JP2012135746A - Droplet discharge device and method for cleaning droplet discharge device - Google Patents

Droplet discharge device and method for cleaning droplet discharge device Download PDF

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Kentaro Tanabe
健太郎 田邉
Naoyuki Toyoda
直之 豊田
佳和 ▲濱▼
Yoshikazu Hama
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a droplet discharge device capable of cleaning a droplet discharge head more efficiently, and to provide a cleaning method thereof.SOLUTION: The droplet discharge device 100 is composed to supply a cleaning liquid 2 fed from a cleaning liquid reservoir to the droplet discharge head 110 through a first opening 216 and a nozzle 118 covered with the first opening 216 while relatively moving a cleaning head 210 with respect to the droplet discharge head 110 by a moving means 290 with the cleaning head 210 in contact with the droplet discharge head 110, and to suction the cleaning liquid 2 in the droplet discharge head 110 through a second opening 214 and the nozzle 118 covered with the second opening 214.

Description

本発明は、液滴吐出装置および液滴吐出装置の洗浄方法に関する。   The present invention relates to a droplet discharge device and a cleaning method for the droplet discharge device.

例えば、基板上に配線(導体パターン)用の液状材料や、カラーフィルター用の液状材料や、印刷用の液状材料を塗布する方法として、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドから液状材料を液滴状に吐出するインクジェット法が広く知られている(例えば、特許文献1参照)。
液滴吐出装置が備える液体吐出ヘッドは、ノズルが形成されたノズルプレートと、ノズルに連通し液状材料が充填されたキャビティと、キャビティ内の圧力を変化させる圧電素子とを有している。そして、圧電素子によってキャビティ内の圧力を高めることによりノズルから液状材料を液滴として吐出する。
For example, as a method of applying a liquid material for wiring (conductor pattern), a liquid material for a color filter, or a liquid material for printing on a substrate, the liquid material is dropped from a droplet discharge head of a droplet discharge device. An ink jet method for discharging in a shape is widely known (see, for example, Patent Document 1).
A liquid discharge head provided in the droplet discharge device includes a nozzle plate in which nozzles are formed, a cavity that is in communication with the nozzle and is filled with a liquid material, and a piezoelectric element that changes the pressure in the cavity. Then, the liquid material is ejected as droplets from the nozzle by increasing the pressure in the cavity by the piezoelectric element.

液滴吐出ヘッドから吐出される液状材料は、一般に、高粘度で固形分の含有率が高いため、液滴吐出ヘッドのノズルや吐出面に前記固形分が残存しやすい。そのため、例えば、液滴吐出ヘッドから液状材料を継続して吐出した場合、液状材料に含まれる成分が液滴吐出ヘッドのノズルや吐出面に付着し、液滴吐出ヘッドからの液状材料の吐出が不安定になる。   Since the liquid material discharged from the droplet discharge head generally has a high viscosity and a high solid content, the solid content tends to remain on the nozzle and the discharge surface of the droplet discharge head. Therefore, for example, when the liquid material is continuously discharged from the droplet discharge head, the components contained in the liquid material adhere to the nozzle or discharge surface of the droplet discharge head, and the liquid material is discharged from the droplet discharge head. It becomes unstable.

このような問題を解消するために、従来では、例えば、液滴吐出ヘッドを基板上から退避させた状態で液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することによる行う方法(つば吐き)により、液滴吐出ヘッドに存在する凝集物、付着物等を取り除き、液状材料等による汚れ、目詰まりの解消を行う。しかしながら、このような方法は、プロセス時間と液状材料の消費を伴う上、この方法のみでは十分に凝集物、付着物を取り除くことができない。また、再び液滴の吐出を行うと比較的短期間で液滴の吐出量が不安定になったり、ノズルが再び目詰まりしたりする問題があった。
また、液滴吐出ヘッドの洗浄方法として、液滴吐出装置内の液状材料を全て洗浄液に置換して洗浄を行う方法も知られている。しかしながら、このような方法では、洗浄液との置換によって、液滴吐出装置内の液状材料が無駄になり、インクロスが発生するという問題がある。
In order to solve such a problem, conventionally, for example, a droplet discharge head is ejected from the substrate while the droplet discharge head is withdrawn from the substrate. Agglomerates, deposits, etc. present in the ejection head are removed, and contamination and clogging due to liquid materials are eliminated. However, such a method involves a process time and consumption of liquid material, and this method alone cannot sufficiently remove aggregates and deposits. Further, when the liquid droplets are discharged again, there is a problem that the discharge amount of the liquid droplets becomes unstable in a relatively short period of time or the nozzles are clogged again.
As a method for cleaning a droplet discharge head, a method is also known in which cleaning is performed by replacing all liquid materials in the droplet discharge apparatus with a cleaning liquid. However, in such a method, there is a problem that the liquid material in the droplet discharge device is wasted due to the replacement with the cleaning liquid, and in-cross occurs.

特開2007−84387号公報JP 2007-84387 A

本発明の目的は、より効率的に液滴吐出ヘッドを洗浄することのできる液滴吐出装置およびその洗浄方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a droplet discharge apparatus and a cleaning method thereof that can more efficiently clean a droplet discharge head.

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出装置は、液状材料を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽から送液された前記液状材料を吐出する複数のノズルを備えた液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドの洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記液滴吐出ヘッドに対して相対的に接離自在に設けられた洗浄ヘッドと、
前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させつつ、前記洗浄ヘッドと前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動手段とを有し、
前記洗浄ヘッドは、前記液滴吐出ヘッドと接触した状態にて、前記複数のノズルのうちの一部のノズルを覆う第1の開口と、前記第1の開口で覆われていない前記ノズルのうちの一部のノズルまたは全部のノズルを覆う第2の開口とを有し、
前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させた状態にて、前記移動手段によって前記洗浄ヘッドと前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ、前記第1の開口から該第1の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内に前記洗浄液貯留槽から送液された前記洗浄液を供給するとともに、前記第2の開口から該第2の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内の前記洗浄液を吸引するよう構成されていることを特徴とする。
これにより、より効率的に液滴吐出ヘッドを洗浄することのできる液滴吐出装置が得られる。
Such an object is achieved by the present invention described below.
The droplet discharge device of the present invention includes a storage tank for storing a liquid material,
A droplet discharge head comprising a plurality of nozzles for discharging the liquid material sent from the storage tank;
A cleaning liquid storage tank for storing a cleaning liquid used for cleaning the droplet discharge head;
A cleaning head provided so as to be relatively close to and away from the droplet discharge head;
Moving means for relatively moving the cleaning head and the droplet discharge head while bringing the cleaning head into contact with the droplet discharge head;
The cleaning head is in contact with the droplet discharge head, the first opening covering a part of the plurality of nozzles, and the nozzle not covered by the first opening And a second opening that covers all or some of the nozzles,
While the cleaning head is in contact with the droplet discharge head, the moving head relatively moves the cleaning head and the droplet discharge head while the first opening opens. The cleaning liquid fed from the cleaning liquid storage tank is supplied into the droplet discharge head through the nozzle covered by the opening, and the second opening covers the second opening. The cleaning liquid in the droplet discharge head is sucked through a nozzle.
As a result, a droplet discharge device that can more efficiently clean the droplet discharge head is obtained.

本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させた状態で、前記第1の開口から該第1の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内に前記洗浄液を供給するとともに、前記第2の開口から該第2の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内の前記洗浄液を吸引する第1の状態と、前記第2の開口から該第2の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内に前記洗浄液を供給するとともに、前記第1の開口から該第1の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内の前記洗浄液を吸引する第2の状態とを交互に行うよう構成されていることが好ましい。
これにより、汚れに対して両方向から小刻みに負荷を加えることができ、汚れを除去(剥離)する確率を特に高めることができる。
In the droplet discharge device of the present invention, the droplet is discharged from the first opening through the nozzle covered by the first opening in a state where the cleaning head is in contact with the droplet discharge head. A first state in which the cleaning liquid is supplied into the discharge head and the cleaning liquid in the droplet discharge head is sucked from the second opening through the nozzle covered by the second opening; The cleaning liquid is supplied from the second opening to the droplet discharge head through the nozzle covered by the second opening, and the nozzle covered by the first opening from the first opening. It is preferable that the second state of sucking the cleaning liquid in the droplet discharge head is alternately performed via the liquid crystal.
Thereby, a load can be applied to the dirt from both directions in small increments, and the probability of removing (peeling) the dirt can be particularly increased.

本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄ヘッドは、外管と、該外管の内側に設けられた内管とを有し、前記内管の内側に形成された流路の一端および前記外管と前記内管の間に形成された流路の一端の一方が前記第1の開口を構成し、他方が前記第2の開口を構成することが好ましい。
これにより、洗浄ヘッドの構成がより簡単となる。
本発明の液滴吐出装置では、前記第1の開口は、前記第2の開口よりも、前記洗浄ヘッドの前記液滴吐出ヘッドとの相対的移動方向前方側に位置していることが好ましい。
これにより、洗浄ヘッドの構成がより簡単となる。
In the droplet discharge device of the present invention, the cleaning head includes an outer tube and an inner tube provided inside the outer tube, and includes one end of a flow path formed inside the inner tube and the outer tube. One end of a flow path formed between the tube and the inner tube preferably constitutes the first opening, and the other constitutes the second opening.
This further simplifies the configuration of the cleaning head.
In the droplet discharge device according to the aspect of the invention, it is preferable that the first opening is located on the front side in the relative movement direction of the cleaning head with the droplet discharge head with respect to the second opening.
This further simplifies the configuration of the cleaning head.

本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させた状態にて、前記第1の開口で覆われる前記ノズルの数をXとし、前記第2の開口で覆われる前記ノズルの数をYとしたとき、X/Yは、0.8以上、1.2以下であることが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッド内への洗浄液の供給量と、液滴吐出ヘッド内からの洗浄液の吸引量とのバランスをとることができる。
In the droplet discharge device of the present invention, in a state where the cleaning head is in contact with the droplet discharge head, the number of the nozzles covered by the first opening is X, and the second opening When the number of covered nozzles is Y, X / Y is preferably 0.8 or more and 1.2 or less.
Thereby, it is possible to balance the supply amount of the cleaning liquid into the droplet discharge head and the suction amount of the cleaning liquid from the droplet discharge head.

本発明の液滴吐出装置では、前記第2の開口から吸引した洗浄液に含まれる前記液状材料を除去するフィルターを有し、前記フィルターによって前記液状材料が除去された前記洗浄液を前記洗浄ヘッドから前記液滴吐出ヘッド内に送出することが好ましい。
これにより、洗浄液を繰り返し用いることができるので、洗浄液を有効利用することができる。また、洗浄液の洗浄能力を高い状態で維持することができる。
In the droplet discharge device of the present invention, the liquid droplet ejection apparatus includes a filter that removes the liquid material contained in the cleaning liquid sucked from the second opening, and the cleaning liquid from which the liquid material has been removed by the filter is supplied from the cleaning head. It is preferable to send it out into the droplet discharge head.
Thereby, since a washing | cleaning liquid can be used repeatedly, a washing | cleaning liquid can be used effectively. In addition, the cleaning ability of the cleaning liquid can be maintained in a high state.

本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液が前記液滴吐出ヘッド内に供給されている状態で、前記貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへの前記液状材料の送液を阻止するバルブを有していることが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドの洗浄時に除去される液状材料を最小限に留めることができる。
In the liquid droplet ejection apparatus of the present invention, the liquid droplet ejection apparatus has a valve that prevents the liquid material from being fed from the storage tank to the liquid droplet ejection head in a state where the cleaning liquid is supplied into the liquid droplet ejection head. It is preferable.
Thereby, the liquid material removed at the time of washing | cleaning of a droplet discharge head can be kept to the minimum.

本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、前記液状材料に含まれる固形分を溶解または分散可能であり、かつ、前記液状材料に含まれる主溶媒と相溶性を有する液体であることが好ましい。
これにより、インクの固形分が析出したとしても、再溶解または再分散により固形分を洗浄液中に取り込んで、洗い流すことができる。
In the droplet discharge device according to the aspect of the invention, it is preferable that the cleaning liquid is a liquid that can dissolve or disperse a solid content included in the liquid material and is compatible with a main solvent included in the liquid material. .
Thereby, even if the solid content of the ink is precipitated, the solid content can be taken into the cleaning liquid by re-dissolution or re-dispersion and washed away.

本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、前記液状材料の前記主溶媒を主成分としていることが好ましい。
これにより、洗浄液は、インクとの置換性が特に優れたものとなり、残存したインクと素早く混合させ、かつ置換することができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記液状材料は、金属粒子を分散媒に分散したものであることが好ましい。
これにより、導体パターンを形成するのに適した液状材料となる。
In the droplet discharge device of the present invention, it is preferable that the cleaning liquid contains the main solvent of the liquid material as a main component.
As a result, the cleaning liquid is particularly excellent in replaceability with ink, and can be quickly mixed and replaced with the remaining ink.
In the droplet discharge device of the present invention, it is preferable that the liquid material is obtained by dispersing metal particles in a dispersion medium.
Thereby, it becomes a liquid material suitable for forming a conductor pattern.

本発明の液滴吐出装置の洗浄方法は、液状材料を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽から送液された前記液状材料を吐出する複数のノズルを備えた液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドの洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記液滴吐出ヘッドに対して相対的に接離自在に設けられた洗浄ヘッドと、
前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させつつ、前記洗浄ヘッドと前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動手段とを有し、
前記洗浄ヘッドは、前記液滴吐出ヘッドと接触した状態にて、前記複数のノズルのうちの一部のノズルを覆う第1の開口と、前記第1の開口で覆われていない前記ノズルのうちの一部のノズルまたは全部のノズルを覆う第2の開口とを有し、
前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させた状態にて、前記移動手段によって前記洗浄ヘッドと前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ、前記第1の開口から該第1の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内に前記洗浄液貯留槽から送液された前記洗浄液を供給するとともに、前記第2の開口から該第2の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内の前記洗浄液を吸引することを特徴とする。
これにより、より効率的に液滴吐出ヘッドを洗浄することができる。
A cleaning method for a droplet discharge device of the present invention includes a storage tank for storing a liquid material,
A droplet discharge head comprising a plurality of nozzles for discharging the liquid material sent from the storage tank;
A cleaning liquid storage tank for storing a cleaning liquid used for cleaning the droplet discharge head;
A cleaning head provided so as to be relatively close to and away from the droplet discharge head;
Moving means for relatively moving the cleaning head and the droplet discharge head while bringing the cleaning head into contact with the droplet discharge head;
The cleaning head is in contact with the droplet discharge head, the first opening covering a part of the plurality of nozzles, and the nozzle not covered by the first opening And a second opening that covers all or some of the nozzles,
While the cleaning head is in contact with the droplet discharge head, the moving head relatively moves the cleaning head and the droplet discharge head while the first opening opens. The cleaning liquid fed from the cleaning liquid storage tank is supplied into the droplet discharge head through the nozzle covered by the opening, and the second opening covers the second opening. The cleaning liquid in the droplet discharge head is sucked through a nozzle.
Thereby, the droplet discharge head can be cleaned more efficiently.

液滴吐出装置(インクジェット装置)の好適な実施形態の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of suitable embodiment of a droplet discharge apparatus (inkjet apparatus). 液滴吐出装置の全体構成の一例を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed an example of the whole structure of a droplet discharge apparatus. 図1の液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッド(インクジェットヘッド)の概略構成を説明するための模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a schematic configuration of a droplet discharge head (inkjet head) included in the droplet discharge device of FIG. 1. 図1の液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッド(インクジェットヘッド)の概略構成を説明するための模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a schematic configuration of a droplet discharge head (inkjet head) included in the droplet discharge device of FIG. 1. 図2に示す洗浄ヘッドの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the cleaning head shown in FIG. 2. 本発明の液滴吐出装置の洗浄方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the washing | cleaning method of the droplet discharge apparatus of this invention. 液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed another example of the whole structure of the droplet discharge apparatus. 液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed another example of the whole structure of the droplet discharge apparatus.

