JP2011245778A - Liquid droplet discharging apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液滴吐出装置に関する。 The present invention relates to a droplet discharge device.
ワークに向けて液滴を吐出させ、ワーク上に機能液を塗布する液滴吐出装置は、例えば、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させるヘッド移動手段と、ワークを副走査方向に移動させるワーク移動手段等を備えている。このような液滴吐出装置では、ワークの搬送量のばらつきに起因する白スジ等の発生を低減させるため、ワークの搬送精度を向上させる必要がある。そこで、液滴吐出ヘッドのノズル孔からワークに向けて液滴を吐出して、ワーク上に所定のマークを形成するマーク記録手段と、ワーク上に形成されたマークを検出するマーク検出手段と、を備え、マーク検出手段が検出したマークの位置をワークの移動量としてワークを移動させるものが知られている(例えば、特許文献1参照)。 A droplet discharge device that discharges droplets toward a workpiece and applies a functional liquid onto the workpiece includes, for example, a droplet discharge head that discharges the functional liquid as droplets, and moves the droplet discharge head in the main scanning direction. A head moving means for moving the work, a work moving means for moving the work in the sub-scanning direction, and the like. In such a droplet discharge device, it is necessary to improve the workpiece conveyance accuracy in order to reduce the occurrence of white streaks due to variations in the workpiece conveyance amount. Therefore, a mark recording unit that discharges a droplet from the nozzle hole of the droplet discharge head toward the workpiece to form a predetermined mark on the workpiece, a mark detection unit that detects a mark formed on the workpiece, And the workpiece is moved using the position of the mark detected by the mark detection means as the amount of movement of the workpiece (for example, see Patent Document 1).
しかしながら、上記の液滴吐出装置では、ワークの搬送量の基準となるマークが、一つのノズル孔から吐出された液滴によって形成される。換言すれば、同一のノズル孔を用いて基準マークが形成される。このため、マークの位置が、液滴が吐出されるノズル孔の液滴吐出特性等、例えば、飛行曲がり等の発生によって、ワーク上における液滴の着弾位置がばらつき、これにより、マークの位置がばらつき、ワークの搬送精度が低下してしまう、という課題があった。 However, in the above-described droplet discharge device, a mark serving as a reference for the amount of workpiece transport is formed by droplets discharged from one nozzle hole. In other words, the reference mark is formed using the same nozzle hole. For this reason, the landing position of the droplets on the workpiece varies due to the occurrence of, for example, flying bends, etc., such as the droplet discharge characteristics of the nozzle holes from which the droplets are discharged. There was a problem that the dispersion and the workpiece conveyance accuracy were lowered.
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.
[適用例1]本適用例にかかる液滴吐出装置は、複数のノズル孔を有する液滴吐出ヘッドと、検出部と、ワークを搬送させるワーク搬送部と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記液滴吐出ヘッドの前記複数のノズル孔のうち、互いに異なるノズル孔から液滴を吐出させ、前記ワーク上にアライメントマークを形成し、前記検出部に検出させた前記アライメントマークの検出位置に基づいて、前記ワーク搬送部に前記ワークを搬送させることを特徴とする。 Application Example 1 A droplet discharge apparatus according to this application example includes a droplet discharge head having a plurality of nozzle holes, a detection unit, a workpiece transfer unit that transfers a workpiece, and a control unit, and the control The unit discharges droplets from different nozzle holes of the plurality of nozzle holes of the droplet discharge head, forms an alignment mark on the workpiece, and detects the alignment mark detected by the detection unit The workpiece is conveyed to the workpiece conveyance unit based on the position.
この構成によれば、互いに異なるノズル孔から吐出された液滴により、ワーク上にアライメントマークが形成される。つまり、一つのアライメントマークが、複数のノズル孔を用いて形成される。このため、各ノズル孔から吐出される液滴の飛行曲がり等に起因するワークへの着弾位置の誤差が分散(平均化)される。そして、アライメントマークの検出位置に基づいてワークが搬送されるので、ワークの搬送精度を向上させることができる。そして、ワークの搬送精度の向上に伴い、描画解像度を高めることができる。 According to this configuration, the alignment mark is formed on the workpiece by the droplets ejected from different nozzle holes. That is, one alignment mark is formed using a plurality of nozzle holes. For this reason, the error of the landing position on the work caused by the flight bend of the droplet discharged from each nozzle hole is dispersed (averaged). And since a workpiece | work is conveyed based on the detection position of an alignment mark, the conveyance precision of a workpiece | work can be improved. The drawing resolution can be increased with the improvement of the workpiece conveyance accuracy.
