JP2012202739A - Heating value measuring system and heating value measuring method - Google Patents

Heating value measuring system and heating value measuring method Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heating value measuring system capable of easily and accurately measuring a heating value of gas.SOLUTION: A heating value measuring system comprises: a container 101 which has a heater element, where a plurality of different voltages can be applied thereto, as well as a pressure sensor and is injected with gas; a formula storage device 402 which stores a heating value calculation formula with electric signals from the heater element, when energized by each of the plurality of the voltages, as well as the electric signal from the pressure sensor as independent variables and the heating value as a dependent variable; and a heating value calculation section 305 which calculates a measurement of the heating value of the gas injected into the container 101 by substituting the electric signals from the heater element as well as the pressure sensor for the independent variables in the heating value calculation formula.

Description

本発明はガス検査技術に係り、発熱量測定システム及び発熱量の測定方法に関する。   The present invention relates to a gas inspection technique, and relates to a calorific value measuring system and a calorific value measuring method.

天然ガスの発熱量を求める際には、高価なガスクロマトグラフィ装置等を用いて天然ガスの成分比を分析する必要がある。また、天然ガスの熱伝導率及び天然ガス雰囲気における音速を測定することにより、天然ガスに含まれるメタン(CH4)、プロパン(C38)、窒素(N2)、及び炭酸ガス(CO2)の成分比率を算出し、天然ガスの発熱量を求める方法も提案されている(例えば、特許文献1参照。)。 When determining the calorific value of natural gas, it is necessary to analyze the component ratio of natural gas using an expensive gas chromatography device or the like. In addition, by measuring the thermal conductivity of natural gas and the speed of sound in a natural gas atmosphere, methane (CH 4 ), propane (C 3 H 8 ), nitrogen (N 2 ), and carbon dioxide (CO 2 ) contained in natural gas are measured. A method of calculating the component ratio of 2 ) and obtaining the calorific value of natural gas has also been proposed (see, for example, Patent Document 1).

特表2004−514138号公報JP-T-2004-514138

しかし、特許文献1に開示された方法は、熱伝導率を測定するためのセンサの他に、音速を測定するための高価な音速センサが必要である。そこで、本発明は、気体の発熱量を容易かつ正確に測定可能な発熱量測定システム及び発熱量の測定方法を提供することを目的の一つとする。   However, the method disclosed in Patent Document 1 requires an expensive sound speed sensor for measuring sound speed in addition to the sensor for measuring thermal conductivity. Therefore, an object of the present invention is to provide a calorific value measuring system and a calorific value measuring method capable of easily and accurately measuring the calorific value of a gas.

本発明の態様によれば、(a)複数の異なる電圧を加えられる発熱素子、及び圧力センサが設けられ、気体が注入される容器と、(b)複数の異なる電圧をそれぞれ加えられた場合の発熱素子からの電気信号、及び圧力センサからの電気信号を独立変数とし、発熱量を従属変数とする発熱量算出式を保存する式記憶装置と、(c)発熱量算出式の独立変数に、発熱素子及び圧力センサからの電気信号の測定値を代入して、容器に注入された気体の発熱量の測定値を算出する発熱量算出部と、を備える、発熱量測定システムが提供される。   According to the aspect of the present invention, (a) a heating element to which a plurality of different voltages can be applied, and a pressure sensor are provided, and a container into which gas is injected, and (b) a case where a plurality of different voltages are respectively applied. An equation storage device for storing a calorific value calculation formula having the electric signal from the heating element and the electric signal from the pressure sensor as independent variables and the calorific value as a dependent variable, and (c) an independent variable of the calorific value calculation formula, A calorific value measurement system is provided, comprising: a calorific value calculation unit that calculates a calorific value of gas injected into a container by substituting measured values of electrical signals from the heating element and the pressure sensor.

また、本発明の態様によれば、(a)複数の異なる電圧を加えられる発熱素子、及び圧力センサが設けられた容器に気体を注入することと、(b)複数の異なる電圧をそれぞれ加えられた場合の発熱素子からの電気信号、及び圧力センサからの電気信号を独立変数とし、発熱量を従属変数とする発熱量算出式を用意することと、(c)発熱量算出式の独立変数に、発熱素子及び圧力センサからの電気信号の測定値を代入して、容器に注入された気体の発熱量の測定値を算出することと、を含む、発熱量の測定方法が提供される。   In addition, according to the aspect of the present invention, (a) injecting a gas into a container provided with a heating element and a pressure sensor to which a plurality of different voltages can be applied, and (b) a plurality of different voltages can be respectively applied. Preparing a calorific value calculation formula with the electric signal from the heating element and the electric signal from the pressure sensor as independent variables and the calorific value as a dependent variable, and (c) as an independent variable of the calorific value calculation formula Substituting the measured value of the electrical signal from the heating element and the pressure sensor to calculate the measured value of the calorific value of the gas injected into the container, a method of measuring the calorific value is provided.

また、本発明の態様によれば、(a)気体の放熱係数又は熱伝導率の測定値と、気体の圧力の測定値と、を測定する測定部と、(b)放熱係数又は熱伝導率と、圧力と、発熱量と、の相関関係を保存する記憶装置と、(c)気体の放熱係数又は熱伝導率の測定値と、気体の圧力の測定値と、相関関係と、に基づいて、気体の発熱量の測定値を算出する発熱量算出部と、を備える、発熱量測定システムが提供される。   Moreover, according to the aspect of the present invention, (a) a measurement unit that measures a measured value of the heat dissipation coefficient or thermal conductivity of gas and a measured value of the pressure of gas, and (b) a heat dissipation coefficient or thermal conductivity. And (c) a measured value of the heat dissipation coefficient or thermal conductivity of the gas, a measured value of the pressure of the gas, and a correlation. And a calorific value calculation unit for calculating a measured value of the calorific value of the gas.

また、本発明の態様によれば、(a)気体の放熱係数又は熱伝導率の測定値と、気体の圧力の測定値と、を測定することと、(b)放熱係数又は熱伝導率と、圧力と、発熱量と、の相関関係を用意することと、(c)気体の放熱係数又は熱伝導率の測定値と、気体の圧力の測定値と、相関関係と、に基づいて、気体の発熱量の測定値を算出することと、を含む、発熱量の測定方法が提供される。   Moreover, according to the aspect of the present invention, (a) a measurement value of the heat dissipation coefficient or thermal conductivity of the gas and a measurement value of the gas pressure are measured, and (b) the heat dissipation coefficient or the thermal conductivity. Providing a correlation between the pressure and the calorific value, and (c) a measured value of the heat dissipation coefficient or thermal conductivity of the gas, a measured value of the pressure of the gas, and a correlation. And a calorific value measurement method comprising: calculating a calorific value measurement value of the calorific value.

本発明によれば、気体の発熱量を容易かつ正確に測定可能な発熱量測定システム及び発熱量の測定方法を提供可能である。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the calorific value measuring system and calorific value measuring method which can measure the calorific value of gas easily and correctly can be provided.

本発明の実施の形態に係るマイクロチップの斜視図である。1 is a perspective view of a microchip according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態に係るマイクロチップの図1のII−II方向から見た断面図である。It is sectional drawing seen from the II-II direction of FIG. 1 of the microchip which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る発熱素子に関する回路図である。It is a circuit diagram regarding the heat generating element which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る測温素子に関する回路図である。It is a circuit diagram regarding the temperature measuring element which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る発熱素子の温度と、ガスの放熱係数の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the temperature of the heat generating element which concerns on embodiment of this invention, and the thermal radiation coefficient of gas. 本発明の実施の形態に係る発熱量測定システムの第1の模式図である。It is the 1st schematic diagram of the calorific value measuring system concerning an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態に係る発熱量測定システムの第2の模式図である。It is the 2nd schematic diagram of the calorific value measuring system concerning an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態に係る発熱量算出式の作成方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the preparation method of the emitted-heat amount calculation formula which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る発熱量の測定方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the measuring method of the emitted-heat amount which concerns on embodiment of this invention. 本発明のその他の実施の形態に係るガスの熱伝導率と、放熱係数と、の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the thermal conductivity of the gas which concerns on other embodiment of this invention, and a thermal radiation coefficient. 本発明の実施の形態の実施例に係るサンプル混合ガスの算出された発熱量の真値からの誤差を示すグラフである。It is a graph which shows the error from the true value of the calorific value calculated of the sample mixed gas concerning the example of the embodiment of the invention. 本発明の実施の形態の比較例に係るサンプル混合ガスの算出された発熱量の真値からの誤差を示すグラフである。It is a graph which shows the difference | error from the true value of the calorific value calculated of the sample mixed gas which concerns on the comparative example of embodiment of this invention.

以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。   Embodiments of the present invention will be described below. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, the drawings are schematic. Therefore, specific dimensions and the like should be determined in light of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings.

まず、斜視図である図1、及びII−II方向から見た断面図である図2を参照して、実施の形態に係る発熱量測定システムに用いられるマイクロチップ8について説明する。マイクロチップ8は、キャビティ66が設けられた基板60、及び基板60上にキャビティ66を覆うように配置された絶縁膜65を備える。基板60の厚みは、例えば0.5mmである。また、基板60の縦横の寸法は、例えばそれぞれ1.5mm程度である。絶縁膜65のキャビティ66を覆う部分は、断熱性のダイアフラムをなしている。さらにマイクロチップ8は、絶縁膜65のダイアフラムの部分に設けられた発熱素子61と、発熱素子61を挟むように絶縁膜65のダイアフラムの部分に設けられた第1の測温素子62及び第2の測温素子63と、基板60上に設けられた保温素子64と、を備える。   First, the microchip 8 used in the calorific value measurement system according to the embodiment will be described with reference to FIG. 1 which is a perspective view and FIG. 2 which is a cross-sectional view seen from the II-II direction. The microchip 8 includes a substrate 60 provided with a cavity 66, and an insulating film 65 disposed on the substrate 60 so as to cover the cavity 66. The thickness of the substrate 60 is, for example, 0.5 mm. The vertical and horizontal dimensions of the substrate 60 are, for example, about 1.5 mm. A portion of the insulating film 65 covering the cavity 66 forms a heat insulating diaphragm. Furthermore, the microchip 8 includes a heating element 61 provided in the diaphragm portion of the insulating film 65, a first temperature measuring element 62 and a second temperature measuring element 62 provided in the diaphragm portion of the insulating film 65 so as to sandwich the heating element 61. The temperature measuring element 63 and a heat retaining element 64 provided on the substrate 60 are provided.

発熱素子61は、キャビティ66を覆う絶縁膜65のダイアフラムの部分の中心に配置されている。発熱素子61は、例えば抵抗器であり、電力を与えられて発熱し、発熱素子61に接する雰囲気ガスを加熱する。第1の測温素子62及び第2の測温素子63は、例えば抵抗器等の受動素子等の電子素子であり、雰囲気ガスのガス温度に依存した電気信号を出力する。以下においては、第1の測温素子62の出力信号を利用する例を説明するが、これに限定されず、例えば第1の測温素子62の出力信号及び第2の測温素子63の出力信号の平均値を、測温素子の出力信号として利用してもよい。   The heating element 61 is disposed at the center of the diaphragm portion of the insulating film 65 that covers the cavity 66. The heating element 61 is a resistor, for example, and generates heat when power is applied to heat the atmospheric gas in contact with the heating element 61. The first temperature measuring element 62 and the second temperature measuring element 63 are electronic elements such as passive elements such as resistors, for example, and output electric signals depending on the gas temperature of the atmospheric gas. In the following, an example in which the output signal of the first temperature measuring element 62 is used will be described. However, the present invention is not limited to this. For example, the output signal of the first temperature measuring element 62 and the output of the second temperature measuring element 63 are described. You may utilize the average value of a signal as an output signal of a temperature measuring element.

保温素子64は、例えば抵抗器であり、電力を与えられて発熱し、基板60の温度を一定に保つ。基板60の材料としては、シリコン(Si)等が使用可能である。絶縁膜65の材料としては、酸化ケイ素(SiO2)等が使用可能である。キャビティ66は、異方性エッチング等により形成される。また発熱素子61、第1の測温素子62、第2の測温素子63、及び保温素子64のそれぞれの材料には白金(Pt)等が使用可能であり、リソグラフィ法等により形成可能である。また、発熱素子61、第1の測温素子62、及び第2の測温素子63は、同一の部材からなっていてもよい。 The heat retaining element 64 is a resistor, for example, and generates heat when supplied with electric power, and keeps the temperature of the substrate 60 constant. As a material of the substrate 60, silicon (Si) or the like can be used. As a material of the insulating film 65, silicon oxide (SiO 2 ) or the like can be used. The cavity 66 is formed by anisotropic etching or the like. Further, platinum (Pt) or the like can be used as the material of the heating element 61, the first temperature measuring element 62, the second temperature measuring element 63, and the heat retaining element 64, and can be formed by a lithography method or the like. . Further, the heating element 61, the first temperature measuring element 62, and the second temperature measuring element 63 may be made of the same member.

マイクロチップ8は、マイクロチップ8の底面に配置された断熱部材18を介して、雰囲気ガスが充填されるチャンバ等の容器に固定される。断熱部材18を介してマイクロチップ8をチャンバ等に固定することにより、マイクロチップ8の温度が、チャンバ等の内壁の温度変動の影響を受けにくくなる。ガラス等からなる断熱部材18の熱伝導率は、例えば1.0W/(m・K)以下である。   The microchip 8 is fixed to a container such as a chamber filled with atmospheric gas via a heat insulating member 18 disposed on the bottom surface of the microchip 8. By fixing the microchip 8 to the chamber or the like via the heat insulating member 18, the temperature of the microchip 8 becomes less susceptible to the temperature fluctuation of the inner wall of the chamber or the like. The heat conductivity of the heat insulating member 18 made of glass or the like is, for example, 1.0 W / (m · K) or less.

図3に示すように、発熱素子61の一端には、例えば、オペアンプ170の+入力端子が電気的に接続され、他端は接地される。また、オペアンプ170の+入力端子及び出力端子と並列に、抵抗素子161が接続される。オペアンプ170の−入力端子は、電源、直列に接続された抵抗素子162と抵抗素子163との間、直列に接続された抵抗素子163と抵抗素子164との間、直列に接続された抵抗素子164と抵抗素子165との間、又は抵抗素子165の接地端子に電気的に接続される。各抵抗素子162−165の抵抗値を適当に定めることにより、例えば3.2Vの電圧Vinを抵抗素子162の一端に印加すると、抵抗素子163と抵抗素子162との間には、例えば2.8Vの電圧VL3が生じる。また、抵抗素子164と抵抗素子163との間には、例えば2.2Vの電圧VL2が生じ、抵抗素子165と抵抗素子164との間には、例えば1.5Vの電圧VL1が生じる。 As shown in FIG. 3, for example, a positive input terminal of an operational amplifier 170 is electrically connected to one end of the heating element 61, and the other end is grounded. A resistance element 161 is connected in parallel with the + input terminal and the output terminal of the operational amplifier 170. The negative input terminal of the operational amplifier 170 is a power supply, between the resistor element 162 and the resistor element 163 connected in series, between the resistor element 163 and the resistor element 164 connected in series, and the resistor element 164 connected in series. And the resistance element 165 or electrically connected to the ground terminal of the resistance element 165. By appropriately determining the resistance value of each of the resistance elements 162 to 165, for example, when a voltage Vin of 3.2 V is applied to one end of the resistance element 162, there is, for example, 2.8 V between the resistance element 163 and the resistance element 162. Voltage V L3 is generated. Further, for example, a voltage V L2 of 2.2 V is generated between the resistance element 164 and the resistance element 163, and a voltage V L1 of 1.5 V, for example, is generated between the resistance element 165 and the resistance element 164.

電源と、オペアンプの−入力端子との間には、スイッチSW1が設けられており、抵抗素子162及び抵抗素子163の間と、オペアンプの−入力端子との間には、スイッチSW2が設けられており、抵抗素子163及び抵抗素子164の間と、オペアンプの−入力端子との間には、スイッチSW3が設けられている。また、抵抗素子164及び抵抗素子165の間と、オペアンプの−入力端子との間には、スイッチSW4が設けられており、抵抗素子165の接地端子と、オペアンプの−入力端子との間には、スイッチSW5が設けられている。   A switch SW1 is provided between the power supply and the negative input terminal of the operational amplifier, and a switch SW2 is provided between the resistive element 162 and the resistive element 163 and between the negative input terminal of the operational amplifier. A switch SW3 is provided between the resistance element 163 and the resistance element 164 and between the negative input terminal of the operational amplifier. Further, a switch SW4 is provided between the resistance element 164 and the resistance element 165 and between the negative input terminal of the operational amplifier, and between the ground terminal of the resistive element 165 and the negative input terminal of the operational amplifier. , A switch SW5 is provided.

