JP2012148442A - Casting die, method of manufacturing die head, and method of manufacturing film - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a widened die head body with a DLC layer while inhibiting a warp.SOLUTION: A casting die provided with a flow passage for flow of a dope includes a die body. The inlet of the flow passage is opened in the upper part of the die body. The outlet of the flow passage is opened in the downward end of the die body. The die body has a pair of side plates and a pair of lip plates. The flow passage is enclosed by the pair of side plates and the pair of lip plates. The lip plate is formed of a lip plate body which is a component member of the inlet of the flow passage and a die head 82 which is a component member of the outlet. The die head 82 can be fastened to the lip plate by bolts. The die head 82 is formed of the wedged die head body 85 and a DLC film 86 provided on the entire surface of the die head body 85. The DLC film 86 is provided on the die head body 85 by an ion deposition method.

Description

本発明は、流延ダイ、ダイヘッドの製造方法及びフィルムの製造方法に関する。   The present invention relates to a casting die, a die head manufacturing method, and a film manufacturing method.

光透過性を有するポリマーフィルム(以下、フィルムと称する)は、軽量であり、成形が容易であるため、光学フィルムとして多岐に利用されている。中でも、セルロースアシレートなどを用いたセルロースエステル系フィルムは、写真感光用フィルムの他、液晶表示装置の光学フィルム(偏光板保護フィルムや位相差フィルム等)として用いられている。   Polymer films having light permeability (hereinafter referred to as films) are lightweight and easy to mold, and thus are widely used as optical films. Among these, cellulose ester films using cellulose acylate are used as optical films (polarizing plate protective films, retardation films, etc.) for liquid crystal display devices in addition to photographic photosensitive films.

フィルムの主な製造方法として溶液製膜方法が知られている。溶液製膜方法では、膜形成工程と膜乾燥工程と剥取工程とフィルム乾燥工程とが順次行われる。膜形成工程では、流延ダイを用いて、ポリマーと溶剤とを含むポリマー溶液(以下、ドープと称する)を流出し、移動する支持体上に流延膜を形成する。膜乾燥工程では、流延膜が自立して搬送可能になるまで、流延膜から溶剤を蒸発させる。剥取工程では、膜乾燥工程を経た流延膜を支持体から剥がして湿潤フィルムとする。湿潤フィルム乾燥工程では、湿潤フィルムから溶剤を蒸発させてフィルムとする。   A solution casting method is known as a main method for producing a film. In the solution casting method, a film forming process, a film drying process, a stripping process, and a film drying process are sequentially performed. In the film forming step, a casting solution is formed on a moving support body by using a casting die to flow out a polymer solution containing a polymer and a solvent (hereinafter referred to as a dope). In the film drying step, the solvent is evaporated from the cast film until the cast film becomes self-supporting and can be conveyed. In the peeling process, the cast film that has undergone the film drying process is peeled off from the support to form a wet film. In the wet film drying step, the solvent is evaporated from the wet film to obtain a film.

流延ダイは、支持体の移動方向に並設された1対のリップ板と、一のリップ板から他のリップ板にかけて延設された1対の側板と、1対のリップ板及び1対の側板によって囲まれてなる流路とを有する。ドープの流れ方向に直交する面において、流路は、短辺が移動方向へ延び長辺が支持体移動路の幅方向へ延びる矩形状に形成される。このリップ板や側板は、熱膨張率が小さく、溶剤に対し溶解性の低いステンレス(例えば、SUS316L等)から形成される。   The casting die includes a pair of lip plates arranged in parallel in the moving direction of the support, a pair of side plates extending from one lip plate to another lip plate, a pair of lip plates and a pair. And a channel surrounded by the side plate. On the surface orthogonal to the dope flow direction, the flow path is formed in a rectangular shape having a short side extending in the moving direction and a long side extending in the width direction of the support moving path. The lip plate and the side plate are made of stainless steel (for example, SUS316L) having a low coefficient of thermal expansion and low solubility in a solvent.

流延ダイは、移動する支持体に向けて流路の出口からドープを流出する。この結果、一方のリップ板の先端部と支持体との間にはビードが形成する。膜形成工程において、ビードが不安定になると、流延膜に厚みムラが生じてしまう。そこで、ビード形成の起点となる当該リップ板の先端部を尖鋭化することにより、ビードの安定化を図っている。   The casting die flows out of the dope from the outlet of the channel toward the moving support. As a result, a bead is formed between the tip of one lip plate and the support. If the bead becomes unstable in the film forming step, unevenness of thickness occurs in the cast film. Therefore, the bead is stabilized by sharpening the tip of the lip plate, which is the starting point of bead formation.

ところが、SUS316Lは、ビッカース硬度がHv180程度と比較的軟らかいため、機械加工による先端部の尖鋭化が非常に困難である。そこで、リップ板の先端部にSUS316Lよりも硬質な層(以下、硬質層と称する)を設けた後、所定の機械加工により、リップ板の先端部を尖鋭化することができる。この硬質層としては、炭化タングステン層が知られている(例えば、特許文献1)。   However, since SUS316L is relatively soft with a Vickers hardness of about Hv180, it is very difficult to sharpen the tip by machining. Therefore, after providing a layer harder than SUS316L (hereinafter referred to as a hard layer) at the tip of the lip plate, the tip of the lip plate can be sharpened by predetermined machining. A tungsten carbide layer is known as this hard layer (for example, Patent Document 1).

また、リップ板の先端部の好ましい形状は、フィルムの製造条件によって変わる。そこで、リップ板を、流路の入口をなすリップ板本体と流路の出口をなす先端部(以下、ダイヘッドと称する)に分け、リップ板本体にダイヘッドを着脱自在に設ける。このようなダイヘッドを用いることで、1つの製造ラインにおいて、多品種のフィルムの製造を切り替えることが容易となる。   Moreover, the preferable shape of the front-end | tip part of a lip board changes with film manufacturing conditions. Therefore, the lip plate is divided into a lip plate main body that forms the inlet of the flow path and a tip portion (hereinafter referred to as a die head) that forms the outlet of the flow path, and the die head is detachably provided on the lip plate main body. By using such a die head, it becomes easy to switch the production of various types of films in one production line.

特開2003−200097号公報JP 2003-200097 A

ところで、膜形成工程を長時間連続して行うと、ダイヘッドに設けられた炭化タングステン層が腐食してしまう。炭化タングステン層の腐食は、バインダー金属(コバルト原子等)の溶出に起因する。炭化タングステン層が腐食したままの状態で流延ダイを用いると、炭化タングステン層の剥がれに起因して、フィルムの表面にスジが生じる故障が発生してしまう。このため、膜形成工程を一定時間行う度に膜形成工程を停止してダイヘッドを新しいものに交換せざるを得ず、フィルムの生産効率が低下してしまう。このような背景から、炭化タングステン層よりも長寿命であって、安定したDLC(Diamond Like Carbon)膜をダイヘッドに形成するため、熱CVD(Chemical Vapor Deposition)を用いて、ダイヘッドにDLC膜を形成することが好ましい。しかしながら、熱CVD用いてダイヘッドにDLC膜を形成すると、ダイヘッドにソリが生じてしまう。ソリが生じたダイヘッドは、リップ板本体に取り付けが困難となる。   By the way, when the film forming process is continuously performed for a long time, the tungsten carbide layer provided on the die head is corroded. Corrosion of the tungsten carbide layer is caused by elution of a binder metal (such as cobalt atoms). If the casting die is used while the tungsten carbide layer is still corroded, a failure that causes streaks on the surface of the film due to peeling of the tungsten carbide layer occurs. For this reason, every time the film forming process is performed for a certain period of time, the film forming process must be stopped and the die head replaced with a new one, and the production efficiency of the film is lowered. From such a background, in order to form a stable DLC (Diamond Like Carbon) film having a longer life than the tungsten carbide layer on the die head, the DLC film is formed on the die head by using thermal CVD (Chemical Vapor Deposition). It is preferable to do. However, when a DLC film is formed on the die head by using thermal CVD, warpage occurs in the die head. It is difficult to attach the warped die head to the lip plate body.

近年、液晶表示装置の大型化に伴い、幅の広い光学フィルムの製造が、光学フィルムの提供者の新たな課題となっている。幅の広い光学フィルムを製造するためには、1対の側板の間隔を従来よりも大きくし、リップ板本体やダイヘッドを長くしなければならない。しかしながら、ダイヘッドの長さを長くすることにより、DLC膜形成時に生じるダイヘッドのソリの量は増大する。このため、フィルムの幅広化に対応した流延ダイをつくることが非常に困難となる。   In recent years, with the enlargement of liquid crystal display devices, the production of wide optical films has become a new issue for optical film providers. In order to produce a wide optical film, the distance between the pair of side plates must be larger than before, and the lip plate body and die head must be lengthened. However, by increasing the length of the die head, the amount of warpage of the die head that occurs when the DLC film is formed increases. For this reason, it becomes very difficult to make a casting die corresponding to the widening of the film.

本発明はこのような課題を解決するものであり、幅広化に対応した流延ダイ及びその製造方法とフィルムの製造方法とを提供することを目的とする。   This invention solves such a subject, and it aims at providing the casting die corresponding to widening, its manufacturing method, and the manufacturing method of a film.

