JP2012027493A - Optical low-pass filter and imaging optical system having the same - Google Patents

Optical low-pass filter and imaging optical system having the same Download PDF

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俊明 服部
Seiji Tone
誠司 刀禰
Shunsuke Chatani
俊介 茶谷
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical low-pass filter which is cheap, whose thickness is restricted, and which can be used in an optical system which needs the shortening of the optical length.SOLUTION: An optical low-pass filter according to the present invention which is obtained by photopolymerization of a photopolymerizable composition has a matrix 12 and a plurality of columnar structures 14 arranged in one direction in the matrix. The columnar structures have a different refraction factor from that of the matrix, are arranged in a grid manner in the surface orthogonal to the arrangement direction, and have a structure with high regularity in which the refraction factor changes in the order of 80 nm to 1000 μm.

Description

本発明は、光学的ローパスフィルタ及びこれを備えた撮像光学系に関し、詳細には、モアレを防止するために携帯電話などに装着されるデジタルカメラ等で使用される光学的ローパスフィルタ及びこれを備えた撮像光学系に関する。   The present invention relates to an optical low-pass filter and an imaging optical system including the optical low-pass filter, and more particularly, to an optical low-pass filter used in a digital camera or the like attached to a mobile phone or the like to prevent moire and the like. The present invention relates to an imaging optical system.

近年、高性能化が著しいホームビデオカメラやデジタルスチルカメラにおいては、撮像手段として、CCDエリアイメージセンサやCMOSエリアイメージセンサが用いられている。これらのセンサは、シリコン基板上に二次元的に配置された多数の受光素子で光電変換を行い、各受光素子で発生した電荷をCCD素子、あるいはCMOS回路で、外部に転送する構成を備えている。これらのセンサでは、撮像素子は格子状に規則的に配置されている。さらに、受光素子(ピクセル)毎にカラー情報を得るため、各ピクセル上に、例えばRGBのカラーフィルタがストライプ状に、または4種のフィルタが方形モザイク状に配置されている。   2. Description of the Related Art In recent years, home video cameras and digital still cameras with remarkable performance improvements have used CCD area image sensors and CMOS area image sensors as imaging means. These sensors have a configuration in which photoelectric conversion is performed by a large number of light receiving elements arranged two-dimensionally on a silicon substrate, and charges generated by each light receiving element are transferred to the outside by a CCD element or a CMOS circuit. Yes. In these sensors, the image sensors are regularly arranged in a grid pattern. Further, in order to obtain color information for each light receiving element (pixel), for example, RGB color filters are arranged in a stripe pattern or four types of filters in a square mosaic pattern on each pixel.

このように、上述したCCDエリアイメージセンサ等では、撮像素子等が格子状に規則的に配置されているため、生成された被写体の画像に、擬似信号(モアレ)を発生する等の色再現上の不都合が生じることがある。このような問題を解決するため、特定周波数以上をカットする光学ローパスフィルタ(OLPF)が用いられている。このような光学的ローパスフィルタとしては、水晶の複屈折を利用した水晶OLPFが最もよく使用されている。   As described above, in the CCD area image sensor and the like described above, since the image pickup elements and the like are regularly arranged in a grid pattern, color reproduction such as generation of a pseudo signal (moire) in the generated image of the subject is performed. Inconvenience may occur. In order to solve such a problem, an optical low-pass filter (OLPF) that cuts over a specific frequency is used. As such an optical low-pass filter, a quartz OLPF utilizing the birefringence of quartz is most often used.

一方、複屈折を利用する方法以外に、位相格子を利用して回折により光学ローパスフィルタとする方式も提案されている。位相格子には、表面凹凸型と屈折率変化型がある。
表面凹凸型としては、透明媒体の表面に機械的な切削加工や、型を押し当てるスタンパ法などの方法、あるいは、蒸着やイオンエッチング法などにより、規則的な凹凸構造を形成させて、これを光学用途に使用する試みがなされている(例えば、特許文献1)。
On the other hand, besides the method using birefringence, a method of using an optical low-pass filter by diffraction using a phase grating has been proposed. There are two types of phase gratings, a surface irregularity type and a refractive index change type.
As the surface uneven mold, a regular uneven structure is formed by mechanical cutting on the surface of the transparent medium, a stamper method for pressing the mold, or vapor deposition or ion etching. Attempts have been made to use it for optical applications (for example, Patent Document 1).

一方、屈折率変化型としては、プラスチックフィルムやシートに一次元あるいは二次元の規則構造を形成して光制御板等の光学用途に使用する試みがなされている。例えば、二次元の規則構造を形成するものとしては、ブロックポリマーをフィルムの厚さ方向に垂直な面内で整列配置させることが提案されている(非特許文献1)。   On the other hand, as a refractive index change type, an attempt is made to form a one-dimensional or two-dimensional regular structure on a plastic film or sheet and use it for optical applications such as a light control plate. For example, as a method for forming a two-dimensional regular structure, it has been proposed that block polymers are arranged and arranged in a plane perpendicular to the thickness direction of the film (Non-Patent Document 1).

また、一次元の規則構造を形成するものとしては、膜状に維持した紫外線硬化性組成物に特定方向から紫外線を照射し、次いで得られた硬化膜に紫外線硬化性組成物を膜状に形成して別の方向から紫外線を照射することを繰り返して、シートの厚さ方向と垂直な方向に層状構造を形成させることが提案されている(例えば、特許文献2)。   In order to form a one-dimensional regular structure, an ultraviolet curable composition maintained in a film shape is irradiated with ultraviolet rays from a specific direction, and then an ultraviolet curable composition is formed into a film shape on the obtained cured film. It has been proposed to form a layered structure in a direction perpendicular to the thickness direction of the sheet by repeatedly irradiating ultraviolet rays from another direction (for example, Patent Document 2).

特開平9−263932号公報JP-A-9-263932 特開昭63−309902号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-309902

Maclomoecules 2003, 36, 3272-3288Maclomoecules 2003, 36, 3272-3288

しかしながら、水晶OLPFは、1/4波長板の両側に2枚の水晶板を配置する構造、または3枚の水晶板を組み合わせる構造を採るため、厚さが1mm以上となり、携帯電話のデジタルカメラ用光学系等の光学長を短くすることが求められる光学系には使用できないという問題がある。
さらに、水晶OLPFは、高価であるという問題も有している。
However, the quartz OLPF has a structure in which two quartz plates are arranged on both sides of a quarter-wave plate or a structure in which three quartz plates are combined. There is a problem that the optical system cannot be used for an optical system that is required to shorten the optical length.
Further, the crystal OLPF has a problem that it is expensive.

また、非特許文献1記載の規則構造は、nmオーダーの極めて微細な規則性しか付与できないため、80nm〜1000μm程度の規則性を必要とするOLPF等の一般の光学用途には使用できないものであった。また、特許文献1の方法では、製造方法が複雑で高価になるという問題がある。
一方、特許文献2記載の規則構造はサブミクロンオーダーの規則性を有しているものの、規則性の程度が低いため、高度な光制御が要求されるOLPF等の光学用途には適さないという問題点を有していた。
In addition, the ordered structure described in Non-Patent Document 1 can only be given a very fine regularity on the order of nm, and thus cannot be used for general optical applications such as OLPF that requires regularity of about 80 nm to 1000 μm. It was. Further, the method of Patent Document 1 has a problem that the manufacturing method is complicated and expensive.
On the other hand, although the regular structure described in Patent Document 2 has regularity on the order of submicrons, the degree of regularity is low, so that it is not suitable for optical applications such as OLPF that requires high-level light control. Had a point.

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、安価であり且つ厚さが抑制され、光学長を短くすることが求められている光学系にも使用可能な光学的ローパスフィルタおよびこれを備えた光学系を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and is an optical low-pass that can be used in an optical system that is inexpensive, has a suppressed thickness, and is required to shorten an optical length. An object is to provide a filter and an optical system including the same.

さらに、本発明は、安価であり且つ厚さが抑制され、光学長を短くすることが求められている光学系にも使用可能な光学的ローパスフィルタの製造方法を提供することも目的とする。   Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing an optical low-pass filter that can be used in an optical system that is inexpensive, has a suppressed thickness, and is required to shorten the optical length.

