JP2012066982A - Method for producing compound semiconductor particle - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily produce a chalcopyrite type compound by low temperature heating without making the process complicated.SOLUTION: A first solution is prepared by dissolving two or more cation raw materials comprising metal salts such as CuI and InIin oleylamine. A second solution is prepared by dissolving an alkylsilylated sulfur compound such as bistrimethylsilyl sulfide in octadecene. A mixed solution is prepared by mixing the first solution and the second solution. The mixed solution is heat treated at a low temperature of 160°C to produce nanoparticles of a compound semiconductor having a chalcopyrite structure, such as CuInS.

Description

本発明は、化合物半導体粒子の製造方法に関し、より詳しくは、カルコパイライト構造を有する化合物半導体の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing compound semiconductor particles, and more particularly to a method for producing a compound semiconductor having a chalcopyrite structure.

化合物半導体の一種であるカルコパイライト型化合物は、光電子素子用材料として注目されている。   Chalcopyrite type compounds, which are a type of compound semiconductor, are attracting attention as materials for optoelectronic devices.

このカルコパイライト型化合物は、立方晶系の閃亜鉛鉱型構造をc軸方向に2段重ねしたような正方晶系の結晶構造を有しており、I−III−VI族、II−III−VI族、I−II−IV−VI族化合物等、種々の化合物の存在が知られている。 The chalcopyrite compounds has a tetragonal crystal structure as overlapped two stages sphalerite structure cubic in the c-axis direction, I-III-VI 2 group, II-III 2 -VI 4 group, I 2 -II-IV-VI 4 group compound or the like, the presence of various compounds are known.

このカルコパイライト型化合物は、直接遷移半導体であることから、光吸収特性に優れ、光劣化が生じにくく、また耐放射性に優れていることから、Siに代わる新しい太陽電池材料として期待されている。さらに、カルコパイライト型化合物は、広範なバンドギャップをカバーすることができ、幅広い波長をカバーできることから赤外域から紫外域に至るまでの発光・受光素子として利用することも可能である。   Since this chalcopyrite type compound is a direct transition semiconductor, it is expected to be a new solar cell material to replace Si because it has excellent light absorption characteristics, hardly causes photodegradation, and has excellent radiation resistance. Furthermore, the chalcopyrite type compound can cover a wide band gap and can cover a wide range of wavelengths, and thus can be used as a light emitting / receiving element from the infrared region to the ultraviolet region.

一方、粒径が10nm以下のナノ粒子は、量子サイズ効果を利用した広い波長範囲での制御が可能であることから、太陽電池や発光ダイオード(LED)等の光電変換バイスへの応用が注目されている。   On the other hand, nanoparticles with a particle size of 10 nm or less can be controlled in a wide wavelength range using the quantum size effect, and thus are attracting attention for application to photoelectric conversion devices such as solar cells and light-emitting diodes (LEDs). ing.

そこで、近年、カルコパライライト型化合物のナノ粒子作製技術が盛んに研究されている。   Therefore, in recent years, a technique for producing nanoparticles of a chalcopyrite type compound has been actively studied.

例えば、特許文献1には、カルコパイライト構造を有するI-III-VI族の元素それぞれ1種の元素からなる第1化合物であって、前記第1化合物からなる粒子は、外径が0.5〜20.0nmで、励起光によって励起される光波を発する蛍光量子収率が室温で3.0%以上20.0%以下である蛍光体が提案されている。 For example, Patent Document 1, a first compound comprising a I-III-VI 2 group elements each one element having a chalcopyrite structure, particles consisting of the first compound, an outer diameter 0. A phosphor having a fluorescence quantum yield of emitting light waves excited by excitation light at 5 to 20.0 nm is 3.0% or more and 20.0% or less at room temperature.

この特許文献1では、カルコパイライト構造の化合物を構成する複数の種類の元素の原料塩を、前記複数の種類の元素の錯化剤を添加した溶液に溶解させて混合した第1溶液、及びカルコゲナイトを溶解させた第2溶液を混合し、所定の前処理条件下で前処理した後に、所定の加熱条件で加熱処理することにより、蛍光体を作製している。   In Patent Document 1, a first solution in which raw material salts of a plurality of types of elements constituting a compound of a chalcopyrite structure are dissolved and mixed in a solution to which a complexing agent of the plurality of types of elements is added, and chalcogenite The second solution in which is dissolved is mixed, pretreated under predetermined pretreatment conditions, and then heat treated under predetermined heating conditions to produce a phosphor.

具体的には、特許文献1では、ヨウ化銅(I)とヨウ化インジウム(III)をオレイルアミンに溶解させて第1溶液を作製し、チオアセトアミドをトリオクチルフォスフィンに溶解させて第2溶液を作製している。そして、これら第1溶液及び第2溶液を混合した反応溶液を、アルゴン雰囲気下、温度25℃で、基本的に24時間熟成させ、その後、反応溶液を温度160℃から280℃で3秒から10分間加熱して反応させ、これによりCuInSからなる蛍光体を作製している。 Specifically, in Patent Document 1, copper iodide (I) and indium iodide (III) are dissolved in oleylamine to prepare a first solution, and thioacetamide is dissolved in trioctylphosphine to form a second solution. Is making. Then, a reaction solution obtained by mixing the first solution and the second solution is aged for 24 hours at a temperature of 25 ° C. in an argon atmosphere, and then the reaction solution is heated at a temperature of 160 ° C. to 280 ° C. for 3 seconds to 10 seconds. The phosphor is made of CuInS 2 by reacting by heating for a minute.

また、特許文献1には、カルコゲンを含有したカルコゲナイド化合物として、チオアセトアミドの他、硫化水素、チオ尿素、トリオクチルフォスフィンスルフィド等を使用することができ、さらに、イオウを直接金属塩と反応させてカルコパイライト型化合物を得ることも可能とされている。   In Patent Document 1, as a chalcogenide compound containing chalcogen, hydrogen sulfide, thiourea, trioctylphosphine sulfide, etc. can be used in addition to thioacetamide, and sulfur is directly reacted with a metal salt. Thus, it is possible to obtain a chalcopyrite type compound.

