JP2012056685A - Moving mechanism for metal ring - Google Patents

Moving mechanism for metal ring Download PDF

Info

Publication number
JP2012056685A
JP2012056685A JP2010201094A JP2010201094A JP2012056685A JP 2012056685 A JP2012056685 A JP 2012056685A JP 2010201094 A JP2010201094 A JP 2010201094A JP 2010201094 A JP2010201094 A JP 2010201094A JP 2012056685 A JP2012056685 A JP 2012056685A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal ring
negative pressure
rack
moving mechanism
metal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010201094A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5635339B2 (en
Inventor
Yoshiharu Watabe
良晴 渡部
Masashi Takagaki
雅志 高垣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honda Motor Co Ltd
Original Assignee
Honda Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honda Motor Co Ltd filed Critical Honda Motor Co Ltd
Priority to JP2010201094A priority Critical patent/JP5635339B2/en
Priority to CN201110261694.0A priority patent/CN102431024B/en
Priority to DE102011082348.4A priority patent/DE102011082348B4/en
Publication of JP2012056685A publication Critical patent/JP2012056685A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5635339B2 publication Critical patent/JP5635339B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Manipulator (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a moving mechanism capable of reducing cost by simplifying the structure of the whole device.SOLUTION: A hand 71 includes: valve elements 88-91 provided at respective communicating paths 81-84 and entering the communicating paths 81-84 to close the communicating paths 81-84; elastic members 92-95 energizing these valve elements 88-91 respectively in the opening direction; a cam member 96 serving as a valve closing mechanism for sequentially closing a plurality of the valve elements 88-91 against the elastic members 92-95; and a servo cylinder 97 moving the cam member 96. Since one valve closing mechanism is provided for the plurality of valve elements, the number of parts can be reduced, and the structure of the moving mechanism can be simplified.

Description

本発明は、弾性変形可能な金属リングをラックから所定場所へ移動する金属リングの移動技術に関する。   The present invention relates to a metal ring moving technique for moving an elastically deformable metal ring from a rack to a predetermined place.

ラックには、金属リングの弾性復元力を利用して金属リングを保持するものが知られている(例えば、特許文献1(図1、図2)参照。)。   A rack is known that holds a metal ring by using an elastic restoring force of the metal ring (see, for example, Patent Document 1 (FIGS. 1 and 2)).

図17は従来技術に係る金属リングの積載方法の基本原理を説明する図であり、ラック100は、金属リング101が段積みされる段積み式のラックである。
金属リング101はベルトコンベア102で、所定の位置に移動され、リフト103によって上方に押し上げられる。所定の位置で金属リング101は拡げ手段104により内側から所定の方向が長くなるように拡げられる。金属リング101は、搬送装置105によって段積み式のラック100に積載される。ラック100を昇降又は下降させ、上記の作業を繰り返すことでラック100に金属リング101が段積みされる。
FIG. 17 is a view for explaining the basic principle of the metal ring loading method according to the prior art, and the rack 100 is a stacking rack in which the metal rings 101 are stacked.
The metal ring 101 is moved to a predetermined position by the belt conveyor 102 and pushed up by the lift 103. At a predetermined position, the metal ring 101 is expanded by the expanding means 104 so that the predetermined direction becomes longer from the inside. The metal ring 101 is loaded on the stacking rack 100 by the transport device 105. The metal rings 101 are stacked on the rack 100 by raising and lowering or lowering the rack 100 and repeating the above operation.

ところで、ラック100に段積みされた金属リング101は、例えば熱処理を施された後、次工程に移動される。
図18は金属リングを移動する工程を説明する図であり、(a)に示されるように、例えば熱処理を施された金属リング101は、ラックから整列ストッカー106に移される。シリンダ107を作動させ、矢印のようにワーク引っ掛け部108を前進させる。
By the way, the metal rings 101 stacked in the rack 100 are moved to the next process after being subjected to heat treatment, for example.
FIG. 18 is a diagram for explaining the process of moving the metal ring. As shown in FIG. 18A, for example, the metal ring 101 that has been heat-treated is moved from the rack to the alignment stocker 106. The cylinder 107 is actuated to advance the workpiece hooking portion 108 as indicated by an arrow.

(b)に示されるように、ワーク引っ掛け部108の爪109が軸110を中心にして回転し、金属リング101の縁111を乗り越え、縁111の内側に引っ掛かる。
(c)に示されるように、矢印の向きに金属リング101を引き出し、金属リング101を受渡台112に載せる。
(d)に示されるように、受渡台112を軸113を中心にして回転させ、受渡台112を図手前下向きに傾斜させることで、金属リング101は爪109から離される。
As shown in (b), the claw 109 of the workpiece hooking portion 108 rotates around the shaft 110, gets over the edge 111 of the metal ring 101, and is caught inside the edge 111.
As shown in (c), the metal ring 101 is pulled out in the direction of the arrow, and the metal ring 101 is placed on the delivery table 112.
As shown in (d), the metal ring 101 is separated from the claw 109 by rotating the delivery table 112 around the shaft 113 and tilting the delivery table 112 downward in the figure.

(e)は(d)のe矢視図であり、想像線で示す受渡台112は実線で示す受渡台112の位置に回転移動する。金属リング101は傾斜に沿って滑り、コンベア114に移動される。整列ストッカー106は一段昇降し、同様にして次の金属リング101を移動させる。
しかし、整列ストッカー106、受渡台112及びワーク引っ掛け部108等が必要になり、金属リングの移動機構全体が複雑で大がかりになり、コストも掛かる。すなわち、装置全体の構造の簡略化を図り、のコストダウンを図ることができる移動機構が求められている。
(E) is an e-arrow view of (d), and the delivery table 112 indicated by the imaginary line rotates and moves to the position of the delivery table 112 indicated by the solid line. The metal ring 101 slides along the slope and is moved to the conveyor 114. The alignment stocker 106 moves up and down one step, and similarly moves the next metal ring 101.
However, the alignment stocker 106, the delivery table 112, the workpiece hooking portion 108, and the like are required, and the entire metal ring moving mechanism becomes complicated and large, and costs increase. That is, there is a demand for a moving mechanism that can simplify the structure of the entire apparatus and reduce costs.

特開2008−240086公報JP 2008-240086 A

本発明は、装置全体の構造の簡略化を図り、のコストダウンを図ることができる移動機構を提供することを課題とする。   An object of the present invention is to provide a moving mechanism capable of simplifying the structure of the entire apparatus and reducing the cost.

