JP2012518900A - 基板支持構造体、クランプ調整ユニット及び、リソグラフィシステム - Google Patents
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Abstract
Description
以下に、本出願の出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]液体のクランプ層(11)の周囲環境より低い圧力を有する当該液体のクランプ層(11)によって生成される毛細管力によって基板(12)をクランプするための基板支持構造体(13)であって、
前記基板支持構造体が、前記基板(12)を保持するための複数の基板支持要素(17)を設けられた表面(16)を具備し、
前記表面が、クランプする間、液体のクランプ層の範囲内で所定の毛細管流動を誘発するために異なる毛細管ポテンシャルを有する複数の部分(51、52;83)をさらに具備する基板支持構造体。
[2]前記異なる毛細管ポテンシャルを有する複数の部分が、クランプする間、前記液体のクランプ層の周囲に沿って1つ若しくは複数の所定の位置に犠牲ギャップの発生をさらに誘導する[1]に記載の基板支持構造体。
[3]前記基板支持構造体の周囲の大部分が、高い毛細管ポテンシャルを有する場合に、前記表面が、1つ若しくは複数の所定の位置の前記基板支持構造体の周囲で低い毛細管ポテンシャルを有する一部分を具備する[1]若しくは[2]に記載の基板支持構造体。
[4]前記複数の位置の限定される数が1である[3]に記載の基板支持構造体。
[5]前記低い毛細管ポテンシャルを有する表面部分の少なくとも一部分が、チャンネルの形状を取る[1]乃至[4]のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
[6]前記チャンネルが、毛細管流動を前記チャンネルから前記液体のクランプ層の周囲へ誘導するために配置される[5]に記載の基板支持構造体。
[7]前記複数の基板支持要素が、所定のピッチで規則的なパターンで配置され、
前記チャンネル幅が、前記所定のピッチよりも狭い[5]若しくは[6]に記載の基板支持構造体。
[8]前記チャンネルが、曲がった一部分を具備する[5]乃至[7]のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
[9]前記チャンネルの少なくとも一部分が、螺旋の形状を取る[8]に記載の基板支持構造体。
[10]前記チャンネルの少なくとも一部分が、曲がりくねった形状を有する[8]に記載の基板支持構造体。
[11]前記低い高さレベルを有する前記表面部分の少なくとも一部分が、前記1つ若しくは複数のチャンネルの形状を有する[1]乃至[10]のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
[12]前記1つ若しくは複数のチャンネルが、曲がった一部分を具備する[11]の基板支持構造体。
[13]前記1若しくは複数のチャンネルの少なくとも一部分が、前記螺旋の形状を取る[12]に記載の基板支持構造体。
[14]前記1若しくは複数のチャンネルの少なくとも一部分が、前記曲がりくねった形状を有する[12]に記載の基板支持構造体。
[15]前記1若しくは複数のチャンネルの表面積が、前記基板構造体の表面の25%未満を覆う[11]乃至[14]のいずれか1項に記載の基板構造体。
[16]前記1若しくは複数のチャンネルの表面積が、前記基板支持構造体の表面に亘って均一に広げられる[15]の基板支持構造体
[17]最も低い毛細管ポテンシャルを有する表面部分が、前記表面の周囲に備えられている[1]乃至[16]にいずれか1項に記載の基板支持構造体。
[18]前記複数の基板支持要素の上面部分と、前記表面の残り部分を制限する前記最も低い毛細管ポテンシャルを有する表面部分の高さレベルとの高差が、前記表面の残り部分の範囲内で低い毛細管ポテンシャルを有する前記表面部分に設けられた前記複数の基板支持要素の高さの2倍に実質的に等しい[17]に記載の基板支持構造体。
[19]最も低い高さレベルを有する表面部分が、高い高さレベルを有する表面部分の周囲に設けられる[1]の基板支持構造体。
[20]前記表面が、複数のコンパートメントを形成するために複数の持ち上げられた構造体を設けられる[1]乃至[19]のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
[21]前記持ち上げられた構造体の高さが、前記複数の基板支持要素の高さより低い[20]に記載の基板支持構造体。
[22]前記複数の持ち上げられた構造体と前記複数の基板支持要素との間の高差が、少なくとも1.5ミクロン(1.5μm)である[21]に記載の基板支持構造体。
[23]前記異なる毛細管ポテンシャルを有する複数の部分(51、52、83)が、毛細管ポテンシャルに差異を設けるために異なる高さレベルを有する[1]乃至[22]に記載の基板支持構造体。
