JP2012219737A

JP2012219737A - Vacuum pump

Info

Publication number: JP2012219737A
Application number: JP2011087291A
Authority: JP
Inventors: Shingo Tanaka; 晋悟田中
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2011-04-11
Filing date: 2011-04-11
Publication date: 2012-11-12
Anticipated expiration: 2031-04-11
Also published as: JP5565367B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum pump capable of surely preventing a pump unit from being disassembled irregularly.SOLUTION: The pump unit includes: a data storage section 452 in which a plurality of pieces of disassembly sensing data are stored; and a disassembly detection switch 451 which erases the disassembly sensing data stored in the data storage section 452 when the pump unit turns to an unassembled state from an assembled state. A main control section 31 of a control unit 30 determines whether or not the plurality of pieces of disassembly sensing data are stored in the data storage section 452 respectively, and inhibits operation of the pump unit if it determines that at least one of the plurality of pieces of disassembly sensing data is not stored.

Description

本発明は、ポンプ分解を検出する機能を備えた真空ポンプに関する。 The present invention relates to a vacuum pump having a function of detecting pump disassembly.

ターボ分子ポンプでは、固定側のタービン翼に対して、タービン翼が形成されたロータを高速回転することで気体を排気している。これらの固定側タービン翼およびロータは、吸気口フランジが形成されたポンプケーシング内に配置されている（例えば、特許文献１参照）。 In a turbo molecular pump, gas is exhausted by rotating a rotor on which a turbine blade is formed at a high speed with respect to a turbine blade on a fixed side. These fixed-side turbine blades and rotor are arranged in a pump casing in which an intake flange is formed (see, for example, Patent Document 1).

一般的に、ターボ分子ポンプを使用する場合には、定期的なメンテナンスやオーバーホールが必要となる。例えば、メカニカルベアリングで支持するタイプのターボ分子ポンプにおいては、メカニカルベアリングの定期的な交換が必須である。また、磁気軸受式のターボ分子ポンプであって、タッチダウンベアリングとして使用されているメカニカルベアリングが、ポンプの長期使用により摩耗して交換が必要となる場合がある。さらにまた、腐食性ガスを排気するような装置で用いられる場合には、ポンプ内のガス流路に生成物が固着してポンプ運転に支障をきたすので、生成物を除去するためのメンテナンスが必要となる。 Generally, when a turbo molecular pump is used, regular maintenance and overhaul are required. For example, in a turbo molecular pump of a type supported by a mechanical bearing, periodic replacement of the mechanical bearing is essential. In addition, a magnetic bearing type turbo molecular pump, which is used as a touchdown bearing, may be worn out due to long-term use of the pump and may need to be replaced. Furthermore, when used in a device that exhausts corrosive gas, the product sticks to the gas flow path in the pump and hinders pump operation, so maintenance is required to remove the product. It becomes.

ターボ分子ポンプに限らず真空ポンプにおいては、真空性能や安全性を確保するためにポンプ組み立てに当たっては厳しい組み立て精度が要求される。そのため、真空ポンプの分解および組み立てを伴うメンテナンスは、訓練を受けた専門の作業者によって、すなわちポンプ製造メーカや指定のメンテナンス業者によって行われている。 In vacuum pumps as well as turbomolecular pumps, strict assembly accuracy is required for pump assembly in order to ensure vacuum performance and safety. For this reason, maintenance involving disassembly and assembly of the vacuum pump is performed by trained professional workers, that is, by a pump manufacturer or a designated maintenance company.

特開２００８−０３８８４４号公報JP 2008-038844 A

ところで、真空ポンプの分解および組み立て作業においては、特殊な工具等を必要としないため、ポンプ製造メーカや指定のメンテナンス業者以外の業者にメンテナンスを委託したり、使用者自身がメンテナンスを行ったりすることも可能である。しかしながら、メンテナンス作業が正しく行われないと、ポンプ性能が低下したりポンプ寿命を縮めたりするだけでなく、故障が発生したり安全性が損なわれたりするという問題がある。 By the way, in disassembling and assembling work of the vacuum pump, no special tools are required, so outsource maintenance to a contractor other than the pump manufacturer or the designated maintenance contractor, or perform the maintenance by the user himself / herself. Is also possible. However, if the maintenance work is not performed correctly, there is a problem that not only the pump performance is lowered or the pump life is shortened, but also a failure occurs or the safety is impaired.

請求項１の発明は、ロータを回転させて真空排気を行うポンプユニットと、ポンプユニットを駆動制御するコントロールユニットとを備える真空ポンプに適用され、ポンプユニットは、複数の分解検知用データが記憶されるデータ記憶部と、該ポンプユニットが組立状態から非組立状態になると、データ記憶部に記憶されている分解検知用データを消去する消去手段と、を備え、コントロールユニットは、データ記憶部に複数の分解検知用データが記憶されているか否かをそれぞれ判定する分解履歴判定部と、複数の分解検知用データの少なくとも一つに関して分解履歴判定部により記憶されていないと判定されるとポンプユニットの運転を禁止する運転禁止設定部と、を備えることを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１に記載の真空ポンプにおいて、複数の分解検知用データは、データ記憶部の所定の記憶領域にそれぞれ対応付けられて記憶されており、コントロールユニットは、所定の解除データが入力されると、複数の分解検知用データをデータ記憶部の所定の記憶領域にそれぞれ記憶させるデータ書き込み手段を備えることを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項２に記載の真空ポンプにおいて、分解履歴判定部は、複数の分解検知用データが対応する所定の記憶領域にそれぞれ記憶されているか否かを判定し、運転禁止設定部は、複数の分解検知用データの全てに関して、対応する所定の記憶領域にそれぞれ記憶されていると分解履歴判定部により判定された場合以外は、ポンプユニットの運転を禁止することを特徴とする。
請求項４の発明は、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、複数の分解検知用データに、ポンプユニットの制御に使用される制御パラメータが含まれることを特徴とする。 The invention of claim 1 is applied to a vacuum pump including a pump unit that rotates a rotor to evacuate and a control unit that drives and controls the pump unit, and the pump unit stores a plurality of pieces of decomposition detection data. And a erasing unit for erasing the disassembly detection data stored in the data storage unit when the pump unit is changed from the assembled state to the non-assembled state. A decomposition history determination unit for determining whether or not decomposition detection data is stored, and a decomposition history determination unit that determines that at least one of the plurality of decomposition detection data is not stored. And a driving prohibition setting unit that prohibits driving.
According to a second aspect of the present invention, in the vacuum pump according to the first aspect, the plurality of pieces of decomposition detection data are stored in association with predetermined storage areas of the data storage unit, and the control unit is When the release data is input, a data writing unit is provided for storing a plurality of pieces of disassembly detection data in a predetermined storage area of the data storage unit.
According to a third aspect of the present invention, in the vacuum pump according to the second aspect, the decomposition history determination unit determines whether or not a plurality of pieces of decomposition detection data are stored in the corresponding predetermined storage areas, and operation is prohibited. The setting unit prohibits the operation of the pump unit except when the decomposition history determination unit determines that all of the plurality of pieces of decomposition detection data are respectively stored in the corresponding predetermined storage areas. To do.
According to a fourth aspect of the present invention, in the vacuum pump according to any one of the first to third aspects, the plurality of decomposition detection data includes a control parameter used for controlling the pump unit. .