請求項1に係る発明は、弾性変形可能な金属リングが複数個整列して収められているラックから、前記金属リングをピックアップし、所定場所へ移動する金属リングの移動機構において、前記金属リングの移動機構は、前記金属リングの整列方向に延びるハンドと、このハンドを前記ラックから前記所定場所へ移動させるアームとからなり、前記ハンドに、前記金属リングに密着する複数個の負圧パッドと、これらの負圧パッドを連通路を介して負圧にするマニホールドと、このマニホールドを負圧にする負圧発生手段と、前記連通路の各々に介設され、前記連通路に進入することで前記連通路を閉じる弁体と、これらの弁体を各々開方向へ付勢する弾性部材と、これらの弾性部材に抗して前記複数の弁体を順に閉じる弁閉機構とが設けられていることを特徴とする。   According to a first aspect of the present invention, there is provided a metal ring moving mechanism that picks up the metal ring from a rack in which a plurality of metal rings that can be elastically deformed are arranged and stored, and moves the metal ring to a predetermined place. The moving mechanism includes a hand extending in the alignment direction of the metal ring, and an arm that moves the hand from the rack to the predetermined location, and a plurality of negative pressure pads that are in close contact with the metal ring on the hand, The negative pressure pad is made negative through the communication passage, the negative pressure generating means for making the manifold negative pressure, and each of the communication passages is inserted into the communication passage to enter the communication passage. There are provided a valve body that closes the communication passage, an elastic member that urges each of the valve bodies in the opening direction, and a valve closing mechanism that sequentially closes the plurality of valve bodies against these elastic members. And said that you are.

請求項2に係る発明では、弁体は、金属リングの整列方向に並んでおり、弁閉機構は、整列方向に移動して複数の弁体を順に閉方向へ移動させるカム部材であることを特徴とする。   In the invention according to claim 2, the valve bodies are arranged in the alignment direction of the metal rings, and the valve closing mechanism is a cam member that moves in the alignment direction and sequentially moves the plurality of valve bodies in the closing direction. Features.

請求項1に係る発明では、ハンドに、金属リングに密着する複数個の負圧パッドと、これらの負圧パッドを連通路を介して負圧にするマニホールドと、連通路に進入することで連通路を閉じる弁体と、複数の弁体を順に閉じる弁閉機構とが設けられている。複数の弁体に対して一つの弁閉機構が設けられているので、部品点数を少なくでき、移動機構の構造を簡略化を図ることができる。   In the invention according to claim 1, a plurality of negative pressure pads that are in close contact with the metal ring, a manifold that makes these negative pressure pads negative pressure through the communication path, and a communication path by entering the communication path. A valve body that closes the passage and a valve closing mechanism that sequentially closes the plurality of valve bodies are provided. Since one valve closing mechanism is provided for a plurality of valve bodies, the number of parts can be reduced and the structure of the moving mechanism can be simplified.

請求項2に係る発明では、弁閉機構は、整列方向に移動して複数の弁体を順に閉方向へ移動させるカム部材である。弁閉機構が簡単な部品で構成されるので、弁閉機構を簡単な構造にすることができ、コストダウンを図ることができる。   In the invention according to claim 2, the valve closing mechanism is a cam member that moves in the alignment direction and sequentially moves the plurality of valve bodies in the closing direction. Since the valve closing mechanism is composed of simple parts, the valve closing mechanism can be made simple and the cost can be reduced.

本発明に係るラックの正面図である。It is a front view of the rack which concerns on this invention. 図1の2−2線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line 2-2 of FIG. ラックの左側面図である。It is a left view of a rack. 金属リングを整列ストッカーに整列させる工程を説明する図である。It is a figure explaining the process of aligning a metal ring with an alignment stocker. 金属リングの変形工程を説明する図である。It is a figure explaining the deformation | transformation process of a metal ring. ラックに移し替える工程を説明する図である。It is a figure explaining the process transferred to a rack. 金属リングをラックに掛止める工程を説明する図である。It is a figure explaining the process of hanging a metal ring on a rack. ラックが使用される熱処理炉の平面図である。It is a top view of the heat treatment furnace in which a rack is used. 金属リングを押し上げる工程を説明する図である。It is a figure explaining the process which pushes up a metal ring. 金属リングが押し上げられた態様を説明する図である。It is a figure explaining the aspect by which the metal ring was pushed up. 移動機構の正面図である。It is a front view of a moving mechanism. 金属リングをピックアップする工程を説明する図である。It is a figure explaining the process of picking up a metal ring. 比較例に係るハンドの断面図であるIt is sectional drawing of the hand which concerns on a comparative example. ハンドの断面図である。It is sectional drawing of a hand. ハンドの作用図である。It is an effect | action figure of a hand. 金属リングをハンドから分離させる工程を説明する図である。It is a figure explaining the process of separating a metal ring from a hand. 従来技術に係る金属リングの積載方法を説明する図である。It is a figure explaining the loading method of the metal ring which concerns on a prior art. 従来技術に係る金属リングの移動技術を説明する図である。It is a figure explaining the movement technique of the metal ring which concerns on a prior art.

本発明の実施の形態を添付図に基づいて以下に説明する。なお、図面は符号の向きに見るものとする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. The drawings are viewed in the direction of the reference numerals.

本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図1に示されるように、金属リング11の軸12は、図表裏方向に延びており、軸12直角方向の外力により弾性変形する。
ラック10は、金属リング11を囲う枠体13と、この枠体13に渡され金属リング11の左右側方を軸12に沿って延びる左方メンバー14、中央メンバー15及び右方メンバー16と、枠体13に渡され金属リング11の下方を軸12に沿って延びる下方メンバー21〜24とを備える。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the shaft 12 of the metal ring 11 extends in the front-back direction and is elastically deformed by an external force in a direction perpendicular to the shaft 12.
The rack 10 includes a frame 13 surrounding the metal ring 11, a left member 14, a center member 15, and a right member 16 that are passed to the frame 13 and extend along the axis 12 on the left and right sides of the metal ring 11. Lower members 21 to 24 which are passed to the frame 13 and extend along the shaft 12 below the metal ring 11 are provided.

金属リング11は、外力がなければ略真円形状であるが、ラック10に載置されると外力により楕円状となる。金属リング11は弾性復元力により真円形状に戻ろうとするが、左方メンバー14、中央メンバー15及び右方メンバー16の位置が、軸12よりも高い位置にあるので、金属リング11が下方メンバー21〜24から浮かび上がることはない。
枠体13は、棒材、パイプ材及び板材の少なくとも1つの部材で構成されている。
また、ラック10は、軸12方向に開口する金属リング11の周長よりも大きな周長の多角形開口部17を有する。
If there is no external force, the metal ring 11 has a substantially perfect circle shape, but when placed on the rack 10, the metal ring 11 becomes elliptical due to the external force. The metal ring 11 tries to return to a perfect circle shape by elastic restoring force. However, since the positions of the left member 14, the central member 15, and the right member 16 are higher than the shaft 12, the metal ring 11 is a lower member. It does not emerge from 21-24.
The frame 13 is composed of at least one member of a bar, a pipe, and a plate.
The rack 10 also has a polygonal opening 17 having a circumferential length larger than the circumferential length of the metal ring 11 that opens in the direction of the axis 12.

