JP2012189482A - Flat film inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は光学機能性フィルム等の柔軟性を有するフィルムの外観検査に用いる検査装置に関するものである。 The present invention relates to an inspection apparatus used for visual inspection of a flexible film such as an optical functional film.
従来より、プラスチックフィルム、紙、金属箔等の柔軟性を有する長尺の基材をロール状に巻き付けた状態から巻き出してから巻取りを行う間に、印刷や塗工、フォトリソプロセス等の各種表面処理を行う技術が一般的に多用されてきた。そこで取り扱う柔軟で長尺の媒体をウェブと称し、ウェブを巻き出し搬送し、前記処理工程を経て最終的に巻き取る技術がウェブハンドリング技術として知られている。 Conventionally, various types of printing, coating, photolithographic processes, etc. are performed during winding after unwinding from a roll of a long flexible substrate such as plastic film, paper, metal foil, etc. Techniques for surface treatment have been widely used in general. Therefore, a flexible and long medium to be handled is referred to as a web, and a technique for unwinding and transporting the web and finally winding it through the processing steps is known as a web handling technique.
近年は、特に、光学機能性フィルム等の光学フィルムの製造において、前記ウェブハンドリング技術を駆使して、大量で安価な生産を可能としている。また、量産に際しては、光学フィルムの原反材料そのものに付着している異物欠陥や、製造工程中に生じる傷や異物付着といった欠陥が有り、それらの欠陥を検出する検査方法が各種提案されている。 In recent years, particularly in the production of optical films such as optical functional films, the web handling technology has been utilized to enable mass and inexpensive production. Further, in mass production, there are foreign matter defects attached to the optical film raw material itself, and defects such as scratches and foreign matter attached during the manufacturing process, and various inspection methods for detecting these defects have been proposed. .
図１は光学機能性フィルムの一例である液晶ディスプレイ等の表示デバイスの表示画面の最表面に貼られる反射防止フィルムの断面を示す図である。反射防止フィルムは、表示画面をキズから保護したり、防汚、帯電防止、映り込み防止のために、透明フィルムに反射防止材料をコーティングして製造される。 FIG. 1 is a view showing a cross section of an antireflection film that is applied to the outermost surface of a display screen of a display device such as a liquid crystal display as an example of an optical functional film. The antireflection film is manufactured by coating a transparent film with an antireflection material in order to protect the display screen from scratches, and to prevent antifouling, antistatic, and reflection.
反射防止フィルムの製造工程では、ロール状の長尺帯状の透光性のフィルムに対し、塗工、乾燥といった表面処理が単数または複数回行われ、光学膜が形成される。図１に示される反射防止フィルムはフィルム基材１、ハードコート層２、反射防止層３の各層で構成されている。
In the production process of the antireflection film, a surface treatment such as coating and drying is performed one or more times on the roll-like long belt-like light-transmitting film to form an optical film. The antireflection film shown in FIG. 1 includes a
従来よりフィルム基材１にハードコート層２を塗布する前、ハードコート層２を塗布した後、更に反射防止層３を塗布した後、あるいはそのいずれかの段階でフィルム基材及び表面処理の製造工程中に生じるキズ、気泡、異物、シワの外観欠陥を判断するための外観検査の手法が各種提案されている。
Conventionally, before applying the
欠陥を検出する検査はウェブ工程の中間でインラインで検査されているが、高速で表面処理中での検査であることから、微小な不良箇所が見落とされることがある。特に、ロールの最初から最後までに共通に発生している、いわゆる共通欠陥の見逃しは、ロール全てが欠陥品となってしまうため、インライン検査だけでは、十分であるとはいえない。 The inspection for detecting the defect is inline in the middle of the web process. However, since the inspection is performed during the surface treatment at a high speed, a minute defective portion may be overlooked. In particular, the oversight of the so-called common defect that occurs in common from the beginning to the end of the roll is not sufficient by in-line inspection alone because all the rolls become defective.
