JP2012091141A - Liquid supply device and liquid supply method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、接着剤等の液体を供給する液体供給装置及び液体供給方法に関するものである。 The present invention relates to a liquid supply apparatus and a liquid supply method for supplying a liquid such as an adhesive.
電子部品実装分野においては、基板に電子部品を固着する際に、基板に接着剤としての液体が塗布される。接着剤などの液体は、液体供給装置に封入され、この液体供給装置の供給口から所定量ずつ基板に供給される(特許文献1)。 In the electronic component mounting field, when an electronic component is fixed to a substrate, a liquid as an adhesive is applied to the substrate. A liquid such as an adhesive is sealed in a liquid supply device, and is supplied to a substrate by a predetermined amount from a supply port of the liquid supply device (Patent Document 1).
特許文献1の液体供給装置は、液体が封入され、液体の供給口が設けられたシリンジを備えており、ディスペンスコントローラからシリンジ内に一定時間エア圧を負荷することにより液体が供給口から押し出される。このとき、負荷するエア圧を適切なものに設定(設定値)するとともに、負荷する時間を調節することにより液体の押し出し量を調節する。
The liquid supply apparatus of
液体の押し出しを繰り返してシリンジ中における液体の体積が減少すると、その分シリンジ内のエアの体積が増える。このようにエアの体積が増えると、その容積分、圧力上昇に遅れが生じる。すなわち、シリンジ内の液体が満杯状態であるときにエア加圧を行えば、図6に示すように、エア加圧を始めてから設定値(例えば200kPa)に到達するまでの時間(以下、立ち上がり時間という)は例えば0.049sとなる。一方、シリンジ内のエアの体積が増えると、満杯状態との水頭差が最大となる。このときにエア加圧を行えば、図7に示すようにエア加圧を始めてから設定値に到達するまでの時間は例えば0.240sとなり、立ち上がり時間は満杯状態よりも長くなる。このように立ち上がり時間が長くなると、押し出し指令に対して実際に液体が出てくるまでの時間に遅れが生じることがある。このような遅れが生じると、塗布初期時にかすれが生じたり、塗布後に液体の溜りが生じたりしてしまうおそれがあり、設定量を正確に塗布することができない。特に、1サイクルに要する時間が短く、高速動作を行うダイボンダでは、この遅れが全体的に大きな影響を及ぼす。 When the liquid volume in the syringe is decreased by repeating the extrusion of the liquid, the volume of air in the syringe is increased accordingly. When the volume of air increases in this way, the pressure rise is delayed by the volume. That is, if air pressurization is performed when the liquid in the syringe is full, as shown in FIG. 6, the time from the start of air pressurization until reaching a set value (for example, 200 kPa) (hereinafter, rise time) For example) is 0.049 s. On the other hand, when the volume of air in the syringe increases, the water head difference from the full state becomes maximum. If air pressurization is performed at this time, as shown in FIG. 7, the time from the start of air pressurization until the set value is reached is, for example, 0.240 s, and the rise time is longer than the full state. When the rise time becomes long in this way, there may be a delay in the time until the liquid actually comes out with respect to the extrusion command. If such a delay occurs, there is a risk of fading at the initial stage of application or a liquid pool after application, and the set amount cannot be applied accurately. In particular, in a die bonder in which the time required for one cycle is short and the high speed operation is performed, this delay has a large influence on the whole.
従来、このような問題に対処するために、立ち上がり時間を短くする方法が提案されている。すなわち、設定圧が低い(例えば200kPa)場合は、低い圧力で加圧するため立ち上がりが鈍くなる。このため、大容量の電磁弁を使うことにより、大容量のエアで加圧することによって立ち上がり時間を短くしている。しかしながら、大容量の電磁弁を使用することによりかかる力が大きくなって、電磁弁のパッキンが摩耗し、損傷しやすくなる。これにより電磁弁の耐久性に問題があり、また、制御が複雑になるという問題があった。 Conventionally, a method for shortening the rise time has been proposed in order to deal with such a problem. That is, when the set pressure is low (for example, 200 kPa), the start-up becomes dull because pressure is applied at a low pressure. For this reason, by using a large volume solenoid valve, the rising time is shortened by pressurizing with a large volume of air. However, when a large capacity solenoid valve is used, the force applied is increased, and the packing of the solenoid valve is worn and easily damaged. As a result, there is a problem in durability of the solenoid valve, and there is a problem that the control becomes complicated.
