JP2012112752A

JP2012112752A - Leakage amount standard instrument

Info

Publication number: JP2012112752A
Application number: JP2010260990A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Hojo; 勤北條; Yasunori Tabata; 泰典太幡
Original assignee: Fukuda Co Ltd
Current assignee: Fukuda Co Ltd
Priority date: 2010-11-24
Filing date: 2010-11-24
Publication date: 2012-06-14
Anticipated expiration: 2030-11-24
Also published as: JP5702992B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a capillary part having a capillary path of a minute inner diameter capable of being manufactured with ease at low cost in a leakage amount standard instrument that generates a leak of a constant flow rate from the gas pressure path of a leak tester.SOLUTION: The connection part 21a of a leak amount standard instrument 20 is connected with the gas pressure path 10 of a leak tester 1. The connection part 21a is linked with one end of a leakage tube 30 and the other end of the leakage tube 30 is opened. A capillary part 32 of the leakage tube 30 is made to be a flat shape which is flattened in one radial direction. A capillary path 32a is formed at both ends in a width direction orthogonal to the one radial direction of the capillary part 32. The space between wall parts 32b facing each other at the center part of the capillary part 32 in the width direction is made to be narrower than the capillary path 32a or blocked.

Description

この発明は、リークテスタの校正、保守点検、ワークの容積測定等を行う際に一定の流量のリークを発生させるリーク量標準器に関する。 The present invention relates to a leak amount standard device that generates a leak at a constant flow rate when performing leak tester calibration, maintenance inspection, workpiece volume measurement, and the like.

密封性を要求される製品の密封性を検査する装置としてリークテスタが知られている。リークテスタは、ワークにガス圧を導入するガス圧路と、上記ガス圧路に設けられた圧力センサとを備えている。ワークが不良である場合、不良箇所からガスが漏れ、上記ガス圧路の圧力が変動する。この圧力変動を圧力センサにて検出することで、ワークの良否判定を行うことができる。 A leak tester is known as an apparatus for inspecting the sealability of a product requiring sealability. The leak tester includes a gas pressure path for introducing a gas pressure into the workpiece, and a pressure sensor provided in the gas pressure path. When the work is defective, gas leaks from the defective portion, and the pressure in the gas pressure path fluctuates. By detecting this pressure fluctuation with a pressure sensor, it is possible to determine whether the workpiece is good or bad.

上記圧力センサを診断したり、ワークの容積を測定したりする際は、リークテスタにリーク量標準器を接続する（特許文献１等参照）。リーク量標準器にはリーク管が設けられている。リーク管は、毛細管（キャピラリチューブ）状のキャピラリ部を有している。例えば、特許文献１では、ガラス管の一部を加熱して延伸することで細径化し、上記キャピラリ部としている。上記ガス圧路にガス圧を印加すると、上記リーク管から上記ガス圧に応じた流量の微小なリークが発生し、圧力センサにて圧変化が検出される。この圧変化に基づいて、圧力センサの診断、ワークの容積測定等を行うことができる。 When diagnosing the pressure sensor or measuring the volume of the workpiece, a leak amount standard is connected to the leak tester (see Patent Document 1). The leak quantity standard device is provided with a leak pipe. The leak tube has a capillary section in the form of a capillary tube. For example, in Patent Document 1, a part of a glass tube is heated and stretched to reduce the diameter, thereby forming the capillary part. When a gas pressure is applied to the gas pressure path, a minute leak with a flow rate corresponding to the gas pressure is generated from the leak pipe, and a pressure change is detected by a pressure sensor. Based on this pressure change, diagnosis of the pressure sensor, measurement of the volume of the workpiece, and the like can be performed.

リーク管が円形断面である場合、該リーク管を流れる流体が非圧縮性流体であるかまたは非圧縮性流体と看做せるとき、流れを層流とすると、リーク量は次式（１）で表わされる。

ここで、
Ｑｗ：流量（リーク量）
ΔＰ：キャピラリ部の入口と出口間の圧力差
ｒ：キャピラリ部の内半径
μ：流体の粘性係数
Ｌ：キャピラリ部の長さ
リーク管を流れる流体が圧縮性流体であるときは、リーク量は次式（２）で表わされる。

ここで、
Ｑｎ：圧力Ｐ_２での圧縮性流体の体積流量
Ｐ_１：一次側圧力
Ｐ_２：二次側圧力
通常、リークテストでは圧力を大気圧換算し、リークの単位を［圧力×体積／時間］で表わす。代表的なリーク量の単位は、Ｐａ・ｍ^３／ｓｅｃである。 When the leak pipe has a circular cross section, if the fluid flowing through the leak pipe is an incompressible fluid or can be regarded as an incompressible fluid, and the flow is assumed to be laminar, the amount of leak is expressed by the following equation (1). Represented.

here,
Qw: Flow rate (leakage)
ΔP: Pressure difference between the inlet and outlet of the capillary part r: Inner radius of the capillary part μ: Fluid viscosity coefficient L: Length of the capillary part When the fluid flowing through the leak pipe is a compressible fluid, the amount of leak is It is represented by Formula (2).

here,
Qn: Volume flow rate of compressive fluid at pressure P ₂ P ₁ : Primary pressure P ₂ : Secondary pressure Normally, in a leak test, the pressure is converted to atmospheric pressure, and the unit of leak is [pressure x volume / hour] Represent. A typical unit of the leak amount is Pa · m ³ / sec.

