JP2012198071A - Device and method for inspecting optical glass - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、デジタルカメラ等の光学機器において使用されるカバーガラスやカバーレンズ等の光学ガラス検査装置および検査方法に関するものである。 The present invention relates to an optical glass inspection apparatus such as a cover glass and a cover lens used in an optical apparatus such as a digital camera, and an inspection method.
カメラ等の光学機器、特に携帯電話と一体化され小型化されたデジタルカメラは、ンズの前方にカバーガラス等(以下光学ガラスまたはガラスと表記することがある)を配設して、レンズを保護している。こうしたガラスでは、撮像素子の小型化に伴って、小さな傷やしみがあると撮像された影像にしみ等を生じることがある。またガラスは、赤外線カットフィルター等の光学フィルタとなる干渉膜をコーティングしたものや、透過率を高めるための無反射コーティング膜を形成したものもある。これらコーティング膜等の傷等も像にしみ等を生じさせるため、傷等を確実かつ迅速に検査する技術が開発されてきた。 Optical cameras such as cameras, especially digital cameras that are miniaturized and integrated with mobile phones, protect the lens by placing a cover glass (hereinafter sometimes referred to as optical glass or glass) in front of the hands. is doing. With such glass, as the image sensor is miniaturized, if there are small scratches or spots, the captured image may be stained. Some glass is coated with an interference film serving as an optical filter such as an infrared cut filter, and some glass is formed with an anti-reflection coating film for increasing the transmittance. Since these scratches and the like on the coating film also cause stains on the image, a technique for reliably and promptly inspecting the scratches has been developed.
例えば、ビデオカメラを使用してガラスの表面画像と裏面画像を得て、傷や汚れの有無を検査する技術である(特許文献1)。この検査技術では、治具に保持されたガラスに光を照射してガラスの傷等の有無が判断される。ここで治具はテーブル上に搭載され、ガラスの鉛直線方向の上方にはビデオカメラが配設され、ガラスの斜め上方に複数の光源が配設され、ビデオカメラはこれら光源の照射光で得られた影像を電気信号に変換して映像信号とし、この映像信号に所定の処理を施すことで傷等の検査が行なわれる。 For example, this is a technique for obtaining the front and back images of glass using a video camera and inspecting for the presence or absence of scratches or dirt (Patent Document 1). In this inspection technique, the glass held by the jig is irradiated with light to determine the presence or absence of glass scratches or the like. Here, the jig is mounted on a table, a video camera is disposed above the vertical direction of the glass, a plurality of light sources are disposed obliquely above the glass, and the video camera is obtained by the irradiation light of these light sources. The obtained shadow image is converted into an electric signal to be a video signal, and the video signal is subjected to a predetermined process to inspect a scratch or the like.
この検査では、治具の縦横方向に多数のガラスが載置されており、テーブルは縦横方向に移動して、任意のガラスをビデオカメラの撮像位置に位置づける。ガラスに照射された光は、ガラスに傷等がなければ、ガラスを透過するからビデオカメラで検出されない。しかしガラスに傷等があると、傷等で反射または散乱した光による影像がビデオカメラで検出される。目視の場合には顕微鏡で傷等を検出できる。 In this inspection, a large number of glasses are placed in the vertical and horizontal directions of the jig, and the table moves in the vertical and horizontal directions to position any glass at the imaging position of the video camera. The light applied to the glass is not detected by the video camera because it passes through the glass unless the glass is scratched. However, if there is a scratch or the like on the glass, a video image is detected by the video camera by light reflected or scattered by the scratch or the like. In the case of visual observation, scratches and the like can be detected with a microscope.
しかしガラスの裏面と相対する治具の表面領域において、ガラスを透過した光がわずかであるが反射または散乱する。治具に無反射黒色加工等を施しても、反射率を数%(例えば2〜4%)程度以下にすることは困難だからである。しかも、多数のガラスを短時間に検査するための治具はトレイのような形状となって、ガラス裏面と治具の表面領域との間隔が数mm(例えば1〜2mm)程度となる。従って治具の表面領域での反射光や散乱光等(以下、背景ノイズと表記することがある)が傷等の検出を妨げることもある。 However, a small amount of light transmitted through the glass is reflected or scattered in the surface region of the jig facing the back surface of the glass. This is because it is difficult to reduce the reflectance to about several percent (for example, 2 to 4%) or less even if the jig is subjected to non-reflective black processing or the like. Moreover, a jig for inspecting a large number of glasses in a short time has a shape like a tray, and the distance between the glass back surface and the surface area of the jig is about several mm (for example, 1 to 2 mm). Therefore, reflected light, scattered light, etc. (hereinafter sometimes referred to as background noise) on the surface area of the jig may interfere with detection of scratches and the like.