本発明は、離隔して互いに向き合う1対の側板と、一方の側板から他方の側板に向かって設けられ互いに向き合う1対のリップ板とを有し、前記1対の側板及び前記1対のリップ板によって囲まれてなる流路の出口からポリマー及び溶剤を含むドープを流出する流延ダイにおいて、前記各リップ板は前記流路の入口を構成するリップ板本体と前記流路の出口を構成し前記リップ板本体に取り付けられたステンレス製のダイヘッドとに分割され、断面楔形の前記ダイヘッドは先端にDLC膜を有し、前記1対の側板の並び方向における前記ダイヘッドの長さを前記並び方向に直交する方向における前記ダイヘッドの長さで除した値が50以上であり、前記DLC膜は130℃以上200℃以下の処理温度で形成されたことを特徴とする。   The present invention includes a pair of side plates that face each other at a distance, and a pair of lip plates that are provided from one side plate toward the other side plate and face each other, and the pair of side plates and the pair of lips. In a casting die that flows out a dope containing a polymer and a solvent from an outlet of a channel surrounded by a plate, each of the lip plates constitutes a lip plate body constituting an inlet of the channel and an outlet of the channel. The die head is divided into a stainless steel die head attached to the lip plate body, the die head having a wedge-shaped cross section has a DLC film at the tip, and the length of the die head in the arranging direction of the pair of side plates is set in the arranging direction. The value divided by the length of the die head in the orthogonal direction is 50 or more, and the DLC film is formed at a processing temperature of 130 ° C. or more and 200 ° C. or less.

前記並び方向における前記ダイヘッドの長さが1500mm以上であることが好ましい。また、前記ダイヘッドは、ステンレスからなる断面楔形のダイヘッド本体と、前記ダイヘッド本体の先端に設けられた炭化タングステン層とを備えたことが好ましい。更に、前記DLC膜の厚みは2μm以下であることが好ましい。   The length of the die heads in the alignment direction is preferably 1500 mm or more. The die head preferably includes a wedge-shaped die head main body made of stainless steel and a tungsten carbide layer provided at a tip of the die head main body. Furthermore, the thickness of the DLC film is preferably 2 μm or less.

本発明のフィルムの製造方法は、上記の流延ダイを用いて、前記支持体上に前記ドープからなる膜を形成する膜形成工程と、前記膜が自立して搬送可能となるまで前記膜から前記溶剤を蒸発させる膜乾燥工程と、前記膜を前記支持体から剥ぎ取って湿潤フィルムとする剥取工程と、前記湿潤フィルムから前記溶剤を蒸発させてフィルムとする湿潤フィルム乾燥工程とを有することを特徴とする。   The method for producing a film of the present invention includes a film forming step of forming a film made of the dope on the support using the casting die, and from the film until the film can be carried independently. A membrane drying step for evaporating the solvent; a peeling step for peeling the membrane from the support to form a wet film; and a wet film drying step for evaporating the solvent from the wet film to form a film. It is characterized by.

本発明は、離隔して互いに向き合う1対の側板と、一方の側板から他方の側板に向かって設けられ互いに向き合う1対のリップ板とを有し、前記1対の側板及び前記1対のリップ板によって囲まれてなる流路の出口からポリマー及び溶剤を含むドープを流出する流延ダイであって、前記流路の入口を構成するリップ板本体とにより前記リップ板をなし、前記流路の出口を構成し、DLC膜を表面に備えたステンレス製のダイヘッドの製造方法において、ステンレス製のダイヘッド本体の表面に気相蒸着法により前記DLC膜を設けて前記ダイヘッドを得る硬化膜形成工程を有し、前記1対の側板の並び方向における前記ダイヘッドの長さを前記並び方向に直交する方向における前記ダイヘッドの長さで除した値が50以上であり、前記気相蒸着法の処理温度は130℃以上200℃以下であることを特徴とする。   The present invention includes a pair of side plates that face each other at a distance, and a pair of lip plates that are provided from one side plate toward the other side plate and face each other, and the pair of side plates and the pair of lips. A casting die for discharging a dope containing a polymer and a solvent from an outlet of a flow path surrounded by a plate, wherein the lip plate is formed by a lip plate body constituting an inlet of the flow path, A method for manufacturing a stainless steel die head comprising an outlet and having a DLC film on the surface includes a cured film forming step of obtaining the die head by providing the DLC film on the surface of the stainless steel die head body by vapor deposition. The value obtained by dividing the length of the die head in the direction in which the pair of side plates are arranged by the length of the die head in the direction orthogonal to the direction of arrangement is 50 or more, Treatment temperature law is characterized by at 200 ° C. or less 130 ° C. or higher.

前記気相蒸着法は、イオン化蒸着、イオンプレーティング及びプラズマCVDのいずれかであることが好ましい。また、前記硬化膜形成工程では、フッ素コーティングが施された固定具により、ターゲット電極と前記ダイヘッド本体を固定し、前記ダイヘッド本体と前記固定具とをボルトを用いて締結することが好ましい。更に、前記硬化膜形成工程では、前記1対の側板の並び方向に列設された締結箇所にて前記ダイヘッド本体と前記支持部材とが前記ボルトにより締結され、前記1対の側板の並び方向の中央部から両端側に向かうに従い、前記ボルトの締め付けトルクが小さいことが好ましい。   The vapor deposition method is preferably any one of ionization deposition, ion plating, and plasma CVD. Further, in the cured film forming step, it is preferable that the target electrode and the die head main body are fixed by a fixing tool having a fluorine coating, and the die head main body and the fixing tool are fastened using a bolt. Further, in the cured film forming step, the die head main body and the support member are fastened by the bolts at fastening locations arranged in the direction of arrangement of the pair of side plates, and the direction of arrangement of the pair of side plates is increased. It is preferable that the tightening torque of the bolt decreases as it goes from the center to both ends.

本発明によれば、ダイヘッドのソリを抑えながら、長寿命のDLC膜をダイヘッドに形成することができる。このようなダイヘッドを備えた流延ダイ用いることにより、幅広のフィルムを効率よく製造することができる。   According to the present invention, a long-life DLC film can be formed on a die head while suppressing warpage of the die head. By using a casting die having such a die head, a wide film can be efficiently produced.

溶液製膜設備の概要を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the outline | summary of solution casting apparatus. 流延室内に配置される流延ダイ等の概要を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the outline | summary of the casting die etc. which are arrange | positioned in a casting chamber. 流延ダイの先端部分の概要を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the outline | summary of the front-end | tip part of a casting die. ダイ本体の概要を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the outline | summary of a die main body. ダイ本体の概要を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the outline | summary of a die main body. 流延ダイに設けられた流路の概要を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the outline | summary of the flow path provided in the casting die. スリット流路の概要を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the outline | summary of a slit flow path. リップ板本体とダイヘッドとを有するリップ板の概要を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the outline | summary of the lip plate which has a lip plate main body and a die head. リップ板本体とダイヘッドとを有するリップ板の概要を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the outline | summary of the lip plate which has a lip plate main body and a die head. ダイヘッドの概要を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the outline | summary of a die head. ダイヘッド本体の概要を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the outline | summary of a die head main body. 出口を構成するリップ板の先端部分の概要を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the outline | summary of the front-end | tip part of the lip board which comprises an exit. DLC膜形成装置の概要を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the outline | summary of a DLC film forming apparatus. 固定具に取り付けられたダイヘッドの概要を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the outline | summary of the die head attached to the fixing tool. 固定具と固定具に取り付けられるダイヘッドとの概要を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the outline | summary of a fixing tool and the die head attached to a fixing tool.

(溶液製膜設備)
図1に示すように、溶液製膜設備10は、流延室12とピンテンタ13と乾燥室15と冷却室16と巻取室17とを有する。図1及び図2に示すように、流延室12には、流延ダイ21、流延ドラム22、減圧チャンバ23、及び剥取ローラ24が設けられる。
(Solution casting equipment)
As shown in FIG. 1, the solution casting apparatus 10 includes a casting chamber 12, a pin tenter 13, a drying chamber 15, a cooling chamber 16, and a winding chamber 17. As shown in FIGS. 1 and 2, the casting chamber 12 is provided with a casting die 21, a casting drum 22, a decompression chamber 23, and a peeling roller 24.

流延ドラム22は、水平に配された駆動軸22aと、駆動軸22aに軸着されたドラム本体22bとからなる。駆動軸22aは駆動装置(図示しない)と接続する。流延ドラム22は、ステンレス製であることが好ましく、十分な耐腐食性と強度とを有する点から、SUS316L製であることがより好ましい。   The casting drum 22 includes a drive shaft 22a disposed horizontally and a drum body 22b pivotally attached to the drive shaft 22a. The drive shaft 22a is connected to a drive device (not shown). The casting drum 22 is preferably made of stainless steel, and more preferably made of SUS316L because it has sufficient corrosion resistance and strength.

図2及び図3に示すように、ドープ28が流通する流路29を有する流延ダイ21は、先端が尖鋭なダイ本体30を有する。流延ダイ21は、ブラケット(図示しない)により、ダイ本体30が所定の向きとなるように、流延室12に取り付けられている。ダイ本体30の下方先端部分には、流路29の出口29oが開口する。ダイ本体30は、出口29oが周面22bxと近接するように配される。流延ダイ21の詳細は後述する。   As shown in FIGS. 2 and 3, the casting die 21 having the flow path 29 through which the dope 28 flows has a die body 30 having a sharp tip. The casting die 21 is attached to the casting chamber 12 by a bracket (not shown) so that the die body 30 is in a predetermined direction. An outlet 29o of the flow path 29 opens at the lower end portion of the die body 30. The die body 30 is arranged so that the outlet 29o is close to the peripheral surface 22bx. Details of the casting die 21 will be described later.