特開平０９−０７２８１７号公報JP 09-072817 A

式（１）から分かるように、リーク量はキャピラリ部の内径の４乗に比例し、キャピラリ部の長さの１乗に反比例するから、キャピラリ部の長さを長くするよりキャピラリ部の内径を小さくしたほうが、リーク量をより小さくできる。一般的なリーク量標準器において、例えば１０^−４Ｐａ・ｍ^３／ｓｅｃ程度のリーク量を得るためのキャピラリ部の内径は、１０μｍ程度である。これほど細い内径の管は、製造が容易でなく一般に高価である。
本発明は、微小なリーク量を発現できるリーク量標準器を簡易に製造できるようにし、製品コストを安価にすることを目的とする。 As can be seen from the equation (1), the amount of leakage is proportional to the fourth power of the inner diameter of the capillary section and inversely proportional to the first power of the length of the capillary section. The smaller the amount, the smaller the leak amount. In a general leak quantity standard, for example, the inner diameter of the capillary part for obtaining a leak quantity of about 10 ⁻⁴ Pa · m ³ / sec is about 10 μm. Such a small inner diameter tube is not easy to manufacture and is generally expensive.
It is an object of the present invention to make it possible to easily manufacture a leak amount standard that can express a minute leak amount, and to reduce the product cost.

上記目的を達成するために、本発明は、リークテスタのガス圧路から一定の流量のリークを発生させるリーク量標準器において、前記ガス圧路に接続される接続部と、一端が前記接続部に連なり、他端が開放されたリーク管とを備え、前記リーク管が、一の径方向に潰れた扁平形状のキャピラリ部を含むことを特徴とする。前記キャピラリ部の内部には、前記接続部を介して前記ガス圧路に連なるキャピラリ路が形成されている。前記キャピラリ路は、前記キャピラリ部の前記巾方向の両端部に一対設けられていることが好ましい。前記キャピラリ部の前記巾方向の中央部の互いに対向する管壁部どうしの間が、前記キャピラリ路より狭隘又は閉塞されていることが好ましい。前記キャピラリ路の断面は、短径を前記径方向に向け、長径を前記径方向と直交する巾方向に向けた長円形状（扁平形状）であってもよい。
前記リーク管の素材として、比較的大きな真円形断面の管を用いることができる。この素材管を一の径方向に潰すことでキャピラリ部を容易に形成できる。これによって、リーク量標準器を簡易に製造でき、製造コストを安価にすることができる。更には、キャピラリ路の内径ないしは流路断面積を十分に小さくでき、微小なリーク量を発現できる。 In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a leak amount standard that generates a leak at a constant flow rate from a gas pressure path of a leak tester, a connection portion connected to the gas pressure path, and one end connected to the connection portion. And a leak pipe having the other end opened, and the leak pipe includes a flat capillary portion crushed in one radial direction. Inside the capillary part, a capillary path that is continuous with the gas pressure path through the connection part is formed. It is preferable that a pair of the capillary paths is provided at both end portions in the width direction of the capillary portion. It is preferable that a space between tube wall portions facing each other at the central portion in the width direction of the capillary portion is narrower or closed than the capillary passage. The cross section of the capillary path may have an oval shape (flat shape) with a minor axis oriented in the radial direction and a major axis oriented in the width direction orthogonal to the radial direction.
As the material of the leak pipe, a pipe having a relatively large true circular cross section can be used. A capillary part can be easily formed by crushing the material tube in one radial direction. As a result, the leak amount standard can be easily manufactured, and the manufacturing cost can be reduced. Furthermore, the inner diameter of the capillary channel or the cross-sectional area of the channel can be made sufficiently small, and a minute amount of leakage can be expressed.

前記キャピラリ部は、コイル状に巻かれていてもよい。或いは、前記キャピラリ部が、前記本体の軸方向に折り返されていてもよい。これによって、本体の長さを大きくすることなく、キャピラリ路の路長を大きくでき、リーク量を一層微量にすることができる。 The capillary part may be wound in a coil shape. Alternatively, the capillary part may be folded back in the axial direction of the main body. Thus, the length of the capillary path can be increased without increasing the length of the main body, and the amount of leakage can be further reduced.

本発明によれば、リーク量標準器のキャピラリ部を簡易に製造でき、製造コストを安価にすることができる。更には、キャピラリ路の内径ないしは流路断面積を十分に小さくでき、微小なリーク量を発現できる。 According to the present invention, the capillary part of the leak amount standard device can be easily manufactured, and the manufacturing cost can be reduced. Furthermore, the inner diameter of the capillary channel or the cross-sectional area of the channel can be made sufficiently small, and a minute amount of leakage can be expressed.

リークテスタの概略構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows schematic structure of a leak tester. 本発明の第１実施形態に係るリーク量標準器の断面図である。It is sectional drawing of the leak quantity standard device which concerns on 1st Embodiment of this invention. 上記リーク量標準器のリーク管の基部の断面図である。It is sectional drawing of the base of the leak pipe | tube of the said leak amount standard device. 上記リーク管のキャピラリ部の断面図である。It is sectional drawing of the capillary part of the said leak pipe. （ａ）は、上記リーク管の製造装置の一例を示す側面図である。（ｂ）は、上記リーク管の製造装置の他の例を示す側面図である。（ｃ）は、上記リーク管の製造装置の他の例を示す正面図である。(A) is a side view which shows an example of the manufacturing apparatus of the said leak pipe. (B) is a side view which shows the other example of the manufacturing apparatus of the said leak pipe. (C) is a front view which shows the other example of the manufacturing apparatus of the said leak pipe. 本発明の第２実施形態に係るリーク量標準器の断面図である。It is sectional drawing of the leak quantity standard device which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態に係るリーク量標準器のキャピラリ部の断面図である。It is sectional drawing of the capillary part of the leak quantity standard device which concerns on 3rd Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
図１に示すように、リークテスタ１は、ガス圧路１０を備えている。ガス圧路１０は、共通路１０ａと、２つの枝路１０ｂ，１０ｃとを有している。共通路１０ａの上流端が、加圧ガス源２に接続されている。共通路１０ａには、レギュレータ１１と電磁開閉弁１２が上流側から順次設けられている。共通路１０ａの下流端から２つの枝路１０ｂ，１０ｃが分岐されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the leak tester 1 includes a gas pressure path 10. The gas pressure path 10 has a common path 10a and two branches 10b and 10c. The upstream end of the common path 10 a is connected to the pressurized gas source 2. In the common path 10a, a regulator 11 and an electromagnetic on-off valve 12 are sequentially provided from the upstream side. Two branches 10b and 10c are branched from the downstream end of the common path 10a.

