JP2013072883A - Optical device - Google Patents

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JP2013072883A
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Hiroshi Kameda
博史 亀田
Masayoshi Nakagawa
正義 中川
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Alps Alpine Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical device which achieves high coupling efficiency without using an aspheric lens and at low cost.SOLUTION: An optical device 1 includes a light source 30, a ball lens 10 that condenses a light flux emitted from the light source 30, and a flat plate-like optical element 20 provided with an optical surface 20a for correcting the spherical aberration of the ball lens 10.

Description

本発明は、低コストで良好な結合効率を得ることができる光学装置に関する。   The present invention relates to an optical device that can obtain good coupling efficiency at low cost.

光ファイバを伝送媒体、半導体レーザを光源として、光通信は広く普及している。光通信において、通信端末からの電気信号は光信号に変換されて送信され、伝送媒体を経て受信された光信号が電気信号に復元される。送信用や中継用の入出力部もしくは受信用の入出力部等は光モジュールとして一体化された光学装置が用いられている。   Optical communication is widespread using an optical fiber as a transmission medium and a semiconductor laser as a light source. In optical communication, an electrical signal from a communication terminal is converted into an optical signal and transmitted, and an optical signal received via a transmission medium is restored to an electrical signal. An optical device integrated as an optical module is used as an input / output unit for transmission or relay or an input / output unit for reception.

このような光学装置では、光源の半導体レーザと光ファイバを取り付ける受光部との間にコリメートレンズや集光レンズなどの光学素子を用い、高い結合効率で半導体レーザからのビームを光ファイバに結合させる。このような光学装置に適用する目的で、たとえば特許文献1に鏡筒付きレンズの製造方法が開示されている。特許文献1では、集光レンズとして最適な形状にレンズ素材をプレス成形するとともに、光学素子での反射損失を低減するための光学機能膜を設ける製造方法が記載されている。   In such an optical device, an optical element such as a collimator lens or a condensing lens is used between a semiconductor laser as a light source and a light receiving unit to which an optical fiber is attached, and a beam from the semiconductor laser is coupled to the optical fiber with high coupling efficiency. . For the purpose of applying to such an optical device, for example, Patent Document 1 discloses a method for manufacturing a lens with a lens barrel. Patent Document 1 describes a manufacturing method in which a lens material is press-molded into an optimum shape as a condensing lens, and an optical functional film for reducing reflection loss in an optical element is provided.

一般的に、半導体レーザの発光部の大きさは数μm程度、伝送媒体である光ファイバのコア径は10μm程度である。したがって、良好な結合効率を得るためには、光学装置の組み立てにおいて、発光部、光ファイバを取り付ける受光部、および必要な光学素子を、正確に位置合わせする必要がある。そこで、光学装置の組み立てを容易にするため、特許文献2のように、コリメートレンズと集光レンズとして球レンズ(ボールレンズ)を基板上に配置した光モジュールが開示されている。   Generally, the size of the light emitting part of the semiconductor laser is about several μm, and the core diameter of the optical fiber as a transmission medium is about 10 μm. Therefore, in order to obtain good coupling efficiency, it is necessary to accurately align the light emitting unit, the light receiving unit to which the optical fiber is attached, and the necessary optical elements in assembling the optical device. Therefore, in order to facilitate the assembly of the optical device, an optical module in which a spherical lens (ball lens) is arranged on a substrate as a collimating lens and a condensing lens as disclosed in Patent Document 2 is disclosed.

特開平9−258084号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-258084 特開2002−341189号公報JP 2002-341189 A 特表2006−525889号公報JP 2006-525889 A

しかしながら、光源からの発散角が大きいと、ボールレンズの球面収差により集光点のスポット径が大きくなって、光ファイバへの結合効率が低下してしまう。そのため、発散角の大きい光源を用いた光学装置では、コリメートレンズや集光レンズとして、光学面が光軸に回転対称の非球面レンズを用いて球面収差を補正する必要があった。   However, if the divergence angle from the light source is large, the spot diameter of the condensing point becomes large due to the spherical aberration of the ball lens, and the coupling efficiency to the optical fiber decreases. Therefore, in an optical apparatus using a light source with a large divergence angle, it is necessary to correct spherical aberration by using an aspherical lens whose optical surface is rotationally symmetric about the optical axis as a collimating lens or a condensing lens.

非球面レンズの製作には、ガラス母材を加熱軟化させ、金型を用いプレス成形して、レンズ表面を非球面形状にする工程が必要である。このため、複雑な非球面形状に金型の転写面を精密加工する必要があり、製作コストが高いという問題があった。   In order to manufacture an aspheric lens, it is necessary to heat and soften the glass base material and press-mold it using a mold to make the lens surface an aspherical shape. For this reason, it is necessary to precisely process the transfer surface of the mold into a complicated aspherical shape, and there is a problem that the manufacturing cost is high.

そこで、特許文献3では、球面レンズ(ボールレンズ)に非球面レンズ用のポリマー樹脂を一体化させた非球面ハイブリッドレンズの製造方法が開示された。しかし、非球面レンズ用にポリマー樹脂を用いた場合は高温、高湿の環境下で、変形、吸湿による焦点ズレが発生するという問題がある。このため、非球面ハイブリッドレンズであっても、高精度な収差・焦点位置などの光学性能と安定性が必要とされる場合は、光学ガラスをプレス成形する必要があるため、製作コストが高いことに変わりなかった。   Thus, Patent Document 3 discloses a method for manufacturing an aspheric hybrid lens in which a polymer resin for an aspheric lens is integrated with a spherical lens (ball lens). However, when a polymer resin is used for an aspherical lens, there is a problem that a focus shift due to deformation or moisture absorption occurs in an environment of high temperature and high humidity. For this reason, even with an aspherical hybrid lens, if optical performance and stability such as high-precision aberration and focal position are required, the optical glass must be press-molded, so the production cost is high. It did not change.

