JP2013118095A - Manufacturing method for organic electroluminescent element - Google Patents

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Hiroyoshi Nakajima
宏佳 中島
Katsuya Obata
勝也 小幡
Toshihiko Takeda
利彦 武田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for an organic EL element capable of forming an organic layer having a uniform film thickness in a light-emitting region using a discharging method.SOLUTION: A manufacturing method for an organic EL element comprises the steps of: preparing an organic EL base material having a base material and a first electrode layer formed on the base material and defining a light-emitting region of the organic EL base material; and forming at least one organic layer by a discharging method among organic layers constituting an organic EL layer including a light-emitting layer in the light-emitting region. The organic layer formation step further comprises the steps of: forming a pool by applying a high-boiling-point solvent into the light-emitting region; forming a layer for organic layer formation by diffusing the organic layer material into the pool by applying a coating liquid for organic layers containing an organic layer material and a solvent into the light-emitting region in which the pool is formed by the discharging method; and forming the organic layer by drying the layer for organic layer formation.

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス層を構成する有機層を発光領域内に均一な膜厚で形成することができる有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing an organic electroluminescent element, in which an organic layer constituting an organic electroluminescent layer can be formed in a light emitting region with a uniform film thickness.

有機層を一対の電極の間に挟み、両電極間に電圧をかけて発光させる有機エレクトロルミネッセンス(以下、エレクトロルミネッセンスをELと略す場合がある。)素子は、自己発色により視認性が高いこと、液晶素子と異なり全固体素子であるため耐衝撃性に優れていること、応答速度が速いこと、温度変化による影響が少ないこと、および、視野角が大きいことなどの利点を有しており、表示装置や照明装置における発光素子としての利用が注目されている。   An organic electroluminescence element that sandwiches an organic layer between a pair of electrodes and emits light by applying a voltage between the two electrodes (hereinafter, electroluminescence may be abbreviated as EL) has high visibility due to self-coloring. Unlike a liquid crystal device, it is an all-solid-state device, so it has advantages such as excellent impact resistance, fast response speed, little influence from temperature changes, and a large viewing angle. The use as a light-emitting element in a device or a lighting device has attracted attention.

有機EL素子としては、陽極および陰極の間に、正孔注入輸送層、発光層、電子注入輸送層等の複数層の有機層が積層されたものが知られている。
このような有機層の成膜方法としては、蒸着法および塗布法が一般的に広く採用されており、このうち塗布法はコスト面で上記蒸着法よりも有利であり、大面積化が容易であるといった利点を有する。また、種々の塗布法のなかでも、インクジェット法等の吐出法を用いた有機層の形成方法は、有機層材料の使用量を少なくすることができる、印刷版を用いた場合に比べて下層へのダメージを小さくすることができる等の利点を有することから着目されている(例えば、特許文献1〜7参照)。
As an organic EL element, an element in which a plurality of organic layers such as a hole injection transport layer, a light emitting layer, and an electron injection transport layer are laminated between an anode and a cathode is known.
As a method for forming such an organic layer, a vapor deposition method and a coating method are generally widely used. Of these, the coating method is more advantageous than the vapor deposition method in terms of cost, and it is easy to increase the area. It has the advantage of being. In addition, among various coating methods, the organic layer forming method using a discharge method such as an ink jet method can reduce the amount of organic layer material used, and is lower than when using a printing plate. It has been attracting attention because it has the advantage that the damage can be reduced (see, for example, Patent Documents 1 to 7).

しかしながら、吐出法を用いた有機層の形成方法においては、以下の問題が生じるおそれがある。
すなわち、吐出法はドット状に有機層用塗工液を吐出するものであることから、形成される有機層はドットの集合により構成されるものとなる。そのため、有機層の膜厚を均一に形成することが難しく、膜厚ムラを生じてしまうという問題がある。なお、上記膜厚ムラは有機EL素子の発光ムラの要因となる。
また、上述した膜厚ムラを抑制するために、有機層用塗工液のドット同士のつながりを良くするため、レベリング時間を長くした場合またはインキ粘度を下げた場合は、所望の発光領域よりも広い領域にまで、有機層用塗工液が濡れ広がって有機層が形成されてしまうという問題がある。
また、上記吐出法においては、経時的に有機層用塗工液の塗布位置を変化させて塗布が行われることから、時間経過とともに先に有機層用塗工液を塗工した領域での溶媒の乾燥に伴って、有機層形成用層中の溶媒量が変化してしまい、その結果、均一な膜厚を有する有機層を得ることができないという問題がある。
これらの問題は特に、有機EL素子の発光領域が大きくなるほど生じやすい問題である。
However, the organic layer forming method using the discharge method may cause the following problems.
That is, since the discharge method is to discharge the organic layer coating liquid in the form of dots, the formed organic layer is composed of a set of dots. Therefore, there is a problem that it is difficult to form the organic layer with a uniform film thickness, resulting in uneven film thickness. Note that the film thickness unevenness causes light emission unevenness of the organic EL element.
In addition, in order to suppress the above-described film thickness unevenness, in order to improve the connection between dots of the coating liquid for organic layer, when the leveling time is increased or the ink viscosity is decreased, it is more than the desired light emitting region. There is a problem that the organic layer coating liquid is wet and spreads over a wide area, and an organic layer is formed.
Further, in the above discharge method, since the application is performed by changing the application position of the organic layer coating solution over time, the solvent in the region where the organic layer coating solution is applied first with the lapse of time. With the drying, the amount of the solvent in the organic layer forming layer changes, and as a result, there is a problem that an organic layer having a uniform film thickness cannot be obtained.
These problems are particularly likely to occur as the light emitting region of the organic EL element becomes larger.

特開2003−311196号公報JP 2003-31196 A 特開2003−318516号公報JP 2003-318516 A 特開2004−298844号公報JP 2004-298844 A 特開2005−285616号公報JP 2005-285616 A 特開2006−260779号公報JP 2006-260779 A 特開2007−075719号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2007-075719 特開2007−087619号公報JP 2007-076619 A

本発明は上記実情に鑑みてなされたものであり、吐出法を用いて発光領域内に均一な膜厚を有する有機層を形成することができる有機EL素子の製造方法を提供することを主目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is a main object of the present invention to provide a method for manufacturing an organic EL element capable of forming an organic layer having a uniform film thickness in a light emitting region using a discharge method. And

本発明は、上記課題を解決するために、基材および上記基材上に形成された第1電極層を有する有機EL基材を準備し、上記有機EL基材の発光領域を画定する画定工程と、上記発光領域内に発光層を含む有機EL層を構成する有機層のうち、少なくとも1層の有機層を吐出法により形成する有機層形成工程とを有し、上記有機層形成工程が、上記発光領域内に高沸点溶媒を塗布してプールを形成する高沸点溶媒塗布工程と、有機層材料および溶媒を含有する有機層用塗工液を上記プールが形成された上記発光領域内に吐出法により塗布し、上記プール中に上記有機層材料を拡散させて有機層形成用層を形成する有機層用塗工液塗布工程と、上記有機層形成用層を乾燥させて上記有機層を形成する乾燥工程と、を有する工程であることを特徴とする有機EL素子の製造方法を提供する。   In order to solve the above problem, the present invention provides a substrate and an organic EL substrate having a first electrode layer formed on the substrate, and defines a light emitting region of the organic EL substrate. And an organic layer forming step of forming at least one organic layer by an ejection method among organic layers constituting an organic EL layer including a light emitting layer in the light emitting region, and the organic layer forming step includes: A high-boiling-point solvent coating step in which a high-boiling solvent is applied in the light-emitting region to form a pool, and an organic layer coating liquid containing an organic layer material and a solvent is discharged into the light-emitting region in which the pool is formed The organic layer coating liquid coating step for forming the organic layer forming layer by diffusing the organic layer material in the pool and drying the organic layer forming layer to form the organic layer And a drying process. To provide a method of manufacturing an organic EL element.

本発明によれば、上記有機層形成工程が高沸点溶媒塗布工程および有機層用塗工液塗布工程を有することにより、有機層材料をプール中で十分に拡散させることが可能となることから、吐出法を用いてドット状に有機層用塗工液を塗布した場合であっても、発光領域内に均一な膜厚を有する有機層を形成することが可能となる。したがって、膜厚ムラに起因する発光ムラが生じにくい有機EL素子を製造することが可能となる。   According to the present invention, since the organic layer forming step includes a high boiling point solvent coating step and an organic layer coating liquid coating step, the organic layer material can be sufficiently diffused in the pool. Even when the organic layer coating liquid is applied in the form of dots using the discharge method, an organic layer having a uniform film thickness can be formed in the light emitting region. Therefore, it is possible to manufacture an organic EL element in which light emission unevenness due to film thickness unevenness hardly occurs.

本発明においては、上記画定工程が、上記有機EL基材上に上記発光領域を画定する隔壁を形成する工程であることが好ましい。高沸点溶媒塗布工程および有機層用塗工液塗布工程において、高沸点溶媒および有機層用塗工液が発光領域の外側へ漏れることを好適に防止することができるからである。また、有機層形成工程を繰り返し行うことで複数の有機層を積層させて形成する場合に、同一の隔壁を繰り返して用いることが可能となるからである。   In this invention, it is preferable that the said definition process is a process of forming the partition which defines the said light emission area | region on the said organic EL base material. This is because the high boiling point solvent and the organic layer coating liquid can be suitably prevented from leaking outside the light emitting region in the high boiling point solvent coating process and the organic layer coating liquid coating process. Moreover, it is because the same partition can be repeatedly used when a plurality of organic layers are stacked by repeatedly performing the organic layer forming step.

本発明によれば、吐出法を用いて発光領域内に均一な膜厚を有する有機層を形成することができる有機EL素子の製造方法を提供することができるといった作用効果を奏する。   According to the present invention, there is an effect that it is possible to provide a method for manufacturing an organic EL element that can form an organic layer having a uniform film thickness in a light emitting region using a discharge method.

本発明の有機EL素子の製造方法の一例を示す工程図である。It is process drawing which shows an example of the manufacturing method of the organic EL element of this invention. 本発明の製造方法により製造される有機EL素子の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the organic EL element manufactured by the manufacturing method of this invention. 本発明の有機EL素子の製造方法において形成されるプールを有する有機EL基材の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the organic EL base material which has a pool formed in the manufacturing method of the organic EL element of this invention.