以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
《液滴吐出装置および液滴吐出装置の洗浄方法》
まず、本発明の液滴吐出装置の好適な実施形態について説明する。
図1は、液滴吐出装置(インクジェット装置)の好適な実施形態の一例を示す斜視図、図2は、液滴吐出装置の全体構成の一例を示した模式図、図3および図4は、図1の液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッド(インクジェットヘッド)の概略構成を説明するための模式図、図5は、図2に示す洗浄ヘッドの断面図、図6は、本発明の液滴吐出装置の洗浄方法を説明するための図である。
液滴吐出装置(インクジェット装置)100は、例えば、導体パターン成用インク(液状材料。以下、単に「インク」と呼ぶ)1を吐出することにより、例えば、セラミックス成形体等からなる基板11上に所定の導体パターンを形成するのに用いられる装置である。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.
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First, a preferred embodiment of the droplet discharge device of the present invention will be described.
FIG. 1 is a perspective view showing an example of a preferred embodiment of a droplet discharge device (inkjet device), FIG. 2 is a schematic view showing an example of the overall configuration of the droplet discharge device, and FIGS. FIG. 5 is a schematic diagram for explaining a schematic configuration of a droplet discharge head (inkjet head) provided in the droplet discharge device of FIG. 1, FIG. 5 is a sectional view of the cleaning head shown in FIG. 2, and FIG. It is a figure for demonstrating the washing | cleaning method of a droplet discharge apparatus.
The droplet discharge device (inkjet device) 100 discharges, for example, a conductive pattern forming ink (liquid material; hereinafter simply referred to as “ink”) 1 onto a substrate 11 made of, for example, a ceramic molded body. An apparatus used to form a predetermined conductor pattern.

図1および図2に示すように、液滴吐出装置100は、液滴吐出ヘッド(インクジェットヘッド。以下、単に「ヘッド」と呼ぶ)110と、ベース130と、テーブル140と、インク貯留槽150と、テーブル位置決め手段170と、ヘッド位置決め手段180と、制御装置190とを有している。
ベース130は、テーブル140、テーブル位置決め手段170、およびヘッド位置決め手段180等の液滴吐出装置100の各構成部材を支持する台である。
As shown in FIGS. 1 and 2, the droplet discharge device 100 includes a droplet discharge head (inkjet head; hereinafter simply referred to as “head”) 110, a base 130, a table 140, and an ink storage tank 150. Table positioning means 170, head positioning means 180, and control device 190 are provided.
The base 130 is a table that supports each component of the droplet discharge device 100 such as the table 140, the table positioning unit 170, and the head positioning unit 180.

テーブル140は、テーブル位置決め手段170を介してベース130に設置されている。また、テーブル140は、液滴を着弾させる基板(受容物)11を載置するものである。
テーブル位置決め手段170は、第1移動手段171と、モーター172とを有している。テーブル位置決め手段170は、ベース130におけるテーブル140の位置を決定し、これにより、ベース130における基板11の位置を決定する。
The table 140 is installed on the base 130 via the table positioning means 170. The table 140 is used to place a substrate (acceptor) 11 on which droplets are landed.
The table positioning unit 170 includes a first moving unit 171 and a motor 172. The table positioning means 170 determines the position of the table 140 on the base 130, and thereby determines the position of the substrate 11 on the base 130.

第1移動手段171は、Y方向と略平行に設けられた2本のレールと、当該レール上を移動する支持台とを有している。第1移動手段171の支持台は、モーター172を介してテーブル140を支持している。そして、支持台がレール上を移動することにより、基板11を載置するテーブル140は、Y方向に移動および位置決めされる。
モーター172は、テーブル140を支持しており、θz方向にテーブル140を揺動および位置決めする。
ヘッド位置決め手段180は、第2移動手段181と、リニアモーター182と、モーター183、184、185とを有している。ヘッド位置決め手段180は、ヘッド110の位置を決定する。
The first moving means 171 has two rails provided substantially parallel to the Y direction and a support base that moves on the rails. The support base of the first moving means 171 supports the table 140 via the motor 172. Then, as the support base moves on the rail, the table 140 on which the substrate 11 is placed is moved and positioned in the Y direction.
The motor 172 supports the table 140 and swings and positions the table 140 in the θz direction.
The head positioning unit 180 includes a second moving unit 181, a linear motor 182, and motors 183, 184 and 185. The head positioning unit 180 determines the position of the head 110.

第2移動手段181は、ベース130から立設する2本の支持柱と、当該支持柱同士の間に当該支持柱に支持されて設けられ、2本のレールを有するレール台と、レールに沿って移動可能でヘッド110を支持する支持部材(図示せず)とを有している。そして、支持部材がレールに沿って移動することにより、ヘッド110は、X方向に移動および位置決めされる。   The second moving means 181 is provided with two support pillars standing from the base 130, a support base provided between the support pillars, the rail support having two rails, and the rails. And a support member (not shown) for supporting the head 110. Then, as the support member moves along the rail, the head 110 is moved and positioned in the X direction.

リニアモーター182は、支持部材付近に設けられており、ヘッド110のZ方向の移動および位置決めをすることができる。
モーター183、184、185は、ヘッド110を、それぞれα,β,γ方向に揺動および位置決めする。
以上のようなテーブル位置決め手段170およびヘッド位置決め手段180により、インクジェット装置100は、ヘッド110のインク吐出面115Pと、テーブル140上の基板11との相対的な位置および姿勢を、正確にコントロールできるようになっている。
The linear motor 182 is provided in the vicinity of the support member, and can move and position the head 110 in the Z direction.
Motors 183, 184, and 185 swing and position the head 110 in the α, β, and γ directions, respectively.
By the table positioning means 170 and the head positioning means 180 as described above, the ink jet apparatus 100 can accurately control the relative position and posture of the ink ejection surface 115P of the head 110 and the substrate 11 on the table 140. It has become.

図3に示すように、ヘッド110は、インクジェット方式(液滴吐出方式)によってインク1をノズル118から吐出するものである。本実施形態では、ヘッド110は、圧電体素子としてのピエゾ素子113を用いてインクを吐出させるピエゾ方式を用いている。ピエゾ方式は、インク1に熱を加えないため、材料の組成に影響を与えないなどの利点を有する。   As shown in FIG. 3, the head 110 ejects the ink 1 from the nozzle 118 by an ink jet method (droplet ejection method). In the present embodiment, the head 110 uses a piezo method in which ink is ejected using a piezo element 113 as a piezoelectric element. The piezo method has the advantage that the composition of the material is not affected because heat is not applied to the ink 1.

ヘッド110は、ヘッド本体111と、振動板112と、ピエゾ素子113とを有している。
ヘッド本体111は、本体114と、その下端面にノズルプレート115とを有している。そして、本体114を板状のノズルプレート115と振動板112とが挟み込むことにより、空間としてのリザーバー116およびリザーバー116から分岐した複数のインク室117が形成されている。
The head 110 has a head body 111, a diaphragm 112, and a piezo element 113.
The head main body 111 has a main body 114 and a nozzle plate 115 on the lower end surface thereof. Then, the main body 114 is sandwiched between the plate-like nozzle plate 115 and the vibration plate 112 to form a reservoir 116 as a space and a plurality of ink chambers 117 branched from the reservoir 116.

リザーバー116には、後述するインク貯留槽150よりインク1が供給される。また、リザーバー116は、各インク室117にインク1を供給するための流路を形成している。
ノズルプレート115は、本体114の下端面に装着されており、インク吐出面115Pを構成している。このノズルプレート115には、インク1を吐出する複数のノズル118が、各インク室117に対応して開口されている。そして、各インク室117から対応するノズル(吐出部)118に向かって、インク流路が形成されている。
Ink 1 is supplied to the reservoir 116 from an ink storage tank 150 described later. Further, the reservoir 116 forms a flow path for supplying the ink 1 to each ink chamber 117.
The nozzle plate 115 is attached to the lower end surface of the main body 114 and constitutes an ink ejection surface 115P. In the nozzle plate 115, a plurality of nozzles 118 that discharge ink 1 are opened corresponding to the ink chambers 117. An ink flow path is formed from each ink chamber 117 toward the corresponding nozzle (ejection unit) 118.

振動板112は、ヘッド本体111の上端面に装着されており、各インク室117の壁面を構成している。振動板112は、ピエゾ素子113の振動に応じて振動可能となっている。
ピエゾ素子113は、その振動板112のヘッド本体111と反対側に、各インク室117に対応して設けられている。ピエゾ素子113は、水晶等の圧電材料を一対の電極で挟持したものである。その一対の電極は、駆動回路191に接続されている。
The diaphragm 112 is attached to the upper end surface of the head body 111 and constitutes the wall surface of each ink chamber 117. The diaphragm 112 can vibrate according to the vibration of the piezo element 113.
The piezo element 113 is provided corresponding to each ink chamber 117 on the opposite side of the vibration plate 112 from the head body 111. The piezoelectric element 113 is obtained by sandwiching a piezoelectric material such as quartz with a pair of electrodes. The pair of electrodes is connected to the drive circuit 191.

そして、駆動回路191からピエゾ素子113に電気信号を入力すると、ピエゾ素子113が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子113が収縮変形すると、インク室117の圧力が低下して、リザーバー116からインク室117にインク1が流入する。また、ピエゾ素子113が膨張変形すると、インク室117の圧力が増加して、ノズル118からインク1が吐出される。なお、印加電圧を変化させることにより、ピエゾ素子113の変形量を制御することができる。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子113の変形速度を制御することができる。すなわち、ピエゾ素子113への印加電圧を制御することにより、インク1の吐出条件を制御し得るようになっている。   When an electric signal is input from the drive circuit 191 to the piezo element 113, the piezo element 113 is expanded or contracted. When the piezo element 113 contracts and deforms, the pressure in the ink chamber 117 decreases, and the ink 1 flows from the reservoir 116 into the ink chamber 117. Further, when the piezo element 113 expands and deforms, the pressure in the ink chamber 117 increases and the ink 1 is ejected from the nozzle 118. Note that the amount of deformation of the piezo element 113 can be controlled by changing the applied voltage. Further, the deformation speed of the piezo element 113 can be controlled by changing the frequency of the applied voltage. That is, by controlling the voltage applied to the piezo element 113, the ejection conditions of the ink 1 can be controlled.

図4に示すように、ヘッド110には、複数のノズル118が各インク室117に対応して直列に並んで形成されている。これら複数のノズル118のうち、ノズル118の配列方向の両端部にある、各端部それぞれ少なくとも1つのノズル118については、インク1を吐出させない非吐出ノズル(ダミーノズル)118aである。例えば、一般的なヘッド110では、200個程度のノズル118が直列に並んで形成されているが、この場合には、両端からそれぞれ20個程度のノズル118、計40個程度のノズル118を非吐出ノズル118aとするのが好ましい。   As shown in FIG. 4, a plurality of nozzles 118 are formed in the head 110 so as to be arranged in series corresponding to the respective ink chambers 117. Among the plurality of nozzles 118, at least one nozzle 118 at each end portion at both ends in the arrangement direction of the nozzles 118 is a non-ejection nozzle (dummy nozzle) 118a that does not eject ink 1. For example, in the general head 110, about 200 nozzles 118 are formed in series, but in this case, about 20 nozzles 118 from both ends, that is, about 40 nozzles 118 are not provided. The discharge nozzle 118a is preferable.

一般的に、ヘッド110内のインク経路の形状により、ヘッド110の両端部に位置するノズル118へのインク供給流速が影響を受ける。その結果、ヘッド110の両端部に位置するノズル118から吐出されるインク1の吐出速度・吐出量にばらつきが生じてしまう。インク1の吐出速度・吐出量のばらつきは、各種制御である程度は補正可能であるが、高精度を要求されるような場面(例えば、導体パターン形成等)では、前記ばらつきを補正しきれない。そのため、両端部に非吐出ノズル118aを設けることにより、簡単に、各ノズル118からのインク1の吐出速度・吐出量をほぼ等しくすることができる。
制御装置190は、インクジェット装置100の各部位を制御する。例えば、駆動回路191で生成する印加電圧の波形を調節してインク1の吐出条件を制御したり、テーブル位置決め手段170およびヘッド位置決め手段180を制御したりすることにより基板11へのインク1の吐出位置を制御する。
Generally, the ink supply flow rate to the nozzles 118 located at both ends of the head 110 is affected by the shape of the ink path in the head 110. As a result, variations occur in the ejection speed and ejection amount of the ink 1 ejected from the nozzles 118 located at both ends of the head 110. Variations in the ejection speed and ejection amount of the ink 1 can be corrected to some extent by various controls. However, the variations cannot be corrected in a scene where high accuracy is required (for example, conductor pattern formation). Therefore, by providing the non-ejection nozzles 118a at both ends, the ejection speed and ejection amount of the ink 1 from each nozzle 118 can be easily made substantially equal.
The control device 190 controls each part of the inkjet device 100. For example, the discharge condition of the ink 1 is controlled by adjusting the waveform of the applied voltage generated by the drive circuit 191, and the discharge of the ink 1 onto the substrate 11 is controlled by controlling the table positioning unit 170 and the head positioning unit 180. Control the position.

インク貯留槽150は、インク1を貯留する。
インク貯留槽150は、図2に示すように、インク搬送路151を介して、ヘッド110(リザーバー116)に接続されている。
インク搬送路151には、インク貯留槽150側とヘッド110との間に、インク1の逆流を防止するための自己封止弁153が設けられている。また、インク貯留槽150と自己封止弁153との間には、インク搬送路151を開閉する開閉弁152が別途設けられている。
インク貯留槽150に貯留されたインク1は、液滴吐出時等における必要に応じて、インク搬送路151に送られ、開閉弁152および自己封止弁153を介して、リザーバー116に供給される。
The ink storage tank 150 stores the ink 1.
As shown in FIG. 2, the ink storage tank 150 is connected to the head 110 (reservoir 116) via an ink conveyance path 151.
The ink transport path 151 is provided with a self-sealing valve 153 for preventing the backflow of the ink 1 between the ink storage tank 150 side and the head 110. Further, an open / close valve 152 for opening and closing the ink transport path 151 is separately provided between the ink storage tank 150 and the self-sealing valve 153.
The ink 1 stored in the ink storage tank 150 is sent to the ink transporting path 151 as needed during droplet discharge or the like, and is supplied to the reservoir 116 via the open / close valve 152 and the self-sealing valve 153. .

