JP2013090469A - Canned motor and vacuum pump - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば真空ポンプを駆動するために用いられるキャンドモータに関する。 The present invention relates to a canned motor used for driving a vacuum pump, for example.
従来より、真空ポンプを駆動するモータとして、回転子の部分が密閉されたキャンドモータが用いられている。
図3は、特許文献1に記載された従来のキャンドモータの内部構成を示す断面図である。
Conventionally, a canned motor in which a rotor portion is hermetically used is used as a motor for driving a vacuum pump.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing an internal configuration of a conventional canned motor described in
図3に示すように、このキャンドモータ101は、円筒状のモータフレーム102を有し、その一端はポンプ取付用フランジ103の側部に圧入して溶着され、他端は反負荷側フランジ104に圧入して溶着されている。
As shown in FIG. 3, the
モータフレーム102の外周には、ジャケット105が設けられている。このジャケット105は円筒状に形成され、モータフレーム102の外周面との間に空隙Aを隔てて配置される。
A
ジャケット105の一端はポンプ取付用フランジ103に圧入して溶着され、他端は反負荷側フランジ104に圧入して溶着されている。
ジャケット105には、空隙Aに連通するソケット106が2個溶着されている。
One end of the
Two
これら2個のソケット106のうち、一方が冷却水の入口配管(図示せず)に接続され、もう一方は冷却水の出口配管(図示せず)に接続されている。すなわち、モータフレーム102の外周とジャケット105の内周とポンプ取付用フランジ103と反負荷側フランジ104で囲まれた空隙Aによって水冷室が構成されている。
One of these two
モータフレーム102の内壁には、固定子107が固定されており、この固定子107の内側円筒面には、円筒状のキャン108が挿入されている。
キャン108の一端部はポンプ取付用フランジ103の内径部に圧入溶着され、他端は反負荷側フランジ104に圧入溶着されている。
A
One end of the
ポンプ取付用フランジ103のモータ側側面には環状の溝109が形成され、この環状の溝109の固定子107側の開口部には閉止板110を圧入してポンプ取付用フランジ103の内径部に空隙Bが形成されている。
An
また、ポンプ取付用フランジ103には、この空隙Bに連通するプラグ穴111が2個設けられ(図中では1個省略)、その一方が上述した冷却水の入口配管に接続され、他方が冷却水の出口配管に接続されている。これにより、ポンプ取付用フランジ103内の空隙Bによって水冷室が構成されている。
The
反負荷側フランジ104の外側面には、Oリング112を介在させて円板状の反負荷側カバー113がボルト114により固定され、真空ポンプ取付け時にポンプ室(図示せず)及びキャン108の内側の室内の密封状態が確保されるように構成されている。
そして、キャン108の内部には、回転子115が設けられ、この回転子115は、図示しない真空ポンプの回転軸に直結した回転軸116に圧入されている。
A disc-shaped
A
このような構成を有するキャンドモータ101によれば、ポンプ取付用フランジ103に伝えられた真空ポンプ(図示せず)からの熱及びキャン108に発生しポンプ取付用フランジ103に伝えられた渦流損による熱は、モータフレーム102の外周とジャケット105の間の空隙Aに流れ込む冷水によって冷却されるとともに、ポンプ取付用フランジ103の内の空隙Bに流れ込む冷水により効率良く外部に放出することができるので、キャンドモータ101全体の温度上昇を低く抑えることが可能となる。
According to the canned
一方、特許文献2に記載された発明においては、水冷ジャケット内に水流規制部材を設けて、冷却水をらせん状に流すように構成されている。
しかしながら、上述した従来技術は、冷却水流路を構成する部品が必要で、気密性を要する構造とする必要があるため、コストアップの原因となる。
On the other hand, in the invention described in
However, the above-described conventional technique requires components that constitute the cooling water flow path and needs to have a structure that requires airtightness, which causes an increase in cost.
また、このような従来技術では、固定子のコアは比較的容易に冷却されるが、コイルエンドを冷却することは困難である。
また、冷却水が使用できない環境下では、運転することができないという問題もある。
Moreover, in such a prior art, although the stator core is cooled comparatively easily, it is difficult to cool the coil end.
In addition, there is a problem that it cannot be operated in an environment where cooling water cannot be used.
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、簡単な構成で固定子のコアとコイルエンドを十分に冷却することができるキャンドモータを安価に提供することにある。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a canned motor capable of sufficiently cooling a stator core and a coil end with a simple configuration. Is to provide at a low cost.
