JP2012206064A - Oil mist trap and container for oil mist trap - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、真空ポンプから発生するオイルミストを除去するためのオイルミストトラップ及びオイルミストトラップ用容器に関する。 The present invention relates to an oil mist trap and an oil mist trap container for removing oil mist generated from a vacuum pump.
真空ポンプの排気側には、オイルミストトラップ(以下、トラップ)が設けられることが多い。トラップは、真空ポンプの排気中に含まれる真空ポンプ作動オイルのミスト(オイルミスト)を除去するためのものである。トラップは一般的に、筒状のトラップ本体にメッシュ状のオイルミストフィルタ(以下、フィルタ)が収容され、オイルミストをフィルタに付着させて除去する構成となっている(例えば、特許文献1参照)。 An oil mist trap (hereinafter referred to as a trap) is often provided on the exhaust side of the vacuum pump. The trap is for removing mist (oil mist) of vacuum pump working oil contained in the exhaust of the vacuum pump. Generally, a trap has a configuration in which a mesh-shaped oil mist filter (hereinafter referred to as a filter) is accommodated in a cylindrical trap body, and the oil mist is attached to the filter and removed (see, for example, Patent Document 1). .
ここで、フィルタは定期的に交換する必要がある。フィルタに付着したオイルによりフィルタが目詰まりして排気効率が低下し、あるいはトラップから排出される排気が汚染されてしまうからである。例えば、特許文献1に記載の構成では、蓋体を本体枠に固定しているボルトを外し、蓋体を引き上げることによって本体枠から蓋体を外し、フィルターを露出させて交換することが可能となる。
Here, the filter needs to be replaced periodically. This is because the oil adhering to the filter is clogged and the exhaust efficiency is lowered, or the exhaust discharged from the trap is contaminated. For example, in the configuration described in
しかしながら、特許文献1に記載のように、フィルタの交換のためにトラップを分解する必要がある構成では、トラップのサイズが大きい場合にはトラップの分解が困難であるという問題がある。例えば、工業用プラントに用いられるトラップは、重量が数十kgに達することが通常である。このため、フィルタの交換には人手が必要となったり、トラップが高所に配置されている場合等には交換が危険な作業となる。
However, as described in
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、簡便にオイルミストフィルタを交換することが可能なオイルミストトラップ及びオイルミストトラップ用容器を提供することにある。 In view of the circumstances as described above, an object of the present invention is to provide an oil mist trap and an oil mist trap container in which an oil mist filter can be easily replaced.
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係るオイルミストトラップは、オイルミストフィルタと、トラップ本体と、蓋とを具備する。
上記トラップ本体は、前記オイルミストフィルタを収容するトラップ本体であって、排気流入用配管に接続される流入口と、排気流出用配管に接続される流出口と、前記オイルミストフィルタが通過可能な大きさを有し前記流入口及び前記流出口と離間する開口が形成されている。
上記蓋は、前記開口を塞ぐ。
In order to achieve the above object, an oil mist trap according to an embodiment of the present invention includes an oil mist filter, a trap body, and a lid.
The trap body is a trap body that houses the oil mist filter, and has an inlet connected to an exhaust inflow pipe, an outlet connected to an exhaust outflow pipe, and the oil mist filter can pass therethrough. An opening having a size and spaced apart from the inlet and the outlet is formed.
The lid closes the opening.
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係るオイルミストトラップ用容器は、トラップ本体と、蓋とを具備する。
上記トラップ本体は、前記オイルミストフィルタを収容するトラップ本体であって、排気流入用配管に接続される流入口と、排気流出用配管に接続される流出口と、前記オイルミストフィルタが通過可能な大きさを有し前記流入口及び前記流出口と離間する開口が形成されている。
上記蓋は、前記開口を塞ぐ。
In order to achieve the above object, an oil mist trap container according to an embodiment of the present invention includes a trap body and a lid.