また、図2に示すように、液滴吐出装置100は、ヘッド110を洗浄するための洗浄機構200を備えている。
洗浄機構200は、洗浄ヘッド210と、洗浄ヘッド210から洗浄液(クリーニングインク)2を送出する送出手段と、洗浄ヘッド210から洗浄液2を吸引する吸引手段と、洗浄ヘッド210を移動させる移動手段290とを有している。送出手段は、洗浄液2を貯留する洗浄液貯留槽240と、洗浄液貯留槽240から洗浄ヘッド210の内部へ洗浄液2を供給する洗浄液搬送路202と、洗浄液搬送路202の途中に設けられた加圧ポンプ250とを有している。また、吸引手段は、ヘッド110内へ供給された洗浄液2を回収する回収タンク230と、洗浄ヘッド210から回収タンク230へと洗浄液2を送液する吸引媒体搬送路201と、吸引媒体搬送路201の途中に設けられた吸引ポンプ220とを有している。
As shown in FIG. 2, the droplet discharge device 100 includes a cleaning mechanism 200 for cleaning the head 110.
The cleaning mechanism 200 includes a cleaning head 210, a sending unit that sends the cleaning liquid (cleaning ink) 2 from the cleaning head 210, a suction unit that sucks the cleaning liquid 2 from the cleaning head 210, and a moving unit 290 that moves the cleaning head 210. have. The delivery means includes a cleaning liquid storage tank 240 that stores the cleaning liquid 2, a cleaning liquid transport path 202 that supplies the cleaning liquid 2 from the cleaning liquid storage tank 240 to the inside of the cleaning head 210, and a pressure pump provided in the middle of the cleaning liquid transport path 202. 250. The suction means includes a recovery tank 230 that recovers the cleaning liquid 2 supplied into the head 110, a suction medium transport path 201 that transports the cleaning liquid 2 from the cleaning head 210 to the recovery tank 230, and a suction medium transport path 201. And a suction pump 220 provided in the middle of the above.

図5に示すように、洗浄ヘッド210は、外管211と、外管211の内側に設けられた内管212とを有する二重管構造をなしている。内管212の内側には、流路213が形成されており、この流路213は、吸引媒体搬送路201に接続されている。また、流路213の一端(ヘッド110と対向する側の一端)は、洗浄液2を吸引する吸引口(第2の開口)214を構成している。また、外管211と内管212との間には、流路215が形成されており、この流路215は、洗浄液搬送路202に接続されている。また、流路215の一端(ヘッド110と対向する側の一端)は、洗浄液2を送出する送出口(第1の開口)216を構成している。   As shown in FIG. 5, the cleaning head 210 has a double tube structure having an outer tube 211 and an inner tube 212 provided inside the outer tube 211. A flow path 213 is formed inside the inner tube 212, and the flow path 213 is connected to the suction medium transport path 201. Further, one end of the flow path 213 (one end on the side facing the head 110) constitutes a suction port (second opening) 214 for sucking the cleaning liquid 2. A flow path 215 is formed between the outer pipe 211 and the inner pipe 212, and the flow path 215 is connected to the cleaning liquid transport path 202. In addition, one end of the flow path 215 (one end on the side facing the head 110) constitutes a delivery port (first opening) 216 that delivers the cleaning liquid 2.

このように、洗浄ヘッド110を二重管構造とすることにより、洗浄ヘッド210の構成がより簡単となる。
このような洗浄ヘッド210は、ヘッド110のインク吐出面115Pに対向するよう配置される。そして、洗浄ヘッド210が送出口216および吸引口214は、インク吐出面115Pに対向する面に開口し、ヘッド110に対して接触させた状態にて、ノズル118を覆うよう構成されている。
Thus, the structure of the cleaning head 210 becomes simpler by making the cleaning head 110 into a double tube structure.
Such a cleaning head 210 is arranged to face the ink ejection surface 115P of the head 110. The cleaning head 210 is configured such that the delivery port 216 and the suction port 214 are open on the surface facing the ink ejection surface 115P and cover the nozzle 118 in a state of being in contact with the head 110.

また、洗浄ヘッド210は、インク吐出面115Pに対して相対的に接離自在に設けられており、インク吐出面115Pに対して洗浄ヘッド210が接触させた状態では、外管211および内管212は、それぞれ、インク吐出面115Pとともに気密空間を画成する。なお、洗浄ヘッド210は、インク吐出面115Pに対して相対的に接触または離間すればよいので、洗浄ヘッド210のみが移動する構成、ヘッド110のみが移動する構成、双方が移動する構成のいずれであってもよい。以下の説明では、洗浄ヘッド210のみが移動する場合について説明する。   In addition, the cleaning head 210 is provided so as to be relatively close to and away from the ink discharge surface 115P. When the cleaning head 210 is in contact with the ink discharge surface 115P, the outer tube 211 and the inner tube 212 are provided. Respectively define an airtight space together with the ink ejection surface 115P. The cleaning head 210 only needs to be in contact with or separated from the ink ejection surface 115P. Therefore, either the configuration in which only the cleaning head 210 moves, the configuration in which only the head 110 moves, or the configuration in which both move. There may be. In the following description, a case where only the cleaning head 210 moves will be described.

インク吐出面115Pに対する洗浄ヘッド210の接触部、すなわち、外管211および内管212の上端部は、密着性の高い材料で構成されており、流路213、215の気密性を確保している。密着性の高い材料としては、例えば、各種エラストマー、各種ゴム等が挙げられる。なお、外管211および内管212は、洗浄液2を流すことができれば、その形状は限定されない。   The contact portion of the cleaning head 210 with respect to the ink discharge surface 115P, that is, the upper end portions of the outer tube 211 and the inner tube 212 are made of a highly adhesive material, and the airtightness of the flow paths 213 and 215 is ensured. . Examples of the material having high adhesion include various elastomers and various rubbers. The shapes of the outer tube 211 and the inner tube 212 are not limited as long as the cleaning liquid 2 can flow.

移動手段290は、洗浄ヘッド210を、ヘッド110に対して接触した状態を保ちながら、ヘッド110に対してノズル118の配列方向に移動させる機能を有している。このような移動手段290の構成としては、上記機能を発揮することができれば、特に限定されないが、例えば、洗浄ヘッド210の移動を案内するレールと、洗浄ヘッド210をレールに沿って移動させるモーターとを有した構成とすることができる。前記モーターの駆動は、制御装置190により制御することができる。   The moving unit 290 has a function of moving the cleaning head 210 in the arrangement direction of the nozzles 118 with respect to the head 110 while keeping the state in contact with the head 110. The configuration of the moving unit 290 is not particularly limited as long as the above function can be achieved. For example, a rail that guides the movement of the cleaning head 210, and a motor that moves the cleaning head 210 along the rail; It can be set as the structure which has. The driving of the motor can be controlled by the control device 190.

加圧ポンプ250は、洗浄液貯留槽240に貯留された洗浄液2を加圧しつつ、洗浄液搬送路202を介して洗浄ヘッド210に送液する。このような加圧ポンプ250としては、例えば、ダイヤフラム方式、ピストン方式等の加圧ポンプが用いられる。
一方、吸引ポンプ220は、洗浄ヘッド210の吸引口214から媒体を吸引媒体搬送路201を介して強制的に吸い出し、回収タンク230へと送液する。なお、媒体としては、インク1、洗浄液2のような液体、またはこれらの2種以上を含む混合物が挙げられる。このような吸引ポンプ220としては、例えば、ダイヤフラム方式、ピストン方式等の吸引ポンプが用いられる。
なお、開閉弁152、吸引ポンプ220および加圧ポンプ250は、それぞれ前述した制御装置190と電気的に接続されており、制御装置190により開閉弁152の開閉操作、吸引ポンプ220の吸引や加圧ポンプ250の加圧の開始や終了、あるいは吸引量や加圧量等の動作条件を制御し得るよう構成されている。
The pressurizing pump 250 supplies the cleaning liquid 2 stored in the cleaning liquid storage tank 240 to the cleaning head 210 via the cleaning liquid conveyance path 202 while pressurizing the cleaning liquid 2. As such a pressure pump 250, for example, a pressure pump such as a diaphragm type or a piston type is used.
On the other hand, the suction pump 220 forcibly sucks the medium from the suction port 214 of the cleaning head 210 via the suction medium transport path 201 and sends the liquid to the recovery tank 230. Examples of the medium include a liquid such as ink 1 and cleaning liquid 2, or a mixture containing two or more of these. As such a suction pump 220, for example, a diaphragm pump, a piston pump, or the like is used.
The on-off valve 152, the suction pump 220, and the pressurization pump 250 are electrically connected to the control device 190 described above. The control device 190 opens and closes the on-off valve 152, and the suction pump 220 is suctioned and pressurized. The start and end of pressurization of the pump 250, or the operation conditions such as the suction amount and the pressurization amount can be controlled.

次いで、洗浄機構200の動作について説明する。
図6は、本発明の液滴吐出装置の洗浄方法を説明するための図(縦断面図)である。なお、以下の説明では、図6中の上側を「上」、下側を「下」という。
液滴吐出装置100は、通常、ヘッド110のノズル118からインク1を吐出する動作を行うが、この動作を繰り返すうち、ノズル118にインク1に含まれる固形分(汚れ)が付着する。洗浄機構200の動作は、この通常動作の開始前・終了後や通常動作の合間等に行われ、ヘッド110に付着した固形分を除去するために行われる。
具体的には、まず、ヘッド110を降下させ、図6に示すように、インク吐出面115Pが洗浄ヘッド210の上面と接する状態にする。この状態では、流路213、215がそれぞれ気密的に封止される。また、この状態では、複数のノズル118のうちの一方の端部に位置するノズル118が送出口216または吸引口214で覆われる。
Next, the operation of the cleaning mechanism 200 will be described.
FIG. 6 is a view (longitudinal sectional view) for explaining the cleaning method of the droplet discharge device of the present invention. In the following description, the upper side in FIG. 6 is referred to as “upper” and the lower side is referred to as “lower”.
The droplet discharge device 100 normally performs an operation of discharging the ink 1 from the nozzle 118 of the head 110. As this operation is repeated, solid content (dirt) contained in the ink 1 adheres to the nozzle 118. The operation of the cleaning mechanism 200 is performed before or after the start of the normal operation, between normal operations, or the like, and is performed to remove the solid content attached to the head 110.
Specifically, first, the head 110 is lowered to bring the ink ejection surface 115P into contact with the upper surface of the cleaning head 210 as shown in FIG. In this state, the flow paths 213 and 215 are hermetically sealed, respectively. In this state, the nozzle 118 located at one end of the plurality of nozzles 118 is covered with the delivery port 216 or the suction port 214.

次いで、開閉弁152を閉状態とした後、加圧ポンプ250により洗浄液2を送出口216から送出し、送出口216から送出された洗浄液2を送出口216で覆われたノズル118を介してヘッド110の内部(各インク室117およびリザーバー116)に供給する。これとともに、吸引ポンプ220により流路213内を吸引することにより、吸引口214に覆われたノズル118を介して、ヘッド110内に供給された洗浄液2を吸引する。吸引された洗浄液2は、回収タンク230に回収される。   Next, after the on-off valve 152 is closed, the cleaning liquid 2 is sent out from the delivery port 216 by the pressurizing pump 250, and the cleaning solution 2 sent out from the delivery port 216 is passed through the nozzle 118 covered by the delivery port 216. The ink is supplied to the inside of 110 (each ink chamber 117 and the reservoir 116). At the same time, the cleaning liquid 2 supplied into the head 110 is sucked through the nozzle 118 covered by the suction port 214 by sucking the inside of the flow path 213 by the suction pump 220. The sucked cleaning liquid 2 is collected in the collection tank 230.

さらに、このようなヘッド110内への洗浄液の供給および吸引を行いながら、移動手段290によって、洗浄ヘッド210をヘッド110に対してノズル118の配列方向に移動させる。これにより、各ノズル118が順に送出口216および吸引口214に覆われ、送出口216に覆われている時は、そのノズル118を介してヘッド110内に洗浄液2が供給され、吸引口214に覆われている時は、そのノズル118を介してヘッド110内の洗浄液2が吸引される。   Further, while supplying and sucking the cleaning liquid into the head 110 as described above, the moving head 290 moves the cleaning head 210 in the arrangement direction of the nozzles 118 with respect to the head 110. As a result, each nozzle 118 is covered in turn with the delivery port 216 and the suction port 214, and when the nozzle 118 is covered with the delivery port 216, the cleaning liquid 2 is supplied into the head 110 via the nozzle 118 and is supplied to the suction port 214. When it is covered, the cleaning liquid 2 in the head 110 is sucked through the nozzle 118.

このように、洗浄ヘッド210をヘッド110に対して移動させつつ、洗浄液2を所定のノズル118を介してヘッド110の内部に供給し、この供給された洗浄液2を他のノズル118を介して吸引することにより、ヘッド110の内部で洗浄液2が流動(強制対流)し、これにより、ヘッド110の内部の汚れの除去が行われる。
ここで、加圧ポンプ250による洗浄液2の送液速度は、特に限定されないが、1mL/min以上200mL/min以下であるのが好ましく、5mL/min以上100mL/min以下であるのがより好ましい。これにより、より効果的に洗浄を行うことができる。
なお、洗浄ヘッド210に覆われていないノズル118は、大気開放状態となっているが、前述のように、洗浄液2の送液速度および吸引速度が充分に大きいため、大気開放しているノズル118が存在していても、ヘッド110内の洗浄を効率よく行うことができる。
As described above, while the cleaning head 210 is moved relative to the head 110, the cleaning liquid 2 is supplied into the head 110 through the predetermined nozzle 118, and the supplied cleaning liquid 2 is sucked through the other nozzles 118. As a result, the cleaning liquid 2 flows (forced convection) inside the head 110, thereby removing dirt inside the head 110.
Here, the feeding speed of the cleaning liquid 2 by the pressure pump 250 is not particularly limited, but is preferably 1 mL / min or more and 200 mL / min or less, and more preferably 5 mL / min or more and 100 mL / min or less. Thereby, it can wash | clean more effectively.
The nozzles 118 that are not covered by the cleaning head 210 are open to the atmosphere. However, as described above, since the liquid feeding speed and the suction speed of the cleaning liquid 2 are sufficiently high, the nozzles 118 that are open to the air are used. Even if exists, the inside of the head 110 can be cleaned efficiently.

また、所定時刻において、送出口216で覆われるノズル118の数と、吸引口214で覆われるノズル118の数としては、特に限定されないが、互いにほぼ等しいことが好ましい。具体的には、送出口216で覆われるノズル118の数をXとし、吸引口214で覆われるノズル118の数をYとしたとき、X/Yは、0.8以上、1.2以下程度であるのが好ましい。これにより、ヘッド110の内部への洗浄液2の供給と、ヘッド110の内部の洗浄液2の吸引とをバランスよく行うことができる。   Further, at the predetermined time, the number of nozzles 118 covered by the delivery port 216 and the number of nozzles 118 covered by the suction port 214 are not particularly limited, but are preferably substantially equal to each other. Specifically, when the number of nozzles 118 covered by the delivery port 216 is X and the number of nozzles 118 covered by the suction port 214 is Y, X / Y is about 0.8 or more and 1.2 or less. Is preferred. Thereby, the supply of the cleaning liquid 2 to the inside of the head 110 and the suction of the cleaning liquid 2 inside the head 110 can be performed in a balanced manner.

また、所定のノズル118が送出口216に覆われている時間(洗浄ヘッド210の移動方向において吸引口214より前方側に位置する領域に覆われている時間および吸引口214より後方側に位置する領域に覆われている時間)は、特に限定されないが、1秒以上、10秒以下程度であるのが好ましい。所定のノズル118が吸引口214に覆われている時間についてもこれと同様である。これにより、各ノズル118内を充分に洗浄することができるとともに、洗浄にかかる時間を比較的短くすることができる。また、洗浄液2の使用量を抑えることもできる。   Further, the time during which the predetermined nozzle 118 is covered by the delivery port 216 (the time during which the cleaning head 210 is covered by the region located in front of the suction port 214 and the rear side from the suction port 214) The time covered by the region is not particularly limited, but is preferably about 1 second or more and 10 seconds or less. The same applies to the time during which the predetermined nozzle 118 is covered by the suction port 214. Accordingly, the inside of each nozzle 118 can be sufficiently cleaned, and the time required for cleaning can be relatively shortened. Moreover, the usage-amount of the washing | cleaning liquid 2 can also be suppressed.