本発明によれば、光重合性組成物を光重合して得られた光学的ローパスフィルタであって、マトリックスと、前記マトリックス内で一方向に配列された多数の柱状構造体とを備え、該柱状構造体が、前記マトリックスと異なる屈折率を有し、前記配向方向に直交する面内において格子状に配列され、80nmないし1000μmのオーダーで周期的に屈折率が変化する規則性の高い構造を有することを特徴とする光学的ローパスフィルタが提供される。   According to the present invention, an optical low-pass filter obtained by photopolymerizing a photopolymerizable composition, comprising: a matrix; and a plurality of columnar structures arranged in one direction within the matrix, The columnar structure has a refractive index different from that of the matrix, is arranged in a lattice shape in a plane orthogonal to the orientation direction, and has a highly regular structure in which the refractive index changes periodically in the order of 80 nm to 1000 μm. An optical low-pass filter is provided.

このような構成によれば、光学的ローパスフィルタは、配向方向に直交する面内において格子状に配列され、80nmないし1000μmのオーダーで周期的に屈折率が変化する規則性の高い構造によって、薄い構造でありながらモアレの発生を効果的に防止することができる。さらに、水晶製の光学的ローパスフィルタに比べて、安価である。   According to such a configuration, the optical low-pass filter is thin due to a highly regular structure in which the refractive index changes periodically in the order of 80 nm to 1000 μm, which is arranged in a lattice shape in a plane orthogonal to the alignment direction. Although it is a structure, it is possible to effectively prevent the occurrence of moire. Furthermore, it is less expensive than an optical low-pass filter made of quartz.

本発明の他の好ましい態様によれば、柱状構造体の直径が、80nmないし1000μmである。
本発明の他の好ましい態様によれば、前記柱状構造体の配列周期が80nmないし1000μmである。
According to another preferred embodiment of the present invention, the columnar structure has a diameter of 80 nm to 1000 μm.
According to another preferred embodiment of the present invention, the arrangement period of the columnar structures is 80 nm to 1000 μm.

本発明の他の態様によれば、光重合性組成物を光重合して得られた光学的ローパスフィルタであって、マトリックスと、前記マトリックス内で一方向に配列された多数の柱状構造体とを備え、該柱状構造体が、前記マトリックスと異なる屈折率を有し、前記配向方向に直交する面内において格子状に配列され、80nmないし1000μmのオーダーで周期的に屈折率が変化する規則性の高い構造を有することを特徴とする光学的ローパスフィルタ等が、固体撮像素子の受光面にギャップ層を介して配置されていることを特徴とする撮像光学系が提供される。   According to another aspect of the present invention, there is provided an optical low-pass filter obtained by photopolymerizing a photopolymerizable composition, a matrix, and a plurality of columnar structures arranged in one direction within the matrix. The columnar structure has a refractive index different from that of the matrix, is arranged in a lattice shape in a plane orthogonal to the orientation direction, and has a regularity in which the refractive index changes periodically in the order of 80 nm to 1000 μm. An imaging optical system is provided, in which an optical low-pass filter or the like characterized by having a high structure is disposed on a light receiving surface of a solid-state imaging device via a gap layer.

このような構成によれば、光学的ローパスフィルタは、配向方向に直交する面内において格子状に配列され、80nmないし1000μmのオーダーで周期的に屈折率が変化する規則性の高い構造によって、薄い構造でありながらモアレの発生を効果的に防止することができるので、光学系全体の厚さを抑制することができる。   According to such a configuration, the optical low-pass filter is thin due to a highly regular structure in which the refractive index changes periodically in the order of 80 nm to 1000 μm, which is arranged in a lattice shape in a plane orthogonal to the alignment direction. Although the structure can effectively prevent the generation of moire, the thickness of the entire optical system can be suppressed.

本発明の他の態様によれば、光学的ローパスフィルタの製造方法であって、撮像素子の受光面にギャップ層を構成する透明樹脂を配置するステップと、前記透明樹脂上に2官能以上の多官能モノマーあるいはオリゴマーと光重合開始剤とを含有する光重合性組成物を配置するステップと、前記光重合性組成物に平行光を照射し、該光重合性組成物を重合硬化させ、マトリックスと該マトリックス内で一方向に配向され規則的に配列された多数の柱状構造体とを備えた光学的ローパスフィルタを前記ギャップ層上に形成するステップと、を備えていることを特徴とする光学的ローパスフィルタの製造方法が提供される。   According to another aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an optical low-pass filter, the step of disposing a transparent resin constituting a gap layer on a light receiving surface of an imaging device, and a polyfunctional or more functional bilayer on the transparent resin. Disposing a photopolymerizable composition containing a functional monomer or oligomer and a photopolymerization initiator; irradiating the photopolymerizable composition with parallel light; polymerizing and curing the photopolymerizable composition; Forming on the gap layer an optical low-pass filter comprising a number of columnar structures oriented in one direction and regularly arranged in the matrix. A method for manufacturing a low-pass filter is provided.

このような構成によれば、一方向に配向され規則的に配列された多数の柱状構造体によって、薄い構造でありながらモアレの発生を効果的に防止することができるので、光学系全体の厚さを抑制することができる光学的ローパスフィルタを、固体撮像素子上に直接、作り込むことができるので、作業工程が簡略化され、製造のコストおよび手間が軽減される。   According to such a configuration, the generation of moire can be effectively prevented by a large number of columnar structures oriented in one direction and regularly arranged, so that the thickness of the entire optical system can be reduced. Since the optical low-pass filter that can suppress this problem can be built directly on the solid-state imaging device, the work process is simplified, and the manufacturing cost and labor are reduced.

本発明の他の態様によれば、光学的ローパスフィルタの製造方法であって、ギャップ層を構成する透明樹脂をガラスなどの平滑基板上に配置するステップと、前記透明樹脂上に2官能以上の多官能モノマーあるいはオリゴマーと光重合開始剤とを含有する光重合性組成物を配置するステップと、前記光重合性組成物に平行光を照射し、該光重合性組成物を重合硬化させ、マトリックスと該マトリックス内で一方向に配向され規則的に配列された多数の柱状構造体とを備えた光学的ローパスフィルタを前記ギャップ層上に形成するステップと、を備えていることを特徴とする光学的ローパスフィルタの製造方法が提供される。   According to another aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an optical low-pass filter, the step of disposing a transparent resin constituting a gap layer on a smooth substrate such as glass, and a bifunctional or more functional group on the transparent resin. Disposing a photopolymerizable composition containing a polyfunctional monomer or oligomer and a photopolymerization initiator; irradiating the photopolymerizable composition with parallel light; polymerizing and curing the photopolymerizable composition; And an optical low-pass filter having a plurality of columnar structures oriented in one direction and regularly arranged in the matrix on the gap layer. A method of manufacturing a static low pass filter is provided.

このような構成によれば、一方向に配向され規則的に配列された多数の柱状構造体によって、薄い構造でありながらモアレの発生を効果的に防止することができるので、光学系全体の厚さを抑制することができる光学的ローパスフィルタを、固体撮像素子上に直接、作り込むことができるので、作業工程が簡略化され、製造のコストおよび手間が軽減される。   According to such a configuration, the generation of moire can be effectively prevented by a large number of columnar structures oriented in one direction and regularly arranged, so that the thickness of the entire optical system can be reduced. Since the optical low-pass filter that can suppress this problem can be built directly on the solid-state imaging device, the work process is simplified, and the manufacturing cost and labor are reduced.

本発明によれば、安価であり且つ厚さが抑制され、光学長を短くすることが求められている光学系にも使用可能な光学的ローパスフィルタおよびこれを備えた光学系が提供される。   According to the present invention, an optical low-pass filter that can be used in an optical system that is inexpensive, has a suppressed thickness, and is required to shorten an optical length, and an optical system including the optical low-pass filter are provided.

さらに、本発明によれば、安価であり且つ厚さが抑制され、光学長を短くすることが求められている光学系にも使用可能な光学的ローパスフィルタの製造方法が提供される。   Furthermore, according to the present invention, there is provided a method for manufacturing an optical low-pass filter that is inexpensive, has a suppressed thickness, and can be used in an optical system that is required to shorten the optical length.