なお、実施例においては、金属リング11の列を2列としたがこれに限定されず、1列、3列等、金属リングをラック10に載置できれば差し支えない。また、実施例において多角形開口部17は四角形としたが、六角形や八角形等でもよく、金属リング11の周長よりも大きな周長の多角形開口部17であれば差し支えない。また、枠体13、左方メンバー14、中央メンバー15及び右方メンバー16の材質は、窒化処理等の各種の熱処理が施される最中に、受け部材26及びストッパ部材27の構成元素が金属リング11に拡散することに対する障壁として機能する元素、物質から構成されるか、又はそれら元素、物質のメッキが施されているもの等、耐熱性を有している材質であれば差し支えない。   In the embodiment, the metal rings 11 are arranged in two rows, but the present invention is not limited to this, and any metal ring can be mounted on the rack 10 in one row, three rows, or the like. In the embodiment, the polygonal opening 17 is rectangular, but it may be hexagonal or octagonal, and any polygonal opening 17 having a circumference longer than the circumference of the metal ring 11 may be used. Further, the frame 13, the left member 14, the central member 15 and the right member 16 are made of a material whose constituent elements of the receiving member 26 and the stopper member 27 are metal during various heat treatments such as nitriding. Any material may be used as long as it is made of an element or a substance that functions as a barrier against diffusion in the ring 11 or has a heat resistance such as a material plated with such an element or substance.

次にラック10の要部について説明する。
図2に示されるように、ラック10は、中央メンバー15に設けられ金属リング11の外周面25を受ける受け部材26と、中央メンバー15から受け部材26を挟むようにして延ばされ金属リング11が軸(図1、符号12)方向移動することを制限するストッパ部材27とを備える。
Next, the main part of the rack 10 will be described.
As shown in FIG. 2, the rack 10 includes a receiving member 26 that is provided on the central member 15 and receives the outer peripheral surface 25 of the metal ring 11, and is extended so as to sandwich the receiving member 26 from the central member 15. (FIG. 1, code | symbol 12) The stopper member 27 which restrict | limits moving to a direction is provided.

また、同様にして、図1に示した下方メンバー21〜24、左方メンバー14及び右方メンバー16に金属リング11の外周面25を受ける受け部材26が設けられ、下方メンバー21〜24、左方メンバー14及び右方メンバー16から受け部材26を挟むようにして金属リング11が軸12方向移動することを制限するストッパ部材27が延ばされている。   Similarly, receiving members 26 for receiving the outer peripheral surface 25 of the metal ring 11 are provided on the lower members 21 to 24, the left member 14 and the right member 16 shown in FIG. A stopper member 27 that extends the metal ring 11 in the direction of the axis 12 is extended so as to sandwich the receiving member 26 from the side member 14 and the right side member 16.

なお、金属リング11を中央メンバー15を境にして図左右において交互に載置することで、窒化処理を行う際、窒素が十分に行き届き良好に窒化処理を行うことができる。また、下方メンバー21〜24、左方メンバー14及び右方メンバー16において、受け部材26及びストッパ部材27は溶接されている。溶接以外であっても、圧入等、受け部材26及びストッパ部材27がメンバー14〜16、21〜24に設けられていれば差し支えない。また、受け部材26及びストッパ部材27の材質は、窒化処理等の各種の熱処理が施される最中に、受け部材26及びストッパ部材27の構成元素が金属リング11に拡散することに対する障壁として機能する元素、物質から構成されるか、又はそれら元素、物質のメッキが施されているものとする。   In addition, when the metal ring 11 is alternately placed on the left and right sides of the figure with the central member 15 as a boundary, when performing the nitriding process, the nitrogen can reach sufficiently and the nitriding process can be performed satisfactorily. In the lower members 21 to 24, the left member 14, and the right member 16, the receiving member 26 and the stopper member 27 are welded. Even if it is other than welding, there is no problem if the receiving member 26 and the stopper member 27 are provided on the members 14 to 16 and 21 to 24, such as press fitting. The material of the receiving member 26 and the stopper member 27 functions as a barrier against diffusion of constituent elements of the receiving member 26 and the stopper member 27 into the metal ring 11 during various heat treatments such as nitriding. It is assumed that the element is composed of an element or a substance to be plated, or is plated with the element or substance.

次にラック10に金属リングを複数個載置した状態について説明する。
図3に示されるように、ラック10に、金属リング11を軸12に沿って複数個載置する。金属リング11はストッパ部材27により軸12方向移動することを制限されているので、隣り合う金属リング11同士が接触することはない。
Next, a state where a plurality of metal rings are placed on the rack 10 will be described.
As shown in FIG. 3, a plurality of metal rings 11 are placed on the rack 10 along the axis 12. Since the metal ring 11 is restricted from moving in the direction of the axis 12 by the stopper member 27, the adjacent metal rings 11 do not contact each other.

また、上記に説明した内容をもって、軸12が水平になるようにして置かれ弾性変形可能で外力を除去すると真円状になる金属リング11、及びこの金属リング11の周長よりも大きな周長の多角形開口部17を有するラック10とを準備する工程とする。
なお、実施例では、金属リング11を16個連続させて載置したが、これに限定されず、5個、10個等、1個又は複数個並んであれば差し支えない。
In addition, with the contents described above, the metal ring 11 is placed so that the shaft 12 is placed horizontally and can be elastically deformed, and becomes a perfect circle when the external force is removed, and the circumference greater than the circumference of the metal ring 11 And a step of preparing the rack 10 having the polygonal opening 17.
In the embodiment, 16 metal rings 11 are continuously mounted. However, the present invention is not limited to this, and there is no problem as long as one or a plurality of metal rings 11 are arranged.

以上の述べたラック10の作用を次に述べる。
金属リングを整列ストッカーに整列させる工程を説明する。
図4に示されるように、リフト31の上部に整列ストッカー32が設けられている。整列ストッカー32は、柱部材33と、柱部材33に段を為して設けられている複数の棚部34と、棚部34に設けられている棚部多角形開口部35とからなる。
The operation of the rack 10 described above will be described next.
The process of aligning the metal ring with the alignment stocker will be described.
As shown in FIG. 4, an alignment stocker 32 is provided above the lift 31. The alignment stocker 32 includes a column member 33, a plurality of shelves 34 provided in a stepped manner on the column member 33, and a shelf polygon opening 35 provided in the shelf 34.