このような方法によれば、従来のようにインク1を用いないため、インク1の無駄をなくすことができる。また、インク1の流動経路と洗浄液2の流動経路とが異なっているため、効果的にヘッド110の内部の汚れを除去することができる。さらには、複数のノズル118から供給された洗浄液2が、例えば、リザーバー116内で混じり合い、衝突することにより乱流が生じ、これにより、より効果的にヘッド110の内部の汚れを除去することができる。   According to such a method, since the ink 1 is not used as in the prior art, the waste of the ink 1 can be eliminated. Further, since the flow path of the ink 1 and the flow path of the cleaning liquid 2 are different, dirt inside the head 110 can be effectively removed. Further, the cleaning liquid 2 supplied from the plurality of nozzles 118 mixes in the reservoir 116 and collides therewith, thereby generating a turbulent flow, thereby more effectively removing dirt inside the head 110. Can do.

また、ほぼ全てのノズル118(両端部位置するノズル118以外のノズル118)が、ヘッド110内へ洗浄液2を供給するための供給口として機能した後、ヘッド110内の洗浄液2を排出する排出口として機能し、その後さらに供給口として機能するため、ほぼ全てのノズル118内に、ヘッド110内に向かう洗浄液2の流れと、ヘッド110外に向かう洗浄液2の流れを交互に発生させることができる。そのため、ノズル118内の汚れに対して両方向から負荷を加えることができ、汚れを除去(剥離)する確率を特に高めることができる。   Further, after almost all the nozzles 118 (nozzles 118 other than the nozzles 118 located at both ends) function as supply ports for supplying the cleaning liquid 2 into the head 110, the discharge ports for discharging the cleaning liquid 2 in the head 110. Therefore, the flow of the cleaning liquid 2 toward the inside of the head 110 and the flow of the cleaning liquid 2 toward the outside of the head 110 can be alternately generated in almost all the nozzles 118. Therefore, a load can be applied to the dirt in the nozzle 118 from both directions, and the probability of removing (peeling) the dirt can be particularly increased.

また、洗浄ヘッド210を前述したような二重管構造とすることにより、洗浄ヘッド210の移動方向の前方側に位置するノズル118および後方側に位置するノズル118からヘッド110内に洗浄液2を供給し、洗浄液2が供給されたノズル118たちの間に位置するノズル118から洗浄液2を吸引することができるため、ヘッド110内を流れる洗浄液2の流れをより複雑にすることができる。そのため、ヘッド110内にて乱流を発生させ易く、汚れを除去(剥離)する確率を特に高めることができる。   Further, by using the double pipe structure as described above, the cleaning liquid 2 is supplied into the head 110 from the nozzle 118 located on the front side and the nozzle 118 located on the rear side in the moving direction of the cleaning head 210. In addition, since the cleaning liquid 2 can be sucked from the nozzles 118 located between the nozzles 118 supplied with the cleaning liquid 2, the flow of the cleaning liquid 2 flowing in the head 110 can be made more complicated. Therefore, it is easy to generate turbulent flow in the head 110, and the probability of removing (peeling) dirt can be particularly increased.

また、複数のノズル118のうち、ノズル118の配列方向両端部に位置するノズル118を非吐出ノズル118aとすることにより、次のような効果を奏することができる。すなわち、前述したような洗浄方法によれば、ノズル118の配列方向両端部に位置するノズル118は、ヘッド110内へ洗浄液2を供給するための供給口としての機能およびヘッド110内の洗浄液2を排出する排出口としての機能の一方の機能しか発揮できない場合がある。そのため、ノズル118の配列方向両端部に位置するノズル118の洗浄効率は、それ以外の中央部に位置するノズル118の洗浄効率よりも低くなる場合がある。   In addition, by setting the nozzles 118 located at both ends in the arrangement direction of the nozzles 118 among the plurality of nozzles 118 as non-ejection nozzles 118a, the following effects can be obtained. That is, according to the cleaning method as described above, the nozzles 118 located at both ends in the arrangement direction of the nozzles 118 function as supply ports for supplying the cleaning liquid 2 into the head 110 and the cleaning liquid 2 in the head 110. In some cases, only one of the functions as a discharge outlet can be exhibited. Therefore, the cleaning efficiency of the nozzles 118 located at both ends in the arrangement direction of the nozzles 118 may be lower than the cleaning efficiency of the nozzles 118 located at the other central part.

したがって、ノズル118の配列方向両端部に位置し、洗浄効率が低くなる可能性があるノズル118を、インク1を吐出しない非吐出ノズル118aとし、それ以外の洗浄効果の高いノズル118のみからインク1を吐出することにより、インク1の吐出に用いられる各ノズル118を効果的に洗浄することができる。
また、前述したように、洗浄時には、開閉弁152を閉状態とするため、洗浄時に除去されるインク1は、ヘッド110の内部に残存しているもののみである。そのため、洗浄によって除去されるインク1の量を最小限に留めることができる。
Therefore, the nozzles 118 that are located at both ends of the nozzle 118 in the arrangement direction and have a possibility of lowering the cleaning efficiency are non-ejection nozzles 118a that do not eject ink 1, and the other inks 1 that are high in cleaning effect are the inks 1 only. The nozzles 118 used for discharging the ink 1 can be effectively cleaned by discharging the ink.
Further, as described above, since the on-off valve 152 is closed during cleaning, only the ink 1 that is removed during cleaning remains in the head 110. Therefore, the amount of ink 1 removed by cleaning can be kept to a minimum.

なお、洗浄方法としては、例えば、まず、吸引ポンプ220により流路213内を吸引することにより、吸引口214に覆われたノズル118を介して、ヘッド110内に残存するインク1を吸引したのち、ヘッド110の内部へ洗浄液2を供給するようにしてもよい。また、洗浄液2のヘッド110内への供給した後、ヘッド110内の洗浄液を吸引しヘッド110内を空にするプロセスを複数回行ってもよい。これにより、汚れの除去作用を特に高めることができる。   As a cleaning method, for example, first, the ink 1 remaining in the head 110 is sucked through the nozzle 118 covered by the suction port 214 by sucking the inside of the flow path 213 by the suction pump 220. The cleaning liquid 2 may be supplied into the head 110. Further, after supplying the cleaning liquid 2 into the head 110, the process of sucking the cleaning liquid in the head 110 and emptying the head 110 may be performed a plurality of times. As a result, the action of removing dirt can be particularly enhanced.

以上、本発明の液滴吐出装置について、好適な実施形態について説明したが、これに限定されず、例えば、図7、図8に示すような液滴吐出装置であってもよい。
図7は、本発明の液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。
本実施形態では、上述した実施形態と異なる点について説明し、同様の構成については、その説明を省略する。
The preferred embodiment of the droplet discharge device of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to this. For example, a droplet discharge device as shown in FIGS. 7 and 8 may be used.
FIG. 7 is a schematic view showing another example of the overall configuration of the droplet discharge device of the present invention.
In the present embodiment, differences from the above-described embodiment will be described, and description of similar configurations will be omitted.

図7に示す液滴吐出装置は、吸引媒体搬送路201の吸引ポンプ220と回収タンク230との間に設けられ、吸引媒体搬送路201を2つに分岐する分岐部203(流路選択部)と、洗浄液搬送路202の加圧ポンプ250と洗浄液貯留槽240との間に設けられ、洗浄液搬送路202を2つに分岐する分岐部204(流路選択部)と、分岐部203と分岐部204とを連絡する連絡路205とを備えている。   The droplet discharge device shown in FIG. 7 is provided between the suction pump 220 and the recovery tank 230 of the suction medium transport path 201, and a branching section 203 (flow path selection section) that branches the suction medium transport path 201 into two. And a branching section 204 (flow path selecting section) that is provided between the pressurizing pump 250 and the cleaning liquid storage tank 240 in the cleaning liquid transfer path 202 and branches the cleaning liquid transfer path 202 into two, a branching section 203 and a branching section. 204 is provided with a communication path 205 that communicates with 204.

分岐部203は、吸引媒体搬送路201を流れる媒体を回収タンク230へと送液する第1の状態と、連絡路205へと送液する第2の状態とを自在にとり得るものである。また、分岐部204は、洗浄液貯留槽240に貯留された洗浄液2を洗浄ヘッド210へと送液する第1の状態と、連絡路205から送液された媒体を洗浄ヘッド210へと送液する第2の状態とを選択する。   The branching unit 203 can freely take a first state in which the medium flowing through the suction medium conveyance path 201 is sent to the recovery tank 230 and a second state in which the medium is sent to the communication path 205. Further, the branching unit 204 sends the cleaning liquid 2 stored in the cleaning liquid storage tank 240 to the cleaning head 210 and the medium sent from the communication path 205 to the cleaning head 210. The second state is selected.

分岐部203および分岐部204においてそれぞれ第1の状態を選択した場合、洗浄機構200の動作は前述した動作と同様になる。
これに対して、分岐部203および分岐部204においてそれぞれ第2の状態を選択した場合、洗浄液2の消費が停止され、代わりに洗浄ヘッド210から吸引された洗浄液2を、再び洗浄ヘッド210へと送液することができる。その結果、この洗浄液2は、加圧ポンプ250と吸引ポンプ220とを動作させることで、洗浄液搬送路202、流路215、ヘッド110、流路213、吸引媒体搬送路201および連絡路205で構成される環状の経路を循環することとなる。このようにすれば、洗浄液2の消費を抑えつつ、汚れの除去をさらに促進することができる。
When the first state is selected in each of the branching unit 203 and the branching unit 204, the operation of the cleaning mechanism 200 is the same as the operation described above.
On the other hand, when the second state is selected in each of the branching unit 203 and the branching unit 204, consumption of the cleaning liquid 2 is stopped, and instead the cleaning liquid 2 sucked from the cleaning head 210 is returned to the cleaning head 210 again. The liquid can be sent. As a result, the cleaning liquid 2 is constituted by the cleaning liquid conveyance path 202, the flow path 215, the head 110, the flow path 213, the suction medium conveyance path 201, and the communication path 205 by operating the pressurization pump 250 and the suction pump 220. It will circulate through the circular path | route made. In this way, it is possible to further promote removal of dirt while suppressing consumption of the cleaning liquid 2.

分岐部203および分岐部204は、制御装置190と電気的に接続され、その動作が制御されるよう構成されている。これにより、分岐部203および分岐部204の各動作を、加圧ポンプ250や吸引ポンプ220の吸引動作と協調的に制御することができるので、分岐部203および分岐部204を最適なタイミングで動作させ、洗浄液2の消費を最小限に抑えるとともに、汚れの除去作用を最大限に増強することができる。   The branch unit 203 and the branch unit 204 are configured to be electrically connected to the control device 190 and to control the operation thereof. Thereby, each operation of the branching unit 203 and the branching unit 204 can be controlled in cooperation with the suction operation of the pressurizing pump 250 and the suction pump 220, so that the branching unit 203 and the branching unit 204 are operated at an optimal timing. As a result, the consumption of the cleaning liquid 2 can be minimized, and the action of removing dirt can be enhanced to the maximum.

このように洗浄液2を循環させる場合、インク1を含む洗浄液2を循環させるようにしてもよいが、インク1の含有率が高い吸引開始直後の媒体については回収タンク230に送液し、インク1の含有率が低下したタイミングで循環を開始するのが好ましい。これにより、洗浄液2を無駄に消費することなく、ヘッド110の内部に付着した汚れをより清浄な洗浄液2の流れに曝すことができ、汚れの除去作用を特に増強することができる。   When the cleaning liquid 2 is circulated in this way, the cleaning liquid 2 containing the ink 1 may be circulated. However, the medium immediately after the start of suction with a high content of the ink 1 is sent to the recovery tank 230 and the ink 1 It is preferable to start the circulation at the timing when the content ratio of the water content decreases. Thereby, the dirt adhering to the inside of the head 110 can be exposed to a cleaner flow of the cleaning liquid 2 without consuming the cleaning liquid 2 wastefully, and the action of removing the dirt can be particularly enhanced.

また、吸引媒体搬送路201の洗浄ヘッド210と吸引ポンプ220との間(吸引ポンプ220の上流側)には、フィルター260が設けられている。このフィルター260により吸引媒体搬送路201内を流れる媒体を濾過し、含まれる汚れ(固形分)を濾別することができる。これにより、環状の経路には、汚れを含まない清浄な洗浄液2を循環させることができ、汚れの再付着を防止することができる。   Further, a filter 260 is provided between the cleaning head 210 and the suction pump 220 in the suction medium conveyance path 201 (upstream side of the suction pump 220). The filter 260 can filter the medium flowing in the suction medium conveyance path 201 and filter out contained dirt (solid content). Thereby, it is possible to circulate the clean cleaning liquid 2 that does not contain dirt in the annular path, and to prevent the dirt from reattaching.

フィルター260としては、例えば、不織布、織布からなる布帛フィルター、糸巻きフィルター、メンブレンフィルター、スポンジフィルター、金属フィルター、セラミックスフィルター等が挙げられる。
ここで、この際、加圧ポンプ250や吸引ポンプ220の回転方向を一定時間だけ逆転させることで、洗浄液2の流れを反転させるようにしてもよい。これにより、ヘッド110の内部に付着した汚れにも反対方向の負荷が加わることになり、汚れを除去(剥離)する確率を高めることができる。
Examples of the filter 260 include a fabric filter made of nonwoven fabric or woven fabric, a thread wound filter, a membrane filter, a sponge filter, a metal filter, a ceramic filter, and the like.
Here, at this time, the flow of the cleaning liquid 2 may be reversed by reversing the rotation direction of the pressurization pump 250 or the suction pump 220 for a predetermined time. As a result, a load in the opposite direction is also applied to the dirt adhering to the inside of the head 110, and the probability of removing (peeling) the dirt can be increased.

さらには、加圧ポンプ250や吸引ポンプ220の回転方向の正転と逆転とを短時間で交互に繰り返すようにしてもよい。すなわち、送出口216からノズル118を介してヘッド110の内部に洗浄液2を供給するとともに、吸引口214からノズル118を介してヘッド110の内部の洗浄液2を吸引する第1の状態と、吸引口214からノズル118を介してヘッド110の内部に洗浄液2を供給するとともに、送出口216からノズル118を介して洗浄液2を吸引する第2の状態とを交互に行ってもよい。これにより、汚れに対して両方向から小刻みに負荷を加えることができ、前述したような洗浄ヘッド210の移動によっても加えられる両方向からの負荷との相乗効果によって、汚れを除去(剥離)する確率をさらに高めることができる。
このとき、回転方向を変更する周期は、0.1秒以上10秒以下程度であるのが好ましく、0.3秒以上5秒以下程度であるのがより好ましい。
Further, forward rotation and reverse rotation in the rotation direction of the pressure pump 250 and the suction pump 220 may be alternately repeated in a short time. That is, while supplying the cleaning liquid 2 from the delivery port 216 to the inside of the head 110 through the nozzle 118, the first state in which the cleaning liquid 2 in the head 110 is sucked from the suction port 214 through the nozzle 118, and the suction port The second state in which the cleaning liquid 2 is supplied from 214 to the inside of the head 110 via the nozzle 118 and the cleaning liquid 2 is sucked from the outlet 216 via the nozzle 118 may be alternately performed. As a result, a load can be applied in small increments from both directions to the dirt, and the probability of removing (peeling) the dirt due to a synergistic effect with the load from both directions applied by the movement of the cleaning head 210 as described above. It can be further increased.
At this time, the period for changing the rotation direction is preferably about 0.1 seconds to 10 seconds, and more preferably about 0.3 seconds to 5 seconds.

