JP2012238819A - Thermally conductive sheet, insulating sheet and heat dissipating member - Google Patents

Thermally conductive sheet, insulating sheet and heat dissipating member Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermally conductive sheet which is obtained by easy operation and has excellent thermal conductivity in both the thickness direction and the surface direction, and to provide an insulating sheet and a heat dissipating member obtained by using the thermally conductive sheet.SOLUTION: A thermally conductive sheet 1 includes a resin 3 and a plate like or scale like filler 2. In the thermally conductive sheet 1, the average orientation angle of the filler 2 with respect to a surface direction SD of the thermally conductive sheet 1 is set to 29 degrees or larger, and the maximum orientation angle is 65 degrees or larger. Further, an insulating sheet and a heat dissipating member are obtained by using the thermally conductive sheet 1.

Description

本発明は、熱伝導性シート、絶縁シートおよび放熱部材、詳しくは、パワーエレクトロニクス技術などに用いられる熱伝導性シート、その熱伝導性シートを用いて得られる絶縁シートおよび放熱部材に関する。   The present invention relates to a heat conductive sheet, an insulating sheet, and a heat radiating member, and more particularly to a heat conductive sheet used for power electronics technology and the like, and an insulating sheet and a heat radiating member obtained using the heat conductive sheet.

近年、ハイブリッドデバイス、高輝度LEDデバイス、電磁誘導加熱デバイスなどでは、半導体素子により電力を変換・制御するパワーエレクトロニクス技術が採用されている。パワーエレクトロニクス技術では、大電流を熱などに変換するため、半導体素子の近傍に配置される材料には、高い放熱性(高熱伝導性)および絶縁性が要求されている。   In recent years, power electronics technology that converts and controls electric power using a semiconductor element has been adopted in hybrid devices, high-brightness LED devices, electromagnetic induction heating devices, and the like. In power electronics technology, in order to convert a large current into heat or the like, a material disposed in the vicinity of a semiconductor element is required to have high heat dissipation (high thermal conductivity) and insulation.

例えば、熱伝導性および絶縁性を備える無機充填剤、例えば、鱗片状の窒化ホウ素などを、樹脂中に分散させて得られる熱伝導性シートが知られている。   For example, a thermally conductive sheet obtained by dispersing an inorganic filler having thermal conductivity and insulating properties, for example, flaky boron nitride, in a resin is known.

鱗片状の窒化ホウ素は、長手方向の熱伝導率が高く、また、短手方向の熱伝導率が低いため、例えば、窒化ホウ素の長手方向を、熱伝導性シートの厚み方向に沿わせれば、厚み方向の熱伝導性の向上を図ることができ、また、窒化ホウ素の長手方向を、熱伝導性シートの面方向に沿わせれば、面方向の熱伝導性の向上を図ることができる。   Since the scaly boron nitride has a high thermal conductivity in the longitudinal direction and a low thermal conductivity in the short direction, for example, if the longitudinal direction of boron nitride is along the thickness direction of the thermal conductive sheet, The thermal conductivity in the thickness direction can be improved, and if the longitudinal direction of boron nitride is aligned with the surface direction of the heat conductive sheet, the thermal conductivity in the surface direction can be improved.

しかるに、プレス成形やロール成形により熱伝導性シートを製造すると、窒化ホウ素が熱伝導性シートの面方向に沿いやすく、そのため、得られる熱伝導性シートは、面方向の熱伝導性に優れるが、厚み方向の熱伝導性に劣るという不具合がある。   However, when a heat conductive sheet is produced by press molding or roll molding, boron nitride is likely to be along the surface direction of the heat conductive sheet, and thus the obtained heat conductive sheet is excellent in surface direction heat conductivity, There is a problem that the thermal conductivity in the thickness direction is inferior.

一方、熱伝導性シートとしては、その用途によって、面方向だけでなく、厚み方向の熱伝導性が要求される場合がある。   On the other hand, the thermal conductive sheet may be required to have thermal conductivity not only in the surface direction but also in the thickness direction depending on the application.

そこで、例えば、窒化ホウ素の1次粒子を凝集させて得られる、気孔率50%以下、平均気孔径0.05〜3μmの2次凝集粒子を、熱硬化性樹脂中に分散させることにより得られる熱伝導性シートが、提案されている(例えば、特許文献1参照。)。   Therefore, for example, secondary agglomerated particles obtained by aggregating primary particles of boron nitride and having a porosity of 50% or less and an average pore diameter of 0.05 to 3 μm are obtained by dispersing them in a thermosetting resin. A thermally conductive sheet has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

この熱伝導シートでは、窒化ホウ素は、2次凝集粒子として含有される、つまり、熱伝導性シートの厚み方向または面方向に配向されることなく含有されるので、厚み方向および面方向の熱伝導性を確保することができる。   In this heat conductive sheet, boron nitride is contained as secondary aggregated particles, that is, contained without being oriented in the thickness direction or the surface direction of the heat conductive sheet. Sex can be secured.

特開2010−157563号公報JP 2010-157563 A

しかるに、特許文献1に記載の熱伝導性シートを得るには、窒化ホウ素の2次凝集粒子を製造する必要があり、そのため、例えば、窒化ホウ素を高温で仮焼成および粉砕した後、スラリー化し、その後、焼成するなど、煩雑な処理を要するという不具合がある。   However, in order to obtain the heat conductive sheet described in Patent Document 1, it is necessary to produce secondary agglomerated particles of boron nitride. For this reason, for example, boron nitride is calcined and pulverized at a high temperature, and then slurried. Thereafter, there is a problem that a complicated process such as firing is required.

本発明の目的は、簡易な操作によって得ることができ、厚み方向および面方向の熱伝導性に優れる熱伝導性シート、そのような熱伝導性シートを用いて得られる絶縁シートおよび放熱部材を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a thermal conductive sheet that can be obtained by a simple operation and has excellent thermal conductivity in the thickness direction and in the plane direction, and an insulating sheet and a heat dissipation member obtained by using such a thermal conductive sheet. There is to do.

上記目的を達成するために、本発明の熱伝導性シートは、樹脂と、板状または鱗片状のフィラーとを含有する熱伝導性シートであって、前記熱伝導性シートの面方向に対して、前記フィラーの平均配向角が29度以上であり、最大配向角が65度以上であることを特徴としている。   In order to achieve the above object, the thermally conductive sheet of the present invention is a thermally conductive sheet containing a resin and a plate-like or scale-like filler, and is in the plane direction of the thermally conductive sheet. The filler has an average orientation angle of 29 degrees or more and a maximum orientation angle of 65 degrees or more.

また、本発明の熱伝導性シートでは、前記樹脂が、第1樹脂と第2樹脂とを含有し、前記第1樹脂の軟化温度と、前記第2樹脂の軟化温度との差が、20℃以上であることが好適である。   In the thermally conductive sheet of the present invention, the resin contains a first resin and a second resin, and the difference between the softening temperature of the first resin and the softening temperature of the second resin is 20 ° C. It is suitable that it is above.

また、本発明の熱伝導性シートでは、前記第1樹脂の軟化温度と、前記第2樹脂の軟化温度との差が、40℃以上であり、前記第2樹脂は、平均粒子径が10〜500μmであり、前記第1樹脂の軟化温度と前記第2樹脂の軟化温度との間の温度において、保形されることが好適である。   In the thermally conductive sheet of the present invention, the difference between the softening temperature of the first resin and the softening temperature of the second resin is 40 ° C. or more, and the second resin has an average particle diameter of 10 to 10 ° C. It is preferably 500 μm, and the shape is retained at a temperature between the softening temperature of the first resin and the softening temperature of the second resin.

また、本発明の熱伝導性シートでは、前記フィラーの含有量が、前記熱伝導性シートの総量100質量部に対して、50〜95質量部であることが好適である。   Moreover, in the heat conductive sheet of this invention, it is suitable that content of the said filler is 50-95 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of the said heat conductive sheet.

また、本発明の絶縁シートは、上記の熱伝導性シートを用いて得られることを特徴としている。   Moreover, the insulating sheet of the present invention is characterized by being obtained using the above-described heat conductive sheet.

また、本発明の放熱部材は、上記の熱伝導性シートを用いて得られることを特徴としている。   Moreover, the heat radiating member of this invention is obtained using said heat conductive sheet, It is characterized by the above-mentioned.