駆動軸22aの駆動により、出口29oの近傍では、流延ドラム22の周面22bxが所定の速度でZ1方向へ移動する。流延ダイ21は、出口29oからドープ28(図1参照)を流出する。出口29oから流出し、周面22bxに到達するまでのドープ28は、ビード33を形成する(図3参照)。周面22bxに到達したドープ28は、周面22bx上でZ1方向に延ばされる結果、帯状の流延膜34を形成する。こうして、流延室12では、流延ダイ21及び流延ドラム22により、周面22bx上にドープ28からなる流延膜34を形成する膜形工程が行われる。更に、流延ドラム22では、流延膜34から溶剤蒸発させる膜乾燥工程が行われる。   By driving the drive shaft 22a, the peripheral surface 22bx of the casting drum 22 moves in the Z1 direction at a predetermined speed in the vicinity of the outlet 29o. The casting die 21 flows out of the dope 28 (see FIG. 1) from the outlet 29o. The dope 28 that flows out from the outlet 29o and reaches the peripheral surface 22bx forms a bead 33 (see FIG. 3). The dope 28 that has reached the peripheral surface 22bx extends in the Z1 direction on the peripheral surface 22bx, and as a result, forms a belt-like casting film 34. Thus, in the casting chamber 12, the film forming process of forming the casting film 34 made of the dope 28 on the peripheral surface 22 bx is performed by the casting die 21 and the casting drum 22. Further, in the casting drum 22, a film drying process for evaporating the solvent from the casting film 34 is performed.

減圧チャンバ23は、流延ダイ21よりもZ1方向の上流側に配置される。制御部の制御の下、減圧チャンバ23は、ビード33のZ1方向上流側の気体を吸引する。この気体の吸引により、ビード33の上流側の圧力がビード33の下流側の圧力よりも低い状態をつくることができる。減圧チャンバ23により、周面22bxの移動に伴って発生し、周面22bxの近傍にてZ1方向に流れる同伴風を吸引することができるため、同伴風との衝突によるビード33の振動を抑えることができる。更に、ビード33の長さを短くすることができるため、ビード33の振動を抑えることができる。ビード33の上流側及び下流側の圧力差ΔPは、10Pa以上2000Pa以下であることが好ましい。   The decompression chamber 23 is disposed upstream of the casting die 21 in the Z1 direction. Under the control of the control unit, the decompression chamber 23 sucks the gas upstream of the bead 33 in the Z1 direction. By sucking this gas, it is possible to create a state where the pressure on the upstream side of the bead 33 is lower than the pressure on the downstream side of the bead 33. Since the decompression chamber 23 can suck the accompanying air that is generated along with the movement of the peripheral surface 22bx and flows in the Z1 direction in the vicinity of the peripheral surface 22bx, the vibration of the bead 33 due to the collision with the accompanying air is suppressed. Can do. Furthermore, since the length of the bead 33 can be shortened, the vibration of the bead 33 can be suppressed. The pressure difference ΔP between the upstream side and the downstream side of the bead 33 is preferably 10 Pa or more and 2000 Pa or less.

流延ドラム22には温調装置(図示しない)が接続される。温調装置は、伝熱媒体の温度を調節する温度調節部を内蔵する。温調装置は、温度調節部及び流延ドラム22内に設けられる流路との間で、所望の温度に調節された伝熱媒体を循環させる。この伝熱媒体の循環により、流延ドラム22の周面22bxの温度を所望の温度に保つことができる。また、流延室12内の雰囲気に含まれる溶剤を凝縮する凝縮装置、及び凝縮した溶剤を回収する回収装置を設けることにより、流延室12内の雰囲気に含まれる溶剤の濃度を一定の範囲に保つことができる。   A temperature control device (not shown) is connected to the casting drum 22. The temperature control device incorporates a temperature adjusting unit that adjusts the temperature of the heat transfer medium. The temperature control device circulates the heat transfer medium adjusted to a desired temperature between the temperature adjusting unit and the flow path provided in the casting drum 22. Due to the circulation of the heat transfer medium, the temperature of the peripheral surface 22bx of the casting drum 22 can be maintained at a desired temperature. Further, by providing a condensing device that condenses the solvent contained in the atmosphere in the casting chamber 12 and a collecting device that collects the condensed solvent, the concentration of the solvent contained in the atmosphere in the casting chamber 12 is within a certain range. Can be kept in.

剥取ローラ24は、流延ダイ21よりもZ1方向の下流側に配される。剥取ローラ24は、周面22bx上に形成された流延膜34を剥ぎ取って、湿潤フィルム35とする剥取工程を行う。湿潤フィルム35は、流延室12の下流側へ案内される。   The stripping roller 24 is disposed downstream of the casting die 21 in the Z1 direction. The stripping roller 24 performs a stripping process in which the casting film 34 formed on the peripheral surface 22bx is stripped to form a wet film 35. The wet film 35 is guided downstream of the casting chamber 12.

流延室12の下流には、ピンテンタ13、乾燥室15、冷却室16、及び巻取室17が順に設置されている。流延室12とピンテンタ13との間の渡り部40には、湿潤フィルム35を支持する支持ローラ41が複数並べられている。支持ローラ41は、図示しないモータにより、軸を中心に回転する。支持ローラ41は、流延室12から送り出された湿潤フィルム35を支持して、ピンテンタ13へ案内する。図では、渡り部40に2つの支持ローラ41を並べた場合をしているが、本発明はこれに限られず、渡り部40に3つ以上の支持ローラ41を並べてもよい。なお、支持ローラ41は、フリーローラでもよい。   A pin tenter 13, a drying chamber 15, a cooling chamber 16, and a winding chamber 17 are sequentially installed downstream of the casting chamber 12. A plurality of support rollers 41 that support the wet film 35 are arranged in the transition portion 40 between the casting chamber 12 and the pin tenter 13. The support roller 41 is rotated around an axis by a motor (not shown). The support roller 41 supports the wet film 35 sent out from the casting chamber 12 and guides it to the pin tenter 13. In the figure, two support rollers 41 are arranged in the transition section 40. However, the present invention is not limited to this, and three or more support rollers 41 may be arranged in the transition section 40. The support roller 41 may be a free roller.

ピンテンタ13は、湿潤フィルム35の幅方向の両端を貫通して保持する複数のピンを有する環状の保持部材と、保持部材を循環走行させるプーリと、ピンにより保持される湿潤フィルム35に乾燥風を供給する乾燥風供給機(図示しない)とを有する。ピンテンタ13の入り口には、湿潤フィルム35の幅方向の両端をピンに噛み込ませるブラシが設けられる。ブラシの押し付けによって、ピンが湿潤フィルム35の幅方向の両端を貫通する。そして、ピンにより両端を保持された湿潤フィルム35は、保持部材の循環走行により、搬送される。乾燥風との接触により、湿潤フィルム35から溶剤が蒸発する結果、湿潤フィルム35からフィルム45を得ることができる。こうして、渡り部40からピンテンタ13にかけて、湿潤フィルムから溶剤を蒸発させてフィルム45とする湿潤フィルム乾燥工程が行われる。   The pin tenter 13 has an annular holding member having a plurality of pins that pass through and hold both ends of the wet film 35 in the width direction, a pulley that circulates the holding member, and a dry wind on the wet film 35 held by the pins. And a dry air supply machine (not shown) for supplying. At the entrance of the pin tenter 13, a brush for biting both ends of the wet film 35 in the width direction is provided. The pin penetrates both ends of the wet film 35 in the width direction by pressing the brush. Then, the wet film 35 held at both ends by the pins is conveyed by the circulating travel of the holding member. As a result of evaporation of the solvent from the wet film 35 by contact with the dry air, the film 45 can be obtained from the wet film 35. In this way, a wet film drying step is performed from the transition portion 40 to the pin tenter 13 to evaporate the solvent from the wet film to form the film 45.

ピンテンタ13と乾燥室15との間には耳切装置47が設けられている。耳切装置47に送り出されたフィルム45の幅方向の両端は、ピンによって形成された貫通痕が形成されている。耳切装置47は、この貫通痕を有する両端部分を切り離す。この切り離された部分は、送風によりカットブロワ(図示しない)及びクラッシャ(図示しない)へ順次に送られて、細かく切断され、ドープ等の原料として再利用される。   An ear clip device 47 is provided between the pin tenter 13 and the drying chamber 15. At both ends in the width direction of the film 45 sent out to the edge cutting device 47, penetrating marks formed by pins are formed. The edge-cutting device 47 cuts off both end portions having this penetration mark. This separated part is sequentially sent to a cut blower (not shown) and a crusher (not shown) by air blowing, cut into small pieces, and reused as a raw material such as a dope.

乾燥室15には、多数のローラ49が設けられており、これらにフィルム45が巻き掛けられて搬送される。乾燥室15内の雰囲気の温度や湿度などは、図示しない空調機により調節されている。乾燥室15ではフィルム45の乾燥処理が行われる。乾燥室15には吸着回収装置52が接続される。吸着回収装置52は、フィルム45から蒸発した溶剤を吸着により回収する。   A large number of rollers 49 are provided in the drying chamber 15, and the film 45 is wound around and conveyed. The temperature and humidity of the atmosphere in the drying chamber 15 are adjusted by an air conditioner (not shown). In the drying chamber 15, the film 45 is dried. An adsorption recovery device 52 is connected to the drying chamber 15. The adsorption recovery device 52 recovers the solvent evaporated from the film 45 by adsorption.

