JP2013108598A - Sliding part and method for manufacturing the same - Google Patents

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Koichi Kudo
孝一 工藤
Hiroshi Matsubara
浩 松原
Kazuma Miura
一真 三浦
Yoshito Abe
淑人 阿部
Yasunori Kobayashi
泰則 小林
Kinpei Isobe
錦平 磯部
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture a high performance sliding part and a guide part at low cost by forming a sliding surface having low sliding resistance and high surface hardness even on an uneven surface of the part and an inner hole of the part.SOLUTION: A plated film 102 is formed on the surface of the sliding part of a structural base material 101, and dispersed diamond microparticles 103 are codeposited on the outermost surface thereof so that the sliding surface having low sliding resistance is formed even on the uneven surface or the surface of the inner hole of the part, and the hardness in the plated film can be enhanced by heat treatment of the plated surface.

Description

本発明は、摺動部を有する対向部品であるところの摺動部品、物品移送機構のガイド部品、および摺動部が電気的接点となる摺動電極に関する。 The present invention relates to a sliding part that is an opposing part having a sliding part, a guide part of an article transfer mechanism, and a sliding electrode in which the sliding part serves as an electrical contact.

動力機械や内燃機関を始めとして多くの可動機械には、対向部品同士で摺動しあう部分が存在する。これらの摺動部品には、互いが互いを攻撃せず、摺動抵抗が低く、摩耗しない事が求められる。物品移送機構部のガイド部品は搬送材が低摩擦で移送される様に摺動抵抗が低く、またガイド部品が摩耗しないような高い硬度が求められる。 Many movable machines such as a power machine and an internal combustion engine have a portion that slides between opposing parts. These sliding parts are required not to attack each other, to have low sliding resistance and not to wear. The guide parts of the article transfer mechanism are required to have low sliding resistance so that the conveying material is transferred with low friction and high hardness so that the guide parts do not wear.

また携帯電話等の携帯情報端末には回転機構を有する1軸もしくは2軸の回転ヒンジが多く用いられ、ヒンジ自体の摺動性および固定トルクが求められるほか、上部表示パネル部分と下部ボタン操作部分との間の電気的接続をヒンジに装備したスリップリングを介してとるため、該スリップリングには摺動接点の構造的微細加工精度と、摺動抵抗(摩擦)の低さと、電気抵抗の低さなどが同時に求められている。 In addition, mobile information terminals such as mobile phones often use a single-axis or two-axis rotary hinge having a rotation mechanism, and the slidability and fixing torque of the hinge itself are required. The slip ring is equipped with a slip ring equipped with a hinge, and the slip ring has a structural micro-processing accuracy of the sliding contact, low sliding resistance (friction), and low electrical resistance. It is required at the same time.

一方、金属等の構造母材の外部に別の材料を表面修飾する事によって構造母材にはない新たな機能や特性を付与する事が工業的に多用され、そのような技術としてめっきやPVD、CVD、塗布などがあり、多様な方法が用途に応じて適用されている。 On the other hand, it is industrially used to impart new functions and characteristics not found in structural base materials by surface modification of other materials on the outside of the structural base materials such as metals. , CVD, coating, etc., and various methods are applied depending on the application.

特開2007−232026号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2007-232026 特開2003−197340号公報JP 2003-197340 A 特開2001−211610号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2001-211610 特開2009−9718号公報JP 2009-9718 A 特開2007−39720号公報JP 2007-39720 A 特開2006−225730号公報JP 2006-225730 A

松原浩、めっき膜中へのナノダイヤモンドの複合化による新材料作製、表面科学、vol.30,no.5,pp.279−286,2009.Matsubara Hiroshi, New material production by nano diamond composite in plating film, surface science, vol. 30, no. 5, pp. 279-286, 2009.

内燃機関や電動機を始めとして連続的に回転運動あるいは往復運動を行う原動機類には対向する摺動部品が存在し、お互いが相手を攻撃せず、摺動抵抗が低く、摩耗しないことが求められ、そのような目的の為に潤滑剤を用いたり、部品の表面修飾を行うことが行われている。 The prime movers that continuously rotate or reciprocate, such as internal combustion engines and electric motors, have facing sliding parts that do not attack each other, have low sliding resistance, and do not wear. For such purposes, a lubricant is used or the surface of a part is modified.

たとえば、内燃機関の内部でピストンとシリンダ内壁の間の気密を維持したりシリンダ内壁に油膜を形成するためのピストンリングと呼ばれる円環状部品においても、さまざまな摩耗損失を低減する策が取られていることが特許文献1などに示されている。ピストンリングの外周摺動面上に非結晶硬質炭素被膜を形成して摩擦損失を低減する事は一般に高価な気相成膜装置を必要とし、生産性等の面でも課題が残る。 For example, various measures are taken to reduce wear loss even in an annular part called a piston ring for maintaining an airtightness between a piston and an inner wall of an internal combustion engine or forming an oil film on the inner wall of the cylinder. Patent Document 1 and the like show that the Forming an amorphous hard carbon film on the outer peripheral sliding surface of the piston ring to reduce friction loss generally requires an expensive vapor deposition apparatus, and there remain problems in terms of productivity and the like.

また、さまざまな装置や回路で用いられる電極のうち摺動型や極多頻度で開閉を行う用途向けなど多くの電極が、電気抵抗の低さと、摺動抵抗の低さあるいは硬度の高さという特性の両立が求められている。しかし、電気抵抗が低く導体としては好ましい金、銀、銅、アルミニウムなどは硬度が低く摩擦係数が大きいので、電極材として用いた場合に繰り返しの接触や摺動によって激しく摩耗するという欠点を有している。そのため、電気的特性を犠牲にしてより硬度の高いか潤滑性の高い性質を持つクロムやモリブデンあるいはタングステンなどの金属やその化合物を電極材として利用するかあるいは良導体の電極材に添加するといったことが行われている。しかしながら電気的特性の低さはすなわち装置自体の性能低下や電力利用効率の低下を招くため、硬度や潤滑性を維持しながら電気伝導度の高い電極材料が求められている。 Also, among the electrodes used in various devices and circuits, many electrodes, such as those for sliding type and applications that open and close very frequently, have low electrical resistance and low sliding resistance or high hardness There is a need for both properties. However, gold, silver, copper, aluminum, etc., which have low electrical resistance and are preferable as conductors, have a disadvantage that they are worn hard by repeated contact and sliding when used as electrode materials because of their low hardness and high friction coefficient. ing. For this reason, metals such as chromium, molybdenum, and tungsten, which have higher hardness or lubricity at the expense of electrical characteristics, and their compounds are used as electrode materials or added to good conductor electrode materials. Has been done. However, the low electrical characteristics, that is, the degradation of the performance of the device itself and the reduction of the power utilization efficiency, demands an electrode material having high electrical conductivity while maintaining the hardness and lubricity.