本発明の熱伝導性シート、絶縁シートおよび放熱部材では、板状または鱗片状のフィラーが、平均配向角が29度以上、最大配向角が65度以上となるように含有されているため、熱伝導性シートの厚み方向および面方向の熱伝導性を確保することができる。   In the heat conductive sheet, insulating sheet and heat dissipation member of the present invention, the plate-like or scale-like filler is contained so that the average orientation angle is 29 degrees or more and the maximum orientation angle is 65 degrees or more. Thermal conductivity in the thickness direction and the surface direction of the conductive sheet can be ensured.

そのため、厚み方向および面方向の熱伝導性に優れる熱伝導性シート、絶縁シートおよび放熱部材として、種々の用途に用いることができる。   Therefore, it can be used for various uses as a heat conductive sheet, an insulating sheet, and a heat dissipation member that are excellent in heat conductivity in the thickness direction and in the surface direction.

本発明の熱伝導性シートの一実施形態の斜視図を示す。The perspective view of one Embodiment of the heat conductive sheet of this invention is shown. 実施例1の熱伝導性シートのX線CT像を示す。The X-ray CT image of the heat conductive sheet of Example 1 is shown. 実施例1の熱伝導性シートのX線CT像を解析して得られた配向角の頻度分布図を示す。The frequency distribution map of the orientation angle obtained by analyzing the X-ray CT image of the heat conductive sheet of Example 1 is shown. 実施例2の熱伝導性シートのX線CT像を示す。The X-ray CT image of the heat conductive sheet of Example 2 is shown. 実施例2の熱伝導性シートのX線CT像を解析して得られた配向角の頻度分布図を示す。The frequency distribution map of the orientation angle obtained by analyzing the X-ray CT image of the heat conductive sheet of Example 2 is shown. 実施例4の熱伝導性シートのX線CT像を示す。The X-ray CT image of the heat conductive sheet of Example 4 is shown. 実施例4の熱伝導性シートのX線CT像を解析して得られた配向角の頻度分布図を示す。The frequency distribution figure of the orientation angle obtained by analyzing the X-ray CT image of the heat conductive sheet of Example 4 is shown. 比較例1の熱伝導性シートのX線CT像を示す。The X-ray CT image of the heat conductive sheet of the comparative example 1 is shown. 比較例1の熱伝導性シートのX線CT像を解析して得られた配向角の頻度分布図を示す。The frequency distribution figure of the orientation angle obtained by analyzing the X-ray CT image of the heat conductive sheet of the comparative example 1 is shown.

本発明の熱伝導性シートは、樹脂と、フィラーとを含有している。   The thermally conductive sheet of the present invention contains a resin and a filler.

樹脂は、フィラーを分散できるもの、つまり、フィラーが分散される分散媒体(マトリックス)であって、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などが挙げられる。   The resin can disperse the filler, that is, a dispersion medium (matrix) in which the filler is dispersed, and examples thereof include a thermosetting resin and a thermoplastic resin.

熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、熱硬化性ポリイミド、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、熱硬化性ウレタン樹脂などが挙げられる。   Examples of the thermosetting resin include epoxy resins, thermosetting polyimides, phenol resins, urea resins, melamine resins, unsaturated polyester resins, diallyl phthalate resins, silicone resins, thermosetting urethane resins, and the like.

熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリオレフィン(例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体など)、アクリル樹脂(例えば、ポリメタクリル酸メチルなど)、ポリ酢酸ビニル、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、ポリアミド(ナイロン(登録商標))、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンオキシド、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアリルスルホン、熱可塑性ポリイミド、熱可塑性ウレタン樹脂、ポリアミノビスマレイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ビスマレイミドトリアジン樹脂、ポリメチルペンテン、フッ化樹脂、液晶ポリマー、オレフィン−ビニルアルコール共重合体、アイオノマー、ポリアリレート、アクリロニトリル−エチレン−スチレン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、アクリロニトリル−スチレン共重合体などが挙げられる。   Examples of the thermoplastic resin include polyolefin (for example, polyethylene, polypropylene, ethylene-propylene copolymer), acrylic resin (for example, polymethyl methacrylate), polyvinyl acetate, ethylene-vinyl acetate copolymer, poly Vinyl chloride, polystyrene, polyacrylonitrile, polyamide (nylon (registered trademark)), polycarbonate, polyacetal, polyethylene terephthalate, polyphenylene oxide, polyphenylene sulfide, polysulfone, polyethersulfone, polyetheretherketone, polyallylsulfone, thermoplastic polyimide, heat Plastic urethane resin, polyamino bismaleimide, polyamideimide, polyetherimide, bismaleimide triazine resin, polymethylpentene, fluoride tree , Liquid crystal polymers, olefin - vinyl alcohol copolymer, ionomer, polyarylate, acrylonitrile - ethylene - Styrene copolymer, acrylonitrile - butadiene - styrene copolymer, acrylonitrile - styrene copolymer.

熱硬化性樹脂のうち、好ましくは、エポキシ樹脂が挙げられる。   Of the thermosetting resins, an epoxy resin is preferable.

エポキシ樹脂は、常温において、液状、半固形状および固形状のいずれかの形態である。   The epoxy resin is in a liquid, semi-solid, or solid form at normal temperature.

具体的には、エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノール型エポキシ樹脂(例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、水添加ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ダイマー酸変性ビスフェノール型エポキシ樹脂など)、ノボラック型エポキシ樹脂(例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂など)、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂(例えば、ビスアリールフルオレン型エポキシ樹脂など)、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂(例えば、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂など)などの芳香族系エポキシ樹脂、例えば、トリエポキシプロピルイソシアヌレート(トリグリシジルイソシアヌレート)、ヒダントインエポキシ樹脂などの含窒素環エポキシ樹脂、例えば、脂肪族型エポキシ樹脂、例えば、脂環式エポキシ樹脂(例えば、ジシクロ環型エポキシ樹脂など)、例えば、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、例えば、グリシジルアミン型エポキシ樹脂などが挙げられる。   Specifically, as the epoxy resin, for example, bisphenol type epoxy resin (for example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, water-added bisphenol A type epoxy resin, dimer acid modified bisphenol type) Epoxy resin), novolak epoxy resin (eg, phenol novolac epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, biphenyl epoxy resin), naphthalene epoxy resin, fluorene epoxy resin (eg, bisarylfluorene epoxy resin, etc.) ), Aromatic epoxy resins such as triphenylmethane type epoxy resin (for example, trishydroxyphenylmethane type epoxy resin), for example, triepoxypropyl isocyanurate (Triglycidyl isocyanurate), nitrogen-containing ring epoxy resins such as hydantoin epoxy resins, for example, aliphatic type epoxy resins, for example, alicyclic epoxy resins (for example, dicyclocyclic type epoxy resins), for example, glycidyl ether type An epoxy resin, for example, a glycidylamine type epoxy resin can be used.

これらエポキシ樹脂は、単独使用または2種以上併用することができる。   These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more.

また、エポキシ樹脂は、エポキシ当量が、例えば、100〜1000g/eqiv.、好ましくは、150〜700g/eqiv.である。   The epoxy resin has an epoxy equivalent of, for example, 100 to 1000 g / eqiv. , Preferably, 150 to 700 g / eqiv. It is.

また、エポキシ樹脂の80℃における溶融粘度は、例えば、10〜20000mPa・s、好ましくは、50〜10000mPa・sでもある。   Moreover, the melt viscosity at 80 ° C. of the epoxy resin is, for example, 10 to 20000 mPa · s, and preferably 50 to 10000 mPa · s.

また、エポキシ樹脂には、例えば、硬化剤および硬化促進剤を含有させて、エポキシ樹脂組成物として調製することができる。   Moreover, an epoxy resin can be prepared as an epoxy resin composition by containing a hardening | curing agent and a hardening accelerator, for example.

硬化剤は、加熱によりエポキシ樹脂を硬化させることができる潜在性硬化剤(エポキシ樹脂硬化剤)であって、例えば、イミダゾール化合物、アミン化合物、酸無水物化合物、アミド化合物、ヒドラジド化合物、イミダゾリン化合物などが挙げられる。また、上記の他に、フェノール化合物、ユリア化合物、ポリスルフィド化合物なども挙げられる。   The curing agent is a latent curing agent (epoxy resin curing agent) that can cure the epoxy resin by heating. For example, an imidazole compound, an amine compound, an acid anhydride compound, an amide compound, a hydrazide compound, an imidazoline compound, and the like. Is mentioned. In addition to the above, phenol compounds, urea compounds, polysulfide compounds and the like can also be mentioned.

イミダゾール化合物としては、例えば、2−フェニルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾールなどが挙げられる。   Examples of the imidazole compound include 2-phenylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, and the like.