オペアンプ170の−入力端子に3.2Vの電圧Vinを印加する場合、スイッチSW1のみが通電され、スイッチSW2,SW3,SW4,SW5は切断される。オペアンプ170の−入力端子に2.8Vの電圧VL3を印加する場合、スイッチSW2のみが通電され、スイッチSW1,SW3,SW4,SW5は切断される。オペアンプ170の−入力端子に2.2Vの電圧VL2を印加する場合、スイッチSW3のみが通電され、スイッチSW1,SW2,SW4,SW5は切断される。オペアンプ170の−入力端子に1.5Vの電圧VL1を印加する場合、スイッチSW4のみが通電され、スイッチSW1,SW2,SW3,SW5は切断される。オペアンプ170の−入力端子に0Vの電圧VL0を印加する場合、スイッチSW5のみが通電され、スイッチSW1,SW2,SW3,SW4は切断される。したがって、スイッチSW1,SW2,SW3,SW4,SW5の開閉によって、オペアンプ170の−入力端子に0V又は4段階の電圧のいずれかを印加可能である。そのため、スイッチSW1,SW2,SW3,SW4,SW5の開閉によって、発熱素子61の発熱温度を定める印加電圧を4段階に設定可能である。 When a voltage V in of 3.2 V is applied to the negative input terminal of the operational amplifier 170, only the switch SW1 is energized and the switches SW2, SW3, SW4, SW5 are disconnected. Of the operational amplifier 170 - When applying the voltage V L3 of 2.8V to the input terminal, only the switch SW2 is turned on and the switches SW1, SW3, SW4, SW5 are disconnected. When a voltage V L2 of 2.2 V is applied to the negative input terminal of the operational amplifier 170, only the switch SW3 is energized and the switches SW1, SW2, SW4, SW5 are disconnected. When a voltage V L1 of 1.5 V is applied to the negative input terminal of the operational amplifier 170, only the switch SW4 is energized and the switches SW1, SW2, SW3, SW5 are disconnected. When a voltage V L0 of 0 V is applied to the negative input terminal of the operational amplifier 170, only the switch SW5 is energized and the switches SW1, SW2, SW3, SW4 are disconnected. Therefore, either 0V or four levels of voltages can be applied to the negative input terminal of the operational amplifier 170 by opening and closing the switches SW1, SW2, SW3, SW4, and SW5. Therefore, the applied voltage that determines the heat generation temperature of the heat generating element 61 can be set in four stages by opening and closing the switches SW1, SW2, SW3, SW4, and SW5.

ここで、オペアンプ170の+入力端子に1.5Vの電圧VL1を印加した場合の発熱素子61の温度をTH1とする。また、オペアンプ170の+入力端子に2.2Vの電圧VL2を印加した場合の発熱素子61の温度をTH2、オペアンプ170の+入力端子に2.8Vの電圧VL3を印加した場合の発熱素子61の温度をTH3とする。 Here, the temperature of the heating element 61 when a voltage V L1 of 1.5 V is applied to the + input terminal of the operational amplifier 170 is T H1 . Further, the temperature of the heating element 61 when a voltage V L2 of 2.2 V is applied to the + input terminal of the operational amplifier 170 is T H2 , and the heat generation when a voltage V L3 of 2.8 V is applied to the + input terminal of the operational amplifier 170. The temperature of the element 61 is T H3 .

図4に示すように、第1の測温素子62の一端には、例えば、オペアンプ270の−入力端子が電気的に接続され、他端は接地される。また、オペアンプ270の−入力端子及び出力端子と並列に、抵抗素子261が接続される。オペアンプ270の+入力端子は、直列に接続された抵抗素子264と抵抗素子265との間に電気的に接続される。これにより、第1の測温素子62には、0.3V程度の弱い電圧が加えられる。   As shown in FIG. 4, for example, a negative input terminal of an operational amplifier 270 is electrically connected to one end of the first temperature measuring element 62, and the other end is grounded. In addition, a resistance element 261 is connected in parallel with the negative input terminal and the output terminal of the operational amplifier 270. The positive input terminal of the operational amplifier 270 is electrically connected between the resistance element 264 and the resistance element 265 connected in series. Thereby, a weak voltage of about 0.3 V is applied to the first temperature measuring element 62.

図1及び図2に示す発熱素子61の抵抗値は、発熱素子61の温度によって変化する。発熱素子61の温度THと、発熱素子61の抵抗値RHの関係は、下記(1)式で与えられる。
RH = RH_STD×[1+αH (TH-TH_STD) + βH (TH-TH_STD)2] ・・・(1)
ここで、TH_STDは発熱素子61の標準温度を表し、例えば20℃である。RH_STDは標準温度TH_STDにおける予め測定された発熱素子61の抵抗値を表す。αHは1次の抵抗温度係数を表す。βHは2次の抵抗温度係数を表す。
The resistance value of the heating element 61 shown in FIGS. 1 and 2 varies depending on the temperature of the heating element 61. The relationship between the temperature TH of the heating element 61 and the resistance value R H of the heating element 61 is given by the following equation (1).
R H = R H _ STD × [1 + α H (T H -T H _ STD ) + β H (T H -T H _ STD ) 2 ] ・ ・ ・ (1)
Here, T H — STD represents the standard temperature of the heating element 61, and is 20 ° C., for example. R H — STD represents the resistance value of the heating element 61 measured in advance at the standard temperature T H — STD . α H represents a first-order resistance temperature coefficient. β H represents a second-order resistance temperature coefficient.

発熱素子61の抵抗値RHは、発熱素子61の駆動電力PHと、発熱素子61の通電電流IHから、下記(2)式で与えられる。
RH = PH / IH 2 ・・・(2)
あるいは発熱素子61の抵抗値RHは、発熱素子61にかかる電圧VHと、発熱素子61の通電電流IHから、下記(3)式で与えられる。
RH = VH / IH ・・・(3)
The resistance value R H of the heating element 61 is given by the following equation (2) from the drive power P H of the heating element 61 and the energization current I H of the heating element 61.
R H = P H / I H 2 (2)
Alternatively, the resistance value R H of the heating element 61 is given by the following equation (3) from the voltage V H applied to the heating element 61 and the energization current I H of the heating element 61.
R H = V H / I H (3)

ここで、発熱素子61の温度THは、発熱素子61と雰囲気ガスの間が熱的に平衡になったときに安定する。なお、熱的に平衡な状態とは、発熱素子61の発熱と、発熱素子61から雰囲気ガスへの放熱とが釣り合っている状態をいう。下記(4)式に示すように、平衡状態における発熱素子61の駆動電力PHを、発熱素子61の温度THと雰囲気ガスの温度TIとの差ΔTHで割ることにより、雰囲気ガスの放熱係数MIが得られる。なお、放熱係数MIの単位は、例えばW/℃である。
MI = PH / (TH - TI)
= PH /ΔTH ・・・(4)
Here, the temperature TH of the heating element 61 is stabilized when the heating element 61 and the ambient gas are in thermal equilibrium. The thermally balanced state refers to a state in which the heat generation of the heating element 61 and the heat dissipation from the heating element 61 to the atmospheric gas are balanced. (4) below, as shown in the expression, the driving power P H of the heater element 61 at equilibrium, by dividing the difference [Delta] T H between the temperature T I of the temperature T H and the ambient gas of the heater element 61, the atmospheric gas A heat dissipation coefficient M I is obtained. The unit of the heat dissipation coefficient M I is, for example, W / ° C.
M I = P H / (T H -T I )
= P H / ΔT H (4)

上記(1)式より、発熱素子61の温度THは下記(5)式で与えられる。
TH = (1 / 2βH)×[-αH+ [αH 2 - 4βH (1 - RH / RH_STD)]1/2] + TH_STD ・・・(5)
したがって、発熱素子61の温度THと、雰囲気ガスの温度TIと、の差ΔTHは、下記(6)式で与えられる。
ΔTH = (1 / 2βH)×[-αH+ [αH 2 - 4βH (1 - RH / RH_STD)]1/2] + TH_STD - TI ・・・(6)
From the above equation (1), the temperature T H of the heater element 61 is given by the following equation (5).
T H = (1 / 2β H ) × [-α H + [α H 2 - 4β H (1 - R H / R H _ STD)] 1/2] + T H _ STD ···(Five)
Therefore, the difference ΔT H between the temperature T H of the heating element 61 and the temperature T I of the atmospheric gas is given by the following equation (6).
ΔT H = (1 / 2β H ) × [-α H + [α H 2 - 4β H (1 - R H / R H _ STD)] 1/2] + T H _ STD - T I ··· ( 6)

雰囲気ガスの温度TIは、自己発熱しない程度の電力を与えられる第1の測温素子62の温度TIに近似する。第1の測温素子62の温度TIと、第1の測温素子62の抵抗値RIと、の関係は、下記(7)式で与えられる。
RI = RI_STD×[1+αI (TI-TI_STD) + βI (TI-TI_STD)2] ・・・(7)
I_STDは第1の測温素子62の標準温度を表し、例えば20℃である。RI_STDは標準温度TI_STDにおける予め測定された第1の測温素子62の抵抗値を表す。αIは1次の抵抗温度係数を表す。βIは2次の抵抗温度係数を表す。上記(7)式より、第1の測温素子62の温度TIは下記(8)式で与えられる。
TI = (1 / 2βI)×[-αI+ [αI 2 - 4βI (1 - RI / RI_STD)]1/2] + TI_STD ・・・(8)
The temperature T I of the atmospheric gas approximates the temperature T I of the first temperature measuring element 62 to which power that does not generate heat is given. The relationship between the temperature T I of the first temperature measuring element 62 and the resistance value R I of the first temperature measuring element 62 is given by the following equation (7).
R I = R I _ STD × [1 + α I (T I -T I _ STD ) + β I (T I -T I _ STD ) 2 ] (7)
T I — STD represents the standard temperature of the first temperature measuring element 62 and is, for example, 20 ° C. R I — STD represents the resistance value of the first temperature measuring element 62 measured in advance at the standard temperature T I — STD . α I represents the first-order resistance temperature coefficient. β I represents a second-order resistance temperature coefficient. From the above equation (7), the temperature T I of the first temperature measuring element 62 is given by the following equation (8).
T I = (1 / 2β I ) × [-α I + [α I 2 - 4β I (1 - R I / R I _ STD)] 1/2] + T I _ STD ... (8)

よって、雰囲気ガスの放熱係数MIは、下記(9)式で与えられる。
MI = PH /ΔTH
=PH/[(1/2βH)[-αH+[αH 2-4βH (1-RH/RH_STD)]1/2]+TH_STD-(1/2βI)[-αI+[αI 2-4βI (1-RI/RI_STD)]1/2]-TI_STD]
=(RH IH 2)/[(1/2βH)[-αH+[αH 2-4βH (1-RH/RH_STD)]1/2]+TH_STD-(1/2βI)[-αI+[αI 2-4βI (1-RI/RI_STD)]1/2]-TI_STD] ・・・(9)
Therefore, the radiation coefficient M I of the atmospheric gas is given by the following equation (9).
M I = P H / ΔT H
= P H / [(1 / 2β H) [- α H + [α H 2 -4β H (1-R H / R H _ STD)] 1/2] + T H _ STD - (1 / 2β I ) [-α I + [α I 2 -4β I (1-R I / R I _ STD )] 1/2 ] -T I _ STD ]
= (R H I H 2) / [(1 / 2β H) [- α H + [α H 2 -4β H (1-R H / R H _ STD)] 1/2] + T H _ STD - (1 / 2β I ) [-α I + [α I 2 -4β I (1-R I / R I _ STD )] 1/2 ] -T I _ STD ] ... (9)

発熱素子61の通電電流IHと、駆動電力PH又は電圧VHは測定可能であるため、上記(2)式又は(3)式から発熱素子61の抵抗値RHを算出可能である。同様に、第1の測温素子62の抵抗値RIも算出可能である。よって、マイクロチップ8を用いて、上記(9)式から雰囲気ガスの放熱係数MIが算出可能である。 Since the energizing current I H and the driving power P H or voltage V H of the heating element 61 can be measured, the resistance value R H of the heating element 61 can be calculated from the above equation (2) or (3). Similarly, the resistance value R I of the first temperature measuring element 62 can also be calculated. Therefore, by using the microchip 8, the heat radiation coefficient M I of the atmospheric gas can be calculated from the above equation (9).

なお、保温素子64で基板60の温度を一定に保つことにより、発熱素子61が発熱する前のマイクロチップ8の近傍の雰囲気ガスの温度が、基板60の一定の温度と近似する。そのため、発熱素子61が発熱する前の雰囲気ガスの温度の変動が抑制される。温度変動が一度抑制された雰囲気ガスを発熱素子61でさらに加熱することにより、より高い精度で放熱係数MIを算出することが可能となる。 Note that, by keeping the temperature of the substrate 60 constant by the heat retaining element 64, the temperature of the ambient gas in the vicinity of the microchip 8 before the heat generating element 61 generates heat approximates the constant temperature of the substrate 60. For this reason, fluctuations in the temperature of the atmospheric gas before the heat generating element 61 generates heat are suppressed. By temperature variation further heated by the heating element 61 to the atmosphere gas is once suppressed, it is possible to calculate the radiation coefficient M I with high accuracy.

ここで、雰囲気ガスが混合ガスであり、混合ガスが、ガスA、ガスB、ガスC、及びガスDの4種類のガス成分からなっていると仮定する。ガスAの体積率VA、ガスBの体積率VB、ガスCの体積率VC、及びガスDの体積率VDの総和は、下記(10)式で与えられるように、1である。
VA+VB+VC+VD=1 ・・・(10)
Here, it is assumed that the atmospheric gas is a mixed gas, and the mixed gas is composed of four types of gas components: gas A, gas B, gas C, and gas D. The sum of the volume ratio V A of gas A , the volume ratio V B of gas B , the volume ratio V C of gas C , and the volume ratio V D of gas D is 1, as given by the following equation (10). .
V A + V B + V C + V D = 1 (10)

また、ガスAの単位体積当たりの発熱量をKA、ガスBの単位体積当たりの発熱量をKB、ガスCの単位体積当たりの発熱量をKC、ガスDの単位体積当たりの発熱量をKDとすると、混合ガスの単位体積当たりの発熱量Qは、各ガス成分の体積率に、各ガス成分の単位体積当たりの発熱量を乗じたものの総和で与えられる。したがって、混合ガスの単位体積当たりの発熱量Qは、下記(11)式で与えられる。なお、単位体積当たりの発熱量の単位は、例えばMJ/m3である。
Q = KA×VA+ KB×VB+ KC×VC+KD×VD ・・・(11)
The calorific value per unit volume of gas A is K A , the calorific value per unit volume of gas B is K B , the calorific value per unit volume of gas C is K C , and the calorific value per unit volume of gas D is Is K D , the calorific value Q per unit volume of the mixed gas is given by the sum of the volume ratio of each gas component multiplied by the calorific value per unit volume of each gas component. Therefore, the calorific value Q per unit volume of the mixed gas is given by the following equation (11). The unit of the calorific value per unit volume is, for example, MJ / m 3 .
Q = K A × V A + K B × V B + K C × V C + K D × V D ... (11)

また、ガスAの放熱係数をMA、ガスBの放熱係数をMB、ガスCの放熱係数をMC、ガスDの放熱係数をMDとすると、混合ガスの放熱係数MIは、各ガス成分の体積率に、各ガス成分の放熱係数を乗じたものの総和で与えられる。したがって、混合ガスの放熱係数MIは、下記(12)式で与えられる。
MI = MA×VA+ MB×VB+ MC×VC+MD×VD ・・・(12)
Moreover, the radiation coefficient M A gas A, the radiation coefficient of gas B M B, when the radiation coefficient of gas C M C, the radiation coefficient of the gas D and M D, the radiation coefficient M I of the mixed gas, the It is given as the sum of the volume fraction of the gas component multiplied by the heat dissipation coefficient of each gas component. Therefore, the heat dissipation coefficient M I of the mixed gas is given by the following equation (12).
M I = M A × V A + M B × V B + M C × V C + M D × V D ... (12)

さらに、ガスの放熱係数は発熱素子61の温度THに依存するので、混合ガスの放熱係数MIは、発熱素子61の温度THの関数として、下記(13)式で与えられる。
MI (TH)= MA(TH)×VA+ MB(TH)×VB+ MC(TH)×VC+MD(TH)×VD ・・・(13)
Further, since the radiation coefficient of gas depends on the temperature T H of the heater element 61, the radiation coefficient M I of the mixed gas, as a function of the temperature T H of the heater element 61 is given by the following equation (13).
M I (T H ) = M A (T H ) × V A + M B (T H ) × V B + M C (T H ) × V C + M D (T H ) × V D・ ・ ・ ( 13)

したがって、発熱素子61の温度がTH1のときの混合ガスの放熱係数MI1(TH1)は下記(14)式で与えられる。また、発熱素子61の温度がTH2のときの混合ガスの放熱係数MI2(TH2)は下記(15)式で与えられ、発熱素子61の温度がTH3のときの混合ガスの放熱係数MI3(TH3)は下記(16)式で与えられる。
MI1 (TH1)= MA(TH1)×VA+ MB(TH1)×VB+ MC(TH1)×VC+MD(TH1)×VD ・・・(14)
MI2 (TH2)= MA(TH2)×VA+ MB(TH2)×VB+ MC(TH2)×VC+MD(TH2)×VD ・・・(15)
MI3 (TH3)= MA(TH3)×VA+ MB(TH3)×VB+ MC(TH3)×VC+MD(TH3)×VD ・・・(16)
Therefore, the heat release coefficient M I1 (T H1 ) of the mixed gas when the temperature of the heating element 61 is T H1 is given by the following equation (14). The heat dissipation coefficient M I2 (T H2 ) of the mixed gas when the temperature of the heating element 61 is T H2 is given by the following equation (15), and the heat dissipation coefficient of the mixed gas when the temperature of the heating element 61 is T H3 : M I3 (T H3 ) is given by the following equation (16).
M I1 (T H1 ) = M A (T H1 ) × V A + M B (T H1 ) × V B + M C (T H1 ) × V C + M D (T H1 ) × V D・ ・ ・ ( 14)
M I2 (T H2 ) = M A (T H2 ) × V A + M B (T H2 ) × V B + M C (T H2 ) × V C + M D (T H2 ) × V D・ ・ ・ ( 15)
M I3 (T H3 ) = M A (T H3 ) × V A + M B (T H3 ) × V B + M C (T H3 ) × V C + M D (T H3 ) × V D・ ・ ・ ( 16)

ここで、発熱素子61の温度THに対して各ガス成分の放熱係数MA(TH),MB(TH),MC(TH),MD(TH)が非線形性を有する場合、上記(14)乃至(16)式は、線形独立な関係を有する。また、発熱素子61の温度THに対して各ガス成分の放熱係数MA(TH),MB(TH),MC(TH),MD(TH)が線形性を有する場合でも、発熱素子61の温度THに対する各ガス成分の放熱係数MA(TH),MB(TH),MC(TH),MD(TH)の変化率が異なる場合は、上記(14)乃至(16)式は、線形独立な関係を有する。さらに、(14)乃至(16)式が線形独立な関係を有する場合、(10)及び(14)乃至(16)式は線形独立な関係を有する。 Here, the heat dissipation coefficients M A (T H ), M B (T H ), M C (T H ), and M D (T H ) of each gas component are non-linear with respect to the temperature T H of the heating element 61. If so, the above equations (14) to (16) have a linearly independent relationship. Further, the heat dissipation coefficients M A (T H ), M B (T H ), M C (T H ), and M D (T H ) of each gas component have linearity with respect to the temperature T H of the heating element 61. Even in the case where the rate of change of the heat radiation coefficient M A (T H ), M B (T H ), M C (T H ), M D (T H ) of each gas component with respect to the temperature T H of the heating element 61 is different. The above formulas (14) to (16) have a linearly independent relationship. Further, when the equations (14) to (16) have a linearly independent relationship, the equations (10) and (14) to (16) have a linearly independent relationship.

