JP2011238653A - Method for manufacturing magnetic core and inductor having the same manufactured thereby - Google Patents

Method for manufacturing magnetic core and inductor having the same manufactured thereby Download PDF

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Fumiaki Nakao
文昭 中尾
Yuji Goto
裕二 後藤
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a magnetic core, in which low inductance, low resistance and an ultra low profile of 1 mm or less can be realized; and an inductor having the magnetic core manufactured thereby.SOLUTION: Green sheets 2 to 4 of upper, middle and lower layers including magnetic powder and organic binder are formed. On the green sheet 4 of the middle layer, a plurality of linear grooves spaced at an interval therebetween are then formed to be filled with a different material layer 5 made of a material different from a magnetic material. These three layers are then laminated and bonded by thermocompression to form a green sheet laminated body 7. Thereafter, the green sheet laminated body 7 is separated at positions between the different material layers 5 in the green sheet 4 of the middle layer. A resultant belt-shaped green sheet laminated body 7a is then baked and the different material layer 5 therein is removed. Consequently, a through-hole is formed instead at a position where the different material layer is formed, thus providing a magnetic core having the through-hole.

Description

本発明は、平板状の導体を挿入するための貫通孔を備えた磁性体コアの製造方法およびこれによって得られた磁性体コアを用いたインダクタに関するものである。   The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic core having a through hole for inserting a flat conductor, and an inductor using the magnetic core obtained thereby.

一般に、各種の電気機器類の電源基板等には、電圧の安定化やノイズ除去を目的としたインダクタが組み込まれている。
このインダクタは、例えば下記特許文献1に見られるような、平角銅線からなるコイルの両面に、磁性体からなる一対のE型コアを対向配置して、当該E型コアの磁心を上記コイルの中心部に挿入することによって構成されたものである。
Generally, an inductor for the purpose of voltage stabilization and noise removal is incorporated in a power supply board or the like of various electric devices.
For example, this inductor includes a pair of E-shaped cores made of a magnetic material facing each other on both sides of a coil made of a flat copper wire as shown in Patent Document 1, and the magnetic core of the E-shaped core is placed on the coil. It is configured by being inserted into the central part.

ところで、現在モバイルパソコンにおいては、主として消費電力の低減するために、CPUの低電圧と、これによる30〜40Aといった大電流化が進んでいる。そして、これに伴い、電源基板に組み込まれるDC−DCコンバータ用のパワーインダクタに対しても、電気抵抗が小さく、かつインダクタンスが小さいことが要求されている。   By the way, in the mobile personal computer, in order to reduce power consumption mainly, a low voltage of the CPU and a large current of 30 to 40 A due to the low voltage are progressing. Along with this, a power inductor for a DC-DC converter incorporated in a power supply board is also required to have a small electrical resistance and a small inductance.

しかしながら、上述したコイルを用いたインダクタでは、インダクタンス調整の必要性から、必然的に銅線の全長が長くなるために、直流抵抗を低減することが難しいという問題点がある。
そこで、上記コイルの素材として銀を用い、積層インダクタとして小型化を図ったインダクタも提案されているが、部品価格の高騰化を招き、現実的には使用することが難しいという問題点がある。
However, in the inductor using the coil described above, there is a problem that it is difficult to reduce the DC resistance because the total length of the copper wire is inevitably increased due to the necessity of inductance adjustment.
Thus, an inductor that uses silver as a material for the coil and is downsized as a multilayer inductor has been proposed. However, there is a problem that the price of parts rises and it is practically difficult to use.

これに対して、下記特許文献2においては、板状の平角銅線を、長手方向の両端が露出するように、断面U字状の磁性コアと、平板状の磁性コアとの間に組み込んだインダクタが提案されている。
このようなインダクタによれば、導体として板状の平角銅線を用いているために、電気抵抗の一層の低減と小型化を図ることができるという利点がある。
On the other hand, in the following Patent Document 2, a plate-shaped rectangular copper wire is incorporated between a U-shaped magnetic core and a flat magnetic core so that both ends in the longitudinal direction are exposed. Inductors have been proposed.
According to such an inductor, since a plate-like rectangular copper wire is used as a conductor, there is an advantage that the electric resistance can be further reduced and the size can be reduced.

特開平9−232155号公報JP-A-9-232155 特開2000−164431号公報JP 2000-164431 A

ところが近年、この種のモバイルパソコンの電源基板に組み込まれるDC−DCコンバータ用のパワーインダクタにおいては、上述した低電気抵抗とともに、全体の厚さ寸法を1mm以下にするといった超低背も要求されつつある。
これに対して、小型化が図れるとする上記従来のインダクタにあっても、全体の厚さ寸法が5.5mm程度であり、また一般的に、切削加工によって磁性コアを形成する場合には、その厚さ寸法を1mm以下にすることが困難であることから、当該要請に応えるための一層の技術開発が望まれている。
However, in recent years, power inductors for DC-DC converters incorporated in the power board of this type of mobile personal computer are required to have an ultra-low profile such as a total thickness of 1 mm or less in addition to the low electrical resistance described above. is there.
On the other hand, even in the above-described conventional inductor that can be miniaturized, the overall thickness dimension is about 5.5 mm, and generally when a magnetic core is formed by cutting, Since it is difficult to make the thickness dimension 1 mm or less, further technical development to meet the demand is desired.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、インダクタンスおよび電気抵抗が小さく、かつ1mm以下といった超低背を実現することができ、さらにはSMT化やアレイ化にも容易に対応することができる磁性体コアの製造方法およびこれによって得られた磁性体コアを有するインダクタを提供することを課題とするものである。   The present invention has been made in view of the above circumstances, has a small inductance and electrical resistance, can realize an ultra-low profile of 1 mm or less, and can easily cope with SMT and array. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a magnetic core that can be manufactured and an inductor having a magnetic core obtained by the method.