アミン化合物としては、例えば、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミンなどの脂肪族ポリアミン、例えば、メタフェニレンジアミン、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルスルホンなどの芳香族ポリアミンなどが挙げられる。   Examples of the amine compound include aliphatic polyamines such as ethylenediamine, propylenediamine, diethylenetriamine, and triethylenetetramine, and aromatic polyamines such as metaphenylenediamine, diaminodiphenylmethane, and diaminodiphenylsulfone.

酸無水物化合物としては、例えば、無水フタル酸、無水マレイン酸、テトラヒドロフタル酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、4−メチル−ヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルナジック酸無水物、ピロメリット酸無水物、ドデセニルコハク酸無水物、ジクロロコハク酸無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、クロレンディック酸無水物などが挙げられる。   Examples of the acid anhydride compound include phthalic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, 4-methyl-hexahydrophthalic anhydride, methyl nadic acid anhydride, and pyromellitic acid. Anhydride, dodecenyl succinic anhydride, dichlorosuccinic anhydride, benzophenone tetracarboxylic acid anhydride, chlorendic acid anhydride and the like can be mentioned.

アミド化合物としては、例えば、ジシアンジアミド、ポリアミドなどが挙げられる。   Examples of the amide compound include dicyandiamide and polyamide.

ヒドラジド化合物としては、例えば、アジピン酸ジヒドラジドなどが挙げられる。   Examples of the hydrazide compound include adipic acid dihydrazide.

イミダゾリン化合物としては、例えば、メチルイミダゾリン、2−エチル−4−メチルイミダゾリン、エチルイミダゾリン、イソプロピルイミダゾリン、2,4−ジメチルイミダゾリン、フェニルイミダゾリン、ウンデシルイミダゾリン、ヘプタデシルイミダゾリン、2−フェニル−4−メチルイミダゾリンなどが挙げられる。   Examples of the imidazoline compound include methyl imidazoline, 2-ethyl-4-methyl imidazoline, ethyl imidazoline, isopropyl imidazoline, 2,4-dimethyl imidazoline, phenyl imidazoline, undecyl imidazoline, heptadecyl imidazoline, 2-phenyl-4-methyl. Examples include imidazoline.

これら硬化剤は、単独使用または2種類以上併用することができる。   These curing agents can be used alone or in combination of two or more.

硬化剤として、好ましくは、イミダゾール化合物が挙げられる。   As the curing agent, an imidazole compound is preferable.

硬化促進剤としては、例えば、トリエチレンジアミン、トリ−2,4,6−ジメチルアミノメチルフェノールなどの3級アミン化合物、例えば、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラ−n−ブチルホスホニウム−o,o−ジエチルホスホロジチオエートなどのリン化合物、例えば、4級アンモニウム塩化合物、例えば、有機金属塩化合物、例えば、それらの誘導体などが挙げられる。これら硬化促進剤は、単独使用または2種類以上併用することができる。   Examples of the curing accelerator include tertiary amine compounds such as triethylenediamine and tri-2,4,6-dimethylaminomethylphenol, such as triphenylphosphine, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, tetra-n-butylphosphonium- Phosphorus compounds such as o, o-diethyl phosphorodithioate, for example, quaternary ammonium salt compounds, for example, organometallic salt compounds, for example, derivatives thereof and the like can be mentioned. These curing accelerators can be used alone or in combination of two or more.

エポキシ樹脂組成物における硬化剤の配合割合は、エポキシ樹脂100質量部に対して、例えば、0.5〜50質量部、好ましくは、1〜10質量部であり、硬化促進剤の配合割合は、例えば、0.1〜10質量部、好ましくは、0.2〜5質量部である。   The compounding ratio of the curing agent in the epoxy resin composition is, for example, 0.5 to 50 parts by mass, preferably 1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the epoxy resin. For example, 0.1 to 10 parts by mass, preferably 0.2 to 5 parts by mass.

上記した硬化剤および/または硬化促進剤は、必要により、溶媒により溶解および/または分散された溶媒溶液および/または溶媒分散液として調製して用いることができる。   The above-mentioned curing agent and / or curing accelerator can be prepared and used as a solvent solution and / or a solvent dispersion dissolved and / or dispersed with a solvent, if necessary.

溶媒としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトンなどケトン類、例えば、酢酸エチルなどのエステル類、例えば、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)などのアミド類などの有機溶媒などが挙げられる。また、溶媒として、例えば、水、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノールなどのアルコール類などの水系溶媒も挙げられる。溶媒として、好ましくは、有機溶媒、さらに好ましくは、ケトン類、アミド類が挙げられる。   Examples of the solvent include organic solvents such as ketones such as acetone and methyl ethyl ketone, esters such as ethyl acetate, and amides such as N, N-dimethylformamide (DMF). Examples of the solvent also include aqueous solvents such as water, for example, alcohols such as methanol, ethanol, propanol, and isopropanol. The solvent is preferably an organic solvent, more preferably ketones and amides.

熱可塑性樹脂のうち、好ましくは、ポリオレフィンが挙げられる。   Of the thermoplastic resins, polyolefin is preferable.

ポリオレフィンとして、好ましくは、ポリエチレン、エチレン−プロピレン共重合体が挙げられる。   Preferred examples of the polyolefin include polyethylene and ethylene-propylene copolymer.

ポリエチレンとしては、例えば、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレンなどが挙げられる。   Examples of polyethylene include low density polyethylene and high density polyethylene.

エチレン−プロピレン共重合体としては、例えば、エチレンおよびプロピレンの、ランダム共重合体、ブロック共重合体またはグラフト共重合体などが挙げられる。   Examples of the ethylene-propylene copolymer include a random copolymer, a block copolymer, or a graft copolymer of ethylene and propylene.

これらポリオレフィンは、単独使用または2種以上併用することができる。   These polyolefins can be used alone or in combination of two or more.

また、ポリオレフィンの重量平均分子量および/または数平均分子量は、例えば、1000〜10000である。   Moreover, the weight average molecular weight and / or number average molecular weight of polyolefin are 1000-10000, for example.

また、ポリオレフィンは、単独使用または複数併用することができる。   Polyolefins can be used alone or in combination.

なお、樹脂には、例えば、ポリマー前駆体(例えば、オリゴマーを含む低分子量ポリマーなど)、および/または、モノマーが含まれている。   The resin includes, for example, a polymer precursor (for example, a low molecular weight polymer including an oligomer) and / or a monomer.

これら樹脂は、単独使用または2種類以上併用することができる。   These resins can be used alone or in combination of two or more.

樹脂は、好ましくは、上記した樹脂を、2種類以上併用する。   Preferably, two or more kinds of the above-described resins are used in combination.

2種類以上の樹脂が併用される場合において、樹脂は、第1樹脂と第2樹脂とを含有する。   In the case where two or more kinds of resins are used in combination, the resin contains a first resin and a second resin.

第1樹脂としては、上記した樹脂から選択して用いられる。第1樹脂として、好ましくは、熱硬化性樹脂、より好ましくは、エポキシ樹脂が挙げられる。   The first resin is selected from the above resins. The first resin is preferably a thermosetting resin, more preferably an epoxy resin.

これら第1樹脂は、単独使用または2種類以上併用することができる。   These first resins can be used alone or in combination of two or more.

第1樹脂の軟化温度(環球法)は、例えば、40〜120℃、好ましくは、40〜110℃、より好ましくは、40〜100℃である。   The softening temperature (ring and ball method) of the first resin is, for example, 40 to 120 ° C, preferably 40 to 110 ° C, and more preferably 40 to 100 ° C.

また、第1樹脂の平均粒子径は、1次粒子径および2次粒子径(2次凝集体の粒子径)を含む粒子径の平均値として定義され、具体的には、例えば、10〜10000μm、好ましくは、10〜8000μm、より好ましくは、10〜6000μmである。   The average particle size of the first resin is defined as the average value of the particle size including the primary particle size and the secondary particle size (particle size of the secondary aggregate), and specifically, for example, 10 to 10,000 μm. The thickness is preferably 10 to 8000 μm, more preferably 10 to 6000 μm.

なお、第1樹脂の平均粒子径は、走査型電子顕微鏡(SEM)による画像解析などによって、求めることができる。   In addition, the average particle diameter of 1st resin can be calculated | required by the image analysis etc. by a scanning electron microscope (SEM).

第2樹脂としては、第1樹脂の軟化温度(環球法)よりも、軟化温度(環球法)が高い樹脂が用いられる。   As the second resin, a resin having a softening temperature (ring ball method) higher than the softening temperature (ring ball method) of the first resin is used.

