JP2013000910A - Liquid ejecting apparatus - Google Patents

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liquid ejecting
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Akikage Kaieda
晃彰 海江田
Yoshiyuki Suzuki
善之 鈴木
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a circulation type liquid ejecting apparatus suppressing unevenness of density of discharged liquid.SOLUTION: The liquid ejecting apparatus includes a plurality of heads each having nozzles 21 discharging ink supplied by a circulation flow passage, a nozzle row 21A formed by lining up the nozzles 21 in a first direction and a manifold 101 communicated with the nozzles 21. In the pair of heads 1a, 1b juxtaposed in a second direction intersecting with the first direction, an ink flowing direction A in the manifold 101 of the head 1a and an ink flowing direction B in the manifold 101 of the head 1b are reverse to each other.

Description

本発明は、液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記
録装置に関する。
The present invention relates to a liquid ejecting apparatus, and more particularly to an ink jet recording apparatus that ejects ink as a liquid.

液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置として、インクタンクをインクジ
ェット式記録ヘッドから離間して設け、このインクタンクとインクジェット式記録ヘッド
間でインクを循環させる循環式のインクジェット式記録装置が知られている(例えば、特
許文献1参照)。
As an ink jet recording apparatus which is an example of a liquid ejecting apparatus, an ink jet recording apparatus is known in which an ink tank is provided apart from an ink jet recording head and ink is circulated between the ink tank and the ink jet recording head. (For example, refer to Patent Document 1).

インクジェット式記録ヘッドは、複数のノズルからなるノズル列、各ノズルにインクを
供給する個別流路(圧力発生室等)、個別流路に共通した共通流路を有している。循環式
のインクジェット式記録装置では、インクタンクから共通流路の一端部側(入口側)にイ
ンクが供給される。共通流路の入口側から供給されたインクは他端部側(出口側)に流通
するとともに、一部が個別流路に流入して、ノズルからインク滴として吐出される。そし
て、個別流路に流入しなかったインクは、共通流路の出口側からインクタンクに回収され
る。
The ink jet recording head has a nozzle array composed of a plurality of nozzles, an individual flow path (such as a pressure generation chamber) for supplying ink to each nozzle, and a common flow path common to the individual flow paths. In a circulation type ink jet recording apparatus, ink is supplied from an ink tank to one end (inlet side) of a common flow path. Ink supplied from the inlet side of the common channel flows to the other end side (outlet side), and part of the ink flows into the individual channel and is ejected as ink droplets from the nozzle. Then, the ink that has not flowed into the individual flow path is collected into the ink tank from the outlet side of the common flow path.

このようにインクを循環させることで、インク中の顔料などの成分が沈降することを抑
制している。
By circulating the ink in this manner, it is possible to suppress the precipitation of components such as pigments in the ink.

特開2009−23289号公報(図3等参照)JP 2009-23289 A (refer to FIG. 3 etc.)

共通流路の入口側から出口側にインクが流通する途中で、個別流路にインクの一部が流
入するので、共通流路の入口側から出口側に向けてインクの圧力が徐々に低下する。この
ように共通流路の入口側から出口側にわたりインクの圧力勾配が生じるため、ノズルから
吐出されたインク滴の特性、例えば重量や形状、速度は、共通流路の入口側と出口側とで
異なる。
While ink flows from the inlet side to the outlet side of the common channel, a part of the ink flows into the individual channel, so that the ink pressure gradually decreases from the inlet side to the outlet side of the common channel. . As described above, since the ink pressure gradient is generated from the inlet side to the outlet side of the common flow path, the characteristics of the ink droplets ejected from the nozzle, such as weight, shape, and speed, are different between the inlet side and the outlet side of the common flow path. Different.

このような圧力勾配によりインクの吐出特性に差が生じると、共通流路の出口側に近い
個別流路・ノズルから吐出されたインクほど、インク滴の形状が小さくなり、紙面に印刷
されたインクの濃度にムラが生じてしまう。
If there is a difference in ink ejection characteristics due to such a pressure gradient, the ink ejected from the individual channels / nozzles closer to the outlet side of the common channel has a smaller ink droplet shape, and the ink printed on the paper surface. This causes unevenness in the density.

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドを用いた液体噴射装置だけではな
く、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置においても同様に
存在する。
Such a problem exists not only in a liquid ejecting apparatus using an ink jet recording head but also in a liquid ejecting apparatus using a liquid ejecting head that ejects liquid other than ink.

本発明はこのような事情に鑑み、吐出された液体の濃度のムラを抑制した循環式の液体
噴射装置を提供することを目的とする。
In view of such circumstances, it is an object of the present invention to provide a circulation type liquid ejecting apparatus that suppresses uneven density of discharged liquid.

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を吐出するノズルが第1方向に列設されたノ
ズル列、該ノズルに連通する圧力発生室を有する個別流路、該個別流路に連通する共通流
路、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段を有する液体噴射ヘッドと、前記
共通流路に外部からの液体を供給する供給路及び前記共通流路から液体を外部に回収する
回収路を含む循環流路とを備え、前記液体噴射ヘッドの共通流路における液体の流通方向
が逆向きとなるように、第1方向に対して交差する第2方向に前記液体噴射ヘッドを並設
したことを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、共通流路における液体の流通方向が逆向きとなるように第2方向に並
設された液体噴射ヘッド(以下、一対の液体噴射ヘッド)の各共通流路における液体の流
通方向が互いに逆向きとなる。これにより、一方の液体噴射ヘッドから吐出される液体の
濃度勾配と、他方の液体噴射ヘッドから吐出される液体の濃度勾配とが逆向きとなり、こ
れらの一対の液体噴射ヘッドで吐出された液体全体では、均等な濃度となる。このように
して、本発明に係る液体噴射装置では、循環流路により液体を循環させるとともに、液体
の濃度ムラを防止して高品質な印刷を行うことができる。
An aspect of the present invention that solves the above-described problems is a nozzle row in which nozzles for discharging liquid are arranged in the first direction, an individual channel having a pressure generation chamber that communicates with the nozzle, and a common channel that communicates with the individual channel. A liquid jet head having a flow path, a pressure generating means for generating a pressure change in the pressure generating chamber, a supply path for supplying liquid from the outside to the common flow path, and a recovery for recovering liquid from the common flow path to the outside A liquid flow path including a passage, and the liquid jet heads are arranged in parallel in a second direction intersecting the first direction so that a liquid flow direction in the common flow path of the liquid jet heads is reversed. The liquid ejecting apparatus is characterized by the above.
In this aspect, the flow direction of the liquid in each common flow path of the liquid jet heads (hereinafter referred to as a pair of liquid jet heads) arranged in parallel in the second direction so that the flow direction of the liquid in the common flow path is reversed. They are opposite to each other. As a result, the concentration gradient of the liquid ejected from one liquid ejecting head and the concentration gradient of the liquid ejected from the other liquid ejecting head are reversed, and the entire liquid ejected by these pair of liquid ejecting heads Then, the density becomes equal. As described above, in the liquid ejecting apparatus according to the invention, it is possible to perform high-quality printing by circulating the liquid through the circulation flow path and preventing uneven concentration of the liquid.

ここで、前記共通流路における液体の流通方向が逆向きとなるように並設された前記液
体噴射ヘッドは、各ノズルの第1方向の位置が揃えられていることが好ましい。これによ
れば、一対の液体噴射ヘッドの各ノズルから一つの液滴が形成され、全体として均等な濃
度で液体が吐出される。
Here, it is preferable that the positions of the nozzles in the first direction are aligned in the liquid jet heads arranged side by side so that the liquid flow direction in the common flow path is reversed. According to this, one droplet is formed from each nozzle of the pair of liquid jet heads, and the liquid is ejected with a uniform concentration as a whole.

また、前記共通流路における液体の流通方向が逆向きとなるように並設された前記液体
噴射ヘッドは、一方の液体噴射ヘッドの第1方向における各ノズルが他方の前記第2液体
噴射ヘッドの第1方向における各ノズルの間に位置していることが好ましい。これによれ
ば、均等な濃度で、かつ高密度に液滴を吐出することができる。
Further, the liquid jet heads arranged in parallel so that the liquid flow direction in the common flow path is opposite to each other, each nozzle in the first direction of one liquid jet head is the same as that of the other second liquid jet head. It is preferably located between the nozzles in the first direction. According to this, it is possible to discharge droplets with a uniform density and a high density.

また、前記共通流路における液体の流通方向が逆向きとなるように並設された前記液体
噴射ヘッドごとに前記循環流路が設けられていることが好ましい。これによれば、一対の
液体噴射ヘッドで生じ得る圧力損失が他の一対の液体噴射ヘッドに影響を及ぼすことが防
止される。
In addition, it is preferable that the circulation flow path is provided for each of the liquid jet heads arranged in parallel so that the liquid flow direction in the common flow path is opposite. According to this, it is possible to prevent the pressure loss that may occur in the pair of liquid ejecting heads from affecting the other pair of liquid ejecting heads.