[適用例2]上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部は、前記ワークの搬送方向に対して上流側に配置された第1ノズル孔から前記液滴を吐出させて前記ワーク上に第1マークを形成させるとともに、前記第1ノズル孔に対して前記ワークの搬送方向の下流側に配置された第2ノズル孔から前記液滴を吐出させて前記ワーク上に第2マークを形成させつつ、前記ワークの搬送方向に前記ワークを搬送させる過程において、前記第1マークと前記第2マークとで前記アライメントマークを形成させることを特徴とする。 Application Example 2 The control unit of the droplet discharge device according to the application example discharges the droplets from the first nozzle holes arranged on the upstream side with respect to the conveyance direction of the workpiece and causes the droplets onto the workpiece. A first mark is formed and a second mark is formed on the workpiece by discharging the droplets from a second nozzle hole disposed downstream of the first nozzle hole in the conveyance direction of the workpiece. However, in the process of transporting the workpiece in the workpiece transport direction, the alignment mark is formed by the first mark and the second mark.
この構成によれば、アライメントマークが、互いに異なるノズル孔から液滴吐出して形成された第1マークと第2マークとで形成される。このため、各液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出される液滴の飛行曲がり等に起因するワークへの着弾位置の誤差が分散(平均化)される。そして、アライメントマークの検出位置に基づいてワークが搬送されるので、ワークの搬送精度を向上させることができる。 According to this configuration, the alignment mark is formed by the first mark and the second mark formed by discharging droplets from different nozzle holes. For this reason, the error of the landing position on the work caused by the flight bend of the droplet discharged from the nozzle hole of each droplet discharge head is dispersed (averaged). And since a workpiece | work is conveyed based on the detection position of an alignment mark, the conveyance precision of a workpiece | work can be improved.
[適用例3]上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部は、前記アライメントマークにおける前記第1マークと前記第2マークとの比率が半々となるように、前記第1マークと前記第2マークとを形成させることを特徴とする。 Application Example 3 The control unit of the liquid droplet ejection apparatus according to the application example described above is configured so that the ratio between the first mark and the second mark in the alignment mark is halved. Two marks are formed.
この構成によれば、第1マークと第2マークとが、それぞれ略均等に形成されるので、液滴の着弾位置の誤差を平均化させることができる。 According to this configuration, since the first mark and the second mark are formed substantially equally, it is possible to average the error of the landing positions of the droplets.
[適用例4]上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部は、前記ワークの搬送方向に直交する前記ワークの幅方向における前記ワークの両端部に前記アライメントマークを形成させ、前記検出部に検出させた前記両端部に形成された前記アライメントマークの両方の検出位置に基づいて、前記ワーク搬送部に前記ワークを搬送させることを特徴とする。 Application Example 4 The control unit of the liquid droplet ejection apparatus according to the application example described above forms the alignment marks at both ends of the work in the width direction of the work orthogonal to the conveyance direction of the work, and the detection unit The workpiece is transported to the workpiece transport unit based on the detected positions of both of the alignment marks formed at the both ends detected in step (b).
この構成によれば、ワークの両端部にアライメントマークが形成され、当該両方のアライメントマークの検出位置に基づいてワークが搬送されるので、より正確にワークを搬送させることができる。 According to this configuration, the alignment marks are formed at both ends of the workpiece, and the workpiece is conveyed based on the detection positions of both the alignment marks. Therefore, the workpiece can be conveyed more accurately.
[適用例5]上記適用例にかかる液滴吐出装置は、前記検出部の検出結果に基づいて、前記ワークの搬送方向に対する前記ワークのθずれを補正する補正部を備えたことを特徴とする。 Application Example 5 The liquid droplet ejection apparatus according to the application example includes a correction unit that corrects the θ shift of the workpiece with respect to the conveyance direction of the workpiece based on the detection result of the detection unit. .
この構成によれば、ワークのθずれが補正され、さらに、搬送精度を向上させることができる。 According to this configuration, the θ deviation of the workpiece is corrected, and the conveyance accuracy can be further improved.
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮尺を異ならせて図示している。 DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings. In addition, in order to make each member in each drawing into a size that can be recognized on each drawing, the members are illustrated with different scales.
(液滴吐出装置の構成)
まず、液滴吐出装置の構成について説明する。液滴吐出装置は、複数のノズル孔を有する液滴吐出ヘッドと、検出部と、ワークを搬送させるワーク搬送部と、制御部と、を備えている。そして、制御部は、液滴吐出ヘッドの複数のノズル孔のうち、互いに異なるノズル孔から液滴を吐出させ、ワーク上にアライメントマークを形成し、検出部に検出させたアライメントマークの検出位置に基づいて、ワーク搬送部に前記ワークを搬送させる。液滴吐出装置は、さらに、検出部の検出結果に基づいて、ワークの搬送方向に対するワークのθずれを補正する補正部等を備えたものである。
(Configuration of droplet discharge device)
First, the configuration of the droplet discharge device will be described. The droplet discharge device includes a droplet discharge head having a plurality of nozzle holes, a detection unit, a workpiece transfer unit that transfers a workpiece, and a control unit. Then, the control unit discharges droplets from different nozzle holes among the plurality of nozzle holes of the droplet discharge head, forms an alignment mark on the workpiece, and sets the alignment mark at the detection position detected by the detection unit. Based on this, the workpiece is transferred to the workpiece transfer unit. The droplet discharge device further includes a correction unit that corrects the θ shift of the workpiece with respect to the conveyance direction of the workpiece based on the detection result of the detection unit.