また、特許文献2には、周期律表第Ib族金属化合物、第IIIb族金属化合物、および第VIb族化合物を有機溶媒中で混合してナノ粒子を形成するようにしたカルコパイライトナノ粒子の製造方法が提案されている。   Patent Document 2 discloses the production of chalcopyrite nanoparticles in which a periodic table group Ib metal compound, group IIIb metal compound, and group VIb compound are mixed in an organic solvent to form nanoparticles. A method has been proposed.

この特許文献2では、カルコパイライトナノ粒子を2段階工程を経て作製する方法、及び1工程で作製する方法が記載されている。   This Patent Document 2 describes a method for producing chalcopyrite nanoparticles through a two-step process and a method for producing them in one step.

前記2段階工程を経て作製する場合は、まず、硫酸銅とオレイルアミンをジオクチルエーテル中で混合し、アルゴン雰囲気下に数分間撹拌した後、100℃まで昇温し、イオウをドデカンチオールに溶解させた溶液を添加し、撹拌した後、遠心分離し、これにより硫化銅ナノ粒子を得る(第1段階)。   In the case of manufacturing through the two-step process, first, copper sulfate and oleylamine are mixed in dioctyl ether, stirred for several minutes in an argon atmosphere, then heated to 100 ° C., and sulfur is dissolved in dodecanethiol. The solution is added and stirred and then centrifuged to obtain copper sulfide nanoparticles (first stage).

次いで、酢酸インジウムと1−ドデカンチオールをトリオクチルアミン中で混合し、アルゴン雰囲気下で撹拌しながら90℃まで昇温し、硫化銅ナノ粒子をトリオクチルアミンに溶解させた溶液を添加し、200℃で30分間撹拌し、これによりカルコパイライトナノ粒子であるCuInSを得ている(第2段階)。 Next, indium acetate and 1-dodecanethiol were mixed in trioctylamine, heated to 90 ° C. with stirring under an argon atmosphere, and a solution in which copper sulfide nanoparticles were dissolved in trioctylamine was added. The mixture was stirred at a temperature of 30 ° C. for 30 minutes, thereby obtaining chalcopyrite nanoparticles CuInS 2 (second stage).

一方、前記1工程で作製する場合は、酢酸銅および酢酸インジウムと1−ドデカンチオールをトリオクチルアミン中で混合し、アルゴン雰囲気下で攪拌しながら90℃まで昇温し、所定時間撹拌した後、200℃まで加熱し30〜120分間撹拌し、これによりカルコパイライトナノ粒子であるCuInSを得ている。 On the other hand, when producing in said 1 process, after mixing copper acetate and indium acetate, and 1-dodecanethiol in trioctylamine, heating up to 90 degreeC, stirring in argon atmosphere, The mixture was heated to 200 ° C. and stirred for 30 to 120 minutes, whereby CuInS 2 as chalcopyrite nanoparticles was obtained.

特開2007−169605号公報(請求項1、21、26、段落番号〔0051〕、〔0052〕)JP 2007-169605 A (Claims 1, 2, 26, paragraph numbers [0051], [0052]) 特開2008−192542号公報(請求項1、段落番号〔0050〕、〔0052〕)JP 2008-192542 A (Claim 1, paragraph numbers [0050] and [0052])

しかしながら、特許文献1及び2の作製方法では、以下のような問題があった。   However, the manufacturing methods of Patent Documents 1 and 2 have the following problems.

すなわち、特許文献1では、ナノ粒子の作製過程で、前駆体溶液である第2溶液を長時間(例えば、24時間)をかけて室温で熟成しなければならず、このため最終生成物を得るまでに長時間を要し、生産性に劣るという問題があった。すなわち、カルコゲナイド化合物として、反応性の低いチオアセトアミドを使用しているため、熟成時間に長時間を要し、このため生産性に劣るという問題があった。   That is, in Patent Document 1, in the process of producing nanoparticles, the second solution, which is a precursor solution, must be aged for a long time (for example, 24 hours) at room temperature, and thus a final product is obtained. There was a problem that it took a long time to inferior productivity. That is, since a low-reactivity thioacetamide is used as the chalcogenide compound, it takes a long time for ripening, and therefore there is a problem that productivity is inferior.

また、カルコゲナイド化合物として、硫化水素やチオ尿素を使用した場合は、これらは毒性が強いことから、環境面に配慮しなければならず、高価な周辺設備が必要になる。   Further, when hydrogen sulfide or thiourea is used as the chalcogenide compound, these are highly toxic, so environmental considerations must be taken into account, and expensive peripheral equipment is required.

また、カルコゲナイド化合物として、トリオクチルフォスフィンスルフィドを使用した場合は、チオアセトアミドと同様、反応性が低い上に高価であり、材料コストが高くなる。   Further, when trioctylphosphine sulfide is used as the chalcogenide compound, the reactivity is low as well as thioacetamide, and the material cost is high.

さらに、カルコゲンとしてのイオウ単体を使用した場合は、高温で反応させる必要があり、高エネルギーを要するため、生産効率に劣り、しかも製造設備も高価になる。   Further, when sulfur alone as a chalcogen is used, it is necessary to react at a high temperature, requiring high energy, resulting in inferior production efficiency and expensive manufacturing equipment.

一方、特許文献2では、2段階工程で作製する場合はCuSナノ粒子を作製してからInをドープしているため、工程が煩雑になる。また、1工程で作製する場合、200℃の高温で長時間(例えば、30〜120分)加熱しなければならず、高いエネルギーを要し、生産効率に劣る上に製造設備も高価になる。   On the other hand, in Patent Document 2, in the case of producing in a two-step process, since the CuS nanoparticles are produced and then In is doped, the process becomes complicated. Moreover, when producing by 1 process, it must heat at 200 degreeC high temperature for a long time (for example, 30 to 120 minutes), requires high energy, is inferior in production efficiency, and also manufacture equipment becomes expensive.

