JP2012108428A - Optical element - Google Patents

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Shoichi Yamazaki
章市 山崎
Akira Yamamoto
亮 山本
穣 ▲辻▼
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical element capable of obtaining a stable optical characteristic, even when a gravity direction and a temperature, etc. change.SOLUTION: This optical element 1 includes: a liquid lens 2 capable of changing refractive power by changing the shape of a boundary surface 7 formed by a plurality of liquid 5 and 6 having refractive indexes different from each other; an auxiliary unit 3 capable of changing the refractive index distribution on a light transmission surface; and control means 20 for controlling the liquid lens 2 and the auxiliary unit 3 so that a change in the optical characteristic of the liquid lens 2 is corrected when at least one of a gravity direction and a temperature changes.

Description

本発明は、液体を用いた屈折力可変素子を含む光学素子に関する。   The present invention relates to an optical element including a refractive power variable element using a liquid.

従来、エレクトロウェッティング現象を用いて液体の境界面の形状を制御することにより屈折力を変化させることができる屈折力可変素子(可変焦点素子、以下、単に「液体レンズ」と表記する)が知られている。しかしながら、この液体レンズでは、重力の影響を受けて境界面の形状が変形し、光学特性が劣化する可能性がある。そこで、この重力の影響を抑える技術として、特許文献1は、境界面を形成する2つの液体の比重を一致させて両者の比重差をなくすことで、重力による境界面の歪みを抑える光走査装置を開示している。また、特許文献2は、通常、一方が電解液である2つの液体の境界面の形状を変化させるための電極が1つであるのに対して、この電極を複数に分割し、各々の電極に印加する電圧を異ならせることで、重力により歪んだ境界面を補正する可変光学系を開示している。更に、特許文献3は、コリメータレンズとして液体レンズを採用し、更に、そのユニット内に、重力による境界面の形状の歪みで発生するコマ収差を補正するための補正レンズを設置する光走査装置を開示している。   Conventionally, a refractive power variable element (variable focus element, hereinafter simply referred to as “liquid lens”) that can change the refractive power by controlling the shape of the boundary surface of the liquid using electrowetting phenomenon is known. It has been. However, in this liquid lens, there is a possibility that the shape of the boundary surface is deformed due to the influence of gravity and the optical characteristics are deteriorated. Therefore, as a technique for suppressing the influence of gravity, Patent Document 1 discloses an optical scanning device that suppresses the distortion of the boundary surface due to gravity by matching the specific gravity of the two liquids forming the boundary surface to eliminate the difference in specific gravity between the two liquids. Is disclosed. Further, in Patent Document 2, there is usually one electrode for changing the shape of the boundary surface between two liquids, one of which is an electrolytic solution, whereas this electrode is divided into a plurality of electrodes. Discloses a variable optical system that corrects a boundary surface distorted by gravity by varying a voltage applied to the. Further, Patent Document 3 employs a liquid lens as a collimator lens, and further includes an optical scanning device in which a correction lens for correcting coma aberration generated due to distortion of the shape of the boundary surface due to gravity is installed in the unit. Disclosure.

特表2008−503016号公報Special table 2008-503016 gazette 特表2008−530587号公報Special table 2008-53087 特開2009−3053号公報JP 2009-3053 A

しかしながら、特許文献1に示す光走査装置のように、2つの液体の比重を一致させると、両者の屈折率の差が小さくなり、レンズとしての機能が低下しやすい。また、液体レンズでは、異なる2つの液体が混ざり合わないことが前提であるが、比重を一致させると混ざりやすくなる。更に、例えば、常温状態で2つの液体の比重を一致させても、環境が変化して低温状態又は高温状態になると次第に両者の比重が異なってくるため、結果的に重力の影響を受ける。   However, when the specific gravity of two liquids is made to coincide as in the optical scanning device shown in Patent Document 1, the difference in refractive index between the two liquids becomes small, and the function as a lens is likely to deteriorate. In addition, in the liquid lens, it is premised that two different liquids do not mix. However, if the specific gravity is matched, the liquid lens is easily mixed. Furthermore, for example, even if the specific gravity of the two liquids is matched in the normal temperature state, the specific gravity of the two gradually becomes different when the environment changes and becomes a low temperature state or a high temperature state.

また、特許文献2に示す可変光学系では、複数の電極を配置しなければならないため、機構上複雑化してしまう。更に、実際に電極を複数設置して、歪んだ境界面に非回転対称(屈折力成分)の補正を実施することで、球面形状は、ある程度戻るものの、完全な形状に戻すことは困難であり、また、非球面の補正も困難である。   Moreover, in the variable optical system shown in Patent Document 2, a plurality of electrodes must be arranged, which complicates the mechanism. Furthermore, by actually installing a plurality of electrodes and correcting non-rotationally symmetric (refractive power component) on the distorted boundary surface, the spherical shape returns to some extent, but it is difficult to return it to the complete shape. Also, it is difficult to correct the aspherical surface.

更に、特許文献3に示す光走査装置における補正レンズは、鉛直方向の重力の影響を補正する機能だけを有する。したがって、この補正レンズは、コリメータレンズユニットが傾いたりすれば、重力方向と補正レンズの鉛直方向とが一致しなくなるため、コマ収差の補正ができなくなり、結果的に光走査装置の光学特性が悪化する。更に、上述のように、環境が変化して低温状態又は高温状態になると次第に2つの液体の比重が異なってくるため、鉛直方向での境界面の形状の歪みも変化する。しかしながら、補正レンズの非回転対称の非球面形状は、温度の影響を受けないため、この場合も、結果的に光走査装置の光学特性が悪化する。   Furthermore, the correction lens in the optical scanning device shown in Patent Document 3 has only a function of correcting the influence of gravity in the vertical direction. Accordingly, in this correction lens, if the collimator lens unit is tilted, the gravity direction and the vertical direction of the correction lens do not coincide with each other, so that coma aberration cannot be corrected, and as a result, the optical characteristics of the optical scanning device deteriorate. To do. Furthermore, as described above, since the specific gravity of the two liquids gradually changes when the environment changes to a low temperature state or a high temperature state, the distortion of the shape of the boundary surface in the vertical direction also changes. However, since the non-rotationally symmetric aspherical shape of the correction lens is not affected by temperature, the optical characteristics of the optical scanning device also deteriorate as a result.