本発明は上記問題点に鑑みて、加圧を始めてから液体が供給口から押出されるまでの時間遅れを防止して設定量の液体を正確に塗布でき、耐久性の向上を図ることができる流体供給装置及び液体供給方法を提供する。 In view of the above problems, the present invention can prevent a time lag from the start of pressurization until the liquid is pushed out from the supply port, can accurately apply a set amount of liquid, and can improve durability. A fluid supply apparatus and a liquid supply method are provided.
本発明の液体供給装置は、液体が封入されて、液体の供給口が設けられたシリンジを備え、シリンジ内に空気圧回路を介してエアを供給することによりエア圧で液体を供給口から押出す液体供給装置において、前記空気圧回路は、前記シリンジに設定圧のエアを供給する第1エア供給部と、前記シリンジに前記設定圧のエアよりも高圧のエアを供給する第2エア供給部とを備えるとともに、前記シリンジに所定の設定圧のエアを供給する通常供給状態と、シリンジに前記設定エア圧よりも高圧のエアを負荷する高圧供給状態との切換を行う切換手段を備え、初期段階において前記第2エア供給部による高圧供給状態として、設定圧又はその近傍に達した際に、前記第1エア供給部による通常供給状態に切換えるものである。 The liquid supply apparatus of the present invention includes a syringe in which a liquid is sealed and provided with a liquid supply port. The liquid is extruded from the supply port by air pressure by supplying air into the syringe via a pneumatic circuit. In the liquid supply apparatus, the pneumatic circuit includes a first air supply unit that supplies air at a set pressure to the syringe, and a second air supply unit that supplies air at a pressure higher than the air at the set pressure to the syringe. And a switching means for switching between a normal supply state in which air of a predetermined set pressure is supplied to the syringe and a high pressure supply state in which air higher in pressure than the set air pressure is loaded on the syringe. The high pressure supply state by the second air supply unit is switched to the normal supply state by the first air supply unit when a set pressure or the vicinity thereof is reached.
本発明の液体供給装置によれば、空気圧回路は設定圧のエアを供給する第1エア供給部と、設定圧よりも高圧のエアを供給する第2エア供給部とを備えている。すなわち、夫々異なるエア圧を供給する圧力系統を2系統以上備え、設定圧に達するまでは第2エア供給部により高圧のエアを供給し、設定圧又はその近傍に達した際に、第1エア供給部により設定圧のエアの供給に切換える。これにより、初期段階で設定圧よりも高圧のエアを負荷することができるため、シリンジの圧力上昇のスピードを上げることができて、加圧を始めてから設定値に到達するまでの時間を短くすることができる。 According to the liquid supply apparatus of the present invention, the pneumatic circuit includes a first air supply unit that supplies air at a set pressure and a second air supply unit that supplies air at a pressure higher than the set pressure. That is, two or more pressure systems for supplying different air pressures are provided, high pressure air is supplied by the second air supply unit until the set pressure is reached, and when the set pressure or the vicinity thereof is reached, the first air is supplied. The supply unit switches to the supply of set pressure air. As a result, air that is higher than the set pressure can be loaded in the initial stage, so the speed of the syringe pressure rise can be increased, and the time from the start of pressurization until the set value is reached is shortened. be able to.
エア圧を検出するエア圧検出手段を備え、このエア圧検出手段により検出されたエア圧に基づいて前記第2エア供給部から前記第1エア供給部への切換を行うことができる。これにより、エア圧を実測することができる。 Air pressure detecting means for detecting air pressure is provided, and switching from the second air supply section to the first air supply section can be performed based on the air pressure detected by the air pressure detection means. Thereby, the air pressure can be measured.
前記第2エア供給部からエアを供給する際に、前記設定圧にまで到達する時間を設定する設定手段を備え、その時間に前記切換手段が前記第2エア供給部から前記第1エア供給部に切換えることができる。 When supplying air from the second air supply unit, there is provided setting means for setting a time to reach the set pressure, and at that time, the switching unit is switched from the second air supply unit to the first air supply unit. Can be switched to.
前記設定手段は、初期加圧力に基づいて前記設定圧にまで到達する時間を予測するものとできる。 The setting means can predict the time to reach the set pressure based on the initial pressurizing force.