本発明によれば、ポンプユニットが非正規に分解されるのを、確実に防止することができ、真空ポンプの安全性の向上を図ることができる。 According to the present invention, it is possible to reliably prevent the pump unit from being disassembled irregularly, and to improve the safety of the vacuum pump.

本発明に係る真空ポンプの一実施の形態を示す図である。It is a figure which shows one Embodiment of the vacuum pump which concerns on this invention. 分解検出部４５の一例を示すブロック図である。4 is a block diagram illustrating an example of a decomposition detection unit 45. FIG. ポンプ分解検出構造の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a pump disassembly detection structure. 分解検出スイッチ４５１の開閉動作を説明する図。The figure explaining the opening / closing operation | movement of the decomposition | disassembly detection switch 451. FIG. データ記憶部４５２とデータ記憶部接続用信号線８３との接続関係を示すブロック図である。5 is a block diagram showing a connection relationship between a data storage unit 452 and a data storage unit connection signal line 83. FIG. （ａ）はデータ書き込みの手順を示すフローチャートであり、（ｂ）はデータ読み出しの手順を示すフローチャートである。(A) is a flowchart showing a data writing procedure, and (b) is a flowchart showing a data reading procedure. データ記億部４５２に記憶されているデータを利用したポンプ分解の検出動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the detection operation | movement of the pump disassembly using the data memorize | stored in the data storage part 452. ポンプ分解状態からの復帰動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the return operation | movement from a pump disassembly state. データ堅牢性を説明する図である。It is a figure explaining data robustness. ポンプ分解検出構造の第２の例を示す図。The figure which shows the 2nd example of a pump decomposition | disassembly detection structure.

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図１は本発明に係る真空ポンプの一実施の形態を示す図であり、磁気軸受式ターボ分子ポンプの全体構成を示す図である。ターボ分子ポンプは、ポンプユニット１と、ポンプユニット１を駆動制御するためのコントロールユニット３０とを備えており、ポンプユニット１とコントロールユニット３０との間には、電力を供給する電源ケーブルと、制御信号用の制御ケーブル８０とが設けられている。なお、図１では電源ケーブルの図示を省略した。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a vacuum pump according to the present invention, and is a diagram showing an overall configuration of a magnetic bearing type turbo molecular pump. The turbo molecular pump includes a pump unit 1 and a control unit 30 for driving and controlling the pump unit 1. Between the pump unit 1 and the control unit 30, a power cable for supplying electric power, and a control are provided. A signal control cable 80 is provided. In FIG. 1, the power cable is not shown.

ロータ２が取り付けられたシャフト３は、ベース４に設けられた電磁石５１，５２によって非接触支持されている。シャフト３の浮上位置は、ベース４に設けられたラジアル変位センサ７１およびアキシャル変位センサ７２によって検出される。ラジアル磁気軸受を構成する電磁石５１と、アキシャル磁気軸受を構成する電磁石５２と、変位センサ７１，７２とで５軸制御型磁気軸受が構成される。なお、磁気軸受が作動していない状態では、シャフト３はメカニカルベアリング２７，２８によって支持される。 The shaft 3 to which the rotor 2 is attached is supported in a non-contact manner by electromagnets 51 and 52 provided on the base 4. The flying position of the shaft 3 is detected by a radial displacement sensor 71 and an axial displacement sensor 72 provided on the base 4. The electromagnet 51 constituting the radial magnetic bearing, the electromagnet 52 constituting the axial magnetic bearing, and the displacement sensors 71 and 72 constitute a 5-axis control type magnetic bearing. When the magnetic bearing is not operating, the shaft 3 is supported by the mechanical bearings 27 and 28.

シャフト３の下端には円形のディスク４１が設けられており、このディスク４１を上下に挟むように電磁石５２が設けられている。そして、電磁石５２によりディスク４１を吸引することによりシャフト３がアキシャル方向に浮上する。ディスク４１はナット部材４２によりシャフト３の下端部に固定されている。４５はベース４側に設けられた分解検出部である。後述するように、分解検出部４５には、制御パラメータなどポンプ運転に必要なデータやポンプ認識のためのシリアルナンバーなど（本実施形態ではバックアップデータと呼ぶことにする）を記憶するデータ記憶部が設けられている。ベース４の底面には、ポンプ分解時に取り外される裏蓋４３がボルト固定されている。裏蓋４３とベース４との隙間はＯリング４４により密封される。 A circular disk 41 is provided at the lower end of the shaft 3, and an electromagnet 52 is provided so as to sandwich the disk 41 vertically. Then, when the disk 41 is attracted by the electromagnet 52, the shaft 3 floats in the axial direction. The disk 41 is fixed to the lower end portion of the shaft 3 by a nut member 42. Reference numeral 45 denotes a disassembly detection unit provided on the base 4 side. As will be described later, the disassembly detection unit 45 includes a data storage unit that stores data necessary for pump operation such as control parameters, a serial number for pump recognition, and the like (referred to as backup data in this embodiment). Is provided. A back cover 43 that is removed when the pump is disassembled is bolted to the bottom surface of the base 4. A gap between the back cover 43 and the base 4 is sealed by an O-ring 44.

ロータ２には、回転軸方向に複数段の回転翼８が形成されている。上下に並んだ回転翼８の間には固定翼９がそれぞれ配設されている。これらの回転翼８と固定翼９とにより、ポンプユニット１のタービン翼段が構成される。各固定翼９は、スペーサ１０によって上下に挟持されるように保持されている。スペーサ１０は、固定翼９を保持する機能とともに、固定翼９間のギャップを所定間隔に維持する機能を有している。 The rotor 2 is formed with a plurality of stages of rotating blades 8 in the direction of the rotation axis. Fixed wings 9 are respectively disposed between the rotating wings 8 arranged vertically. These rotor blades 8 and fixed blades 9 constitute a turbine blade stage of the pump unit 1. Each fixed wing 9 is held by a spacer 10 so as to be sandwiched up and down. The spacer 10 has a function of holding the fixed wing 9 and a function of maintaining a gap between the fixed wings 9 at a predetermined interval.

