JP2013053728A - Valve device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、流体の流通路を開閉するバルブ装置に関し、特に、弁開状態のときに複数の出力ポートから同時に且つ同量の流体を排出することが可能なバルブ装置に関する。 The present invention relates to a valve device that opens and closes a fluid flow passage, and more particularly to a valve device that can discharge the same amount of fluid simultaneously from a plurality of output ports when the valve is open.
例えば、特許文献1には、弁体を作動させて流体の流通路を開閉するコントロールバルブが開示されている。このコントロールバルブは、中空のバルブケースによって周縁部が支持された弁体を有し、弁体は、薄板略皿形状のディスクスプリングと、ディスクスプリングの中央部に形成された円孔に取り付けられて前記円孔を閉塞するシール部材とを備える。
For example,
ところで、例えば、複数のノズルから離型剤(流体)を金型に向かって塗布する場合、同時に且つ同量の離型剤を複数の出力ポートから排出する必要がある。このような場合、例えば、特許文献1に開示されたコントロールバルブのバルブケースに複数の出力ポートを設け、この複数の出力ポートから複数のノズルに対して流体をそれぞれ排出することが考えられる。
By the way, for example, when a release agent (fluid) is applied from a plurality of nozzles toward the mold, it is necessary to discharge the same amount of the release agent simultaneously from the plurality of output ports. In such a case, for example, a plurality of output ports may be provided in the valve case of the control valve disclosed in
しかしながら、図8に示されるように、単一の入力ポート1に最も近接する出力ポート2Aと入力ポート1から最も離間する出力ポート2Fとの間で、流体の吐出圧力差に起因して複数の出力ポート2A〜2Fから吐出される流体の流量にバラツキが発生する。
However, as shown in FIG. 8, a plurality of
本発明は、前記の点に鑑みてなされたものであり、複数の出力ポートから出力される流体の流量のバラツキを無くし、流量の安定化を達成することが可能なバルブ装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above points, and provides a valve device capable of eliminating the variation in the flow rate of fluid output from a plurality of output ports and achieving stabilization of the flow rate. Objective.
前記の目的を達成するために、本発明は、流体が供給される単一の入力ポート及び前記供給された流体を排出する複数の出力ポートを有する第1部材と、前記第1部材と一体的に結合され、パイロットエアが供給されるエア供給ポートを有する第2部材と、前記第1部材と前記第2部材との間に挟持され、可撓性部材からなる弁体と、を備え、前記複数の出力ポートは、前記入力ポートの中心から等間隔離間して配置されることを特徴とする。 To achieve the above object, the present invention provides a first member having a single input port to which a fluid is supplied and a plurality of output ports for discharging the supplied fluid, and is integrated with the first member. A second member having an air supply port to which pilot air is supplied, and a valve body sandwiched between the first member and the second member and made of a flexible member, The plurality of output ports are arranged at equal intervals from the center of the input port.
本発明によれば、単一の入力ポートと複数の出力ポートとの離間間隔がそれぞれ等しく設定されることにより、各出力ポートから排出される流体の流量を均一とすることができる。この結果、本発明では、複数の出力ポートから排出される流体の流量のバラツキを無くし、流量の安定化を達成することができる。 According to the present invention, the separation intervals between a single input port and a plurality of output ports are set equal to each other, so that the flow rate of fluid discharged from each output port can be made uniform. As a result, in the present invention, variations in the flow rate of the fluid discharged from the plurality of output ports can be eliminated, and the flow rate can be stabilized.
また、本発明によれば、弁体を間にして第1部材と第2部材とを一体的に結合するという簡単な構造で構成されることにより、製造工程が簡素化されて簡便に製造することができメンテナンス性能を向上させることができる。 Moreover, according to this invention, a manufacturing process is simplified and it manufactures simply by comprising by the simple structure of couple | bonding a 1st member and a 2nd member integrally with a valve body in between. Maintenance performance can be improved.