前記切換手段は、前記エア圧検出手段にて検出されたエア圧が設定圧にまで到達する直前又は到達時に、前記第2エア供給部から前記第1エア供給部に切換えることができる。 The switching unit can switch from the second air supply unit to the first air supply unit immediately before or when the air pressure detected by the air pressure detection unit reaches a set pressure.
本発明の液体供給方法は、液体が封入されて、液体の供給口が設けられたシリンジを備え、シリンジ内に空気圧回路を介してエアを供給することにより所定の設定圧で液体を供給口から押出す液体供給方法において、シリンジに前記設定圧のエアよりも高圧のエアを供給する高圧供給状態とした後、設定圧又はその近傍に達した際に、前記シリンジに設定圧を供給する通常供給状態とするものである。 The liquid supply method of the present invention includes a syringe in which a liquid is sealed and provided with a liquid supply port. The liquid is supplied from the supply port at a predetermined set pressure by supplying air into the syringe via a pneumatic circuit. In the liquid supply method for extruding, normal supply for supplying a set pressure to the syringe when the pressure reaches or close to the set pressure after the high pressure air is supplied to the syringe that supplies higher pressure air than the set pressure air. It is a state.
本発明の液体供給方法によれば、設定圧に達するまでは第2エア供給部により高圧のエアを供給し、設定圧又はその近傍に達した際に、第1エア供給部により設定圧の供給に切換える。これにより、初期段階で設定圧よりも高圧のエアを負荷することができるため、シリンジの圧力上昇のスピードを上げることができて、加圧を始めてから設定値に到達するまでの時間を短くすることができる。 According to the liquid supply method of the present invention, high-pressure air is supplied by the second air supply unit until the set pressure is reached, and when the set pressure or the vicinity thereof is reached, the set pressure is supplied by the first air supply unit. Switch to. As a result, air that is higher than the set pressure can be loaded in the initial stage, so the speed of the syringe pressure rise can be increased, and the time from the start of pressurization until the set value is reached is shortened. be able to.
本発明の液体供給装置及び液体供給方法は、加圧を始めてから設定値に到達するまでの時間を短くすることができるため、シリンジ内の液体の体積が減少してエアの割合が増えても、加圧を始めてから液体が供給口から押出されるまでの時間遅れを抑えることができ、設定量の液体を正確に塗布することができる。また、少なくとも2系統の加圧としているため、1系統で使用する電磁弁よりも小さい電磁弁を使用することができ、駆動力を小さくすることができて損傷しにくく耐久性に優れる。さらに、圧力制御は、いずれかの系統を切換えるだけで済み、1系統の圧力制御よりも簡単であるとの利点もある。 Since the liquid supply device and the liquid supply method of the present invention can shorten the time from the start of pressurization until reaching the set value, even if the volume of the liquid in the syringe decreases and the proportion of air increases The time delay from the start of pressurization until the liquid is pushed out from the supply port can be suppressed, and a predetermined amount of liquid can be applied accurately. In addition, since at least two systems of pressurization are used, a solenoid valve smaller than the solenoid valve used in one system can be used, the driving force can be reduced, and it is hard to be damaged and has excellent durability. Furthermore, the pressure control only has to switch one of the systems, and there is an advantage that it is simpler than the pressure control of one system.
エア圧を検出するエア圧検出手段を備えると、エア圧を実測することができ、切換のタイミングを正確なものとできる。 When air pressure detecting means for detecting the air pressure is provided, the air pressure can be measured and the switching timing can be made accurate.
設定手段は、初期加圧力に基づいて前記設定圧にまで到達する時間を予測し、その時間に切換手段が前記第2エア供給部から前記第1エア供給部に切換えるものとすると、切換を自動で行うことができ、しかも高精度に制御することができる。 The setting means predicts the time to reach the set pressure based on the initial pressure, and if the switching means switches from the second air supply unit to the first air supply unit at that time, the switching is automatically performed. And can be controlled with high accuracy.
前記切換手段は、エア圧が設定圧にまで到達する直前又は到達時に、前記第2エア供給部から前記第1エア供給部に切換えるものとすると、装置をシンプルな構成とすることができる。 If the switching means switches from the second air supply unit to the first air supply unit immediately before or when the air pressure reaches the set pressure, the apparatus can be configured in a simple manner.
以下本発明の実施の形態を図1〜図5に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.
