JP2012044406A - Semiconductor integrated circuit and method of testing the same - Google Patents

Semiconductor integrated circuit and method of testing the same Download PDF

Info

Publication number
JP2012044406A
JP2012044406A JP2010183173A JP2010183173A JP2012044406A JP 2012044406 A JP2012044406 A JP 2012044406A JP 2010183173 A JP2010183173 A JP 2010183173A JP 2010183173 A JP2010183173 A JP 2010183173A JP 2012044406 A JP2012044406 A JP 2012044406A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sampling clock
adc
dac
semiconductor integrated
integrated circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010183173A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5564360B2 (en
Inventor
Keisuke Okubo
恵輔 大久保
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kawasaki Microelectronics Inc
Original Assignee
Kawasaki Microelectronics Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kawasaki Microelectronics Inc filed Critical Kawasaki Microelectronics Inc
Priority to JP2010183173A priority Critical patent/JP5564360B2/en
Publication of JP2012044406A publication Critical patent/JP2012044406A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5564360B2 publication Critical patent/JP5564360B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Analogue/Digital Conversion (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor integrated circuit in which an influence of phase noise of a sampling clock on transfer characteristics of a DAC and an ADC can be detected and the quality of a loop-back test can be improved, and to provide a method of testing the same.SOLUTION: A semiconductor integrated circuit comprises: a DAC that operates synchronously with a sampling clock and converts a digital signal into an analog signal; an ADC that operates synchronously with the sampling clock and converts an analog signal into a digital signal; a sampling clock generating circuit for generating first and second sampling clocks having different phase noise characteristics based on a reference clock; and a sampling clock switching circuit for supplying the first sampling clock to one of the DAC and the ADC and for supplying the second sampling clock to the other of the DAC and the ADC during a loop-back test in which the analog signal from the DAC is inputted to the ADC or the digital signal from the ADC is inputted to the DAC.

Description

本発明は、DAC(Digital to Analog Converter:デジタル/アナログ変換器)およびADC(Analog to Digital Converter:アナログ/デジタル変換器)の両方を搭載した半導体集積回路およびそのテスト方法に関するものである。   The present invention relates to a semiconductor integrated circuit equipped with both a DAC (Digital to Analog Converter) and an ADC (Analog to Digital Converter) and a test method thereof.

DACおよびADCの両方を搭載した半導体集積回路において、例えば、DACのテストは、半導体集積回路の外部からデジタル信号(テスト用のデジタルデータ)を入力し、DACから半導体集積回路の外部に出力されたアナログ信号をLSIテスタでサンプリングすることによって行われる。一方、ADCのテストは、半導体集積回路の外部からアナログ信号(テスト用のアナログデータ)を入力し、ADCから半導体集積回路の外部に出力されたデジタル信号をLSIテスタで測定することによって行われる。   In a semiconductor integrated circuit equipped with both a DAC and an ADC, for example, in a DAC test, a digital signal (digital data for testing) is input from the outside of the semiconductor integrated circuit, and is output from the DAC to the outside of the semiconductor integrated circuit. This is done by sampling an analog signal with an LSI tester. On the other hand, the ADC test is performed by inputting an analog signal (analog data for testing) from the outside of the semiconductor integrated circuit and measuring a digital signal output from the ADC to the outside of the semiconductor integrated circuit with an LSI tester.

近年のDACおよびADCは、高ビット化、高速化され、高性能化が進んでいる。特に、通信系のデバイスには、例えば、デジタル信号の分解能が10ビット以上、サンプリングクロックの動作速度が100MHz以上のものが搭載される傾向がある。このような高性能化されたDACおよびADCのテストを行うためには、高ビットで、高速なデジタルデータと高い周波数のアナログデータとを半導体集積回路に入力し、なおかつ、半導体集積回路から出力される高ビットで、高速なデジタルデータおよび高い周波数のアナログデータのテストを行うことができる高性能な測定器やLSIテスタ等が必要となる。   In recent years, DACs and ADCs have been increased in bit speed and speed, and performance has been increasing. In particular, communication devices tend to be mounted with, for example, digital signals having a resolution of 10 bits or more and a sampling clock operating speed of 100 MHz or more. In order to perform such high-performance DAC and ADC tests, high-bit high-speed digital data and high-frequency analog data are input to the semiconductor integrated circuit and output from the semiconductor integrated circuit. Therefore, a high-performance measuring instrument or LSI tester capable of testing high-speed digital data and high-frequency analog data with high bits is required.

しかしながら、DACおよびADCの両方を搭載した半導体集積回路のテストを行う際に課題となるのが、LSIテスタ等に要求される機能や精度の高さであり、この問題を解決することを目的として従来から様々な方法が提案されている。   However, when testing a semiconductor integrated circuit equipped with both a DAC and an ADC, the problem is the function and high accuracy required for an LSI tester, and the purpose is to solve this problem. Conventionally, various methods have been proposed.

従来のテスト方法として、例えば、試験対象のDACおよびADCにテスト信号を供給したり、出力された信号を処理する回路が組み込まれた外部試験装置(BOST)を用いる方法(特許文献1参照)や、外部試験装置に複数の機能を持たせて安価なテスタでの処理を可能とする方法(特許文献2参照)、さらに、DUT(Device Under Test:試験対象デバイス)内部にテスト信号生成および信号補正機能を持つ集積回路を組み込んでDACおよびADCの機能試験を行う方法(特許文献3,4参照)などがある。   As a conventional test method, for example, a method using an external test apparatus (BOST) in which a test signal is supplied to a DAC and ADC to be tested, or a circuit for processing an output signal is incorporated (see Patent Document 1) , A method that allows external test equipment to have multiple functions and enables processing with an inexpensive tester (see Patent Document 2), and further, test signal generation and signal correction inside a DUT (Device Under Test) There is a method of performing a functional test of DAC and ADC by incorporating an integrated circuit having a function (see Patent Documents 3 and 4).

特開2002−236151号公報JP 2002-236151 A 米国特許第7327153号明細書US Pat. No. 7,327,153 特開2008−252235号公報JP 2008-252235 A 特開2009−17359号公報JP 2009-17359 A

テスタメーカからは、DACおよびADCを搭載した半導体集積回路の試験のための専用の試験装置であるミックスドシグナルテスタが提供されているが、この半導体集積回路の試験装置は価格が極めて高いという問題点がある。   A tester maker provides a mixed signal tester which is a dedicated test device for testing a semiconductor integrated circuit equipped with a DAC and an ADC. However, this semiconductor integrated circuit test device is extremely expensive. There is a point.

一方、DACから半導体集積回路の外部に出力されたアナログ信号を半導体集積回路の内部のADCへループバックして入力する、あるいはADCから出力されるデジタル信号をDACに入力するループバック方式のテスト方法(ループバックテスト)が知られている。このテスト方法では、高性能で高価なミックスドシグナルテスタは不要となり、テストコストの削減には効果的な手法である。   On the other hand, an analog signal output from the DAC to the outside of the semiconductor integrated circuit is looped back and input to the ADC inside the semiconductor integrated circuit, or a digital signal output from the ADC is input to the DAC. (Loopback test) is known. This test method eliminates the need for a high-performance and expensive mixed signal tester, and is an effective method for reducing test costs.