枝路１０ｂには、電磁開閉弁１３と手動開閉弁１７が上流側から順次設けられている。これら弁１３，１７どうし間の枝路１０ｂからセンサ路１０ｄ及び接続路１０ｅが分岐している。接続路１０ｅには手動開閉弁１６が設けられている。枝路１０ｂの下流端に検査対象のワークＷが接続される。 In the branch 10b, an electromagnetic on-off valve 13 and a manual on-off valve 17 are sequentially provided from the upstream side. A sensor path 10d and a connection path 10e branch from a branch path 10b between the valves 13 and 17. A manual open / close valve 16 is provided in the connection path 10e. The workpiece W to be inspected is connected to the downstream end of the branch path 10b.

枝路１０ｃには、電磁開閉弁１４と手動開閉弁１８が上流側から順次設けられている。これら弁１４，１８どうし間の枝路１０ｃからセンサ路１０ｆが分岐している。枝路１０ｃの下流端にマスタ容器Ｍが接続される。 In the branch path 10c, an electromagnetic on-off valve 14 and a manual on-off valve 18 are sequentially provided from the upstream side. A sensor path 10f branches from a branch path 10c between the valves 14 and 18. A master container M is connected to the downstream end of the branch 10c.

枝路１０ｂ，１０ｃどうしの間に圧力センサ１５が設けられている。圧力センサ１５は、ダイヤフラム１５ａと、２つの室１５ｂ，１５ｃを有するダイヤフラム式差圧センサにて構成されている。ダイヤフラム１５ａによって２つの室１５ｂ，１５ｃが仕切られている。室１５ｂにセンサ路１０ｄが連なっている。室１５ｃにセンサ路１０ｆが連なっている。 A pressure sensor 15 is provided between the branches 10b and 10c. The pressure sensor 15 includes a diaphragm 15a and a diaphragm type differential pressure sensor having two chambers 15b and 15c. The two chambers 15b and 15c are partitioned by the diaphragm 15a. A sensor path 10d is connected to the chamber 15b. A sensor path 10f is connected to the chamber 15c.

図１に示すように、接続路１０ｅの下流端にリーク量標準器２０が接続されている。図２に示すように、リーク量標準器２０は、本体２１と、リーク管３０を備えている。本体２１は、両端が開口されたストレートな筒状になっている。本体２１の一端側（図２において左）の開口部２１ａ（接続部）にガス圧路１０の接続路１０ｅが接続される。他端側（図２において右）の開口部２１ｂは、開放されている。
開口部２１ｂに接続路１０ｅが接続されて、開口部２１ａが開放されていてもよい。 As shown in FIG. 1, a leak amount standard 20 is connected to the downstream end of the connection path 10e. As shown in FIG. 2, the leak amount standard device 20 includes a main body 21 and a leak pipe 30. The main body 21 has a straight cylindrical shape with both ends opened. The connection path 10e of the gas pressure path 10 is connected to the opening 21a (connection section) on one end side (left in FIG. 2) of the main body 21. The opening 21b on the other end side (right in FIG. 2) is open.
The connection path 10e may be connected to the opening 21b and the opening 21a may be opened.

開口部２１ａ，２１ｂの内周にそれぞれ雌ねじ２１ｃが刻設されている。雌ねじ２１ｃと、それより奥側の本体２１の内周との間には段差２１ｄが形成されている。本体２１の開口部２１ａ側の内部に筒状のホルダ２２が収容されている。ホルダ２２の一端部に鍔２２ｆが設けられている。鍔２２ｆが段差２１ｄに引っ掛けられている。開口部２１ａ側の雌ねじ２１ｃに環状のナット２４がねじ込まれている。ナット２４がホルダ２２に当たっている。これによって、ホルダ２２が抜け止めされている。 Female threads 21c are engraved on the inner peripheries of the openings 21a and 21b. A step 21d is formed between the female screw 21c and the inner periphery of the main body 21 on the back side. A cylindrical holder 22 is accommodated inside the opening 21 a side of the main body 21. A flange 22 f is provided at one end of the holder 22. The flange 22f is hooked on the step 21d. An annular nut 24 is screwed into the female screw 21c on the opening 21a side. The nut 24 is in contact with the holder 22. As a result, the holder 22 is prevented from coming off.

ホルダ２２の外周面と本体２１の内周面との間には、Ｏリング等のシール部材２３が設けられている。シール部材２３によって、本体２１の内周とホルダ２２の外周との間がシールされている。 A seal member 23 such as an O-ring is provided between the outer peripheral surface of the holder 22 and the inner peripheral surface of the main body 21. A seal member 23 seals between the inner periphery of the main body 21 and the outer periphery of the holder 22.