The trap body is a trap body that houses the oil mist filter, and has an inlet connected to an exhaust inflow pipe, an outlet connected to an exhaust outflow pipe, and the oil mist filter can pass therethrough. An opening having a size and spaced apart from the inlet and the outlet is formed.
The lid closes the opening.
本発明の実施形態に係るオイルミストトラップは、オイルミストフィルタと、トラップ本体と、蓋とを具備する。
上記トラップ本体は、前記オイルミストフィルタを収容するトラップ本体であって、排気流入用配管に接続される流入口と、排気流出用配管に接続される流出口と、前記オイルミストフィルタが通過可能な大きさを有し前記流入口及び前記流出口と離間する開口が形成されている。
上記蓋は、前記開口を塞ぐ。
An oil mist trap according to an embodiment of the present invention includes an oil mist filter, a trap body, and a lid.
The trap body is a trap body that houses the oil mist filter, and has an inlet connected to an exhaust inflow pipe, an outlet connected to an exhaust outflow pipe, and the oil mist filter can pass therethrough. An opening having a size and spaced apart from the inlet and the outlet is formed.
The lid closes the opening.
上記オイルミストトラップは、真空ポンプからの排気が流入する流入口及び排気が流出する流出口と離間した、即ち、流入口及び流出口とは独立した開口を有するトラップ本体を有し、当該開口は蓋によって塞がれている。したがって、蓋を開放する際に流入口に接続された排気流入用配管や流出口に接続された排気流出用配管をトラップ本体から取り外す必要がない。このため、ユーザは蓋のみを開放することによってオイルミストフィルタを交換することが可能となり、オイルミストフィルタの交換のために排気流出入配管や排気流出用配管を取り外す必要がある場合に比べ、簡便にオイルミストフィルタを交換することが可能となる。 The oil mist trap has a trap body that is separated from an inlet through which exhaust from the vacuum pump flows in and an outlet through which the exhaust flows out, that is, having an opening independent from the inlet and the outlet. It is blocked by a lid. Therefore, there is no need to remove the exhaust inflow pipe connected to the inflow port and the exhaust outflow pipe connected to the outflow port from the trap body when the lid is opened. For this reason, it becomes possible for the user to replace the oil mist filter by opening only the lid, which is simpler than when it is necessary to remove the exhaust inflow / outflow piping or the exhaust outflow piping to replace the oil mist filter. It is possible to replace the oil mist filter.
上記オイルミストトラップは、前記オイルミストフィルタを前記トラップ本体に押圧することによって前記オイルミストフィルタを前記トラップ本体に固定するフィルタ固定部をさらに具備してもよい。 The oil mist trap may further include a filter fixing portion that fixes the oil mist filter to the trap body by pressing the oil mist filter against the trap body.
この構成によれば、フィルタ固定部のオイルミストフィルタへの押圧を解除することによって、オイルミストフィルタのトラップ本体への固定を解除することが可能でき、そのままトラップ本体の開口からオイルミストフィルタを取り出すことが可能となる。例えばオイルミストフィルタがステーに軸支されている場合にはオイルミストフィルタをトラップ本体から取り外す際に当該ステーが干渉することが考えられるが、本実施形態に係るフィルタ固定部ではそのような干渉を回避することができる。 According to this configuration, it is possible to release the oil mist filter from the trap body by releasing the pressure of the filter fixing portion on the oil mist filter, and the oil mist filter is taken out from the opening of the trap body as it is. It becomes possible. For example, when the oil mist filter is pivotally supported by the stay, the stay may interfere when the oil mist filter is removed from the trap body. However, the filter fixing portion according to the present embodiment causes such interference. It can be avoided.
前記トラップ本体は、前記オイルミストフィルタが係合する溝を有してもよい。 The trap body may have a groove with which the oil mist filter is engaged.