したがって球面収差を補正して良好な結合効率が得られるように、光学ガラスの非球面レンズを使用しなければならず、高温、高湿の環境下でも長期間に亘って高精度で安定な光学装置は高価であった。   Therefore, in order to correct spherical aberration and obtain a good coupling efficiency, an optical glass aspherical lens must be used, and high-precision and stable optics can be used over a long period of time even in high-temperature and high-humidity environments. The device was expensive.

本発明は上記課題を解決するためのものであり、特に、低コストで良好な結合効率を得ることができる光学装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and in particular, an object of the present invention is to provide an optical device that can obtain good coupling efficiency at low cost.

本発明の光学装置は、光源と、前記光源から出射された光束を集光するボールレンズと、前記ボールレンズの球面収差を補正する光学面が設けられた平板状の光学素子と、を有する、ことを特徴とする。   The optical device of the present invention includes a light source, a ball lens that collects a light beam emitted from the light source, and a flat plate-like optical element provided with an optical surface that corrects spherical aberration of the ball lens. It is characterized by that.

これにより、ボールレンズと球面収差を補正する光学面が設けられた平板状の光学素子とを用いて、球面収差が補正された光学装置を低コストで実現できる。球面収差が補正されているので、光ファイバ等への結合効率を良好にすることができる。   Accordingly, an optical device in which spherical aberration is corrected can be realized at low cost using a ball lens and a flat plate-shaped optical element provided with an optical surface for correcting spherical aberration. Since the spherical aberration is corrected, the coupling efficiency to an optical fiber or the like can be improved.

したがって、低コストで良好な結合効率を得ることができる。   Therefore, good coupling efficiency can be obtained at low cost.

さらに、前記光学素子は回折格子面が設けられた回折型の光学素子であることが好ましい。平板の一方の面に回折格子面を形成することにより、低コストで高精度の球面収差補正が可能になり、また、ポリマー樹脂を用いていないため、高温、高湿の環境下でも安定した光学装置とすることができる。   Furthermore, the optical element is preferably a diffractive optical element provided with a diffraction grating surface. By forming a diffraction grating surface on one surface of a flat plate, it is possible to correct spherical aberration with high accuracy at low cost, and because it does not use polymer resin, it is stable in high temperature and high humidity environments. It can be a device.

前記光学素子と前記ボールレンズとは空隙を介して対向していることが好適である。こうすれば、光学装置の組み立てにおける位置調整が可能であり、量産性に優れている。   It is preferable that the optical element and the ball lens face each other with a gap. In this way, position adjustment in the assembly of the optical device is possible, and the mass productivity is excellent.

また、前記ボールレンズと前記光学素子とを保持する鏡筒を備え、前記ボールレンズは前記鏡筒内に固定され、前記光学素子は前記鏡筒に気密に固定されていることが好ましい。こうすれば、鏡筒付きレンズを用いて気密封止構造の光学装置とすることができるので、長期間に亘って半導体レーザの劣化を防止できる。   It is preferable that a lens barrel for holding the ball lens and the optical element is provided, the ball lens is fixed in the lens barrel, and the optical element is airtightly fixed to the lens barrel. In this way, an optical device having a hermetically sealed structure can be obtained by using a lens with a lens barrel, so that deterioration of the semiconductor laser can be prevented over a long period of time.

本発明の光学装置は、光源と、前記光源から出射された光束を平行光にする第1のボールレンズと、前記第1のボールレンズの球面収差を補正する平板状の第1の光学素子と、前記第1の光学素子を透過した前記平行光を集光する第2のボールレンズと、前記第1の光学素子と前記第2のボールレンズとの間に配置されて前記第2のボールレンズの球面収差を補正する平板状の第2の光学素子と、を有することを特徴とする。   An optical device according to the present invention includes a light source, a first ball lens that collimates a light beam emitted from the light source, and a flat plate-like first optical element that corrects spherical aberration of the first ball lens. A second ball lens that collects the parallel light transmitted through the first optical element, and the second ball lens disposed between the first optical element and the second ball lens. And a flat plate-like second optical element that corrects the spherical aberration.

これにより、ボールレンズと球面収差を補正する平板状の光学素子とを用いて、球面収差が補正された光学装置を低コストで実現できる。また、球面収差が補正されているので、光ファイバ等への結合効率を良好にすることができる。さらに、第1のボールレンズを透過した光束が平行光であるので、ビームスプリッタや光アイソレータの光学装置への挿入を容易にできる。   Accordingly, an optical device in which spherical aberration is corrected can be realized at low cost by using a ball lens and a flat plate-like optical element that corrects spherical aberration. In addition, since the spherical aberration is corrected, the coupling efficiency to an optical fiber or the like can be improved. Furthermore, since the light beam that has passed through the first ball lens is parallel light, it is possible to easily insert a beam splitter or an optical isolator into the optical device.

本発明の光学装置によれば、ボールレンズと球面収差を補正する光学面が設けられた平板状の光学素子とを用いて球面収差を補正しているので、低コストで良好な結合効率を得ることができる。   According to the optical apparatus of the present invention, since spherical aberration is corrected using a ball lens and a flat plate-shaped optical element provided with an optical surface for correcting spherical aberration, good coupling efficiency is obtained at low cost. be able to.

第1の実施形態の光学装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the optical apparatus of 1st Embodiment. 第1の実施形態の光学装置における平板状の光学素子の模式断面図である。It is a schematic cross section of the flat optical element in the optical apparatus of 1st Embodiment. ボールレンズの球面収差を説明する断面図であり、(a)は球面収差を補正していない焦点位置、(b)は球面収差を補正した焦点位置、を示す模式図である。It is sectional drawing explaining the spherical aberration of a ball lens, (a) is a schematic diagram which shows the focal position which has not corrected spherical aberration, and (b) is the focal position which corrected spherical aberration. 第1の実施形態の光学装置における平板型の光学素子の変形例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the modification of the flat type optical element in the optical apparatus of 1st Embodiment. 第2の実施形態の光学装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the optical apparatus of 2nd Embodiment.

