JP2013014465A - Glass substrate for flat panel display and method for manufacturing the same - Google Patents

Glass substrate for flat panel display and method for manufacturing the same Download PDF

Info

Publication number
JP2013014465A
JP2013014465A JP2011147757A JP2011147757A JP2013014465A JP 2013014465 A JP2013014465 A JP 2013014465A JP 2011147757 A JP2011147757 A JP 2011147757A JP 2011147757 A JP2011147757 A JP 2011147757A JP 2013014465 A JP2013014465 A JP 2013014465A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass substrate
lubricant
main surface
glass
flat panel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2011147757A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuaki Ogura
一晃 小倉
Ko Hamagami
耕 濱上
Hi Yon Fan
ヨン ファン,ヒ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Avanstrate Inc
Avanstrate Korea Inc
Original Assignee
Avanstrate Inc
Avanstrate Korea Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Avanstrate Inc, Avanstrate Korea Inc filed Critical Avanstrate Inc
Priority to JP2011147757A priority Critical patent/JP2013014465A/en
Publication of JP2013014465A publication Critical patent/JP2013014465A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a glass substrate for a flat panel display, which can prevent breakage from occurring in a flat panel display manufacturing process, and to provide a method for manufacturing the glass substrate.SOLUTION: The glass substrate for a flat panel display has first and second principal surfaces opposite to each other in the thickness direction and has a lubricant adhering only to the second principal surface. The lubricant is disposed to lie, between the second principal surface and a conveyance member which conveys the glass substrate for a flat panel display, when the glass substrate for a flat panel display is conveyed in a flat panel display manufacturing process.

Description

本発明は、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a glass substrate for a flat panel display and a manufacturing method thereof.

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造には、厚さが例えば0.1〜1.5mmである薄いガラス基板が用いられる。近年では、フラットパネルディスプレイの大型化が進んでおり、これに伴って、例えば、サイズが2200mm×2500mmのガラス基板が用いられる。   For the production of flat panel displays such as liquid crystal displays and plasma displays, a thin glass substrate having a thickness of, for example, 0.1 to 1.5 mm is used. In recent years, the flat panel display has been increased in size, and accordingly, for example, a glass substrate having a size of 2200 mm × 2500 mm is used.

このようなガラス基板は、多数のガラス基板を積層してなる積層体が梱包装置に収納されて一度に納入先に搬送される。納入先では、Si薄膜等をガラス基板に成膜することによって、半導体素子等がガラス基板に形成される。   In such a glass substrate, a laminated body formed by laminating a large number of glass substrates is accommodated in a packaging device and conveyed to a delivery destination at a time. At the delivery destination, a semiconductor element or the like is formed on the glass substrate by forming a Si thin film or the like on the glass substrate.

一般的に、ガラス基板を搬送する際には、互いに隣接するガラス基板の接触によってガラス基板の表面に傷が付くことを防止することにより、フラットパネルディスプレイの製造工程に複数のガラス基板を安定して供給することができ、フラットパネルディスプレイの製造効率を向上させることができる。ガラス基板の表面に傷が付くことを防止するためには、保護紙や保護フィルム等の保護シートがガラス基板間に挟められる。   In general, when transporting glass substrates, the surface of the glass substrate is prevented from being scratched by contact between adjacent glass substrates, thereby stabilizing the plurality of glass substrates in the flat panel display manufacturing process. And the production efficiency of the flat panel display can be improved. In order to prevent the surface of the glass substrate from being damaged, a protective sheet such as a protective paper or a protective film is sandwiched between the glass substrates.

また、ガラス基板が納入先に搬送される際にガラス基板の表面に傷が付くことを防止するための他の方法が提案されている(特許文献1)。当該方法は、ガラス基板の表面を保護するための滑剤を含んだ紙またはフィルムをガラス基板の表面に押圧して、滑剤をガラス基板の表面に転写させる。ガラス基板の表面に転写された滑剤は、複数のガラス基板を搬送する際に、隣接するガラス基板が接触することによって、ガラス基板の表面に傷が生じるのを抑制するようになっている。   In addition, another method has been proposed for preventing the surface of the glass substrate from being damaged when the glass substrate is conveyed to a delivery destination (Patent Document 1). In this method, a paper or film containing a lubricant for protecting the surface of the glass substrate is pressed against the surface of the glass substrate, and the lubricant is transferred to the surface of the glass substrate. The lubricant transferred to the surface of the glass substrate suppresses the surface of the glass substrate from being damaged when the adjacent glass substrates come into contact with each other when the plurality of glass substrates are conveyed.

特開2011−46586号公報JP 2011-46586 A

ところで、納入先に搬送される際にガラス基板の表面に傷が付くことを防ぐ方法については、前記特許文献に記載された技術の他にも様々な工夫がなされているが、納入先にてフラットパネルディスプレイの製造工程が実施される際にガラス基板が破損することを防ぐ方法については知られていない。例えば、前記特許文献1に記載された技術では、ガラス基板に転写された滑剤を洗浄工程において容易に除去するようになっているので、洗浄工程後に、例えば搬送ローラや突き上げピン等の搬送部材を用いてガラス基板が搬送される際、搬送部材がガラス基板に直接接触することにより、ガラス基板に傷が付き、さらにはガラス基板が破断するおそれがある。   By the way, regarding the method for preventing the surface of the glass substrate from being damaged when being transported to the delivery destination, in addition to the technique described in the above-mentioned patent document, various ideas have been made. There is no known method for preventing the glass substrate from being damaged when the manufacturing process of the flat panel display is carried out. For example, in the technique described in Patent Document 1, the lubricant transferred to the glass substrate is easily removed in the cleaning process. Therefore, after the cleaning process, for example, a transport member such as a transport roller or a push-up pin is used. When the glass substrate is used and conveyed, the conveying member directly contacts the glass substrate, so that the glass substrate may be damaged and the glass substrate may be broken.

そこで、本発明は、フラットパネルディスプレイの製造工程において破損が生じるのを防ぐことができるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその製造方法を提供することを目的とする。   Then, an object of this invention is to provide the glass substrate for flat panel displays which can prevent that a breakage arises in the manufacturing process of a flat panel display, and its manufacturing method.

本発明の一態様は、板厚方向に対向する第1及び第2の主面を有し、且つ、第2の主面のみに滑剤が付着したフラットパネルディスプレイ用ガラス基板である。当該フラットパネルディスプレイ用ガラス基板は、
前記滑剤が、フラットパネルディスプレイの製造工程において前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板が搬送されるときに、前記第2の主面と、前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板を搬送する搬送部材との間に介在するように設けられる。
One embodiment of the present invention is a glass substrate for a flat panel display having first and second main surfaces opposed to each other in the plate thickness direction and having a lubricant attached only to the second main surface. The flat panel display glass substrate is
The lubricant is interposed between the second main surface and a conveying member that conveys the flat panel display glass substrate when the flat panel display glass substrate is conveyed in the manufacturing process of the flat panel display. To be provided.

前記滑剤は、前記第2の主面の領域のうち前記搬送部材と接触する領域に付着されている、ことが好ましい。
また、前記第2の主面の領域のうち前記搬送部材と接触する領域の形状に形成された、不水溶性材料からなる部材を、前記滑剤を覆うように設ける、ことが好ましい。
It is preferable that the lubricant is attached to a region in contact with the conveying member in the region of the second main surface.
Moreover, it is preferable that a member made of a water-insoluble material formed in a shape of a region in contact with the conveying member in the region of the second main surface is provided so as to cover the lubricant.

本発明の他の態様は、板厚方向に対向する第1及び第2の主面を有し、且つ、第2の主面のみに滑剤が付着したフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法である。当該製造方法は、
前記滑剤を、フラットパネルディスプレイの製造工程において前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板が搬送されるときに、前記第2の主面と、前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板を搬送する搬送部材との間に介在するように付着する付着工程を含む。
また、オーバーフローダウンドロー法を用いてガラスリボンを成形する成形工程と、成形工程後のガラスリボンを採板することによりガラス基板を得る採板工程とを含む、ことが好ましい。
Another aspect of the present invention is a method for producing a glass substrate for a flat panel display, which has first and second main surfaces opposed to each other in the plate thickness direction, and having a lubricant attached only to the second main surface. . The manufacturing method is
When the flat panel display glass substrate is transported in the flat panel display manufacturing process, the lubricant is interposed between the second main surface and a transport member that transports the flat panel display glass substrate. An adhesion process for adhering.
Moreover, it is preferable to include the shaping | molding process which shape | molds a glass ribbon using the overflow downdraw method, and the plate-making process which obtains a glass substrate by plate-making the glass ribbon after a shaping | molding process.

上記態様のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその製造方法によれば、フラットパネルディスプレイの製造工程において破損が生じるのを防ぐことができる。   According to the glass substrate for flat panel displays of the said aspect and its manufacturing method, it can prevent that a breakage arises in the manufacturing process of a flat panel display.