さらに、本発明によれば、単一の入力ポートと複数の出力ポートとの離間間隔がそれぞれ等しく設定されることにより、入力ポートと各出力ポートとを連通させる連通路を広く設定することができ、連通路内における塵埃等の目詰まりの発生を好適に回避することができる。 Furthermore, according to the present invention, the distance between the single input port and the plurality of output ports is set to be equal to each other, so that the communication path connecting the input port and each output port can be set widely. The occurrence of clogging such as dust in the communication path can be suitably avoided.
また、本発明は、前記弁体が、平板状の板体からなり、前記第1部材の内壁に形成された弁座に対して密着した状態で取り付けられることを特徴とする。 Further, the present invention is characterized in that the valve body is made of a flat plate and is attached in close contact with a valve seat formed on an inner wall of the first member.
本発明によれば、弁体が弁座に対して密着した状態で取り付けられることにより、弁体が弁座に着座した弁閉状態を、確実に且つ安定して保持することができる。この結果、本発明では、弁閉状態となったときに、例えば、弁体が弁座から離間して出力ポートから流体が飛び出すことを好適に回避することができる。 According to the present invention, the valve closed state in which the valve body is seated on the valve seat can be reliably and stably held by attaching the valve body in close contact with the valve seat. As a result, in the present invention, when the valve is closed, for example, it is possible to suitably avoid that the valve body is separated from the valve seat and the fluid is ejected from the output port.
さらに、本発明は、前記第2部材の内壁には、径方向に沿って延在し前記エア供給ポートに連通するエア排出流路が設けられることを特徴とする。この場合、エア排出流路は、エア供給ポートを中心として放射状に延在する複数の溝部によって形成されるとよい。 Furthermore, the present invention is characterized in that an air discharge passage extending along a radial direction and communicating with the air supply port is provided on the inner wall of the second member. In this case, the air discharge channel may be formed by a plurality of grooves extending radially around the air supply port.
本発明によれば、例えば、弁体が弁閉状態から弁開状態へ切り換えられたとき、パイロット室内に閉じ込められたパイロットエアの一部を、エア排出流路(溝部)を通じて排出することができる。この結果、本発明では、弁体の切換時において、パイロットエアが抜け切れない状態を好適に回避して流量の安定化を達成することができる。 According to the present invention, for example, when the valve body is switched from the valve closed state to the valve open state, a part of the pilot air confined in the pilot chamber can be discharged through the air discharge passage (groove portion). . As a result, in the present invention, when the valve body is switched, it is possible to suitably avoid the state where the pilot air cannot be completely removed, and to stabilize the flow rate.
さらにまた、本発明は、前記弁体と前記第2部材との間で閉塞されたパイロット室が形成され、前記エア供給ポートには、前記パイロット室内に供給されたパイロットエアを外部に排気する急速排気弁が設けられることを特徴とする。 Still further, according to the present invention, a closed pilot chamber is formed between the valve body and the second member, and the pilot air supplied into the pilot chamber is rapidly exhausted to the air supply port. An exhaust valve is provided.
本発明によれば、パイロットエアの供給が停止したとき、パイロット室内に残存するパイロットエアをパイロットエア供給源側へ戻すことがなく、急速排気弁の排気口を介して外部(大気中)へ排気することができる。この結果、本発明では、弁体の切換動作が瞬時に遂行され、弁体の応答速度を向上させることができる。 According to the present invention, when the supply of pilot air is stopped, the pilot air remaining in the pilot chamber is not returned to the pilot air supply source side, but is exhausted to the outside (in the atmosphere) through the exhaust port of the quick exhaust valve. can do. As a result, in the present invention, the switching operation of the valve body is performed instantaneously, and the response speed of the valve body can be improved.
本発明では、複数の出力ポートから出力される流体の流量のバラツキを無くし、流量の安定化を達成することが可能なバルブ装置を得ることができる。 According to the present invention, it is possible to obtain a valve device that can eliminate variations in the flow rate of fluid output from a plurality of output ports and achieve stabilization of the flow rate.
次に、本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態に係るバルブ装置が組み込まれた離型剤塗布システムの構成図である。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. FIG. 1 is a configuration diagram of a release agent coating system in which a valve device according to an embodiment of the present invention is incorporated.