以下、具体的な構成について説明する。図1は、液滴吐出装置の構成を示す概略図である。なお、本実施形態では、いわゆるリール・ツー・リール形式で除給材される薄いフィルム状のワークWに対して、例えば、機能液としての紫外線硬化インク(UVインク)を液滴吐出ヘッドにより吐出することにより、所望の画像等を印刷する液滴吐出装置について説明する。また、以下の説明において、ワークWの搬送方向(ワークの長手方向)をX軸方向とし、X軸方向に直交する方向(液滴吐出ヘッドの移動方向)をY軸方向とし、さらにワークWと平行な平面内における回転方向をθ方向とする。 Hereinafter, a specific configuration will be described. FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a droplet discharge device. In the present embodiment, for example, ultraviolet curable ink (UV ink) as a functional liquid is ejected by a droplet ejection head to a thin film-like workpiece W to be supplied and removed in a so-called reel-to-reel format. Thus, a liquid droplet ejection apparatus that prints a desired image or the like will be described. In the following description, the conveyance direction of the workpiece W (longitudinal direction of the workpiece) is the X-axis direction, the direction orthogonal to the X-axis direction (moving direction of the droplet discharge head) is the Y-axis direction, and the workpiece W The direction of rotation in the parallel plane is defined as the θ direction.
図1に示すように、液滴吐出装置1は、機台2と、ロール状に巻かれた長尺のワークWを繰出す繰出し装置3と、印刷済みのワークWを巻取る巻取り装置4と、機台2上に配設され、給材されたワークWを吸着セットするワークステージ5と、ワークステージ5をθ方向に回転させる補正部としてのステージ回転部6と、X軸方向に延在し、ステージ回転部6およびワークステージ5を介してワークWをX軸方向に搬送するX軸テーブル(副走査移動テーブル)7と、X軸テーブル7を跨ぐようにY軸方向に架け渡されたY軸テーブル(主走査移動テーブル)8と、Y軸テーブル8に移動自在に搭載された複数のキャリッジユニット9と、キャリッジユニット9に搭載された液滴吐出ヘッド51を備えている。また、液滴吐出ヘッド51によって形成されたアライメントマークMを検出する検出部12を備えている。そして、これらの装置は、制御部60によって制御されている。
As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 1 includes a machine base 2, a
本実施形態における液滴吐出装置1では、繰出し装置3により繰出されたワークWをワークステージ5で吸着した後、液滴吐出ヘッド51を用いてアライメントマークMを形成させ、当該アライメントマークMを検出部12で検出させ、検出されたアライメントマークMの検出位置に基づいて、X軸テーブル7によりワークWをX軸方向に搬送させる(副走査)とともに、キャリッジユニット9を往復動(主走査)させながら液滴吐出ヘッド51からインクを吐出して印刷処理を行う。また、ワークステージ5の大きさに対応する印刷領域に対して印刷している間、繰出し装置3および巻取り装置4により、ワークWを順次繰出すと共に、順次巻取るようになっている。
In the droplet discharge device 1 according to the present embodiment, after the work W fed by the
その他に、液滴吐出装置1は、液滴吐出ヘッド51からインクを強制的に排出させる吸引ユニット14、および吸引後のノズル面57を払拭するワイピングユニット15からなる保守装置11を備えている。保守装置11は、X軸テーブル7およびY軸テーブル8が交差する印刷領域からY軸方向に外れた保守領域に配設されており、保守領域に臨ませた液滴吐出ヘッド51の保守を行うものである。
In addition, the droplet discharge device 1 includes a
ワークステージ5は、表面(セット面)に吸着孔(図示省略)が複数個形成されており、繰出し装置3から送られてきたワークWを吸着する。ワークステージ5は、ワークWを吸着した状態で、X軸テーブル7により所定の位置までX軸方向(上流側から下流側)に搬送移動される(副走査)。そして、1画像領域分の描画が終了する下流端位置(描画終了位置)に達すると、ワークWの吸着を解除し、且つ送込みローラー23および送出しローラー27のニップ状態を解いた後、X軸テーブル7によって上流端位置(描画開始位置)に復帰移動する。
The
ステージ回転部6は、ワークステージ5を下面から支持すると共に、ワークステージ5をワークWのセット面と平行な面内においてθ方向に微小回転させる。具体的には、アライメントマークMの検出結果に基づいて、ワークステージ5上のワークWが、所定位置に対してθずれを起こしている場合に、ステージ回転部6を駆動させ、ワークステージ5を微小回転調整(θ補正)させる。
The stage rotating unit 6 supports the