また、複数の液体噴射ヘッドに共通して前記循環流路が設けられていることが好ましい
。これによれば、循環流路を構成する部材数を削減することができる。
Further, it is preferable that the circulation flow path is provided in common for the plurality of liquid ejecting heads. According to this, the number of members constituting the circulation channel can be reduced.

また、前記液体噴射ヘッドを複数有し、前記共通流路における液体の流通方向が同じ向
きである液体噴射ヘッドごとに前記循環流路が設けられていることが好ましい。これによ
れば、一対の液体噴射ヘッドの一方の液体噴射ヘッドで生じ得る圧力損失が他方の液体噴
射ヘッドに影響を及ぼすことが防止される。
In addition, it is preferable that the circulation flow path is provided for each liquid ejection head having a plurality of the liquid ejection heads and having the same liquid flow direction in the common flow path. According to this, it is possible to prevent the pressure loss that may occur in one liquid ejecting head of the pair of liquid ejecting heads from affecting the other liquid ejecting head.

インクジェット式記録装置の概略構成を示す斜視図である。1 is a perspective view illustrating a schematic configuration of an ink jet recording apparatus. ヘッドの断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of a head. ヘッドの概略構成を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows schematic structure of a head. ヘッドの平面図及び断面図である。It is the top view and sectional drawing of a head. 液体流路の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of a liquid flow path. ヘッドのマニホールド、ノズル、インク滴を示す平面図である。It is a top view which shows the manifold of a head, a nozzle, and an ink drop. ヘッドのマニホールド、ノズル、インク滴を示す平面図である。It is a top view which shows the manifold of a head, a nozzle, and an ink drop. 変形例に係る液体流路の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid channel which concerns on a modification. 変形例に係る液体流路の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid channel which concerns on a modification. 変形例に係る液体流路の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid channel which concerns on a modification.

〈実施形態1〉
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。以下、インクジェット式記録ヘッ
ドは液体噴射ヘッドの一例であり、単にヘッドとも言う。また、インクジェット式記録装
置は液体噴射装置の一例である。
<Embodiment 1>
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments. Hereinafter, the ink jet recording head is an example of a liquid ejecting head, and is also simply referred to as a head. The ink jet recording apparatus is an example of a liquid ejecting apparatus.

図1は、インクジェット式記録装置の概略構成を示す斜視図である。インクジェット式
記録装置Iは、複数のヘッド1を有するヘッドユニットIIを装置本体2に固定し、搬送
方向に記録シートS等の被噴射媒体を搬送することで印刷を行う、いわゆるライン式のイ
ンクジェット式記録装置である。
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an ink jet recording apparatus. The ink jet recording apparatus I is a so-called line ink jet type that performs printing by fixing a head unit II having a plurality of heads 1 to the apparatus main body 2 and transporting an ejection medium such as a recording sheet S in the transport direction. It is a recording device.

ヘッドユニットIIは、フレーム部材19に保持されたベースプレート18に、複数の
ヘッド1が保持されて構成されている。このヘッドユニットIIは、フレーム部材19を
介して装置本体2に固定されている。
The head unit II is configured by holding a plurality of heads 1 on a base plate 18 held by a frame member 19. The head unit II is fixed to the apparatus main body 2 via a frame member 19.

装置本体2には給紙ローラー3が設けられている。給紙ローラー3は、装置本体2に給
紙された紙等の記録シートSを第1方向とは直交する第2方向に搬送し、記録シートSを
ヘッド1のインクの吐出面側を通過させる。ここで、第1方向とは、後述するヘッド1の
ノズルが並設された方向であり、第2方向とは、第1方向に直交する方向である(図2〜
4参照。)。本実施形態では、第2方向は、記録シートSとヘッド1との相対的な移動方
向でもある。
The apparatus main body 2 is provided with a paper feed roller 3. The paper feed roller 3 conveys a recording sheet S such as paper fed to the apparatus main body 2 in a second direction orthogonal to the first direction, and passes the recording sheet S through the ink ejection surface side of the head 1. . Here, the first direction is a direction in which nozzles of the head 1 described later are arranged in parallel, and the second direction is a direction orthogonal to the first direction (FIG. 2).
See 4. ). In the present embodiment, the second direction is also a relative movement direction of the recording sheet S and the head 1.

ヘッドユニットIIには、8つのヘッド1が第1方向に4列、第2方向に2列配置され
ている。この第2方向に並設された2つのヘッド1の一方をヘッド1a、他方をヘッド1
bとも言う。本実施形態では、このヘッド1a、ヘッド1bとからなる一対のヘッド1が
、第1方向に4つ設けられている。以下、一対のヘッドについて言及する際には符号「1
a、1b」を用い、一対のヘッドを区別せずに言及する際には符号「1」を用いる。なお
、ヘッド1a及びヘッド1bは、第2方向に並設された液体噴射ヘッドの一例であり、詳
細は後述するが、各ヘッド1a、ヘッド1bの共通流路(マニホールド101)における
インク(液体)の流通方向が逆向きとなるように配置されている。
In the head unit II, eight heads 1 are arranged in four rows in the first direction and two rows in the second direction. One of the two heads 1 arranged in parallel in the second direction is the head 1a, and the other is the head 1.
Also called b. In the present embodiment, four pairs of heads 1 including the head 1a and the head 1b are provided in the first direction. Hereinafter, when referring to a pair of heads, the reference numeral “1” is used.
“a, 1b” is used, and reference is made to “1” when referring to a pair of heads without distinction. The head 1a and the head 1b are examples of liquid jet heads arranged side by side in the second direction. Although details will be described later, ink (liquid) in a common flow path (manifold 101) of the heads 1a and 1b. It is arrange | positioned so that the distribution direction of may become reverse direction.

制御部4は、記録シートSに印字される画像を表した印刷データに基づいて、給紙ロー
ラー3に信号を送信して記録シートSの搬送をさせるとともに、図示しない配線を介して
各ヘッド1に駆動信号を送信してインクを吐出させる。
Based on the print data representing the image printed on the recording sheet S, the control unit 4 transmits a signal to the paper feed roller 3 to convey the recording sheet S, and each head 1 via a wiring (not shown). A drive signal is transmitted to the ink to discharge ink.

装置本体2には、インクが貯留されたインクタンク5が設けられている。インクタンク
5には、ヘッド1に供給されるインク及びヘッド1から回収されるインクの流路となる循
環流路8が設けられている。
The apparatus main body 2 is provided with an ink tank 5 in which ink is stored. The ink tank 5 is provided with a circulation flow path 8 serving as a flow path for ink supplied to the head 1 and ink recovered from the head 1.

循環流路8は、インクをインクタンク5から各ヘッド1に供給する流路である供給管6
と、各ヘッド1からインクタンク5へインクを回収する流路である回収管7とから構成さ
れている。詳細は後述するが、循環流路8により、インクは、インクタンク5から供給管
6を介して各ヘッド1のマニホールド(共通流路)に供給され、ノズル開口から噴射され
なかったインクは回収管7を介してインクタンク5に回収される。
The circulation flow path 8 is a supply pipe 6 that is a flow path for supplying ink from the ink tank 5 to each head 1.
And a collection pipe 7 which is a flow path for collecting ink from each head 1 to the ink tank 5. Although details will be described later, the ink is supplied from the ink tank 5 to the manifold (common flow path) of each head 1 through the supply pipe 6 by the circulation flow path 8, and the ink that has not been ejected from the nozzle openings is collected in the recovery pipe. The ink is collected in the ink tank 5 through 7.

図2に基づいて、本実施形態に係るヘッドについて説明する。図示するように、ヘッド
1は、インクを吐出させるヘッド本体100と、ヘッド本体100と循環流路8との間に
介在したインクの流路を有する流路部材170とから構成されている。
The head according to the present embodiment will be described based on FIG. As shown in the figure, the head 1 includes a head main body 100 that ejects ink, and a flow path member 170 having an ink flow path interposed between the head main body 100 and the circulation flow path 8.

流路部材170は、その上面に設けられた開口であるインク導入口110と、インク導
入口110に連通する上部供給路120と、上部供給路120に設けられ、上部供給路1
20よりもその内径が拡幅されて形成されたフィルター室130と、フィルター室130
の下流側に設けられた下部供給路160とを有する。
The flow path member 170 is provided in the ink supply port 110 that is an opening provided on the upper surface thereof, the upper supply path 120 that communicates with the ink introduction port 110, and the upper supply path 120.
A filter chamber 130 having an inner diameter wider than 20, and a filter chamber 130
And a lower supply path 160 provided on the downstream side.

インク導入口110には、循環流路8(図1参照)の一部を構成する供給枝管62が接
続され、循環流路8からのインクが上部供給路120に供給される。さらに下部供給路1
60は、ヘッド本体100の共通流路であるマニホールド101に連通しており、下部供
給路160からインクがマニホールド101に供給される。
A supply branch 62 constituting a part of the circulation channel 8 (see FIG. 1) is connected to the ink introduction port 110, and ink from the circulation channel 8 is supplied to the upper supply channel 120. Furthermore, the lower supply path 1
Reference numeral 60 denotes a manifold 101 which is a common flow path of the head main body 100, and ink is supplied to the manifold 101 from the lower supply path 160.