<第1の実施形態>
本発明の第1の実施形態について図面に沿って説明する。なお、説明が分かりやすいように、図面は寸法を適宜変更している。図1は、第1の実施形態の光学装置1を示す断面図、図2は光学装置1における平板状の光学素子20の模式断面図である。これらの図に示すように、本実施形態における光学装置1は、ボールレンズ10と、平板状の光学素子20と、を含み構成されている。ここで、本明細書における「平板状」とは、たとえば平板面から加工された光学面を有している形状であり、全体として「ほぼ平板に近い形状」を保持している状態である。
<First Embodiment>
A first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the dimensions of the drawings are changed as appropriate for easy understanding. FIG. 1 is a cross-sectional view showing the optical device 1 of the first embodiment, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a flat optical element 20 in the optical device 1. As shown in these drawings, the optical device 1 in the present embodiment includes a ball lens 10 and a flat optical element 20. Here, the “flat plate” in this specification is, for example, a shape having an optical surface processed from a flat plate surface, and is a state in which a “shape substantially close to a flat plate” is maintained as a whole.

ボールレンズ10は光学ガラスを球状に加工したレンズである。平板状の光学素子20は図2に示すような回折格子面20aを有する光学ガラス板である。また、光源30は光通信用の光信号を発信する半導体レーザである。図1に示すように、本実施形態ではステンレス鋼を加工した鏡筒40にボールレンズ10と平板状の光学素子20とが固定され、光源30を保持する基板(図示しない)と鏡筒40に形成されている鍔部40aとが溶接接合されて光学装置1を構成している。光学装置1には図示しない光ファイバの端面が接続され、光ファイバの端面に相当する受光部60に向かって光源30からのビームが集光している。   The ball lens 10 is a lens obtained by processing optical glass into a spherical shape. The flat optical element 20 is an optical glass plate having a diffraction grating surface 20a as shown in FIG. The light source 30 is a semiconductor laser that transmits an optical signal for optical communication. As shown in FIG. 1, in this embodiment, a ball lens 10 and a plate-like optical element 20 are fixed to a lens barrel 40 processed from stainless steel, and a substrate (not shown) that holds a light source 30 and a lens barrel 40. The formed flange portion 40a is welded to form the optical device 1. An optical fiber end face (not shown) is connected to the optical device 1, and the beam from the light source 30 is focused toward the light receiving unit 60 corresponding to the end face of the optical fiber.

ボールレンズ10はどの方向も等価であるため、光軸にレンズの中心が一致するようにすれば、角度ずれ等の心配が無い。また、レンズとしては比較的安価である。このため、受光面積が大きいフォトダイオード等の受光素子側の集光レンズとして使用されている。また、コリメート光を光ファイバに結合する集光レンズとして使用されることも多い。しかしながら、ボールレンズ10は球面であるため、球面収差を無視することができない。   Since the ball lens 10 is equivalent in any direction, there is no concern about an angular deviation or the like if the center of the lens coincides with the optical axis. Moreover, it is relatively inexpensive as a lens. For this reason, it is used as a condensing lens on the side of a light receiving element such as a photodiode having a large light receiving area. Also, it is often used as a condenser lens that couples collimated light to an optical fiber. However, since the ball lens 10 is spherical, spherical aberration cannot be ignored.

図2に平板状の光学素子20の断面を模式図で示す。ボールレンズ10と対向した面に、光軸に回転対称の回折溝が加工されて、この面がボールレンズ10の球面収差を補正する回折格子面20aになっている。光学素子20の他方の面は平板加工面20bである。回折格子面20aはLSI(Large−Scale Integration)やMEMS(Microelectromechanical system)で使用されている微細加工技術によって量産することができるので、ガラスレンズをプレス成形する場合に比べて低コスト化が可能である。また、光学ガラス平板を用いて、その一方の面に回折格子面20aを形成することにより、低コストで、かつ、高精度の球面収差補正が可能になるので、高温、高湿の環境下でも安定な光学特性を得ることができる。   FIG. 2 is a schematic view showing a cross section of the flat optical element 20. A rotationally symmetric diffraction groove is processed on the optical axis on the surface facing the ball lens 10, and this surface is a diffraction grating surface 20 a that corrects the spherical aberration of the ball lens 10. The other surface of the optical element 20 is a flat processed surface 20b. The diffraction grating surface 20a can be mass-produced by a microfabrication technique used in LSI (Large-Scale Integration) or MEMS (Microelectromechanical system), and therefore, the cost can be reduced compared to press molding of a glass lens. is there. In addition, by forming a diffraction grating surface 20a on one surface of an optical glass plate, low-cost and highly accurate spherical aberration correction can be performed, so even in a high temperature and high humidity environment. Stable optical characteristics can be obtained.

回折格子面20aは、同心円状の格子周期構造で、周辺ほど格子周期(格子ピッチ)が小さくなっている。また、格子形状は位相関数に沿った格子ピッチの鋸歯形状になっている。格子部の厚みは数μm、格子ピッチは数百μmから数μmの幅で徐々に変わっている。回折格子では、格子ピッチが小さい方が、回折する量(回折角)が大きく、格子ピッチを変えることによって光の進行方向をコントロールすることができる。したがって、位相関数から計算した格子ピッチで同心円状の格子周期構造を形成することによって、非球面レンズと同じ効果が得られ、球面収差の補正が可能となる。   The diffraction grating surface 20a has a concentric grating periodic structure, and the grating period (grating pitch) becomes smaller toward the periphery. Moreover, the grating | lattice shape is a sawtooth shape of the grating | lattice pitch along a phase function. The thickness of the grating portion is several μm, and the grating pitch is gradually changed with a width of several hundred μm to several μm. In the diffraction grating, the smaller the grating pitch, the larger the amount of diffraction (diffraction angle), and the light traveling direction can be controlled by changing the grating pitch. Therefore, by forming a concentric grating periodic structure with a grating pitch calculated from a phase function, the same effect as an aspheric lens can be obtained, and spherical aberration can be corrected.