以下、本発明の有機EL素子の製造方法について説明する。
本発明の有機EL素子の製造方法は、基材および上記基材上に形成された第1電極層を有する有機EL基材を準備し、上記有機EL基材の発光領域を画定する画定工程と、上記発光領域内に発光層を含む有機EL層を構成する有機層のうち、少なくとも1層の有機層を吐出法により形成する有機層形成工程とを有し、上記有機層形成工程が、上記発光領域内に高沸点溶媒を塗布してプールを形成する高沸点溶媒塗布工程と、有機層材料および溶媒を含有する有機層用塗工液を上記プールが形成された上記発光領域内に吐出法により塗布し、上記プール中に上記有機層材料を拡散させて有機層形成用層を形成する有機層用塗工液塗布工程と、上記有機層形成用層を乾燥させて上記有機層を形成する乾燥工程と、を有する工程であることを特徴とする製造方法である。
Hereinafter, the manufacturing method of the organic EL element of this invention is demonstrated.
The manufacturing method of the organic EL element of the present invention includes a demarcation step of preparing an organic EL substrate having a substrate and a first electrode layer formed on the substrate, and demarcating a light emitting region of the organic EL substrate. An organic layer forming step of forming at least one organic layer of the organic layers constituting the organic EL layer including a light emitting layer in the light emitting region by a discharge method, and the organic layer forming step includes A high-boiling-point solvent coating step in which a high-boiling solvent is applied in the light-emitting region to form a pool, and an organic layer coating solution containing an organic layer material and a solvent is discharged into the light-emitting region in which the pool is formed The organic layer material is diffused in the pool to form an organic layer forming layer, and the organic layer forming layer is dried to form the organic layer. And a drying step, characterized in that It is a manufacturing method that.

ここで、本発明の有機EL素子の製造方法について図を用いて説明する。図1は本発明の有機EL素子の製造方法の一例を示す工程図である。本発明の有機EL素子の製造方法は、まず図1(a)に例示するように、基材1および基材1上に形成された第1電極層2を有する有機EL基材3を準備し、有機EL基材3上に発光領域を画定する隔壁4を形成する(画定工程)。
次に、上記発光領域内に発光層を含む有機EL層を構成する有機層のうち、少なくとも1層の有機層を吐出法により形成する(有機層形成工程)。具体的には、図1(b)に例示するように、発光領域内に高沸点溶媒を塗布してプール5を形成する(高沸点溶媒塗布工程)。次に、図1(c)、(d)に例示するように、有機材料および溶媒を含有する有機層用塗工液6”をプール5が形成された発光領域内にインクジェットノズル20により塗布し、プール5中に有機層材料を拡散させて有機層形成用層6’を形成する(有機層用塗工液塗布工程)。次に、図1(e)に示すように、有機層形成用層6’を乾燥させて有機層6を形成する(乾燥工程)。なお、図1においては、有機層6として発光層61を形成する例について示している。
また、図示はしないが、有機EL素子は有機EL層上に第2電極層を有することから、本発明においては、通常、有機EL層上に第2電極層を形成する第2電極層形成工程を有する。
Here, the manufacturing method of the organic EL element of this invention is demonstrated using figures. FIG. 1 is a process diagram showing an example of a method for producing an organic EL element of the present invention. In the method for producing an organic EL device of the present invention, first, as illustrated in FIG. 1A, an organic EL substrate 3 having a substrate 1 and a first electrode layer 2 formed on the substrate 1 is prepared. Then, the partition wall 4 for defining the light emitting region is formed on the organic EL substrate 3 (defining step).
Next, at least one organic layer among the organic layers constituting the organic EL layer including the light emitting layer in the light emitting region is formed by an ejection method (organic layer forming step). Specifically, as illustrated in FIG. 1B, a pool 5 is formed by applying a high boiling point solvent in the light emitting region (high boiling point solvent application step). Next, as illustrated in FIGS. 1C and 1D, an organic layer coating solution 6 ″ containing an organic material and a solvent is applied to the light emitting region where the pool 5 is formed by the inkjet nozzle 20. Then, the organic layer material is diffused in the pool 5 to form the organic layer forming layer 6 ′ (organic layer coating liquid coating step) Next, as shown in FIG. The layer 6 ′ is dried to form the organic layer 6 (drying step), wherein an example in which the light emitting layer 61 is formed as the organic layer 6 is shown in FIG.
Although not shown, since the organic EL element has the second electrode layer on the organic EL layer, in the present invention, usually, a second electrode layer forming step of forming the second electrode layer on the organic EL layer. Have

次に、本発明の製造方法により製造される有機EL素子について説明する。図2は、本発明により製造される有機EL素子の一例を示す概略断面図である。図2に例示するように、有機EL素子10は、基材1および基材1上に形成された第1電極層2を有する有機EL基材3と、有機EL基材3上に形成され、少なくとも発光層61を有する有機EL層と、有機EL層(発光層61)上に形成された第2電極層7とを有するものである。   Next, the organic EL element manufactured by the manufacturing method of this invention is demonstrated. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an example of an organic EL element manufactured according to the present invention. As illustrated in FIG. 2, the organic EL element 10 is formed on the organic EL substrate 3 having the substrate 1 and the first electrode layer 2 formed on the substrate 1, and the organic EL substrate 3. It has an organic EL layer having at least a light emitting layer 61 and a second electrode layer 7 formed on the organic EL layer (light emitting layer 61).

本発明によれば、上記有機層形成工程が高沸点溶媒塗布工程および有機層用塗工液塗布工程を有することにより、有機層材料をプール中で十分に拡散させることが可能となることから、吐出法を用いてドット状に有機層用塗工液を塗布した場合であっても、発光領域内に均一な膜厚を有する有機層を形成することが可能となる。したがって、膜厚ムラに起因する発光ムラが生じにくい有機EL素子を製造することが可能となる。   According to the present invention, since the organic layer forming step includes a high boiling point solvent coating step and an organic layer coating liquid coating step, the organic layer material can be sufficiently diffused in the pool. Even when the organic layer coating liquid is applied in the form of dots using the discharge method, an organic layer having a uniform film thickness can be formed in the light emitting region. Therefore, it is possible to manufacture an organic EL element in which light emission unevenness due to film thickness unevenness hardly occurs.

以下、本発明の有機EL素子の製造方法における各工程について説明する。   Hereinafter, each process in the manufacturing method of the organic EL element of this invention is demonstrated.

I.画定工程
本発明における画定工程は、基材および上記基材上に形成された第1電極層を有する有機EL基材を準備し、上記有機EL基材の発光領域を画定する工程である。
I. Definition step The definition step in the present invention is a step of preparing an organic EL substrate having a substrate and a first electrode layer formed on the substrate, and defining a light emitting region of the organic EL substrate.

1.発光領域
本発明における発光領域は、有機EL層が形成される領域である。なお、上記発光領域は、本発明により製造される有機EL素子が表示装置に用いられる場合においては、個々の画素を構成する発光領域だけでなく、複数の画素における発光領域が設けられる領域を含む概念である。
1. Light emitting region The light emitting region in the present invention is a region where an organic EL layer is formed. In addition, when the organic EL element manufactured by this invention is used for a display apparatus, the said light emission area | region contains not only the light emission area | region which comprises each pixel but the area | region in which the light emission area | region in several pixels is provided. It is a concept.

本発明における発光領域の大きさとしては、吐出法により有機層を形成することが可能な程度の大きさであれば特に限定されず、有機EL素子の種類に応じて適宜選択することができる。上記発光領域の大きさとしては、1mm×1mm以上、なかでも10mm×10mm〜100mm×100mmの範囲内、特に30mm×30mm〜60mm×60mmの範囲内であることが好ましい。上記範囲に満たない場合は、吐出法を用いて有機層自体を形成することが困難となるからである。また、発光領域の大きさの上限としては、特に限定されないが、例えば、150mm×150mm程度である。
本発明の有機EL素子の製造方法においては、上記発光領域はより大面積であることが好ましい。発光領域が大面積である程、吐出法を用いて有機層用塗工液をより多くのドット状で塗布する必要があることから、膜厚ムラが生じやすくなるため、本発明の有機EL素子の製造方法の作用効果を大きく発揮することが可能となるからである。
The size of the light emitting region in the present invention is not particularly limited as long as the organic layer can be formed by a discharge method, and can be appropriately selected according to the type of the organic EL element. The size of the light emitting region is preferably 1 mm × 1 mm or more, and particularly preferably in the range of 10 mm × 10 mm to 100 mm × 100 mm, particularly in the range of 30 mm × 30 mm to 60 mm × 60 mm. This is because it is difficult to form the organic layer itself by using the discharge method when the above range is not satisfied. In addition, the upper limit of the size of the light emitting region is not particularly limited, but is, for example, about 150 mm × 150 mm.
In the method for producing an organic EL element of the present invention, the light emitting region is preferably a larger area. Since the larger the light emitting area is, the more it is necessary to apply the organic layer coating liquid in the form of dots by using the discharge method. This is because the operational effects of this manufacturing method can be greatly exhibited.

2.画定工程
上記画定工程としては、所望の発光領域に有機層を形成することが可能となるように有機EL基材を画定することが可能であれば特に限定されない。具体的には、有機EL基材上に発光領域を画定する隔壁を形成する態様(第1態様)と、有機EL基材上に後述する高沸点溶媒および有機層用塗工液との接触角が小さい濡れ性を呈する親液性領域ならびに上記高沸点溶媒等との接触角が上記親液性領域よりも大きい濡れ性を呈する撥液性領域を有するパターン形成層を形成する態様(第2態様)とを挙げることができる。本発明においては、なかでも第1態様であることが好ましい。後述する高沸点溶媒塗布工程や有機層用塗工液塗布工程において、高沸点溶媒や有機層用塗工液が発光領域の外側へ漏れることを好適に防止することができるからである。また、本発明における有機層形成工程を複数回行って、複数の有機層を積層させて形成する場合に、隔壁を繰り返して使用することが可能となるからである。
以下、各態様について説明する。
2. Defining Step The defining step is not particularly limited as long as the organic EL substrate can be defined so that an organic layer can be formed in a desired light emitting region. Specifically, a contact angle between an aspect (first aspect) in which a partition that defines a light emitting region is formed on an organic EL substrate, and a high-boiling solvent and an organic layer coating liquid described later on the organic EL substrate. A mode of forming a pattern forming layer having a lyophilic region exhibiting small wettability and a liquid repellent region exhibiting a wettability greater than the lyophilic region in contact angle with the high boiling point solvent (second mode) ). In the present invention, the first aspect is particularly preferable. This is because it is possible to suitably prevent the high boiling point solvent and the organic layer coating solution from leaking outside the light emitting region in the high boiling point solvent coating step and the organic layer coating solution coating step described later. In addition, when the organic layer forming step in the present invention is performed a plurality of times to form a plurality of organic layers, the partition walls can be used repeatedly.
Hereinafter, each aspect will be described.

(1)第1態様
上記画定工程の第1態様は、有機EL基材上に発光領域を画定する隔壁を形成する工程である。
(1) 1st aspect The 1st aspect of the said definition process is a process of forming the partition which defines a light emitting area | region on an organic electroluminescent base material.

本態様に用いられる隔壁としては、所望の大きさを有する発光領域を画定することができれば特に限定されず、有機EL基材から剥離不可能なものであってもよく、剥離可能なものであってもよい。   The partition wall used in this embodiment is not particularly limited as long as a light emitting region having a desired size can be defined. The partition wall may not be peelable from the organic EL substrate, and may be peelable. May be.