X軸テーブル7は、機台2上に配設され、X軸方向に延在する一対のX軸ガイドレール31と、ステージ回転部6を介してワークステージ5をX軸方向にスライド自在に支持するモーター駆動の一対のX軸スライダー32と、を有している。X軸テーブル7は、液滴吐出ヘッド51の往動(あるいは復動)時には停止し、次の復動(あるいは往動)までに、アライメントマークMの検出位置に基づいて、ワークWをX軸方向の下流側に移動させる。すなわち、X軸テーブル7は、液滴吐出ヘッド51の往復動(主走査)と並行して、ワークWを搬送(副走査)させる。なお、副走査移動軸は、一対のX軸ガイドレール31およびX軸スライダー32で構成されている。また、その駆動系は、リニアモーターや、モーターおよびリードねじ機構等で構成することが好ましい。
The X-axis table 7 is disposed on the machine base 2 and supports the
Y軸テーブル8は、機台2をY軸方向に跨ぐように架け渡された門形のベースフレーム33と、ベースフレーム33上に配設され、Y軸方向に延在する一対のY軸ガイドレール34a,34bと、キャリッジユニット9と、キャリッジユニット9をY軸方向にスライド自在に支持するモーター駆動のY軸スライダー36と、を有している。Y軸テーブル8は、各キャリッジユニット9を介して印刷時に液滴吐出ヘッド51をY軸方向に往復動させるほか、液滴吐出ヘッド51を保守装置11に臨ませる。なお、主走査移動軸は、一対のY軸ガイドレール34およびY軸スライダー36で構成されている。この場合も、その駆動系は、リニアモーターや、モーターおよびリードねじ機構等で構成することが好ましい。また、キャリッジユニット9のY軸方向両端部には、一対の紫外線ランプ45が搭載されている。
The Y-axis table 8 includes a gate-shaped
検出部12は、ワークW上に形成されたアライメントマークMを検出するものである。本実施形態では、2つの検出部12a,12bが、一対のY軸ガイドレール34a,34bのうち、ワークWの搬送方向に対して下流側のY軸ガイドレール34bに設けられている。すなわち、液滴吐出ヘッド51よりも下流側に設けられている。さらに、検出部12は、単数、或いは、複数個設けることが可能である。すなわち、検出するアライメントマークMの数に対応させた数の検出部12が設けられている(本実施形態では、アライメントマークMが2つ形成される)。なお、例えば、検出するアライメントマークMの数が2つの場合に、検出部12を1つ設置して、当該検出部12を移動させて、2つのアライメントマークMを検出させる構成であってもよい。また、2つのアライメントマークM間の距離に応じて、或いは、ワークWの幅に応じて検出部12のY方向位置を調整する検出部位置調整機構を設けてもよい。これによれば、アライメントマークM間の距離、或いは、ワークWの幅に関わらず、アライメントマークMを検出することができる。よって、アライメントマークM間の距離やワークWの幅に関わらず、ワークの搬送精度を向上させることができる。また、ワークWの幅が可変する場合であっても、検出部12に適宜移動手段を設けることにより上記同様に対応することができる。
The detection unit 12 detects the alignment mark M formed on the workpiece W. In the present embodiment, the two
次に、液滴吐出ヘッドの構成について説明する。図2は、液滴吐出ヘッドの構成を示す概略図である。液滴吐出ヘッド51は、ワークWに向けてインクを液滴として吐出し、ワークW上に画像を形成したり、アライメントマークMを形成するものである。図2に示すように、キャリッジユニット9には、ヘッドユニット50が構成されている。そして、ヘッドユニット50は、複数個の液滴吐出ヘッド51で構成されている。本実施形態のヘッドユニットでは、9個の液滴吐出ヘッド51で構成されている。
Next, the configuration of the droplet discharge head will be described. FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of the droplet discharge head. The
本実施形態の液滴吐出ヘッド51は、多数のノズル孔56を有するノズル面57を有している。そして、各ノズル孔56に対応して設けられたキャビティ(図示せず)と、各キャビティに対応して設けられた圧電素子(図示せず)と、を備えている。そして、圧電素子に電圧が印加され、キャビティの容積が減少した際、ポンプ作用により、ノズル孔56から液滴(インク滴)が吐出される。なお、各液滴吐出ヘッド51には任意の色が異なるインクが導入されるため、各液滴吐出ヘッド51から異なる色のインクを吐出することができる。
The
本実施形態におけるインクは、いわゆる紫外線硬化インクであり、紫外線ランプ45から照射された紫外線によって紫外線硬化インクを硬化・定着させることができる。紫外線ランプ45は、例えば、LEDなどで構成されている。なお、一対の紫外線ランプ45を、液滴吐出ヘッド51の往復動(主走査)に対応して交互に点灯してもよい。すなわち、往動時には、液滴吐出ヘッド51を後追いする側の一方の紫外線ランプ45を点灯し、復動時には、液滴吐出ヘッド51を後追いする側の他方の紫外線ランプ45を点灯してもよい。
The ink in this embodiment is a so-called ultraviolet curable ink, and the ultraviolet curable ink can be cured and fixed by the ultraviolet rays irradiated from the
次に、液滴吐出装置の制御方法について説明する。図3は、液滴吐出装置の制御方法を示すフローチャートである。また、図4及び図5は、アライメントマークの形成方法及びワークの搬送方法を示す説明図である。 Next, a method for controlling the droplet discharge device will be described. FIG. 3 is a flowchart showing a method for controlling the droplet discharge device. FIGS. 4 and 5 are explanatory views showing a method for forming an alignment mark and a method for conveying a workpiece.