図3はボールレンズの球面収差を説明する断面図であり、(a)は球面収差を補正していない焦点位置、(b)は球面収差を補正した焦点位置、を示す模式図である。図3(a)はボールレンズ10の球面収差によって焦点位置が一致していない状態を表している。点光源から拡散したビームをボールレンズ10で集光する場合、相対的に光軸から離れた位置を通過した光は相対的に短い焦点位置(P1)に集光し、相対的に光軸に近い位置を通過した光は相対的に遠い焦点位置(P2)に集光して、焦点位置が分布する球面収差を生じる。   3A and 3B are cross-sectional views for explaining spherical aberration of the ball lens. FIG. 3A is a schematic diagram showing a focal position where the spherical aberration is not corrected, and FIG. 3B is a schematic diagram showing a focal position where the spherical aberration is corrected. FIG. 3A shows a state where the focal positions are not matched due to the spherical aberration of the ball lens 10. When the beam diffused from the point light source is collected by the ball lens 10, the light that has passed through a position relatively away from the optical axis is collected at a relatively short focal position (P1) and relatively on the optical axis. The light passing through the near position is condensed at a relatively far focal position (P2), and spherical aberration is generated in which the focal position is distributed.

このため、集光点に光ファイバの端面を位置させる場合に、P1やP2のどの位置であってもスポット径が拡がってしまう。光ファイバのコア径は10μm程度であるので、スポット径が拡がってしまうと、結合効率が低下してしまう問題があった。   For this reason, when the end face of the optical fiber is positioned at the condensing point, the spot diameter is expanded at any position of P1 and P2. Since the core diameter of the optical fiber is about 10 μm, there is a problem in that the coupling efficiency decreases when the spot diameter increases.

図3(b)に示すように、ボールレンズ10と対向して、ボールレンズ10の球面収差を補正する回折格子面20aが設けられた平板状の光学素子20を配置すれば、相対的に光軸から離れた位置を通過した光はより遠くに焦点位置(P1’)が移動し、相対的に光軸に近い位置を通過した光の焦点位置(P2’)とほぼ一致するように球面収差を補正することができる。   As shown in FIG. 3B, when a flat optical element 20 provided with a diffraction grating surface 20a for correcting the spherical aberration of the ball lens 10 is disposed so as to face the ball lens 10, relatively light is emitted. Spherical aberration so that the light passing through the position away from the axis moves further in the focal position (P1 ′) and substantially coincides with the focal position (P2 ′) of the light passing through the position relatively close to the optical axis. Can be corrected.

このように、ボールレンズ10を出射したビームに対して、回折格子面20aを形成した回折型の光学素子20が球面収差を補正するので、光学素子20を出射したビームは球面収差をほとんどもたずに集光される。したがって、低コストのボールレンズ10と回折格子面20aが設けられた光学素子20とを用いて、球面収差が補正された光学装置にすることができる。こうすれば、スポット径は拡がらないので、光ファイバへの結合効率を良好にすることができる。   As described above, since the diffractive optical element 20 having the diffraction grating surface 20a corrects the spherical aberration with respect to the beam emitted from the ball lens 10, the beam emitted from the optical element 20 has almost spherical aberration. Without being condensed. Therefore, an optical device in which spherical aberration is corrected can be obtained by using the low-cost ball lens 10 and the optical element 20 provided with the diffraction grating surface 20a. By doing so, the spot diameter does not expand, so that the coupling efficiency to the optical fiber can be improved.

したがって、低コストで良好な結合効率を得ることができる。   Therefore, good coupling efficiency can be obtained at low cost.

光源30からのビームの発散角が大きいとボールレンズ10に入射するビームの拡がりが大きくなるので、球面収差の影響が大きくなる。本実施形態は、回折格子面20aが設けられた光学素子20を用いて収差補正することによって球面収差が補正された光学装置にすることができるので、発散角の大きい光源30に対して効果的である。   When the divergence angle of the beam from the light source 30 is large, the spread of the beam incident on the ball lens 10 is increased, so that the influence of spherical aberration is increased. In the present embodiment, an optical device in which spherical aberration is corrected by correcting aberration using the optical element 20 provided with the diffraction grating surface 20a is effective for the light source 30 having a large divergence angle. It is.

本実施形態に用いた回折型の光学素子20は以下のように製造することができる。   The diffractive optical element 20 used in this embodiment can be manufactured as follows.

素材となる光学ガラス平板として、Schott社製の商品名D263Tの厚さ0.5mmのガラス平板を用い、微細加工技術が可能な大きさ、たとえば直径150mmとした。この光学ガラス平板の一方の面に感光性レジストを用いたフォトリソグラフィ法によって所定のパターンのレジストマスクを作成した。次に、RIE(Reactive Ion Etching)法によってエッチング加工して回折溝を形成した。必要に応じてフォトリソグラフィ法とエッチング加工を繰り返して回折格子面20aを形成してから、保護膜を塗布して光学装置1に適用する大きさ(たとえば2mm角)に切り出した後、保護膜を除去洗浄して、平板状の光学素子20を得た。この方法は光学素子を1個ずつ加工する場合に比べて量産性に優れているため、低コスト化が可能である。また、光学ガラス平板を用いているので、高精度の球面収差補正が可能である。   As an optical glass flat plate used as a material, a glass flat plate having a thickness of 0.5 mm having a trade name of D263T manufactured by Schott Co., Ltd. was used, and a size allowing fine processing, for example, a diameter of 150 mm was used. A resist mask having a predetermined pattern was prepared by a photolithography method using a photosensitive resist on one surface of the optical glass flat plate. Next, a diffraction groove was formed by etching by RIE (Reactive Ion Etching) method. If necessary, the photolithography method and the etching process are repeated to form the diffraction grating surface 20a, and then a protective film is applied and cut into a size (for example, 2 mm square) to be applied to the optical device 1, and then the protective film is removed. After removing and washing, a flat optical element 20 was obtained. Since this method is superior in mass productivity as compared with the case of processing optical elements one by one, the cost can be reduced. In addition, since an optical glass plate is used, high-precision spherical aberration correction is possible.