図8は、本発明の液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。
本実施形態では、上述した実施形態と異なる点について説明し、同様の構成については、その説明を省略する。
図8に示す液滴吐出装置では、洗浄ヘッド210が2つの管体241、242を有している。これら管体241、242は、洗浄ヘッド210の移動方向に並んで配設されており、移動方向前方側に管体241が位置し、後方側に管体242が位置している。そして、管体241の内側に流路215が形成されており、管体241の開口が送出口216を構成している。同様に、管体242の内側に流路213が形成されており、管体242の開口が吸引口214を構成している。これにより、洗浄ヘッド210の構成が簡単となる。
また、このような洗浄ヘッド210によれば、吸引口214が洗浄ヘッド210の移動方向の後方側にあるため、ヘッド110内の洗浄液2をより確実に吸引することができ、洗浄後にヘッド110内に洗浄液2が残存するのを効果的に抑制することができる。
FIG. 8 is a schematic view showing another example of the overall configuration of the droplet discharge device of the present invention.
In the present embodiment, differences from the above-described embodiment will be described, and description of similar configurations will be omitted.
In the droplet discharge device shown in FIG. 8, the cleaning head 210 has two tubular bodies 241 and 242. These tubular bodies 241 and 242 are arranged side by side in the moving direction of the cleaning head 210, and the tubular body 241 is located on the front side in the moving direction and the tubular body 242 is located on the rear side. A flow path 215 is formed inside the tube body 241, and the opening of the tube body 241 constitutes the delivery port 216. Similarly, a flow path 213 is formed inside the tube body 242, and the opening of the tube body 242 constitutes the suction port 214. Thereby, the configuration of the cleaning head 210 is simplified.
Further, according to such a cleaning head 210, since the suction port 214 is on the rear side in the moving direction of the cleaning head 210, the cleaning liquid 2 in the head 110 can be sucked more reliably, and after cleaning, It is possible to effectively prevent the cleaning liquid 2 from remaining on the surface.

次に、前述した液滴吐出装置100に好適に適用することができるインク1および洗浄液2について説明する。
<インク1>
インク1としては、例えば、銀粒子(金属粒子)を水系分散媒(分散媒)に分散してなる分散液を好適に用いることができる。このような構成とすることにより、導体パターンを形成するのに適した液状材料となる。
Next, the ink 1 and the cleaning liquid 2 that can be suitably applied to the droplet discharge device 100 described above will be described.
<Ink 1>
As the ink 1, for example, a dispersion liquid in which silver particles (metal particles) are dispersed in an aqueous dispersion medium (dispersion medium) can be suitably used. By setting it as such a structure, it becomes a liquid material suitable for forming a conductor pattern.

〔水系分散媒〕
本明細書において、「水系分散媒」とは、水および/または水との相溶性に優れる液体(例えば、25℃における水100gに対する溶解度が30g以上の液体)で構成されたもののことを指す。このように、水系分散媒は、水および/または水との相溶性に優れる液体で構成されたものであるが、主として水で構成されたものであるのが好ましく、特に、水の含有率が70wt%以上のものであるのが好ましく、90wt%以上のものであるのがより好ましい。これにより、上述した効果がより顕著に発揮される。
[Aqueous dispersion medium]
In the present specification, the “aqueous dispersion medium” refers to one composed of water and / or a liquid excellent in compatibility with water (for example, a liquid having a solubility in 100 g of water at 25 ° C. of 30 g or more). As described above, the aqueous dispersion medium is composed of water and / or a liquid having excellent compatibility with water, but is preferably composed mainly of water. It is preferably 70 wt% or more, more preferably 90 wt% or more. Thereby, the effect mentioned above is exhibited more notably.

水系分散媒の具体例としては、例えば、水、メタノール、エタノール、ブタノール、プロパノール、イソプロパノール等のアルコール系溶媒、1,4−ジオキサン、テトラヒドロフラン(THF)等のエーテル系溶媒、ピリジン、ピラジン、ピロール等の芳香族複素環化合物系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N−ジメチルアセトアミド(DMA)等のアミド系溶媒、アセトニトリル等のニトリル系溶媒、アセトアルデヒド等のアルデヒド系溶媒等が挙げられ、これらのうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、インク1中における水系分散媒の含有量は、20wt%以上80wt%以下であることが好ましく、25wt%以上70wt%以下であることがより好ましい。これにより、インク1の粘度を好適なものとしつつ、分散媒の揮発による粘度の変化を少ないものとすることができる。
Specific examples of the aqueous dispersion medium include, for example, water, methanol, ethanol, butanol, propanol, isopropanol and other alcohol solvents, 1,4-dioxane, tetrahydrofuran (THF) and other ether solvents, pyridine, pyrazine, pyrrole and the like. Aromatic heterocyclic compound solvents, amide solvents such as N, N-dimethylformamide (DMF) and N, N-dimethylacetamide (DMA), nitrile solvents such as acetonitrile, and aldehyde solvents such as acetaldehyde. Of these, one or a combination of two or more can be used.
Further, the content of the aqueous dispersion medium in the ink 1 is preferably 20 wt% or more and 80 wt% or less, and more preferably 25 wt% or more and 70 wt% or less. Thereby, while making the viscosity of the ink 1 suitable, the change of the viscosity by volatilization of a dispersion medium can be made small.

〔銀粒子〕
次に、銀粒子(金属粒子)について説明する。
銀粒子は、形成される導体パターンの主成分であり、導体パターンに導電性を付与する成分である。このような銀粒子は、インク1中において分散している。
銀粒子の平均粒径は、1nm以上100nm以下であるのが好ましく、10nm以上40nm以下であるのがより好ましい。これにより、インク1の吐出安定性をより高くすることができるとともに、微細な導体パターンを容易に形成することができる。なお、本明細書では、「平均粒径」とは、特に断りのない限り、体積基準の平均粒径のことを指す。
[Silver particles]
Next, silver particles (metal particles) will be described.
Silver particles are the main component of the conductor pattern to be formed, and are components that impart conductivity to the conductor pattern. Such silver particles are dispersed in the ink 1.
The average particle size of the silver particles is preferably 1 nm or more and 100 nm or less, and more preferably 10 nm or more and 40 nm or less. Thereby, the ejection stability of the ink 1 can be further increased, and a fine conductor pattern can be easily formed. In the present specification, the “average particle size” means a volume-based average particle size unless otherwise specified.

また、インク1中に含まれる銀粒子(分散剤が表面に吸着していない銀粒子)の含有量は、0.5wt%以上60wt%以下であるのが好ましく、10wt%以上45wt%以下であるのがより好ましい。これにより、導体パターンの断線をより効果的に防止することができ、より信頼性の高い導体パターンを形成することができる。
また、銀粒子は、その表面に分散剤が付着した銀コロイド粒子として、水系分散媒中に分散していることが好ましい。これにより、銀粒子の水系分散媒への分散性が特に優れたものとなり、インク1の吐出安定性が特に向上する。
Further, the content of silver particles (silver particles in which the dispersant is not adsorbed on the surface) contained in the ink 1 is preferably 0.5 wt% or more and 60 wt% or less, and is 10 wt% or more and 45 wt% or less. Is more preferable. Thereby, disconnection of a conductor pattern can be prevented more effectively, and a more reliable conductor pattern can be formed.
Further, the silver particles are preferably dispersed in an aqueous dispersion medium as silver colloid particles having a dispersant attached to the surface thereof. Thereby, the dispersibility of the silver particles in the aqueous dispersion medium is particularly excellent, and the ejection stability of the ink 1 is particularly improved.

分散剤としては、特に限定されないが、COOH基とOH基とを合わせて3個以上有し、かつ、COOH基の数がOH基と同じか、それよりも多いヒドロキシ酸またはその塩を含むことが好ましい。これらの分散剤は、銀粒子の表面に吸着してコロイド粒子を形成し、分散剤中に存在するCOOH基の電気的反発力によって銀コロイド粒子を水溶液中に均一に分散させてコロイド液を安定化する働きを有する。   Although it does not specifically limit as a dispersing agent, it has 3 or more of COOH groups and OH groups, and the number of COOH groups is the same as that of OH groups, or contains hydroxy acid or its salt more than it. Is preferred. These dispersants adsorb on the surface of silver particles to form colloidal particles, and the colloidal liquid is stabilized by uniformly dispersing silver colloidal particles in an aqueous solution by the electric repulsive force of COOH groups present in the dispersant. Has the function of

このように、銀コロイド粒子が安定してインク1中に存在することにより、より容易に微細な導体パターンを形成することができる。また、インク1によって形成されたパターンにおいて銀粒子が均一に分布し、クラック、断線等が発生し難くなる。このような分散剤としては、例えば、クエン酸、りんご酸、クエン酸三ナトリウム、クエン酸三カリウム、クエン酸三リチウム、クエン酸三アンモニウム、りんご酸二ナトリウム、タンニン酸、ガロタンニン酸、五倍子タンニン等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
インク1中における銀コロイド粒子の含有量は、1wt%以上60wt%以下であるのが好ましく、5wt%以上50wt%以下であるのがより好ましい。
また、銀コロイド粒子の熱重量分析における500℃までの加熱減量は、1wt%以上25wt%以下が好ましい。
As described above, since the silver colloid particles are stably present in the ink 1, a fine conductor pattern can be more easily formed. Further, silver particles are uniformly distributed in the pattern formed by the ink 1, and cracks, disconnections, and the like are less likely to occur. Examples of such a dispersing agent include citric acid, malic acid, trisodium citrate, tripotassium citrate, trilithium citrate, triammonium citrate, disodium malate, tannic acid, gallotannic acid, and pentaploid tannin. Of these, one or a combination of two or more can be used.
The content of the silver colloid particles in the ink 1 is preferably 1 wt% or more and 60 wt% or less, and more preferably 5 wt% or more and 50 wt% or less.
Further, the heat loss to 500 ° C. in the thermogravimetric analysis of the silver colloid particles is preferably 1 wt% or more and 25 wt% or less.

〔有機バインダー〕
また、インク1は、有機バインダーを含んでいてもよい。有機バインダーは、インク1を用いて形成された導体パターン前駆体において、銀粒子の凝集を防止するものである。また、有機バインダーは、基板11に対するインク1の密着性を向上させる機能を有している。
[Organic binder]
The ink 1 may contain an organic binder. The organic binder prevents aggregation of silver particles in the conductor pattern precursor formed using the ink 1. The organic binder has a function of improving the adhesion of the ink 1 to the substrate 11.

有機バインダーとしては、特には限定されないが、例えば、ポリエチレングリコール#200(重量平均分子量200)、ポリエチレングリコール#300(重量平均分子量300)、ポリエチレングリコール#400(平均分子量400)、ポリエチレングリコール#600(重量平均分子量600)、ポリエチレングリコール#1000(重量平均分子量1000)、ポリエチレングリコール#1500(重量平均分子量1500)、ポリエチレングリコール#1540(重量平均分子量1540)、ポリエチレングリコール#2000(重量平均分子量2000)等のポリエチレングリコール、ポリビニルアルコール#200(重量平均分子量:200)、ポリビニルアルコール#300(重量平均分子量:300)、ポリビニルアルコール#400(平均分子量:400)、ポリビニルアルコール#600(重量平均分子量:600)、ポリビニルアルコール#1000(重量平均分子量:1000)、ポリビニルアルコール#1500(重量平均分子量:1500)、ポリビニルアルコール#1540(重量平均分子量:1540)、ポリビニルアルコール#2000(重量平均分子量:2000)等のポリビニルアルコール、ポリグリセリン、ポリグリセリンエステル等のポリグリセリン骨格を有するポリグリセリン化合物が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。また、ポリグリセリンエステルとしては、例えば、ポリグリセリンのモノステアレート、トリステアレート、テトラステアレート、モノオレエート、ペンタオレエート、モノラウレート、モノカプリレート、ポリシノレート、セスキステアレート、デカオレエート、セスキオレエート等が挙げられる。   Although it does not specifically limit as an organic binder, For example, polyethyleneglycol # 200 (weight average molecular weight 200), polyethyleneglycol # 300 (weight average molecular weight 300), polyethyleneglycol # 400 (average molecular weight 400), polyethyleneglycol # 600 ( Weight average molecular weight 600), polyethylene glycol # 1000 (weight average molecular weight 1000), polyethylene glycol # 1500 (weight average molecular weight 1500), polyethylene glycol # 1540 (weight average molecular weight 1540), polyethylene glycol # 2000 (weight average molecular weight 2000), etc. Polyethylene glycol, polyvinyl alcohol # 200 (weight average molecular weight: 200), polyvinyl alcohol # 300 (weight average molecular weight: 300), polyvinyl alcohol # 400 (average molecular weight: 400), polyvinyl alcohol # 600 (weight average molecular weight: 600), polyvinyl alcohol # 1000 (weight average molecular weight: 1000), polyvinyl alcohol # 1500 (weight average molecular weight: 1500), polyvinyl alcohol # Polyglycerin compounds having a polyglycerin skeleton such as polyvinyl alcohol such as 1540 (weight average molecular weight: 1540), polyvinyl alcohol # 2000 (weight average molecular weight: 2000), polyglycerin, polyglycerin ester, etc. Alternatively, two or more kinds can be used in combination. Examples of polyglycerol esters include polyglycerol monostearate, tristearate, tetrastearate, monooleate, pentaoleate, monolaurate, monocaprylate, polycinnolate, sesquistearate, decaoleate, and sesquioleate. Etc.

〔乾燥抑制剤〕
また、インク1は、乾燥抑制剤を含んでいてもよい。乾燥抑制剤は、インク1中の水系分散媒の不本意な揮発を防止するものである。その結果、インクジェット装置100のノズル118付近において水系分散媒が揮発することを防止でき、インク1の粘度の上昇、乾燥が抑えられる。このような乾燥抑制剤としては、下記式(I)で示される化合物、アルカノールアミン、糖アルコール等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
(Drying inhibitor)
Further, the ink 1 may contain a drying inhibitor. The drying inhibitor prevents unintended volatilization of the aqueous dispersion medium in the ink 1. As a result, the aqueous dispersion medium can be prevented from volatilizing in the vicinity of the nozzle 118 of the ink jet apparatus 100, and the increase in viscosity and drying of the ink 1 can be suppressed. Examples of such a drying inhibitor include compounds represented by the following formula (I), alkanolamines, sugar alcohols, and the like, and one or more of them can be used in combination.

Figure 2012135746
(ただし、R、R’は、それぞれ、Hまたはアルキル基である。)
Figure 2012135746
(However, R and R ′ are each H or an alkyl group.)

〔表面張力調整剤〕
また、インク1は、表面張力調整剤を含んでいてもよい。表面張力調整剤は、インク1と基板11との接触角を所定の角度に調整する機能を有している。表面張力調整剤としては、各種界面活性剤を用いることができ、1種または2種以上を組み合わせて用いることができるが、少ない添加量で、インク1と基板11との接触角を所定の範囲に調整することができる観点からアセチレングリコール系化合物を含むことが好ましい。
[Surface tension modifier]
The ink 1 may contain a surface tension adjusting agent. The surface tension adjusting agent has a function of adjusting the contact angle between the ink 1 and the substrate 11 to a predetermined angle. As the surface tension adjusting agent, various surfactants can be used, and one or a combination of two or more types can be used. The contact angle between the ink 1 and the substrate 11 can be set within a predetermined range with a small addition amount. It is preferable that an acetylene glycol type compound is included from a viewpoint which can be adjusted to.