上記隔壁が剥離不可能なものである場合、隔壁の形成材料としては、例えば、感光性ポリイミド樹脂、アクリル系樹脂、ノボラック系樹脂、スチレン系樹脂、フェノール系樹脂、メラミン系樹脂等の光硬化型樹脂、または熱硬化型樹脂、および無機材料等を挙げることができる。
この場合、隔壁の形成方法としては、フォトリソグラフィー法、印刷法等の一般的な方法を用いることができる。
In the case where the partition wall is non-peelable, the partition wall forming material is, for example, a photo-curing type such as photosensitive polyimide resin, acrylic resin, novolac resin, styrene resin, phenol resin, melamine resin, etc. Examples thereof include a resin, a thermosetting resin, and an inorganic material.
In this case, as a method for forming the partition wall, a general method such as a photolithography method or a printing method can be used.

一方、上記隔壁が剥離可能なものである場合、隔壁の形成材料としては、例えば、テフロン(登録商標)、シリコンゴム、ポリイミドワニス、ドライフィルムなどを挙げることができる。
この場合の隔壁の形成方法としては、ラミネーション法、フォトリソグラフィー法、印刷法等の一般的な方法を用いることができる。また、鋳型等を用いて隔壁を別途形成し、有機EL基材上に剥離可能な接着剤等を用いて貼り合わせる方法を挙げることができる。
On the other hand, when the partition is detachable, examples of the material for forming the partition include Teflon (registered trademark), silicon rubber, polyimide varnish, and dry film.
As a method for forming the partition wall in this case, a general method such as a lamination method, a photolithography method, or a printing method can be used. Moreover, the method of forming a partition separately using a casting_mold | template etc., and bonding together using the adhesive etc. which can be peeled on an organic electroluminescent base material can be mentioned.

上記隔壁の高さとしては、後述する高沸点溶媒塗布工程および有機層用塗工液塗布工程において塗布される高沸点溶媒および有機層用塗工液を発光領域内に保持することが可能な程度の高さであれば特に限定されない。上記隔壁の高さとしては、具体的に、0.5μm〜100μmの範囲内、なかでも0.5μm〜30μmの範囲内、特に、0.5μm〜10μmの範囲内であることが好ましい。上記隔壁の高さが上記範囲に満たない場合は、高沸点溶媒および有機層用塗工液を発光領域内に保持することが困難となる可能性があるからである。一方、上記隔壁の高さが上記範囲を超える場合は、後述する高沸点溶媒塗布工程および有機層用塗工液塗布工程において、高沸点溶媒および有機層用塗工液を塗布しにくくなる可能性や、画定工程において隔壁が安定に形成されない可能性があるからである。また、隔壁が剥離不可能なものである場合は、有機EL素子を薄膜に形成することが困難となる場合や、有機EL層を構成する層や有機EL層上に形成される第2電極層の形成の妨げになる可能性があるからである。   The height of the partition wall is such that the high boiling point solvent and the organic layer coating liquid applied in the high boiling point solvent coating step and the organic layer coating liquid coating step described below can be held in the light emitting region. The height is not particularly limited. Specifically, the height of the partition wall is preferably in the range of 0.5 μm to 100 μm, more preferably in the range of 0.5 μm to 30 μm, and particularly preferably in the range of 0.5 μm to 10 μm. This is because when the height of the partition wall is less than the above range, it may be difficult to keep the high boiling point solvent and the organic layer coating liquid in the light emitting region. On the other hand, when the height of the partition wall exceeds the above range, it may be difficult to apply the high boiling point solvent and the organic layer coating liquid in the high boiling point solvent coating process and the organic layer coating liquid coating process described later. This is because the partition walls may not be stably formed in the defining step. In addition, when the partition walls cannot be peeled off, it is difficult to form the organic EL element into a thin film, or the layer constituting the organic EL layer or the second electrode layer formed on the organic EL layer This is because there is a possibility of hindering the formation of.

上記隔壁の幅については、後述する高沸点溶媒塗布工程および有機層用塗工液塗布工程において塗布される高沸点溶媒および有機層用塗工液を発光領域内に保持することが可能な程度の幅であれば特に限定されない。   About the width | variety of the said partition, it is a grade which can hold | maintain the high boiling point solvent apply | coated in the high boiling point solvent application process mentioned later and the coating liquid application process for organic layers in the light emission area | region, and the coating liquid for organic layers. The width is not particularly limited.

また上記隔壁は、その表面が後述する高沸点溶媒、および有機層用塗工液に対して撥液性を有していてもよい。上記撥液性は、例えば上記隔壁に表面エネルギー(濡れ性)を変化させる表面処理を行うことにより付与することができる。その他、あらかじめ隔壁材料にフッ素化合物等の撥液材料を添加して、撥液性を付与してもよい。   Moreover, the said partition may have liquid repellency with respect to the high boiling point solvent and the organic layer coating liquid which the surface mentions later. The liquid repellency can be imparted, for example, by performing a surface treatment that changes the surface energy (wettability) on the partition wall. In addition, a liquid repellent material such as a fluorine compound may be added to the partition wall material in advance to impart liquid repellency.

(2)第2態様
上記画定工程の第2態様は、有機EL基材上に後述する高沸点溶媒および有機層用塗工液との接触角が小さい濡れ性を呈する親液性領域ならびに上記高沸点溶媒等との接触角が上記親液性領域よりも大きい濡れ性を呈する撥液性領域を有するパターン形成層を形成する工程である。本態様において形成されるパターン形成層としては、濡れ性の差によるパターンが形成されているものであれば特に限定されないが、光触媒の作用からエネルギー照射により濡れ性が変化する性質を有する濡れ性変化層を用いて形成されたものであることが好ましい。また、このような濡れ性変化層としては、パターン形成体層として使用可能な光触媒を含有しない濡れ性変化層であってもよく、光触媒を含有する光触媒含有層であってもよい。上記濡れ性変化層および光触媒含有層について、詳しくは特開2007−000867号公報に記載されたものと同様とすることができる。
(2) 2nd aspect The 2nd aspect of the said definition process is a lyophilic area | region which exhibits the wettability with a small contact angle with the high boiling point solvent and organic layer coating liquid which are mentioned later on an organic EL base material, and said high This is a step of forming a pattern forming layer having a liquid repellent region exhibiting wettability with a contact angle with a boiling point solvent or the like larger than the lyophilic region. The pattern forming layer formed in this embodiment is not particularly limited as long as a pattern due to the difference in wettability is formed, but the wettability change has the property that the wettability changes due to energy irradiation from the action of the photocatalyst. It is preferably formed using a layer. Moreover, as such a wettability change layer, the wettability change layer which does not contain the photocatalyst which can be used as a pattern formation body layer may be sufficient, and the photocatalyst content layer containing a photocatalyst may be sufficient. The details of the wettability changing layer and the photocatalyst-containing layer can be the same as those described in JP-A-2007-000867.

3.有機EL基材
本工程に用いられる有機EL基材は、基材と、第1電極層とを有するものである。
3. Organic EL Base Material The organic EL base material used in this step has a base material and a first electrode layer.

(1)第1電極層
本発明に用いられる第1電極層は、陽極であっても陰極であってもよいが、通常は陽極として形成される。
(1) First electrode layer The first electrode layer used in the present invention may be an anode or a cathode, but is usually formed as an anode.

第1電極層は、透明性を有していても有していなくてもよい。第1電極層の透明性は、光の取り出し面等によって適宜選択される。例えば、第1電極層側から光を取り出す場合は、第1電極層は透明または半透明である必要がある。   The first electrode layer may or may not have transparency. The transparency of the first electrode layer is appropriately selected depending on the light extraction surface and the like. For example, when light is extracted from the first electrode layer side, the first electrode layer needs to be transparent or translucent.

第1電極層(陽極)としては、正孔が注入し易いように仕事関数の大きい導電性材料を用いることが好ましく、具体的には、ITO、酸化インジウム、金のような仕事関数の大きい金属、ポリアニリン、ポリアセチレン、ポリアルキルチオフェン誘導体、ポリシラン誘導体のような導電性高分子等を挙げることができる。   As the first electrode layer (anode), a conductive material having a high work function is preferably used so that holes can be easily injected. Specifically, a metal having a high work function, such as ITO, indium oxide, or gold. , Conductive polymers such as polyaniline, polyacetylene, polyalkylthiophene derivatives, and polysilane derivatives.

第1電極層は抵抗が小さいことが好ましく、一般には金属材料が用いられるが、有機化合物または無機化合物を用いてもよい。   The first electrode layer preferably has a low resistance, and generally a metal material is used, but an organic compound or an inorganic compound may be used.

第1電極層は、基板上にパターン状に形成されていてもよく、取り出し電極等が形成されている領域を除いて基板上にほぼ全面に形成されていてもよい。第1電極層が、取り出し電極等が形成されている領域を除いて基板上にほぼ全面に形成されている場合には、隔壁によって発光領域を所望のパターンに区画することができる。   The first electrode layer may be formed in a pattern on the substrate, or may be formed on almost the entire surface of the substrate except for the region where the extraction electrode or the like is formed. When the first electrode layer is formed on almost the entire surface of the substrate except for the region where the extraction electrode or the like is formed, the light emitting region can be partitioned into a desired pattern by the partition.

第1電極層の成膜方法としては、一般的な電極の成膜方法を用いることができ、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等のPVD法や、CVD法等を挙げることができる。また、第1電極層のパターニング方法としては、所望のパターンに精度よく形成することができる方法であれば、特に限定されるものではなく、具体的にはフォトリソグラフィー法等を挙げることができる。   As a method for forming the first electrode layer, a general electrode forming method can be used, for example, a PVD method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a CVD method, or the like. Can do. Further, the patterning method of the first electrode layer is not particularly limited as long as it can be accurately formed into a desired pattern, and specific examples thereof include a photolithography method.

(2)基材
本発明に用いられる基材は、上述の隔壁、第1電極層などを支持するものであり、所定の強度を有するものであれば、特に限定されない。本発明においては、第1電極層が所定の強度を有する場合には、第1電極層が基材を兼ねるものであってもよいが、通常は、所定の強度を有する基材上に第1電極層が形成される。
(2) Base Material The base material used in the present invention is not particularly limited as long as it supports the above-described partition walls, the first electrode layer, and the like and has a predetermined strength. In the present invention, when the first electrode layer has a predetermined strength, the first electrode layer may also serve as the base material, but usually the first electrode layer is formed on the base material having the predetermined strength. An electrode layer is formed.

基材としては、上記の隔壁や第1電極層等が形成可能であれば、特に限定されるものではないが、例えば、光の取り出し面により光透過性が必要か否かで適宜決定される。一般的には、基材側を光の取り出し面とすることが好ましいことから、基材は透明な材料で形成されることが好ましい。   The base material is not particularly limited as long as the above partition walls, the first electrode layer, and the like can be formed. For example, the base material is appropriately determined depending on whether light transmission is necessary depending on the light extraction surface. . In general, since the substrate side is preferably the light extraction surface, the substrate is preferably formed of a transparent material.