ここで背景ノイズと傷等の影像との分別性を向上させようとすると、目視の場合には、検査員の技量に依存することになって検査時間がかり、また検査員の疲労原因となる等の問題が生じる。ビデオカメラで得た映像信号で検査する場合には、映像処理を工夫することで分別性が高まるが、処理時間の増加や、装置の複雑化等が生じる。 If we try to improve the discrimination between background noise and images of scratches, etc., it will depend on the skill of the inspector, and it will take time to inspect and cause fatigue of the inspector. Problem arises. In the case of inspecting with a video signal obtained by a video camera, the separability is improved by devising the video processing, but the processing time is increased and the apparatus is complicated.
そこで本発明は、上記問題を解消するため、治具に搭載された光学ガラスを透過した光の、治具の表面領域における反射光または散乱光の影響を排除することができて、光学ガラスの傷等の検査の精度向上と、迅速化を図ることができる(検査コストを低減できる)光学ガラス検査装置および検査方法を実現することを課題とするものである。 Therefore, in order to solve the above problems, the present invention can eliminate the influence of reflected light or scattered light on the surface area of the jig of the light transmitted through the optical glass mounted on the jig. An object of the present invention is to realize an optical glass inspection apparatus and an inspection method capable of improving the accuracy and speeding up inspection of scratches and the like (reducing inspection costs).
本発明にかかる光学ガラス検査装置は、ガラスを保持した治具を搭載するための搭載部(例えば治具を搭載するテーブル)と、搭載部を変位させることで搭載部に搭載された治具に保持された光学ガラスを所定の検査領域に位置づけるための駆動装置と、搭載部の一方側(例えば上方)から検査領域に光を照射するための光源と、検査領域に位置づけられた光学ガラスからの反射光を検出するための光学系(例えば目視検査の場合には顕微鏡であり、自動検査の場合にはビデオカメラ等である)と、搭載部の他方側(例えば下方)に配設され、その反射面が光学系の光軸に対し傾斜した反射部とを有している。ここで搭載部は、その一方側と他方側とを連通する搭載部開口を有している。 The optical glass inspection apparatus according to the present invention includes a mounting portion for mounting a jig holding glass (for example, a table on which a jig is mounted) and a jig mounted on the mounting portion by displacing the mounting portion. A driving device for positioning the held optical glass in a predetermined inspection area, a light source for irradiating the inspection area with light from one side (for example, above) of the mounting portion, and an optical glass positioned in the inspection area An optical system for detecting reflected light (for example, a microscope in the case of visual inspection, a video camera or the like in the case of automatic inspection), and the other side (for example, below) of the mounting portion, The reflecting surface has a reflecting portion inclined with respect to the optical axis of the optical system. Here, the mounting portion has a mounting portion opening that communicates the one side with the other side.
該光学ガラス検査装置は、治具として、その表面と裏面とを連通する一または複数の治具開口、および治具開口の隣接領域に光学ガラスを保持するためのガラス保持手段を有した治具を搭載するもので、そのとき治具開口が搭載部開口と相対する位置に位置づけられるようになっている。 The optical glass inspection apparatus has, as a jig, a jig having one or a plurality of jig openings for communicating the front and back surfaces thereof, and glass holding means for holding the optical glass in a region adjacent to the jig opening. At that time, the jig opening is positioned at a position opposite to the mounting portion opening.
該光学ガラス検査装置では、ガラスに傷やしみ等があれば、光源から検査領域に照射された光が傷等で反射または散乱されて光学系によって傷として検出される。一方、ガラスの傷やしみ等で反射または散乱されなかった光は、ガラス、治具開口および搭載部開口を通過して反射部に入射する。反射部への入射光は反射面で吸収される一方、その一部が反射するが、反射光の光路は検査領域と交叉していない。 In the optical glass inspection apparatus, if there is a scratch or a stain on the glass, the light irradiated to the inspection area from the light source is reflected or scattered by the scratch or the like and detected as a scratch by the optical system. On the other hand, light that has not been reflected or scattered by scratches or stains on the glass passes through the glass, the jig opening, and the mounting part opening and enters the reflecting part. While the incident light to the reflecting part is absorbed by the reflecting surface, a part of it is reflected, but the optical path of the reflected light does not cross the inspection region.
