JP2012201940A - Apparatus and method for producing metal powder - Google Patents

Apparatus and method for producing metal powder Download PDF

Info

Publication number
JP2012201940A
JP2012201940A JP2011068623A JP2011068623A JP2012201940A JP 2012201940 A JP2012201940 A JP 2012201940A JP 2011068623 A JP2011068623 A JP 2011068623A JP 2011068623 A JP2011068623 A JP 2011068623A JP 2012201940 A JP2012201940 A JP 2012201940A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
molten metal
metal powder
metal
container
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011068623A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2012201940A5 (en
JP5803197B2 (en
Inventor
Hiroyoshi Otaka
啓義 大高
Hiroshi Wada
博史 和田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2011068623A priority Critical patent/JP5803197B2/en
Publication of JP2012201940A publication Critical patent/JP2012201940A/en
Publication of JP2012201940A5 publication Critical patent/JP2012201940A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5803197B2 publication Critical patent/JP5803197B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus and a method for producing a metal powder, which are capable of stably producing the high-quality metal powder with low oxygen content and fine, uniform grain size, regardless of the composition of the metal powder to be produced.SOLUTION: The apparatus 1 for producing the metal powder includes: a supply unit; a storing unit 2 that stores molten metal 90 and is arranged below the supply unit; and an atomizing nozzle arranged below the storing unit. The apparatus 1 further includes, in the storing unit 2: a heat-radiating means 5 that lowers temperature of the molten metal 90 and is arranged on a liquid surface of the molten metal 90 stored; and a heating means that heats the molten metal 90 and is arranged below the heat-radiating means 5. The storing unit 2 includes a storing container 21, wherein an induction heating coil 81 is installed inside a wall thereof. The heating means includes the induction heating coil 81 and a controller including a power source for applying voltage to the induction heating coil 81. The heat-radiating means 5 is constituted of the wall in which the induction heating coil is not installed.

Description

本発明は、金属粉末製造装置および金属粉末製造方法に関するものである。   The present invention relates to a metal powder production apparatus and a metal powder production method.

従来、金属粉末を製造するには、溶融金属をアトマイズ法により粉末化する金属粉末製造装置(アトマイザー)が用いられている。この金属粉末製造装置として、特許文献1には、溶融金属を保持する容器と、容器から流下させた溶融金属を通過させるオリフィスおよびオリフィスを通過する溶融金属に対して流体ジェットを噴射するスリットを備えたノズルと、を有する装置が開示されている。この装置では、流体ジェットに伴ってオリフィスを高速で通過する気体の作用により、容器から流下させた溶融金属を分裂させ、さらにこれを流体ジェットに衝突させることでより細かくすることにより、微細な金属粉末を製造することができる。
ところが、製造する金属粉末の組成によっては、金属粉末の酸素含有率が高くなり、金属粉末を用いて製造される金属製品の品質低下を招いていた。また、酸素含有率を低くすることができても、金属粉末の粒径が大きくなったり、粒度分布が広くなったりして、微細で粒径の揃った金属粉末を製造することが困難な場合があった。
Conventionally, in order to produce a metal powder, a metal powder production apparatus (atomizer) for pulverizing molten metal by an atomizing method has been used. As this metal powder manufacturing apparatus, Patent Document 1 includes a container for holding molten metal, an orifice for passing molten metal flowing down from the container, and a slit for injecting a fluid jet to the molten metal passing through the orifice. And an apparatus having a nozzle. In this device, by the action of gas that passes through the orifice at high speed along with the fluid jet, the molten metal flowed down from the container is split and further made fine by colliding with the fluid jet, thereby making fine metal A powder can be produced.
However, depending on the composition of the metal powder to be manufactured, the oxygen content of the metal powder is increased, leading to a reduction in the quality of metal products manufactured using the metal powder. In addition, even if the oxygen content can be lowered, it is difficult to produce a metal powder having a fine and uniform particle size because the particle size of the metal powder becomes large or the particle size distribution becomes wide. was there.

特許第3858275号公報Japanese Patent No. 3858275

本発明の目的は、製造する金属粉末の組成によらず、酸素含有率が低く微細で粒径の揃った高品質の金属粉末を安定して製造可能な金属粉末製造装置および金属粉末製造方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a metal powder production apparatus and a metal powder production method capable of stably producing a high-quality metal powder having a low oxygen content and a uniform particle size regardless of the composition of the metal powder to be produced. It is to provide.

上記目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の金属粉末製造装置は、溶融金属を貯留する貯留部と、
前記貯留部の下方に設けられ、前記貯留部から流下した溶融金属が通過可能な流路と、前記流路の下端部に開口し、前記流路内に向けて流体を噴射するスリットと、を備えるノズルと、
前記貯留部の上方に設けられ、前記貯留部に溶融金属を供給するよう構成された供給部と、を有し、
前記貯留部のうち、貯留された溶融金属の液面部に設けられ、前記溶融金属の温度を低下させる放熱手段と、前記放熱手段の下方に設けられ、前記溶融金属を加熱する加熱手段と、を有していることを特徴とする。
これにより、製造する金属粉末の組成によらず、酸素含有率が低く微細で粒径の揃った高品質の金属粉末を安定して製造可能な金属粉末製造装置が得られる。
The above object is achieved by the present invention described below.
The metal powder production apparatus of the present invention includes a storage unit for storing molten metal,
A flow path provided below the storage section, through which the molten metal flowing down from the storage section can pass, and a slit that opens to the lower end of the flow path and injects a fluid into the flow path. A nozzle comprising,
A supply unit provided above the storage unit and configured to supply molten metal to the storage unit;
Of the storage part, provided in the liquid surface portion of the stored molten metal, a heat dissipating means for lowering the temperature of the molten metal, a heating means provided below the heat dissipating means and heating the molten metal, It is characterized by having.
As a result, a metal powder production apparatus capable of stably producing a high-quality metal powder having a low oxygen content and a fine particle size is obtained regardless of the composition of the metal powder to be produced.

本発明の金属粉末製造装置では、前記供給部は、溶融金属を貯留する供給部容器と、前記供給部容器の下面から下方に延在するよう設けられ、前記供給部容器内に貯留された溶融金属が通過可能になっている供給部筒状部材と、を有し、
前記供給部筒状部材の下端が、前記貯留部に貯留された溶融金属の液面より下方に位置するよう構成されていることが好ましい。
これにより、供給部から供給される溶融金属は、外気にほとんど触れることなく貯留部へと移送されることとなる。その結果、移送に伴う溶融金属の温度低下を最小限に抑えることができ、溶融金属の温度制御をより容易にすることができる。
In the metal powder manufacturing apparatus of the present invention, the supply unit is provided so as to extend downward from a lower surface of the supply unit container and a supply unit container for storing the molten metal, and the molten product stored in the supply unit container A supply tubular member through which the metal can pass,
It is preferable that the lower end of the supply portion cylindrical member is configured to be positioned below the liquid level of the molten metal stored in the storage portion.
Thereby, the molten metal supplied from a supply part will be transferred to a storage part, hardly touching external air. As a result, the temperature drop of the molten metal accompanying the transfer can be minimized, and the temperature control of the molten metal can be made easier.

本発明の金属粉末製造装置では、前記貯留部は、有底筒状をなし、溶融金属を貯留する貯留部容器と、前記貯留部容器の下面から下方に延在するよう設けられ、前記貯留部容器内に貯留された溶融金属が通過可能になっている貯留部筒状部材と、を有し、
前記加熱手段は、前記貯留部容器の壁部内に配置された誘導加熱コイルで構成され、前記放熱手段は、誘導加熱コイルを設けない前記壁部で構成されていることが好ましい。
これにより、溶融金属の温度をきめ細かく制御することができるので、短時間で大きく変動する溶融金属の温度を確実に一定に維持することができる。また、放熱手段の構造を簡略化することができる。
In the metal powder manufacturing apparatus of the present invention, the storage section has a bottomed cylindrical shape, is provided so as to extend downward from a storage section container that stores molten metal, and a lower surface of the storage section container, and the storage section A reservoir cylindrical member that allows the molten metal stored in the container to pass through, and
It is preferable that the heating means is composed of an induction heating coil disposed in a wall portion of the reservoir container, and the heat radiating means is composed of the wall portion where no induction heating coil is provided.
Thereby, since the temperature of a molten metal can be finely controlled, the temperature of the molten metal which fluctuates greatly in a short time can be reliably maintained constant. In addition, the structure of the heat dissipation means can be simplified.

本発明の金属粉末製造装置では、前記放熱手段は、前記貯留部に設けられた配管中を流通する冷媒を有するものであることが好ましい。
これにより、溶融金属に取り込まれる酸素量をより低減することができ、特に高品質の金属粉末を安定して製造することができる。
本発明の金属粉末製造装置では、前記放熱手段は、前記貯留部に貯留された溶融金属の液面に向けてガスを噴射するものであることが好ましい。
これにより、貯留部の絶縁性や熱伝導性を考慮することなく十分な放熱性が発現するため、貯留部の材質の選択において制約がなくなり、機械的特性やコスト等を最優先に材質を選択することが可能になる。
In the metal powder manufacturing apparatus of the present invention, it is preferable that the heat dissipating means has a refrigerant flowing through a pipe provided in the storage section.
As a result, the amount of oxygen taken into the molten metal can be further reduced, and particularly high-quality metal powder can be stably produced.
In the metal powder manufacturing apparatus of the present invention, it is preferable that the heat dissipating means injects a gas toward the liquid surface of the molten metal stored in the storage section.
As a result, sufficient heat dissipation is achieved without considering the insulation and thermal conductivity of the reservoir, so there are no restrictions on the choice of material for the reservoir, and materials are selected with the highest priority on mechanical properties and cost. It becomes possible to do.

本発明の金属粉末製造装置では、前記加熱手段は、前記貯留部に溶融金属が貯留され始めたときからの経過時間に応じて、その加熱温度を徐々に高めるよう構成されていることが好ましい。
これにより、溶融金属の貯留を開始した直後から溶融金属の温度を一定に維持する制御を簡単に行うことができる。
In the metal powder manufacturing apparatus of the present invention, it is preferable that the heating means is configured to gradually increase the heating temperature in accordance with an elapsed time from when the molten metal starts to be stored in the storage unit.
Thereby, the control which maintains the temperature of a molten metal constant immediately after starting the storage of a molten metal can be performed easily.

本発明の金属粉末製造装置では、さらに、前記貯留部に貯留された溶融金属の温度を測定する温度測定部と、
測定された前記溶融金属の温度に基づいて、前記加熱手段による加熱温度を制御する制御部と、を有することが好ましい。
これにより、製造する金属粉末の組成によらず、酸素含有率が低く微細で粒径の揃った高品質の金属粉末を安定してかつ簡単に製造可能な金属粉末製造装置が得られる。
In the metal powder manufacturing apparatus of the present invention, a temperature measurement unit that measures the temperature of the molten metal stored in the storage unit, and
It is preferable to have a control unit that controls the heating temperature by the heating unit based on the measured temperature of the molten metal.
Thereby, regardless of the composition of the metal powder to be manufactured, a metal powder manufacturing apparatus capable of stably and easily manufacturing a high-quality metal powder having a low oxygen content and a fine particle size is obtained.

本発明の金属粉末製造装置では、さらに、前記溶融金属の液面の高さを計測する液面計測部と、
計測された前記液面の高さに基づいて、前記供給部による溶融金属の供給量を制御する制御部と、を有することが好ましい。
これにより、製造する金属粉末の組成によらず、酸素含有率が低く微細で粒径の揃った高品質の金属粉末を安定してかつ簡単に製造可能な金属粉末製造装置が得られる。
In the metal powder manufacturing apparatus of the present invention, a liquid level measuring unit that measures the height of the liquid level of the molten metal,
It is preferable to have a control unit that controls the amount of molten metal supplied by the supply unit based on the measured height of the liquid level.
Thereby, regardless of the composition of the metal powder to be manufactured, a metal powder manufacturing apparatus capable of stably and easily manufacturing a high-quality metal powder having a low oxygen content and a fine particle size is obtained.

本発明の金属粉末製造方法は、貯留部に溶融金属を貯留し、前記貯留部から溶融金属を流下させ、その後流体ジェットに衝突させることにより、溶融金属を分裂させるとともに固化させて金属粉末を製造する金属粉末製造方法であって、
前記貯留部に貯留されている溶融金属の液面に固化膜を形成することを特徴とする。
これにより、製造する金属粉末の組成によらず、酸素含有率が低く微細で粒径の揃った高品質の金属粉末を安定して製造することができる。
The metal powder production method of the present invention produces a metal powder by storing molten metal in a storage part, causing the molten metal to flow down from the storage part, and then colliding with a fluid jet to split and solidify the molten metal. A method for producing metal powder comprising:
A solidified film is formed on the liquid surface of the molten metal stored in the storage part.
Thereby, regardless of the composition of the metal powder to be manufactured, it is possible to stably manufacture a high-quality metal powder having a low oxygen content and a fine particle size.