本実施形態のガラス基板を収納する梱包装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the packing apparatus which accommodates the glass substrate of this embodiment. ガラス基板の製造方法のフローの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the flow of the manufacturing method of a glass substrate. ガラス基板の第2の主面の要部拡大斜視図である。It is a principal part expansion perspective view of the 2nd main surface of a glass substrate. 滑剤が付着されたガラス基板を説明する図である。It is a figure explaining the glass substrate to which the lubricant was adhered. (a)は、吸着テーブルの載置面におけるガラス基板の載置状態を示す図であり、(b)は、ガラス基板が吸着テーブルから離間したときの状態を示す図である。(A) is a figure which shows the mounting state of the glass substrate in the mounting surface of an adsorption | suction table, (b) is a figure which shows a state when a glass substrate leaves | separates from the adsorption | suction table. 滑剤の付着態様を説明する図である。It is a figure explaining the adhesion aspect of a lubricant. 滑剤の付着方法の一例を説明する図である。It is a figure explaining an example of the adhesion method of a lubricant. 滑剤の付着方法の一例を説明する図である。It is a figure explaining an example of the adhesion method of a lubricant. ガラス基板と保護紙との配置を説明する図である。It is a figure explaining arrangement | positioning of a glass substrate and protective paper. ガラス基板と保護シートとの配置を説明する図である。It is a figure explaining arrangement | positioning with a glass substrate and a protective sheet.

以下、本発明のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板(以下、ガラス基板という)及びその製造方法について説明する。   Hereinafter, the glass substrate for flat panel displays of the present invention (hereinafter referred to as a glass substrate) and the manufacturing method thereof will be described.

図1は、本実施形態のガラス基板20を収納する梱包装置100を示す図である。
梱包装置100は、複数のガラス基板20を板厚方向に積層してなる積層体10を梱包するために用いられる装置である。
梱包装置100は、支持台110と、コンテナ筐体120と、を有する。支持台110は、積層体10を支持し固定する。コンテナ筐体120は、支持台110に固定された積層体10を、支持台110と共に覆う。なお、梱包装置の構成は上記のものに限定されない。
積層体10を構成する複数のガラス基板20は、例えば、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機EL(Electro-Luminescence)ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造に使用される。
FIG. 1 is a diagram showing a packaging device 100 that houses the glass substrate 20 of the present embodiment.
The packing apparatus 100 is an apparatus used for packing a laminated body 10 formed by laminating a plurality of glass substrates 20 in the plate thickness direction.
The packing apparatus 100 includes a support base 110 and a container housing 120. The support base 110 supports and fixes the laminated body 10. The container housing 120 covers the stacked body 10 fixed to the support base 110 together with the support base 110. The configuration of the packaging device is not limited to the above.
A plurality of glass substrates 20 constituting layered product 10 are used for manufacture of flat panel displays, such as a liquid crystal display, a plasma display, and an organic EL (Electro-Luminescence) display, for example.

(ガラス基板の概略説明)
以下、ガラス基板20の概略を説明する。
ガラス基板20の厚さは、0.1〜1.5mmであり、好ましい厚さの上限値は、1.1mm、0.7mm、0.5mmであり、最も好ましい上限値は0.4mmである。ここで、ガラス基板20の厚さが薄いほど、ガラス基板20自体の強度は低下する。そのため、フラットパネルディスプレイの製造工程において、ガラス基板20の板厚方向が鉛直方向に沿った状態でガラス基板20を搬送する際に、例えばガラス基板20の厚さが0.5mm以下の場合には、後述するように、ガラス基板20の破断の問題が顕著となる。
そこで、本実施形態のガラス基板20には、後述するように、滑剤30(図4参照)が付着される。滑剤30がガラス基板20に付着されることにより、ガラス基板20の厚さが0.5mm以下の場合であっても、ガラス基板20の搬送時におけるガラス基板20の破断を防止するという顕著な効果を有する。一方、好ましい厚さの下限値は、0.2mmである。
(Schematic description of glass substrate)
Hereinafter, an outline of the glass substrate 20 will be described.
The thickness of the glass substrate 20 is 0.1 to 1.5 mm, and the upper limit value of the preferable thickness is 1.1 mm, 0.7 mm, and 0.5 mm, and the most preferable upper limit value is 0.4 mm. . Here, the thinner the glass substrate 20 is, the lower the strength of the glass substrate 20 itself is. Therefore, in the manufacturing process of the flat panel display, when the glass substrate 20 is transported in a state where the thickness direction of the glass substrate 20 is along the vertical direction, for example, when the thickness of the glass substrate 20 is 0.5 mm or less As will be described later, the problem of breakage of the glass substrate 20 becomes significant.
Therefore, a lubricant 30 (see FIG. 4) is attached to the glass substrate 20 of the present embodiment, as will be described later. By attaching the lubricant 30 to the glass substrate 20, even if the thickness of the glass substrate 20 is 0.5 mm or less, the remarkable effect of preventing the glass substrate 20 from being broken during the conveyance of the glass substrate 20. Have On the other hand, the lower limit of the preferred thickness is 0.2 mm.

また、ガラス基板20のサイズは、500〜2500mm×2500〜3500mm(短手方向長さ×長手方向長さ)である。なお、ガラス基板20のサイズが大きくなるほどガラス基板20の自重が大きくなるため、フラットパネルディスプレイの製造工程において、ガラス基板20の板厚方向が鉛直方向に沿った状態でガラス基板20を搬送する際に、ガラス基板20の自重によってガラス基板20が破断するという問題が顕著となる。この問題20は、ガラス基板の短手方向の長さが2000mmを超えると顕著となる。
一方、本実施形態のガラス基板20では、滑剤が付着されているため、ガラス基板20の短手方向の長さが2000mm以上、特に2500mm以上であっても、ガラス基板20の搬送時におけるガラス基板20の破断を防止するという顕著な効果を有する。
Moreover, the size of the glass substrate 20 is 500-2500 mm x 2500-3500 mm (short direction length x long direction length). In addition, since the weight of the glass substrate 20 increases as the size of the glass substrate 20 increases, when the glass substrate 20 is transported in a state in which the thickness direction of the glass substrate 20 is along the vertical direction in the flat panel display manufacturing process. In addition, the problem that the glass substrate 20 is broken due to its own weight becomes significant. This problem 20 becomes significant when the length of the glass substrate in the short direction exceeds 2000 mm.
On the other hand, in the glass substrate 20 of the present embodiment, since the lubricant is adhered, the glass substrate 20 is transported when the glass substrate 20 is transported even when the length in the short direction of the glass substrate 20 is 2000 mm or more, particularly 2500 mm or more. It has a remarkable effect of preventing 20 breakage.

ガラス基板20の種類は、ボロシリケイトガラス、アルミノシリケイトガラス、アルミノボロシリケイトガラス、ソーダライムガラス、アルカリシリケイトガラス、アルカリアルミノシリケイトガラス、アルカリアルミノゲルマネイトガラス等が挙げられる。なお、液晶ディスプレイ用ガラス基板や有機ELディスプレイ用ガラス基板としては、アルカリを実質的に含有しない、あるいはアルカリを極微量しか含有しないガラス基板を適用することが好ましい。   Examples of the glass substrate 20 include borosilicate glass, aluminosilicate glass, aluminoborosilicate glass, soda lime glass, alkali silicate glass, alkali aluminosilicate glass, and alkali aluminogermanate glass. In addition, as a glass substrate for liquid crystal displays and a glass substrate for organic EL displays, it is preferable to apply a glass substrate that contains substantially no alkali or contains only a very small amount of alkali.

本実施形態のガラス基板20は、液晶ディスプレイ用であり、図4に示すように、板厚方向に対向する第1の主面22と第2の主面24とを有している。第1の主面22は、液晶ディスプレイに用いられる半導体素子アレイ又はカラーフィルタなどの薄膜が形成される平滑な面であり、第2の主面24は、偏光フィルタが形成される平滑な面である。また、第2の主面24には、偏光フィルタが形成される前に、後述する滑剤30(図4参照)が付着される。   The glass substrate 20 of the present embodiment is for a liquid crystal display, and has a first main surface 22 and a second main surface 24 that face each other in the plate thickness direction as shown in FIG. The first main surface 22 is a smooth surface on which a thin film such as a semiconductor element array or a color filter used in a liquid crystal display is formed, and the second main surface 24 is a smooth surface on which a polarizing filter is formed. is there. Further, a lubricant 30 (see FIG. 4) described later is attached to the second main surface 24 before the polarizing filter is formed.