そこで上記インラインでの検査の代用として、ウェブ状から枚葉シートを切り取って検査する場合がある。その際には例えば、図２に示すようにフィルムの枚葉シート４を枠体５で固定して、透過光や反射光の各種光源によって種々の方向からの目視検査を、フィルムを持ち回ることなく、一定位置で行うための検査装置がある。前記ウェブ基材といえども、最終の使用形態である枚葉シートに裁断後に、このような目視検査による外観検査を行うことは同一欠陥を検出できる等の一定の意義がある。ここでいう枚葉シート４の長手方向の大きさは外観検査の目的によって適宜決められる。
Therefore, as an alternative to the in-line inspection, there is a case where a sheet is cut from a web and inspected. In that case, for example, as shown in FIG. 2, the
ロール・ツー・ロールプロセスから切り取った枚葉シートを枠体に張り付け検査する場合には、枚葉シートをシワの無い一様な被検査面に形成することが必要になるが、図３に示すようにシワ６のない一様な面を形成することは元来難しいものであり、そのために検査の精度が低下する原因となっている。
In the case of inspecting a sheet sheet cut out from a roll-to-roll process by attaching it to a frame, it is necessary to form the sheet sheet on a uniform surface to be inspected without wrinkles, as shown in FIG. As described above, it is difficult to form a uniform surface without
また、従来枚葉シートの外観検査は目視によって行われていたが、自動検査化による検出能力の安定化や検査費用の削減が求められている。 Conventionally, the appearance inspection of a single sheet is performed by visual inspection, but there is a demand for stabilization of detection capability and reduction of inspection costs by automatic inspection.
本発明は、前記の問題点に鑑みて、枚葉シートに切り取られたフィルムをシワの無い一様な被検査面に形成して外観検査を容易にし、検査精度を向上することが可能で、しかも設備費用が抑制された自動検査装置を提供することを目的とする。 In view of the above-mentioned problems, the present invention can form a film cut into a single sheet on a uniform surface to be inspected without wrinkles, facilitate visual inspection, and improve inspection accuracy. And it aims at providing the automatic test | inspection apparatus by which equipment cost was restrained.
そこで本発明の請求項１に係る発明は、枚葉フィルムの外観を検査する検査装置であって、
被検査対象の枚葉フィルムが巻き取られた段取り用ローラーと、
段取り用ローラーに巻かれた枚葉フィルムを巻き出した後、枚葉フィルムの巻き出し方向に対向する２辺をそれぞれ挟み、更に前記枚葉フィルムを引っ張りながら巻き出し巻取りを行って搬送する２本のフィルム挟み込みローラーと、
前記２本のフィルム挟み込みローラーを駆動する手段と、
前記２本のフィルム挟み込みローラー間に設けられフィルムの搬送をサポートする２本のフィルムサポートローラーと、
搬送途中の枚葉フィルムの検査面を照明する手段と、
照明された枚葉フィルムを撮像する手段と、
前記照明する手段を移動する手段と、
前記撮像する手段を移動する手段と、
撮像された画像を処理し不良欠陥を検出する画像処理手段と、
前記２本のフィルム挟み込みローラーと２本のフィルムサポートローラーを移動する手段と、を有する枚葉フィルム検査装置である。
Therefore, the invention according to
A set-up roller on which the sheet film to be inspected is wound;
After unwinding the sheet film wound around the set-up roller, the two sides facing each other in the unwinding direction of the sheet sheet film are respectively sandwiched, and further, the sheet film is unwound and wound while being pulled. A film sandwiching roller;
Means for driving the two film sandwiching rollers;
Two film support rollers which are provided between the two film sandwiching rollers and support the conveyance of the film;
Means for illuminating the inspection surface of the sheet-fed film in transit;
Means for imaging the illuminated sheet film;
Means for moving the means for illuminating;
Means for moving the imaging means;
Image processing means for processing captured images and detecting defective defects;
A sheet-fed film inspection apparatus having two film sandwiching rollers and means for moving the two film support rollers.