また、光学装置1は以下のようにして製造した。   The optical device 1 was manufactured as follows.

ステンレス鋼を加工した鏡筒40にボールレンズ10を低融点ガラスによる封着によって取り付け、真空蒸着装置を用いて、ボールレンズ10の両面に反射防止膜を蒸着した。つぎに、ボールレンズ10と回折格子面20aが所定の空隙を介して対向するように、鏡筒40に光学素子20を低融点ガラスによる封着によって気密に取り付けて固定した。なお、光学素子20は必要に応じて、あらかじめ反射防止膜を形成しておくことが好ましい。また、低融点ガラスによる封着の替わりに、UV樹脂等による接着を用いることができる。   The ball lens 10 was attached to a lens barrel 40 processed with stainless steel by sealing with low-melting glass, and an antireflection film was deposited on both surfaces of the ball lens 10 using a vacuum deposition apparatus. Next, the optical element 20 was hermetically attached and fixed to the lens barrel 40 by sealing with a low melting point glass so that the ball lens 10 and the diffraction grating surface 20a face each other with a predetermined gap. The optical element 20 is preferably formed with an antireflection film in advance as necessary. Further, instead of sealing with low-melting glass, adhesion with UV resin or the like can be used.

最後に、光源30を取り付けた基板を、鏡筒40の鍔部40aと溶接によって接合して光学装置1を構成した。   Finally, the substrate to which the light source 30 was attached was joined to the flange portion 40a of the lens barrel 40 by welding to constitute the optical device 1.

光源30の発光波長が1310nmの光モジュールとして、光ファイバへの結合効率を調べた。ボールレンズ10にはSchott社製の商品名LASFN9の直径1.8mmのものを用いた。この波長での屈折率は1.8174であった。また、光学素子20にはSchott社製の商品名D263Tの厚さ0.5mmのガラス平板を用い、片面に回折格子面20aを形成した。光源30の発光点とボールレンズ10の空隙を0.5mmになるように配置し、ボールレンズ10と光学素子20との空隙は0.2mmとした。このときに最適な球面収差補正となるように、回折格子面20aの格子部の厚み(上面から加工最深面までの深さ)は2.57μm、格子ピッチ(光軸から最初の最深面、または最深面から次の最深面)は光軸から径方向に順に、249μm、31.8μm、21.4μm、14.5μm、10.4μm、7.9μmの幅に形成された。この実施例での回折溝は、図2に示すように、1周期毎に8段の階段状である。このとき、光学素子20と光ファイバの空隙は2.207mmに位置調整した。光源30の半導体レーザのNAが0.22、光ファイバのNAが0.09のものを取り付けた場合に、結合効率は97.23%が得られた。一方、比較のため、光学素子20を挿入しない場合の結合効率は最大でも66.44%であり、球面収差の補正によって結合効率を大きく向上できることが確認された。   As an optical module having an emission wavelength of the light source 30 of 1310 nm, the coupling efficiency to the optical fiber was examined. The ball lens 10 was a product name LASFN9 manufactured by Schott and having a diameter of 1.8 mm. The refractive index at this wavelength was 1.8174. In addition, a glass flat plate having a thickness of 0.5 mm made by Schott product name D263T was used as the optical element 20, and a diffraction grating surface 20a was formed on one surface. The light emitting point of the light source 30 and the gap between the ball lens 10 are arranged to be 0.5 mm, and the gap between the ball lens 10 and the optical element 20 is 0.2 mm. At this time, the thickness of the grating portion of the diffraction grating surface 20a (depth from the upper surface to the deepest processing surface) is 2.57 μm, and the grating pitch (the first deepest surface from the optical axis, or From the deepest surface to the next deepest surface) were formed in the radial direction from the optical axis in a width of 249 μm, 31.8 μm, 21.4 μm, 14.5 μm, 10.4 μm, and 7.9 μm. As shown in FIG. 2, the diffraction grooves in this embodiment have a stepped shape of 8 steps per period. At this time, the gap between the optical element 20 and the optical fiber was adjusted to 2.207 mm. A coupling efficiency of 97.23% was obtained when a semiconductor laser with an NA of 0.22 and an optical fiber of NA of 0.09 was attached. On the other hand, for comparison, the coupling efficiency when the optical element 20 is not inserted is 66.44% at the maximum, and it was confirmed that the coupling efficiency can be greatly improved by correcting the spherical aberration.