ガラス基板20は、例えば、下記に示す組成からなる。下記括弧内に記載された数値は好ましい組成比率である。下記組成比率の%表示はいずれも質量%を意味する。
SiO:50〜70%(57〜64%)、
Al:5〜25%(12〜18%)、
:0〜15%(6〜13%)。
なお、下記に示す組成を任意に含んでもよい。
MgO:0〜10%(0.5〜4%)、
CaO:0〜20%(3〜7%)、
SrO:0〜20%(0.5〜8%、より好ましくは3〜7%)、
BaO:0〜10%(0〜3%、より好ましくは0〜1%)、
ZrO:0〜10%(0〜4%,より好ましくは0〜1%)。
また、上記の組成のうち、特に、SiO:50〜70%、B:5〜18%、Al:10〜25%、MgO:0〜10%、CaO:0〜20%、SrO:0〜20%、BaO:0〜10%、RO:5〜20%(ただし、RはMg、Ca、SrおよびBaから選ばれる少なくとも1種である)を含有することが好ましい。
さらに、R’O:0.20%を超え2.0%以下(ただし、R’はLi、NaおよびKから選ばれる少なくとも1種である)を含むことがより好ましい。
さらにまた、清澄剤を合計で0.05〜1.5%含み、As、Sb及びPbOを実質的に含まないことが好ましい。As、Sb及びPbOは、ガラスを清澄する効果を有する物質ではあるが、環境負荷が大きい物質であるためである。ここで、実質的に含まないとは、質量%が0.01%未満であって、不純物を除き意図的に含有させないことを意味する。
また、ガラス中の酸化鉄の含有量が0.01〜0.2%であることが好ましい。
The glass substrate 20 has a composition shown below, for example. The numerical value described in the following parenthesis is a preferable composition ratio. In the following composition ratios,% means mass%.
SiO 2: 50~70% (57~64% ),
Al 2 O 3: 5~25% ( 12~18%),
B 2 O 3: 0~15% ( 6~13%).
In addition, you may include arbitrarily the composition shown below.
MgO: 0 to 10% (0.5 to 4%),
CaO: 0 to 20% (3 to 7%),
SrO: 0 to 20% (0.5 to 8%, more preferably 3 to 7%),
BaO: 0 to 10% (0 to 3%, more preferably 0 to 1%),
ZrO 2 : 0 to 10% (0 to 4%, more preferably 0 to 1%).
Further, among the above compositions, in particular, SiO 2: 50~70%, B 2 O 3: 5~18%, Al 2 O 3: 10~25%, MgO: 0~10%, CaO: 0~20 %, SrO: 0 to 20%, BaO: 0 to 10%, RO: 5 to 20% (wherein R is at least one selected from Mg, Ca, Sr and Ba).
Furthermore, it is more preferable that R ′ 2 O: more than 0.20% and 2.0% or less (provided that R ′ is at least one selected from Li, Na, and K).
Furthermore, it is preferable that 0.05 to 1.5% of the refining agent is contained in total, and As 2 O 3 , Sb 2 O 3 and PbO are not substantially contained. This is because As 2 O 3 , Sb 2 O 3 and PbO are substances having an effect of clarifying glass, but are substances having a large environmental load. Here, “substantially not contained” means that the mass% is less than 0.01% and is not intentionally contained except for impurities.
Moreover, it is preferable that content of the iron oxide in glass is 0.01 to 0.2%.

(各成分)
SiOはガラス基板のガラスの骨格をなす成分であり、ガラスの化学的耐久性と耐熱性を高める効果を有している。SiOの含有率が低すぎる場合には化学的耐久性と耐熱性の効果が十分に得られず、SiOの含有率が高すぎるとガラスが失透を起こしやすくなり、成形が困難になるとともに、粘性が上昇してガラスの均質化が困難になる。
(Each component)
SiO 2 is a component constituting the glass skeleton of the glass substrate, and has the effect of increasing the chemical durability and heat resistance of the glass. If the content of SiO 2 is too low, the effects of chemical durability and heat resistance cannot be obtained sufficiently, and if the content of SiO 2 is too high, the glass tends to be devitrified, making molding difficult. At the same time, the viscosity increases and it becomes difficult to homogenize the glass.

Alはガラスの骨格をなす成分であり、ガラスの化学的耐久性と耐熱性を高める効果を有している。また、Alは、ガラスのエッチング速度を高める効果も有している。Alの含有率が低すぎる場合にはガラスの化学的耐久性と耐熱性の効果が十分に得られない。一方、Alの含有率が高すぎると、ガラスの粘性が上昇して溶解が困難になるとともに、耐酸性が低下する。 Al 2 O 3 is a component that forms a glass skeleton, and has an effect of increasing the chemical durability and heat resistance of the glass. Al 2 O 3 also has the effect of increasing the glass etching rate. When the content of Al 2 O 3 is too low, the effects of chemical durability and heat resistance of the glass cannot be obtained sufficiently. On the other hand, when the content ratio of Al 2 O 3 is too high, the viscosity of the glass increases to make it difficult to dissolve, and the acid resistance decreases.

はガラスの粘性を下げて、ガラスの熔解及び清澄を促進する成分である。Bの含有率が低すぎると、ガラスの耐酸性が低下するためガラスの均質化が困難になる。 B 2 O 3 is a component that lowers the viscosity of the glass and promotes melting and clarification of the glass. If the content of B 2 O 3 is too low, the acid resistance of the glass is lowered, so that it is difficult to homogenize the glass.

MgO及びCaOは、ガラスの粘性を下げて、ガラスの熔解及び清澄を促進する成分である。また、MgおよびCaは、アルカリ土類金属の中ではガラスの密度を上昇させる割合が小さいため、得られるガラスを軽量化しつつ熔解性を向上するためには有利な成分である。ただし、MgO及びCaOの含有率が高くなりすぎると、ガラスの化学的耐久性が低下する。   MgO and CaO are components that lower the viscosity of the glass and promote glass melting and fining. Further, Mg and Ca are advantageous components for improving the meltability while reducing the weight of the obtained glass because the ratio of increasing the density of the glass is small in the alkaline earth metal. However, when the content rate of MgO and CaO becomes too high, the chemical durability of glass will fall.

SrO及びBaOは、ガラスの粘性を下げて、ガラスの熔解及び清澄を促進する成分である。また、ガラス原料の酸化性を高めて清澄性を高める成分でもある。ただし、SrO及びBaOの含有率が高くなりすぎると、ガラスの密度が上昇し、ガラス板の軽量化が図れないととともに、ガラスの化学的耐久性が低下する。   SrO and BaO are components that lower the viscosity of the glass and promote glass melting and fining. Moreover, it is also a component which improves the oxidizability of a glass raw material and improves clarity. However, if the content of SrO and BaO becomes too high, the density of the glass increases, the weight of the glass plate cannot be reduced, and the chemical durability of the glass decreases.

Oは、ガラスの高温粘度を低下させて、ガラスの熔解性や成形性を向上させると同時に、耐失透性を改善する成分である。KOの含有率が低すぎると、ガラスの熔解性が低下するため、ガラスの熔解工程にかかるコストが高くなる。また、ガラスの耐失透性が低下してガラスが失透しやすくなるため、後述するガラスの成形工程においてダウンドロー法を利用することが困難になる。一方、KOの含有率が高くなりすぎると、ガラスバランス悪化による耐失透性の低下が生じるため、上記ダウンドロー法を利用することが困難になる。 K 2 O is a component that lowers the high-temperature viscosity of the glass and improves the meltability and moldability of the glass and at the same time improves the devitrification resistance. If the content of K 2 O is too low, the melting property of the glass is lowered, so that the cost for the glass melting step is increased. Moreover, since the devitrification resistance of the glass is lowered and the glass is easily devitrified, it is difficult to use the downdraw method in the glass forming step described later. On the other hand, if the content of K 2 O is too high, devitrification resistance is lowered due to deterioration of the glass balance, making it difficult to use the downdraw method.

Oは、ガラスから溶出して半導体装置のTFT(Thin Film Transistor)特性を劣化させる成分であることから、液晶表示装置用ガラス基板として適用する場合には、多量に含有することは好ましくない。具体的には、KOの含有量は、例えば2.0%以下にすることが好ましい。しかし、ガラス中に上記成分を敢えて特定量含有させることによって、TFT特性の劣化やガラスの熱膨張を一定範囲内に抑制しつつ、ガラスの塩基性度を高め、価数変動する金属の酸化を容易にして、清澄性を発揮させることが可能である。 K 2 O is a component that elutes from the glass and degrades TFT (Thin Film Transistor) characteristics of the semiconductor device. Therefore, when it is applied as a glass substrate for a liquid crystal display device, it is not preferable to contain K 2 O in a large amount. . Specifically, the content of K 2 O is preferably set to 2.0% or less, for example. However, by deliberately containing a specific amount of the above components in the glass, the basicity of the glass is increased and the oxidation of the metal whose valence fluctuates is increased while suppressing deterioration of TFT characteristics and thermal expansion of the glass within a certain range. It is possible to make it clear and exhibit clarity.

ZrOは、ガラスの失透温度付近の粘性や歪点を高くする成分である。また、ZrOは、ガラスの耐熱性を向上させる成分でもある。しかし、ZrOの含有率が高すぎると、ガラスの失透温度が上昇して、ガラスの耐失透性が低下する。 ZrO 2 is a component that increases the viscosity and strain point near the devitrification temperature of glass. ZrO 2 is also a component that improves the heat resistance of the glass. However, if the content of ZrO 2 is too high, the devitrification temperature of the glass increases and the devitrification resistance of the glass decreases.

また、ガラスには、ガラス中の気泡を脱泡させる成分として、清澄剤を添加してもよい。清澄剤の成分は、環境負荷が小さく、ガラスの清澄性に優れたものであれば、特に制限されない。清澄剤の成分としては、例えば、酸化スズ、酸化鉄、酸化セリウム、酸化テルビウム、酸化モリブデン及び酸化タングステン等の金属酸化物のうち少なくとも1つが挙げられる。   Moreover, you may add a clarifier to glass as a component which defoams the bubble in glass. The fining agent component is not particularly limited as long as it has a low environmental burden and is excellent in glass fining. Examples of the fining agent include at least one of metal oxides such as tin oxide, iron oxide, cerium oxide, terbium oxide, molybdenum oxide, and tungsten oxide.