まず、ステップS1では、ワークステージ5上にワークWを給材させるとともに、ワークWを吸着させる。具体的には、繰出し装置3および巻取り装置4を駆動させ、ワークWを順次繰り出させるとともに、ワークステージ5の吸着機構を駆動させ、ワークステージ5上にワークWを吸着させる。
First, in step S1, the work W is fed onto the
次に、ステップS2では、図4(a)に示すように、キャリッジユニット9を主走査方向に移動させ、液滴吐出ヘッド51に設けられた複数のノズル孔56のうち、ワークWの搬送方向(X軸方向)に対して上流側に配置された第1ノズル孔56aから液滴を吐出させてワークW上に第1マークMa1を形成させるとともに、第1ノズル孔56aに対してワークWの搬送方向の下流側に配置された第2ノズル孔56bから液滴を吐出させてワークW上に第2マークMb1を形成させる。この場合、ワークWの搬送方向に直交するワークWの幅方向におけるワークWの両端部近傍に第1及び第2マークMa1,Mb1を形成させる。この際の第1及び第2マークMa1,Mb1の形状は、特に限定されず、例えば、図6(a)に示すように、液滴吐出ヘッド51の主走査方向に沿った略直線状の第1マークMa1が形成される。また、同様に、図6(b)に示すように、液滴吐出ヘッド51の主走査方向に沿った略直線状の第2マークMb1が形成される。
Next, in step S2, as shown in FIG. 4A, the
次に、ステップS3では、ワークWを吸着させたワークステージ5を搬送方向(X軸方向)に移動させ、検出部12によって第2マークMb1を検出させる。そして、検出部12による第2マークMb1の検出結果に基づいて、所定の位置までワークWを副走査方向(X方向)に搬送(移動)させる。例えば、図4(b)に示すように、検出された第2マークMb1の中心位置を基準として、ワークWを移動させる。すなわち、本実施形態の本ステップS3では、第1ノズル孔56aと第2ノズル孔56bとのピッチ間の長さ分を搬送方向に移動させることになる。従って、第1マークMa1は、第2ノズル孔56bの走査上付近に移動される。なお、本ステップS3の直後では、ワークW上に描画を行わない。なぜならば、第2マークMb1は、第2ノズル孔56bのみから形成されたものである。このため、第2マークMb1を基準位置としてワークWを搬送した場合、第2ノズル孔56bから吐出された液滴の飛行曲がり等に起因して、ワークWの搬送位置精度が低下しているおそれがある。従って、ワークWに描画した場合には、白スジやスジむら等が発生してしまう、という問題が生じるからである。
Next, in step S3, the
次に、ステップS4では、アライメントマークMを形成させる。具体的には、図4(c)に示すように、液滴吐出ヘッド51に設けられた複数のノズル孔56のうち、ワークWの搬送方向(X軸方向)に対して上流側に配置された第1ノズル孔56aから液滴を吐出させてワークW上に第1マークMa2を形成させるとともに、第1ノズル孔56aに対してワークWの搬送方向の下流側に配置された第2ノズル孔56bから液滴を吐出させてワークW上に第2マークMb2を形成させる。そうすると、ステップS3で説明したように、先に形成された第1マークMa1が、第2ノズル孔56bの走査付近に移動されているので、第1マークMa1上に第2マークMb2が形成され、図6(c)に示すように、第1マークMa1と第2マークMb2とでアライメントマークM1が形成される。このように、アライメントマークM1は、互いに異なるノズル孔56、すなわち、本実施形態では、第1ノズル孔56aと第2ノズル孔56bのそれぞれからから吐出された液滴によって形成される。なお、アライメントマークM1における第1マークMa1と第2マークMb2との比率が半々となるように、第1マークMa1と第2マークMb2とが形成される。そして、先と同様に、ワークWの搬送方向に直交するワークWの幅方向におけるワークWの両端部近傍にアライメントマークM1を形成させる。
Next, in step S4, an alignment mark M is formed. Specifically, as shown in FIG. 4C, the plurality of nozzle holes 56 provided in the
次に、ステップS5では、検出部12を用いて、ワークW上の両端部に形成されたアライメントマークM1を検出させ、両方のアライメントマークM1の検出位置に基づいて、ワークWを搬送させる。すなわち、各ノズル孔(第1及び第2ノズル孔56a,56b)に起因する液滴の着弾位置ずれ誤差が分散化(平均化)されたアライメントマークM1が検出される。具体的には、図4(d)に示すように、X軸テーブル7を駆動させ、ワークステージ5上のワークWを副走査方向に移動させる。この場合、検出部12によってアライメントマークM1の中心点が検出され、アライメントマークM1の中心点を基準位置としワークWを移動させる。
