JP2012151219A - Cassette - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cassette having no need for independently coping with workpieces with various sizes.SOLUTION: A cassette 10 has right and left side walls 2, on which a plurality of grooves 22 for housing a plate-like workpiece W1 are formed at predetermined intervals; a connection part 3a for connecting the right and left side walls 2; and an opening 23a for inserting/removing the plate-like workpiece W1. The side walls 2 and the connection part 3 are made detachable, and the connection part 3 is constituted by a member extending rightward and leftward. By using the connection part 3a with different length according to the size of the plate-like workpiece W1, the cassette can be adjusted to have the opening 23a corresponding to the plate-like workpieces with plural sizes.

Description

本発明は、板状の被加工物を収容可能なカセットに関する。   The present invention relates to a cassette that can accommodate a plate-like workpiece.

半導体ウェーハ等の被加工物（ワーク）のダイシング加工を行う切削装置やレーザ加工装置、ワークの研削を行う研削装置、ワークの研磨を行う研磨装置等、ワークの加工を行う加工装置においては、ワークを複数段収容可能なカセットと呼ばれる収容器が使用されている。ワークには様々なサイズのものがあるため、各種加工装置においては、それぞれのサイズのワークに対応したカセットが用意され、使用されている（例えば特許文献１参照）。   In a processing device for processing a workpiece, such as a cutting device or a laser processing device for dicing a workpiece (workpiece) such as a semiconductor wafer, a grinding device for grinding a workpiece, or a polishing device for polishing a workpiece, A container called a cassette capable of accommodating a plurality of stages is used. Since there are workpieces of various sizes, cassettes corresponding to the workpieces of each size are prepared and used in various processing apparatuses (see, for example, Patent Document 1).

特開平９−２７５４３号公報JP-A-9-27543

しかし、様々なサイズのワークに対応したカセットを個別に準備するのでは、管理が煩雑となり、コスト的観点からも問題がある。本発明は、このような問題点にかんがみなされたもので、様々なサイズのワークに対応可能なカセットを提供することを目的とする。   However, individually preparing cassettes corresponding to workpieces of various sizes makes the management complicated and causes a problem from the viewpoint of cost. The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a cassette that can be used for workpieces of various sizes.

本発明は、板状ワークを収容する溝が所定間隔ごとに複数形成された左右の側壁と、左右の側壁を連結する連結部と、板状ワークを出し入れする開口部と、を有するカセットに関するもので、側壁と連結部は脱着可能に形成され、連結部は左右方向に延びる部材で構成され、板状ワークの大きさに応じて長さの異なる連結部を使用することにより複数の大きさの板状ワークに対応した開口部を有するカセットに調整可能としている。   The present invention relates to a cassette having left and right side walls in which a plurality of grooves for receiving plate-like workpieces are formed at predetermined intervals, a connecting portion for connecting the left and right side walls, and an opening for taking in and out the plate-like workpiece. Thus, the side wall and the connecting portion are formed to be detachable, and the connecting portion is configured by a member extending in the left-right direction, and a plurality of sizes can be obtained by using connecting portions having different lengths according to the size of the plate-like workpiece. It can be adjusted to a cassette having an opening corresponding to the plate-like workpiece.

本発明は、側壁と連結部とを脱着可能とし、板状ワークの大きさに応じて長さの異なる連結部を使用することとしたため、側壁を共通化し、連結部を交換するだけで種々の大きさの板状ワークに対応したカセットを形成することができる。   In the present invention, the side wall and the connecting part can be attached and detached, and the connecting part having a different length according to the size of the plate-like workpiece is used. A cassette corresponding to a plate-shaped workpiece having a size can be formed.

カセットの一形態を示す正面図である。It is a front view which shows one form of a cassette. カセットの一形態を示す平面図である。It is a top view which shows one form of a cassette. カセットの一形態を示す側面図である。It is a side view which shows one form of a cassette. カセットの別の形態を示す正面図である。It is a front view which shows another form of a cassette. カセットの別の形態を示す平面図である。It is a top view which shows another form of a cassette. カセットの別の形態を示す側面図である。It is a side view which shows another form of a cassette. 前記一形態のカセットをカセットステージに載置した状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which mounted the cassette of the said one form on the cassette stage. 前記別の形態のカセットをカセットステージに載置した状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which mounted the cassette of the said another form on the cassette stage.