そのような第2樹脂は、上記した樹脂から選択して用いられる。第2樹脂として、好ましくは、第1樹脂の軟化温度(環球法)よりも、軟化温度(環球法)が高い熱硬化性樹脂、より好ましくは、第1樹脂の軟化温度(環球法)よりも、軟化温度(環球法)が高いエポキシ樹脂が挙げられる。   Such a second resin is selected from the above-described resins. The second resin is preferably a thermosetting resin having a higher softening temperature (ring ball method) than the softening temperature (ring ball method) of the first resin, and more preferably than the softening temperature of the first resin (ring ball method). And an epoxy resin having a high softening temperature (ring and ball method).

これら第2樹脂は、単独使用または2種類以上併用することができる。   These second resins can be used alone or in combination of two or more.

第2樹脂の軟化温度(環球法(第2樹脂が2種類以上併用される場合には、それらの軟化温度の全温度))は、第1樹脂の軟化温度(環球法(第1樹脂が2種類以上併用される場合には、それらの軟化温度の全温度))よりも、例えば、20℃高く、好ましくは、40℃高く、第1樹脂の軟化温度と、第2樹脂の軟化温度との差は、具体的には、例えば、40〜80℃、好ましくは、45〜80℃、より好ましくは、50〜80℃である。   The softening temperature of the second resin (ring and ball method (when two or more kinds of second resins are used in combination, the total temperature of the softening temperatures)) is the softening temperature of the first resin (ring and ball method (the first resin is 2 When two or more types are used in combination, for example, 20 ° C., preferably 40 ° C. higher than the total softening temperature)), the softening temperature of the first resin and the softening temperature of the second resin Specifically, the difference is, for example, 40 to 80 ° C, preferably 45 to 80 ° C, and more preferably 50 to 80 ° C.

第1樹脂の軟化温度と、第2樹脂の軟化温度との差が上記範囲であれば、フィラーの配向を制御することができる。   If the difference between the softening temperature of the first resin and the softening temperature of the second resin is in the above range, the orientation of the filler can be controlled.

このような第2樹脂の軟化温度(環球法)は、例えば、100〜180℃、好ましくは、110〜170℃、より好ましくは、110〜160℃である。   The softening temperature (ring and ball method) of the second resin is, for example, 100 to 180 ° C, preferably 110 to 170 ° C, and more preferably 110 to 160 ° C.

また、第2樹脂の平均粒子径は、1次粒子径および2次粒子径(2次凝集体の粒子径)を含む粒子径の平均値として定義され、具体的には、例えば、10〜800μm、好ましくは、10〜500μm、より好ましくは、10〜300μmである。   The average particle diameter of the second resin is defined as the average value of the particle diameter including the primary particle diameter and the secondary particle diameter (particle diameter of the secondary aggregate), and specifically, for example, 10 to 800 μm. The thickness is preferably 10 to 500 μm, more preferably 10 to 300 μm.

なお、第2樹脂の平均粒子径は、走査型電子顕微鏡(SEM)による画像解析などによって、求めることができる。   In addition, the average particle diameter of 2nd resin can be calculated | required by the image analysis etc. by a scanning electron microscope (SEM).

第2樹脂の平均粒子径が上記範囲であれば、フィラーの配向を制御することができる。   If the average particle diameter of the second resin is within the above range, the orientation of the filler can be controlled.

また、樹脂のJIS K 7233(泡粘度計法)(1986)に準拠する動粘度試験(温度:25℃±0.5℃、溶媒:ブチルカルビトール、樹脂(固形分)濃度:40質量%)によって測定される動粘度は、例えば、0.22×10−4〜2.00×10−4/s、好ましくは、0.3×10−4〜1.9×10−4/s、さらに好ましくは、0.4×10−4〜1.8×10−4/sである。また、上記の動粘度を、例えば、0.22×10−4〜1.00×10−4/s、好ましくは、0.3×10−4〜0.9×10−4/s、さらに好ましくは、0.4×10−4〜0.8×10−4/sに設定することもできる。 Also, kinematic viscosity test (temperature: 25 ° C. ± 0.5 ° C., solvent: butyl carbitol, resin (solid content) concentration: 40% by mass) based on JIS K 7233 (foam viscometer method) (1986) of the resin Is, for example, 0.22 × 10 −4 to 2.00 × 10 −4 m 2 / s, preferably 0.3 × 10 −4 to 1.9 × 10 −4 m 2. / S, more preferably 0.4 × 10 −4 to 1.8 × 10 −4 m 2 / s. Further, the kinematic viscosity of the, for example, 0.22 × 10 -4 ~1.00 × 10 -4 m 2 / s, preferably, 0.3 × 10 -4 ~0.9 × 10 -4 m 2 / S, more preferably 0.4 × 10 −4 to 0.8 × 10 −4 m 2 / s.

なお、JIS K 7233(泡粘度計法)(1986)に準拠する動粘度試験では、樹脂サンプルにおける泡の上昇速度と、標準サンプル(動粘度が既知)における泡の上昇速度とを比較し、上昇速度が一致する標準サンプルの動粘度が、樹脂の動粘度であると判定することにより、樹脂の動粘度を測定する。   In addition, in the kinematic viscosity test based on JIS K 7233 (foam viscometer method) (1986), the rising speed of the foam in the resin sample is compared with the rising speed of the foam in the standard sample (kinematic viscosity is known). The dynamic viscosity of the resin is measured by determining that the dynamic viscosity of the standard sample with the matching speed is the dynamic viscosity of the resin.

フィラーとしては、例えば、無機粒子などが挙げられ、そのような無機粒子としては、例えば、炭化物、窒化物、酸化物、水酸化物、金属、炭素系材料などが挙げられる。   Examples of the filler include inorganic particles, and examples of such inorganic particles include carbides, nitrides, oxides, hydroxides, metals, and carbon-based materials.

炭化物としては、例えば、炭化ケイ素、炭化ホウ素、炭化アルミニウム、炭化チタン、炭化タングステンなどが挙げられる。   Examples of the carbide include silicon carbide, boron carbide, aluminum carbide, titanium carbide, and tungsten carbide.

窒化物としては、例えば、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ガリウム、窒化クロム、窒化タングステン、窒化マグネシウム、窒化モリブデン、窒化リチウムなどが挙げられる。   Examples of the nitride include silicon nitride, boron nitride, aluminum nitride, gallium nitride, chromium nitride, tungsten nitride, magnesium nitride, molybdenum nitride, and lithium nitride.

酸化物としては、例えば、酸化鉄、酸化ケイ素(シリカ)、酸化アルミニウム(アルミナ)(酸化アルミニウムの水和物(ベーマイトなど)を含む。)、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化セリウム、酸化ジルコニウムなどが挙げられる。また、酸化物として、チタン酸バリウムなどの遷移金属酸化物などや、さらには、金属イオンがドーピングされている、例えば、酸化インジウムスズ、酸化アンチモンスズなどが挙げられる。   Examples of the oxide include iron oxide, silicon oxide (silica), aluminum oxide (alumina) (including aluminum oxide hydrates (boehmite, etc.)), magnesium oxide, titanium oxide, cerium oxide, and zirconium oxide. Can be mentioned. Examples of the oxide include transition metal oxides such as barium titanate, and further doped with metal ions such as indium tin oxide and antimony tin oxide.

水酸化物としては、例えば、水酸化アルミニウム、水酸化カルシウム、水酸化マグネシウムなどが挙げられる。   Examples of the hydroxide include aluminum hydroxide, calcium hydroxide, and magnesium hydroxide.

金属としては、例えば、銅、金、ニッケル、錫、鉄、または、それらの合金が挙げられる。   Examples of the metal include copper, gold, nickel, tin, iron, and alloys thereof.

炭素系材料としては、例えば、カーボンブラック、黒鉛、ダイヤモンド、フラーレン、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、ナノホーン、カーボンマイクロコイル、ナノコイルなどが挙げられる。   Examples of the carbon-based material include carbon black, graphite, diamond, fullerene, carbon nanotube, carbon nanofiber, nanohorn, carbon microcoil, and nanocoil.

また、無機粒子は、その流動性などの観点から、必要により、シランカップリング剤などによって、公知の方法により表面処理されていてもよい。   In addition, the inorganic particles may be surface-treated by a known method with a silane coupling agent, if necessary, from the viewpoint of fluidity.

これらフィラーの形状は、その製造方法や結晶構造などにより、板状、鱗片状、球状、塊状などであるが、本発明において、熱伝導性シートは、少なくとも、板状または鱗片状のフィラーを含有している。   The shape of these fillers is plate-like, scale-like, spherical, massive, etc., depending on the production method, crystal structure, etc. In the present invention, the thermally conductive sheet contains at least a plate-like or scale-like filler. doing.