本体２１の内部にリーク管３０が収容されている。リーク管３０の材質は、塑性に富むことが好ましく、例えばステンレス鋼等の金属であることが好ましく、耐蝕性の観点からはオーステナイト系ステンレス鋼であることがより好ましい。リーク管３０は、基部３１（ガス圧路連通部）と、キャピラリ部３２を含む。図３（ａ）に示すように、基部３１は、断面真円の筒形になっている。図２に示すように、基部３１の長さは、ホルダ２２の長さとほぼ等しい。基部３１がホルダ２２の中心穴に嵌め込まれ、半田付け、ろう付け、接着剤等の固着手段により固着されている。これによって、リーク管３０がホルダ２２を介して本体２１に固定されている。基部３１の内部通路３１ａが、ナット２４の中心穴に連なり、更に開口部２１ａを介してガス圧路１０の接続路１０ｅに連なっている。また、上記固着手段によって、ホルダ２２の内周と基部３１の外周との間がシールされている。ホルダ２２の内周と基部３１の外周との間にＯリング等のシール部材を設けてもよい。 A leak pipe 30 is accommodated in the main body 21. The material of the leak pipe 30 is preferably rich in plasticity, for example, preferably a metal such as stainless steel, and more preferably austenitic stainless steel from the viewpoint of corrosion resistance. The leak pipe 30 includes a base portion 31 (gas pressure path communication portion) and a capillary portion 32. As shown in FIG. 3A, the base 31 has a cylindrical shape with a perfect cross section. As shown in FIG. 2, the length of the base 31 is substantially equal to the length of the holder 22. The base portion 31 is fitted in the center hole of the holder 22 and fixed by fixing means such as soldering, brazing, or adhesive. As a result, the leak pipe 30 is fixed to the main body 21 via the holder 22. The internal passage 31a of the base 31 is connected to the central hole of the nut 24, and is further connected to the connection passage 10e of the gas pressure passage 10 through the opening 21a. The space between the inner periphery of the holder 22 and the outer periphery of the base 31 is sealed by the fixing means. A seal member such as an O-ring may be provided between the inner periphery of the holder 22 and the outer periphery of the base portion 31.

図２に示すように、リーク管３０の基部３１を除く部分の略全体がキャピラリ部３２を構成している。キャピラリ部３２は、基部３１より十分に長い。キャピラリ部３２は、全体的にコイル状になっている。コイル状のキャピラリ部３２が、ホルダ２２と開口部２１ｂとの間の本体２１内に収容されている。 As shown in FIG. 2, substantially the entire portion of the leak pipe 30 excluding the base portion 31 constitutes a capillary portion 32. The capillary part 32 is sufficiently longer than the base part 31. The capillary part 32 is coiled as a whole. A coiled capillary portion 32 is accommodated in the main body 21 between the holder 22 and the opening 21b.

図３（ｂ）に示すように、キャピラリ部３２の巻き方向の各位置における断面は、一の径方向（図３（ｂ）において上下）に潰れた扁平形状になっている。図２に示すように、キャピラリ部３２の上記径方向（潰し方向、短径方向）と直交する巾方向（長径方向、図３（ｂ）において左右）は、コイル状のキャピラリ部３２全体の巻き軸に沿い、ひいてはリーク量標準器２０の軸線に沿っている。 As shown in FIG. 3B, the cross section at each position in the winding direction of the capillary portion 32 has a flat shape crushed in one radial direction (up and down in FIG. 3B). As shown in FIG. 2, the width direction (major diameter direction, left and right in FIG. 3B) perpendicular to the radial direction (the crushing direction and the minor diameter direction) of the capillary section 32 is the winding of the entire coiled capillary section 32. Along the axis, by extension, along the axis of the leak amount standard 20.

図３（ｂ）に示すように、キャピラリ部３２の巾方向の両端部に一対のキャピラリ路３２ａが形成されている。キャピラリ部３２の巾方向の中央部における互いに対向する管壁部３２ｂ，３２ｂどうしが当接している。これによって、キャピラリ部３２の巾方向の中央部が閉塞され、閉塞部３２ｃが形成されている。閉塞部３２ｃは、２つのキャピラリ路３２ａどうしの間に介在されている。２つのキャピラリ路３２ａが、間に閉塞部３２ｃを挟んで分離されている。 As shown in FIG. 3B, a pair of capillary paths 32 a are formed at both end portions in the width direction of the capillary portion 32. The tube wall portions 32b and 32b facing each other at the center portion in the width direction of the capillary portion 32 are in contact with each other. As a result, the central portion in the width direction of the capillary portion 32 is closed, and a closed portion 32c is formed. The blocking part 32c is interposed between the two capillary paths 32a. Two capillary passages 32a are separated with a blocking portion 32c interposed therebetween.