冷却室16は、フィルム45の温度が略室温となるまで、フィルム45を冷却する。冷却室16及び巻取室17の間では、上流側から順に、除電バー54、ナーリング付与ローラ55、及び耳切装置56が設けられる。除電バー54は、冷却室16から送り出され、帯電したフィルム45から電気を除く除電処理を行う。ナーリング付与ローラ55は、フィルム45の幅方向両端に巻き取り用のナーリングを付与する。耳切装置56は、切断後のフィルム45の幅方向両端にナーリングが残るように、フィルム45の幅方向両端を切断する。   The cooling chamber 16 cools the film 45 until the temperature of the film 45 reaches substantially room temperature. Between the cooling chamber 16 and the winding chamber 17, a static elimination bar 54, a knurling roller 55, and an edge cutting device 56 are provided in order from the upstream side. The neutralization bar 54 is sent out from the cooling chamber 16 and performs a neutralization process for removing electricity from the charged film 45. The knurling roller 55 applies a winding knurling to both ends of the film 45 in the width direction. The edge-cutting device 56 cuts both ends in the width direction of the film 45 so that knurling remains at both ends in the width direction of the film 45 after cutting.

巻取室17には、プレスローラ61と巻き芯62を有する巻取機63とが設置されており、巻取室17に送られたフィルム45は、プレスローラ61によって押し付けられながら巻き芯62に巻き取られ、ロール状となる。   A winding machine 63 having a press roller 61 and a winding core 62 is installed in the winding chamber 17, and the film 45 sent to the winding chamber 17 is pressed against the winding core 62 while being pressed by the press roller 61. It is wound up into a roll shape.

図4及び図5に示すように、ダイ本体30は、ステンレス製(SUS316やSUS316L等)の1対の側板71と、1対のリップ板72とを有する。周面22bxの一端から他端にかけて延設される1対のリップ板72は、周面22bxに対して起立した姿勢で、Z1方向に離れて並べられる。一方のリップ板72から他方のリップ板72にかけて延設される1対の側板71は、周面22bxに対して起立した姿勢で、ドラム本体22bの軸方向(以下、Z2方向と称する)に離れて並べられる。こうして、1対のリップ板72に設けられた流路形成面72aは正対し、1対の側板71に設けられた流路形成面71aは正対する。また、1対の流路形成面71aの間隔は、1対の流路形成面72aの間隔よりも大きい。   As shown in FIGS. 4 and 5, the die body 30 includes a pair of side plates 71 made of stainless steel (SUS316, SUS316L, etc.) and a pair of lip plates 72. The pair of lip plates 72 extending from one end to the other end of the peripheral surface 22bx are arranged apart from each other in the Z1 direction in an upright posture with respect to the peripheral surface 22bx. A pair of side plates 71 extending from one lip plate 72 to the other lip plate 72 is in an upright position with respect to the peripheral surface 22bx and separated in the axial direction of the drum body 22b (hereinafter referred to as the Z2 direction). Are lined up. In this way, the flow path forming surfaces 72a provided on the pair of lip plates 72 face each other, and the flow path forming surfaces 71a provided on the pair of side plates 71 face each other. The distance between the pair of flow path forming surfaces 71a is larger than the distance between the pair of flow path forming surfaces 72a.

図5及び図6に示すように、流路29は、1対の流路形成面71aと1対の流路形成面72aとによって囲まれてなる。流路29には、入口流路29aと、マニホールド29bと、スリット流路29cとが、ダイ本体30の上部に開口する入口29iから出口29oに向かって順次設けられる。入口流路29aは、入口29iから流入したドープ28をマニホールド29bへ送るものである。マニホールド29bは、ドープ28をZ2方向へ広げながら、ドープ28に含まれるポリマー分子の歪みを緩和させた後、ドープ28をスリット流路29cへ送るものである。スリット流路29cは、出口29oへ向けてドープ28を送るものである。   As shown in FIGS. 5 and 6, the flow path 29 is surrounded by a pair of flow path forming surfaces 71a and a pair of flow path forming surfaces 72a. In the flow path 29, an inlet flow path 29a, a manifold 29b, and a slit flow path 29c are sequentially provided from an inlet 29i opening at the top of the die body 30 toward an outlet 29o. The inlet channel 29a sends the dope 28 flowing from the inlet 29i to the manifold 29b. The manifold 29b spreads the dope 28 in the Z2 direction, relaxes the distortion of the polymer molecules contained in the dope 28, and then sends the dope 28 to the slit channel 29c. The slit flow path 29c sends the dope 28 toward the outlet 29o.

図7に示すように、スリット流路29cは、流路29内のドープ28の流れ方向Z3に直交する面において、矩形状に形成される。方向Z3に直交する面において、スリット流路29cの断面形状の1対の長辺は、流路形成面72aからなり、短辺は流路形成面71aからなる。   As shown in FIG. 7, the slit channel 29 c is formed in a rectangular shape on a surface orthogonal to the flow direction Z <b> 3 of the dope 28 in the channel 29. On the surface orthogonal to the direction Z3, the pair of long sides of the cross-sectional shape of the slit channel 29c is formed by the channel forming surface 72a, and the short side is formed by the channel forming surface 71a.

図8及び図9に示すように、リップ板72は、入口29iの構成部材であるステンレス製(SUS316やSUS316L等)のリップ板本体81と、出口29oの構成部材であってリップ板本体81に着脱自在な楔形のダイヘッド82とに分割される。リップ板72の分割位置は、流路形成部72aのうちスリット流路29cの途中である。   As shown in FIGS. 8 and 9, the lip plate 72 includes a lip plate body 81 made of stainless steel (SUS316, SUS316L, etc.) that is a constituent member of the inlet 29 i, and a constituent member of the outlet 29 o. It is divided into a detachable wedge-shaped die head 82. The division position of the lip plate 72 is in the middle of the slit flow path 29c in the flow path forming portion 72a.

(ダイヘッド)
図9及び図10に示すように、ダイヘッド82は、ダイヘッド本体85と、ダイヘッド本体に設けられたDLC膜86とを備える。図11に示すように、楔形のダイヘッド本体85は、出口29oを構成する先端部90と、リップ板本体81に取り付けるための取付部91とを備える。先端部90は、Z3方向に向かって尖鋭に形成され、流路形成面72a(図7参照)の一部である接液面90aと外部に露出する露出面90bとからなる。ダイヘッド本体85は、ステンレス製(SUS316やSUS316L等)であり、略楔形に形成される。
(Die head)
As shown in FIGS. 9 and 10, the die head 82 includes a die head main body 85 and a DLC film 86 provided on the die head main body. As shown in FIG. 11, the wedge-shaped die head main body 85 includes a distal end portion 90 constituting the outlet 29 o and an attachment portion 91 for attaching to the lip plate main body 81. The tip 90 is sharply formed in the Z3 direction, and includes a liquid contact surface 90a that is a part of the flow path forming surface 72a (see FIG. 7) and an exposed surface 90b that is exposed to the outside. The die head main body 85 is made of stainless steel (SUS316, SUS316L, etc.) and is formed in a substantially wedge shape.

ダイヘッド本体85の先端部90には、硬質層92が露出するように設けられる。硬質層92のビッカース硬度Hvは、ダイヘッド本体82aのビッカース硬度Hvよりも大きい。また、硬質層92のビッカース硬度Hvは、DLC膜86のビッカース硬度Hvよりも小さい。硬質層92のビッカース硬度Hvは、1000以上2000以下であることが好ましい。また、DLC膜86のビッカース硬度Hvは、1200以上2500以下であることが好ましい。ビッカース硬度Hvは、ISO14577のインデンテーションハードネス(Oliver&Pharr計算方法)から換算した値である。   A hard layer 92 is provided at the tip 90 of the die head body 85 so as to be exposed. The Vickers hardness Hv of the hard layer 92 is larger than the Vickers hardness Hv of the die head body 82a. Further, the Vickers hardness Hv of the hard layer 92 is smaller than the Vickers hardness Hv of the DLC film 86. The Vickers hardness Hv of the hard layer 92 is preferably 1000 or more and 2000 or less. In addition, the VLC hardness Hv of the DLC film 86 is preferably 1200 or more and 2500 or less. The Vickers hardness Hv is a value converted from the indentation hardness (Oliver & Pharr calculation method) of ISO14577.

硬質層92の形成材料は、タングステン・カーバイド(WC)、Al、TiN、Crなどが挙げられるが、特に好ましいのはWCである。また、WCとしては、バインダー金属としてコバルトが添加されたWC−Co系の他、WC−Ni系、WC−TiC系、WC−TaC系等が挙げあられ、いずれも本発明に用いることができる。硬質層92は、例えば、溶射によって形成することができる。硬質層92の厚みは、例えば、50μm以上200μm以下である。 Examples of the material for forming the hard layer 92 include tungsten carbide (WC), Al 2 O 3 , TiN, Cr 2 O 3 and the like, and WC is particularly preferable. Examples of WC include a WC-Co system in which cobalt is added as a binder metal, a WC-Ni system, a WC-TiC system, and a WC-TaC system, and any of them can be used in the present invention. The hard layer 92 can be formed by thermal spraying, for example. The thickness of the hard layer 92 is, for example, 50 μm or more and 200 μm or less.

硬質層92を有するダイヘッド本体85の形成方法の一例を示す。まず、楔形のダイヘッド本体82aの尖鋭部分に硬質層形成エリアを凹設する。次に、硬質層形成エリアに硬質層92を設ける。そして、硬質層92の形成後、ダイヘッド本体82aが、硬質層92が先端部90に露出した楔形となるように、ダイヘッド本体82aの全体に所定の機械加工を行う。   An example of a method for forming the die head body 85 having the hard layer 92 will be described. First, a hard layer forming area is recessed in the sharp part of the wedge-shaped die head main body 82a. Next, the hard layer 92 is provided in the hard layer formation area. After the hard layer 92 is formed, the die head main body 82a is subjected to predetermined machining so that the die head main body 82a has a wedge shape in which the hard layer 92 is exposed at the distal end portion 90.