図1に示されるように、離型剤塗布システム10は、例えば、水溶性の離型剤12が貯留された貯留槽14と、前記貯留槽14内の離型剤12を吸引して送出するポンプユニット16と、貯留槽14から吸引された離型剤12の圧力を所望の圧力に調圧するレギュレータ18a、18bと、本実施形態に係るバルブ装置20と、前記バルブ装置20から送給された離型剤12を金型22内の成形面に向かって塗布する複数のノズル24とを備える。
As shown in FIG. 1, the release
図2は、図1に示すバルブ装置の分解斜視図、図3(a)は、図2の矢印IIIa方向からみた矢視図、図3(b)は、図2の矢印IIIb方向からみた側面図、図4は、図2のIV−IV線に沿った縦断面図である。 2 is an exploded perspective view of the valve device shown in FIG. 1, FIG. 3 (a) is an arrow view seen from the direction of arrow IIIa in FIG. 2, and FIG. 3 (b) is a side view seen from the direction of arrow IIIb in FIG. 4 and 4 are longitudinal sectional views taken along the line IV-IV in FIG.
図2に示されるように、本実施形態に係るバルブ装置20は、第1部材30と第2部材32とがボルト34を介して一体的に結合されるバルブボディ36と、第1部材30と第2部材32との間に挟持され、例えば、ゴム等の可撓性部材からなる弁体38とによって構成される。
As shown in FIG. 2, the
第1部材30は円盤状の部材からなり、その中心部には単一の入力ポート40が形成される。前記入力ポート40の中心から半径外方向に等間隔離間する部位には、複数(本実施形態では、ノズル24の個数に対応して6個)の出力ポート42が形成される。換言すると、複数の出力ポート42の中心を結ぶ仮想線Sは、図3(b)に示されるように、単一の入力ポート40を中心とする単一の円として形成されている。また、6個の出力ポート42は、周方向に沿って等角度離間して円弧状に配置されている。この場合、単一の入力ポート40及び6つの出力ポート42は、第1部材30の円形状からなる一側面上(同一平面上)にそれぞれ配置される。
The
なお、本実施形態では、複数の出力ポート42を配置した一例を図3(b)に示しているが、これに限定されるものではなく、複数の出力ポート42が、入力ポート40の中心から等間隔離間して配置されていればよい。また、複数の出力ポート42は、周方向に沿った離間角度がそれぞれ異なるように配置されてもよい。
In the present embodiment, an example in which a plurality of
単一の入力ポート40は、図1に示されるように、チューブ等の管路44aを介してポンプユニット16に接続され、ポンプユニット16から離型剤12が供給される。また、複数の出力ポート42は、チューブ等の複数の管路44bを介して複数のノズル24に接続され、各出力ポート42から排出された離型剤12が各ノズル24から金型22内の成形面に向かって塗布される。
As shown in FIG. 1, the
第1部材30の内壁には、図3(a)に示されるように、弁体38が着座する弁座46が形成され、前記弁座46は平坦面からなる。この場合、弁体38は、パイロットエアが供給されていない通常時において、弁座46に着座(密着)した状態で取り付けられ、単一の入力ポート40と複数の出力ポート42との連通が遮断されたノーマルクローズタイプのバルブで構成される。
As shown in FIG. 3A, a
また、第1部材30の内壁には、図3(a)及び図4に示されるように、弁体38の厚さ及び外径形状に対応する円形状凹部48が形成される。
Further, as shown in FIGS. 3A and 4, a circular
図2に戻って、第2部材32は円盤状の部材からなり、その中心部には、図示しないパイロットエア供給源からパイロットエアが供給されるエア供給ポート50が設けられる。前記エア供給ポート50は、第1部材30側の入力ポート40と対向し、且つ、同軸状に配置される。
Returning to FIG. 2, the
図4に示されるように、第2部材32の内壁には、弁体38の外径よりも縮径した環状凹部52が形成され、この環状凹部52によって弁体38と第2部材32の内壁との間で閉塞されたパイロット室54が形成される。この場合、エア供給ポート50から供給されたパイロットエアは、パイロット室54内に導入され、パイロットエア圧の作用によって弁体38が弁座46に向かって着座する方向に押圧される。
As shown in FIG. 4, an
また、パイロット室54に臨む第2部材32の内壁には、エア供給ポート50に連通し、前記エア供給ポート50を起点として半径外方向に放射状に延在する複数の溝部56が形成される(図2参照)。この複数の溝部56は、弁体38が変位して弁閉状態から弁開状態へ切り換わったとき、パイロット室54内の一部に残存するパイロットエアをパイロット室54から排出するエア排出流路として機能するものである。この点については、後記で詳細に説明する。
In addition, a plurality of