アセチレングリコール系化合物としては、例えば、サーフィノール104シリーズ(104E、104H、104PG−50、104PA等)、サーフィノール400シリーズ(420、465、485等)、オルフィンシリーズ(EXP4036、EXP4001、E1010等)(「サーフィノール」および「オルフィン」は、日信化学工業株式会社の商品名)等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of acetylene glycol compounds include Surfynol 104 series (104E, 104H, 104PG-50, 104PA, etc.), Surfynol 400 series (420, 465, 485, etc.), Olphine series (EXP4036, EXP4001, E1010, etc.). ("Surfinol" and "Orphine" are trade names of Nissin Chemical Industry Co., Ltd.) and the like, and one or more of these can be used in combination.

〔その他の成分〕
なお、インク1の構成成分は、上記成分に限定されず、上記以外の成分を含んでいてもよい。このような成分としては、例えば、チオ尿素等が挙げられる。
また、インク1の粘度は、特に限定されないが、1.0mPa・s以上15.0mPa・s以下であることが好ましく、4.0mPa・s以上11.0mPa・s以下であることがより好ましい。これにより、液滴の吐出安定性が向上するとともに、基板11に供給されたインク1の不本意な濡れ広がりをより確実に防止することができる。
以上、インク1の一例を説明した。
[Other ingredients]
In addition, the structural component of the ink 1 is not limited to the said component, You may contain components other than the above. Examples of such components include thiourea.
The viscosity of the ink 1 is not particularly limited, but is preferably 1.0 mPa · s or more and 15.0 mPa · s or less, and more preferably 4.0 mPa · s or more and 11.0 mPa · s or less. Thereby, the ejection stability of the droplets can be improved, and the unintentional wetting and spreading of the ink 1 supplied to the substrate 11 can be prevented more reliably.
The example of the ink 1 has been described above.

<洗浄液>
本発明に適用される洗浄液(クリーニングインク)は、導体パターンの形成に用いられるヘッド110の洗浄をするものであり、特に、前述したようなインク1によるヘッド110の汚れ、目詰まり等を好適に解消するものである。
また、洗浄液2は、インク1に含まれる固形分を溶解または分散可能であり、かつ、インク1に含まれる主溶媒と相溶性を有する液体である。これにより、ヘッド110内をより効率的に洗浄することができる。
このような洗浄液2としては、特に限定されないが、セラミックス粒子とセラミックス粒子を分散する分散媒を含んでいるものを用いるのが好ましい。
<Cleaning liquid>
The cleaning liquid (cleaning ink) applied to the present invention is for cleaning the head 110 used for forming the conductor pattern. Particularly, the head 110 is preferably stained and clogged with the ink 1 as described above. It will be solved.
The cleaning liquid 2 is a liquid that can dissolve or disperse the solid content contained in the ink 1 and is compatible with the main solvent contained in the ink 1. Thereby, the inside of the head 110 can be cleaned more efficiently.
The cleaning liquid 2 is not particularly limited, but it is preferable to use a liquid containing ceramic particles and a dispersion medium for dispersing the ceramic particles.

このセラミックス粒子は、比較的硬度が高いものであり、インク1の流路に対して研磨剤として機能する。この結果、ヘッド110のノズル118付近において金属粒子が析出した場合であっても、セラミックス粒子が析出した金属粒子を速やかに削り取り、ヘッド110のノズル118出口付近に金属粒子が蓄積することが防止される。このため、洗浄液2を用いてインク1の流路を洗浄した場合、インク1の飛行曲がりや、液滴の吐出量の不安定化が防止され、液滴の吐出安定性に優れたものとなる。そして、洗浄液2を用いてインク1の流路を洗浄した場合、インク1により微細なパターンを精度よく描画でき、形成される導体パターンは、断線やショート等の不良が防止された信頼性の高いものとなる。   These ceramic particles have relatively high hardness and function as an abrasive for the flow path of the ink 1. As a result, even when metal particles are deposited in the vicinity of the nozzle 118 of the head 110, the metal particles on which the ceramic particles are deposited are quickly scraped off, and accumulation of the metal particles in the vicinity of the nozzle 118 outlet of the head 110 is prevented. The For this reason, when the flow path of the ink 1 is cleaned using the cleaning liquid 2, the flying curve of the ink 1 and the unstable discharge amount of the droplet are prevented, and the droplet discharge stability is excellent. . When the flow path of the ink 1 is cleaned using the cleaning liquid 2, a fine pattern can be accurately drawn with the ink 1, and the formed conductor pattern has high reliability in which defects such as disconnection and short circuit are prevented. It will be a thing.

[セラミックス粒子]
上述したように、洗浄液2は、セラミックス粒子を含んでいる。
また、セラミックス粒子は、後述する水系分散媒中に分散している。
セラミックス粒子として用いることのできるセラミックス材料としては、特に限定されないが、例えば、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウム、酸化ランタニウム、酸化亜鉛、酸化ガリウム、酸化インジウム、酸化チタニウム、酸化ゲルマニウム、酸化スズ、酸化チタン、酸化ジルコニウム等の金属酸化物、ホウケイ酸ガラス、ケイ酸塩、二酸化ケイ素等のガラス材料、炭化ケイ素等の炭化物、窒化ケイ素等の窒化物、蛍石等のハロゲン化物、酸化アンチモン、酸化ビスマス等または、これらの混合物等を挙げることができ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、セラミックス粒子は、上述した中でも、金属酸化物を含むことが好ましい。このような化合物は、化学的に安定であり、安定して洗浄液中で分散される。また、比較的硬度が高いため、好適に吐出口の汚れを除去し、この結果、導体パターン形成用インクの液滴の吐出安定性を特に優れたものとすることができる。
[Ceramic particles]
As described above, the cleaning liquid 2 contains ceramic particles.
The ceramic particles are dispersed in an aqueous dispersion medium to be described later.
The ceramic material that can be used as the ceramic particles is not particularly limited, and examples thereof include aluminum oxide, magnesium oxide, calcium oxide, strontium oxide, barium oxide, lanthanum oxide, zinc oxide, gallium oxide, indium oxide, titanium oxide, and oxide. Metal oxides such as germanium, tin oxide, titanium oxide and zirconium oxide, glass materials such as borosilicate glass, silicate and silicon dioxide, carbides such as silicon carbide, nitrides such as silicon nitride, halides such as fluorite , Antimony oxide, bismuth oxide and the like, or a mixture thereof, and the like can be used, and one or more of them can be used in combination.
Moreover, it is preferable that a ceramic particle contains a metal oxide among the above-mentioned. Such a compound is chemically stable and stably dispersed in the cleaning liquid. In addition, since the hardness is relatively high, dirt on the discharge port is preferably removed, and as a result, the discharge stability of the conductive pattern forming ink droplets can be made particularly excellent.

特に、金属酸化物としてセラミックス粒子が、酸化アルミニウムまたは酸化チタンを含む場合、以下のような効果が得られる。これらの化合物は、硬度が高いものであり、比較的高い洗浄性を有している。また、これらの化合物は、融点が比較的高いものであるため、洗浄液2がインク1の流路に残存した場合であっても、インク1によって形成される導体パターンにおいて導体パターンの前駆体を焼結する際には溶融せず、粒子として存在する。この結果、導体パターンの銀粒子が溶融した際に液状の銀の表面張力によって、これらのセラミックス粒子が押し出され、形成される導体パターンからセラミックス粒子が排除される。この結果、形成される導体パターンは、目的とした性能をより確実に発揮でき、信頼性の高いものとなる。また、特に、酸化アルミニウムおよび酸化チタンは、基板となるセラミックス成形体の構成材料として一般に用いられるものであり、セラミックス成形体から形成されるセラミックス基板への影響も少ないもとなる。   In particular, when the ceramic particles contain aluminum oxide or titanium oxide as the metal oxide, the following effects can be obtained. These compounds have high hardness and have relatively high detergency. In addition, since these compounds have a relatively high melting point, even when the cleaning liquid 2 remains in the flow path of the ink 1, the conductor pattern precursor is sintered in the conductor pattern formed by the ink 1. When it sets, it does not melt and exists as particles. As a result, when the silver particles of the conductor pattern are melted, these ceramic particles are pushed out by the surface tension of the liquid silver, and the ceramic particles are excluded from the formed conductor pattern. As a result, the formed conductor pattern can exhibit the intended performance more reliably and has high reliability. In particular, aluminum oxide and titanium oxide are generally used as a constituent material of a ceramic molded body to be a substrate, and have little influence on a ceramic substrate formed from the ceramic molded body.

また、セラミックス粒子は、上述した中でも、ガラス材料を含むことが好ましく、二酸化ケイ素またはケイ酸塩を含むことがより好ましい。ガラス材料は、インクの流路に付着した汚れを吸着する機能を有しており、一旦削り取られた汚れを吸着して、好適にインク1の流路を洗浄することができる。また、洗浄液2がインク1の流路に残存した場合であっても、インク1によって形成される導体パターンにおいて、このような化合物は、焼結中に少なくともその一部が溶融することにより、導体パターンと基板との密着性の向上に寄与することができ、導体パターンの信頼性をより高くすることができる。特に、二酸化ケイ素およびケイ酸塩は、基板となるセラミックス成形体の構成材料として一般に用いられるものであり、セラミックス成形体に二酸化ケイ素またはケイ酸塩が含まれる場合、セラミックス成形体から形成されるセラミックス基板への影響も少ないものとなると同時に、導体パターンとセラミックス基板との密着性がより向上し、導体パターンの信頼性がより高いものとなる。   Moreover, among the above-mentioned ceramic particles, it is preferable to include a glass material, and it is more preferable to include silicon dioxide or silicate. The glass material has a function of adsorbing dirt adhering to the ink flow path, and can adsorb the dirt once scraped off to suitably clean the ink 1 flow path. Even when the cleaning liquid 2 remains in the flow path of the ink 1, in the conductor pattern formed by the ink 1, such a compound is melted at least partially during the sintering, so that the conductor This can contribute to improvement in the adhesion between the pattern and the substrate, and can further increase the reliability of the conductor pattern. In particular, silicon dioxide and silicate are generally used as a constituent material of a ceramic molded body serving as a substrate. When the ceramic molded body contains silicon dioxide or silicate, ceramics formed from the ceramic molded body At the same time, the influence on the substrate is reduced, and at the same time, the adhesion between the conductor pattern and the ceramic substrate is further improved, and the reliability of the conductor pattern is further improved.

また、セラミックス粒子の平均粒子径は、10nm以上300nm以下であることが好ましく、20nm以上2000nm以下であることがより好ましい。これにより、インクの流路に付着した金属粒子を取り除くことができる。すなわち、セラミックス粒子の洗浄効果を特に優れたものとすることができる。この結果、洗浄後の液滴吐出装置を用いて、微細な導体パターン前駆体を容易に精度よく形成することができる。
なお、本明細書では、「平均粒径」とは、特に断りのない限り、体積基準の平均粒径のことを指すものとする。
The average particle diameter of the ceramic particles is preferably 10 nm or more and 300 nm or less, and more preferably 20 nm or more and 2000 nm or less. Thereby, the metal particles adhering to the ink flow path can be removed. That is, the cleaning effect of the ceramic particles can be made particularly excellent. As a result, a fine conductor pattern precursor can be easily and accurately formed using the cleaned droplet discharge device.
In the present specification, the “average particle size” means a volume-based average particle size unless otherwise specified.

また、洗浄液2中におけるセラミックス粒子(セラミックス粒子がコロイドとして存在する場合には、セラミックスコロイド粒子)の含有量は、1wt%以上30wt%以下であることが好ましく、3wt%以上25wt%以下であることがより好ましい。これにより、インク1の流路に金属粒子が付着することを防止できるとともに、洗浄後においてセラミックス粒子がインクの流路に残存することを防止することができる。   Further, the content of ceramic particles (ceramic colloid particles when ceramic particles are present as a colloid) in the cleaning liquid 2 is preferably 1 wt% or more and 30 wt% or less, and preferably 3 wt% or more and 25 wt% or less. Is more preferable. Thereby, it is possible to prevent the metal particles from adhering to the flow path of the ink 1 and to prevent the ceramic particles from remaining in the flow path of the ink after cleaning.

また、セラミックス粒子は、その表面に分散剤が付着したセラミックスコロイド粒子として、水系分散媒中に分散していることが好ましい。これにより、セラミックスコロイド粒子の水系分散媒への分散性が特に優れたものとなり、セラミックス粒子の洗浄性能が好適に発揮されるとともに、インクの流路にセラミックス粒子が残存しにくくなる。
また、セラミックスコロイド粒子の熱重量分析における500℃までの加熱減量は、1wt%以上25wt%以下が好ましい。これにより、セラミックスコロイド粒子の分散安定性安定性を特に優れたものとすることができ、セラミックス粒子による洗浄効果をより顕著なものとすることができる。
The ceramic particles are preferably dispersed in an aqueous dispersion medium as ceramic colloidal particles having a dispersant attached to the surface thereof. As a result, the dispersibility of the ceramic colloid particles in the aqueous dispersion medium is particularly excellent, and the cleaning performance of the ceramic particles is suitably exhibited, and the ceramic particles hardly remain in the ink flow path.
Moreover, the heating loss to 500 ° C. in the thermogravimetric analysis of the ceramic colloidal particles is preferably 1 wt% or more and 25 wt% or less. Thereby, the dispersion stability stability of the ceramic colloid particles can be made particularly excellent, and the cleaning effect by the ceramic particles can be made more remarkable.

[分散剤]
洗浄液2は、分散剤を含むことが好ましい。
分散剤は、インクの流路に付着した銀粒子をセラミックス粒子が削り取った際に、遊離した銀粒子に付着して銀コロイド粒子を形成する。このため、一旦、分散した銀粒子が再度インクの流路に付着することを防止することができ、洗浄液の洗浄効果を高めることができる。
また、分散剤は、セラミックス粒子に付着して、それぞれ、セラミックスコロイド粒子を形成する。このようなセラミックスコロイド粒子は、分散安定性に優れるため、好適に洗浄性能が発揮されるとともに、洗浄後において、インクの流路に残存しにくいものとなる。
[Dispersant]
The cleaning liquid 2 preferably contains a dispersant.
The dispersant adheres to the free silver particles to form silver colloidal particles when the ceramic particles scrape off the silver particles adhering to the ink flow path. For this reason, once dispersed silver particles can be prevented from adhering again to the ink flow path, and the cleaning effect of the cleaning liquid can be enhanced.
Moreover, a dispersing agent adheres to a ceramic particle and each forms a ceramic colloid particle. Since such ceramic colloidal particles are excellent in dispersion stability, the cleaning performance is suitably exhibited, and the ceramic colloid particles hardly remain in the ink flow path after cleaning.

分散剤としては、特に限定されないが、COOH基とOH基とを合わせて3個以上有し、かつ、COOH基の数がOH基と同じか、それよりも多いヒドロキシ酸またはその塩を含むことが好ましい。これらの分散剤は、銀粒子やセラミックス粒子の表面に吸着してコロイド粒子を形成し、分散剤中に存在するCOOH基の電気的反発力によって銀コロイド粒子やセラミックスコロイド粒子を水溶液中に均一に分散させてコロイド液を安定化する働きを有する。これにより、セラミックス粒子の洗浄効果が十分に発揮されるとともに、一旦遊離した銀等の汚れがインクの流路に再付着しにくいものとなる。これに対して、分散剤中のCOOH基とOH基の数が3個未満であったり、COOH基の数がOH基の数よりも少なかったりすると、銀コロイド粒子やセラミックスコロイド粒子の分散性が十分に得られない場合がある。
このような分散剤としては、例えば、クエン酸、りんご酸、クエン酸三ナトリウム、クエン酸三カリウム、クエン酸三リチウム、クエン酸三アンモニウム、りんご酸二ナトリウム、タンニン酸、ガロタンニン酸、五倍子タンニン等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
Although it does not specifically limit as a dispersing agent, it has 3 or more of COOH groups and OH groups, and the number of COOH groups is the same as that of OH groups, or contains hydroxy acid or its salt more than it. Is preferred. These dispersants adsorb on the surface of silver particles and ceramic particles to form colloidal particles, and silver colloid particles and ceramic colloid particles are uniformly dispersed in an aqueous solution by the electric repulsive force of COOH groups present in the dispersant. Disperses and stabilizes the colloidal liquid. As a result, the cleaning effect of the ceramic particles is sufficiently exhibited, and dirt such as silver once released is hardly reattached to the ink flow path. On the other hand, if the number of COOH groups and OH groups in the dispersant is less than 3 or the number of COOH groups is less than the number of OH groups, the dispersibility of the silver colloid particles and ceramic colloid particles is reduced. You may not get enough.
Examples of such a dispersing agent include citric acid, malic acid, trisodium citrate, tripotassium citrate, trilithium citrate, triammonium citrate, disodium malate, tannic acid, gallotannic acid, and pentaploid tannin. Of these, one or a combination of two or more can be used.