[24]前記異なる毛細管ポテンシャルを有する複数の部分(51、52;83)が、毛細管ポテンシャルに差異を設けるためにクランプ液体に異なる親和力を有する[1]乃至[22]のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
[25]前記異なる毛細管ポテンシャルを有する複数の部分(51、52;83)が、毛細管ポテンシャルに差異を設けるために異なる表面処理、表面材料、若しくは表面コーティングを有する[24]に記載の基板支持構造体。
[26]液体のクランプ層(11)によって加えられる毛細管力によって基板(12)をクランプするための基板支持構造体(13)であって、
前記基板支持構造体が、基板を支持するための複数の基板支持要素(17)を設けられた表面(16)と、複数のコンパートメント(65)を形成するための複数の持ち上げられた構造体(63)とを具備する基板支持構造体。
[27]前記複数の持ち上げられた構造体の高さが、前記複数の基板要素の高さよりも低い[26]に記載の基板支持構造体。
[28]前記複数の持ち上げられた構造体と前記複数の基板支持要素との間の高差が、少なくとも1.5ミクロン(1.5μm)である[27]に記載の基板支持構造体。
[29]前記基板支持構造体が、前記表面の周囲で液体を除去するための液体除去システムをさらに具備する[1]乃至[28]のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
[30]前記液体除去システムが、ガス供給システムを具備する[29]に記載の基板支持構造体。
[31]前記ガス供給システムが、ガスを供給するための少なくとも1つのガス入口と、ガスを排出するための少なくとも1つのガス出口と、を具備する[30]に記載の基板支持構造体。
[32]前記ガス供給システムが、相互に等距離の位置に複数のガス入口と複数のガス出口とを有する[31]に記載の基板支持構造体。
[33]前記ガス供給システムによって供給されるガスが、前記基板支持構造体の表面と前記シール構造体の間に流れることが可能であるように、前記基板支持構造体が、基板支持構造体の表面を囲むシール構造体をさらに具備する[30]乃至[32]のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
[34]前記シール構造体が、前記複数の基板支持構造体の高さレベルに対応する高さレベルを有する[33]に記載の基板支持構造体。
[35]前記複数の基板支持要素が、所定のピッチを有する規則的なパターンで配置され、
前記シール構造体と前記最も近い複数の基板支持要素との間の距離が、前記ピッチより長い[33]若しくは[34]に記載の基板支持構造体。
[36]前記液体層内に使用される前記液体が、水分を具備する[1]乃至[35]のいずれか1の基板支持構造体。
[37]前記複数の基板支持要素が、バールの形状を有する[1]乃至[36]のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
[38]制御された圧力雰囲気を設けるためのハウジングと、
各々前記ハウジング内へ基板を搬入し、前記ハウジング外へ基板を搬出するための少なくとも1つのロードポートと、
前記ハウジングの範囲内の前記基板を移動するための基板搬送ユニットと、を具備するクランプ調整ユニットであって、
前記クランプ調整ユニットが、[1]乃至[37]のいずれか1の基板支持構造体を供給するように構成され、
液体のクランプ層によって前記基板支持構造体の前記基板支持体の表面上の基板をクランプするようにさらに構成されるクランプ調整ユニット。
[39]前記クランプ調整ユニットが、前記基板支持構造体の表面上に液体を供給するための液体ディスペンサをさらに具備する[38]に記載のクランプ調整ユニット。
[40]放射線のパターン化されたビームを供給するための放射線システムと、
基板を支持するための基板支持構造体と、
前記基板のターゲット部分に放射線のパターン化されたビームを照射するための光学システムと、を具備し、
前記基板支持構造体が、[1]乃至[37]のいずれか1の基板支持構造体であるリソグラフィ装置を具備するリソグラフィシステム。
[41]前記放射線のビームが、複数の荷電粒子ビームレットによって形成される[40]に記載のリソグラフィシステム。
[42]前記荷電粒子ビームレットが、電子ビームレットである[41]に記載のリソグラフィシステム。
[43][38]若しくは[39]に記載のクランプ調整ユニットと、
[40]乃至[42]のいずれか1のリソグラフィシステムと、を具備し、
前記クランプ調整ユニットが、前記リソグラフィシステムへ供給するように構成されている構成体。
[44][38]若しくは[39]に記載のクランプ調整ユニットが設けられ、
液体層を形成するための前記基板支持構造体(13)の前記表面(16)上に液体を供給し、
前記液体層上に基板を設置し、
前記基板支持構造体から離れて余分な液体を除去することによって前記基板と前記基板支持構造体との間のクランプ層を形成する、前記基板支持構造体に基板をクランプするための方法。