図5は、天然ガスに含まれるメタン(CH4)、プロパン(C38)、窒素(N2)、及び二酸化炭素(CO2)の放熱係数と、発熱抵抗体である発熱素子61の温度と、の関係を示すグラフである。発熱素子61の温度に対して、メタン(CH4)、プロパン(C38)、窒素(N2)、及び二酸化炭素(CO2)のそれぞれのガス成分の放熱係数は線形性を有する。しかし、発熱素子61の温度に対する放熱係数の変化率は、メタン(CH4)、プロパン(C38)、窒素(N2)、及び二酸化炭素(CO2)のそれぞれで異なる。したがって、混合ガスを構成するガス成分がメタン(CH4)、プロパン(C38)、窒素(N2)、及び二酸化炭素(CO2)であるである場合、上記(14)乃至(16)式は、線形独立な関係を有する。 FIG. 5 shows the heat release coefficients of methane (CH 4 ), propane (C 3 H 8 ), nitrogen (N 2 ), and carbon dioxide (CO 2 ) contained in natural gas, and the heating element 61 that is a heating resistor. It is a graph which shows the relationship between temperature. The heat release coefficient of each gas component of methane (CH 4 ), propane (C 3 H 8 ), nitrogen (N 2 ), and carbon dioxide (CO 2 ) has linearity with respect to the temperature of the heating element 61. However, the rate of change of the heat dissipation coefficient with respect to the temperature of the heating element 61 is different for each of methane (CH 4 ), propane (C 3 H 8 ), nitrogen (N 2 ), and carbon dioxide (CO 2 ). Therefore, when the gas components constituting the mixed gas are methane (CH 4 ), propane (C 3 H 8 ), nitrogen (N 2 ), and carbon dioxide (CO 2 ), the above (14) to (16 ) Has a linearly independent relationship.

(14)乃至(16)式中の各ガス成分の放熱係数MA(TH1),MB(TH1),MC(TH1),MD(TH1),MA(TH2),MB(TH2),MC(TH2),MD(TH2),MA(TH3),MB(TH3),MC(TH3),MD(TH3)の値は、測定等により予め得ることが可能である。したがって、(10)及び(14)乃至(16)式の連立方程式を解くと、ガスAの体積率VA、ガスBの体積率VB、ガスCの体積率VC、及びガスDの体積率VDのそれぞれが、下記(17)乃至(20)式に示すように、混合ガスの放熱係数MI1(TH1),MI2(TH2),MI3(TH3)の関数として与えられる。なお、下記(17)乃至(20)式において、nを自然数として、fnは関数を表す記号である。
VA=f1[MI1 (TH1), MI2 (TH2), MI3 (TH3)] ・・・(17)
VB=f2[MI1 (TH1), MI2 (TH2), MI3 (TH3)] ・・・(18)
VC=f3[MI1 (TH1), MI2 (TH2), MI3 (TH3)] ・・・(19)
VD=f4[MI1 (TH1), MI2 (TH2), MI3 (TH3)] ・・・(20)
The heat release coefficients M A (T H1 ), M B (T H1 ), M C (T H1 ), M D (T H1 ), M A (T H2 ) of each gas component in the equations (14) to (16) , M B (T H2 ), M C (T H2 ), M D (T H2 ), M A (T H3 ), M B (T H3 ), M C (T H3 ), M D (T H3 ) The value can be obtained in advance by measurement or the like. Therefore, when the simultaneous equations (10) and (14) to (16) are solved, the volume ratio V A of the gas A , the volume ratio V B of the gas B , the volume ratio V C of the gas C , and the volume of the gas D Each of the rates V D is given as a function of the heat release coefficient M I1 (T H1 ), M I2 (T H2 ), M I3 (T H3 ) of the mixed gas as shown in the following equations (17) to (20). It is done. In the following equations (17) to (20), n is a natural number and f n is a symbol representing a function.
V A = f 1 [M I1 (T H1 ), M I2 (T H2 ), M I3 (T H3 )] (17)
V B = f 2 [M I1 (T H1 ), M I2 (T H2 ), M I3 (T H3 )] (18)
V C = f 3 [M I1 (T H1 ), M I2 (T H2 ), M I3 (T H3 )] (19)
V D = f 4 [M I1 (T H1 ), M I2 (T H2 ), M I3 (T H3 )] (20)

ここで、上記(11)式に(17)乃至(20)式を代入することにより、下記(21)式が得られる。
Q = KA×VA+ KB×VB+ KC×VC+KD×VD
= KA×f1[MI1 (TH1), MI2 (TH2), MI3 (TH3)]
+ KB×f2[MI1 (TH1), MI2 (TH2), MI3 (TH3)]
+ KC×f3[MI1 (TH1), MI2 (TH2), MI3 (TH3)]
+ KD×f4[MI1 (TH1), MI2 (TH2), MI3 (TH3)] ・・・(21)
Here, the following equation (21) is obtained by substituting the equations (17) to (20) into the above equation (11).
Q = K A × V A + K B × V B + K C × V C + K D × V D
= K A × f 1 [M I1 (T H1 ), M I2 (T H2 ), M I3 (T H3 )]
+ K B × f 2 [M I1 (T H1 ), M I2 (T H2 ), M I3 (T H3 )]
+ K C × f 3 [M I1 (T H1 ), M I2 (T H2 ), M I3 (T H3 )]
+ K D × f 4 [M I1 (T H1 ), M I2 (T H2 ), M I3 (T H3 )] (21)

上記(21)式に示すように、混合ガスの単位体積当たりの発熱量Qは、発熱素子61の温度がTH1,TH2,TH3である場合の混合ガスの放熱係数MI1(TH1),MI2(TH2),MI3(TH3)を変数とする方程式で与えられる。したがって、混合ガスの発熱量Qは、gを関数を表す記号として、下記(22)式で与えられる。
Q = g[MI1 (TH1), MI2 (TH2), MI3 (TH3)] ・・・(22)
As shown in the above equation (21), the calorific value Q per unit volume of the mixed gas is the heat dissipation coefficient M I1 (T H1 ) of the mixed gas when the temperature of the heating element 61 is T H1 , T H2 , T H3. ), M I2 (T H2 ), M I3 (T H3 ) are given as equations. Therefore, the calorific value Q of the mixed gas is given by the following equation (22), where g is a symbol representing a function.
Q = g [M I1 (T H1 ), M I2 (T H2 ), M I3 (T H3 )] (22)

よって、ガスA、ガスB、ガスC、及びガスDからなる混合ガスについて、予め上記(22)式を得れば、ガスAの体積率VA、ガスBの体積率VB、ガスCの体積率VC、及びガスDの体積率VDが未知の測定対象混合ガスの単位体積当たりの発熱量Qを容易に算出可能であることを、発明者は見出した。具体的には、発熱素子61の発熱温度がTH1,TH2,TH3である場合の測定対象混合ガスの放熱係数MI1(TH1),MI2(TH2),MI3(TH3)をそれぞれ測定し、(22)式に代入することにより、測定対象混合ガスの発熱量Qを一意に求めることが可能となる。 Therefore, if the above equation (22) is obtained in advance for a mixed gas composed of gas A, gas B, gas C, and gas D, the volume ratio V A of gas A , the volume ratio V B of gas B , and the gas C The inventor has found that the calorific value Q per unit volume of the measurement target mixed gas whose volume ratio V C and the volume ratio V D of the gas D are unknown can be easily calculated. Specifically, the radiation coefficient M I1 (T H1) of the measurement target mixed gas when the heat producing temperature is T H1, T H2, T H3 of the heater element 61, M I2 (T H2) , M I3 (T H3 ) Are respectively measured and substituted into the equation (22), the calorific value Q of the measurement target mixed gas can be uniquely obtained.

また、気体の発熱量、放熱係数、及び熱伝導率等の熱特性は、気体の圧力に依存する。したがって、上記(22)式で与えられる発熱量Qの方程式に、下記(23)式に示すように、測定対象混合ガスの圧力Psの独立変数を加えることにより、発熱量Qの算出精度が高まる。
Q = g[MI1 (TH1), MI2 (TH2), MI3 (TH3), Ps] ・・・(23)
Further, thermal characteristics such as the amount of heat generated by the gas, the heat dissipation coefficient, and the thermal conductivity depend on the pressure of the gas. Therefore, by adding an independent variable of the pressure Ps of the measurement target mixed gas to the equation of the calorific value Q given by the above formula (22), as shown in the following formula (23), the calculation accuracy of the calorific value Q is increased. .
Q = g [M I1 (T H1 ), M I2 (T H2 ), M I3 (T H3 ), Ps] (23)

さらに、混合ガスの放熱係数MIは、上記(9)式に示すように、発熱素子61の抵抗値RHと、第1の測温素子62の抵抗値RIと、に依存する。そこで、本発明者は、混合ガスの単位体積当たりの発熱量Qは、下記(24)式に示すように、発熱素子61の温度がTH1,TH2,TH3である場合の発熱素子61の抵抗値RH1(TH1),RH2(TH2),RH3(TH3)と、混合ガスに接する第1の測温素子62の抵抗値RIと、圧力Psと、を変数とする方程式でも与えられることを見出した。
Q = g[RH1 (TH1), RH2 (TH2), RH3 (TH3), RI, Ps ] ・・・(24)
Additionally, the radiation coefficient M I of the mixed gas, as shown in Equation (9), dependent on the resistance value R H of the heater element 61, the resistance value R I of the first temperature measurement element 62, the. Therefore, the present inventor has determined that the heating value Q per unit volume of the mixed gas is the heating element 61 when the temperature of the heating element 61 is T H1 , T H2 , T H3 as shown in the following equation (24). The resistance values R H1 (T H1 ), R H2 (T H2 ), R H3 (T H3 ), the resistance value R I of the first temperature measuring element 62 in contact with the mixed gas, and the pressure Ps are defined as variables. I found that the equation is also given.
Q = g [R H1 (T H1 ), R H2 (T H2 ), R H3 (T H3 ), R I , Ps] (24)

よって、測定対象混合ガスに接する発熱素子61の発熱温度がTH1,TH2,TH3である場合の発熱素子61の抵抗値RH1(TH1),RH2(TH2),RH3(TH3)と、測定対象混合ガスに接する第1の測温素子62の抵抗値RIと、測定対象混合ガスの圧力Psと、を測定し、(24)式に代入することによっても、測定対象混合ガスの発熱量Qを一意に求めることが可能となる。 Therefore, the resistance value R H1 of the heater element 61 when the heat producing temperature of the heater element 61 that comes into contact with the measurement target mixed gas is T H1, T H2, T H3 (T H1), R H2 (T H2), R H3 ( T H3 ), the resistance value R I of the first temperature measuring element 62 in contact with the measurement target mixed gas, and the pressure Ps of the measurement target mixed gas are also measured and substituted into the equation (24). The calorific value Q of the target mixed gas can be uniquely determined.

また、混合ガスの単位体積当たりの発熱量Qは、下記(25)式に示すように、発熱素子61の温度がTH1,TH2,TH3である場合の発熱素子61の通電電流IH1(TH1),IH2(TH2),IH3(TH3)と、混合ガスに接する第1の測温素子62の通電電流IIと、混合ガスの圧力Psと、を変数とする方程式でも与えられる。
Q = g[IH1 (TH1), IH2 (TH2), IH3 (TH3), II, Ps ] ・・・(25)
Further, the calorific value Q per unit volume of the mixed gas is, as shown in the following formula (25), the energization current I H1 of the heating element 61 when the temperature of the heating element 61 is T H1 , T H2 , T H3. (T H1 ), I H2 (T H2 ), I H3 (T H3 ), an energization current I I of the first temperature measuring element 62 in contact with the mixed gas, and a pressure Ps of the mixed gas as variables But given.
Q = g [I H1 (T H1 ), I H2 (T H2 ), I H3 (T H3 ), I I , Ps] (25)

あるいは混合ガスの単位体積当たりの発熱量Qは、下記(26)式に示すように、発熱素子61の温度がTH1,TH2,TH3である場合の発熱素子61にかかる電圧VH1(TH1),VH2(TH2),VH3(TH3)と、混合ガスに接する第1の測温素子62にかかる電圧VIと、混合ガスの圧力Psと、を変数とする方程式でも与えられる。
Q = g[VH1 (TH1), VH2 (TH2), VH3 (TH3), VI, Ps ] ・・・(26)
Alternatively, the calorific value Q per unit volume of the mixed gas is the voltage V H1 (V H1 applied to the heating element 61 when the temperature of the heating element 61 is T H1 , T H2 , T H3 , as shown in the following equation (26). T H1 ), V H2 (T H2 ), V H3 (T H3 ), the voltage V I applied to the first temperature measuring element 62 in contact with the mixed gas, and the pressure Ps of the mixed gas are variables. Given.
Q = g [V H1 (T H1 ), V H2 (T H2 ), V H3 (T H3 ), V I , Ps] (26)

またあるいは混合ガスの単位体積当たりの発熱量Qは、下記(27)式に示すように、発熱素子61の温度がTH1,TH2,TH3である場合の発熱素子61に接続されたアナログ−デジタル変換回路(以下において「A/D変換回路」という。)の出力信号ADH1(TH1),ADH2(TH2),ADH3(TH3)と、混合ガスに接する第1の測温素子62に接続されたA/D変換回路の出力信号ADIと、混合ガスの圧力Psと、を変数とする方程式でも与えられる。例えばA/D変換回路が二重積分型である場合、A/D変換回路の出力信号は、カウント値である。
Q = g[ADH1 (TH1), ADH2 (TH2), ADH3 (TH3), ADI, Ps ] ・・・(27)
Alternatively, the calorific value Q per unit volume of the mixed gas is an analog connected to the heating element 61 when the temperature of the heating element 61 is T H1 , T H2 , T H3 as shown in the following equation (27). -The output signal AD H1 (T H1 ), AD H2 (T H2 ), AD H3 (T H3 ) of the digital conversion circuit (hereinafter referred to as “A / D conversion circuit”) and the first measurement in contact with the mixed gas. An equation having the output signal AD I of the A / D conversion circuit connected to the temperature element 62 and the pressure Ps of the mixed gas as variables is also given. For example, when the A / D conversion circuit is a double integration type, the output signal of the A / D conversion circuit is a count value.
Q = g [AD H1 (T H1 ), AD H2 (T H2 ), AD H3 (T H3 ), AD I , Ps] (27)

よって、混合ガスの単位体積当たりの発熱量Qは、下記(28)式に示すように、発熱素子61の発熱温度がTH1,TH2,TH3である場合の発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)と、混合ガスに接する第1の測温素子62からの電気信号SIと、混合ガスの圧力Psと、を変数とする方程式で与えられる。
Q = g[SH1 (TH1), SH2 (TH2), SH3 (TH3), SI, Ps ] ・・・(28)
Therefore, the calorific value Q per unit volume of the mixed gas is an electric signal from the heating element 61 when the heating temperature of the heating element 61 is T H1 , T H2 , T H3 as shown in the following equation (28). S H1 (T H1), S H2 (T H2), S H3 and (T H3), and the electric signal S I from the first temperature measurement element 62 that comes into contact with the mixed gas, the pressure Ps of the mixed gas, the variable Is given by the equation
Q = g [S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T H3 ), S I , Ps] (28)

混合ガスの圧力Psは、圧力センサを用いて測定される。圧力センサは、例えば電気抵抗素子からなる歪みゲージを含む。歪みゲージは、圧力によって変形し、電気抵抗が変化する。したがって、圧力センサの出力電圧、あるいは圧力センサに接続されたA/D変換回路の出力信号等は、混合ガスの圧力Psに相関する。よって、混合ガスの単位体積当たりの発熱量Qは、下記(29)式に示すように、発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)と、第1の測温素子62からの電気信号SIと、圧力センサからの電気信号SPと、を変数とする方程式でも与えられる。
Q = g[SH1 (TH1), SH2 (TH2), SH3 (TH3), SI, SP ] ・・・(29)
The pressure Ps of the mixed gas is measured using a pressure sensor. The pressure sensor includes a strain gauge made of, for example, an electric resistance element. The strain gauge is deformed by pressure and its electric resistance changes. Therefore, the output voltage of the pressure sensor or the output signal of the A / D conversion circuit connected to the pressure sensor correlates with the pressure Ps of the mixed gas. Therefore, the calorific value Q per unit volume of the mixed gas is expressed by the electric signals S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T H3 ) from the heating element 61 as shown in the following equation (29). ), And the electric signal S I from the first temperature measuring element 62 and the electric signal S P from the pressure sensor are also given as equations.
Q = g [S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T H3 ), S I , S P ] (29)