これらの上部供給路120と下部供給路160との間に設けられたフィルター室130
には、フィルター131が設けられている。
A filter chamber 130 provided between the upper supply path 120 and the lower supply path 160.
Is provided with a filter 131.

フィルター131は、フィルター孔132を有するシート状のものであればよく、例え
ば、金属を細かく編み込むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものや、金属板に
微細工を形成したものを用いることができる。フィルター131により、インク内の気泡
やゴミ等がフィルター131よりも下流側、すなわちマニホールド101に流入すること
が抑制されている。これにより、気泡等によるドット抜けや、インク中のゴミによるノズ
ル詰まり等の吐出不良が抑制される。
The filter 131 may be in the form of a sheet having the filter holes 132, for example, a sheet-like one in which a plurality of fine holes are formed by finely knitting metal, or one in which a fine work is formed on a metal plate. Can be used. The filter 131 prevents bubbles, dust, and the like in the ink from flowing into the downstream side of the filter 131, that is, the manifold 101. This suppresses ejection defects such as missing dots due to bubbles and the like, and nozzle clogging due to dust in the ink.

また、流路部材170は、その上面に別の開口であるインク排出口150と、インク排
出口150に連通する回収路140とを備えている。回収路140は、マニホールド10
1に連通し、インク排出口150には、循環流路8(図1参照)の一部を構成する回収枝
管72が接続されている。回収路140には、ノズル21から吐出されなかったインクが
マニホールド101から流入し、インク排出口150を介して回収枝管72に排出される
Further, the flow path member 170 includes an ink discharge port 150 which is another opening on the upper surface thereof, and a recovery path 140 which communicates with the ink discharge port 150. The collection path 140 is connected to the manifold 10.
1, a recovery branch pipe 72 constituting a part of the circulation flow path 8 (see FIG. 1) is connected to the ink discharge port 150. Ink that has not been ejected from the nozzles 21 flows into the collection path 140 from the manifold 101 and is discharged to the collection branch 72 through the ink discharge port 150.

図3及び図4を用いて、ヘッド本体100を詳細に説明する。図3は、ヘッド本体の分
解斜視図であり、図4は、ヘッド本体の平面図及びそのA−A′断面図である。
The head main body 100 will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 3 is an exploded perspective view of the head main body, and FIG. 4 is a plan view of the head main body and a sectional view taken along line AA ′.

図示するように、流路形成基板10は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面に
は例えば二酸化シリコンからなる弾性膜50が形成されている。この流路形成基板10に
は、その他方面側から異方性エッチングすることにより、流路形成基板10には、複数の
隔壁11によって区画された複数の圧力発生室12が第1方向(圧力発生室12の幅方向
(短手方向))に並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向
一端部側には、インク供給路14と連通路15とが隔壁11によって区画されている。ま
た、連通路15の一端には、各圧力発生室12の共通のインク室(共通流路)となるマニ
ホールド101の一部を構成する連通部13が形成されている。本実施形態では、請求項
の個別流路は、圧力発生室12、連通部13、インク供給路14及び連通路15から構成
されている。
As shown in the drawing, the flow path forming substrate 10 is made of a silicon single crystal substrate, and an elastic film 50 made of, for example, silicon dioxide is formed on one surface thereof. A plurality of pressure generating chambers 12 partitioned by a plurality of partition walls 11 are formed in the flow path forming substrate 10 in the first direction (pressure generation) by anisotropically etching the flow path forming substrate 10 from the other direction side. The chambers 12 are juxtaposed in the width direction (short direction). In addition, an ink supply path 14 and a communication path 15 are partitioned by a partition wall 11 on one end side in the longitudinal direction of the pressure generating chamber 12 of the flow path forming substrate 10. In addition, a communication portion 13 that forms a part of the manifold 101 serving as a common ink chamber (common flow path) for each pressure generation chamber 12 is formed at one end of the communication passage 15. In the present embodiment, the individual flow path of the claims includes a pressure generation chamber 12, a communication portion 13, an ink supply path 14, and a communication path 15.

流路形成基板10の開口面側には、各圧力発生室12のインク供給路14とは反対側の
端部近傍に連通するノズル21が穿設されたノズルプレート20が接着剤や熱溶着フィル
ム等の接着剤層によって固着されている。なお、ノズルプレート20は、ガラスセラミッ
クス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などからなる。
On the opening surface side of the flow path forming substrate 10, a nozzle plate 20 in which a nozzle 21 communicating with the vicinity of the end of each pressure generating chamber 12 on the side opposite to the ink supply path 14 is formed is an adhesive or a heat welding film. It is fixed by an adhesive layer such as. The nozzle plate 20 is made of glass ceramics, a silicon single crystal substrate, stainless steel, or the like.

ノズル21は、第1方向に並設されており、並設された複数のノズル21からノズル列
21Aが構成されている。
The nozzles 21 are arranged side by side in the first direction, and a nozzle row 21 </ b> A is configured from the plurality of nozzles 21 arranged in parallel.

流路形成基板10の開口面とは反対側には、上述した弾性膜50上に、例えば、酸化ジ
ルコニウム(ZrO)等からなる絶縁体膜55が積層形成されている。また、絶縁体膜
55上には、圧力発生手段として、第1電極60と、圧電体層70と、第2電極80とか
らなる圧電素子300が形成されている。ここで、圧電素子300は、第1電極60、圧
電体層70及び第2電極80を含む部分をいう。一般的には、圧電素子300の何れか一
方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層70を圧力発生室12毎にパターニン
グして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層7
0から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部とい
う。本実施形態では、第1電極60を圧電素子300の共通電極とし、第2電極80を圧
電素子300の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障は
ない。何れの場合においても、圧力発生室12毎に圧電体能動部が形成されていることに
なる。また、上述した例では、弾性膜50、絶縁体膜55及び第1電極60が振動板とし
て作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜50及び絶縁体膜5
5を設けずに、第1電極60のみが振動板として作用するようにしてもよい。
An insulating film 55 made of, for example, zirconium oxide (ZrO 2 ) or the like is laminated on the elastic film 50 described above on the side opposite to the opening surface of the flow path forming substrate 10. On the insulator film 55, a piezoelectric element 300 including a first electrode 60, a piezoelectric layer 70, and a second electrode 80 is formed as pressure generating means. Here, the piezoelectric element 300 refers to a portion including the first electrode 60, the piezoelectric layer 70, and the second electrode 80. In general, one electrode of the piezoelectric element 300 is used as a common electrode, and the other electrode and the piezoelectric layer 70 are patterned for each pressure generating chamber 12. In this case, any one of the patterned electrodes and the piezoelectric layer 7 is used.
A portion that is composed of 0 and generates piezoelectric distortion when a voltage is applied to both electrodes is referred to as a piezoelectric active portion. In the present embodiment, the first electrode 60 is a common electrode of the piezoelectric element 300, and the second electrode 80 is an individual electrode of the piezoelectric element 300. However, there is no problem even if this is reversed for the convenience of the drive circuit and wiring. In any case, a piezoelectric active part is formed for each pressure generating chamber 12. In the above-described example, the elastic film 50, the insulator film 55, and the first electrode 60 function as a vibration plate, but of course not limited thereto, for example, the elastic film 50 and the insulator film 5
5 may be provided, and only the first electrode 60 may act as a diaphragm.

そして、このような各圧電素子300の第2電極80には、例えば、金(Au)等から
なるリード電極90がそれぞれ接続され、このリード電極90を介して各圧電素子300
に選択的に電圧が印加されるようになっている。
The second electrode 80 of each piezoelectric element 300 is connected to a lead electrode 90 made of, for example, gold (Au) or the like, and the piezoelectric element 300 is connected via the lead electrode 90.
A voltage is selectively applied to the.

流路形成基板10の圧電素子300側には、保護基板30が接着剤35を介して接合さ
れている。保護基板30には、連通部13に対向する領域にマニホールド部31が設けら
れており、このマニホールド部31は、上述したように、流路形成基板10の連通部13
と連通されて各圧力発生室12の共通のインク室(共通流路)となるマニホールド101
を構成している。また、保護基板30の圧電素子保持部32とマニホールド部31との間
の領域には、保護基板30を厚さ方向に貫通する貫通孔33が設けられ、この貫通孔33
内に第1電極60の一部及びリード電極90の先端部が露出され、これらの先端部に導電
性ワイヤー121を介して圧電素子300を駆動するための駆動回路250が電気的に接
続されている。
The protective substrate 30 is bonded to the flow path forming substrate 10 via the adhesive 35 on the piezoelectric element 300 side. The protective substrate 30 is provided with a manifold portion 31 in a region facing the communication portion 13, and the manifold portion 31 is connected to the communication portion 13 of the flow path forming substrate 10 as described above.
Manifold 101 that is in communication with each other and serves as a common ink chamber (common flow path) for each pressure generating chamber 12
Is configured. A through hole 33 that penetrates the protective substrate 30 in the thickness direction is provided in a region between the piezoelectric element holding portion 32 and the manifold portion 31 of the protective substrate 30.
A part of the first electrode 60 and the leading end of the lead electrode 90 are exposed inside, and a driving circuit 250 for driving the piezoelectric element 300 is electrically connected to the leading end via the conductive wire 121. Yes.