本発明の一実施形態の光学的ローパスフィルタを用いた撮像光学系の構成を模式的に示す図面である。It is drawing which shows typically the structure of the imaging optical system using the optical low-pass filter of one Embodiment of this invention. 光学的ローパスフィルタの構造を模式的に示した斜視図である。It is the perspective view which showed the structure of the optical low-pass filter typically. 光学的ローパスフィルタ内の柱状構造体の配置を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically arrangement | positioning of the columnar structure in an optical low-pass filter. 光学的ローパスフィルタを製造する際の照度分布の決定方法を説明するための図面である。It is drawing for demonstrating the determination method of the illumination distribution at the time of manufacturing an optical low-pass filter. 光学的ローパスフィルタの機能評価を行うための評価用光学系の構成を模式的に示す図面である。It is drawing which shows typically the structure of the optical system for evaluation for performing the function evaluation of an optical low-pass filter. 図5の評価用光学系で用いられるフォトマスクの模式的な図面である。6 is a schematic drawing of a photomask used in the evaluation optical system of FIG. 5. 図5の評価用光学系で用いられる回折格子の模式的な図面である。6 is a schematic drawing of a diffraction grating used in the evaluation optical system of FIG. 図6のフォトマスクをスクリーンに投影したときの撮影像を示す図面である。It is drawing which shows the picked-up image when the photomask of FIG. 6 is projected on a screen. 図6のフォトマスクと図7の回折格子によって生じるモアレ像を示す図面である。It is drawing which shows the moire image produced with the photomask of FIG. 6, and the diffraction grating of FIG. 図9のモアレ像を生じさせたさ光学系に光学的ローパスフィルタを挿入したときの投影像を示す図面である。10 is a drawing showing a projected image when an optical low-pass filter is inserted into the optical system in which the moire image of FIG. 9 is generated. モアレ評価の為に用いられるサーキュラーゾーンプレートを示す図面である。It is drawing which shows the circular zone plate used for moire evaluation. 光学的ローパスフィルタを装備していない小型カメラでの図11のサーキュラーゾーンプレートを撮影した画像を示す図面である。It is drawing which shows the image which image | photographed the circular zone plate of FIG. 11 with the small camera which is not equipped with an optical low-pass filter. 実施例2の光学的ローパスフィルタを装備した小型カメラでの図11のサーキュラーゾーンプレートの撮影した画像を示す図面である。FIG. 12 is a diagram illustrating an image captured by the circular zone plate of FIG. 11 with a small camera equipped with the optical low-pass filter of Example 2. FIG. 光学的ローパスフィルタを装備していない小型カメラでの図11のサーキュラーゾーンプレートを撮影した画像を示す図面である。It is drawing which shows the image which image | photographed the circular zone plate of FIG. 11 with the small camera which is not equipped with an optical low-pass filter. 実施例3の光学的ローパスフィルタを装備した小型カメラでの図11のサーキュラーゾーンプレートを撮影した画像を示す図面である。12 is a diagram showing an image obtained by photographing the circular zone plate of FIG. 11 with a small camera equipped with the optical low-pass filter of Example 3. FIG.

以下、添付図面を参照して本発明の好ましい実施形態の光学的ローパスフィルタ1を用いた光学系について説明する。図1は、この撮像光学系2は、デジタルスチルカメラ用光学系、携帯電話などに装着されるデジタルカメラ用光学系等、所定ピッチの画素を有する固体撮像素子により画像を撮影する撮像光学系等として使用される。   Hereinafter, an optical system using an optical low-pass filter 1 according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows an imaging optical system 2 that captures an image with a solid-state imaging device having pixels of a predetermined pitch, such as an optical system for a digital still camera, an optical system for a digital camera mounted on a mobile phone, or the like. Used as.

図1に示されているように、撮像光学系2では、光学的ローパスフィルタ1が、固体撮像素子4の受光面に所定厚のギャップ層6を介して配置されている。本実施形態の撮像光学系2は、さらに、レンズ8と、赤外カットフィルタ10を備えている。   As shown in FIG. 1, in the imaging optical system 2, the optical low-pass filter 1 is disposed on the light receiving surface of the solid-state imaging device 4 via a gap layer 6 having a predetermined thickness. The imaging optical system 2 of the present embodiment further includes a lens 8 and an infrared cut filter 10.

本実施形態では、固体撮像素子4は、シリコン基板上に多数の受光素子が二次元的に配置されたもので、各受光素子で発生した電荷をCCD素子、またはCMOS回路で外部に信号として転送することができるエリアイメージセンサである。   In the present embodiment, the solid-state imaging device 4 is a device in which a large number of light receiving elements are two-dimensionally arranged on a silicon substrate, and charges generated by each light receiving element are transferred as signals to the outside by a CCD element or a CMOS circuit. This is an area image sensor that can be used.

ギャップ層6は、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、またはポリイミド樹脂で構成されているが、透明な材料であればよく、特にこれらに限定されるものではない。
ギャップ層6の厚さは、特に限定されるものではないが、0.1μmないし1000μmの範囲とすることが好ましく、より好ましくは1μmないし100μmの範囲である。
The gap layer 6 is made of a polycarbonate resin, an acrylic resin, a polystyrene resin, or a polyimide resin, but is not particularly limited as long as it is a transparent material.
The thickness of the gap layer 6 is not particularly limited, but is preferably in the range of 0.1 μm to 1000 μm, more preferably in the range of 1 μm to 100 μm.

ギャップ層6の厚さは、回折により生じる画像ボカシ量が、撮像素子の画素ピッチ以下の有限な量になるように設定される。回折光の回折角θは、回折の次数として1次の時だけを考えると、規則構造の周期をΛ、光の波長をλ、ギャップ層の媒体の屈折率をn、と置くと式(1)のように表される。
n・Λ・sinθ= λ ・・・(1)
The thickness of the gap layer 6 is set so that the amount of image blur caused by diffraction becomes a finite amount equal to or smaller than the pixel pitch of the image sensor. When the diffraction angle θ of the diffracted light is considered only when the diffraction order is the first order, when the period of the regular structure is Λ, the wavelength of the light is λ, and the refractive index of the medium of the gap layer is n (1) ).
n ・ Λ ・ sinθ = λ (1)

式(1)と、画像ボカシ量として撮像素子の画素ピッチPに対してP/2を設定すると、ギャップ層6の厚さLは、(2)式のように決まる。
L=P/2/tan(sin-1(λ/n・Λ)) ・・・(2)
(2)式より設定されるギャップ層6の厚さLは、0.01μmないし10mmの範囲に設定され、好ましくは0.1μmないし1000μmの範囲、より好ましくは1μmないし500μmの範囲である。
When P / 2 is set with respect to the pixel pitch P of the image sensor as the image blur amount, the thickness L of the gap layer 6 is determined as in equation (2).
L = P / 2 / tan (sin −1 (λ / n · Λ)) (2)
The thickness L of the gap layer 6 set by the equation (2) is set in the range of 0.01 μm to 10 mm, preferably in the range of 0.1 μm to 1000 μm, more preferably in the range of 1 μm to 500 μm.

レンズ8は、無機ガラスからなるガラスレンズ、またはポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリオレフィン樹脂などからなるプラスチックレンズで構成されている。   The lens 8 is composed of a glass lens made of inorganic glass or a plastic lens made of polycarbonate resin, acrylic resin, polystyrene resin, polyolefin resin, or the like.

赤外カットフィルタ10は、無機ガラスからなるガラスフィルタ、または有機色素を添加したポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリオレフィン樹脂からなるプラスチックフィルタで構成されている。   The infrared cut filter 10 includes a glass filter made of inorganic glass, or a plastic filter made of polycarbonate resin, acrylic resin, polystyrene resin, or polyolefin resin to which an organic dye is added.

図2は、光学的ローパスフィルタ1の内部構造を模式的に示した斜視図である。光学的ローパスフィルタ1は、シートまたはフィルム状のマトリックス12と、マトリックス12内に配置された多数の柱状構造体14とを備えている。柱状構造体14は、マトリックス12と屈折率が異なり、一方向(マトリクス12の厚さ方向)に配向され、規則的に配列されている。本実施態様では、柱状構造体14の配列周期は、80nmないし1000μmに設定されて、好ましくは90nmないし100μm、より好ましくは100nmないし50μmである。   FIG. 2 is a perspective view schematically showing the internal structure of the optical low-pass filter 1. The optical low-pass filter 1 includes a sheet or film matrix 12 and a large number of columnar structures 14 arranged in the matrix 12. The columnar structures 14 have a refractive index different from that of the matrix 12, are oriented in one direction (thickness direction of the matrix 12), and are regularly arranged. In this embodiment, the arrangement period of the columnar structures 14 is set to 80 nm to 1000 μm, preferably 90 nm to 100 μm, more preferably 100 nm to 50 μm.