この構成によれば、上記フィルタ固定部による押圧に加えてオイルミストフィルタが当該溝に係合することにより、オイルミストフィルタが安定して固定される。また、当該溝は、ユーザがオイルミストフィルタをトラップ本体に取り付ける際の位置決めに利用することが可能であり、オイルミストフィルタを取り付ける際の利便性が向上する。 According to this configuration, the oil mist filter is stably fixed by engaging the oil mist filter with the groove in addition to the pressing by the filter fixing portion. Further, the groove can be used for positioning when the user attaches the oil mist filter to the trap body, and convenience when attaching the oil mist filter is improved.
前記オイルミストフィルタは、筒状に形成された金属メッシュからなるフィルタ部を有し、前記溝は前記流入口の周囲に環状に形成されていてもよい。 The oil mist filter may have a filter portion made of a metal mesh formed in a cylindrical shape, and the groove may be formed in an annular shape around the inflow port.
オイルミストフィルタの面積は真空ポンプの排気効率やオイルミストフィルタの寿命に影響を与え、面積が大きい方が好適である。本実施形態に係るオイルミストフィルタは筒状に形成されており、流入口の周囲に環状に形成された溝に係合するため、流入口から流入した排気は筒状のフィルタ部の内側から外側へ透過する。このため、オイルミストフィルタの面積を確保することが可能である。 The area of the oil mist filter affects the exhaust efficiency of the vacuum pump and the life of the oil mist filter, and a larger area is preferable. The oil mist filter according to the present embodiment is formed in a cylindrical shape and engages with a groove formed in an annular shape around the inlet, so that the exhaust gas flowing in from the inlet is outside from the inner side of the cylindrical filter portion. To penetrate. For this reason, it is possible to ensure the area of the oil mist filter.
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[オイルミストトラップの使用態様]
図1は、本発明の一実施形態に係るオイルミストトラップ(以下、トラップ)1の使用態様を示す模式図である。同図に示すように、トラップ1は、第1配管2を介して真空ポンプ3に接続されている。また、トラップ1には、第2配管4が接続されている。真空ポンプ3から排出された排気は、第1配管2を通じてトラップ1に流入し、第2配管4から流出する。図1中に、排気の流れを矢印で示す。以下、トラップ1にとって第1配管2側を「上流」とし、第2配管4側を「下流」とする。
[Usage of oil mist trap]
FIG. 1 is a schematic diagram showing a usage mode of an oil mist trap (hereinafter, trap) 1 according to an embodiment of the present invention. As shown in the figure, the
真空ポンプ3は、図示しない「排気対象空間」に接続され、排気対象空間を真空排気して第1配管2に排気を排出する。排気対象空間は、例えばプロセスチャンバである。真空ポンプ3の種類は問わないが、作動油のオイルミストが発生する真空ポンプ、例えば油回転型真空ポンプとすることができる。
The vacuum pump 3 is connected to an “exhaust target space” (not shown), evacuates the exhaust target space, and exhausts the exhaust to the
第1配管2は、真空ポンプ3とトラップ1とを接続し、真空ポンプ3から排出された排気をトラップ1に導入する。第1配管2には、フィルタ交換時期を感知するための圧力計21が設けられている。
The
第2配管4は、真空ポンプ3と図示しない排気経路とを接続し、真空ポンプ3から排出された排気を排気経路に導入する。排気経路は、排気対象気体の種類に応じて選択され、例えば排気対象気体が有毒性あるいは環境破壊性を有する場合にはスクラバー(除染装置)を含み、そうでなければ大気開放であってもよい。 The second pipe 4 connects the vacuum pump 3 and an exhaust path (not shown), and introduces the exhaust discharged from the vacuum pump 3 into the exhaust path. The exhaust route is selected according to the type of exhaust target gas. For example, when the exhaust target gas is toxic or environmentally destructive, it includes a scrubber (decontamination device). Good.