Next, in step S5, the detection unit 12 is used to detect the alignment marks M1 formed on both ends of the work W, and the work W is transported based on the detection positions of both alignment marks M1. That is, the alignment mark M1 in which the landing position deviation errors of the droplets caused by the respective nozzle holes (first and
なお、ステップS5において、アライメントマークM1の中心点を検出する検出部12a,12bの両方を用いて検出させることになるが、いずれか一方のアライメントマークM1の検出位置が所定位置から外れてしまう場合がある。この場合、ワークWの位置がθ方向にずれている可能性が高い。そこで、ステップS6では、ワークWのθ補正が必要か否かを判断させる。θ補正が必要な場合(YES)には、ステップS7に移行し、θ補正が不要な場合(NO)には、ステップS8に移行する。
In step S5, detection is performed using both of the
ステップS7では、ワークWのθ補正を行う。具体的には、図5(e)に示すように、ステージ回転部6を所定のθ方向に駆動させることにより、ワークステージ5が回転され、ワークステージ5上にセットされているワークWのθ方向における位置ずれ補正が行われる。そして、両方のアライメントマークM1が所定の位置に達したら終了する。
In step S7, θ correction of the workpiece W is performed. Specifically, as shown in FIG. 5E, the
ステップS8では、ワークW上に画像Pを形成させるとともに、新たに、第1及び第2マークMa3,Mb3を形成させる。具体的には、図5(f)に示すように、キャリッジユニット9及び液滴吐出ヘッド51を駆動させ、ワークWに向けて液滴を吐出させることにより、ワークW上に画像Pを形成させる。さらに、ワークWの搬送方向に対して上流側に配置された第1ノズル孔56aから液滴を吐出させてワークW上に第1マークMa3を形成させるとともに、第1ノズル孔56aに対してワークWの搬送方向の下流側に配置された第2ノズル孔56bから液滴を吐出させてワークW上に第2マークMb3を形成させる。そうすると、先に形成された第1マークMa2と第2マークMb3とでアライメントマークM2が形成される。すなわち、アライメントマークM2は、互いに異なる第1ノズル孔56aと第2ノズル孔56bから吐出された液滴によって形成される。ここで、アライメントマークM2は、画像Pを挟んで対向して配置されてもよい。
In step S8, the image P is formed on the workpiece W, and the first and second marks Ma3 and Mb3 are newly formed. Specifically, as shown in FIG. 5F, the
ステップS9では、描画を終了するか否かを判断させる。描画を終了させる場合(YES)の場合には、液滴吐出装置1の駆動が終了し、描画を終了させず、描画を続行させる場合(NO)の場合には、ステップS10に移行する。 In step S9, it is determined whether or not to end drawing. If the drawing is to be ended (YES), the driving of the droplet discharge device 1 is ended. If the drawing is not ended and the drawing is continued (NO), the process proceeds to step S10.
ステップS10では、ワークステージ5からワークWの吸着を解除させる。そして、ワークステージ5を所定の位置まで移動させる。次いで、ステップS1に移行する。
In step S10, the suction of the workpiece W from the
従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。 Therefore, according to the above embodiment, the following effects can be obtained.