保護基板30としては、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス
、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一
材料、すなわち、表面の結晶面方位が(110)面のシリコン単結晶基板を用いた。
As the protective substrate 30, it is preferable to use substantially the same material as the coefficient of thermal expansion of the flow path forming substrate 10, for example, glass, ceramic material, etc. In this embodiment, the same material as the flow path forming substrate 10, that is, A silicon single crystal substrate having a (110) plane crystal plane orientation was used.

保護基板30上には、封止膜41及び固定板42とからなるコンプライアンス基板40
が接合されている。封止膜41は、剛性が低く可撓性を有する材料(例えば、ポリフェニ
レンサルファイド(PPS)フィルム)からなり、この封止膜41によってマニホールド
部31の一方面が封止されている。また、固定板42は、金属等の硬質の材料(例えば、
ステンレス鋼(SUS)等)で形成される。この固定板42のマニホールド101に対向
する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部43となっているため、マニホールド1
01の一方面は可撓性を有する封止膜41のみで封止されている。
On the protective substrate 30, a compliance substrate 40 comprising a sealing film 41 and a fixing plate 42.
Are joined. The sealing film 41 is made of a material having low rigidity and flexibility (for example, a polyphenylene sulfide (PPS) film), and one surface of the manifold portion 31 is sealed by the sealing film 41. The fixing plate 42 is made of a hard material such as metal (for example,
Stainless steel (SUS) or the like. Since the region of the fixing plate 42 facing the manifold 101 is an opening 43 that is completely removed in the thickness direction, the manifold 1
One surface of 01 is sealed only with a flexible sealing film 41.

このコンプライアンス基板40には、第1開口44及び第2開口45(図2参照)が設
けられており、上述したように、第1開口44には下部供給路160(図2参照)が連通
し、第2開口45には回収路140(図2参照)が連通している。
The compliance substrate 40 is provided with a first opening 44 and a second opening 45 (see FIG. 2). As described above, the lower supply path 160 (see FIG. 2) communicates with the first opening 44. The recovery path 140 (see FIG. 2) communicates with the second opening 45.

このような本実施形態のヘッド本体100では、インクタンク5(図1参照)から循環
流路8(供給枝管62)や流路部材170の下部供給路160等を介してマニホールド1
01にインクが供給され、インクはマニホールド101内を第1開口44から第2開口4
5側に向かい流通する。マニホールド101内のインクの一部は、個別流路である連通路
15、インク供給路14、圧力発生室12に流入する。そして、図示しない駆動回路から
の記録信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの第1電極60と第2電極80と
の間に電圧を印加し、弾性膜50、絶縁体膜55、第1電極60及び圧電体層70をたわ
み変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル21からインク滴が
吐出する。
In the head main body 100 of this embodiment, the manifold 1 is connected from the ink tank 5 (see FIG. 1) through the circulation flow path 8 (supply branch pipe 62), the lower supply path 160 of the flow path member 170, and the like.
Ink is supplied to 01, and the ink passes through the manifold 101 from the first opening 44 to the second opening 4.
It circulates toward the 5th side. A part of the ink in the manifold 101 flows into the communication path 15, the ink supply path 14, and the pressure generation chamber 12 which are individual flow paths. Then, in accordance with a recording signal from a drive circuit (not shown), a voltage is applied between each of the first electrode 60 and the second electrode 80 corresponding to the pressure generating chamber 12, and the elastic film 50, the insulator film 55, the first film By bending and deforming the electrode 60 and the piezoelectric layer 70, the pressure in each pressure generating chamber 12 is increased and ink droplets are ejected from the nozzle 21.

一方、圧力発生室12等の個別流路に流入しなかったインクは、第2開口45、流路部
材170の回収路140、循環流路8(回収枝管72)を介してインクタンク5に回収さ
れる。このように共通流路を含む流路全体でインクが流通しているので、インクに含まれ
る顔料などの成分が沈降することが防止されている。
On the other hand, ink that has not flowed into the individual flow path such as the pressure generation chamber 12 enters the ink tank 5 via the second opening 45, the recovery path 140 of the flow path member 170, and the circulation path 8 (recovery branch pipe 72). To be recovered. As described above, since the ink flows through the entire flow path including the common flow path, the components such as pigments contained in the ink are prevented from settling.

また、ヘッド1のマニホールド101では、個別流路(圧力発生室12等)に流入しな
いインクは、第1開口44から第2開口45に向かう方向に沿って流れる。以下、マニホ
ールド101においてインクの流れる方向を流通方向という。本実施形態では、流通方向
は、第1方向と平行としてある。
Further, in the manifold 101 of the head 1, ink that does not flow into the individual flow path (the pressure generation chamber 12 or the like) flows along the direction from the first opening 44 toward the second opening 45. Hereinafter, the direction of ink flow in the manifold 101 is referred to as a flow direction. In this embodiment, the distribution direction is parallel to the first direction.

図5を用いて循環流路について詳細に説明する。図5のハッチは循環流路やヘッドのマ
ニホールド101(共通流路)等に流通するインクを表し、矢印はインクの流れる方向(
流通方向)を表している。
The circulation channel will be described in detail with reference to FIG. The hatches in FIG. 5 represent the ink flowing through the circulation flow path, the head manifold 101 (common flow path), and the like, and the arrows indicate the direction of ink flow (
Distribution direction).

本実施形態に係るインクジェット式記録装置Iは、上述したように複数のヘッド1を有
しており、第2方向に並設された一対のヘッド1a、1bが、第1方向に4列並設されて
いる。
The ink jet recording apparatus I according to the present embodiment has a plurality of heads 1 as described above, and a pair of heads 1a and 1b arranged in the second direction are arranged in four rows in the first direction. Has been.

循環流路8は、供給管6と回収管7とから構成されている。本実施形態では、4つのヘ
ッド1aに対して1つの循環流路8が設けられ、4つのヘッド1bに対して1つの循環流
路8が設けられている。
The circulation channel 8 includes a supply pipe 6 and a recovery pipe 7. In the present embodiment, one circulation channel 8 is provided for the four heads 1a, and one circulation channel 8 is provided for the four heads 1b.

供給管6は、インクタンク5に接続された一本の供給幹管61と、供給幹管61とヘッ
ド1のインク導入口110とを接続する供給枝管62とからなる。回収管7は、インクタ
ンク5に接続された一本の回収幹管71と、回収幹管71とインク排出口150とを接続
する回収枝管72とからなる。回収幹管71とインクタンク5との間にはポンプPが介設
されており、このポンプPによる負圧により、各ヘッド1のインクがヘッド1から回収管
7を経てインクタンク5へ回収され、インクがインクタンク5から供給管6を経てヘッド
1に供給されることでインクが循環する構成となっている。
The supply pipe 6 includes a single supply trunk pipe 61 connected to the ink tank 5 and a supply branch pipe 62 that connects the supply trunk pipe 61 and the ink introduction port 110 of the head 1. The collection pipe 7 includes a single collection trunk pipe 71 connected to the ink tank 5 and a collection branch pipe 72 that connects the collection trunk pipe 71 and the ink discharge port 150. A pump P is interposed between the recovery trunk pipe 71 and the ink tank 5. Due to the negative pressure generated by the pump P, the ink of each head 1 is recovered from the head 1 to the ink tank 5 via the recovery pipe 7. Ink is circulated by supplying ink from the ink tank 5 to the head 1 via the supply pipe 6.

図6を用いて、マニホールド101のインクの流通方向と、吐出されるインクについて
詳細に説明する。
The flow direction of ink in the manifold 101 and the ejected ink will be described in detail with reference to FIG.

図6(a)は、一対のヘッドのマニホールドを模式的に表した平面図であり、図6(b
)は、一対のヘッドのノズルを模式的に表した平面図であり、図6(c)は、一対のヘッ
ドのそれぞれから吐出されたインク滴を模式的に表した平面図であり、図6(d)は、一
対のヘッドから吐出されたインク滴を模式的に表した平面図である。
FIG. 6A is a plan view schematically showing a manifold of a pair of heads.
) Is a plan view schematically showing the nozzles of a pair of heads, and FIG. 6C is a plan view schematically showing ink droplets ejected from each of the pair of heads. (D) is a plan view schematically showing ink droplets ejected from a pair of heads.