本実施形態に係るバルブ装置20が組み込まれた離型剤塗布システム10は、基本的に以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
The release
図5は、バルブ装置の動作を示す縦断面図であり、(a)は、弁閉状態を示し、(b)は、弁開状態を示している。
図5(a)に示されるように、図示しないパイロットエア供給源からのパイロットエアがエア供給ポート50を介してパイロット室54内に導入され、このパイロットエアの作用によって弁体38を弁座46側に向かって押圧する力(矢印参照)が発生する。この場合、ポンプユニット16から送給された離型剤12が入力ポート40から供給されているが、パイロットエアの圧力(パイロット圧)が入力ポート40に供給される離型剤12の供給圧力よりも大きくなるように予め設定されているため、弁体38が弁座46に着座した弁閉状態に保持される。この結果、単一の入力ポート40と複数の出力ポート42との連通が遮断された弁閉状態となり、複数の出力ポート42からノズル24側へ離型剤12の供給が停止されている。
FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing the operation of the valve device, where (a) shows the valve closed state and (b) shows the valve open state.
As shown in FIG. 5A, pilot air from a pilot air supply source (not shown) is introduced into the
続いて、図5(b)に示されるように、図示しない遮断弁を作動させてエア供給ポート50に対するパイロットエアの供給を停止した場合、弁体38を弁座46側に向かって押圧する力に対して入力ポート40に供給される離型剤12の供給圧力が打ち勝つことにより、弁体38が撓曲して弁座46から離間する。弁体38が弁座46から離間することによって弁体38と弁座46との間にクリアランス(連通路)が発生し、このクリアランスを介して、単一の入力ポート40とその入力ポート40の外周側に配置された複数の出力ポート42とが連通する。
Subsequently, as shown in FIG. 5B, when a shutoff valve (not shown) is operated to stop the supply of pilot air to the
従って、単一の入力ポート40と複数の出力ポート42とが連通した弁開状態となり、複数の出力ポート42から各ノズル24に向かって離型剤12が供給される。この結果、各ノズル24から金型22の成形面に向かって同時に、且つ、同量の離型剤12が塗布される。
Accordingly, the
次に、第2部材32の内壁に設けられた溝部56の作用効果について説明する。
図6(a)は、溝部が設けられていない比較例の説明図、図6(b)は、本実施形態に係るバルブ装置に設けられた溝部の説明図である。なお、図6(a)に示される比較例では、溝部56を除いて本実施形態に係るバルブ装置20と同一に構成されており、同一の構成要素には同一の参照符号を付して以下説明する。
Next, the function and effect of the
FIG. 6A is an explanatory view of a comparative example in which no groove is provided, and FIG. 6B is an explanatory view of the groove provided in the valve device according to the present embodiment. In addition, in the comparative example shown by Fig.6 (a), except the
比較例では、図6(a)に示されるように、弁体38が弁閉状態から弁開状態に切り換わったとき、第2部材32の内壁に当接する弁体38との間でパイロット室54の一部が閉塞され、この閉塞されたパイロット室54の一部に抜けきらないパイロットエア(網点部分参照)が残存するおそれがある。このパイロット室54内に残存するパイロットエアは、弁体38が撓曲して第2部材32の内壁に当接すると逃げ道がなくなり、エアクッションの作用をして弁体38の作動を妨げるという不具合が発生する。
In the comparative example, as shown in FIG. 6A, when the
これに対して、本実施形態では、図6(b)に示されるように、中心部に配置されたエア供給ポート50と連通する溝部56を形成することにより、弁体38が弁閉状態から弁開状態に切り換わったとき、第2部材32の内壁に当接する弁体38との間でパイロット室54が閉塞されるような場合であっても、エア供給ポート50に連通する溝部56を通じてパイロットエアを好適に逃がすことができる。
On the other hand, in this embodiment, as shown in FIG. 6B, by forming a
このように、本実施形態では、パイロットエアの逃げ道として機能する溝部56を設けることにより、弁体38の弁状態の切換時においてパイロット室54内に充填されたパイロットエアを完全に排出する(抜けきる)ことができ、上記のような不具合の発生を好適に回避することができる。