図１に示すカセット１０は、半導体ウェーハ等の板状の被加工物（板状ワーク）を複数収容可能な収容器であり、左右に一対の側壁２を備えている。それぞれの側壁２は起立状態にあり、その上部及び下部は、左右方向に延びる部材である棒状の連結部３ａによってそれぞれ連結されている。連結部３ａは、側壁２の外側面２１側から挿入されるネジ３０によって側壁２に対して脱着可能に固定される。   A cassette 10 shown in FIG. 1 is a container that can accommodate a plurality of plate-like workpieces (plate-like workpieces) such as semiconductor wafers, and includes a pair of side walls 2 on the left and right. Each side wall 2 is in an upright state, and the upper part and the lower part thereof are connected to each other by a bar-like connecting part 3a that is a member extending in the left-right direction. The connecting portion 3a is detachably fixed to the side wall 2 by a screw 30 inserted from the outer surface 21 side of the side wall 2.

一対の側壁２の対面した面側には、板状ワークを収容する溝２２が所定間隔ごとに複数形成されている。個々の溝２２は、外側面２１側に向けて窪んだ凹状に形成されている。カセット１０の前部には、カセット１０に対する板状ワークの出し入れを行う際の出入口となる開口部２３ａが形成されている。   A plurality of grooves 22 for receiving plate-like workpieces are formed at predetermined intervals on the facing side of the pair of side walls 2. Each groove | channel 22 is formed in the concave shape dented toward the outer surface 21 side. In the front portion of the cassette 10, an opening 23 a is formed that serves as an entrance when a plate-shaped workpiece is taken in and out of the cassette 10.

図２に示すように、左右の側壁２は、その前部及び後部がそれぞれ連結部３ａによってそれぞれ連結されている。すなわち、一対の側壁２は、４つの棒状の連結部３ａによって連結されている。   As shown in FIG. 2, the front and rear portions of the left and right side walls 2 are respectively connected by connecting portions 3a. That is, the pair of side walls 2 are connected by the four rod-like connecting portions 3a.

図２に示すように、個々の側壁２は、カセット１０の開口部２３ａ側の薄肉部２４と、カセット１０の後方側の厚肉部２５とから構成されている。図１に示すように、薄肉部２４の上部及び下部に厚肉部２５が一体に形成された構成となっている。   As shown in FIG. 2, each side wall 2 includes a thin portion 24 on the opening 23 a side of the cassette 10 and a thick portion 25 on the rear side of the cassette 10. As shown in FIG. 1, the thick portion 25 is integrally formed on the upper and lower portions of the thin portion 24.

図２に示すように、薄肉部２４の内側の面同士が互いに対面しているとともに、厚肉部２５の内側の面同士が互いに対面している。溝２２は、薄肉部２４の内側面に形成されており、溝２２に板状ワークＷ１の端部が載置されることにより、板状ワークＷ１が溝２２において支持された状態でカセット１に収容される。カセット１０に収容できるワークＷ１の大きさは、例えば４インチとする。   As shown in FIG. 2, the inner surfaces of the thin portion 24 face each other, and the inner surfaces of the thick portion 25 face each other. The groove 22 is formed on the inner surface of the thin portion 24, and the end of the plate-like workpiece W <b> 1 is placed in the groove 22, so that the plate-like workpiece W <b> 1 is supported in the groove 22 in the cassette 1. Be contained. The size of the work W1 that can be accommodated in the cassette 10 is, for example, 4 inches.