このような基材の形成材料としては、例えば、ソーダ石灰ガラス、アルカリガラス、鉛アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラス、シリカガラス等のガラス板、またはフィルム状に成形が可能な樹脂基材等を用いることができる。この樹脂基材に用いる樹脂としては、耐溶媒性および耐熱性の比較的高い高分子材料であることが好ましい。具体的には、フッ素系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニル、ポリスチレン、ABS樹脂、ポリアミド、ポリアセタール、ポリエステル、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリスルホン、ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルサルフォン、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリフェニレンスルフィド、液晶性ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリミクロイキシレンジメチレンテレフタレート、ポリオキシメチレン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアクリレート、アクリロニトリル−スチレン樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン、シリコーン樹脂、非晶質ポリオレフィン等が挙げられる。また、上記の他にも所定の条件を満たす高分子材料であれば、使用可能であり、2種類以上の共重合体を用いることもできる。さらに、必要に応じて水分、酸素等のガスを遮断するガスバリア性を有する基材を用いてもよい。   As a material for forming such a base material, for example, soda lime glass, alkali glass, lead alkali glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass, silica glass, or a resin base material that can be formed into a film shape. Etc. can be used. The resin used for the resin base material is preferably a polymer material having relatively high solvent resistance and heat resistance. Specifically, fluorine resin, polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride, polyvinyl fluoride, polystyrene, ABS resin, polyamide, polyacetal, polyester, polycarbonate, modified polyphenylene ether, polysulfone, polyarylate, polyetherimide, polyether mon Phon, Polyamideimide, Polyimide, Polyphenylene sulfide, Liquid crystalline polyester, Polyethylene terephthalate, Polybutylene terephthalate, Polyethylene naphthalate, Polymicroxylene dimethylene terephthalate, Polyoxymethylene, Polyethersulfone, Polyetheretherketone, Polyacrylate, Acrylonitrile -Styrene resin, phenol resin, urea resin, melamine resin, unsaturated polyester resin, Epoxy resins, polyurethanes, silicone resins, amorphous polyolefins, and the like. In addition to the above, any polymer material that satisfies a predetermined condition can be used, and two or more types of copolymers can be used. Furthermore, you may use the base material which has gas barrier property which interrupts | blocks gas, such as a water | moisture content and oxygen, as needed.

(3)その他の構成
本発明における有機EL基材は、上述した基材と、第1電極層とを有していれば特に限定されない。
(3) Other Configurations The organic EL substrate in the present invention is not particularly limited as long as it has the above-described substrate and the first electrode layer.

例えば、本発明により製造される有機EL素子が表示装置に用いられるものである場合は、以下の構成を形成することができる。   For example, when the organic EL element produced by the present invention is used for a display device, the following configuration can be formed.

例えば、基材上に第1電極層がパターン状に形成されている場合には、第1電極層のパターンの端部を覆うように絶縁層が形成されていてもよい。また、絶縁層は画素を画定するように形成されていてもよい。絶縁層としては、有機EL素子における一般的なものを用いることができる。   For example, when the first electrode layer is formed in a pattern on the base material, an insulating layer may be formed so as to cover the end of the pattern of the first electrode layer. The insulating layer may be formed so as to define pixels. As the insulating layer, a general organic EL element can be used.

また、例えば基材上にTFT素子が形成されていてもよい。TFT素子としては、有機EL素子における一般的なものを用いることができる。   Further, for example, a TFT element may be formed on the substrate. As the TFT element, a common element in an organic EL element can be used.

また、上記有機EL素子がフルカラーまたはマルチカラーの表示装置に用いられる場合には、基材上に画素用隔壁が形成されていてもよい。画素用隔壁が形成されている場合には、メタルマスク等を用いなくとも陰極をパターン状に形成することが可能となる。
画素用隔壁の材料としては、上述した隔壁の材料と同様とすることができる。
発光層をパターン状に形成するに際して、画素用隔壁には表面エネルギー(濡れ性)を変化させる表面処理を予め行ってもよい。
Further, when the organic EL element is used in a full-color or multi-color display device, pixel partition walls may be formed on the substrate. In the case where pixel partition walls are formed, the cathode can be formed in a pattern without using a metal mask or the like.
The material for the partition walls for pixels can be the same as the material for the partition walls described above.
When the light emitting layer is formed in a pattern, a surface treatment for changing the surface energy (wetting property) may be performed on the pixel partition wall in advance.

上述した絶縁層、TFT素子、および画素用隔壁は、上記発光領域内に複数形成されていてもよい。   A plurality of the insulating layers, TFT elements, and pixel partition walls described above may be formed in the light emitting region.

II.有機層形成工程
本発明における有機層形成工程は、上記発光領域内に発光層を含む有機EL層を構成する有機層のうち、少なくとも1層の有機層を吐出法により形成する工程である。また、上記有機層形成工程は高沸点溶媒塗布工程と、有機層用塗工液塗布工程と、乾燥工程とを有する工程である。以下、本工程により形成される有機層と、各工程とに分けて説明する。
II. Organic Layer Forming Step The organic layer forming step in the present invention is a step of forming at least one organic layer among the organic layers constituting the organic EL layer including the light emitting layer in the light emitting region by a discharge method. Moreover, the said organic layer formation process is a process which has a high boiling-point solvent application | coating process, the coating liquid application process for organic layers, and a drying process. Hereinafter, the organic layer formed by this process and each process will be described separately.

1.有機層
本工程において形成される有機層は、少なくとも発光層を有する有機EL層を構成するものである。ここで本発明における、有機EL層とは、少なくとも発光層を含む層であり、その層構成が有機層1層以上の層をいう。
このような有機層としては具体的には、発光層、正孔注入層、電子注入層、正孔輸送層、電子輸送層等を挙げることができる。正孔輸送層は、正孔注入層に正孔輸送の機能を付与することにより、正孔注入層と一体化される場合がある。また、電子輸送層は、電子注入層に電子輸送の機能を付与することにより、電子注入層と一体化される場合がある。さらに、有機EL層を構成する有機層としては、キャリアブロック層のような正孔もしくは電子の突き抜けを防止し、再結合効率を高めるための層等を挙げることができる。
以下、各層についてそれぞれ説明する。
1. Organic Layer The organic layer formed in this step constitutes an organic EL layer having at least a light emitting layer. Here, the organic EL layer in the present invention is a layer including at least a light-emitting layer, and the layer configuration refers to a layer having one or more organic layers.
Specific examples of such an organic layer include a light emitting layer, a hole injection layer, an electron injection layer, a hole transport layer, and an electron transport layer. The hole transport layer may be integrated with the hole injection layer by imparting a hole transport function to the hole injection layer. In addition, the electron transport layer may be integrated with the electron injection layer by adding an electron transport function to the electron injection layer. Furthermore, as an organic layer which comprises an organic EL layer, the layer etc. for preventing the penetration of a hole or an electron like a carrier block layer, and improving recombination efficiency can be mentioned.
Hereinafter, each layer will be described.

(1)発光層
本発明における発光層に用いられる材料としては、例えば、色素系材料、金属錯体系材料、高分子系材料等の発光材料を挙げることができる。
(1) Light emitting layer As a material used for the light emitting layer in this invention, light emitting materials, such as a pigment-type material, a metal complex type material, a polymeric material, can be mentioned, for example.

色素系材料としては、シクロペンタジエン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体、トリフェニルアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ピラゾロキノリン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアリーレン誘導体、シロール誘導体、チオフェン環化合物、ピリジン環化合物、ペリノン誘導体、ペリレン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、トリフマニルアミン誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマー等を挙げることができる。   Examples of dye materials include cyclopentadiene derivatives, tetraphenylbutadiene derivatives, triphenylamine derivatives, oxadiazole derivatives, pyrazoloquinoline derivatives, distyrylbenzene derivatives, distyrylarylene derivatives, silole derivatives, thiophene ring compounds, pyridine ring compounds. Perinone derivatives, perylene derivatives, oligothiophene derivatives, trifumanylamine derivatives, oxadiazole dimers, pyrazoline dimers, and the like.

また、金属錯体系材料としては、アルミキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾール亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、ユーロビウム錯体等、中心金属にAl、Zn、Be等、または、Tb、Eu、Dy等の希土類金属を有し、配位子にオキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造等を有する金属錯体等を挙げることができる。   Examples of the metal complex-based material include an aluminum quinolinol complex, a benzoquinolinol beryllium complex, a benzoxazole zinc complex, a benzothiazole zinc complex, an azomethylzinc complex, a porphyrin zinc complex, and a eurobium complex. Alternatively, a metal complex having a rare earth metal such as Tb, Eu, or Dy and having a ligand such as oxadiazole, thiadiazole, phenylpyridine, phenylbenzimidazole, or quinoline structure can be given.

さらに、高分子系材料としては、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体、ポリビニルカルバゾール等、ポリフルオレン誘導体、ポリキノキサリン誘導体、およびそれらの共重合体等を挙げることができる。   Furthermore, examples of the polymer material include polyparaphenylene vinylene derivatives, polythiophene derivatives, polyparaphenylene derivatives, polysilane derivatives, polyacetylene derivatives, polyvinylcarbazole, polyfluorene derivatives, polyquinoxaline derivatives, and copolymers thereof. be able to.

上記発光層中には、発光効率の向上、発光波長を変化させる等の目的でドーピング剤を添加してもよい。このようなドーピング剤としては、例えば、ペリレン誘導体、クマリン誘導体、ルブレン誘導体、キナクリドン誘導体、スクアリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、スチリル系色素、テトラセン誘導体、ピラゾリン誘導体、デカシクレン、フェノキサゾン、キノキサリン誘導体、カルバゾール誘導体、フルオレン誘導体等を挙げることができる。   A dopant may be added to the light emitting layer for the purpose of improving the light emission efficiency and changing the light emission wavelength. Examples of such doping agents include perylene derivatives, coumarin derivatives, rubrene derivatives, quinacridone derivatives, squalium derivatives, porphyrin derivatives, styryl dyes, tetracene derivatives, pyrazoline derivatives, decacyclene, phenoxazone, quinoxaline derivatives, carbazole derivatives, fluorene derivatives. Etc.

発光層の厚みとしては、電子と正孔との再結合の場を提供して発光する機能を発現することができる厚みであれば、特に限定されるものではなく、例えば、1nm〜500nm程度とすることができる。   The thickness of the light emitting layer is not particularly limited as long as it can provide a function of emitting light by providing a recombination field between electrons and holes, and is, for example, about 1 nm to 500 nm. can do.

(2)正孔注入層
上述したように、正孔輸送層は、正孔注入層に正孔輸送の機能を付与することにより、正孔注入層と一体化される場合がある。すなわち、正孔注入層は、正孔注入機能のみを有していてもよく、正孔注入機能および正孔輸送機能の両機能を有していてもよい。
(2) Hole Injection Layer As described above, the hole transport layer may be integrated with the hole injection layer by imparting a hole transport function to the hole injection layer. That is, the hole injection layer may have only a hole injection function, or may have both a hole injection function and a hole transport function.