本発明の金属粉末製造方法では、前記固化膜の形成は、溶融金属の液面部を放熱させる方法、および、溶融金属の液面に金属粉末を撒く方法のうちの少なくとも一方により行われることが好ましい。
これにより、溶融金属に取り込まれる酸素量をより低減することができ、特に高品質の金属粉末を安定して製造することができる。
In the metal powder manufacturing method of the present invention, the formation of the solidified film may be performed by at least one of a method of dissipating heat from the liquid surface portion of the molten metal and a method of spreading the metal powder on the liquid surface of the molten metal. preferable.
As a result, the amount of oxygen taken into the molten metal can be further reduced, and particularly high-quality metal powder can be stably produced.

本発明の金属粉末製造装置の第1実施形態を模式的に示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows typically 1st Embodiment of the metal powder manufacturing apparatus of this invention. 図1の部分詳細図である。FIG. 2 is a partial detail view of FIG. 1. 本発明の金属粉末製造装置の第2実施形態の一部を模式的に示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows typically a part of 2nd Embodiment of the metal powder manufacturing apparatus of this invention. 本発明の金属粉末製造装置の第3実施形態の一部を模式的に示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows typically a part of 3rd Embodiment of the metal powder manufacturing apparatus of this invention. 本発明の金属粉末製造装置の第4実施形態を模式的に示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows typically 4th Embodiment of the metal powder manufacturing apparatus of this invention.

以下、本発明の金属粉末製造装置および金属粉末製造方法について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
<金属粉末製造装置>
≪第1実施形態≫
まず、本発明の金属粉末製造装置の第1実施形態について説明する。
図1は、本発明の金属粉末製造装置の第1実施形態を模式的に示す縦断面図、図2は、図1の部分詳細図である。
Hereinafter, a metal powder production apparatus and a metal powder production method of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
<Metal powder production equipment>
<< First Embodiment >>
First, a first embodiment of the metal powder production apparatus of the present invention will be described.
FIG. 1 is a longitudinal sectional view schematically showing a first embodiment of the metal powder production apparatus of the present invention, and FIG. 2 is a partial detailed view of FIG.

図1に示す金属粉末製造装置1は、溶融金属90をアトマイズ法により粉末化し、これを固化させて金属粉末を得るのに用いられる装置である。この金属粉末製造装置1は、供給部6と、その下方に設けられた貯留部(タンディシュ)2と、貯留部2の下方に設けられたノズル3と、を有している。また、貯留部2には溶融金属90を加熱する加熱手段8と、溶融金属90の液面部を放熱させる放熱手段5と、が設けられている。   A metal powder manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 1 is an apparatus used for obtaining a metal powder by pulverizing a molten metal 90 by an atomizing method and solidifying it. The metal powder manufacturing apparatus 1 includes a supply unit 6, a storage unit (tundish) 2 provided below the supply unit 6, and a nozzle 3 provided below the storage unit 2. The storage unit 2 is provided with a heating unit 8 for heating the molten metal 90 and a heat radiating unit 5 for radiating heat from the liquid surface portion of the molten metal 90.

以下、各部の構成について説明する。
(供給部)
図1に示す供給部6は、有底筒状をなす供給部容器61と、この供給部容器61の下面に接続された供給部筒状部材62と、を有している。このうち、供給部容器61内には、製造しようとする金属粉末の原材料を溶融した溶融金属90が一時的に貯留される。また、供給部容器61の底部の中央には、底部を貫通する開口611が設けられている。前述した供給部筒状部材62は、その中空部と前記開口611とが重なるように、前記供給部容器61の下面に接続されている。したがって、供給部容器61内に貯留された溶融金属90は、開口611と供給部筒状部材62とを介して下方に流下し、続いて貯留部2に貯留される。
Hereinafter, the configuration of each unit will be described.
(Supply section)
The supply unit 6 illustrated in FIG. 1 includes a supply unit container 61 having a bottomed cylindrical shape, and a supply unit cylindrical member 62 connected to the lower surface of the supply unit container 61. Among these, in the supply part container 61, the molten metal 90 which melt | dissolved the raw material of the metal powder to manufacture is temporarily stored. In addition, an opening 611 penetrating the bottom is provided in the center of the bottom of the supply container 61. The supply part cylindrical member 62 described above is connected to the lower surface of the supply part container 61 so that the hollow part and the opening 611 overlap each other. Accordingly, the molten metal 90 stored in the supply unit container 61 flows downward through the opening 611 and the supply unit cylindrical member 62, and subsequently stored in the storage unit 2.

また、供給部容器61は、図示しない蓋を有していてもよい。蓋を被せることにより、貯留された溶融金属90が大気と接触し難くなるため、溶融金属90の酸化、温度低下等を抑制することができる。
さらに、蓋を被せることにより、供給部容器61内を加圧することもできる。この場合、溶融金属90は自重による流下速度よりも速い速度で吐出されることになるため、加圧力を適宜調整することにより、溶融金属90の単位時間当たりの供給量を制御することができる。
Further, the supply container 61 may have a lid (not shown). By covering the lid, it becomes difficult for the stored molten metal 90 to come into contact with the atmosphere, so that oxidation of the molten metal 90, temperature reduction, and the like can be suppressed.
Furthermore, the inside of supply part container 61 can also be pressurized by putting a cover. In this case, since the molten metal 90 is discharged at a speed higher than the flow-down speed due to its own weight, the supply amount of the molten metal 90 per unit time can be controlled by appropriately adjusting the applied pressure.

供給部容器61および供給部筒状部材62の構成材料は、溶融金属90との接触で変形、溶融等しない材料であれば、いかなる材料であってもよく、例えば、耐熱鋼のような鉄系材料、タングステン系材料、モリブデン系材料のような各種金属材料、アルミナ、ジルコニアのような各種セラミックス材料、グラファイトのような各種炭素材料等が挙げられ、これらの複合材料であるアルミナ・グラファイト材料等も用いられる。   The constituent material of the supply section container 61 and the supply section cylindrical member 62 may be any material as long as it does not deform, melt, etc. by contact with the molten metal 90, for example, an iron-based material such as heat-resistant steel. Materials, various metal materials such as tungsten-based materials and molybdenum-based materials, various ceramic materials such as alumina and zirconia, various carbon materials such as graphite, and alumina / graphite materials which are composite materials of these materials Used.

(貯留部)
図1に示す貯留部(タンディシュ)2は、有底筒状をなす貯留部容器21と、この貯留部容器21の下面に接続された貯留部筒状部材22と、を有している。このうち、貯留部容器21は、供給部6から供給された溶融金属90を受け、これを一時的に貯留する。また、貯留部容器21の底部の中央には、底部を貫通する開口211が設けられている。前述した貯留部筒状部材22は、その中空部と前記開口211とが重なるように、前記貯留部容器21の下面に接続されている。
したがって、貯留部容器21内に貯留された溶融金属90は、開口211と貯留部筒状部材22とを介して、下方に流下する。
貯留部容器21および貯留部筒状部材22の構成材料は、供給部容器61および供給部筒状部材62の構成材料と同様である。
(Reservoir)
The storage part (tundish) 2 shown in FIG. 1 has a storage part container 21 having a bottomed cylindrical shape, and a storage part cylindrical member 22 connected to the lower surface of the storage part container 21. Among these, the storage part container 21 receives the molten metal 90 supplied from the supply part 6, and stores this temporarily. In addition, an opening 211 penetrating the bottom is provided in the center of the bottom of the storage container 21. The reservoir cylindrical member 22 described above is connected to the lower surface of the reservoir container 21 so that the hollow portion and the opening 211 overlap.
Therefore, the molten metal 90 stored in the storage container 21 flows downward through the opening 211 and the storage tubular member 22.
The constituent materials of the reservoir container 21 and the reservoir cylindrical member 22 are the same as the constituent materials of the supply container 61 and the supply cylindrical member 62.

(ノズル)
図1に示すノズル3は、ノズル本体30と、ノズル本体30に設けられ、貯留部2から流下してきた溶融金属90が通過する流路31と、流路31内に向けて流体を噴射するスリット32と、ノズル本体30の下面に設けられたカバー7と、を有している。流体としては、例えば、水が用いられる。
図1に示すノズル本体30は、例えば円柱状をなしており、その軸線と貯留部2から流下する溶融金属90の流下経路とが一致するよう配置されている。
(nozzle)
The nozzle 3 shown in FIG. 1 is provided with a nozzle body 30, a flow path 31 through which the molten metal 90 flowing down from the reservoir 2 passes, and a slit that ejects fluid into the flow path 31. 32 and a cover 7 provided on the lower surface of the nozzle body 30. For example, water is used as the fluid.
The nozzle body 30 shown in FIG. 1 has, for example, a cylindrical shape, and is arranged so that the axis thereof and the flow path of the molten metal 90 flowing down from the storage portion 2 coincide.

ノズル本体30には、その軸線に沿って貫通するよう形成された流路31と、流路31の下端近傍に開口するよう形成されたスリット32とが設けられている。
流路31は、鉛直方向にノズル本体30を貫通する貫通孔であり、貫通孔の内径は連続的に変化している。具体的には、流路31は、その内径は、流路31の上端部において最も大きく、そこから下方に向かって連続的に減少するよう構成されている。その結果、この領域における流路31の内壁面は、滑らかな曲面になっている。そして、流路31の中間付近において、流路31の内径が最も小さくなっており、そこから下方に向かっては再び連続的に増加している。
The nozzle body 30 is provided with a flow path 31 formed so as to penetrate along the axis and a slit 32 formed so as to open near the lower end of the flow path 31.
The flow path 31 is a through-hole penetrating the nozzle body 30 in the vertical direction, and the inner diameter of the through-hole changes continuously. Specifically, the inner diameter of the flow path 31 is the largest at the upper end portion of the flow path 31, and is configured to continuously decrease downward therefrom. As a result, the inner wall surface of the flow path 31 in this region is a smooth curved surface. In the vicinity of the middle of the flow path 31, the internal diameter of the flow path 31 is the smallest, and continuously increases again downward from there.

また、ノズル本体30に形成されたスリット32には、ノズル本体30内に配された導入路321が接続されている。導入路321は、ノズル3の外部に設けられた流体の供給源(図示せず)とスリット32とを接続するものであり、供給源から供給された流体は、導入路321およびスリット32を介して流路31に向けて噴射される。
なお、導入路321は、その一部の縦断面形状がくさび状をなしている。このような形状であれば、導入路321に導入された流体が、くさび状の部分においてその流速を徐々に高めることができる。このため、くさび状の部分をスリット32の直前に配置することにより、スリット32からは高速の流体を安定して噴射することができる。また、流体は加圧された状態で導入路321に供給されるので、ノズル本体30には十分な耐圧性が求められる。
An introduction path 321 disposed in the nozzle body 30 is connected to the slit 32 formed in the nozzle body 30. The introduction path 321 connects a fluid supply source (not shown) provided outside the nozzle 3 and the slit 32, and the fluid supplied from the supply source passes through the introduction path 321 and the slit 32. And jetted toward the flow path 31.
In addition, the introduction path 321 has a wedge-shaped partial longitudinal cross-sectional shape. With such a shape, the fluid introduced into the introduction path 321 can gradually increase the flow velocity in the wedge-shaped portion. For this reason, by disposing the wedge-shaped portion immediately before the slit 32, a high-speed fluid can be stably ejected from the slit 32. Further, since the fluid is supplied to the introduction path 321 in a pressurized state, the nozzle body 30 is required to have sufficient pressure resistance.

スリット32は、流路31の内壁面の全周にわたって開口している。このため、このような形状のスリット32から噴射された流体は、図1に示すような円錐状の流体ジェット33を形成する。
このようなノズル本体30の構成材料は、供給部容器61および供給部筒状部材62の構成材料と同様であってもよいが、金属材料が好ましい。これにより、耐熱性と流体に加わる耐圧性とを両立するノズル本体30が得られる。
The slit 32 is open over the entire circumference of the inner wall surface of the flow path 31. For this reason, the fluid ejected from the slit 32 having such a shape forms a conical fluid jet 33 as shown in FIG.
Such a constituent material of the nozzle body 30 may be the same as the constituent material of the supply section container 61 and the supply section cylindrical member 62, but a metal material is preferable. Thereby, the nozzle body 30 that achieves both heat resistance and pressure resistance applied to the fluid is obtained.