Thus, in this embodiment, by providing the
なお、溝部56の径方向の長さ及び深さは、パイロット室54の容量やパイロット室54から逃がすパイロットエア量との関係で、適宜設定されるものとする。
The length and depth in the radial direction of the
本実施形態では、単一の入力ポート40と複数の出力ポート42との離間間隔がそれぞれ等しく設定されることにより、各出力ポート42から排出される離型剤(流体)の流量を均一とすることができる。従って、本実施形態では、複数の出力ポート42から排出される離型剤の流量のバラツキを無くし、流量の安定化を達成することができる。この結果、本実施形態では、各ノズル24から離型剤を同時に且つ同量だけ金型の成形面に向かって吐出することにより、金型22に塗布された膜厚の均一化及び安定化を図ることができる。
In the present embodiment, the separation intervals between the
また、本実施形態では、弁体38を間にして第1部材30と第2部材32とを一体的に結合するという簡単な構造で構成されることにより、製造工程が簡素化されて簡便に製造することができメンテナンス性能を向上させることができる。
Further, in the present embodiment, since the
さらに、本実施形態では、単一の入力ポート40と複数の出力ポート42との離間間隔がそれぞれ等しく設定されることにより、入力ポート40と各出力ポート42とを連通させるクリアランス(連通路)を広く設定することができ、クリアランス内における塵埃等の目詰まりの発生を好適に回避することができる。
Further, in the present embodiment, the clearances (communication paths) that allow the
さらにまた、本実施形態では、弁体38が弁座46に対して密着した状態で取り付けられることにより、弁体38が弁座46に着座した弁閉状態を、確実に且つ安定して保持することができる。この結果、本実施形態では、弁閉状態となったときに、例えば、弁体38が弁座46から離間(変位)して出力ポート42から流体が飛び出すことを好適に回避することができる。
Furthermore, in the present embodiment, the
次に、本発明の他の実施形態に係るバルブ装置20aを図7に示す。
この他の実施形態に係るバルブ装置20aでは、エア供給ポート50に、パイロット室54内に供給されたパイロットエアを瞬時に排気する急速排気弁60が設けられている点に特徴がある。
Next, a
The
すなわち、パイロットエアの供給が停止して弁体38が弁閉状態(図5(a)参照)から弁開状態(図5(b)参照)へ切り換わったとき、パイロット室54内に残存するパイロットエアを、図示しないパイロットエア供給源側へ戻すことがなく、急速排気弁60の排気口を介して外部(大気中)へ排気することができる。
That is, when the supply of pilot air is stopped and the
この結果、急速排気弁60を設けることによって、弁体38の弁閉状態から弁開状態への切換動作が瞬時に遂行され、弁体38の応答速度を向上させることができる。急速排気弁60としては、例えば、ダイヤフラムタイプやプランジャ弁タイプが用いられるとよい。
As a result, by providing the
なお、その他の作用効果は、前記実施形態に係るバルブ装置20と同一であるため、その詳細な説明を省略する。
In addition, since the other effect is the same as the
20、20a バルブ装置
30 第1部材
32 第2部材
38 弁体
40 入力ポート
42 出力ポート
46 弁座
50 エア供給ポート
54 パイロット室
56 溝部
60 急速排気弁
20,
Claims (5)
前記第1部材と一体的に結合され、パイロットエアが供給されるエア供給ポートを有する第2部材と、
前記第1部材と前記第2部材との間に挟持され、可撓性部材からなる弁体と、
を備え、
前記複数の出力ポートは、前記入力ポートの中心から等間隔離間して配置されることを特徴とするバルブ装置。 A first member having a single input port to which a fluid is supplied and a plurality of output ports for discharging the supplied fluid;
A second member integrally connected to the first member and having an air supply port to which pilot air is supplied;
A valve body sandwiched between the first member and the second member and made of a flexible member;
With
The valve device, wherein the plurality of output ports are arranged at equal intervals from the center of the input port.
前記弁体は、平板状の板体からなり、前記第1部材の内壁に形成された弁座に対して密着した状態で取り付けられることを特徴とするバルブ装置。 The valve device according to claim 1, wherein
The said valve body consists of a flat plate body, and is attached in the state closely_contact | adhered with respect to the valve seat formed in the inner wall of the said 1st member.
前記第2部材の内壁には、径方向に沿って延在し前記エア供給ポートに連通するエア排出流路が設けられることを特徴とするバルブ装置。 The valve device according to claim 1 or 2,
The valve device according to claim 1, wherein an air discharge passage that extends along a radial direction and communicates with the air supply port is provided on an inner wall of the second member.
前記エア排出流路は、前記エア供給ポートを中心として放射状に延在する複数の溝部からなることを特徴とするバルブ装置。 The valve device according to claim 3,
The valve device according to claim 1, wherein the air discharge channel includes a plurality of grooves extending radially around the air supply port.
前記弁体と前記第2部材との間で閉塞されたパイロット室が形成され、
前記エア供給ポートには、前記パイロット室内に供給されたパイロットエアを外部に排気する急速排気弁が設けられることを特徴とするバルブ装置。 The valve device according to any one of claims 1 to 4,
A closed pilot chamber is formed between the valve body and the second member,
The air supply port is provided with a quick exhaust valve for exhausting pilot air supplied into the pilot chamber to the outside.
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5213132A (en) * | 1975-07-21 | 1977-02-01 | Toyota Motor Co Ltd | Control valve by disc spring |
JPS541223U (en) * | 1977-06-06 | 1979-01-06 | ||
JPH04131574A (en) * | 1990-09-19 | 1992-05-06 | Hitachi Ltd | Driving part partition wall type multiple valve |
JPH08511853A (en) * | 1993-06-17 | 1996-12-10 | ベックランド、イングヴァー | Diaphragm valve |
JPH11347395A (en) * | 1999-05-10 | 1999-12-21 | Ckd Corp | Vacuum pressure control system |
JP2009156454A (en) * | 2007-12-28 | 2009-07-16 | Star Micronics Co Ltd | Check valve |
-
2011
- 2011-09-06 JP JP2011193933A patent/JP5726684B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5213132A (en) * | 1975-07-21 | 1977-02-01 | Toyota Motor Co Ltd | Control valve by disc spring |
JPS5817910B2 (en) * | 1975-07-21 | 1983-04-09 | トヨタ自動車株式会社 | Disc spring control valve |
JPS541223U (en) * | 1977-06-06 | 1979-01-06 | ||
JPH04131574A (en) * | 1990-09-19 | 1992-05-06 | Hitachi Ltd | Driving part partition wall type multiple valve |
JPH08511853A (en) * | 1993-06-17 | 1996-12-10 | ベックランド、イングヴァー | Diaphragm valve |
US5706859A (en) * | 1993-06-17 | 1998-01-13 | Robovalve Ab | Diaphragm valve |
JPH11347395A (en) * | 1999-05-10 | 1999-12-21 | Ckd Corp | Vacuum pressure control system |
JP2009156454A (en) * | 2007-12-28 | 2009-07-16 | Star Micronics Co Ltd | Check valve |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5726684B2 (en) | 2015-06-03 |
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