同様に、ボールレンズ10に(株)住田光学ガラス製の商品名K−PSFN202の直径2.0mmのもので実施した。この場合の屈折率は1.9654であった。光源30の発光点とボールレンズ10の空隙を0.4216mmになるように配置し、ボールレンズ10と光学素子20との空隙は0.2mmとした。このときに最適な球面収差補正となるように、回折格子面20aの格子部の厚みは2.57μm、格子ピッチは光軸から径方向に順に、245μm、42.7μm、24.7μm、17.2μm、13.1μmの幅に形成された。回折溝は1周期毎に8段の階段状である。このとき、光学素子20と光ファイバの空隙は2.186mmに位置調整した。光源30の半導体レーザのNAが0.22、光ファイバのNAが0.09のものを取り付けた場合に、結合効率は98.35%が得られた。これに対し、光学素子20を挿入しない場合の結合効率は最大でも73.15%であった。   Similarly, the ball lens 10 was manufactured using a product name K-PSFN202 manufactured by Sumita Optical Glass Co., Ltd. having a diameter of 2.0 mm. In this case, the refractive index was 1.9654. The light emitting point of the light source 30 and the gap between the ball lens 10 are arranged to be 0.4216 mm, and the gap between the ball lens 10 and the optical element 20 is 0.2 mm. At this time, the thickness of the grating portion of the diffraction grating surface 20a is 2.57 μm, and the grating pitch is 245 μm, 42.7 μm, 24.7 μm, 17. It was formed to have a width of 2 μm and 13.1 μm. The diffraction groove has a stepped shape of 8 steps per period. At this time, the gap between the optical element 20 and the optical fiber was adjusted to 2.186 mm. When a light source 30 having a semiconductor laser NA of 0.22 and an optical fiber NA of 0.09 was attached, a coupling efficiency of 98.35% was obtained. On the other hand, the coupling efficiency when the optical element 20 was not inserted was 73.15% at the maximum.

なお、光通信に適用する場合の結合効率を評価するために光ファイバを用いたが、本実施形態は光ファイバに限定されるものではない。   In addition, although the optical fiber was used in order to evaluate the coupling efficiency in the case of applying to optical communication, this embodiment is not limited to an optical fiber.

本実施形態では、平板状の光学素子20とボールレンズ10とは空隙を介して対向している。こうすれば、光学装置1の組み立てにおける位置調整が可能であり、ボールレンズ径の寸法ばらつきに対して微調整できるので、量産性に優れている。   In the present embodiment, the flat optical element 20 and the ball lens 10 are opposed to each other with a gap. By doing so, the position adjustment in the assembly of the optical device 1 can be performed, and fine adjustment can be made to the dimensional variation of the ball lens diameter, which is excellent in mass productivity.

また、光源30を取り付けた基板を、鏡筒40の鍔部40aと溶接によって接合しているので、光源30を気密封止構造とすることができる。実用的には、溶接接合する際にアルゴンガス等の不活性ガスを封入する。こうすれば、長期間に亘って酸化による劣化を防止できる。   Moreover, since the board | substrate which attached the light source 30 is joined to the collar part 40a of the lens-barrel 40 by welding, the light source 30 can be made into an airtight sealing structure. Practically, an inert gas such as argon gas is sealed when welding. In this way, deterioration due to oxidation can be prevented over a long period of time.

なお、ボールレンズ10と対向して、球面収差を補正する回折格子面20aが配置されていることが好ましい。こうすれば、空気以外の媒体が介在せず、ボールレンズ10の収差補正に適した回折格子面20aの光学設計が容易である。また、光学素子20の他方の面は平板加工面であることが好ましい。光学的な平板のままでよいので、低コストであり、製造工程での量産性も優れている。また、鏡筒40に取り付ける際の光軸合わせには、光学素子20の側面を基準面とする方法や、光学素子20にアライメントマークを設けておく方法を採用することができる。   It is preferable that a diffraction grating surface 20a for correcting spherical aberration is disposed so as to face the ball lens 10. In this way, an optical design of the diffraction grating surface 20a suitable for correcting the aberration of the ball lens 10 is facilitated without any medium other than air. The other surface of the optical element 20 is preferably a flat plate processed surface. Since an optical flat plate may be used, the cost is low and the mass productivity in the manufacturing process is excellent. For the optical axis alignment when attaching to the lens barrel 40, a method using the side surface of the optical element 20 as a reference surface or a method of providing an alignment mark on the optical element 20 can be employed.

図4は光学素子20の変形例である。図2に示す回折格子面20aは回折型(位相型)であったが、図4に示す光学素子20は屈折型のレンズ面20cが設けられている。球面収差を補正する光学面としての屈折型のレンズ面20cはフレネルレンズと同様な同心円状の幾何学形状である。図2に示す階段状の回折溝に比べて、図4に示すレンズ面20cをフォトリソグラフィ法とエッチング加工によって形成することは難しいが、平板状の光学素子20としての球面収差補正は同等である。   FIG. 4 shows a modification of the optical element 20. The diffraction grating surface 20a shown in FIG. 2 is a diffractive type (phase type), but the optical element 20 shown in FIG. 4 is provided with a refractive lens surface 20c. A refractive lens surface 20c as an optical surface for correcting spherical aberration has a concentric geometric shape similar to that of a Fresnel lens. Compared with the step-like diffraction grooves shown in FIG. 2, it is difficult to form the lens surface 20c shown in FIG. 4 by photolithography and etching, but the spherical aberration correction as the flat optical element 20 is equivalent. .

<第2の実施形態>
図5は第2の実施形態の光学装置2を示す断面図である。本実施形態においては、光源31の側に配置されたボールレンズ11に加えて、光ファイバ71側に配置されたボールレンズ12及びフォトダイオード等の受光素子50の側に配置されたボールレンズ15を有している。また、ボールレンズ11の球面収差を補正する平板状の第1の光学素子21及びボールレンズ12の球面収差を補正する平板状の第2の光学素子22を有して、光学装置2が構成されている。
<Second Embodiment>
FIG. 5 is a cross-sectional view showing the optical device 2 of the second embodiment. In this embodiment, in addition to the ball lens 11 disposed on the light source 31 side, the ball lens 12 disposed on the optical fiber 71 side and the ball lens 15 disposed on the light receiving element 50 side such as a photodiode are provided. Have. Further, the optical device 2 is configured to include a flat plate-like first optical element 21 that corrects the spherical aberration of the ball lens 11 and a flat plate-like second optical element 22 that corrects the spherical aberration of the ball lens 12. ing.