厚肉部２５には、棒状の突き当て部４を収容して支持するための収容穴２５０，２５１がそれぞれ形成されている。突き当て部４は、カセット１０に収容されるワークの後方側におけるストッパとなるもので、小径の板状ワークＷ１をカセット１０に収容する場合には収容穴２５０に突き当て部４を挿入し、それよりも大径の板状ワークをカセット１０に収容する場合には収容穴２５１に突き当て部４を挿入する。図１乃至図３の例では、収容穴２５０に突き当て部４を収容した状態を示している。なお、図示の例における収容穴は２つであるが、収容すべきワークの大きさに応じて３つ以上形成されていてもよい。   The thick wall portion 25 is formed with receiving holes 250 and 251 for receiving and supporting the rod-like butting portion 4. The abutting portion 4 serves as a stopper on the rear side of the workpiece accommodated in the cassette 10, and when the small-diameter plate-like workpiece W1 is accommodated in the cassette 10, the abutting portion 4 is inserted into the accommodating hole 250, When a plate work having a larger diameter than that is accommodated in the cassette 10, the abutting portion 4 is inserted into the accommodation hole 251. In the example of FIGS. 1 to 3, the abutting portion 4 is accommodated in the accommodation hole 250. In addition, although the accommodation hole in the example of illustration is two, three or more may be formed according to the magnitude | size of the workpiece | work which should be accommodated.

図２に示した板状ワークＷ１よりも大径のワークをカセットに収容する場合は、ネジ３０を緩めて連結部３ａを側壁２から取り外し、図４に示すように、図１及び図２に示した連結部３ａよりも長い連結部３ｂを一対の側壁２に連結し、ネジ３０によって固定する。側壁２は、図１乃至図３に示したものと同じものを使用する。このように、連結部３ａよりも長い連結部３ｂを側壁２に連結することにより、図１に示した開口部２３ａよりも左右方向の幅が広い開口部２３ｂが形成され、図２に示したワークＷ１よりも大径のワークＷ２を開口部２３ｂを介して出し入れすることが可能となるカセット１１が形成される。カセット１１に収容できるワークＷ２の大きさは、例えば６インチとする。   When a workpiece having a diameter larger than the plate-like workpiece W1 shown in FIG. 2 is accommodated in the cassette, the screw 30 is loosened to remove the connecting portion 3a from the side wall 2, and as shown in FIG. A connecting part 3 b longer than the shown connecting part 3 a is connected to the pair of side walls 2 and fixed with screws 30. The side wall 2 is the same as that shown in FIGS. Thus, by connecting the connecting part 3b longer than the connecting part 3a to the side wall 2, an opening 23b having a width in the left-right direction wider than the opening 23a shown in FIG. 1 is formed, as shown in FIG. A cassette 11 is formed in which a workpiece W2 having a diameter larger than that of the workpiece W1 can be taken in and out through the opening 23b. The size of the workpiece W2 that can be accommodated in the cassette 11 is, for example, 6 inches.

図５に示すように、ワークＷ１よりも大径のワークＷ２をカセット１１に収容する場合は、収容穴２５１に突き当て部４を挿入する。そうすると、突き当て部４は、大径のワークＷ２が溝２２に載置され収容した際にワークＷ２が過度に後方側に押し込まれるのを防止するストッパとなる。図６に示すように、収容穴２５１に突き当て部４を挿入すると、突き当て部４は、収容穴２５０に挿入した場合よりも後方側に位置する。   As shown in FIG. 5, when the workpiece W <b> 2 having a diameter larger than that of the workpiece W <b> 1 is accommodated in the cassette 11, the abutting portion 4 is inserted into the accommodation hole 251. Then, the abutting portion 4 serves as a stopper that prevents the workpiece W2 from being excessively pushed backward when the large-diameter workpiece W2 is placed and accommodated in the groove 22. As shown in FIG. 6, when the abutting portion 4 is inserted into the accommodation hole 251, the abutting portion 4 is positioned on the rear side relative to the case where it is inserted into the accommodation hole 250.

以上のように、板状ワークの大きさに応じて長さの異なる連結部を使用することにより、複数の大きさの板状ワークに対応した開口部を有するカセットに調整可能となる。   As described above, by using the connecting portions having different lengths according to the size of the plate-like workpiece, the cassette can be adjusted to have a plurality of openings corresponding to the plate-like workpieces having a plurality of sizes.