[45]パターニングするために配置された第1の表面側と周囲環境よりも低い圧力を有する液体のクランプ層(1)によって生成される毛細管力によって基板支持構造体にクランプされるために配置された第2の表面側とを具備し、
前記第2の表面側は、前記液体のクランプ層の範囲内に所定の毛細管流動を誘発するための異なる毛細管ポテンシャルを有する複数の部分を具備する基板。
Claims (45)
- 液体のクランプ層(11)の周囲環境より低い圧力を有する当該液体のクランプ層(11)によって生成される毛細管力によって基板(12)をクランプするための基板支持構造体(13)であって、
前記基板支持構造体が、前記基板(12)を保持するための複数の基板支持要素(17)を設けられた表面(16)を具備し、
前記表面が、クランプする間、液体のクランプ層の範囲内で所定の毛細管流動を誘発するために異なる毛細管ポテンシャルを有する複数の部分(51、52;83)をさらに具備する基板支持構造体。 - 前記異なる毛細管ポテンシャルを有する複数の部分が、クランプする間、前記液体のクランプ層の周囲に沿って1つ若しくは複数の所定の位置に犠牲ギャップの発生をさらに誘導する請求項1に記載の基板支持構造体。
- 前記基板支持構造体の周囲の大部分が、高い毛細管ポテンシャルを有する場合に、前記表面が、1つ若しくは複数の所定の位置の前記基板支持構造体の周囲で低い毛細管ポテンシャルを有する一部分を具備する請求項1若しくは請求項2に記載の基板支持構造体。
- 前記複数の位置の限定される数が1である請求項3に記載の基板支持構造体。
- 前記低い毛細管ポテンシャルを有する表面部分の少なくとも一部分が、チャンネルの形状を取る請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
- 前記チャンネルが、毛細管流動を前記チャンネルから前記液体のクランプ層の周囲へ誘導するために配置される請求項5に記載の基板支持構造体。
- 前記複数の基板支持要素が、所定のピッチで規則的なパターンで配置され、
前記チャンネル幅が、前記所定のピッチよりも狭い請求項5若しくは請求項6に記載の基板支持構造体。 - 前記チャンネルが、曲がった一部分を具備する請求項5乃至7のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
- 前記チャンネルの少なくとも一部分が、螺旋の形状を取る請求項8に記載の基板支持構造体。
- 前記チャンネルの少なくとも一部分が、曲がりくねった形状を有する請求項8に記載の基板支持構造体。
- 前記低い高さレベルを有する前記表面部分の少なくとも一部分が、前記1つ若しくは複数のチャンネルの形状を有する請求項1乃至10のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
- 前記1つ若しくは複数のチャンネルが、曲がった一部分を具備する請求項11の基板支持構造体。
- 前記1若しくは複数のチャンネルの少なくとも一部分が、前記螺旋の形状を取る請求項12に記載の基板支持構造体。
- 前記1若しくは複数のチャンネルの少なくとも一部分が、前記曲がりくねった形状を有する請求項12に記載の基板支持構造体。
- 前記1若しくは複数のチャンネルの表面積が、前記基板構造体の表面の25%未満を覆う請求項11乃至14のいずれか1項に記載の基板構造体。
- 前記1若しくは複数のチャンネルの表面積が、前記基板支持構造体の表面に亘って均一に広げられる請求項15の基板支持構造体
- 最も低い毛細管ポテンシャルを有する表面部分が、前記表面の周囲に備えられている請求項1乃至16にいずれか1項に記載の基板支持構造体。
- 前記複数の基板支持要素の上面部分と、前記表面の残り部分を制限する前記最も低い毛細管ポテンシャルを有する表面部分の高さレベルとの高差が、前記表面の残り部分の範囲内で低い毛細管ポテンシャルを有する前記表面部分に設けられた前記複数の基板支持要素の高さの2倍に実質的に等しい請求項17に記載の基板支持構造体。
- 最も低い高さレベルを有する表面部分が、高い高さレベルを有する表面部分の周囲に設けられる請求項1の基板支持構造体。
- 前記表面が、複数のコンパートメントを形成するために複数の持ち上げられた構造体を設けられる請求項1乃至19のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
- 前記持ち上げられた構造体の高さが、前記複数の基板支持要素の高さより低い請求項20に記載の基板支持構造体。
- 前記複数の持ち上げられた構造体と前記複数の基板支持要素との間の高差が、少なくとも1.5ミクロン(1.5μm)である請求項21に記載の基板支持構造体。
- 前記異なる毛細管ポテンシャルを有する複数の部分(51、52、83)が、毛細管ポテンシャルに差異を設けるために異なる高さレベルを有する請求項1乃至22に記載の基板支持構造体。