また、カバー7は、円筒状をなしており、その軸線と流路31の軸線とが一致するように設けられている。ノズル本体30の下方にカバー7を設けることにより、落下する金属粉末の飛散を防止することができ、金属粉末を効率よく回収することができる。
また、カバー7は、ノズル本体30の下面に気密的に接続されているのが好ましい。これにより、カバー7内に外気が流入するのを防止することができる。その結果、溶融金属90が粉末化され、固化して金属粉末が生成される際に、溶融金属90が外気と接触して、金属粉末が酸化、変質してしまうのを防止することができる。
The cover 7 has a cylindrical shape, and is provided so that the axis thereof coincides with the axis of the flow path 31. By providing the cover 7 below the nozzle body 30, the falling metal powder can be prevented from being scattered, and the metal powder can be efficiently collected.
The cover 7 is preferably connected to the lower surface of the nozzle body 30 in an airtight manner. Thereby, it is possible to prevent outside air from flowing into the cover 7. As a result, when the molten metal 90 is pulverized and solidified to produce a metal powder, the molten metal 90 can be prevented from coming into contact with the outside air and the metal powder being oxidized and altered.

(金属粉末製造方法)
次に、金属粉末製造装置1を用いて金属粉末を製造する方法について説明する。
まず、供給部容器61内に溶融金属90を貯留する。貯留された溶融金属90は、供給部筒状部材62を介して下方の貯留部容器21内に流下する。
貯留部容器21内に流下した溶融金属90は、貯留部容器21内に貯留されるとともに、貯留部筒状部材22を介して下方のノズル3に向かって流下する。
(Metal powder manufacturing method)
Next, a method for producing metal powder using the metal powder production apparatus 1 will be described.
First, the molten metal 90 is stored in the supply unit container 61. The stored molten metal 90 flows down into the storage container 21 below through the supply cylindrical member 62.
The molten metal 90 that has flowed into the storage container 21 is stored in the storage container 21 and flows down toward the nozzle 3 below through the storage tubular member 22.

この際、ノズル3のスリット32から高速の流体を噴射し、流体ジェット33を形成する。流体ジェット33が形成されると、それに伴って流路31の上方から下方に向かう空気の流れGが生起される。この空気の流れGにより、流路31内の圧力が低下する。
この状態にある流路31に貯留部筒状部材22から流下した溶融金属90が到達すると、流路31内の圧力低下により溶融金属90が分裂(一次分裂)する。これは、溶融金属90が密集しようとする力よりも、周囲の減圧力が上回ることにより生じるものである。この一次分裂により、溶融金属90は多数の液滴91となる。
At this time, high-speed fluid is ejected from the slit 32 of the nozzle 3 to form a fluid jet 33. When the fluid jet 33 is formed, an air flow G from the upper side to the lower side of the flow path 31 is generated accordingly. This air flow G reduces the pressure in the flow path 31.
When the molten metal 90 that has flowed down from the storage tubular member 22 reaches the flow channel 31 in this state, the molten metal 90 is split (primary split) due to the pressure drop in the flow channel 31. This is caused by the fact that the surrounding decompression force exceeds the force with which the molten metal 90 tries to close. Due to this primary division, the molten metal 90 becomes a large number of droplets 91.

なお、この際、貯留部筒状部材22の下端が、流路31の内径が最小になる箇所に位置するよう貯留部筒状部材22が配置されるのが好ましい。このように配置すると、貯留部筒状部材22の下端近傍における圧力が最も低くなるため、一次分裂において溶融金属90を特に細かく分裂させることができる。その結果、最終的に、特に微細な金属粉末を製造することができる。   At this time, it is preferable that the reservoir cylindrical member 22 is disposed so that the lower end of the reservoir cylindrical member 22 is located at a position where the inner diameter of the flow path 31 is minimized. When arranged in this manner, the pressure in the vicinity of the lower end of the reservoir cylindrical member 22 becomes the lowest, so that the molten metal 90 can be particularly finely divided in the primary division. As a result, in particular, a particularly fine metal powder can be produced.

一次分裂により生じた液滴91は、続いて流体ジェット33に衝突する。流体ジェット33との衝突に伴う衝撃により、液滴91はさらに細かく分裂(二次分裂)する。それとともに、二次分裂した液滴91は、流体ジェット33が有する大きな熱容量により、急速に冷却する。その結果、液滴91の温度は融点を下回り、固化に至る。以上のようにして金属粉末が得られる。   The droplet 91 generated by the primary division subsequently collides with the fluid jet 33. Due to the impact accompanying the collision with the fluid jet 33, the droplet 91 is further finely divided (secondary division). At the same time, the secondary split droplet 91 is rapidly cooled by the large heat capacity of the fluid jet 33. As a result, the temperature of the droplet 91 is below the melting point and solidifies. A metal powder is obtained as described above.

(放熱手段および加熱手段)
また、本実施形態では、供給部6とノズル3との間に貯留部2を有していることから、ノズル3への溶融金属90の供給量を安定化することができる。すなわち、供給部6からノズル3へ直接溶融金属90を供給する場合に比べて、貯留部2に一旦供給し、そこから流下させるよう構成されているため、ノズル3へ供給される溶融金属90の単位時間当たりの供給量を一定に制御し易い。このため、金属粉末の製造条件も一定となり、粒径の揃った高品質の金属粉末を製造することができる。
(Heat dissipation and heating means)
Moreover, in this embodiment, since the storage part 2 is provided between the supply part 6 and the nozzle 3, the supply amount of the molten metal 90 to the nozzle 3 can be stabilized. That is, compared with the case where the molten metal 90 is directly supplied from the supply unit 6 to the nozzle 3, the molten metal 90 is temporarily supplied to the storage unit 2 and then flows down from the storage unit 2. It is easy to control the supply amount per unit time. For this reason, the manufacturing conditions of the metal powder are also constant, and a high-quality metal powder with a uniform particle size can be manufactured.

また、本実施形態では、供給部6とその下方に設けられた貯留部2とを有する構成としたことにより、供給部容器61の容積を大きくしても、金属粉末の品質に影響を及ぼし難いという利点がある。このため、供給部容器61の容積を貯留部容器21の容積よりも十分に大きくする(例えば、10倍以上)ことにより、供給部容器61における溶融金属90の温度低下を抑えることができる。その結果、最終的に得られる金属粉末の品質をより高めることができる。   Moreover, in this embodiment, since it was set as the structure which has the supply part 6 and the storage part 2 provided in the downward direction, even if the volume of the supply part container 61 is enlarged, it is hard to influence the quality of metal powder. There is an advantage. For this reason, the temperature drop of the molten metal 90 in the supply part container 61 can be suppressed by making the volume of the supply part container 61 sufficiently larger than the volume of the storage part container 21 (for example, 10 times or more). As a result, the quality of the finally obtained metal powder can be further improved.

ところで、金属粉末製造装置1では、上述したように、貯留部2において溶融金属90を一旦貯留し、ここで単位時間当たりの供給量を一定化するための緩衝機能が発揮されている。このため、この緩衝機能を確実にするためには、貯留部2において一定量の溶融金属90を貯留しておく必要がある。
しかしながら、従来の金属粉末製造装置では、溶融金属を一旦貯留することによってノズルに供給される溶融金属の単位時間当たりの供給量は一定になるものの、最終的に得られる金属粉末の酸素含有率が著しく高くなるという課題があった。このため、金属粉末の焼結性や磁気特性等が低下してしまい、金属粉末を用いて製造される各種金属製品の機械的特性や電磁気的特性を十分に高めることができなかった。特に、アルミニウムやチタンのような酸化し易い元素を含む場合、その傾向が顕著であった。
By the way, in the metal powder manufacturing apparatus 1, as described above, the molten metal 90 is temporarily stored in the storage unit 2, and here a buffer function for making the supply amount per unit time constant is exhibited. For this reason, in order to ensure this buffer function, it is necessary to store a certain amount of molten metal 90 in the storage part 2.
However, in the conventional metal powder manufacturing apparatus, although the supply amount per unit time of the molten metal supplied to the nozzle is constant by temporarily storing the molten metal, the oxygen content of the metal powder finally obtained is There was a problem that it was extremely high. For this reason, the sinterability, magnetic characteristics, etc. of the metal powder are lowered, and the mechanical characteristics and electromagnetic characteristics of various metal products produced using the metal powder cannot be sufficiently improved. In particular, when an easily oxidizable element such as aluminum or titanium is included, the tendency is remarkable.

そこで、本発明では、金属粉末製造装置1の貯留部2に、溶融金属90の液面部の温度を部分的に低下させる放熱手段5を設けるとともに、放熱手段5の下方に、溶融金属90を加熱する加熱手段8を設けることとした。これにより、金属粉末製造装置1では、溶融金属90の液面が部分的に固化し、固化膜が形成される一方、固化膜より下方では、溶融金属90が溶融状態を確実に維持されるよう加熱されることになる。その結果、溶融金属90は、固化膜によって大気との接触が阻害されることとなり、溶融金属90中に酸素が取り込まれることが防止される。そして、最終的に得られる金属粉末において酸素含有率の上昇を防止することができる。   Therefore, in the present invention, the storage unit 2 of the metal powder manufacturing apparatus 1 is provided with the heat dissipating means 5 that partially lowers the temperature of the liquid surface portion of the molten metal 90, and the molten metal 90 is disposed below the heat dissipating means 5. Heating means 8 for heating was provided. Thereby, in the metal powder manufacturing apparatus 1, the liquid surface of the molten metal 90 is partially solidified to form a solidified film, while the molten metal 90 is reliably maintained in a molten state below the solidified film. It will be heated. As a result, the molten metal 90 is prevented from contacting the atmosphere by the solidified film, and oxygen is prevented from being taken into the molten metal 90. And the raise of an oxygen content rate can be prevented in the metal powder finally obtained.

以下、加熱手段8および放熱手段5について順次説明する。
加熱手段8としては、例えば、誘導加熱、抵抗加熱、マイクロ波加熱等の各種加熱原理を利用したものが挙げられ、特に限定されるものではないが、ここでは誘導加熱を利用した場合について説明する。誘導加熱による加熱は、溶融金属90を直接発熱させることができるので加熱効率が高いのに加え、溶融金属90の温度をきめ細かく制御することができるので、短時間で大きく変動する溶融金属90の温度を一定に維持する上で有効である。
Hereinafter, the heating means 8 and the heat dissipation means 5 will be described in order.
Examples of the heating means 8 include those using various heating principles such as induction heating, resistance heating, microwave heating and the like, and are not particularly limited. Here, a case where induction heating is used will be described. . Since the heating by induction heating can directly generate heat from the molten metal 90, the heating efficiency is high, and the temperature of the molten metal 90 can be finely controlled. It is effective in maintaining a constant value.

金属粉末製造装置1は、貯留部容器21の壁部内に内蔵された誘導加熱コイル81と、誘導加熱コイル81と電気的に接続された制御部82と、を備えた加熱手段8を有している。制御部82から誘導加熱コイル81に電圧を印加することで、貯留部容器21および溶融金属90が加熱され、貯留部2において貯留される溶融金属90の条件を、アトマイズ法に適した条件に維持することができる。その結果、溶融金属90が一次分裂および二次分裂する際に、経時的な条件のバラツキが抑えられるため、均一な条件で分裂させることができ、粒径の揃った金属粉末を製造することができる。   The metal powder manufacturing apparatus 1 includes a heating unit 8 including an induction heating coil 81 built in a wall portion of the storage container 21 and a control unit 82 electrically connected to the induction heating coil 81. Yes. By applying a voltage to the induction heating coil 81 from the control unit 82, the reservoir container 21 and the molten metal 90 are heated, and the condition of the molten metal 90 stored in the reservoir 2 is maintained at a condition suitable for the atomization method. can do. As a result, when the molten metal 90 undergoes primary splitting and secondary splitting, variation in conditions over time can be suppressed, so that it can be split under uniform conditions and a metal powder having a uniform particle size can be produced. it can.

ここで、加熱手段8の各部の構成について詳述する。
図1、2に示す誘導加熱コイル81は、貯留部容器21の壁部内に内蔵されている。壁部内に設けられることにより、誘導加熱コイル81と溶融金属90とが接触するのを防止して、溶融金属90の汚染を防止するとともに、誘導加熱コイル81の劣化を防止することができる。
Here, the configuration of each part of the heating means 8 will be described in detail.
The induction heating coil 81 shown in FIGS. 1 and 2 is built in the wall portion of the reservoir container 21. By being provided in the wall portion, it is possible to prevent the induction heating coil 81 and the molten metal 90 from contacting each other, prevent contamination of the molten metal 90, and prevent the induction heating coil 81 from deteriorating.