正孔注入層に用いられる材料としては、発光層内への正孔の注入を安定化させることができる材料であれば、特に限定されるものではなく、上記発光層の発光材料に例示した化合物の他、フェニルアミン系、スターバースト型アミン系、フタロシアニン系、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリフェニレンビニレン誘導体等を用いることができる。具体的には、ビス(N−(1−ナフチル)−N−フェニル)ベンジジン(α−NPD)、4,4,4−トリス(3−メチルフェニルフェニルアミノ)トリフェニルアミン(MTDATA)、ポリ3,4エチレンジオキシチオフェン−ポリスチレンスルホン酸(PEDOT−PSS)、ポリビニルカルバゾール(PVCz)等が挙げられる。   The material used for the hole injection layer is not particularly limited as long as it can stabilize the injection of holes into the light emitting layer, and the compounds exemplified as the light emitting material for the light emitting layer. In addition, phenylamine-based, starburst-type amine-based, phthalocyanine-based, polyaniline, polythiophene, polyphenylene vinylene derivatives, and the like can be used. Specifically, bis (N- (1-naphthyl) -N-phenyl) benzidine (α-NPD), 4,4,4-tris (3-methylphenylphenylamino) triphenylamine (MTDATA), poly-3 4,4 ethylenedioxythiophene-polystyrene sulfonic acid (PEDOT-PSS), polyvinylcarbazole (PVCz), and the like.

また、正孔注入層の厚みとしては、正孔注入機能や正孔輸送機能が十分に発揮される厚みであれば、特に限定されないが、具体的には、0.5nm〜1000nmの範囲内、中でも、10nm〜500nmの範囲内であることが好ましい。   Further, the thickness of the hole injection layer is not particularly limited as long as the hole injection function and the hole transport function are sufficiently exerted, but specifically, within the range of 0.5 nm to 1000 nm, Especially, it is preferable that it exists in the range of 10 nm-500 nm.

(3)電子注入層
上述したように、電子輸送層は、電子注入層に電子輸送の機能を付与することにより、電子注入層と一体化される場合がある。すなわち、電子注入層は、電子注入機能のみを有していてもよく、電子注入機能および電子輸送機能の両機能を有していてもよい。
(3) Electron Injection Layer As described above, the electron transport layer may be integrated with the electron injection layer by imparting an electron transport function to the electron injection layer. That is, the electron injection layer may have only an electron injection function, or may have both an electron injection function and an electron transport function.

電子注入層に用いられる材料としては、発光層内への電子の注入を安定化させることができる材料であれば、特に限定されるものではなく、上記発光層の発光材料に例示した化合物等を用いることができる。
また、電子輸送性の有機材料にアルカリ金属あるいはアルカリ土類金属をドープした金属ドープ層を形成し、これを電子注入層とすることもできる。上記電子輸送性の有機材料としては、例えば、バソキュプロイン、バソフェナントロリン、フェナントロリン誘導体等を挙げることができ、ドープする金属としては、Li、Cs、Ba、Sr等が挙げられる。
The material used for the electron injecting layer is not particularly limited as long as it can stabilize the injection of electrons into the light emitting layer, and compounds exemplified as the light emitting material of the light emitting layer can be used. Can be used.
Alternatively, a metal doped layer in which an alkali metal or alkaline earth metal is doped on an electron transporting organic material may be formed and used as an electron injection layer. Examples of the electron-transporting organic material include bathocuproine, bathophenanthroline, and phenanthroline derivatives. Examples of the metal to be doped include Li, Cs, Ba, and Sr.

上記電子注入層の厚みとしては、電子注入機能や電子輸送機能が十分に発揮される厚み
であれば、特に限定されない。
The thickness of the electron injection layer is not particularly limited as long as the electron injection function and the electron transport function are sufficiently exhibited.

(4)電子輸送層
電子輸送層に用いられる材料としては、陰極から注入された電子を発光層内へ輸送することが可能な材料であれば、特に限定されるものではなく、例えば、バソキュプロイン、バソフェナントロリン、フェナントロリン誘導体、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム錯体(Alq)の誘導体等を挙げることができる。
(4) Electron transport layer The material used for the electron transport layer is not particularly limited as long as it is a material capable of transporting electrons injected from the cathode into the light emitting layer. For example, bathocuproine, Examples include bathophenanthroline, phenanthroline derivatives, triazole derivatives, oxadiazole derivatives, and derivatives of tris (8-quinolinolato) aluminum complex (Alq 3 ).

上記電子輸送層の厚みとしては、電子輸送機能が十分に発揮される厚みであれば、特に限定されない。   The thickness of the electron transport layer is not particularly limited as long as the electron transport function is sufficiently thick.

2.有機層形成工程における各工程
(1)高沸点溶媒塗布工程
本発明における高沸点溶媒塗布工程は、上記発光領域内に高沸点溶媒を塗布してプールを形成する工程である。本工程においては、発光領域内にプールを形成することができればよく、プールの下層としては第1電極層であってもよく、有機EL層を構成する層であってもよい。
2. Each process in an organic layer formation process (1) High boiling point solvent application process The high boiling point solvent application process in this invention is a process of apply | coating a high boiling point solvent in the said light emission area | region, and forming a pool. In this step, it is sufficient if a pool can be formed in the light emitting region, and the lower layer of the pool may be the first electrode layer or a layer constituting the organic EL layer.

ここで、「高沸点溶媒」とは、後述する有機層材料を溶解または分散させることができ、本発明における高沸点溶媒塗布工程および有機層用塗工液塗布工程における温度・湿度条件で発光領域内のプールを所定の深さに保持することができる程度の沸点を有する溶媒を指す。   Here, the “high boiling point solvent” can dissolve or disperse the organic layer material described later, and emits light in the temperature and humidity conditions in the high boiling point solvent coating step and the organic layer coating liquid coating step in the present invention. It refers to a solvent having a boiling point enough to keep the inner pool at a predetermined depth.

このような高沸点溶媒については、高沸点溶媒塗布工程および有機層用塗工液塗布工程における温度・湿度条件、有機層材料の種類等に応じて適宜選択され、特に限定されるものではないが、極性溶媒の場合、沸点が70℃〜300℃の範囲内、なかでも80℃〜250℃の範囲内、特に90℃〜230℃の範囲内の溶媒であることが好ましい。一方、非極性溶媒の場合、沸点が100℃〜300℃の範囲内、なかでも130℃〜280℃の範囲内、特に150℃〜270℃の範囲内の溶媒であることが好ましい。沸点が上記範囲に満たない場合は、高沸点溶媒塗布工程および有機層用塗工液塗布工程における温度・湿度条件が制限され、生産性が低下する可能性があるからである。一方、沸点が上記範囲を超える場合は、後述する乾燥工程において有機層を劣化させることなく、高沸点溶媒を除去することが困難となる可能性があるからである。   The high boiling point solvent is appropriately selected according to the temperature / humidity conditions in the high boiling point solvent coating step and the organic layer coating liquid coating step, the type of the organic layer material, and the like, and is not particularly limited. In the case of a polar solvent, a solvent having a boiling point in the range of 70 ° C to 300 ° C, particularly in the range of 80 ° C to 250 ° C, particularly in the range of 90 ° C to 230 ° C is preferable. On the other hand, in the case of a nonpolar solvent, a solvent having a boiling point in the range of 100 ° C to 300 ° C, particularly in the range of 130 ° C to 280 ° C, particularly in the range of 150 ° C to 270 ° C is preferable. This is because, when the boiling point is less than the above range, the temperature / humidity conditions in the high boiling point solvent coating step and the organic layer coating liquid coating step are limited, and productivity may be lowered. On the other hand, when the boiling point exceeds the above range, it may be difficult to remove the high boiling point solvent without deteriorating the organic layer in the drying step described later.

また、上記高沸点溶媒の蒸気圧としては、高沸点溶媒塗布工程および有機層用塗工液塗布工程における温度・湿度条件においてプールを所定の深さに維持することが可能な程度であれば特に限定されないが、0.05hPa〜10hPaの範囲内、なかでも、0.05hPa〜4.5hPaの範囲内、特に0.05hPa〜1.0hPaの範囲内であることが好ましい。   In addition, the vapor pressure of the high boiling point solvent is not particularly limited as long as the pool can be maintained at a predetermined depth under the temperature and humidity conditions in the high boiling point solvent coating step and the organic layer coating liquid coating step. Although not limited, it is preferably in the range of 0.05 hPa to 10 hPa, in particular in the range of 0.05 hPa to 4.5 hPa, particularly preferably in the range of 0.05 hPa to 1.0 hPa.

このような高沸点溶媒としては、極性溶媒であってもよく、非極性溶媒であってよい。
極性溶媒としては、例えば、水、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、ヘプタノール、オクタノール等の1価アルコール類、エチレングリコール、プロピレングリコール等の2価アルコール類、グリセリン等の3価アルコール類が挙げられ、水酸基と炭素の付き方によって、第一級、第二級、第三級の3種類の級数に分類されるが特に限定されるものではない。その他、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル等のエーテル類、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、N−メチルピロリドン、シクロヘキサノン等挙げることができる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を混合して用いてもよい。
一方、非極性溶媒としては、トルエン、キシレン、メシチレン、1,2,4−トリメチルベンゼン、トリエチルベンゼン、ヘキシルベンゼン、シクロヘキシルベンゼン、アニソール、安息香酸ブチル、安息香酸エチル、安息香酸メチル、テトラリン、1−メチルナフタレン、ジフェニルエーテル、ジフェニルメタン、ジフェニルエチレン、ジフェニルスルフィド等の芳香族炭化水素類を挙げることができる。
Such a high boiling point solvent may be a polar solvent or a nonpolar solvent.
Examples of the polar solvent include monohydric alcohols such as water, propanol, butanol, pentanol, hexanol, heptanol and octanol, dihydric alcohols such as ethylene glycol and propylene glycol, and trihydric alcohols such as glycerin. Depending on how the hydroxyl group and carbon are attached, they are classified into three types of primary, secondary and tertiary series, but are not particularly limited. Other ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, N, N-dimethylformamide , Dimethyl sulfoxide, N-methylpyrrolidone, cyclohexanone, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
On the other hand, as nonpolar solvents, toluene, xylene, mesitylene, 1,2,4-trimethylbenzene, triethylbenzene, hexylbenzene, cyclohexylbenzene, anisole, butyl benzoate, ethyl benzoate, methyl benzoate, tetralin, 1- Aromatic hydrocarbons such as methyl naphthalene, diphenyl ether, diphenylmethane, diphenylethylene, and diphenyl sulfide can be exemplified.

本工程においては、必要に応じて、上記高沸点溶媒中に界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤については、一般的な有機EL素子の製造方法において用いられているものと同様とすることができるので、ここでの説明は省略する。   In this step, a surfactant may be added to the high boiling point solvent as necessary. The surfactant can be the same as that used in a general method for manufacturing an organic EL element, and thus description thereof is omitted here.