(ガラス基板の製造方法)
図2は、ガラス基板20の製造方法のフローの一例を説明する図である。本実施形態のガラス基板20の製造方法は、熔解工程(ステップS10)と、清澄工程(ステップS20)と、攪拌工程(ステップS30)と、成形工程(ステップS40)と、徐冷工程(ステップS50)と、採板工程(ステップS60)と、形状加工工程(ステップS70)と、研磨工程(ステップS80)と、洗浄工程(ステップS90)と、検査工程(ステップS100)と、付着工程(ステップS110)と、梱包工程(ステップS120)とを主に有する。
(Glass substrate manufacturing method)
FIG. 2 is a diagram for explaining an example of the flow of the method for manufacturing the glass substrate 20. The manufacturing method of the glass substrate 20 of this embodiment is a melting process (step S10), a clarification process (step S20), a stirring process (step S30), a shaping | molding process (step S40), and a slow cooling process (step S50). ), Plate-making process (step S60), shape processing process (step S70), polishing process (step S80), cleaning process (step S90), inspection process (step S100), and adhesion process (step S110). ) And a packing process (step S120).

熔解工程(ステップS10)では、図示されない熔解炉で、ガラス原料が化石燃料の燃焼による間接加熱および電気通電による直接加熱により加熱されて溶融ガラスが作られる。ガラスの熔解は、これ以外の方法で行われてもよい。   In the melting step (step S10), in a melting furnace (not shown), the glass raw material is heated by indirect heating by combustion of fossil fuel and direct heating by electric conduction to produce molten glass. The melting of the glass may be performed by other methods.

次に、清澄工程が行われる(ステップS20)。清澄工程では、溶融ガラスが図示されない液槽に貯留された状態で、溶融ガラス中の気泡が上述の清澄剤を用いて取り除かれる。具体的には、溶融ガラス中で価数変動する金属酸化物の酸化還元反応によって行われる。高温時の溶融ガラスにおいて、金属酸化物は還元反応により酸素を放出し、この酸素がガスとなって、溶融ガラス中の気泡を成長させて液面に浮上させる。これにより、溶融ガラス中の気泡は脱泡される。あるいは、酸素ガスの気泡は、溶融ガラス中の他の気泡中のガスを取り込んで成長し、溶融ガラスの液面に浮上する。これにより、溶融ガラス中の気泡は脱泡される。   Next, a clarification process is performed (step S20). In the clarification step, bubbles in the molten glass are removed using the above-described clarifier while the molten glass is stored in a liquid tank (not shown). Specifically, it is performed by a redox reaction of a metal oxide whose valence fluctuates in molten glass. In the molten glass at a high temperature, the metal oxide releases oxygen by a reduction reaction, and this oxygen becomes a gas, and bubbles in the molten glass grow and float on the liquid surface. Thereby, bubbles in the molten glass are defoamed. Or the bubble of oxygen gas takes in the gas in the other bubble in a molten glass, grows, and floats on the liquid level of a molten glass. Thereby, bubbles in the molten glass are defoamed.

次に、攪拌工程が行われる(ステップS30)。攪拌工程では、ガラスの化学的および熱的均一性を保つために、垂直に向けられた図示されない撹拌槽に溶融ガラスが通される。溶融ガラスは、攪拌槽に設けられたスターラによって攪拌されながら、垂直下方向底部に移動し、後工程に導かれる。これによって、脈理等のガラスの不均一性を抑制することができる。   Next, a stirring process is performed (step S30). In the stirring step, the molten glass is passed through a vertically-shown stirring tank (not shown) in order to maintain the chemical and thermal uniformity of the glass. The molten glass moves to the bottom in the vertical downward direction while being stirred by a stirrer provided in the stirring tank, and is led to a subsequent process. Thereby, nonuniformity of the glass such as striae can be suppressed.

次に、成形工程が行われる(ステップS40)。成形工程では、ガラス基板20の成形方法として、スロットダウンドロー法、オーバーフローダウンドロー法、フロート法、リドロー法等が用いられる。オーバーフローダウンドローやスロットダウンドロー等を含むダウンドロー法は、例えば特開2010−189220号公報、特許第3586142号公報等に記載された公知の方法である。これにより、所定の厚さ、幅を有するシート状のガラスリボンが成形される。成形方法としては、ダウンドロー法、特にオーバーフローダウンドロー法を用いることが好ましい。これは、オーバーフローダウンドロー法では、ガラスリボンの表面が成形体と接触せずに形成されることから、成形体との接触によるガラスリボンの表面の汚染を防止することができ、表面品質の良好なガラスリボンを成形することができるためである。したがって、オーバーフローダウンドロー法を用いることは、表面品質の良好なガラスリボンが成形されることにより後述の研磨工程を省略することができ、結果としてガラス基板の製造コストを低減し得るので有用である。   Next, a molding process is performed (step S40). In the forming step, a slot down draw method, an overflow down draw method, a float method, a redraw method, or the like is used as a method for forming the glass substrate 20. The down draw method including overflow down draw, slot down draw, and the like is a known method described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-189220, Japanese Patent No. 3586142, and the like. Thereby, a sheet-like glass ribbon having a predetermined thickness and width is formed. As a molding method, it is preferable to use a downdraw method, particularly an overflow downdraw method. This is because, in the overflow downdraw method, the surface of the glass ribbon is formed without contact with the molded body, so that contamination of the surface of the glass ribbon due to contact with the molded body can be prevented, and the surface quality is good. This is because a simple glass ribbon can be formed. Therefore, it is useful to use the overflow downdraw method because a glass ribbon having a good surface quality can be formed, thereby omitting the polishing step described later, and as a result, the manufacturing cost of the glass substrate can be reduced. .

次に、徐冷工程が行われる(ステップS50)。具体的には、ガラスリボンは、歪みが発生しないように冷却速度を制御して、図示されない徐冷炉にて徐冷点以下に冷却される。
次に、採板工程が行われる(ステップS60)。具体的には、連続的に生成されるガラスリボンが一定の長さ毎に採板されることにより、ガラス基板が得られる。
Next, a slow cooling process is performed (step S50). Specifically, the glass ribbon is cooled below the annealing point in an annealing furnace (not shown) by controlling the cooling rate so as not to cause distortion.
Next, a plate-making process is performed (step S60). Specifically, a glass substrate is obtained by continuously collecting glass ribbons that are produced at regular intervals.

次に、形状加工工程が行われる(ステップS70)。形状加工工程では、所定のサイズや形状のガラス基板20が切り出される。形状加工は、サンドブラスト、カッターやレーザを用いた物理的手段を用いてもよく、エッチングなどの化学的手段を用いてもよい。   Next, a shape processing process is performed (step S70). In the shape processing step, the glass substrate 20 having a predetermined size and shape is cut out. For the shape processing, physical means using sandblasting, a cutter or a laser may be used, or chemical means such as etching may be used.

次に、研磨工程が行われる(ステップS80)。研磨工程では、ガラス基板20の表面及び端面の研削・研磨が行われる。研磨工程では、例えば、ダイヤモンドホイールや樹脂ホイールなどが用いられる。
研磨工程では、図3に示すように、複数のガラス基板20それぞれの第2の主面24の四隅の少なくとも一つに、面取りが施されることにより形成された面取り部24aが設けられる。図3は、ガラス基板20の第2の主面24の要部拡大斜視図である。また、面取部24aは目印の一例である。面取部24aが複数のガラス基板20それぞれの第2の主面24のみに形成されることにより、第1の主面22と第2の主面24とを容易に区別することができる。
なお、ガラス基板20の第2の主面24のみ、あるいは第1の主面22のみに面取部を形成してもよい。また、目印となる切欠や面取部等を、第1の主面22又は第2の主面24の四辺の端部に形成してもよい。さらに、シールやスタンプ等を目印として付してもよい。
Next, a polishing process is performed (step S80). In the polishing step, the surface and end surface of the glass substrate 20 are ground and polished. In the polishing process, for example, a diamond wheel or a resin wheel is used.
In the polishing step, as shown in FIG. 3, chamfered portions 24 a formed by chamfering are provided at at least one of the four corners of the second main surface 24 of each of the plurality of glass substrates 20. FIG. 3 is an enlarged perspective view of a main part of the second main surface 24 of the glass substrate 20. The chamfered portion 24a is an example of a mark. By forming the chamfered portion 24 a only on the second main surface 24 of each of the plurality of glass substrates 20, the first main surface 22 and the second main surface 24 can be easily distinguished.
Note that the chamfered portion may be formed only on the second main surface 24 of the glass substrate 20 or only on the first main surface 22. Further, notches, chamfered portions, and the like serving as marks may be formed at the ends of the four sides of the first main surface 22 or the second main surface 24. Further, a sticker, a stamp, or the like may be added as a mark.

この後、洗浄工程が行われる(ステップS90)。洗浄工程では、研磨工程においてガラス基板20の表面及び端面に付着した研磨剤や不純物を、例えば超音波や薬液等を用いて洗浄することにより除去する。   Thereafter, a cleaning process is performed (step S90). In the cleaning process, the abrasive and impurities adhering to the surface and the end face of the glass substrate 20 in the polishing process are removed by cleaning using, for example, ultrasonic waves or chemicals.