ここで、ボールレンズ11はコリメートレンズとして配置されている。光源31から出射された光束はボールレンズ11に入射し、平行光となって光学素子21に向かって出射される。光学素子21はボールレンズ11と対向する面に回折格子面21aが形成されていて、ボールレンズ11の球面収差を補正している。   Here, the ball lens 11 is arranged as a collimating lens. The light beam emitted from the light source 31 enters the ball lens 11 and is emitted toward the optical element 21 as parallel light. The optical element 21 has a diffraction grating surface 21 a formed on the surface facing the ball lens 11 to correct the spherical aberration of the ball lens 11.

一方、光ファイバ71側に配置されたボールレンズ12は光学素子22を透過した平行光を光ファイバ71の端面に集光している。このとき、ボールレンズ12の球面収差を光学素子22に設けた回折格子面22aが補正している。これにより、光ファイバ71の端面に集光した光束のスポット径が球面収差によって拡がることを抑制できるので、結合効率を良好にすることができる。   On the other hand, the ball lens 12 arranged on the optical fiber 71 side condenses the parallel light transmitted through the optical element 22 on the end face of the optical fiber 71. At this time, the spherical aberration of the ball lens 12 is corrected by the diffraction grating surface 22 a provided on the optical element 22. Thereby, since it can suppress that the spot diameter of the light beam condensed on the end surface of the optical fiber 71 expands due to spherical aberration, the coupling efficiency can be improved.

また、光学装置2は光ファイバ71から出射される光束を受光素子50に結合させることができる。光ファイバ71から出射される光束の波長と光源31の波長とを異なる組み合せにすることで、送信と受信を1本の光ファイバ71と1個の光学装置2でおこなう1芯双方向光モジュールにできる。   Further, the optical device 2 can couple the light beam emitted from the optical fiber 71 to the light receiving element 50. By combining differently the wavelength of the light beam emitted from the optical fiber 71 and the wavelength of the light source 31, a single-core bidirectional optical module that performs transmission and reception with one optical fiber 71 and one optical device 2 is realized. it can.

本実施形態において、平板状の第1の光学素子21と第2の光学素子22との間で平行光が得られる。アイソレータ51とビームスプリッタ52が挿入され、光ファイバ71から出射された光束がボールレンズ15に入射するとともに、光源31への戻り光を防止している。ボールレンズ15を透過した光束は波長選択フィルタ53を介して受光素子50に集光する。なお、受光素子50の受光面積は相対的に大きいので、ボールレンズ15の球面収差によるスポット径の拡がりに影響されない。   In the present embodiment, parallel light is obtained between the flat first optical element 21 and the second optical element 22. An isolator 51 and a beam splitter 52 are inserted so that a light beam emitted from the optical fiber 71 enters the ball lens 15 and prevents return light to the light source 31. The light beam that has passed through the ball lens 15 is condensed on the light receiving element 50 via the wavelength selection filter 53. Since the light receiving area of the light receiving element 50 is relatively large, it is not affected by the spread of the spot diameter due to the spherical aberration of the ball lens 15.

ボールレンズ11を透過した光束が平行光であるので、アイソレータ51やビームスプリッタ52を挿入したことによる収差の発生を抑制することができる。したがって、アイソレータ51やビームスプリッタ52を挿入しても、結合効率を良好にすることができる。   Since the light beam that has passed through the ball lens 11 is parallel light, the occurrence of aberration due to the insertion of the isolator 51 and the beam splitter 52 can be suppressed. Therefore, even if the isolator 51 and the beam splitter 52 are inserted, the coupling efficiency can be improved.

光源31の発光波長が1310nmの光モジュールとして、光ファイバへの結合効率を調べた。ボールレンズ11にはSchott社製の商品名LASFN9の直径1.8mmのものを用いた。この波長での屈折率は1.8174であった。また、光学素子21にはSchott社製の商品名D263Tの厚さ0.5mmのガラス平板を用い、片面に回折格子面21aを形成した。光源31の発光点とボールレンズ11の空隙を0.1005mmになるように配置し、ボールレンズ11と光学素子21との空隙は0.2mmとした。このときに最適な球面収差補正となるように、回折格子面21aの格子部の厚みは2.57μm、格子ピッチは光軸から径方向に順に、359μm、62.5μm、51.6μm、50.6μmの幅に形成された。回折溝は1周期毎に8段の階段状である。   As an optical module having an emission wavelength of the light source 31 of 1310 nm, the coupling efficiency to the optical fiber was examined. The ball lens 11 was a product name LASFN9 manufactured by Schott and having a diameter of 1.8 mm. The refractive index at this wavelength was 1.8174. Further, as the optical element 21, a glass plate having a thickness of 0.5 mm with a trade name of D263T manufactured by Schott was used, and a diffraction grating surface 21a was formed on one surface. The light emitting point of the light source 31 and the gap between the ball lens 11 are arranged to be 0.1005 mm, and the gap between the ball lens 11 and the optical element 21 is 0.2 mm. At this time, the thickness of the grating portion of the diffraction grating surface 21a is 2.57 μm, and the grating pitch is 359 μm, 62.5 μm, 51.6 μm, 50. The width was 6 μm. The diffraction groove has a stepped shape of 8 steps per period.