図6(a)及び上述した図5に示すように、ヘッド1aは、マニホールド101でのイ
ンクの流通方向の上流側(第1開口44側)が第1方向の一端側(図6の左側)に位置し
、下流側(第2開口45側)が第1方向の他端側(図6の右側)に位置している。一方、
ヘッド1bは、マニホールド101でのインクの流通方向の上流側(第1開口44側)が
第1方向の他端側(図6の右側)に位置し、下流側(第2開口45側)が第1方向の一端
側(図6の左側)に位置している。
As shown in FIG. 6A and FIG. 5 described above, in the head 1a, the upstream side (first opening 44 side) in the ink circulation direction in the manifold 101 is one end side in the first direction (left side in FIG. 6). The downstream side (second opening 45 side) is located on the other end side in the first direction (right side in FIG. 6). on the other hand,
In the head 1b, the upstream side (first opening 44 side) in the ink flow direction in the manifold 101 is positioned on the other end side (right side in FIG. 6) in the first direction, and the downstream side (second opening 45 side). It is located on one end side in the first direction (left side in FIG. 6).

このような配置のヘッド1a、ヘッド1bに循環流路8(図5参照)を接続することで
、ヘッド1aのマニホールド101でのインクの流通方向(図中の矢印A)は、第1方向
に沿って図6の左から右、ヘッド1bのマニホールド101でのインクの流通方向(図中
の矢印B)は、第1方向に沿って図6の右から左となり、互いに逆向きとなっている。
By connecting the circulation flow path 8 (see FIG. 5) to the head 1a and the head 1b arranged in this way, the ink flow direction (arrow A in the figure) in the manifold 101 of the head 1a is in the first direction. 6 from left to right in FIG. 6, and the direction of ink flow (arrow B in the figure) in the manifold 101 of the head 1b is from right to left in FIG. 6 along the first direction, which are opposite to each other. .

このようなヘッド1a及びヘッド1bのマニホールド101には、圧力発生室12等の
個別流路(図3、図4参照)が第1方向に沿って複数設けられている。この各個別流路に
マニホールド101からインクが流入するため、マニホールド101の上流側(第1開口
44側)ほどインクの圧力は高く、下流側(第2開口45側)ほどインクの圧力が低い。
すなわち、上流側から下流側に向かい、インクの圧力勾配が生じている。
The manifold 101 of the head 1a and the head 1b is provided with a plurality of individual flow paths (see FIGS. 3 and 4) such as the pressure generation chamber 12 along the first direction. Since ink flows into each individual flow path from the manifold 101, the ink pressure is higher on the upstream side (first opening 44 side) of the manifold 101, and the ink pressure is lower on the downstream side (second opening 45 side).
That is, an ink pressure gradient is generated from the upstream side toward the downstream side.

ここで、図6(b)に示すように、本実施形態では、ヘッドユニットII(図1参照)
に保持されたヘッド1a及びヘッド1bの各ノズル列21Aは、同一ピッチとしてある。
すなわち、ヘッド1a、1bのそれぞれのノズル列21Aについて、左から数えてi番目
(ノズル列21Aのノズルの個数をNとし、iは1〜Nまでの整数)のノズル21は、第
1方向で同じ位置にある。各ヘッド1a及びヘッド1bの吐出タイミングを制御すること
で、ヘッド1aから吐出された各インク滴と、ヘッド1bから吐出された各インク滴とを
同一箇所に着弾させることが可能となっている。
Here, as shown in FIG. 6B, in this embodiment, the head unit II (see FIG. 1).
The nozzle rows 21A of the head 1a and the head 1b held in the same pitch are set to the same pitch.
That is, for each nozzle row 21A of the heads 1a and 1b, the i-th nozzle 21 counting from the left (where N is the number of nozzles in the nozzle row 21A and i is an integer from 1 to N) In the same position. By controlling the ejection timing of each head 1a and head 1b, each ink droplet ejected from the head 1a and each ink droplet ejected from the head 1b can be landed at the same location.

図6(c)に、ヘッド1a及びヘッド1bにより吐出されたインク滴を示す。インク滴
Ai(iは、1〜Nまでの整数)は、ヘッド1aの左から数えてi番目のノズル21から
吐出されたインク滴を表している。同様に、インク滴Bi(iは、1〜Nまでの整数)は
、ヘッド1aの左から数えてi番目のノズル21から吐出されたインク滴を表している。
FIG. 6C shows ink droplets ejected by the head 1a and the head 1b. The ink droplet Ai (i is an integer from 1 to N) represents an ink droplet ejected from the i-th nozzle 21 counted from the left of the head 1a. Similarly, an ink droplet Bi (i is an integer from 1 to N) represents an ink droplet ejected from the i-th nozzle 21 counted from the left of the head 1a.

それぞれのヘッド1a及びヘッド1bにおいては、マニホールド101で生じたインク
の圧力勾配により、ヘッド1aが吐出したインク滴Aiは、上流側(図の左側)ほど大き
く、下流側(図の右側)ほど小さい。一方、ヘッド1bが吐出したインク滴Biは、上流
側(図の右側)ほど大きく、下流側(図の左側)ほど小さい。なお、同図では、インク滴
の大きさの差を分かりやすくするために、敢えて差を顕著に表現してあり、実際には図中
のインク滴ほどの差はない。
In each head 1a and head 1b, due to the ink pressure gradient generated in the manifold 101, the ink droplet Ai ejected by the head 1a is larger on the upstream side (left side in the figure) and smaller on the downstream side (right side in the figure). . On the other hand, the ink droplets Bi ejected by the head 1b are larger on the upstream side (right side in the figure) and smaller on the downstream side (left side in the figure). In the figure, in order to make the difference in the size of the ink droplets easy to understand, the difference is deliberately expressed. In fact, there is no difference as much as the ink droplets in the drawing.

仮に、ヘッド1a又はヘッド1bの単独で記録シートSにインクを吐出したとすると、
このようなインク滴の大きさの差は、上流側に対向した領域ではインクが濃く、下流側に
対向した領域ではインクが薄くなった濃度勾配として現れる。
If the ink is ejected onto the recording sheet S by the head 1a or the head 1b alone,
Such a difference in the size of the ink droplets appears as a density gradient in which the ink is dark in the region facing the upstream side and thin in the region facing the downstream side.

図6(d)に示すように、このような構成のヘッド1a及びヘッド1bがインクを吐出
すると、インク滴Aiとインク滴Biとが一つのインク滴Ciが形成される。
As shown in FIG. 6D, when the head 1a and the head 1b having such a configuration discharge ink, the ink droplet Ai and the ink droplet Bi form one ink droplet Ci.

このように形成された各インク滴Ciは、大きさや形状が揃ったインク滴となっている
。例えば、ヘッド1aのインク滴A1は、マニホールド101の上流側であるので、比較
的大きな形状である。これに対応するヘッド1bのインク滴B1は、マニホールド101
の下流側であるので、比較的小さな形状である。次のインク滴A2は、インク滴A1より
も若干小さくなり、その分、インク滴B2がインク滴B1よりも若干大きくなる。以降、
同様に、インク滴Aiが小さくなる一方で、インク滴Biが大きくなる。このように、イ
ンク滴Aiの大きさの減小に対応して、インク滴Biの大きさが増大するので、インク滴
Aiとインク滴Biとから合成された各インク滴Ciは均等な形状となる。
Each ink droplet Ci thus formed is an ink droplet having a uniform size and shape. For example, since the ink droplet A1 of the head 1a is on the upstream side of the manifold 101, it has a relatively large shape. The ink droplet B1 of the head 1b corresponding to this corresponds to the manifold 101.
Since it is on the downstream side, the shape is relatively small. The next ink droplet A2 is slightly smaller than the ink droplet A1, and the ink droplet B2 is accordingly slightly larger than the ink droplet B1. Or later,
Similarly, the ink droplet Ai is reduced, while the ink droplet Bi is increased. Thus, since the size of the ink droplet Bi increases in response to the decrease in the size of the ink droplet Ai, each ink droplet Ci synthesized from the ink droplet Ai and the ink droplet Bi has an equal shape. Become.

以上に説明したように、本実施形態に係るインクジェット式記録装置Iでは、一対のヘ
ッド1aとヘッド1bのマニホールド101におけるインクの流通方向を互いに逆向きと
した。これにより、一方のヘッド1aから吐出されるインクの濃度勾配と、他方のヘッド
1bから吐出されるインクの濃度勾配とが逆向きとなり、ヘッド1a及びヘッド1bの一
対で吐出されたインク全体では、均等な濃度となる。このようにして、本実施形態に係る
インクジェット式記録装置Iでは、循環流路8により、インクを循環させるとともに、イ
ンクの濃度ムラを防止して高品質な印刷を行うことができる。
As described above, in the ink jet recording apparatus I according to the present embodiment, the ink flow directions in the manifold 101 of the pair of heads 1a and 1b are opposite to each other. Thereby, the density gradient of the ink ejected from one head 1a and the density gradient of the ink ejected from the other head 1b are opposite to each other, and the entire ink ejected by the pair of the head 1a and the head 1b is as follows. The concentration is equal. In this way, in the ink jet recording apparatus I according to the present embodiment, the ink can be circulated by the circulation flow path 8 and high-quality printing can be performed while preventing unevenness of the ink density.

また、上述した例では、ヘッド1a及びヘッド1bの各ノズル列21Aを同一ピッチと
したが、このような態様に限定されない。
In the above-described example, the nozzle rows 21A of the head 1a and the head 1b have the same pitch. However, the present invention is not limited to such a mode.