本発明の請求項２に係る発明は、前記段取りローラーは、その両端にツバを有し、前記２本のフィルム挟み込みローラーの鉛直方向の上方に配置されることを特徴とする請求項１に記載の枚葉フィルム検査装置である。
The invention according to
本発明の請求項３に係る発明は、前記２本のフィルム挟み込みローラーは枚葉フィルムを挟み込む溝を有し、更に溝内に備えられたシリコンチューブに圧縮空気を送り込むことによって枚葉フィルムを固定することを特徴とする請求項１に記載の枚葉フィルム検査装置である。
In the invention according to
本発明の請求項４に係る発明は、前記２本のフィルム挟み込みローラーを駆動する手段は、搬送されるフィルムに任意の張力を与えることを特徴とする請求項１に記載の枚葉フィルム検査装置である。
The invention according to
本発明の請求項５に係る発明は、前記２本のフィルム挟み込みローラーを駆動する手段は、フィルムを往復の両方向に搬送し、しかも搬送距離は予め設定可能であることを特徴とする請求項１に記載の枚葉フィルム検査装置である。
The invention according to
本発明の請求項６に係る発明は、前記２本のフィルムサポートローラーによって枚葉フィルムを撮像する手段と検査面との位置が一定になることを特徴とする請求項１に記載の枚葉フィルム検査装置である。
The invention according to
本発明の請求項７に係る発明は、枚葉フィルムの搬送と、前記枚葉フィルムの検査面を照明する手段と枚葉フィルムを撮像する手段の枚葉フィルムの搬送方向と直角方向であるフィルムの幅方向の移動によって、枚葉フィルムの全面が検査されることを特徴とする請求項１に記載の枚葉フィルム検査装置である。
The invention according to claim 7 of the present invention is a film perpendicular to the conveyance direction of the sheet film of the sheet film conveyance, means for illuminating the inspection surface of the sheet film, and means for imaging the sheet film. 2. The sheet-fed film inspection apparatus according to
本発明の請求項８に係る発明は、前記２本のフィルム挟み込みローラーと２本のフィルムサポートローラーとを移動する手段は前記４本のロールを検査前段取り位置と、検査位置とに、移動可能であることを特徴とする請求項１に記載の枚葉フィルム検査装置である。
In the invention according to claim 8 of the present invention, the means for moving the two film sandwiching rollers and the two film support rollers can move the four rolls to the pre-inspection setup position and the inspection position. The sheet-fed film inspection apparatus according to
本発明の枚葉フィルム検査装置によれば、枚葉シートに切り取られたフィルムを検査する場合にシワの無い一様な被検査面を形成することが容易になり、その結果、外観検査を容易にし、検査精度を向上することが可能となる。しかも検査装置を比較的簡易な構成とすることが出来るため設備費用を抑制することが出来る。 According to the single-wafer film inspection apparatus of the present invention, when inspecting a film cut into a single-wafer sheet, it becomes easy to form a uniform inspection surface without wrinkles, and as a result, easy appearance inspection Thus, the inspection accuracy can be improved. In addition, since the inspection apparatus can be made to have a relatively simple configuration, the equipment cost can be reduced.
以下、図面を参照して本発明に係る枚葉フィルム検査装置を実施するための形態を説明する。 Hereinafter, an embodiment for carrying out a sheet-fed film inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings.
図４は本発明に係る枚葉フィルム検査装置の一例を示す概略構成図である。枚葉フィルム検査装置は、被検査対象の枚葉フィルム１１が巻き取られた段取り用ローラー１２と、段取り用ローラーに巻かれた枚葉フィルムの巻き出し方向の対向する２端をそれぞれ挟み、更に前記フィルムを引っ張りながら巻き出し巻取りを行って搬送する２本のフィルム挟み込みローラー１３−１及び１３−２と、２本のフィルム挟み込みローラーを駆動する手
段である図示しない駆動モータとパウダーブレーキと、前記２本のフィルム挟み込みローラー間に設けられ、フィルムの搬送をサポートする２本のフィルムサポートローラー１４−１及び１４−２と、搬送途中の枚葉フィルムの検査面を照明する手段である照明光源１５と、照明された枚葉フィルムを撮像する手段である撮像カメラ１６と、前記照明光源１５を移動する手段である図示しない照明光源移動装置と、前記撮像カメラ１６を移動する手段である図示しない撮像カメラ移動装置と、撮像された画像を処理し不良欠陥を検出する画像処理手段である画像処理装置１７と、前記２本のフィルム挟み込みローラー１３−１及び１３−２と２本のフィルムサポートローラー１４−１及び１４−２とを移動する手段である搬送フレーム２１と、を有している。尚、前記２本のフィルム挟み込みローラーと２本のフィルムサポートローラーは架台２２に保持され、架台２２が搬送フレーム２１上を矢印２３に示す方向に移動される。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing an example of a sheet-fed film inspection apparatus according to the present invention. The sheet film inspection apparatus sandwiches a
被検査対象の枚葉フィルム１１が巻かれた段取り用ローラー１２は、フィルム挟み込みローラー１３−１の上方に設けられ、被検査対象の枚葉フィルム１１の一辺が、フィルム挟み込みローラー１３−１に向かって巻き出される。また段取り用ローラー１２は、図５に示すようにその両端にツバ１２ａ及び１２ｂを有している。ツバ１２ａ及び１２ｂの間に枚葉フィルム１１は巻かれている。
The