さらに、固定翼９の後段（図示下方）にはドラッグポンプ段を構成するネジステータ１１が設けられており、ネジステータ１１の内周面とロータ２の円筒部１２との間にはギャップが形成されている。ロータ２と、スペーサ１０によって保持された固定翼９とは、吸気口１３ａが形成されたケーシング１３内に納められている。ロータ２が取り付けられたシャフト３を電磁石５１，５２により非接触支持しつつモータ６により回転駆動すると、吸気口１３ａ側のガスは背圧側に排気され、背圧側に排気されたガスは排気口２６に接続された補助ポンプにより排出される。 Further, a screw stator 11 constituting a drag pump stage is provided at the rear stage (downward in the drawing) of the fixed blade 9, and a gap is formed between the inner peripheral surface of the screw stator 11 and the cylindrical portion 12 of the rotor 2. Yes. The rotor 2 and the fixed blade 9 held by the spacer 10 are housed in a casing 13 in which an air inlet 13a is formed. When the shaft 3 to which the rotor 2 is attached is rotationally driven by the motor 6 while being supported in a non-contact manner by the electromagnets 51 and 52, the gas on the intake port 13a side is exhausted to the back pressure side, and the gas exhausted to the back pressure side is exhausted to the exhaust port 26. It is discharged by an auxiliary pump connected to.

コントロールユニット３０には、主制御部３１の他に、磁気軸受を駆動制御する磁気軸受駆動制御部３２およびモータ６を駆動制御するモータ駆動制御部３３が設けられている。主制御部３１は、ポンプユニット１の分解検出部４５のデータ記憶部に記憶されているバックアップデータに基づいて、磁気軸受駆動制御部３２やモータ駆動制御部３３などを制御してポンプ運転を行う。コントロールユニット３０の警報部３４は、ポンプ起動が不可能な場合に、警報を出力する。警報部３４には、警告音を発生するスピーカや警告を表示する表示装置などが設けられている。 In addition to the main control unit 31, the control unit 30 is provided with a magnetic bearing drive control unit 32 that drives and controls the magnetic bearing and a motor drive control unit 33 that drives and controls the motor 6. The main control unit 31 controls the magnetic bearing drive control unit 32, the motor drive control unit 33, and the like based on the backup data stored in the data storage unit of the disassembly detection unit 45 of the pump unit 1 to perform the pump operation. . The alarm unit 34 of the control unit 30 outputs an alarm when the pump cannot be started. The alarm unit 34 is provided with a speaker that generates a warning sound, a display device that displays a warning, and the like.

ところで、ポンプユニット１をオーバーホールする際には、裏蓋４３を固定しているボルト（不図示）を外し、スラスト制御用の電磁石５２（裏蓋側の電磁石５２）を外す。そして、ロータディスク４１をシャフト３に固定しているナット部材４２を外して、ロータディスク４１をシャフト３から抜き取ることで、ロータ２およびシャフト３からなる回転体をポンプユニット１から取り外すことが可能となる。例えば、ロータ２に固着した生成物を除去するような場合には、ロータ２をシャフト３から外して除去作業を行う。再組み立てを行う際には、ロータ２をシャフト３に組み付けた後にバランス取りを行い、上述した手順とは逆の手順で回転体をポンプユニットに取り付ける。このような分解・組み立て作業を行うには特殊な技能を必要とするため、通常は、メーカにおいてメンテナンス作業が行われる。 By the way, when the pump unit 1 is overhauled, the bolt (not shown) that fixes the back cover 43 is removed, and the electromagnet 52 for thrust control (the electromagnet 52 on the back cover side) is removed. Then, by removing the nut member 42 that fixes the rotor disk 41 to the shaft 3 and extracting the rotor disk 41 from the shaft 3, it is possible to remove the rotor 2 and the rotating body composed of the shaft 3 from the pump unit 1. Become. For example, when removing the product fixed to the rotor 2, the rotor 2 is removed from the shaft 3 and the removal operation is performed. When reassembling, balancing is performed after the rotor 2 is assembled to the shaft 3, and the rotating body is attached to the pump unit by a procedure reverse to the procedure described above. In order to perform such disassembly / assembly work, special skills are required, and therefore, maintenance work is usually performed in the manufacturer.

しかしながら、ロータ２やシャフト３をポンプユニット１から取り外す作業には特殊な工具を必要としないため、ユーザ側において容易に分解・組み立てを行うことが可能である。ユーザで組み立てた場合、回転体のバランスが崩れたり、部品間のクリアランスが保てない場合があり、運転中に接触し、故障する場合があり安全性に問題があった。そこで、本実施の形態のターボ分子ポンプでは、図１に示すように分解検出部４５をポンプ内に設けて、ポンプユニット１の分解を実行した場合には、所定の手続きを経ない限り再組み立て後のポンプ起動動作が行えないようにした。 However, since a special tool is not required for the operation of removing the rotor 2 and the shaft 3 from the pump unit 1, the user can easily disassemble and assemble them. When assembled by the user, the balance of the rotating body may be lost, or the clearance between the parts may not be maintained. Therefore, in the turbo molecular pump of the present embodiment, as shown in FIG. 1, when the disassembly detection unit 45 is provided in the pump and the disassembly of the pump unit 1 is executed, the reassembly is performed unless a predetermined procedure is performed. The subsequent pump start-up operation was disabled.

図２は、図１に示したターボ分子ポンプの分解検出部４５の一例を示すブロック図である。分解検出部４５は、分解検出スイッチ４５１と、データ記憶部４５２と、データ記憶部４５２の電圧保持部として機能する電源４５３とを備えている。データ記憶部４５２には上述したデータ記憶部接続用信号線８３が接続され、コントロールユニット３０との間でデータの受送信が行われる。詳細な動作は後述する。 FIG. 2 is a block diagram showing an example of the decomposition detection unit 45 of the turbo molecular pump shown in FIG. The decomposition detection unit 45 includes a decomposition detection switch 451, a data storage unit 452, and a power supply 453 that functions as a voltage holding unit of the data storage unit 452. The data storage unit 452 is connected to the data storage unit connection signal line 83 described above, and data is transmitted to and received from the control unit 30. Detailed operation will be described later.

分解検出スイッチ４５１は、ポンプが分解されると回路が開かれた状態となり、ポンプが組み立てられると回路が閉じた状態となるスイッチであり、例えば、機械式の自動復帰接点のスイッチが用いられる。データ記憶部４５２には制御パラメータなどポンプ運転に必要なデータ（本実施形態ではバックアップデータと呼ぶことにする）が記憶されており、例えば、ＳＲＡＭ等が用いられ、電源４５２がバックアップ電源として用いられる。 The disassembly detection switch 451 is a switch in which the circuit is opened when the pump is disassembled, and the circuit is closed when the pump is assembled. For example, a mechanical automatic return contact switch is used. Data necessary for pump operation such as control parameters (referred to as backup data in this embodiment) is stored in the data storage unit 452, for example, an SRAM or the like is used, and a power source 452 is used as a backup power source. .