本発明は、このような状況を鑑みてなされたものであり、重力方向や温度等の条件に変化が生じた場合でも安定した光学特性を得ることが可能な光学素子を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide an optical element capable of obtaining stable optical characteristics even when a change occurs in conditions such as the direction of gravity and temperature. To do.

上記課題を解決するために、本発明の光学素子は、互いに屈折率が異なる複数の液体により形成される境界面の形状を変化させることによって屈折力を変化させることができる液体レンズと、光透過面における屈折率分布を変化させることが可能な補助ユニットと、重力方向と温度との少なくとも一方が変化したときの液体レンズの光学特性の変化を補正するように、液体レンズと補助ユニットとを制御する制御手段と、を有することを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, an optical element of the present invention includes a liquid lens capable of changing refractive power by changing the shape of a boundary surface formed by a plurality of liquids having different refractive indexes, and a light transmission Auxiliary unit capable of changing the refractive index distribution on the surface, and controlling the liquid lens and auxiliary unit to compensate for changes in the optical characteristics of the liquid lens when at least one of the direction of gravity and temperature changes And a control means.

更に、本発明の光学素子は、互いに屈折率が異なる複数の液体により形成される境界面の形状を変化させることによって屈折力を変化させることができる液体レンズと、光透過面における屈折率分布を変化させることが可能な補助ユニットと、液体レンズの個体差を補正するように、液体レンズと補助ユニットとを制御する制御手段と、を有することを特徴とする。   Furthermore, the optical element of the present invention has a liquid lens that can change the refractive power by changing the shape of the boundary surface formed by a plurality of liquids having different refractive indexes, and the refractive index distribution on the light transmission surface. An auxiliary unit that can be changed and a control unit that controls the liquid lens and the auxiliary unit so as to correct individual differences between the liquid lenses.

本発明によれば、重力方向や温度等に変化が生じた場合でも安定した光学特性を得ることが可能な光学素子を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an optical element capable of obtaining stable optical characteristics even when a change occurs in the direction of gravity or temperature.

本発明の第1実施形態に係る光学素子の構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the optical element which concerns on 1st Embodiment of this invention. 第1実施形態の光学素子における補正の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of correction | amendment in the optical element of 1st Embodiment. 本発明の第2実施形態に係る光学素子の構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the optical element which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態に係る光学素子の構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the optical element which concerns on 3rd Embodiment of this invention.

以下、本発明を実施するための形態について図面等を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1実施形態)
まず、本発明の第1実施形態に係る光学素子について説明する。図1は、本実施形態に係る光学素子1の構成と、光学素子1の周辺構成とを示す概略図である。まず、本実施形態の光学素子1は、光入射側から順に、液体レンズ(屈折力可変素子)2と、該液体レンズ2の透過面に隣接する屈折型光学素子3とを備える。
(First embodiment)
First, the optical element according to the first embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of the optical element 1 according to the present embodiment and the peripheral configuration of the optical element 1. First, the optical element 1 of the present embodiment includes a liquid lens (refractive power variable element) 2 and a refractive optical element 3 adjacent to the transmission surface of the liquid lens 2 in order from the light incident side.

液体レンズ2は、屈折率の異なる2種類の液体を使用し、該2種類の液体で形成される境界面の形状をエレクトロウェッティング駆動(EW駆動)にて制御するものである。図1に示すように、液体レンズ2は、略円筒形の筐体4を有し、該筐体4の内部に、光入射側から順に、第1液体5と第2液体6との2種類の液体を光軸方向に2層配置する。第1液体5及び第2液体6としては、両液体5、6で形成される境界面7において、互いに混ざり合わず、異なる屈折率を有する物質を採用する。例えば、第1液体5として、水を中心とした電解液(屈折率:1.4)を採用し、第2液体6として、シリコンオイル等の非電解液(屈折率:1.6)を採用する。また、液体レンズ2は、それぞれ筐体4の内周部に円環状に構成され、第1液体5及び第2液体6と接する絶縁膜8と、該絶縁膜8の外周部に位置する電極9とを備え、更に、電極9と電解液からなる第1液体5との間に電圧を印加する電源10を備える。この場合、電極9は、電源10からの印加電圧により境界面7との接触角を制御することで、境界面7の形状(曲率半径)を変化させる。更に、液体レンズ2は、光入射側と光出射側との両端に、それぞれ第1液体5及び第2液体6を内部に封止する第1保護板11及び第2保護板12を備える。この各保護板11、12は、石英ガラス等の透過部材で形成される。   The liquid lens 2 uses two types of liquids having different refractive indexes, and controls the shape of the boundary surface formed by the two types of liquids by electrowetting driving (EW driving). As shown in FIG. 1, the liquid lens 2 has a substantially cylindrical housing 4, and two types of first liquid 5 and second liquid 6 are arranged inside the housing 4 in order from the light incident side. Two layers of the liquid are arranged in the optical axis direction. As the 1st liquid 5 and the 2nd liquid 6, the substance which does not mix with each other in the interface 7 formed with both the liquids 5 and 6 and has a different refractive index is employ | adopted. For example, an electrolytic solution (refractive index: 1.4) centered on water is used as the first liquid 5, and a non-electrolytic solution such as silicon oil (refractive index: 1.6) is used as the second liquid 6. To do. The liquid lens 2 is formed in an annular shape on the inner peripheral portion of the housing 4, and has an insulating film 8 in contact with the first liquid 5 and the second liquid 6, and an electrode 9 located on the outer peripheral portion of the insulating film 8. And a power source 10 for applying a voltage between the electrode 9 and the first liquid 5 made of an electrolytic solution. In this case, the electrode 9 changes the shape (curvature radius) of the boundary surface 7 by controlling the contact angle with the boundary surface 7 by the applied voltage from the power supply 10. Furthermore, the liquid lens 2 includes a first protection plate 11 and a second protection plate 12 that seal the first liquid 5 and the second liquid 6 inside at both ends of the light incident side and the light emission side, respectively. Each of the protection plates 11 and 12 is formed of a transmissive member such as quartz glass.