図６（ａ）に示すフィルム挟み込みローラー１３−１は、段取り用ローラー１２に巻かれた枚葉フィルム１１の一辺１１−１を挟み込む溝１３−１ａを有し、更に溝内に設けられたシリコンチューブ３０−１に図示しない圧縮空気供給装置から圧縮空気が供給され、枚葉フィルム１１の一辺１１−１が固定される。その後枚葉フィルム１１はフィルム挟み込みローラー１３−１に巻き取られる。前記段取り用ローラー１２に設けられた図５に示すツバ１２ａ及び１２ｂ間に巻き取られていた枚葉フィルム１１をフィルム挟み込みローラー１３−１に段差が無く巻き取ることが出来る。
The film sandwiching roller 13-1 shown in FIG. 6 (a) has a groove 13-1a that sandwiches one side 11-1 of the single-wafer film 11 wound around the set-up
フィルム挟み込みローラー１３−１に巻き取られた枚葉フィルム１１は、その後徐々に巻き出されながら他の一方のフィルム挟み込みローラー１３−２に設けられた挟み込む溝１３−２ａに枚葉フィルム１１の一辺１１−１と対向する辺１１−２が挟み込まれる（図６（ｂ））。更に溝１３−２ａ内に設けられたシリコンチューブ３０−２に図示しない圧縮空気供給装置から圧縮空気が供給され、枚葉フィルム１１の一辺１１−２が固定される。この場合、枚葉フィルム１１はフィルムサポートローラー１４−１及び１４−２の上方にパスが通される。 The sheet film 11 wound up by the film sandwiching roller 13-1 is then gradually unwound and then one side of the sheet film 11 in the sandwiching groove 13-2 a provided in the other film sandwiching roller 13-2. The side 11-2 facing 11-1 is sandwiched (FIG. 6B). Further, compressed air is supplied from a compressed air supply device (not shown) to the silicon tube 30-2 provided in the groove 13-2a, and the one side 11-2 of the sheet film 11 is fixed. In this case, the sheet film 11 is passed over the film support rollers 14-1 and 14-2.
図７はフィルムサポートローラー１４−１及び１４−２を説明するための図で、枚葉フィルム１１の２辺が２本のフィルム挟み込みローラー１３−１と１３−２の溝に挟み込まれ、フィルムサポートローラー１４−１及び１４−２を介して枚葉フィルム１１が通されたことを示す図である。この場合、枚葉フィルム１１はフィルム挟み込みローラー１３−１と１３−２によってテンションがかけられながら、フィルム挟み込みローラー１３−１から巻き出され、フィルム挟み込みローラー１３−２で巻き取られることによって搬送される。 FIG. 7 is a view for explaining the film support rollers 14-1 and 14-2. Two sides of the sheet film 11 are sandwiched between the grooves of the two film sandwiching rollers 13-1 and 13-2, and the film support is supported. It is a figure which shows that the sheet | seat film 11 was passed through the rollers 14-1 and 14-2. In this case, the sheet film 11 is unwound from the film sandwiching roller 13-1 while being tensioned by the film sandwiching rollers 13-1 and 13-2, and is conveyed by being wound by the film sandwiching roller 13-2. The
枚葉フィルム１１をフィルムサポートローラー１４−１及び１４−２を介すことによって、例えばフィルム挟み込みローラー１３−１に巻かれているフィルムの残量が少なくなった場合でも、撮像カメラ１６と検査面との距離ｄを常に一定に保つことが出来る。
Even if the remaining amount of the film wound around the film sandwiching roller 13-1 is reduced by passing the sheet film 11 through the film support rollers 14-1 and 14-2, the
フィルム挟み込みローラー１３−１と１３−２は、図８に示される駆動手段によって駆動される。フィルム挟み込みローラー１３−１の回転軸には駆動手段であるサーボモータ１３−１Ｍとパウダーブレーキ１３−１Ｂが繋がれており、同様にフィルム挟み込みローラー１３−２の回転軸には駆動手段であるサーボモータ１３−２Ｍとパウダーブレーキ１
３−２Ｂが繋がれている。上記フィルム挟み込みローラー１３−１と１３−２に繋がれたサーボモータ１３−１Ｍとパウダーブレーキ１３−１Ｂと、サーボモータ１３−２Ｍとパウダーブレーキ１３−２Ｂを制御することによって、枚葉フィルム１１にテンションをかけながら矢印５１で示す往路の方向に搬送したり、矢印５２で示す復路の方向に搬送したりすることが出来る。
The film sandwiching rollers 13-1 and 13-2 are driven by driving means shown in FIG. A servo motor 13-1M as a driving means and a powder brake 13-1B are connected to the rotating shaft of the film sandwiching roller 13-1, and similarly, a servo as a driving means is connected to the rotating shaft of the film sandwiching roller 13-2. Motor 13-2M and
3-2B is connected. By controlling the servo motor 13-1M and the powder brake 13-1B, the servo motor 13-2M and the powder brake 13-2B connected to the film sandwiching rollers 13-1 and 13-2, It can be conveyed in the forward direction indicated by arrow 51 while being tensioned, or can be conveyed in the backward direction indicated by arrow 52.