この液体供給装置は、半導体チップ等の電子部品を回路基板に実装するために、基板上に塗布される接着剤を供給する装置である。すなわち、液体供給装置に、例えばエポキシやシリコン等の接着剤としての液体Lが封入されたシリンジ1の供給口51から液体Lを押し出して図示省略の基板等の接着部位上に塗布するものである。
This liquid supply apparatus is an apparatus for supplying an adhesive applied on a substrate in order to mount an electronic component such as a semiconductor chip on a circuit board. That is, the liquid L is pushed out from the
この液体供給装置は、図1に示すように、液体Lが封入されるシリンジ1と、このシリンジ1に設けられ、液体Lの出口となる供給口51と、シリンジ内にエアを供給する空気圧回路2と、シリンジ内のエア圧を検出するエア圧検出手段3(図2参照)とを備えている。そして、この空気圧回路2を介してシリンジ内にエアを供給することによりエア圧で液体Lを供給口51から押出すものである。
As shown in FIG. 1, the liquid supply apparatus includes a
シリンジ1は、円筒状となっており、その内周側に液体Lが封入される。このシリンジ1の先端部に、供給口51となるノズルが取付けられている。
The
エア圧検出手段3は、本実施形態ではシリンジ1内の反供給口側に取付られた公知公用のエア圧センサである。このエア圧検出手段3はシリンジ1の内圧を検出し、その検出圧力を電波信号として発信する。
The air pressure detection means 3 is a publicly known air pressure sensor attached to the side opposite to the supply port in the
空気圧回路2は、第1エア供給部5と、第2エア供給部6と、微負圧供給部7と、排気部8と、切換手段4(図2参照)と設定手段10(図2参照)とを備える。この空気圧回路2はシリンジ1に接続されており、分岐部11から第1エア供給部5と第2エア供給部6と微負圧供給部7と、排気部8とが夫々接続されている。
The
このシリンジ1から液体Lを供給するために予め適切な(例えば200kPa)エア圧(設定圧)が設定され、第1エア供給部5は、エア発生源(図示省略)からシリンジ1に設定圧のエアを供給する電磁弁である。第2エア供給部6は、エア発生源(図示省略)から設定圧のエアよりも高圧の(例えば500kPa)エアを供給するための電磁弁である。微負圧供給部7は、シリンジ1に微負圧を供給するための電磁弁であり、排気部8は、シリンジ内を急速に大気圧とするための電磁弁である。
An appropriate (for example, 200 kPa) air pressure (set pressure) is set in advance to supply the liquid L from the
切換手段4は、シリンジ1に設定圧のエアを供給する通常供給状態と、シリンジ1に設定圧よりも高圧のエアを供給する高圧供給状態との切換を行うものである。すなわち、初期段階において第2エア供給部6による高圧供給状態として設定圧又はその近傍に達した際に、第1エア供給部5による通常供給状態に切換えるものである。
The switching means 4 switches between a normal supply state in which air at a set pressure is supplied to the
設定手段10は、第2エア供給部6から高圧のエアを供給する際に、エア圧検出手段3にて検出された初期加圧力に基づいて前記設定圧にまで到達する時間を予測するものである。すなわち、第2エア供給部6からエアを供給し始めた初期段階において、エア圧検出手段3はシリンジ内のエア圧上昇速度を瞬間的に測定することができる。このエア圧上昇速度からシリンジ内が200kPaに到達する予測時間を割り出すことができる。そして、設定手段10は、この予測時間を切換手段4に送出し、その時間に切換手段4は第2エア供給部6から第1エア供給部5へと切換える。
The setting means 10 predicts the time to reach the set pressure based on the initial pressure detected by the air pressure detection means 3 when supplying high-pressure air from the second
次に、本発明の液体供給装置を用いて液体を基板(図示省略)に供給する方法について図3〜図5を用いて説明する。なお、図4では図1に示す4つの弁を簡略化している。本実施形態ではシリンジ1から液体Lを供給するために予め適切な設定圧を200kPaとしている。第1エア供給部5からは200kPaのエア圧が供給されるものとし、第2エア供給部6からは500kPaのエア圧が供給されるものとする。
Next, a method for supplying a liquid to a substrate (not shown) using the liquid supply apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. In FIG. 4, the four valves shown in FIG. 1 are simplified. In this embodiment, an appropriate set pressure is set to 200 kPa in advance for supplying the liquid L from the
まず、図4(a)のように、微負圧供給部7を開状態とするとともに、第1エア供給部5と、第2エア供給部6と、排気部8とを閉状態とし、シリンダ内に微負圧を供給する(ステップS1)。これは、液体がその自重で供給口51から垂れないようにするためである。その後、図4(b)のように、微負圧供給部7を閉状態とするとともに、第2エア供給部6を開状態とし、シリンジ1に500kPaのエアを供給する(ステップS2)。このようにすると、初期段階で設定圧よりも大きな圧力を印加することができるため、図5に示すようにシリンジ1の圧力上昇のスピードを上げることができる。このとき、エア圧検出手段3はシリンジ1の内圧を検出し、その検出圧力を電波信号として設定手段10に発信する。これにより設定手段10は、加圧スピード(図5のグラフの傾き)を算出し、これに基づいてシリンジ1が設定圧(200kPa)に到達する時間tを予測し(ステップS3)、これを切換手段4に送出する。