柱状構造体14の直径(角柱状の場合は外接円の直径をいう。)は、80nmないし1000μmであり、好ましくは90nmないし100μm、より好ましくは100nmないし50μmである。
このように柱状構造体14の直径あるいは配列周期をこの範囲内とすることによって、光学製品として350nmないし2000nmの波長範囲の光に対する干渉効果を十分に発現させることができ、光学的ローパスフィルタとして使用可能な波長範囲において回折や偏向等の高度な光制御が可能となる。
The diameter of the columnar structure 14 (in the case of a prismatic shape, the diameter of a circumscribed circle) is 80 nm to 1000 μm, preferably 90 nm to 100 μm, more preferably 100 nm to 50 μm.
Thus, by setting the diameter or arrangement period of the columnar structures 14 within this range, an optical product can sufficiently exhibit an interference effect with respect to light in the wavelength range of 350 nm to 2000 nm, and can be used as an optical low-pass filter. Sophisticated light control such as diffraction and deflection can be performed in a possible wavelength range.

従って、光学的ローパスフィルタ1は、80nmないし1000μmのオーダーで周期的に屈折率が変化する規則性の高い構造を有している。   Accordingly, the optical low-pass filter 1 has a highly regular structure in which the refractive index periodically changes in the order of 80 nm to 1000 μm.

本実施形態の光学的ローパスフィルタ1は、光重合性組成物に光を照射して重合硬化させることによって形成される。光重合性組成物として、2官能以上の多官能モノマーあるいはオリゴマーと光重合開始剤とを含有するものが使用される。   The optical low-pass filter 1 of this embodiment is formed by irradiating light to a photopolymerizable composition and curing it. As the photopolymerizable composition, those containing a bifunctional or higher polyfunctional monomer or oligomer and a photopolymerization initiator are used.

2官能以上のモノマーを組成物に含ませることで、重合硬化の際、光重合性組成物の厚さ方向に垂直な面内で重合度(架橋密度)の粗密が生じやすくなる。重合度(架橋密度)が密な部分は疎な部分よりも屈折率が高くなる。このような屈折率の高低が出来ると、屈折率の高い部分が導波モードとなり、より多くの光がこの屈折率の高い部分を通ることになる。   By including a bifunctional or higher monomer in the composition, the degree of polymerization (crosslink density) is likely to occur in a plane perpendicular to the thickness direction of the photopolymerizable composition during polymerization and curing. A portion having a high degree of polymerization (crosslinking density) has a higher refractive index than a portion having a low degree of polymerization. When the refractive index can be increased or decreased, a portion with a high refractive index becomes a waveguide mode, and more light passes through the portion with a high refractive index.

このため、重合度(架橋密度)が密で屈折率が高くなった領域の下方では、光硬化性組成物の光反応は重合度(架橋密度)の粗密がより強調されて進行すると考えられる。このような現象によって、マトリックス12内に、マトリック12と屈折率が異なる多数の柱状構造体14が形成されると考えられる。   For this reason, under the region where the degree of polymerization (crosslinking density) is dense and the refractive index is high, it is considered that the photoreaction of the photocurable composition proceeds with more emphasis on the degree of polymerization (crosslinking density). It is considered that a large number of columnar structures 14 having a refractive index different from that of the matrix 12 are formed in the matrix 12 by such a phenomenon.

2官能以上の多官能モノマーとしては、例えば、分子内に2個以上の重合性炭素−炭素二重結合を有するモノマーであれば、特に限定されるものではないが、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、アリル基等を含有するものが特に好ましい。   The bifunctional or higher polyfunctional monomer is not particularly limited as long as it is a monomer having two or more polymerizable carbon-carbon double bonds in the molecule, for example, (meth) acryloyl group, vinyl Those containing a group, an allyl group or the like are particularly preferable.

このような2官能以上の多官能モノマーの具体例としては、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、水添ジシクロペンタジエニルジ(メタ)アクリレート、エチレンオキサイド変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、多官能のエポキシ(メタ)アクリレート、多官能のウレタン(メタ)アクリレート、ジビニルベンゼン、トリアリルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート、トリアリルトリメリテート、ジアリルクロレンデート、N,N’−m−フェニレンビスマレイミド、ジアリルフタレート等が挙げられ、これらを単独であるいは2種以上の混合物として使用することができる。   Specific examples of such a bifunctional or higher polyfunctional monomer include triethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di ( (Meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, hydrogenated dicyclopentadienyl di (meth) acrylate, ethylene oxide modified bisphenol A di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, penta Erythritol tetra (meth) acrylate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, pentaerythritol hexa (meth) acrylate, polyfunctional epoxy (meth) acrylate, polyfunctional urethane (meth) acrylate Examples include divinylbenzene, triallyl cyanurate, triallyl isocyanurate, triallyl trimellitate, diallyl chlorendate, N, N′-m-phenylenebismaleimide, diallyl phthalate, and the like alone or in combination of two or more. Can be used as a mixture.

分子内に3個以上の重合性炭素−炭素二重結合を有する多官能性モノマーを用いると、重合度(架橋密度)の粗密がより大きくなりやすく、柱状構造体が形成されやすくなる。
特に好ましい3個以上の重合性炭素−炭素二重結合を有する多官能性モノマーとしては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、多官能のエポキシ(メタ)アクリレート、多官能のウレタン(メタ)アクリレートがある。
When a polyfunctional monomer having three or more polymerizable carbon-carbon double bonds in the molecule is used, the degree of polymerization (crosslink density) tends to be larger and columnar structures are more likely to be formed.
Particularly preferred polyfunctional monomers having three or more polymerizable carbon-carbon double bonds are trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, tetramethylolmethanetetra (meth) acrylate, penta There are erythritol hexa (meth) acrylate, polyfunctional epoxy (meth) acrylate, and polyfunctional urethane (meth) acrylate.

光重合性組成物として2種以上の多官能モノマーあるいはオリゴマーを使用する場合には、それぞれの単独重合体の屈折率が異なるものを使用することが好ましく、その屈折率差が大きいものを組み合わせることがより好ましい。
回折、偏向、拡散などの機能を高効率で得られるようにする為には屈折率差を大きくとることが必要であり、その屈折率差が0.0001以上であることが好ましく、0.05以上であることがより好ましい。
When two or more polyfunctional monomers or oligomers are used as the photopolymerizable composition, it is preferable to use those having different refractive indexes of the respective homopolymers, and those having a large difference in refractive index are combined. Is more preferable.
In order to obtain functions such as diffraction, deflection, and diffusion with high efficiency, it is necessary to increase the refractive index difference, and the refractive index difference is preferably 0.0001 or more. More preferably.

なお、3種以上の多官能モノマーあるいはオリゴマーを使用する場合は、それぞれの単独重合体の少なくともいずれか2つの屈折率差が上記範囲内となるようにすればよい。また、単独重合体の屈折率差が最も大きい2つのモノマーあるいはオリゴマーは、高効率な回折、偏向、拡散などの機能を得る為に、重量比で10:90ないし90:10の割合で用いることが好ましい。   In addition, when using 3 or more types of polyfunctional monomers or oligomers, the refractive index difference between at least any two of the respective homopolymers may be within the above range. Also, the two monomers or oligomers having the largest refractive index difference of the homopolymer should be used in a weight ratio of 10:90 to 90:10 in order to obtain highly efficient functions such as diffraction, deflection, and diffusion. Is preferred.

本実施態様においては、光重合性組成物として、上記のような多官能モノマーあるいはオリゴマーとともに、分子内に1個の重合性炭素−炭素二重結合を有する単官能モノマーあるいはオリゴマーを使用してもよい。
このような単官能モノマーあるいはオリゴマーとしては、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、アリル基等を含有するものが特に好ましい。
In this embodiment, a monofunctional monomer or oligomer having one polymerizable carbon-carbon double bond in the molecule may be used as the photopolymerizable composition together with the polyfunctional monomer or oligomer as described above. Good.
As such a monofunctional monomer or oligomer, those containing (meth) acryloyl group, vinyl group, allyl group and the like are particularly preferable.