サーボモータ１３−１Ｍ及び１３−２Ｍには例えばパルス電圧を印加することによって一定の回転角度で回転させることが出来るパルスモータを使用することが出来る。従って印加するパルス数を制御することによって任意の角度で回転することが出来る。その結果、枚葉フィルム１１を予め設定された長さ分、搬送することが出来る。サーボモータ１３−１Ｍ及び１３−２Ｍには上記パルスモータに限らず、ＡＣサーボモータやＤＣサーボモータを使用することが出来る。 As the servo motors 13-1M and 13-2M, for example, pulse motors that can be rotated at a constant rotation angle by applying a pulse voltage can be used. Therefore, it can be rotated at an arbitrary angle by controlling the number of pulses to be applied. As a result, the sheet film 11 can be conveyed by a preset length. The servo motors 13-1M and 13-2M are not limited to the pulse motor, and an AC servo motor or a DC servo motor can be used.
図９、図１０はフィルム挟み込みローラー１３−１と１３−２によって枚葉フィルム１１にテンションをかけながら搬送する方法を説明する図である。図９は枚葉フィルム１１を搬送する往路、即ち図８の矢印５１で示されるフィルム挟み込みローラー１３−２から枚葉フィルム１１を巻き出し、フィルム挟み込みローラー１３−１によって巻き取る場合を示す。横軸は経過時間ｔ、縦軸はサーボモータまたはパウダーブレーキの出力を示す。図１０は図９の逆で枚葉フィルム１１を搬送する復路、即ち図８の矢印５２で示されるフィルム挟み込みローラー１３−１から枚葉フィルム１１を巻き出し、フィルム挟み込みローラー１３−２によって巻き取る場合を示す。 FIG. 9 and FIG. 10 are diagrams for explaining a method of transporting the sheet film 11 while applying tension to the film sandwiching rollers 13-1 and 13-2. FIG. 9 illustrates a case where the sheet film 11 is unwound from the forward path for conveying the sheet film 11, that is, the film sandwiching roller 13-2 indicated by the arrow 51 in FIG. The horizontal axis represents the elapsed time t, and the vertical axis represents the output of the servo motor or powder brake. FIG. 10 is a reverse path of FIG. 9 to transport the sheet film 11, that is, the sheet film 11 is unwound from the film sandwiching roller 13-1 indicated by the arrow 52 in FIG. 8, and wound by the film sandwiching roller 13-2. Show the case.
図９に示す枚葉フィルム１１を往路の方向に搬送する場合は、フィルム挟み込みローラー１３−１に繋がれたサーボモータ１３−１Ｍを駆動し（図９（ａ））、且つパウダーブレーキ１３−１Ｂを定格（１００％）出力とする（図９（ｂ））ことによってフィルム挟み込みローラー１３−１をサーボモータ１３−１Ｍと同じ速度で回転することが出来る。一方フィルム挟み込みローラー１３−２に繋がれたサーボモータ１３−２Ｍを停止し（図９（ｃ））、且つパウダーブレーキ１３−２Ｂを定格以下（図９（ｄ）では３０％）の出力とすることによって、フィルム挟み込みローラー１３−２をブレーキのかかった状態で回転することが出来る。この結果、枚葉フィルム１１にテンションをかけながら往路の方向（図８の矢印５１の方向）に搬送することが出来る。 When transporting the single wafer film 11 shown in FIG. 9 in the forward direction, the servo motor 13-1M connected to the film sandwiching roller 13-1 is driven (FIG. 9A) and the powder brake 13-1B is driven. Is rated (100%) output (FIG. 9B), the film sandwiching roller 13-1 can be rotated at the same speed as the servomotor 13-1M. On the other hand, the servo motor 13-2M connected to the film sandwiching roller 13-2 is stopped (FIG. 9 (c)), and the powder brake 13-2B is output below the rating (30% in FIG. 9 (d)). Thus, the film sandwiching roller 13-2 can be rotated in a braked state. As a result, the sheet can be conveyed in the forward direction (direction of arrow 51 in FIG. 8) while applying tension to the sheet film 11.