誘導加熱コイル81の構成材料は、導電性材料であれば特に限定されないが、例えば、銅、アルミニウム、真鍮等が挙げられる。また、誘導加熱コイル81は、上記材料で構成された管体をコイル状に成形したものが一般的に用いられ、管体内には冷却用の水が通される。
誘導加熱コイル81には、制御部82が電気的に接続されている。制御部82は、誘導加熱コイル81に電圧を印加する電源と、この電源の動作を制御する制御回路と、を含んでいる。電源としては、一般に高周波電源が用いられ、誘導加熱コイル81に対して周波数1kHz以上500kHz以下程度の交流電圧が印加される。
The constituent material of the induction heating coil 81 is not particularly limited as long as it is a conductive material, and examples thereof include copper, aluminum, and brass. The induction heating coil 81 is generally formed by forming a tubular body made of the above-described material into a coil shape, and cooling water is passed through the tubular body.
A control unit 82 is electrically connected to the induction heating coil 81. The control unit 82 includes a power source that applies a voltage to the induction heating coil 81 and a control circuit that controls the operation of the power source. As the power source, a high frequency power source is generally used, and an AC voltage having a frequency of about 1 kHz to 500 kHz is applied to the induction heating coil 81.

また、制御回路は、あらかじめ設定されたプログラムあるいは入力された情報等に基づいて、電源の動作を制御する。これにより、溶融金属90の温度を所定の範囲に制御する。具体的なプログラムの例として、貯留部容器21に溶融金属90が貯留され始めたときからの経過時間に応じて、誘導加熱コイル81による加熱温度を徐々に高めるプログラムが挙げられる。このようなプログラムを設定しておくことにより、溶融金属90の貯留を開始した直後から溶融金属90の温度を一定に維持する制御を簡単に行うことができる。   The control circuit controls the operation of the power source based on a preset program or input information. Thereby, the temperature of the molten metal 90 is controlled within a predetermined range. As a specific example of the program, there is a program that gradually increases the heating temperature by the induction heating coil 81 according to the elapsed time from when the molten metal 90 starts to be stored in the storage container 21. By setting such a program, it is possible to easily perform control for maintaining the temperature of the molten metal 90 constant immediately after the storage of the molten metal 90 is started.

加熱手段8による加熱温度(加熱中心における溶融金属90の温度)は、溶融金属90の量や組成等に応じて適宜設定される。具体的には、溶融金属90の組成の融点をTm[℃]としたとき、加熱温度がTm+50[℃]以上であるのが好ましく、Tm+100[℃]以上Tm+300[℃]以下であるのがより好ましく、Tm+150[℃]以上Tm+250[℃]以下であるのがさらに好ましい。溶融金属90の加熱温度を前記範囲内に設定することにより、溶融金属90の流動性が均一になるとともに一次分裂や二次分裂において溶融金属90は最適なものになる。このため、溶融金属90の加熱温度を前記範囲内に設定することにより、微細でかつ粒径の揃った金属粉末を確実に製造することができる。
また、溶融金属90の温度を一定に維持する際には、維持している最中の温度幅が30℃以下になるよう制御するのが好ましく、20℃以下になるよう制御するのがより好ましい。
The heating temperature by the heating means 8 (temperature of the molten metal 90 at the heating center) is appropriately set according to the amount, composition, etc. of the molten metal 90. Specifically, when the melting point of the composition of the molten metal 90 is Tm [° C.], the heating temperature is preferably Tm + 50 [° C.] or higher, more preferably Tm + 100 [° C.] or higher and Tm + 300 [° C.] or lower. Preferably, it is Tm + 150 [° C.] or higher and Tm + 250 [° C.] or lower. By setting the heating temperature of the molten metal 90 within the above range, the fluidity of the molten metal 90 becomes uniform, and the molten metal 90 becomes optimal in primary splitting and secondary splitting. For this reason, by setting the heating temperature of the molten metal 90 within the above range, a fine metal powder having a uniform particle diameter can be reliably produced.
Further, when maintaining the temperature of the molten metal 90 constant, it is preferable to control the temperature range during the maintenance to be 30 ° C. or less, and it is more preferable to control to be 20 ° C. or less. .

なお、貯留している溶融金属90の温度を測定することはできるものの、高温の溶融金属90の温度を測定するという過酷な環境であるがゆえ、隔壁を介して測定したり、あるいは、赤外線センサーを用いて測定する必要がある。このため、温度をリアルタイムにかつ継続的に測定したり、あるいは、液面下の温度を測定することができないので、この点からも加熱手段8による加熱動作をあらかじめ設定しておいたプログラムに基づいて行うことが有用である。特に、図1に示す金属粉末製造装置1の貯留部2では、溶融金属90を下方に流下させる一方、上方から新たな溶融金属90が供給されるため、溶融金属90の温度は短時間で大きく変動することになる。このため、上記のようなプログラムの設定が有効なのである。   Although it is possible to measure the temperature of the molten metal 90 stored, it is possible to measure the temperature via the partition wall because of the harsh environment of measuring the temperature of the hot molten metal 90 or an infrared sensor. It is necessary to measure using For this reason, the temperature cannot be measured continuously in real time, or the temperature below the liquid level cannot be measured. From this point as well, the heating operation by the heating means 8 is based on a preset program. It is useful to do. In particular, in the storage unit 2 of the metal powder manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 1, the molten metal 90 is caused to flow downward, while new molten metal 90 is supplied from above, so that the temperature of the molten metal 90 increases in a short time. Will fluctuate. For this reason, the program setting as described above is effective.

また、誘導加熱コイル81の設置位置は、放熱手段5より下方であれば、貯留部容器21の壁部の全体であってもよいが、壁部のうち放熱手段5の直下の一部分のみであってもよい。前者の場合、貯留中の溶融金属90全体をムラなく加熱することができ、後者の場合、温度低下し易い放熱手段5の直下のみを加熱することで、溶融金属90の温度低下を効率よく防ぐ点で有用である。しかも、図1に示す貯留部容器21には、その上方に位置する供給部6から溶融金属90が供給されてくるので、貯留中の溶融金属90には、貯留部容器21の中央部において下方に向かう流れが生じる。そして、この溶融金属90の流れの一部は、貯留部容器21の底部に当たり、壁部側に向かうこととなる。後者の場合、溶融金属90の液面部のみが加熱されているため、下方に向かう溶融金属90も周囲に比べてやや温度の高いものになる。このため、壁部側に向かった後、壁部に沿って再び上方に向かう流れが生起される。その結果、後者の場合、貯留中の溶融金属90に対流が生起されることとなり、溶融金属90全体の温度が均一になり易いという効果も得られる。   Further, the installation position of the induction heating coil 81 may be the entire wall portion of the reservoir container 21 as long as it is below the heat dissipation means 5, but only a part of the wall portion directly below the heat dissipation means 5. May be. In the former case, the entire molten metal 90 being stored can be heated uniformly, and in the latter case, the temperature drop of the molten metal 90 can be efficiently prevented by heating only directly below the heat dissipating means 5 that tends to lower the temperature. Useful in terms. In addition, since the molten metal 90 is supplied to the reservoir container 21 shown in FIG. 1 from the supply unit 6 located above the reservoir container 21, the molten metal 90 being stored is located below the central portion of the reservoir container 21. The flow toward A part of the flow of the molten metal 90 hits the bottom of the storage container 21 and goes toward the wall. In the latter case, since only the liquid surface portion of the molten metal 90 is heated, the molten metal 90 moving downward is also slightly higher in temperature than the surroundings. For this reason, after heading for the wall part side, the flow which goes upwards again along a wall part is produced. As a result, in the latter case, convection is generated in the molten metal 90 being stored, and the effect that the temperature of the entire molten metal 90 tends to be uniform is also obtained.

なお、溶融金属90の液面部とは、以下のように定義される。貯留部容器21の形状により若干異なるものの、溶融金属90の液面から貯留部容器21の底面までの深さをD1としたとき、溶融金属90の液面から0.4D1以下の深さの領域が液面部とされる。したがって、この領域よりも下方に加熱手段8を設けることで、前述した本発明の効果を享受することができる。   The liquid surface portion of the molten metal 90 is defined as follows. Although slightly different depending on the shape of the reservoir container 21, when the depth from the liquid surface of the molten metal 90 to the bottom surface of the reservoir container 21 is D1, a region having a depth of 0.4D1 or less from the liquid surface of the molten metal 90 Is the liquid surface. Therefore, the effect of the present invention described above can be enjoyed by providing the heating means 8 below this region.

また、放熱手段5の直下の一部分のみに誘導加熱コイル81を設置する場合、その設定の範囲、すなわち誘導加熱コイル81の上端から下端までの距離D4は、0.05D1以上0.5D1以下であるのが好ましく、0.1D1以上0.3D1以下であるのがより好ましい。D4を上記のような範囲に設定することで、前述したような効果がより顕著に発揮される。その結果、粒径の揃った高品質な金属粉末をより確実に製造することができる。   When the induction heating coil 81 is installed only in a part immediately below the heat radiating means 5, the setting range, that is, the distance D4 from the upper end to the lower end of the induction heating coil 81 is 0.05D1 or more and 0.5D1 or less. And is more preferably 0.1D1 or more and 0.3D1 or less. By setting D4 in the above range, the effects as described above are more remarkably exhibited. As a result, a high-quality metal powder having a uniform particle size can be produced more reliably.

一方、放熱手段5としては、例えば、溶融金属90の液面部の温度を部分的に低下させ得るものであれば、特に限定されないが、本実施形態では、貯留部容器21の壁部のうち、誘導加熱コイルのような加熱手段を設けない部分で放熱手段5が構成されている。このような放熱手段5であれば、壁部を介してあるいは大気との接触により溶融金属90の液面部が放熱されることとなり、溶融金属90の温度が融点を下回ることによって固化膜92が形成される。また、上記のような構造であれば、放熱手段5の構造を簡略化することができる。   On the other hand, the heat dissipating means 5 is not particularly limited as long as it can partially reduce the temperature of the liquid surface portion of the molten metal 90, but in the present embodiment, of the wall portion of the reservoir container 21 The heat dissipating means 5 is constituted by a portion where no heating means such as an induction heating coil is provided. With such a heat radiating means 5, the liquid surface portion of the molten metal 90 is radiated through the wall portion or by contact with the atmosphere, and the solidified film 92 is formed by the temperature of the molten metal 90 being lower than the melting point. It is formed. Moreover, if it is the above structures, the structure of the thermal radiation means 5 can be simplified.

なお、壁部を介する放熱の効率を高める観点、あるいは誘導加熱コイル81により壁部が加熱され、それにより溶融金属90を間接的に加熱する場合の効率を高める観点から、貯留部容器21の構成材料には比較的熱伝導性の高いものが好ましく用いられる。前述した構成材料の中でも、炭素材料を含むものが好ましく、誘導加熱コイル81に対する絶縁性との兼ね合いからセラミックスと炭素との複合材料がより好ましく用いられる。このような複合材料としては、例えば、アルミナ・グラファイト材料等が挙げられる。   From the viewpoint of increasing the efficiency of heat dissipation through the wall, or from the viewpoint of increasing the efficiency when the wall is heated by the induction heating coil 81 and indirectly heating the molten metal 90, the configuration of the reservoir container 21 A material having a relatively high thermal conductivity is preferably used. Among the above-described constituent materials, those containing a carbon material are preferable, and a composite material of ceramics and carbon is more preferably used in consideration of the insulation with respect to the induction heating coil 81. Examples of such composite materials include alumina / graphite materials.

ここで、溶融金属90の液面から放熱手段5の下端までの距離(加熱手段8の上端までの距離)をD2としたとき、D2は、0.01D1以上0.3D1以下であるのが好ましく、0.02D1以上0.2D1以下であるのがより好ましい。D2を上記のような範囲に設定することで、溶融金属90中に酸素が取り込まれるのを確実に防止し得る程度の厚さの固化膜92が形成される。その結果、製造される金属粉末における酸素含有率の上昇を確実に抑制することができる。また、酸化し易く、金属酸化物を生成し易い元素を含む溶融金属90についても、酸素含有率の低い高品質な金属粉末を製造することができる。   Here, when the distance from the liquid level of the molten metal 90 to the lower end of the heat dissipating means 5 (the distance from the upper end of the heating means 8) is D2, D2 is preferably 0.01D1 or more and 0.3D1 or less. 0.02D1 or more and 0.2D1 or less is more preferable. By setting D2 within the above range, a solidified film 92 having a thickness that can reliably prevent oxygen from being taken into the molten metal 90 is formed. As a result, it is possible to reliably suppress an increase in oxygen content in the manufactured metal powder. Also, a high-quality metal powder having a low oxygen content can be produced for the molten metal 90 that contains an element that easily oxidizes and easily generates a metal oxide.