また、混合ガスの温度が一定であれば、第1の測温素子62からの電気信号SIは定数となる。この場合、混合ガスの単位体積当たりの発熱量Qは、下記(30)式に示すように、発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)と、圧力センサからの電気信号SPと、を変数とする方程式でも与えられる。
Q = g[SH1 (TH1), SH2 (TH2), SH3 (TH3), SP ] ・・・(30)
Further, if the temperature of the mixed gas is constant, the electric signal S I from the first temperature measuring element 62 is a constant. In this case, the calorific value Q per unit volume of the mixed gas is expressed by the electric signals S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T and H3), and an electric signal S P output from the pressure sensor, also given in the equation as a variable.
Q = g [S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T H3 ), S P ] (30)

混合ガスのガス成分は、4種類に限定されることはない。例えば、混合ガスがn種類のガス成分からなる場合、まず、下記(31)式で与えられる、少なくともn−1種類の発熱温度TH1,TH2,TH3,・・・,THn-1における発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3),・・・,SHn-1(THn-1)と、混合ガスに接する第1の測温素子62からの電気信号SIと、圧力センサからの電気信号SPと、を変数とする方程式を予め取得する。そして、n−1種類の発熱温度TH1,TH2,TH3,・・・,THn-1における、n種類のガス成分のそれぞれの体積率が未知の測定対象混合ガスに接する発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3),・・・,SHn-1(THn-1)の値と、測定対象混合ガスに接する第1の測温素子62からの電気信号SIの値と、測定対象混合ガスに接する圧力センサからの電気信号SPの値と、を測定し、(31)式に代入することにより、測定対象混合ガスの単位体積当たりの発熱量Qを一意に求めることが可能となる。
Q = g[SH1 (TH1), SH2 (TH2), SH3 (TH3), ・・・, SHn-1 (THn-1), SI, SP ] ・・・(31)
The gas components of the mixed gas are not limited to four types. For example, when the mixed gas is composed of n types of gas components, first, at least n−1 types of heat generation temperatures T H1 , T H2 , T H3 ,. , S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T H3 ),..., S Hn-1 (T Hn-1 ), and the first contact with the mixed gas. and an electric signal S I from the first temperature measurement element 62, obtained in advance an equation for the electric signal S P output from the pressure sensor, a variable. Then, the heating element 61 in contact with the measurement target mixed gas whose volume ratio of each of the n types of gas components at the n-1 types of heat generation temperatures T H1 , T H2 , T H3 ,. electrical signals from the S H1 (T H1), the contact with the S H2 (T H2), S H3 (T H3), ···, and the value of S Hn-1 (T Hn- 1), the measurement target mixed gas A measurement object is obtained by measuring the value of the electric signal S I from one temperature measuring element 62 and the value of the electric signal S P from the pressure sensor in contact with the measurement target mixed gas and substituting them into the equation (31). The calorific value Q per unit volume of the mixed gas can be uniquely determined.
Q = g [S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T H3 ), ..., S Hn-1 (T Hn-1 ), S I , S P ] ... 31)

ただし、混合ガスが、ガス成分としてメタン(CH4)、プロパン(C38)に加えて、jを自然数として、メタン(CH4)とプロパン(C38)以外のアルカン(Cj2j+2)を含む場合、メタン(CH4)とプロパン(C38)以外のアルカン(Cj2j+2)を、メタン(CH4)とプロパン(C38)の混合物とみなしても、(31)式の算出には影響しない。例えば、エタン(C26)、ブタン(C410)、ペンタン(C512)、ヘキサン(C614)を、下記(32)乃至(35)式に示すように、それぞれ所定の係数を掛けられたメタン(CH4)とプロパン(C38)の混合物とみなして(31)式を算出してもかまわない。
C2H6 = 0.5 CH4 + 0.5 C3H8 ・・・(32)
C4H10 = -0.5 CH4 + 1.5 C3H8 ・・・(33)
C5H12 = -1.0 CH4 + 2.0 C3H8 ・・・(34)
C6H14 = -1.5 CH4 + 2.5 C3H8 ・・・(35)
However, the mixed gas, methane (CH 4) as a gas component in addition to the propane (C 3 H 8), a j is a natural number, methane (CH 4) and other than propane (C 3 H 8) alkane (C j H 2j + 2 ), alkanes other than methane (CH 4 ) and propane (C 3 H 8 ) (C j H 2j + 2 ), and mixtures of methane (CH 4 ) and propane (C 3 H 8 ) This does not affect the calculation of equation (31). For example, ethane (C 2 H 6 ), butane (C 4 H 10 ), pentane (C 5 H 12 ), and hexane (C 6 H 14 ) are respectively represented by the following formulas (32) to (35): The equation (31) may be calculated by regarding the mixture as methane (CH 4 ) and propane (C 3 H 8 ) multiplied by a predetermined coefficient.
C 2 H 6 = 0.5 CH 4 + 0.5 C 3 H 8 ... (32)
C 4 H 10 = -0.5 CH 4 + 1.5 C 3 H 8 ... (33)
C 5 H 12 = -1.0 CH 4 + 2.0 C 3 H 8 ... (34)
C 6 H 14 = -1.5 CH 4 + 2.5 C 3 H 8 ... (35)

したがって、zを自然数として、n種類のガス成分からなる混合ガスが、ガス成分としてメタン(CH4)、プロパン(C38)に加えて、メタン(CH4)とプロパン(C38)以外のz種類のアルカン(Cj2j+2)を含む場合、少なくともn−z−1種類の発熱温度における発熱素子61からの電気信号SHと、第1の測温素子62からの電気信号SIと、圧力センサからの電気信号SPと、を変数とする方程式を求めてもよい。 Accordingly, the z as a natural number, a mixed gas consisting of n kinds of gas components methane (CH 4) as a gas component in addition to the propane (C 3 H 8), methane (CH 4) and propane (C 3 H 8 ) if it contains non-z type of alkane (C j H 2j + 2) , and an electric signal S H from the at least n-z-1 kinds heating element 61 in the heat generating temperature of the first temperature measurement element 62 and an electric signal S I, and the electric signal S P output from the pressure sensor, may be an equation for the variable.

なお、(31)式の算出に用いられた混合ガスのガス成分の種類と、単位体積当たりの発熱量Qが未知の測定対象混合ガスのガス成分の種類が同じ場合に、測定対象混合ガスの発熱量Qの算出に(31)式を利用可能であることはもちろんである。さらに、測定対象混合ガスがn種類より少ない種類のガス成分からなり、かつ、n種類より少ない種類のガス成分が、(31)式の算出に用いられた混合ガスに含まれている場合も、(31)式を利用可能である。例えば、(31)式の算出に用いられた混合ガスが、メタン(CH4)、プロパン(C38)、窒素(N2)、及び二酸化炭素(CO2)の4種類のガス成分を含む場合、測定対象混合ガスが、窒素(N2)を含まず、メタン(CH4)、プロパン(C38)、及び二酸化炭素(CO2)の3種類のガス成分のみを含む場合も、測定対象混合ガスの発熱量Qの算出に(31)式を利用可能である。 When the type of the gas component of the mixed gas used in the calculation of the equation (31) is the same as the type of the gas component of the measurement target mixed gas whose calorific value Q per unit volume is unknown, the measurement target mixed gas Of course, equation (31) can be used to calculate the calorific value Q. Further, when the measurement target mixed gas is composed of less than n kinds of gas components and less than n kinds of gas components are included in the mixed gas used in the calculation of the equation (31), Equation (31) can be used. For example, the mixed gas used in the calculation of the equation (31) has four types of gas components, methane (CH 4 ), propane (C 3 H 8 ), nitrogen (N 2 ), and carbon dioxide (CO 2 ). When it is included, the measurement target mixed gas may not contain nitrogen (N 2 ) but may contain only three types of gas components, methane (CH 4 ), propane (C 3 H 8 ), and carbon dioxide (CO 2 ). The equation (31) can be used to calculate the calorific value Q of the measurement target mixed gas.

さらに、(31)式の算出に用いられた混合ガスが、ガス成分としてメタン(CH4)とプロパン(C38)を含む場合、測定対象混合ガスが、(31)式の算出に用いられた混合ガスに含まれていないアルカン(Cj2j+2)を含んでいても、(31)式を利用可能である。これは、上述したように、メタン(CH4)とプロパン(C38)以外のアルカン(Cj2j+2)を、メタン(CH4)とプロパン(C38)の混合物とみなしても、(31)式を用いた単位体積当たりの発熱量Qの算出に影響しないためである。 Furthermore, when the mixed gas used for the calculation of the equation (31) includes methane (CH 4 ) and propane (C 3 H 8 ) as gas components, the measurement target mixed gas is used for the calculation of the equation (31). Even if alkane (C j H 2j + 2 ) not contained in the mixed gas is included, the formula (31) can be used. This is because, as described above, the methane (CH 4) and propane (C 3 H 8) other than the alkane (C j H 2j + 2) , a mixture of methane (CH 4) and propane (C 3 H 8) Even if it considers, it is because it does not affect calculation of the emitted-heat amount Q per unit volume using (31) Formula.

ここで、図6に示す実施の形態に係る発熱量測定システム20は、複数のサンプル混合ガスのそれぞれが注入される容器であるチャンバ101と、チャンバ101に配置され、図1に示す第1の測温素子62及び複数の異なる電圧を加えられ複数の発熱温度THで発熱する発熱素子61を含むマイクロチップ8と、圧力センサ201と、を備える。さらに、図6に示す発熱量測定システム20は、複数のサンプル混合ガスのそれぞれの温度TIに依存する第1の測温素子62からの電気信号SIの値と、複数の発熱温度THのそれぞれにおける発熱素子61からの電気信号SHの値と、圧力センサ201からの電気信号SPの値と、を測定する測定部301を備える。またさらに、発熱量測定システム20は、複数の混合ガスの既知の発熱量Qの値、第1の測温素子62からの電気信号SIの値、複数の発熱温度における発熱素子61からの電気信号SHの値、及び圧力センサ201からの電気信号SPの値に基づいて、第1の測温素子62からの電気信号SI、複数の発熱温度THにおける発熱素子61からの電気信号SH、及び圧力センサ201からの電気信号SPを独立変数とし、気体の発熱量Qを従属変数とする発熱量算出式を作成する式作成部302を備える。なお、サンプル混合ガスは、複数種類のガス成分を含む。 Here, the calorific value measurement system 20 according to the embodiment shown in FIG. 6 is disposed in the chamber 101, which is a container into which each of a plurality of sample mixed gases is injected, and the first shown in FIG. A microchip 8 including a temperature measuring element 62 and a heating element 61 to which a plurality of different voltages are applied to generate heat at a plurality of heating temperatures TH , and a pressure sensor 201 are provided. Furthermore, the calorific value measurement system 20 shown in FIG. 6 includes the value of the electric signal S I from the first temperature measuring element 62 depending on the temperature T I of each of the plurality of sample mixed gases and the plurality of exothermic temperatures T H. comprising the value of the electric signal S H from the heater element 61 in each, and the value of the electric signal S P output from the pressure sensor 201, a measurement unit 301 that measures. Furthermore, the calorific value measurement system 20, the known calorific value Q of a plurality of mixed gases, the value of the electric signal S I from the first temperature measuring element 62, electricity from the heat generating element 61 at a plurality of heat producing temperatures the value of the signal S H, and based on the value of the electric signal S P output from the pressure sensor 201, the electric signal S I from the first temperature measuring element 62, the electric signal from the heater element 61 at a plurality of heat producing temperatures T H S H, and the electric signal S P as independent variables from the pressure sensor 201, and a formula creation module 302 that creates a calorific value calculation formula to the calorific value Q of the gas as the dependent variable. The sample mixed gas includes a plurality of types of gas components.

マイクロチップ8は、断熱部材18を介してチャンバ101内に配置されている。チャンバ101には、サンプル混合ガスをチャンバ101に送るための流路102と、サンプル混合ガスをチャンバ101から外部に排出するための流路103と、が接続されている。   The microchip 8 is disposed in the chamber 101 via the heat insulating member 18. The chamber 101 is connected to a flow path 102 for sending the sample mixed gas to the chamber 101 and a flow path 103 for discharging the sample mixed gas from the chamber 101 to the outside.

チャンバ101内部の気体の圧力を測定する圧力センサ201としては、例えばゲージ圧センサ及び絶対圧センサが使用可能である。圧力センサ201は、感圧素子を備える。感圧素子としては、例えば半導体ダイアフラム型、静電容量型、弾性体ダイアフラム型、圧電型、及び振動型等が使用可能である。   For example, a gauge pressure sensor or an absolute pressure sensor can be used as the pressure sensor 201 for measuring the pressure of the gas inside the chamber 101. The pressure sensor 201 includes a pressure sensitive element. As the pressure sensitive element, for example, a semiconductor diaphragm type, a capacitance type, an elastic diaphragm type, a piezoelectric type, and a vibration type can be used.

それぞれ発熱量Qが異なる4種類のサンプル混合ガスが使用される場合、図7に示すように、第1のサンプル混合ガスを貯蔵する第1のガスボンベ50A、第2のサンプル混合ガスを貯蔵する第2のガスボンベ50B、第3のサンプル混合ガスを貯蔵する第3のガスボンベ50C、及び第4のサンプル混合ガスを貯蔵する第4のガスボンベ50Dが用意される。第1のガスボンベ50Aには、流路91Aを介して、第1のサンプル混合ガスの気圧を調節する第1のガス圧調節器31Aが接続されている。また、第1のガス圧調節器31Aには、流路92Aを介して、第1の流量制御装置32Aが接続されている。第1の流量制御装置32Aは、流路92A及び流路102を介して発熱量測定システム20に送られる第1のサンプル混合ガスの流量を制御する。   When four types of sample mixed gases with different calorific values Q are used, as shown in FIG. 7, the first gas cylinder 50A for storing the first sample mixed gas and the second sample mixed gas for storing the second sample mixed gas are used. A second gas cylinder 50B, a third gas cylinder 50C for storing a third sample mixed gas, and a fourth gas cylinder 50D for storing a fourth sample mixed gas are prepared. The first gas cylinder 50A is connected to a first gas pressure adjuster 31A that adjusts the pressure of the first sample mixed gas via a flow path 91A. In addition, a first flow rate control device 32A is connected to the first gas pressure regulator 31A via a flow path 92A. The first flow rate control device 32A controls the flow rate of the first sample mixed gas sent to the calorific value measurement system 20 via the flow path 92A and the flow path 102.

第2のガスボンベ50Bには、流路91Bを介して、第2のガス圧調節器31Bが接続されている。また、第2のガス圧調節器31Bには、流路92Bを介して、第2の流量制御装置32Bが接続されている。第2の流量制御装置32Bは、流路92B,93,102を介して発熱量測定システム20に送られる第2のサンプル混合ガスの流量を制御する。   A second gas pressure regulator 31B is connected to the second gas cylinder 50B via a flow path 91B. The second flow rate controller 32B is connected to the second gas pressure regulator 31B via a flow path 92B. The second flow rate control device 32B controls the flow rate of the second sample mixed gas sent to the calorific value measurement system 20 via the flow paths 92B, 93, 102.

第3のガスボンベ50Cには、流路91Cを介して、第3のガス圧調節器31Cが接続されている。また、第3のガス圧調節器31Cには、流路92Cを介して、第3の流量制御装置32Cが接続されている。第3の流量制御装置32Cは、流路92C,93,102を介して発熱量測定システム20に送られる第3のサンプル混合ガスの流量を制御する。   A third gas pressure regulator 31C is connected to the third gas cylinder 50C via a flow path 91C. In addition, a third flow rate control device 32C is connected to the third gas pressure regulator 31C via a flow path 92C. The third flow rate control device 32C controls the flow rate of the third sample mixed gas sent to the calorific value measurement system 20 via the flow paths 92C, 93, 102.

第4のガスボンベ50Dには、流路91Dを介して、第4のガス圧調節器31Dが接続されている。また、第4のガス圧調節器31Dには、流路92Dを介して、第4の流量制御装置32Dが接続されている。第4の流量制御装置32Dは、流路92D,93,102を介して発熱量測定システム20に送られる第4のサンプル混合ガスの流量を制御する。   A fourth gas pressure regulator 31D is connected to the fourth gas cylinder 50D via a flow path 91D. In addition, a fourth flow rate control device 32D is connected to the fourth gas pressure regulator 31D via a flow path 92D. The fourth flow rate control device 32D controls the flow rate of the fourth sample mixed gas sent to the calorific value measurement system 20 via the flow paths 92D, 93, and 102.

第1乃至第4のサンプル混合ガスのそれぞれは、例えば発熱量が異なる天然ガスである。第1乃至第4のサンプル混合ガスのそれぞれは、例えばメタン(CH4)、プロパン(C38)、窒素(N2)、及び二酸化炭素(CO2)の4種類のガス成分を異なる比で含む。 Each of the first to fourth sample mixed gases is natural gas having a different calorific value, for example. Each of the first to fourth sample mixed gases has different ratios of four types of gas components, for example, methane (CH 4 ), propane (C 3 H 8 ), nitrogen (N 2 ), and carbon dioxide (CO 2 ). Including.