屈折型光学素子3は、上記第2保護板12を共有し、液体レンズ2の筐体4と同等の筐体13の内部に、屈折率が可変の物質14を備え、更に、該物質14を内部に封止する、第2保護板12と同等の第3保護板15を備えた補助ユニットである。この場合、物質14としては、例えば、液晶が採用可能であるが、屈折率が変化するものであれば、特に限定しない。この屈折型光学素子3は、光学有効面内で、微小なセル毎にマトリックス電気駆動が可能であり、外部からの印加電圧をセル毎に変化させることで、この特定の部位(セル:光透過面)の屈折率分布を変化させることができる。   The refractive optical element 3 shares the second protective plate 12 and includes a substance 14 having a variable refractive index inside a casing 13 equivalent to the casing 4 of the liquid lens 2, and further includes the substance 14. It is an auxiliary unit provided with a third protective plate 15 equivalent to the second protective plate 12 sealed inside. In this case, as the substance 14, for example, liquid crystal can be used, but is not particularly limited as long as the refractive index changes. The refractive optical element 3 can be electrically driven by a matrix for each minute cell within the optically effective surface, and this specific portion (cell: light transmission) can be changed by changing the externally applied voltage for each cell. The refractive index distribution of the surface) can be changed.

更に、光学素子1は、液体レンズ2のEW駆動、及び屈折型光学素子3のマトリックス電気駆動を制御する制御手段として制御部20を備え、更に、検知手段として温度センサー21と重力方向検知センサー22とを備える。制御部20は、温度センサー21が取得する温度情報(温度)、重力方向検知センサー22が検知する重力方向、及び電源10が印加する電圧情報(信号)に基づいて、予めテーブル23を作成し、各駆動制御の際に参照する。更に、制御部20は、テーブル23における不適切な光学特性を示すデータから、回転対称の屈折力成分、非回転対称の屈折力成分、非回転対称の非球面成分、及び回転対称の非球面成分のそれぞれを抽出する情報抽出部24を備える。なお、この情報抽出部24は、制御部20とは異なる制御装置に設置してもよい。   Further, the optical element 1 includes a control unit 20 as control means for controlling the EW drive of the liquid lens 2 and the matrix electric drive of the refractive optical element 3, and further includes a temperature sensor 21 and a gravity direction detection sensor 22 as detection means. With. The control unit 20 creates the table 23 in advance based on the temperature information (temperature) acquired by the temperature sensor 21, the gravity direction detected by the gravity direction detection sensor 22, and the voltage information (signal) applied by the power supply 10, Refer to each drive control. Further, the control unit 20 determines the rotationally symmetric refractive power component, the non-rotational symmetric refractive power component, the non-rotational symmetric aspherical component, and the rotationally symmetric aspherical component from the data indicating inappropriate optical characteristics in the table 23. The information extraction part 24 which extracts each of these is provided. The information extraction unit 24 may be installed in a control device different from the control unit 20.

次に、光学素子1の作用について説明する。本実施形態では、光学素子1は、環境変化により液体レンズ2の境界面7に形状変化が発生し、光学特性が悪化した場合、液体レンズ2と屈折型光学素子3との両者で分担して、光学特性を示す各種数値を正常値に補正する。ここで、「環境変化」とは、液体レンズ2の外部環境の温度の変化、及び重力方向の変化を示す。また、本実施形態の光学素子1は、この環境変化の他にも、例えば、液体レンズ2の個体差(駆動電圧値)の影響にも対応可能である。更に、光学特性を示す各種数値とは、例えば、コマ収差等の収差量である。   Next, the operation of the optical element 1 will be described. In the present embodiment, the optical element 1 is shared by both the liquid lens 2 and the refractive optical element 3 when a change in shape occurs on the boundary surface 7 of the liquid lens 2 due to environmental changes and the optical characteristics deteriorate. Various values indicating optical characteristics are corrected to normal values. Here, “environmental change” indicates a change in the temperature of the external environment of the liquid lens 2 and a change in the direction of gravity. In addition to this environmental change, the optical element 1 of the present embodiment can cope with the influence of individual differences (drive voltage values) of the liquid lens 2, for example. Furthermore, various numerical values indicating optical characteristics are, for example, aberration amounts such as coma aberration.

