JP2012513614A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012513614A5 JP2012513614A5 JP2011542676A JP2011542676A JP2012513614A5 JP 2012513614 A5 JP2012513614 A5 JP 2012513614A5 JP 2011542676 A JP2011542676 A JP 2011542676A JP 2011542676 A JP2011542676 A JP 2011542676A JP 2012513614 A5 JP2012513614 A5 JP 2012513614A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strip portion
- mount
- manipulator
- monolithic optical
- mount ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 3
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims 1
Claims (1)
- 複数個の繰り抜き部(3)により、位置固定の外側マウントリング(1)と、横方向に位置調整可能な内側マウントリング(2)と、互いに均等にずらして配置されるマニピュレータユニットとに分割され、該マニピュレータユニットが、残っている材料結合部によって形成され、且つ該マニピュレータユニットを操作するためのアクチュエータ(6)を有している、モノリシックな光学マウントにおいて、
前記複数個の繰り抜き部(3)が、同じ一定の幅を有し、且つマニピュレータユニットを形成している細条部を除いて前記内側マウントリング(2)を前記外側マウントリング(1)から切り離しており、前記細条部がそれぞれ、半径方向に配向された内側細条部分と、接線方向に配向された外側細条部分とから成り、前記アクチュエータ(6)がそれぞれ前記外側細条部分を介して間接的に前記内側細条部分に係合して前記内側細条部分に半径方向に作用するように配置されていることを特徴とするモノリシックな光学マウント。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102008063223.6 | 2008-12-23 | ||
DE102008063223A DE102008063223B3 (de) | 2008-12-23 | 2008-12-23 | Monolithische optische Fassung |
PCT/DE2009/050070 WO2010072217A1 (de) | 2008-12-23 | 2009-12-09 | Monolithische optische fassung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012513614A JP2012513614A (ja) | 2012-06-14 |
JP2012513614A5 true JP2012513614A5 (ja) | 2013-01-31 |
Family
ID=42101635
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011542676A Pending JP2012513614A (ja) | 2008-12-23 | 2009-12-09 | モノリシックな光学マウント |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8547652B2 (ja) |
EP (1) | EP2370845B1 (ja) |
JP (1) | JP2012513614A (ja) |
CN (1) | CN102265200B (ja) |
DE (1) | DE102008063223B3 (ja) |
WO (1) | WO2010072217A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011050255B3 (de) * | 2011-05-10 | 2012-05-24 | Jena-Optronik Gmbh | Optische Aufnahmeeinrichtung |
DE102012100784A1 (de) * | 2012-01-31 | 2013-08-01 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Entkoppelt justierbare Fassungsbaugruppe für zwei optische Bauteile |
WO2014127023A1 (en) * | 2013-02-13 | 2014-08-21 | Zygo Corporation | Monolithic optical components with integrated flexures |
DE102013225287A1 (de) * | 2013-12-09 | 2015-06-11 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Bildaufnahmevorrichtung mit einer Verschiebeeinrichtung für ein Digitalmikroskop und Digitalmikroskop |
DE102014102220B3 (de) | 2014-02-20 | 2015-04-30 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Verfahren zum Herstellen einer Linsenfassung und eine in einem Tubus radial fixierbare Linsenfassung |
DE102014102715B3 (de) * | 2014-02-28 | 2015-07-16 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Spannungsarme Fassungsbaugruppe |
DE102015115931B3 (de) * | 2015-09-21 | 2016-10-27 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Spannungsentkoppelte monolithische Linsenfassung |
DE102015115930B3 (de) * | 2015-09-21 | 2016-11-17 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Versteifte Linsenfassung |
CN106855651B (zh) * | 2015-12-08 | 2020-11-20 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种镜片固定结构 |
CN108919454B (zh) * | 2018-07-18 | 2020-07-07 | 中山新诺科技股份有限公司 | 调节机构、微透镜阵列系统及曝光机 |
CN110908058B (zh) * | 2019-10-31 | 2023-04-07 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种多自由度光轴调校装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3262360A (en) * | 1964-03-16 | 1966-07-26 | Bausch & Lomb | Tiltable lens mounting for optical projectors |