コントロールユニット３０に設けられている主制御部３１（図１参照）は、データ記憶部４５２に記憶されているバックアップデータに基づいて、ポンプ運転を行う。分解検出スイッチ４５１の接点が開くと、データ記憶部４５２への電源供給が途絶え、データ記憶部４５２に記憶されているバックアップデータは消去されることになる。コントロールユニット３０内の主制御部３１は、起動時にこのバックアップデータを読み込み、読み込んだデータと予め主制御部の保持している参照データとを比較し、両者が異なるときに運転禁止と判断し、警報部３４により警報を出力させる。 A main control unit 31 (see FIG. 1) provided in the control unit 30 performs pump operation based on backup data stored in the data storage unit 452. When the contact of the disassembly detection switch 451 is opened, the power supply to the data storage unit 452 is interrupted, and the backup data stored in the data storage unit 452 is erased. The main control unit 31 in the control unit 30 reads this backup data at the time of activation, compares the read data with the reference data held in advance by the main control unit, and determines that the operation is prohibited when they are different from each other. The alarm unit 34 outputs an alarm.

分解検出スイッチ４５１でポンプ分解を検出するための構造としては、例えば、図３に示すような構造がある。図３に示す例では、裏蓋４３をベース４に固定することによって形成される空間に、分解検出部４５を構成する部品（分解検出スイッチ４５１、電源４５３およびデータ記憶部４５２）が収納されている、裏蓋４３の内面側には、分解検出スイッチ４５１のプッシュボタン４５１ａと対向する位置に凸部４３ａが形成されている。そのため、裏蓋４３をベース４に固定すると、分解検出スイッチ４５１のプッシュボタン４５１ａが凸部４３ａにより押し込まれた状態となる。 As a structure for detecting the pump disassembly by the disassembly detection switch 451, for example, there is a structure as shown in FIG. In the example shown in FIG. 3, the components (the disassembly detection switch 451, the power supply 453, and the data storage unit 452) constituting the disassembly detection unit 45 are accommodated in a space formed by fixing the back cover 43 to the base 4. On the inner surface side of the back cover 43, a convex portion 43a is formed at a position facing the push button 451a of the disassembly detection switch 451. Therefore, when the back cover 43 is fixed to the base 4, the push button 451 a of the disassembly detection switch 451 is pushed by the convex portion 43 a.

図４は、分解検出スイッチ４５１の開閉動作を説明する図である。分解検出スイッチ４５１はノーマルオープンタイプのスイッチであって、裏蓋４３の凸部４３ａによってプッシュボタン４５１ａが押し込まれると、図４（ａ）に示すように分解検出スイッチ４５１の接点が閉じる。その結果、電源４５３からデータ記憶部４５２へ電源が供給され、データ記憶部４５２に記憶されたバックアップデータは保持されたままとなる。 FIG. 4 is a diagram for explaining the opening / closing operation of the disassembly detection switch 451. The disassembly detection switch 451 is a normally open type switch. When the push button 451a is pushed in by the convex portion 43a of the back cover 43, the contact of the disassembly detection switch 451 is closed as shown in FIG. As a result, power is supplied from the power supply 453 to the data storage unit 452, and the backup data stored in the data storage unit 452 remains held.

一方、ポンプメンテナンス作業のために、図３（ｂ）に示すように裏蓋４３を外すと、プッシュボタン４５１ａを押していた凸部４３ａがプッシュボタン４５１ａから外れる。その結果、図４（ｂ）に示すように分解検出スイッチ４５１が開状態となり、電源４５３からデータ記憶部４５２への電源供給が途絶え、データ記憶部４５２に記憶されていたバックアップデータが消去される。 On the other hand, when the back cover 43 is removed as shown in FIG. 3B for the pump maintenance work, the convex portion 43a that has pushed the push button 451a is detached from the push button 451a. As a result, as shown in FIG. 4B, the disassembly detection switch 451 is opened, the power supply from the power supply 453 to the data storage unit 452 is interrupted, and the backup data stored in the data storage unit 452 is erased. .

図５は、データ記憶部４５２とデータ記憶部接続用信号線８３との接続関係を示すブロック図である。データ記憶部４５２（ＳＲＡＭ）には、一般的に特定の役割を果たすピンが３種類ある。すなわち、読み出し／書き込み選択ピン、アドレスピン、データピンである。 FIG. 5 is a block diagram showing a connection relationship between the data storage unit 452 and the data storage unit connection signal line 83. The data storage unit 452 (SRAM) generally has three types of pins that play a specific role. That is, a read / write selection pin, an address pin, and a data pin.

一つ目の「読み出し／書き込み選択ピン」は、例えば、データ記憶部４５２のデータを読み出したいときにはこのピンに「０」を、逆に記億部にデータを書き込みたいときには「１」を入力する。「読み出し／書き込み選択ピン」には読み出し／書き込み選択線８３ａが接続される。 For the first “read / write selection pin”, for example, “0” is input to this pin when it is desired to read data in the data storage unit 452, and “1” is input when data is to be written to the storage unit. . A read / write selection line 83a is connected to the “read / write selection pin”.

２つ目の「アドレスピン」は、データの読み出しまたは書き込みの際にデータ記億部内の場所を指定するのに用いる。「アドレスピン」に接続されるアドレス線８３ｂはｍビットである。ただし、実際にはデータ記億部の４５２の容量によって決まる。 The second “address pin” is used to specify a location in the data storage section when reading or writing data. The address line 83b connected to the “address pin” has m bits. However, in actuality, it is determined by the capacity of 452 data storage parts.

３つ目の「データピン」は、読み出しの時にこのピンに出力される信号を読み出し、また、書き込みの時にこのピンに主制御部３１からデータを入力する。「データピン」に接続されるデータ線８３ｃはｎビットである。これら３種類のピンヘのアクセスを利用することで，データ記億部４５２に対するデータの書き込みと読み出しの両方が容易となる。 The third “data pin” reads a signal output to this pin at the time of reading, and inputs data from the main control unit 31 to this pin at the time of writing. The data line 83c connected to the “data pin” has n bits. By using access to these three types of pins, both data writing and reading to the data storage unit 452 are facilitated.

図６（ａ）は、データ記億部４５２に対するデータ書き込みの手順を示すフローチャートである。一方、図６（ｂ）は、データ記億部４５２に対するデータ読み出しの手順を示すフローチャートである。図６（ａ）に示す処理では、まず、ステップＳ１０１で、読み出し／書き込み選択線８３ａに主制御部３１から「１」を出力し、データ記億部４５２を書き込み設定に切り替える。ステップＳ１０２では、アドレス線８３ｂにアドレスを出力し、データを書き込むアドレスを指定する。ステップＳ１０３では、データ線８３ｃに書き込みデータを出力し，そのデータをデータ記億部４５２に書き込む。 FIG. 6A is a flowchart showing a procedure for writing data to the data storage unit 452. On the other hand, FIG. 6B is a flowchart showing a data reading procedure for the data storage unit 452. In the process shown in FIG. 6A, first, in step S101, “1” is output from the main control unit 31 to the read / write selection line 83a, and the data storage unit 452 is switched to the write setting. In step S102, an address is output to the address line 83b, and an address for writing data is designated. In step S103, write data is output to the data line 83c, and the data is written to the data storage unit 452.