トラップ1は以上のように接続されて用いられるものとする。トラップ1の使用態様はここに示すものに限られず、適宜変更することが可能である。ここで、真空ポンプ3から第1配管2を介してトラップ1に排出される排気には、真空ポンプ3において生成された「オイルミスト」が混入している。オイルミストは真空ポンプ3の作動オイルが霧状となったものであり、排気の流れによって輸送される。オイルミストが大気中に放出されれば、環境破壊あるいは健康被害等をもたらすおそれがあり、大気中に放出される前に除去される必要がある。本実施形態に係るトラップ1は、このオイルミストを除去するためのものである。
The
[オイルミストトラップの構成]
図2はトラップ1の外観を示す平面図、図3は蓋(後述)を外した状態のトラップ1を示す平面図、図4はトラップ1の内部構成を示す断面図である。
これらの図に示すように、トラップ1は、トラップ本体11、蓋12、オイルミストフィルタ(以下、フィルタ)13、フィルタ固定部14を有する。トラップ本体11と蓋12によって容器が構成され、当該容器にフィルタ13が収容されている。フィルタ13は、フィルタ固定部14によってトラップ本体11に固定されている。
[Configuration of oil mist trap]
2 is a plan view showing the external appearance of the
As shown in these drawings, the
トラップ本体11は、フィルタ13を収容可能な中空の部材である。トラップ本体11は円筒状の側面を有し、上面及び下面が湾曲面によって閉じられた形状とすることができる。なお、トラップ本体11は他の形状とすることも可能である。トラップ本体11の材質は特に限定されないが、耐久性や耐腐食性を有する材料、例えばステンレス等が好適である。トラップ本体11の大きさは、例えば高さ720mm、直径400mmとすることができる。
The
トラップ本体11には、開口11a、流入口11b及び流出口11cが形成されている。開口11aは流入口11b及び流出口11cとは離間する位置、例えばトラップ本体11の側面に形成することができる。開口11aは後述するフィルタ13が通過可能な大きさを有するものとし、具体的にはフィルタ13の最小の投影面積より大きいものとする。
開口11aの開口形状は例えば長方形とすることができる。流入口11bはトラップ本体11の上流側に形成され、第1配管2に接続される。流出口11cはトラップ本体11の下流側に形成され、第2配管4に接続される。
The
The opening shape of the
また、図4に示すように、トラップ本体11はその内部に底板11d及び天板11eを有する。底板11d及び天板11eはトラップ本体11の内部に渡された板状の部材であり、その材料はトラップ本体と同様の材料とすることができる。底板11dはその中央部に開口11fが設けられており、開口11fの周囲には溝11iが形成されている。天板11eはその中央部以外の部分に開口11gが設けられている。溝11iの詳細については後述する。
As shown in FIG. 4, the
さらに、トラップ本体11の側面にはドレンソケット11hが設けられている。ドレンソケット11hはトラップ本体11の内部に連通しており、トラップ本体11の底板11d上に滞留したオイルミストに由来するオイルを定期的に抜き出すためのものである。
Further, a
蓋12は、トラップ本体11に形成されている開口11aを塞ぐ部材である。蓋12は開口11aと同一の大きさに形成されており、トラップ本体11の側面に連続する形状、例えば湾曲板状を有するものとすることができる。蓋12の大きさは、例えば長辺453mm、短辺340mmとすることができる。
The
蓋12は、蓋12をトラップ本体11に着脱可能に固定する蓋固定部材12aによって蓋12に固定されている。蓋固定部材12aはキャッチクリップ(パッチン錠)等の固定金具やネジ等の着脱可能な固定部材とすることができ、迅速な着脱が可能なものが好適である。本実施形態に係るトラップ1では、蓋固定部材12aとして6基のキャッチクリップが設けられている。
The
なお、蓋12は、トラップ本体11から取り外すことが可能な構成に限られず、例えばドアのように一辺がトラップ本体11に固定され、その辺を軸として回転することにより開口11aを開閉可能に構成されてもよい。その場合、蓋固定部材12aとして、蝶番及びキャッチクリップを用いることが可能である。また、蓋12は、観音開きとすることも可能である。
The
蓋12は、開口11aを気密に閉塞する。蓋12は、開口11aの周縁に沿って配置された図示しないシール部材、例えばOリング等を介して開口11aに嵌め込まれ、蓋固定部材12aによってトラップ本体11に押圧されることによって開口11aを気密に閉塞するものとすることができる。
The