一方、図９とは逆に図１０に示す枚葉フィルム１１を復路の方向に搬送する場合は、フィルム挟み込みローラー１３−１に繋がれたサーボモータ１３−１Ｍを停止し（図１０（ａ））、且つパウダーブレーキ１３−１Ｂを定格以下（図１０（ｂ）では３０％）の出力とし、フィルム挟み込みローラー１３−２に繋がれたサーボモータ１３−２Ｍを駆動し（図１０（ｃ））、且つパウダーブレーキ１３−２Ｂを定格（１００％）出力とする（図１０（ｄ））ことによって、フィルム挟み込みローラー１３−２をサーボモータ１３−２Ｍと同じ速度で回転することが出来、一方フィルム挟み込みローラー１３−１をブレーキのかかった状態で回転することが出来る。この結果、枚葉フィルム１１にテンションをかけながら復路の方向（図８の矢印５２の方向）に搬送することが出来る。 On the other hand, when the single-wafer film 11 shown in FIG. 10 is conveyed in the reverse direction, the servo motor 13-1M connected to the film sandwiching roller 13-1 is stopped (FIG. 10A). ) And the output of the powder brake 13-1B is below the rated value (30% in FIG. 10B), and the servo motor 13-2M connected to the film sandwiching roller 13-2 is driven (FIG. 10C). By setting the powder brake 13-2B to the rated (100%) output (FIG. 10 (d)), the film sandwiching roller 13-2 can be rotated at the same speed as the servo motor 13-2M, while the film The sandwiching roller 13-1 can be rotated in a braked state. As a result, it can be conveyed in the direction of the return path (the direction of the arrow 52 in FIG. 8) while applying tension to the sheet film 11.
図９、図１０ではパウダーブレーキ１３−１Ｂ及び１３−２Ｂの出力を３０％として例示したが、０〜１００％未満の任意の出力に設定することで、枚葉フィルム１１が巻取り軸へ引っ張られることによりパウダーブレーキが滑ることになる。パウダーブレーキが滑る程度が、そのままフィルムに張力を与えることとなり、巻き出し軸のパウダーブレーキの出力が１００％に近い場合、フィルムに与える張力は高くなり、巻き出し軸のパウダーブレーキの出力が０％に近い場合、フィルムに与える張力は低くなる。このようにパウダーブレーキの出力を、０〜１００％の間で枚葉フィルム１１の厚みや材質等の違いによって適宜選択することによって、シワのない均一なフィルム検査面を作ることが出来る。 9 and 10 exemplify the output of the powder brakes 13-1B and 13-2B as 30%, but by setting the output to 0 to less than 100%, the sheet film 11 is pulled to the winding shaft. Will cause the powder brake to slip. The degree to which the powder brake slides gives tension to the film as it is, and when the output of the powder brake on the unwinding shaft is close to 100%, the tension applied to the film becomes high and the output of the powder brake on the unwinding shaft is 0%. When it is close to, the tension applied to the film is low. In this way, a uniform film inspection surface without wrinkles can be formed by appropriately selecting the output of the powder brake within a range of 0 to 100% depending on the thickness, material, and the like of the sheet film 11.
上記フィルム挟み込みローラー１３−１に繋がれたサーボモータ１３−１Ｍとパウダーブレーキ１３−１Ｂと、フィルム挟み込みローラー１３−２に繋がれたサーボモータ１３−２Ｍとパウダーブレーキ１３−２Ｂによって枚葉フィルム１１をテンションをかけながら搬送することが出来ると同時に、枚葉フィルム１１の搬送を間欠的に行うことが出来たり、往路と復路の搬送長さを同じにすることが出来る。 The single wafer film 11 by the servo motor 13-1M and the powder brake 13-1B connected to the film sandwiching roller 13-1 and the servo motor 13-2M and the powder brake 13-2B connected to the film sandwiching roller 13-2. Can be conveyed while applying tension, and at the same time, the sheet film 11 can be conveyed intermittently, and the conveying length of the forward path and the backward path can be made the same.