DE4400869C1 (de) * | 1994-01-14 | 1995-03-02 | Jenoptik Jena Gmbh | Vorrichtung zur lateralen Justierung von Linsen innerhalb eines Hochleistungsobjektives |
DE19825716A1 (de) * | 1998-06-09 | 1999-12-16 | Zeiss Carl Fa | Baugruppe aus optischem Element und Fassung |
DE19827603A1 (de) * | 1998-06-20 | 1999-12-23 | Zeiss Carl Fa | Optisches System, insbesondere Projektions-Belichtungsanlage der Mikrolithographie |
JP2000193862A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Olympus Optical Co Ltd | 光学系位置調整可能な鏡枠 |
US6262853B1 (en) | 1998-12-25 | 2001-07-17 | Olympus Optical Co., Ltd. | Lens barrel having deformable member |
DE19901295A1 (de) | 1999-01-15 | 2000-07-20 | Zeiss Carl Fa | Optische Abbildungsvorrichtung, insbesondere Objektiv, mit wenigstens einem optischen Element |
DE19908554A1 (de) | 1999-02-27 | 2000-08-31 | Zeiss Carl Fa | Verstellbare Baugruppe |
DE10042844C1 (de) * | 2000-08-17 | 2002-04-04 | Jenoptik Jena Gmbh | Radial justierbare Linsenfassung |
DE10051706A1 (de) | 2000-10-18 | 2002-05-02 | Zeiss Carl | Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elementes |
DE10062786A1 (de) * | 2000-12-15 | 2002-06-20 | Zeiss Carl | System zur Dämpfung von Schwingungen |
DE10344178B4 (de) * | 2003-09-24 | 2006-08-10 | Carl Zeiss Smt Ag | Halte- und Positioniervorrichtung für ein optisches Element |
EP1577693B1 (de) | 2004-02-26 | 2011-07-13 | Carl Zeiss SMT GmbH | Objektiv mit wenigstens einem optischen Element |
US20090207511A1 (en) * | 2005-05-09 | 2009-08-20 | Carl Zeiss Smt Ag | Assembly for adjusting an optical element |
US7495838B2 (en) * | 2006-07-19 | 2009-02-24 | Inphase Technologies, Inc. | Collimation lens group adjustment for laser system |
DE102007030579B4 (de) * | 2006-07-21 | 2008-10-02 | Jenoptik Laser, Optik, Systeme Gmbh | Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente |
DE102006060088A1 (de) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Optische Baugruppe und optische Komponente |
-
2008
- 2008-12-23 DE DE102008063223A patent/DE102008063223B3/de not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-12-09 WO PCT/DE2009/050070 patent/WO2010072217A1/de active Application Filing
- 2009-12-09 JP JP2011542676A patent/JP2012513614A/ja active Pending
- 2009-12-09 EP EP09812452.2A patent/EP2370845B1/de not_active Not-in-force
- 2009-12-09 US US13/141,892 patent/US8547652B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-12-09 CN CN200980151766.7A patent/CN102265200B/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012513614A5 (ja) | ||
USD691594S1 (en) | Earphones | |
JP2012031865A5 (ja) | ||
JP2011157968A5 (ja) | ||
JP2008522757A5 (ja) | ||
USD687885S1 (en) | Type font | |
RU2013115883A (ru) | Вибродемпфирующий механизм | |
JP2009511263A5 (ja) | ||
JP2009149290A5 (ja) | ||
JP2010500124A5 (ja) | ||
JP2008544458A5 (ja) | ||
JP2011021601A5 (ja) | ||
JP2012509481A5 (ja) | ||
JP2011255368A5 (ja) | ||
JP2013124758A5 (ja) | ||
MX2010004190A (es) | Faceta para heliostato. | |
JP2017535416A5 (ja) | ||
HRP20140269T1 (hr) | Sklop kliznog prstena za rotirajuä†i elektriäśni stroj | |
FR2982662B1 (fr) | Echangeur en forme de spirale et procede de fabrication d'un tel echangeur | |
RU2014141405A (ru) | Валковая дробилка, в которой по меньшей мере один валок имеет фланец | |
JP2006524792A5 (ja) | ||
JP2011058496A5 (ja) | ||
USD725160S1 (en) | Panels | |
WO2012087032A3 (ko) | 복합 롤 | |
FR2969122B1 (fr) | Structure interne pour une nacelle pour un turboreacteur double flux d'un aeronef |