次に、検査工程が行われる(ステップS100)。検査工程では、ガラス基板20中の気泡による欠陥の発生頻度を調べ、この発生頻度が所定頻度以下か否かを、洗浄工程後のガラス基板20について調べる。   Next, an inspection process is performed (step S100). In the inspection process, the frequency of occurrence of defects due to bubbles in the glass substrate 20 is examined, and the glass substrate 20 after the cleaning process is examined to determine whether or not the frequency of occurrence is a predetermined frequency or less.

次に、付着工程が行われる(ステップS110)。付着工程では、図4に示すように、ガラス基板20の第2の主面24のみに水溶性の低い滑剤30を付着する。図4は、滑剤30が付着されたガラス基板を説明する図である。
ここで、水溶性の低い滑剤30を用いるのは、液晶ディスプレイの製造工程において、ガラス基板20が水で洗浄された場合であっても、滑剤30が容易に除去されないようにするためである。
Next, an adhesion process is performed (step S110). In the attaching step, as shown in FIG. 4, the lubricant 30 having a low water solubility is attached only to the second main surface 24 of the glass substrate 20. FIG. 4 is a view for explaining the glass substrate to which the lubricant 30 is attached.
Here, the reason why the lubricant 30 with low water solubility is used is to prevent the lubricant 30 from being easily removed even when the glass substrate 20 is washed with water in the manufacturing process of the liquid crystal display.

また、第2の主面24のみに滑剤30を付着するのは、滑剤30が第1の主面22に付着した場合に、液晶ディスプレイの製造工程において生じる問題を防止するためである。具体的に説明すると、例えば、滑剤30が付着した第1の主面22に対して半導体素子アレイを形成する場合には、第1の主面22に蒸着される金属薄膜の密着性が劣化して、金属薄膜が第1の主面22から剥離するおそれがある。また、滑剤30が付着した第1の主面22に対してカラーフィルタを形成する場合には、第1の主面22に対するカラーフィルタ用ブラックマトリクスの密着性が高くなり過ぎて、ブラックマトリクスのパターンを形成することが困難になる。
これらの問題が生じるのを防止するためには、半導体アレイ又はカラーフィルタの形成工程前に、滑剤30を第1の主面22から除去するという煩雑な工程が必要になる。そこで、本実施形態では、ガラス基板20の第2の主面24のみに滑剤30を付着することにより、上記の問題を防止することができるとともに、第1の主面22から滑剤30を除去する工程を省略することができる。
The reason why the lubricant 30 is attached only to the second main surface 24 is to prevent a problem that occurs in the manufacturing process of the liquid crystal display when the lubricant 30 adheres to the first main surface 22. Specifically, for example, when a semiconductor element array is formed on the first main surface 22 to which the lubricant 30 is adhered, the adhesion of the metal thin film deposited on the first main surface 22 deteriorates. Thus, the metal thin film may be peeled off from the first main surface 22. Further, when a color filter is formed on the first main surface 22 to which the lubricant 30 is adhered, the adhesion of the black matrix for the color filter to the first main surface 22 becomes too high, and the black matrix pattern It becomes difficult to form.
In order to prevent these problems from occurring, a complicated process of removing the lubricant 30 from the first main surface 22 is necessary before the process of forming the semiconductor array or the color filter. Therefore, in the present embodiment, by attaching the lubricant 30 only to the second main surface 24 of the glass substrate 20, the above problem can be prevented and the lubricant 30 is removed from the first main surface 22. The process can be omitted.

さらに、滑剤30は、液晶ディスプレイの製造工程においてガラス基板20が搬送されるときに、第2の主面24と、ガラス基板20の板厚方向が鉛直方向に沿った状態でガラス基板20を搬送する搬送部材(例えば、搬送ローラや突き上げピン等)との間に介在するように設けられていることが好ましい。具体的には、滑剤30は、第2の主面24の領域のうち搬送部材と接触する領域に少なくとも付着していることが好ましい。これは、搬送部材がガラス基板20の第2の主面24に直接接触することにより、ガラス基板20に傷が付くこと、さらにはガラス基板20が破断することを防ぐためである。   Furthermore, when the glass substrate 20 is conveyed in the manufacturing process of the liquid crystal display, the lubricant 30 conveys the glass substrate 20 with the second main surface 24 and the thickness direction of the glass substrate 20 along the vertical direction. It is preferable to be provided so as to be interposed between the conveying member (for example, a conveying roller and a push-up pin). Specifically, it is preferable that the lubricant 30 adheres at least to a region in contact with the conveying member in the region of the second main surface 24. This is to prevent the glass substrate 20 from being scratched and the glass substrate 20 from being broken by the conveyance member being in direct contact with the second main surface 24 of the glass substrate 20.

例えば、半導体素子アレイ又はカラーフィルタが第1の主面22に形成される際には、図5(a)に示すように、第2の主面24が吸着テーブル200の載置面に吸着されることにより、ガラス基板20が吸着テーブル200上に載置される。そして、半導体素子アレイ又はカラーフィルタが第1の主面22に形成された後に、ガラス基板20は、吸着テーブル200の載置面から上方に突出する突き上げピン202に支持されながら上方に移動することにより、吸着テーブル200から離間する。ここで、滑剤30が第2の主面24に付着していない場合、第2の主面24は、突き上げピン202がガラス基板20に接触したときの衝撃を直接受けることにより、傷が付くおそれがある。また、板厚の薄いガラス基板20を用いた場合には、ガラス基板20の強度が小さくなることから、当該衝撃によってガラス基板20が破断するおそれがある。   For example, when the semiconductor element array or the color filter is formed on the first main surface 22, the second main surface 24 is attracted to the mounting surface of the suction table 200 as shown in FIG. As a result, the glass substrate 20 is placed on the suction table 200. After the semiconductor element array or the color filter is formed on the first main surface 22, the glass substrate 20 moves upward while being supported by the push-up pins 202 protruding upward from the mounting surface of the suction table 200. Accordingly, the suction table 200 is separated. Here, when the lubricant 30 is not attached to the second main surface 24, the second main surface 24 may be damaged by receiving an impact directly when the push-up pin 202 contacts the glass substrate 20. There is. Moreover, when the glass substrate 20 with a thin plate thickness is used, since the strength of the glass substrate 20 is reduced, the glass substrate 20 may be broken by the impact.

本実施形態では、図5(b)に示すように、第2の主面24の領域のうち突き上げピン202と接触する領域に滑剤30が付着しているため、第2の主面24が突き上げピン202から受ける衝撃を、滑剤30によって緩和することができる。これにより、突き上げピン202から受ける衝撃によって第2の主面24に傷が付くのを防ぐことができる。
また、滑剤30が第2の主面24に付着していることにより、第2の主面24が吸着テーブル200に直接接触しない。このため、吸着テーブル200と接触することによって、第2の主面24に傷が付くことを防ぐことができる。
さらに、ガラス基板20を搬送する搬送ローラにガラスの破片が付着していた場合でも、ガラス基板20が搬送ローラによって搬送されるときに、ガラスの破片がガラス基板20に接触することにより、ガラス基板20に傷が付くことを防ぐことができる。
In the present embodiment, as shown in FIG. 5B, the lubricant 30 is attached to a region of the second main surface 24 that contacts the push-up pin 202, so that the second main surface 24 is pushed up. The impact received from the pin 202 can be reduced by the lubricant 30. Thereby, it is possible to prevent the second main surface 24 from being damaged by the impact received from the push-up pin 202.
Further, since the lubricant 30 is attached to the second main surface 24, the second main surface 24 does not directly contact the suction table 200. For this reason, it is possible to prevent the second main surface 24 from being damaged by contacting the suction table 200.
Furthermore, even when glass fragments are attached to the conveyance roller that conveys the glass substrate 20, the glass fragments come into contact with the glass substrate 20 when the glass substrate 20 is conveyed by the conveyance roller. 20 can be prevented from being damaged.

なお、液晶ディスプレイの製造工程において、第2の主面24に偏光フィルムが形成される際には、第2の主面24から滑剤30が除去されていることが好ましい。第2の主面24に偏光フィルムが形成される際に滑剤30が第2の主面24に付着していると、偏光フィルムに位相差フィルムが付着し難くなるという問題が生じるためである。   In the manufacturing process of the liquid crystal display, when the polarizing film is formed on the second main surface 24, it is preferable that the lubricant 30 is removed from the second main surface 24. This is because, when the polarizing film is formed on the second main surface 24, if the lubricant 30 adheres to the second main surface 24, there arises a problem that the retardation film hardly adheres to the polarizing film.

次に、滑剤30の種類を説明する。
滑剤30は、酸アミド、特に有機化合物の酸アミドであることが好ましい。酸アミドは、水によって容易に除去される程の高い水溶性を有していないためである。これにより、例えば、ガラス基板20が搬送部材によって搬送される前に水で洗浄された場合に、ガラス基板20の第2の主面24から滑剤30が容易に除去されるのを防ぐことができる。
Next, the type of lubricant 30 will be described.
The lubricant 30 is preferably an acid amide, particularly an acid amide of an organic compound. This is because acid amides do not have water solubility that is high enough to be easily removed by water. Thereby, for example, when the glass substrate 20 is washed with water before being conveyed by the conveying member, the lubricant 30 can be prevented from being easily removed from the second main surface 24 of the glass substrate 20. .

