JP2012052891A - 樹脂モールド部品の内部応力計測方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、樹脂モールド部品の内部応力の大きさ、方向を明確に計測する技術を提供することを課題とする。
【解決手段】半導体素子2を二つの金属板3・3で挟み込み、熱硬化性樹脂5で樹脂モールドして得られる樹脂モールド部品1の内部応力を計測する方法であって、外力によって変形し、かつ、熱硬化性樹脂5の熱硬化温度での耐熱性を有するゴム球体11・11・・・を金属板3・3の間に配置した状態で樹脂モールドし、各ゴム球体11の変形状態を非破壊検査によって検出することによって、ゴム球体11にかかる主応力の方向及び大きさを計測することによって、ゴム球体11・11・・・が配置される部位の内部応力を計測する。
【選択図】図2
【解決手段】半導体素子2を二つの金属板3・3で挟み込み、熱硬化性樹脂5で樹脂モールドして得られる樹脂モールド部品1の内部応力を計測する方法であって、外力によって変形し、かつ、熱硬化性樹脂5の熱硬化温度での耐熱性を有するゴム球体11・11・・・を金属板3・3の間に配置した状態で樹脂モールドし、各ゴム球体11の変形状態を非破壊検査によって検出することによって、ゴム球体11にかかる主応力の方向及び大きさを計測することによって、ゴム球体11・11・・・が配置される部位の内部応力を計測する。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体素子を二つの金属板で挟み込んだ状態で樹脂モールドして得られる部品の内部応力を計測する技術に関する。
インバータ、パワーモジュール等の電子部品は、二つの金属板で半導体素子を挟みその周囲を樹脂でモールドすることによって得られる。樹脂のモールド条件によっては、硬化収縮等の要因により金属板と樹脂間に剥離が発生することが知られている。そこで、剥離を起こさないモールド条件を知る手段として、樹脂モールドの内部応力の大きさ、方向を計測する技術が求められている。
特許文献1には、樹脂モールド内に硬質磁性粉末を添加し、樹脂モールド後の磁束密度を計測して、内部応力に換算する技術が開示されている。
しかしながら、金属板が磁束に影響を与えるため、この技術では樹脂単体のものにしか適用できない。さらに、樹脂の収縮は周囲の環境に影響を受けると考えられているため、本願のように金属板を内部に封入する電子部品には不適である。
しかしながら、金属板が磁束に影響を与えるため、この技術では樹脂単体のものにしか適用できない。さらに、樹脂の収縮は周囲の環境に影響を受けると考えられているため、本願のように金属板を内部に封入する電子部品には不適である。
また、ひずみゲージを用いて応力を計測する方法も提案されているが、ひずみゲージからの配線の取り回しが困難であるうえ、反復して計測できないという難点がある。
以上のように、従来技術では、半導体素子及び金属板を含む樹脂モールドの内部応力の大きさ、方向を明確に計測する技術はなかった。
以上のように、従来技術では、半導体素子及び金属板を含む樹脂モールドの内部応力の大きさ、方向を明確に計測する技術はなかった。
本発明は、樹脂モールド部品の内部応力の大きさ、方向を明確に計測する技術を提供することを課題とする。
本発明の樹脂モールド部品の内部応力計測方法の第一態様は、半導体素子を二つの金属板で挟み込み、熱硬化性樹脂で樹脂モールドして得られる樹脂モールド部品の内部応力を計測する方法であって、外力によって変形し、かつ、前記熱硬化性樹脂の熱硬化温度での耐熱性を有する球体を前記二つの金属板の間に配置した状態で樹脂モールドし、前記球体の変形状態を非破壊検査によって検出することによって、前記球体にかかる主応力の方向及び大きさを計測することによって、前記球体が配置される部位の内部応力を計測する。
前記熱硬化性樹脂の熱硬化温度以下で溶融する熱可塑性樹脂からなる保持治具を用いて、前記球体を前記二つの金属板間に保持することが好ましい。
本発明の樹脂モールド部品の内部応力計測方法の第二態様は、半導体素子を二つの金属板で挟み込み、熱硬化性樹脂で樹脂モールドして得られる樹脂モールド部品の内部応力を計測する方法であって、直交する三軸方向の圧力を計測可能であり、かつ、計測データを無線出力可能なセンサ体を前記二つの金属板の間に配置した状態で樹脂モールドし、前記センサ体から三軸方向の圧力に関する出力データを受信することによって、前記センサ体にかかる主応力の方向及び大きさを計測することによって、前記センサ体が配置される部位の内部応力を計測する。