図３（ｂ）に示すように、キャピラリ路３２ａの断面は、閉塞部３２ｃに向かって突出する変形円形状をなしている。キャピラリ路３２ａの上記潰し方向（図３（ｂ）において上下）の内径は、数μｍ〜数十μｍである。図２に示すように、各キャピラリ路３２ａの一端（図２において左）が、基部内通路３１ａに連なり、ひいては開口部２１ａを介してガス圧路１０の接続路１０ｅに連なっている。各キャピラリ路３２ａの他端（図２において右）は、本体２１の内部空間に開口され、ひいては開口部２１ｂを介して大気に開放されている。
なお、接続路１０ｅが開口部２１ｂに接続される場合には、各キャピラリ路３２ａの上記他端（図２において右）が開口部２１ｂを介してガス圧路１０の接続路１０ｅに連なり、
各キャピラリ路３２ａの上記一端（図２において左）が、基部内通路３１ａ、ナット２４の中心穴、開口部２１ａを順次介して大気に開放される。 As shown in FIG. 3B, the cross section of the capillary passage 32a has a deformed circular shape that protrudes toward the closing portion 32c. The inner diameter of the capillary path 32a in the crushing direction (up and down in FIG. 3B) is several μm to several tens μm. As shown in FIG. 2, one end (left in FIG. 2) of each capillary passage 32a is connected to the base inner passage 31a, and further to the connection passage 10e of the gas pressure passage 10 through the opening 21a. The other end (right side in FIG. 2) of each capillary path 32a is opened to the internal space of the main body 21, and thus opened to the atmosphere via the opening 21b.
When the connection path 10e is connected to the opening 21b, the other end (right in FIG. 2) of each capillary path 32a is connected to the connection path 10e of the gas pressure path 10 via the opening 21b.
The one end (left in FIG. 2) of each capillary passage 32a is opened to the atmosphere through the base inner passage 31a, the central hole of the nut 24, and the opening 21a in this order.

リーク量標準器２０の製造方法を、キャピラリ部３２の形成方法を中心に説明する。
図４（ａ）に示すように、リーク管３０となる素管３９を用意する。加工前の素管３９は、図３（ａ）に示す基部３１と同一の真円形断面になっている。素管３９の内部空間３９ａの内直径は、０．１ｍｍ〜０．数ｍｍ程度でよい。この程度の大きさの管は低コストで入手可能である。一対のロール３，３の間に素管３９を挟む。図４において、素管３９の外直径は、ロール３，３に対して誇張されている。また、図４において、素管内空間３９ａの内直径は、素管３９の管壁の肉厚に対し誇張されている。 A method of manufacturing the leak amount standard 20 will be described focusing on the method of forming the capillary portion 32.
As shown in FIG. 4A, a raw tube 39 to be a leak tube 30 is prepared. The raw tube 39 before processing has the same true circular cross section as the base 31 shown in FIG. The inner diameter of the internal space 39a of the raw tube 39 is 0.1 mm to 0. It may be about several mm. Tubes of this size are available at low cost. An elementary tube 39 is sandwiched between the pair of rolls 3 and 3. In FIG. 4, the outer diameter of the raw tube 39 is exaggerated with respect to the rolls 3 and 3. In FIG. 4, the inner diameter of the inner space 39 a is exaggerated with respect to the wall thickness of the inner wall 39.

素管３９を当該素管３９の軸方向に送りながら、基部３１以外の部分をロール３，３によって加圧する。これによって、素管３９がロール３，３の対向方向（一の径方向）に圧縮され、上記対向方向と直交する巾方向に延展される。そして、対向する管壁部３２ｂ，３２ｂの巾方向の中央部分どうしが当接する。これによって、閉塞部３２ｃを形成でき、かつ閉塞部３２ｃの両側にキャピラリ路３２ａを形成できる。 While feeding the raw tube 39 in the axial direction of the raw tube 39, the portions other than the base portion 31 are pressurized by the rolls 3 and 3. As a result, the base tube 39 is compressed in the opposing direction (one radial direction) of the rolls 3 and 3 and is extended in the width direction orthogonal to the opposing direction. And the center part of the width direction of the opposing pipe wall parts 32b and 32b contact | abuts. As a result, the closed portion 32c can be formed, and the capillary path 32a can be formed on both sides of the closed portion 32c.

図４（ａ）において、潰し工程を複数回に分け、次の回に移行するたびにロール３，３どうしの間隙をステップ的に狭めて、徐々に潰し量を増大させることにしてもよい。あるいは、図４（ｂ）に示すように、ロール３を素管３９の送り方向に複数段（図では３段）設け、これら複数段のロール３によって素管３９を段々と扁平に潰すことにしてもよい。図４（ｃ）に示すように、特に後段のロール３の軸方向の中央部に凸部３ａを設け、管壁部３２ｂの巾方向の中央部分を強制的に凹ませることにしてもよい。これによって、閉塞部３２ｃを確実に形成できる。 In FIG. 4A, the crushing process may be divided into a plurality of times, and the crushing amount may be gradually increased by narrowing the gap between the rolls 3 and 3 step by step each time the next time. Alternatively, as shown in FIG. 4B, the roll 3 is provided in a plurality of stages (three stages in the figure) in the feed direction of the element tube 39, and the element tube 39 is flattened flatly by the plurality of stages of rolls 3. May be. As shown in FIG.4 (c), you may decide to provide the convex part 3a in the center part of the axial direction of the roll 3 of a back | latter stage especially, and to forcibly dent the center part of the width direction of the pipe wall part 32b. As a result, the blocking portion 32c can be reliably formed.

次に、キャピラリ部３２をコイル状に成形する。このようにして、リーク管３０を容易に製造することができる。このリーク管３０を本体２１に組み込む。これによって、リーク量標準器２０を簡易に製造でき、リーク量標準器２０の製品コストを安価にすることができる。 Next, the capillary part 32 is formed in a coil shape. In this way, the leak pipe 30 can be easily manufactured. The leak pipe 30 is incorporated in the main body 21. Accordingly, the leak amount standard device 20 can be easily manufactured, and the product cost of the leak amount standard device 20 can be reduced.