また、分散剤は、COOH基とSH基とを合わせて2個以上有するメルカプト酸またはその塩を含んでいてもよい。これらの分散剤は、メルカプト基が銀粒子やセラミックス粒子の表面に吸着してコロイド粒子を形成し、分散剤中に存在するCOOH基の電気的反発力によってコロイド粒子を水溶液中に均一に分散させてコロイド液を安定化する働きを有する。これにより、上述したような、ヒドロキシ酸またはその塩と同様の効果を得ることができる。これに対して、分散剤中のCOOH基とSH基の数が2個未満すなわち片方のみであると、銀コロイド粒子やセラミックスコロイド粒子の分散性が十分に得られない場合がある。   Further, the dispersant may contain mercapto acid or a salt thereof having two or more COOH groups and SH groups. In these dispersants, mercapto groups are adsorbed on the surfaces of silver particles and ceramic particles to form colloidal particles, and the colloidal particles are uniformly dispersed in an aqueous solution by the electric repulsive force of COOH groups present in the dispersant. Has the function of stabilizing the colloidal liquid. Thereby, the same effect as the hydroxy acid or the salt thereof as described above can be obtained. On the other hand, when the number of COOH groups and SH groups in the dispersant is less than 2, that is, only one, the dispersibility of the silver colloid particles and ceramic colloid particles may not be sufficiently obtained.

このような分散剤としては、例えば、メルカプト酢酸、メルカプトプロピオン酸、チオジプロピオン酸、メルカプトコハク酸、チオ酢酸、メルカプト酢酸ナトリウム、メルカプトプロピオン酸ナトリウム、チオジプロピオン酸ナトリウム、メルカプトコハク酸二ナトリウム、メルカプト酢酸カリウム、メルカプトプロピオン酸カリウム、チオジプロピオン酸カリウム、メルカプトコハク酸二カリウム等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of such dispersants include mercaptoacetic acid, mercaptopropionic acid, thiodipropionic acid, mercaptosuccinic acid, thioacetic acid, sodium mercaptoacetate, sodium mercaptopropionate, sodium thiodipropionate, disodium mercaptosuccinate, Examples include potassium mercaptoacetate, potassium mercaptopropionate, potassium thiodipropionate, dipotassium mercaptosuccinate, and the like, and one or more of these can be used in combination.

洗浄液2中に含まれる分散剤は、インク1中に含まれる分散剤を構成する成分の少なくとも一部を含むことが好ましく、インク1中に含まれる分散剤と組成がほぼ同一であることがより好ましい。析出した付着物は、インク1の元の分散剤が付着していると考えられるため、セラミックス粒子によって遊離した付着物に、さらに、インク1に含まれる分散剤と同一の洗浄液中にある分散剤が付着することにより、容易に遊離した付着物がコロイド粒子として洗浄液中に分散することができる。このため、洗浄液は、より洗浄性に優れたものとなる。また、洗浄後において、インク1の流路中の洗浄液2とインク1との置換を素早く行うことができる。   The dispersant contained in the cleaning liquid 2 preferably includes at least a part of the components constituting the dispersant contained in the ink 1, and more preferably has the same composition as the dispersant contained in the ink 1. preferable. Since the deposited deposit is considered to be attached to the original dispersant of the ink 1, the deposit in the same cleaning liquid as the dispersant contained in the ink 1 is further added to the deposit released by the ceramic particles. As a result of adhering, adhering substances that have been liberated easily can be dispersed as colloidal particles in the cleaning liquid. For this reason, the cleaning liquid is more excellent in cleaning properties. Further, after cleaning, the cleaning liquid 2 in the flow path of the ink 1 and the ink 1 can be quickly replaced.

洗浄液2中における分散剤の含有量は、特に限定されないが、0.1wt%以上20wt%以下であることが好ましく、0.3wt%以上10wt%以下であることがより好ましい。これにより、上述したようなセラミックス粒子や銀粒子の分散効果を顕著に発揮できるとともに、分散剤が多すぎて、洗浄後において分散剤が残存し、洗浄液2とインク1との置換に時間がかかることを防止することができる。   The content of the dispersant in the cleaning liquid 2 is not particularly limited, but is preferably 0.1 wt% or more and 20 wt% or less, and more preferably 0.3 wt% or more and 10 wt% or less. Thereby, the dispersion effect of the ceramic particles and silver particles as described above can be remarkably exhibited, and there are too many dispersants, so that the dispersant remains after cleaning, and it takes time to replace the cleaning liquid 2 with the ink 1. This can be prevented.

[水系分散媒]
次に、水系分散媒について説明する。
本発明において、「水系分散媒」とは、水および/または水との相溶性に優れる液体(例えば、25℃における水100gに対する溶解度が30g以上の液体)で構成されたもののことを指す。このように、水系分散媒は、水および/または水との相溶性に優れる液体で構成されたものであるが、主として水で構成されたものであるのが好ましく、特に、水の含有率が70wt%以上のものであるのが好ましく、90wt%以上のものであるのがより好ましい。
また、洗浄液2中に含まれる水系分散媒は、インク1を構成する水系分散媒とほぼ同じ組成のものであるのが好ましい。これより、インク1との置換性が特に優れたものとなり、残存したインク1と素早く混合、置換することができる。
[Aqueous dispersion medium]
Next, the aqueous dispersion medium will be described.
In the present invention, the “aqueous dispersion medium” refers to a liquid composed of water and / or a liquid having excellent compatibility with water (for example, a liquid having a solubility in 100 g of water at 25 ° C. of 30 g or more). As described above, the aqueous dispersion medium is composed of water and / or a liquid having excellent compatibility with water, but is preferably composed mainly of water. It is preferably 70 wt% or more, more preferably 90 wt% or more.
Further, the aqueous dispersion medium contained in the cleaning liquid 2 preferably has substantially the same composition as the aqueous dispersion medium constituting the ink 1. As a result, the replaceability with the ink 1 is particularly excellent, and the remaining ink 1 can be quickly mixed and replaced.

水系分散媒の具体例としては、例えば、水、メタノール、エタノール、ブタノール、プロパノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロパンジオール等のアルコール系溶媒、1,4−ジオキサン、テトラヒドロフラン(THF)等のエーテル系溶媒、ピリジン、ピラジン、ピロール等の芳香族複素環化合物系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N−ジメチルアセトアミド(DMA)等のアミド系溶媒、アセトニトリル等のニトリル系溶媒、アセトアルデヒド等のアルデヒド系溶媒等が挙げられ、これらのうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、洗浄液2中における水系分散媒の含有量は、95〜65wt%であることが好ましく、85〜75wt%であることがより好ましい。これにより、洗浄液2の粘度を好適なものとすることができ、洗浄液としての特性をより高いものとすることができる。
Specific examples of the aqueous dispersion medium include, for example, water, methanol, ethanol, butanol, propanol, isopropanol, ethylene glycol, an alcohol solvent such as propanediol, an ether solvent such as 1,4-dioxane, tetrahydrofuran (THF), Aromatic heterocyclic compound solvents such as pyridine, pyrazine and pyrrole, amide solvents such as N, N-dimethylformamide (DMF) and N, N-dimethylacetamide (DMA), nitrile solvents such as acetonitrile, acetaldehyde and the like Examples of the solvent include aldehyde solvents, and one or more of these can be used in combination.
In addition, the content of the aqueous dispersion medium in the cleaning liquid 2 is preferably 95 to 65 wt%, and more preferably 85 to 75 wt%. Thereby, the viscosity of the cleaning liquid 2 can be made suitable, and the characteristics as the cleaning liquid can be made higher.

[乾燥抑制剤]
また、洗浄液2は、乾燥抑制剤を含むことが好ましい。乾燥抑制剤は、洗浄後にインク流路が乾燥するのを防止する機能を有している。これにより、洗浄後にインク1を再充填する際に、気泡の混入を防止することができ、また、インク1の再充填を容易に行うことができる。
[Drying inhibitor]
Moreover, it is preferable that the washing | cleaning liquid 2 contains a drying inhibitor. The drying inhibitor has a function of preventing the ink flow path from being dried after washing. Thereby, when the ink 1 is refilled after the cleaning, mixing of bubbles can be prevented, and the ink 1 can be easily refilled.

このような乾燥抑制剤としては、下記式(II)で示される化合物、糖アルコール、アルカノールアミン等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの化合物は、上述したように水系分散媒の揮発を防止する機能を有するとともに、水酸基やカルボニル基等の極性基を多く有し、このため、金属酸化物がこれらに包み込まれるようにして洗浄液中に安定して分散する。このため、インク1がセラミックス粒子として金属酸化物を含み、かつ、上記の化合物を含む場合、洗浄液2中におけるセラミックス粒子の分散安定性は特に優れたものとなり、洗浄液2の洗浄性が特に優れたものとなる。   Examples of such a drying inhibitor include compounds represented by the following formula (II), sugar alcohols, alkanolamines, and the like, and one or more of them can be used in combination. These compounds have a function of preventing volatilization of the aqueous dispersion medium as described above, and also have a large number of polar groups such as hydroxyl groups and carbonyl groups. Disperses stably in. For this reason, when the ink 1 contains a metal oxide as ceramic particles and contains the above compound, the dispersion stability of the ceramic particles in the cleaning liquid 2 is particularly excellent, and the cleaning properties of the cleaning liquid 2 are particularly excellent. It will be a thing.

Figure 2012135746
(ただし、R、R’は、それぞれ、Hまたはアルキル基である。)
Figure 2012135746
(However, R and R ′ are each H or an alkyl group.)

上記式(II)で表される化合物は、水素結合性の高い成分である。このため、水との親和性が高く、適度な水分を保持することができ、インクの流路における水系分散媒の不本意な揮発を防止することができる。
上述したように、本発明で用いる上記式(II)で表される化合物中における、R、R’は、それぞれ、水素またはアルキル基であるが、R、R’は、ともに水素であるのが好ましい。すなわち、尿素であるのが好ましい。これにより、上述したような保湿性を特に高いものとすることができる。また、セラミックス粒子が上述したようなコロイド粒子として存在する場合に、特に優れた分散安定性を示すものとなり、洗浄液2の洗浄性が特に優れたものとなる。
The compound represented by the above formula (II) is a component having a high hydrogen bonding property. For this reason, it has a high affinity with water, can retain an appropriate amount of water, and can prevent unintentional volatilization of the aqueous dispersion medium in the ink flow path.
As described above, in the compound represented by the above formula (II) used in the present invention, R and R ′ are each hydrogen or an alkyl group, but R and R ′ are both hydrogen. preferable. That is, urea is preferable. Thereby, the moisture retention as described above can be made particularly high. Further, when the ceramic particles are present as colloidal particles as described above, the dispersion stability is particularly excellent, and the cleaning property of the cleaning liquid 2 is particularly excellent.

アルカノールアミンは、保湿性の高い成分であるとともに、金属粒子やセラミックス粒子が前述したようなコロイド粒子である場合に、コロイド粒子表面の分散剤の官能基を活性化させることができ、セラミックス粒子の分散安定性をより高いものとすることができる。
アルカノールアミンとしては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノプロパノールアミン、ジプロパノールアミン、トリプロパノールアミン等各種のものを挙げることができる。
Alkanolamine is a highly moisturizing component, and when the metal particles and ceramic particles are colloidal particles as described above, the functional group of the dispersant on the surface of the colloidal particles can be activated. Dispersion stability can be made higher.
Examples of the alkanolamine include monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, monopropanolamine, dipropanolamine, and tripropanolamine.

また、アルカノールアミンは、第3級アミンであるのが好ましい。第3級アミンは、アルカノールアミンの中でも、特に保湿性が高く、上記効果をより顕著なものとすることができる。
また、第3級アミンの中でも、取り扱いやすさや、保湿性の高さ等の観点から、特に、トリエタノールアミンを用いるのが好ましい。
The alkanolamine is preferably a tertiary amine. Tertiary amines have particularly high moisture retention among alkanolamines, and can make the above effects more remarkable.
Among tertiary amines, it is particularly preferable to use triethanolamine from the viewpoints of ease of handling, high moisture retention, and the like.

糖アルコールは、糖類のアルデヒド基およびケトン基を還元して得られるものである。
また、糖アルコールは、高い保湿性を有する化合物である。
糖アルコールとしては、例えば、トレイトール、エリスリトール、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、アラビトール、リビトール、キシリトール、ソルビトール、マンニトール、スレイトール、グリトール、タリトール、ガラクチトール、アリトール、アルトリトール、ドルシトール、イディトール、グリセリン(グリセロール)、イノシトール、マルチトール、イソマルチトール、ラクチトール、ツラニトール等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
Sugar alcohol is obtained by reducing aldehyde groups and ketone groups of sugars.
Sugar alcohol is a compound having high moisture retention.
Examples of sugar alcohols include threitol, erythritol, pentaerythritol, dipentaerythritol, tripentaerythritol, arabitol, ribitol, xylitol, sorbitol, mannitol, threitol, glycol, tallitol, galactitol, allitol, altritol, dolitol, iditol. Glycerin (glycerol), inositol, maltitol, isomaltitol, lactitol, tranitol and the like, and one or more of these can be used in combination.

また、インク1に乾燥抑制剤が含まれている場合、洗浄液2に含まれる乾燥抑制剤としては、インク1中に含まれる分散剤を構成する成分の少なくとも一部を含むものであるが好ましい。これにより、洗浄後において、インクの流路中の洗浄液2とインク1との置換を素早く行うことができる。
上述したような乾燥抑制剤の洗浄液中における含有量は、3wt%以上20wt%以下であるのが好ましく、5wt%以上15wt%以下であるのがより好ましい。これにより、インクの流路における水系分散媒の不本意な揮発をより効果的に防止することができる。
In addition, when the drying inhibitor is contained in the ink 1, the drying inhibitor contained in the cleaning liquid 2 preferably includes at least a part of the components constituting the dispersant contained in the ink 1. Thereby, the cleaning liquid 2 and the ink 1 in the ink flow path can be quickly replaced after the cleaning.
The content of the drying inhibitor as described above in the cleaning liquid is preferably 3 wt% or more and 20 wt% or less, and more preferably 5 wt% or more and 15 wt% or less. Thereby, the unintentional volatilization of the aqueous dispersion medium in the ink flow path can be more effectively prevented.