枚葉フィルム１１の搬送を間欠的に行えることによって、二次元カメラでの撮像が可能となり、二次元カメラを移動して枚葉フィルム１１の全面の検査を行うことが出来き、撮像カメラの費用を安価に抑えることが出来る。 Since the sheet film 11 can be transported intermittently, it is possible to take an image with a two-dimensional camera, and the entire surface of the sheet film 11 can be inspected by moving the two-dimensional camera. Can be kept inexpensive.
図１１は枚葉フィルム１１の全面を検査する方法を説明するための図である。図１１（ａ）は側面から見た図で、図１１（ｂ）は図１１（ａ）の矢印４４の方向から見た正面図である。図１１（ａ）で示されるフィルム挟み込みローラー１３−１が回転方向４１−１に回転することによって枚葉フィルム１１は巻き出され、同時にフィルム挟み込みローラー１３−２が回転方向４１−２に回転することによって巻き取られる。この場合、枚葉フィルム１１は間欠搬送され、間欠搬送の搬送停止時に、撮像カメラ１６によって撮像される。この際、撮像カメラ１６は二次元カメラであって、図１１（ｂ）に示すように枚葉フィルム１１の搬送方向に対して直角方向であるフィルムの幅方向、即ち矢印４３で示す方向に移動しながら検査面を撮像する。
FIG. 11 is a diagram for explaining a method of inspecting the entire surface of the sheet film 11. 11A is a view seen from the side, and FIG. 11B is a front view seen from the direction of the arrow 44 in FIG. 11A. When the film sandwiching roller 13-1 shown in FIG. 11A rotates in the rotation direction 41-1, the sheet film 11 is unwound, and at the same time, the film sandwiching roller 13-2 rotates in the rotation direction 41-2. It is wound up by. In this case, the sheet film 11 is intermittently conveyed, and is imaged by the
枚葉フィルム１１の搬送方向に対して直角方向であるフィルムの幅方向への撮像カメラ１６の移動に追従して、照明光源１５も矢印４３で示す方向に移動する。図１１に示すように撮像カメラ１６には二次元カメラを用い、更に枚葉フィルム１１の搬送方向に対して直角方向であるフィルムの幅方向へ移動しながら枚葉フィルム１１を撮像することによって、例えば一般的に高価といわれるリニアセンサーカメラをフィルムの幅方向に複数台並べてフィルムの全幅を検査する場合と比較して、撮像カメラの費用を安価に抑えることが出来る。
The illumination light source 15 also moves in the direction indicated by the arrow 43 following the movement of the
また、枚葉フィルム１１の往路と復路の搬送を間欠搬送し、更に往路と復路の間欠搬送の回数を適宜制御することによって、特に重点的に検査したい場所を複数回検査することも出来る。更に、フィルム挟み込みローラー１３−１によって枚葉フィルム１１を巻き取った際のサーボモータ１３−１Ｍの回転制御を、同じようにサーボモータ１３−２Ｍに行うことによって元の状態に巻き戻すことが出来る。 In addition, it is possible to inspect a place to be inspected more than once by intermittently transporting the forward and backward paths of the sheet 11 and further appropriately controlling the number of intermittent transports of the forward and backward paths. Furthermore, when the sheet motor 11 is wound up by the film sandwiching roller 13-1, the servo motor 13-1M is similarly rotated by the servo motor 13-2M so that it can be rewound to the original state. .
また往路と復路の搬送長さを同じにすることが出来るため、検査後のフィルムを元の状態に正確に巻き戻すことが出来、フィルムのハンドリングが更に容易になる。 Further, since the transport length of the forward path and the return path can be made the same, the film after the inspection can be accurately rewound to the original state, and the handling of the film is further facilitated.
図１２は、２本のフィルム挟み込みローラー１３−１及び１３−２と、２本のフィルムサポートローラー１４−１及び１４−２と、を移動する手段である搬送フレーム２１を説明するための図である。搬送フレーム２１は２本のフィルム挟み込みローラー１３−１及び１３−２と、２本のフィルムサポートローラー１４−１及び１４−２と、を検査前段取り位置５３と、検査位置５４と、に移動可能であって、搬送フレーム２１上を前記フィルム挟み込みローラー１３−１及び１３−２と２本のフィルムサポートローラー１４−１及び１４−２は架台２２に保持され、架台２２が搬送フレーム２１上を矢印２３に示す方向に移動される。
FIG. 12 is a view for explaining a
以上のように本発明による枚葉フィルム検査装置によれば、枚葉フィルムを検査する場合にシワの無い一様な被検査面を形成することが容易になり、サーボモータとパウダーブレーキといった比較的簡便で安価な構成によってフィルムの搬送を行い、また、二次元カ
メラをフィルムの搬送方向と直角の幅方向に移動することによって、撮像カメラの費用を安価に抑えることが出来、その結果、検査の信頼性を向上するとともに検査装置の設備費用を抑えることが可能になる。
As described above, according to the single wafer film inspection apparatus according to the present invention, it is easy to form a uniform inspection surface without wrinkles when inspecting a single wafer film. By transporting the film with a simple and inexpensive configuration, and moving the two-dimensional camera in the width direction perpendicular to the film transport direction, the cost of the imaging camera can be kept low. It is possible to improve the reliability and reduce the equipment cost of the inspection apparatus.