前記熱硬化性樹脂の熱硬化温度以下で溶融する熱可塑性樹脂からなる保持治具を用いて、前記センサ体を前記二つの金属板間に保持することが好ましい。
本発明によれば、樹脂モールド部品の内部応力の大きさ、方向を明確に計測できる。
本発明に係る樹脂モールド部品の内部応力計測方法の計測対象である樹脂モールド部品1は、インバータ等の電子部品であり、図1に示すように、半導体素子2と、半導体素子2を両側面から挟み込む金属板3・3と、を金型4を用いて樹脂5で封止したものである。
半導体素子2は、例えば可変容量ダイオード等のダイオード、IGBT等のトランジスタであり、樹脂モールド部品1の主たる機能を果たすデバイスである。
金属板3は、銅、アルミニウム等の金属により構成されるプレートであり、表面に半導体素子2との電気的な接続に用いられる回路が形成される。また、金属板3は半導体素子2を冷却するヒートシンクとしても機能する。なお、金属板3は、半導体素子2の金属板3との当接面よりも大きな面積を有しており、金属板3と金属板3とで半導体素子2を挟み込んだ状態では、半導体素子2の周囲には所定の空間が形成されている。
金属板3は、銅、アルミニウム等の金属により構成されるプレートであり、表面に半導体素子2との電気的な接続に用いられる回路が形成される。また、金属板3は半導体素子2を冷却するヒートシンクとしても機能する。なお、金属板3は、半導体素子2の金属板3との当接面よりも大きな面積を有しており、金属板3と金属板3とで半導体素子2を挟み込んだ状態では、半導体素子2の周囲には所定の空間が形成されている。
金型4は、樹脂封止する際の外枠となる部材であり、内部に所定のキャビティを画定するとともに、樹脂注入用の通路が設けられている。金型4は、開閉自在であり、型を閉じた状態で樹脂を注入し、所定時間保圧して樹脂モールドした後、型開きされて、樹脂モールド部品1が取り出される。
樹脂5は、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂等の熱硬化性樹脂であり、金型4の内部に流し込まれた後、所定の温度まで加熱されることによって硬化し、樹脂モールド部品1の外形を形成する。
樹脂5は、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂等の熱硬化性樹脂であり、金型4の内部に流し込まれた後、所定の温度まで加熱されることによって硬化し、樹脂モールド部品1の外形を形成する。
[第一実施形態]
以下、図2〜図4を参照して、本発明の第一実施形態に係る樹脂モールド部品の内部応力を計測する方法について説明する。
以下、図2〜図4を参照して、本発明の第一実施形態に係る樹脂モールド部品の内部応力を計測する方法について説明する。
図2(a)に示すように、樹脂モールド部品1を樹脂モールドする前に、金属板3・3間に、つまり金属板3の表面から所定の距離を置いてゴム球体11・11・・・を配置する。各ゴム球体11は、保持治具12を介して所定位置に保持される。
より厳密には、ゴム球体11・11・・・は、計測エリアに配置されている。この「計測エリア」は、樹脂モールド部品1において金属板3と樹脂5との剥離が発生し易い領域、つまり金属板3・3間に挟まれる領域である。言い換えれば、計測エリアは、最適な樹脂モールド条件を導くために、樹脂5内において内部応力の大きさ、方向の計測が求められている領域である。
より厳密には、ゴム球体11・11・・・は、計測エリアに配置されている。この「計測エリア」は、樹脂モールド部品1において金属板3と樹脂5との剥離が発生し易い領域、つまり金属板3・3間に挟まれる領域である。言い換えれば、計測エリアは、最適な樹脂モールド条件を導くために、樹脂5内において内部応力の大きさ、方向の計測が求められている領域である。
ゴム球体11は、樹脂5の熱硬化温度での耐熱性を有し、かつ、内部気体の温度による体積膨張を抑制する素材によって構成される薄肉ゴムの球体である。ゴム球体11の内部には空気等の気体が封入されている。ゴム球体11の素材としては例えばシリコン、フッ素ゴムが挙げられる。ゴム球体11は、外力を受けて球体から楕円体に変形する。
保持治具12は、樹脂5の熱硬化温度以下で溶融する。保持治具12の一端は金属板3の表面に固定され、他端はゴム球体11に固定され、これによりゴム球体11を保持している。保持治具12は、熱可塑性樹脂によって構成されており、例えばエポキシ系の熱可塑性樹脂からなる接着剤である。