本工程により形成されるプールの深さとしては、後述する有機層用塗工液塗布工程において塗布される有機層用塗工液中の有機層材料を均一に拡散させることが可能な程度の深さであれば特に限定されず、発光領域の大きさや、後述する有機層用塗工液に用いられる有機材料および溶媒等により適宜選択することができる。
上記プールの深さとしては、具体的には、0.5μm〜50μmの範囲内、なかでも0.5μm〜15μmの範囲内、特に0.5μm〜5μmの範囲内とすることができる。上記プールの深さが上記範囲に満たない場合は、後述する有機層用塗工液塗布工程において塗布された有機層用塗工液中の有機層材料を均一に拡散させることが困難となる可能性があるからであり、上記プールの深さが上記範囲を超える場合は、乾燥工程にかかる時間が長くなることから、製造効率が低下する可能性があるからである。
本工程におけるプールの深さとは、プールの下層表面からプールの最大深さまでの距離を指し、例えば図3(a)、(b)において、Qで示される距離を指す。なお、図3(a)、(b)は、図1(b)のA−A線断面図である。
また、上記プールの深さは、例えば、ウェットフィルム膜厚計により直接測定する、または非接触膜厚計(光干渉、レーザー方式)で測定することにより求めることができる。
The depth of the pool formed by this process is such a depth that the organic layer material in the organic layer coating liquid applied in the organic layer coating liquid coating process described later can be uniformly diffused. If it is, it will not specifically limit, It can select suitably by the magnitude | size of a light emission area | region, the organic material used for the coating liquid for organic layers mentioned later, a solvent, etc.
Specifically, the depth of the pool may be in the range of 0.5 μm to 50 μm, in particular in the range of 0.5 μm to 15 μm, particularly in the range of 0.5 μm to 5 μm. When the depth of the pool is less than the above range, it may be difficult to uniformly diffuse the organic layer material in the organic layer coating liquid applied in the organic layer coating liquid coating step described later. This is because, when the depth of the pool exceeds the above range, the time required for the drying process becomes long, so that the production efficiency may be lowered.
The depth of the pool in this step refers to the distance from the lower surface of the pool to the maximum depth of the pool, for example, the distance indicated by Q in FIGS. 3 (a) and 3 (b). 3A and 3B are cross-sectional views taken along line AA in FIG.
The depth of the pool can be determined by, for example, directly measuring with a wet film thickness meter or measuring with a non-contact thickness meter (optical interference, laser method).

また、本工程において発光領域が隔壁で区画されている場合、プールの深さと隔壁の高さの関係としては、プールの深さが隔壁の高さよりも小さくてもよく(図3(a)参照)、プールの深さと隔壁の高さとが同等であってもよく(図示なし)、プール深さが隔壁の高さよりも大きくてもよい(図3(b)参照)。ここで、プールの深さが隔壁の高さよりも大きい場合は、プールの深さは、後述する有機層用塗工液を吐出法により塗布した場合にプールが決壊して有機層用塗工液が発光領域外へ広がらない程度の深さであれば特に限定されず、隔壁材料や高沸点溶媒を選択することにより調整することができる。
一方、発光領域が親液性領域および撥液性領域を有するパターン形成層で区画されている場合も、プールの深さは、後述する有機層用塗工液を吐出法により塗布した場合にプールが決壊して有機層用塗工液が発光領域外へ広がらない程度の深さであれば特に限定されず、撥液性領域の撥液性の度合いや、高沸点溶媒を選択することにより調整することができる。
Further, when the light emitting region is partitioned by the partition wall in this step, the depth of the pool may be smaller than the partition wall height as the relationship between the pool depth and the partition wall height (see FIG. 3A). ), The depth of the pool may be equal to the height of the partition wall (not shown), or the pool depth may be larger than the height of the partition wall (see FIG. 3B). Here, when the depth of the pool is larger than the height of the partition wall, the depth of the pool is determined by applying the organic layer coating liquid, which will be described later, by the discharge method. Is not particularly limited as long as the depth does not spread out of the light emitting region, and can be adjusted by selecting a partition wall material or a high boiling point solvent.
On the other hand, even when the light emitting region is partitioned by a pattern forming layer having a lyophilic region and a liquid repellent region, the depth of the pool is the same as when the organic layer coating liquid described later is applied by a discharge method. If the depth is such that the coating liquid for the organic layer does not spread out of the light emitting region, it is not particularly limited, and it is adjusted by selecting the degree of liquid repellency in the liquid repellent region and the high boiling point solvent. can do.

本工程に用いられる高沸点溶媒の塗布方法としては、発光領域内に高沸点溶媒を塗布することが可能な方法であれば特に限定されない。本工程においては、インクジェット法、ディスペンサ法等の吐出法を好適に用いることができ、なかでもインクジェット法であることが好ましい。   The method for applying the high boiling point solvent used in this step is not particularly limited as long as it is a method capable of applying the high boiling point solvent in the light emitting region. In this step, a discharge method such as an inkjet method or a dispenser method can be suitably used, and the inkjet method is particularly preferable.

(2)有機層用塗工液塗布工程
本発明における有機層用塗工液塗布工程は、上記有機層材料および溶媒を含有する有機層用塗工液を上記プールが形成された上記発光領域内に吐出法により塗布し、上記プール中に上記有機層材料を拡散させて有機層形成用層を形成する工程である。
(2) Organic layer coating solution coating step In the organic layer coating solution coating step of the present invention, the organic layer coating solution containing the organic layer material and the solvent is formed in the light emitting region where the pool is formed. The organic layer forming layer is formed by diffusing the organic layer material in the pool and applying the layer by a discharge method.

本工程においては、通常、有機層材料と溶媒とを含有する有機層用塗工液が調製される。
上記有機層材料としては、形成される有機層に応じて適宜選択することができる。具体的には上述した「1.有機層」の項で説明したため、ここでの説明は省略する。
In this step, usually, an organic layer coating solution containing an organic layer material and a solvent is prepared.
As said organic layer material, it can select suitably according to the organic layer formed. Specifically, since it was explained in the above-mentioned section “1. Organic layer”, explanation here is omitted.

上記溶媒としては、上述した高沸点溶媒と相溶性を有し、有機層材料を溶解または分散させることができ、吐出法を用いて所望の有機層を形成することが可能な溶媒であれば特に限定されない。
ここで、本発明において「溶媒が高沸点溶媒と相溶性を有する」とは、例えば、室温(または有機層用塗工液塗布工程を行う温度)において300mlビーカーに上記高沸点溶媒50mlと上記溶媒50mlとを入れ、スターラーを用いて300rpmで1分間攪拌した後に混合溶媒を1分間静置した場合に、上記混合溶媒の分離が観察されないことを指す。
The solvent is particularly a solvent that is compatible with the above-described high boiling point solvent, can dissolve or disperse the organic layer material, and can form a desired organic layer using a discharge method. It is not limited.
Here, in the present invention, “the solvent is compatible with the high-boiling solvent” means, for example, that the above-mentioned high-boiling solvent 50 ml and the above-mentioned solvent are added to a 300-ml beaker at room temperature (or a temperature at which the organic layer coating liquid coating step is performed). When 50 ml is added and the mixed solvent is allowed to stand for 1 minute after stirring at 300 rpm for 1 minute using a stirrer, it means that no separation of the mixed solvent is observed.

また、上記溶媒としては、上述した高沸点溶媒と同種の溶媒であってもよく、異種の溶媒であってもよい。
上記溶媒として異種溶媒を用いた場合、本発明においては、例えば上記溶媒が比較的沸点が低い溶媒(以下、低沸点溶媒と称する。)である場合も、プール中に有機層用塗工液を塗布するため、有機層材料を高沸点溶媒中で均一に拡散させることができることから、発光領域に均一に有機層材料が分散された有機層用着色層を形成することが可能となる。
したがって、プールを形成しない従来の吐出法による有機層の形成工程において用いることができなかった低溶媒についても用いることができるため、材料選択の幅を広げることが可能となる。
Moreover, as said solvent, the same kind of solvent as the high boiling point solvent mentioned above may be sufficient, and a different kind of solvent may be sufficient.
When a different solvent is used as the solvent, in the present invention, for example, even when the solvent is a solvent having a relatively low boiling point (hereinafter referred to as a low boiling point solvent), the organic layer coating solution is added to the pool. Since it is applied, the organic layer material can be uniformly diffused in the high boiling point solvent, so that a colored layer for an organic layer in which the organic layer material is uniformly dispersed in the light emitting region can be formed.
Therefore, it is possible to use a low solvent that could not be used in the organic layer forming process by the conventional discharge method without forming a pool, so that the range of material selection can be expanded.

なお、本発明における低沸点溶媒とは、極性溶媒である場合は沸点が70℃未満の溶媒を指し、非極性溶媒である場合は沸点が100℃未満の溶媒を指すものとする。   In addition, the low boiling point solvent in this invention points out the solvent whose boiling point is less than 70 degreeC, when it is a polar solvent, and points out the solvent whose boiling point is less than 100 degreeC in the case of a nonpolar solvent.

なお、上記溶媒が高沸点溶媒と異種溶媒である場合は、低沸点溶媒に限られない。   In addition, when the said solvent is a high boiling point solvent and a different solvent, it is not restricted to a low boiling point solvent.

上記溶媒としては、有機層材料の種類により適宜選択され、具体的には上述した高沸点溶媒と同様の溶媒を用いることができる。また、上記高沸点溶媒の項で例示した溶媒以外にも、クロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタン、テトラヒドロフラン等の低沸点溶媒を用いることができる。   The solvent is appropriately selected depending on the type of the organic layer material, and specifically, the same solvent as the above-described high boiling point solvent can be used. In addition to the solvents exemplified in the section of the high boiling point solvent, low boiling point solvents such as chloroform, methylene chloride, dichloroethane, and tetrahydrofuran can be used.

また、例えば有機層材料が発光材料である場合は、クロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタン、テトラヒドロフラン、トルエン、キシレン、テトラリン、メシチレン等を好適に用いることができる。   For example, when the organic layer material is a light emitting material, chloroform, methylene chloride, dichloroethane, tetrahydrofuran, toluene, xylene, tetralin, mesitylene, and the like can be preferably used.

本工程に用いられる有機層用塗工液中の粘度については、吐出法を用いて有機層用塗工液と塗布することが可能な程度であれば特に限定されない。また、上記有機層用塗工液の粘度については、有機層材料、溶媒の種類や、有機層用塗工液の固形分量等により適宜調整することができる。   The viscosity of the organic layer coating liquid used in this step is not particularly limited as long as it can be applied to the organic layer coating liquid using a discharge method. In addition, the viscosity of the organic layer coating liquid can be appropriately adjusted depending on the organic layer material, the type of solvent, the solid content of the organic layer coating liquid, and the like.

本工程に用いられる吐出方法としては、発光領域内に所望の膜厚を有する有機層を形成することが可能な量の有機層用塗工液を塗布することが可能な方法であればよく、具体的にはインクジェット法やディスペンサ法等を挙げることができる。本発明においては、なかでもインクジェット法であることが好ましい。   The discharge method used in this step may be any method that can apply an organic layer coating solution in an amount that can form an organic layer having a desired film thickness in the light emitting region. Specific examples include an inkjet method and a dispenser method. In the present invention, the ink jet method is particularly preferable.