以下、従来のDACおよびADCを搭載する半導体集積回路、および、そのループバック方式のテスト方法について説明する。   Hereinafter, a conventional semiconductor integrated circuit on which a DAC and an ADC are mounted and a test method of the loopback method will be described.

図4は、従来の半導体集積回路の構成を表す一例のブロック概念図である。同図に示す半導体集積回路50は、DAC54と、出力アンプ(PGA)56と、入力アンプ(PGA)58と、ADC60と、サンプリングクロック発生回路64とによって構成されている。また、サンプリングクロック発生回路64は、PLL回路(PLL 2x)68によって構成されている。   FIG. 4 is a conceptual block diagram illustrating an example of a configuration of a conventional semiconductor integrated circuit. The semiconductor integrated circuit 50 shown in FIG. 1 includes a DAC 54, an output amplifier (PGA) 56, an input amplifier (PGA) 58, an ADC 60, and a sampling clock generation circuit 64. The sampling clock generation circuit 64 is configured by a PLL circuit (PLL 2x) 68.

テスト動作時には、半導体自動テスト装置(ATE)72から、62.5MHzの基準クロックおよびこの基準クロックに同期した12ビットのデジタル信号(テスト用のデジタルデータ)が半導体集積回路50に入力される。   During the test operation, a 62.5 MHz reference clock and a 12-bit digital signal (digital data for testing) synchronized with the reference clock are input to the semiconductor integrated circuit 50 from the semiconductor automatic test apparatus (ATE) 72.

半導体集積回路50では、半導体自動テスト装置72から入力される62.5MHzの基準クロックが、サンプリングクロック発生回路64のPLL回路68によって2逓倍されて125MHzの内部クロックが発生され、DAC54およびADC60の両方に共通に入力される。   In the semiconductor integrated circuit 50, the 62.5 MHz reference clock input from the semiconductor automatic test apparatus 72 is multiplied by 2 by the PLL circuit 68 of the sampling clock generation circuit 64 to generate an internal clock of 125 MHz, and both the DAC 54 and the ADC 60 are generated. Are input in common.

一方、半導体自動テスト装置72から入力される12ビット(12b)のデジタル信号は、DAC54によって、サンプリングクロック発生回路64から入力される125MHzのサンプリングクロックに同期してアナログ信号(差動)に変換され、出力アンプ56によってゲイン調整が行われた後、半導体集積回路50の外部へ出力される。   On the other hand, the 12-bit (12b) digital signal input from the semiconductor automatic test apparatus 72 is converted into an analog signal (differential) by the DAC 54 in synchronization with the 125 MHz sampling clock input from the sampling clock generation circuit 64. After the gain adjustment is performed by the output amplifier 56, the gain is output to the outside of the semiconductor integrated circuit 50.

半導体集積回路50の外部へ出力されたアナログ信号(差動)は半導体集積回路50の内部へループバックされ、入力アンプ58によってゲイン調整が行われた後、ADC60に入力される。そして、ADC60によって、サンプリングクロック発生回路64から入力される125MHzのサンプリングクロックに同期して12ビット(12b)のデジタル信号に変換され、半導体集積回路50の外部へ出力される。   The analog signal (differential) output to the outside of the semiconductor integrated circuit 50 is looped back to the inside of the semiconductor integrated circuit 50, gain adjustment is performed by the input amplifier 58, and then input to the ADC 60. Then, the ADC 60 converts it into a 12-bit (12b) digital signal in synchronization with the 125 MHz sampling clock input from the sampling clock generation circuit 64, and outputs it to the outside of the semiconductor integrated circuit 50.

半導体自動テスト装置72では、半導体集積回路50に入力した12ビットのデジタル信号と、半導体集積回路50から出力される12ビットのデジタル信号とを比較して、両者の一致、不一致を検出するテストが行われる。サンプリングクロックは、チップ面積の増加を避けるため、通常テストチップに対して1系統を配置し、DAC,ADCに共通のクロックを供給している。また、DACとADCの動作周波数が異なる場合にも、PLLの出力に分周器を追加して、両者に必要な周波数を1つのサンプリングクロックで実現することが可能である。   The semiconductor automatic test apparatus 72 compares the 12-bit digital signal input to the semiconductor integrated circuit 50 with the 12-bit digital signal output from the semiconductor integrated circuit 50, and detects a match or mismatch between the two. Done. In order to avoid an increase in chip area, one sampling clock is usually arranged for the test chip, and a common clock is supplied to the DAC and ADC. Further, even when the operating frequencies of the DAC and the ADC are different, a frequency divider can be added to the output of the PLL, and the frequency required for both can be realized with one sampling clock.

上記のように、従来のループバックテストでは、同一のサンプリングクロックをDAC54およびADC60の両方に入力している。しかしながら、このテスト方法では、DAC54とADC60を同一のサンプリングクロックで同時に動作させるために、個々の機能ブロックの検証については、個々別々に試験した場合と比して不十分なものとなり、テスト品質が低下するという問題点があることが明らかになった。   As described above, in the conventional loopback test, the same sampling clock is input to both the DAC 54 and the ADC 60. However, in this test method, since the DAC 54 and the ADC 60 are simultaneously operated with the same sampling clock, the verification of the individual functional blocks is insufficient as compared with the case of individually testing, and the test quality is low. It became clear that there was a problem of lowering.

すなわち、このPLL回路68が持つ位相ノイズ特性(ジッタ特性)がDAC54およびADC60の変換特性に影響を与える。例えば、PLL回路68の位相ノイズ特性に応じて、ADC60から出力されるデジタル信号のS/N比が低下することは周知の事実であり、半導体集積回路50の機能テストでは、変換特性を評価、判定することが求められる。   That is, the phase noise characteristic (jitter characteristic) of the PLL circuit 68 affects the conversion characteristics of the DAC 54 and the ADC 60. For example, it is a well-known fact that the S / N ratio of the digital signal output from the ADC 60 decreases according to the phase noise characteristics of the PLL circuit 68. In the function test of the semiconductor integrated circuit 50, the conversion characteristics are evaluated, Judgment is required.

ところが、半導体集積回路50のように、ループバックテスト時に、DAC54およびADC60の両方に同一のサンプリングクロックが入力される場合には、PLL回路68の位相ノイズ特性がDAC54およびADC60の変換特性に与える影響が互いに相殺されてしまうため、PLL回路68の位相ノイズ特性がDAC54およびADC60それぞれの変換特性に及ぼす影響を検出することが困難になる。   However, when the same sampling clock is input to both the DAC 54 and the ADC 60 during the loopback test as in the semiconductor integrated circuit 50, the influence of the phase noise characteristics of the PLL circuit 68 on the conversion characteristics of the DAC 54 and the ADC 60. Therefore, it is difficult to detect the influence of the phase noise characteristics of the PLL circuit 68 on the conversion characteristics of the DAC 54 and the ADC 60.