保持治具12は、樹脂5の熱硬化温度以下で溶融する。保持治具12の一端は金属板3の表面に固定され、他端はゴム球体11に固定され、これによりゴム球体11を保持している。保持治具12は、熱可塑性樹脂によって構成されており、例えばエポキシ系の熱可塑性樹脂からなる接着剤である。
図2(b)に示すように、樹脂5を熱硬化させる樹脂モールド過程において、保持治具12は溶融して消滅するとともに、保持治具12によって所定位置に保持されていたゴム球体11は、樹脂5内の計測エリアに残ることとなる。
図2(c)に示すように、ゴム球体11・11・・・はそれぞれ所望の計測エリアに保持されつつ、樹脂5の熱硬化に起因する内部応力を受ける。各ゴム球体11は、この内部応力の成分が最大となる方向(主応力の方向)を短手方向とする楕円体に変形する。
このように、保持治具12を樹脂5の熱硬化温度付近で溶融する素材によって構成することによって、樹脂5のモールド時に保持治具12を溶融させて消滅させることができ、ゴム球体11を樹脂5内の所望位置に単独で配置することができる。すなわち、保持治具12は、樹脂モールド部品1のモールド条件に影響を与えることがない。
従って、ゴム球体11の球面全体で外力を受けることとなるため、ゴム球体11に作用する外力を正確に検出することが可能である。また、ゴム球体11の周囲の環境を一定にできるため、内部応力への影響を最低限に留め、ゴム球体11での応力検出能力を向上できる。
図2(c)に示すように、ゴム球体11・11・・・はそれぞれ所望の計測エリアに保持されつつ、樹脂5の熱硬化に起因する内部応力を受ける。各ゴム球体11は、この内部応力の成分が最大となる方向(主応力の方向)を短手方向とする楕円体に変形する。
このように、保持治具12を樹脂5の熱硬化温度付近で溶融する素材によって構成することによって、樹脂5のモールド時に保持治具12を溶融させて消滅させることができ、ゴム球体11を樹脂5内の所望位置に単独で配置することができる。すなわち、保持治具12は、樹脂モールド部品1のモールド条件に影響を与えることがない。
従って、ゴム球体11の球面全体で外力を受けることとなるため、ゴム球体11に作用する外力を正確に検出することが可能である。また、ゴム球体11の周囲の環境を一定にできるため、内部応力への影響を最低限に留め、ゴム球体11での応力検出能力を向上できる。
以下、図3及び図4を用いて、ゴム球体11・11・・・に付与される外力を検出し、検出された外力から樹脂5に残留する内部応力を求める方法について説明する。
まず、図3に示すように、断層画像を撮像するX線CT、反響を映像化する超音波検査装置等の非破壊検査装置によって、多方向からゴム球体11・11・・・の変形形状を画像として検出する。そして、検出された複数の画像からゴム球体11・11・・・の短手方向を割り出し、外力によって変形したゴム球体11・11・・・の主応力の方向として決定する。
それと同時に、非破壊検査装置によって検出された画像からゴム球体11・11・・・の短手方向距離d1・d2・・・dnを検出する。
まず、図3に示すように、断層画像を撮像するX線CT、反響を映像化する超音波検査装置等の非破壊検査装置によって、多方向からゴム球体11・11・・・の変形形状を画像として検出する。そして、検出された複数の画像からゴム球体11・11・・・の短手方向を割り出し、外力によって変形したゴム球体11・11・・・の主応力の方向として決定する。
それと同時に、非破壊検査装置によって検出された画像からゴム球体11・11・・・の短手方向距離d1・d2・・・dnを検出する。
次に、図4に示すように、予め実験等によって求められた検量線Lを用いて、ゴム球体11の短手方向距離がd1・d2・・・dnとなるときの応力σ1・σ2・・・σnをそれぞれ求める。
検量線Lは、ゴム球体11に一方向から応力を付与し、付与する応力σの値を変化させてゴム球体11を収縮させていく際に、応力σ及び短手方向距離dを計測しプロットすることによって一義的に決定されるものであり、ゴム球体11に付与される応力σと短手方向距離dとの相関を示す線である。
検量線Lは、ゴム球体11に一方向から応力を付与し、付与する応力σの値を変化させてゴム球体11を収縮させていく際に、応力σ及び短手方向距離dを計測しプロットすることによって一義的に決定されるものであり、ゴム球体11に付与される応力σと短手方向距離dとの相関を示す線である。
以上のように、計測エリアに配置される各ゴム球体11の変形状態における短手方向、及び短手方向距離dを非破壊検査装置によって検出することによって、各ゴム球体11にかかる主応力の方向が決定され、主応力の大きさが導き出される。