- 前記異なる毛細管ポテンシャルを有する複数の部分(51、52;83)が、毛細管ポテンシャルに差異を設けるためにクランプ液体に異なる親和力を有する請求項1乃至22のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
- 前記異なる毛細管ポテンシャルを有する複数の部分(51、52;83)が、毛細管ポテンシャルに差異を設けるために異なる表面処理、表面材料、若しくは表面コーティングを有する請求項24に記載の基板支持構造体。
- 液体のクランプ層(11)によって加えられる毛細管力によって基板(12)をクランプするための基板支持構造体(13)であって、
前記基板支持構造体が、基板を支持するための複数の基板支持要素(17)を設けられた表面(16)と、複数のコンパートメント(65)を形成するための複数の持ち上げられた構造体(63)とを具備する基板支持構造体。 - 前記複数の持ち上げられた構造体の高さが、前記複数の基板要素の高さよりも低い請求項26に記載の基板支持構造体。
- 前記複数の持ち上げられた構造体と前記複数の基板支持要素との間の高差が、少なくとも1.5ミクロン(1.5μm)である請求項27に記載の基板支持構造体。
- 前記基板支持構造体が、前記表面の周囲で液体を除去するための液体除去システムをさらに具備する請求項1乃至28のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
- 前記液体除去システムが、ガス供給システムを具備する請求項29に記載の基板支持構造体。
- 前記ガス供給システムが、ガスを供給するための少なくとも1つのガス入口と、ガスを排出するための少なくとも1つのガス出口と、を具備する請求項30に記載の基板支持構造体。
- 前記ガス供給システムが、相互に等距離の位置に複数のガス入口と複数のガス出口とを有する請求項31に記載の基板支持構造体。
- 前記ガス供給システムによって供給されるガスが、前記基板支持構造体の表面と前記シール構造体の間に流れることが可能であるように、前記基板支持構造体が、基板支持構造体の表面を囲むシール構造体をさらに具備する請求項30乃至32のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
- 前記シール構造体が、前記複数の基板支持構造体の高さレベルに対応する高さレベルを有する請求項33に記載の基板支持構造体。
- 前記複数の基板支持要素が、所定のピッチを有する規則的なパターンで配置され、
前記シール構造体と前記最も近い複数の基板支持要素との間の距離が、前記ピッチより長い請求項33若しくは請求項34に記載の基板支持構造体。 - 前記液体層内に使用される前記液体が、水分を具備する請求項1乃至35のいずれか1の基板支持構造体。
- 前記複数の基板支持要素が、バールの形状を有する請求項1乃至36のいずれか1項に記載の基板支持構造体。
- 制御された圧力雰囲気を設けるためのハウジングと、
各々前記ハウジング内へ基板を搬入し、前記ハウジング外へ基板を搬出するための少なくとも1つのロードポートと、
前記ハウジングの範囲内の前記基板を移動するための基板搬送ユニットと、を具備するクランプ調整ユニットであって、
前記クランプ調整ユニットが、請求項1乃至37のいずれか1の基板支持構造体を供給するように構成され、
液体のクランプ層によって前記基板支持構造体の前記基板支持体の表面上の基板をクランプするようにさらに構成されるクランプ調整ユニット。 - 前記クランプ調整ユニットが、前記基板支持構造体の表面上に液体を供給するための液体ディスペンサをさらに具備する請求項38に記載のクランプ調整ユニット。
- 放射線のパターン化されたビームを供給するための放射線システムと、
基板を支持するための基板支持構造体と、
前記基板のターゲット部分に放射線のパターン化されたビームを照射するための光学システムと、を具備し、
前記基板支持構造体が、請求項1乃至37のいずれか1の基板支持構造体であるリソグラフィ装置を具備するリソグラフィシステム。 - 前記放射線のビームが、複数の荷電粒子ビームレットによって形成される請求項40に記載のリソグラフィシステム。
- 前記荷電粒子ビームレットが、電子ビームレットである請求項41に記載のリソグラフィシステム。
- 請求項38若しくは請求項39に記載のクランプ調整ユニットと、
請求項40乃至42のいずれか1のリソグラフィシステムと、を具備し、
前記クランプ調整ユニットが、前記リソグラフィシステムへ供給するように構成されている構成体。 - 請求項38若しくは請求項39に記載のクランプ調整ユニットが設けられ、
液体層を形成するための前記基板支持構造体(13)の前記表面(16)上に液体を供給し、
前記液体層上に基板を設置し、
前記基板支持構造体から離れて余分な液体を除去することによって前記基板と前記基板支持構造体との間のクランプ層を形成する、前記基板支持構造体に基板をクランプするための方法。 - パターニングするために配置された第1の表面側と周囲環境よりも低い圧力を有する液体のクランプ層(1)によって生成される毛細管力によって基板支持構造体にクランプされるために配置された第2の表面側とを具備し、