また、滑剤30は、脂肪酸、特に不飽和脂肪酸であることが好ましい。脂肪酸は滑性効果を有していることから、積層体10内で隣接するガラス基板20間の接触や摩擦により、ガラス基板20の表面に傷が付くのを防ぐことができるためである。
さらに、不飽和脂肪酸は、飽和脂肪酸と比較して溶融温度が低いので、より好ましい。これは、滑剤30を溶融して第2の主面24に塗布する場合に、滑剤30の溶融温度が高すぎると、滑剤30を第2の主面24に塗布し終える前に脂肪酸が結晶化して、滑剤30を第2の主面24に均一に塗布するのが困難になるためである。
The lubricant 30 is preferably a fatty acid, particularly an unsaturated fatty acid. This is because the fatty acid has a lubricity effect, and thus it is possible to prevent the surface of the glass substrate 20 from being damaged by contact or friction between the adjacent glass substrates 20 in the laminate 10.
Furthermore, unsaturated fatty acids are more preferred because they have a lower melting temperature than saturated fatty acids. This is because when the lubricant 30 is melted and applied to the second main surface 24, if the melting temperature of the lubricant 30 is too high, the fatty acid crystallizes before the lubricant 30 is applied to the second main surface 24. This is because it becomes difficult to uniformly apply the lubricant 30 to the second main surface 24.

さらに、滑剤30の炭素数は8〜100であり、好ましい炭素数は10〜50であり、最も好ましい炭素数は10〜30である。炭素数が少なすぎる場合には、十分な滑性効果が得られないためである。また、炭素数が少なすぎる場合には、滑剤30の水溶性が高くなることから、ガラス基板20が搬送部材によって搬送される前に水で洗浄されると、滑剤30が第2の主面24から容易に除去されるおそれがある。一方、炭素数が高すぎる場合には、滑剤30の溶融温度が高くなることから、滑剤30を第2の主面24に塗布し終える前に脂肪酸が結晶化して、滑剤30を第2の主面24に均一に塗布するのが困難になるためである。   Further, the lubricant 30 has 8 to 100 carbon atoms, preferably 10 to 50 carbon atoms, and most preferably 10 to 30 carbon atoms. This is because when the number of carbon atoms is too small, a sufficient lubricity effect cannot be obtained. Further, when the number of carbon atoms is too small, the water solubility of the lubricant 30 becomes high. Therefore, when the glass substrate 20 is washed with water before being transported by the transport member, the lubricant 30 becomes the second main surface 24. May be easily removed from On the other hand, when the carbon number is too high, the melting temperature of the lubricant 30 becomes high, so that the fatty acid crystallizes before the lubricant 30 is applied to the second main surface 24, and the lubricant 30 This is because it becomes difficult to uniformly coat the surface 24.

これらの観点から、脂肪酸アミド、特に不飽和脂肪酸アミドを滑剤30として用いることが好ましい。ここで、不飽和脂肪酸アミドとしては、オレイン酸アミド、エルカ酸アミド、ステアリン酸アミド、ベヘニン酸アミド、パルミトレイン酸アミド、バクセン酸アミド、リノール酸アミド、リノレン酸アミド、アラキドン酸アミド、ネルボン酸アミド等が挙げられる。なお、本実施形態では、エルカ酸アミドを滑剤30として用いている。
また、液晶ディスプレイの製造工程において、製造処理開始前にガラス基板20が水で洗浄された場合であっても、滑剤30の全てが除去されないようにするためには、滑剤30における質量%が10〜100質量%のエルカ酸アミドを含む滑剤30を用いることが好ましい。
なお、第2の主面24の単位面積あたりのエルカ酸アミドの量は、1ng〜1mg/cm、好ましくは10ng〜500ng/cm、より好ましくは20ng〜200ng/cmである。単位面積あたりのエルカ酸アミドの量が少なすぎると、ガラス基板20の破断やガラス基板20に傷が付くことを防止するという効果を奏することが困難になる。一方、単位面積あたりのエルカ酸アミドの量が多すぎると、エルカ酸アミドが凝集して、ガラス基板20から剥離するおそれがある。この剥離したエルカ酸アミドは、液晶ディスプレイを製造工程にて発生する不具合の原因となる場合がある。
From these viewpoints, it is preferable to use a fatty acid amide, particularly an unsaturated fatty acid amide, as the lubricant 30. Here, as the unsaturated fatty acid amide, oleic acid amide, erucic acid amide, stearic acid amide, behenic acid amide, palmitoleic acid amide, vaccenic acid amide, linoleic acid amide, linolenic acid amide, arachidonic acid amide, nervonic acid amide, etc. Is mentioned. In this embodiment, erucic acid amide is used as the lubricant 30.
Further, in the manufacturing process of the liquid crystal display, even if the glass substrate 20 is washed with water before the start of the manufacturing process, in order to prevent all of the lubricant 30 from being removed, the mass% in the lubricant 30 is 10%. It is preferable to use the lubricant 30 containing -100 mass% erucic acid amide.
In addition, the amount of erucic acid amide per unit area of the second main surface 24 is 1 ng to 1 mg / cm 2 , preferably 10 ng to 500 ng / cm 2 , more preferably 20 ng to 200 ng / cm 2 . If the amount of erucic acid amide per unit area is too small, it is difficult to achieve the effect of preventing the glass substrate 20 from being broken or scratched. On the other hand, if the amount of erucic amide per unit area is too large, the erucic amide may aggregate and peel from the glass substrate 20. The peeled erucic acid amide may cause a problem that occurs in the manufacturing process of the liquid crystal display.

付着工程では、第2の主面24の全面に滑剤30を付着してもよいし、図6に示すように、搬送部材と接触する領域に滑剤30を付着してもよい。例えば、第2の主面24の領域のうち突き上げピン202と接触する領域に滑剤30を付着する場合には、滑剤30は、図6(a)に示すように、第2の主面24の四隅のそれぞれから第2の主面24の短手方向の寸法以下の範囲内(例えば、第2の主面24の短手方向の寸法の10%以下、20%以下、40%以下等)の領域に付着されてもよいし、図6(b)に示すように、第2の主面24の四辺の中央から第2の主面24の短手方向の寸法以下の範囲内の領域に付着されてもよい。また、図6(c)〜(e)に示すように、例えば、第2の主面24の短手方向の寸法以下の直径を有する円状に形成された滑剤30を、第2の主面24の四隅の近傍、第2の主面24の四辺の中央の近傍、又は第2の主面24の中央に付着してもよい。なお、滑剤30は、多角形状に形成されてもよい。
さらに、第2の主面24の領域のうち搬送ローラと接触する領域に滑剤30を付着する場合には、図6(f)に示すように、第2の主面24の短手方向に延びる複数の直線状に滑剤30を付着してもよい。あるいは、第2の主面24の長手方向に延びる複数の直線状に滑剤30を付着してもよい。さらには、第2の主面24上に格子状に滑剤30を付着してもよい。
また、液晶ディスプレイの製造工程において、製造処理開始前にガラス基板20が水で洗浄された場合であっても、滑剤30の全てが除去されないようにするためには、滑剤30を第2の主面24に厚く(例えば、厚さ1nm〜2mm)付着することが好ましい。
In the attaching step, the lubricant 30 may be attached to the entire surface of the second main surface 24, or as shown in FIG. 6, the lubricant 30 may be attached to a region in contact with the conveying member. For example, when the lubricant 30 is attached to the region of the second main surface 24 that contacts the push-up pin 202, the lubricant 30 is formed on the second main surface 24 as shown in FIG. Within a range that is less than or equal to the dimension of the second major surface 24 in the lateral direction from each of the four corners (for example, 10% or less, 20% or less, 40% or less of the dimension of the second major surface 24 in the lateral direction) It may be attached to the region, or as shown in FIG. 6 (b), it is attached to the region within the range from the center of the four sides of the second main surface 24 to the dimension in the short direction of the second main surface 24. May be. Further, as shown in FIGS. 6C to 6E, for example, the lubricant 30 formed in a circular shape having a diameter equal to or smaller than the dimension of the second main surface 24 in the short direction is used as the second main surface. You may adhere to the vicinity of the four corners of 24, the vicinity of the center of the four sides of the second main surface 24, or the center of the second main surface 24. Note that the lubricant 30 may be formed in a polygonal shape.
Further, in the case where the lubricant 30 is attached to a region in contact with the conveyance roller in the region of the second main surface 24, the second main surface 24 extends in the short direction of the second main surface 24 as shown in FIG. The lubricant 30 may be attached in a plurality of straight lines. Alternatively, the lubricant 30 may be attached in a plurality of straight lines extending in the longitudinal direction of the second main surface 24. Further, the lubricant 30 may be attached on the second main surface 24 in a lattice shape.
Further, in the manufacturing process of the liquid crystal display, even if the glass substrate 20 is washed with water before the start of the manufacturing process, in order to prevent all of the lubricant 30 from being removed, the lubricant 30 is used as the second main component. It is preferable to adhere to the surface 24 thickly (for example, 1 nm to 2 mm in thickness).