First, as shown in FIG. 4A, the slight negative
500kPaのエアを時間t供給すると、図5に示すようにシリンジ1内は設定圧又はその近傍に達しており、図4(c)に示すように、切換手段4は、第2エア供給部6を閉状態とするとともに、第1エア供給部5を開状態として第1エア供給部5による通常供給状態に切換える。そして、液体Lが所定量供給されるまで設定圧のエアを供給する(ステップS4)。
When 500 kPa of air is supplied for time t, the
ところで、シリンジ内にエア圧を供給した後、シリンジ内を即座に大気圧に開放することにより、液体Lの切れを良くすることができる。従って、液体Lが所定量供給されたときに、図4(d)に示すように第1エア供給部5を閉状態とするとともに、排気部8を開放し、シリンジ内を急速に大気圧とする(ステップS5)。これにより、液体Lの切れを良くすることができ、液体Lを所定量正確に塗布することができる。なお、本実施形態のように第1エア供給部5と第2エア供給部6とで加圧する場合だけでなく、従来のように第1エア供給部5のみを有するような(つまり、高圧から設定圧への切換を行わない)加圧方法であっても、シリンジ内を急速に大気圧とすることにより液体Lの切れを良くすることができる。
By the way, after supplying the air pressure into the syringe, the liquid L can be cut well by immediately releasing the inside of the syringe to the atmospheric pressure. Therefore, when a predetermined amount of the liquid L is supplied, the first
本発明では、空気圧回路2は設定圧のエアを供給する第1エア供給部5と、設定圧よりも高圧のエアを供給する第2エア供給部6とを備えている。すなわち、夫々異なるエア圧を供給する圧力系統を2系統以上備え、設定圧に達するまでは第2エア供給部6により高圧のエアを供給し、設定圧又はその近傍に達した際に、第1エア供給部5により設定圧のエアの供給に切換える。これにより、初期段階で設定圧よりも高圧のエアを負荷することができるため、シリンジ1の圧力上昇のスピードを上げることができて、加圧を始めてから設定値に到達するまでの時間を短くすることができる。従って、シリンジ内の液体の体積が減少してエアの割合が増えても、加圧を始めてから液体が供給口51から押出されるまでの時間遅れを抑えることができ、設定量の液体を正確に塗布することができる。また、少なくとも2系統の加圧としているため、1系統で使用する電磁弁よりも小さい電磁弁を使用することができ、駆動力を小さくすることができて損傷しにくく耐久性に優れる。さらに、圧力制御は、いずれかの系統を切換えるだけで済み、1系統の圧力制御よりも簡単であるとの利点もある。
In the present invention, the
エア圧を検出するエア圧検出手段3を備え、このエア圧検出手段3により検出されたエア圧に基づいて第2エア供給部6から第1エア供給部5への切換を行うようにしている。これにより、シリンジ内のエア圧を実測することができ、切換のタイミングを正確なものとできる。
Air
第2エア供給部6から加圧エアを供給する際に、初期加圧力に基づいて設定圧にまで到達する時間を予測する設定手段10を備え、その時間に切換手段4が第2エア供給部6から第1エア供給部5に切換えるようにしている。これにより、切換を自動で行うことができ、しかも高精度に制御することができる。
When supplying pressurized air from the second
他の実施形態として、切換手段4が第1エア供給部5から第2エア供給部6に切換えるタイミングとしては、設定圧やシリンジ1の大きさ等に基づく加圧速度の経験値から、設定圧にまで到達する時間を予測することができ、その時間を設定手段10に記憶させて切換る。
As another embodiment, the timing at which the
また、さらに別の実施形態として、切換手段4が第1エア供給部5から第2エア供給部6に切換えるタイミングとしては、時間を設定することなく、エア圧検出手段3にて検出されたエア圧が設定圧にまで到達する直前又は到達時に切換える。このようにすると、設定手段10を設ける必要がなくなって、装置をシンプルな構成とすることができる。
As still another embodiment, the timing at which the
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、エア圧検出手段3の位置は実施形態の位置に限られず、供給口51に設けたりする等、その場所は任意である。また、第1エア供給部5により加圧される設定圧や、第2エア供給部6により加圧されるエア圧は任意である。実施形態では第1エア供給部5と第2エア供給部6との2系統の加圧としたが、第3エア供給部、第4エア供給部・・・と3系統以上で加圧するものであってもよい。微負圧供給部7と、排気部8を省略することもできる。
As described above, the embodiment of the present invention has been described. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible. For example, the position of the air
1 シリンジ
2 空気圧回路
3 エア圧検出手段
4 切換手段
5 第1エア供給部
6 第2エア供給部
10 設定手段
51 供給口
L 液体
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記空気圧回路は、前記シリンジに設定圧のエアを供給する第1エア供給部と、前記シリンジに前記設定圧のエアよりも高圧のエアを供給する第2エア供給部とを備えるとともに、
前記シリンジに所定の設定圧のエアを負荷する通常供給状態と、シリンジに前記設定エア圧よりも高圧のエアを負荷する高圧供給状態との切換を行う切換手段を備え、