前記第2の表面側は、前記液体のクランプ層の範囲内に所定の毛細管流動を誘発するための異なる毛細管ポテンシャルを有する複数の部分を具備する基板。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15441109P | 2009-02-22 | 2009-02-22 | |
US61/154,411 | 2009-02-22 | ||
US30619910P | 2010-02-19 | 2010-02-19 | |
US61/306,199 | 2010-02-19 | ||
PCT/EP2010/052217 WO2010094800A1 (en) | 2009-02-22 | 2010-02-22 | Substrate support structure, clamp preparation unit, and lithography system |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012518900A true JP2012518900A (ja) | 2012-08-16 |
JP2012518900A5 JP2012518900A5 (ja) | 2013-04-11 |
JP5596058B2 JP5596058B2 (ja) | 2014-09-24 |
Family
ID=42154511
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011550592A Active JP5596058B2 (ja) | 2009-02-22 | 2010-02-22 | 基板支持構造体、クランプ調整ユニット及び、リソグラフィシステム |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8991330B2 (ja) |
EP (1) | EP2399279B1 (ja) |
JP (1) | JP5596058B2 (ja) |
KR (1) | KR101568652B1 (ja) |
CN (1) | CN102414781B (ja) |
TW (1) | TWI545682B (ja) |
WO (1) | WO2010094800A1 (ja) |
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- 2010-02-22 CN CN201080017871.4A patent/CN102414781B/zh active Active
- 2010-02-22 JP JP2011550592A patent/JP5596058B2/ja active Active
- 2010-02-22 KR KR1020117022031A patent/KR101568652B1/ko active IP Right Grant
- 2010-02-22 US US12/709,645 patent/US8991330B2/en active Active
- 2010-02-22 EP EP10705592.3A patent/EP2399279B1/en active Active
- 2010-02-22 WO PCT/EP2010/052217 patent/WO2010094800A1/en active Application Filing
- 2010-02-22 TW TW099105115A patent/TWI545682B/zh not_active IP Right Cessation
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Publication number | Publication date |
---|---|
TW201106443A (en) | 2011-02-16 |
KR20110120333A (ko) | 2011-11-03 |
EP2399279B1 (en) | 2018-10-31 |
TWI545682B (zh) | 2016-08-11 |
US20100236476A1 (en) | 2010-09-23 |
CN102414781B (zh) | 2015-07-15 |
EP2399279A1 (en) | 2011-12-28 |
US8991330B2 (en) | 2015-03-31 |
JP5596058B2 (ja) | 2014-09-24 |
KR101568652B1 (ko) | 2015-11-12 |
CN102414781A (zh) | 2012-04-11 |
WO2010094800A1 (en) | 2010-08-26 |
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