板状または鱗片状のフィラーとして、具体的には、窒化ホウ素(板状)、酸化アルミニウム1水和物(ベーマイト)(板状)などが挙げられる。   Specific examples of the plate-like or scale-like filler include boron nitride (plate-like), aluminum oxide monohydrate (boehmite) (plate-like), and the like.

これらフィラーは、単独使用または2種類以上併用することができる。   These fillers can be used alone or in combination of two or more.

フィラーの光散乱法によって測定される平均粒子径(長手方向長さ)は、例えば、10〜1000μm、好ましくは、10〜500μm、より好ましくは、10〜300μmである。   The average particle diameter (length in the longitudinal direction) measured by the light scattering method of the filler is, for example, 10 to 1000 μm, preferably 10 to 500 μm, and more preferably 10 to 300 μm.

また、フィラーの短手方向長さは、例えば、0.1〜300μm、好ましくは、0.1〜100μmである。また、アスペクト比(長手方向長さ/短手方向長さ)は、例えば、1/100〜1/10、好ましくは、1/100〜1/20である。   Moreover, the length of the transversal direction of a filler is 0.1-300 micrometers, for example, Preferably, it is 0.1-100 micrometers. Further, the aspect ratio (length in the longitudinal direction / length in the short direction) is, for example, 1/100 to 1/10, and preferably 1/100 to 1/20.

なお、光散乱法によって測定される平均粒子径は、動的光散乱式粒度分布測定装置にて測定される体積平均粒子径である。   In addition, the average particle diameter measured by the light scattering method is a volume average particle diameter measured by a dynamic light scattering particle size distribution measuring apparatus.

また、フィラーは、市販品またはそれを加工した加工品を用いることができる。   Moreover, a commercial item or the processed product which processed it can be used for a filler.

市販品としては、例えば、窒化ホウ素粒子の市販品などが挙げられ、窒化ホウ素粒子の市販品として、具体的には、例えば、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン社製の「PT」シリーズ(例えば、「PT−110」など)、昭和電工社製の「ショービーエヌUHP」シリーズ(例えば、「ショービーエヌUHP−1」など)などが挙げられる。   Examples of commercially available products include commercially available products of boron nitride particles, and specific examples of commercially available products of boron nitride particles include the “PT” series (for example, Momentive Performance Materials Japan) (for example, , “PT-110”, etc.), “Shoby N UHP” series (for example, “Shoby N UHP-1”, etc.) manufactured by Showa Denko KK and the like.

また、熱伝導性シートは、必要により、球状または塊状のフィラー、具体的には、例えば、酸化アルミニウム(球状)、水酸化アルミニウム(塊状)などを、適宜の割合で含むこともできる。   Moreover, the heat conductive sheet can also contain a spherical or lump filler, specifically, for example, aluminum oxide (spherical), aluminum hydroxide (lump), or the like at an appropriate ratio, if necessary.

フィラーの含有割合(総量)は、熱伝導性シートの総量100質量部に対して、例えば、10〜90質量部、好ましくは、50〜90質量部、より好ましくは、60〜90質量部である。   The content ratio (total amount) of the filler is, for example, 10 to 90 parts by mass, preferably 50 to 90 parts by mass, and more preferably 60 to 90 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the heat conductive sheet. .

フィラーの含有割合が上記範囲であれば、優れた熱伝導性を確保することができる。   If the content rate of a filler is the said range, the outstanding heat conductivity can be ensured.

図1は、本発明の熱伝導性シートの一実施形態の斜視図を示す。   FIG. 1 shows a perspective view of one embodiment of the thermally conductive sheet of the present invention.

次に、本発明の熱伝導性シートの一実施形態を製造する方法について、図1を参照して説明する。   Next, a method for producing an embodiment of the thermally conductive sheet of the present invention will be described with reference to FIG.

この方法では、まず、上記した各成分(フィラー2および樹脂3)を上記した配合割合で配合して、攪拌混合することにより、混合物を調製する。   In this method, first, the above-mentioned components (filler 2 and resin 3) are blended at the blending ratio described above, and the mixture is prepared by stirring and mixing.

攪拌混合では、各成分を効率よく混合すべく、例えば、溶媒を上記した各成分とともに配合するか、または、例えば、加熱により樹脂(好ましくは、熱可塑性樹脂)を溶融させることができる。   In the stirring and mixing, in order to mix each component efficiently, for example, a solvent can be blended with the above-described components, or a resin (preferably a thermoplastic resin) can be melted by heating, for example.

溶媒としては、上記と同様の有機溶媒が挙げられる。また、上記した硬化剤および/または硬化促進剤が溶媒溶液および/または溶媒分散液として調製されている場合には、攪拌混合において溶媒を追加することなく、溶媒溶液および/または溶媒分散液の溶媒をそのまま攪拌混合のための混合溶媒として供することができる。あるいは、攪拌混合において溶媒を混合溶媒としてさらに追加することもできる。   Examples of the solvent include the same organic solvents as described above. In addition, when the above-described curing agent and / or curing accelerator is prepared as a solvent solution and / or a solvent dispersion, the solvent of the solvent solution and / or the solvent dispersion without adding a solvent in the stirring and mixing. Can be used as a mixed solvent for stirring and mixing as it is. Alternatively, a solvent can be further added as a mixed solvent in the stirring and mixing.

溶媒を用いて攪拌混合する場合には、攪拌混合の後、溶媒を除去する。   When stirring and mixing using a solvent, the solvent is removed after stirring and mixing.

溶媒を除去するには、例えば、室温にて、1〜48時間放置するか、例えば、40〜100℃で、0.5〜3時間加熱するか、または、例えば、0.001〜50kPaの減圧雰囲気下で、20〜60℃で、0.5〜3時間加熱する。   To remove the solvent, for example, it is allowed to stand at room temperature for 1 to 48 hours, for example, heated at 40 to 100 ° C. for 0.5 to 3 hours, or reduced pressure of 0.001 to 50 kPa, for example. Heat at 20-60 ° C. for 0.5-3 hours under atmosphere.

加熱により樹脂(好ましくは、熱可塑性樹脂)を溶融させる場合には、加熱温度が、例えば、樹脂の軟化温度付近またはそれを超過する温度であって、具体的には、40〜150℃、好ましくは、70〜150℃である。   When the resin (preferably a thermoplastic resin) is melted by heating, the heating temperature is, for example, a temperature near or exceeding the softening temperature of the resin, specifically, 40 to 150 ° C., preferably Is 70-150 degreeC.

次いで、この方法では、得られた混合物を、熱プレスする。   In this method, the resulting mixture is then hot pressed.

具体的には、混合物を、例えば、必要により、2枚の離型フィルム(図示せず)を介して熱プレスすることにより、プレスシート(熱伝導性シート1)を得る。熱プレスの条件は、温度が、例えば、50〜150℃、好ましくは、60〜150℃であり、圧力が、例えば、1〜100MPa、好ましくは、5〜50MPaであり、時間が、例えば、0.1〜100分間、好ましくは、1〜10分間である。   Specifically, the press sheet (thermally conductive sheet 1) is obtained by, for example, heat-pressing the mixture through two release films (not shown) as necessary. The conditions of the hot press are that the temperature is, for example, 50 to 150 ° C., preferably 60 to 150 ° C., the pressure is, for example, 1 to 100 MPa, preferably 5 to 50 MPa, and the time is, for example, 0 .1 to 100 minutes, preferably 1 to 10 minutes.

さらに好ましくは、混合物を真空熱プレスする。真空熱プレスにおける真空度は、例えば、1〜100Pa、好ましくは、5〜50Paであり、温度、圧力および時間は、上記した熱プレスのそれらと同様である。   More preferably, the mixture is vacuum hot pressed. The degree of vacuum in the vacuum hot press is, for example, 1 to 100 Pa, preferably 5 to 50 Pa, and the temperature, pressure, and time are the same as those in the above-described hot press.