例えば、反射面と光学系の光軸との交叉角が45度の場合には、光軸と平行する光路を通過して反射面に入射した光は、その入射角および反射角が45度となって反射されて、治具に保持された光学ガラスの検査領域に戻らない。検査領域を光学系の光軸と直交させた場合には、反射面からの反射光は、入射光と直交する反射光路(治具と平行する光路)上を通過することになって治具に戻らない。このようにガラスを透過して、反射部へと向かった光は、ガラスからの反射光および散乱光を検出する光学系に戻らないから、ガラスの傷等の検査に影響を与えない。もちろん反射部は、低反射率(数%)の黒色等に塗装等することが望ましい。 For example, when the crossing angle between the reflecting surface and the optical axis of the optical system is 45 degrees, the light incident on the reflecting surface through the optical path parallel to the optical axis has an incident angle and a reflection angle of 45 degrees. It is reflected and does not return to the inspection area of the optical glass held by the jig. When the inspection area is orthogonal to the optical axis of the optical system, the reflected light from the reflecting surface passes through the reflected optical path (optical path parallel to the jig) orthogonal to the incident light and becomes a jig. Dont return. Since the light transmitted through the glass and directed toward the reflecting portion does not return to the optical system that detects the reflected light and scattered light from the glass, it does not affect the inspection of the scratches on the glass. Of course, it is desirable that the reflecting portion is painted in black or the like having a low reflectance (several percent).
さらに反射光路上には、低反射率の光吸収部を配設して反射部からの反射光を吸収することが望ましい。加えて検査の際には、目視であれビデオカメラによる検査であれ、ガラスに焦点を合わすから、反射部および光吸収部からの反射光等は光学系の結像位置に結像せず背景ノイズとなりにくい。 Furthermore, it is desirable to dispose light reflected from the reflecting portion by disposing a light absorbing portion having a low reflectance on the reflected light path. In addition, when inspecting, whether it is visual inspection or inspection with a video camera, the glass is focused, so the reflected light from the reflection part and light absorption part is not imaged at the imaging position of the optical system, but background noise. It is hard to become.
また反射部を配設する位置に、反射部に替えて反射光と散乱光の光量が極めて小さい光吸収面を有する光吸収部を配設してもよい。そうすれば検査領域に戻る光は、ごく僅かだから、また光吸収部が光学系の焦点から外れているから、背景ノイズとなりにくい。 Moreover, you may arrange | position the light absorption part which has a light absorption surface in which the light quantity of reflected light and scattered light is very small instead of a reflection part in the position which arrange | positions a reflection part. In this case, the amount of light returning to the inspection region is very small, and the light absorbing portion is out of the focus of the optical system, so that it is difficult to cause background noise.
ところで該ガラス検査装置は遮光環境下で使用されることが望ましく、少なくともガラスを透過した光が通る光路側(搭載部の他方の側)空間は遮光環境下にあることが望ましい。 By the way, the glass inspection apparatus is desirably used in a light-shielding environment, and at least the space on the optical path side (the other side of the mounting portion) through which light transmitted through the glass passes is desirably in a light-shielding environment.
以上のとおり本発明によれば、治具に搭載された光学ガラスを透過した光の、治具の表面領域における反射光または散乱光等の影響を排除することができて、光学ガラスの傷等の検査の精度向上、および迅速化を図ることができる(検査コストを低減できる)光学ガラス検査装置および検査方法を実現できる。 As described above, according to the present invention, it is possible to eliminate the influence of the light transmitted through the optical glass mounted on the jig, the reflected light or the scattered light in the surface area of the jig, It is possible to realize an optical glass inspection apparatus and inspection method that can improve the accuracy and speed of inspection (can reduce the inspection cost).
以下、図面を参照して本発明にかかる光学ガラス検査装置および検査方法の一実施例を説明する。 Hereinafter, an embodiment of an optical glass inspection apparatus and inspection method according to the present invention will be described with reference to the drawings.