リークテスタ１の使用方法を説明する。
ワークＷを漏れ検査する際は、開閉弁１６を閉じ、開閉弁１７，１８を開いておく。そして、電磁開閉弁１２，１３，１４を開き、加圧ガス源２の圧縮エア（加圧ガス）をガス圧路１０に導入し、ひいてはワークＷ及びマスタ容器Ｍに導入する。次に、開閉弁１２を閉じる。その後、少し間を置いて開閉弁１３，１４を閉じる。そして、差圧センサ１５の検出差圧を読み取る。ワークＷが良品であれば、ワークＷからの漏れが無く、差圧が発生しない。ワークＷに欠損等があれば、そこから漏れが起き、差圧センサ１５によって差圧が検出される。これによって、ワークＷの良否判定を行なうことができる。 A method of using the leak tester 1 will be described.
When the workpiece W is inspected for leakage, the on-off valve 16 is closed and the on-off valves 17 and 18 are opened. Then, the electromagnetic on-off valves 12, 13, and 14 are opened, and the compressed air (pressurized gas) of the pressurized gas source 2 is introduced into the gas pressure path 10 and eventually into the workpiece W and the master container M. Next, the on-off valve 12 is closed. Thereafter, the on-off valves 13 and 14 are closed after a short interval. Then, the detected differential pressure of the differential pressure sensor 15 is read. If the workpiece W is a non-defective product, there is no leakage from the workpiece W and no differential pressure is generated. If there is a defect or the like in the workpiece W, leakage occurs from the workpiece W, and the differential pressure is detected by the differential pressure sensor 15. As a result, the quality of the workpiece W can be determined.

ワークＷの内容積を測定する際は、開閉弁１６を閉じ、開閉弁１７，１８を開いておく。ワークＷは漏れの無いものを用いる。そして、電磁開閉弁１２，１３，１４を開き、加圧ガス源２の圧縮エア（加圧ガス）をガス圧路１０に導入し、ひいてはワークＷ及びマスタ容器Ｍに導入する。次に、開閉弁１２を閉じる。その後、少し間を置いて開閉弁１３，１４を閉じる。更に開閉弁１６を開く。これによって、枝路１０ｂのガスが、接続路１０ｅを経てリーク量標準器２０に導入され、更にキャピラリ路３２ａを通って大気へ漏れる。キャピラリ路３２ａの内径ないしは流路断面積が十分に小さいため、上記の漏れ流量（リーク量）を十分に微量にすることができる。この漏れに伴なって、枝路１０ｂ，１０ｃ間に差圧が発生する。この差圧を差圧センサ１５によって検出する。この検出差圧とワークＷの内容積との間には、上掲特許文献１に記載の通り、一定の関係がある。これによって、ワークＷの内容積を算出できる。そして、ワークの漏れ検査の際にワークＷの内容積を加味して大気圧換算漏れ量を算出でき、ワークＷの良否判定の精度を高めることができる。 When measuring the internal volume of the workpiece W, the on-off valve 16 is closed and the on-off valves 17 and 18 are opened. The workpiece W is a leak-free one. Then, the electromagnetic on-off valves 12, 13, and 14 are opened, and the compressed air (pressurized gas) of the pressurized gas source 2 is introduced into the gas pressure path 10 and eventually into the workpiece W and the master container M. Next, the on-off valve 12 is closed. Thereafter, the on-off valves 13 and 14 are closed after a short interval. Further, the on-off valve 16 is opened. As a result, the gas in the branch path 10b is introduced into the leak amount standard 20 through the connection path 10e, and further leaks to the atmosphere through the capillary path 32a. Since the capillary passage 32a has a sufficiently small inner diameter or channel cross-sectional area, the leakage flow rate (leakage amount) can be made sufficiently small. Along with this leakage, a differential pressure is generated between the branches 10b and 10c. This differential pressure is detected by the differential pressure sensor 15. There is a certain relationship between the detected differential pressure and the internal volume of the workpiece W as described in Patent Document 1 above. Thereby, the internal volume of the workpiece W can be calculated. In addition, it is possible to calculate the atmospheric pressure equivalent leakage amount in consideration of the internal volume of the workpiece W during the workpiece leakage inspection, and to increase the accuracy of the workpiece W determination.

リークテスタ１の保守点検の際は、開閉弁１６を閉じ、開閉弁１７，１８を開いておく。ワークＷは洩れの無いものを用いる。そして、電磁開閉弁１２，１３，１４を開き、加圧ガス源２の圧縮エア（加圧ガス）をガス圧路１０に導入し、ひいてはワークＷ及びマスタ容器Ｍに導入する。次に、開閉弁１２を閉じる。その後、少し間を置いて開閉弁１３，１４を閉じる。更に開閉弁１６を開く。これによって、枝路１０ｂのガスが、接続路１０ｅを経てリーク量標準器２０に導入され、更にキャピラリ路３２ａを通って大気へ漏れる。上述したように、この漏れ流量（リーク量）は十分に微量である。この漏れに伴なって、枝路１０ｂ，１０ｃ間に一定の差圧が発生する。差圧センサ１５が正常であれば、検出差圧が上記一定の値になる。差圧センサ１５が故障しているときは、検出差圧が上記一定の値にならない。これによって、差圧センサ１５の故障の有無を判定できる。 At the time of maintenance and inspection of the leak tester 1, the on-off valve 16 is closed and the on-off valves 17, 18 are opened. Use a workpiece W that does not leak. Then, the electromagnetic on-off valves 12, 13, and 14 are opened, and the compressed air (pressurized gas) of the pressurized gas source 2 is introduced into the gas pressure path 10 and eventually into the workpiece W and the master container M. Next, the on-off valve 12 is closed. Thereafter, the on-off valves 13 and 14 are closed after a short interval. Further, the on-off valve 16 is opened. As a result, the gas in the branch path 10b is introduced into the leak amount standard 20 through the connection path 10e, and further leaks to the atmosphere through the capillary path 32a. As described above, this leakage flow rate (leakage amount) is sufficiently small. Along with this leakage, a certain differential pressure is generated between the branches 10b and 10c. If the differential pressure sensor 15 is normal, the detected differential pressure becomes the constant value. When the differential pressure sensor 15 is out of order, the detected differential pressure does not reach the constant value. Thereby, the presence or absence of a failure of the differential pressure sensor 15 can be determined.