本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、工程が煩雑化することなく低温加熱で容易にカルコパイライト型化合物を製造することができる化合物半導体の製造方法を提供することを目的とする。   This invention is made in view of such a situation, Comprising: It aims at providing the manufacturing method of the compound semiconductor which can manufacture a chalcopyrite type compound easily by low-temperature heating, without complicating a process. To do.

本発明者は、上記目的を達成するために鋭意研究を行ったところ、カルコゲンを含有したカルコゲナイド化合物にアルキルシリル化イオウ化合物を使用することにより、低温加熱でもって金属塩からなるカチオン原料と容易に反応させることができ、これによりカルコパイライト型化合物を低エネルギーで効率よく製造することができるという知見を得た。   The present inventor conducted intensive research to achieve the above object, and by using an alkylsilylated sulfur compound for a chalcogenide-containing chalcogenide compound, it is easy to form a cation raw material comprising a metal salt with low-temperature heating. The present inventors have found that a chalcopyrite type compound can be produced efficiently with low energy.

本発明はこのような知見に基づきなされたものであって、本発明に係る化合物半導体粒子の製造方法は、金属塩からなる2種類以上のカチオン原料とアルキルシリル化イオウ化合物とを液相で反応させ、カルコパイライト構造を有する化合物半導体粒子を作製することを特徴としている。   The present invention has been made on the basis of such knowledge, and the method for producing compound semiconductor particles according to the present invention comprises reacting two or more kinds of cation raw materials comprising a metal salt with an alkylsilylated sulfur compound in a liquid phase. And producing compound semiconductor particles having a chalcopyrite structure.

また、本発明の化合物半導体粒子の製造方法は、前記液相での反応は、160℃以下の低温加熱下で行うのが好ましい。   In the method for producing compound semiconductor particles of the present invention, the reaction in the liquid phase is preferably performed under low temperature heating of 160 ° C. or lower.

また、本発明の化合物半導体粒子の製造方法は、前記カチオン原料を第1の有機溶媒に溶解させて第1の溶液を作製すると共に、前記アルキルシリル化イオウ化合物を第2の有機溶媒に溶解させて第2の溶液を作製し、前記第1の溶液と前記第2の溶液とを混合して混合溶液を作製し、該混合溶液を所定の低温で加熱処理するのも好ましい。   In the method for producing compound semiconductor particles of the present invention, the cation raw material is dissolved in a first organic solvent to prepare a first solution, and the alkylsilylated sulfur compound is dissolved in a second organic solvent. It is also preferable to prepare a second solution, mix the first solution and the second solution to prepare a mixed solution, and heat the mixed solution at a predetermined low temperature.

また、本発明の化合物半導体粒子の製造方法は、前記カチオン原料を第1の有機溶媒に溶解させて第1の溶液を作製すると共に、前記アルキルシリル化イオウ化合物を第2の有機溶媒に溶解させて第2の溶液を作製し、前記第1の溶液を所定の低温で加熱処理し、加熱された前記第1の溶液に前記第2の溶液を添加するのも好ましい。   In the method for producing compound semiconductor particles of the present invention, the cation raw material is dissolved in a first organic solvent to prepare a first solution, and the alkylsilylated sulfur compound is dissolved in a second organic solvent. It is also preferable to prepare a second solution, heat-treat the first solution at a predetermined low temperature, and add the second solution to the heated first solution.

また、本発明の化合物半導体粒子の製造方法は、前記所定の低温が160℃以下であるのが好ましい。   In the method for producing compound semiconductor particles of the present invention, the predetermined low temperature is preferably 160 ° C. or lower.

また、本発明の化合物半導体粒子の製造方法は、前記カルコパイライト構造が、周期律表のI−III−VI族、II−III−VI族、I−II−IV−VI族に属する元素で構成され、VI族に属する元素がイオウであるのが好ましい。 The production method of a compound semiconductor particles of the present invention, the chalcopyrite structure, I-III-VI 2 group of the Periodic Table, II-III 2 -VI 4 group, I 2 -II-IV-VI 4 group Preferably, the element belonging to Group VI and the element belonging to Group VI is sulfur.

また、本発明の化合物半導体粒子の製造方法は、前記アルキルシリル化イオウ化合物は、ビストリメチルシリルスルフィド及びビストリルエチルシリルスルフィドを含むのが好ましい。   In the method for producing compound semiconductor particles of the present invention, the alkylsilylated sulfur compound preferably contains bistrimethylsilyl sulfide and bistrylethylsilyl sulfide.

上記化合物半導体粒子の製造方法によれば、金属塩からなるカチオン原料とビストリメチルシリルスルフィドやビストリルエチルシリルスルフィド等のアルキルシリル化イオウ化合物とを液相で反応させ、I−III−VI族、II−III−VI族、I−II−IV−VI族等のカルコパイライト構造を有する化合物半導体粒子を作製するので、カチオン原料とカルコゲナイト化合物とを低温下で合成させることができ、工程の煩雑化を招くことなく、カルコパイライト型化合物を低コストで容易に製造することができる。 According to the manufacturing method of the compound semiconductor particles, and alkylsilyl sulfur compounds such as cationic material and bis-trimethylsilyl sulfide and bis tolyl triethylsilyl sulfide comprising a metal salt are reacted in the liquid phase, I-III-VI 2 group, Since compound semiconductor particles having a chalcopyrite structure such as II-III 2 -VI 4 group, I 2 -II-IV-VI 4 group and the like can be produced, the cation raw material and the chalcogenite compound can be synthesized at a low temperature, A chalcopyrite compound can be easily produced at low cost without complicating the process.