図1に示す本発明にかかる光学ガラス検査装置1(実施例1)は、顕微鏡(光学系)10、光源15、水平に位置づけられたテーブル21と、テーブル21を駆動する駆動装置22とを有する位置決め機構20、黒色の反射部40および黒色の光吸収部50を有している。
An optical glass inspection apparatus 1 (Example 1) according to the present invention shown in FIG. 1 includes a microscope (optical system) 10, a
(顕微鏡)
顕微鏡10は、対物レンズ11(以下、レンズ11と表記する)、顕微鏡本体12および接眼レンズ13を有して、水平に位置づけられたテーブル21の上方に配設され、レンズ11の光軸11xがテーブル21と直交している。
(microscope)
The
光軸11x近傍には、2つの光源15aおよび15bを有する光源15が顕微鏡本体12と一体になって配設されている。光源15aおよび15bが照射する光は、光軸11xと略平行する領域内(図1中、1点鎖線15xおよび15yで示す領域内)を比較的狭い光ビームとなって、テーブル21に照射される。
In the vicinity of the
(位置決め機構)
位置決め機構20は、テーブル21と、このテーブル21を水平面上で直交する2方向に変位させるための駆動装置22を有している。テーブル21は、その略中央部領域に、表面(一方側の面)21aと裏面(他方側の面)21bとを連通するテーブル開口21cを有している。テーブル21の表面21aでは、テーブル開口21cを囲むように治具位置決め部21dが突出して形成されている。なお駆動装置22は、コピューター等を備えた制御装置で制御される装置、あるいは手動でテーブル21を変位させる装置等であればよく、その趣旨はテーブル21を変位させて位置を定めるための可動部等を有するものであればよい。
(Positioning mechanism)
The
(治具)
治具30は、その平面視を図2(a)に示すように、平面視で略長方形状をなし、その長辺および短辺方向に整列して配列されたガラス載置部31n(n=1、2・・・n)を有している。ガラス載置部31nは、平面視で長方形状をなしている。ガラス載置部31nは、その平面視を図2(b)に、そしてその断面構成を図2(c)に示すように、治具30の表面30aと裏面30bとを連通する長方形状の治具開口31c、および治具開口31cの周辺部において表面30aから突出して形成されたガラス保持枠32aを有している。ガラス保持枠32aと治具開口31cとの間には、治具30の表面30aと平行したガラス支持部32bが形成されている。
(jig)
As shown in FIG. 2A, the
これらガラス保持枠32a、およびガラス支持部32bが、図2(b)に示すように、長方形状のガラス保持手段32を形成しており、このガラス保持手段32で規定された位置にガラス35を位置づけることができる。ここでガラス35の4つの辺部を支えるガラス支持部32bは、極力狭いことが望ましい。なぜならばガラス支持部32bを極力狭くすることで、ガラス35とガラス支持部32bとが接する面積を極力狭くして、ガラス35の表面に傷等が生じることを防げるからである。またガラス保持枠32aの壁面とガラス35の4辺周面との間は、若干の隙間が形成されて、ガラス保持手段32へのガラス35の載置等が円滑に行われるようになっている。
The
治具30は、テーブル21に搭載されるとき、その搭載位置が治具位置決め部21dで規定されて、すべての治具開口31cが、テーブル開口21cの上方(図1中において)に位置づけられる。もちろん駆動装置22でテーブル21を変位させることで、すべてのガラス載置部31nのうちの任意のガラス載置部を光軸11x上に位置づけることができる。
When the
(反射部)
黒色の反射部(反射板)40は、テーブル21の下方で、かつ光軸11x上の位置Pにおいて、光軸11xと交叉角θ(例えばθ=45度)で、交叉している。ここで反射部40の反射面40aは、平面をなしている。従って、位置Pでは、入射角および反射角が45度で、反射光の光軸40xがテーブル21と平行する。反射面40aは、例えば反射率2〜4%程度であり、さらに光源15から照射された光ビームを殆どとらえることができる面積を有している(光源15からの光ビーム幅を示す1点鎖線15xおよび15yが何れも反射部40と交叉する)ことが望ましい。
(Reflection part)
The black reflecting portion (reflecting plate) 40 crosses the
(光吸収部)
反射光の光軸40x方向には、光軸40xと直交する低反射率(黒色)の光吸収面50aを有した光吸収部50が配設されており、反射面40aからの反射光は、光吸収部50で殆ど吸収される。光学ガラス検査装置1は、遮光環境下で使用されることが望ましく、図1中で、少なくともテーブル21の下方側の空間は遮光環境とすることが望ましい。なおこのような遮光環境では、反射部40で反射された光は、黒色の遮光幕等(光吸収部として機能する)で殆ど吸収されるから、光吸収部50を省略してもよい。
(Light absorption part)
In the direction of the
(光学ガラス検査)
光学ガラス検査装置1によるガラス35の検査は以下の手順で行われる。所定の形状にカットされたガラス35は、図示しないピックアップ装置によって、治具30のガラス載置部31nに載置される。次にガラス35を保持した治具30がテーブル21の治具位置決め部21dで規定された位置に搭載される。このときテーブル21に搭載された治具30では、すべてのガラス載置部31nがテーブル開口21cの上方に位置づけられる。