上記目的を達成するためになされた本発明は、ケーシングと、前記ケーシング内に設けられ、シャフトに取り付けられた回転子を収容する気密構造のキャンと、前記ケーシング内の前記キャンによって隔離された固定子空間に配置された固定子とを有し、前記ケーシングに、前記固定子空間に連通し、当該ケーシングの外部の空気を当該固定子空間に導入するための導入用通気口が設けられるとともに、前記ケーシングの通気口に対して送風する送風手段が設けられているキャンドモータである。
本発明では、前記ケーシングに、前記固定子空間に連通し、当該固定子空間内の空気を当該ケーシングの外部に排出するための排出用通気口が設けられている場合にも効果的である。
また、本発明は、ケーシングと、前記ケーシング内に設けられ、シャフトに取り付けられた回転子を収容する気密構造のキャンと、前記ケーシング内の前記キャンによって隔離された固定子空間に配置された固定子とを有し、前記ケーシングに、前記固定子空間に連通し、当該固定子空間内の空気を当該ケーシングの外部に排出するための排出用通気口が設けられるとともに、当該排出用通気口の近傍に空気を吸引する吸引手段が設けられているキャンドモータである。
本発明では、前記ケーシングに、前記固定子空間に連通し、当該ケーシングの外部の空気を当該固定子空間に導入するための導入用通気口が設けられている場合にも効果的である。
本発明では、前記ケーシングにおいて、前記導入用通気口と前記排出用通気口とが、前記キャンを挟んで反対側の位置に設けられている場合にも効果的である。
また、本発明は、上述したいずれかのキャンドモータを有し、当該キャンドモータによって駆動されるように構成された真空ポンプである。
The present invention, which has been made to achieve the above object, includes a casing, an airtight can that is provided in the casing and accommodates a rotor attached to a shaft, and is fixed by the can in the casing. A stator disposed in the child space, and the casing is provided with an introduction vent for introducing air outside the casing into the stator space, communicating with the stator space, It is a canned motor provided with the ventilation means which ventilates with respect to the ventilation hole of the said casing.
The present invention is also effective when the casing is provided with a vent hole for communicating with the stator space and exhausting the air in the stator space to the outside of the casing.
Further, the present invention provides a casing, an airtight structure can which is provided in the casing and accommodates a rotor attached to a shaft, and a fixed member disposed in a stator space isolated by the can in the casing. A discharge vent for communicating with the stator space and discharging the air in the stator space to the outside of the casing. It is a canned motor provided with suction means for sucking air in the vicinity.
The present invention is also effective when the casing is provided with an introduction vent that communicates with the stator space and introduces air outside the casing into the stator space.
The present invention is also effective in the case where the introduction vent and the discharge vent are provided at positions opposite to each other across the can in the casing.
Further, the present invention is a vacuum pump that includes any of the above-described canned motors and is configured to be driven by the canned motor.
本発明の場合、ケーシングに、固定子空間に連通し、ケーシングの外部の空気を当該固定子空間に導入するための導入用通気口が設けられるとともに、ケーシングの通気口に対して送風する送風手段が設けられていることから、固定子空間に導入された冷却風によって、固定子のコア部分、コイルエンド、キャンを直接冷却することができるので、固定子とコイルエンド、キャンの冷却効率が飛躍的に向上する。
特に、コイルエンドを直接空冷できるので除熱効果が高い。また、ケーシング等の内側部分を直接冷却することにより、モータ駆動軸を支持する軸受からの伝熱をより効率良く除去することができる。
また、本発明によれば、冷却水流路を構成する部品は必要なく、コストダウンを図ることができるとともに、冷却水が使用できない環境下においても運転することができる。
本発明において、ケーシングに、固定子空間に連通し、当該固定子空間内の空気を当該ケーシングの外部に排出するための排出用通気口が設けられている場合には、ケーシング内に連続的に冷却風が導入され、排出用通気口から連続的に排出されるので、常に新たな冷却風によって冷却が行われ、これにより効率良く各部分を冷却することができる。
また、本発明では、ケーシングに、前記固定子空間に連通し、当該固定子空間内の空気を当該ケーシングの外部に排出するための排出用通気口が設けられるとともに、当該排出用通気口を介して当該固定子空間内の空気を吸引する吸引手段が設けられていることから、ケーシング内の熱せられた空気が排出用通気口を介してケーシングの外部に排出されるので、ケーシング内を冷却することができる。
この場合、ケーシングに、前記固定子空間に連通し、当該ケーシングの外部の空気を当該固定子空間に導入するための導入用通気口が設けられていれば、ケーシングの導入用通気口から冷却風が連続的に固定子空間に導入され、この冷却風によって、固定子のコア部分、コイルエンド、キャンを直接連続的に冷却することができるので、固定子とコイルエンド、キャンの冷却効率を飛躍的に向上させることができる。
本発明の場合、ケーシングにおいて、導入用通気口と排出用通気口とが、キャンを挟んで反対側の位置に設けられている場合には、送風手段からの冷却風又は吸引手段による冷却風がケーシング内において円滑に流れるので、より効率良く冷却を行うことができる。
このように、本発明によれば、簡単な構成で固定子のコアとコイルエンドを十分に冷却することができるキャンドモータを備えた真空ポンプを安価に提供することができる。
In the case of the present invention, the casing is provided with an introduction vent that communicates with the stator space and introduces air outside the casing into the stator space, and blows air to the vent of the casing. Because the cooling air introduced into the stator space can directly cool the stator core, coil end, and can, the cooling efficiency of the stator, coil end, and can jumps dramatically. Improve.