[その他の成分]
洗浄液は、その他の成分を含むものであってもよい。
このような成分としては、例えば、インク1に用いる成分が挙げられ、具体的には、表面張力調整剤、有機バインダー、エチレングリコール、1,3−プロパンジオール、1,3−ブチレングリコール、プロピレングリコール等の多価アルコール、チオ尿素等が挙げられる。
上述したような洗浄液2は、インク1より25℃での表面張力が低いものであることが好ましい。これにより、洗浄時において、液滴吐出装置100の洗浄部位に好適に洗浄液2が濡れ広がることができる。このため、洗浄後における洗浄部位に残存する汚れが特に少ないものとなる。
[Other ingredients]
The cleaning liquid may contain other components.
Examples of such components include those used in ink 1, and specifically include surface tension adjusting agents, organic binders, ethylene glycol, 1,3-propanediol, 1,3-butylene glycol, propylene glycol. And polyhydric alcohols such as thiourea.
The cleaning liquid 2 as described above preferably has a lower surface tension at 25 ° C. than the ink 1. Thereby, at the time of washing | cleaning, the washing | cleaning liquid 2 can spread suitably in the washing | cleaning site | part of the droplet discharge apparatus 100. For this reason, the amount of dirt remaining on the cleaned portion after cleaning is particularly small.

25℃における洗浄液2の表面張力は、特に限定されないが、例えば、15〜45dyn/cmであるのが好ましく、20〜40dyn/cmであるのがより好ましい。これにより、洗浄時において、液滴吐出装置100の洗浄部位に好適に洗浄液2が濡れ広がることができ、洗浄液2の洗浄性を優れたものとすることができる。また、洗浄液2が微量に残存した場合であっても、インク1の表面張力への影響を極めて少ないものとすることができる。なお、本明細書において、表面張力は、JIS K 3362に準拠して測定される値を採用することができる。   The surface tension of the cleaning liquid 2 at 25 ° C. is not particularly limited, but is preferably, for example, 15 to 45 dyn / cm, and more preferably 20 to 40 dyn / cm. Thereby, at the time of washing | cleaning, the washing | cleaning liquid 2 can spread suitably in the washing | cleaning site | part of the droplet discharge apparatus 100, and it can make the washing | cleaning property of the washing | cleaning liquid 2 excellent. Even if the cleaning liquid 2 remains in a very small amount, the influence on the surface tension of the ink 1 can be made extremely small. In addition, in this specification, the value measured based on JISK3362 can be employ | adopted for surface tension.

洗浄液2は、インク1より25℃における粘度が低いものであることが好ましい。これにより、洗浄時において、液滴吐出装置100の洗浄部位に好適に洗浄液2が濡れ広がることができる。また、洗浄時において、洗浄液2は、インクの流路内での流速を早いものとすることができる。このため、洗浄後における洗浄部位に残存する汚れが特に少ないものとなる。   The cleaning liquid 2 preferably has a lower viscosity at 25 ° C. than the ink 1. Thereby, at the time of washing | cleaning, the washing | cleaning liquid 2 can spread suitably in the washing | cleaning site | part of the droplet discharge apparatus 100. Further, at the time of cleaning, the cleaning liquid 2 can increase the flow velocity in the ink flow path. For this reason, the amount of dirt remaining on the cleaned portion after cleaning is particularly small.

25℃における洗浄液2の粘度は、特に限定されないが、例えば、20mPa・s以下であるのが好ましく、10mPa・s以下であるのがより好ましい。これにより、洗浄時において、液滴吐出装置100の洗浄部位に好適に洗浄液が濡れ広がることができ、洗浄液2の洗浄性を優れたものとすることができる。また、洗浄液2が微量に残存した場合であっても、後述するインク1の粘度への影響を極めて少ないものとすることができる。なお、本明細書において、粘度の値としては、振動式粘度計を用いて25℃で測定して求められる値を採用することができ、特に、JIS Z8809に準拠して25℃で測定して求められる値を採用することができる。   The viscosity of the cleaning liquid 2 at 25 ° C. is not particularly limited. For example, it is preferably 20 mPa · s or less, and more preferably 10 mPa · s or less. Thereby, at the time of washing | cleaning, a washing | cleaning liquid can spread suitably on the washing | cleaning site | part of the droplet discharge apparatus 100, and it can make the washing | cleaning property of the washing | cleaning liquid 2 excellent. Further, even if the cleaning liquid 2 remains in a very small amount, the influence on the viscosity of the ink 1 described later can be made extremely small. In the present specification, as the value of the viscosity, a value obtained by measurement at 25 ° C. using a vibration viscometer can be adopted, and in particular, the viscosity is measured at 25 ° C. in accordance with JIS Z8809. The required value can be adopted.

以上、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮する任意のものと置換、または、その他の構成を追加することもできる。また、前述した実施形態では、液滴吐出装置から吐出される液状材料(インク)を導体パターン形成用インクとした構成について説明したが、液状材料としては、これに限定されず、例えば、カラーフィルターを形成するためのカラーフィルター形成用インクであってもよいし、画像を形成するための印刷用インクであってもよい。
As mentioned above, although this invention was demonstrated based on suitable embodiment, this invention is not limited to these.
For example, each part constituting the droplet discharge device can be replaced with any one that exhibits the same function, or other configurations can be added. In the above-described embodiment, the liquid material (ink) discharged from the droplet discharge device is described as the conductive pattern forming ink. However, the liquid material is not limited to this, and for example, a color filter It may be a color filter forming ink for forming an image or a printing ink for forming an image.

1…インク 2…洗浄液 11…基板 100…インクジェット装置(液滴吐出装置) 110…インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド、ヘッド) 111…ヘッド本体 112…振動板 113…ピエゾ素子 114…本体 115…ノズルプレート 115P…インク吐出面 116…リザーバー 117…インク室 118…ノズル 118a‥‥非吐出ノズル 130…ベース 140…テーブル 150…インク貯留槽 151…インク搬送路 152…開閉弁 153…自己封止弁 170…テーブル位置決め手段 171…第1移動手段 172…モーター 180…ヘッド位置決め手段 181…第2移動手段 182…リニアモーター 183、184、185…モーター 190…制御装置 191…駆動回路 200…洗浄機構 201…吸引媒体搬送路 202…洗浄液搬送路 203、204…分岐部 205…連絡路 210…洗浄ヘッド 211‥‥外管 212‥‥内管 213、215‥‥流路 214‥‥吸引口 216‥‥送出口 220…吸引ポンプ 230…回収タンク 240…洗浄液貯留槽 241、242‥‥管体 250…加圧ポンプ 260…フィルター 290‥‥移動手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ink 2 ... Cleaning liquid 11 ... Board | substrate 100 ... Inkjet apparatus (droplet discharge apparatus) 110 ... Inkjet head (droplet discharge head, head) 111 ... Head main body 112 ... Vibration plate 113 ... Piezo element 114 ... Main body 115 ... Nozzle plate 115P ... Ink Ejecting Surface 116 ... Reservoir 117 ... Ink Chamber 118 ... Nozzle 118a ... Non-Ejecting Nozzle 130 ... Base 140 ... Table 150 ... Ink Reservoir 151 ... Ink Transport Path 152 ... Open / Close Valve 153 ... Self-Sealing Valve 170 ... Table Positioning means 171 ... first moving means 172 ... motor 180 ... head positioning means 181 ... second moving means 182 ... linear motors 183, 184, 185 ... motor 190 ... control device 191 ... drive circuit 200 ... cleaning mechanism 201 Suction medium transport path 202 ... Cleaning liquid transport path 203, 204 ... Branch 205 ... Communication path 210 ... Cleaning head 211 ... Outer pipe 212 ... Inner pipe 213, 215 ... Flow path 214 ... Suction port 216 ... Outlet 220 ... Suction pump 230 ... Recovery tank 240 ... Cleaning liquid storage tank 241,242 ... Tube 250 ... Pressure pump 260 ... Filter 290 ... Moving means

Claims (11)

液状材料を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽から送液された前記液状材料を吐出する複数のノズルを備えた液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドの洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記液滴吐出ヘッドに対して相対的に接離自在に設けられた洗浄ヘッドと、
前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させつつ、前記洗浄ヘッドと前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動手段とを有し、
前記洗浄ヘッドは、前記液滴吐出ヘッドと接触した状態にて、前記複数のノズルのうちの一部のノズルを覆う第1の開口と、前記第1の開口で覆われていない前記ノズルのうちの一部のノズルまたは全部のノズルを覆う第2の開口とを有し、
前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させた状態にて、前記移動手段によって前記洗浄ヘッドと前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ、前記第1の開口から該第1の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内に前記洗浄液貯留槽から送液された前記洗浄液を供給するとともに、前記第2の開口から該第2の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内の前記洗浄液を吸引するよう構成されていることを特徴とする液滴吐出装置。
A storage tank for storing a liquid material;
A droplet discharge head comprising a plurality of nozzles for discharging the liquid material sent from the storage tank;
A cleaning liquid storage tank for storing a cleaning liquid used for cleaning the droplet discharge head;
A cleaning head provided so as to be relatively close to and away from the droplet discharge head;
Moving means for relatively moving the cleaning head and the droplet discharge head while bringing the cleaning head into contact with the droplet discharge head;
The cleaning head is in contact with the droplet discharge head, the first opening covering a part of the plurality of nozzles, and the nozzle not covered by the first opening And a second opening that covers all or some of the nozzles,
While the cleaning head is in contact with the droplet discharge head, the moving head relatively moves the cleaning head and the droplet discharge head while the first opening opens. The cleaning liquid fed from the cleaning liquid storage tank is supplied into the droplet discharge head through the nozzle covered by the opening, and the second opening covers the second opening. A droplet discharge device configured to suck the cleaning liquid in the droplet discharge head through a nozzle.
前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させた状態で、前記第1の開口から該第1の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内に前記洗浄液を供給するとともに、前記第2の開口から該第2の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内の前記洗浄液を吸引する第1の状態と、前記第2の開口から該第2の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内に前記洗浄液を供給するとともに、前記第1の開口から該第1の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内の前記洗浄液を吸引する第2の状態とを交互に行うよう構成されている請求項1に記載の液滴吐出装置。   With the cleaning head in contact with the droplet discharge head, the cleaning liquid is supplied from the first opening into the droplet discharge head through the nozzle covered by the first opening. And a first state in which the cleaning liquid in the droplet discharge head is sucked from the second opening via the nozzle covered by the second opening, and the second state from the second opening. The cleaning liquid is supplied into the droplet discharge head through the nozzle covered by the opening, and the droplet discharge head is supplied from the first opening through the nozzle covered by the first opening. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the second state of sucking the cleaning liquid is alternately performed. 前記洗浄ヘッドは、外管と、該外管の内側に設けられた内管とを有し、前記内管の内側に形成された流路の一端および前記外管と前記内管の間に形成された流路の一端の一方が前記第1の開口を構成し、他方が前記第2の開口を構成する請求項1または2に記載の液滴吐出装置。   The cleaning head has an outer tube and an inner tube provided inside the outer tube, and is formed between one end of a flow path formed inside the inner tube and between the outer tube and the inner tube. 3. The droplet discharge device according to claim 1, wherein one end of the flow path configured as the first opening constitutes the first opening and the other constitutes the second opening. 前記第1の開口は、前記第2の開口よりも、前記洗浄ヘッドの前記液滴吐出ヘッドとの相対的移動方向前方側に位置している請求項1または2に記載の液滴吐出装置。   3. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the first opening is located on the front side in the relative movement direction of the cleaning head with respect to the droplet discharge head relative to the second opening. 前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させた状態にて、前記第1の開口で覆われる前記ノズルの数をXとし、前記第2の開口で覆われる前記ノズルの数をYとしたとき、X/Yは、0.8以上、1.2以下である請求項1ないし4のいずれかに記載の液滴吐出装置。   In a state where the cleaning head is in contact with the droplet discharge head, the number of the nozzles covered by the first opening is X, and the number of the nozzles covered by the second opening is Y. 5. The droplet discharge device according to claim 1, wherein X / Y is 0.8 or more and 1.2 or less. 前記第2の開口から吸引した洗浄液に含まれる前記液状材料を除去するフィルターを有し、前記フィルターによって前記液状材料が除去された前記洗浄液を前記洗浄ヘッドから前記液滴吐出ヘッド内に送出する請求項1ないし5のいずれかに記載の液滴吐出装置。   A filter for removing the liquid material contained in the cleaning liquid sucked from the second opening, and the cleaning liquid from which the liquid material has been removed by the filter is sent from the cleaning head into the droplet discharge head. Item 6. A droplet discharge device according to any one of Items 1 to 5. 前記洗浄液が前記液滴吐出ヘッド内に供給されている状態で、前記貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへの前記液状材料の送液を阻止するバルブを有している請求項1ないし6のいずれかに記載の液滴吐出装置。   7. The valve according to claim 1, further comprising a valve that prevents the liquid material from being fed from the storage tank to the droplet discharge head in a state where the cleaning liquid is supplied into the droplet discharge head. A droplet discharge device according to claim 1. 前記洗浄液は、前記液状材料に含まれる固形分を溶解または分散可能であり、かつ、前記液状材料に含まれる主溶媒と相溶性を有する液体である請求項1ないし7のいずれかに記載の液滴吐出装置。   The liquid according to any one of claims 1 to 7, wherein the cleaning liquid is a liquid that can dissolve or disperse a solid content contained in the liquid material and is compatible with a main solvent contained in the liquid material. Drop ejection device. 前記洗浄液は、前記液状材料の前記主溶媒を主成分としている請求項8に記載の液滴吐出装置。   The droplet discharge apparatus according to claim 8, wherein the cleaning liquid contains the main solvent of the liquid material as a main component. 前記液状材料は、金属粒子を分散媒に分散したものである請求項1ないし9のいずれかに記載の液滴吐出装置。   The liquid droplet ejection apparatus according to claim 1, wherein the liquid material is obtained by dispersing metal particles in a dispersion medium. 液状材料を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽から送液された前記液状材料を吐出する複数のノズルを備えた液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドの洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記液滴吐出ヘッドに対して相対的に接離自在に設けられた洗浄ヘッドと、
前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させつつ、前記洗浄ヘッドと前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動手段とを有し、
前記洗浄ヘッドは、前記液滴吐出ヘッドと接触した状態にて、前記複数のノズルのうちの一部のノズルを覆う第1の開口と、前記第1の開口で覆われていない前記ノズルのうちの一部のノズルまたは全部のノズルを覆う第2の開口とを有し、
前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させた状態にて、前記移動手段によって前記洗浄ヘッドと前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ、前記第1の開口から該第1の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内に前記洗浄液貯留槽から送液された前記洗浄液を供給するとともに、前記第2の開口から該第2の開口に覆われた前記ノズルを介して前記液滴吐出ヘッド内の前記洗浄液を吸引することを特徴とする液滴吐出装置の洗浄方法。
A storage tank for storing a liquid material;
A droplet discharge head comprising a plurality of nozzles for discharging the liquid material sent from the storage tank;
A cleaning liquid storage tank for storing a cleaning liquid used for cleaning the droplet discharge head;
A cleaning head provided so as to be relatively close to and away from the droplet discharge head;
Moving means for relatively moving the cleaning head and the droplet discharge head while bringing the cleaning head into contact with the droplet discharge head;
The cleaning head is in contact with the droplet discharge head, the first opening covering a part of the plurality of nozzles, and the nozzle not covered by the first opening And a second opening that covers all or some of the nozzles,
While the cleaning head is in contact with the droplet discharge head, the moving head relatively moves the cleaning head and the droplet discharge head while the first opening opens. The cleaning liquid fed from the cleaning liquid storage tank is supplied into the droplet discharge head through the nozzle covered by the opening, and the second opening covers the second opening. A cleaning method for a droplet discharge device, wherein the cleaning liquid in the droplet discharge head is sucked through a nozzle.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2023013448A1 (en) * 2021-08-03 2023-02-09 株式会社ダイセル Inkjet head cleaning solution

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