based on respective contrasts of the plurality of images. . 試料を結像する対物レンズと、該対物レンズにより結像された前記試料を撮像する撮像素子と、前記試料を保持して移動可能なステージと、を備え、
前記ステージを前記対物レンズの光軸方向に移動して、該光軸方向の異なる複数の位置で前記試料を撮像することにより、前記試料の複数の画像を取得する顕微鏡装置であって、
前記複数の画像のうちの、前記試料の像を含む試料画像と前記試料の像を含まない非試料画像とを識別する画像認識手段と、
前記非試料画像の枚数の変動量を取得する非試料画像記録手段と、を有しており、
前記変動量に基づいて前記ステージの撮像開始位置の調整の要否を決定する
ことを特徴とする顕微鏡装置。
An objective lens that forms an image of the sample, an imaging element that images the sample imaged by the objective lens, and a stage that holds and moves the sample, and
A microscope apparatus for acquiring a plurality of images of the sample by moving the stage in the optical axis direction of the objective lens and imaging the sample at a plurality of positions different in the optical axis direction,
Image recognition means for identifying a sample image including the sample image and a non-sample image not including the sample image of the plurality of images;
A non-sample image recording means for acquiring a variation amount of the number of the non-sample images,
A microscope apparatus, wherein the necessity of adjustment of the imaging start position of the stage is determined based on the fluctuation amount.
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