図6に示すチャンバ101に第1のサンプル混合ガスが充填された後、圧力センサ201は、第1のサンプル混合ガスの圧力に依存する電気信号SPを出力する。図1及び図2に示すマイクロチップ8の第1の測温素子62は、第1のサンプル混合ガスの温度に依存する電気信号SIを出力する。発熱素子61は、図6に示す駆動回路303から駆動電力PH1,PH2,PH3を与えられる。駆動電力PH1,PH2,PH3を与えられた場合、第1のサンプル混合ガスに接する発熱素子61は、例えば、100℃の温度TH1、150℃の温度TH2、及び200℃の温度TH3で発熱し、発熱温度TH1における電気信号SH1(TH1)、発熱温度TH2における電気信号SH2(TH2)、及び発熱温度TH3における電気信号SH3(TH3)を出力する。 After the first sample mixed gas is filled into the chamber 101 shown in FIG. 6, the pressure sensor 201 outputs an electric signal S P which depends on the pressure of the first sample mixed gas. The first temperature measurement element 62 of the microchip 8 shown in Figs. 1 and 2 outputs an electric signal S I that is dependent on the temperature of the first sample mixed gas. The heating element 61 is supplied with drive powers P H1 , P H2 , and P H3 from the drive circuit 303 shown in FIG. When the driving powers P H1 , P H2 , and P H3 are given, the heating element 61 in contact with the first sample mixed gas has, for example, a temperature T H1 of 100 ° C., a temperature T H2 of 150 ° C., and a temperature of 200 ° C. generates heat T H3, the electric signal S H1 at the heat producing temperature T H1 (T H1), an electric signal S H2 at the heat producing temperature T H2 (T H2), and the electric signal S H3 at the heat producing temperature T H3 of (T H3) output To do.

チャンバ101から第1のサンプル混合ガスが除去された後、第2乃至第4のサンプル混合ガスがチャンバ101に順次充填される。第2のサンプル混合ガスがチャンバ101に充填された後、圧力センサ201は、第2のサンプル混合ガスの圧力に依存する電気信号SPを出力する。図1及び図2に示すマイクロチップ8の第1の測温素子62は、第2のサンプル混合ガスの温度に依存する電気信号SIを出力する。第2のサンプル混合ガスに接する発熱素子61は、発熱温度TH1における電気信号SH1(TH1)、発熱温度TH2における電気信号SH2(TH2)、及び発熱温度TH3における電気信号SH3(TH3)を出力する。 After the first sample mixed gas is removed from the chamber 101, the chamber 101 is sequentially filled with the second to fourth sample mixed gases. After the second sample mixed gas is filled into the chamber 101, the pressure sensor 201 outputs an electric signal S P which depends on the pressure of the second sample mixed gas. The first temperature measurement element 62 of the microchip 8 shown in Figs. 1 and 2 outputs an electric signal S I that is dependent on the temperature of the second sample mixed gas. Heater element 61 coming into contact with the second sample mixed gas, electric signals S H1 (T H1) at the heat producing temperature T H1, the electric signal S at the heat producing temperature T H2 H2 (T H2), and the electric signal S at the heat producing temperature T H3 H3 (T H3 ) is output.

第3のサンプル混合ガスが図6に示すチャンバ101に充填された後、圧力センサ201は、第3のサンプル混合ガスの圧力に依存する電気信号SPを出力する。図1及び図2に示すマイクロチップ8の第1の測温素子62は、第3のサンプル混合ガスの温度に依存する電気信号SIを出力する。第3のサンプル混合ガスに接する発熱素子61は、発熱温度TH1における電気信号SH1(TH1)、発熱温度TH2における電気信号SH2(TH2)、及び発熱温度TH3における電気信号SH3(TH3)を出力する。 After the third sample mixed gas is filled into the chamber 101 shown in FIG. 6, the pressure sensor 201 outputs an electric signal S P which depends on the pressure of the third sample mixed gas. The first temperature measurement element 62 of the microchip 8 shown in Figs. 1 and 2 outputs an electric signal S I that is dependent on the temperature of the third sample mixed gas. The third sample mixed in contact with the gas heating element 61, the electric signal S H1 at the heat producing temperature T H1 (T H1), an electric signal S H2 at the heat producing temperature T H2 (T H2), and an electrical signal at a heat producing temperature T H3 S H3 (T H3 ) is output.

第4のサンプル混合ガスが図6に示すチャンバ101に充填された後、圧力センサ201は、第4のサンプル混合ガスの圧力に依存する電気信号SPを出力する。図1及び図2に示すマイクロチップ8の第1の測温素子62は、第4のサンプル混合ガスの温度に依存する電気信号SIを出力する。第4のサンプル混合ガスに接する発熱素子61は、発熱温度TH1における電気信号SH1(TH1)、発熱温度TH2における電気信号SH2(TH2)、及び発熱温度TH3における電気信号SH3(TH3)を出力する。 After the fourth sample mixed gas is filled into the chamber 101 shown in FIG. 6, the pressure sensor 201 outputs an electric signal S P which depends on the pressure of the fourth sample mixed gas. The first temperature measurement element 62 of the microchip 8 shown in Figs. 1 and 2 outputs an electric signal S I that is dependent on the temperature of the fourth sample mixed gas. The heater element 61 in contact with the fourth sample mixed gas, an electrical signal at a heat producing temperature T the electrical signal at H1 S H1 (T H1), electric signals S H2 at the heat producing temperature T H2 (T H2), and heating temperature T H3 S H3 (T H3 ) is output.

なお、それぞれのサンプル混合ガスがn種類のガス成分を含む場合、マイクロチップ8の図1及び図2に示す発熱素子61は、少なくともn−1種類の異なる温度で発熱させられる。ただし、上述したように、メタン(CH4)及びプロパン(C38)以外のアルカン(Cj2j+2)は、メタン(CH4)及びプロパン(C38)の混合物とみなしうる。したがって、zを自然数として、n種類のガス成分からなるサンプル混合ガスが、ガス成分としてメタン(CH4)及びプロパン(C38)に加えてz種類のアルカン(Cj2j+2)を含む場合は、発熱素子61は、少なくともn−z−1種類の異なる温度で発熱させられる。 In addition, when each sample mixed gas contains n types of gas components, the heating element 61 shown in FIGS. 1 and 2 of the microchip 8 is caused to generate heat at at least n−1 types of different temperatures. However, as described above, methane (CH 4) and propane (C 3 H 8) other than the alkane (C j H 2j + 2) is regarded as a mixture of methane (CH 4) and propane (C 3 H 8) sell. Accordingly, a sample mixed gas composed of n kinds of gas components, where z is a natural number, is added to methane (CH 4 ) and propane (C 3 H 8 ) as gas components, and z kinds of alkanes (C j H 2j + 2 ). In the case where the heat generating element 61 is included, the heat generating element 61 generates heat at at least nz-1 different temperatures.

図6に示すように、マイクロチップ8及び圧力センサ201は、A/D変換回路304を介して測定部301を含む中央演算処理装置(CPU)300に接続されている。CPU300には、電気信号記憶装置401が接続されている。測定部301は、第1の測温素子62からの電気信号SIの値と、発熱素子61からの発熱温度TH1における電気信号SH1(TH1)、発熱温度TH2における電気信号SH2(TH2)、及び発熱温度TH3における電気信号SH3(TH3)の値と、圧力センサ201からの電気信号SPの値と、を測定し、測定値を電気信号記憶装置401に保存する。 As shown in FIG. 6, the microchip 8 and the pressure sensor 201 are connected to a central processing unit (CPU) 300 including a measurement unit 301 via an A / D conversion circuit 304. An electrical signal storage device 401 is connected to the CPU 300. Measuring unit 301, the value of the electric signal S I from the first temperature measuring element 62, the electric signal S H1 (T H1) at a heat producing temperature T H1, from the heater element 61, the electric signal S H2 at the heat producing temperature T H2, (T H2) storage, and a value of the electric signal S H3 (T H3) at the heat producing temperature T H3, and the value of the electric signal S P output from the pressure sensor 201, is measured, the measured value into an electric signal storage device 401 To do.

第1の測温素子62からの電気信号SIとは、第1の測温素子62の抵抗値RI、第1の測温素子62の通電電流II、第1の測温素子62にかかる電圧VI、及び第1の測温素子62に接続されたA/D変換回路304の出力信号ADIのいずれであってもよい。同様に、発熱素子61からの電気信号SHとは、発熱素子61の抵抗値RH、発熱素子61の通電電流IH、発熱素子61にかかる電圧VH、及び発熱素子61に接続されたA/D変換回路304の出力信号ADHのいずれであってもよい。また、圧力センサ201からの電気信号SPとは、例えば圧力センサ201が備える歪みゲージの抵抗値、歪みゲージの通電電流、歪みゲージにかかる電圧、及び歪みゲージに接続されたA/D変換回路304の出力信号のいずれであってもよい。 The electric signal S I from the first temperature measuring element 62 includes a resistance value R I of the first temperature measuring element 62, an energization current I I of the first temperature measuring element 62, and the first temperature measuring element 62. Either the voltage V I or the output signal AD I of the A / D conversion circuit 304 connected to the first temperature measuring element 62 may be used. Similarly, the electric signal S H from the heater element 61, the resistance value R H of the heater element 61, current I H flowing in the heater element 61, which is connected to the voltage V H and the heating element 61, according to the heating elements 61 it may be any of the output signal AD H of the a / D conversion circuit 304. Also, the electric signal S P output from the pressure sensor 201, for example, the resistance value of the strain gauge pressure sensor 201 is provided, current applied strain gauges, voltage across the strain gauge, and the strain gauges connected to the A / D converter circuit Any of the output signals 304 may be used.

CPU300に含まれる式作成部302は、例えば第1乃至第4のサンプル混合ガスのそれぞれの既知の発熱量Qの値と、第1の測温素子62からの電気信号SIの複数の測定値と、発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)の複数の測定値と、圧力センサ201からの電気信号SPの複数の測定値と、を収集する。さらに式作成部302は、収集した発熱量Q、電気信号SI、電気信号SH、及び電気信号SPの値に基づいて、多変量解析により、第1の測温素子62からの電気信号SI、発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)、及び圧力センサ201からの電気信号SPを独立変数とし、気体の発熱量Qを従属変数とする発熱量算出式を算出する。 Equation generating unit 302 included in the CPU300, for example each of the known calorific value Q of the first to fourth sample mixed gases, the plurality of measured values for the electric signals S I from the first temperature measurement element 62 And a plurality of measured values of the electric signals S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T H3 ) from the heating element 61 and a plurality of measured values of the electric signal S P from the pressure sensor 201. And collect. Wherein creating unit 302 further collected calorific value Q, the electric signals S I, electric signals S H, and based on the value of the electric signal S P, by multivariate analysis, the electrical signal from the first temperature measuring element 62 S I , electric signals S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T H3 ) from the heating element 61 and the electric signal S P from the pressure sensor 201 are independent variables, and the amount of heat generated by the gas A calorific value calculation formula with Q as a dependent variable is calculated.

なお、「多変量解析」とは、A. J Smola及びB. Scholkopf著の「A Tutorial on Support Vector Regression」(NeuroCOLT Technical Report (NC−TR−98−030)、1998年)に開示されているサポートベクトル回帰、重回帰分析、及び特開平5−141999号公報に開示されているファジィ数量化理論II類等を含む。   Note that “multivariate analysis” refers to A.I. J Smol and B.M. In support vector regression, multiple regression analysis, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-141999, disclosed in Scholkopf's “A Tutor on Support Vector Regression” (NeuroCOLt Technical Report (NC-TR-98-030), 1998). Includes the disclosed fuzzy quantification theory class II.

発熱量測定システム20は、CPU300に接続された式記憶装置402をさらに備える。式記憶装置402は、式作成部302が作成した発熱量算出式を保存する。さらにCPU300には、入力装置312及び出力装置313が接続される。入力装置312としては、例えばキーボード、及びマウス等のポインティングデバイス等が使用可能である。出力装置313には液晶ディスプレイ、モニタ等の画像表示装置、及びプリンタ等が使用可能である。   The calorific value measurement system 20 further includes a formula storage device 402 connected to the CPU 300. The formula storage device 402 stores the calorific value calculation formula created by the formula creation unit 302. Further, an input device 312 and an output device 313 are connected to the CPU 300. As the input device 312, for example, a keyboard and a pointing device such as a mouse can be used. As the output device 313, an image display device such as a liquid crystal display and a monitor, a printer, and the like can be used.

次に、図8に示すフローチャートを用いて、実施の形態に係る発熱量測定システム20を用いた、発熱量算出式の作成方法について説明する。なお、以下においては、チャンバ101内部の気圧を、大気圧、5kPa、20kPa、及び30kPaに設定して、発熱量算出式を作成する例を説明する。   Next, a method for creating a calorific value calculation formula using the calorific value measurement system 20 according to the embodiment will be described using the flowchart shown in FIG. In the following, an example of creating a calorific value calculation formula by setting the atmospheric pressure inside the chamber 101 to atmospheric pressure, 5 kPa, 20 kPa, and 30 kPa will be described.

(a)ステップS100で、図7に示す第2乃至第4の流量制御装置32B−32Dの弁を閉じたまま、第1の流量制御装置32Aの弁を開き、図6に示すチャンバ101内に第1のサンプル混合ガスを導入する。ステップS101で、チャンバ101内部の気圧を大気圧と同じにする。測定部301は、圧力センサ201からの気圧を表す電気信号SPの値を測定し、電気信号記憶装置401に保存する。また、測定部301は、第1のサンプル混合ガスに接する第1の測温素子62からの電気信号SIの値を測定し、電気信号記憶装置401に保存する。次に、駆動回路303は、図1及び図2に示す発熱素子61に駆動電力PH1を与え、発熱素子61を100℃で発熱させる。図6に示す測定部301は、100℃で発熱する発熱素子61からの電気信号SH1(TH1)の値を、電気信号記憶装置401に保存する。 (A) In step S100, with the valves of the second to fourth flow control devices 32B-32D shown in FIG. 7 closed, the valve of the first flow control device 32A is opened and placed in the chamber 101 shown in FIG. A first sample mixed gas is introduced. In step S101, the pressure inside the chamber 101 is made equal to the atmospheric pressure. Measuring portion 301 measures the value of the electric signal S P representing the pressure from the pressure sensor 201, the electric signal storage device 401. The measurement unit 301, the value of the electric signal S I from the first temperature measurement element 62 in contact with the first sample mixed gas is measured, in the electric signal storage device 401. Next, the drive circuit 303 applies drive power P H1 to the heating element 61 shown in FIGS. 1 and 2, and causes the heating element 61 to generate heat at 100 ° C. The measurement unit 301 shown in FIG. 6 stores the value of the electrical signal S H1 (T H1 ) from the heating element 61 that generates heat at 100 ° C. in the electrical signal storage device 401.

(b)ステップS102で、測定部301は、チャンバ101内部の気圧の切り替えが完了したか否か判定する。5kPa、20kPa、及び30kPaへの切り替えが完了していない場合には、ステップS101に戻り、チャンバ101内部の気圧を5kPaに設定する。さらに測定部301は、5kPaにおける圧力センサ201からの電気信号SPの値、第1の測温素子62からの電気信号SIの値、及び100℃で発熱する発熱素子61からの電気信号SH1(TH1)の値を、電気信号記憶装置401に保存する。 (B) In step S102, the measurement unit 301 determines whether switching of the atmospheric pressure inside the chamber 101 is completed. If switching to 5 kPa, 20 kPa, and 30 kPa has not been completed, the process returns to step S101, and the pressure inside the chamber 101 is set to 5 kPa. Further, the measuring unit 301 has a value of the electric signal S P from the pressure sensor 201 at 5 kPa, a value of the electric signal S I from the first temperature measuring element 62, and an electric signal S from the heating element 61 that generates heat at 100 ° C. The value of H1 (T H1 ) is stored in the electrical signal storage device 401.

(c)再びステップS102で、測定部301は、チャンバ101内部の気圧の切り替えが完了したか否か判定する。20kPa及び30kPaへの切り替えが完了していない場合には、ステップS101に戻り、チャンバ101内部の気圧を20kPaに設定する。さらに測定部301は、20kPaにおける圧力センサ201からの電気信号SPの値、第1の測温素子62からの電気信号SIの値、及び100℃で発熱する発熱素子61からの電気信号SH1(TH1)の値を、電気信号記憶装置401に保存する。 (C) In step S102 again, the measurement unit 301 determines whether or not the switching of the atmospheric pressure inside the chamber 101 has been completed. If switching to 20 kPa and 30 kPa has not been completed, the process returns to step S101, and the pressure inside the chamber 101 is set to 20 kPa. Further, the measurement unit 301 has a value of the electric signal S P from the pressure sensor 201 at 20 kPa, a value of the electric signal S I from the first temperature measuring element 62, and an electric signal S from the heating element 61 that generates heat at 100 ° C. The value of H1 (T H1 ) is stored in the electrical signal storage device 401.

(d)再びステップS102で、測定部301は、チャンバ101内部の気圧の切り替えが完了したか否か判定する。30kPaへの切り替えが完了していない場合には、ステップS101に戻り、チャンバ101内部の気圧を30kPaに設定する。さらに測定部301は、30kPaにおける圧力センサ201からの電気信号SPの値、第1の測温素子62からの電気信号SIの値、及び100℃で発熱する発熱素子61からの電気信号SH1(TH1)の値を、電気信号記憶装置401に保存する。 (D) In step S102 again, the measurement unit 301 determines whether or not the switching of the atmospheric pressure inside the chamber 101 has been completed. If the switching to 30 kPa has not been completed, the process returns to step S101, and the pressure inside the chamber 101 is set to 30 kPa. Further, the measuring unit 301 has a value of the electric signal S P from the pressure sensor 201 at 30 kPa, a value of the electric signal S I from the first temperature measuring element 62, and an electric signal S from the heating element 61 that generates heat at 100 ° C. The value of H1 (T H1 ) is stored in the electrical signal storage device 401.