図5に示すように、ループバックテスト時に、入力信号cos(ωt)がDACに入力され、DACから出力信号y(t)が出力され、これがループバックされて入力信号y(t)がADCに入力され、ADCから出力信号ylb‘(t)が出力されるものとする。   As shown in FIG. 5, at the time of the loopback test, the input signal cos (ωt) is input to the DAC, and the output signal y (t) is output from the DAC, which is looped back and the input signal y (t) is transferred to the ADC. Assume that an output signal ylb ′ (t) is output from the ADC.

DACでは、サンプリングクロックの位相ノイズ成分φcj(dac)が入力信号cos(ωt)の位相ノイズ成分φij(dac)に合成される。つまり、DACからの出力信号y(t)には、DACに入力されるサンプリングクロックの位相ノイズ成分φcj(dac)が含まれる。   In the DAC, the phase noise component φcj (dac) of the sampling clock is combined with the phase noise component φij (dac) of the input signal cos (ωt). That is, the output signal y (t) from the DAC includes the phase noise component φcj (dac) of the sampling clock input to the DAC.

ADCにおいても、サンプリングクロックの位相ノイズ成分φcj(adc)が入力信号y(t)の位相ノイズ成分φij(adc)に合成され、ADCからの出力信号ylb‘(t)には、ADCに入力されるサンプリングクロックの位相ノイズ成分φcj(adc)が含まれる。しかしながら、DACおよびADCの両方に同一のサンプリングクロックを入力すると、ADCへの入力信号φij(adc)に含まれる、DACに入力されるサンプリングクロックの位相ノイズ成分φcj(dac)と、ADCに入力されるサンプリングクロックの位相ノイズ成分φcj(adc)とが互いに相殺され、ADCの出力信号ylb’(t)からは、サンプリングクロックの位相ノイズ成分が除去される。   Also in the ADC, the phase noise component φcj (adc) of the sampling clock is combined with the phase noise component φij (adc) of the input signal y (t), and the output signal ylb ′ (t) from the ADC is input to the ADC. A phase noise component φcj (adc) of the sampling clock. However, when the same sampling clock is input to both the DAC and the ADC, the phase noise component φcj (dac) of the sampling clock input to the DAC included in the input signal φij (adc) to the ADC and the ADC are input. The sampling clock phase noise component φcj (adc) cancels each other out, and the phase noise component of the sampling clock is removed from the ADC output signal ylb ′ (t).

図6は、図4に示す半導体集積回路から出力されるデジタル信号を高速フーリエ変換(FFT)して得られたグラフである。グラフの縦軸は、デジタル信号の振幅スペクトル(dBm)、横軸は周波数(Hz)である。このグラフに示すように、DAC54およびADC60の両方に同一のサンプリングクロックが入力されている場合には、全ての周波数にわたってデジタル信号の振幅スペクトルはほぼ均一となり、サンプリングクロックの位相ノイズ特性を検出することができないことが分かる。   FIG. 6 is a graph obtained by fast Fourier transform (FFT) of a digital signal output from the semiconductor integrated circuit shown in FIG. The vertical axis of the graph is the amplitude spectrum (dBm) of the digital signal, and the horizontal axis is the frequency (Hz). As shown in this graph, when the same sampling clock is input to both the DAC 54 and the ADC 60, the amplitude spectrum of the digital signal is almost uniform over all frequencies, and the phase noise characteristic of the sampling clock is detected. I can't understand.

また、図6には、SNR,SINADおよびSFDRの値が示されている。SNRは、ループバックテスト時に、半導体集積回路50から出力されるデジタル信号に含まれるサンプリングクロックの基本成分のみのS/N比、SINADは、基本成分および高周波成分を含めた場合のS/N比、SFDRは、基本成分およびその次に高い信号成分のみを含めた場合のS/N比を表す。SNR=55.37dB,SINAD=55.37dB,SFDR=67.84dBとなっている。   FIG. 6 shows the values of SNR, SINAD, and SFDR. SNR is the S / N ratio of only the basic component of the sampling clock included in the digital signal output from the semiconductor integrated circuit 50 during the loopback test, and SINAD is the S / N ratio when the basic component and the high frequency component are included. , SFDR represents the S / N ratio when only the fundamental component and the next highest signal component are included. SNR = 55.37 dB, SINAD = 55.37 dB, and SFDR = 67.84 dB.

本発明の目的は、サンプリングクロックの位相ノイズがDACおよびADCの変換特性に与える影響を検出することができ、ループバックテストのテスト品質を向上させることができる半導体集積回路およびそのテスト方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a semiconductor integrated circuit capable of detecting the influence of phase noise of a sampling clock on the conversion characteristics of a DAC and an ADC and improving the test quality of a loopback test, and a test method therefor. There is.

上記目的を達成するために、本発明は、サンプリングクロックに同期して動作し、デジタル信号をアナログ信号に変換するDACと、
サンプリングクロックに同期して動作し、アナログ信号をデジタル信号に変換するADCと、
基準クロックに基づいて、位相ノイズ特性の異なる第1および第2のサンプリングクロックを発生するサンプリングクロック発生回路と、
前記DACから出力されるアナログ信号を前記ADCに入力、または前記ADCから出力されるデジタル信号を前記DACに入力するループバック方式のテスト時に、前記DACおよび前記ADCの一方に前記第1のサンプリングクロックを供給し、他方に前記第2のサンプリングクロックを供給するサンプリングクロック切替回路とを備えることを特徴とする半導体集積回路を提供するものである。
To achieve the above object, the present invention operates in synchronization with a sampling clock and converts a digital signal into an analog signal;
An ADC that operates in synchronization with a sampling clock and converts an analog signal into a digital signal;
A sampling clock generation circuit for generating first and second sampling clocks having different phase noise characteristics based on a reference clock;
In a loopback test in which an analog signal output from the DAC is input to the ADC or a digital signal output from the ADC is input to the DAC, one of the DAC and the ADC receives the first sampling clock. And a sampling clock switching circuit for supplying the second sampling clock to the other. A semiconductor integrated circuit is provided.

ここで、前記サンプリングクロック発生回路は、前記基準クロックから前記第2のサンプリングクロックを発生するPLL回路を有し、さらに、前記第1のサンプリングクロックとして前記基準クロックを出力するものであることが好ましい。   Here, it is preferable that the sampling clock generation circuit includes a PLL circuit that generates the second sampling clock from the reference clock, and further outputs the reference clock as the first sampling clock. .

また、前記サンプリングクロック発生回路は、前記基準クロックから前記第1および第2のサンプリングクロックを発生する2つのPLL回路を有するものであることが好ましい。   The sampling clock generation circuit preferably includes two PLL circuits that generate the first and second sampling clocks from the reference clock.

また、前記サンプリングクロック切替回路は、さらに、前記DACと前記ADCの特性評価時に、前記DACおよび前記ADCの両方に、前記第1および第2のサンプリングクロックの一方を共通に供給するものであることが好ましい。   Further, the sampling clock switching circuit further supplies one of the first and second sampling clocks to both the DAC and the ADC at the time of evaluating the characteristics of the DAC and the ADC. Is preferred.