また、前記液相での反応を、160℃以下の低温加熱下で行うことにより、エネルギーコストも抑制することができ、特殊な設備も要することなくカルコパイライト型化合物を得ることができる。   In addition, by performing the reaction in the liquid phase under low-temperature heating at 160 ° C. or lower, the energy cost can be suppressed, and a chalcopyrite compound can be obtained without requiring special equipment.

また、前記カチオン原料を第1の有機溶媒に溶解させて第1の溶液を作製すると共に、前記アルキルシリル化イオウ化合物を第2の有機溶媒に溶解させて第2の溶液を作製し、前記第1の溶液と前記第2の溶液とを混合して混合溶液を作製し、該混合溶液を所定の低温(例えば、160℃以下)で加熱処理するので、第1及び第2の有機溶媒は、比較的低沸点の有機溶媒も使用可能であり、有機溶媒の選択の自由度を拡げることができる。   The cation raw material is dissolved in a first organic solvent to prepare a first solution, and the alkylsilylated sulfur compound is dissolved in a second organic solvent to prepare a second solution, The first solution and the second solution are mixed to prepare a mixed solution, and the mixed solution is heated at a predetermined low temperature (for example, 160 ° C. or lower). An organic solvent having a relatively low boiling point can also be used, and the degree of freedom in selecting an organic solvent can be expanded.

前記カチオン原料を第1の有機溶媒に溶解させて第1の溶液を作製すると共に、前記アルキルシリル化イオウ化合物を第2の有機溶媒に溶解させて第2の溶液を作製し、前記第1の溶液を所定の低温(例えば、160℃以下)で加熱処理し、加熱された前記第1の溶液に前記第2の溶液を添加する場合も、上述と同様、比較的低沸点の有機溶媒も使用可能であり、有機溶媒の選択の自由度を拡げることができる。   The cation raw material is dissolved in a first organic solvent to prepare a first solution, and the alkylsilylated sulfur compound is dissolved in a second organic solvent to prepare a second solution. When the solution is heat-treated at a predetermined low temperature (for example, 160 ° C. or lower) and the second solution is added to the heated first solution, an organic solvent having a relatively low boiling point is used as described above. This is possible, and the degree of freedom in selecting an organic solvent can be expanded.

実施例試料のX線回折スペクトルを示す図である。It is a figure which shows the X-ray-diffraction spectrum of an Example sample. 比較例試料のX線回折スペクトルを示す図である。It is a figure which shows the X-ray-diffraction spectrum of a comparative example sample.

次に、本発明を実施するための形態を詳説する。   Next, the form for implementing this invention is explained in full detail.

本発明に係る化合物半導体粒子の製造方法は、金属塩からなる2種以上のカチオン原料とアルキルシリル化イオウ化合物とを液相で反応させ、カルコパイライト構造を有する化合物半導体粒子を作製している。   In the method for producing compound semiconductor particles according to the present invention, compound semiconductor particles having a chalcopyrite structure are produced by reacting two or more kinds of cation raw materials composed of metal salts with an alkylsilylated sulfur compound in a liquid phase.

カルコパイライト構造を有する化合物半導体は、通常、周期律表のIb〜IVb族に属する金属元素を含有した金属塩からなるカチオン原料と、VIb族元素であるカルコゲンを含有したカルコゲナイド化合物又はカルコゲン単体との反応により作製することができる。   A compound semiconductor having a chalcopyrite structure is generally composed of a cation raw material composed of a metal salt containing a metal element belonging to groups Ib to IVb of the periodic table, and a chalcogenide compound containing chalcogen which is a group VIb element or a single chalcogen. It can be produced by reaction.

したがって、この種の化合物半導体では、カルコゲンをイオウ元素で構成する場合、カルコゲナイド化合物としては金属イオンの共存下で反応するイオウ化合物を使用することができる。   Therefore, in this type of compound semiconductor, when the chalcogen is composed of a sulfur element, a sulfur compound that reacts in the presence of a metal ion can be used as the chalcogenide compound.

しかしながら、〔背景技術〕や〔発明が解決しようとする課題〕の項でも述べたように、イオウ化合物としてチオアセトアミドやトリオクチルフォスフィンスルフィドを使用した場合、これらはいずれも反応性が低く、加熱処理を行う前に長時間をかけて前駆体溶液を熟成しなければならない。   However, as described in [Background Art] and [Problems to be Solved by the Invention], when thioacetamide or trioctylphosphine sulfide is used as a sulfur compound, these are both low in reactivity and heated. The precursor solution must be aged for a long time before processing.

一方、硫化水素やチオ尿素を使用した場合は、その毒性から環境面の配慮が必要となり、このため高価な設備が必要となる。また、イオウ単体を使用した場合は、高温での加熱が必要となり、したがって斯かる高温の加熱温度に耐え得るような高沸点(例えば、沸点300℃以上)の有機溶剤を使用しなければならず、有機溶剤の選択の自由度が狭い。   On the other hand, when hydrogen sulfide or thiourea is used, environmental considerations are necessary due to its toxicity, and thus expensive equipment is required. In addition, when sulfur alone is used, heating at a high temperature is required. Therefore, an organic solvent having a high boiling point (for example, a boiling point of 300 ° C. or higher) that can withstand such a high heating temperature must be used. The degree of freedom in selecting an organic solvent is narrow.

そこで、本発明では反応性に富んだアルキルシリル化イオウ化合物をカルコゲナイド化合物に使用することにより、低温加熱下、反応を促進させることができ、これにより工程が煩雑化することもなく低コストでカルコパイライト型化合物のナノ粒子を得ることが可能となる。   Therefore, in the present invention, by using a highly reactive alkylsilylated sulfur compound for the chalcogenide compound, the reaction can be promoted under low temperature heating, thereby reducing the cost of the chalcogen without complicating the process. It becomes possible to obtain nanoparticles of pyrite type compounds.