また、放熱手段5を設けることにより溶融金属90の液面には固化膜92が形成されるが、形成される固化膜92の厚さは、好ましくは1μm以上500μm以下程度とされ、より好ましくは20μm以上300μm以下程度とされる。固化膜92の厚さが前記範囲内であれば、酸素の取り込みを確実に防止しつつ、溶融金属90が無駄になる量を最小限に抑えることができる。なお、固化膜92の厚さは、D2により調整することが可能であり、例えばD2を大きくすることによって厚くすることができる。   Further, by providing the heat dissipating means 5, a solidified film 92 is formed on the liquid surface of the molten metal 90. The thickness of the formed solidified film 92 is preferably about 1 μm to 500 μm, and more preferably It is about 20 μm or more and 300 μm or less. If the thickness of the solidified film 92 is within the above range, the amount of wasted molten metal 90 can be minimized while reliably preventing oxygen uptake. Note that the thickness of the solidified film 92 can be adjusted by D2. For example, the thickness can be increased by increasing D2.

また、供給部筒状部材62の下端は、貯留部容器21に貯留された溶融金属90の液面より上方に位置していてもよいが、好ましくは液面より下方に位置しているのが好ましい。供給部筒状部材62の位置をこのように設定することで、供給部6から供給される溶融金属90は、外気にほとんど触れることなく貯留部容器21へと移送されることとなる。その結果、移送に伴う溶融金属90の温度低下を最小限に抑えることができ、溶融金属90の温度制御をより容易にすることができる。   Further, the lower end of the supply portion cylindrical member 62 may be located above the liquid level of the molten metal 90 stored in the storage portion container 21, but is preferably located below the liquid level. preferable. By setting the position of the supply portion cylindrical member 62 in this way, the molten metal 90 supplied from the supply portion 6 is transferred to the storage portion container 21 with little contact with the outside air. As a result, the temperature drop of the molten metal 90 accompanying the transfer can be minimized, and the temperature control of the molten metal 90 can be made easier.

この場合、溶融金属90の液面から供給部筒状部材62の下端までの距離をD3としたとき、D3は、D2より大きくてもよいが、0.01D2以上0.8D2以下であるのが好ましく、0.05D2以上0.6D2以下であるのがより好ましい。D3を前記範囲内に設定することにより、溶融金属90の温度をより均一かつ一定に維持することができる。   In this case, when the distance from the liquid level of the molten metal 90 to the lower end of the supply portion cylindrical member 62 is D3, D3 may be larger than D2, but it is 0.01D2 or more and 0.8D2 or less. Preferably, it is 0.05D2 or more and 0.6D2 or less. By setting D3 within the above range, the temperature of the molten metal 90 can be kept more uniform and constant.

さらに、D3は、固化膜92の厚さより大きいことが好ましい。これにより、供給部筒状部材62の下端は、固化膜92を突き抜けるようにして固化膜92の下方に延伸することになるので、供給部筒状部材62を介して溶融金属90が供給されたとき、溶融金属90の流れに固化膜92が巻き込まれるのを防止することができる。その結果、金属粉末の品質が低下するのを防止することができる。   Further, D3 is preferably larger than the thickness of the solidified film 92. As a result, the lower end of the supply-portion cylindrical member 62 extends below the solidified film 92 so as to penetrate the solidified film 92, so that the molten metal 90 is supplied via the supply-portion cylindrical member 62. At this time, it is possible to prevent the solidified film 92 from being caught in the flow of the molten metal 90. As a result, it is possible to prevent the quality of the metal powder from deteriorating.

なお、金属粉末を製造する際には、供給部6から貯留部2へと供給される溶融金属90の供給量を適宜調整することにより、貯留部容器21に貯留された溶融金属90の液面の高さが一定になるように制御するのが好ましい。これにより、溶融金属90の温度をより厳密に制御することができる。溶融金属90の供給量を調整するには、例えば供給部筒状部材62の途中に開閉弁等を設け、これを開閉すればよい。この際、液面の高さの上下幅は50mm以下であるのが好ましく、30mm以下であるのがより好ましい。   In addition, when manufacturing metal powder, the liquid level of the molten metal 90 stored in the storage container 21 is appropriately adjusted by appropriately adjusting the supply amount of the molten metal 90 supplied from the supply unit 6 to the storage unit 2. It is preferable to control so that the height is constant. Thereby, the temperature of the molten metal 90 can be controlled more strictly. In order to adjust the supply amount of the molten metal 90, for example, an opening / closing valve or the like may be provided in the middle of the supply portion cylindrical member 62, and this may be opened / closed. At this time, the vertical width of the height of the liquid surface is preferably 50 mm or less, and more preferably 30 mm or less.

以上、放熱手段5および加熱手段8について説明したが、これらの構成は上記のものに限定されない。例えば、誘導加熱コイル81は、貯留部容器21の壁部内に内蔵されていなくてもよく、壁部の外側に設けられていてもよい。
また、供給部6は、溶融金属90を貯留部2に対して供給し得るものであれば、その他のもの(例えば、溶融炉等)で代替することもできる。
また、加熱手段8において誘導加熱コイルの出力調整は、あらかじめ入力されたプログラムに基づいてなされる場合のみでなく、人為的に調整されるよう構成されていてもよい。
As mentioned above, although the thermal radiation means 5 and the heating means 8 were demonstrated, these structures are not limited to the above. For example, the induction heating coil 81 may not be incorporated in the wall portion of the reservoir container 21 and may be provided outside the wall portion.
Further, the supply unit 6 may be replaced with another one (for example, a melting furnace or the like) as long as it can supply the molten metal 90 to the storage unit 2.
In addition, the output adjustment of the induction heating coil in the heating means 8 may be configured to be artificially adjusted, not only when it is made based on a program input in advance.

なお、固化膜92の形成は、上述したような放熱手段5を用いる方法以外にも、貯留部容器21に貯留された溶融金属90の液面に金属粉末を撒く方法によっても行うことができる。金属粉末を撒くことにより、溶融金属90の上面に金属粉末からなる被膜および金属粉末により溶融金属90の熱が奪われて固化してなる固化膜が形成される。このため、固化膜が増強されるとともに、速やかに固化膜が形成されることとなり、溶融金属90中に取り込まれる酸素量がより低減される。   The solidified film 92 can be formed not only by the method using the heat radiating means 5 as described above, but also by a method in which a metal powder is sprinkled on the liquid surface of the molten metal 90 stored in the storage container 21. By spreading the metal powder, a coating film made of the metal powder and a solidified film formed by solidifying the molten metal 90 by removing heat from the metal powder are formed on the upper surface of the molten metal 90. For this reason, the solidified film is strengthened, and the solidified film is rapidly formed, so that the amount of oxygen taken into the molten metal 90 is further reduced.

金属粉末の組成としては、特に限定されず、Fe系粉末、Ni系粉末等が挙げられるが、好ましくは溶融金属90と同じ組成が挙げられる。溶融金属90と同じ組成の金属粉末を撒くことにより、仮に金属粉末が溶融金属90中に取り込まれたとしても、それによって溶融金属90の組成が変動するおそれがない。このため、最終的に得られる金属粉末についても、目的とする組成のものが得られることとなる。   The composition of the metal powder is not particularly limited, and examples thereof include Fe-based powders and Ni-based powders. Preferably, the same composition as that of the molten metal 90 is used. By spreading the metal powder having the same composition as the molten metal 90, even if the metal powder is taken into the molten metal 90, there is no possibility that the composition of the molten metal 90 will fluctuate. For this reason, the metal powder finally obtained also has the target composition.

用いられる金属粉末の平均粒径は、特に限定されないが、1μm以上30μm以下程度であるのが好ましく、1μm以上20μm以下程度であるのがより好ましい。金属粉末の平均粒径を前記範囲内にすることにより、金属粉末を液面上に浮かせることができ、固化膜92が確実に形成される。また、固化膜92が緻密なものとなり、溶融金属90に取り込まれる酸素量を十分に低減することができる。
なお、このような金属粉末を撒く方法を用いる場合、金属粉末製造装置1において放熱手段5を省略してもよい。
The average particle diameter of the metal powder used is not particularly limited, but is preferably about 1 μm or more and 30 μm or less, and more preferably about 1 μm or more and 20 μm or less. By setting the average particle diameter of the metal powder within the above range, the metal powder can be floated on the liquid surface, and the solidified film 92 is reliably formed. Further, the solidified film 92 becomes dense, and the amount of oxygen taken into the molten metal 90 can be sufficiently reduced.
In addition, when using the method of spreading such a metal powder, you may abbreviate | omit the thermal radiation means 5 in the metal powder manufacturing apparatus 1. FIG.

≪第2実施形態≫
次に、本発明の金属粉末製造装置の第2実施形態について説明する。
図3は、本発明の金属粉末製造装置の第2実施形態の一部を模式的に示す縦断面図である。
以下、第2実施形態について説明するが、前記第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第2実施形態は、放熱手段の構成が異なる以外、第1実施形態と同様である。
<< Second Embodiment >>
Next, a second embodiment of the metal powder production apparatus of the present invention will be described.
FIG. 3 is a longitudinal sectional view schematically showing a part of the second embodiment of the metal powder production apparatus of the present invention.
Hereinafter, although the second embodiment will be described, the description will focus on the differences from the first embodiment, and the description of the same matters will be omitted.
The second embodiment is the same as the first embodiment except that the configuration of the heat dissipating means is different.

本実施形態では、放熱手段5が、貯留部容器21の壁部内に内蔵された冷却水回路51と、この冷却水回路51に冷却水を供給する供給源(図示せず)と、を有している。冷却水回路51には、供給源から絶えず冷却水が送られ、流通している。このため、壁部のうち、冷却水回路51の周囲は、冷却水によって効率的に冷却され、それに伴って溶融金属90の液面部が間接的に冷却される。その結果、固化膜92を短時間で効率よく形成することができ、溶融金属90に取り込まれる酸素量をより低減することができる。   In the present embodiment, the heat dissipating means 5 includes a cooling water circuit 51 built in the wall portion of the reservoir container 21 and a supply source (not shown) for supplying cooling water to the cooling water circuit 51. ing. Cooling water is continuously sent from the supply source to the cooling water circuit 51 and is distributed. For this reason, the periphery of the cooling water circuit 51 in the wall portion is efficiently cooled by the cooling water, and accordingly, the liquid surface portion of the molten metal 90 is indirectly cooled. As a result, the solidified film 92 can be efficiently formed in a short time, and the amount of oxygen taken into the molten metal 90 can be further reduced.

冷却水回路51は、貯留部容器21の壁部内に形成した管状の孔、または、貯留部容器21の壁部内または壁部外に敷設された熱伝導性の高い材料からなる管体等で構成される。熱伝導性の高い材料としては、例えば、銅、アルミニウム、チタン、ステンレス鋼のような金属材料等が挙げられる。
また、冷却水回路51は、貯留部容器21の壁部に沿って螺旋状に成形されるのが好ましい。なお、冷却水は、他の冷媒(各種液体および各種気体)で代替することもできる。
冷却水の流通量は、貯留部容器21の大きさに応じて異なるが、一例として、1L/min以上100L/min以下程度であるのが好ましく、3L/min以上50L/min以下程度であるのがより好ましい。
このような第2実施形態においても、第1実施形態と同様の作用、効果が得られる。
The cooling water circuit 51 is configured by a tubular hole formed in the wall portion of the storage container 21 or a tubular body made of a material having high thermal conductivity laid inside or outside the wall of the storage container 21. Is done. Examples of the material having high thermal conductivity include metal materials such as copper, aluminum, titanium, and stainless steel.
The cooling water circuit 51 is preferably formed in a spiral shape along the wall portion of the reservoir container 21. The cooling water can be replaced with other refrigerants (various liquids and various gases).
The flow rate of the cooling water varies depending on the size of the reservoir container 21, but as an example, it is preferably about 1 L / min to 100 L / min, and is about 3 L / min to 50 L / min. Is more preferable.
In such a second embodiment, the same operations and effects as in the first embodiment can be obtained.

≪第3実施形態≫
次に、本発明の金属粉末製造装置の第3実施形態について説明する。
図4は、本発明の金属粉末製造装置の第3実施形態の一部を模式的に示す縦断面図である。
以下、第3実施形態について説明するが、前記第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第3実施形態に係る放熱手段5は、第1実施形態に係る構成に加え、貯留部容器21に貯留された溶融金属の液面に向けてガスを噴射する送気部52を有している以外、第1実施形態と同様である。
«Third embodiment»
Next, a third embodiment of the metal powder production apparatus of the present invention will be described.
FIG. 4 is a longitudinal sectional view schematically showing a part of a third embodiment of the metal powder production apparatus of the present invention.
In the following, the third embodiment will be described. The description will focus on the differences from the first embodiment, and the description of the same matters will be omitted.
In addition to the structure which concerns on 1st Embodiment, the thermal radiation means 5 which concerns on 3rd Embodiment has the air supply part 52 which injects gas toward the liquid level of the molten metal stored by the storage part container 21. FIG. Other than the above, the second embodiment is the same as the first embodiment.