また、本発明は、サンプリングクロックに同期して動作し、デジタル信号をアナログ信号に変換するDACと、サンプリングクロックに同期して動作し、アナログ信号をデジタル信号に変換するADCとを備える半導体集積回路において、前記DACから出力されるアナログ信号を前記ADCに入力、または前記ADCから出力されるデジタル信号を前記DACに入力するループバック方式のテスト方法であって、
サンプリングクロック発生回路が、基準クロックに基づいて、位相ノイズ特性の異なる第1および第2のサンプリングクロックを発生し、
サンプリングクロック切替回路が、前記DACおよび前記ADCの一方に前記第1のサンプリングクロックを供給し、他方に前記第2のサンプリングクロックを供給してテストを行うことを特徴とする半導体集積回路のテスト方法を提供する。
The present invention also provides a semiconductor integrated circuit comprising a DAC that operates in synchronization with a sampling clock and converts a digital signal into an analog signal, and an ADC that operates in synchronization with the sampling clock and converts an analog signal into a digital signal. In the loopback test method, an analog signal output from the DAC is input to the ADC, or a digital signal output from the ADC is input to the DAC.
A sampling clock generation circuit generates first and second sampling clocks having different phase noise characteristics based on the reference clock,
A testing method for a semiconductor integrated circuit, wherein a sampling clock switching circuit supplies the first sampling clock to one of the DAC and the ADC and supplies the second sampling clock to the other. I will provide a.

ここで、前記サンプリングクロック発生回路が、PLL回路により、前記基準クロックから前記第2のサンプリングクロックを発生し、前記第1のサンプリングクロック信号として前記基準クロックを出力することが好ましい。   Here, it is preferable that the sampling clock generation circuit generates the second sampling clock from the reference clock by a PLL circuit and outputs the reference clock as the first sampling clock signal.

また、前記サンプリングクロック発生回路が、2つのPLL回路により、前記基準クロックから前記第1および第2のサンプリングクロックを発生することが好ましい。   Preferably, the sampling clock generation circuit generates the first and second sampling clocks from the reference clock by two PLL circuits.

また、前記サンプリングクロック切替回路が、さらに、前記DACと前記ADCの特性評価時に、前記DACおよび前記ADCの両方に、前記第1および第2のサンプリングクロックの一方を共通に供給することが好ましい。   Further, it is preferable that the sampling clock switching circuit further supplies one of the first and second sampling clocks in common to both the DAC and the ADC when evaluating the characteristics of the DAC and the ADC.

本発明によれば、テスト容易化に優れるループバックテストにおいて、位相ノイズ特性を検出することができるため、テストコストを増大させることなく、ループバックテストのテスト品質を向上させることができる。   According to the present invention, phase noise characteristics can be detected in a loopback test that is easy to test. Therefore, the test quality of the loopback test can be improved without increasing the test cost.

本発明の半導体集積回路の構成を表す第1の実施形態のブロック概念図である。1 is a block conceptual diagram of a first embodiment illustrating a configuration of a semiconductor integrated circuit of the present invention. 図1に示す半導体集積回路から出力されるデジタル信号を高速フーリエ変換(FFT)して得られたグラフである。2 is a graph obtained by fast Fourier transform (FFT) of a digital signal output from the semiconductor integrated circuit shown in FIG. 本発明の半導体集積回路の構成を表す第2の実施形態のブロック概念図である。It is a block conceptual diagram of 2nd Embodiment showing the structure of the semiconductor integrated circuit of this invention. 従来の半導体集積回路の構成を表す一例のブロック概念図である。It is an example block conceptual diagram showing the structure of the conventional semiconductor integrated circuit. ループバックテスト時に、DACおよびADCに同一のサンプリングクロックを入力した場合の位相ノイズの影響を表す概念図である。It is a conceptual diagram showing the influence of a phase noise at the time of inputting the same sampling clock into DAC and ADC at the time of a loopback test. 図4に示す半導体集積回路から出力されるデジタル信号を高速フーリエ変換(FFT)して得られたグラフである。5 is a graph obtained by performing a fast Fourier transform (FFT) on a digital signal output from the semiconductor integrated circuit shown in FIG.

以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明の半導体集積回路およびそのテスト方法を詳細に説明する。   Hereinafter, a semiconductor integrated circuit and a test method thereof according to the present invention will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.

図1は、本発明の半導体集積回路の構成を表す第1の実施形態のブロック概念図である。同図に示す半導体集積回路10は、DAC14と、出力アンプ(PGA)16と、入力アンプ(PGA)18と、ADC20と、サンプリングクロック発生回路24と、サンプリングクロック切替回路26とによって構成されている。なお、同図には、半導体集積回路10のテストを自動で行う半導体自動テスト装置(ATE)32も示されている。   FIG. 1 is a block conceptual diagram of the first embodiment showing the configuration of the semiconductor integrated circuit of the present invention. The semiconductor integrated circuit 10 shown in FIG. 1 includes a DAC 14, an output amplifier (PGA) 16, an input amplifier (PGA) 18, an ADC 20, a sampling clock generation circuit 24, and a sampling clock switching circuit 26. . FIG. 2 also shows a semiconductor automatic test apparatus (ATE) 32 that automatically tests the semiconductor integrated circuit 10.

サンプリングクロック発生回路24は、半導体自動テスト装置32から入力される125MHzの基準クロックに基づいて、第1および第2のサンプリングクロックを発生するものであり、PLL回路(PLL 1x)28によって構成されている。サンプリングクロック発生回路24は、125MHzの基準クロックをそのまま第1のサンプリングクロックSC1として出力するとともに、PLL回路28によって基準クロックを1逓倍し、この内部クロックを第2のサンプリングクロックSC2として出力する。   The sampling clock generation circuit 24 generates first and second sampling clocks based on a 125 MHz reference clock input from the semiconductor automatic test apparatus 32, and is configured by a PLL circuit (PLL 1x) 28. Yes. The sampling clock generation circuit 24 outputs the 125 MHz reference clock as it is as the first sampling clock SC1, and also multiplies the reference clock by 1 by the PLL circuit 28, and outputs this internal clock as the second sampling clock SC2.

ここで、第1および第2のサンプリングクロックSC1およびSC2は、DAC14およびADC20のいずれかに供給される同一周波数のサンプリングクロックである。第1および第2のサンプリングクロックSC1およびSC2はクロックの発生源が異なるため、その位相ノイズ特性(ジッタ特性)も異なるものである。基準クロックがもつジッタを解消する反面、PLLがもつジッタ特性が付加される。テスト時にはジッタを抑制したクロックを供給することでPLLの特性を確認することができる。   Here, the first and second sampling clocks SC <b> 1 and SC <b> 2 are sampling clocks of the same frequency supplied to either the DAC 14 or the ADC 20. Since the first and second sampling clocks SC1 and SC2 have different clock generation sources, their phase noise characteristics (jitter characteristics) are also different. While eliminating the jitter of the reference clock, the jitter characteristics of the PLL are added. The PLL characteristics can be confirmed by supplying a clock with reduced jitter during the test.