(1)互いに異なる第1及び第2ノズル孔56a,56bから液滴を吐出させ、アライメントマークMを形成した。すなわち、複数のノズル孔56を用いて一つのアライメントマークMを形成することにより、各ノズル孔56から吐出される液滴の飛行曲がり等に起因するワークWへの着弾位置の誤差が分散化される。そして、アライメントマークMの形成位置を検出させ、検出結果に基づいてワークWが搬送されるので、ワークWの搬送精度を向上させることができる。
(1) Droplets were ejected from different first and
(2)ワークWの幅方向(液滴吐出ヘッド51の主走査方向)の両端部にアライメントマークMを形成させ、両アライメントマークMを検出させ、必要に応じてワークWのθずれを補正した。これにより、さらに、精度良くワークWを搬送させることができる。 (2) Alignment marks M are formed at both ends in the width direction of the workpiece W (main scanning direction of the droplet discharge head 51), both alignment marks M are detected, and θ shift of the workpiece W is corrected as necessary. . Thereby, the workpiece | work W can be conveyed further accurately.
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。 In addition, it is not limited to said embodiment, The following modifications are mentioned.
(変形例1)上記実施形態では、1個の第1ノズル孔56aから液滴を吐出させて第1マークMa1を形成し、1個の第2ノズル孔56bから液滴を吐出させて第2マークMb1を形成したが、これに限定されない。複数のノズル孔56(所定のノズル群)を用いて第1マークMa1または第2マークMb1を形成してもよい。換言すれば、複数のノズル孔56から液滴を吐出させて第1マークMa1を形成し、複数のノズル孔56から液滴を吐出させて第2マークMb1を形成してもよい。このようにすれば、さらに、各ノズル孔に起因する液滴の着弾位置ずれ誤差が平均化され、ワークWの搬送精度を向上させることができる。
(Modification 1) In the above embodiment, the first mark Ma1 is formed by ejecting droplets from one
(変形例2)上記実施形態では、一つの液滴吐出ヘッド51を用いてアライメントマークMを形成したが、これに限定されない。例えば、互いに異なる液滴吐出ヘッド51のノズル孔56から液滴を吐出して、ワークW上にアライメントマークMを形成してもよい。このようにしても、アライメントマークMが互いに異なるノズル孔56から吐出される液滴によって形成されるので、上記同様、ワークWの搬送精度を向上させることができる。
(Modification 2) In the above embodiment, the alignment mark M is formed by using one
(変形例3)上記実施形態では、アライメントマークM1は、主走査方向に略平行(副走査方向に略垂直)に直線形状を有したが、これに限定されず、例えば、図7(a)に示すように、主走査方向に略垂直(副走査方向に略平行)に直線形状であってもよい。また、図7(b)に示すように、十字型の形状であってもよい。さらには、図7(c)に示すように、円形状であってもよい。この例では、アライメントマークM1が、第1マークMa1と第2マークMb1とをそれぞれ形成するドットが互いに入り交じって形成される。また、この場合、第1マークMa1と第2マークMb1との比率は略50%ずつである。このようにすれば、第1マークMa1と第2マークMb1とが、それぞれ略均等に形成されるため、液滴の着弾位置の誤差を平均化させることができる。 (Modification 3) In the above embodiment, the alignment mark M1 has a linear shape substantially parallel to the main scanning direction (substantially perpendicular to the sub-scanning direction). However, the present invention is not limited to this. For example, FIG. As shown in FIG. 4, it may have a linear shape substantially perpendicular to the main scanning direction (substantially parallel to the sub-scanning direction). Moreover, as shown in FIG.7 (b), a cross-shaped shape may be sufficient. Furthermore, as shown in FIG.7 (c), circular shape may be sufficient. In this example, the alignment mark M1 is formed by interlacing dots that respectively form the first mark Ma1 and the second mark Mb1. In this case, the ratio between the first mark Ma1 and the second mark Mb1 is approximately 50%. In this way, since the first mark Ma1 and the second mark Mb1 are formed substantially equally, it is possible to average the error of the landing positions of the droplets.
(変形例4)上記実施形態では、同じ色のインクによって第1マークMa1と第2マークMb2とを形成したが、異なる色のインクによって第1マークMa1と第2マークMb2とを形成してもよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。 (Modification 4) In the above embodiment, the first mark Ma1 and the second mark Mb2 are formed with the same color ink, but the first mark Ma1 and the second mark Mb2 may be formed with different color inks. Good. Even if it does in this way, the same effect as the above can be acquired.
(変形例5)上記実施形態の液滴吐出装置の制御方法では、図3に示したようにステップS10の後ステップS1に移行したが、ステップS10の後ステップS5に移行してもよい。ここで、ステップS10の後のワークWの位置補正は、ステップS8までに既に形成したアライメントマークM1又はM2を用いておこなってもよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。 (Modification 5) In the method for controlling the droplet discharge device of the above embodiment, the process proceeds to step S1 after step S10 as shown in FIG. 3, but may proceed to step S5 after step S10. Here, the position correction of the workpiece W after step S10 may be performed using the alignment mark M1 or M2 already formed up to step S8. Even if it does in this way, the same effect as the above can be acquired.