すなわち、アルキルシリル化イオウ化合物は、化学的に不安定で反応性に富んでいる。特に、化合物中のSiは、イオウやアルキル基との接合を容易に切断して周囲の酸素と結合しようとする結果、イオウはカチオン原料と容易に結合する。   That is, the alkylsilylated sulfur compound is chemically unstable and highly reactive. In particular, Si in the compound easily bonds with sulfur and an alkyl group to easily bond with surrounding oxygen. As a result, sulfur is easily bonded with a cation material.

アルキルシリル化イオウ化合物としてビストリルメチルシリルスルフィド(((CHSi)S)を使用した場合について説明すると以下のようになる。 The case where bistrylmethylsilyl sulfide (((CH 3 ) 3 Si) 2 S) is used as the alkylsilylated sulfur compound is as follows.

ビストリルメチルシリルスルフィドは化学的に不安定で反応性に富むため、所定温度(例えば、160℃)以下の低温であっても、化学式(1)で示すように、Siは、SやCHとの接合を容易に切断して分解し、周囲の酸素(O)と結合しようとする。そしてその結果、イオウはカチオンと化学結合し易くなり、これにより低温加熱下であってもイオウとカチオンとの反応が促進され、カルコパイライト型化合物を容易に生成することができる。 Since bistrylmethylsilyl sulfide is chemically unstable and rich in reactivity, as shown by chemical formula (1), Si can contain S or CH 3 even at a low temperature below a predetermined temperature (for example, 160 ° C.). The structure is easily cut and decomposed to bond with surrounding oxygen (O). As a result, sulfur is easily chemically bonded to the cation, whereby the reaction between sulfur and the cation is promoted even under low temperature heating, and a chalcopyrite type compound can be easily formed.

Figure 2012066982
Figure 2012066982

このように本発明では、カチオン原料とカルコゲナイド化合物とは、低温加熱下で反応が促進され、これにより工程の煩雑化を招くことなく、カルコパイライト型化合物を低コストで容易に製造することができる。   As described above, in the present invention, the reaction between the cation raw material and the chalcogenide compound is promoted under low-temperature heating, thereby making it possible to easily produce a chalcopyrite type compound at low cost without incurring complicated processes. .

また、アルキルシリル化イオウ化合物とカチオン原料とは低温で反応するので、これらを溶解させるための有機溶剤も低沸点のものを使用することが可能となり、有機溶剤の選択の自由度も拡げることができる。   Moreover, since the alkylsilylated sulfur compound and the cation raw material react at a low temperature, it is possible to use an organic solvent having a low boiling point for dissolving them, and the degree of freedom in selecting an organic solvent can be expanded. it can.

さらに、アルキルシリル化イオウ化合物は安価で毒性もなく、したがって、煩雑な工程を要することもなく、低コストかつ低エネルギーで容易に作製することが可能となる。   Furthermore, the alkylsilylated sulfur compound is inexpensive and non-toxic, and therefore can be easily produced at low cost and low energy without requiring complicated steps.

しかも、分子内官能基であるアルキル鎖の鎖長を選択することで反応性を制御することが可能であり、粒径や組成制御の任意性を上げることができる。   In addition, the reactivity can be controlled by selecting the chain length of the alkyl chain, which is an intramolecular functional group, and the particle size and composition control can be improved.

このようなアルキルシリル化イオウ化合物としては、特に限定されるものではなく、上述したビストリメチルシリルスルフィドの他、ビストリエチルシリルスルフィド、ビストリプロピルシリルスルフィド等を使用することができる。   Such an alkylsilylated sulfur compound is not particularly limited, and bistriethylsilyl sulfide, bistripropylsilyl sulfide and the like can be used in addition to the above-described bistrimethylsilyl sulfide.

以下、上記化合物半導体粒子の製造方法の一例を具体的に詳述する。   Hereinafter, an example of the manufacturing method of the said compound semiconductor particle is explained in full detail.

まず、金属塩からなる2種類以上のカチオン原料を用意する。   First, two or more kinds of cation materials made of a metal salt are prepared.

ここで、カチオン原料としては、Ib〜IVb族に属する金属元素を含有した2種以上の金属塩を使用することができ、各種のCu化合物、Ag化合物、Zn化合物、Al化合物、Ga化合物、In化合物、Ge化合物、及びSn化合物等の金属塩を使用することができる。   Here, as the cation raw material, two or more kinds of metal salts containing metal elements belonging to the groups Ib to IVb can be used. Various Cu compounds, Ag compounds, Zn compounds, Al compounds, Ga compounds, In Metal salts such as compounds, Ge compounds, and Sn compounds can be used.

次に、この2種以上のカチオン原料を最終組成物が得られるように、所定量秤量する。例えば、I−III―VI族化合物を作製する場合であれば、Ib族元素とIIIb族元素とがモル比で1:1となるように秤量し、II−III―VI化合物を作製する場合であれば、IIb族元素とIIIb族元素とがモル比で1:2となるように秤量し、また、I−II−IV−VI化合物を作製する場合であれば、Ib族元素、IIb族元素、及びIVb族元素がモル比で2:1:1となるように秤量する。ただし、上記モル比は必ずしも化学量論比である必要はなく、必要に応じて化学量論比から僅かにずれていてもよい。 Next, a predetermined amount of these two or more cationic raw materials is weighed so as to obtain a final composition. For example, in the case of producing an I-III-VI group 2 compound, the Ib group element and the IIIb group element are weighed so as to have a molar ratio of 1: 1 to produce an II-III 2- VI 4 compound. In the case where the IIb group element and the IIIb group element are weighed so that the molar ratio is 1: 2, and the I 2 -II-IV-VI 4 compound is prepared, the Ib group The elements, group IIb elements, and group IVb elements are weighed so that the molar ratio is 2: 1: 1. However, the molar ratio is not necessarily a stoichiometric ratio, and may be slightly deviated from the stoichiometric ratio as necessary.