サンプリングクロック切替回路26には、サンプリングクロック発生回路24から、第1および第2のサンプリングクロックSC1およびSC2が入力される。サンプリングクロック切替回路26は、DAC14から半導体集積回路10の外部へ出力されるアナログ信号(差動)を半導体集積回路10の内部のADC20にループバックして入力するループバックテスト時に、DAC14およびADC20の一方に第1のサンプリングクロックSC1を供給し、他方に第2のサンプリングクロックSC2を供給する。   The sampling clock switching circuit 26 receives the first and second sampling clocks SC1 and SC2 from the sampling clock generation circuit 24. The sampling clock switching circuit 26 loops back the analog signal (differential) output from the DAC 14 to the ADC 20 inside the semiconductor integrated circuit 10 and inputs it to the ADC 20 inside the semiconductor integrated circuit 10. The first sampling clock SC1 is supplied to one side, and the second sampling clock SC2 is supplied to the other side.

図示を省略しているが、サンプリングクロック切替回路26には、通常動作とテスト動作を切り替えるテスト信号が入力される。このテスト信号に応じて、通常動作とテスト動作の切替、および、サンプリングクロックの供給状態の切替を行うことができる。図1の例では、テスト信号に応じて、通常動作時には、サンプリングクロックがもつジッタを解消して、DAC,ADCの特性を確認するために、第2のサンプリングクロックSC2が共通のクロックとしてDAC14およびADC20に入力され、テスト動作時には、第1のサンプリングクロックSC1がADC20、第2のサンプリングクロックSC2がDAC14に入力される。   Although not shown, the sampling clock switching circuit 26 receives a test signal for switching between normal operation and test operation. In accordance with this test signal, switching between normal operation and test operation and switching of the supply state of the sampling clock can be performed. In the example of FIG. 1, in order to eliminate the jitter of the sampling clock and check the characteristics of the DAC and ADC in the normal operation according to the test signal, the DAC 14 and the second sampling clock SC2 are used as a common clock. During the test operation, the first sampling clock SC1 is input to the ADC 20, and the second sampling clock SC2 is input to the DAC 14.

また、テスト信号に応じて、テスト動作時に、第1のサンプリングクロックSC1がDAC14に入力され、第2のサンプリングクロックSC2がADC20に入力されるようにしてもよい。さらに、テスト信号に応じて、テスト動作時に、図1に示す第1および第2のサンプリングクロックSC1およびSC2の供給状態と、上記の第1および第2のサンプリングクロックSC1およびSC2の供給状態とを切り替えることができるようにしてもよい。   Further, in accordance with the test signal, the first sampling clock SC1 may be input to the DAC 14 and the second sampling clock SC2 may be input to the ADC 20 during the test operation. Further, according to the test signal, during the test operation, the supply state of the first and second sampling clocks SC1 and SC2 shown in FIG. 1 and the supply state of the first and second sampling clocks SC1 and SC2 are changed. You may enable it to switch.

DAC14は、テスト動作時に、サンプリングクロック切替回路26から入力される125MHzの第2のサンプリングクロックSC2に同期して動作し、12ビットのデジタル信号をアナログ信号(差動)に変換する。   The DAC 14 operates in synchronization with the 125 MHz second sampling clock SC2 input from the sampling clock switching circuit 26 during the test operation, and converts the 12-bit digital signal into an analog signal (differential).

ここで、DAC14から出力されるアナログ信号(差動)は、出力アンプ16によってゲイン調整が行われた後、半導体集積回路10の外部へ出力される。テスト動作時には、DAC14から半導体集積回路10の外部へ出力されたアナログ信号(差動)が半導体集積回路10の内部へループバックされ、入力アンプ18によってゲイン調整が行われた後、ADC20に入力される。   Here, the analog signal (differential) output from the DAC 14 is output to the outside of the semiconductor integrated circuit 10 after gain adjustment is performed by the output amplifier 16. During the test operation, an analog signal (differential) output from the DAC 14 to the outside of the semiconductor integrated circuit 10 is looped back to the inside of the semiconductor integrated circuit 10, gain adjustment is performed by the input amplifier 18, and then input to the ADC 20. The

ADC20は、テスト動作時に、サンプリングクロック切替回路26から入力される125MHzの第1のサンプリングクロックSC1に同期して動作し、入力アンプ18から入力されるアナログ信号(差動)を12ビット(12b)のデジタル信号に変換して出力する。   The ADC 20 operates in synchronization with the 125 MHz first sampling clock SC1 input from the sampling clock switching circuit 26 during the test operation, and the analog signal (differential) input from the input amplifier 18 is 12 bits (12b). Converted to a digital signal and output.

半導体自動テスト装置32は、テスト動作時に、125MHzの基準クロックおよび12ビットのデジタル信号を半導体集積回路10に入力し、半導体集積回路10から出力される125HMzのサンプリングクロックと、12ビットのデジタル信号を受け取る。そして、半導体集積回路10に入力した12ビットのデジタル信号と、半導体集積回路10から出力される12ビットのデジタル信号とを比較して、両者の一致、不一致を検出するテストを行う。   During the test operation, the semiconductor automatic test apparatus 32 inputs a 125 MHz reference clock and a 12-bit digital signal to the semiconductor integrated circuit 10, and outputs a 125 HMz sampling clock output from the semiconductor integrated circuit 10 and a 12-bit digital signal. receive. Then, a 12-bit digital signal input to the semiconductor integrated circuit 10 is compared with a 12-bit digital signal output from the semiconductor integrated circuit 10, and a test is performed to detect a match or mismatch between them.

サンプリングクロック発生回路24およびサンプリングクロック切替回路26の具体的な回路構成は何ら制限されない。これらの構成要素は、半導体自動テスト装置32から入力される基準クロックの周波数に応じて、DAC14およびADC20で使用される所定周波数を有する、互いに位相ノイズ特性が異なる第1および第2のサンプリングクロックを発生し、DAC14およびADC20に供給できるものであれば、その回路構成は何ら限定されない。   The specific circuit configurations of the sampling clock generation circuit 24 and the sampling clock switching circuit 26 are not limited at all. These components include first and second sampling clocks having a predetermined frequency used by the DAC 14 and the ADC 20 according to the frequency of the reference clock input from the semiconductor automatic test apparatus 32 and having different phase noise characteristics. The circuit configuration is not limited as long as it can be generated and supplied to the DAC 14 and the ADC 20.

半導体自動テスト装置32では、半導体集積回路10に入力した12ビットのデジタル信号と、半導体集積回路10から出力された12ビットのデジタル信号とを比較して、両者の一致、不一致を検出するテストが行われる。   The semiconductor automatic test apparatus 32 compares the 12-bit digital signal input to the semiconductor integrated circuit 10 with the 12-bit digital signal output from the semiconductor integrated circuit 10 to detect a match or mismatch between them. Done.