このような熱プレスでは、詳しくは図示しないが、例えば、樹脂3が第1樹脂および第2樹脂を含む場合に、まず、熱プレスされた混合物を、第1樹脂の軟化温度まで昇温し、第1樹脂を軟化させる。このとき、第1樹脂の軟化温度よりも高い軟化温度を有する第2樹脂は軟化しないので、熱プレス状態において、混合物(熱伝導性シート)は保形される。そして、この熱プレスでは、その後、混合物(熱伝導性シート)を、第2樹脂の軟化温度まで昇温し、第2樹脂を軟化させる。このような熱プレスにより、板状または鱗片状のフィラー2の配向角α(後述)を、調整することができる。   In such a hot press, although not shown in detail, for example, when the resin 3 includes the first resin and the second resin, first, the temperature of the hot-pressed mixture is raised to the softening temperature of the first resin, The first resin is softened. At this time, since the second resin having a softening temperature higher than the softening temperature of the first resin does not soften, the mixture (heat conductive sheet) is retained in the hot press state. And in this heat press, after that, a mixture (thermally conductive sheet) is heated up to the softening temperature of 2nd resin, and 2nd resin is softened. By such hot pressing, the orientation angle α (described later) of the plate-like or scale-like filler 2 can be adjusted.

また、樹脂3が熱硬化性樹脂である場合に、熱伝導性シート1を熱硬化させることができる。熱伝導性シート1を硬化させるには、第2樹脂の軟化温度以上に加熱する。加熱するには、例えば、上記した熱プレスまたは乾燥機が用いられる。かかる熱硬化の条件は、温度が、例えば、60〜250℃、好ましくは、80〜200℃であり、圧力が、例えば、100MPa以下、好ましくは、50MPa以下である。   Moreover, when the resin 3 is a thermosetting resin, the heat conductive sheet 1 can be thermoset. In order to harden the heat conductive sheet 1, it heats more than the softening temperature of 2nd resin. For heating, for example, the above-described hot press or dryer is used. The thermosetting conditions are such that the temperature is, for example, 60 to 250 ° C., preferably 80 to 200 ° C., and the pressure is, for example, 100 MPa or less, preferably 50 MPa or less.

なお、この方法では、一度の熱プレスによって、第2樹脂の軟化温度まで昇温することができ、さらには、一度の熱プレスによって、熱伝導性シート1を硬化させることもできる。   In this method, the temperature can be raised to the softening temperature of the second resin by a single hot press, and further, the thermal conductive sheet 1 can be cured by a single hot press.

得られた熱伝導性シート1の厚みは、例えば、1mm以下、好ましくは、0.8mm以下、通常、例えば、0.05mm以上、好ましくは、0.1mm以上である。   The thickness of the obtained heat conductive sheet 1 is, for example, 1 mm or less, preferably 0.8 mm or less, usually, for example, 0.05 mm or more, preferably 0.1 mm or more.

そして、このようにして得られた熱伝導性シート1において、図1およびその部分拡大模式図に示すように、フィラー2(板状または燐片状のフィラー2)は、その長手方向LDが、熱伝導性シート1の厚み方向TDに交差(直交)する面方向SD対して、所定の角度(配向角α)を成すように、含有されている。   And in the heat conductive sheet 1 obtained in this way, as shown in FIG. 1 and its partial enlarged schematic view, the filler 2 (plate-like or flake-like filler 2) has a longitudinal direction LD thereof, It is contained so as to form a predetermined angle (orientation angle α) with respect to the surface direction SD intersecting (orthogonal) with the thickness direction TD of the heat conductive sheet 1.

フィラー2の長手方向LDが熱伝導性シート1の面方向SDに成す配向角αとしては、その算術平均(平均配向角α)が、29度以上、好ましくは、29.5度以上、より好ましくは、30度以上であり、通常、45度未満である。 The orientation angle α formed by the longitudinal direction LD of the filler 2 in the plane direction SD of the heat conductive sheet 1 has an arithmetic average (average orientation angle α 1 ) of 29 degrees or more, preferably 29.5 degrees or more. Preferably, it is 30 degrees or more, and usually less than 45 degrees.

また、フィラー2の長手方向LDが熱伝導性シート1の面方向SDに成す配向角αの最大値(最大配向角α)は、65度以上、好ましくは、70度以上、より好ましくは、75度以上であり、通常、90度未満である。 Further, the maximum value of the orientation angle α (maximum orientation angle α 2 ) formed by the longitudinal direction LD of the filler 2 in the plane direction SD of the heat conductive sheet 1 is 65 degrees or more, preferably 70 degrees or more, more preferably It is 75 degrees or more and is usually less than 90 degrees.

熱伝導性シート1の面方向SDに対するフィラー2の平均配向角αが上記範囲であり、かつ、最大配向角αが上記範囲であれば、熱伝導性シートにおいて、厚み方向および面方向の両方向の熱伝導性を良好に確保することができる。 If the average orientation angle α 1 of the filler 2 with respect to the surface direction SD of the thermally conductive sheet 1 is in the above range and the maximum orientation angle α 2 is in the above range, in the thermally conductive sheet, in the thickness direction and the surface direction. Good thermal conductivity in both directions can be ensured.

なお、フィラー2の熱伝導性シート1に対する配向角αは、熱伝導性シート1を切り出し、X線CTによって0〜180度において連続透過像を撮影し、全透過像を元に再構成して断層像を作成し、得られた画像を解析して3次元再構成像を作成し、得られた像をもとに計測する。   Note that the orientation angle α of the filler 2 with respect to the heat conductive sheet 1 is obtained by cutting out the heat conductive sheet 1, taking a continuous transmission image at 0 to 180 degrees by X-ray CT, and reconstructing based on the total transmission image. A tomographic image is created, and the obtained image is analyzed to create a three-dimensional reconstructed image, and measurement is performed based on the obtained image.

そして、これにより得られる熱伝導性シート1の面方向SDの熱伝導率は、30〜60W/m・K、好ましくは、35〜60W/m・K、より好ましくは、40〜60W/m・K、である。   And the heat conductivity of the surface direction SD of the heat conductive sheet 1 obtained by this is 30-60 W / m * K, Preferably, it is 35-60 W / m * K, More preferably, it is 40-60 W / m *. K.

なお、熱伝導性シート1の面方向SDの熱伝導率は、パルス加熱法により測定する。パルス加熱法では、キセノンフラッシュアナライザー「LFA−447型」(NETZSCH社製)が用いられる。   In addition, the heat conductivity of the surface direction SD of the heat conductive sheet 1 is measured by the pulse heating method. In the pulse heating method, a xenon flash analyzer “LFA-447 type” (manufactured by NETZSCH) is used.

また、熱伝導性シート1の厚み方向TDの熱伝導率は、5〜15W/m・K、好ましくは、6〜15W/m・K、より好ましくは、7〜15W/m・K、である。   The thermal conductivity in the thickness direction TD of the thermal conductive sheet 1 is 5 to 15 W / m · K, preferably 6 to 15 W / m · K, more preferably 7 to 15 W / m · K. .

なお、熱伝導性シート1の厚み方向TDの熱伝導率は、パルス加熱法、レーザーフラッシュ法またはTWA法により測定する。パルス加熱法では、上記と同様のものが用いられ、レーザーフラッシュ法では、「TC−9000」(アルバック理工社製)が用いられ、TWA法では、「ai−Phase mobile」(アイフェイズ社製)が用いられる。   The thermal conductivity in the thickness direction TD of the thermal conductive sheet 1 is measured by a pulse heating method, a laser flash method, or a TWA method. In the pulse heating method, the same one as described above is used, in the laser flash method, “TC-9000” (manufactured by ULVAC-RIKO) is used, and in the TWA method, “ai-Phase mobile” (manufactured by Eye Phase). Is used.

そして、このような熱伝導性シート1では、板状または鱗片状のフィラー2が、平均配向角が29度以上、最大配向角が65度以上となるように含有されているため、熱伝導性シート1の厚み方向Tdおよび面方向SDの熱伝導性を確保することができる。   In such a heat conductive sheet 1, the plate-like or scale-like filler 2 is contained so that the average orientation angle is 29 degrees or more and the maximum orientation angle is 65 degrees or more. The thermal conductivity in the thickness direction Td and the surface direction SD of the sheet 1 can be ensured.

そのため、熱伝導性シート1は、厚み方向および面方向の熱伝導性に優れ、例えば、ハイブリッドデバイス、高輝度LEDデバイス、電磁誘導加熱デバイスなど、半導体素子により電力を変換・制御するパワーエレクトロニクス技術などにおいて、大電流を熱などに変換するための放熱部材や、絶縁シートとして用いることができ、具体的には、例えば、発光ダイオード装置に用いられる半導体素子、撮像装置に用いられる撮像素子、液晶表示装置のバックライトなど、さらには、その他の種々のパワーモジュールの近傍に配置され、部材から熱を発散させるための放熱部材や、また、それら各部材間に配置され、各部材を電気的に絶縁させるための絶縁シートとして、好適に用いることができる。   Therefore, the heat conductive sheet 1 is excellent in heat conductivity in the thickness direction and in the surface direction. For example, a power electronics technology that converts and controls electric power by a semiconductor element, such as a hybrid device, a high-intensity LED device, and an electromagnetic induction heating device. Can be used as a heat radiating member for converting a large current into heat or an insulating sheet. Specifically, for example, a semiconductor element used in a light-emitting diode device, an imaging element used in an imaging device, and a liquid crystal display It is arranged in the vicinity of various other power modules such as the backlight of the device, and it is arranged between the heat radiating members to dissipate heat from the members and between these members, and each member is electrically insulated. It can use suitably as an insulating sheet for making it do.