まず、外部環境の温度変化は、第1液体5と第2液体6との比重差に影響し、かつ、重力方向とは関係しない液体レンズ2全体の影響によるピント移動(回転対称の屈折力成分)や、収差等の光学特性(回転対称の非球面成分)等に影響する。そこで、本実施形態では、制御部20は、予め回転対称の屈折力成分や回転対称の非球面成分の不適切な光学特性を示すデータを各温度での補正用データとして取得し、テーブル23に記憶させ、適宜参照する。   First, the temperature change in the external environment affects the difference in specific gravity between the first liquid 5 and the second liquid 6 and also moves the focus due to the influence of the entire liquid lens 2 that is not related to the direction of gravity (a rotationally symmetric refractive power component). ) And optical characteristics such as aberration (rotationally symmetric aspheric component). Therefore, in the present embodiment, the control unit 20 acquires data indicating inappropriate optical characteristics of a rotationally symmetric refractive power component and a rotationally symmetric aspherical component in advance as correction data at each temperature, and stores the data in the table 23. Remember and refer to it as appropriate.

また、重力方向の変化は、上述の第1液体5と第2液体6との比重差、及び温度変化により、境界面7の異なる形状変化として影響する。そこで、本実施形態では、制御部20は、重力方向、及び温度の計測データからテーブル23内の各温度での補正用データを参照し、境界面7の補正量と、重力方向に合わせた屈折型光学素子3の補正量とを出力して情報抽出部24に送信する。   In addition, the change in the gravity direction affects the shape change of the boundary surface 7 due to the difference in specific gravity between the first liquid 5 and the second liquid 6 and the temperature change. Therefore, in the present embodiment, the control unit 20 refers to the correction data at each temperature in the table 23 from the measurement data of the gravity direction and temperature, and adjusts the correction amount of the boundary surface 7 and the refraction according to the gravity direction. The correction amount of the mold optical element 3 is output and transmitted to the information extraction unit 24.

更に、液体レンズ2の固体差の影響は、以下の通りである。通常、液体レンズでは、絶縁膜(本実施形態の絶縁膜8に対応)の膜厚が均一であれば、境界面内のどのアジムス(Azimuth:方位)方向でも曲率半径が同一であり、境界面は、完全な球面形状となる。したがって、この場合、印加電圧を変化させても、境界面の球面形状は、完全な別の曲率半径の球面形状に変化するだけである。しかしながら、絶縁膜の膜厚にバラツキがあると、電圧を印加させたときに境界面内のアジムス方向で接触角度θが異なってしまい、境界面は、アジムス方向により曲率半径が異なる非回転対称の形状となり、結果的に、歪みが発生する。一般的に、絶縁膜の膜厚は、ほぼ均一であるため、これにより境界面が歪んで光学特性に影響することは少ないが、特殊な絶縁膜を使用した液体レンズでは、膜厚のバラツキが発生する可能性が高い。そこで、本実施形態では、制御部20は、予め個々の液体レンズにおける膜厚のバラツキによる不適切な光学特性を示すデータを補正用データとして駆動電圧毎に取得し、テーブル23に記憶させ、適宜参照する。   Furthermore, the influence of the solid difference of the liquid lens 2 is as follows. Normally, in a liquid lens, if the insulating film (corresponding to the insulating film 8 of the present embodiment) has a uniform thickness, the radius of curvature is the same in any azimuth (azimuth) direction within the boundary surface, and the boundary surface Is a perfect spherical shape. Therefore, in this case, even if the applied voltage is changed, the spherical shape of the boundary surface only changes to a spherical shape having a completely different curvature radius. However, when there is variation in the film thickness of the insulating film, the contact angle θ differs in the azimuth direction within the boundary surface when a voltage is applied, and the boundary surface is non-rotationally symmetric with a different curvature radius depending on the azimuth direction. As a result, distortion occurs. In general, since the film thickness of the insulating film is almost uniform, this hardly distorts the boundary surface and affects the optical characteristics. However, the liquid lens using a special insulating film has a variation in film thickness. It is likely to occur. Therefore, in this embodiment, the control unit 20 acquires data indicating inappropriate optical characteristics due to film thickness variations in individual liquid lenses in advance as correction data for each drive voltage, and stores the data in the table 23 as appropriate. refer.