１・・・フィルム基材
２・・・ハードコート層
３・・・反射防止層
４・・・枚葉シート
５・・・枠体
６・・・フィルム上のシワ
１１・・・枚葉フィルム
１１−１、１１−２・・・枚葉フィルム１１の対向する辺
１２・・・段取り用ローラー
１２ａ、１２ｂ・・・段取り用ローラーに設けられたツバ
１３−１、１３−２・・・フィルム挟み込みローラー
１３−１ａ、１３−２ａ・・・挟み込みローラー設けられ溝
１３−１Ｍ、１３−１Ｂ・・・フィルム挟み込みローラー１３−１に繋がれたサーボモータとパウダーブレーキ
１３−２Ｍ、１３−２Ｂ・・・フィルム挟み込みローラー１３−２に繋がれたサーボモータとパウダーブレーキ
１４−１、１４−２・・・フィルムサポートローラー
１５・・・照明光源
１６・・・撮像カメラ
１７・・・画像処理装置
２１・・・搬送フレーム
２２・・・架台
２３・・・搬送フレームの移動方向を示す矢印
３０−１、３０−２・・・シリコンチューブ
４１−１・・・フィルム挟み込みローラー１３−１が回転する方向を示す矢印
４１−２・・・フィルム挟み込みローラー１３−２が回転する方向を示す矢印
４２・・・枚葉フィルムの搬送方向を示す矢印
４３・・・照明光源、撮像カメラを移動する方向を示す矢印
４４・・・検査装置を見る正面の方向を示す矢印
５１・・・フィルムが搬送される往路の方向を示す矢印
５２・・・フィルムが搬送される復路の方向を示す矢印
５３・・・検査前段取り位置
５４・・・検査位置
DESCRIPTION OF
Claims (8)
被検査対象の枚葉フィルムが巻き取られた段取り用ローラーと、
段取り用ローラーに巻かれた枚葉フィルムを巻き出した後、枚葉フィルムの巻き出し方向に対向する２辺をそれぞれ挟み、更に前記枚葉フィルムを引っ張りながら巻き出し巻取りを行って搬送する２本のフィルム挟み込みローラーと、
前記２本のフィルム挟み込みローラーを駆動する手段と、
前記２本のフィルム挟み込みローラー間に設けられフィルムの搬送をサポートする２本のフィルムサポートローラーと、
搬送途中の枚葉フィルムの検査面を照明する手段と、
照明された枚葉フィルムを撮像する手段と、
前記照明する手段を移動する手段と、
前記撮像する手段を移動する手段と、
撮像された画像を処理し不良欠陥を検出する画像処理手段と、
前記２本のフィルム挟み込みローラーと２本のフィルムサポートローラーを移動する手段と、を有する枚葉フィルム検査装置。 An inspection device for inspecting the appearance of a single-wafer film,
A set-up roller on which the sheet film to be inspected is wound;
After unwinding the sheet film wound around the set-up roller, the two sides facing each other in the unwinding direction of the sheet sheet film are respectively sandwiched, and further, the sheet film is unwound and wound while being pulled. A film sandwiching roller;
Means for driving the two film sandwiching rollers;
Two film support rollers which are provided between the two film sandwiching rollers and support the conveyance of the film;
Means for illuminating the inspection surface of the sheet-fed film in transit;
Means for imaging the illuminated sheet film;
Means for moving the means for illuminating;
Means for moving the imaging means;
Image processing means for processing captured images and detecting defective defects;
The sheet | seat film test | inspection apparatus which has a means to move the said 2 film clamping roller and two film support rollers.
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
2011
- 2011-03-11 JP JP2011054050A patent/JP2012189482A/en not_active Withdrawn
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