図2は、図1に示す半導体集積回路から出力されるデジタル信号を高速フーリエ変換(FFT)して得られたグラフである。グラフの縦軸は、デジタル信号の振幅スペクトル(dBm)、横軸は周波数(Hz)である。このグラフに楕円で囲んで示すように、半導体集積回路10のサンプリングクロック発生回路24には、周波数が2.00E+07(Hz)付近において、デジタル信号の振幅スペクトルが変動するという、第2のサンプリングクロックSC2の位相ノイズ特性による影響を表していると考えられる。   FIG. 2 is a graph obtained by fast Fourier transform (FFT) of a digital signal output from the semiconductor integrated circuit shown in FIG. The vertical axis of the graph is the amplitude spectrum (dBm) of the digital signal, and the horizontal axis is the frequency (Hz). As indicated by the oval in this graph, the sampling clock generation circuit 24 of the semiconductor integrated circuit 10 has a second sampling clock in which the amplitude spectrum of the digital signal fluctuates in the vicinity of the frequency of 2.00E + 07 (Hz). It is thought that the influence by the phase noise characteristic of SC2 is represented.

また、図2には、SNR,SINADおよびSFDRの値が示されている。図2に示すように、半導体集積回路10では、SNR=52.22dB,SINAD=52.21dB,SFDR=59.56dBであり、図6に示す従来の半導体集積回路50のSNR=55.37dB,SINAD=55.37dB,SFDR=67.84dBと比べて、SNR,SINADおよびSFDRの全てについてS/N比が小さくなっている、つまり、PLL回路28の位相ノイズ特性による影響が現れていると考えられる。   Further, FIG. 2 shows values of SNR, SINAD, and SFDR. As shown in FIG. 2, in the semiconductor integrated circuit 10, SNR = 52.22 dB, SINAD = 52.21 dB, SFDR = 59.56 dB, and SNR = 55.37 dB in the conventional semiconductor integrated circuit 50 shown in FIG. Compared to SINAD = 55.37 dB and SFDR = 67.84 dB, the S / N ratio is small for all of SNR, SINAD, and SFDR, that is, the influence of the phase noise characteristic of the PLL circuit 28 appears. It is done.

前述のように、DAC14に入力される第2のサンプリングクロックSC2と、ADC20に入力される第1のサンプリングクロックSC1は、クロックの発生源が異なるため、その位相ノイズ特性も異なる。そのため、ループバックテストにおいて、第1および第2のサンプリングクロックSC1およびSC2の位相ノイズ特性が、DAC54およびADC60の変換特性に与える影響が互いに相殺されることはなく、DAC54およびADC60それぞれの変換特性に及ぼす影響を検出することができる。   As described above, the second sampling clock SC2 input to the DAC 14 and the first sampling clock SC1 input to the ADC 20 have different clock noise sources, and therefore have different phase noise characteristics. For this reason, in the loopback test, the effects of the phase noise characteristics of the first and second sampling clocks SC1 and SC2 on the conversion characteristics of the DAC 54 and the ADC 60 are not offset each other. It is possible to detect the effect.

以上のように、本発明のテスト方法を適用してループバックテストを行う半導体集積回路10では、テスト容易化に優れるループバックテストにおいて、位相ノイズ特性を検出することができるため、テストコストを増大させることなく、ループバックテストの品質を向上させることができる。また、低機能のLSIテスタでもテストを行うことができ、試験コストの低減を図ることができる。さらに、DAC,ADCの機能試験を短時間で行うことができ、不良を効率的に検出することができる。   As described above, in the semiconductor integrated circuit 10 that performs the loopback test by applying the test method of the present invention, it is possible to detect the phase noise characteristic in the loopback test that is excellent in the testability, thereby increasing the test cost. The quality of the loopback test can be improved without doing so. Further, a test can be performed even with a low-function LSI tester, and the test cost can be reduced. Furthermore, it is possible to perform DAC and ADC function tests in a short time, and to detect defects efficiently.

次に、本発明の第2の実施形態の半導体集積回路について説明する。   Next, a semiconductor integrated circuit according to a second embodiment of the present invention will be described.

図3は、本発明の半導体集積回路の構成を表す第2の実施形態のブロック概念図である。同図に示す半導体集積回路40と図1に示す半導体集積回路10との違いは、サンプリングクロック発生回路42およびサンプリングクロック切替回路46の構成だけであるから、以下、両者の間で同一の構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略し、主にサンプリングクロック発生回路42およびサンプリングクロック切替回路46について説明する。   FIG. 3 is a block conceptual diagram of the second embodiment showing the configuration of the semiconductor integrated circuit of the present invention. The only difference between the semiconductor integrated circuit 40 shown in FIG. 1 and the semiconductor integrated circuit 10 shown in FIG. 1 is the configuration of the sampling clock generation circuit 42 and the sampling clock switching circuit 46. Are denoted by the same reference numerals, detailed description thereof is omitted, and the sampling clock generation circuit 42 and the sampling clock switching circuit 46 will be mainly described.

サンプリングクロック発生回路42は、半導体自動テスト装置32から入力される62.5MHzの基準クロックに基づいて、第1および第2のサンプリングクロックSC1およびSC2を発生するものであり、2つのPLL回路(PLL 2x)44a、44bとによって構成されている。サンプリングクロック発生回路42は、PLL回路44aによって62.5MHzの基準クロックを2逓倍し、この第1の内部クロックを第1のサンプリングクロックSC1として出力する。同様に、サンプリングクロック発生回路42は、PLL回路44bによって62.5MHzの基準クロックを2逓倍し、この第2の内部クロックを第2のサンプリングクロックSC2として出力する。また、サンプリングクロックの周波数は、従来の半導体集積回路50の場合と同様に、PLL回路28における逓倍数によって、適宜変更することができる。   The sampling clock generation circuit 42 generates the first and second sampling clocks SC1 and SC2 based on the 62.5 MHz reference clock input from the semiconductor automatic test apparatus 32, and includes two PLL circuits (PLL 2x) 44a and 44b. The sampling clock generation circuit 42 doubles the 62.5 MHz reference clock by the PLL circuit 44a, and outputs this first internal clock as the first sampling clock SC1. Similarly, the sampling clock generation circuit 42 doubles the 62.5 MHz reference clock by the PLL circuit 44b, and outputs this second internal clock as the second sampling clock SC2. Further, the frequency of the sampling clock can be appropriately changed according to the multiplication number in the PLL circuit 28 as in the case of the conventional semiconductor integrated circuit 50.

ここで、半導体集積回路10の場合と同様に、第1および第2のサンプリングクロックSC1およびSC2はクロックの発生源が異なるため、その位相ノイズ特性(ジッタ特性)も異なるものである。   Here, as in the case of the semiconductor integrated circuit 10, the first and second sampling clocks SC1 and SC2 have different clock noise sources, and therefore have different phase noise characteristics (jitter characteristics).