次に、光学素子1における光学特性の補正の流れについて説明する。図2は、本実施形態の光学素子1における光学特性の補正の流れを示すフローチャートである。まず、制御部20は、常温状態(23℃程度)で、かつ、光学素子1の鉛直方向と重力方向とを一致させた状態で、液体レンズ2においてEW駆動を実行する。この際、制御部20は、光学素子1の光学特性を示すデータを以下の工程の基準データとして、電源10が印加する電圧情報に関連付けて取得する(ステップS101)。なお、この基準データが、予め計測されていれば、又は、特に収差が発生していない等、各種数値が正常値であると見なされる場合には、この工程は不要である。次に、制御部20は、光学素子1の使用状態で、液体レンズ2においてEW駆動を実行する。この際、制御部20は、光学素子1の光学特性を示す性能データを、温度センサー21が取得する外部環境の温度情報と、重力方向検知センサー22が検知する重力方向情報と、更にEW駆動時の電圧情報とを関連付けながら取得する(ステップS102)。次に、制御部20は、ステップS102にて取得した性能データ、及び各情報(計測データ)を含むテーブル23を作成し、記憶する(ステップS103)。次に、制御部20は、ステップS101で取得した基準データと、テーブル23とを比較することで、基準データと差異のある不適切な光学特性を示すデータを選択する(ステップS104)。ここで、「不適切な光学特性を示すデータ」とは、例えば、収差が大きく発生する時の収差量、及びこの収差量発生時の電源10が印加する電圧値等が相当する。更に、この不適切な光学特性を示すデータを選択する際には、制御部20は、上述した環境変化による補正用データも参照する。次に、制御部20内の情報抽出部24は、ステップS104にて選択された不適切な光学特性を示すデータから、回転対称境界面である境界面7の球面曲率で補正可能な成分、即ち、回転対称の屈折力成分のみの補正量を抽出する(ステップS105)。ここで、抽出する回転対称の屈折力成分の補正量は、波面収差量として10λ以上のものが望ましく、更に好適には30λ以上のものが望ましい。次に、情報抽出部24は、ステップS104にて選択された不適切な光学特性を示すデータから、回転対称の屈折力成分以外の成分、即ち、非回転対称の屈折力成分、非回転対称の非球面成分、及び回転対称の非球面成分の各補正量を抽出する(ステップS106)。そして、情報抽出部24は、液体レンズ2のEW駆動の際、ステップS105で抽出した回転対称の屈折力成分の補正量を送信し、電源10の印加電圧を適宜変更しつつ制御することで、光学特性の補正を実行する(ステップS107)。同時に、情報抽出部24は、ステップS106で抽出した各成分の補正量を屈折型光学素子3に送信し、マトリックス駆動を制御することで、光学特性の補正を実行する(ステップS108)。   Next, the flow of optical property correction in the optical element 1 will be described. FIG. 2 is a flowchart showing a flow of optical characteristic correction in the optical element 1 of the present embodiment. First, the control unit 20 executes EW driving in the liquid lens 2 in a room temperature state (about 23 ° C.) and in a state where the vertical direction of the optical element 1 and the direction of gravity are matched. At this time, the control unit 20 acquires data indicating the optical characteristics of the optical element 1 as reference data for the following steps in association with voltage information applied by the power supply 10 (step S101). Note that this step is not necessary if the reference data has been measured in advance or if various numerical values are considered to be normal values, such as when no aberration has occurred. Next, the control unit 20 executes EW driving in the liquid lens 2 in a state where the optical element 1 is used. At this time, the control unit 20 obtains performance data indicating the optical characteristics of the optical element 1, temperature information of the external environment acquired by the temperature sensor 21, gravity direction information detected by the gravity direction detection sensor 22, and further during EW driving. Is acquired while associating with the voltage information (step S102). Next, the control unit 20 creates and stores the table 23 including the performance data acquired in step S102 and each piece of information (measurement data) (step S103). Next, the control unit 20 compares the reference data acquired in step S101 with the table 23 to select data indicating inappropriate optical characteristics that are different from the reference data (step S104). Here, “data indicating inappropriate optical characteristics” corresponds to, for example, an aberration amount when a large amount of aberration occurs and a voltage value applied by the power supply 10 when the aberration amount occurs. Furthermore, when selecting data indicating this inappropriate optical characteristic, the control unit 20 also refers to the correction data due to the environmental change described above. Next, the information extraction unit 24 in the control unit 20 corrects the component that can be corrected by the spherical curvature of the boundary surface 7 that is the rotationally symmetric boundary surface from the data indicating the inappropriate optical characteristics selected in step S104, that is, Then, the correction amount of only the rotationally symmetric refractive power component is extracted (step S105). Here, the correction amount of the rotationally symmetric refractive power component to be extracted is preferably 10λ or more, more preferably 30λ or more as the amount of wavefront aberration. Next, the information extraction unit 24 determines the components other than the rotationally symmetric refractive power component, that is, the non-rotational symmetric refractive power component, the non-rotational symmetric power, from the data indicating the inappropriate optical characteristics selected in Step S104. Each correction amount of the aspheric component and the rotationally symmetric aspheric component is extracted (step S106). Then, the information extraction unit 24 transmits the correction amount of the rotationally symmetric refractive power component extracted in step S105 when the liquid lens 2 is EW driven, and performs control by appropriately changing the applied voltage of the power source 10. Optical characteristic correction is executed (step S107). At the same time, the information extraction unit 24 transmits the correction amount of each component extracted in step S106 to the refractive optical element 3 and controls the matrix drive, thereby executing optical characteristic correction (step S108).

以上のように、本実施形態の光学素子1によれば、重力方向や温度等の変化により光学特性が悪化した場合でも、これらの変化に対応して液体レンズ2と屈折型光学素子3との分担により補正し、安定した光学特性を得ることができる。また、本実施形態では、光入射側に対して液体レンズ2の後方に屈折型光学素子3を配置している。したがって、例えば、光学素子1を撮像光学系に用いる場合、屈折型光学素子3が撮像素子側となるため、この撮像素子が受光する光は、良好に光学特性が補正されたものとなり効率が良い。   As described above, according to the optical element 1 of the present embodiment, even when the optical characteristics are deteriorated due to changes in the direction of gravity, temperature, or the like, the liquid lens 2 and the refractive optical element 3 correspond to these changes. Correction can be made by sharing, and stable optical characteristics can be obtained. In the present embodiment, the refractive optical element 3 is disposed behind the liquid lens 2 with respect to the light incident side. Therefore, for example, when the optical element 1 is used in an image pickup optical system, the refractive optical element 3 is on the image pickup element side, so that the light received by the image pickup element has good optical characteristics and is efficient. .

(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態に係る光学素子について説明する。図3は、本実施形態に係る光学素子30の構成と、光学素子30の周辺構成とを示す概略図である。この光学素子30では、液体レンズ2と屈折型光学素子3との各構成は、第1実施形態の光学素子1と同一である。その上で、光学素子30の特徴は、第1実施形態の制御部20が有するテーブル23を、回転対称の屈折力成分補正用の第1テーブル23aと、その他の成分補正用の第2テーブル23bとに分割する点にある。
(Second Embodiment)
Next, an optical element according to a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 3 is a schematic diagram illustrating the configuration of the optical element 30 according to the present embodiment and the peripheral configuration of the optical element 30. In this optical element 30, the configurations of the liquid lens 2 and the refractive optical element 3 are the same as those of the optical element 1 of the first embodiment. In addition, the optical element 30 is characterized by a table 23 included in the control unit 20 of the first embodiment, a first table 23a for correcting rotationally symmetric refractive power components, and a second table 23b for correcting other components. It is in the point to divide into and.