単官能モノマーの具体例としては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、エチルカルビトール(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソボニル(メタ)アクリレート、フェニルカルビトール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリロイルオキシエチルサクシネート、(メタ)アクリロイルオキシエチルフタレート、フェニル(メタ)アクリレート、シアノエチル(メタ)アクリレート、トリブロモフェニル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、トリブロモフェノキシエチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、p−ブロモベンジル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリレート化合物;スチレン、p−クロロスチレン、ビニルアセテート、アクリロニトリル、N-ビニルピロリドン、ビニルナフタレン等のビニル化合物;エチレングリコールビスアリルカーボネート、ジアリルフタレート、ジアリルイソフタレート等のアリル化合物等が挙げられる。   Specific examples of the monofunctional monomer include, for example, methyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, ethyl carbitol (meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, phenyl Carbitol (meth) acrylate, nonylphenoxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, (meth) acryloyloxyethyl succinate, (meth) acryloyloxyethyl phthalate, phenyl (meth) acrylate , Cyanoethyl (meth) acrylate, Tribromophenyl (meth) acrylate, Phenoxyethyl (meth) acrylate, Tribromophenoxyethyl (meth) acrylate, Ben (Meth) acrylate, p-bromobenzyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) ) (Meth) acrylate compounds such as acrylate; vinyl compounds such as styrene, p-chlorostyrene, vinyl acetate, acrylonitrile, N-vinyl pyrrolidone, vinyl naphthalene; allyl compounds such as ethylene glycol bisallyl carbonate, diallyl phthalate, diallyl isophthalate Etc.

これら単官能モノマーあるいはオリゴマーは、光学的ローパスフィルタに柔軟性を付与するために用いられる。単官能モノマーあるいはオリゴマーの量は、多官能モノマーあるいはオリゴマーとの合計量のうち10ないし99質量%の範囲とすることが好ましく、より好ましくは10ないし50質量%の範囲である。   These monofunctional monomers or oligomers are used for imparting flexibility to the optical low-pass filter. The amount of the monofunctional monomer or oligomer is preferably in the range of 10 to 99% by mass, more preferably in the range of 10 to 50% by mass, of the total amount with the polyfunctional monomer or oligomer.

また、光重合性組成物として、前記多官能モノマーあるいはオリゴマーと重合性炭素―炭素二重結合を持たない化合物を含む均一溶解混合物を用いることもできる。
重合性炭素―炭素二重結合を持たない化合物としては、例えば、ポリスチレン、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレンオキシド、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ナイロン等のポリマー類、トルエン、n-ヘキサン、シクロヘキサン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルアルコール、エチルアルコール、酢酸エチル、アセトニトリル、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、テトラヒドロフランのような低分子化合物、有機ハロゲン化合物、有機ケイ素化合物、可塑剤、安定剤のような添加剤等が挙げられる。
Further, as the photopolymerizable composition, a homogeneous dissolution mixture containing the polyfunctional monomer or oligomer and a compound having no polymerizable carbon-carbon double bond can be used.
Examples of the compound having no polymerizable carbon-carbon double bond include polymers such as polystyrene, polymethyl methacrylate, polyethylene oxide, polyvinyl pyrrolidone, polyvinyl alcohol, and nylon, toluene, n-hexane, cyclohexane, acetone, and methyl ethyl ketone. , Methyl alcohol, ethyl alcohol, ethyl acetate, acetonitrile, dimethylacetamide, dimethylformamide, low molecular compounds such as tetrahydrofuran, organic halogen compounds, organic silicon compounds, plasticizers, additives such as stabilizers, and the like.

これら重合性炭素―炭素二重結合を持たない化合物の使用量は、光学的ローパスフィルタを製造する際に光重合性組成物の粘度を低下させ取り扱い性を良くする為に用いられ、多官能モノマーあるいはオリゴマーとの合計量のうち1ないし99質量%の範囲とすることが好ましく、取り扱い性も良くしつつ規則的な配列を持った柱状構造体を形成させる為により好ましくは1ないし50質量%の範囲である。   The amount of the compound having no polymerizable carbon-carbon double bond is used to reduce the viscosity of the photopolymerizable composition and improve the handleability when producing an optical low-pass filter. Alternatively, it is preferably in the range of 1 to 99% by mass of the total amount with the oligomer, and more preferably 1 to 50% by mass in order to form a columnar structure having a regular arrangement while improving the handleability. It is a range.

本実施形態において、光重合性組成物に使用する光重合開始剤は、紫外線等の活性エネルギー線を照射して重合を行う通常の光重合で用いられるものであれば、特に限定されるものではない。例えば、ベンゾフェノン、ベンジル、ミヒラーズケトン、2−クロロチオキサントン、ベンゾインエチルエーテル、ジエトキシアセトフェノン、p-t−ブチルトリクロロアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピルフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)-ブタノン−1、ジベンゾスベロン等が挙げられる。   In this embodiment, the photopolymerization initiator used in the photopolymerizable composition is not particularly limited as long as it is used in normal photopolymerization in which polymerization is performed by irradiating active energy rays such as ultraviolet rays. Absent. For example, benzophenone, benzyl, Michler's ketone, 2-chlorothioxanthone, benzoin ethyl ether, diethoxyacetophenone, pt-butyltrichloroacetophenone, benzyldimethyl ketal, 2-hydroxy-2-methylpropylphenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, dibenzosuberone and the like.

これら光重合開始剤の使用量は、その他の光重合性組成物の100重量部に対して0.001ないし10重量部の範囲とする事が好ましく、光学的ローパスフィルタの透明性を落とさないようにする為に0.01ないし5重量部とする事がより好ましい。   The amount of these photopolymerization initiators used is preferably in the range of 0.001 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the other photopolymerizable composition so as not to deteriorate the transparency of the optical low-pass filter. Therefore, it is more preferable to use 0.01 to 5 parts by weight.

上述したように、本実施形態の光学的ローパスフィルタ1は、マトリックス12内に、マトリックス12と屈折率が異なる多数の柱状構造体14が一方向に配向して配置されている。柱状構造体14は、配向方向と垂直な面内において二次元的な規則性を有して配置されている。柱状構造体14としては、円柱状、楕円柱状、角柱状等ものが挙げられる。   As described above, in the optical low-pass filter 1 of this embodiment, a large number of columnar structures 14 having a refractive index different from that of the matrix 12 are arranged in one direction in the matrix 12. The columnar structures 14 are arranged with two-dimensional regularity in a plane perpendicular to the alignment direction. Examples of the columnar structure 14 include a columnar shape, an elliptical columnar shape, and a prismatic shape.

本実施形態の光学的ローパスフィルタ1では、柱状構造体14は、図3に示されている六方格子を構成するように規則的に配置され、この規則性によって、六点分離(三方向)を一枚のフィルタによって行うことできる。なお、六方格子とは、三角格子とハニカム格子を含む。   In the optical low-pass filter 1 according to the present embodiment, the columnar structures 14 are regularly arranged so as to form the hexagonal lattice shown in FIG. 3, and by this regularity, six-point separation (three directions) is performed. This can be done with a single filter. The hexagonal lattice includes a triangular lattice and a honeycomb lattice.

次に、光学的ローパスフィルタ1の製造方法について説明する。本実施形態の光学的ローパスフィルタ1は、固体撮像素子4の表面に配置されたギャップ層6上で製造される。
まず、固体撮像素子4の受光面にギャップ層6を構成するポリカーボネート樹脂等で作られた透明樹脂板を配置する。このような透明樹脂板は、固体撮像素子上に接着剤等で固定されてもよく、光硬化性樹脂組成物を固体撮像素子上にスピンコート法等で塗膜を形成し、拡散光等の紫外線で硬化したものでもよい。また、熱可塑性樹脂等を溶剤に溶解させた溶液をスピンコート法等で塗膜を形成し、溶剤を蒸発させ固化させたフィルム状物でもよい。
Next, a method for manufacturing the optical low-pass filter 1 will be described. The optical low-pass filter 1 of the present embodiment is manufactured on the gap layer 6 disposed on the surface of the solid-state imaging device 4.
First, a transparent resin plate made of a polycarbonate resin or the like constituting the gap layer 6 is disposed on the light receiving surface of the solid-state imaging device 4. Such a transparent resin plate may be fixed on the solid-state imaging device with an adhesive or the like, and a photocurable resin composition is formed on the solid-state imaging device by a spin coating method or the like, and diffused light, etc. What hardened | cured with the ultraviolet-ray may be sufficient. Alternatively, a film-like product may be used in which a solution obtained by dissolving a thermoplastic resin or the like in a solvent is used to form a coating film by spin coating or the like, and the solvent is evaporated to solidify.