汎用ロボットのロボットアーム36の先端に変形機構37が設けられ、この変形機構37に複数のロボットハンド41が互いに接近又は互いに遠ざかる方向に移動可能に設けられている。ロボットハンド41は、複数の山部42と、複数の谷部43とからなり、ロボットハンド41が広がると、谷部43に金属リングが掛かる構造となっている。なお、実施例においては、ロボットハンド41は2個であるが、3個、4個等でもよく、多角形開口部(図1、符号17)の形状に合わせてロボットハンド41が広がれば差し支えない。   A deforming mechanism 37 is provided at the tip of the robot arm 36 of the general-purpose robot, and a plurality of robot hands 41 are provided on the deforming mechanism 37 so as to be movable toward or away from each other. The robot hand 41 includes a plurality of peak portions 42 and a plurality of valley portions 43. When the robot hand 41 spreads, a metal ring is applied to the valley portions 43. In the embodiment, the number of robot hands 41 is two, but may be three, four, etc., and the robot hand 41 may be widened according to the shape of the polygonal opening (FIG. 1, reference numeral 17). .

ロボットハンド41の作用について説明する。金属リング11は、コンベア44に運ばれて仮置き台45に置かれる。仮置き台45に置かれた金属リング11は、シリンダ46により、押しロッド47を介して棚部34に収納される。金属リング11は棚部34に設けられた位置決めピン48に接触し位置決めされる。一つの金属リング11が棚部34に収納されたら、棚部34はリフト31により一段昇降され、次の棚部34に金属リング11が収納される。   The operation of the robot hand 41 will be described. The metal ring 11 is carried to the conveyor 44 and placed on the temporary table 45. The metal ring 11 placed on the temporary placement table 45 is stored in the shelf portion 34 via the push rod 47 by the cylinder 46. The metal ring 11 is positioned by contacting a positioning pin 48 provided on the shelf 34. When one metal ring 11 is stored in the shelf 34, the shelf 34 is moved up and down by one stage by the lift 31, and the metal ring 11 is stored in the next shelf 34.

図6(a)の矢印(1)のように複数の金属リング11が想像線で示す整列ストッカー32に収納され、複数の金属リング11の中心が鉛直軸に沿うように整列された後、金属リング11の中心が水平軸に沿うように90°回転させて実線で示す整列ストッカー32の姿勢にする。
そして、図6(a)の矢印(2)のように複数個のロボットハンド41が棚部多角形開口部35に挿入されると共に、複数個の金属リング11の中に挿入される。
A plurality of metal rings 11 are accommodated in an alignment stocker 32 indicated by an imaginary line as indicated by an arrow (1) in FIG. 6A, and the centers of the plurality of metal rings 11 are aligned along the vertical axis. The ring 11 is rotated by 90 ° so that the center of the ring 11 is along the horizontal axis, and the orientation of the alignment stocker 32 indicated by a solid line is obtained.
Then, as indicated by an arrow (2) in FIG. 6A, a plurality of robot hands 41 are inserted into the shelf polygon opening 35 and inserted into the plurality of metal rings 11.

次に変形工程について説明する。
図5に示されるように、金属リング11の中心が水平軸に沿うように整列ストッカー32が横に倒れているが、金属リング11は位置決めピン48に接触しており、位置がずれることなく整列ストッカー32に収納された状態を維持している。挿入されたロボットハンド41、41を矢印(3)のように拡げることで、金属リング11を棚部多角形開口部35形状に倣うように弾性変形させる。すると、金属リング11は、想像線で示す金属リング11の形状になる。なお、棚部多角形開口部35は、多角形開口部(図1、符号17)の形状と略同一である。また、棚部多角形開口部35より、弾性変形した想像線で示す金属リング11の方が小さい。
Next, the deformation process will be described.
As shown in FIG. 5, the alignment stocker 32 is tilted sideways so that the center of the metal ring 11 is along the horizontal axis. The state stored in the stocker 32 is maintained. By expanding the inserted robot hands 41 and 41 as indicated by an arrow (3), the metal ring 11 is elastically deformed so as to follow the shape of the shelf polygonal opening 35. Then, the metal ring 11 becomes the shape of the metal ring 11 shown by an imaginary line. The shelf polygon opening 35 is substantially the same as the shape of the polygon opening (FIG. 1, reference numeral 17). Further, the metal ring 11 indicated by the imaginary line that is elastically deformed is smaller than the shelf polygonal opening 35.

次にラック10内へ挿入する工程について説明する。
図6(b)は整列ストッカー32から金属リング11を取り出す工程を説明する図であり、前述したように想像線で示す整列ストッカー32は、矢印(1)のように90°回転され実線で示す整列ストッカー32の位置にある。棚部多角形開口部35に挿入されたロボットハンド41を矢印(4)のように移動させ、金属リング11を整列ストッカー32から取り出す。
Next, the process of inserting into the rack 10 will be described.
FIG. 6B is a diagram for explaining a process of taking out the metal ring 11 from the alignment stocker 32. As described above, the alignment stocker 32 indicated by an imaginary line is rotated by 90 ° as indicated by an arrow (1) and indicated by a solid line. At the position of the alignment stocker 32. The robot hand 41 inserted into the shelf polygon opening 35 is moved as indicated by an arrow (4), and the metal ring 11 is taken out from the alignment stocker 32.

図6(c)はラック10に金属リング11を移し替える工程を説明する図であり、ロボットハンド41を矢印(5)のように移動させ、金属リング11を多角形開口部17からラック10内へ挿入する。
なお、整列ストッカー32は、図示されない制御盤に接続されており、制御盤内に備わる制御回路や、又は記憶手段に記憶される制御プログラム等により制御される。
FIG. 6C is a diagram for explaining a process of transferring the metal ring 11 to the rack 10. The robot hand 41 is moved as indicated by an arrow (5), and the metal ring 11 is moved from the polygonal opening 17 into the rack 10. Insert into.
The alignment stocker 32 is connected to a control panel (not shown) and is controlled by a control circuit provided in the control panel, a control program stored in a storage unit, or the like.

次に係止める工程について説明する。
図7に示されるように、ロボットハンド41、41を矢印(5)のように、縮める。金属リング11の外力は除去され、金属リング11は想像線で示す金属リング11の形状となり、ラック10に係止められる。なお、挿入された複数個の金属リング11が一度に係止められるので、作業の効率化を図ることができる。
Next, the step of locking will be described.
As shown in FIG. 7, the robot hands 41, 41 are contracted as indicated by the arrow (5). The external force of the metal ring 11 is removed, and the metal ring 11 has the shape of the metal ring 11 indicated by an imaginary line and is locked to the rack 10. In addition, since the inserted several metal ring 11 is latched at once, work efficiency can be achieved.

次に熱処理を施す工程として窒化処理を例示して説明する。
図8に示されるように、熱処理炉としてのバッチ式窒化炉51は、壁部52と、壁部52の一面に設けられた扉53と、この扉53の反対側の壁部52に設けられたファン54と、壁部52に設けられたヒータ55、56とからなる。
Next, a nitriding process will be described as an example of the heat treatment process.
As shown in FIG. 8, a batch nitriding furnace 51 as a heat treatment furnace is provided on a wall portion 52, a door 53 provided on one surface of the wall portion 52, and a wall portion 52 on the opposite side of the door 53. Fan 54 and heaters 55 and 56 provided on the wall 52.