1…液滴吐出装置、5…ワークステージ、6…ステージ回転部、7…X軸テーブル、8…Y軸テーブル、9…キャリッジユニット、12…検出部、51…液滴吐出ヘッド、56…各ノズル孔、56a…第1ノズル孔、56b…第2ノズル孔、60…制御部。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge device, 5 ... Work stage, 6 ... Stage rotation part, 7 ... X-axis table, 8 ... Y-axis table, 9 ... Carriage unit, 12 ... Detection part, 51 ... Droplet discharge head, 56 ... Each Nozzle hole, 56a ... 1st nozzle hole, 56b ... 2nd nozzle hole, 60 ... Control part.
Claims (5)
検出部と、
ワークを搬送させるワーク搬送部と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記液滴吐出ヘッドの前記複数のノズル孔のうち、互いに異なるノズル孔から液滴を吐出させ、前記ワーク上にアライメントマークを形成し、前記検出部に検出させた前記アライメントマークの検出位置に基づいて、前記ワーク搬送部に前記ワークを搬送させることを特徴とする液滴吐出装置。 A droplet discharge head having a plurality of nozzle holes;
A detection unit;
A workpiece transfer section for transferring workpieces;
A control unit,
The controller is
Based on the detected position of the alignment mark detected by the detection unit, the droplet is discharged from different nozzle holes among the plurality of nozzle holes of the droplet discharge head, an alignment mark is formed on the workpiece. A droplet discharge device that transports the work to the work transport unit.
前記制御部は、
前記ワークの搬送方向に対して上流側に配置された第1ノズル孔から前記液滴を吐出させて前記ワーク上に第1マークを形成させるとともに、前記第1ノズル孔に対して前記ワークの搬送方向の下流側に配置された第2ノズル孔から前記液滴を吐出させて前記ワーク上に第2マークを形成させつつ、前記ワークの搬送方向に前記ワークを搬送させる過程において、前記第1マークと前記第2マークとで前記アライメントマークを形成させることを特徴とする液滴吐出装置。 The droplet discharge device according to claim 1,
The controller is
The liquid droplets are ejected from a first nozzle hole arranged on the upstream side with respect to the workpiece conveying direction to form a first mark on the workpiece, and the workpiece is conveyed to the first nozzle hole. In the process of transporting the workpiece in the workpiece transport direction while discharging the droplets from the second nozzle holes arranged on the downstream side in the direction to form the second mark on the workpiece, the first mark And the second mark to form the alignment mark.
前記制御部は、
前記アライメントマークにおける前記第1マークと前記第2マークとの比率が半々となるように、前記第1マークと前記第2マークとを形成させることを特徴とする液滴吐出装置。 The droplet discharge device according to claim 2,
The controller is
The liquid droplet ejection apparatus, wherein the first mark and the second mark are formed so that a ratio of the first mark to the second mark in the alignment mark is halved.
前記制御部は、
前記ワークの搬送方向に直交する前記ワークの幅方向における前記ワークの両端部に前記アライメントマークを形成させ、前記検出部に検出させた前記両端部に形成された前記アライメントマークの両方の検出位置に基づいて、前記ワーク搬送部に前記ワークを搬送させることを特徴とする液滴吐出装置。 In the droplet discharge device according to any one of claims 1 to 3,
The controller is
The alignment marks are formed at both ends of the workpiece in the width direction of the workpiece orthogonal to the workpiece conveyance direction, and the detection positions of both of the alignment marks formed at the both ends detected by the detection unit are detected. The droplet discharge device, wherein the workpiece is transferred to the workpiece transfer unit.
前記検出部の検出結果に基づいて、前記ワークの搬送方向に対する前記ワークのθずれを補正する補正部を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 In the liquid droplet ejection apparatus according to any one of claims 1 to 4,
A droplet discharge apparatus comprising: a correction unit that corrects a θ shift of the workpiece with respect to a conveyance direction of the workpiece based on a detection result of the detection unit.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010122404A JP2011245778A (en) | 2010-05-28 | 2010-05-28 | Liquid droplet discharging apparatus |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20180102489A (en) * | 2017-03-07 | 2018-09-17 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | Droplet ejecting apparatus, droplet ejecting method, and computer storage medium |
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2010
- 2010-05-28 JP JP2010122404A patent/JP2011245778A/en not_active Withdrawn
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KR20180102489A (en) * | 2017-03-07 | 2018-09-17 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | Droplet ejecting apparatus, droplet ejecting method, and computer storage medium |
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