次いで、この透明樹脂板上に、2官能以上の多官能モノマーあるいはオリゴマーと光重合開始剤とを含有する光重合性組成物を、基板上に塗布する。光重合性組成物の塗布厚としては、特に限定されるものではないが、1μmないし1000μmの範囲とすることが好ましく、より好ましくは5μmないし500μmの範囲である。   Next, a photopolymerizable composition containing a bifunctional or higher polyfunctional monomer or oligomer and a photopolymerization initiator is applied onto the substrate on the transparent resin plate. The coating thickness of the photopolymerizable composition is not particularly limited, but is preferably in the range of 1 μm to 1000 μm, more preferably in the range of 5 μm to 500 μm.

さらに、波長半値全幅が100nm以下である紫外線等の平行光を、光重合組成物に照射する。この照射により、80nm〜1000μmのオーダーの柱状構造体14が、レーザ光線の照射時に形成された周期的屈折率変化を反映した回折パターンに対応した規則性が高い六方格子構造で、光重合組成物内に形成される。なお、光重合組成物の柱状構造体14以外の部分は、マトリックス12となる。   Further, the photopolymerization composition is irradiated with parallel light such as ultraviolet rays having a full width at half maximum of 100 nm or less. By this irradiation, the columnar structure 14 of the order of 80 nm to 1000 μm has a highly regular hexagonal lattice structure corresponding to a diffraction pattern reflecting a periodic refractive index change formed at the time of laser beam irradiation. Formed inside. The portion other than the columnar structure 14 of the photopolymerization composition becomes the matrix 12.

照射する平行光は、柱状構造体14を規則的に配列させるため、進行方向に直交する断面内での光強度分布が略一定であることが好ましい。
光源としては、特に限定されるものではないが、例えば、点光源や棒状光源からの光をミラーやレンズ等により光強度分布が略一定(ハット型分布)の平行光としたもの、面発光半導体レーザ(VCSEL)等の面状光源等が好ましい。
Since the irradiated parallel light regularly arranges the columnar structures 14, it is preferable that the light intensity distribution in the cross section orthogonal to the traveling direction is substantially constant.
The light source is not particularly limited. For example, the light from a point light source or a rod-shaped light source is converted into parallel light having a substantially constant light intensity distribution (hat distribution) by a mirror, a lens, or the like, a surface emitting semiconductor A planar light source such as a laser (VCSEL) is preferable.

照射する光の平行度としては、柱状構造体の規則的な配列を形成させる点から、ビーム広がり角が±0.03rad以下であるものが好ましく、より好ましくは±0.001rad以下の範囲である。ここで、レーザ光線は平行度の点では好ましい光源であるが、その光強度分布がガウス型の分布を有しているため、適当なフィルタ等を用いて光強度分布を略一定にして使用することが好ましい。   The degree of parallelism of the irradiated light is preferably such that the beam divergence angle is ± 0.03 rad or less, more preferably ± 0.001 rad or less, from the viewpoint of forming a regular array of columnar structures. . Here, the laser beam is a preferable light source in terms of parallelism, but since the light intensity distribution has a Gaussian distribution, the light intensity distribution is used with a substantially constant light using an appropriate filter or the like. It is preferable.

光学的ローパスフィルタの柱状構造体の配列の規則性を高くするには、光学的ローパスフィルタの膜厚方向に直交する平面内において重合反応を均一に進める事が好ましく、光強度分布、図4に示すように照射エリアの複数点(IないしIX)の光強度を測定し、下記式(1)で与えられる照度分布の値が、2.0%以下であるものが好ましく、1.0%以下であるものがより好ましい。
照度分布=(最大値−最低値)/(最大値+最低値)×100・・・式1
In order to increase the regularity of the arrangement of the columnar structures of the optical low-pass filter, it is preferable to carry out the polymerization reaction uniformly in a plane perpendicular to the film thickness direction of the optical low-pass filter. As shown, the light intensity at a plurality of points (I to IX) in the irradiation area is measured, and the illuminance distribution value given by the following formula (1) is preferably 2.0% or less, preferably 1.0% or less. Is more preferable.
Illuminance distribution = (maximum value−minimum value) / (maximum value + minimum value) × 100 Equation 1

また、柱状構造体の規則的な配列を得る為には照射光の波長幅が狭いほうが良く、従って、半値全幅で100nm以下、より好ましくは20nm以下であるのがよい。
なお、光学的ローパスフィルタの柱状構造体が形成された層としては、光重合性組成物を所定の厚さのガラスセル中にフィルム状に封入し、上記と同様にして紫外線等の平行光を照射し光重合性物を重合硬化させて、柱状構造体が形成されたフィルムを作成し、このフィルムをギャップ層としての透明樹脂板に固定してもよい。
Further, in order to obtain a regular arrangement of the columnar structures, it is preferable that the wavelength width of the irradiation light is narrow, and therefore the full width at half maximum is 100 nm or less, more preferably 20 nm or less.
As a layer in which the columnar structure of the optical low-pass filter is formed, the photopolymerizable composition is sealed in a film shape in a glass cell having a predetermined thickness, and parallel light such as ultraviolet rays is irradiated in the same manner as described above. Irradiation is performed to polymerize and cure the photopolymerizable material to prepare a film in which a columnar structure is formed, and this film may be fixed to a transparent resin plate as a gap layer.

本発明の前記実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範囲内で種々の変更、変形が可能である。   Without being limited to the above-described embodiment of the present invention, various changes and modifications can be made within the scope of the technical idea described in the claims.

以下、実施例にそって本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated more concretely according to an Example, this invention is not limited to these Examples.

(実施例1)
単独の重合体の屈折率が1.489であるメチルメタクリレート50質量部と同じく単独の重合体の屈折率が1.535であるトリメチロールプロパントリアクリレート50質量部からなる混合物に、光重合開始剤として1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン1質量部を溶解させ光重合性組成物を得た。得られた光重合性組成物を、50mm×50mm、厚さ0.1mmのガラスセル中にフィルム状に封入した。次いで、ガラスセルの上部カバー15の表面に対して垂直方向から、ビームの広がり角が±0.001rad以下であり、光の進行方向に対して垂直断面内の光強度分布における照度分布が2.0%以下である紫外線を照射して、光重合性組成物を重合硬化してプラスチックフィルムを得た。なお、光源には、超高圧水銀灯を使用した平行光紫外線照射装置を用い、干渉フィルターにより中心波長365nm、半値全幅10nmの単色光を取り出して照射した。
Example 1
A photopolymerization initiator is added to a mixture comprising 50 parts by mass of trimethylolpropane triacrylate having a refractive index of 1.535 as well as 50 parts by mass of methyl methacrylate having a refractive index of 1.489 as a single polymer. As a result, 1 part by mass of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone was dissolved to obtain a photopolymerizable composition. The obtained photopolymerizable composition was encapsulated in a film shape in a glass cell of 50 mm × 50 mm and a thickness of 0.1 mm. Next, from the direction perpendicular to the surface of the upper cover 15 of the glass cell, the beam divergence angle is ± 0.001 rad or less, and the illuminance distribution in the light intensity distribution in the vertical cross section with respect to the light traveling direction is 2. The photopolymerizable composition was polymerized and cured by irradiating with ultraviolet rays of 0% or less to obtain a plastic film. As a light source, a parallel light ultraviolet irradiation device using an ultra-high pressure mercury lamp was used, and monochromatic light having a center wavelength of 365 nm and a full width at half maximum of 10 nm was extracted and irradiated by an interference filter.

得られたプラスチックフィルムは、内部の膜厚方向に垂直な面内でマトリックスと異なる屈折率を有する直径2μmの円柱状構造体が周期7μmで六方格子状に配列していた。
このプラスチックフィルムを、図5に示すような評価用光学系を用いて光学的ローパスフィルタ1の機能を評価した。
The obtained plastic film had a cylindrical structure with a diameter of 2 μm having a refractive index different from that of the matrix in a plane perpendicular to the internal film thickness direction and arranged in a hexagonal lattice pattern with a period of 7 μm.
This plastic film was evaluated for the function of the optical low-pass filter 1 using an evaluation optical system as shown in FIG.