上述の通り、液体レンズ2では、外部環境の温度変化がピント移動及び収差等の光学特性に影響し、一方、重力方向の変化が境界面7の歪みに影響する。ここで、もし、外部環境の温度変化が無視できるものであれば、重力の影響による境界面7の歪みは、非回転対称成分(屈折力成分と非球面成分)のみで補正可能である。そこで、この場合、制御部20は、回転対称の屈折力成分を除く第2テーブル23bのみを参照し、屈折型光学素子3による補正を実行すればよい。但し、屈折型光学素子3において、本実施形態のように屈折率を可変とする物質として液晶を採用した場合の波面収差量(補正量)は、一般に数十λ程度である。したがって、液体レンズ2に採用する2つの液体の比重差が大きく、境界面7での非回転対称成分が大きくなる場合には、屈折型光学素子3での所望の補正量が、補正可能な最大補正量を超える場合も考えられる。この場合、制御部20は、境界面7の回転対称の屈折力成分の補正と、屈折型光学素子3による補正とを組み合わせた割り振り補正を実行すればよい。   As described above, in the liquid lens 2, the temperature change in the external environment affects the optical characteristics such as focus movement and aberration, while the change in the gravity direction affects the distortion of the boundary surface 7. Here, if the temperature change of the external environment can be ignored, the distortion of the boundary surface 7 due to the influence of gravity can be corrected only by the non-rotation symmetric component (refractive power component and aspheric component). Therefore, in this case, the control unit 20 may perform correction by the refractive optical element 3 with reference to only the second table 23b excluding the rotationally symmetric refractive power component. However, in the refractive optical element 3, the amount of wavefront aberration (correction amount) when a liquid crystal is used as the material that changes the refractive index as in this embodiment is generally about several tens of λ. Accordingly, when the specific gravity difference between the two liquids employed in the liquid lens 2 is large and the non-rotationally symmetric component at the boundary surface 7 is large, the desired correction amount in the refractive optical element 3 is the maximum that can be corrected. A case where the correction amount is exceeded is also conceivable. In this case, the control unit 20 may perform allocation correction that combines correction of the rotationally symmetric refractive power component of the boundary surface 7 and correction by the refractive optical element 3.

一方、外部環境の温度変化の影響は、ピント移動(回転対称の屈折力成分)に対するものが主となり、収差等の光学特性(回転対称の非球面成分)に対するものは無視できる場合がある。そこで、この場合、制御部20は、第1テーブル23aのみを参照し、境界面7による回転対称の屈折力成分の補正を実行すればよい。但し、光学素子30に対して高い光学特性が要求されるときは、回転対称の非球面成分の補正も必要となる場合もある。この場合、制御部20は、同時に第2テーブル23bを参照し、屈折型光学素子3による補正と組み合わせた割り振り補正を実行すればよい。   On the other hand, the influence of the temperature change of the external environment is mainly on the focus movement (rotationally symmetric refractive power component), and the influence on optical characteristics such as aberration (rotationally symmetric aspheric component) may be ignored. Therefore, in this case, the control unit 20 may perform correction of the rotationally symmetric refractive power component by the boundary surface 7 with reference to only the first table 23a. However, when high optical characteristics are required for the optical element 30, it may be necessary to correct the rotationally symmetric aspherical component. In this case, the control part 20 should just perform the allocation correction | amendment combined with the correction | amendment by the refractive optical element 3 with reference to the 2nd table 23b simultaneously.

このように、本実施形態の光学素子30によれば、第1実施形態のように、制御部20内に情報抽出部を必要としないため、第1実施形態の構成及び作用を簡略化しつつ、第1実施形態と同様の効果を奏する。   Thus, according to the optical element 30 of the present embodiment, the information extraction unit is not required in the control unit 20 as in the first embodiment, so that the configuration and operation of the first embodiment are simplified, The same effect as the first embodiment is achieved.

(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態に係る光学素子について説明する。図4は、本実施形態に係る光学素子40の構成と、光学素子40の周辺構成とを示す概略図である。この光学素子40の特徴は、第1実施形態の光学素子1の構成における液体レンズ2と屈折型光学素子3との配置位置を、光入射側に対して逆にする点にある。なお、その他の構成は、第1実施形態の光学素子1と同様である。ここで、屈折型光学素子3では、屈折率を可変とする物質として液晶を採用しているが、液晶は、一般に視野角度特性が良好ではなく、入射角度によってはコントラストが落ちる場合がある。そこで、光学素子40では、屈折型光学素子3を液体レンズ2の前に配置することにより、液体レンズ2で屈折力が変化して光線の入射角度が変化することに起因して発生する可能性のあるコントラストの変化を回避できる。なお、本実施形態では、第1実施形態にて説明した液体レンズ2における絶縁膜8の膜厚のバラツキによる光学特性の劣化が小さいので、この場合、個体差のデータをテーブル23から除外しても構わない。
(Third embodiment)
Next, an optical element according to a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 4 is a schematic diagram illustrating the configuration of the optical element 40 according to the present embodiment and the peripheral configuration of the optical element 40. The optical element 40 is characterized in that the arrangement positions of the liquid lens 2 and the refractive optical element 3 in the configuration of the optical element 1 of the first embodiment are reversed with respect to the light incident side. Other configurations are the same as those of the optical element 1 of the first embodiment. Here, although the refractive optical element 3 employs liquid crystal as a substance that makes the refractive index variable, the liquid crystal generally does not have good viewing angle characteristics, and the contrast may decrease depending on the incident angle. Therefore, in the optical element 40, the refractive optical element 3 may be disposed in front of the liquid lens 2, which may occur due to a change in the incident angle of the light beam due to a change in refractive power in the liquid lens 2. A change in contrast can be avoided. In this embodiment, since the optical characteristic deterioration due to the variation in the film thickness of the insulating film 8 in the liquid lens 2 described in the first embodiment is small, the individual difference data is excluded from the table 23 in this case. It doesn't matter.