(Optical glass inspection)
The inspection of the
検査員(自動検査の場合には図示しない制御装置)は、レンズ11の焦点をガラス35に合わせた状態で、ガラス35の傷、しみ等による像を検出する。このときレンズ11の焦点深度は、浅い方が望ましい。例えばガラス35の表面および裏面を焦点深度の範囲内に含み、反射部40はその範囲外であることが望ましい。
An inspector (a control device (not shown in the case of automatic inspection)) detects an image due to scratches, stains, or the like on the
傷等の検出は、治具30のガラス載置部31nについて、例えばn=1、2・・・nの順番で行われる。具体的には、駆動装置22によってテーブル21を水平方向で2次元的に変位させることで、すべてのガラス載置部31nを順番に光軸11x上に位置づける。光源15が照射した光ビームは、光軸11xと交叉するガラス載置部31nに、あるいはその近傍の複数のガラス載置部31nに、ほぼ均一に照射される。
Detection of scratches or the like is performed on the
ガラス35を1枚ごとに検査する場合には、光軸11x上に位置づけられたガラス載置部31nの領域が検査領域となる。光軸11x上に位置づけられたガラス載置部31nおよびその隣接領域の複数のガラス載置部に保持された複数のガラス35を、一度に検査する場合には、これらガラス載置部を含む領域が検査領域となる。なおいずれの検査領域であっても、光源15が照射した光ビームは、検査領域以外に照射されない方が望ましい。
When the
傷等の検出は、次のように行われる。検査領域に位置づけられたガラス35に傷やしみがある場合には、これら傷やしみの性状に応じた反射光や散乱光が生じる。これら反射光等を顕微鏡10でとらえて傷等を検査する。または傷等の影像をビデオカメラで映像信号へ変換し、これに所定の処理を施すことで自動的に傷等を検査してもよい。
Detection of scratches and the like is performed as follows. When the
検査領域に位置づけられたガラス35に傷やしみがない場合には、照射された光はガラス35を透過し、治具開口31cおよびテーブル開口21cを通過して反射部40へ到達する。ここで反射面40aは、例えば黒色で反射率が2〜4%程度だから、入射光の殆どを吸収するが、吸収されなかった光は反射光や散乱光となる。ここで反射光は、光軸40xとその近傍を通過して光吸収部50の光吸収面50a(例えば黒色で反射率が2〜4%程度)に到達して吸収される。
When the
一方、反射面40aで生じた散乱光は、その一部が検査領域方向に散乱され得る。しかし検査領域方向への散乱光は極めてわずかな光量だから、加えて反射面40aはレンズ11の焦点外にあるから、傷等の検査は妨げられない。
On the other hand, a part of the scattered light generated on the
光吸収部50で反射または散乱された光で、反射部40および検査領域に向かうものもあり得るが、低反射率の反射面40aおよび光吸収面50aで二度反射等した光の光量は極めて僅かである。加えて反射部40と光吸収部50がレンズ11の焦点外にあるから、こうした反射光や散乱光は傷等の検査の妨げとはならない。
Although the light reflected or scattered by the
なお光吸収面50aと光軸40xとの交叉角を適宜設定して光吸収面50aでの反射方向を検査領域ではない方向(例えば図1中で下方)にしてもよい。光軸40xについても、反射面40aと光軸11xとの交叉角θを45度以下として、テーブル21と遠ざかる方向としてもよい(図1中、下方に向けてもよい。)。
The crossing angle between the
なお反射面40aを平面として例示したが、反射面40aを曲面としてもよい。曲面は、微少平面領域の集合と考えることができるから、それらの微少平面領域における反射光の光軸方向に検査領域が配設されていなければよい。
In addition, although the
(変形例1)
図3は、反射部40の一変形例である反射部41の概略構成を示す図である。反射部41は、略直方体形状をなす黒色の反射部本体42と、反射部本体42の表面42aにV字状に穿設された溝部43n(n=1、2・・)を有している。溝部43nの一方の斜面は黒色の反射面44n、それと相対する他方の斜面は反射面45nが設けられており、何れの反射面も黒色である。ここで反射面44nおよび反射面45nは、表面42aと例えば60度程度で交叉している。
(Modification 1)
FIG. 3 is a diagram illustrating a schematic configuration of a
反射部41は、テーブル21の下方に配設されて、その表面42aがテーブル21の裏面21bと相対するように位置づけられ、また光軸11xと直交するように位置づけられる。また反射部41の溝部43nは、図1における位置Pで、光源15からの光ビームの殆どをとらえるように位置づけられる。
The reflecting
従って、ガラス35を透過し、治具開口31cおよびテーブル開口21cを通過して反射部41へ到達した光は、溝部43nの反射面44nまたは反射面45nで吸収される。ここでわずかな反射光や散乱光が生じ得るが、反射面44nでの反射光等は反射面45nで、反射面45nでの反射光等は反射面44nで、それぞれ殆ど吸収されて、検査領域に戻る光を無視することができる。