図9及び図11に示すように、Z3方向におけるダイヘッド82の長さをLZ3とし、Z3方向の直交方向におけるダイヘッド82の長さをLとするとき、(L/LZ3)の値は、50以上400以下であることが好ましい。また、Lは、1500mm以上であることが好ましく、2000mm以上であることがより好ましい。ここで、Z3方向の直交方向は、Z2方向でもよいし、Z1方向でもよい。したがって、Z1方向におけるダイヘッド82の長さをLZ1とし、Z2方向におけるダイヘッド82の長さをLZ2とするときには、(L/LZ3)を、(LZ2/LZ3)や(LZ1/LZ3)と表せる。 As shown in FIGS. 9 and 11, when the length of the die head 82 in the Z3 direction is L Z3 and the length of the die head 82 in the direction orthogonal to the Z3 direction is L x , the value of (L x / L Z3 ). Is preferably 50 or more and 400 or less. L x is preferably 1500 mm or more, and more preferably 2000 mm or more. Here, the direction orthogonal to the Z3 direction may be the Z2 direction or the Z1 direction. Therefore, when the length of the die head 82 in the Z1 direction is L Z1 and the length of the die head 82 in the Z2 direction is L Z2 , (L x / L Z3 ) is changed to (L Z2 / L Z3 ) or (L Z1 / L Z3 ).

取付部91には、ダイヘッド本体85を貫通する貫通穴95がZ2方向に列設される。図12に示すように、リップ板本体81にはネジ穴96が設けられる。こうして、貫通穴95を介してネジ穴96に締結ボルト97を螺着することにより、リップ板本体81とダイヘッド82とが締結される。なお、図12では、図の煩雑化を避けるため、DLC膜86の表示は省略している。   A through hole 95 penetrating the die head main body 85 is arranged in the Z2 direction in the attachment portion 91. As shown in FIG. 12, the lip plate body 81 is provided with a screw hole 96. In this way, the fastening bolt 97 is screwed into the screw hole 96 through the through hole 95, whereby the lip plate body 81 and the die head 82 are fastened. In FIG. 12, the display of the DLC film 86 is omitted in order to avoid complication of the drawing.

(DLC膜)
図10に示すように、DLC膜86は、ダイヘッド本体85の表面全体に設けられる。DLC膜86の形成処理として、公知の気相蒸着方法を用いることができる。処理後のダイヘッド82のソリ量を小さくするため、処理中のダイヘッド本体85の温度T1は130℃以上200℃以下であることが好ましい。気相蒸着方法としては、具体的には、プラズマCVD、イオンプレーティング、イオン化蒸着法等があるが、中でもイオン化蒸着法が好ましい。DLC膜86の厚みdは、例えば、1μm以上2μm以下であることが好ましい。
(DLC film)
As shown in FIG. 10, the DLC film 86 is provided on the entire surface of the die head main body 85. As a process for forming the DLC film 86, a known vapor deposition method can be used. In order to reduce the warp amount of the die head 82 after processing, the temperature T1 of the die head body 85 during processing is preferably 130 ° C. or higher and 200 ° C. or lower. Specific examples of the vapor deposition method include plasma CVD, ion plating, ionization deposition, and the like. Among these, ionization deposition is preferable. The thickness d of the DLC film 86 is preferably 1 μm or more and 2 μm or less, for example.

図13に示すように、DLC膜形成装置99は、底部を有する円筒状のリフレクタ100と、リフレクタ100と電気的に絶縁した状態でリフレクタ100内に設けられたアノード101と、アノード101よりもリフレクタ100の開口端側にリフレクタ100と電気的に絶縁されて設けられたカソード102と、リフレクタ100の開口端の前方に設けられたステンレスからなるターゲット電極103と、リフレクタ100の内部空間に開口端を有するガス導入管104とを有する。ターゲット電極103には、固定具106を介して、ダイヘッド本体85が取り付けられる。カソード102の電位を基準としたときのリフレクタ100、アノード101及びターゲット電極103の各電位は、それぞれ負電位であり、アノード101、リフレクタ100及びターゲット電極103の順に低くなる。   As shown in FIG. 13, the DLC film forming apparatus 99 includes a cylindrical reflector 100 having a bottom, an anode 101 provided in the reflector 100 in a state of being electrically insulated from the reflector 100, and a reflector more than the anode 101. The cathode 102 provided electrically insulated from the reflector 100 on the opening end side of the reflector 100, the target electrode 103 made of stainless steel provided in front of the opening end of the reflector 100, and the opening end in the internal space of the reflector 100 And a gas introduction pipe 104 having the same. A die head main body 85 is attached to the target electrode 103 via a fixture 106. The potentials of the reflector 100, the anode 101, and the target electrode 103 when the potential of the cathode 102 is used as a reference are negative potentials, and decrease in the order of the anode 101, the reflector 100, and the target electrode 103.

図14及び図15に示すように、ステンレス製の固定具106は、ダイヘッド本体85と締結される固定板110と、固定板110から突設される2つの足板111と、ダイヘッド本体85及び固定板110を締結する固定ボルト112とを備える。固定板110にはネジ穴115がZ2方向に列設される。貫通孔95を介してネジ穴115に固定ボルト112を螺着することにより、固定具106とダイヘッド本体85とが締結される。   As shown in FIGS. 14 and 15, the stainless steel fixture 106 includes a fixing plate 110 fastened to the die head main body 85, two foot plates 111 projecting from the fixing plate 110, the die head main body 85 and the fixing. And a fixing bolt 112 for fastening the plate 110. Screw holes 115 are arranged in the fixing plate 110 in the Z2 direction. The fixing tool 106 and the die head body 85 are fastened by screwing the fixing bolt 112 into the screw hole 115 through the through hole 95.

ガス導入管104からリフレクタ100の内部空間に反応ガス(C等)117を導入される。アノード101とカソード102との間では、直流アーク放電により、プラズマが発生する。このプラズマにより反応ガス117から炭化水素イオンが生成する。生成した炭化水素イオンはターゲット電極103に向かう。こうして、ターゲット電極103に取り付けられたダイヘッド本体85に炭化水素イオンが衝突する結果、ダイヘッド本体85にDLC膜86が形成される。こうして、DLC膜形成装置99では、所定の気相蒸着方法により、ダイヘッド本体85からダイヘッド82を得る硬化膜形成工程が行われる。 A reaction gas (C 6 H 6 or the like) 117 is introduced from the gas introduction pipe 104 into the internal space of the reflector 100. Plasma is generated between the anode 101 and the cathode 102 by DC arc discharge. This plasma generates hydrocarbon ions from the reaction gas 117. The generated hydrocarbon ions go to the target electrode 103. In this way, as a result of the hydrocarbon ions colliding with the die head body 85 attached to the target electrode 103, the DLC film 86 is formed on the die head body 85. Thus, in the DLC film forming apparatus 99, a cured film forming step for obtaining the die head 82 from the die head main body 85 is performed by a predetermined vapor deposition method.

ここで、気相蒸着方法により、ダイヘッド本体85は所定の温度まで加熱される。また、気相蒸着方法の後は室温になるまで冷却される。この加熱及び冷却の過程で、ダイヘッド本体85にソリが生じてしまう。そこで、固定板110の表面にフッ素コーティングを施し、ダイヘッド本体85の形成材料(例えば、SUS316L)よりも低摩擦性のフッ素膜を固定板110の表面に設ける。低摩擦性のフッ素膜を介してダイヘッド本体85を固定した状態で気相蒸着方法を行うことにより、ダイヘッド本体85のソリを抑えながら、ダイヘッド本体85にDLC膜86(図10参照)を形成することができる。また、固定ボルト112(図15参照)の締め付けトルクは、Z2方向中央部から、Z2方向両端部に向かうに従って小さくなることが好ましい。例えば、Z2方向中央部における中央部固定ボルト(サイズはM6)の締め付けトルクは10N・mであり、Z2方向端部における端部固定ボルト(サイズはM6)の締め付けトルクは、3N・mである。また、中央部固定ボルト及び端部固定ボルトの間における固定ボルト(サイズはM6)の締め付けトルクは、5N・mである。これにより、ダイヘッド本体85のソリを抑えながら、ダイヘッド本体85にDLC膜86(図10参照)を形成することができる。   Here, the die head body 85 is heated to a predetermined temperature by a vapor deposition method. Further, after the vapor deposition method, it is cooled to room temperature. In the process of heating and cooling, warpage occurs in the die head main body 85. Therefore, the surface of the fixed plate 110 is coated with fluorine, and a fluorine film having a lower friction than the material for forming the die head body 85 (for example, SUS316L) is provided on the surface of the fixed plate 110. By performing the vapor deposition method with the die head body 85 fixed through a low-friction fluorine film, the DLC film 86 (see FIG. 10) is formed on the die head body 85 while suppressing warping of the die head body 85. be able to. Further, it is preferable that the tightening torque of the fixing bolt 112 (see FIG. 15) decreases from the center portion in the Z2 direction toward both ends in the Z2 direction. For example, the tightening torque of the center fixing bolt (size M6) at the center in the Z2 direction is 10 N · m, and the tightening torque of the end fixing bolt (size M6) at the end in the Z2 direction is 3 N · m. . Further, the tightening torque of the fixing bolt (size M6) between the center fixing bolt and the end fixing bolt is 5 N · m. Accordingly, the DLC film 86 (see FIG. 10) can be formed on the die head body 85 while suppressing warping of the die head body 85.

上記実施形態では、DLC膜86を形成する範囲を、ダイヘッド本体85の表面全体としたが、少なくともダイヘッド本体85の先端部90とすればよい。   In the above embodiment, the range in which the DLC film 86 is formed is the entire surface of the die head main body 85, but it may be at least the tip portion 90 of the die head main body 85.