金属リング11を載置した金属用搬送ラック10をバッチ式窒化炉51に入れ、扉53を閉める。バッチ式窒化炉51内にアンモニア等の窒化ガスを供給し、ヒータ55、56により窒化温度、例えば500℃に温度を上昇させる。ファン54により、窒化ガスを対流させ、バッチ式窒化炉51内の温度分布を略均一にする。このとき、金属リング11とラック10の接点の温度が、金属リング11のその他の部分の温度と略同一になる。   The metal carrying rack 10 on which the metal ring 11 is placed is placed in the batch nitriding furnace 51 and the door 53 is closed. A nitriding gas such as ammonia is supplied into the batch type nitriding furnace 51, and the temperature is raised to a nitriding temperature, for example, 500 ° C. by the heaters 55 and 56. Nitrogen gas is convected by the fan 54 to make the temperature distribution in the batch nitriding furnace 51 substantially uniform. At this time, the temperature of the contact point between the metal ring 11 and the rack 10 is substantially the same as the temperature of other portions of the metal ring 11.

窒化ガスは、金属リング11の表面から進入し、内部に拡散することで表面に窒化層を形成する。また、受け部材26及びストッパ部材27は、受け部材26及びストッパ部材27の構成元素が金属リング11に拡散することに対する障壁として機能する元素、物質の被膜層が形成されているので、受け部材26及びストッパ部材27の構成元素が金属リング11に拡散することを防ぎ、金属リング11の窒化を良好に行うことができる。
そして、ラックを取り出す工程では、熱処理を終えた金属リング11及びラック10をバッチ式窒化炉51から取り出す。
The nitriding gas enters from the surface of the metal ring 11 and diffuses inside to form a nitride layer on the surface. Further, since the receiving member 26 and the stopper member 27 are formed with a coating layer of an element and a substance that function as a barrier against diffusion of the constituent elements of the receiving member 26 and the stopper member 27 into the metal ring 11, the receiving member 26. In addition, the constituent elements of the stopper member 27 can be prevented from diffusing into the metal ring 11, and the metal ring 11 can be nitrided satisfactorily.
In the step of taking out the rack, the metal ring 11 and the rack 10 that have been heat-treated are taken out from the batch nitriding furnace 51.

次に金属リングを押し上げる工程を説明する。
図9に示されるように、金属リング11の軸12は、左方メンバー14、中央メンバー15及び右方メンバー16より低い位置にある。結果、金属リング11はラック11にしっかりと保持されている。
Next, the process of pushing up the metal ring will be described.
As shown in FIG. 9, the axis 12 of the metal ring 11 is at a lower position than the left member 14, the central member 15, and the right member 16. As a result, the metal ring 11 is firmly held by the rack 11.

ラック10はラック位置決め台57に置かれ、金属リング11の下方にリング押し上げ手段61が配置されている。リング押し上げ手段61は、昇降シリンダ62と、昇降ロッド63と、押し上げ作業台64とからなる。昇降シリンダ62を作動させ、矢印(6)のように押し上げ作業台64を上昇させる。
なお、リング押し上げ手段61は、図示されない制御盤に接続されており、制御盤内に備わる制御回路や、又は記憶手段に記憶される制御プログラム等により制御される。
The rack 10 is placed on a rack positioning table 57, and a ring push-up means 61 is disposed below the metal ring 11. The ring push-up means 61 comprises a lift cylinder 62, a lift rod 63, and a push-up work table 64. The elevating cylinder 62 is actuated to raise the push-up work platform 64 as shown by the arrow (6).
The ring push-up means 61 is connected to a control panel (not shown) and is controlled by a control circuit provided in the control panel, a control program stored in the storage means, or the like.

図10に示されるように、金属リング11は押し上げ作業台64により押し上げられている。金属リング11の軸12は、左方メンバー14、中央メンバー15及び右方メンバー16より高い位置にある。結果、金属リング11は上方へ抜けやすくなる。
すなわち左方メンバー14、中央メンバー15及び右方メンバー16より低い位置にあることにより、ラック10にしっかり保持されていた金属リング11は、ラック10にしっかり保持されているから、外しにくかった。しかし、さらに換言すると、金属リング11が、ラック10にしっかり保持されている位置から、押し上げられてラック10から外れやすい位置にくるので、後述するハンド71への負荷が軽減されてピックアップを容易に行うことができる。
As shown in FIG. 10, the metal ring 11 is pushed up by the push-up work table 64. The axis 12 of the metal ring 11 is higher than the left member 14, the central member 15 and the right member 16. As a result, the metal ring 11 is easily pulled upward.
That is, the metal ring 11 that is firmly held by the rack 10 by being at a lower position than the left member 14, the center member 15, and the right member 16 is firmly held by the rack 10, and thus is difficult to remove. However, in other words, the metal ring 11 is pushed up from the position firmly held by the rack 10 to a position where it can be easily detached from the rack 10. It can be carried out.

次にハンドをラックに接近させる工程を説明する。
図11に示されるように、金属リングの移動機構70は、金属リング11の全数若しくは一部をピックアップするハンド71と、このハンド71をラック10から所定場所へ移動させるアーム72とからなる。
アーム72により、矢印(7)のようにハンド71をラック10に接近させる。
Next, the process of bringing the hand close to the rack will be described.
As shown in FIG. 11, the metal ring moving mechanism 70 includes a hand 71 that picks up all or a part of the metal ring 11 and an arm 72 that moves the hand 71 from the rack 10 to a predetermined location.
The arm 71 moves the hand 71 closer to the rack 10 as shown by the arrow (7).

次に金属リングをピックアップする工程を説明する。
図12に示されるように、ハンド71に、金属リング11を真空吸着する複数の負圧パッド73が設けられている。これらの負圧パッド73で金属リング11を吸着し、矢印(8)のようにハンド71を上昇させ、金属リング11をピックアップする。この際、リング押し上げ手段61により金属リング11がラック10から外れ易い位置にあるので、ハンド71への負荷が低減されてピックアップを容易に行うことができる。
Next, the process of picking up the metal ring will be described.
As shown in FIG. 12, the hand 71 is provided with a plurality of negative pressure pads 73 that vacuum-suck the metal ring 11. The metal ring 11 is adsorbed by these negative pressure pads 73, the hand 71 is raised as shown by the arrow (8), and the metal ring 11 is picked up. At this time, since the metal ring 11 is easily detached from the rack 10 by the ring push-up means 61, the load on the hand 71 is reduced and pickup can be performed easily.