Therefore, the light that has passed through the
(変形例2)
図4は、反射部40の他の変形例である反射部41’の概略構成を示す図である。 反射部41’は、略平板形状をなす黒色の反射部本体46と、その表面46aに斜めに立設された反射板47n(n=1、2・・)を有している(例えば反射部本体46と反射板47nとは60度で交叉している。)。反射板47nの一方の斜面は反射面48nとなって、またそれと相対する側の斜面は反射面49nとなっており、何れの反射面も黒色である。
(Modification 2)
FIG. 4 is a diagram illustrating a schematic configuration of a
反射部41’は、光軸11xと直交し、かつテーブル21の下方に配設されて、反射部本体46の表面46aがテーブル21の裏面21bと相対するように位置づけられる。また反射板47nは、図1における位置Pで、光源15からの光ビームの殆どをとらえるように位置づけられる。ここで反射部本体46を光軸11xにおいて上方から平面視すると、反射部本体46の表面46aが反射板47nで遮られている。
The reflecting
従って、ガラス35を透過し、治具開口31cおよびテーブル開口21cを通過して反射部41’へ到達した光は、反射板47nの反射面48nで吸収される。このとき数%の反射光や散乱光が生じるが、反射面48nでの反射光等は反射面49nで吸収される。反射面48nと反射面49nとで2度以上反射された光は、僅かな光量であるが、やがて反射部本体46の表面46aに到達して吸収されるから、検査領域方向に戻る散乱光等を無視することができる。
Therefore, the light that has passed through the
次に、本発明にかかる光学ガラス検査装置2(実施例2)について説明する。なお実施例1と同一の機能を有する構成要素については、同一の符号を付してそれらの説明を省略する。 Next, an optical glass inspection apparatus 2 (Example 2) according to the present invention will be described. In addition, about the component which has the same function as Example 1, the same code | symbol is attached | subjected and those description is abbreviate | omitted.
図5に示すように光吸収部50は、光軸11xと直交し、かつテーブル21の下方に配設されて、その表面50aがテーブル21の裏面21bと相対するように位置づけられている。例えば表面50aは黒色のフェルトによって覆われている。表面50aでは入射した光は、殆ど吸収され、僅かな散乱光が散乱するが、検査領域に戻る光は殆どない。またレンズ11の焦点が光吸収部50から外れているから、散乱光によって傷等の検査が妨げられない。光吸収部50は、テーブル21と平行に配設されてもよいし、あるいはテーブル21に対し傾斜するように配設されてもよい。
As shown in FIG. 5, the
以上、本発明にかかる光学ガラス検査装置と検査方法について説明したが、本発明は、各実施例の構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱することなく変形して実施できるものである。例えば、各実施例では、小型のデジタルカメラ等に使用される小型の光学ガラスを検査対象として説明したが、本発明にかかる光学ガラス検査装置と検査方法は、ガラスの大きさに依存するものではなく、光学ガラス検査装置の寸法を適切に設定することで、例えば平面型映像ディスプレイディバイスの表面を保護するためのガラス等の検査に適用できる。 The optical glass inspection apparatus and the inspection method according to the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the configuration of each embodiment, and can be modified without departing from the spirit of the present invention. . For example, in each embodiment, a small optical glass used in a small digital camera or the like has been described as an inspection target. However, the optical glass inspection apparatus and the inspection method according to the present invention do not depend on the size of the glass. However, by appropriately setting the dimensions of the optical glass inspection device, for example, it can be applied to inspection of glass or the like for protecting the surface of a flat-screen image display device.