上記実施形態では、流延膜34を自立して搬送可能な状態にするために、流延膜34を冷却したが、本発明はこれに限られず、流延膜34から溶剤を蒸発させてもよい。   In the above embodiment, the casting film 34 is cooled in order to make the casting film 34 stand-alone and can be conveyed. However, the present invention is not limited to this, and the solvent may be evaporated from the casting film 34. Good.

上記実施形態では、上記実施形態では、支持体として、流延ドラム22を用いたが、本発明はこれに限られず、軸方向が水平となるように配されたローラに掛け渡された流延バンドを用いてもよい。   In the said embodiment, although the casting drum 22 was used as a support body in the said embodiment, this invention is not restricted to this, The casting stretched around the roller arrange | positioned so that an axial direction may become horizontal A band may be used.

本発明は、ドープを流延する際に、2種類以上のドープを同時に共流延させて積層させる同時積層共流延、または、複数のドープを逐次に共流延して積層させる逐次積層共流延を行うことができる。なお、両共流延を組み合わせてもよい。同時積層共流延を行う場合には、フィードブロックを取り付けた流延ダイを用いてもよいし、マルチポケット型の流延ダイを用いてもよい。   The present invention provides simultaneous lamination co-casting in which two or more types of dopes are simultaneously co-cast and laminated when casting dopes, or sequential lamination co-production in which a plurality of dopes are sequentially co-cast and laminated. Casting can be performed. In addition, you may combine both casting. When simultaneous lamination and co-casting is performed, a casting die to which a feed block is attached may be used, or a multi-pocket casting die may be used.

(ポリマー)
ポリマーとしては、セルロースアシレートや環状ポリオレフィン等を用いることができる。
(polymer)
As the polymer, cellulose acylate, cyclic polyolefin, or the like can be used.

(セルロースアシレート)
本発明のセルロースアシレートに用いられるアシル基は1種類だけでも良いし、あるいは2種類以上のアシル基が使用されていても良い。2種類以上のアシル基を用いるときは、その1つがアセチル基であることが好ましい。セルロースの水酸基をカルボン酸でエステル化している割合、すなわち、アシル基の置換度が下記式(I)〜(III)の全てを満足するものが好ましい。なお、以下の式(I)〜(III)において、A及びBは、アシル基の置換度を表わし、Aはアセチル基の置換度、またBは炭素原子数3〜22のアシル基の置換度である。なお、TACの90質量%以上が0.1mm〜4mmの粒子であることが好ましい。
(I) 2.0≦A+B≦3.0
(II) 1.0≦ A ≦3.0
(III) 0 ≦ B ≦2.0
(Cellulose acylate)
Only one type of acyl group may be used in the cellulose acylate of the present invention, or two or more types of acyl groups may be used. When two or more kinds of acyl groups are used, it is preferable that one of them is an acetyl group. The ratio in which the hydroxyl group of cellulose is esterified with carboxylic acid, that is, the substitution degree of the acyl group satisfies all of the following formulas (I) to (III) is preferable. In the following formulas (I) to (III), A and B represent the substitution degree of the acyl group, A is the substitution degree of the acetyl group, and B is the substitution degree of the acyl group having 3 to 22 carbon atoms. It is. In addition, it is preferable that 90 mass% or more of TAC is a particle | grain of 0.1 mm-4 mm.
(I) 2.0 ≦ A + B ≦ 3.0
(II) 1.0 ≦ A ≦ 3.0
(III) 0 ≦ B ≦ 2.0

アシル基の全置換度A+Bは、2.20以上2.90以下であることがより好ましく、2.40以上2.88以下であることが特に好ましい。また、炭素原子数3〜22のアシル基の置換度Bは、0.30以上であることがより好ましく、0.5以上であることが特に好ましい。   The total substitution degree A + B of the acyl group is more preferably 2.20 or more and 2.90 or less, and particularly preferably 2.40 or more and 2.88 or less. Further, the substitution degree B of the acyl group having 3 to 22 carbon atoms is more preferably 0.30 or more, and particularly preferably 0.5 or more.

セルロースアシレートの原料であるセルロースは、リンター,パルプのどちらから得られたものでも良い。   Cellulose, which is a raw material for cellulose acylate, may be obtained from either linter or pulp.

本発明のセルロースアシレートの炭素数2以上のアシル基としては、脂肪族基でもアリール基でも良く特に限定されない。それらは、例えばセルロースのアルキルカルボニルエステル、アルケニルカルボニルエステルあるいは芳香族カルボニルエステル、芳香族アルキルカルボニルエステルなどであり、それぞれさらに置換された基を有していても良い。これらの好ましい例としては、プロピオニル、ブタノイル、ペンタノイル、ヘキサノイル、オクタノイル、デカノイル、ドデカノイル、トリデカノイル、テトラデカノイル、ヘキサデカノイル、オクタデカノイル、iso−ブタノイル、t−ブタノイル、シクロヘキサンカルボニル、オレオイル、ベンゾイル、ナフチルカルボニル、シンナモイル基などを挙げることができる。これらの中でも、プロピオニル、ブタノイル、ドデカノイル、オクタデカノイル、t−ブタノイル、オレオイル、ベンゾイル、ナフチルカルボニル、シンナモイルなどがより好ましく、特に好ましくはプロピオニル、ブタノイルである。   The acyl group having 2 or more carbon atoms of the cellulose acylate of the present invention may be an aliphatic group or an aryl group and is not particularly limited. These are, for example, cellulose alkylcarbonyl esters, alkenylcarbonyl esters, aromatic carbonyl esters, aromatic alkylcarbonyl esters, and the like, each of which may further have a substituted group. Preferred examples of these include propionyl, butanoyl, pentanoyl, hexanoyl, octanoyl, decanoyl, dodecanoyl, tridecanoyl, tetradecanoyl, hexadecanoyl, octadecanoyl, iso-butanoyl, t-butanoyl, cyclohexanecarbonyl, oleoyl, benzoyl , Naphthylcarbonyl, cinnamoyl group and the like. Among these, propionyl, butanoyl, dodecanoyl, octadecanoyl, t-butanoyl, oleoyl, benzoyl, naphthylcarbonyl, cinnamoyl and the like are more preferable, and propionyl and butanoyl are particularly preferable.

(溶剤)
ドープを調製する溶剤としては、芳香族炭化水素(例えば、ベンゼン,トルエンなど)、ハロゲン化炭化水素(例えば、ジクロロメタン,クロロベンゼンなど)、アルコール(例えば、メタノール,エタノール,n−プロパノール,n−ブタノール,ジエチレングリコールなど)、ケトン(例えば、アセトン,メチルエチルケトンなど)、エステル(例えば、酢酸メチル,酢酸エチル,酢酸プロピルなど)及びエーテル(例えば、テトラヒドロフラン,メチルセロソルブなど)などが挙げられる。なお、本発明において、ドープとはポリマーを溶剤に溶解または分散して得られるポリマー溶液,分散液を意味している。
(solvent)
Solvents for preparing the dope include aromatic hydrocarbons (eg, benzene, toluene, etc.), halogenated hydrocarbons (eg, dichloromethane, chlorobenzene, etc.), alcohols (eg, methanol, ethanol, n-propanol, n-butanol, Diethylene glycol, etc.), ketones (eg, acetone, methyl ethyl ketone, etc.), esters (eg, methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, etc.) and ethers (eg, tetrahydrofuran, methyl cellosolve, etc.). In the present invention, the dope means a polymer solution or dispersion obtained by dissolving or dispersing a polymer in a solvent.

これらの中でも炭素原子数1〜7のハロゲン化炭化水素が好ましく用いられ、ジクロロメタンが最も好ましく用いられる。TACの溶解性、流延膜の支持体からの剥ぎ取り性、フィルムの機械的強度など及びフィルムの光学特性などの物性の観点から、ジクロロメタンの他に炭素原子数1〜5のアルコールを1種ないし数種類混合することが好ましい。アルコールの含有量は、溶剤全体に対し2質量%〜25質量%が好ましく、5質量%〜20質量%がより好ましい。アルコールの具体例としては、メタノール,エタノール,n−プロパノール,イソプロパノール,n−ブタノールなどが挙げられるが、メタノール,エタノール,n−ブタノールあるいはこれらの混合物が好ましく用いられる。   Among these, halogenated hydrocarbons having 1 to 7 carbon atoms are preferably used, and dichloromethane is most preferably used. One kind of alcohol having 1 to 5 carbon atoms in addition to dichloromethane from the viewpoint of physical properties such as solubility of TAC, peelability of cast film from the support, mechanical strength of the film, and optical properties of the film It is preferable to mix several kinds. 2 mass%-25 mass% are preferable with respect to the whole solvent, and, as for content of alcohol, 5 mass%-20 mass% are more preferable. Specific examples of the alcohol include methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, n-butanol and the like, but methanol, ethanol, n-butanol or a mixture thereof is preferably used.

ところで、最近、環境に対する影響を最小限に抑えることを目的に、ジクロロメタンを使用しない場合の溶剤組成についても検討が進み、この目的に対しては、炭素原子数が4〜12のエーテル、炭素原子数が3〜12のケトン、炭素原子数が3〜12のエステル、炭素原子数1〜12のアルコールが好ましく用いられる。これらを適宜混合して用いることがある。例えば、酢酸メチル,アセトン,エタノール,n−ブタノールの混合溶剤が挙げられる。これらのエーテル、ケトン,エステル及びアルコールは、環状構造を有するものであってもよい。また、エーテル、ケトン,エステル及びアルコールの官能基(すなわち、−O−,−CO−,−COO−及び−OH)のいずれかを2つ以上有する化合物も、溶剤として用いることができる。   By the way, recently, for the purpose of minimizing the influence on the environment, studies have been conducted on the solvent composition when dichloromethane is not used. For this purpose, ethers having 4 to 12 carbon atoms, carbon atoms A ketone having 3 to 12 carbon atoms, an ester having 3 to 12 carbon atoms, and an alcohol having 1 to 12 carbon atoms are preferably used. These may be used in combination as appropriate. For example, a mixed solvent of methyl acetate, acetone, ethanol, and n-butanol can be mentioned. These ethers, ketones, esters and alcohols may have a cyclic structure. A compound having two or more functional groups of ether, ketone, ester, and alcohol (that is, —O—, —CO—, —COO—, and —OH) can also be used as the solvent.

(添加剤)
ドープに所定の添加剤を添加してもよい。本発明で用いられる添加剤としては、可塑剤、紫外線吸収剤などがある。可塑剤として重縮合エステルを用いることが好ましい。
(Additive)
A predetermined additive may be added to the dope. Examples of the additive used in the present invention include a plasticizer and an ultraviolet absorber. It is preferable to use a polycondensed ester as the plasticizer.

フィルム45の厚みは、20μm以上120μm以下であることが好ましく、40μm以上100μm以下であることがより好ましい。   The thickness of the film 45 is preferably 20 μm or more and 120 μm or less, and more preferably 40 μm or more and 100 μm or less.

フィルム45の幅は、700mm以上3000mmであることが好ましく、1000mm以上2800mm以下であることがより好ましく、1500mm以上2500mm以下であることが特に好ましい。なお、フィルム45の幅は、2500mm以上であってもよい。   The width of the film 45 is preferably 700 mm or more and 3000 mm, more preferably 1000 mm or more and 2800 mm or less, and particularly preferably 1500 mm or more and 2500 mm or less. The width of the film 45 may be 2500 mm or more.

(ヘイズ)
フィルム45のヘイズは、0.20%未満であることが好ましく、0.15%未満であることがより好ましく、0.10%未満であることが特に好ましい。ヘイズを0.2%未満とすることにより、液晶表示装置に組み込んだ際のコントラスト比を改善することができる。また、フィルムの透明性がより高くなり、光学フィルムとしてより用いやすくなるという利点もある。
(Haze)
The haze of the film 45 is preferably less than 0.20%, more preferably less than 0.15%, and particularly preferably less than 0.10%. By setting the haze to less than 0.2%, the contrast ratio when incorporated in a liquid crystal display device can be improved. In addition, there is an advantage that the transparency of the film becomes higher and it is easier to use as an optical film.

また、フィルム45の面内レターデーションReは、20nm以上300nm以下であることが好ましく、フィルム45の厚み方向レターデーションRthは、−100nm以上300nm以下であることが好ましい。   The in-plane retardation Re of the film 45 is preferably 20 nm or more and 300 nm or less, and the thickness direction retardation Rth of the film 45 is preferably −100 nm or more and 300 nm or less.

面内レターデーションReの測定方法は次の通りである。面内レターデーションReは、サンプルフィルムを温度25℃,湿度60%RHで2時間調湿し、自動複屈折率計(KOBRA21DH 王子計測(株))にて632.8nmにおける垂直方向から測定したレターデーション値を用いた。なおReは以下式で表される。
Re=|n1−n2|×d
n1は遅相軸の屈折率,n2は進相軸2の屈折率,dはフィルムの厚み(膜厚)を表す。
The method for measuring the in-plane retardation Re is as follows. In-plane retardation Re is a letter obtained by conditioning a sample film at a temperature of 25 ° C. and a humidity of 60% RH for 2 hours, and measuring it from the vertical direction at 632.8 nm with an automatic birefringence meter (KOBRA21DH Oji Scientific Co., Ltd.). The foundation value was used. Re is expressed by the following equation.
Re = | n1-n2 | × d
n1 represents the refractive index of the slow axis, n2 represents the refractive index of the fast axis 2, and d represents the thickness (film thickness) of the film.

厚み方向レターデーションRthの測定方法は次の通りである。サンプルフィルムを温度25℃,湿度60%RHで2時間調湿し、エリプソメータ(M150 日本分光(株)製)で632.8nmにより垂直方向から測定した値と、フィルム面を傾けながら同様に測定したレターデーション値の外挿値とから下記式に従い算出した。
Rth={(n1+n2)/2−n3}×d
n3は厚み方向の屈折率を表す。
The measuring method of the thickness direction retardation Rth is as follows. The sample film was conditioned at a temperature of 25 ° C. and a humidity of 60% RH for 2 hours, and measured in the same manner while tilting the film surface with an ellipsometer (M150 manufactured by JASCO Corporation) measuring 632.8 nm from the vertical direction. It calculated according to the following formula from the extrapolated value of the retardation value.
Rth = {(n1 + n2) / 2−n3} × d
n3 represents the refractive index in the thickness direction.

(実験1)
図13に示すDLC膜形成装置99にてイオン化蒸着法により、ダイヘッド本体85にDLC膜86を形成し、ダイヘッド82(図10参照)を得た。ダイヘッド本体85は、全体がSUS316L製であり、先端部90にWC−Co系の硬質層92を有するものを用いた。硬質層92の硬度Hvは1300であった。ダイヘッド本体85について、長さLZ1は2mm、長さLZ2は2000mm、長さLZ3は20mmであった。ステンレス(SUS316L)製の固定板110の表面にフッ素膜が設けられた固定具106(図14及び図15参照)を用いて、ダイヘッド本体85をターゲット基板103に固定した。硬化膜形成工程におけるダイヘッド本体85の温度T1は150℃〜200℃であった。DLC膜86の厚みdは、1.6μmであった。
(Experiment 1)
A DLC film 86 was formed on the die head main body 85 by ionization vapor deposition using the DLC film forming apparatus 99 shown in FIG. 13 to obtain a die head 82 (see FIG. 10). The die head body 85 is entirely made of SUS316L and has a WC-Co hard layer 92 at the tip 90. The hardness Hv of the hard layer 92 was 1300. Regarding the die head main body 85, the length L Z1 was 2 mm, the length L Z2 was 2000 mm, and the length L Z3 was 20 mm. The die head main body 85 was fixed to the target substrate 103 by using a fixture 106 (see FIGS. 14 and 15) in which a fluorine film was provided on the surface of a fixing plate 110 made of stainless steel (SUS316L). The temperature T1 of the die head body 85 in the cured film forming process was 150 ° C. to 200 ° C. The thickness d of the DLC film 86 was 1.6 μm.

(実験2〜7)
実験2〜7では、表1に示すこと以外は、実験1と同様にして、ダイヘッド本体85にDLC膜86を形成し、ダイヘッド82を得た。
(Experiments 2-7)
In Experiments 2 to 7, a DLC film 86 was formed on the die head main body 85 and the die head 82 was obtained in the same manner as in Experiment 1 except for the conditions shown in Table 1.

Figure 2012148442
Figure 2012148442

表1に、実験1〜7におけるDLC膜の形成方法、温度T1、下地材質、下地硬度、長さLZ2、DLC膜86の厚みd、及び固定板表面の形成材料を示す。下地材質とは、先端部90における材質を指し、下地硬度とは先端部90のビッカース硬度Hvを指す。なお、実験2では、ステンレス製の固定板110を備えた固定具106(図14及び図15参照)を用いた。実験3,6では、DLC膜の形成方法をイオン化蒸着法からプラズマCVDに代えてDLC膜86を形成し、実験7では、DLC膜の形成方法をイオン化蒸着法から熱CVDに代えてDLC膜86を形成した。実験5では、ダイヘッド本体85は、全体がSUS316L製のものであり、先端部90に硬質層92を設けずそのまま用いた。ダイヘッド本体85の硬度Hvは300であった。 Table 1 shows the DLC film formation method, the temperature T1, the base material, the base hardness, the length L Z2 , the thickness d of the DLC film 86, and the fixing plate surface forming material in Experiments 1 to 7. The base material refers to the material at the tip 90, and the base hardness refers to the Vickers hardness Hv of the tip 90. In Experiment 2, a fixture 106 (see FIGS. 14 and 15) provided with a stainless steel fixing plate 110 was used. In Experiments 3 and 6, a DLC film 86 is formed by replacing the DLC film formation method from ionized vapor deposition to plasma CVD, and in Experiment 7, the DLC film 86 is formed by replacing the ionized vapor deposition method from thermal CVD. Formed. In Experiment 5, the entire die head body 85 was made of SUS316L, and was used as it was without providing the hard layer 92 at the tip 90. The hardness Hv of the die head main body 85 was 300.

(評価)
実験1〜7により得られたダイヘッド82について、次の評価を行った。
(Evaluation)
The following evaluation was performed on the die head 82 obtained in Experiments 1-7.

1.ダイヘッドのソリ
ダイヘッド82についてソリ量Wの測定をした。まず、湾曲部分が下向きになるようにダイヘッド82を台座に配した。ダイヘッド82と台座との隙間のうち最大のものをソリ量Wとした。測定したソリ量Wについて、以下基準に基づいて判定した。
◎:Wが5μm以下である。
○:Wが5μmより大きく15μm以下である。
×:Wが15μmより大きい。
1. Warpage of die head The warpage amount W of the die head 82 was measured. First, the die head 82 was placed on the pedestal so that the curved portion would face downward. The largest of the gaps between the die head 82 and the pedestal was defined as the warp amount W. The measured warpage amount W was determined based on the following criteria.
A: W is 5 μm or less.
○: W is greater than 5 μm and 15 μm or less.
X: W is larger than 15 μm.

2.DLC膜の強度
DLC膜に対し摩擦摩耗試験を行い、摩擦摩耗試験後のDLC膜を目視観察し、下記基準に基づいて、DLC膜の強度を評価した。摩擦摩耗試験の手順は次の通りである。CSM Instruments社製Tribometer(ボールオンディスク式)を用いて摩擦摩耗試験(JIS R 1613−1993)を行った。まず、回転台上にダイヘッド82を固定し、所定の回転速度で回転台を回転させた。次に、ダイヘッド82の先端部分であって、回転中心から3.0mm離れたDLC膜86の位置に、ボール状(直径6.35mm)であってAl製の試験片を、所定の荷重(5.0N)で押し当てた。押し当て位置におけるDLC膜86の速度は、0.1m/秒であった。試験片を押し当てた状態でダイヘッド82を20000回、回転させた。
○:DLC膜の割れや剥がれが確認できなかった。
△:DLC膜の割れ又は剥がれが確認できた。また、ダイヘッド82の先端の寿命は、従来のダイヘッド(ダイヘッド本体85)に比べて長いものであった。
×:DLC膜の割れ又は剥がれが確認できた。また、ダイヘッド82の先端の寿命は、従来のダイヘッド(ダイヘッド本体85)と同程度またはそれ以下の寿命であった。
2. DLC film strength A frictional wear test was performed on the DLC film, the DLC film after the frictional wear test was visually observed, and the strength of the DLC film was evaluated based on the following criteria. The procedure of the friction and wear test is as follows. A friction and abrasion test (JIS R 1613-1993) was performed using a Tribometer (ball-on-disk type) manufactured by CSM Instruments. First, the die head 82 was fixed on the turntable, and the turntable was rotated at a predetermined rotation speed. Next, a ball-like (diameter 6.35 mm) Al 2 O 3 test piece is placed at a position of the DLC film 86 at the tip of the die head 82 and 3.0 mm away from the center of rotation. It pressed with the load (5.0N). The speed of the DLC film 86 at the pressing position was 0.1 m / second. The die head 82 was rotated 20000 times with the test piece pressed.
A: Cracking or peeling of the DLC film could not be confirmed.
(Triangle | delta): The crack or peeling of the DLC film has been confirmed. Further, the life of the tip of the die head 82 is longer than that of the conventional die head (die head main body 85).
X: Cracking or peeling of the DLC film could be confirmed. Further, the life of the tip of the die head 82 is the same as or shorter than that of the conventional die head (die head main body 85).

上記の評価項目についての評価結果を表1に示す。表1において、評価項目に示した番号は、上記の評価項目に付した番号を表す。   The evaluation results for the above evaluation items are shown in Table 1. In Table 1, the numbers shown in the evaluation items represent the numbers assigned to the above evaluation items.

10 溶液製膜設備
21 流延ダイ
29 流路
29o 出口
72 リップ板
82 ダイヘッド
85 ダイヘッド本体
86 DLC膜
90 先端部
91 取付部
92 硬質層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Solution casting equipment 21 Casting die 29 Flow path 29o Outlet 72 Lip plate 82 Die head 85 Die head main body 86 DLC film 90 Tip part 91 Attachment part 92 Hard layer

Claims (9)

離隔して互いに向き合う1対の側板と、一方の側板から他方の側板に向かって設けられ互いに向き合う1対のリップ板とを有し、前記1対の側板及び前記1対のリップ板によって囲まれてなる流路の出口からポリマー及び溶剤を含むドープを流出する流延ダイにおいて、
前記各リップ板は前記流路の入口を構成するリップ板本体と前記流路の出口を構成し前記リップ板本体に取り付けられたステンレス製のダイヘッドとに分割され、
断面楔形の前記ダイヘッドは先端にDLC膜を有し、
前記1対の側板の並び方向における前記ダイヘッドの長さを前記並び方向に直交する方向における前記ダイヘッドの長さで除した値が50以上であり、
前記DLC膜は130℃以上200℃以下の処理温度で形成されたことを特徴とする流延ダイ。
A pair of side plates that are spaced apart and face each other; and a pair of lip plates that are provided from one side plate toward the other side plate and face each other, and are surrounded by the pair of side plates and the pair of lip plates. In the casting die that flows out the dope containing the polymer and the solvent from the outlet of the flow path,
Each of the lip plates is divided into a lip plate main body constituting the inlet of the flow path and a stainless steel die head constituting the outlet of the flow path and attached to the lip plate main body,
The die head having a wedge-shaped cross section has a DLC film at the tip,
The value obtained by dividing the length of the die head in the direction of alignment of the pair of side plates by the length of the die head in the direction orthogonal to the direction of alignment is 50 or more,
The casting die, wherein the DLC film is formed at a processing temperature of 130 ° C. or higher and 200 ° C. or lower.
前記並び方向における前記ダイヘッドの長さが1500mm以上であることを特徴とする請求項1記載の流延ダイ。   The casting die according to claim 1, wherein the length of the die head in the arrangement direction is 1500 mm or more. 前記ダイヘッドは、
ステンレスからなる断面楔形のダイヘッド本体と、
前記ダイヘッド本体の先端に設けられた炭化タングステン層とを備えたことを特徴とする請求項1または2記載の流延ダイ。
The die head is
A wedge-shaped die head body made of stainless steel,
The casting die according to claim 1, further comprising a tungsten carbide layer provided at a tip of the die head body.
前記DLC膜の厚みは2μm以下であることを特徴とする請求項1ないし3のうちいずれか1項記載の流延ダイ。   The casting die according to any one of claims 1 to 3, wherein a thickness of the DLC film is 2 µm or less. 請求項1ないし4のうちいずれか1項記載の流延ダイを用いて、前記支持体上に前記ドープからなる膜を形成する膜形成工程と、
前記膜が自立して搬送可能となるまで前記膜から前記溶剤を蒸発させる膜乾燥工程と、
前記膜を前記支持体から剥ぎ取って湿潤フィルムとする剥取工程と、
前記湿潤フィルムから前記溶剤を蒸発させてフィルムとする湿潤フィルム乾燥工程とを有することを特徴とするフィルムの製造方法。
A film forming step of forming a film made of the dope on the support using the casting die according to any one of claims 1 to 4,
A film drying step of evaporating the solvent from the film until the film is self-supporting and transportable;
A stripping step of stripping the membrane from the support to form a wet film;
And a wet film drying step of evaporating the solvent from the wet film to obtain a film.
離隔して互いに向き合う1対の側板と、一方の側板から他方の側板に向かって設けられ互いに向き合う1対のリップ板とを有し、前記1対の側板及び前記1対のリップ板によって囲まれてなる流路の出口からポリマー及び溶剤を含むドープを流出する流延ダイであって、前記流路の入口を構成するリップ板本体とにより前記リップ板をなし、前記流路の出口を構成し、DLC膜を表面に備えたステンレス製のダイヘッドの製造方法において、
ステンレス製のダイヘッド本体の表面に気相蒸着法により前記DLC膜を設けて前記ダイヘッドを得る硬化膜形成工程を有し、
前記1対の側板の並び方向における前記ダイヘッドの長さを前記並び方向に直交する方向における前記ダイヘッドの長さで除した値が50以上であり、
前記気相蒸着法の処理温度は130℃以上200℃以下であることを特徴とするダイヘッドの製造方法。
A pair of side plates that are spaced apart and face each other; and a pair of lip plates that are provided from one side plate toward the other side plate and face each other, and are surrounded by the pair of side plates and the pair of lip plates. A casting die that flows out a dope containing a polymer and a solvent from an outlet of the flow path, wherein the lip plate is formed by a lip plate body that forms the inlet of the flow path, and constitutes an outlet of the flow path In a method for manufacturing a stainless steel die head having a DLC film on its surface,
A cured film forming step of obtaining the die head by providing the DLC film on the surface of the stainless steel die head body by vapor deposition;
The value obtained by dividing the length of the die head in the direction of alignment of the pair of side plates by the length of the die head in the direction orthogonal to the direction of alignment is 50 or more,
The method of manufacturing a die head, wherein a processing temperature of the vapor deposition method is 130 ° C. or higher and 200 ° C. or lower.
前記気相蒸着法は、イオン化蒸着、イオンプレーティング及びプラズマCVDのいずれかであることを特徴とする請求項6記載のダイヘッドの製造方法。   7. The method of manufacturing a die head according to claim 6, wherein the vapor deposition method is any one of ionization deposition, ion plating, and plasma CVD. 前記硬化膜形成工程では、フッ素コーティングが施された固定具により、ターゲット電極と前記ダイヘッド本体を固定し、前記ダイヘッド本体と前記固定具とをボルトを用いて締結することを特徴とする請求項6または7記載のダイヘッドの製造方法。   The said cured film formation process fixes a target electrode and the said die head main body with the fixing tool to which the fluorine coating was given, and fastens the said die head main body and the said fixing tool using a volt | bolt. Or the manufacturing method of the die head of 7. 前記硬化膜形成工程では、
前記1対の側板の並び方向に列設された締結箇所にて前記ダイヘッド本体と前記支持部材とが前記ボルトにより締結され、
前記1対の側板の並び方向の中央部から両端側に向かうに従い、前記ボルトの締め付けトルクが小さいことを特徴とする請求項8記載のダイヘッドの製造方法。
In the cured film forming step,
The die head body and the support member are fastened by the bolts at fastening points arranged in the direction in which the pair of side plates are arranged,
9. The method of manufacturing a die head according to claim 8, wherein a tightening torque of the bolt decreases from a center portion in the arrangement direction of the pair of side plates toward both ends.
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