また、蓋12には把手12bが設けられている。把手12bはトラップ本体11から取り外した蓋12をユーザが把持するためのものである。把手12bの大きさや形状、設置数は任意である。
The
フィルタ13は、トラップ本体11に流入した排気からオイルミストを除去する。図5はフィルタ13を示す斜視図である。図5(a)はフィルタ13を上面側からみた図であり、図5(b)はフィルタ13を下面側からみた図である。これらの図に示すように、フィルタ13は、フィルタ部13aと天板部13bを有する。フィルタ部13aは所定の厚さを有する金属メッシュが筒状(例えば、円筒状)に形成されたものとすることができる。フィルタ部13aを筒状とすることにより、フィルタとしての面積を確保することができる。また、この他にフィルタ部13aはオイルミストを捕捉することが可能な他の構造であってもよい。天板部13bは、フィルタ部13aの筒を塞ぐようにフィルタ部13aに取り付けられている。
The
フィルタ13は、後述するフィルタ固定部14によって底板11dに押圧され、トラップ本体11に固定されている。図6は、底板11dとフィルタ13の係合関係を示す模式図である。図6(a)はフィルタ13が係合していない状態の底板11dを示し、図6(b)はフィルタ13が係合している状態の底板11dを示す。これらの図に示すように、底板11dに形成されている溝11iは、フィルタ部13aの厚さに相当する幅を有し、フィルタ部13aの形状に合わせて底板11d状に環状に形成されている。フィルタ13は、フィルタ部13aが溝11iに嵌ることにより位置決めされる。
The
フィルタ固定部14は、フィルタ13をトラップ本体11に対して固定する。フィルタ固定部14は一端が天板11eに接続され、他端がフィルタ13の天板部13bに接触している。フィルタ固定部14は、天板11eに対する押圧力を調節可能であり、さらにフィルタ13から一定量以上離間することが可能に構成されている。このようなフィルタ固定部14として、例えば、アジャスターボルトを用いることが可能である。
The
トラップ1は以上のように構成されている。このようなトラップ1では、トラップ本体11の流入口11bから流入した排気は、底板11dに設けられた開口11fを通過してフィルタ部13aに到達する。排気がフィルタ部13aを通過する際に、排気に含まれていたオイルミストがフィルタ部13aに捕捉され、排気中から除去される。フィルタ部13aを通過した排気は、天板11eに設けられた開口11gを通過してトラップ本体11の流出口11cから排出される。
The
フィルタ部13aに捕捉されたオイルミストはフィルタ部13a上で集まり、ミスト状ではない液状(即ち、オイル)となる。このオイルの量が増えるとフィルタ部13aの目詰まりが発生し、排気のフィルタ部13aの透過速度が減少する。したがって、フィルタ部13aの目詰まりが発生する前に交換する必要がある。
The oil mist captured by the
[オイルミストフィルタの交換方法]
フィルタ13の交換方法について説明する。
[How to replace the oil mist filter]
A method for replacing the
フィルタ13は交換時期となっているものとする。フィルタ13の交換時期は、例えば、第1配管2に設けられている圧力計21(図1参照)の示す圧力が所定値以上となったときとすることができる。その他にも、トラップ1に接続されている真空ポンプの可動時間等を目安としてもよい。フィルタ13の交換の前に真空ポンプは停止されているものとする。
It is assumed that the
ユーザは、蓋固定部材12aを解除し、蓋12をトラップ本体11から取り外す。これにより、図3に示すように、フィルタ13が開口11aから現れる。次に、ユーザは、開口11aを通じてフィルタ固定部14のフィルタ13に対する押圧力が減少するようにフィルタ固定部14を調整し、さらにフィルタ固定部14をフィルタ13から一定量以上離間させる。
The user releases the
続いてユーザは、溝11iに嵌っているフィルタ部13aが溝11iから離脱するまで、フィルタ13を引き上げる。この状態でユーザは、フィルタ13を開口11aからトラップ本体11の外部に取り出す。なお、開口11aの開口面積によっては、フィルタ13を回転させることが必要となる。
Subsequently, the user pulls up the
次に、ユーザは、未使用のフィルタ13を開口11aからトラップ本体11の内部に入れ、フィルタ部13aが溝11iに嵌るように、フィルタ13の位置を調節する。フィルタ固定部14による押圧に加えてフィルタ13を溝11iに係合させることにより、フィルタ13を安定して固定することが可能である。続いて、ユーザは、フィルタ固定部14がフィルタ13に所定の押圧力を印加するようにフィルタ固定部14を調整する。さらにユーザは、蓋12を開口11aに取り付け、蓋固定部材12aによって固定する。