本発明にかかる光学ガラス検査装置は、それを製造、販売および使用等できるものだから、また本発明にかかる光学ガラス検査方法は、光学ガラスの検査において使用できるから、いずれも経済的価値を有して産業上の利用可能性を有するものである。 Since the optical glass inspection apparatus according to the present invention can be manufactured, sold and used, and the optical glass inspection method according to the present invention can be used in the inspection of optical glass, both have economic value. And has industrial applicability.
1、2 光学ガラス検査装置
10 顕微鏡(光学系)
11 対物レンズ
11x レンズの光軸(光学系の光軸)
15 光源
21 テーブル(搭載部)
21a テーブルの表面(搭載部の一方側の面)
21b テーブルの裏面(搭載部の他方側の面)
21c テーブル開口(搭載部開口)
22 駆動装置
30 治具
30a 治具の表面
30b 治具の裏面
32 ガラス保持手段
31c 治具開口
31n ガラス載置部
35 光学ガラス(ガラス)
40、41、41’ 反射部
40a 反射面
50 光吸収部
1, 2 Optical
11
15
21a Table surface (one side of the mounting part)
21b The back of the table (the other side of the mounting part)
21c Table opening (mounting part opening)
22
40, 41, 41 '
Claims (5)
光学ガラスを保持した治具を搭載する搭載部と、
前記搭載部を変位させて、前記搭載部に搭載された治具で保持された前記光学ガラスを所定の検査領域に位置づける駆動装置と、
前記搭載部の一方側から前記検査領域に光を照射する光源と、
前記搭載部の一方側に配設され、前記検査領域に位置づけられた前記光学ガラスからの反射光を検出する光学系と、
前記搭載部の他方側に配設され、その反射面が前記光学系の光軸に対し傾斜した反射部とを有し、前記搭載部がその一方側と他方側とを連通する搭載部開口を有しており、
前記治具として、その表面と裏面とを連通する一または複数の治具開口、および前記治具開口の隣接領域に前記光学ガラスを保持するためのガラス保持手段を有する治具を使用することで、
前記光源から前記検査領域に照射されて、前記光学ガラス、前記治具開口および前記搭載部開口を通過して更に前記反射部に入射して反射する光の反射光の光路が、前記検査領域と交叉しないことを特徴とする光学ガラス検査装置。 An optical glass inspection device,
A mounting portion for mounting a jig holding optical glass;
A driving device that displaces the mounting portion and positions the optical glass held by the jig mounted on the mounting portion in a predetermined inspection region;
A light source for irradiating the inspection area with light from one side of the mounting portion;
An optical system that is disposed on one side of the mounting portion and detects reflected light from the optical glass positioned in the inspection region;
A mounting portion opening disposed on the other side of the mounting portion, the reflection surface of which is inclined with respect to the optical axis of the optical system, and the mounting portion communicates the one side with the other side. Have
By using a jig having glass holding means for holding the optical glass in an adjacent region of the jig opening and one or a plurality of jig openings communicating the front surface and the back surface as the jig. ,
An optical path of reflected light of light that is irradiated from the light source to the inspection area, passes through the optical glass, the jig opening, and the mounting portion opening, and further enters and reflects the reflection portion, and the inspection region. Optical glass inspection apparatus characterized by not crossing.