図4に示す送気部52は、壁部の上方に載置されている。送気部52から液面に向けてガスが噴射されると、液面の熱が効率よく奪われるため、液面部の温度が急速に低下する。その結果、溶融金属90の液面に固化膜92を効率よく形成することができる。
送気部52から噴射されるガスは、空気であってもよいが、窒素ガスやアルゴンガスのような不活性ガスであるのが好ましい。不活性ガスであれば、溶融金属90中に取り込まれる酸素量を低減することができるので、金属粉末中の酸素含有率をより低下させることができる。
The air supply part 52 shown in FIG. 4 is mounted above the wall part. When gas is jetted from the air supply section 52 toward the liquid surface, the heat of the liquid surface is efficiently taken, and the temperature of the liquid surface portion rapidly decreases. As a result, the solidified film 92 can be efficiently formed on the liquid surface of the molten metal 90.
The gas injected from the air supply section 52 may be air, but is preferably an inert gas such as nitrogen gas or argon gas. If it is an inert gas, since the amount of oxygen taken into the molten metal 90 can be reduced, the oxygen content in the metal powder can be further reduced.

送気部52は、いかなる構成のものでもよいが、好ましくは貯留部容器21の壁部に沿って敷設された送気管521に、複数の送気口522が均等に配置された構成とされる。
このような第3実施形態においても、第1実施形態と同様の作用、効果が得られる。また、第3実施形態に係る放熱手段5では、貯留部容器21の壁部の絶縁性や熱伝導性を考慮することなく十分な放熱性が発現するため、壁部の材質の選択において制約がなくなり、機械的特性やコスト等を最優先に材質を選択することが可能になる。
The air supply unit 52 may have any configuration, but preferably, a plurality of air supply ports 522 are evenly arranged in the air supply pipe 521 laid along the wall of the reservoir container 21. .
In such a third embodiment, the same operation and effect as in the first embodiment can be obtained. Moreover, in the heat radiating means 5 according to the third embodiment, sufficient heat dissipation is exhibited without considering the insulation and thermal conductivity of the wall portion of the reservoir container 21, so there are restrictions in the selection of the material of the wall portion. The material can be selected with the highest priority on mechanical characteristics and cost.

≪第4実施形態≫
次に、本発明の金属粉末製造装置の第4実施形態について説明する。
図5は、本発明の金属粉末製造装置の第4実施形態を模式的に示す縦断面図である。
以下、第4実施形態について説明するが、前記第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第4実施形態は、加熱手段の構成が異なる以外、第1実施形態と同様である。
<< Fourth Embodiment >>
Next, a fourth embodiment of the metal powder production apparatus of the present invention will be described.
FIG. 5 is a longitudinal sectional view schematically showing a fourth embodiment of the metal powder production apparatus of the present invention.
In the following, the fourth embodiment will be described. The description will focus on the differences from the first embodiment, and the description of the same matters will be omitted.
The fourth embodiment is the same as the first embodiment except that the configuration of the heating means is different.

本実施形態では、加熱手段8が、誘導加熱コイル81、制御部82の他に、貯留部容器21内に貯留された溶融金属90の温度を測定する第1の温度センサー(温度測定部)83と、貯留部容器21内に貯留された溶融金属90の液面の高さを検出する液面モニター84、供給部容器61内に貯留された溶融金属90の温度を測定する第2の温度センサー(温度測定部)85と、供給部筒状部材62を通過する溶融金属90の単位時間当たりの通過量を調整する開閉弁86と、を有している。第1の温度センサー83、液面モニター(液面計測部)84および第2の温度センサー85は、それぞれ制御部82と電気的に接続されており、測定結果および検出結果を制御部82に送るよう構成されている。また、開閉弁86も制御部82と電気的に接続されており、制御部82によってその開閉動作が制御されるよう構成されている。なお、制御部82では、測定結果および検出結果に基づいて、誘導加熱コイル81に印加する出力や開閉弁86の開閉量を調整することにより、溶融金属90の温度、液面の高さ等の条件を一定に維持する制御が、より容易かつ確実に行える。また、場合によっては、溶融金属90の組成、気温、貯留部容器21および供給部容器61の容量等の条件をあらかじめ制御部82に入力しておくことにより、さらに厳密な制御が可能になる。   In the present embodiment, the heating unit 8 includes a first temperature sensor (temperature measurement unit) 83 that measures the temperature of the molten metal 90 stored in the storage unit container 21 in addition to the induction heating coil 81 and the control unit 82. A liquid level monitor 84 that detects the height of the liquid level of the molten metal 90 stored in the storage container 21, and a second temperature sensor that measures the temperature of the molten metal 90 stored in the supply container 61. (Temperature measuring unit) 85 and an opening / closing valve 86 for adjusting the amount of molten metal 90 passing through the supply unit cylindrical member 62 per unit time. The first temperature sensor 83, the liquid level monitor (liquid level measuring unit) 84, and the second temperature sensor 85 are electrically connected to the control unit 82, and send the measurement result and the detection result to the control unit 82. It is configured as follows. In addition, the on-off valve 86 is also electrically connected to the control unit 82, and is configured such that its opening / closing operation is controlled by the control unit 82. The control unit 82 adjusts the output applied to the induction heating coil 81 and the opening / closing amount of the on-off valve 86 based on the measurement result and the detection result, thereby adjusting the temperature of the molten metal 90, the height of the liquid level, and the like. Control to keep the conditions constant can be performed more easily and reliably. In some cases, more strict control is possible by previously inputting conditions such as the composition of the molten metal 90, the temperature, and the capacities of the storage container 21 and the supply container 61 to the controller 82.

このように本実施形態によれば、制御部82によって溶融金属90の状態を一元的に管理し、それに基づいて加熱量等を自動的に制御するため、溶融金属90の組成によらず、高品質の金属粉末を確実に製造することができる。すなわち、本実施形態に係る制御部82は、フィードバック制御を行うよう構成されている。
なお、この場合、第1の温度センサー83や第2の温度センサー85による測定値は、実際の温度変化に対してタイムラグがあるため、あらかじめ入力した経験値等に基づき、タイムラグを補正するようにするのが好ましい。
また、本実施形態では、誘導加熱コイル81が複数の部分に分かれており、各部分に対して独立に電圧を印加し得るよう構成されている。これにより、部分ごとに異なる電圧を印加することができ、それにより溶融金属90の加熱量を液面からの深さごとに異ならせることができる。その結果、溶融金属90の温度をより均一に維持することができる。
As described above, according to the present embodiment, the state of the molten metal 90 is centrally managed by the control unit 82, and the heating amount and the like are automatically controlled based on the centralized state. Quality metal powder can be produced reliably. That is, the control unit 82 according to the present embodiment is configured to perform feedback control.
In this case, since the measured values by the first temperature sensor 83 and the second temperature sensor 85 have a time lag with respect to the actual temperature change, the time lag is corrected based on the experience values inputted in advance. It is preferable to do this.
Moreover, in this embodiment, the induction heating coil 81 is divided into a plurality of parts, and is configured so that a voltage can be applied independently to each part. Thereby, a different voltage can be applied for every part, and, thereby, the amount of heating of the molten metal 90 can be made different for each depth from the liquid surface. As a result, the temperature of the molten metal 90 can be maintained more uniformly.

以上、本発明の金属粉末製造装置および金属粉末製造方法を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではなく、例えば、金属粉末製造装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。   As mentioned above, although the metal powder manufacturing apparatus and metal powder manufacturing method of this invention were demonstrated based on embodiment of illustration, this invention is not limited to these, For example, each part which comprises a metal powder manufacturing apparatus is It can be replaced with any structure capable of performing the same function. Moreover, arbitrary components may be added.

1.金属粉末の製造
(実施例1)
まず、ステンレス鋼SUS316L(融点Tm:1450℃)を高周波誘導炉で溶融して溶融金属を得た。
次いで、得られた溶融金属を図1に示す金属粉末製造装置の供給部容器内に移した。そして、溶融金属を貯留部およびノズルへと流下させるとともに、ノズルのスリットから水ジェットを噴射することにより、溶融金属を粉末化した。これにより、金属粉末を得た。
1. Production of metal powder (Example 1)
First, stainless steel SUS316L (melting point Tm: 1450 ° C.) was melted in a high frequency induction furnace to obtain a molten metal.
Next, the obtained molten metal was transferred into a supply container of the metal powder production apparatus shown in FIG. And while making molten metal flow down to a storage part and a nozzle, the molten metal was pulverized by injecting a water jet from the slit of a nozzle. Thereby, metal powder was obtained.

なお、金属粉末製造装置の各部の構成は以下の通りである。
・供給部容器の材質 :アルミナ・グラファイト複合材料
・貯留部容器の材質 :アルミナ・グラファイト複合材料
・供給部筒状部材の内径 :5mm
・貯留部筒状部材の内径 :5mm
・貯留部容器における溶融金属の液面から底面までの深さD1 :300mm
・貯留部容器における溶融金属の液面から放熱手段の下端までの距離D2:50mm
・溶融金属の液面から供給部筒状部材の下端までの距離D3 :40mm
また、金属粉末製造装置における溶融金属の温度は以下の通りである。
・供給部容器に貯留された溶融金属の初期温度 :1720℃
・貯留部容器に貯留された溶融金属の加熱温度 :1650℃
In addition, the structure of each part of a metal powder manufacturing apparatus is as follows.
・ Material of supply container: Alumina / graphite composite material ・ Material of storage container: alumina / graphite composite material ・ Inner diameter of supply tubular member: 5 mm
・ Inner diameter of reservoir cylindrical member: 5 mm
-Depth D1 from the liquid surface to the bottom surface of the molten metal in the reservoir container: 300 mm
・ Distance D2 from the liquid level of the molten metal in the reservoir container to the lower end of the heat dissipation means: 50 mm
-Distance D3 from the liquid level of the molten metal to the lower end of the supply tubular member: 40 mm
Moreover, the temperature of the molten metal in a metal powder manufacturing apparatus is as follows.
-Initial temperature of molten metal stored in the supply section container: 1720 ° C
-Heating temperature of molten metal stored in storage container: 1650 ° C

なお、貯留部容器に貯留された溶融金属の液面には、平均厚さ120μmの固化膜が形成された。
また、金属粉末の製造中は、貯留部容器における溶融金属の液面の高さが一定になるよう、供給部から供給される溶融金属の供給量を適宜調整するようにした。この調整時の液面の高さの上下幅は30mmに収まっていることが確認された。
A solidified film having an average thickness of 120 μm was formed on the liquid surface of the molten metal stored in the storage container.
Further, during the production of the metal powder, the supply amount of the molten metal supplied from the supply unit is appropriately adjusted so that the liquid level of the molten metal in the storage container is constant. It was confirmed that the vertical height of the liquid level at the time of this adjustment was within 30 mm.

なお、加熱手段では、貯留部容器に貯留した溶融金属の温度が1分あたり1.5℃低下することを事前に測定しておいたので、この低下率を踏まえ、この温度低下を打ち消すように、溶融金属の貯留開始後からの経過時間に応じて徐々に加熱温度を高めるよう、あらかじめプログラムを入力しておいた。その結果、溶融金属の温度は金属粉末の製造開始時から終了時まで前記温度でほぼ一定に維持することができた(温度幅:約10℃)。   In addition, in the heating means, since it was measured in advance that the temperature of the molten metal stored in the storage container was decreased by 1.5 ° C. per minute, based on this decrease rate, the temperature decrease should be canceled out. A program was input in advance so as to gradually increase the heating temperature according to the elapsed time after the start of storage of the molten metal. As a result, the temperature of the molten metal could be kept substantially constant at the above temperature from the start to the end of the production of the metal powder (temperature range: about 10 ° C.).

(実施例2)
貯留部容器に貯留された溶融金属の加熱温度を1575℃に変更した以外は、実施例1と同様にして金属粉末を得た。なお、得られた固化膜の厚さを表1に示す。
(実施例3)
貯留部容器に貯留された溶融金属の加熱温度を1720℃に変更した以外は、実施例1と同様にして金属粉末を得た。なお、得られた固化膜の厚さを表1に示す。
(Example 2)
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that the heating temperature of the molten metal stored in the storage container was changed to 1575 ° C. The thickness of the obtained solidified film is shown in Table 1.
(Example 3)
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that the heating temperature of the molten metal stored in the storage container was changed to 1720 ° C. The thickness of the obtained solidified film is shown in Table 1.

(実施例4)
D2を10mmに変更するとともに貯留部容器に貯留された溶融金属の加熱温度を表1に示す温度にした以外は、実施例1と同様にして金属粉末を得た。なお、得られた固化膜の厚さを表1に示す。
(実施例5)
D2を80mmに変更するとともに貯留部容器に貯留された溶融金属の加熱温度を表1に示す温度にした以外は、実施例1と同様にして金属粉末を得た。なお、得られた固化膜の厚さを表1に示す。
Example 4
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that D2 was changed to 10 mm and the heating temperature of the molten metal stored in the storage container was changed to the temperature shown in Table 1. The thickness of the obtained solidified film is shown in Table 1.
(Example 5)
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that D2 was changed to 80 mm and the heating temperature of the molten metal stored in the storage container was changed to the temperature shown in Table 1. The thickness of the obtained solidified film is shown in Table 1.