初期段階において前記第2エア供給部による高圧供給状態として、設定圧又はその近傍に達した際に、前記第1エア供給部による通常供給状態に切換えることを特徴とする液体供給装置。 In a liquid supply apparatus that includes a syringe in which a liquid is sealed and provided with a liquid supply port, and pushes the liquid from the supply port with air pressure by supplying air into the syringe through a pneumatic circuit.
The pneumatic circuit includes a first air supply unit that supplies air of a set pressure to the syringe, and a second air supply unit that supplies air of higher pressure than the air of the set pressure to the syringe,
A switching means for switching between a normal supply state in which air of a predetermined set pressure is loaded on the syringe and a high pressure supply state in which air higher in pressure than the set air pressure is loaded on the syringe;
The liquid supply apparatus according to claim 1, wherein when the set pressure or the vicinity thereof is reached as a high pressure supply state by the second air supply unit in an initial stage, the liquid supply device is switched to a normal supply state by the first air supply unit.
シリンジに前記設定圧のエアよりも高圧のエアを負荷する高圧供給状態とした後、
設定圧又はその近傍に達した際に、前記シリンジに設定圧を負荷する通常供給状態とすることを特徴とする液体供給方法。 In a liquid supply method comprising a syringe in which liquid is enclosed and provided with a liquid supply port, and extruding liquid from the supply port at a predetermined set pressure by supplying air into the syringe via a pneumatic circuit,
After a high pressure supply state in which the syringe is loaded with higher pressure air than the set pressure air,
A liquid supply method, wherein a normal supply state in which a set pressure is applied to the syringe when a set pressure or a vicinity thereof is reached.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012139627A (en) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Canon Machinery Inc | Liquid supply device and liquid supply method |
JP2014147921A (en) * | 2013-01-10 | 2014-08-21 | Nidec Machinery Corp | Solution discharge device and solution discharge method |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6390080U (en) * | 1986-11-29 | 1988-06-11 | ||
JPH02265671A (en) * | 1989-04-04 | 1990-10-30 | Mitsubishi Electric Corp | Dispenser apparatus |
-
2010
- 2010-10-28 JP JP2010242264A patent/JP2012091141A/en active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6390080U (en) * | 1986-11-29 | 1988-06-11 | ||
JPH02265671A (en) * | 1989-04-04 | 1990-10-30 | Mitsubishi Electric Corp | Dispenser apparatus |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012139627A (en) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Canon Machinery Inc | Liquid supply device and liquid supply method |
JP2014147921A (en) * | 2013-01-10 | 2014-08-21 | Nidec Machinery Corp | Solution discharge device and solution discharge method |
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