そして、これら秤量されたカチオン原料を第1の有機溶媒に溶解させ、所定温度(例えば、100℃)下、30分程度、減圧して酸素や水分を除去し、第1の溶液を作製し、室温に冷却する。ここで、第1の有機溶媒としては、カチオン原料が溶解し、かつ後述する加熱処理に耐えうるものであれば、特に限定されるものではなく、沸点が所定沸点(例えば、沸点170℃以上)の有機溶剤、例えばオレイルアミン等の脂肪族アミン、炭素数Cが10以上のアルカンやアルケン、例えば、デカン、ウンデカン、ドデカン、テトラデカン、オクタデカン、デセン、ウンデセン、ドデセン、テトラデセン、オクタデセン等を使用することができる。   Then, these weighed cation raw materials are dissolved in the first organic solvent, and the oxygen and moisture are removed under reduced pressure for about 30 minutes at a predetermined temperature (for example, 100 ° C.) to prepare the first solution, Cool to room temperature. Here, the first organic solvent is not particularly limited as long as it dissolves the cation raw material and can withstand the heat treatment described later. The boiling point is a predetermined boiling point (for example, boiling point 170 ° C. or higher). Organic solvents such as aliphatic amines such as oleylamine, alkanes and alkenes having 10 or more carbon atoms, such as decane, undecane, dodecane, tetradecane, octadecane, decene, undecene, dodecene, tetradecene, octadecene, etc. it can.

次いで、アルキルシリル化イオウ化合物を用意し、最終組成物が得られるように秤量する。例えば、I−III―VI族化合物を作製する場合であれば、Ib族元素とイオウとがモル比で1:2となるように秤量し、II−III―VI化合物やI−II−IV−VI化合物を作製する場合であれば、IIb族元素とイオウとがモル比で1:4となるように秤量する。ただし、この場合も上記モル比は必ずしも化学量論比である必要はなく、必要に応じて化学量論比から僅かにずれていてもよい。 An alkylsilylated sulfur compound is then prepared and weighed to obtain the final composition. For example, in the case of producing a group I-III-VI 2 compound, the group Ib element and sulfur are weighed so that the molar ratio is 1: 2, and the II-III 2 -VI 4 compound or I 2- In the case of preparing the II-IV-VI 4 compound, the group IIb element and sulfur are weighed so that the molar ratio is 1: 4. In this case, however, the molar ratio is not necessarily a stoichiometric ratio, and may be slightly deviated from the stoichiometric ratio as necessary.

そして、これら秤量されたアルキルシリル化イオウ化合物を第2の有機溶媒に溶解させ、第2の溶液を作製する。ここで、第2の有機溶媒としては、アルキルシリル化イオウ化合物が溶解し、かつ後述する加熱処理に耐えうるものであれば、特に限定されるものではなく、第1の有機溶媒と同様の物質を使用することが可能である。   Then, these weighed alkylsilylated sulfur compounds are dissolved in a second organic solvent to prepare a second solution. Here, the second organic solvent is not particularly limited as long as it can dissolve the alkylsilylated sulfur compound and can withstand the heat treatment described later. The same material as the first organic solvent is used. Can be used.

そして、第1の溶液と第2の溶液とを混合し、所定の低温で加熱すると、化学的に不安定で反応性に富んだアルキルシリル化イオウ化合物が分解し、カルコゲンであるイオウがカチオン原料と化学結合し、これによりカルコパイライト型化合物が作製される。ここで、前記所定の低温は、アルキルシリル化イオウ化合物とカチオン原料とが有機溶媒中で反応する温度であればよく、第1及び第2の有機溶媒の選択の自由度を極力拡げる観点からは、160℃以下に設定するのが好ましい。   Then, when the first solution and the second solution are mixed and heated at a predetermined low temperature, the chemically silylated and highly reactive alkylsilylated sulfur compound is decomposed, and the chalcogen sulfur is converted into the cation raw material. To form a chalcopyrite type compound. Here, the predetermined low temperature may be a temperature at which the alkylsilylated sulfur compound and the cation raw material react in an organic solvent, and from the viewpoint of expanding the degree of freedom of selection of the first and second organic solvents as much as possible. The temperature is preferably set to 160 ° C. or lower.

尚、このカルコパイライト型化合物は、アセトン等の多量の有機溶剤を投入して遠心分離を行い、上澄み液を除去し、沈殿物を回収して真空乾燥を行うことにより、ナノ粒子粉末として採取することができる。   This chalcopyrite type compound is collected as a nanoparticle powder by adding a large amount of organic solvent such as acetone, centrifuging, removing the supernatant, collecting the precipitate and vacuum drying. be able to.

生成されるカルコパイライト型化合物としては、I−III―VI化合物、II−III-VI化合物、I−II−IV−VI化合物やこれらの混晶物等があるが、本実施の形態では、VIb族元素がSで形成されることから、化合物形態としては以下のものを挙げることができる。 Examples of the chalcopyrite type compound produced include I-III-VI 2 compound, II-III 2 -VI 4 compound, I 2 -II-IV-VI 4 compound, and mixed crystals thereof. In this form, since the VIb group element is formed of S, examples of the compound form include the following.

すなわち、I−III―VI化合物としては、CuAlS、CuGaS、CuInS、AgAlS、AgGaS、AgInS、更にはCuGaSとCuInSとを混晶させたCuIn0.5Ga0.5等を挙げることができる。また、II−III―VI化合物としては、ZnAl、ZnGa、ZnIn等を挙げることができる。さらに、I−II−IV−VI化合物としては、CuZnGeS、CuZnSnS、AgZnGeS等を挙げることができる。 That is, examples of the I-III-VI 2 compound include CuAlS 2 , CuGaS 2 , CuInS 2 , AgAlS 2 , AgGaS 2 , AgInS 2 , and CuIn 0.5 Ga 0.5 S 2 in which CuGaS 2 and CuInS 2 are mixed. Can be mentioned. Examples of the II-III 2 -VI 4 compound include ZnAl 2 S 4 , ZnGa 2 S 4 , ZnIn 2 S 4 and the like. Furthermore, examples of the I 2 -II-IV-VI 4 compound include Cu 2 ZnGeS 4 , Cu 2 ZnSnS 4 , Ag 2 ZnGeS 4 and the like.