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。   As mentioned above, although preferable embodiment of this invention was described, this invention is not limited to these embodiment, A various deformation | transformation and change are possible within the range of the summary.

例えば、上記実施形態では、液体レンズ2に隣接する補助ユニットとして、液晶を用いた屈折型光学素子3を採用したが、本発明は、これに限定するものではない。この補助ユニットは、屈折率を適宜変更可能なものであれば、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。したがって、例えば、屈折型光学素子3に換えて、誘電体の結晶に電場をかけて屈折率を変化させる電気光学効果、特に、電場の強さに比例して屈折率を変化させるポッケルス効果を利用した補助ユニットを採用することも可能である。この場合、誘電体の結晶としては、比較的大きな電気光学定数を有するニオブ酸リチウム(LiNbO)結晶を採用することが望ましい。 For example, in the above-described embodiment, the refractive optical element 3 using liquid crystal is employed as the auxiliary unit adjacent to the liquid lens 2, but the present invention is not limited to this. The auxiliary unit can achieve the same effects as those of the above embodiment as long as the refractive index can be appropriately changed. Therefore, for example, instead of the refractive optical element 3, an electro-optic effect that changes the refractive index by applying an electric field to a dielectric crystal, particularly a Pockels effect that changes the refractive index in proportion to the strength of the electric field is used. It is also possible to adopt an auxiliary unit that has been used. In this case, it is desirable to employ a lithium niobate (LiNbO 3 ) crystal having a relatively large electro-optic constant as the dielectric crystal.

また、上記実施形態では、液体レンズ2は、屈折率の異なる2つの液体を使用し、EW駆動により境界面7の形状を制御するものとして説明したが、本発明は、これに限定するものではない。この液体レンズ2は、少なくとも2つ(複数)の液体が存在すればよく、例えば、3つの液体を使用し、これに伴い、境界面が2つ存在するものとしてもよい。また、境界面7の駆動は、EW駆動ではなく、例えば、境界面を透明膜で形成し、該透明膜を機械的に駆動するものとしてもよい。   In the above embodiment, the liquid lens 2 has been described as using two liquids having different refractive indexes and controlling the shape of the boundary surface 7 by EW driving. However, the present invention is not limited to this. Absent. The liquid lens 2 only needs to have at least two (plural) liquids. For example, three liquids may be used, and two boundary surfaces may exist along with the three liquids. Further, the driving of the boundary surface 7 is not EW driving. For example, the boundary surface may be formed of a transparent film, and the transparent film may be mechanically driven.

1 光学素子
2 液体レンズ
3 屈折型光学素子
5 第1液体
6 第2液体
7 境界面
20 制御部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical element 2 Liquid lens 3 Refraction type optical element 5 1st liquid 6 2nd liquid 7 Interface 20 Control part

Claims (14)