光学ガラスを保持した治具を搭載する搭載部と、
前記搭載部を変位させて、前記搭載部に搭載された治具で保持された前記光学ガラスを所定の検査領域に位置づける駆動装置と、
前記搭載部の一方側から前記検査領域に光を照射する光源と、
前記搭載部の一方側に配設され、前記検査領域に位置づけられた前記光学ガラスからの反射光を検出する光学系と、
前記搭載部の他方側に配設された光吸収部とを有し、前記搭載部がその一方側と他方側とを連通する搭載部開口を有しており、
前記治具として、その表面と裏面とを連通する一または複数の治具開口、および前記治具開口の隣接領域に前記光学ガラスを保持するためのガラス保持手段を有する治具を使用することで、
前記光源から前記検査領域に照射されて、前記光学ガラス、前記治具開口および前記搭載部開口を通過した光が、前記光吸収部に入射することを特徴とする光学ガラス検査装置。 An optical glass inspection device,
A mounting portion for mounting a jig holding optical glass;
A driving device that displaces the mounting portion and positions the optical glass held by the jig mounted on the mounting portion in a predetermined inspection region;
A light source for irradiating the inspection area with light from one side of the mounting portion;
An optical system that is disposed on one side of the mounting portion and detects reflected light from the optical glass positioned in the inspection region;
A light absorbing portion disposed on the other side of the mounting portion, and the mounting portion has a mounting portion opening that communicates one side with the other side,
By using a jig having glass holding means for holding the optical glass in an adjacent region of the jig opening and one or a plurality of jig openings communicating the front surface and the back surface as the jig. ,
An optical glass inspection apparatus, wherein light that has been irradiated from the light source onto the inspection region and passed through the optical glass, the jig opening, and the mounting portion opening is incident on the light absorbing portion.
治具の表面と裏面とを連通する治具開口の隣接領域に設けられたガラス保持手段に光学ガラスを保持させる工程と、
前記治具を、その治具開口が搭載部の搭載部開口と相対するように、搭載部に搭載する工程と、
前記搭載部を変位させて、前記搭載部に搭載された治具で保持された前記光学ガラスを所定の検査領域に位置づける工程と、
前記搭載部の一方側から前記検査領域に光を照射する工程と、
前記検査領域に位置づけられた前記光学ガラスからの反射光または散乱光を、前記搭載部の一方側に配設された光学系で検出する工程とを有しており、
前記検査領域に照射された光で、前記光学ガラスを透過して更に治具開口および搭載部開口を通過した光を、前記搭載部の他方側に配設され、その反射面が前記光学系の光軸に対し傾斜した反射部によって反射させ、この反射光の光路が前記検査領域と交叉させないこと、
または、前記検査領域に照射された光で、前記光学ガラスを透過して更に治具開口および搭載部開口を通過した光を、前記搭載部の他方側に配設された光吸収部によって吸収させることを特徴とする光学ガラス検査方法。 An optical glass inspection method,
Holding the optical glass in the glass holding means provided in the adjacent region of the jig opening that communicates the front and back surfaces of the jig;
Mounting the jig on the mounting portion such that the jig opening faces the mounting portion opening of the mounting portion;
Displacing the mounting portion and positioning the optical glass held by the jig mounted on the mounting portion in a predetermined inspection region;
Irradiating the inspection area with light from one side of the mounting portion;
A step of detecting reflected light or scattered light from the optical glass positioned in the inspection area with an optical system disposed on one side of the mounting portion, and
The light irradiated to the inspection region is transmitted through the optical glass and further passed through the jig opening and the mounting portion opening, and is disposed on the other side of the mounting portion, and the reflection surface of the optical system Reflected by a reflecting portion inclined with respect to the optical axis, and the optical path of the reflected light should not cross the inspection area,
Alternatively, the light irradiated to the inspection area is transmitted through the optical glass and further passed through the jig opening and the mounting portion opening, and is absorbed by the light absorbing portion disposed on the other side of the mounting portion. An optical glass inspection method characterized by the above.
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JP2011061682A JP2012198071A (en) | 2011-03-18 | 2011-03-18 | Device and method for inspecting optical glass |
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JP2011061682A JP2012198071A (en) | 2011-03-18 | 2011-03-18 | Device and method for inspecting optical glass |
Publications (1)
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
CN108709859A (en) * | 2018-06-26 | 2018-10-26 | 华南理工大学 | Universal clamp and detection method for bend glass vision-based detection |
CN113155415A (en) * | 2021-04-18 | 2021-07-23 | 倪国娟 | Optical glass lens quality detection system and use method thereof |
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2011
- 2011-03-18 JP JP2011061682A patent/JP2012198071A/en not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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