このような熱伝導性シート1は、具体的には、例えば、発光ダイオード装置のヒートスプレッダやヒートシンク、例えば、液晶表示装置や撮像装置の筐体に貼着される放熱シート、例えば、電子回路基板を封止するための封止材などとして、好適に用いられる。   Specifically, the heat conductive sheet 1 is, for example, a heat spreader or a heat sink of a light emitting diode device, for example, a heat dissipation sheet attached to a casing of a liquid crystal display device or an imaging device, for example, an electronic circuit board. It is suitably used as a sealing material for sealing.

以下に実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は、何ら実施例に限定されない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the examples.

実施例1
PT−110(商品名、板状の窒化ホウ素粒子、平均粒子径(光散乱法)35〜60μm、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン社製)6.71gを用意した。
Example 1
6.71 g of PT-110 (trade name, plate-like boron nitride particles, average particle diameter (light scattering method) of 35 to 60 μm, manufactured by Momentive Performance Materials Japan) was prepared.

EPPN−501HY(商品名、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、固形状、エポキシ当量163〜175g/eqiv.、軟化温度(環球法)61℃、新日鉄化学社製)1.2gと、YSLV−120TE(商品名、ビスフェノール型エポキシ樹脂、固形状、平均粒子径(SEM画像の解析)約100μm(粉砕後、ふるいにより分級)、エポキシ当量250g/eqiv.、軟化温度(環球法)120℃、新日鉄化学社製)0.3gとを、溶媒(アセトン)2gに溶解させた。次いで、イミダゾール系硬化触媒(2P4MHZ−PW、四国化成社製)0.05を加えた後、上記のPT−110を混合し、その後、60℃で1時間乾燥して溶媒を除去した。次いで、得られた粉末を、150℃のプレス機において10MPaで10分間加圧保持し、樹脂を硬化させ、熱伝導性シートを得た。   EPPN-501HY (trade name, phenol novolac type epoxy resin, solid, epoxy equivalent of 163 to 175 g / eqiv., Softening temperature (ring and ball method) 61 ° C., manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) 1.2 g and YSLV-120TE (trade name) , Bisphenol type epoxy resin, solid, average particle size (analysis of SEM image) about 100 μm (after pulverization, classification by sieving), epoxy equivalent 250 g / eqiv., Softening temperature (ring and ball method) 120 ° C., manufactured by Nippon Steel Chemical Co. 0.3 g was dissolved in 2 g of solvent (acetone). Next, after adding 0.05 imidazole-based curing catalyst (2P4MHZ-PW, manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.), the PT-110 was mixed, and then dried at 60 ° C. for 1 hour to remove the solvent. Next, the obtained powder was held under pressure at 10 MPa for 10 minutes in a press machine at 150 ° C., the resin was cured, and a heat conductive sheet was obtained.

なお、SEM画像は、下記条件によって解析した(以下同様)。   The SEM image was analyzed under the following conditions (hereinafter the same).

すなわち、SEMサンプルとしては、エポキシ樹脂で包埋後、断面研磨し、その表面をイオンミリングして面だししたものを使用した。   That is, as the SEM sample, an embedding with an epoxy resin, cross-sectional polishing, and surface milling of the surface by ion milling were used.

得られたサンプルについて、100か所任意に測定し、次いで、得られたSEM画像100枚をImage Proソフトにて連結させ、WinRoofソフトにて樹脂粒子を抽出して画像解析し、粒度分布を測定して平均粒子径を求めた。   Measure 100 points of the obtained sample arbitrarily, then connect the obtained 100 SEM images with Image Pro software, extract resin particles with WinRoof software, perform image analysis, and measure the particle size distribution The average particle size was determined.

実施例2
EPPN−501HYに代えて、JER1001(商品名、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、固形状、エポキシ当量450〜500g/eqiv.、軟化温度(環球法)64℃、三菱化学社製)1.2gを用いた以外は、実施例1と同様にして、熱伝導性シートを得た。
Example 2
Instead of EPPN-501HY, 1.2 g of JER1001 (trade name, bisphenol A type epoxy resin, solid, epoxy equivalent 450 to 500 g / eqiv., Softening temperature (ring and ball method) 64 ° C., manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) was used. Except for the above, a heat conductive sheet was obtained in the same manner as in Example 1.

実施例3
EPPN−501HYに代えて、JER1002(商品名、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、固形状、エポキシ当量600〜700g/eqiv.、軟化温度(環球法)74℃、三菱化学社製)1.2gを用い、YSLV−120TEに代えて、YSLV−80XY(商品名、ビスフェノール型エポキシ樹脂、結晶性エポキシ樹脂、固形状、平均粒子径(SEM画像の解析)約100μm(粉砕後、ふるいにより分級)、エポキシ当量200g/eqiv.、軟化温度(環球法)140℃、新日鉄化学社製)0.5gを用いた以外は、実施例1と同様にして、熱伝導性シートを得た。
Example 3
Instead of EPPN-501HY, 1.2 g of JER1002 (trade name, bisphenol A type epoxy resin, solid, epoxy equivalent of 600 to 700 g / eqiv., Softening temperature (ring and ball method) 74 ° C., manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) is used. In place of YSLV-120TE, YSLV-80XY (trade name, bisphenol type epoxy resin, crystalline epoxy resin, solid, average particle size (analysis of SEM image) about 100 μm (after pulverization and classification by sieving), epoxy equivalent 200 g / Eqiv., Softening temperature (ring and ball method) 140 ° C., manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) was used in the same manner as in Example 1 to obtain a heat conductive sheet, except that 0.5 g was used.

実施例4
EPPN−501HY 1.2gに代えて、EPPN−501HY 0.5gおよびJER1002 0.5gを用い、また、YSLV−120TE 0.3gに代えて、YSLV−80XY 0.3gを用いた以外は、実施例1と同様にして、熱伝導性シートを得た。
Example 4
Example except that EPPN-501HY (0.5 g) was used instead of EPPN-501HY (1.2 g), and YSLV-80XY (0.3 g) was used instead of YSLV-120TE (0.3 g). In the same manner as in No. 1, a heat conductive sheet was obtained.

比較例1
EPPN−501HY 1.2gを、1.5gとし、YSLV−120TEを用いなかった以外は、実施例1と同様にして、熱伝導性シートを得た。
Comparative Example 1
A thermally conductive sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that 1.2 g of EPPN-501HY was changed to 1.5 g and YSLV-120TE was not used.

比較例2
YSLV−120TE 0.3gに代えて、JER1055(商品名、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ペレット状、平均サイズ約1cm、軟化温度(環球法)145℃、三菱化学社製)0.3gを用いた以外は、実施例1と同様にして、熱伝導性シートを得た。
Comparative Example 2
Instead of using 0.3 g of YSLV-120TE, 0.3 g of JER1055 (trade name, bisphenol A type epoxy resin, pellet form, average size of about 1 cm, softening temperature (ring ball method) 145 ° C., manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) was used. In the same manner as in Example 1, a heat conductive sheet was obtained.

比較例3
EPPN−501HY 1.2gに代えて、JER1001 1.2gを用い、また、YSLV−120TE 0.3gに代えて、JER1003(商品名、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、固形状、平均粒子径(SEM画像の解析)約100μm(粉砕後、ふるいにより分級)、エポキシ当量660〜770g/eqiv.、軟化温度(環球法)80℃、新日鉄化学社製)0.3gを用いた以外は、実施例1と同様にして、熱伝導性シートを得た。
Comparative Example 3
In place of 1.2 g of EPPN-501HY, 1.2 g of JER1001 was used, and in place of 0.3 g of YSLV-120TE, JER1003 (trade name, bisphenol A type epoxy resin, solid, average particle diameter (SEM image Analysis) Same as Example 1 except that about 100 μm (classified by sieving after pulverization), epoxy equivalent of 660 to 770 g / eqiv, softening temperature (ring ball method) 80 ° C., manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) 0.3 g was used. Thus, a heat conductive sheet was obtained.