光ファイバ71側に配置されたボールレンズ12には商品名LASFN9の直径4.5mmのものを用いた。光学素子22は光学素子21と同様に片面に回折格子面21aが設けられており、ボールレンズ12の球面収差を補正するように、格子部の厚みは2.57μm、格子ピッチは光軸から径方向に順に、534μm、150μm、26.8μmの幅に形成された。回折溝は1周期毎に8段の階段状である。光学素子21と光学素子22との間隔は任意でよいが、2mmとした。   As the ball lens 12 disposed on the optical fiber 71 side, a product name LASFN 9 having a diameter of 4.5 mm was used. Like the optical element 21, the optical element 22 has a diffraction grating surface 21a on one side, the thickness of the grating portion is 2.57 μm, and the grating pitch is a diameter from the optical axis so as to correct the spherical aberration of the ball lens 12. In the direction, the widths of 534 μm, 150 μm, and 26.8 μm were formed. The diffraction groove has a stepped shape of 8 steps per period. The interval between the optical element 21 and the optical element 22 may be arbitrary, but is 2 mm.

アイソレータ51やビームスプリッタ52は挿入していない上記の素子配置で、光源31の半導体レーザのNAが0.22、光ファイバ71のNAが0.09を用いた場合に、最適位置での結合効率は99.49%が得られた。一方、比較のため、光学素子21及び光学素子22を挿入しない場合の結合効率は最大でも93.83%であった。このようにして、球面収差の補正によって結合効率を向上できることが確認された。   When the isolator 51 and the beam splitter 52 are not inserted, and the NA of the semiconductor laser of the light source 31 is 0.22 and the NA of the optical fiber 71 is 0.09, the coupling efficiency at the optimum position is used. 99.49% was obtained. On the other hand, for comparison, the coupling efficiency when the optical element 21 and the optical element 22 were not inserted was 93.83% at the maximum. Thus, it was confirmed that the coupling efficiency can be improved by correcting the spherical aberration.

したがって、低コストのボールレンズ11、12と回折格子面21a、22aが設けられた光学素子21、22とを用いて、球面収差が補正された光学装置にすることができる。球面収差が補正されているので、光ファイバ71等への結合効率を良好にすることができる。さらに、ボールレンズ11を透過した光束が平行光であるので、アイソレータ51やビームスプリッタ52の挿入を容易にできる。   Therefore, an optical device in which spherical aberration is corrected can be obtained by using the low-cost ball lenses 11 and 12 and the optical elements 21 and 22 provided with the diffraction grating surfaces 21a and 22a. Since the spherical aberration is corrected, the coupling efficiency to the optical fiber 71 and the like can be improved. Furthermore, since the light beam that has passed through the ball lens 11 is parallel light, the isolator 51 and the beam splitter 52 can be easily inserted.

本実施形態においても、集光点が光ファイバ71の端面であることに限定されないことは言うまでもない。   Also in this embodiment, it is needless to say that the condensing point is not limited to the end face of the optical fiber 71.

第1の実施形態および第2の実施形態において、光学ガラス平板の一方の面に回折格子面を形成していたが、他方の面についてもレンズ作用を有する面に加工してもよい。しかしながら、それに伴うコストの増加を考慮すると、他方の面についても回折格子面を形成することが好ましい。   In the first embodiment and the second embodiment, the diffraction grating surface is formed on one surface of the optical glass flat plate, but the other surface may be processed into a surface having a lens action. However, in consideration of the accompanying increase in cost, it is preferable to form a diffraction grating surface on the other surface.

1、2 光学装置
10、11、12、15 ボールレンズ
20、21、22 光学素子
20a、21a、22a 光学面(回折格子面)
20b 平板加工面
20c 光学面(レンズ面)
30、31 光源(半導体レーザ)
40 鏡筒
40a 鍔部
50 受光素子(フォトダイオード)
51 アイソレータ
52 ビームスプリッタ
53 波長選択フィルタ
60 受光部
71 光ファイバ
1, 2, Optical device 10, 11, 12, 15 Ball lens 20, 21, 22 Optical element 20a, 21a, 22a Optical surface (diffraction grating surface)
20b Flat processing surface 20c Optical surface (lens surface)
30, 31 Light source (semiconductor laser)
40 Lens tube 40a collar 50 Light-receiving element (photodiode)
51 Isolator 52 Beam Splitter 53 Wavelength Selection Filter 60 Light Receiving Unit 71 Optical Fiber

Claims (5)

光源と、前記光源から出射された光束を集光するボールレンズと、前記ボールレンズの球面収差を補正する光学面が設けられた平板状の光学素子と、を有することを特徴とする光学装置。   An optical apparatus comprising: a light source; a ball lens that condenses a light beam emitted from the light source; and a flat plate-like optical element provided with an optical surface that corrects spherical aberration of the ball lens. 前記光学素子は回折格子面が設けられた回折型の光学素子であることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。   The optical apparatus according to claim 1, wherein the optical element is a diffractive optical element provided with a diffraction grating surface. 前記光学素子と前記ボールレンズとは空隙を介して対向していることを特徴とする請求項2に記載の光学装置。   The optical device according to claim 2, wherein the optical element and the ball lens face each other with a gap. 前記ボールレンズと前記光学素子とを保持する鏡筒を備え、前記ボールレンズは前記鏡筒内に固定され、前記光学素子は前記鏡筒に気密に固定されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の光学装置。   2. A lens barrel for holding the ball lens and the optical element is provided, the ball lens is fixed in the lens barrel, and the optical element is airtightly fixed to the lens barrel. The optical device according to claim 3. 光源と、前記光源から出射された光束を平行光にする第1のボールレンズと、前記第1のボールレンズの球面収差を補正する平板状の第1の光学素子と、前記第1の光学素子を透過した前記平行光を集光する第2のボールレンズと、前記第1の光学素子と前記第2のボールレンズとの間に配置されて前記第2のボールレンズの球面収差を補正する平板状の第2の光学素子と、を有することを特徴とする光学装置。   A light source; a first ball lens that collimates a light beam emitted from the light source; a flat plate-like first optical element that corrects spherical aberration of the first ball lens; and the first optical element. A second ball lens that collects the parallel light that has passed through the plate, and a flat plate that is disposed between the first optical element and the second ball lens and corrects spherical aberration of the second ball lens. And an optical second device.
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