本工程においては有機層用塗工液の塗布後に、有機層形成用層中への有機層材料の分散を促進するために、有機EL基材に超音波振動を与える処理を行ってもよい。
また、有機層用塗工液の塗布後に、有機層形成用層の膜厚を均一にしたり、有機層形成用層中への有機材料の分散を十分に行うために有機層形成層を一定時間保持する保持工程を行ってもよい。またこの際、有機層形成用層の乾燥を防止するために、有機層形成用層を覆うキャップを配置する、加圧条件下に置く、温度条件を有機層用塗工液塗布中の温度よりも下げる等の乾燥防止処置を行ってもよい。なお、上記乾燥防止処置における加圧条件や温度条件については、有機層材料、溶媒、および高沸点溶媒等の種類により適宜調整することができる。
In this step, after applying the organic layer coating liquid, a treatment for applying ultrasonic vibration to the organic EL substrate may be performed in order to promote dispersion of the organic layer material in the organic layer forming layer.
In addition, after applying the organic layer coating liquid, the organic layer forming layer is kept for a certain period of time in order to make the thickness of the organic layer forming layer uniform or to sufficiently disperse the organic material in the organic layer forming layer. You may perform the holding process to hold | maintain. At this time, in order to prevent drying of the organic layer forming layer, a cap that covers the organic layer forming layer is placed, placed under pressure, and the temperature condition is higher than the temperature during coating of the organic layer coating liquid. It is also possible to take a dry prevention treatment such as lowering the temperature. In addition, about the pressurization conditions and temperature conditions in the said drying prevention treatment, it can adjust suitably with kinds, such as an organic layer material, a solvent, and a high boiling point solvent.

(3)乾燥工程
本発明における乾燥工程は、上記有機層形成用層を乾燥させて上記有機層を形成する工程である。
(3) Drying step The drying step in the present invention is a step of drying the organic layer forming layer to form the organic layer.

本工程に用いられる乾燥方法としては、有機層形成用層から溶媒、高沸点溶媒を除去することが可能な方法であれば特に限定されない。本工程においては、有機EL基材を加熱して乾燥してもよく、加熱しないで乾燥してもよいが、有機EL基材を加熱することが好ましい。減圧条件、加熱条件については、溶媒および高沸点溶媒の種類等に応じて適宜選択することができる。   The drying method used in this step is not particularly limited as long as it can remove the solvent and the high boiling point solvent from the organic layer forming layer. In this step, the organic EL substrate may be heated and dried, or may be dried without heating, but the organic EL substrate is preferably heated. About pressure reduction conditions and heating conditions, it can choose suitably according to a kind etc. of a solvent and a high boiling point solvent.

有機EL基材が剥離可能な隔壁を有する場合は、有機EL層形成用層の乾燥後に上記隔壁を剥離してもよい。   When the organic EL substrate has a partition wall that can be peeled off, the partition wall may be peeled off after the organic EL layer forming layer is dried.

(4)有機層形成工程
本発明における有機層形成工程においては、上述した正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子注入層、電子輸送層のいずれか1層を形成することができれば特に限定されないが、なかでも発光層を形成することが好ましい。
(4) Organic layer forming step In the organic layer forming step in the present invention, if any one of the above-described hole injection layer, hole transport layer, light emitting layer, electron injection layer, and electron transport layer can be formed. Although not particularly limited, it is particularly preferable to form a light emitting layer.

また、本発明においては、上記有機層形成工程を繰り返すことにより、複数の有機層を形成することも可能である。
本発明において複数の有機層を形成する場合は、隣接する二の有機層を形成する際に用いられる高沸点溶媒および溶媒の性質を異ならせることが好ましい。より具体的には、2層の有機層の積層体を形成する場合には、1層目の有機層を第1電極層上に形成する際に用いられる高沸点溶媒および溶媒としては極性溶媒であることが好ましく、2層目の有機層を1層目の有機層上に形成する際に設けられる高沸点溶媒および溶媒としては非極性溶媒であることが好ましい。
Moreover, in this invention, it is also possible to form a some organic layer by repeating the said organic layer formation process.
In the present invention, when a plurality of organic layers are formed, it is preferable that the properties of the high boiling point solvent and the solvent used when forming the two adjacent organic layers are different. More specifically, in the case of forming a laminate of two organic layers, the high-boiling solvent and the solvent used when forming the first organic layer on the first electrode layer are polar solvents. It is preferable that the high-boiling solvent and the solvent provided when the second organic layer is formed on the first organic layer are preferably nonpolar solvents.

III.有機EL素子の製造方法
本発明における有機EL素子の製造方法は、上述した画定工程および有機層形成工程を有していれば特に限定されない。また、本発明においては、通常、上記有機層形成工程を含む有機EL層形成工程、および第2電極層形成工程を有する。以下、各工程について説明する。
III. Manufacturing method of organic EL element The manufacturing method of the organic EL element in this invention will not be specifically limited if it has the demarcation process and organic layer formation process which were mentioned above. Moreover, in this invention, it usually has the organic EL layer formation process containing the said organic layer formation process, and a 2nd electrode layer formation process. Hereinafter, each step will be described.

1.有機EL層形成工程
本発明における有機EL層形成工程は、上述した有機層形成工程を含む工程である。
また、上記有機EL層形成工程においては、有機EL層を構成する有機層のうち少なくとも1層の有機層を上述した有機層形成工程で形成すればよく、吐出法以外の方法を用いて有機EL層を構成する他の層を形成してもよい。
本発明において、吐出法以外の方法で形成する他の層としては、発光層以外の層であることが好ましい。このような層としては、例えば、正孔注入層、電子注入層、電子輸送層等が挙げられる。
1. Organic EL layer formation process The organic EL layer formation process in this invention is a process including the organic layer formation process mentioned above.
In the organic EL layer forming step, at least one organic layer of the organic layers constituting the organic EL layer may be formed in the organic layer forming step described above, and the organic EL layer may be formed using a method other than the discharge method. You may form the other layer which comprises a layer.
In the present invention, the other layer formed by a method other than the discharge method is preferably a layer other than the light emitting layer. Examples of such a layer include a hole injection layer, an electron injection layer, and an electron transport layer.

正孔注入層に用いられる材料としては、発光層内への正孔の注入を安定化させることができる材料であれば、特に限定されるものではなく、上述した正孔注入層の材料の他にも、酸化バナジウム、酸化モリブデン、酸化ルテニウム、酸化アルミニウム、酸化チタン等の酸化物を挙げることができる。   The material used for the hole injection layer is not particularly limited as long as it can stabilize the injection of holes into the light emitting layer. In addition, oxides such as vanadium oxide, molybdenum oxide, ruthenium oxide, aluminum oxide, and titanium oxide can be given.

電子注入層に用いられる材料としては、発光層内への電子の注入を安定化させることができる材料であれば、特に限定されるものではなく、上述した電子注入層の材料の他にも、アルミリチウム合金、フッ化リチウム、ストロンチウム、酸化マグネシウム、フッ化マグネシウム、フッ化ストロンチウム、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、酸化アルミニウム、酸化ストロンチウム、カルシウム、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレンスルホン酸ナトリウム、リチウム、セシウム、フッ化セシウム等のようにアルカリ金属類、およびアルカリ金属類のハロゲン化物、アルカリ金属の有機錯体等を用いることができる。
電子注入輸送層について上述した点以外は、有機層形成工程の項で説明したものと同様とすることができる。
The material used for the electron injection layer is not particularly limited as long as it is a material that can stabilize the injection of electrons into the light emitting layer. In addition to the materials for the electron injection layer described above, Aluminum lithium alloy, lithium fluoride, strontium, magnesium oxide, magnesium fluoride, strontium fluoride, calcium fluoride, barium fluoride, aluminum oxide, strontium oxide, calcium, polymethyl methacrylate, sodium polystyrene sulfonate, lithium, cesium, Alkali metals, alkali metal halides, alkali metal organic complexes, and the like, such as cesium fluoride, can be used.
Except for the points described above for the electron injecting and transporting layer, it can be the same as that described in the section of the organic layer forming step.

電子輸送層の材料については、上述した「1.有機層」の項で説明したものと同様とすることができる。   The material for the electron transport layer may be the same as that described in the section “1. Organic layer” described above.

吐出法以外の方法としては、湿式法であってもよく乾式法であってもよい。   As a method other than the discharge method, a wet method or a dry method may be used.

湿式法としては、塗工液を塗布する方法が挙げられる。塗布方法としては、例えば、ディップコート法、ロールコート法、ブレードコート法、スピンコート法、バーコート法、ワイヤーバーコート法、キャスト法、LB法等を挙げることができる。また、熱転写法等の転写法や、印刷版を用いた印刷法などを挙げることができる。   Examples of the wet method include a method of applying a coating liquid. Examples of the coating method include a dip coating method, a roll coating method, a blade coating method, a spin coating method, a bar coating method, a wire bar coating method, a casting method, and an LB method. In addition, a transfer method such as a thermal transfer method, a printing method using a printing plate, and the like can be given.

乾式法としては、真空蒸着法等の一般的な蒸着方法を用いることができる。   As the dry method, a general vapor deposition method such as a vacuum vapor deposition method can be used.

2.第2電極層形成工程
本発明における第2電極層形成工程は、有機EL層上に第2電極層を形成する工程である。
2. Second electrode layer forming step The second electrode layer forming step in the present invention is a step of forming the second electrode layer on the organic EL layer.

第2電極層は、陽極であっても陰極であってもよいが、通常は陰極として形成される。   The second electrode layer may be an anode or a cathode, but is usually formed as a cathode.

また、第2電極層は、透明性を有していても有していなくてもよく、光の取り出し面等によって適宜選択される。例えば、第2電極層側から光を取り出す場合は、第2電極層は透明または半透明である必要がある。   The second electrode layer may or may not have transparency, and is appropriately selected depending on the light extraction surface and the like. For example, when light is extracted from the second electrode layer side, the second electrode layer needs to be transparent or translucent.

第2電極層(陰極)としては、電子が注入し易いように仕事関数の小さい導電性材料を用いることが好ましく、例えば、MgAg等のマグネシウム合金、AlLi、AlCa、AlMg等のアルミニウム合金、Li、Caをはじめとするアルカリ金属類およびアルカリ土類金属類、または、アルカリ金属類およびアルカリ土類金属類の合金などが挙げられる。   As the second electrode layer (cathode), it is preferable to use a conductive material having a small work function so that electrons can be easily injected. For example, magnesium alloys such as MgAg, aluminum alloys such as AlLi, AlCa, and AlMg, Li, Examples thereof include alkali metals and alkaline earth metals including Ca, and alloys of alkali metals and alkaline earth metals.

また、第2電極層は抵抗が小さいことが好ましく、一般には金属材料が用いられるが、有機化合物または無機化合物を用いてもよい。   The second electrode layer preferably has a low resistance, and generally a metal material is used, but an organic compound or an inorganic compound may be used.