(e)チャンバ101内部の気圧の切り替えが完了した場合には、ステップS102からステップS103に進む。ステップS103で、駆動回路303は、図1及び図2に示す発熱素子61の温度の切り替えが完了したか否か判定する。温度150℃及び温度200℃への切り替えが完了していない場合には、ステップS101に戻り、図6に示す駆動回路303は、図1及び図2に示す発熱素子61を150℃で発熱させる。その後、ステップS101及びステップS102のループを繰り返し、図6に示す測定部301は、大気圧、5kPa、20kPa、及び30kPaのそれぞれにおける圧力センサ201からの電気信号SPの値、第1の測温素子62からの電気信号SIの値、及び150℃で発熱する発熱素子61からの電気信号SH1(TH1)の値を、電気信号記憶装置401に保存する。 (E) When switching of the atmospheric pressure in the chamber 101 is completed, the process proceeds from step S102 to step S103. In step S103, the drive circuit 303 determines whether or not the temperature switching of the heating element 61 shown in FIGS. 1 and 2 has been completed. If the switching to the temperature of 150 ° C. and the temperature of 200 ° C. has not been completed, the process returns to step S101, and the drive circuit 303 shown in FIG. 6 causes the heating element 61 shown in FIGS. Thereafter, repeated loop of steps S101 and S102, the measurement unit 301 shown in FIG. 6, the atmospheric pressure, 5 kPa, 20 kPa, and the value of the electric signal S P output from the pressure sensor 201 at each of 30 kPa, the first temperature measurement The value of the electric signal S I from the element 62 and the value of the electric signal S H1 (T H1 ) from the heating element 61 that generates heat at 150 ° C. are stored in the electric signal storage device 401.

(f)再びステップS103で、駆動回路303は、図1及び図2に示す発熱素子61の温度の切り替えが完了したか否か判定する。温度200℃への切り替えが完了していない場合には、ステップS101に戻り、図6に示す駆動回路303は、図1及び図2に示す発熱素子61を200℃で発熱させる。その後、ステップS101及びステップS102のループを繰り返し、図6に示す測定部301は、大気圧、5kPa、20kPa、及び30kPaのそれぞれにおける圧力センサ201からの電気信号SPの値、第1の測温素子62からの電気信号SIの値、及び200℃で発熱する発熱素子61からの電気信号SH1(TH1)の値を、電気信号記憶装置401に保存する。 (F) In step S103 again, the drive circuit 303 determines whether or not the temperature switching of the heating element 61 shown in FIGS. 1 and 2 has been completed. If the switching to the temperature of 200 ° C. has not been completed, the process returns to step S101, and the drive circuit 303 shown in FIG. 6 causes the heating element 61 shown in FIGS. 1 and 2 to generate heat at 200 ° C. Thereafter, repeated loop of steps S101 and S102, the measurement unit 301 shown in FIG. 6, the atmospheric pressure, 5 kPa, 20 kPa, and the value of the electric signal S P output from the pressure sensor 201 at each of 30 kPa, the first temperature measurement The value of the electric signal S I from the element 62 and the value of the electric signal S H1 (T H1 ) from the heating element 61 that generates heat at 200 ° C. are stored in the electric signal storage device 401.

(g)発熱素子61の温度の切り替えが完了した場合には、ステップS103からステップS104に進む。ステップS104で、サンプル混合ガスの切り替えが完了したか否かを判定する。第2乃至第4のサンプル混合ガスへの切り替えが完了していない場合には、ステップS100に戻る。ステップS100で、図7に示す第1の流量制御装置32Aを閉じ、第3乃至第4の流量制御装置32C−32Dの弁を閉じたまま第2の流量制御装置32Bの弁を開き、図6に示すチャンバ101内に第2のサンプル混合ガスを導入する。   (G) When the switching of the temperature of the heating element 61 is completed, the process proceeds from step S103 to step S104. In step S104, it is determined whether switching of the sample mixed gas is completed. If switching to the second to fourth sample mixed gases has not been completed, the process returns to step S100. In step S100, the first flow control device 32A shown in FIG. 7 is closed, the valves of the second flow control device 32B are opened while the valves of the third to fourth flow control devices 32C-32D are closed, and FIG. A second sample mixed gas is introduced into the chamber 101 shown in FIG.

(h)第1のサンプル混合ガスと同様に、ステップS101乃至ステップS103のループが繰り返される。測定部301は、大気圧、5kPa、20kPa、及び30kPaのそれぞれにおける第2のサンプル混合ガスに接する圧力センサ201からの電気信号SPの値、第1の測温素子62からの電気信号SIの値、並びに100℃、150℃、及び200℃で発熱する発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)の値を、電気信号記憶装置401に保存する。 (H) Similar to the first sample mixed gas, the loop of step S101 to step S103 is repeated. The measurement unit 301 has the electric signal S P from the pressure sensor 201 in contact with the second sample mixed gas at atmospheric pressure, 5 kPa, 20 kPa, and 30 kPa, and the electric signal S I from the first temperature measuring element 62. And the values of the electric signals S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), and S H3 (T H3 ) from the heating element 61 that generates heat at 100 ° C., 150 ° C., and 200 ° C. are stored in the electric signal storage. Save to device 401.

(i)その後、ステップS100乃至ステップS104のループが繰り返される。これにより、測定部301は、大気圧、5kPa、20kPa、及び30kPaのそれぞれにおける第3のサンプル混合ガスに接する圧力センサ201からの電気信号SPの値、第1の測温素子62からの電気信号SIの値、並びに100℃、150℃、及び200℃で発熱する発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)の値を、電気信号記憶装置401に保存する。また、測定部301は、大気圧、5kPa、20kPa、及び30kPaのそれぞれにおける第4のサンプル混合ガスに接する圧力センサ201からの電気信号SPの値、第1の測温素子62からの電気信号SIの値、並びに100℃、150℃、及び200℃で発熱する発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)の値を、電気信号記憶装置401に保存する。 (I) Thereafter, the loop from step S100 to step S104 is repeated. Thus, the measurement unit 301, atmospheric pressure, 5 kPa, 20 kPa, and the value of the electric signal S P output from the pressure sensor 201 in contact with the third sample mixed gas at the respective 30 kPa, electricity from the first temperature measuring element 62 The value of the signal S I and the values of the electrical signals S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T H3 ) from the heating element 61 that generates heat at 100 ° C., 150 ° C., and 200 ° C. Save in the electrical signal storage device 401. The measurement unit 301, atmospheric pressure, 5 kPa, 20 kPa, and the value of the electric signal S P output from the pressure sensor 201 in contact with the fourth sample mixed gases at each of 30 kPa, the electrical signal from the first temperature measuring element 62 The values of S I and the electric signals S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T H3 ) from the heating elements 61 that generate heat at 100 ° C., 150 ° C. and 200 ° C. Save in the signal storage device 401.

(j)ステップS105で、入力装置312から式作成部302に、第1のサンプル混合ガスの既知の発熱量Qの値、第2のサンプル混合ガスの既知の発熱量Qの値、第3のサンプル混合ガスの既知の発熱量Qの値、及び第4のサンプル混合ガスの既知の発熱量Qの値を入力する。また、式作成部302は、電気信号記憶装置401から、第1の測温素子62からの電気信号SIの複数の測定値と、発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)の複数の測定値と、圧力センサ201からの電気信号SPの複数の測定値と、を読み出す。 (J) In step S105, the input device 312 sends the formula generating unit 302 the known calorific value Q of the first sample mixed gas, the known calorific value Q of the second sample mixed gas, A known calorific value Q of the sample mixed gas and a known calorific value Q of the fourth sample mixed gas are input. Further, the formula creating unit 302 receives a plurality of measured values of the electric signal S I from the first temperature measuring element 62 and the electric signals S H1 (T H1 ), S from the heating element 61 from the electric signal storage device 401. A plurality of measured values of H2 (T H2 ) and S H3 (T H3 ) and a plurality of measured values of the electric signal S P from the pressure sensor 201 are read out.

(k)ステップS106で、第1乃至第4のサンプル混合ガスの発熱量Qの値と、第1の測温素子62からの電気信号SIの複数の測定値と、発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)の複数の測定値と、圧力センサ201からの電気信号SPの複数の測定値と、に基づいて、式作成部302は、重回帰分析を行う。重回帰分析により、式作成部302は、第1の測温素子62からの電気信号SI、発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)、及び圧力センサ201からの電気信号SPを独立変数とし、気体の発熱量Qを従属変数とする発熱量算出式を算出する。その後、ステップS107で、式作成部302は作成した発熱量算出式を式記憶装置402に保存し、実施の形態に係る発熱量算出式の作成方法が終了する。 (K) in step S106, the calorific values Q of the first to fourth sample mixed gases, a plurality of measurements of the electric signal S I from the first temperature measuring element 62, electricity from the heating elements 61 signal S H1 (T H1), S H2 (T H2), and a plurality of measured values of S H3 (T H3), and a plurality of measured values of the electric signal S P output from the pressure sensor 201, based on the formula creation Unit 302 performs multiple regression analysis. Based on the multiple regression analysis, the formula creating unit 302 generates an electrical signal S I from the first temperature measuring element 62, and electrical signals S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T H3), and an electric signal S P as independent variables from the pressure sensor 201, calculates the heat generation amount Q of the gas calorific value calculation formula to dependent variable. Thereafter, in step S107, the formula creation unit 302 stores the created calorific value calculation formula in the formula storage device 402, and the calorific value calculation formula creation method according to the embodiment ends.

以上示したように、実施の形態に係る発熱量測定システム20を用いた発熱量算出式の作成方法によれば、気体の発熱量Qの値を一意に算出可能な発熱量算出式を作成することが可能となる。   As described above, according to the method for creating a calorific value calculation formula using the calorific value measurement system 20 according to the embodiment, a calorific value calculation formula capable of uniquely calculating the value of the calorific value Q of the gas is created. It becomes possible.

次に、発熱量Qが未知の測定対象混合ガスの発熱量Qの値を測定する際の、実施の形態に係る発熱量測定システム20の機能を説明する。例えば未知の体積率でメタン(CH4)、プロパン(C38)、窒素(N2)、及び二酸化炭素(CO2)等を含む、発熱量Qが未知の天然ガス等の測定対象混合ガスが、チャンバ101に導入される。圧力センサ201は、測定対象混合ガスの気圧に依存する電気信号SPを出力する。図1及び図2に示すマイクロチップ8の第1の測温素子62は、測定対象混合ガスの温度に依存する電気信号SIを出力する。次に、発熱素子61は、図6に示す駆動回路303から駆動電力PH1,PH2,PH3を与えられる。駆動電力PH1,PH2,PH3を与えられた場合、測定対象混合ガスに接する発熱素子61は、例えば、100℃の温度TH1、150℃の温度TH2、及び200℃の温度TH3で発熱し、発熱温度TH1における電気信号SH1(TH1)、発熱温度TH2における電気信号SH2(TH2)、及び発熱温度TH3における電気信号SH3(TH3)を出力する。 Next, the function of the calorific value measurement system 20 according to the embodiment when measuring the calorific value Q of the measurement target mixed gas whose calorific value Q is unknown will be described. For example, natural gas with unknown calorific value Q including methane (CH 4 ), propane (C 3 H 8 ), nitrogen (N 2 ), carbon dioxide (CO 2 ), etc. with unknown volume ratio. A gas is introduced into the chamber 101. The pressure sensor 201 outputs an electric signal S P which depends on the pressure of the measurement target mixed gas. The first temperature measuring element of the microchip 8 shown in Figs. 1 and 2 62 outputs an electric signal S I that is dependent on the temperature of the measurement target mixed gas. Next, the heating element 61 is supplied with driving powers P H1 , P H2 , and P H3 from the driving circuit 303 shown in FIG. When the driving powers P H1 , P H2 , and P H3 are given, the heating element 61 in contact with the measurement target mixed gas has, for example, a temperature T H1 of 100 ° C., a temperature T H2 of 150 ° C., and a temperature T H3 of 200 ° C. Generates an electric signal S H1 (T H1 ) at a heat generation temperature T H1, an electric signal S H2 (T H2 ) at a heat generation temperature T H2 , and an electric signal S H3 (T H3 ) at a heat generation temperature T H3 .

図6に示す測定部301は、測定対象混合ガスに接し、測定対象混合ガスの気圧に依存する圧力センサ201からの電気信号SPの値と、測定対象混合ガスの温度TIに依存する第1の測温素子62からの電気信号SIの値と、測定対象混合ガスに接する発熱素子61からの発熱温度TH1における電気信号SH1(TH1)、発熱温度TH2における電気信号SH2(TH2)、及び発熱温度TH3における電気信号SH3(TH3)の値と、を測定し、測定値を電気信号記憶装置401に保存する。 Measuring unit 301 shown in FIG. 6 is in contact with the measurement target mixed gas, the value of the electric signal S P output from the pressure sensor 201 which depends on the pressure of the measurement target mixed gas, the temperature dependent T I of the measurement target mixed gas the value of the electric signal S I from the first temperature measurement element 62, the electric signal S H1 at a heat producing temperature T H1, from the heater element 61 in contact with the measurement target mixed gas (T H1), an electric signal S H2 at the heat producing temperature T H2, (T H2 ) and the value of the electric signal S H3 (T H3 ) at the heat generation temperature T H3 are measured, and the measured value is stored in the electric signal storage device 401.

上述したように、式記憶装置402は、第1の測温素子62からの電気信号SIと、発熱温度TH1が100℃の発熱素子61からの電気信号SH1(TH1)と、発熱温度TH2が150℃の発熱素子61からの電気信号SH2(TH2)と、発熱温度TH3が200℃の発熱素子61からの電気信号SH3(TH3)と、圧力センサ201からの電気信号SPと、を独立変数とし、気体の発熱量Qを従属変数とする発熱量算出式を保存している。 As described above, the expression storage device 402 includes the electric signal S I from the first temperature measuring element 62, the electric signal S H1 (T H1 ) from the heating element 61 having a heat generation temperature T H1 of 100 ° C., and heat generation. An electrical signal S H2 (T H2 ) from the heating element 61 having a temperature T H2 of 150 ° C., an electrical signal S H3 (T H3 ) from the heating element 61 having a heating temperature T H3 of 200 ° C., and a pressure sensor 201 and an electric signal S P, and the independent variable, and saves the calorific value calculation formula to the calorific value Q of the gas as the dependent variable.

実施の形態に係る発熱量測定システム20は、さらに、発熱量算出部305を備える。発熱量算出部305は、発熱量算出式の第1の測温素子62からの電気信号SIの独立変数、発熱素子61からの電気信号SHの独立変数、及び圧力センサ201からの電気信号SPの独立変数に、第1の測温素子62からの電気信号SIの測定値、発熱素子61からの電気信号SHの測定値、及び圧力センサ201からの電気信号SPの測定値をそれぞれ代入し、チャンバ101に注入された測定対象混合ガスの発熱量Qの測定値を算出する。CPU300には、発熱量記憶装置403がさらに接続されている。発熱量記憶装置403は、発熱量算出部305が算出した測定対象混合ガスの発熱量Qの値を保存する。 The calorific value measurement system 20 according to the embodiment further includes a calorific value calculation unit 305. Calorific value calculation section 305, the independent variable of the electric signal S I from the first temperature measuring element 62 of the calorific value calculation formula, the independent variable of the electric signals S H from the heater element 61, and the electrical signal from the pressure sensor 201 the independent variables of S P, measured values of the electric signals S I from the first temperature measuring element 62, measured values of the electric signals S H from the heater element 61, and the measured value of the electric signal S P output from the pressure sensor 201 Are respectively substituted, and the measured value of the calorific value Q of the measurement target mixed gas injected into the chamber 101 is calculated. A heat generation amount storage device 403 is further connected to the CPU 300. The calorific value storage device 403 stores the calorific value Q of the measurement target mixed gas calculated by the calorific value calculation unit 305.

次に、図9に示すフローチャートを用いて、実施の形態に係る発熱量測定システム20を用いた、発熱量の測定方法について説明する。   Next, a calorific value measurement method using the calorific value measurement system 20 according to the embodiment will be described using the flowchart shown in FIG.

(a)ステップS200で、図6に示すチャンバ101内に測定対象混合ガスを導入する。ステップS201で、測定部301は、測定対象混合ガスに接する圧力センサ201からの電気信号SPの値を測定し、電気信号記憶装置401に保存する。また、測定部301は、測定対象混合ガスに接する第1の測温素子62からの電気信号SIの値を測定し、電気信号記憶装置401に保存する。次に、駆動回路303は、図1及び図2に示す発熱素子61に駆動電力PH1を与え、発熱素子61を100℃で発熱させる。図6に示す測定部301は、測定対象混合ガスに接し、100℃で発熱する発熱素子61からの電気信号SH1(TH1)の値を、電気信号記憶装置401に保存する。 (A) In step S200, the measurement target mixed gas is introduced into the chamber 101 shown in FIG. In step S201, the measurement unit 301, the value of the electric signal S P output from the pressure sensor 201 in contact with the measurement target mixed gas was measured, in the electric signal storage device 401. The measurement unit 301, the value of the electric signal S I from the first temperature measurement element 62 coming into contact with the measurement target mixed gas was measured, in the electric signal storage device 401. Next, the drive circuit 303 applies drive power P H1 to the heating element 61 shown in FIGS. 1 and 2, and causes the heating element 61 to generate heat at 100 ° C. The measurement unit 301 shown in FIG. 6 stores the value of the electrical signal S H1 (T H1 ) from the heating element 61 that contacts the measurement target mixed gas and generates heat at 100 ° C. in the electrical signal storage device 401.

(b)ステップS202で、図6に示す駆動回路303は、図1及び図2に示す発熱素子61の温度の切り替えが完了したか否か判定する。温度150℃及び温度200℃への切り替えが完了していない場合には、ステップS201に戻り、駆動回路303は、図1及び図2に示す発熱素子61に駆動電力PH2を与え、発熱素子61を150℃で発熱させる。図6に示す測定部301は、測定対象混合ガスに接し、150℃で発熱する発熱素子61からの電気信号SH2(TH2)の値を、電気信号記憶装置401に保存する。 (B) In step S202, the drive circuit 303 shown in FIG. 6 determines whether or not the temperature switching of the heating element 61 shown in FIGS. 1 and 2 is completed. When the switching to the temperature of 150 ° C. and the temperature of 200 ° C. is not completed, the process returns to step S201, and the drive circuit 303 gives the drive power P H2 to the heating element 61 shown in FIGS. Is heated at 150 ° C. 6 stores the value of the electric signal S H2 (T H2 ) from the heating element 61 that contacts the measurement target mixed gas and generates heat at 150 ° C. in the electric signal storage device 401.

(c)再びステップS202で、図1及び図2に示す発熱素子61の温度の切り替えが完了したか否か判定する。温度200℃への切り替えが完了していない場合には、ステップS201に戻り、駆動回路303は、図1及び図2に示す発熱素子61に駆動電力PH3を与え、発熱素子61を200℃で発熱させる。図6に示す測定部301は、測定対象混合ガスに接し、200℃で発熱する発熱素子61からの電気信号SH3(TH3)の値を、電気信号記憶装置401に保存する。 (C) In step S202 again, it is determined whether or not the temperature switching of the heating element 61 shown in FIGS. 1 and 2 has been completed. If the switching to the temperature of 200 ° C. has not been completed, the process returns to step S201, and the drive circuit 303 supplies the drive power P H3 to the heating element 61 shown in FIGS. Causes fever. 6 stores the value of the electrical signal S H3 (T H3 ) from the heating element 61 that is in contact with the measurement target mixed gas and generates heat at 200 ° C. in the electrical signal storage device 401.

(d)発熱素子61の温度の切り替えが完了した場合には、ステップS202からステップS203に進む。ステップS203で、図6に示す発熱量算出部305は、式記憶装置402から、第1の測温素子62からの電気信号SI、発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)、及び圧力センサ201からの電気信号SPを独立変数とし、気体の発熱量Qを従属変数とする発熱量算出式を読み出す。また、発熱量算出部305は、電気信号記憶装置401から、測定対象混合ガスに接する第1の測温素子62からの電気信号SIの測定値、測定対象混合ガスに接する発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)の測定値、及び圧力センサ201からの電気信号SPの測定値を読み出す。 (D) When the switching of the temperature of the heating element 61 is completed, the process proceeds from step S202 to step S203. In step S203, the calorific value calculation unit 305 shown in FIG. 6 receives the electric signal S I from the first temperature measuring element 62 and the electric signals S H1 (T H1 ), S from the first temperature measuring element 62 from the formula storage device 402. H2 (T H2), S H3 (T H3), and an electric signal S P as independent variables from the pressure sensor 201 reads the calorific value Q of the gas calorific value calculation formula to dependent variable. Further, the calorific value calculation unit 305 from the electric signal storage device 401, the measured value of the electric signal S I from the first temperature measurement element 62 coming into contact with the measurement target mixed gas, from the heater element 61 in contact with the measurement target mixed gas electric signals S H1 (T H1), S H2 (T H2), the measured value of S H3 (T H3), and reads out the measured value of the electric signal S P output from the pressure sensor 201.

(e)ステップS204で、発熱量算出部305は、発熱量算出式の電気信号SI、電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)、及び電気信号SPの独立変数に、それぞれ測定値を代入し、測定対象混合ガスの発熱量Qの値を算出する。その後、発熱量算出部305は、算出した発熱量Qの値を発熱量記憶装置403に保存し、実施の形態に係る発熱量の測定方法を終了する。 (E) In step S204, the calorific value calculation unit 305 determines the electric signal S I , electric signals S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T H3 ), and electric signals of the calorific value calculation formula. the independent variables of S P, respectively substitutes the measured values to calculate the calorific value Q of the measurement target mixed gas. Thereafter, the calorific value calculation unit 305 stores the calculated calorific value Q in the calorific value storage device 403, and ends the calorific value measurement method according to the embodiment.

以上説明した実施の形態に係る発熱量算出方法によれば、高価なガスクロマトグラフィ装置や音速センサを用いることなく、測定対象混合ガスに接する第1の測温素子62からの電気信号SIの値と、測定対象混合ガスに接する発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3)の値と、測定対象混合ガスに接する圧力センサ201からの電気信号SPの値と、から、測定対象混合ガスの発熱量Qの値を測定することが可能となる。 According to the calorific value calculation method according to the embodiment described above, the value of the electric signal S I from the first temperature measuring element 62 in contact with the measurement target mixed gas without using an expensive gas chromatography device or sound velocity sensor. And the values of the electrical signals S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T H3 ) from the heating element 61 in contact with the measurement target mixed gas, and the pressure sensor 201 in contact with the measurement target mixed gas. the value of the electric signal S P from, it is possible to measure the calorific value Q of the measurement target mixed gas.

天然ガスは、産出ガス田によって炭化水素の成分比率が異なる。また、天然ガスには、炭化水素の他に、窒素(N2)や炭酸ガス(CO2)等が含まれる。そのため、産出ガス田によって、天然ガスに含まれるガス成分の体積率は異なり、ガス成分の種類が既知であっても、天然ガスの発熱量Qは未知であることが多い。また、同一のガス田由来の天然ガスであっても、発熱量Qが常に一定であるとは限らず、採取時期によって変化することもある。 Natural gas has a different component ratio of hydrocarbons depending on the gas field. Natural gas includes nitrogen (N 2 ), carbon dioxide (CO 2 ) and the like in addition to hydrocarbons. Therefore, the volume ratio of the gas component contained in the natural gas differs depending on the output gas field, and the calorific value Q of the natural gas is often unknown even if the type of the gas component is known. Moreover, even if it is the natural gas derived from the same gas field, the calorific value Q is not always constant and may change depending on the sampling time.

従来、天然ガスの使用料金を徴収する際には、天然ガスの使用発熱量Qでなく、使用体積に応じて課金する方法がとられている。しかし、天然ガスは由来する産出ガス田によって発熱量Qが異なるため、使用体積に課金するのは公平でない。これに対し、実施の形態に係る発熱量算出方法を用いれば、ガス成分の種類が既知であるが、ガス成分の体積率が未知であるために発熱量Qが未知の天然ガス等の混合ガスの発熱量Qを、簡易に算出することが可能となる。そのため、公平な使用料金を徴収することが可能となる。   Conventionally, when collecting the usage fee of natural gas, a method has been used in which charging is performed according to the volume used, not the calorific value Q used for natural gas. However, since the calorific value Q differs depending on the production gas field from which natural gas is derived, it is not fair to charge the volume used. On the other hand, if the calorific value calculation method according to the embodiment is used, the type of gas component is known, but since the volume ratio of the gas component is unknown, the mixed gas such as natural gas whose calorific value Q is unknown The calorific value Q can be easily calculated. Therefore, it becomes possible to collect a fair usage fee.

また、発熱量Qを測定したガスを大気に捨てることは、環境上、好ましくない。したがって、ガスパイプ中のガスの発熱量Qを測定する際には、ガスパイプそのものに発熱量測定システムを設けるか、ガスパイプのバイパス経路に発熱量測定システムを設け、発熱量Qを測定したガスをガスパイプに戻すことが好ましい。この際、ガスパイプ中の気圧は、顕著に変動しうる。これに対し、実施の形態に係る発熱量測定システムによれば、発熱量算出式に圧力の独立変数を含めたことにより、気圧の変動による発熱量の算出誤差を抑制することが可能となる。なお、発熱量算出式の作成と、発熱量の測定と、の両方に同じ圧力センサ201を用いる場合は、圧力センサ201は補正回路を有していなくともよい。これは、必ずしも、正確な圧力の値を測定しなくとも、圧力に応じて圧力センサ201が出力する電気信号さえ測定できれば、気圧の変動による発熱量の算出誤差を抑制することが可能なためである。   Also, it is not environmentally preferable to throw away the gas whose calorific value Q is measured into the atmosphere. Therefore, when measuring the calorific value Q of the gas in the gas pipe, a calorific value measuring system is provided in the gas pipe itself, or a calorific value measuring system is provided in the bypass path of the gas pipe, and the gas whose calorific value Q is measured is supplied to the gas pipe. It is preferable to return. At this time, the atmospheric pressure in the gas pipe can vary significantly. On the other hand, according to the calorific value measurement system according to the embodiment, by including an independent variable of pressure in the calorific value calculation formula, it becomes possible to suppress a calorific value calculation error due to fluctuations in atmospheric pressure. When the same pressure sensor 201 is used for both the creation of the calorific value calculation formula and the measurement of the calorific value, the pressure sensor 201 does not need to have a correction circuit. This is because it is possible to suppress the calculation error of the calorific value due to the fluctuation of the atmospheric pressure, as long as the electrical signal output from the pressure sensor 201 can be measured according to the pressure without necessarily measuring the accurate pressure value. is there.

(その他の実施の形態)
上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、実施の形態では、図6に示す式記憶装置402が、圧力センサ201からの電気信号、図1に示す第1の測温素子62からの電気信号及び複数の発熱温度における発熱素子61からの電気信号を独立変数とし、発熱量Qを従属変数とする発熱量算出式を保存する例を説明した。
(Other embodiments)
As described above, the present invention has been described according to the embodiment. However, it should not be understood that the description and drawings constituting a part of this disclosure limit the present invention. From this disclosure, various alternative embodiments, embodiments, and operation techniques should be apparent to those skilled in the art. For example, in the embodiment, the expression storage device 402 shown in FIG. 6 includes the electric signal from the pressure sensor 201, the electric signal from the first temperature measuring element 62 shown in FIG. 1, and the heating element 61 at a plurality of heating temperatures. An example in which the calorific value calculation formula with the calorific value Q as a dependent variable is stored as an independent variable has been described.

これに対し、上記(23)式で説明したように、気体の発熱量Qは、気体の圧力Psと、発熱素子61の温度がそれぞれTH1,TH2,TH3である場合の気体の放熱係数MI1(TH1),MI2(TH2),MI3(TH3)と、を変数とする方程式でも与えられる。よって、図6に示す式記憶装置402は、気体の圧力、及び発熱素子61の複数の発熱温度における気体の放熱係数を独立変数とし、発熱量Qを従属変数とする発熱量算出式を保存してもよい。この場合、測定部301は、チャンバ101に注入された気体の放熱係数の測定値を、発熱素子61を複数の発熱温度に発熱させて測定する。なお、気体の放熱係数をマイクロチップ8を用いて測定可能であることは、上記(9)式で説明したとおりである。発熱量算出部305は、式記憶装置402に保存されている発熱量算出式の独立変数に、気体の圧力の測定値、及び気体の放熱係数の測定値を代入して、気体の発熱量Qの測定値を算出する。 On the other hand, as described in the above equation (23), the calorific value Q of the gas is the heat radiation of the gas when the gas pressure Ps and the temperature of the heating element 61 are T H1 , T H2 , and T H3 , respectively. An equation having variables M I1 (T H1 ), M I2 (T H2 ), and M I3 (T H3 ) as variables is also given. Therefore, the formula storage device 402 shown in FIG. 6 stores a calorific value calculation formula having the gas pressure and the heat dissipation coefficient of the gas at a plurality of heat generation temperatures of the heating element 61 as independent variables and the calorific value Q as a dependent variable. May be. In this case, the measurement unit 301 measures the measured value of the heat dissipation coefficient of the gas injected into the chamber 101 by causing the heating element 61 to generate heat at a plurality of heating temperatures. The fact that the heat dissipation coefficient of gas can be measured using the microchip 8 is as described in the above equation (9). The calorific value calculation unit 305 substitutes the measured value of the gas pressure and the measured value of the gas heat dissipation coefficient into the independent variable of the calorific value calculation formula stored in the formula storage device 402, and generates the calorific value Q of the gas. Calculate the measured value.

次に、図10は、発熱抵抗体に2mA、2.5mA、及び3mAの電流を流した際の、混合ガスの放熱係数と、熱伝導率と、の関係を示す。図10に示すように、混合ガスの放熱係数と、熱伝導率と、は一般に比例関係にある。したがって、図6に示す式記憶装置402は、気体の圧力、及び発熱素子61の複数の発熱温度における気体の熱伝導率を独立変数とし、発熱量Qを従属変数とする発熱量算出式を保存してもよい。この場合、測定部301は、チャンバ101に注入された気体の熱伝導率の測定値を、発熱素子61を複数の発熱温度に発熱させて測定する。発熱量算出部305は、式記憶装置402に保存されている発熱量算出式の独立変数に、気体の圧力の測定値、及び気体の熱伝導率の測定値を代入して、気体の発熱量Qの測定値を算出する。   Next, FIG. 10 shows the relationship between the heat dissipation coefficient of the mixed gas and the thermal conductivity when currents of 2 mA, 2.5 mA, and 3 mA are passed through the heating resistor. As shown in FIG. 10, the heat dissipation coefficient of the mixed gas and the thermal conductivity are generally in a proportional relationship. Therefore, the formula storage device 402 shown in FIG. 6 stores a calorific value calculation formula having the gas pressure and the thermal conductivity of the gas at a plurality of heating temperatures of the heating element 61 as independent variables and the calorific value Q as a dependent variable. May be. In this case, the measurement unit 301 measures the measured value of the thermal conductivity of the gas injected into the chamber 101 by causing the heating element 61 to generate heat at a plurality of heating temperatures. The calorific value calculation unit 305 substitutes the measured value of the gas pressure and the measured value of the thermal conductivity of the gas into the independent variables of the calorific value calculation formula stored in the formula storage device 402, and generates the calorific value of the gas. Calculate the measured value of Q.

この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。   Thus, it should be understood that the present invention includes various embodiments and the like not described herein.

(実施例)
まず、発熱量Qの値が既知の12種類のサンプル混合ガスを用意した。12種類のサンプル混合ガスのそれぞれは、ガス成分としてメタン(CH4)、エタン(C26)、プロパン(C38)、ブタン(C410)、窒素(N2)、及び二酸化炭素(CO2)のいずれか又は全部を含んでいた。例えば、あるサンプル混合ガスは、90vol%のメタン、3vol%のエタン、1vol%のプロパン、1vol%のブタン、4vol%の窒素、及び1vol%の二酸化炭素を含んでいた。また、あるサンプル混合ガスは、85vol%のメタン、10vol%のエタン、3vol%のプロパン、及び2vol%のブタンを含み、窒素及び二酸化炭素を含んでいなかった。また、あるサンプル混合ガスは、85vol%のメタン、8vol%のエタン、2vol%のプロパン、1vol%のブタン、2vol%の窒素、及び2vol%の二酸化炭素を含んでいた。
(Example)
First, 12 types of sample mixed gases with known calorific values Q were prepared. Each of the twelve sample mixed gases includes methane (CH 4 ), ethane (C 2 H 6 ), propane (C 3 H 8 ), butane (C 4 H 10 ), nitrogen (N 2 ), and It contained any or all of carbon dioxide (CO 2 ). For example, one sample gas mixture contained 90 vol% methane, 3 vol% ethane, 1 vol% propane, 1 vol% butane, 4 vol% nitrogen, and 1 vol% carbon dioxide. Also, some sample gas mixtures contained 85 vol% methane, 10 vol% ethane, 3 vol% propane, and 2 vol% butane, and did not contain nitrogen and carbon dioxide. One sample gas mixture also contained 85 vol% methane, 8 vol% ethane, 2 vol% propane, 1 vol% butane, 2 vol% nitrogen, and 2 vol% carbon dioxide.

次に、12種類のサンプル混合ガスのそれぞれを用いて、圧力センサからの電気信号SPの複数の測定値と、4つの異なる電圧を加えられた発熱素子からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3),SH4(TH4)の複数の測定値と、を取得した。その後、12種類のサンプル混合ガスの既知の発熱量Qの値と、圧力センサからの電気信号SPの複数の測定値と、発熱素子61からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3),SH4(TH4)の複数の測定値と、に基づいて、サポートベクトル回帰により、圧力センサからの電気信号SP、及び発熱素子からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3),SH4(TH4)を独立変数とし、発熱量Qを従属変数とする、発熱量Qを算出するための方程式を作成した。 Next, using each of the 12 kinds of sample mixed gases, a plurality of measured values of the electric signal S P from the pressure sensor and the electric signal S H1 (T H1 ) from the heating element to which four different voltages are applied. , S H2 (T H2 ), S H3 (T H3 ), and a plurality of measured values of S H4 (T H4 ). Thereafter, the known calorific value Q of the 12 kinds of sample mixed gas, a plurality of measured values of the electric signal S P from the pressure sensor, and the electric signals S H1 (T H1 ), S H2 ( Based on a plurality of measured values of T H2 ), S H3 (T H3 ), and S H4 (T H4 ), an electric signal S P from the pressure sensor and an electric signal S from the heating element are obtained by support vector regression. An equation for calculating the calorific value Q, where H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S H3 (T H3 ), and S H4 (T H4 ) are independent variables and the calorific value Q is a dependent variable, Created.

作成された方程式を用いて、12種類のサンプル混合ガスのそれぞれの発熱量Qを算出し、真の発熱量Qと比較したところ、図11に示すように、誤差は±1%以内であった。   Using the created equation, the calorific value Q of each of the 12 sample mixed gases was calculated and compared with the true calorific value Q. As shown in FIG. 11, the error was within ± 1%. .

(比較例)
実施例と同じ12種類のサンプル混合ガスを用いて、圧力センサからの電気信号SPの独立変数を含まず、発熱素子からの電気信号SH1(TH1),SH2(TH2),SH3(TH3),SH4(TH4)を独立変数とし、発熱量Qを従属変数とする、発熱量Qを算出するための方程式を作成した。作成された圧力センサからの電気信号SPの独立変数を含まない方程式を用いて、12種類のサンプル混合ガスのそれぞれの発熱量Qを算出し、真の発熱量Qと比較したところ、図12に示すように、誤差は±2%以内であった。
(Comparative example)
Using the same 12 kinds of sample mixed gases as in the embodiment, the electric signals S H1 (T H1 ), S H2 (T H2 ), S from the heating elements are not included without including the independent variable of the electric signal S P from the pressure sensor. An equation for calculating the calorific value Q was created, with H3 (T H3 ) and S H4 (T H4 ) as independent variables and the calorific value Q as a dependent variable. When the calorific value Q of each of the 12 sample mixed gases is calculated using an equation that does not include the independent variable of the electrical signal S P from the created pressure sensor, and compared with the true calorific value Q, FIG. As shown, the error was within ± 2%.

8 マイクロチップ
18 断熱部材
20 発熱量測定システム
31A,31B,31C,31D ガス圧調節器
32A,32B,32C,32D 流量制御装置
50A,50B,50C,50D ガスボンベ
60 基板
61 発熱素子
62 第1の測温素子
63 第2の測温素子
64 保温素子
65 絶縁膜
66 キャビティ
91A,91B,91C,91D,92A,92B,92C,92D,93,102,103 流路
101 チャンバ
161,162,163,164,165,261,264,265 抵抗素子
170,270 オペアンプ
201 圧力センサ
301 測定部
302 式作成部
303 駆動回路
304 A/D変換回路
305 発熱量算出部
312 入力装置
313 出力装置
401 電気信号記憶装置
402 式記憶装置
403 発熱量記憶装置
8 Microchip 18 Heat insulation member 20 Heat generation amount measurement system 31A, 31B, 31C, 31D Gas pressure regulators 32A, 32B, 32C, 32D Flow control devices 50A, 50B, 50C, 50D Gas cylinder 60 Substrate 61 Heating element 62 First measurement Temperature element 63 Second temperature measuring element 64 Thermal insulation element 65 Insulating film 66 Cavity 91A, 91B, 91C, 91D, 92A, 92B, 92C, 92D, 93, 102, 103 Channel 101 Chamber 161, 162, 163, 164 165, 261, 264, 265 Resistance element 170, 270 Operational amplifier 201 Pressure sensor 301 Measurement unit 302 Formula creation unit 303 Drive circuit 304 A / D conversion circuit 305 Heat generation amount calculation unit 312 Input device 313 Output device 401 Electric signal storage device 402 Formula Storage device 403 Heat generation amount storage device

本発明の態様によれば、(a)複数の異なる電圧を加えられる発熱素子、圧力センサ、及び測温素子が設けられ、気体が注入される容器と、(b)複数の異なる電圧をそれぞれ加えられた場合の発熱素子からの電気信号、圧力センサからの電気信号、及び容器に注入された気体の温度に依存する測温素子からの電気信号を独立変数とし、発熱量を従属変数とする発熱量算出式を保存する式記憶装置と、(c)発熱量算出式の独立変数に、発熱素子圧力センサ、及び測温素子からの電気信号の測定値を代入して、容器に注入された気体の発熱量の測定値を算出する発熱量算出部と、を備える、発熱量測定システムが提供される。 According to the aspect of the present invention, (a) a heating element to which a plurality of different voltages can be applied, a pressure sensor , and a temperature measuring element are provided , and a container into which gas is injected, and (b) a plurality of different voltages are respectively added. The heat signal with the heat generation amount as a dependent variable, with the electrical signal from the heating element, the electrical signal from the pressure sensor, and the electrical signal from the temperature measuring element depending on the temperature of the gas injected into the container as independent variables A formula storage device that stores the quantity calculation formula, and (c) the measured value of the electric signal from the heating element , pressure sensor , and temperature measurement element is substituted into the independent variable of the calorific value calculation formula , and injected into the container A calorific value measuring system is provided, comprising: a calorific value calculating unit that calculates a measured value of the calorific value of the gas.

また、本発明の態様によれば、(a)複数の異なる電圧を加えられる発熱素子、圧力センサ、及び測温素子が設けられた容器に気体を注入することと、(b)複数の異なる電圧をそれぞれ加えられた場合の発熱素子からの電気信号、圧力センサ、及び容器に注入された気体の温度に依存する測温素子からの電気信号からの電気信号を独立変数とし、発熱量を従属変数とする発熱量算出式を用意することと、(c)発熱量算出式の独立変数に、発熱素子圧力センサ、及び測温素子からの電気信号の測定値を代入して、容器に注入された気体の発熱量の測定値を算出することと、を含む、発熱量の測定方法が提供される。 According to the aspect of the present invention, (a) injecting gas into a container provided with a heating element, a pressure sensor , and a temperature measuring element to which a plurality of different voltages can be applied ; and (b) a plurality of different voltages. The electrical signal from the heating element, the pressure sensor , and the electrical signal from the temperature measuring element depending on the temperature of the gas injected into the container are set as independent variables, and the amount of generated heat is a dependent variable. (C) Substituting the measured values of the electrical signals from the heating element , pressure sensor , and temperature measuring element into the independent variables of the heating value calculation formula , and injecting them into the container And a calorific value measurement method comprising: calculating a calorific value measurement value of the gas.

また、本発明の態様によれば、(a)気体の放熱係数又は熱伝導率の測定値と、気体の圧力の測定値と、気体の温度の測定値と、を測定する測定部と、(b)放熱係数又は熱伝導率と、圧力と、温度と、発熱量と、の相関関係を保存する記憶装置と、(c)気体の放熱係数又は熱伝導率の測定値と、気体の圧力の測定値と、気体の温度の測定値と、相関関係と、に基づいて、気体の発熱量の測定値を算出する発熱量算出部と、を備える、発熱量測定システムが提供される。 Moreover, according to the aspect of the present invention, (a) a measurement unit that measures a measured value of a heat dissipation coefficient or thermal conductivity of a gas, a measured value of a gas pressure, and a measured value of a gas temperature ; b) a storage device that stores the correlation between the heat dissipation coefficient or thermal conductivity, pressure, temperature, and calorific value; (c) the measured value of the gas heat dissipation coefficient or thermal conductivity, and the gas pressure. A calorific value measurement system is provided that includes a calorific value calculation unit that calculates a measured value of the calorific value of gas based on the measured value, the measured value of gas temperature, and the correlation.

また、本発明の態様によれば、(a)気体の放熱係数又は熱伝導率の測定値と、気体の圧力の測定値と、気体の温度の測定値と、を測定することと、(b)放熱係数又は熱伝導率と、圧力と、温度と、発熱量と、の相関関係を用意することと、(c)気体の放熱係数又は熱伝導率の測定値と、気体の圧力の測定値と、気体の温度の測定値と、相関関係と、に基づいて、気体の発熱量の測定値を算出することと、を含む、発熱量の測定方法が提供される。 Further, according to the aspect of the present invention, (a) measuring a measured value of a heat dissipation coefficient or thermal conductivity of a gas, a measured value of a gas pressure, and a measured value of a gas temperature; ) Prepare correlation between heat dissipation coefficient or thermal conductivity, pressure, temperature and calorific value, (c) measured value of gas heat dissipation coefficient or thermal conductivity, measured value of gas pressure And calculating a measurement value of the calorific value of the gas based on the measured value of the gas temperature and the correlation.

Claims (24)

複数の異なる電圧を加えられる発熱素子、及び圧力センサが設けられ、気体が注入される容器と、
前記複数の異なる電圧をそれぞれ加えられた場合の前記発熱素子からの電気信号、及び前記圧力センサからの電気信号を独立変数とし、発熱量を従属変数とする発熱量算出式を保存する記憶装置と、
前記発熱量算出式の独立変数に、前記発熱素子及び前記圧力センサからの電気信号の測定値を代入して、前記容器に注入された気体の発熱量の測定値を算出する発熱量算出部と、
を備える、発熱量測定システム。
A heating element to which a plurality of different voltages can be applied, and a pressure sensor, and a container into which gas is injected,
A storage device for storing a calorific value calculation formula having the electric signal from the heating element and the electric signal from the pressure sensor when the plurality of different voltages are applied as independent variables and the calorific value as a dependent variable; ,
A calorific value calculation unit that calculates a measured value of the calorific value of the gas injected into the container by substituting the measured value of the electrical signal from the heating element and the pressure sensor into the independent variable of the calorific value calculation formula; ,
A calorific value measuring system.
前記容器に測温素子がさらに設けられており、
前記発熱量算出式が、前記容器に注入された気体の温度に依存する前記測温素子からの電気信号を独立変数としてさらに含み、
前記発熱量算出部が、前記発熱量算出式の独立変数に、前記測温素子からの電気信号の測定値をさらに代入して、前記容器に注入された気体の発熱量の測定値を算出する、
請求項1に記載の発熱量測定システム。
The container is further provided with a temperature measuring element,
The calorific value calculation formula further includes, as an independent variable, an electrical signal from the temperature measuring element that depends on the temperature of the gas injected into the container,
The calorific value calculation unit further substitutes the measured value of the electrical signal from the temperature measuring element into the independent variable of the calorific value calculation formula to calculate the measured value of the calorific value of the gas injected into the container. ,
The calorific value measurement system according to claim 1.
前記複数の異なる電圧の数が、少なくとも、前記気体に含まれる複数種類のガス成分の数から1を引いた数である、請求項1又は2に記載の発熱量測定システム。   The calorific value measurement system according to claim 1 or 2, wherein the number of the plurality of different voltages is at least one obtained by subtracting 1 from the number of the plurality of types of gas components contained in the gas. 複数種類のガス成分を含む複数のサンプル混合ガスの発熱量の値と、前記複数のサンプル混合ガスのそれぞれに接する前記発熱素子及び前記圧力センサからの電気信号の値とに基づいて、前記発熱量算出式が作成された、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の発熱量測定システム。   The calorific value based on the value of the calorific value of the plurality of sample mixed gases containing plural kinds of gas components and the value of the electric signal from the heating element and the pressure sensor in contact with each of the plural sample mixed gases The calorific value measurement system according to any one of claims 1 to 3, wherein a calculation formula is created. 前記発熱量算出式を作成するために、サポートベクトル回帰が用いられた、請求項4に記載の発熱量測定システム。   The calorific value measurement system according to claim 4, wherein support vector regression is used to create the calorific value calculation formula. 前記複数のサンプル混合ガスのそれぞれが天然ガスである、請求項4又は5に記載の発熱量測定システム。   The calorific value measurement system according to claim 4 or 5, wherein each of the plurality of sample mixed gases is natural gas. 前記気体が天然ガスである、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の発熱量測定システム。   The calorific value measurement system according to any one of claims 1 to 6, wherein the gas is natural gas. 複数の異なる電圧を加えられる発熱素子、及び圧力センサが設けられた容器に気体を注入することと、
前記複数の異なる電圧をそれぞれ加えられた場合の前記発熱素子からの電気信号、及び前記圧力センサからの電気信号を独立変数とし、発熱量を従属変数とする発熱量算出式を用意することと、
前記発熱量算出式の独立変数に、前記発熱素子及び前記圧力センサからの電気信号の測定値を代入して、前記容器に注入された気体の発熱量の測定値を算出することと、
を含む、発熱量の測定方法。
Injecting gas into a container provided with a heat generating element to which a plurality of different voltages can be applied, and a pressure sensor;
Preparing a calorific value calculation formula with the electric signal from the heating element and the electric signal from the pressure sensor when the plurality of different voltages are respectively applied as independent variables and the calorific value as a dependent variable;
Substituting the measured value of the electrical signal from the heating element and the pressure sensor into the independent variable of the calorific value calculation formula, calculating the measured value of the calorific value of the gas injected into the container;
Method for measuring calorific value, including
前記容器に測温素子がさらに設けられており、
前記発熱量算出式が、前記容器に注入された気体の温度に依存する前記測温素子からの電気信号を独立変数としてさらに含み、
前記発熱量の測定値を算出することにおいて、前記発熱量算出式の独立変数に、前記測温素子からの電気信号の測定値をさらに代入する、
請求項8に記載の発熱量の測定方法。
The container is further provided with a temperature measuring element,
The calorific value calculation formula further includes, as an independent variable, an electrical signal from the temperature measuring element that depends on the temperature of the gas injected into the container,
In calculating the calorific value measurement value, the measured value of the electrical signal from the temperature measuring element is further substituted into the independent variable of the calorific value calculation formula,
The calorific value measuring method according to claim 8.
前記複数の異なる電圧の数が、少なくとも、前記気体に含まれる複数種類のガス成分の数から1を引いた数である、請求項8又は9に記載の発熱量の測定方法。   The calorific value measurement method according to claim 8 or 9, wherein the number of the plurality of different voltages is at least one obtained by subtracting 1 from the number of the plurality of types of gas components contained in the gas. 複数種類のガス成分を含む複数のサンプル混合ガスの発熱量の値と、前記複数のサンプル混合ガスのそれぞれに接する前記発熱素子及び前記圧力センサからの電気信号の値とに基づいて、前記発熱量算出式が作成された、請求項8乃至10のいずれか1項に記載の発熱量の測定方法。   The calorific value based on the value of the calorific value of the plurality of sample mixed gases containing plural kinds of gas components and the value of the electric signal from the heating element and the pressure sensor in contact with each of the plural sample mixed gases The calorific value measurement method according to any one of claims 8 to 10, wherein a calculation formula is created. 前記発熱量算出式を作成するために、サポートベクトル回帰が用いられた、請求項11に記載の発熱量の測定方法。   The calorific value measurement method according to claim 11, wherein support vector regression is used to create the calorific value calculation formula. 前記複数のサンプル混合ガスのそれぞれが天然ガスである、請求項11又は12に記載の発熱量の測定方法。   The calorific value measurement method according to claim 11 or 12, wherein each of the plurality of sample mixed gases is natural gas. 前記気体が天然ガスである、請求項8乃至13のいずれか1項に記載の発熱量の測定方法。   The calorific value measuring method according to any one of claims 8 to 13, wherein the gas is natural gas. 気体の放熱係数又は熱伝導率の測定値と、前記気体の圧力の測定値と、を測定する測定部と、
前記放熱係数又は熱伝導率と、前記圧力と、発熱量と、の相関関係を保存する記憶装置と、
前記気体の放熱係数又は熱伝導率の測定値と、前記気体の圧力の測定値と、前記相関関係と、に基づいて、前記気体の発熱量の測定値を算出する発熱量算出部と、
を備える、発熱量測定システム。
A measurement unit for measuring the measured value of the heat dissipation coefficient or thermal conductivity of the gas, and the measured value of the pressure of the gas;
A storage device that stores a correlation between the heat dissipation coefficient or thermal conductivity, the pressure, and the heat generation amount;
A calorific value calculation unit that calculates a measured value of the calorific value of the gas based on the measured value of the heat dissipation coefficient or thermal conductivity of the gas, the measured value of the gas pressure, and the correlation;
A calorific value measuring system.
複数種類のガス成分を含む複数のサンプル混合ガスの発熱量の値と、前記複数のサンプル混合ガスのそれぞれの放熱係数又は熱伝導率の値と、前記複数のサンプル混合ガスのそれぞれの圧力の値と、に基づいて、前記相関関係を表す発熱量算出式が作成された、請求項15に記載の発熱量測定システム。   The value of the calorific value of a plurality of sample mixed gases containing a plurality of types of gas components, the value of the heat dissipation coefficient or thermal conductivity of each of the plurality of sample mixed gases, and the value of the pressure of each of the plurality of sample mixed gases The calorific value measurement system according to claim 15, wherein a calorific value calculation formula representing the correlation is created based on 前記発熱量算出式を作成するために、サポートベクトル回帰が用いられた、請求項16に記載の発熱量測定システム。   The calorific value measurement system according to claim 16, wherein support vector regression is used to create the calorific value calculation formula. 前記複数のサンプル混合ガスのそれぞれが天然ガスである、請求項16又は17に記載の発熱量測定システム。   The calorific value measurement system according to claim 16 or 17, wherein each of the plurality of sample mixed gases is natural gas. 前記気体が天然ガスである、請求項15乃至18のいずれか1項に記載の発熱量測定システム。   The calorific value measurement system according to any one of claims 15 to 18, wherein the gas is natural gas. 気体の放熱係数又は熱伝導率の測定値と、前記気体の圧力の測定値と、を測定することと、
前記放熱係数又は熱伝導率と、前記圧力と、発熱量と、の相関関係を用意することと、
前記気体の放熱係数又は熱伝導率の測定値と、前記気体の圧力の測定値と、前記相関関係と、に基づいて、前記気体の発熱量の測定値を算出することと、
を含む、発熱量の測定方法。
Measuring the measured value of the heat dissipation coefficient or thermal conductivity of the gas and the measured value of the pressure of the gas;
Preparing a correlation between the heat dissipation coefficient or thermal conductivity, the pressure, and the amount of heat generated;
Calculating a measured value of the calorific value of the gas based on a measured value of the heat dissipation coefficient or thermal conductivity of the gas, a measured value of the pressure of the gas, and the correlation;
Method for measuring calorific value, including
複数種類のガス成分を含む複数のサンプル混合ガスの発熱量の値と、前記複数のサンプル混合ガスのそれぞれの放熱係数又は熱伝導率の値と、前記複数のサンプル混合ガスのそれぞれの圧力の値と、に基づいて、前記相関関係を表す発熱量算出式が作成された、請求項20に記載の発熱量の測定方法。   The value of the calorific value of a plurality of sample mixed gases containing a plurality of types of gas components, the value of the heat dissipation coefficient or thermal conductivity of each of the plurality of sample mixed gases, and the value of the pressure of each of the plurality of sample mixed gases The calorific value calculation method according to claim 20, wherein a calorific value calculation formula representing the correlation is created based on 前記発熱量算出式を作成するために、サポートベクトル回帰が用いられた、請求項21に記載の発熱量の測定方法。   The calorific value measurement method according to claim 21, wherein support vector regression is used to create the calorific value calculation formula. 前記複数のサンプル混合ガスのそれぞれが天然ガスである、請求項21又は22に記載の発熱量の測定方法。   The calorific value measurement method according to claim 21 or 22, wherein each of the plurality of sample mixed gases is natural gas. 前記気体が天然ガスである、請求項20乃至23のいずれか1項に記載の発熱量の測定方法。   The calorific value measurement method according to any one of claims 20 to 23, wherein the gas is natural gas.
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