評価
(1)熱伝導率
各実施例および各比較例において得られた熱伝導性シートの、厚み方向TDの熱伝導率、および、面方向SDの熱伝導率を、キセノンフラッシュアナライザー「LFA−447型」(NETZSCH社製)を用いるパルス加熱法により測定した。結果を表1に示す。
(2)配向角
各実施例および各比較例において得られた熱伝導性シートを、2mm幅に切り出し、試料台に固定し、X線CTによって、連続透過像を0〜180度にわたって0.2度毎に撮影し、次いで、全透過像を元に再構成して断層像を作成し、得られた画像を解析することにより、3次元再構成像を作成して、配向角(平均配向角、最高配向角)を計測した。なお、解析ソフトとして、ImageJ.(開発元:アメリカ国立衛生研究所(NIH))を用いた。結果を表1に示す。
Evaluation (1) Thermal conductivity The thermal conductivity in the thickness direction TD and the thermal conductivity in the surface direction SD of the thermal conductive sheets obtained in each of the examples and the comparative examples were measured using a xenon flash analyzer “LFA-447. It was measured by a pulse heating method using a “type” (manufactured by NETZSCH). The results are shown in Table 1.
(2) Orientation angle The heat conductive sheet obtained in each Example and each Comparative Example was cut into a width of 2 mm, fixed to a sample stage, and a continuous transmission image was 0.2 to 0 to 180 degrees by X-ray CT. Taken every degree, then reconstructs based on the total transmission image, creates a tomographic image, analyzes the obtained image, creates a three-dimensional reconstructed image, and creates an orientation angle (average orientation angle) , Maximum orientation angle). As analysis software, ImageJ. (Developer: National Institutes of Health (NIH)) was used. The results are shown in Table 1.

また、実施例1の熱伝導性シートのX線CT像を図2に、X線CT像を解析して得られた配向角の頻度分布図を図3に示す。   Moreover, the X-ray CT image of the heat conductive sheet of Example 1 is shown in FIG. 2, and the frequency distribution diagram of the orientation angle obtained by analyzing the X-ray CT image is shown in FIG.

また、実施例2熱伝導性シートのX線CT像を図4に、X線CT像を解析して得られた配向角の頻度分布図を図5に示す。   Further, FIG. 4 shows an X-ray CT image of the thermal conductive sheet of Example 2, and FIG. 5 shows a frequency distribution diagram of orientation angles obtained by analyzing the X-ray CT image.

また、実施例4の熱伝導性シートのX線CT像を図6に、X線CT像を解析して得られた配向角の頻度分布図を図7に示す。   Further, FIG. 6 shows an X-ray CT image of the thermally conductive sheet of Example 4, and FIG. 7 shows a frequency distribution diagram of orientation angles obtained by analyzing the X-ray CT image.

また、比較例1の熱伝導性シートのX線CT像を図8に、X線CT像を解析して得られた配向角の頻度分布図を図9に示す。   Further, FIG. 8 shows an X-ray CT image of the heat conductive sheet of Comparative Example 1, and FIG. 9 shows a frequency distribution diagram of orientation angles obtained by analyzing the X-ray CT image.

また、表1に示す略号の詳細を、以下に示す。
EPPN−501HY:フェノールノボラック型エポキシ樹脂、固形状、エポキシ当量163〜175g/eqiv.、軟化温度(環球法)61℃、新日鉄化学社製
JER1001:ビスフェノールA型エポキシ樹脂、固形状、エポキシ当量450〜500g/eqiv.、軟化温度(環球法)64℃、三菱化学社製
JER1002:ビスフェノールA型エポキシ樹脂、固形状、エポキシ当量600〜700g/eqiv.、軟化温度(環球法)74℃、三菱化学社製
YSLV−120TE:ビスフェノール型エポキシ樹脂、固状、平均粒子径(SEM画像解析)100μm、エポキシ当量250g/eqiv.、軟化温度(環球法)120℃、新日鉄化学社製
YSLV−80XY:ビスフェノール型エポキシ樹脂、結晶性エポキシ樹脂、固形状平均粒子径(SEM画像解析)約100μm、、エポキシ当量200g/eqiv.、軟化温度(環球法)140℃、新日鉄化学社製
JER1055:ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ペレット状、平均サイズ約1cm、軟化温度(環球法)145℃、三菱化学社製
JER1003:ビスフェノールA型エポキシ樹脂、固形状、平均粒子径(SEM画像解析)100μm、エポキシ当量660〜770g/eqiv.、軟化温度(環球法)80℃、新日鉄化学社製
Details of the abbreviations shown in Table 1 are shown below.
EPPN-501HY: phenol novolac type epoxy resin, solid, epoxy equivalent of 163 to 175 g / eqiv. , Softening temperature (ring ball method) 61 ° C., Nippon Steel Chemical Co., Ltd. JER1001: bisphenol A type epoxy resin, solid, epoxy equivalent 450-500 g / eqiv. , Softening temperature (ring and ball method) 64 ° C., Mitsubishi Chemical Corporation JER1002: bisphenol A type epoxy resin, solid, epoxy equivalent of 600 to 700 g / eqiv. , Softening temperature (ring and ball method) 74 ° C., YSLV-120TE manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation: bisphenol type epoxy resin, solid, average particle diameter (SEM image analysis) 100 μm, epoxy equivalent 250 g / eqiv. , Softening temperature (ring and ball method) 120 ° C., YSLV-80XY manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd .: bisphenol type epoxy resin, crystalline epoxy resin, solid average particle diameter (SEM image analysis) about 100 μm, epoxy equivalent 200 g / eqiv. , Softening temperature (ring and ball method) 140 ° C., Nippon Steel Chemical Co., Ltd. JER1055: bisphenol A type epoxy resin, pellets, average size about 1 cm, softening temperature (ring and ball method) 145 ° C., Mitsubishi Chemical Corporation JER1003: bisphenol A type epoxy resin , Solid, average particle size (SEM image analysis) 100 μm, epoxy equivalent 660-770 g / eqiv. Softening temperature (ring and ball method) 80 ° C, manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.

1 熱伝導性シート
2 フィラー
3 樹脂
TD 厚み方向
SD 面方向(直交方向)
LD 長手方向
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Thermal conductive sheet 2 Filler 3 Resin TD Thickness direction SD Plane direction (perpendicular direction)
LD Longitudinal direction

Claims (6)

樹脂と、板状または鱗片状のフィラーとを含有する熱伝導性シートであって、
前記熱伝導性シートの面方向に対して、前記フィラーの平均配向角が29度以上であり、最大配向角が65度以上であることを特徴とする、熱伝導性シート。
A thermally conductive sheet containing a resin and a plate-like or scale-like filler,
The heat conductive sheet, wherein the filler has an average orientation angle of 29 degrees or more and a maximum orientation angle of 65 degrees or more with respect to a surface direction of the heat conductive sheet.
前記樹脂が、第1樹脂と第2樹脂とを含有し、
前記第1樹脂の軟化温度と、前記第2樹脂の軟化温度との差が、20℃以上であることを特徴とする、請求項1に記載の熱伝導性シート。
The resin contains a first resin and a second resin;
The heat conductive sheet according to claim 1, wherein a difference between a softening temperature of the first resin and a softening temperature of the second resin is 20 ° C. or more.
前記第1樹脂の軟化温度と、前記第2樹脂の軟化温度との差が、40℃以上であり、
前記第2樹脂は、平均粒子径が10〜500μmであり、
前記第1樹脂の軟化温度と前記第2樹脂の軟化温度との間の温度において、保形されることを特徴とする、請求項1または2に記載の熱伝導性シート。
The difference between the softening temperature of the first resin and the softening temperature of the second resin is 40 ° C. or more,
The second resin has an average particle size of 10 to 500 μm,
The heat conductive sheet according to claim 1, wherein the heat conductive sheet is held at a temperature between a softening temperature of the first resin and a softening temperature of the second resin.
前記フィラーの含有量が、前記熱伝導性シートの総量100質量部に対して、50〜95質量部であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の熱伝導性シート。   The thermal conductivity according to any one of claims 1 to 3, wherein the filler content is 50 to 95 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the thermal conductive sheet. Sheet. 請求項1〜4のいずれか一項に記載の熱伝導性シートを用いて得られることを特徴とする、絶縁シート。   It is obtained using the heat conductive sheet as described in any one of Claims 1-4, The insulating sheet characterized by the above-mentioned. 請求項1〜4のいずれか一項に記載の熱伝導性シートを用いて得られることを特徴とする、放熱部材。
It is obtained using the heat conductive sheet as described in any one of Claims 1-4, The heat radiating member characterized by the above-mentioned.
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