図7(a)は、変形例に係る一対のヘッドのマニホールドを模式的に表した平面図であ
り、図7(b)は、変形例に係る一対のヘッドのノズルの模式的に表した平面図であり、
図7(c)は、変形例に係る一対のヘッドから吐出されたインク滴を模式的に表した平面
図である。図6に示したものと同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略す
る。
FIG. 7A is a plan view schematically showing a manifold of a pair of heads according to a modification, and FIG. 7B is a plan view schematically showing a nozzle of a pair of heads according to the modification. Figure
FIG. 7C is a plan view schematically showing ink droplets ejected from a pair of heads according to a modification. The same components as those shown in FIG. 6 are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図7(b)に示すように、変形例に係るヘッドユニットII(図1参照)に保持された
ヘッド1a及びヘッド1bの各ノズル列21Aは、半ピッチずれている。すなわち、ヘッ
ド1aのi番目とi+1番目のノズル21の間に、ヘッド1bのi番目のノズル21が配
置されている(ヘッド1bのN番目のノズル21は、ヘッド1aのN番目よりも外側に配
置されている)。
As shown in FIG. 7B, the nozzle rows 21A of the head 1a and the head 1b held by the head unit II (see FIG. 1) according to the modification are shifted by a half pitch. That is, the i-th nozzle 21 of the head 1b is disposed between the i-th and i + 1-th nozzles 21 of the head 1a (the N-th nozzle 21 of the head 1b is located outside the N-th of the head 1a). Is placed).

図7(c)に示すように、このような構成のヘッド1a及びヘッド1bがインクを吐出
すると、インク滴Aiとインク滴Biとが交互に現れる。この場合においても、一方のヘ
ッド1aから吐出されるインクの濃度勾配と、他方のヘッド1bから吐出されるインクの
濃度勾配とが逆向きとなるので、インク滴Aiとインク滴Biとの一組が占める面積は、
各組でほぼ均等に揃う。これにより、ヘッド1a及びヘッド1bの一対で吐出されたイン
ク全体では、均等な濃度となる。このようにして、ノズル列21Aを半ピッチずらしたイ
ンクジェット式記録装置Iでは、循環流路8により、インクを循環させるとともに、イン
クの濃度ムラを防止して高品質で高密度な印刷を行うことができる。
As shown in FIG. 7C, when the head 1a and the head 1b having such a configuration eject ink, ink droplets Ai and ink droplets Bi appear alternately. Also in this case, since the density gradient of the ink ejected from one head 1a and the density gradient of the ink ejected from the other head 1b are opposite to each other, a pair of the ink droplet Ai and the ink droplet Bi. The area occupied by
Each group is almost evenly aligned. As a result, the entire ink ejected by the pair of the head 1a and the head 1b has a uniform density. In this way, in the ink jet recording apparatus I in which the nozzle row 21A is shifted by a half pitch, the ink is circulated by the circulation flow path 8, and the ink density unevenness is prevented and high-quality and high-density printing is performed. Can do.

〈実施形態2〉
本実施形態では、循環流路8の態様について例示する。図8〜図10は、実施形態2に
係る循環流路の構成を示す模式図である。
<Embodiment 2>
In this embodiment, the aspect of the circulation flow path 8 is illustrated. 8 to 10 are schematic diagrams illustrating the configuration of the circulation flow path according to the second embodiment.

図8(a)に示すように、実施形態1と同様に、ヘッド1aの第1開口44と第2開口
45と、ヘッド1bの第1開口44と第2開口45とが、互いに逆になるように配置され
ている。また、供給管6は、インクタンク5からヘッド1aの第1開口44に接続し、回
収管7は、ヘッド1bの第2開口45からインクタンク5に接続されている。さらに、ヘ
ッド1aの第2開口45からヘッド1bの第1開口44に、接続管9が接続されている。
この接続管9は、供給管6と回収管7の機能を兼ねるものであり、ヘッド1aの第2開口
45から回収されたインクをヘッド1bの第1開口44に供給する。このような供給管6
、回収管7及び接続管9とから循環流路8が構成されている。
As shown in FIG. 8A, as in the first embodiment, the first opening 44 and the second opening 45 of the head 1a, and the first opening 44 and the second opening 45 of the head 1b are opposite to each other. Are arranged as follows. The supply pipe 6 is connected from the ink tank 5 to the first opening 44 of the head 1a, and the recovery pipe 7 is connected to the ink tank 5 from the second opening 45 of the head 1b. Further, the connecting pipe 9 is connected from the second opening 45 of the head 1a to the first opening 44 of the head 1b.
The connecting tube 9 also functions as the supply tube 6 and the recovery tube 7 and supplies the ink recovered from the second opening 45 of the head 1a to the first opening 44 of the head 1b. Such a supply pipe 6
A circulation channel 8 is constituted by the recovery pipe 7 and the connecting pipe 9.

図8(b)は、一対のヘッド1aとヘッド1bとを複数(同図の例では2つ)有し、各
対について1つの循環流路8を設けたものである。すなわち、図8(a)の循環流路8と
一対のヘッド1a及びヘッド1bの構成を複数有するものである。
FIG. 8B has a plurality of pairs of heads 1a and 1b (two in the example shown in the figure), and one circulation channel 8 is provided for each pair. That is, it has a plurality of configurations of the circulation flow path 8 and the pair of heads 1a and 1b in FIG.

図8(a)及び図8(b)の何れの態様についても、一対のヘッド1aとヘッド1bに
ついて1つの循環流路8が設けられ、この循環流路8は、ヘッド1aからヘッド1bに直
列的にインクを供給及び回収する構成となっている。
8A and 8B, one circulation channel 8 is provided for the pair of heads 1a and 1b, and this circulation channel 8 is connected in series from the head 1a to the head 1b. In particular, the ink is supplied and recovered.

図8(a)及び図8(b)の何れの態様においても、一対のヘッド1aとヘッド1bに
おけるインクの流通方向A、流通方向Bとが逆向きであるので、圧力勾配による濃度勾配
が防止された高品質な印刷を行うことができる。また、一対のヘッド1aとヘッド1bに
ついて1つの循環流路8が設けられているので、他の一対のヘッド1a及びヘッド1bで
生じ得る圧力損失に影響されない。
8A and 8B, since the ink flow direction A and the flow direction B in the pair of heads 1a and 1b are opposite to each other, the concentration gradient due to the pressure gradient is prevented. High-quality printing can be performed. In addition, since one circulation channel 8 is provided for the pair of heads 1a and 1b, the pressure loss that may occur in the other pair of heads 1a and 1b is not affected.

図8(c)は、一対のヘッド1aとヘッド1bとを複数(同図の例では2つ)有し、こ
れらについて1つの循環流路を設けたものである。具体的には、インクタンク5から一つ
のヘッド1aの第1開口44に供給管6を接続し、一つのヘッド1bの第2開口45から
インクタンク5に回収管7を接続する。残りの第1開口44と第2開口45とを接続管9
で接続することで循環流路8を構成する。
FIG. 8C has a plurality of (two in the example of the figure) a pair of heads 1a and 1b, and one circulation channel is provided for these. Specifically, the supply pipe 6 is connected from the ink tank 5 to the first opening 44 of one head 1a, and the recovery pipe 7 is connected to the ink tank 5 from the second opening 45 of one head 1b. Connect the remaining first opening 44 and second opening 45 to the connecting pipe 9.
The circulation flow path 8 is configured by connecting them with each other.

この態様では、全ての一対のヘッド1aとヘッド1bについて1つの循環流路8が設け
られ、この循環流路8は、ヘッド1aからヘッド1bに直列的にインクを供給及び回収す
る構成となっている。また、一対のヘッド1aとヘッド1bにおけるインクの流通方向A
、流通方向Bとが逆向きであるので、圧力勾配による濃度勾配が防止された高品質な印刷
を行うことができる。さらに、全ての一対のヘッド1aとヘッド1bについて1つの循環
流路8が設けられているので、ポンプPなど循環流路8を構成する部材数を削減すること
ができる。
In this embodiment, one circulation channel 8 is provided for every pair of heads 1a and 1b, and this circulation channel 8 is configured to supply and collect ink in series from the head 1a to the head 1b. Yes. Also, the ink flow direction A in the pair of heads 1a and 1b.
Since the flow direction B is opposite, high-quality printing in which a concentration gradient due to a pressure gradient is prevented can be performed. Furthermore, since one circulation channel 8 is provided for every pair of heads 1a and 1b, the number of members constituting the circulation channel 8 such as the pump P can be reduced.

図9(a)に示すように、実施形態1と同様に、ヘッド1aの第1開口44と第2開口
45と、ヘッド1bの第1開口44と第2開口45とが、互いに逆になるように配置され
ている。また、供給管6を構成する供給枝管62が、インクタンク5からヘッド1a及び
ヘッド1bの第1開口44に接続している。同様に、回収管7を構成する回収枝管72は
、ヘッド1a及びヘッド1bの第2開口45からインクタンク5に接続されている。
As shown in FIG. 9A, as in the first embodiment, the first opening 44 and the second opening 45 of the head 1a, and the first opening 44 and the second opening 45 of the head 1b are opposite to each other. Are arranged as follows. A supply branch pipe 62 constituting the supply pipe 6 is connected from the ink tank 5 to the first openings 44 of the head 1a and the head 1b. Similarly, the collection branch pipe 72 constituting the collection pipe 7 is connected to the ink tank 5 through the second opening 45 of the head 1a and the head 1b.