評価用光学系は、ヘリウムネオンレーザー16、フォトマスク18、回折格子20、スクリーン22、カメラ24、および拡大レンズ系26を備えている。カメラ24に搭載されているCCD固体撮像素子は、画素サイズが3.1μm、画素間隔が5μmであり、図6に模式的に示すフォトマスク18は、CCD固体撮像素子と同サイズとされている。図7に模式的に示す回折格子20の周期は5μmとされている。さらに、ヘリウムネオンレーザー16からの照射光28は、630nmの単色光である。   The evaluation optical system includes a helium neon laser 16, a photomask 18, a diffraction grating 20, a screen 22, a camera 24, and a magnifying lens system 26. The CCD solid-state imaging device mounted on the camera 24 has a pixel size of 3.1 μm and a pixel interval of 5 μm, and the photomask 18 schematically shown in FIG. 6 has the same size as the CCD solid-state imaging device. . The period of the diffraction grating 20 schematically shown in FIG. 7 is 5 μm. Further, the irradiation light 28 from the helium neon laser 16 is 630 nm monochromatic light.

このような評価用光学系を用いて、光学的ローパスフィルタの性能評価を行った。
図6に示されているフォトマスク18をスクリーン22に投影したときの撮影像を図8に示す。
Using such an evaluation optical system, the performance of the optical low-pass filter was evaluated.
FIG. 8 shows a photographed image when the photomask 18 shown in FIG. 6 is projected onto the screen 22.

また、図6に示すフォトマスクと図7に示す回折格子によって生じるモアレ像を図9に示す。さらに図6に示すフォトマスク18上に厚さ17μmのギャップ層を介して周期7μmの内部屈折率変調型の光学的ローパスフィルタ1を挿入したときの投影像を図10に示す。図10では、図9で観察されたモアレ像が消失し、光学的ローパスフィルタ1による機能が発現していることが確認できる。   FIG. 9 shows a moire image generated by the photomask shown in FIG. 6 and the diffraction grating shown in FIG. Further, FIG. 10 shows a projection image when the internal refractive index modulation type optical low-pass filter 1 having a period of 7 μm is inserted on the photomask 18 shown in FIG. 6 through a gap layer having a thickness of 17 μm. In FIG. 10, it can be confirmed that the moire image observed in FIG. 9 disappears and the function of the optical low-pass filter 1 is developed.

(実施例2)
光重合性組成物として、単独の重合体の屈折率が1.535であるトリメチロールプロパントリアクリレート40質量部と、同じく単独の重合体の屈折率が1.523であるポリブチレングリコールジメタクリレート40重量部と、同じく単独の重合体の屈折率が1.547である新中村化学社製の多官能ウレタンアクリレート混合物であるU-2PPA 20重量部からなる混合物に、光重合開始剤として1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン1質量部を溶解させ光重合性組成物を得た。
得られた光重合性組成物を、50mm×50mm、厚さ0.06mmのガラスセル中にフィルム状に封入した。セルの上部カバーガラス越しにケミカルランプを用いて、紫外線の拡散光を照射し、透明なギャップ層を得た。
(Example 2)
As a photopolymerizable composition, 40 parts by mass of trimethylolpropane triacrylate having a refractive index of a single polymer of 1.535 and polybutylene glycol dimethacrylate 40 having a refractive index of a single polymer of 1.523 are used. A mixture of 20 parts by weight of U-2PPA, which is a polyfunctional urethane acrylate mixture manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., having a refractive index of 1.547, which is also a single polymer, is used as a photopolymerization initiator. 1 part by mass of cyclohexyl phenyl ketone was dissolved to obtain a photopolymerizable composition.
The obtained photopolymerizable composition was encapsulated in a film form in a glass cell having a size of 50 mm × 50 mm and a thickness of 0.06 mm. A transparent gap layer was obtained by irradiating with ultraviolet diffused light using a chemical lamp through the upper cover glass of the cell.

単独の重合体の屈折率が1.535であるトリメチロールプロパントリアクリレート50質量部と、同じく単独の重合体の屈折率が1.523であるポリブチレングリコールジメタクリレート10重量部と、同じく単独の重合体の屈折率が1.572であるEO変性ビスフェノール Aジメタクリレート20重量部と、同じく単独の重合体の屈折率が1.557である新中村化学社製の多官能ウレタンアクリレート混合物であるU-6HA 20重量部からなる混合物に、光重合開始剤として1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン0.6質量部を溶解させ光重合性組成物を得た。   50 parts by mass of trimethylolpropane triacrylate having a refractive index of a single polymer of 1.535, 10 parts by weight of polybutylene glycol dimethacrylate having a refractive index of a single polymer of 1.523, and 20 parts by weight of EO-modified bisphenol A dimethacrylate having a polymer refractive index of 1.572, and a polyfunctional urethane acrylate mixture made by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. having a refractive index of a single polymer of 1.557 As a photopolymerization initiator, 0.6 part by mass of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone was dissolved in a mixture composed of 20 parts by weight of -6HA to obtain a photopolymerizable composition.

得られた光重合性組成物を、上記ギャップ層を基材フィルム(0.06mm)とした、5mm×6mm、厚さ0.2mmのセル中にフィルム状に封入した。セルの上部カバーガラス越しに、カバーガラス表面に対して垂直方向から、ビームの広がり角が±0.001rad以下であり、光の進行方向に対して垂直断面内の光強度分布における照度分布が2.0%以下である紫外線を照射して、光重合性組成物を重合硬化して光学的ローパスフィルタを得た。なお、光源には、超高圧水銀灯を使用した平行光紫外線照射装置を用い、干渉フィルタにより中心波長365nm、半値全幅10nmの単色光を取り出して照射した。   The obtained photopolymerizable composition was encapsulated in a film form in a cell of 5 mm × 6 mm and thickness 0.2 mm using the gap layer as a base film (0.06 mm). Through the upper cover glass of the cell, the beam divergence angle is ± 0.001 rad or less from the direction perpendicular to the cover glass surface, and the illuminance distribution in the light intensity distribution in the vertical section with respect to the light traveling direction is 2 The photopolymerizable composition was polymerized and cured by irradiating ultraviolet rays of 0.0% or less to obtain an optical low-pass filter. As a light source, a parallel light ultraviolet irradiation device using an ultrahigh pressure mercury lamp was used, and monochromatic light having a center wavelength of 365 nm and a full width at half maximum of 10 nm was extracted and irradiated by an interference filter.

得られた光学的ローパスフィルタを構成する透明ギャップ層の上のプラスチックフィルムは、内部の膜厚方向に垂直な面内でマトリックスと異なる屈折率を有する直径2μmの円柱状構造体が周期11μmで六方格子状に配列していた。   The plastic film on the transparent gap layer constituting the obtained optical low-pass filter is a hexagonal structure having a 2 μm diameter cylindrical structure having a refractive index different from that of the matrix in a plane perpendicular to the internal film thickness direction and a period of 11 μm. They were arranged in a grid.

この光学的ローパスフィルタを画素数130万のCMOSセンサの撮像センサ部(3.4mm×4.3mm)上に配置し、光学的ローパスフィルタの側面とCMOSセンサ表面とをエポキシ樹脂で接着して、撮像センサを作製した。   This optical low-pass filter is arranged on the imaging sensor part (3.4 mm × 4.3 mm) of a CMOS sensor having 1.3 million pixels, and the side surface of the optical low-pass filter and the surface of the CMOS sensor are bonded with an epoxy resin, An imaging sensor was produced.

上記光学的ローパスフィルタ付きのCMOS撮像素子を組み込んだ小型カメラモジュールを作製した。比較の為、光学的ローパスフィルタの付いていないCMOS撮像素子を用いて、小型カメラモジュールを作製した。それぞれのカメラについて、図11に示すサーキュラーゾーンプレートを撮影し、モアレの発生状態を比較検討した。   A small camera module incorporating the CMOS image sensor with the optical low-pass filter was fabricated. For comparison, a small camera module was manufactured using a CMOS image sensor without an optical low-pass filter. For each camera, the circular zone plate shown in FIG. 11 was photographed, and the state of occurrence of moire was compared and examined.

図12に示すように、光学的ローパスフィルタのないCMOS撮像素子を用いたカメラでは、多数のモアレが観察された(撮影画像の左下1/4のみ図示)。一方、図13に示す光学的ローパスフィルタ付きのCMOS撮像素子を組み込んだ小型カメラモジュールの撮影画像では、モアレが消失・低減し(i、ii、iii、iv、vで図示した部分)、光学的ローパスフィルタ1による機能が発現していることが確認できる。   As shown in FIG. 12, in a camera using a CMOS image sensor without an optical low-pass filter, a large number of moire was observed (only the lower left quarter of the captured image is shown). On the other hand, in the photographed image of the small camera module incorporating the CMOS image sensor with the optical low-pass filter shown in FIG. 13, the moire disappears and is reduced (portions illustrated by i, ii, iii, iv, and v) and is optical. It can be confirmed that the function of the low-pass filter 1 is exhibited.