In particular, since the coil end can be directly air-cooled, the heat removal effect is high. Further, by directly cooling the inner part of the casing or the like, heat transfer from the bearing that supports the motor drive shaft can be more efficiently removed.
In addition, according to the present invention, there is no need for parts constituting the cooling water flow path, the cost can be reduced, and the system can be operated even in an environment where the cooling water cannot be used.
In the present invention, when the casing is provided with a vent hole for communicating with the stator space and discharging the air in the stator space to the outside of the casing, the casing is continuously provided in the casing. Since the cooling air is introduced and continuously discharged from the discharge vent, the cooling is always performed by new cooling air, and each part can be efficiently cooled.
In the present invention, the casing is provided with a discharge vent that communicates with the stator space and discharges the air in the stator space to the outside of the casing. Since the suction means for sucking the air in the stator space is provided, the heated air in the casing is discharged to the outside of the casing through the discharge vent, so that the inside of the casing is cooled. be able to.
In this case, if the casing is provided with an introduction vent that communicates with the stator space and introduces air outside the casing into the stator space, the cooling air is supplied from the introduction vent of the casing. Is continuously introduced into the stator space, and the cooling core can directly and continuously cool the stator core, coil ends, and cans. Can be improved.
In the case of the present invention, in the casing, when the introduction vent and the discharge vent are provided at positions opposite to each other with the can interposed therebetween, the cooling air from the air blowing means or the cooling air from the suction means is generated. Since it flows smoothly in the casing, cooling can be performed more efficiently.
Thus, according to the present invention, a vacuum pump including a canned motor that can sufficiently cool the stator core and the coil end with a simple configuration can be provided at low cost.
本発明によれば、簡単な構成で固定子のコアとコイルエンドを十分に冷却することができるキャンドモータを安価に提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the canned motor which can fully cool the core and coil end of a stator with simple structure can be provided at low cost.
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。
図1(a)は、本発明に係るキャンドモータの実施の形態の内部構成を示す断面図、図1(b)は、同キャンドモータの動作を示す部分断面図である。
Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1A is a cross-sectional view showing the internal configuration of the embodiment of the canned motor according to the present invention, and FIG. 1B is a partial cross-sectional view showing the operation of the canned motor.
本実施の形態のキャンドモータ1は、図1(a)に示すように、例えば真空ポンプの壁面50に取り付けられるもので、例えば円筒形状のケーシング2を有している。
ケーシング2の一方の開口端部には、この開口端部を塞ぐようにカバー3が取り付けられている。
ケーシング2内の例えば内壁には、固定子4が取り付けられ固定されている。
As shown in FIG. 1A, the
A
A
一方、ケーシング2内の中心部分には、円筒形状のキャン5が設けられている。
そして、このキャン5によって、ケーシング2の内部は、回転子空間10Aと固定子空間4Aとに区分けされている。
On the other hand, a
The
このキャン5内には、ケーシング2の真空ポンプ側の内壁のフランジ部2aに取り付けられた軸受7と、カバー3内壁のフランジ部3aに取り付けられた軸受8とによって回転可能に支持されたシャフト9が設けられている。
このシャフト9は、真空ポンプの回転軸(図示せず)に連結され、シャフト9の周囲で固定子4の近傍の部分に回転子10が取り付けられている。
In the
The
さらに、ケーシング2の側壁部に、以下に説明する通気口が設けられている。本実施の形態の場合、通気口は、導入用通気口である第1の通気口11と、排出用通気口である第2の通気口12を有している。
Furthermore, a vent described below is provided in the side wall of the
本発明の場合、通気口を設ける位置については特に限定されることはないが、放熱効果をより向上させる観点からは、発熱部分に近い位置、例えば図1(a)に示すように、固定子4のコイルエンド4aの近くに、固定子空間4Aと連通する第1の通気口11を設けることが好ましい。
In the case of the present invention, the position where the vent is provided is not particularly limited. However, from the viewpoint of further improving the heat dissipation effect, a position close to the heat generating portion, for example, as shown in FIG. It is preferable to provide the
本実施の形態の場合は、固定子4の二つのコイルエンド4aの近傍にそれぞれ第1の通気口11が設けられている。
本発明の場合、放熱効果をより向上させる観点からは、第1の通気口11が設けられたケーシング2の側壁部に対し、キャン5を挟んで反対側のケーシング2の側壁部に第2の通気口12を設けることがより好ましい。
なお、第1及び第2の通気口11、12の数は1個又は複数個のいずれでもよい。
In the case of the present embodiment, the first vent holes 11 are provided in the vicinity of the two coil ends 4 a of the
In the case of the present invention, from the viewpoint of further improving the heat dissipation effect, the second side wall portion of the
In addition, the number of the 1st and 2nd vent holes 11 and 12 may be one or more.