図9(b)には、一対のヘッド1aとヘッド1bとを複数(同図の例では2つ)有し、
各対について図9(a)に示した構成の循環流路8を設けたインクジェット式記録装置が
示されている。すなわち、図9(a)の循環流路8と一対のヘッド1a及びヘッド1bの
構成を複数有するものである。
In FIG. 9B, there are a plurality of (two in the example in the figure) a pair of heads 1a and 1b.
An ink jet recording apparatus is shown in which the circulation channel 8 having the configuration shown in FIG. 9A is provided for each pair. That is, it has a plurality of configurations of the circulation flow path 8 and the pair of heads 1a and 1b in FIG.

図9(a)及び図9(b)の何れの態様のインクジェット式記録装置についても、一対
のヘッド1aとヘッド1bについて1つの循環流路8が設けられ、この循環流路8は、ヘ
ッド1aからヘッド1bに並列的にインクを供給及び回収する構成となっている。
9A and 9B, the ink jet recording apparatus of any of the modes is provided with one circulation channel 8 for the pair of heads 1a and 1b, and this circulation channel 8 is connected to the head 1a. The ink is supplied to and recovered from the head 1b in parallel.

図9(a)及び図9(b)の何れの態様のインクジェット式記録装置においても、一対
のヘッド1aとヘッド1bにおけるインクの流通方向A、流通方向Bとが逆向きであるの
で、圧力勾配による濃度勾配が防止された高品質な印刷を行うことができる。また、一対
のヘッド1aとヘッド1bについて1つの循環流路8が設けられているので、他の一対の
ヘッド1a及びヘッド1bで生じ得る圧力損失に影響されない。
9A and 9B, the ink flow direction A and the flow direction B of the pair of heads 1a and 1b are opposite to each other. It is possible to perform high-quality printing in which the density gradient due to is prevented. In addition, since one circulation channel 8 is provided for the pair of heads 1a and 1b, the pressure loss that may occur in the other pair of heads 1a and 1b is not affected.

図9(c)には、一対のヘッド1aとヘッド1bとを複数(同図の例では2つ)有し、
これらについて1つの循環流路を設けたインクジェット式記録装置が示されている。具体
的には、供給管6を構成する供給枝管62がインクタンク5から各ヘッド1aの第1開口
44に接続している。同様に、回収管7を構成する回収枝管72が各ヘッド1bの第2開
口45からインクタンク5に接続している。
FIG. 9 (c) has a plurality of pairs of heads 1a and 1b (two in the example in the figure),
For these, an ink jet recording apparatus provided with one circulation channel is shown. Specifically, a supply branch pipe 62 constituting the supply pipe 6 is connected from the ink tank 5 to the first opening 44 of each head 1a. Similarly, a collection branch pipe 72 constituting the collection pipe 7 is connected to the ink tank 5 from the second opening 45 of each head 1b.

この態様では、全ての一対のヘッド1aとヘッド1bについて1つの循環流路8が設け
られ、この循環流路8は、各ヘッド1aに並列的にインクを供給し、各ヘッド1bから並
列的にインクを回収する構成となっている。また、一対のヘッド1aとヘッド1bにおけ
るインクの流通方向A、流通方向Bとが逆向きであるので、圧力勾配による濃度勾配が防
止された高品質な印刷を行うことができる。さらに、全ての一対のヘッド1aとヘッド1
bについて1つの循環流路8が設けられているので、ポンプPなど循環流路8の構成する
部材数を削減することができる。
In this embodiment, one circulation channel 8 is provided for every pair of heads 1a and 1b, and this circulation channel 8 supplies ink to each head 1a in parallel, and from each head 1b in parallel. The ink is collected. Further, since the ink flow direction A and the flow direction B in the pair of heads 1a and 1b are opposite to each other, high-quality printing in which a density gradient due to a pressure gradient is prevented can be performed. Furthermore, all the pairs of heads 1a and 1
Since one circulation channel 8 is provided for b, the number of members constituting the circulation channel 8 such as the pump P can be reduced.

また、図10に示すように、一対のヘッド1a及び1bを複数(図では2つ)有し、各
ヘッド1aについて1つの循環流路8、各ヘッド1bについて1つの循環流路8を設けて
もよい。すなわち、マニホールド101における流通方向が同じ方向であるヘッド1aに
ついて1つの循環流路8を設け、同様に、マニホールド101における流通方向が同じ方
向であるヘッド1bについて1つの循環流路8を設けた。
Further, as shown in FIG. 10, a plurality of (two in the figure) a pair of heads 1a and 1b are provided, and one circulation channel 8 is provided for each head 1a and one circulation channel 8 is provided for each head 1b. Also good. That is, one circulation channel 8 is provided for the head 1a whose flow direction in the manifold 101 is the same direction, and similarly, one circulation channel 8 is provided for the head 1b whose flow direction in the manifold 101 is the same direction.

各対のヘッド1aとヘッド1bは、実施形態1と同様に、ヘッド1aの第1開口44と
第2開口45と、ヘッド1bの第1開口44と第2開口45とが、互いに逆になるように
配置されている。
In each pair of heads 1a and 1b, as in the first embodiment, the first opening 44 and the second opening 45 of the head 1a and the first opening 44 and the second opening 45 of the head 1b are opposite to each other. Are arranged as follows.

2つのヘッド1aについては、供給管6は、インクタンク5から一方のヘッド1aの第
1開口44に接続している。また、回収管7は、他方のヘッド1aの第2開口45からイ
ンクタンク5に接続されている。さらに、一方のヘッド1aの第2開口45から他方のヘ
ッド1aの第1開口44に接続管9が接続されている。
For the two heads 1a, the supply pipe 6 is connected from the ink tank 5 to the first opening 44 of one head 1a. The collection tube 7 is connected to the ink tank 5 through the second opening 45 of the other head 1a. Furthermore, the connecting pipe 9 is connected from the second opening 45 of one head 1a to the first opening 44 of the other head 1a.

2つのヘッド1bについても、同様である。すなわち、供給管6は、インクタンク5か
ら一方のヘッド1bの第1開口44に接続している。また、回収管7は、他方のヘッド1
bの第2開口45からインクタンク5に接続されている。さらに、一方のヘッド1bの第
2開口45から他方のヘッド1bの第1開口44に接続管9が接続されている。
The same applies to the two heads 1b. That is, the supply pipe 6 is connected from the ink tank 5 to the first opening 44 of one head 1b. Further, the recovery pipe 7 is connected to the other head 1.
The ink tank 5 is connected to the second opening 45 of b. Further, the connecting pipe 9 is connected from the second opening 45 of one head 1b to the first opening 44 of the other head 1b.

このように、一方の循環流路8は各ヘッド1a同士に、他方の循環流路8は各ヘッド1
b同士に、直列的にインクを供給及び回収する構成となっている。ちなみに、実施形態1
の図5に示した2つの循環流路8は、それぞれ各ヘッド1a同士、各ヘッド1b同士に並
列的にインクを供給及び回収する構成となっている。
Thus, one circulation channel 8 is connected to each head 1a, and the other circulation channel 8 is connected to each head 1.
Ink is supplied and recovered in series between b. Incidentally, Embodiment 1
The two circulation flow paths 8 shown in FIG. 5 are configured to supply and collect ink in parallel between the heads 1a and between the heads 1b, respectively.

本態様の態様においても、一対のヘッド1aとヘッド1bにおけるインクの流通方向A
、流通方向Bとが逆向きであるので、圧力勾配による濃度勾配が防止された高品質な印刷
を行うことができる。また、ヘッド1aとヘッド1bのそれぞれについて1つの循環流路
8が設けられているので、ヘッド1a及びヘッド1bで生じ得る圧力損失が他方のヘッド
1b及びヘッド1aに影響を及ぼすことを防止できる。
Also in the aspect of this aspect, the ink flow direction A in the pair of heads 1a and 1b.
Since the flow direction B is opposite, high-quality printing in which a concentration gradient due to a pressure gradient is prevented can be performed. In addition, since one circulation channel 8 is provided for each of the head 1a and the head 1b, it is possible to prevent the pressure loss that may occur in the head 1a and the head 1b from affecting the other head 1b and the head 1a.