(実施例3)
光重合性組成物として、単独の重合体の屈折率が1.535であるトリメチロールプロパントリアクリレート40質量部と、同じく単独の重合体の屈折率が1.523であるポリブチレングリコールジメタクリレート40重量部と、同じく単独の重合体の屈折率が1.547である新中村化学社製の多官能ウレタンアクリレート混合物であるU-2PPA 20重量部からなる混合物に、光重合開始剤として1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン1質量部を溶解させ光重合性組成物を得た。厚さ0.04mmのガラスセルを用いた点を除いて、実施例2と同様にして、紫外線の拡散光を照射し、透明なギャップ層を得た。
(Example 3)
As a photopolymerizable composition, 40 parts by mass of trimethylolpropane triacrylate having a refractive index of a single polymer of 1.535 and polybutylene glycol dimethacrylate 40 having a refractive index of a single polymer of 1.523 are used. A mixture of 20 parts by weight of U-2PPA, which is a polyfunctional urethane acrylate mixture manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., having a refractive index of 1.547, which is also a single polymer, is used as a photopolymerization initiator. 1 part by mass of cyclohexyl phenyl ketone was dissolved to obtain a photopolymerizable composition. Except that a 0.04 mm thick glass cell was used, ultraviolet diffused light was applied in the same manner as in Example 2 to obtain a transparent gap layer.

単独の重合体の屈折率が1.535であるトリメチロールプロパントリアクリレート50質量部と、同じく単独の重合体の屈折率が1.523であるポリブチレングリコールジメタクリレート10重量部と、同じく単独の重合体の屈折率が1.572であるEO変性ビスフェノール Aジメタクリレート20重量部と、同じく単独の重合体の屈折率が1.557である新中村化学社製の多官能ウレタンアクリレート混合物であるU-6HA 20重量部からなる混合物に、光重合開始剤として1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン0.6質量部を溶解させ光重合性組成物を得た。
得られた光重合性組成物を、ギャップ層である基材フィルムの厚さが0.04mmである点を除いて、実施例2と同様にして、光重合性組成物を重合硬化して光学的ローパスフィルタを得た。
50 parts by mass of trimethylolpropane triacrylate having a refractive index of a single polymer of 1.535, 10 parts by weight of polybutylene glycol dimethacrylate having a refractive index of a single polymer of 1.523, and 20 parts by weight of EO-modified bisphenol A dimethacrylate having a refractive index of 1.572 and a polyfunctional urethane acrylate mixture made by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. having a refractive index of 1.557. As a photopolymerization initiator, 0.6 part by mass of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone was dissolved in a mixture composed of 20 parts by weight of -6HA to obtain a photopolymerizable composition.
The obtained photopolymerizable composition was polymerized and cured in the same manner as in Example 2 except that the thickness of the base film as a gap layer was 0.04 mm. A low pass filter was obtained.

得られた光学的ローパスフィルタを構成する透明ギャップ層の上のプラスチックフィルムは、内部の膜厚方向に垂直な面内でマトリックスと異なる屈折率を有する直径2μmの円柱状構造体が周期11μmで六方格子状に配列していた。   The plastic film on the transparent gap layer constituting the obtained optical low-pass filter is a hexagonal structure having a 2 μm diameter cylindrical structure having a refractive index different from that of the matrix in a plane perpendicular to the internal film thickness direction and a period of 11 μm. They were arranged in a grid.

この光学的ローパスフィルタを画素数130万のCMOSセンサの撮像センサ部(3.4mm×4.3mm)上に配置し、光学的ローパスフィルタの側面とCMOSセンサ表面とをエポキシ樹脂で接着して、撮像センサを作製した。   This optical low-pass filter is arranged on the imaging sensor part (3.4 mm × 4.3 mm) of a CMOS sensor having 1.3 million pixels, and the side surface of the optical low-pass filter and the surface of the CMOS sensor are bonded with an epoxy resin, An imaging sensor was produced.

上記光学的ローパスフィルタ付きのCMOS撮像素子を組み込んだ小型カメラモジュールを作製した。比較の為、光学的ローパスフィルタの付いていないCMOS撮像素子用いて、小型カメラモジュールを作製した。それぞれのカメラについて、図11に示すサーキュラーゾーンプレートを撮影し、モアレの発生状態を比較検討した。   A small camera module incorporating the CMOS image sensor with the optical low-pass filter was fabricated. For comparison, a small camera module was fabricated using a CMOS image sensor without an optical low-pass filter. For each camera, the circular zone plate shown in FIG. 11 was photographed, and the state of occurrence of moire was compared and examined.

図14に示すように、光学的ローパスフィルタのないCMOS撮像素子を用いた小型カメラの画像と、図15に示す光学的ローパスフィルタ付きのCMOS撮像素子を組み込んだ小型カメラの撮影画像ではモアレが低減し(Viで図示した部分)、光学的ローパスフィルタ1による機能が発現していることが確認できる。   As shown in FIG. 14, moiré is reduced between the image of a small camera using a CMOS image sensor without an optical low-pass filter and the photographed image of a small camera incorporating a CMOS image sensor with an optical low-pass filter shown in FIG. However, it can be confirmed that the function of the optical low-pass filter 1 is manifested (portion shown by Vi).

1:光学的ローパスフィルタ
2:撮像光学系
4:固体撮像素子
6:ギャップ層
12:マトリックス
14:柱状構造体
1: Optical low-pass filter 2: Imaging optical system 4: Solid-state imaging device 6: Gap layer 12: Matrix 14: Columnar structure

Claims (3)

光重合性組成物を光重合して得られた光学的ローパスフィルタであって、
マトリックスと、
前記マトリックス内で一方向に配列された多数の柱状構造体とを備え、
該柱状構造体が、前記マトリックスと異なる屈折率を有し、前記配向方向に直交する面内において格子状に配列され、
80nmないし1000μmのオーダーで周期的に屈折率が変化する規則性の高い構造を有する、
ことを特徴とする光学的ローパスフィルタ。
An optical low-pass filter obtained by photopolymerizing a photopolymerizable composition,
Matrix,
A number of columnar structures arranged in one direction within the matrix;
The columnar structures have a refractive index different from that of the matrix, and are arranged in a lattice shape in a plane orthogonal to the orientation direction;
Having a highly regular structure in which the refractive index changes periodically in the order of 80 nm to 1000 μm,
An optical low-pass filter characterized by that.
請求項1に記載の光学的ローパスフィルタが、固体撮像素子の受光面にギャップ層を介して配置されていることを特徴とする撮像光学系。   An imaging optical system, wherein the optical low-pass filter according to claim 1 is disposed on a light receiving surface of a solid-state imaging device via a gap layer. 光学的ローパスフィルタの製造方法であって、
固体撮像素子の受光面にギャップ層を構成する透明樹脂を配置するステップと、
前記透明樹脂上に2官能以上の多官能モノマーあるいはオリゴマーと光重合開始剤とを含有する光重合性組成物を配置するステップと、
前記光重合性組成物に平行光を照射し、該光重合性組成物を重合硬化させ、マトリックスと該マトリックス内で一方向に配向され規則的に配列された多数の柱状構造体とを備えた光学的ローパスフィルタを前記ギャップ層上に形成するステップと、を備えている、
ことを特徴とする光学的ローパスフィルタの製造方法。
A method for manufacturing an optical low-pass filter, comprising:
Arranging a transparent resin constituting the gap layer on the light receiving surface of the solid-state imaging device;
Disposing a photopolymerizable composition containing a bifunctional or higher polyfunctional monomer or oligomer and a photopolymerization initiator on the transparent resin;
The photopolymerizable composition was irradiated with parallel light, the photopolymerizable composition was polymerized and cured, and provided with a matrix and a number of columnar structures that were oriented in one direction and regularly arranged in the matrix. Forming an optical low-pass filter on the gap layer.
An optical low-pass filter manufacturing method characterized by the above.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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TWI485117B (en) * 2012-08-16 2015-05-21 Hewlett Packard Development Co A structure having diagonal openings in photodefinable glass and method for making the same
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