すなわち、本計測方法によれば、樹脂モールド部品1内で所望の計測エリア、つまり各ゴム球体11が配置される部位において、樹脂5の内部応力の方向及び大きさを明確に計測することが可能である。ひいては、所望の計測エリアでの内部応力を明確に計測できるため、剥離等の不具合の要因を探ることができ、不具合を起こさないような樹脂モールド条件(金型温度、樹脂注入速度、保圧時間、樹脂の種類等)を決定することができる。
すなわち、本計測方法によれば、樹脂モールド部品1内で所望の計測エリア、つまり各ゴム球体11が配置される部位において、樹脂5の内部応力の方向及び大きさを明確に計測することが可能である。ひいては、所望の計測エリアでの内部応力を明確に計測できるため、剥離等の不具合の要因を探ることができ、不具合を起こさないような樹脂モールド条件(金型温度、樹脂注入速度、保圧時間、樹脂の種類等)を決定することができる。
本計測方法において、ゴム球体11及び保持治具12は、一般的な熱硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂によって構成されるものであるため、入手し易く、安価な素材によって構成可能である。従って、ひずみゲージを用いて応力を計測する従来の方法と比べてコスト的に有利である。
また、ゴム球体11の周囲に離型剤を塗布することによって、ゴム球体11の繰り返し使用が可能となる。
また、ゴム球体11の周囲に離型剤を塗布することによって、ゴム球体11の繰り返し使用が可能となる。
[第二実施形態]
以下、図5及び図6を参照して、本発明の第二実施形態である樹脂モールド部品の内部応力を計測する方法について説明する。
なお、第一実施形態と同じ構成のものは、同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
以下、図5及び図6を参照して、本発明の第二実施形態である樹脂モールド部品の内部応力を計測する方法について説明する。
なお、第一実施形態と同じ構成のものは、同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
図5(a)に示すように、樹脂モールド前に、金属板3の表面から所定の距離を置いてセンサ体21・21・・・を配置する。各センサ体21は、保持治具12を介して所定位置に保持される。
センサ体21・21・・・は、ゴム球体11・11・・・と同様に計測エリアに配置される。
図5(b)に示すように、樹脂5を熱硬化させる樹脂モールド過程において、保持治具12は溶融して消滅するとともに、保持治具12によって所定位置に保持されていたセンサ体21は、樹脂5内の計測エリアに残り、硬化に起因する内部応力を受ける。すなわち、保持治具12は、樹脂モールド部品1のモールド条件に影響を与えることがない。
センサ体21・21・・・は、ゴム球体11・11・・・と同様に計測エリアに配置される。
図5(b)に示すように、樹脂5を熱硬化させる樹脂モールド過程において、保持治具12は溶融して消滅するとともに、保持治具12によって所定位置に保持されていたセンサ体21は、樹脂5内の計測エリアに残り、硬化に起因する内部応力を受ける。すなわち、保持治具12は、樹脂モールド部品1のモールド条件に影響を与えることがない。
センサ体21は、樹脂5の熱硬化温度での耐熱性を有する剛体であり、図6に示すように、六面体形状を有する。センサ体21の六面全てには、圧力センサ22が設けられている。
センサ体21の表面に配置される圧力センサ22・22・・・によって、センサ体21にかかる三軸方向の応力を計測する。
センサ体21の表面に配置される圧力センサ22・22・・・によって、センサ体21にかかる三軸方向の応力を計測する。
センサ体21には、無線にてデータ出力可能な送信部23が内蔵されている。
各圧力センサ22は、センサ体21内部で送信部23と電気的に接続され、計測結果を送信部23に伝送する。送信部23は、各圧力センサ22から伝送された計測結果を無線にて出力する。送信部23から出力された無線データを受信する受信部24及び受信したデータを解析する解析部25が用意されており、受信部24によって、樹脂モールド部品1の外部でセンサ体21による計測結果を受信し、解析部25によって、樹脂モールド部品1の内部応力の方向及び大きさを決定する。
各圧力センサ22は、センサ体21内部で送信部23と電気的に接続され、計測結果を送信部23に伝送する。送信部23は、各圧力センサ22から伝送された計測結果を無線にて出力する。送信部23から出力された無線データを受信する受信部24及び受信したデータを解析する解析部25が用意されており、受信部24によって、樹脂モールド部品1の外部でセンサ体21による計測結果を受信し、解析部25によって、樹脂モールド部品1の内部応力の方向及び大きさを決定する。