本工程においては、上記有機EL層上に、金属材料を成膜して第2電極層を形成することが好ましい。第2電極層の材料としては抵抗が低いものであればよく、金属材料が最も適しているからである。   In this step, it is preferable to form a second electrode layer by forming a metal material on the organic EL layer. This is because the second electrode layer may be made of a material having a low resistance, and a metal material is most suitable.

金属材料の成膜方法としては、一般的な電極の形成方法を用いることができ、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の一般的な蒸着法や、金属ペーストを塗布する方法等が挙げられる。中でも、真空蒸着法、金属ペーストを塗布する方法が好ましい。真空蒸着法は、ドライプロセスで有機EL層へのダメージが少ない方法であり、積層に適している。また、金属ペーストを塗布する方法はウェットプロセスであり、ウェットプロセスはドライプロセスよりも大面積の対応に適している。ウェットプロセスであっても、有機EL層に影響を与えない溶媒が配合された金属ペーストは使用可能である。すなわち、有機EL層の耐溶剤性などによって有機EL層に影響を与えないように工夫することで、ウェットプロセスも適用可能となる。   As a method for forming a metal material, a general electrode forming method can be used. For example, a general vapor deposition method such as a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or a method for applying a metal paste. Etc. Among these, a vacuum deposition method and a method of applying a metal paste are preferable. The vacuum evaporation method is a method that causes little damage to the organic EL layer in a dry process and is suitable for stacking. Further, the method of applying the metal paste is a wet process, and the wet process is more suitable for dealing with a larger area than the dry process. Even in the wet process, a metal paste containing a solvent that does not affect the organic EL layer can be used. That is, a wet process can be applied by devising the organic EL layer so as not to be affected by the solvent resistance of the organic EL layer.

3.その他の工程
本発明においては、上述した有機EL層形成工程、第2電極層形成工程以外の工程についても必要に応じて行うことができる。例えば、上記有機EL基材を形成する工程等を挙げることができる。
3. Other Steps In the present invention, steps other than the above-described organic EL layer forming step and second electrode layer forming step can be performed as necessary. For example, the process etc. which form the said organic EL base material can be mentioned.

IV.有機EL素子
本発明の製造方法により製造される有機EL素子について説明する。
上記有機EL素子は、基材および上記基材上に形成された第1電極層を有する有機EL基材と、少なくとも発光層を有する有機EL層と、有機EL層上に形成された第2電極層とを有するものである。上記有機EL層としては、少なくとも発光層を有していればよく、必要に応じて、正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層を有していてもよい。
IV. Organic EL element The organic EL element manufactured by the manufacturing method of this invention is demonstrated.
The organic EL element includes an organic EL substrate having a substrate and a first electrode layer formed on the substrate, an organic EL layer having at least a light emitting layer, and a second electrode formed on the organic EL layer. And a layer. The organic EL layer only needs to have at least a light emitting layer, and may have a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, and an electron transport layer as necessary.

本発明により製造される有機EL素子は、陽極側から光を取出すボトムエミッション型であってもよく、陰極側から光を取出すトップエミッション型であってもよく、陽極および陰極の両側から光を取出す両面発光型であってもよい。
上記有機EL素子は、表示装置および照明装置に好適に用いることができる。本発明においては、特に上記有機EL素子は照明装置に用いる有機ELパネルであることが好ましい。
The organic EL device produced according to the present invention may be a bottom emission type in which light is extracted from the anode side, or may be a top emission type in which light is extracted from the cathode side, and light is extracted from both sides of the anode and the cathode. A double-sided light emitting type may be used.
The organic EL element can be suitably used for a display device and a lighting device. In the present invention, the organic EL element is particularly preferably an organic EL panel used in a lighting device.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。   The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.

以下、本発明について、実施例および比較例を挙げて説明する。   Hereinafter, the present invention will be described with reference to examples and comparative examples.

[実施例1]
(評価用有機ELパネルの作製)
ITOからなる透明電極層を長方形に形成した透明基板上に、フォトレジストからなる厚さ3μmの隔壁形成用層をスピンコート法により形成した。隔壁形成用層のパターニングは、フォトリソグラフィー法により行い、発光領域50mm角、隔壁幅3mmとなるマスクパターンを用い、露光・現像により隔壁のパターニングを行った。
[Example 1]
(Production of organic EL panel for evaluation)
On the transparent substrate in which the transparent electrode layer made of ITO was formed in a rectangular shape, a 3 μm-thick barrier rib forming layer was formed by spin coating. The partition wall forming layer was patterned by a photolithography method, and the partition wall was patterned by exposure and development using a mask pattern having a light emitting area of 50 mm square and a partition wall width of 3 mm.

次に、発光領域内にグラビア印刷法を用いて、厚さ60nmの正孔注入層(PEDOT)を形成した。
次いで、発光領域内に高沸点溶媒としてテトラリン(沸点:206℃‐208℃)を用いて、厚さ3μmの隔壁と同等となるようプールを形成した。このとき、装置にはインクジェット装置DMP3000(Dimatix製)を用いた。
Next, a hole injection layer (PEDOT) having a thickness of 60 nm was formed in the light emitting region using a gravure printing method.
Next, a pool was formed in the light emitting region using tetralin (boiling point: 206 ° C.-208 ° C.) as a high boiling point solvent so as to be equivalent to a partition wall having a thickness of 3 μm. At this time, an inkjet apparatus DMP3000 (manufactured by Dimatix) was used as the apparatus.

さらに、プールが乾燥する前に、発光領域内にDMP3000で発光層用塗工液を塗布した。発光層用塗工液はプール内で拡散し、均一なウェット膜を形成した。
次に、IRヒーターを用い80℃で仮乾燥、その後ホットプレートを用い180℃で本乾燥させドライ膜として発光層を得た。
なお、発光層用塗工液は、溶媒にメシチレン(沸点:165℃)、有機発光材料にはADS232GE(American Dye Source, Inc.社製)を用い、固形分1.0wt%で溶液化したものを使用した。
Furthermore, before the pool dried, the light emitting layer coating solution was applied to the light emitting region with DMP3000. The light emitting layer coating solution diffused in the pool to form a uniform wet film.
Next, provisional drying was performed at 80 ° C. using an IR heater, followed by main drying at 180 ° C. using a hot plate to obtain a light emitting layer as a dry film.
In addition, the light emitting layer coating solution is a solution obtained by using mesitylene (boiling point: 165 ° C.) as a solvent and ADS232GE (manufactured by American Dye Source, Inc.) as an organic light emitting material at a solid content of 1.0 wt%. It was used.

続いて、上記発光層上に、厚さ10nmの金属カルシウムと厚さ500nmの銀を真空蒸着法により積層させて対向電極層を形成した。以上の手順により、評価用有機ELパネルを得た。   Subsequently, a 10-nm-thick metal calcium and a 500-nm-thick silver were laminated on the light-emitting layer by a vacuum deposition method to form a counter electrode layer. The organic EL panel for evaluation was obtained by the above procedure.

(評価)
評価用有機ELパネルの発光状態を観察した結果、発光領域内が均一に発光していることが分かった。
(Evaluation)
As a result of observing the light emitting state of the evaluation organic EL panel, it was found that the light emitting region emitted light uniformly.

[比較例1]
高沸点溶媒によるプールを形成しないで、発光層用塗工液を塗布したこと以外は、実施例と同様にして評価用有機ELパネルを作製した。得られた評価用有機ELパネルの発光状態を観察したところ、インクジェットの塗布方向に沿ったスジ状のムラが観察された。
[Comparative Example 1]
An organic EL panel for evaluation was produced in the same manner as in the example except that the light emitting layer coating solution was applied without forming a pool with a high boiling point solvent. When the light emission state of the obtained organic EL panel for evaluation was observed, streaky unevenness along the inkjet coating direction was observed.

[比較例2]
テトラヒドロフラン(沸点66℃)でプールを形成し、発光層用塗工液を塗布したこと以外は、実施例と同様にして評価用有機ELパネルを作製したところ、上記発光層用塗工液の塗布完了までプールを保持出来なかった。また得られた評価用有機ELパネルの発光状態を観察したところ、インクジェットの塗布方向に沿ったスジ状のムラが観察された。
[Comparative Example 2]
An organic EL panel for evaluation was produced in the same manner as in Example except that a pool was formed with tetrahydrofuran (boiling point: 66 ° C.) and the coating solution for the light emitting layer was applied. Could not hold pool until completion. Further, when the light emission state of the obtained organic EL panel for evaluation was observed, streaky unevenness along the ink jet application direction was observed.

1 … 基材
2 … 第1電極層
3 … 有機EL基材
4 … 隔壁
5 … プール
6 … 有機層(発光層)
6’ … 有機層形成用層
6” … 有機層用塗工液
7 … 第2電極層
10 … 有機EL素子
20 … インクジェットノズル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Base material 2 ... 1st electrode layer 3 ... Organic EL base material 4 ... Partition wall 5 ... Pool 6 ... Organic layer (light emitting layer)
6 '... organic layer forming layer 6 "... organic layer coating solution 7 ... second electrode layer 10 ... organic EL element 20 ... inkjet nozzle

Claims (2)

基材および前記基材上に形成された第1電極層を有する有機エレクトロルミネッセンス基材を準備し、前記有機エレクトロルミネッセンス基材の発光領域を画定する画定工程と、
前記発光領域内に発光層を含む有機エレクトロルミネッセンス層を構成する有機層のうち、少なくとも1層の有機層を吐出法により形成する有機層形成工程とを有し、
前記有機層形成工程が、
前記発光領域内に高沸点溶媒を塗布してプールを形成する高沸点溶媒塗布工程と、
有機層材料および溶媒を含有する有機層用塗工液を前記プールが形成された前記発光領域内に吐出法により塗布し、前記プール中に前記有機層材料を拡散させて有機層形成用層を形成する有機層用塗工液塗布工程と、
前記有機層形成用層を乾燥させて前記有機層を形成する乾燥工程と、
を有する工程であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
Providing an organic electroluminescent substrate having a substrate and a first electrode layer formed on the substrate, and defining a light emitting region of the organic electroluminescent substrate;
An organic layer forming step of forming at least one organic layer by an ejection method among organic layers constituting an organic electroluminescence layer including a light emitting layer in the light emitting region;
The organic layer forming step includes
A high boiling point solvent application step of applying a high boiling point solvent in the light emitting region to form a pool;
An organic layer coating solution containing an organic layer material and a solvent is applied by a discharge method into the light emitting region where the pool is formed, and the organic layer material is diffused into the pool to form an organic layer forming layer. An organic layer coating liquid coating step to be formed;
A drying step of drying the organic layer forming layer to form the organic layer;
A method for producing an organic electroluminescence element, characterized by comprising:
前記画定工程が、前記有機エレクトロルミネッセンス基材上に前記発光領域を画定する隔壁を形成する工程であることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   2. The method of manufacturing an organic electroluminescent element according to claim 1, wherein the defining step is a step of forming a partition wall for defining the light emitting region on the organic electroluminescent substrate.
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