なお、半導体集積回路40のサンプリングクロック切替回路46にも、テスト信号が入力され、テスト信号に応じて、通常動作とテスト動作の切替、および、サンプリングクロックの供給状態の切替が行われる。図3の例では、テスト動作時に、第1のサンプリングクロックSC1がADC20、第2のサンプリングクロックSC2がDAC14に入力されるが、第1および第2のサンプリングクロックの供給状態を逆にしてもよいし、これら2つの供給状態を切り替えることができるようにしてもよい。通常動作時(特性評価時)には、第1および第2のサンプリングクロックのうちの1つのサンプリングクロックをDAC14,ADC20に供給する。   Note that the test signal is also input to the sampling clock switching circuit 46 of the semiconductor integrated circuit 40, and switching between the normal operation and the test operation and the switching state of the sampling clock are performed in accordance with the test signal. In the example of FIG. 3, during the test operation, the first sampling clock SC1 is input to the ADC 20 and the second sampling clock SC2 is input to the DAC 14. However, the supply states of the first and second sampling clocks may be reversed. However, these two supply states may be switched. During normal operation (characteristic evaluation), one sampling clock of the first and second sampling clocks is supplied to the DAC 14 and ADC 20.

半導体集積回路40では、テスト動作時に、サンプリングクロック発生回路42から、半導体自動テスト装置32から入力される62.5MHzの基準クロックがPLL回路42aによって2逓倍され、125MHzの第1の内部クロックが、第1のサンプリングクロックSC1として出力される。また、基準クロックがPLL回路42bによって2逓倍され、125MHzの第2の内部クロックが、第2のサンプリングクロックSC2として出力される。   In the semiconductor integrated circuit 40, during the test operation, the 62.5 MHz reference clock input from the sampling clock generation circuit 42 from the semiconductor automatic test apparatus 32 is doubled by the PLL circuit 42a, and the 125 MHz first internal clock is Output as the first sampling clock SC1. Further, the reference clock is doubled by the PLL circuit 42b, and the second internal clock of 125 MHz is output as the second sampling clock SC2.

そして、半導体集積回路10の場合と同様に、サンプリングクロック切替回路46によって、サンプリングクロック発生回路24から出力される第1のサンプリングクロックSC1がADC20に入力され、第2のサンプリングクロックSC2がDAC14に入力される。これ以後の動作は、半導体集積回路10の場合と同じである。   As in the case of the semiconductor integrated circuit 10, the sampling clock switching circuit 46 inputs the first sampling clock SC 1 output from the sampling clock generation circuit 24 to the ADC 20, and the second sampling clock SC 2 is input to the DAC 14. Is done. The subsequent operation is the same as that of the semiconductor integrated circuit 10.

半導体集積回路40においても、DAC14に入力される第2のサンプリングクロックSC2と、ADC20に入力される第1のサンプリングクロックSC1は、クロックの発生源が異なるため、その位相ノイズ特性も異なる。そのため、第1および第2のサンプリングクロックの位相ノイズ特性が、DAC54およびADC60の変換特性に与える影響が互いに相殺されることはなく、DAC54およびADC60それぞれの変換特性に及ぼす影響を検出することができる。   Also in the semiconductor integrated circuit 40, the second sampling clock SC2 input to the DAC 14 and the first sampling clock SC1 input to the ADC 20 have different clock noise sources, and therefore have different phase noise characteristics. Therefore, the effects of the phase noise characteristics of the first and second sampling clocks on the conversion characteristics of the DAC 54 and the ADC 60 are not canceled out from each other, and the effects on the conversion characteristics of the DAC 54 and the ADC 60 can be detected. .

また、本発明は、基準クロックをはじめサンプリングクロック発生回路などにより周波数を可変とすることで、サンプリングクロックの位相ノイズ特性だけでなく、DAC,ADCの特性(ビット幅、可変レートなど)に応じた様々なテスト条件の設定が可能となり、第1の実施形態、第2の実施形態ともテスト容易化が可能となる。これは本発明において、サンプリングクロック切替回路を設けることによって、供給するクロックの周波数のバリエーションを従来技術よりも容易に増やすことができるためである。   Further, according to the present invention, the frequency is made variable by a sampling clock generation circuit including a reference clock, so that not only the phase noise characteristic of the sampling clock but also the characteristics of the DAC and ADC (bit width, variable rate, etc.) are met. Various test conditions can be set, and both the first and second embodiments can facilitate testing. This is because in the present invention, by providing a sampling clock switching circuit, variations in the frequency of the supplied clock can be increased more easily than in the prior art.

本発明は、基本的に以上のようなものである。
以上、本発明について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
The present invention is basically as described above.
Although the present invention has been described in detail above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that various improvements and modifications may be made without departing from the gist of the present invention.

10,40,50 半導体集積回路
14,54 DAC
16,56 出力アンプ(IAMP)
18,58 入力アンプ(PGA)
20,60 ADC
24,42,64 サンプリングクロック発生回路
26,46 サンプリングクロック切替回路
28,44a、44b、68 PLL回路
32,72 半導体自動テスト装置(ATE)
10, 40, 50 Semiconductor integrated circuit 14, 54 DAC
16,56 output amplifier (IAMP)
18,58 Input amplifier (PGA)
20,60 ADC
24, 42, 64 Sampling clock generation circuit 26, 46 Sampling clock switching circuit 28, 44a, 44b, 68 PLL circuit 32, 72 Semiconductor automatic test equipment (ATE)

Claims (8)