次に、滑剤30の付着方法を説明する。
滑剤30をガラス基板20の第2の主面24に付着する場合には、まず、滑剤30を溶融し、溶融された滑剤30をガラス基板20の第2の主面24に蒸着あるいは塗布する。また、溶媒に溶かされた滑剤30を、スプレー等を用いて噴霧することにより、滑剤30を第2の主面24に付着させてもよい。ここで、溶媒としては、例えば、エタノール、イソプロピルアルコール等のアルコール類を用いることが好ましい。
Next, a method for attaching the lubricant 30 will be described.
When adhering the lubricant 30 to the second main surface 24 of the glass substrate 20, first, the lubricant 30 is melted, and the melted lubricant 30 is deposited or applied to the second main surface 24 of the glass substrate 20. Alternatively, the lubricant 30 may be adhered to the second main surface 24 by spraying the lubricant 30 dissolved in the solvent using a spray or the like. Here, as the solvent, for example, alcohols such as ethanol and isopropyl alcohol are preferably used.

また、液晶ディスプレイの製造工程において、製造処理開始前にガラス基板20が水で洗浄された場合であっても、滑剤30の全てが除去されないようにするために、図7あるいは図8に示す方法を用いてもよい。図7は、滑剤30の付着方法の一例を説明する図である。
まず、図7(a)に示すように、第2の主面24の全面に滑剤30を付着する。ここで、搬送部材と接触する領域が第2の主面24の四隅のそれぞれから所定範囲(例えば、ガラス基板20の短手方向の寸法の40%)内の領域である場合には、当該領域の形状に形成された不水溶性樹脂からなるシートSを、当該領域を覆うように貼り付ける。ここで、シートSは、不水溶性材料からなる部材の一例である。その後、液晶ディスプレイの製造工程においてガラス基板20が水で洗浄された場合、ガラス基板20の洗浄時間によっては、図7(b)に示すように、第2の主面24に付着した滑剤30が除去される。この場合、前記領域に付着した滑剤30はシートSによって覆われているので、当該領域に付着した滑剤30が洗浄によって全て除去されるのを防ぐことができる。そして、ガラス基板20が洗浄された後に、図7(c)に示すように、シートSを除去する。このようにして、液晶ディスプレイの製造工程においてガラス基板20が水で洗浄された場合であっても、第2の主面24の領域のうち搬送部材と接触する領域に滑剤30を残存させることができる。
Further, in the manufacturing process of the liquid crystal display, even if the glass substrate 20 is washed with water before the start of the manufacturing process, the method shown in FIG. May be used. FIG. 7 is a diagram for explaining an example of a method for attaching the lubricant 30.
First, as shown in FIG. 7A, the lubricant 30 is attached to the entire surface of the second main surface 24. Here, in the case where the region in contact with the conveying member is a region within a predetermined range (for example, 40% of the dimension in the short direction of the glass substrate 20) from each of the four corners of the second main surface 24, the region. A sheet S made of a water-insoluble resin formed in the shape of is attached so as to cover the region. Here, the sheet S is an example of a member made of a water-insoluble material. Thereafter, when the glass substrate 20 is washed with water in the manufacturing process of the liquid crystal display, depending on the cleaning time of the glass substrate 20, as shown in FIG. Removed. In this case, since the lubricant 30 adhering to the area is covered with the sheet S, it is possible to prevent the lubricant 30 adhering to the area from being completely removed by washing. Then, after the glass substrate 20 is cleaned, the sheet S is removed as shown in FIG. In this way, even when the glass substrate 20 is washed with water in the manufacturing process of the liquid crystal display, the lubricant 30 can remain in the region of the second main surface 24 in contact with the conveying member. it can.

図8は、滑剤30の付着方法の他の一例を説明する図である。
図8(a)に示すように、第2の主面24には滑剤30が付着されていない。ここで、搬送部材と接触する領域が第2の主面24の四隅のそれぞれから所定範囲(例えば、ガラス基板20の短手方向の寸法の40%)内の領域である場合には、当該領域の形状に形成された保護フィルム50を、図8(b)に示すように、当該領域を覆うように貼り付ける。ここで、保護フィルム50は、不水溶性樹脂から形成されており、不水溶性材料からなる部材の一例である。保護フィルム50の表面のうち第2の主面24と接触する表面には滑剤30が付着しており、保護フィルム50が第2の主面24に貼り付けられることにより、滑剤30が第2の主面24に付着する。ここで、液晶ディスプレイの製造工程においてガラス基板20が水で洗浄された場合であっても、滑剤30が全て除去されるのを保護フィルム50によって防ぐことができる。そして、ガラス基板20が洗浄された後に、図8(c)に示すように、保護フィルム50を除去する。このようにして、第2の主面24の領域のうち搬送部材と接触する領域に滑剤30を残存させることができる。
このようにして、本実施形態の液晶ディスプレイ用ガラス基板20が製造される。
FIG. 8 is a diagram illustrating another example of a method for attaching the lubricant 30.
As shown in FIG. 8A, the lubricant 30 is not attached to the second main surface 24. Here, in the case where the region in contact with the conveying member is a region within a predetermined range (for example, 40% of the dimension in the short direction of the glass substrate 20) from each of the four corners of the second main surface 24, the region. As shown in FIG. 8B, the protective film 50 formed in the shape is pasted so as to cover the region. Here, the protective film 50 is an example of a member made of a water-insoluble resin and made of a water-insoluble material. The lubricant 30 is attached to the surface of the protective film 50 that contacts the second main surface 24, and the protective film 50 is affixed to the second main surface 24, so that the lubricant 30 is the second main surface 24. It adheres to the main surface 24. Here, even if the glass substrate 20 is washed with water in the manufacturing process of the liquid crystal display, the protective film 50 can prevent the lubricant 30 from being completely removed. Then, after the glass substrate 20 is washed, the protective film 50 is removed as shown in FIG. In this way, the lubricant 30 can remain in the region of the second main surface 24 that contacts the conveying member.
Thus, the glass substrate 20 for liquid crystal displays of this embodiment is manufactured.

次に、梱包工程が行われる(ステップS120)。
ガラス基板20は、図9に示すように、一枚ずつ搬送されて支持台110に載せられ、既に載せられたガラス基板20の板厚方向に積み重ねられる。ガラス基板20を積層する場合、ガラス基板20の表面を保護するための保護紙40を、ガラス基板20の第2の主面24と、当該ガラス基板20と隣接する他のガラス基板20の第1の主面22との間に介在するように挟む。このように保護紙20を介在させることにより、積層体10内のガラス基板20の表面に傷が付くことを防止し、さらには、積層体10内のガラス基板20が静電気を帯びて互いに密着するのを防止することができる。また、保護紙40がガラス基板20間に介在することにより、ガラス基板20の第2の主面24に付着した滑剤30が、当該ガラス基板20と隣接する他のガラス基板20の第1の主面22に付着するのを防止することができるので、液晶ディスプレイの製造工程において、第1の主面22から滑剤30を除去するという煩雑な工程を省略することができる。
なお、ガラス基板20間に保護紙40のみを介在させることにより、保護紙40を含む積層体10の厚み寸法を、例えば保護フィルム50等をさらに含む積層体10の厚み寸法と比較して低減することができる。したがって、梱包装置100に収納可能なガラス基板20の数を増やすことができるので、一度に多数のガラス基板20を液晶ディスプレイの製造工程に供給することができる。したがって、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造効率を向上させることができる。
Next, a packing process is performed (step S120).
As shown in FIG. 9, the glass substrates 20 are conveyed one by one and placed on the support base 110, and are stacked in the plate thickness direction of the already placed glass substrate 20. When the glass substrate 20 is laminated, the protective paper 40 for protecting the surface of the glass substrate 20 is used as the second main surface 24 of the glass substrate 20 and the first of the other glass substrates 20 adjacent to the glass substrate 20. Between the main surface 22 and the main surface 22. By interposing the protective paper 20 in this way, the surface of the glass substrate 20 in the laminated body 10 is prevented from being damaged, and furthermore, the glass substrates 20 in the laminated body 10 are electrostatically intimately adhered to each other. Can be prevented. In addition, since the protective paper 40 is interposed between the glass substrates 20, the lubricant 30 attached to the second main surface 24 of the glass substrate 20 is in contact with the first main substrate of another glass substrate 20 adjacent to the glass substrate 20. Since it can prevent adhering to the surface 22, in the manufacturing process of a liquid crystal display, the complicated process of removing the lubricant 30 from the 1st main surface 22 can be skipped.
In addition, by interposing only the protective paper 40 between the glass substrates 20, the thickness dimension of the laminated body 10 including the protective paper 40 is reduced as compared with the thickness dimension of the laminated body 10 further including the protective film 50, for example. be able to. Therefore, since the number of the glass substrates 20 which can be accommodated in the packing apparatus 100 can be increased, many glass substrates 20 can be supplied to the manufacturing process of a liquid crystal display at once. Therefore, the manufacturing efficiency of a flat panel display such as a liquid crystal display can be improved.