さらに、本実施の形態では、ケーシング2に設けた第1の通気口11の近傍にファン(送風手段)13が設けられている。
この場合、第1の通気口11がそれぞれファン13の送風部分と対向するようにファン13及び第1の通気口11の位置が設定されている。
Further, in the present embodiment, a fan (air blowing means) 13 is provided in the vicinity of the
In this case, the positions of the
このような構成を有する本実施の形態において、キャンドモータ1を動作させると、以下のような発熱源で熱が発生し、これらの熱は以下のような経路で伝達される。
・固定子4のコア部分の発熱 → ケーシング2
・コイルエンド4aの発熱 → 固定子4のコア部分 → ケーシング2
・キャン5の発熱 → カバー3とケーシング2
・軸受7の発熱 → ケーシング2
・軸受8の発熱 → カバー3
・ロータの発熱 → シャフト9 → 軸受7、8 → カバー3とケーシング2
・負荷側の発熱 → シャフト9 → 軸受7、8 → カバー3とケーシング2
In the present embodiment having such a configuration, when the
・ Heat generation at the core of the
-Heat generation at
-Heat generation of can 5->
・ Heat generation of bearing 7 →
・ Heat generation of bearing 8 →
-Heat generation of the rotor-> shaft 9->
・ Load side heat generation →
本実施の形態では、ファン13を動作させて送風することにより、ケーシング2やカバー3の外側部分を冷却することができる。これにより、キャンドモータ1自身の発熱と負荷側から伝達された熱の一部が冷却される。
In the present embodiment, the outer portion of the
加えて、本実施の形態では、図1(b)に示すように、ケーシング2の第1の通気口11から冷却風20を固定子空間4Aに導入するようにしている。そして、この冷却風20によって、固定子4のコア部分、コイルエンド4a、キャン5を直接冷却することができるので、固定子4とコイルエンド4a、キャン5の冷却効率が飛躍的に向上する。
In addition, in the present embodiment, as shown in FIG. 1B, the cooling
特に、コイルエンド4aを直接空冷できるので除熱効果が高い。また、ケーシング2やカバー3の内側部分を直接冷却することにより、軸受7、8からの伝熱をより効率良く除去することができる。
これに伴い、軸受7、8を通して除熱される回転子10の発熱や負荷側の発熱に関してもより効率良く除去することができる。
In particular, since the
Along with this, the heat generation of the
さらに、本実施の形態では、ケーシング2内に連続的に冷却風20が導入され、第2の通気口12から連続的に排出されるので、常に新たな冷却風20によって冷却が行われ、これにより効率良く各部分を冷却することができる。
また、本実施の形態によれば、冷却水流路を構成する部品は必要なく、コストダウンを図ることができるとともに、冷却水が使用できない環境下においても運転することができる。
Further, in the present embodiment, the cooling
Moreover, according to this Embodiment, the components which comprise a cooling water flow path are unnecessary, and while being able to aim at cost reduction, it can drive | operate also in the environment where cooling water cannot be used.
なお、本発明は上記実施の形態に限られることはなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、上記実施の形態では、第1の通気口11から冷却風20を導入して第2の通気口12から冷却風20を排出するようにしたが、本発明はこれに限られず、第2の通気口12から冷却風20を導入して第1の通気口11から冷却風20を排出することもできる。
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made.