図７に示すように、各種加工装置においては、カセットがカセットステージ５に載置されて使用される。カセットステージ５には、複数箇所に位置決め用穴５０が直線状に並んだ状態で複数形成されている。この位置決め用穴５０は、位置決めブロック５１を固定するためのピン５０ａを挿入するために形成されている。位置決めブロック５１は、載置しようとするカセットの位置を案内するためにカセットステージ５に固定される。   As shown in FIG. 7, in various processing apparatuses, a cassette is mounted on the cassette stage 5 and used. The cassette stage 5 is formed with a plurality of positioning holes 50 arranged in a straight line at a plurality of locations. The positioning hole 50 is formed for inserting a pin 50 a for fixing the positioning block 51. The positioning block 51 is fixed to the cassette stage 5 in order to guide the position of the cassette to be placed.

カセットステージ５には位置決めブロック５１が複数配置され固定される。位置決めブロック５１の固定位置は、載置しようとするカセットの大きさにあわせて調整される。   A plurality of positioning blocks 51 are arranged and fixed on the cassette stage 5. The fixed position of the positioning block 51 is adjusted according to the size of the cassette to be placed.

図７に示すように、カセットステージ５には、カセット有無識別センサ６０と、その両側のカセットサイズ識別センサ６１ａ、６１ｂとが配設されている。カセット有無識別センサ６０及びカセットサイズ識別センサ６１ａ、６１ｂとしては、例えば反射型光センサを使用することができる。   As shown in FIG. 7, the cassette stage 5 is provided with a cassette presence / absence identification sensor 60 and cassette size identification sensors 61a and 61b on both sides thereof. As the cassette presence / absence identification sensor 60 and the cassette size identification sensors 61a and 61b, for example, reflection type optical sensors can be used.

カセット有無識別センサ６０とカセットサイズ識別センサ６１ａとの間の距離、及び、カセット有無識別センサ６０とカセットサイズ識別センサ６１ｂとの間の距離は、側壁２の厚肉部２５の厚みＤよりも短くなっており、図１乃至図６に示したカセット１０，１１のいずれかをカセットステージ５に載置した状態では、厚肉部２５は、隣り合う２つのセンサの上方、すなわち、カセット有無識別センサ６０及びカセットサイズ識別センサ６１ａの上方、または、カセット有無識別センサ６０及びカセットサイズ識別センサ６１ｂの上方に位置する。図７の例では、厚肉部２５は、カセット有無識別センサ６０とカセットサイズ識別センサ６１ａの上方に位置している。この場合、カセット有無識別センサ６０は、カセットが載置されていると判断し、カセットサイズ識別センサ６１ａは、４インチワーク用のカセット１０が載置されていると判断する。   The distance between the cassette presence / absence identification sensor 60 and the cassette size identification sensor 61a and the distance between the cassette presence / absence identification sensor 60 and the cassette size identification sensor 61b are shorter than the thickness D of the thick portion 25 of the side wall 2. In the state where any one of the cassettes 10 and 11 shown in FIGS. 1 to 6 is placed on the cassette stage 5, the thick portion 25 is located above two adjacent sensors, that is, a cassette presence / absence identifying sensor. 60 and the cassette size identification sensor 61a, or above the cassette presence / absence identification sensor 60 and the cassette size identification sensor 61b. In the example of FIG. 7, the thick portion 25 is located above the cassette presence / absence identification sensor 60 and the cassette size identification sensor 61a. In this case, the cassette presence / absence identification sensor 60 determines that the cassette is placed, and the cassette size identification sensor 61a determines that the cassette 10 for a 4-inch workpiece is placed.

６インチワーク用のカセット１１をカセットステージ５に載置するときは、図８に示すように、位置決めブロック５１の固定位置を、互いが離れる位置に変更する。そして、位置決めブロック５１によってガイドされる位置に６インチワーク用のカセットを載置すると、カセット有無識別センサ６０及びカセットサイズ識別センサ６１ｂの上方に厚肉部２５が位置する。したがって、カセット有無識別センサ６０は、カセットが載置されていると判断し、カセットサイズ識別センサ６１ｂは、６インチワーク用のカセット１０が載置されていると判断する。   When the cassette 11 for a 6-inch work is placed on the cassette stage 5, as shown in FIG. 8, the fixing position of the positioning block 51 is changed to a position where they are separated from each other. When a 6-inch workpiece cassette is placed at a position guided by the positioning block 51, the thick portion 25 is positioned above the cassette presence / absence identification sensor 60 and the cassette size identification sensor 61b. Therefore, the cassette presence / absence identification sensor 60 determines that the cassette is placed, and the cassette size identification sensor 61b determines that the 6-inch workpiece cassette 10 is placed.