スリップリングやロータリージョイント等の回転摺動電極では摩耗を防ぐために電極を逐次移動したり(たとえば特許文献2参照)不要時に離脱させたり(たとえば特許文献3参照)するなどの対策が取られる事があるが、構造が複雑になったり大型化したりということで小型携帯機器の部品には適用できないという課題がある。 In rotating and sliding electrodes such as slip rings and rotary joints, measures such as sequentially moving the electrodes (for example, refer to Patent Document 2) or disengaging them when unnecessary (for example, refer to Patent Document 3) may be taken. However, there is a problem that it cannot be applied to parts of small portable devices because the structure is complicated or large.

一方、電極の表面にCVD法やPVD法などの気相堆積処理によってDLC(ダイヤモンド・ライク・カーボン)やその類型を製膜し、摺動抵抗の低さと硬度の高さとを両立できることが知られているが、電気抵抗が高いために電極材の表面処理としてはそのままでは適用できないため後処理で電極母材を露出させることで導電性を維持するなどの必要がある(たとえば特許文献4参照)。またDLC同様にCVD法やPVD法などによって導電性のダイヤモンド層を金属表面に成膜する事で課題を解決する方法(たとえば特許文献5)もあるが、いずれにおいてもDLCやダイヤモンド薄膜の成膜を行う気相処理では凹凸のある表面の場合に均一な膜を成膜するのが困難であるという技術的課題や、気相処理の為の装置が高額であるなどの経済的課題がある。 On the other hand, it is known that DLC (diamond-like carbon) or its type can be formed on the surface of the electrode by vapor deposition such as CVD or PVD to achieve both low sliding resistance and high hardness. However, since the electrical resistance is high, it cannot be applied as it is as the surface treatment of the electrode material, so it is necessary to maintain the conductivity by exposing the electrode base material in the post-treatment (for example, see Patent Document 4). . As with DLC, there is a method (for example, Patent Document 5) that solves the problem by forming a conductive diamond layer on the metal surface by CVD or PVD, but in either case, DLC or diamond thin film is formed. There are technical problems that it is difficult to form a uniform film on an uneven surface, and economic problems such as expensive equipment for the gas phase treatment.

本発明はこれらの問題を効率的かつ効果的に解決すべくなされたもので、その目的は、摺動性能の優れた摺動部品を提供することとその効率的な製造方法を提供することにある。 The present invention has been made to solve these problems efficiently and effectively, and an object thereof is to provide a sliding component having excellent sliding performance and to provide an efficient manufacturing method thereof. is there.

本発明は、摺動部品の摺動部表面部分に高い硬度と潤滑度を有する被膜をめっき法と熱処理によって生成するものであり、きわめて効率的に前述の課題を解決する事が出来る。また金属マトリックス材料を金や銀、銅などから選択した場合には硬度と潤滑度が高く電気伝導性の高い被膜を生成できるので、摺動接点の外表面に該被膜を生成することできわめて効率的に前述の課題を解決する事が出来る。 The present invention produces a coating having high hardness and lubricity on the surface of the sliding part of the sliding component by plating and heat treatment, and can solve the above-mentioned problems very efficiently. In addition, when the metal matrix material is selected from gold, silver, copper, etc., it is possible to produce a coating with high hardness and lubricity and high electrical conductivity. Therefore, it is extremely efficient to produce this coating on the outer surface of the sliding contact. In particular, the above-mentioned problems can be solved.

本発明者の一人である松原は、14vol%にもおよぶ大量のダイヤモンド微粒子を金属マトリックス中に分散した複合めっき膜を形成する方法を考案した(特許文献6参照)。その後の分析により該めっき膜に含有されるダイヤモンド粒子は分散して表層に吸着していることや、潤滑油を用いずに摩擦係数0.03程度が得られることなどを実証した(非特許文献1参照)。 Matsubara, one of the present inventors, devised a method for forming a composite plating film in which a large amount of diamond fine particles as much as 14 vol% are dispersed in a metal matrix (see Patent Document 6). Subsequent analysis demonstrated that the diamond particles contained in the plating film are dispersed and adsorbed on the surface layer, and that a friction coefficient of about 0.03 can be obtained without using lubricating oil (Non-Patent Document). 1).

図1に本発明の複合めっき膜の模式図を示す。基材101の摺動部表面にめっき膜102が成膜され、該めっき膜の外表部側に分散したダイヤモンド微粒子103が共析している様子を表している。表面に共析した該ダイヤモンド微粒子が硬度と潤滑性をめっき膜に付与すると考えられる。 FIG. 1 shows a schematic diagram of the composite plating film of the present invention. A plating film 102 is formed on the surface of the sliding portion of the substrate 101, and the diamond fine particles 103 dispersed on the outer surface side of the plating film are co-deposited. It is considered that the diamond fine particles co-deposited on the surface impart hardness and lubricity to the plating film.

さらに通常の非複合めっき処理の場合、その後に熱処理を行って該めっき膜をより硬化させることが行われる。他方、複合めっきで熱処理を行った場合にも硬化現象が発生するかどうかはこれまで定かではなかったが、本発明では複合めっきの後処理として熱処理を施すことによって通常の非複合めっき膜と同様にめっき膜の硬化を行うことができることを確認している。たとえばニッケルリンめっきにおいてめっき膜単体ではHv=550程度であるところ約400℃で熱処理を行うことでHv=900程度に硬化する。 Furthermore, in the case of a normal non-composite plating treatment, the plating film is further cured by performing a heat treatment thereafter. On the other hand, whether or not the curing phenomenon occurs even when heat treatment is performed in composite plating has been uncertain until now, but in the present invention, heat treatment is performed as a post-treatment of composite plating, and the same as a normal non-composite plating film It is confirmed that the plating film can be cured. For example, in nickel phosphorus plating, when the plating film itself is about Hv = 550, it is hardened to about Hv = 900 by performing heat treatment at about 400 ° C.

また本発明では、複合めっき膜に加えてブラスト処理を施すことによってより効果的に課題を解決する事が出来る。ブラスト処理には、たとえばサンドブラストやドライアイスブラストに代表される乾式処理とウォーターブラストに代表される湿式処理があり、目的に応じて様々な媒体や圧力、流量が選定される。実施例では酸化亜鉛や酸化アルミニウムの粒径が数10μm程度の微粒子を水中に懸濁させたスラリーを用いた湿粒ブラストを適用したが、それ以外のブラスト方法やブラスト条件も有効であることは言うまでもない。 Moreover, in this invention, a subject can be solved more effectively by performing a blast process in addition to a composite plating film. The blast treatment includes, for example, a dry treatment represented by sand blast and dry ice blast and a wet treatment represented by water blast, and various media, pressures, and flow rates are selected according to the purpose. In the examples, wet blasting using a slurry in which fine particles of zinc oxide or aluminum oxide having a particle size of about several tens of μm are suspended in water is applied, but other blasting methods and blasting conditions are also effective. Needless to say.

図2に、本発明の複合めっきにブラスト処理を適用した場合の模式図を示す。 In FIG. 2, the schematic diagram at the time of applying a blast process to the composite plating of this invention is shown.

図2の2Aには、基材201の摺動部表面をブラスト処理によって表面を粗化したのちに複合めっき膜202を成膜し、該めっき膜の表層にダイヤモンド微粒子203が共析している様子を示している。基材のブラスト処理によって該めっき膜の剥離耐性が向上する。 In 2A of FIG. 2, the surface of the sliding portion of the base material 201 is roughened by blasting, and then a composite plating film 202 is formed. Diamond fine particles 203 are co-deposited on the surface layer of the plating film. It shows a state. The peeling resistance of the plating film is improved by blasting the substrate.

図2の2Bには、基材211に複合めっき膜212を成膜し、該めっき膜の表層にダイヤモンド微粒子213が共析している様子を示している。めっき膜のブラスト処理によって生じた凹凸が点接触によって、より一層の潤滑性の向上をもたらす。 2B shows a state in which the composite plating film 212 is formed on the base material 211 and the diamond fine particles 213 are co-deposited on the surface layer of the plating film. The unevenness caused by the blasting of the plated film brings about further improvement in lubricity by point contact.

図2の2Cには、基材221の摺動部表面をブラスト処理によってよって粗化したのちに複合めっき膜222を成膜することで該めっき膜の剥離耐性を向上し、該めっき膜の表層にダイヤモンド微粒子223が共析したものに対して表面をブラスト処理する事によって表面に微細な凹凸を生じ、より一層潤滑性を向上させることが出来る。 In 2C of FIG. 2, the surface of the plating film is improved by forming a composite plating film 222 after the surface of the sliding portion of the substrate 221 is roughened by blasting, thereby improving the peeling resistance of the plating film. By subjecting the surface of the diamond particles 223 to eutectoid blasting to the surface, fine irregularities are produced on the surface, and the lubricity can be further improved.

以上説明したように本発明によってダイヤモンド微粒子を含有する複合めっきを施すことによって、摺動部品もしくはガイド部品の硬度と潤滑性を両立させることができるという効果がある。 As described above, by applying composite plating containing diamond fine particles according to the present invention, there is an effect that both the hardness and the lubricity of the sliding part or the guide part can be achieved.

また基材の表面にブラスト処理を施したのちにめっき処理を行うことによって該めっき膜の剥離耐性を強化することができるという効果がある。 Moreover, there is an effect that the peeling resistance of the plating film can be enhanced by performing the plating treatment after the surface of the base material is blasted.

さらに該めっき膜の表面にブラスト処理を施すことによって該めっき膜の潤滑性を一層向上させることができるという効果がある。 Furthermore, there is an effect that the lubricity of the plating film can be further improved by blasting the surface of the plating film.

以下、本発明を実施するための最良の形態を図3〜図8に基づいて説明する。 Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to FIGS.

図3は請求項1ないし3の実施例として金型等に用いられるガイドポスト1300とガイドピン310を図示したものである。 FIG. 3 shows a guide post 1300 and a guide pin 310 used in a mold or the like as an embodiment of claims 1 to 3.

ガイドポストとガイドピン自体は金型による塑性加工には直接寄与しないが、金型同士の嵌合を確実にし、ズレを生じないようにするために重要な機構の一つである。複数のガイドポストが型の一方に装備され、他方の型の対応位置にガイドピンが装備される。従ってガイド同士はガタツキが無く潤滑性の高いことが求められる。図3の301および302はガイドポスト自体を型に固定するためのネジ穴であり、303がガイドピンを挿入するガイド穴である。 The guide post and the guide pin itself do not directly contribute to the plastic working by the mold, but are one of important mechanisms for ensuring the fitting between the molds and preventing the deviation. A plurality of guide posts are mounted on one of the molds, and guide pins are mounted at corresponding positions on the other mold. Accordingly, the guides are required to have no looseness and high lubricity. 3, 301 and 302 are screw holes for fixing the guide post itself to the mold, and 303 is a guide hole for inserting a guide pin.

このガイド穴表面303およびガイドピン310の対向表面311を本発明によって製造する事によって効果的に摺動性能を高めることができる。またガイドポストとガイドピンに限らず、ガイドレールやガイドローラーなどの摺動面に対して同様に処理することで効果的に摺動性能を高められることは言うまでもない。 By manufacturing the guide hole surface 303 and the opposing surface 311 of the guide pin 310 according to the present invention, the sliding performance can be effectively enhanced. Needless to say, the sliding performance can be effectively improved by processing the sliding surfaces such as the guide rails and the guide rollers in the same manner as well as the guide posts and the guide pins.

請求項1ないし3に掛かる本実施例で特徴的なのはガイド穴303のごとき内面であっても複合めっき膜を施すことが容易にできる点である。 The present embodiment according to the first to third aspects is characterized in that a composite plating film can be easily applied even on the inner surface such as the guide hole 303.

続いてめっき方法の詳細について記載する。ダイヤモンド微粒子を分散(懸濁)しためっき浴を酸素を含有する気体で攪拌しながら基材を浸漬することによって、めっき膜を構成する金属マトリックス中にダイヤモンド微粒子を分散させることを可能としたものである。酸素を含有する気体としては、純粋な酸素のほか、酸素と窒素等の他の不活性気体との混合物を使用することができ、実用上は空気を使用することが好ましい。 Next, details of the plating method will be described. It is possible to disperse the diamond fine particles in the metal matrix constituting the plating film by immersing the base material while stirring the plating bath in which the diamond fine particles are dispersed (suspended) with a gas containing oxygen. is there. As the gas containing oxygen, in addition to pure oxygen, a mixture of oxygen and another inert gas such as nitrogen can be used. In practice, air is preferably used.

無電解めっきに使用するめっき浴としては特に制限はなく、通常無電解めっきに使用されるめっき浴はいずれも使用することができ、例えばホスフィン酸又はその塩を含有するホスフィン酸系無電解めっき浴、ホルムアルデヒドを含む無電解めっき浴、ジメチルアミンボランを含む無電解めっき浴等が挙げられる。 There is no particular limitation on the plating bath used for electroless plating, and any plating bath usually used for electroless plating can be used. For example, a phosphinic acid-based electroless plating bath containing phosphinic acid or a salt thereof. An electroless plating bath containing formaldehyde, an electroless plating bath containing dimethylamine borane, and the like.

これらのめっき浴中には、通常錯化剤が添加される。このような錯化剤としては、例えば乳酸、酒石酸、クエン酸、グリシン、イミノ酢酸、コハク酸、リンゴ酸、グルコン酸のような炭素数が3〜6のカルボン酸及びその金属塩、もしくはアンモニア等が挙げられ、好ましい錯化剤としてはクエン酸及びその金属塩が用いられる。これらの錯化剤は、単独で又は2種以上を組合せて使用することができる。めっき浴中の錯化剤の含有量は、目的とするめっき膜の種類や膜厚等に応じて適宜選択することができるが、通常は0.05〜2.0M程度、特に0.1〜1.0M程度とすることが好ましい。 A complexing agent is usually added to these plating baths. Examples of such a complexing agent include carboxylic acids having 3 to 6 carbon atoms such as lactic acid, tartaric acid, citric acid, glycine, iminoacetic acid, succinic acid, malic acid, gluconic acid, and metal salts thereof, or ammonia. Citric acid and its metal salt are used as a preferable complexing agent. These complexing agents can be used alone or in combination of two or more. The content of the complexing agent in the plating bath can be appropriately selected according to the type and thickness of the target plating film, but is usually about 0.05 to 2.0M, particularly 0.1 to 0.1M. It is preferably about 1.0M.

金属マトリックス中にナノダイヤモンド粒子を分散させためっき膜を有する材料は、電解めっきによっても製造することができる。電解めっきのめっき浴としては特に制限はなく、通常電解めっきに使用される浴はいずれも使用することができ、例えばクエン酸・ニッケル錯体系電解めっき浴、錯化剤を用いない電解めっき浴、アンミン錯体系電解めっき浴等が挙げられる。 A material having a plating film in which nanodiamond particles are dispersed in a metal matrix can also be produced by electrolytic plating. There is no particular limitation as a plating bath for electroplating, and any of the baths usually used for electroplating can be used, for example, an electroplating bath without using a citric acid / nickel complex-based electroplating bath, a complexing agent, Examples thereof include ammine complex electrolytic plating baths.

無電解めっき浴又は電解めっき浴中に分散させるダイヤモンド微粒子の量は、目的とするめっき膜の性状に応じて適宜選択することができるが、通常は0.01〜30g/L程度、特に0.5〜20g/L程度とすることが好ましい。 The amount of the diamond fine particles dispersed in the electroless plating bath or the electrolytic plating bath can be appropriately selected according to the properties of the target plating film, but is usually about 0.01 to 30 g / L, particularly about 0. It is preferable to set it as about 5-20 g / L.

めっき浴中に導入する酸素を含有する気体の量は、100mL〜1Lのめっき浴を用いる場合は、通常は10〜2,000mL/min程度、特に100〜500mL/min程度とすることが好ましい。これより大きいめっき浴の場合は、概ね体積に比例した導入量が好ましい。 The amount of the gas containing oxygen introduced into the plating bath is preferably about 10 to 2,000 mL / min, particularly about 100 to 500 mL / min when a 100 mL to 1 L plating bath is used. In the case of a plating bath larger than this, an introduction amount approximately proportional to the volume is preferable.

なお、めっき方法、熱処理方法、およびブラスト方法の詳細については以降の実施例でも同様である。 The details of the plating method, heat treatment method, and blasting method are the same in the following examples.

図4は請求項5の実施例として内燃機関の動弁機構に用いられる摺動部品の一例を模式的に図示したものである。 FIG. 4 schematically shows an example of a sliding component used in a valve mechanism of an internal combustion engine as an embodiment of claim 5.

カム400はカムシャフト410によって回転され、カムリフタ420を介して、バネ430で押しつけられているバルブ440を開閉する。 The cam 400 is rotated by the camshaft 410 and opens and closes the valve 440 pressed by the spring 430 via the cam lifter 420.

その際に該カムシャフトの回転摺動面401と該カムリフタ420の摺動面421は毎分数千回転にもおよぶ高速度で摩擦され続けている。従ってこの間の摩擦抵抗を低減することは内燃機関の抵抗損失を減らすとともに該摺動部品の摩耗を防ぐ観点から極めて重要な課題である。 At that time, the rotational sliding surface 401 of the cam shaft and the sliding surface 421 of the cam lifter 420 continue to be rubbed at a high speed of several thousand revolutions per minute. Therefore, reducing the frictional resistance during this period is an extremely important issue from the viewpoint of reducing resistance loss of the internal combustion engine and preventing wear of the sliding parts.

本発明ではカム摺動面401およびバルブリフタ摺動面421の少なくとも一方を複合めっき膜で表面修飾することによって効果的にその目的を達成することができる。 In the present invention, at least one of the cam sliding surface 401 and the valve lifter sliding surface 421 is surface-modified with a composite plating film, so that the object can be effectively achieved.

図5は請求項6の実施例としてピストンリングとして用いられる摺動部品を模式的に図示したものである。 FIG. 5 schematically shows a sliding part used as a piston ring as an embodiment of claim 6.

図5の5Aにはピストン500、トップリング510、セカンドリング520およびオイルリング530が分解して描いてある。ピストンに設けられた溝501,502,503にそれぞれトップリング510、セカンドリング520、オイルリング530が装着されて使用される。 5A shows a piston 500, a top ring 510, a second ring 520, and an oil ring 530 disassembled. A top ring 510, a second ring 520, and an oil ring 530 are attached to the grooves 501, 502, and 503 provided in the piston, respectively.

図5の5Bには各ピストンリングの外周断面を図示した。トップリング断面511の最外周部表面に施した摺動性を高めるための本発明による複合めっき部512をハッチングで示している。同様にセカンドリング断面521の下部最外周面522には摺動性を高めるための本発明による処理を施しハッチングで示している。またオイルリング530がトップレール531、スペーサ533、ボトムレール534の積層3層構造になっていて、2本のサイドレールの外周部に複合めっきを施したことをハッチングで図示している。 5B of FIG. 5 illustrates the outer peripheral cross section of each piston ring. A composite plating portion 512 according to the present invention for enhancing the slidability applied to the outermost peripheral surface of the top ring section 511 is indicated by hatching. Similarly, the lower outermost peripheral surface 522 of the second ring cross section 521 is processed by the present invention for improving the slidability and indicated by hatching. Further, the oil ring 530 has a laminated three-layer structure of a top rail 531, a spacer 533, and a bottom rail 534, and hatching shows that the outer peripheral portions of the two side rails are subjected to composite plating.

図5の5Cにはピストン上部にリングを嵌合した様子の片側断面を示している。溝部505に上方からトップリング515、セカンドリング525、オイルリング536が嵌め込まれている様子を示している。 5C in FIG. 5 shows a one-side cross-section in which a ring is fitted to the upper part of the piston. A state in which a top ring 515, a second ring 525, and an oil ring 536 are fitted into the groove portion 505 from above is shown.

トップリングは高速で油膜を形成するために用いられ、その外周は従来おもにPVD法などで窒化クロム硬質皮膜等が施されたり、硬質クロムめっきなどが施されて硬質化が図られてきたが、摩耗を防ぐため一層の摺動抵抗の低減が求められていた。 The top ring is used to form an oil film at a high speed, and its outer periphery has been conventionally hardened by applying a chromium nitride hard film or the like by a PVD method, or by applying hard chrome plating, etc. In order to prevent wear, a further reduction in sliding resistance has been demanded.

セカンドリングはガスシールおよびオイル掻き下げのために用いられ、その外周は目的に合致するように下部に切り欠きが設けられている。摺動面は切り込み上部のエッジ部分の細い領域になる。 The second ring is used for gas sealing and oil scraping, and the outer periphery thereof is provided with a notch in the lower part so as to meet the purpose. The sliding surface is a thin area of the edge portion at the top of the cut.

オイルリングは上下二枚のサイドレールによって波型のスペーサを挟み込んだ形状になっている。サイドレールの外周はシリンダ内壁と摺動するため従来は窒化クロム膜あるいはクロムめっき膜などによって硬質化が図られていた。 The oil ring has a shape in which a corrugated spacer is sandwiched between two upper and lower side rails. Since the outer periphery of the side rail slides with the inner wall of the cylinder, it has been conventionally hardened with a chromium nitride film or a chromium plating film.

このように各ピストンリングの外周摺動部を本発明による複合めっき処理およびブラスト処理することによって効果的に摺動抵抗の低減を図ることができる。またクロムめっきを忌避する場合にもダイヤモンド複合ニッケル燐めっきなどを適用することができ、その場合でもビッカース硬度でHV=700〜1000程度を得ることができるため従来と遜色のない硬度を達成できる。 Thus, the sliding resistance can be effectively reduced by subjecting the outer peripheral sliding portion of each piston ring to the composite plating treatment and the blasting treatment according to the present invention. Moreover, diamond composite nickel phosphorous plating or the like can also be applied when repelling chromium plating, and even in that case, a Vickers hardness of about HV = 700 to 1000 can be obtained, so that a hardness comparable to that of the prior art can be achieved.

図6は請求項7記載の回転ヒンジとして用いられる摺動部品の実施例を図示したものである。 FIG. 6 shows an embodiment of a sliding component used as a rotary hinge according to claim 7.

回転軸部分のヒンジピン600と回転用部品610およびネジ620の分解図を同軸で図示している。該ヒンジピンの台座部601は切り欠き602によって固定部品側に回転しないように固定される。摺動部外周603は本発明によって表面処理したことをハッチングによって示している。この部分を該回転部品の回転摺動穴611を差し込み、ナット620によって上下に固定して使用する。 An exploded view of the hinge pin 600 of the rotating shaft portion, the rotating component 610 and the screw 620 is shown coaxially. The base portion 601 of the hinge pin is fixed so as not to rotate to the fixed component side by a notch 602. The outer periphery 603 of the sliding portion is hatched to indicate that the surface treatment is performed according to the present invention. This part is used by inserting a rotary sliding hole 611 of the rotating part and fixing it up and down with a nut 620.

ヒンジピン摺動外周603および該摺動部品の回転摺動穴611の一方ないし双方が本発明によって表面処理されていることによって回転抵抗少なく、双方の摩耗が少ない状態で使用することができる。 One or both of the hinge pin sliding outer periphery 603 and the rotational sliding hole 611 of the sliding component are surface-treated according to the present invention, so that they can be used in a state where the rotational resistance is low and the wear of both is small.

微小な固定部品および回転部品である場合にはスペースが限られるため回転部品の回転摺動部にベアリング等の摺動機構を設けることが不可能であるため、本発明によって効果的に目的を達成できる。 Since the space is limited in the case of minute fixed parts and rotating parts, it is impossible to provide a sliding mechanism such as a bearing in the rotating sliding part of the rotating parts, so the present invention effectively achieves the object. it can.

なお、回転ヒンジの形状や固定方法および回転部品の形状が図6の例に限らないことは言うまでもない。 Needless to say, the shape of the rotating hinge, the fixing method, and the shape of the rotating component are not limited to the example shown in FIG.

図7は請求項8記載のスリップリングとして用いられる摺動部品の実施例を図示したものである。 FIG. 7 illustrates an embodiment of a sliding component used as a slip ring according to claim 8.

スリップリングは回転体と固定体の間で電気信号線や電力線の接続を行うための素子であり、回転体と固定体の間の摺動面に摺動電極を配置することで無限回転を可能にしている。 A slip ring is an element for connecting an electric signal line or power line between a rotating body and a fixed body. Infinite rotation is possible by placing a sliding electrode on the sliding surface between the rotating body and the fixed body. I have to.

図7には固定体700と回転体710を分離した様子を図示している。該固定体に設けられた円状嵌合部702の内部穴701の内周面には固定体側電極703が1端子ないし複数端子パターニングされている。また該回転体に設けられた円状嵌合部712の外周面には回転体側電極713が1端子ないし複数端子パターニングされている。また回転体には貫通孔711を設けてあり、例えばここに図6に示したごとき回転ヒンジを収納することができる。 FIG. 7 illustrates a state where the fixed body 700 and the rotating body 710 are separated. On the inner peripheral surface of the inner hole 701 of the circular fitting portion 702 provided on the fixed body, a fixed body side electrode 703 is patterned with one terminal or a plurality of terminals. A rotating body side electrode 713 is patterned on one or more terminals on the outer peripheral surface of a circular fitting portion 712 provided on the rotating body. Further, the rotating body is provided with a through hole 711, and for example, a rotating hinge as shown in FIG. 6 can be accommodated therein.

該固定体および該回転体のいずれも電極部の周囲は絶縁体であってそれぞれの信号線及び電力線が電気的に隔離されている。そして摺動部端子から絶縁体内部を経由して固定部外部端子704および回転部外部端子714へそれぞれ接続される。 Each of the fixed body and the rotating body is an insulator around the electrode portion, and each signal line and power line are electrically isolated. Then, the sliding part terminal is connected to the fixed part external terminal 704 and the rotating part external terminal 714 via the inside of the insulator.

回転摺動部電極であるところの703および713は電気抵抗および摺動抵抗が低くかつ硬度が高いことが望まれるため、金、銀、銅などの良導体を母材とした上にダイヤモンド微粒子複合めっきおよびブラスト処理を施すことによってその目的を効果的に達成することができる。 703 and 713, which are rotating sliding part electrodes, are desired to have low electrical resistance and sliding resistance and high hardness. Therefore, diamond fine particle composite plating is performed on a base material of a good conductor such as gold, silver, or copper. And the objective can be effectively achieved by performing blasting.

なおスリップリングの外形状、電極の形態や線数、外部電極の形態や端子数などについては本実施例の形態に限るものではない。 It should be noted that the outer shape of the slip ring, the form of the electrode and the number of wires, the form of the external electrode and the number of terminals are not limited to those of the present embodiment.

図8は請求項9記載のポテンショメータとして用いられる摺動部品の実施例を図示したものである。 FIG. 8 shows an embodiment of a sliding component used as a potentiometer according to claim 9.

ポテンショメータには回転角度を検出するロータリーポテンショメータと、直線状の位置を検出するリニアポテンショメータがあり、ここではロータリーポテンショメータの一例を示す。なおロータリーポテンショメータとは内部的に円環状に配置された可変抵抗器であり、両端端子の間に電圧を印加し、中間端子の電位を測って角度とする素子である。 Potentiometers include a rotary potentiometer that detects a rotation angle and a linear potentiometer that detects a linear position. Here, an example of a rotary potentiometer is shown. The rotary potentiometer is a variable resistor that is internally arranged in an annular shape, and is an element that applies a voltage between both terminals and measures the potential of the intermediate terminal to obtain an angle.

基板800の片側表面に端子801,803および中間電極802が装備され、該端子同士は可変抵抗被膜804で電気的に接続されている。また該中間電極は良導製の回転子対向面805と接続されている。 Terminals 801 and 803 and an intermediate electrode 802 are provided on one surface of the substrate 800, and the terminals are electrically connected by a variable resistance film 804. Further, the intermediate electrode is connected to a Ryoden rotor facing surface 805.

回転子810は良導体であり、その中央部に貫通孔を、外郭部に回転擦動子811を有している。 The rotor 810 is a good conductor, and has a through hole at the center and a rotary friction element 811 at the outer portion.

該基板および該回転子同士は、固定ピン台座820および留具830に挟まれて留められている。 The substrate and the rotor are sandwiched and fixed between a fixed pin base 820 and a fastener 830.

該回転擦動子は、該可変抵抗被膜と接触し、該端子対の中間電位を取り出す。該回転子の角度によって取り出される電位が異なることを利用して回転角度を検出することができる。 The rotary scraper comes into contact with the variable resistance film and takes out the intermediate potential of the terminal pair. The rotation angle can be detected by utilizing the fact that the extracted potential varies depending on the angle of the rotor.

該回転子と回転子対向面の間および該回転擦動子と可変抵抗被膜の間は、電気的に接続されている必要があり、かつ摩擦が低く摩耗が少ないことが求められる。従って該回転子と回転子対向面の間の対向する接触面の一方もしくは双方、および該回転擦動子が該可変抵抗被膜と接触する面に本発明の表面処理技法を適用することで回転子、回転擦動子の摩耗を防ぐことができる。 The rotor and the rotor-facing surface and the rotary friction element and the variable resistance film must be electrically connected, and are required to have low friction and low wear. Therefore, by applying the surface treatment technique of the present invention to one or both of the opposing contact surfaces between the rotor and the rotor-facing surface, and the surface where the rotary scraper contacts the variable resistance coating, the rotor , Can prevent the wear of the rotary scraper.

図9は請求項10記載の回転切削工具として用いられる褶動部品の実施例を図示したものである。 FIG. 9 shows an example of a swinging part used as a rotary cutting tool according to claim 10.

回転切削工具にはドリル910やエンドミル920などがあり回転する棒状体の先端部分914、924にはダイヤモンド、タングステンカーバイドなどの超硬材が用いられる。また外周部分911、921やポケット部913、923から連なる溝部分912、922には切削対象物体あるいは切削屑による摩耗を避けるためにDLC(ダイヤモンドライクカーボン)やTiN(窒化チタン)、TiAlN(窒化チタンアルミ)などのコーティングが施されることが多い。 The rotary cutting tool includes a drill 910, an end mill 920, and the like, and carbide rods such as diamond and tungsten carbide are used for the tip portions 914 and 924 of the rotating rod-like body. Further, in the groove portions 912 and 922 connected from the outer peripheral portions 911 and 921 and the pocket portions 913 and 923, DLC (diamond-like carbon), TiN (titanium nitride), TiAlN (titanium nitride) are used in order to avoid wear due to an object to be cut or cutting waste. Aluminum) is often applied.

本発明では、それらの気相コーティングに変えてナノダイヤモンド微粒子複合めっきを施したものである。めっきの特徴により凹んだ部分に対しても良好にコーティングが施され耐摩耗性を高めることができる。 In the present invention, nano-diamond fine particle composite plating is applied instead of the vapor phase coating. Due to the characteristics of the plating, the concave portion can be well coated and the wear resistance can be improved.

本発明が産業上利用可能であることは前述の実施例の通りである。 As described above, the present invention is industrially applicable.

ダイヤモンド微粒子複合めっきの断面構造例Example of cross-sectional structure of diamond fine particle composite plating ブラスト処理ダイヤモンド微粒子複合めっきの断面構造例Example of cross-sectional structure of blasted diamond fine particle composite plating ガイドポストおよびガイドピンの外観例Appearance example of guide posts and guide pins 内燃機関の動弁機構例Example of a valve mechanism of an internal combustion engine ピストンリングの構造例Piston ring structure example 回転ヒンジの構造例Example of rotating hinge structure スリップリングの構造例Example of slip ring structure ポテンショメータの構造例Potentiometer structure example ドリル、エンドミルの構造例Examples of drill and end mill structures

101 構造母材
102 金属マトリクス
103 ダイヤモンド微粒子層
201 構造母材
202 金属マトリクス
203 ダイヤモンド微粒子層
211 構造母材
212 金属マトリクス
213 ダイヤモンド微粒子層
221 構造母材
222 金属マトリクス
223 ダイヤモンド微粒子層
300 ガイドポスト
301 ガイドポスト固定ネジ穴
302 ガイドポスト固定ネジ穴
303 ガイド孔
310 ガイドピン
311 ガイドピン外周摺動面
400 カム
401 カム外周摺動面
410 カムシャフト
420 カムリフタ
421 カムリフタ摺動面
430 バネ
440 バルブ
5A ピストン全容外観
5B リング断面
5C ピストンとリング嵌合断面
500 ピストン
501 トップリング溝
502 セカンドリング溝
503 オイルリング溝
510 トップリング
511 トップリング断面
512 トップリング外周めっき層
515 トップリング嵌合断面
520 セカンドリング
521 セカンドリング
522 セカンドリング外周めっき層
523 セカンドリング切り欠き
525 セカンドリング嵌合断面
530 オイルリング
531 オイルリングトップレール
532 トップレール外周めっき層
533 オイルリングスペーサ
534 オイルリングボトムレール
535 ボトムレール外周めっき層
536 オイルリング嵌合断面
600 ヒンジピン
601 ヒンジピン台座
602 ヒンジピン台座切り欠き
603 ヒンジピン摺動面
604 ヒンジピンボルト部
610 回転部品
611 回転部摺動内面
620 ナット
700 スリップリング固定部
701 固定部挿入孔
702 固定部円状嵌合部
703 固定部摺動電極
704 固定部外部電極
710 スリップリング回転部
711 回転部貫通孔
712 回転部円状嵌合部
713 回転部摺動電極
714 回転部外部電極
800 ポテンショメータ基板
801 端子1
802 中間端子
803 端子2
804 可変抵抗被膜
805 回転子対向面
810 回転子
811 回転擦動子
820 回転子固定ピン台座
821 固定ピン
830 回転子固定ピン留具
831 固定ピン貫通孔
910 ドリル
911 ドリル外周部
912 ドリル溝部
913 ドリルポケット部
914 ドリル先端部
920 エンドミル
921 エンドミル外周部
922 エンドミル溝部
923 エンドミルポケット部
924 エンドミル先端部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 Structural base material 102 Metal matrix 103 Diamond particulate layer 201 Structural base material 202 Metal matrix 203 Diamond particulate layer 211 Structural base material 212 Metal matrix 213 Diamond particulate layer 221 Structural base material 222 Metal matrix 223 Diamond particulate layer 300 Guide post 301 Guide post Fixing screw hole 302 Guide post fixing screw hole 303 Guide hole 310 Guide pin 311 Guide pin outer peripheral sliding surface 400 Cam 401 Cam outer peripheral sliding surface 410 Cam shaft 420 Cam lifter 421 Cam lifter sliding surface 430 Spring 440 Valve 5A Piston overall appearance 5B Ring Cross section 5C Piston and ring fitting cross section 500 Piston 501 Top ring groove 502 Second ring groove 503 Oil ring groove 510 Top ring cross section 512 Top ring outer peripheral plating layer 515 Top ring fitting cross section 520 Second ring 521 Second ring 522 Second ring outer peripheral plating layer 523 Second ring cutout 525 Second ring fitting cross section 530 Oil ring 531 Oil ring top rail 532 Top Rail outer peripheral plating layer 533 Oil ring spacer 534 Oil ring bottom rail 535 Bottom rail outer peripheral plating layer 536 Oil ring fitting section 600 Hinge pin 601 Hinge pin base 602 Hinge pin base notch 603 Hinge pin sliding surface 604 Hinge pin bolt part 610 Rotating part 611 Rotating part Sliding inner surface 620 Nut 700 Slip ring fixing part 701 Fixing part insertion hole 702 Fixing part circular fitting part 7 3 fixing portion sliding electrode 704 fixed portion external electrode 710 slip ring rotation unit 711 rotates portion through hole 712 rotating part circular fitting portion 713 rotating unit sliding electrode 714 rotating portion external electrode 800 Potentiometer substrate 801 terminal 1
802 Intermediate terminal 803 Terminal 2
804 Variable resistance coating 805 Rotor facing surface 810 Rotor 811 Rotating friction element 820 Rotor fixing pin base 821 Fixing pin 830 Rotor fixing pin fastener 831 Fixing pin through hole 910 Drill 911 Drill outer peripheral portion 912 Drill groove portion 913 Drill pocket 914 Drill tip 920 End mill 921 End mill outer periphery 922 End mill groove 923 End mill pocket 924 End mill tip

Claims (10)

摺動部品対の少なくとも一方もしくは物品移送機構ガイド部の摺動部品が、樹脂、金属、半導体、ガラス、セラミックスからなる群から選択された材料を主成分とする構造基材と、該基材表面の接触部分の一部または全部に、ニッケル、銅、錫、クロム、亜鉛、鉛、コバルト、鉄、金、銀、白金、パラジウム、ロジウム、インジウム、イリジウム、またはルテニウムからなる群から選択された金属マトリックスを主成分とする厚みが10nm〜500μmの複合めっき膜とからなり、該めっき膜内部に分散した平均1次粒子径が1nm〜1000nmのダイヤモンド微粒子を0.01vol%〜20vol%含有し、該めっき膜が200℃以上700℃以下で熱処理されていることを特徴とする摺動部品。 At least one of the sliding part pair or the sliding part of the article transfer mechanism guide part is a structural base material whose main component is a material selected from the group consisting of resin, metal, semiconductor, glass, ceramics, and the surface of the base material A metal selected from the group consisting of nickel, copper, tin, chromium, zinc, lead, cobalt, iron, gold, silver, platinum, palladium, rhodium, indium, iridium, or ruthenium A composite plating film having a matrix as a main component and a thickness of 10 nm to 500 μm, containing 0.01 vol% to 20 vol% of diamond fine particles having an average primary particle diameter of 1 nm to 1000 nm dispersed inside the plating film, A sliding component, wherein the plating film is heat-treated at 200 ° C. or more and 700 ° C. or less. 摺動部品対の少なくとも一方もしくは物品移送機構のガイド部品について、樹脂、金属、半導体、ガラス、セラミックスからなる群から選択された材料の基材を所定の形状に加工し、表面を研磨したのち表面の接触部分の一部または全部に、ニッケル、銅、錫、クロム、亜鉛、鉛、コバルト、鉄、金、銀、白金、パラジウム、ロジウム、インジウム、イリジウム、またはルテニウムからなる群から選択された金属マトリックス中に平均1次粒子径が1nm〜1000nmのダイヤモンド微粒子を比率として0.01vol%〜20vol%分散させた厚みが10nm〜500μmの複合めっき膜を成膜した後に、該めっき膜を200℃以上700℃以下で熱処理することによって高硬度、低摩擦の特性を併せ持たせた事を特徴とする、請求項1の摺動部品を製造する方法。 For at least one of the sliding part pair or the guide part of the article transfer mechanism, the surface of the base material made of a material selected from the group consisting of resin, metal, semiconductor, glass, and ceramics is processed into a predetermined shape and then polished A metal selected from the group consisting of nickel, copper, tin, chromium, zinc, lead, cobalt, iron, gold, silver, platinum, palladium, rhodium, indium, iridium, or ruthenium After forming a composite plating film having a thickness of 10 nm to 500 μm in which 0.01 vol% to 20 vol% of fine diamond particles having an average primary particle diameter of 1 nm to 1000 nm are dispersed in the matrix, the plating film is heated to 200 ° C. or higher. Claims characterized by having both high hardness and low friction properties by heat treatment at 700 ° C or lower. A method of manufacturing the sliding parts. 請求項1の摺動部品であって、めっき処理前の構造基材の摺動部表面もしくはめっき処理後のめっき膜の表面の少なくとも一方にブラスト処理が施されていることを特徴とする摺動部品。   The sliding component according to claim 1, wherein at least one of the surface of the sliding portion of the structural substrate before the plating treatment or the surface of the plating film after the plating treatment is blasted. parts. 請求項2の摺動部品またはガイド部品であって、めっき処理前の構造基材の摺動部表面もしくはめっき処理後のめっき膜の表面の少なくとも一方にブラスト処理を施すことによってめっき膜の堅牢性と潤滑性を向上させた事を特徴とする、請求項2の摺動部品を製造する方法。   3. The sliding part or guide part according to claim 2, wherein at least one of the surface of the sliding part of the structural substrate before the plating treatment or the surface of the plating film after the plating treatment is subjected to a blasting treatment, whereby the robustness of the plating film is obtained. The method for producing a sliding component according to claim 2, wherein the lubricity is improved. 請求項2または請求項4記載の製造方法によって摺動表面部に複合めっき膜を成膜されて内燃機関の動弁機構部品として使用されることを特徴とする摺動部品。 5. A sliding part, wherein a composite plating film is formed on the sliding surface by the manufacturing method according to claim 2 or 4 and used as a valve mechanism part of an internal combustion engine. 請求項2または請求項4記載の製造方法によって摺動表面部に複合めっき膜を成膜されてピストンリングとして使用されることを特徴とする摺動部品。 A sliding component, wherein a composite plating film is formed on the sliding surface by the manufacturing method according to claim 2 or 4 and used as a piston ring. 請求項2または請求項4記載の製造方法によって摺動表面部に複合めっき膜を成膜されて回転ヒンジとして使用されることを特徴とする摺動部品。 5. A sliding part, wherein a composite plating film is formed on a sliding surface portion by the manufacturing method according to claim 2 or 4 and used as a rotary hinge. 回転支持体上の円環状の非導電性板材に、1本乃至複数本の同心円の導電膜が形成され、回転によっても電気的接続を維持するためのスリップリング装置において、該導電膜およびそれと対向し電気的に接触させて摺動する部分の少なくとも一方の摺動表面が、請求項2または請求項4記載の製造方法によって複合めっき膜を成膜されて電極として使用されることを特徴とする摺動部品。 In a slip ring device in which one or more concentric conductive films are formed on an annular non-conductive plate material on a rotating support and electrical connection is maintained even by rotation, the conductive film and the conductive film are opposed to the conductive film. Then, at least one sliding surface of the sliding portion in electrical contact is formed as a composite plating film by the manufacturing method according to claim 2 or 4 and used as an electrode. Sliding parts. 基板上に抵抗素子が形成され、摺動接点によって可変抵抗値を出力する事によって接点位置を検出するポテンショメータ装置において、該抵抗素子表面に対向し電気的に接触させて摺動する部分が、請求項2または請求項4記載の製造方法によって複合めっき膜を成膜されて電極として用いられることを特徴とする摺動部品。 In a potentiometer device in which a resistance element is formed on a substrate and detects a contact position by outputting a variable resistance value by a sliding contact, a portion that is opposed to and electrically contacts the surface of the resistance element is slid A sliding component, wherein a composite plating film is formed by the manufacturing method according to claim 2 or 4 and used as an electrode. 超硬等の材料からなり、孔などを切削する先端部とそこからチャック部分に連なる胴部からなるドリルないしエンドミルにおいて、外周の褶動部分および溝部分が、請求項2または請求項4記載の製造方法によって複合めっき膜を成膜されて切削工具として用いられることを特徴とする摺動部品。 5. A drill or end mill made of a material such as cemented carbide and comprising a tip portion for cutting a hole and the like and a barrel portion extending from the tip portion to the chuck portion. A sliding component, wherein a composite plating film is formed by a manufacturing method and used as a cutting tool.
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