以上のように、樹脂モールドされた樹脂モールド部品1の内部応力を各センサ体21の圧力センサ22・22・・・で計測し、その計測結果を送信部23及び受信部24によって外部に取り出し、解析部25によって内部応力の方向及び大きさを決定している。
すなわち、本計測方法によれば、センサ体21にかかる三軸方向の応力を精度良く検出することができ、ひいては樹脂モールド部品1の内部応力を精度良く計測できる。
すなわち、本計測方法によれば、センサ体21にかかる三軸方向の応力を精度良く検出することができ、ひいては樹脂モールド部品1の内部応力を精度良く計測できる。
本計測方法において、センサ体21は、無線出力のために送信部23を具備する。これにより、樹脂モールド部品1内に複雑な配線を引く必要がなく、樹脂モールド部品1の内部応力の計測を容易にしている。
また、六面体形状のセンサ体21を傾けて配置すること等によって、より厳密な応力値として計測できる。例えば、予め応力の方向が分かっている部位には、センサ体21をその方向に対応して傾けて配置することによって樹脂モールド部品1の内部応力の大きさを厳密に計測できるという利点がある。
また、六面体形状のセンサ体21を傾けて配置すること等によって、より厳密な応力値として計測できる。例えば、予め応力の方向が分かっている部位には、センサ体21をその方向に対応して傾けて配置することによって樹脂モールド部品1の内部応力の大きさを厳密に計測できるという利点がある。
1 樹脂モールド部品
2 半導体素子
3 金属板
5 樹脂
11 ゴム球体
12 保持治具
2 半導体素子
3 金属板
5 樹脂
11 ゴム球体
12 保持治具
Claims (4)
- 半導体素子を二つの金属板で挟み込み、熱硬化性樹脂で樹脂モールドして得られる樹脂モールド部品の内部応力を計測する方法であって、
外力によって変形し、かつ、前記熱硬化性樹脂の熱硬化温度での耐熱性を有する球体を前記二つの金属板の間に配置した状態で樹脂モールドし、
前記球体の変形状態を非破壊検査によって検出することによって、前記球体にかかる主応力の方向及び大きさを計測することによって、前記球体が配置される部位の内部応力を計測する樹脂モールド部品の内部応力計測方法。 - 前記熱硬化性樹脂の熱硬化温度以下で溶融する熱可塑性樹脂からなる保持治具を用いて、前記球体を前記二つの金属板間に保持する請求項1に記載の樹脂モールド部品の内部応力計測方法。
- 半導体素子を二つの金属板で挟み込み、熱硬化性樹脂で樹脂モールドして得られる樹脂モールド部品の内部応力を計測する方法であって、
直交する三軸方向の圧力を計測可能であり、かつ、計測データを無線出力可能なセンサ体を前記二つの金属板の間に配置した状態で樹脂モールドし、
前記センサ体から三軸方向の圧力に関する出力データを受信することによって、前記センサ体にかかる主応力の方向及び大きさを計測することによって、前記センサ体が配置される部位の内部応力を計測する樹脂モールド部品の内部応力計測方法。 - 前記熱硬化性樹脂の熱硬化温度以下で溶融する熱可塑性樹脂からなる保持治具を用いて、前記センサ体を前記二つの金属板間に保持する請求項3に記載の樹脂モールド部品の内部応力計測方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010195048A JP2012052891A (ja) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | 樹脂モールド部品の内部応力計測方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018235346A1 (ja) * | 2017-06-23 | 2018-12-27 | 株式会社日立産機システム | 電気機器の診断システム及び方法 |
-
2010
- 2010-08-31 JP JP2010195048A patent/JP2012052891A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2018235346A1 (ja) * | 2017-06-23 | 2018-12-27 | 株式会社日立産機システム | 電気機器の診断システム及び方法 |
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