(実施例6)
図1に示す金属粉末製造装置において誘導加熱コイルを貯留部容器のうち、放熱手段を設けた部分以外の全体にわたって敷設するよう変更した装置を用いるとともに、貯留部容器に貯留された溶融金属の加熱温度を表1に示す温度にした以外は、実施例1と同様にして金属粉末を得た。なお、得られた固化膜の厚さを表1に示す。
(実施例7)
D3を30mmに変更するとともに貯留部容器に貯留された溶融金属の加熱温度を表1に示す温度にした以外は、実施例1と同様にして金属粉末を得た。なお、得られた固化膜の厚さを表1に示す。
(Example 6)
In the metal powder manufacturing apparatus shown in FIG. 1, the induction heating coil is used so as to be laid throughout the reservoir container except for the portion provided with the heat dissipating means, and the molten metal stored in the reservoir container is heated. A metal powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that the temperature was changed to the temperature shown in Table 1. The thickness of the obtained solidified film is shown in Table 1.
(Example 7)
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that D3 was changed to 30 mm and the heating temperature of the molten metal stored in the storage container was changed to the temperature shown in Table 1. The thickness of the obtained solidified film is shown in Table 1.

(実施例8)
D3を0mmに変更するとともに貯留部容器に貯留された溶融金属の加熱温度を表1に示す温度にした以外は、実施例1と同様にして金属粉末を得た。なお、得られた固化膜の厚さを表1に示す。
(実施例9)
放熱手段の構成を図3に示す構成に変更した以外は、実施例1と同様にして金属粉末を得た。なお、冷却水は、5L/minで循環させるようにした。また得られた固化膜の厚さを表1に示す。
(Example 8)
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that D3 was changed to 0 mm and the heating temperature of the molten metal stored in the storage container was changed to the temperature shown in Table 1. The thickness of the obtained solidified film is shown in Table 1.
Example 9
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that the configuration of the heat dissipation means was changed to the configuration shown in FIG. The cooling water was circulated at 5 L / min. Table 1 shows the thickness of the obtained solidified film.

(実施例10)
放熱手段の構成を図4に示す構成に変更した以外は、実施例1と同様にして金属粉末を得た。なお、冷却ガスとしては空気(20℃)を用い、ガスの圧力は0.3MPaとした。また、得られた固化膜の厚さを表1に示す。
(実施例11)
金属粉末の製造開始時に、貯留部容器に貯留された溶融金属の液面に、平均粒径5μmのステンレス鋼(SUS316L)粉末を撒き、表面に被膜(固化膜)を形成するようにした以外は、実施例1と同様にして金属粉末を得た。なお、得られた固化膜の厚さを表1に示す。
(Example 10)
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that the configuration of the heat dissipation means was changed to the configuration shown in FIG. Note that air (20 ° C.) was used as the cooling gas, and the gas pressure was 0.3 MPa. Table 1 shows the thickness of the obtained solidified film.
(Example 11)
At the start of the production of the metal powder, except that the stainless steel (SUS316L) powder with an average particle size of 5 μm was sprinkled on the liquid surface of the molten metal stored in the storage container, and a film (solidified film) was formed on the surface. In the same manner as in Example 1, a metal powder was obtained. The thickness of the obtained solidified film is shown in Table 1.

(実施例12)
図5に示す金属粉末製造装置を用いるとともに貯留部容器に貯留された溶融金属の加熱温度を表1に示す温度に変更した以外は、実施例1と同様にして金属粉末を得た。なお、得られた固化膜の厚さを表1に示す。
ここで、加熱手段では、以下のように制御を行った。なお、第1の温度センサーおよび第2の温度センサーは、それぞれ容器の底部付近に取り付けた。
まず、液面モニターにより貯留部容器に貯留された溶融金属の液面の高さを検出し、この高さが一定の高さになるよう、供給部筒状部材に取り付けた開閉弁の開閉量を制御した。これにより、液面の高さを一定に維持することができた。
(Example 12)
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that the metal powder production apparatus shown in FIG. 5 was used and the heating temperature of the molten metal stored in the storage container was changed to the temperature shown in Table 1. The thickness of the obtained solidified film is shown in Table 1.
Here, the heating means was controlled as follows. The first temperature sensor and the second temperature sensor were each attached near the bottom of the container.
First, the liquid level of the molten metal stored in the storage container is detected by the liquid level monitor, and the opening / closing amount of the on-off valve attached to the supply tubular member so that this height is constant Controlled. Thereby, the height of the liquid level could be maintained constant.

また、第1の温度センサーによる測定値、第2の温度センサーによる測定値、および加熱温度に基づいて、誘導加熱コイルに印加する出力を制御した。具体的には、第1の温度センサーによる測定値と加熱温度との差を求め、これが0に近づくように誘導加熱コイルに印加する出力を制御した。なお、出力を求める演算においては、第2の温度センサーによる測定値を用い、この測定値が加熱温度を上回っている場合は、その分の熱量を出力に換算し、その出力分を減少させ、加熱温度を下回っている場合は、その分の熱量を出力に換算し、その出力分を高めるよう、演算結果を補正する制御を行った。   Moreover, the output applied to the induction heating coil was controlled based on the measured value by the first temperature sensor, the measured value by the second temperature sensor, and the heating temperature. Specifically, the difference between the measured value by the first temperature sensor and the heating temperature was determined, and the output applied to the induction heating coil was controlled so that this was close to zero. In the calculation for obtaining the output, the measurement value by the second temperature sensor is used, and when this measurement value exceeds the heating temperature, the amount of heat is converted into the output, the output is reduced, When the temperature was lower than the heating temperature, the amount of heat was converted into an output, and control was performed to correct the calculation result so as to increase the output.

(実施例13)
ステンレス鋼に代えてアルミニウム(融点Tm:660℃)を用いるようにした以外は、実施例1と同様にして金属粉末を得た。なお、得られた固化膜の厚さを表1に示す。
ここで、金属粉末製造装置における溶融金属の温度は以下の通りである。
・供給部容器に貯留された溶融金属の初期温度 :950℃
・貯留部容器に貯留された溶融金属の加熱温度 :900℃
(Example 13)
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that aluminum (melting point Tm: 660 ° C.) was used instead of stainless steel. The thickness of the obtained solidified film is shown in Table 1.
Here, the temperature of the molten metal in the metal powder production apparatus is as follows.
-Initial temperature of molten metal stored in the supply container: 950 ° C
-Heating temperature of molten metal stored in storage container: 900 ° C

また、加熱手段では、貯留部容器に貯留した溶融金属の温度が1分あたり2℃低下することを事前に測定しておいたので、この低下率を踏まえ、この温度低下を打ち消すように、溶融金属の貯留開始後からの経過時間に応じて徐々に加熱温度を高めるよう、あらかじめプログラムを入力しておいた。その結果、溶融金属の温度は金属粉末の製造開始時から終了時まで前記温度でほぼ一定に維持することができた(温度幅:約10℃)。   In addition, in the heating means, it was measured in advance that the temperature of the molten metal stored in the storage container decreased by 2 ° C. per minute. Therefore, based on this decrease rate, the melting was performed so as to counteract this temperature decrease. A program was input in advance so as to gradually increase the heating temperature in accordance with the elapsed time after the start of metal storage. As a result, the temperature of the molten metal could be kept substantially constant at the above temperature from the start to the end of the production of the metal powder (temperature range: about 10 ° C.).

(実施例14)
貯留部容器に貯留された溶融金属の加熱温度を800℃に変更した以外は、実施例13と同様にして金属粉末を得た。なお、得られた固化膜の厚さを表1に示す。
(実施例15)
貯留部容器に貯留された溶融金属の加熱温度を950℃に変更した以外は、実施例13と同様にして金属粉末を得た。なお、得られた固化膜の厚さを表1に示す。
(Example 14)
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 13 except that the heating temperature of the molten metal stored in the storage container was changed to 800 ° C. The thickness of the obtained solidified film is shown in Table 1.
(Example 15)
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 13 except that the heating temperature of the molten metal stored in the storage container was changed to 950 ° C. The thickness of the obtained solidified film is shown in Table 1.

(比較例1)
放熱手段および加熱手段の設置を省略した以外は、実施例1と同様にして金属粉末を得た。
(比較例2)
ステンレス鋼に代えてアルミニウム(融点Tm:660℃)を用いるようにした以外は、比較例1と同様にして金属粉末を得た。
なお、金属粉末製造装置における溶融金属の温度は以下の通りである。
・供給部容器に貯留された溶融金属の初期温度 :950℃
(Comparative Example 1)
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that the installation of the heat dissipating means and the heating means was omitted.
(Comparative Example 2)
A metal powder was obtained in the same manner as in Comparative Example 1 except that aluminum (melting point Tm: 660 ° C.) was used instead of stainless steel.
In addition, the temperature of the molten metal in a metal powder manufacturing apparatus is as follows.
-Initial temperature of molten metal stored in the supply container: 950 ° C

2.金属粉末の評価
2.1.酸素含有率の評価
各実施例および各比較例で得られた金属粉末について、その酸素含有量を酸素窒素同時分析装置(LECO社製、TC−136)により測定した。測定結果を表1に示す。
2.2.粒径の評価
各実施例および各比較例で得られた金属粉末について、レーザー回折式粒度分布測定装置により平均粒径および標準偏差を測定した。なお、平均粒径は、体積基準で累積量が50%になるときの粒子径(μm)である。また、標準偏差は、次式で定義され、粒度分布の幅の目安となるものである。
(標準偏差)=(d84%−d16%)/2
ただし、d84%は、体積基準で累積量が84%になるときの粒子径(μm)であり、d16%は、体積基準で累積量が16%になるときの粒子径(μm)である。
これらの結果を表1に示す。なお、実施例1〜12で得られた金属粉末の標準偏差については、比較例1で得られた金属粉末の標準偏差を1としたときの相対値で示し、実施例13〜15で得られた金属粉末の標準偏差については、比較例2で得られた金属粉末の標準偏差を1としたときの相対値で示した。
2. Evaluation of metal powder 2.1. Evaluation of oxygen content About the metal powder obtained by each Example and each comparative example, the oxygen content was measured with the oxygen-nitrogen simultaneous analyzer (the LECO company make, TC-136). The measurement results are shown in Table 1.
2.2. Evaluation of Particle Size The average particle size and standard deviation of the metal powder obtained in each example and each comparative example were measured using a laser diffraction particle size distribution measuring device. The average particle diameter is the particle diameter (μm) when the cumulative amount is 50% on a volume basis. The standard deviation is defined by the following equation and serves as a guide for the width of the particle size distribution.
(Standard deviation) = (d84% −d16%) / 2
However, d84% is the particle size (μm) when the cumulative amount is 84% on the volume basis, and d16% is the particle size (μm) when the cumulative amount is 16% on the volume basis.
These results are shown in Table 1. In addition, about the standard deviation of the metal powder obtained in Examples 1-12, it shows by a relative value when the standard deviation of the metal powder obtained in Comparative Example 1 is set to 1, and is obtained in Examples 13-15. The standard deviation of the metal powder is shown as a relative value when the standard deviation of the metal powder obtained in Comparative Example 2 is 1.

Figure 2012201940
Figure 2012201940

表1に示すように、各実施例で得られた金属粉末は、酸素含有率が低いことが明らかとなった。また、各実施例で得られた金属粉末は、各比較例で得られた金属粉末に比べて粒径が小さく、粒径の揃った粉末であることが明らかとなった。
特に、実施例1、7、9、10、12、13で得られた金属粉末では、このような傾向が顕著であった。
As shown in Table 1, it was revealed that the metal powder obtained in each example had a low oxygen content. Moreover, it became clear that the metal powder obtained in each Example is a powder having a smaller particle diameter and a uniform particle diameter as compared with the metal powder obtained in each Comparative Example.
In particular, such tendency was remarkable in the metal powders obtained in Examples 1, 7, 9, 10, 12, and 13.