カセットがカセットステージ５に載置されていないときは、カセット有無識別センサ６０がカセットが載置されていないと判断する。また、カセット有無識別センサ６０がカセットが載置されていないと判断したにもかかわらず、カセットサイズ識別センサ６１ａ，６１ｂのいずれかがカセットのサイズを識別した場合は、カセットが正常な状態で載置されていないと判断する。カセット有無識別センサ６０がカセットが載置されていると判断したにもかかわらず、カセットサイズ識別センサ６１ａ，６１ｂのいずれもがカセットのサイズを識別できなかった場合も、カセットが正常な状態で載置されていないと判断する。   When the cassette is not placed on the cassette stage 5, the cassette presence / absence identifying sensor 60 determines that no cassette is placed. In addition, when the cassette presence / absence identifying sensor 60 determines that no cassette is placed but one of the cassette size identifying sensors 61a and 61b identifies the size of the cassette, the cassette is loaded in a normal state. Judge that it is not placed. Even when the cassette presence / absence identification sensor 60 determines that the cassette is placed, neither of the cassette size identification sensors 61a and 61b can identify the cassette size, and the cassette is loaded in a normal state. Judge that it is not placed.

このように、カセットに厚肉部２５を設け、厚肉部２５がカセット有無識別センサ６０及び片方のカセットサイズ識別センサの上方を覆うように構成することにより、１つのカセット有無識別センサ６０によっていずれのサイズのカセットの有無も判断できるようになるため、個々のサイズのカセットごとにカセット有無識別センサを配設する必要がなく、センサの数を減らすことができる。   As described above, the thick portion 25 is provided in the cassette, and the thick portion 25 is configured so as to cover the cassette presence / absence identification sensor 60 and the upper one of the cassette size identification sensors. Therefore, it is not necessary to provide a cassette presence / absence identifying sensor for each cassette, and the number of sensors can be reduced.

１０，１１：カセット
２：側壁
２１：外側面 ２２：溝 ２３ａ，２３ｂ：開口部
２４：薄肉部 ２４０：内側面
２５：厚肉部 ２５０，２５１：収容穴
３ａ，３ｂ：連結部 ３０：ネジ
４：突き当て部
５：カセットステージ
５０：位置決め用穴 ５０ａ：ピン
５１：位置決めブロック
６０：カセット有無識別センサ ６１ａ，６１ｂ：カセットサイズ識別センサ 10, 11: Cassette 2: Side wall 21: Outer surface 22: Groove 23a, 23b: Opening 24: Thin portion 240: Inner side surface 25: Thick portion 250, 251: Housing holes 3a, 3b: Connection portion 30: Screw 4 : Abutting section 5: Cassette stage 50: Positioning hole 50a: Pin 51: Positioning block 60: Cassette presence / absence identification sensor 61a, 61b: Cassette size identification sensor

Claims (1)

板状ワークを収容する溝が所定間隔ごとに複数形成された左右の側壁と、
該左右の側壁を連結する連結部と、
板状ワークを出し入れする開口部と、
を有するカセットであって、
該側壁と該連結部は脱着可能に形成され、
該連結部は左右方向に延びる部材で構成され、
板状ワークの大きさに応じて長さの異なる該連結部を使用することにより複数の大きさの板状ワークに対応した開口部を有するカセットに調整可能なカセット。 Left and right side walls in which a plurality of grooves for receiving plate-like workpieces are formed at predetermined intervals;
A connecting portion for connecting the left and right side walls;
An opening for taking in and out the plate-like workpiece;
A cassette having:
The side wall and the connecting portion are formed to be removable.
The connecting portion is composed of a member extending in the left-right direction,
A cassette that can be adjusted to a cassette having openings corresponding to a plurality of plate-like workpieces by using the connecting portions having different lengths depending on the size of the plate-like workpiece.
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