リーク量標準器２０によれば、キャピラリ部３２をコイル状に巻くことによって、キャピラリ路３２ａの路長をキャピラリ部３２の軸長より長くでき、更には本体２１の軸長より長くできる。これによって、リーク量標準器２０の基準リーク量をより小さくできる。或いは、キャピラリ路３２ａの路長を長くした分だけキャピラリ路３２ａの流路断面積を大きくすることによって、パーティクルによるキャピラリ路３２ａの詰まりを防止することができる。
１つのキャピラリ部３２にキャピラリ路３２ａを２つ形成できる。 According to the leak amount standard 20, by winding the capillary part 32 in a coil shape, the path length of the capillary path 32 a can be made longer than the axial length of the capillary part 32, and further longer than the axial length of the main body 21. Thereby, the reference leak amount of the leak amount standard 20 can be further reduced. Alternatively, it is possible to prevent clogging of the capillary passage 32a due to particles by increasing the flow path cross-sectional area of the capillary passage 32a by the length of the capillary passage 32a.
Two capillary paths 32 a can be formed in one capillary portion 32.

次に、本発明の他の実施形態を説明する。以下の実施形態において既述の形態と重複する部分に関しては図面に同一符号を付して説明を省略する。
図５は、本発明の第２実施形態に係るリーク量標準器２０Ａを示したものである。リーク量標準器２０Ａの本体２１Ａの内部にリーク管３０Ａが収容されている。リーク管３０Ａのキャピラリ部３２は、リーク管３０Ａの管軸方向（図５において左右）に複数回折り返されている。これによって、キャピラリ路３２ａの路長を本体２１Ａの長さより長くできる。 Next, another embodiment of the present invention will be described. In the following embodiments, the same reference numerals are attached to the drawings for the same parts as those already described, and the description thereof is omitted.
FIG. 5 shows a leak amount standard 20A according to the second embodiment of the present invention. A leak pipe 30A is accommodated in the main body 21A of the leak amount standard 20A. A plurality of capillary portions 32 of the leak pipe 30A are folded back in the tube axis direction (left and right in FIG. 5) of the leak pipe 30A. Thereby, the path length of the capillary path 32a can be made longer than the length of the main body 21A.

キャピラリ部３２は、折り返し部３３において１８０度折り返され、折り返し部３３が半円形状になっている。折り返し部３３の折り返し角度は、１８０度に限られず、１８０度より小さくてもよく、１８０度より大きくてもよい。キャピラリ部３２は、２箇所で折り返され、２つの折り返し部３３が形成されているが、折り返し部３３が１つだけでもよく、３つ以上でもよい。 The capillary part 32 is folded back 180 degrees at the folded part 33, and the folded part 33 has a semicircular shape. The folding angle of the folding unit 33 is not limited to 180 degrees, and may be smaller than 180 degrees or larger than 180 degrees. The capillary part 32 is folded at two places to form two folded parts 33, but the number of folded parts 33 may be one, or three or more.

第２実施形態におけるキャピラリ部３２の断面は、図３（ｂ）に示す第１実施形態のキャピラリ部３２の断面と同じである。第２実施形態においても、キャピラリ部３２が一の径方向に潰れた扁平形状であり、キャピラリ部３２の上記径方向（短径方向）と直交する巾方向（長径方向）の両端部に一対のキャピラリ路３２ａが形成され、巾方向の中央部の互いに対向する管壁部３２ｂどうしの間が閉塞されて閉塞部３２ｃを形成している。折り返し部３３においては、キャピラリ部３２の上記短径方向が折り返し部３３の半径方向を向き、キャピラリ部３２の巾方向が折り返し部３３の半径方向と直交していることが好ましい。 The cross section of the capillary section 32 in the second embodiment is the same as the cross section of the capillary section 32 of the first embodiment shown in FIG. Also in the second embodiment, the capillary portion 32 has a flat shape that is crushed in one radial direction, and a pair of both ends of the capillary portion 32 in the width direction (major diameter direction) perpendicular to the radial direction (minor diameter direction) are paired. A capillary passage 32a is formed, and the space between the tube wall portions 32b facing each other at the center in the width direction is closed to form a closed portion 32c. In the folded portion 33, it is preferable that the short axis direction of the capillary portion 32 faces the radial direction of the folded portion 33, and the width direction of the capillary portion 32 is orthogonal to the radial direction of the folded portion 33.

リーク管３０Ａのキャピラリ部３２の一端（図５において左）には基部３１（ガス圧路連通部）が一体に連なり、キャピラリ部３２の他端（図５において右）には開放連通部３４が一体に連なっている。第２実施形態における基部３１の断面は、図３（ａ）に示す第１実施形態のキャピラリ部３２の断面と同じであり、真円形状になっている。基部３１が、接続部２５に接続されている。接続部２５が、ガス圧路１０（図１参照）の接続路１０ｅに接続されている。これによって、各キャピラリ路３２ａの一端が、基部内通路３１ａ及び接続部２５を介して接続路１０ｅに連なっている。 One end (left in FIG. 5) of the capillary section 32 of the leak pipe 30A is integrally connected to the base 31 (gas pressure path communication section), and the open communication section 34 is connected to the other end (right in FIG. 5) of the capillary section 32. It is connected to one. The cross section of the base portion 31 in the second embodiment is the same as the cross section of the capillary portion 32 of the first embodiment shown in FIG. The base 31 is connected to the connection unit 25. The connection part 25 is connected to the connection path 10e of the gas pressure path 10 (see FIG. 1). As a result, one end of each capillary passage 32a is connected to the connection passage 10e via the base inner passage 31a and the connection portion 25.