次に比較例に係る金属リングの移動機構について説明する。
図13(a)は比較例に係る磁石を用いた移動機構の断面図であり、移動機構120のハンド121は、ベース122と、このベース122の下側に設けられ金属リング123を磁気吸着する複数の磁石124〜127と、これらの磁石124〜127に接続され電流を流す配線128と、磁石124〜127に配線128を介してそれぞれ設けられ電流を制御するスイッチ131〜134とからなる。ベース122と磁石124〜127は絶縁されている。
Next, a metal ring moving mechanism according to a comparative example will be described.
FIG. 13A is a cross-sectional view of a moving mechanism using a magnet according to a comparative example. A hand 121 of the moving mechanism 120 magnetically attracts a base 122 and a metal ring 123 provided below the base 122. It includes a plurality of magnets 124 to 127, wiring 128 that is connected to these magnets 124 to 127 and allows current to flow, and switches 131 to 134 that are provided in the magnets 124 to 127 via the wiring 128 and control current. The base 122 and the magnets 124 to 127 are insulated.

スイッチ131は開いており、磁石124は金属リング123を磁気吸着せずに切り離す。スイッチ132〜134は閉じられており、磁石125〜127は、金属リング123を磁気吸着する。
しかし、移動機構120は、磁石124〜127の各々に対して配線128及びスイッチ131〜134を設けている為、部品点数も多く構造が複雑になる。加えて、スイッチ131〜134等にコストが掛かり移動機構120全体としてもコストが高くなる。
The switch 131 is open, and the magnet 124 separates the metal ring 123 without magnetic adsorption. The switches 132 to 134 are closed, and the magnets 125 to 127 magnetically attract the metal ring 123.
However, since the moving mechanism 120 is provided with the wiring 128 and the switches 131 to 134 for each of the magnets 124 to 127, the number of parts is large and the structure is complicated. In addition, the switches 131 to 134 and the like are expensive, and the moving mechanism 120 as a whole is expensive.

図13(b)は比較例に係る負圧パッドを用いた移動機構の断面図であり、移動機構140のハンド141は、ベース142と、このベース142の下側に設けられ金属リング143を真空吸着する複数の負圧パッド144〜147と、これらの負圧パッド144〜147に接続されている配管148と、負圧パッド144〜147に配管148を介してそれぞれ設けられ負圧を制御する弁151〜154とからなる。また、配管148は大きな空間を有する負圧室155に繋がっており、負圧室155は負圧ポンプ156に接続されている。   FIG. 13B is a cross-sectional view of a moving mechanism using a negative pressure pad according to a comparative example. A hand 141 of the moving mechanism 140 has a base 142 and a metal ring 143 provided below the base 142 in a vacuum. A plurality of negative pressure pads 144 to 147 to be adsorbed, pipes 148 connected to these negative pressure pads 144 to 147, and valves provided to the negative pressure pads 144 to 147 via the pipes 148 for controlling negative pressure, respectively. 151-154. The pipe 148 is connected to a negative pressure chamber 155 having a large space, and the negative pressure chamber 155 is connected to a negative pressure pump 156.

弁151は閉じており、負圧パッド144は金属リング143を真空吸着せずに切り離す。弁152〜154は開かれており、負圧パッド144〜147は、金属リング143を真空吸着する。
しかし、移動機構140は、負圧パッド144〜147各々に対して配管148及び弁151〜154を設けている為、部品点数も多く構造が複雑になる。加えて、弁151〜154等にコストが掛かり移動機構140全体としてもコストが高くなる。
The valve 151 is closed, and the negative pressure pad 144 separates the metal ring 143 without vacuum suction. The valves 152 to 154 are opened, and the negative pressure pads 144 to 147 vacuum-suck the metal ring 143.
However, since the moving mechanism 140 is provided with the pipe 148 and the valves 151 to 154 for the negative pressure pads 144 to 147, the number of parts is large and the structure is complicated. In addition, the valves 151 to 154 and the like are expensive, and the cost of the moving mechanism 140 as a whole is high.

次に実施例に係るハンド71を断面図に基づいて説明する。
図14に示されるように、ハンド71は、ベース74と、このベース74の下側に設けられ金属リング11を真空吸着する複数個の負圧パッド75〜78と、これらの負圧パッド75〜78を連通路81〜84を介して負圧にするマニホールド85とを備えている。マニホールド85は広い空間を持つ負圧室86に繋がっており、この負圧室86はマニホールド85を負圧にする負圧発生手段としての減圧ポンプ87に繋がっている。
Next, the hand 71 according to the embodiment will be described based on a cross-sectional view.
As shown in FIG. 14, the hand 71 includes a base 74, a plurality of negative pressure pads 75 to 78 provided under the base 74 and vacuum-sucking the metal ring 11, and the negative pressure pads 75 to 78. And a manifold 85 for making 78 a negative pressure through the communication passages 81 to 84. The manifold 85 is connected to a negative pressure chamber 86 having a wide space, and the negative pressure chamber 86 is connected to a decompression pump 87 as a negative pressure generating means for making the manifold 85 a negative pressure.

また、ハンド71には、連通路81〜84の各々に介設され、連通路81〜84に進入することで連通路81〜84を閉じる弁体88〜91と、これらの弁体88〜91を各々開方向へ付勢する弾性部材92〜95と、これらの弾性部材92〜95に抗して複数の弁体88〜91を順に閉じる弁閉機構としてのカム部材96と、このカム部材96移動させるサーボシリンダ97とが設けられている。図左端の位置がカム部材96の初期位置であり、カム部材96は矢印(9)のように移動する。なお、マニホールド85の一端は鋼球98で塞がれている。
なお、サーボシリンダ97は、図示されない制御番に接続されており、制御盤内に備わる制御回路や、又は記憶手段に記憶される制御プログラム等により制御され、リング押し上げ手段61と連動している。
Further, the hand 71 is provided in each of the communication passages 81 to 84, and enters the communication passages 81 to 84 to close the communication passages 81 to 84, and these valve bodies 88 to 91. Elastic members 92 to 95 for biasing each of them in the opening direction, a cam member 96 as a valve closing mechanism for sequentially closing the plurality of valve bodies 88 to 91 against these elastic members 92 to 95, and the cam member 96 A servo cylinder 97 to be moved is provided. The position at the left end in the figure is the initial position of the cam member 96, and the cam member 96 moves as indicated by an arrow (9). Note that one end of the manifold 85 is closed with a steel ball 98.
The servo cylinder 97 is connected to a control number (not shown), is controlled by a control circuit provided in the control panel, a control program stored in the storage means, and the like, and is interlocked with the ring push-up means 61.

次に以上に述べたハンド71の作用について説明する。
図15(a)に示されるように、弁体88〜91は、金属リンク11の整列方向に並んでいる。カム部材96を矢印(10)のように移動させると、弁体88、弁体89が順次閉方向へ移動される。弁体88は弾性部材92の作用により開位置にある。減圧ポンプ87の作用により、弁体89より図右側のマニホールド85内は負圧である。これにより、負圧パッド75、76から金属リングが分離され、負圧パッド77、78には金属リング11が吸着された状態を維持する。
Next, the operation of the hand 71 described above will be described.
As shown in FIG. 15A, the valve bodies 88 to 91 are arranged in the alignment direction of the metal links 11. When the cam member 96 is moved as shown by the arrow (10), the valve body 88 and the valve body 89 are sequentially moved in the closing direction. The valve body 88 is in the open position by the action of the elastic member 92. Due to the action of the pressure reducing pump 87, the inside of the manifold 85 on the right side of the figure from the valve body 89 has a negative pressure. Thereby, the metal ring is separated from the negative pressure pads 75 and 76, and the state where the metal ring 11 is adsorbed to the negative pressure pads 77 and 78 is maintained.