互いに屈折率が異なる複数の液体により形成される境界面の形状を変化させることによって屈折力を変化させることができる液体レンズと、
光透過面における屈折率分布を変化させることが可能な補助ユニットと、
重力方向と温度との少なくとも一方が変化したときの前記液体レンズの光学特性の変化を補正するように、前記液体レンズと前記補助ユニットとを制御する制御手段と、を有することを特徴とする光学素子。
A liquid lens capable of changing the refractive power by changing the shape of the boundary surface formed by a plurality of liquids having different refractive indexes from each other;
An auxiliary unit capable of changing the refractive index distribution on the light transmitting surface;
Control means for controlling the liquid lens and the auxiliary unit so as to correct a change in optical characteristics of the liquid lens when at least one of the direction of gravity and temperature changes. element.
前記制御手段は、前記液体レンズの個体差を補正するように、前記液体レンズと前記補助ユニットとを制御することを特徴とする請求項1に記載の光学素子。   The optical element according to claim 1, wherein the control unit controls the liquid lens and the auxiliary unit so as to correct individual differences between the liquid lenses. 前記重力方向、又は前記温度を計測する検知手段を備え、
前記制御手段は、予め基準となる光学特性を示す基準データを取得し、
次に、使用状態で前記境界面の形状を変化させることで、この場合の光学特性を示す性能データを、前記検知手段が取得した計測データと、前記境界面を駆動する信号とに関連付けて取得し、
次に、前記基準データ、及び前記性能データを含むテーブルを作成し、
次に、前記テーブルを参照して、前記基準データと前記性能データとを比較することにより、前記性能データにおける前記基準データと差異のある補正用データを選択し、
次に、前記補正用データから、回転対称の屈折力成分の補正量と、前記回転対称の屈折力成分以外の成分の補正量を抽出し、
そして、前記補正量に基づいて、前記液体レンズ、又は前記補助ユニットを駆動して補正する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学素子。
A detecting means for measuring the direction of gravity or the temperature;
The control means acquires reference data indicating optical characteristics serving as a reference in advance,
Next, by changing the shape of the boundary surface in use, performance data indicating the optical characteristics in this case is acquired in association with the measurement data acquired by the detection means and a signal for driving the boundary surface And
Next, a table including the reference data and the performance data is created,
Next, referring to the table, by comparing the reference data and the performance data, select correction data that is different from the reference data in the performance data,
Next, from the correction data, a correction amount of a rotationally symmetric refractive power component and a correction amount of a component other than the rotationally symmetric refractive power component are extracted,
And based on the correction amount, the liquid lens or the auxiliary unit is driven and corrected.
The optical element according to claim 1 or 2.
前記回転対称の屈折力成分以外の成分には、非回転対称の屈折力成分、非回転対称の非球面成分、又は回転対称の非球面成分のうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項3に記載の光学素子。   The component other than the rotationally symmetric refractive power component includes at least one of a non-rotary symmetric refractive power component, a non-rotational symmetric aspherical component, or a rotationally symmetric aspherical component. Item 4. The optical element according to Item 3. 前記液体レンズは、前記回転対称の屈折力成分を補正することを特徴とする請求項3に記載の光学素子。   The optical element according to claim 3, wherein the liquid lens corrects the rotationally symmetric refractive power component. 前記補助ユニットは、前記非回転対称の屈折力成分、前記非回転対称の非球面成分、又は前記回転対称の非球面成分のうちの少なくとも1つを補正することを特徴とする請求項3又は4に記載の光学素子。   5. The auxiliary unit corrects at least one of the non-rotationally symmetric power component, the non-rotationally symmetric aspheric component, or the rotation-symmetric aspheric component. An optical element according to 1. 前記制御手段は、前記補正用データから、回転対称の屈折力成分の補正量と、前記回転対称の屈折力成分以外の成分の補正量を抽出する情報抽出部を備え、
前記情報抽出部は、前記回転対称の屈折力成分の補正量を前記液体レンズに送信し、
一方、前記回転対称の屈折力成分以外の成分の補正量を前記補助ユニットに送信することを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項に記載の光学素子。
The control means includes an information extraction unit that extracts a correction amount of a rotationally symmetric refractive power component and a correction amount of a component other than the rotationally symmetric refractive power component from the correction data,
The information extraction unit transmits a correction amount of the rotationally symmetric refractive power component to the liquid lens,
The optical element according to claim 3, wherein a correction amount of a component other than the rotationally symmetric refractive power component is transmitted to the auxiliary unit.
前記テーブルは、前記回転対称の屈折力成分の補正量を含む第1テーブルと、前記回転対称の屈折力成分以外の成分の補正量を含む第2テーブルとから構成され、
前記制御手段は、前記第1テーブルの補正量を前記液体レンズに送信し、
一方、前記第2テーブルの補正量を前記補助ユニットに送信することを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項に記載の光学素子。
The table includes a first table including a correction amount of the rotationally symmetric refractive power component, and a second table including a correction amount of a component other than the rotationally symmetric refractive power component,
The control means transmits the correction amount of the first table to the liquid lens,
The optical element according to claim 3, wherein the correction amount of the second table is transmitted to the auxiliary unit.
前記検知手段は、前記重力方向の変化を計測する重力方向検知センサー、又は前記温度を計測する温度センサーであり、
前記計測データは、前記重力方向検知センサーが取得した重力方向情報、又は前記温度センサーが取得した温度情報であることを特徴とする請求項3に記載の光学素子。
The detection means is a gravity direction detection sensor that measures a change in the gravity direction, or a temperature sensor that measures the temperature,
The optical element according to claim 3, wherein the measurement data is gravity direction information acquired by the gravity direction detection sensor or temperature information acquired by the temperature sensor.
前記制御手段、又は前記情報抽出部は、前記回転対称の屈折力成分の補正量を抽出する際に前記温度情報を参照し、
一方、前記回転対称の屈折力成分以外の成分の補正量を抽出する際に前記重力方向情報を参照することを特徴とする請求項3〜9のいずれか1項に記載の光学素子。
The control means or the information extraction unit refers to the temperature information when extracting the correction amount of the rotationally symmetric refractive power component,
10. The optical element according to claim 3, wherein the gravity direction information is referred to when a correction amount of a component other than the rotationally symmetric refractive power component is extracted.
前記基準データは、常温状態、かつ、前記重力方向が前記光学素子の鉛直方向と一致する状態で前記境界面の形状を変化させ、前記境界面を駆動する信号に関連付けて取得することを特徴とする請求項3に記載の光学素子。   The reference data is acquired in association with a signal for driving the boundary surface by changing the shape of the boundary surface in a normal temperature state and a state in which the direction of gravity coincides with the vertical direction of the optical element. The optical element according to claim 3. 前記液体レンズは、エレクトロウェッティング駆動により前記境界面の形状を変化させることを特徴とする請求項1に記載の光学素子。   The optical element according to claim 1, wherein the liquid lens changes a shape of the boundary surface by electrowetting driving. 前記補助ユニットは、前記屈折力を可変とする物質として液晶を用いた屈折型光学素子であることを特徴とする請求項1に記載の光学素子。   The optical element according to claim 1, wherein the auxiliary unit is a refractive optical element that uses liquid crystal as a substance that changes the refractive power. 互いに屈折率が異なる複数の液体により形成される境界面の形状を変化させることによって屈折力を変化させることができる液体レンズと、
光透過面における屈折率分布を変化させることが可能な補助ユニットと、
前記液体レンズの個体差を補正するように、前記液体レンズと前記補助ユニットとを制御する制御手段と、を有することを特徴とする光学素子。
A liquid lens capable of changing the refractive power by changing the shape of the boundary surface formed by a plurality of liquids having different refractive indexes from each other;
An auxiliary unit capable of changing the refractive index distribution on the light transmitting surface;
An optical element comprising: control means for controlling the liquid lens and the auxiliary unit so as to correct individual differences of the liquid lenses.
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