開放連通部３４は、基部３１と同一形状になっている。各キャピラリ路３２ａの他端が、開放連通部３４の内部通路３４ａを介して大気に開放されている。 The open communication part 34 has the same shape as the base part 31. The other end of each capillary passage 32 a is opened to the atmosphere via the internal passage 34 a of the open communication portion 34.

図６は、本発明の第３実施形態を示したものである。第３実施形態は、キャピラリ部３２の断面形状の変形例に係る。このキャピラリ部３２の短径方向に対向する管壁部３２ｂ，３２ｂどうしは、当接するのに代えて近接している。これら管壁部３２ｂ，３２ｂどうし間の間隙３２ｄは、各キャピラリ路３２ａより狭隘になっている。一対のキャピラリ路３２ａが間隙３２ｄを介して連なっている。 FIG. 6 shows a third embodiment of the present invention. The third embodiment relates to a modification of the cross-sectional shape of the capillary section 32. The tube wall portions 32b and 32b facing each other in the minor axis direction of the capillary portion 32 are close to each other instead of coming into contact with each other. A gap 32d between the tube wall portions 32b and 32b is narrower than each capillary passage 32a. A pair of capillary passages 32a are connected via a gap 32d.

本発明は、上記実施形態に限定されず、発明の要旨を変更しない限りにおいて種々の改変をなすことができる。
キャピラリ部３２の全体ではなく一部が、コイル状に巻かれていてもよい。キャピラリ部３２がコイル状に巻かれるとともに本体２１の軸方向に折り返されていてもよい。
素管３９からキャピラリ部３２を形成する装置は、プレス機であってもよい。
間隙３２ｄの厚さが、キャピラリ路３２ａと同程度であってもよい。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without changing the gist of the invention.
A part of the capillary part 32 may be wound in a coil shape instead of the whole. The capillary portion 32 may be wound in a coil shape and folded back in the axial direction of the main body 21.
The apparatus for forming the capillary part 32 from the raw tube 39 may be a press machine.
The thickness of the gap 32d may be approximately the same as that of the capillary path 32a.

本発明は、密封ワークの良否判定を行なうリークテスタに適用できる。 The present invention can be applied to a leak tester that determines the quality of a sealed workpiece.

１リークテスタ
２加圧ガス源
３ロール
１０ガス圧路
１０ａ共通路
１０ｂワーク側枝路
１０ｃマスタ側枝路
１０ｄワーク側センサ路
１０ｅリーク量標準器接続路
１０ｆマスタ側センサ路
１１レギュレータ
１２共通路の開閉弁
１３ワーク側枝路の開閉弁
１４マスタ側枝路の開閉弁
１５圧力センサ
１５ａダイヤフラム
１５ｂワーク側センサ室
１５ｃマスタ側センサ室
１６リーク量標準器接続路の開閉弁
２０リーク量標準器
２１本体
２１ａ開口部（接続部）
２１ｂ開口部（開放部）
２１ｃ雌ねじ
２１ｄ段差
２２ホルダ
２２ｆ鍔
２３シール部材
２４ナット
２５接続部
３０，３０Ａリーク管
３１基部（ガス圧路連通部）
３１ａ基部内通路
３２キャピラリ部
３２ａキャピラリ路
３２ｂ管壁部
３２ｃ閉塞部
３３折り返し部
３４開放連通部
３９素管
３９ａ素管内路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Leak tester 2 Pressurized gas source 3 Roll 10 Gas pressure path 10a Common path 10b Work side branch 10c Master side branch 10d Work side sensor path 10e Leak amount standard device connection path 10f Master side sensor path 11 Regulator 12 Common path on-off valve 13 Open / close valve 14 on the work side branch Open / close valve 15 on the master side branch Pressure sensor 15a Diaphragm 15b Sensor side sensor chamber 15c Master side sensor chamber 16 Open / close valve 20 on the leak amount standard connection passage Leakage amount standard device 21 Main body 21a Opening (connection) Part)
21b Opening (opening)
21c Female thread 21d Step 22 Holder 22f 鍔 23 Seal member 24 Nut 25 Connection part 30, 30A Leak pipe 31 Base (gas pressure path communication part)
31a Base inner passage 32 Capillary portion 32a Capillary passage 32b Tube wall portion 32c Closure portion 33 Folding portion 34 Open communication portion 39 Elementary tube 39a Elementary tube inner passage

Claims

In the leak amount standard that generates a leak at a constant flow rate from the gas pressure path of the leak tester,
A connecting portion connected to the gas pressure path, and a leak pipe having one end connected to the connecting portion and the other end opened,
The leak pipe includes a flat capillary portion crushed in one radial direction, and the gas pressure path is connected to both ends of the capillary portion in the width direction perpendicular to the one radial direction via the connection portion. A leak amount standard device, wherein capillary passages that are continuous to each other are formed, and a space between tube wall portions facing each other at a central portion in the width direction of the capillary portion is narrower or closed than the capillary passage.

The leak amount standard device according to claim 1, wherein the capillary part is wound in a coil shape.

The leak amount standard device according to claim 1, wherein the capillary portion is folded in the axial direction of the main body.