さらにカム部材96を矢印(11)のように移動させると、弁体89及び弁体90が閉じ位置にあり、負圧パッド77から金属リング11が分離される。弁体90より図右側のマニホールド85内は負圧であるので、負圧パッド78に吸着された金属リング11は吸着状態を保持する。なお、カム部材85は移動方向に所定の長さがあり、移動中、いづれかの弁体88〜91を必ず閉位置に保持するので、図最も右側の閉じられた弁体90よりも図右側のマニホールド85内は負圧を維持する。結果、図最も右側の閉じられた弁体90よりも図右側の金属リング11は落下することはない。   When the cam member 96 is further moved as indicated by the arrow (11), the valve body 89 and the valve body 90 are in the closed position, and the metal ring 11 is separated from the negative pressure pad 77. Since the pressure inside the manifold 85 on the right side of the valve body 90 is negative, the metal ring 11 adsorbed to the negative pressure pad 78 maintains the adsorbed state. The cam member 85 has a predetermined length in the moving direction, and always holds any one of the valve bodies 88 to 91 in the closed position during the movement. A negative pressure is maintained in the manifold 85. As a result, the metal ring 11 on the right side of the figure does not fall more than the closed valve body 90 on the right side of the figure.

次に金属リングをハンドから分離させる工程を説明する。
図16に示されるように、駆動されるコンベア99の上方で負圧パッド75、76上の弁体(図15、符号88、89)を閉じることで、負圧パッド75、76から金属リング11が分離される。さらに、負圧パッド77上の弁体(図15、符号90)を閉じることで、矢印(11)のように負圧パッド77から金属リング11が分離される。このように図左側の負圧パッド75から順に金属リング11を離し、所定の場所で1本ずつハンド71から金属リング11を分離させる。分離された金属リング11は、矢印(12)のように駆動されるコンベア99により次工程に搬送される。
Next, the process of separating the metal ring from the hand will be described.
As shown in FIG. 16, by closing the valve body (FIG. 15, reference numerals 88 and 89) on the negative pressure pads 75 and 76 above the driven conveyor 99, the metal ring 11 is removed from the negative pressure pads 75 and 76. Are separated. Furthermore, by closing the valve body (FIG. 15, reference numeral 90) on the negative pressure pad 77, the metal ring 11 is separated from the negative pressure pad 77 as indicated by an arrow (11). In this manner, the metal rings 11 are sequentially separated from the negative pressure pad 75 on the left side of the drawing, and the metal rings 11 are separated from the hand 71 one by one at a predetermined location. The separated metal ring 11 is conveyed to the next process by the conveyor 99 driven as indicated by an arrow (12).

以上に述べた金属リングの移動機構70の作用効果を以下に記載する。
上記の図12に示されるように、弾性変形可能な金属リング11が複数個整列して収められているラック10から、金属リング11をピックアップし、所定場所へ移動する金属リングの移動機構70において、金属リングの移動機構70は、金属リング11の整列方向に延びるハンド71と、このハンド71をラック10から図16に示す所定場所(コンベア99)へ移動させるアーム72とからなり、図14に示されるハンド71に、金属リング11に密着する複数個の負圧パッド75〜78と、これらの負圧パッド75〜78を連通路81〜84を介して負圧にするマニホールド85と、このマニホールド85を負圧にする負圧発生手段としての減圧ポンプ87と、連通路81〜84の各々に介設され、連通路81〜84に進入することで連通路81〜84を閉じる弁体88〜91と、これらの弁体88〜91を各々開方向へ付勢する弾性部材92〜95と、これらの弾性部材92〜95に抗して複数の弁体88〜91を順に閉じる弁閉機構96とが設けられている。
The effects of the metal ring moving mechanism 70 described above will be described below.
As shown in FIG. 12 above, in the metal ring moving mechanism 70 that picks up the metal ring 11 from the rack 10 in which a plurality of elastically deformable metal rings 11 are stored in alignment, and moves the metal ring 11 to a predetermined place. The metal ring moving mechanism 70 includes a hand 71 extending in the alignment direction of the metal ring 11 and an arm 72 for moving the hand 71 from the rack 10 to a predetermined place (conveyor 99) shown in FIG. The hand 71 shown includes a plurality of negative pressure pads 75 to 78 that are in close contact with the metal ring 11, a manifold 85 that makes these negative pressure pads 75 to 78 negative pressure via communication passages 81 to 84, and the manifold The pressure reducing pump 87 serving as a negative pressure generating means for making 85 a negative pressure, and the communication passages 81 to 84 are interposed, and enter the communication passages 81 to 84. Valve bodies 88 to 91 that close the communication passages 81 to 84, elastic members 92 to 95 that bias the valve bodies 88 to 91 in the opening direction, and a plurality of valves against these elastic members 92 to 95 A valve closing mechanism 96 for closing the bodies 88 to 91 in order is provided.

この構成により、複数の弁体88〜91に対して一つの弁閉機構96が設けられているので、部品点数を少なくでき、移動機構70の構造を簡略化することができる。   With this configuration, since one valve closing mechanism 96 is provided for the plurality of valve bodies 88 to 91, the number of parts can be reduced, and the structure of the moving mechanism 70 can be simplified.

上記の図14に示されるように、弁体88〜91は、金属リング11の整列方向に並んでおり、弁閉機構96は、整列方向に移動して複数の弁体88〜91を順に閉方向へ移動させるカム部材96である。
この構成により、弁閉機構96が簡単な部品で構成されるので、弁閉機構96を簡単な構造にすることができ、コストダウンを図ることができる。
なお、金属リングの移動機構70のアーム72は、図示されない多関節ロボット等のロボットアームであり、金属リングの移動機構70は図示されない制御盤に接続されており、制御盤内に備わる制御回路や、又は記憶手段に記憶される制御プログラム等により制御される。また、整列ストッカー32、ロボットハンド41、熱処理炉51、金属リングの移動機構70は連動するように、図示されない制御盤内に備わる制御回路や、又は記憶手段に記憶される制御プログラム等により制御されている。
As shown in FIG. 14 above, the valve bodies 88 to 91 are aligned in the alignment direction of the metal ring 11, and the valve closing mechanism 96 moves in the alignment direction to close the plurality of valve bodies 88 to 91 in order. The cam member 96 is moved in the direction.
With this configuration, since the valve closing mechanism 96 is configured with simple parts, the valve closing mechanism 96 can have a simple structure, and the cost can be reduced.
The arm 72 of the metal ring moving mechanism 70 is a robot arm such as an articulated robot (not shown), and the metal ring moving mechanism 70 is connected to a control panel (not shown). Or controlled by a control program or the like stored in the storage means. Further, the alignment stocker 32, the robot hand 41, the heat treatment furnace 51, and the metal ring moving mechanism 70 are controlled by a control circuit provided in a control panel (not shown) or a control program stored in a storage means so as to be interlocked. ing.