このように本実施の形態では、金属塩からなるカチオン原料とアルキルシリル化イオウ化合物とを液相で反応させ、カルコパイライト構造を有する化合物半導体粒子を作製するので、カチオン原料とカルコゲナイド化合物とを低温下で合成させることができ、工程の煩雑化を招くことなく、カルコパイライト型化合物を低コストで容易に製造することができる。   As described above, in the present embodiment, the cation raw material composed of a metal salt and the alkylsilylated sulfur compound are reacted in a liquid phase to produce compound semiconductor particles having a chalcopyrite structure. Therefore, the cation raw material and the chalcogenide compound are reduced at a low temperature. The chalcopyrite type compound can be easily produced at low cost without complicating the process.

また、前記液相での反応を、低温加熱下で行うことができるので、エネルギーコストも抑制することができ、特殊な設備も要することなくカルコパイライト型化合物を得ることができる。   Moreover, since the reaction in the liquid phase can be performed under low temperature heating, the energy cost can be suppressed, and a chalcopyrite compound can be obtained without requiring special equipment.

さらに、第1の有機溶媒と第2の有機溶媒との該混合溶液を160℃以下の低温で加熱処理することにより、第1及び第2の有機溶媒は、沸点が170℃程度の比較的低沸点の有機溶媒も使用可能であり、有機溶媒の選択の自由度を拡げることができる。   Further, the mixed solution of the first organic solvent and the second organic solvent is heat-treated at a low temperature of 160 ° C. or lower, whereby the first and second organic solvents have a relatively low boiling point of about 170 ° C. An organic solvent having a boiling point can be used, and the degree of freedom in selecting an organic solvent can be expanded.

尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。上記実施の形態では、第1の溶液と第2の溶液とを混合し、この混合溶液を所定の低温で加熱処理して反応させ、カチオン原料とイオウとを合成させているが、第1の溶液を所定の低温で加熱処理し、この加熱された第1の溶液に第2の溶液を添加することによっても、カチオン原料とイオウとを合成させることが可能である。   The present invention is not limited to the above embodiment. In the above embodiment, the first solution and the second solution are mixed, and the mixed solution is heated and reacted at a predetermined low temperature to synthesize the cation raw material and sulfur. It is also possible to synthesize the cation raw material and sulfur by heating the solution at a predetermined low temperature and adding the second solution to the heated first solution.

次に、本発明の実施例を具体的に説明する。   Next, examples of the present invention will be specifically described.

〔実施例試料の作製〕
まず、金属塩からなるカチオン原料としてヨウ化銅(CuI)及びヨウ化インジウム(InI)を用意し、第1の有機溶媒として脂肪族アミンであるオレイルアミン(C1825NH)を用意した。
[Preparation of Example Sample]
First, copper iodide (CuI) and indium iodide (InI 3 ) were prepared as cation raw materials composed of metal salts, and oleylamine (C 18 H 25 NH 2 ), which is an aliphatic amine, was prepared as a first organic solvent. .

そして、ヨウ化銅及びヨウ化インジウムをそれぞれ0.4mmolずつ秤量し、第1の有機溶媒としてのオレイルアミン12mLに溶解させ、100℃の温度で30分間減圧処理し、酸素、及び水分を除去し、第1の溶液を作製し、室温まで冷却した。   Then, 0.4 mmol each of copper iodide and indium iodide are weighed, dissolved in 12 mL of oleylamine as the first organic solvent, and subjected to a reduced pressure treatment at a temperature of 100 ° C. for 30 minutes to remove oxygen and moisture. A first solution was made and cooled to room temperature.

次いで、アルキルシリル化イオウ化合物としてのビストリメチルシリルスルフィド(((CHSi)S)0.8mmolを第2の有機溶媒としてのオクタデセン(C1836)8mLに溶解させ、第2の溶液を作製した。 Next, 0.8 mmol of bistrimethylsilyl sulfide (((CH 3 ) 3 Si) 2 S) as the alkylsilylated sulfur compound was dissolved in 8 mL of octadecene (C 18 H 36 ) as the second organic solvent, and the second A solution was made.

そして、第2の溶液と第1の溶液とを混合して混合溶液を作製し、この混合溶液を160℃に加熱して1時間反応させ室温まで冷却した。   Then, the second solution and the first solution were mixed to prepare a mixed solution, and this mixed solution was heated to 160 ° C., reacted for 1 hour, and cooled to room temperature.

その後、大量のアセトンを加え、遠心分離機で167s-1の回転速度で15分間回転させて遠心分離を行い、上澄み液を除去した。その後、アセトン投入→遠心分離→上澄み液除去の一連の工程を3回行い、沈殿物を回収し、室温で真空乾燥を行い、実施例試料を得た。 Thereafter, a large amount of acetone was added, and the mixture was centrifuged with a centrifuge at a rotation speed of 167 s −1 for 15 minutes to perform centrifugation, and the supernatant was removed. Thereafter, a series of steps of adding acetone → centrifuging → supernatant removal was performed three times, and the precipitate was collected and vacuum-dried at room temperature to obtain an example sample.

〔比較例試料の作製〕
上記実施例試料と同様の方法・手順で第1の溶液を作製し、室温まで冷却した。
[Production of Comparative Sample]
A first solution was prepared by the same method and procedure as the above-described example sample, and cooled to room temperature.

次いで、イオウ0.8mmolをオクタデセン8mLに溶解させ、第2の溶液を作製した。   Next, 0.8 mmol of sulfur was dissolved in 8 mL of octadecene to prepare a second solution.

そして、第2の溶液と第1の溶液とを混合して混合溶液を作製し、この混合溶液を160℃に加熱して1時間反応させ室温まで冷却した。   Then, the second solution and the first solution were mixed to prepare a mixed solution, and this mixed solution was heated to 160 ° C., reacted for 1 hour, and cooled to room temperature.

その後、実施例と同様の方法・手順でアセトン投入→遠心分離→上澄み液除去の一連の工程を4回行い、沈殿物を回収し、室温で真空乾燥を行い、比較例試料を得た。   Thereafter, a series of steps of adding acetone → centrifuging → supernatant removal was performed four times by the same method and procedure as in the example, and the precipitate was collected and vacuum dried at room temperature to obtain a comparative sample.

〔試料の評価〕
実施例試料及び比較例試料についてX線回折スペクトルを測定した。
(Sample evaluation)
The X-ray diffraction spectrum was measured about the Example sample and the comparative example sample.

図1は実施例試料のX線回折スペクトルであり、図2は比較例試料のX線回折スペクトルである。図中、横軸が回折角2θ(℃)、縦軸がX線強度(a.u.)である。   FIG. 1 is an X-ray diffraction spectrum of an example sample, and FIG. 2 is an X-ray diffraction spectrum of a comparative example sample. In the figure, the horizontal axis represents the diffraction angle 2θ (° C.), and the vertical axis represents the X-ray intensity (a.u.).

比較例試料は、図2に示すように、X線回折スペクトルに特定元素の存在を示す顕著なピークが生じず、ブロード状態となり、所望のカルコパイライト化合物を作製できなかったことが分かった。   As shown in FIG. 2, the comparative example sample did not produce a significant peak indicating the presence of the specific element in the X-ray diffraction spectrum, was in a broad state, and it was found that the desired chalcopyrite compound could not be produced.

これ対し実施例試料では、図1に示すように、X線回折スペクトルにCu、In、Sの存在を示すピークが表れており、CuInSのカルコパイライト化合物が作製できていることが確認された。また、実施例試料の粒径を走査型電子顕微鏡(SEM)で確認したところ、10〜50nmであった。 On the other hand, in the example sample, as shown in FIG. 1, peaks indicating the presence of Cu, In, and S appear in the X-ray diffraction spectrum, and it was confirmed that a chalcopyrite compound of CuInS 2 was prepared. . Moreover, it was 10-50 nm when the particle size of the Example sample was confirmed with the scanning electron microscope (SEM).

カルコパイライト型の化合物半導体を低温での加熱処理で容易に得ることができ、生産性向上に寄与することができる。   A chalcopyrite type compound semiconductor can be easily obtained by heat treatment at a low temperature, which can contribute to an improvement in productivity.

Claims (7)

金属塩からなる2種類以上のカチオン原料とアルキルシリル化イオウ化合物とを液相で反応させ、カルコパイライト構造を有する化合物半導体粒子を作製することを特徴とする化合物半導体粒子の製造方法。   A method for producing compound semiconductor particles, comprising reacting two or more kinds of cation raw materials comprising a metal salt with an alkylsilylated sulfur compound in a liquid phase to produce compound semiconductor particles having a chalcopyrite structure. 前記液相での反応は、160℃以下の低温加熱下で行うことを特徴とする請求項1記載の化合物半導体粒子の製造方法。   The method for producing compound semiconductor particles according to claim 1, wherein the reaction in the liquid phase is performed under low temperature heating of 160 ° C. or lower. 前記カチオン原料を第1の有機溶媒に溶解させて第1の溶液を作製すると共に、前記アルキルシリル化イオウ化合物を第2の有機溶媒に溶解させて第2の溶液を作製し、前記第1の溶液と前記第2の溶液とを混合して混合溶液を作製し、該混合溶液を所定の低温で加熱処理することを特徴とする請求項1記載の化合物半導体粒子の製造方法。   The cation raw material is dissolved in a first organic solvent to prepare a first solution, and the alkylsilylated sulfur compound is dissolved in a second organic solvent to prepare a second solution. The method for producing compound semiconductor particles according to claim 1, wherein a mixed solution is prepared by mixing the solution and the second solution, and the mixed solution is heat-treated at a predetermined low temperature. 前記カチオン原料を第1の有機溶媒に溶解させて第1の溶液を作製すると共に、前記アルキルシリル化イオウ化合物を第2の有機溶媒に溶解させて第2の溶液を作製し、前記第1の溶液を所定の低温で加熱処理し、加熱された前記第1の溶液に前記第2の溶液を添加することを特徴とする請求項1記載の化合物半導体粒子の製造方法。   The cation raw material is dissolved in a first organic solvent to prepare a first solution, and the alkylsilylated sulfur compound is dissolved in a second organic solvent to prepare a second solution. The method for producing compound semiconductor particles according to claim 1, wherein the solution is heated at a predetermined low temperature, and the second solution is added to the heated first solution. 前記所定の低温は160℃以下であることを特徴とする請求項3又は請求項4記載の化合物半導体粒子の製造方法。   The method for producing compound semiconductor particles according to claim 3 or 4, wherein the predetermined low temperature is 160 ° C or lower. 前記カルコパイライト構造は、周期律表のI−III−VI族、II−III−VI族、I−II−IV−VI族に属する元素で構成され、VI族に属する元素がイオウであることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の化合物半導体粒子の製造方法。 The chalcopyrite structure, I-III-VI 2 group of the Periodic Table, II-III 2 -VI 4 group is composed of elements belonging to I 2 -II-IV-VI 4 group, an element belonging to Group VI The method for producing compound semiconductor particles according to claim 1, wherein the compound semiconductor particle is sulfur. 前記アルキルシリル化イオウ化合物は、ビストリメチルシリルスルフィド及びビストリルエチルシリルスルフィドを含むことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の化合物半導体粒子の製造方法。   The method for producing compound semiconductor particles according to any one of claims 1 to 6, wherein the alkylsilylated sulfur compound contains bistrimethylsilyl sulfide and bistrylethylsilyl sulfide.
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