For example, in the above embodiment, the cooling
また、ファン13の配置位置についても、上記実施の形態には限られず、モータの反負荷側、即ちカバー3側に配置することもできる。
この場合には、カバー3に導入側通気口を設けるとよい。
さらに、第1及び第2の通気口11、12に加えて新たな通気口を追加することもできる。
Further, the arrangement position of the
In this case, it is preferable to provide an introduction side vent in the
Furthermore, in addition to the 1st and 2nd ventilation holes 11 and 12, a new ventilation hole can also be added.
図2(a)(b)は、本発明の他の実施の形態を示すものであり、以下、上記実施の形態と対応する部分には同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
本実施の形態のキャンドモータ1Aは、吸引手段として、例えば上述したファン13と送風方向が逆であるファン13Aを有している。
そして、固定子4の二つのコイルエンド4aの近傍にそれぞれ排出用通気口である第2の通気口12が設けられている。
2 (a) and 2 (b) show another embodiment of the present invention. Hereinafter, the same reference numerals are given to the portions corresponding to the above-described embodiment, and the detailed description thereof will be omitted.
The
And the
さらに、放熱効果をより向上させる観点から、第2の通気口12が設けられたケーシング2の側壁部に対し、キャン5を挟んで反対側のケーシング2の側壁部に第1の通気口11が設けられている。
なお、第1及び第2の通気口11、12の数は1個又は複数個のいずれでもよい。
Furthermore, from the viewpoint of further improving the heat dissipation effect, the
In addition, the number of the 1st and 2nd vent holes 11 and 12 may be one or more.
このような構成を有する本実施の形態では、ファン13Aを動作させて空気を吸引することにより、ケーシング2内の熱せられた空気が第2の通気口12を介してケーシング2の外部に排出されるので、ケーシング2内を冷却することができる。
In the present embodiment having such a configuration, by operating the
さらに、本実施の形態では、図2(b)に示すように、ケーシング2の第1の通気口11から冷却風20が連続的に固定子空間4Aに導入され、この冷却風20によって、固定子4のコア部分、コイルエンド4a、キャン5を直接連続的に冷却することができるので、固定子4とコイルエンド4a、キャン5の冷却効率を飛躍的に向上させることができる。
Furthermore, in the present embodiment, as shown in FIG. 2B, the cooling
その他の構成及び作用効果については上述の実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。
なお、本発明は、ビルトインタイプ及びスタンドアロンタイプのいずれにも適用することができるものである。
Since other configurations and operational effects are the same as those of the above-described embodiment, detailed description thereof is omitted.
The present invention can be applied to both the built-in type and the stand-alone type.
1…キャンドモータ
2…ケーシング
3…カバー
4…固定子
4a…コイルエンド
4A…固定子空間
5…キャン
9…シャフト
10…回転子
10A…回転子空間
11…第1の通気口(導入用通気口)
12…第2の通気口(排出用通気口)
13…ファン(送風手段)
DESCRIPTION OF
12 ... Second vent (exhaust vent)
13 ... Fan (air blowing means)
Claims (6)
前記ケーシング内に設けられ、シャフトに取り付けられた回転子を収容する気密構造のキャンと、
前記ケーシング内の前記キャンによって隔離された固定子空間に配置された固定子とを有し、
前記ケーシングに、前記固定子空間に連通し、当該ケーシングの外部の空気を当該固定子空間に導入するための導入用通気口が設けられるとともに、前記ケーシングの導入用通気口に対して送風する送風手段が設けられているキャンドモータ。 A casing,
An airtight can that houses a rotor mounted in the casing and attached to the shaft;
A stator disposed in a stator space isolated by the can in the casing,
The casing is provided with an introduction vent that communicates with the stator space and introduces air outside the casing into the stator space, and blows air to the introduction vent of the casing. A canned motor provided with means.
前記ケーシング内に設けられ、シャフトに取り付けられた回転子を収容する気密構造のキャンと、
前記ケーシング内の前記キャンによって隔離された固定子空間に配置された固定子とを有し、
前記ケーシングに、前記固定子空間に連通し、当該固定子空間内の空気を当該ケーシングの外部に排出するための排出用通気口が設けられるとともに、当該排出用通気口を介して当該固定子空間内の空気を吸引する吸引手段が設けられているキャンドモータ。 A casing,
An airtight can that houses a rotor mounted in the casing and attached to the shaft;
A stator disposed in a stator space isolated by the can in the casing,
The casing is provided with a discharge vent that communicates with the stator space and discharges the air in the stator space to the outside of the casing, and the stator space via the discharge vent. A canned motor provided with suction means for sucking air inside.
当該キャンドモータによって駆動されるように構成された真空ポンプ。 It has the canned motor of any one of Claims 1 thru / or 5,
A vacuum pump configured to be driven by the canned motor.
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