尚、本発明の金属リングの移動機構は、実施の形態では窒化処理に適用したが、浸硫処理等、他の熱処理に適用することは差し支えない。   Although the metal ring moving mechanism of the present invention is applied to nitriding treatment in the embodiment, it can be applied to other heat treatment such as sulfiding treatment.

本発明の金属リングの移動機構は、CVT用の金属リングの窒化に好適である。   The metal ring moving mechanism of the present invention is suitable for nitriding a metal ring for CVT.

10…ラック、11…金属リング、70…金属リングの移動機構、71…ハンド、72…アーム、73、75〜78…負圧パッド、81〜84…連通路、85…マニホールド。87…負圧発生手段(減圧ポンプ)、88〜91…弁体、92〜95…弾性手段、96…弁閉機構(カム部材)。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Rack, 11 ... Metal ring, 70 ... Metal ring moving mechanism, 71 ... Hand, 72 ... Arm, 73, 75-78 ... Negative pressure pad, 81-84 ... Communication path, 85 ... Manifold. 87 ... Negative pressure generating means (pressure reducing pump), 88-91 ... Valve body, 92-95 ... Elastic means, 96 ... Valve closing mechanism (cam member).

Claims (2)

弾性変形可能な金属リングが複数個整列して収められているラックから、前記金属リングをピックアップし、所定場所へ移動する金属リングの移動機構において、
前記金属リングの移動機構は、前記金属リングの整列方向に延びるハンドと、このハンドを前記ラックから前記所定場所へ移動させるアームとからなり、
前記ハンドに、前記金属リングに密着する複数個の負圧パッドと、これらの負圧パッドを連通路を介して負圧にするマニホールドと、このマニホールドを負圧にする負圧発生手段と、前記連通路の各々に介設され、前記連通路に進入することで前記連通路を閉じる弁体と、これらの弁体を各々開方向へ付勢する弾性部材と、これらの弾性部材に抗して前記複数の弁体を順に閉じる弁閉機構とが設けられていることを特徴とする金属リングの移動機構。
In a metal ring moving mechanism that picks up the metal ring from a rack in which a plurality of elastically deformable metal rings are stored in line, and moves to a predetermined place,
The moving mechanism of the metal ring comprises a hand extending in the alignment direction of the metal ring and an arm for moving the hand from the rack to the predetermined place,
A plurality of negative pressure pads in close contact with the metal ring, a manifold that makes these negative pressure pads negative pressure through a communication path, a negative pressure generating means that makes this manifold negative pressure, A valve body that is provided in each of the communication paths and closes the communication path by entering the communication path; an elastic member that urges each of the valve bodies in the opening direction; and against these elastic members A metal ring moving mechanism comprising: a valve closing mechanism for sequentially closing the plurality of valve bodies.
前記弁体は、前記金属リングの整列方向に並んでおり、前記弁閉機構は、前記整列方向に移動して前記複数の弁体を順に閉方向へ移動させるカム部材であることを特徴とする請求項1記載の金属リングの移動機構。   The valve bodies are arranged in the alignment direction of the metal rings, and the valve closing mechanism is a cam member that moves in the alignment direction and sequentially moves the plurality of valve bodies in the closing direction. The metal ring moving mechanism according to claim 1.
JP2010201094A 2010-09-08 2010-09-08 Metal ring moving mechanism Expired - Fee Related JP5635339B2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010201094A JP5635339B2 (en) 2010-09-08 2010-09-08 Metal ring moving mechanism
CN201110261694.0A CN102431024B (en) 2010-09-08 2011-09-06 Heat treatment method of metal ring
DE102011082348.4A DE102011082348B4 (en) 2010-09-08 2011-09-08 Movement mechanism and movement method for metal rings

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010201094A JP5635339B2 (en) 2010-09-08 2010-09-08 Metal ring moving mechanism

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012056685A true JP2012056685A (en) 2012-03-22
JP5635339B2 JP5635339B2 (en) 2014-12-03

Family

ID=46054255

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010201094A Expired - Fee Related JP5635339B2 (en) 2010-09-08 2010-09-08 Metal ring moving mechanism

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5635339B2 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6278290U (en) * 1985-10-31 1987-05-19
JPH0535619U (en) * 1991-10-17 1993-05-14 鐘紡株式会社 Container ejection device
JPH06344288A (en) * 1993-06-04 1994-12-20 Yamagishi Setsuko Sucking device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6278290U (en) * 1985-10-31 1987-05-19
JPH0535619U (en) * 1991-10-17 1993-05-14 鐘紡株式会社 Container ejection device
JPH06344288A (en) * 1993-06-04 1994-12-20 Yamagishi Setsuko Sucking device

Also Published As

Publication number Publication date
JP5635339B2 (en) 2014-12-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11515188B2 (en) Wafer boat handling device, vertical batch furnace and method
US20150255319A1 (en) Conveying method and substrate processing apparatus
KR101274897B1 (en) Support structure, load lock apparatus, processing apparatus and transfer mechanism
US6331095B1 (en) Transportation system and processing apparatus employing the transportation system
CN100481314C (en) Workpiece treatment system having load lock and buffer
JP5577199B2 (en) Automatic heat treatment method for metal rings
KR100856152B1 (en) Unloading method of object, program storage medium, and mounting mechanism
KR20160137989A (en) System and method for bi-facial processing of substrates
JP2008520837A5 (en)
US20080025835A1 (en) Bernoulli wand
JP2012530381A (en) Workpiece processing system
KR20120003400A (en) Gripping device, transfer device, processing device, and manufacturing method for electronic device
CN108884561B (en) Vacuum treatment installation
TWI308883B (en) Atmospheric robot handling equipment
JP5635339B2 (en) Metal ring moving mechanism
KR101940580B1 (en) Loadlock chamber and method for treating substrates using the same
US20180174876A1 (en) Magnetic wafer gripper
US20120257948A1 (en) Loading unit and processing system
US9214369B2 (en) Dynamic pitch substrate lift
CN109461693B (en) Wafer transfer apparatus, wafer processing system and method
KR101212514B1 (en) Apparatus for processing substrate and method for transfering substrate
JP6867226B2 (en) Vacuum suction member
EP3706162A1 (en) Substrate accommodation device
KR101433810B1 (en) System and method for treating substrate
CN102431024B (en) Heat treatment method of metal ring

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20121127

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140129

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140204

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140407

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20141007

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20141016

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees