JP2012136433A5 - Ｉｉｉ族窒化物結晶 - Google Patents

Description

この発明は、ＩＩＩ族窒化物結晶に関するものである。

Claims (7)

1. ＩＩＩ族金属元素と、
   窒素元素と、
   １０^３ｃｍ^−２以下の転位密度と、
   １０^２０ｃｍ^−３以下の酸素元素とを含むＩＩＩ族窒化物結晶。
2. 前記酸素元素の濃度は、１０^１８〜１０^２０ｃｍ^−３の範囲である、請求項１に記載のＩＩＩ族窒化物結晶。
3. 前記酸素元素の濃度は、１０^１８ｃｍ^−３よりも低い、請求項１に記載のＩＩＩ族窒化物結晶。
4. １０^２０ｃｍ^−３以下の水素元素をさらに含む、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のＩＩＩ族窒化物結晶。
5. 前記水素元素の濃度は、１０^１９〜１０^２０ｃｍ^−３の範囲である、請求項４に記載のＩＩＩ族窒化物結晶。
6. 前記水素元素の濃度は、１０^１９ｃｍ^−３よりも低い、請求項４に記載のＩＩＩ族窒化物結晶。
7. アルカリ金属元素をさらに含む、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のＩＩＩ族窒化物結晶。