サンプリングクロックに同期して動作し、デジタル信号をアナログ信号に変換するDACと、
サンプリングクロックに同期して動作し、アナログ信号をデジタル信号に変換するADCと、
基準クロックに基づいて、位相ノイズ特性の異なる第1および第2のサンプリングクロックを発生するサンプリングクロック発生回路と、
前記DACから出力されるアナログ信号を前記ADCに入力、または前記ADCから出力されるデジタル信号を前記DACに入力するループバック方式のテスト時に、前記DACおよび前記ADCの一方に前記第1のサンプリングクロックを供給し、他方に前記第2のサンプリングクロックを供給するサンプリングクロック切替回路とを備えることを特徴とする半導体集積回路。
A DAC that operates in synchronization with a sampling clock and converts a digital signal into an analog signal;
An ADC that operates in synchronization with a sampling clock and converts an analog signal into a digital signal;
A sampling clock generation circuit for generating first and second sampling clocks having different phase noise characteristics based on a reference clock;
In a loopback test in which an analog signal output from the DAC is input to the ADC or a digital signal output from the ADC is input to the DAC, one of the DAC and the ADC receives the first sampling clock. And a sampling clock switching circuit for supplying the second sampling clock to the other.
前記サンプリングクロック発生回路は、前記基準クロックから前記第2のサンプリングクロックを発生するPLL回路を有し、さらに、前記第1のサンプリングクロックとして前記基準クロックを出力するものである請求項1に記載の半導体集積回路。   The sampling clock generation circuit includes a PLL circuit that generates the second sampling clock from the reference clock, and further outputs the reference clock as the first sampling clock. Semiconductor integrated circuit. 前記サンプリングクロック発生回路は、前記基準クロックから前記第1および第2のサンプリングクロックを発生する2つのPLL回路を有するものである請求項1に記載の半導体集積回路。   2. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the sampling clock generation circuit includes two PLL circuits that generate the first and second sampling clocks from the reference clock. 前記サンプリングクロック切替回路は、さらに、前記DACと前記ADCの特性評価時に、前記DACおよび前記ADCの両方に、前記第1および第2のサンプリングクロックの一方を共通に供給するものである請求項1に記載の半導体集積回路。   2. The sampling clock switching circuit further supplies one of the first and second sampling clocks in common to both the DAC and the ADC when evaluating characteristics of the DAC and the ADC. A semiconductor integrated circuit according to 1. サンプリングクロックに同期して動作し、デジタル信号をアナログ信号に変換するDACと、サンプリングクロックに同期して動作し、アナログ信号をデジタル信号に変換するADCとを備える半導体集積回路において、前記DACから出力されるアナログ信号を前記ADCに入力、または前記ADCから出力されるデジタル信号を前記DACに入力するループバック方式のテスト方法であって、
サンプリングクロック発生回路が、基準クロックに基づいて、位相ノイズ特性の異なる第1および第2のサンプリングクロックを発生し、
サンプリングクロック切替回路が、前記DACおよび前記ADCの一方に前記第1のサンプリングクロックを供給し、他方に前記第2のサンプリングクロックを供給してテストを行うことを特徴とする半導体集積回路のテスト方法。
In a semiconductor integrated circuit including a DAC that operates in synchronization with a sampling clock and converts a digital signal into an analog signal, and an ADC that operates in synchronization with the sampling clock and converts an analog signal into a digital signal, output from the DAC An analog signal to be input to the ADC, or a digital signal output from the ADC to the DAC.
A sampling clock generation circuit generates first and second sampling clocks having different phase noise characteristics based on the reference clock,
A testing method for a semiconductor integrated circuit, wherein a sampling clock switching circuit supplies the first sampling clock to one of the DAC and the ADC and supplies the second sampling clock to the other. .
前記サンプリングクロック発生回路が、PLL回路により、前記基準クロックから前記第2のサンプリングクロックを発生し、前記第1のサンプリングクロック信号として前記基準クロックを出力する請求項5に記載の半導体集積回路のテスト方法。   6. The test of a semiconductor integrated circuit according to claim 5, wherein the sampling clock generation circuit generates the second sampling clock from the reference clock by a PLL circuit and outputs the reference clock as the first sampling clock signal. Method. 前記サンプリングクロック発生回路が、2つのPLL回路により、前記基準クロックから前記第1および第2のサンプリングクロックを発生する請求項5に記載の半導体集積回路のテスト方法。   6. The method of testing a semiconductor integrated circuit according to claim 5, wherein the sampling clock generation circuit generates the first and second sampling clocks from the reference clock by two PLL circuits. 前記サンプリングクロック切替回路が、さらに、前記DACと前記ADCの特性評価時に、前記DACおよび前記ADCの両方に、前記第1および第2のサンプリングクロックの一方を共通に供給する請求項5に記載の半導体集積回路のテスト方法。   The sampling clock switching circuit further supplies one of the first and second sampling clocks in common to both the DAC and the ADC when evaluating characteristics of the DAC and the ADC. A method for testing a semiconductor integrated circuit.
JP2010183173A 2010-08-18 2010-08-18 Semiconductor integrated circuit and test method thereof Active JP5564360B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010183173A JP5564360B2 (en) 2010-08-18 2010-08-18 Semiconductor integrated circuit and test method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010183173A JP5564360B2 (en) 2010-08-18 2010-08-18 Semiconductor integrated circuit and test method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012044406A true JP2012044406A (en) 2012-03-01
JP5564360B2 JP5564360B2 (en) 2014-07-30

Family

ID=45900211

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010183173A Active JP5564360B2 (en) 2010-08-18 2010-08-18 Semiconductor integrated circuit and test method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5564360B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114389607A (en) * 2021-12-24 2022-04-22 莱弗利科技(苏州)有限公司 Digital-analog hybrid chip with low noise interference

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0222926A (en) * 1988-07-12 1990-01-25 Hitachi Ltd Semiconductor integrated circuit device
JPH03145328A (en) * 1989-10-31 1991-06-20 Hitachi Ltd Analog and digital hybrid semiconductor integrated circuit
JPH10294666A (en) * 1997-04-21 1998-11-04 Sony Corp Signal processing circuit
JP2002236151A (en) * 2001-02-08 2002-08-23 Mitsubishi Electric Corp External test auxiliary device and test method of semiconductor device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0222926A (en) * 1988-07-12 1990-01-25 Hitachi Ltd Semiconductor integrated circuit device
JPH03145328A (en) * 1989-10-31 1991-06-20 Hitachi Ltd Analog and digital hybrid semiconductor integrated circuit
JPH10294666A (en) * 1997-04-21 1998-11-04 Sony Corp Signal processing circuit
JP2002236151A (en) * 2001-02-08 2002-08-23 Mitsubishi Electric Corp External test auxiliary device and test method of semiconductor device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114389607A (en) * 2021-12-24 2022-04-22 莱弗利科技(苏州)有限公司 Digital-analog hybrid chip with low noise interference
CN114389607B (en) * 2021-12-24 2024-06-04 莱弗利科技(苏州)有限公司 Digital-analog hybrid chip with low noise interference

Also Published As

Publication number Publication date
JP5564360B2 (en) 2014-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8255183B1 (en) Communication unit with analog test unit
US7679391B2 (en) Test equipment and semiconductor device
TW201307864A (en) Integrated circuit, module circuit, and RF BIST system
KR101102015B1 (en) Noise measurement device and tester
Bhattacharya et al. A built-in loopback test methodology for RF transceiver circuits using embedded sensor circuits
WO2004077524A3 (en) Method and apparatus for test and characterization of semiconductor components
US7250882B2 (en) High speed data converter testing devices, methods, &amp; systems
US7719451B2 (en) Signal measuring apparatus and semiconductor testing apparatus
JP5564360B2 (en) Semiconductor integrated circuit and test method thereof
US8045605B2 (en) Jitter amplifier circuit, signal generation circuit, semiconductor chip, and test apparatus
Chang et al. Digitally-assisted analog/RF testing for mixed-signal SoCs
JP2008252235A (en) Semiconductor integrated circuit
US20110181298A1 (en) Measurement apparatus and test apparatus
US7460840B2 (en) Method of test characterization of an analog front end receiver in a communication system
Jeong et al. Built-in self-test and characterization of polar transmitter parameters in the loop-back mode
Shi et al. A time-domain digital-intensive built-in tester for analog circuits
Rashidzadeh et al. Test and measurement of analog and RF cores in mixed-signal SoC environment
Kim et al. Device verification testing of high-speed analog-to-digital converters in satellite communication systems
Yamaguchi et al. A new method for measuring aperture jitter in ADC output and its application to ENOB testing
Cetin et al. Hundred femtosecond jitter measurement using dual-channel ADC with imprecise clock stimulus
Aouini et al. A DFT Loopback Scheme for ADC ENOB Testing Using an All-Digital ATE
JP6088391B2 (en) Signal processing apparatus, signal analysis system, signal generation system, signal analysis method, and signal generation method
Erdogan et al. A packet based 2x-site test solution for GSM transceivers with limited tester resources
Kim et al. High speed analog-to-digital converter design verification tests in satellite receivers
US7239256B1 (en) Integrated calibration source and analog-to-digital converter

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20130430

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20130605

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20130605

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130711

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140304

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140417

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140527

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140616

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5564360

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250