Next, the user inserts an
フィルタ13の交換は以上のようにして実行される。上述のようにトラップ1は、流入口11b及び流出口11cと離間した、即ち、流入口11b及び流出口11cとは独立した開口11aを有するトラップ本体11を有している。したがって、蓋12を開放する際に第1配管2や第2配管4をトラップ本体11から取り外す必要がない。このため、ユーザは蓋12のみを開放することによってフィルタ13を交換することが可能となり、簡便にフィルタ13を交換することが可能となる。
The
1…オイルミストトラップ
11…トラップ本体
11a…開口
11b…流入口
11c…流出口
11i…溝
12…蓋
13…オイルミストフィルタ
13a…フィルタ部
14…フィルタ固定部
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記オイルミストフィルタを収容するトラップ本体であって、排気流入用配管に接続される流入口と、排気流出用配管に接続される流出口と、前記オイルミストフィルタが通過可能な大きさを有し前記流入口及び前記流出口と離間する開口が形成されたトラップ本体と、
前記開口を塞ぐ蓋と
を具備するオイルミストトラップ。 An oil mist filter,
A trap body that houses the oil mist filter, having an inlet connected to an exhaust inflow pipe, an outlet connected to an exhaust outflow pipe, and a size through which the oil mist filter can pass A trap body in which an opening that is spaced apart from the inlet and the outlet is formed;
An oil mist trap comprising a lid for closing the opening.
前記オイルミストフィルタを前記トラップ本体に押圧することによって前記オイルミストフィルタを前記トラップ本体に固定するフィルタ固定部をさらに具備する
オイルトラップ。 The oil mist trap according to claim 1,
An oil trap further comprising: a filter fixing portion that fixes the oil mist filter to the trap body by pressing the oil mist filter against the trap body.
前記トラップ本体は、前記オイルミストフィルタが係合する溝を有する
オイルミストトラップ。 An oil mist trap according to claim 2,
The trap body has a groove with which the oil mist filter is engaged.
前記オイルミストフィルタは、筒状に形成された金属メッシュからなるフィルタ部を有し、
前記溝は前記流入口の周囲に環状に形成されている
オイルミストトラップ。 An oil mist trap according to claim 3,
The oil mist filter has a filter portion made of a metal mesh formed in a cylindrical shape,
The groove is formed in an annular shape around the inflow port.
前記開口を塞ぐ蓋と
を具備するオイルミストトラップ用容器。 A trap body capable of accommodating an oil mist filter, having an inlet connected to an exhaust inflow pipe, an outlet connected to an exhaust outflow pipe, and a size through which the oil mist filter can pass A trap body in which an opening that is spaced apart from the inlet and the outlet is formed;
An oil mist trap container comprising a lid for closing the opening.
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