1……金属粉末製造装置 2……貯留部 21……貯留部容器 211……開口 22……貯留部筒状部材 3……ノズル 30……ノズル本体 31……流路 32……スリット 321……導入路 33……流体ジェット 5……放熱手段 51……冷却水回路 52……送気部 521……送気管 522……送気口 6……供給部 61……供給部容器 611……開口 62……供給部筒状部材 7……カバー 8……加熱手段 81……誘導加熱コイル 82……制御部 83……第1の温度センサー 84……液面モニター 85……第2の温度センサー 86……開閉弁 90……溶融金属 91……液滴 92……固化膜 G……空気の流れ   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Metal powder manufacturing apparatus 2 ... Storage part 21 ... Storage part container 211 ... Opening 22 ... Storage part cylindrical member 3 ... Nozzle 30 ... Nozzle main body 31 ... Flow path 32 ... Slit 321 ... ... Introduction path 33 …… Fluid jet 5 …… Heat dissipation means 51 …… Cooling water circuit 52 …… Air supply part 521 …… Air supply pipe 522 …… Air supply port 6 …… Supply part 61 …… Supply part container 611 …… Opening 62 …… Supply section cylindrical member 7 …… Cover 8 …… Heating means 81 …… Induction heating coil 82 …… Control section 83 …… First temperature sensor 84 …… Liquid level monitor 85 …… Second temperature Sensor 86 ... Open / close valve 90 ... Molten metal 91 ... Droplet 92 ... Solidified film G ... Air flow

Claims (10)

溶融金属を貯留する貯留部と、
前記貯留部の下方に設けられ、前記貯留部から流下した溶融金属が通過可能な流路と、前記流路の下端部に開口し、前記流路内に向けて流体を噴射するスリットと、を備えるノズルと、
前記貯留部の上方に設けられ、前記貯留部に溶融金属を供給するよう構成された供給部と、を有し、
前記貯留部のうち、貯留された溶融金属の液面部に設けられ、前記溶融金属の温度を低下させる放熱手段と、前記放熱手段の下方に設けられ、前記溶融金属を加熱する加熱手段と、を有していることを特徴とする金属粉末製造装置。
A reservoir for storing molten metal;
A flow path provided below the storage section, through which the molten metal flowing down from the storage section can pass, and a slit that opens to the lower end of the flow path and injects a fluid into the flow path. A nozzle comprising,
A supply unit provided above the storage unit and configured to supply molten metal to the storage unit;
Of the storage part, provided in the liquid surface portion of the stored molten metal, a heat dissipating means for lowering the temperature of the molten metal, a heating means provided below the heat dissipating means and heating the molten metal, The metal powder manufacturing apparatus characterized by having.
前記供給部は、溶融金属を貯留する供給部容器と、前記供給部容器の下面から下方に延在するよう設けられ、前記供給部容器内に貯留された溶融金属が通過可能になっている供給部筒状部材と、を有し、
前記供給部筒状部材の下端が、前記貯留部に貯留された溶融金属の液面より下方に位置するよう構成されている請求項1に記載の金属粉末製造装置。
The supply unit is provided so as to extend downward from a lower surface of the supply unit container and a supply unit container that stores the molten metal, and the supply of the molten metal stored in the supply unit container is allowed to pass therethrough A cylindrical member,
The metal powder manufacturing apparatus of Claim 1 comprised so that the lower end of the said supply part cylindrical member may be located below the liquid level of the molten metal stored in the said storage part.
前記貯留部は、有底筒状をなし、溶融金属を貯留する貯留部容器と、前記貯留部容器の下面から下方に延在するよう設けられ、前記貯留部容器内に貯留された溶融金属が通過可能になっている貯留部筒状部材と、を有し、
前記加熱手段は、前記貯留部容器の壁部内に配置された誘導加熱コイルで構成され、前記放熱手段は、誘導加熱コイルを設けない前記壁部で構成されている請求項1または2に記載の金属粉末製造装置。
The storage part has a bottomed cylindrical shape, and is provided so as to extend downward from a storage part container for storing molten metal and a lower surface of the storage part container, and the molten metal stored in the storage part container A storage tubular member capable of passing,
The said heating means is comprised by the induction heating coil arrange | positioned in the wall part of the said storage part container, The said thermal radiation means is comprised by the said wall part which does not provide an induction heating coil. Metal powder manufacturing equipment.
前記放熱手段は、前記貯留部に設けられた配管中を流通する冷媒を有するものである請求項1ないし3のいずれかに記載の金属粉末製造装置。   The metal powder manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the heat radiating means includes a refrigerant that circulates in a pipe provided in the storage section. 前記放熱手段は、前記貯留部に貯留された溶融金属の液面に向けてガスを噴射するものである請求項1ないし3のいずれかに記載の金属粉末製造装置。   4. The metal powder manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the heat radiating unit is configured to inject gas toward a liquid level of molten metal stored in the storage unit. 5. 前記加熱手段は、前記貯留部に溶融金属が貯留され始めたときからの経過時間に応じて、その加熱温度を徐々に高めるよう構成されている請求項1ないし5のいずれかに記載の金属粉末製造装置。   The metal powder according to any one of claims 1 to 5, wherein the heating unit is configured to gradually increase the heating temperature according to an elapsed time from when the molten metal starts to be stored in the storage unit. Manufacturing equipment. さらに、前記貯留部に貯留された溶融金属の温度を測定する温度測定部と、
測定された前記溶融金属の温度に基づいて、前記加熱手段による加熱温度を制御する制御部と、を有する請求項1ないし6のいずれかに記載の金属粉末製造装置。
Furthermore, a temperature measurement unit that measures the temperature of the molten metal stored in the storage unit,
The metal powder manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising: a control unit that controls a heating temperature by the heating unit based on the measured temperature of the molten metal.
さらに、前記溶融金属の液面の高さを計測する液面計測部と、
計測された前記液面の高さに基づいて、前記供給部による溶融金属の供給量を制御する制御部と、を有する請求項1ないし7のいずれかに記載の金属粉末製造装置。
Furthermore, a liquid level measuring unit for measuring the height of the liquid level of the molten metal,
The metal powder manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising: a control unit that controls a supply amount of the molten metal by the supply unit based on the measured height of the liquid level.
貯留部に溶融金属を貯留し、前記貯留部から溶融金属を流下させ、その後流体ジェットに衝突させることにより、溶融金属を分裂させるとともに固化させて金属粉末を製造する金属粉末製造方法であって、
前記貯留部に貯留されている溶融金属の液面に固化膜を形成することを特徴とする金属粉末製造方法。
It is a metal powder production method for producing a metal powder by storing molten metal in a reservoir, causing the molten metal to flow down from the reservoir, and then colliding with a fluid jet to split and solidify the molten metal,
A metal powder manufacturing method comprising forming a solidified film on a liquid surface of a molten metal stored in the storage unit.
前記固化膜の形成は、溶融金属の液面部を放熱させる方法、および、溶融金属の液面に金属粉末を撒く方法のうちの少なくとも一方により行われる請求項9に記載の金属粉末製造方法。   The method for producing a metal powder according to claim 9, wherein the formation of the solidified film is performed by at least one of a method of dissipating heat from the liquid surface portion of the molten metal and a method of spreading metal powder on the liquid surface of the molten metal.
JP2011068623A 2011-03-25 2011-03-25 Metal powder manufacturing apparatus and metal powder manufacturing method Active JP5803197B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011068623A JP5803197B2 (en) 2011-03-25 2011-03-25 Metal powder manufacturing apparatus and metal powder manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011068623A JP5803197B2 (en) 2011-03-25 2011-03-25 Metal powder manufacturing apparatus and metal powder manufacturing method

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012201940A true JP2012201940A (en) 2012-10-22
JP2012201940A5 JP2012201940A5 (en) 2014-05-08
JP5803197B2 JP5803197B2 (en) 2015-11-04

Family

ID=47183250

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011068623A Active JP5803197B2 (en) 2011-03-25 2011-03-25 Metal powder manufacturing apparatus and metal powder manufacturing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5803197B2 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016102256A (en) * 2014-11-13 2016-06-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 Nozzle head, and apparatus and method for producing metal particle by using the nozzle head
US20200171579A1 (en) * 2018-11-29 2020-06-04 Mitsubishi Hitachi Power Systems, Ltd. Metal powder production apparatus
US11207734B2 (en) 2016-10-31 2021-12-28 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fusing of metallic particles
WO2022044931A1 (en) * 2020-08-28 2022-03-03 住友金属鉱山株式会社 Atomization device, manufacturing method of metal powder, and manufacturing method of valuable metal
JP2022039952A (en) * 2020-08-28 2022-03-10 住友金属鉱山株式会社 Atomization apparatus, method of producing metal powder, and method of producing valuable metal

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105598458B (en) * 2014-11-13 2018-08-28 松下知识产权经营株式会社 Nozzle head and the metallic manufacturing device and its manufacturing method for using the nozzle head
KR102296910B1 (en) * 2020-10-21 2021-09-02 박요설 Manufacturing apparatus of amorphous magnetic powder for enhancing cooling efficiency and manufacturing method of amorphous magnetic powder therewith

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59118805A (en) * 1982-12-27 1984-07-09 Sumitomo Light Metal Ind Ltd Continuous sprayer for metal by inert gas
JPH01188608A (en) * 1988-01-25 1989-07-27 Mitsubishi Metal Corp Apparatus for continuous production of metal grains
JPH03183706A (en) * 1989-11-09 1991-08-09 Crucible Materials Corp Manufacture of titanium particles
JPH0463204A (en) * 1990-06-29 1992-02-28 Daido Steel Co Ltd Apparatus for pulverizing molten metal
JPH06128611A (en) * 1990-04-09 1994-05-10 Leybold Ag Method and device for forming hot water stream
JP2007247054A (en) * 2006-02-16 2007-09-27 Seiko Epson Corp Metal powder manufacturing apparatus and metal powder

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59118805A (en) * 1982-12-27 1984-07-09 Sumitomo Light Metal Ind Ltd Continuous sprayer for metal by inert gas
JPH01188608A (en) * 1988-01-25 1989-07-27 Mitsubishi Metal Corp Apparatus for continuous production of metal grains
JPH03183706A (en) * 1989-11-09 1991-08-09 Crucible Materials Corp Manufacture of titanium particles
JPH06128611A (en) * 1990-04-09 1994-05-10 Leybold Ag Method and device for forming hot water stream
JPH0463204A (en) * 1990-06-29 1992-02-28 Daido Steel Co Ltd Apparatus for pulverizing molten metal
JP2007247054A (en) * 2006-02-16 2007-09-27 Seiko Epson Corp Metal powder manufacturing apparatus and metal powder

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016102256A (en) * 2014-11-13 2016-06-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 Nozzle head, and apparatus and method for producing metal particle by using the nozzle head
US11207734B2 (en) 2016-10-31 2021-12-28 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fusing of metallic particles
US20200171579A1 (en) * 2018-11-29 2020-06-04 Mitsubishi Hitachi Power Systems, Ltd. Metal powder production apparatus
CN113165074A (en) * 2018-11-29 2021-07-23 三菱动力株式会社 Metal powder manufacturing device
US11712739B2 (en) * 2018-11-29 2023-08-01 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Metal powder production apparatus
WO2022044931A1 (en) * 2020-08-28 2022-03-03 住友金属鉱山株式会社 Atomization device, manufacturing method of metal powder, and manufacturing method of valuable metal
JP2022039952A (en) * 2020-08-28 2022-03-10 住友金属鉱山株式会社 Atomization apparatus, method of producing metal powder, and method of producing valuable metal
JP7168034B2 (en) 2020-08-28 2022-11-09 住友金属鉱山株式会社 Atomizing device, method for producing metal powder, and method for producing valuable metal

Also Published As

Publication number Publication date
JP5803197B2 (en) 2015-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5803197B2 (en) Metal powder manufacturing apparatus and metal powder manufacturing method
US11951549B2 (en) Process and apparatus for producing powder particles by atomization of a feed material in the form of an elongated member
US20220288684A1 (en) Methods and apparatuses for producing metallic powder material
US10946449B2 (en) Device and method for melting a material without a crucible and for atomizing the melted material in order to produce powder
KR20180056641A (en) System for Plasma Sprayed Metal Powder Production Process and Plasma Sprayed Metal Powder Production Process
RU2765190C1 (en) Device and method for producing superfine low-melting spherical metal powder using drop spraying
JP6006861B1 (en) Metal powder manufacturing apparatus and manufacturing method thereof
KR20210071150A (en) Metal Powder and Overhead Equipment and Overhead Method Thereof
RU2413595C2 (en) Method of producing spherical granules of refractory and chemically active metals and alloys, device to this end and device to fabricate initial consumable billet to implement said method
CA3061799C (en) Metal powder production apparatus
JP5803196B2 (en) Metal powder manufacturing apparatus and metal powder manufacturing method
JP5803198B2 (en) Metal powder manufacturing apparatus and metal powder manufacturing method
RU2764916C2 (en) Casting apparatus and method for casting
KR20240007221A (en) Equipment and method for manufacturing metal powder using induction coils and coils
KR101435117B1 (en) Method for stabilizing meniscus in continuous casting
JP2003277810A (en) Method and device for manufacturing metal grain
JP2003523827A (en) Casting apparatus and method with eccentric source of liquid metal

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140320

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140320

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150324

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150521

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150804

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150817

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5803197

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350