また、ガラス基板20は、第1の主面22が同一方向(図9のA方向)に向くように板厚方向に積層される。これにより、例えば、積層体10の複数のガラス基板20それぞれの第1の主面22及び第2の主面24を、ガラス基板20の納入先において容易に判別することができる。よって、液晶ディスプレイの製造工程において、ガラス基板20の各主面22,24を誤って判別することがないので、各主面22,24に対する加工を正確に行うことができる。したがって、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造効率を向上させることができる。
また、ガラス基板20の第2の主面24の端部には面取部24aが形成されているので、面取部24aが同一方向を向き、且つ、板厚方向に揃うようにガラス基板20を積層することにより、第1の主面22が同一方向に向くようにガラス基板20を容易に積層することができる。
Moreover, the glass substrate 20 is laminated | stacked on a plate | board thickness direction so that the 1st main surface 22 may face the same direction (A direction of FIG. 9). Thereby, for example, the first main surface 22 and the second main surface 24 of each of the plurality of glass substrates 20 of the laminate 10 can be easily discriminated at the delivery destination of the glass substrate 20. Therefore, since the main surfaces 22 and 24 of the glass substrate 20 are not erroneously discriminated in the manufacturing process of the liquid crystal display, the processing on the main surfaces 22 and 24 can be performed accurately. Therefore, the manufacturing efficiency of a flat panel display such as a liquid crystal display can be improved.
Further, since the chamfered portion 24a is formed at the end of the second main surface 24 of the glass substrate 20, the glass substrate 20 is arranged so that the chamfered portion 24a faces the same direction and is aligned in the plate thickness direction. By laminating, the glass substrate 20 can be easily laminated so that the first main surface 22 faces in the same direction.

なお、図10に示すように、ガラス基板20間に保護フィルム50を積み重ねてもよい。この場合、保護フィルム50は、ガラス基板20と保護紙40の間に着脱可能に挟み込まれる。ここで、保護フィルム50の表面のうちガラス基板20の第2の主面24に接触する表面には滑剤30が付着しており、保護フィルム50とガラス基板20とが積層されることによって、保護フィルム50に付着した滑剤30がガラス基板20の第2の主面24に転写される。
このように、第2の主面24に滑剤30を付着させるための保護フィルム50がガラス基板20間に介在することにより、滑剤30をガラス基板20の第2の主面24に容易に付着させることができる。
In addition, as shown in FIG. 10, the protective film 50 may be stacked between the glass substrates 20. In this case, the protective film 50 is detachably sandwiched between the glass substrate 20 and the protective paper 40. Here, the lubricant 30 is attached to the surface of the protective film 50 that contacts the second main surface 24 of the glass substrate 20, and the protective film 50 and the glass substrate 20 are laminated to protect the surface. The lubricant 30 attached to the film 50 is transferred to the second main surface 24 of the glass substrate 20.
Thus, the protective film 50 for attaching the lubricant 30 to the second main surface 24 is interposed between the glass substrates 20, so that the lubricant 30 is easily attached to the second main surface 24 of the glass substrate 20. be able to.

以上のように、本実施形態のガラス基板20によれば、滑剤30が、液晶ディスプレイの製造工程においてガラス基板20が搬送されるときに、第2の主面24と、搬送部材との間に介在するように設けられるので、搬送部材がガラス基板20の第2の主面24に直接接触するのを防ぐことができる。したがって、搬送部材によって、ガラス基板20に傷が付くこと、さらにはガラス基板20が破断することを防ぐことができるので、液晶ディスプレイの製造工程においてガラス基板20の破損が生じるのを防ぐことができる。これにより、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造効率を向上させることができる。   As described above, according to the glass substrate 20 of this embodiment, when the glass substrate 20 is transported in the manufacturing process of the liquid crystal display, the lubricant 30 is interposed between the second main surface 24 and the transport member. Since it is provided so as to be interposed, it is possible to prevent the conveying member from directly contacting the second main surface 24 of the glass substrate 20. Therefore, the conveyance member can prevent the glass substrate 20 from being scratched, and further, the glass substrate 20 from being broken, so that the glass substrate 20 can be prevented from being damaged in the manufacturing process of the liquid crystal display. . Thereby, the manufacturing efficiency of flat panel displays, such as a liquid crystal display, can be improved.

以上、本発明のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその製造方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。   As mentioned above, although the glass substrate for flat panel displays of the present invention and the manufacturing method thereof have been described in detail, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various improvements and modifications can be made without departing from the gist of the present invention. Of course.

10 積層体
20 ガラス基板
22 第1の主面
24 第2の主面
24a 面取部
30 滑剤
40 保護紙
50 保護フィルム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Laminated body 20 Glass substrate 22 1st main surface 24 2nd main surface 24a Chamfering part 30 Lubricant 40 Protective paper 50 Protective film

Claims (5)

板厚方向に対向する第1及び第2の主面を有し、且つ、第2の主面のみに滑剤が付着したフラットパネルディスプレイ用ガラス基板であって、
前記滑剤は、フラットパネルディスプレイの製造工程において前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板が搬送されるときに、前記第2の主面と、前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板を搬送する搬送部材との間に介在するように設けられる、
ことを特徴とするフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
A glass substrate for a flat panel display having first and second main surfaces opposed to each other in the plate thickness direction, and having a lubricant attached only to the second main surface,
The lubricant is interposed between the second main surface and a transport member that transports the flat panel display glass substrate when the flat panel display glass substrate is transported in the manufacturing process of the flat panel display. To be provided,
A glass substrate for a flat panel display.
前記滑剤は、前記第2の主面の領域のうち前記搬送部材と接触する領域に付着されている、請求項1に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。   The glass substrate for a flat panel display according to claim 1, wherein the lubricant is attached to a region in contact with the conveying member in the region of the second main surface. 前記第2の主面の領域のうち前記搬送部材と接触する領域の形状に形成された、不水溶性材料からなる部材を、前記滑剤を覆うように設けた、請求項2に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。   The flat panel according to claim 2, wherein a member made of a water-insoluble material formed in a shape of a region in contact with the conveying member in the region of the second main surface is provided so as to cover the lubricant. Glass substrate for display. 板厚方向に対向する第1及び第2の主面を有し、且つ、第2の主面のみに滑剤が付着したフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法であって、
前記滑剤を、フラットパネルディスプレイの製造工程において前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板が搬送されるときに、前記第2の主面と、前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板を搬送する搬送部材との間に介在するように付着する付着工程を含む、
ことを特徴とするフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
A method for producing a glass substrate for a flat panel display having first and second main surfaces opposed to each other in the plate thickness direction and having a lubricant attached only to the second main surface,
When the flat panel display glass substrate is transported in the flat panel display manufacturing process, the lubricant is interposed between the second main surface and a transport member that transports the flat panel display glass substrate. Including an attachment process to attach,
The manufacturing method of the glass substrate for flat panel displays characterized by the above-mentioned.
オーバーフローダウンドロー法を用いてガラスリボンを成形する成形工程と、
成形工程後のガラスリボンを採板することによりガラス基板を得る採板工程とを含む、請求項4に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
A molding process for molding a glass ribbon using the overflow downdraw method,
The manufacturing method of the glass substrate for flat panel displays of Claim 4 including the plate-making process of obtaining a glass substrate by plate-making the glass ribbon after a formation process.
JP2011147757A 2011-07-01 2011-07-01 Glass substrate for flat panel display and method for manufacturing the same Withdrawn JP2013014465A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011147757A JP2013014465A (en) 2011-07-01 2011-07-01 Glass substrate for flat panel display and method for manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011147757A JP2013014465A (en) 2011-07-01 2011-07-01 Glass substrate for flat panel display and method for manufacturing the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2013014465A true JP2013014465A (en) 2013-01-24

Family

ID=47687522

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011147757A Withdrawn JP2013014465A (en) 2011-07-01 2011-07-01 Glass substrate for flat panel display and method for manufacturing the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2013014465A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6037117B2 (en) Glass and glass substrate
US9586854B2 (en) Alkali-free glass
JP6365826B2 (en) Glass
TWI406835B (en) A glass plate for a display panel, a manufacturing method thereof, and a manufacturing method of a TFT panel
JP6639405B2 (en) Glass article and method for forming the same
US9919949B2 (en) Strengthened glass, strengthened glass plate, strengthened glass container, and glass for strengthening
JP4863168B2 (en) Glass substrate for flat panel display and manufacturing method thereof
JP5780487B2 (en) Manufacturing method of glass substrate
KR20120023027A (en) Glass substrate and method for producing same
JP5752648B2 (en) Glass substrate manufacturing method and manufacturing apparatus
TWI432391B (en) Substrate glass plate
JP5787296B2 (en) Glass plate and method for producing glass plate
JP6499250B2 (en) Glass substrate manufacturing method and glass substrate manufacturing apparatus
TW201427916A (en) Device for manufacturing glass substrate, and method for manufacturing glass substrate
JP6847620B2 (en) Glass substrate manufacturing method and glass substrate manufacturing equipment
JP2013014465A (en) Glass substrate for flat panel display and method for manufacturing the same
JP2005172881A (en) Substrate for liquid crystal display
JP6323730B2 (en) Glass and glass substrate
JP2013010555A (en) Laminate of glass substrates for flat panel display, and method of packing the same
JP4803643B2 (en) Glass member, product using the same, and manufacturing method thereof
JP2018100217A (en) Glass and glass substrate
JP2019077611A (en) Glass and glass substrate
JP2019077612A (en) Glass and glass substrate
JP6354943B2 (en) Glass
JP6172481B2 (en) Glass substrate and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20140902