図６（ｂ）に示す処理では、まず、ステップＳ２０１で、読み出し／書き込み選択線８３ａに「０」を出力し、データ記億部４５２を読み出し設定に切り替える。その後、ステップＳ２０２で、アドレス線８３ｂにアドレスを出力し、読み出すべきデータのアドレスを指定する。ステップＳ２０３では、データ線８３ｃからデータを読み出す。 In the process shown in FIG. 6B, first, in step S201, “0” is output to the read / write selection line 83a, and the data storage unit 452 is switched to the read setting. Thereafter, in step S202, an address is output to the address line 83b, and an address of data to be read is designated. In step S203, data is read from the data line 83c.

図７は、データ記億部４５２に記憶されているデータを利用したポンプ分解の検出動作を示すフローチャートである。コントロールユニット３０を起動すると、主制御部３１において分解検出プログラムが実行され、図７のフローチャートの処理が開始される。ステップＳ３０１では、図６（ａ）に示した手順でデータ記憶部４５２に記憶されているバックアップデータを読み込む処理が実行される。ステップＳ３０２では、データ記億部４５２から読み込んだバックアップデータと、主制御部３１に記憶されている分解認識用参照データとが一致するか否かで、ポンプユニット１が分解されたか否かを判定する。なお、主制御部３１には、データ記億部４５２に記憶されているべきバックアップデータと同一のデータが分解認識用参照データとして予め記憶されている。 FIG. 7 is a flowchart showing a pump disassembly detection operation using data stored in the data storage unit 452. When the control unit 30 is activated, the disassembly detection program is executed in the main control unit 31, and the processing of the flowchart of FIG. 7 is started. In step S301, a process of reading backup data stored in the data storage unit 452 is executed according to the procedure shown in FIG. In step S302, it is determined whether or not the pump unit 1 has been disassembled based on whether or not the backup data read from the data storage unit 452 matches the disassembly recognition reference data stored in the main control unit 31. To do. In the main control unit 31, the same data as the backup data that should be stored in the data storage unit 452 is stored in advance as reference data for decomposition recognition.

前述したように、ポンプユニット１が分解されるとデータ記億部４５２のバックアップデータは消去される。そのため、ステップＳ３０２において、バックアップデータと分解認識用参照データとが一致せず分解履歴が有ると判定され、ステップＳ３０３へ進んでポンプ起動が禁止される。その後、ステップＳ３０４に進んで、ポンプ分解が有ったことを知らせる警報を警報部３４により発生させる。警報は表示でも良いし、音声でも良い。 As described above, when the pump unit 1 is disassembled, the backup data in the data storage unit 452 is deleted. Therefore, in step S302, it is determined that the backup data and the reference data for disassembly recognition do not match and there is a disassembly history, and the process proceeds to step S303 where pump activation is prohibited. Then, it progresses to step S304 and the warning which notifies that there existed pump disassembly is generated by the warning part 34. FIG. The alarm may be a display or a voice.

一方、ポンプユニット１が分解されなければ、ステップＳ３０２でバックアップデータと分解認識用参照データとが一致すると判定され、すなわち、分解履歴が無いと判定され、ステップＳ３０５へ進み通常の起動動作処理が実行される。このような制御を行うことにより，ユーザによる非正規なポンプ分解が有った場合には、ポンプ起動が禁止されるので、ポンプ運転に関する安全を確保することができる。 On the other hand, if the pump unit 1 is not disassembled, it is determined in step S302 that the backup data and the disassembly recognition reference data match, that is, it is determined that there is no disassembly history, and the process proceeds to step S305 to execute normal startup operation processing. Is done. By performing such control, the pump activation is prohibited when there is an unauthorized pump disassembly by the user, so that it is possible to ensure safety regarding the pump operation.

上述したように、ポンプ分解履歴があった場合には、ポンプ起動が禁止され警報が発報される。そのため、ポンプ分解・再組み立て後、ポンプを使用可能とするためにユーザは以下に説明するような復帰作業を行う必要がある。図８は、データ記億部４５２の書き込み機能を利用した、ポンプ分解状態からの復帰動作を示すフローチャートである。このプログラムは、図７の処理でポンプ分解が検出され、運転禁止状態となっている状態においてコントロールユニット３０を起動するとスタートする。例えば、図７のステップＳ３０４の後に、図８に示す処理を自動的に起動するようにしても良い。 As described above, when there is a pump disassembly history, pump activation is prohibited and an alarm is issued. Therefore, after disassembling and reassembling the pump, the user needs to perform a return operation as described below in order to be able to use the pump. FIG. 8 is a flowchart showing a return operation from the pump disassembled state using the writing function of the data storage unit 452. This program starts when the control unit 30 is activated in a state where the pump disassembly is detected in the processing of FIG. 7 and the operation is prohibited. For example, the processing shown in FIG. 8 may be automatically started after step S304 in FIG.

まず、ステップＳ４０１において、ユーザによって警報解除のためのボタン入力またはコマンド通信が行われたか否かを判定する。ここで、ボタン入力とは、例えば、コントロールユニット３０に設けられているユーザインターフェース用途のボタンを特定の順番で特定の回数押すことであり、その操作により解除入力と主制御部３１が判断する。また、コマンド通信とは、コントロールユニット３０にはＲＳ−２３２Ｃのようなシリアル通信が備えられているので、その通信を用いて警報解除の特定の文字列を受信した場合を指し、その場合には、解除の入力がなされたと主制御部３１が判断する。 First, in step S401, it is determined whether or not a button input or command communication for releasing an alarm has been performed by the user. Here, the button input refers to, for example, pressing a button for user interface provided in the control unit 30 a specific number of times in a specific order, and the main control unit 31 determines a release input by the operation. The command communication means that the control unit 30 is equipped with a serial communication such as RS-232C, so that the communication is used to receive a specific character string for releasing the alarm. The main control unit 31 determines that the cancel input has been made.

ステップＳ４０１において肯定判定されると、ステップＳ４０２において解除入力または通信コマンドが正しい内容かどうかを判定する。ステップＳ４０２において解除入力または通信コマンドが正しいと判定されるとステップＳ４０３に進み、図６（ａ）に示した手順で、主制御部３１の記憶部に記憶されている分解認識用参照データをバックアップデータとして、データ記憶部４５２に書き込む。一方、ステップＳ４０２において解除入力または通信コマンドが正しくないと判定されると、バックアップデータの書き込み処理は行わず、復帰動作のプログラムを終了する。 If an affirmative determination is made in step S401, it is determined in step S402 whether the release input or communication command is correct. If it is determined in step S402 that the release input or communication command is correct, the process proceeds to step S403, and the reference data for disassembly recognition stored in the storage unit of the main control unit 31 is backed up according to the procedure shown in FIG. The data is written in the data storage unit 452. On the other hand, if it is determined in step S402 that the cancel input or communication command is not correct, the backup data writing process is not performed, and the return operation program is terminated.

ポンプの製造メーカにおいては、上述の解除入力および解除コマンドの通信の両方の内容を把握し、情報管理することで、製造メーカの許可を受けていない作業者が分解を行ったポンプが運転されることはなくなり、ポンプの安全性が確保される。 The pump manufacturer understands the contents of both the release input and release command communication described above and manages the information to operate the pump that has been disassembled by an operator who has not received the manufacturer's permission. The safety of the pump is ensured.

主制御部３１は、図８の復帰動作のプログラムが終了した後、書き込まれたバックアップデータが正しいか検証するために、図７の分解検出プログラムを自動でスタートさせる。バックアップデータが正常に書き込まれていたら、図７のフローチャートに従って，通常起動処理に移行することができ、ポンプを運転することが可能となる。一方、図８のステップＳ４０２において解除入力が不正常であると判断されると、ステップＳ４０３のバックアップデータの書き込みがスキップされるため、ステップＳ３０２で分解履歴があると判断され、ステップＳ３０３のアラーム発報に進む。 After the return operation program of FIG. 8 is completed, the main control unit 31 automatically starts the disassembly detection program of FIG. 7 in order to verify whether the written backup data is correct. If the backup data has been written normally, it is possible to shift to the normal startup process according to the flowchart of FIG. 7, and the pump can be operated. On the other hand, if it is determined in step S402 in FIG. 8 that the release input is abnormal, writing of backup data in step S403 is skipped, so that it is determined in step S302 that there is a disassembly history, and an alarm is generated in step S303. Proceed to the news.

このように，本発明の形態においては、ポンプ分解があった場合には上述のように特定の作業者にしか運転禁止状態の解除ができない構成となっているため、非正規の分解作業が防止されポンプの安全性が確保される。 Thus, in the embodiment of the present invention, when the pump is disassembled, the operation prohibition state can be canceled only by a specific worker as described above, so that unauthorized disassembly work is prevented. Therefore, the safety of the pump is ensured.

さらに、図８に示したようなリセット機能が設けられているため、復帰作業を容易に行うことができる。例えば、このようなリセット機能が無い場合、例えば、専用のデータ書き込み装置や、書き込み用ソフトウェアがインストールされたＰＣ等を、専用のケーブルでポンプユニット１と接続し、データ記憶部４５２に直接アクセスしてデータを書き込む必要がある。そのため、復帰作業に非常に手間がかかると共に、復帰作業のための装置を揃えなければならない。このような場合と比較して、本実施の形態では、復帰作業に要する時間を大幅に短縮することができると共に、追加の装置を必要としない。 Further, since the reset function as shown in FIG. 8 is provided, the return operation can be easily performed. For example, when there is no such reset function, for example, a dedicated data writing device or a PC installed with writing software is connected to the pump unit 1 with a dedicated cable, and the data storage unit 452 is directly accessed. It is necessary to write data. For this reason, it is very time-consuming to perform the restoration work, and devices for the restoration work must be prepared. Compared to such a case, in this embodiment, the time required for the return operation can be greatly shortened, and an additional device is not required.

（データ堅牢性の説明）
次に、復帰時のデータに関する堅牢性について説明する。上述した説明では、正規の作業者が復帰動作させる場合について説明したものであり、主制御部３１で実行されるソフトウェアによって自動的にバックアップデータがデータ記憶部４５２に記憶されるような構成となっている。しかしながら、非正規に分解した場合であっても、何らかの手段でデータ記憶部４５２に試行錯誤によりデータを記録させることで、手間はかかるが運転禁止状態のポンプを不正に復帰させることが可能である。 (Explanation of data robustness)
Next, the robustness regarding data at the time of return will be described. In the above description, a case where a regular worker performs a return operation has been described, and backup data is automatically stored in the data storage unit 452 by software executed by the main control unit 31. ing. However, even if the data is decomposed irregularly, it is possible to restore the operation-prohibited pump illegally by recording data in the data storage unit 452 by some means by trial and error. .

上述した実施の形態では、データ記億部４５２に記憶されるデータの個数に関し、説明を簡潔にする目的のために、バックアップデータが１つ（１種類）だけの場合について記載している。しかしながら、実際上は、複数個または複数種類のバックアップデータをデータ記億部４５２に記憶させ、分解検知の際はそれら複数のデータをチェックすることが、データの堅牢性を高めるために重要となる。以下では、データ記億部４５２に記憶されるバックアップデータの個数が１つの場合と２つの場合とを比較し、データの個数と堅牢性との関係について説明する。 In the embodiment described above, the number of data stored in the data storage unit 452 is described for the case of only one backup data (one type) for the purpose of simplifying the description. In practice, however, it is important to increase the robustness of data by storing a plurality or types of backup data in the data storage unit 452 and checking the plurality of data when detecting disassembly. . Hereinafter, the relationship between the number of data and the robustness will be described by comparing the number of backup data stored in the data storage unit 452 with two cases.

ここでは、説明を簡単にするために、アドレス線８３ｂが２本、データ線８３ｃが２本の場合を例に説明する。データ記憶部４５２においてデータが記憶される場所は、アドレス線８３ｂが２本なので４つのアドレス００，０１，１０，１１によって指定される。一方、データ線８３ｃは２本なので、００，０１，１０，１１の４つのデータが可能である。 Here, in order to simplify the description, a case where there are two address lines 83b and two data lines 83c will be described as an example. The location where data is stored in the data storage unit 452 is designated by four addresses 00, 01, 10, and 11 because there are two address lines 83b. On the other hand, since there are two data lines 83c, four data of 00, 01, 10, and 11 are possible.

図９（ａ）は、バックアップデータが一つのデータで構成される場合を示している。例えば、正規のバックアップデータとして、データ１１がアドレス０１に入力されているとする。このとき、非正規にバックアップデータをデータ記憶部４５２に書き込んで、不正にポンプ運転禁止状態を解除しようとした場合、アドレス毎にデータ００，０１，１０，１１を順に書き込む操作をそれぞれ４回、すなわち１６通りのデータ入力操作を行う必要がある。 FIG. 9A shows a case where the backup data is composed of one data. For example, assume that data 11 is input to address 01 as regular backup data. At this time, if the backup data is illegally written in the data storage unit 452 and the pump operation prohibition state is illegally canceled, the operation of sequentially writing the data 00, 01, 10, and 11 for each address is performed four times. That is, it is necessary to perform 16 data input operations.

一方、図９（ｂ）は、バックアップデータが二つのデータで構成される場合を示している。この場合、正規のバックアップデータは、データ１１がアドレス０１に入力され、かつ、データ０１がアドレス１１に入力されている状態である。この場合には、９６（＝_４Ｃ_２×４×４＝６×４×４）通りのデータ入力操作を行う必要がある。このように、データ数が増えるとデータ入力操作の回数が増加し、運転禁止解除のためのバックアップデータに関する堅牢性、すなわち不正に運転禁止が解除されるのを防止するためのバックアップデータの堅牢性が向上する。 On the other hand, FIG. 9B shows a case where the backup data is composed of two data. In this case, the regular backup data is in a state where the data 11 is input to the address 01 and the data 01 is input to the address 11. In this case, it is necessary to perform 96 (= ₄ C ₂ × 4 × 4 = 6 × 4 × 4) data input operations. In this way, as the number of data increases, the number of data input operations increases, and the robustness of backup data for canceling driving prohibition, that is, the robustness of backup data to prevent unauthorized cancellation of driving prohibition Will improve.

例えば、現実的な構成として、読み出し／書き込み選択線８３ａに１本、アドレス線８３ｂに４本(４ビット)、データ線８３ｃに１６本(１６ビット)使用するとして、１つのデータをデータ記億部４５２に保存する場合を考える。この場合、のパターンは２の４乗(２^４)通りの場所に、２の１６乗(２^１６)通りのデータが入るので、入力パターンの数は２の２０乗＝１，０４８，５７６通りとなる。例えば、コンピュータ等を用いた装置で１秒に１通りの速度で入力パターンを順番に入力して解除データの解読を試みたとすると、解除までにかかる時間は約13日程度かかる計算になる。 For example, as a practical configuration, it is assumed that one read / write selection line 83a, four address lines 83b (4 bits), and 16 data lines 83c (16 bits) are used. Consider a case in which data is stored in the unit 452. In this case, since the pattern of 2 has the 16th power (2 ¹⁶ ) data in 2 4 power (2 ⁴ ) locations, the number of input patterns is 2 20 = 1,048,576. It becomes. For example, if it is attempted to decode the release data by sequentially inputting input patterns at a rate of 1 per second with an apparatus using a computer or the like, it takes about 13 days to release the release data.

一方、２つのデータを書き込む場合、入力パターンの数は５１５，３９６，０７５，５２０（＝_１６Ｃ_２×２^１６×２^１６）通りとなり、データの数を―つ増やすだけでバックアップデータに関する堅牢性が桁違いに高くなることがわかる。上述の方法と同様にコンピュータ等を用いた装置で解除データの解読を試みたとすると、解除までにかかる時間は約１６，３００年以上かかる計算になる。 On the other hand, when two data are written, the number of input patterns is 515,396,075,520 (= ₁₆ C ₂ × 2 ¹⁶ × 2 ¹⁶ ), and the robustness related to backup data can be achieved by simply increasing the number of data. Can be seen to be orders of magnitude higher. If an attempt is made to decrypt the release data with an apparatus using a computer or the like in the same manner as described above, the time required for the release is about 16,300 years or more.

なお、上述した例では、特定の分解認識用データを予めデータ記億部４５２および主制御部３１のメモリに記憶させておき、それらを比較することで分解履歴を判定したが、ポンプ運転に使用する制御パラメータの―つ（例えば、磁気軸受制御の制御パラメータ）を、分解認識用データを行使する複数のデータの内の一つとして用いても良い。この場合、ポンプ分解によって制御パラメータが消去されてしまうと、正常な磁気浮上ができなくなって自動的にポンプ起動不可状態となるので、図７に示すような制御を採用しなくても、非正規なポンプ分解が有った場合のポンプ起動の禁止をすることができる。また、モータ駆動に関する制御パラメータでも良い。この場合にはモータ駆動ができなくなるので、上述の場合と同様に自動的に起動不可状態となる。 In the above-described example, specific decomposition recognition data is stored in advance in the data storage unit 452 and the memory of the main control unit 31, and the decomposition history is determined by comparing them. One of the control parameters to be used (for example, a control parameter for magnetic bearing control) may be used as one of a plurality of data for using the disassembly recognition data. In this case, if the control parameter is erased by the pump disassembly, normal magnetic levitation cannot be performed and the pump cannot be activated automatically. Therefore, even if the control shown in FIG. The pump can be prohibited from starting when there is a serious pump disassembly. Moreover, the control parameter regarding a motor drive may be sufficient. In this case, the motor cannot be driven, so that the start is automatically disabled as in the case described above.

また、上述した説明では、アドレスとデータをパラレルに送信する構成としたが、アドレスとデータとから成る連続するシリアルデータを主制御部３１からデータ記憶部４５１送るようにしても良い。その場合、図３のデータ記憶部４５１の手前に、シリアルデータをアドレスとデータとに変換する変換回路（例えば、シリアル-パラレル変換ICと，パラレル出力の下位nビットとデータ線83cが接続され，その上位mビットとアドレス線83bとが接続されるような信号線を配置した回路）を設ける。 In the above description, the address and data are transmitted in parallel, but continuous serial data composed of the address and data may be sent from the main control unit 31 to the data storage unit 451. In this case, a conversion circuit (for example, a serial-parallel conversion IC, a lower-order n bit of parallel output, and a data line 83c are connected before the data storage unit 451 in FIG. A circuit in which a signal line is arranged to connect the upper m bits to the address line 83b).

分解検出スイッチ４５１でポンプ分解を検出するための構造例としては、上述した図３の構造の他に、例えば、図１０に示すような構造もある。ターボ分子ポンプのメンテナンス時にロータ３０を外す際には、ポンプケーシング１３もベース４から外される。そこで、図１０に示す構造例では、分解検出スイッチ４５１を、ポンプケーシング１３のフランジ部１３ｂとベース４との間に配置するようにした。分解検出スイッチ４５１はベース４上に設置され、フランジ部１３ｂは、分解検出スイッチ４５１と対向する領域に窪み１３０が形成されている。 As an example of the structure for detecting the pump disassembly by the disassembly detection switch 451, there is a structure as shown in FIG. 10, for example, in addition to the structure of FIG. When removing the rotor 30 during maintenance of the turbo molecular pump, the pump casing 13 is also removed from the base 4. Therefore, in the structural example shown in FIG. 10, the disassembly detection switch 451 is arranged between the flange portion 13 b of the pump casing 13 and the base 4. The disassembly detection switch 451 is installed on the base 4, and the flange portion 13 b has a recess 130 in a region facing the disassembly detection switch 451.

図１０（ａ）に示すように、ポンプケーシング１３がベース４に固定された状態では、分解検出スイッチ４５１のプッシュボタン４５１ａは窪み１３０の底面によって押し込まれた状態となる。すなわち、分解検出スイッチ４５１は閉状態になっている。一方、図１０（ｂ）に示すようにポンプケーシング１３を外すと、プッシュボタン４５１ａを押していた窪み１３０がプッシュボタン４５１ａから外れ、電源４５３からデータ記憶部４５２への電源供給が途絶えて、データ記憶部４５２に記憶されていたバックアップデータが消去される。 As shown in FIG. 10A, when the pump casing 13 is fixed to the base 4, the push button 451 a of the disassembly detection switch 451 is pushed by the bottom surface of the recess 130. That is, the disassembly detection switch 451 is in a closed state. On the other hand, when the pump casing 13 is removed as shown in FIG. 10 (b), the depression 130 that has pushed the push button 451a is detached from the push button 451a, and the power supply from the power source 453 to the data storage unit 452 is interrupted. The backup data stored in the unit 452 is deleted.

上述したように、本実施の形態の真空ポンプは、ロータ２を回転させて真空排気を行うポンプユニット１と、ポンプユニット１を駆動制御するコントロールユニット３０とを備え、ポンプユニット１は、複数の分解検知用データが記憶されるデータ記憶部４５２とを備え、主制御部３１は、ポンプユニット１が組立状態から非組立状態になるとデータ記憶部４５２に記憶されている分解検知用データを消去する。そして、コントロールユニット３０の主制御部３１は、データ記憶部４５２に複数の分解検知用データが記憶されているか否かをそれぞれ判定し、複数の分解検知用データの少なくとも一つに関して記憶されていないと判定すると、ポンプユニット１の運転を禁止する。 As described above, the vacuum pump of the present embodiment includes the pump unit 1 that rotates the rotor 2 to perform evacuation, and the control unit 30 that drives and controls the pump unit 1. The pump unit 1 includes a plurality of pump units 1. The main control unit 31 erases the disassembly detection data stored in the data storage unit 452 when the pump unit 1 changes from the assembled state to the non-assembled state. . Then, the main control unit 31 of the control unit 30 determines whether or not a plurality of pieces of decomposition detection data are stored in the data storage unit 452 and does not store at least one of the plurality of pieces of decomposition detection data. If determined, the operation of the pump unit 1 is prohibited.

さらに、複数の分解検知用データは、データ記憶部４５２の所定の記憶領域にそれぞれ対応付けられて記憶されており、コントロールユニット３０は、所定の解除データが入力されると、複数の分解検知用データをデータ記憶部４５２の所定の記憶領域にそれぞれ記憶させる種制御部３１を備える。 Further, a plurality of pieces of disassembly detection data are stored in association with predetermined storage areas of the data storage unit 452, and the control unit 30 receives a plurality of pieces of disassembly detection data when predetermined release data is input. A seed control unit 31 is provided for storing data in a predetermined storage area of the data storage unit 452.

なお、上述した例では、複数の分解検知用データの全てに関して、対応する所定の記憶領域（アドレス）にそれぞれ記憶されていると判定された場合にのみ、分解履歴がないと判定した。しかし、アドレスには関係なく複数の分解検知用データが記憶されているか否かだけで、分解履歴があるか否かを判定することも可能である。また、その複数のデータが同じ種類のものであっても良いし、異なる種類のものであっても良い。さらには、データの種類や値に関係なく、特定のアドレスにデータが記憶されているか否かだけでも、分解履歴があるか否かを判定することは可能である。 In the above-described example, it is determined that there is no decomposition history only when it is determined that all of the plurality of pieces of decomposition detection data are stored in the corresponding predetermined storage areas (addresses). However, it is also possible to determine whether or not there is a disassembly history based on whether or not a plurality of disassembly detection data is stored regardless of the address. The plurality of data may be the same type or different types. Furthermore, it is possible to determine whether or not there is a disassembly history only by whether or not data is stored at a specific address regardless of the type and value of the data.

上述した各実施形態はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施形態での効果を単独あるいは相乗して奏することができるからである。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。例えば、上述した実施の形態では、真空ポンプとして磁気軸受式ターボ分子ポンプを例に説明したが、磁気軸受式でなくても良いし、ターボ分子ポンプの他にドラッグポンプのような真空ポンプでも良い。 Each of the embodiments described above may be used alone or in combination. This is because the effects of the respective embodiments can be achieved independently or synergistically. In addition, the present invention is not limited to the above embodiment as long as the characteristics of the present invention are not impaired. For example, in the above-described embodiment, the magnetic bearing type turbo molecular pump has been described as an example of the vacuum pump. However, the magnetic bearing type may not be used, and a vacuum pump such as a drag pump may be used in addition to the turbo molecular pump. .

１：ポンプユニット、２：ロータ、３：シャフト、８：回転翼、３０：コントロールユニット、３１：主制御部、３２：磁気軸受駆動制御部、３３：モータ駆動制御部、３４：警報部、４３：裏蓋、４５：分解検出部、８３：データ記憶部接続用信号線、８３ａ：読み出し／書き込み選択線、８３ｂ：アドレス線、８３ｃ：データ線、４５１：分解検出スイッチ、４５２：データ記憶部、４５３：電源 1: pump unit, 2: rotor, 3: shaft, 8: rotor blade, 30: control unit, 31: main control unit, 32: magnetic bearing drive control unit, 33: motor drive control unit, 34: alarm unit, 43 : Back cover, 45: Decomposition detection unit, 83: Data storage unit connection signal line, 83a: Read / write selection line, 83b: Address line, 83c: Data line, 451: Decomposition detection switch, 452: Data storage unit, 453: Power supply

Claims

In a vacuum pump comprising a pump unit that rotates the rotor to evacuate and a control unit that drives and controls the pump unit.
The pump unit includes a data storage unit that stores a plurality of pieces of disassembly detection data, and an erasure that deletes the disassembly detection data stored in the data storage unit when the pump unit is changed from an assembled state to a non-assembled state. Means, and
The control unit includes a decomposition history determination unit that determines whether or not the plurality of pieces of decomposition detection data are stored in the data storage unit, and the decomposition history determination regarding at least one of the plurality of pieces of decomposition detection data. An operation prohibition setting unit that prohibits the operation of the pump unit when it is determined by the unit that it is not stored.

The vacuum pump according to claim 1, wherein
The plurality of pieces of decomposition detection data are stored in association with predetermined storage areas of the data storage unit,
The control unit includes a data writing unit that stores the plurality of pieces of disassembly detection data in predetermined storage areas of the data storage unit when predetermined release data is input.

The vacuum pump according to claim 2,
The decomposition history determination unit determines whether or not each of the plurality of pieces of decomposition detection data is stored in the corresponding storage area,
The operation prohibition setting unit operates the pump unit except when the decomposition history determination unit determines that all of the plurality of pieces of decomposition detection data are respectively stored in the corresponding predetermined storage areas. A vacuum pump characterized by prohibiting.

The vacuum pump according to any one of claims 1 to 3,
The vacuum pump characterized in that the plurality of decomposition detection data includes control parameters used for controlling the pump unit.