〈他の実施形態〉
上述した実施形態では、第2方向にヘッド1が2つ並設されていたが、このような態様
に限らない。少なくとも2つ以上のヘッド1が並設されていればよい。偶数個のヘッド1
が第2方向に並設される場合は、任意の2つが一対のヘッド1a、ヘッド1bとなる。並
設された一対のヘッド1aとヘッド1bとは、隣接していてもよいし、他のヘッドを挟ん
で離れていてもよい。また、奇数個のヘッド1が第2方向に並設される場合は、第2方向
に並設された偶数個のヘッド1間で、インクの流通方向を逆向きにする。これにより、そ
の偶数個のヘッド1において濃度勾配が解消されるので、残った1つのヘッド1による濃
度勾配の影響を小さくすることができる。
<Other embodiments>
In the embodiment described above, the two heads 1 are arranged in the second direction, but this is not a limitation. It is sufficient that at least two or more heads 1 are arranged in parallel. Even number of heads 1
Are juxtaposed in the second direction, any two become a pair of heads 1a and 1b. The pair of heads 1a and 1b arranged side by side may be adjacent to each other or may be separated with another head interposed therebetween. Further, when the odd number of heads 1 are juxtaposed in the second direction, the ink flow direction is reversed between the even number of heads 1 juxtaposed in the second direction. Thereby, since the density gradient is eliminated in the even number of heads 1, the influence of the density gradient by the remaining one head 1 can be reduced.

また、インクタンク5に、貯留されているインクを加熱するための加熱手段を設けても
よい。インクを加熱することにより、インクの粘度が低下し、インクを良好に循環させる
ことができる。
The ink tank 5 may be provided with a heating means for heating the stored ink. By heating the ink, the viscosity of the ink is lowered and the ink can be circulated well.

さらに、圧力発生手段として、第1電極60、圧電材料からなる圧電体層70及び第2
電極80を成膜及びリソグラフィー法によって形成した薄膜型の圧電素子300を用いた
が、これに限定されない。
Further, as the pressure generating means, the first electrode 60, the piezoelectric layer 70 made of a piezoelectric material, and the second
Although the thin film type piezoelectric element 300 in which the electrode 80 is formed by film formation and lithography is used, the present invention is not limited to this.

例えば、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の
圧電素子であってもよい。また、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて積層方向
の一端部を振動板に当接させる横振動型の圧電素子を用いるようにしてもよい。さらに、
グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電素子を使用することも
できる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発
熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間
に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出
させるものなども使用することができる。
For example, it may be a longitudinal vibration type piezoelectric element in which piezoelectric materials and electrode forming materials are alternately stacked to expand and contract in the axial direction. Alternatively, a lateral vibration type piezoelectric element in which piezoelectric materials and electrode forming materials are alternately stacked and one end portion in the stacking direction is in contact with the vibration plate may be used. further,
A thick film type piezoelectric element formed by a method such as attaching a green sheet can also be used. Also, as a pressure generating means, a heating element is arranged in the pressure generating chamber, and droplets are discharged from the nozzle opening by bubbles generated by the heat generated by the heating element, or static electricity is generated between the diaphragm and the electrode. In addition, it is possible to use a device in which a diaphragm is deformed by electrostatic force and droplets are ejected from a nozzle opening.

また、上述した実施形態では、各ヘッドが固定されたライン式のインクジェット式記録
装置を示したが、いわゆるシリアル式のインクジェット式記録装置に用いることも可能で
ある。なお、シリアル式のインクジェット式記録装置とは、液体噴射ヘッドを被記録媒体
の搬送方向とは交差する方向に移動させながら印刷を行うものをいう。また、上述した実
施形態では、8つのヘッドを有するものを示したが、この数は限定されず、例えば一つの
ヘッドを有するものでもよい。
In the above-described embodiment, the line type ink jet recording apparatus in which each head is fixed is shown. However, the present invention can also be used for a so-called serial type ink jet recording apparatus. Note that the serial ink jet recording apparatus is a device that performs printing while moving the liquid ejecting head in a direction intersecting the transport direction of the recording medium. Further, in the above-described embodiment, the one having eight heads is shown, but this number is not limited, and for example, one having one head may be used.

さらに、上述の実施形態では、インク滴を吐出するヘッド1を例示して本発明を説明し
たが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとし
ては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレイ
等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FE
D(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオch
ip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
Further, in the above-described embodiment, the present invention has been described by exemplifying the head 1 that ejects ink droplets. However, the present invention is intended for a wide range of liquid ejecting heads in general. Examples of the liquid ejecting head include a recording head used for an image recording apparatus such as a printer, a color material ejecting head used for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an organic EL display, and an FE.
Electrode material ejection head used for electrode formation for D (field emission display), bio-ch
Examples thereof include bioorganic matter ejecting heads used for ip production.

I インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、 II ヘッドユニット、 1、1
a、1b ヘッド(液体噴射ヘッド)、 5 インクタンク、 6 供給管、 7 回収
管、 8 循環流路、 9 接続管、 12 圧力発生室、 20 ノズルプレート、
21 ノズル、 21A ノズル列、 44 第1開口、 45 第2開口、 61 供
給幹管、 62 供給枝管、 71 回収幹管、 72 回収枝管、 100 ヘッド本
体、 101 マニホールド(共通流路)、 170 流路部材、 300 圧電素子
I ink jet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), II head unit, 1, 1
a, 1b head (liquid ejecting head), 5 ink tank, 6 supply pipe, 7 recovery pipe, 8 circulation flow path, 9 connection pipe, 12 pressure generating chamber, 20 nozzle plate,
21 nozzle, 21A nozzle row, 44 first opening, 45 second opening, 61 supply trunk, 62 supply branch, 71 recovery trunk, 72 recovery branch, 100 head main body, 101 manifold (common flow path), 170 Channel member, 300 Piezoelectric element

Claims (6)

液体を吐出するノズルが第1方向に列設されたノズル列、該ノズルに連通する圧力発生
室を有する個別流路、該個別流路に連通する共通流路、該圧力発生室に圧力変化を生じさ
せる圧力発生手段を有する液体噴射ヘッドと、
前記共通流路に外部からの液体を供給する供給路及び前記共通流路から液体を外部に回
収する回収路を含む循環流路とを備え、
前記液体噴射ヘッドの共通流路における液体の流通方向が逆向きとなるように、第1方
向に対して交差する第2方向に前記液体噴射ヘッドを並設した
ことを特徴とする液体噴射装置。
Nozzle rows in which nozzles for discharging liquid are arranged in the first direction, individual flow paths having pressure generation chambers communicating with the nozzles, common flow paths communicating with the individual flow paths, and pressure changes in the pressure generation chambers A liquid jet head having pressure generating means for generating;
A supply path for supplying liquid from outside to the common flow path and a circulation flow path including a recovery path for recovering liquid from the common flow path to the outside;
The liquid ejecting apparatus, wherein the liquid ejecting heads are arranged side by side in a second direction intersecting the first direction so that a flow direction of the liquid in the common flow path of the liquid ejecting heads is opposite.
請求項1に記載する液体噴射装置において、
前記共通流路における液体の流通方向が逆向きとなるように並設された前記液体噴射ヘ
ッドは、各ノズルの第1方向の位置が揃えられている
ことを特徴とする液体噴射装置。
The liquid ejecting apparatus according to claim 1,
The liquid ejecting heads arranged in parallel so that the liquid flow directions in the common flow path are opposite to each other are aligned in the first direction of each nozzle.
請求項1に記載する液体噴射装置において、
前記共通流路における液体の流通方向が逆向きとなるように並設された前記液体噴射ヘ
ッドは、一方の液体噴射ヘッドの第1方向における各ノズルが他方の前記第2液体噴射ヘ
ッドの第1方向における各ノズルの間に位置している
ことを特徴とする液体噴射装置。
The liquid ejecting apparatus according to claim 1,
In the liquid ejecting heads arranged in parallel so that the liquid flow direction in the common flow path is reversed, each nozzle in the first direction of one liquid ejecting head is the first of the other second liquid ejecting head. The liquid ejecting apparatus is located between the nozzles in the direction.
請求項1〜請求項3の何れか一項に記載する液体噴射装置において、
前記共通流路における液体の流通方向が逆向きとなるように並設された前記液体噴射ヘ
ッドごとに前記循環流路が設けられている
ことを特徴とする液体噴射装置。
In the liquid ejecting apparatus according to any one of claims 1 to 3,
The liquid ejecting apparatus, wherein the circulation flow path is provided for each of the liquid ejecting heads arranged in parallel so that the liquid flow direction in the common flow path is opposite.
請求項1〜請求項3の何れか一項に記載する液体噴射装置において、
複数の液体噴射ヘッドに共通して前記循環流路が設けられている
ことを特徴とする液体噴射装置。
In the liquid ejecting apparatus according to any one of claims 1 to 3,
The liquid ejecting apparatus is characterized in that the circulation channel is provided in common to a plurality of liquid ejecting heads.
請求項1〜請求項3の何れか一項に記載する液体噴射装置において、
前記液体噴射ヘッドを複数有し、
前記共通流路における液体の流通方向が同じ向きである液体噴射ヘッドごとに前記循環
流路が設けられている
ことを特徴とする液体噴射装置。
In the liquid ejecting apparatus according to any one of claims 1 to 3,
A plurality of the liquid jet heads;
The liquid ejecting apparatus, wherein the circulation flow path is provided for each liquid ejecting head in which the liquid flow direction in the common flow path is the same.
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