上記課題を解決するため、請求項1に記載の磁性体コアの製造方法は、磁性体粉末と有機バインダとを含む上部層および下部層のグリーンシートと、磁性体粉末と有機バインダとを含む少なくとも2本の帯状の磁性体層および上記磁性体粉末とは異なる材質からなる少なくとも1本の帯状の異材質層とが水平方向に交互に形成された中間層のグリーンシートを形成し、次いで、上記上部層、中間層および下部層のグリーンシートを積層して熱圧着により接着することによりグリーンシート積層体を成形した後に、このグリーンシート積層体を、上記中間層のグリーンシートにおける上記異材質層を間に挟んだ位置において上記磁性体層をその延在方向に沿って切断し、これにより得られた帯状の上記グリーンシート積層体を焼成するとともに、当該グリーンシート積層体の上記焼成前、焼成時または焼成後に、上記異材質層を除去することにより、最終的に上記異材質層の形成位置に貫通孔が形成された磁性体コアを得ることを特徴とするものである。   In order to solve the above-described problem, the method for manufacturing a magnetic core according to claim 1 includes at least an upper layer and a lower layer green sheet including magnetic powder and an organic binder, and at least including magnetic powder and an organic binder. Forming a green sheet of an intermediate layer in which two belt-like magnetic layers and at least one belt-like different material layer made of a material different from the magnetic powder are alternately formed in the horizontal direction; After forming the green sheet laminate by laminating the green sheets of the upper layer, the intermediate layer and the lower layer and bonding them by thermocompression bonding, the green sheet laminate is bonded to the different material layer in the green sheet of the intermediate layer. The magnetic material layer is cut along the extending direction at a position sandwiched between them, and the obtained belt-shaped green sheet laminate is fired. By removing the dissimilar material layer before, during or after the firing of the green sheet laminate, it is finally possible to obtain a magnetic core having a through-hole formed at the position where the dissimilar material layer is formed. It is a feature.

ここで、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、上記グリーンシート積層体を、上記中間層のグリーンシートにおける1本の上記異材質層を間に挟んだ位置において切断することを特徴とするものである。   The invention according to claim 2 is the invention according to claim 1, wherein the green sheet laminate is cut at a position where one of the different material layers in the green sheet of the intermediate layer is sandwiched. It is characterized by doing.

これに対して、請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、上記グリーンシート積層体を、上記中間層のグリーンシートにおける2本の上記異材質層を間に挟んだ位置において切断することを特徴とするものである。   On the other hand, the invention according to claim 3 is the position of the invention according to claim 1, wherein the green sheet laminate is sandwiched between the two different material layers in the green sheet of the intermediate layer. It cut | disconnects in, It is characterized by the above-mentioned.

また、請求項4に記載の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、上記中間層のグリーンシートにおける上記異材質層に、上記上部層および下部層のグリーンシートに含まれる上記磁性体粉末と透磁率が異なる磁性体粉末が含まれていることを特徴とするものである。   The invention according to claim 4 is included in the green sheet of the upper layer and the lower layer in the different material layer in the green sheet of the intermediate layer in the invention of any one of claims 1 to 3. A magnetic powder having a magnetic permeability different from that of the magnetic powder is included.

さらに、請求項5に記載の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の発明において、上記異材質層として水溶性材質を用い、上記グリーンシート積層体を焼成する前に、当該グリーンシート積層体を超音波洗浄して、上記異材質層を除去することを特徴とするものである。   Furthermore, the invention according to claim 5 is the invention according to any one of claims 1 to 4, wherein a water-soluble material is used as the foreign material layer, and the green sheet laminate is fired before the green sheet laminate is fired. The laminated body is ultrasonically cleaned to remove the foreign material layer.

一方、請求項6に記載の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の発明において、上記異材質層として上記有機バインダを用い、上記グリーンシート積層体の焼成時に、上記異材質層を除去することを特徴とするものである。   On the other hand, the invention according to claim 6 is the invention according to any one of claims 1 to 4, wherein the organic binder is used as the dissimilar material layer, and the dissimilar material layer is formed at the time of firing the green sheet laminate. It is characterized by removing.

他方、請求項7に記載の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の発明において、上記異材質層として上記有機バインダと粉体との混合物を用い、上記グリーンシート積層体を焼成した後に、残留した上記粉体を除去することを特徴とするものである。   On the other hand, the invention according to claim 7 is the invention according to any one of claims 1 to 4, wherein the green sheet laminate is fired using a mixture of the organic binder and powder as the foreign material layer. Thereafter, the residual powder is removed.

次いで、請求項8に記載のインダクタは、請求項1ないし7のいずれかに記載の磁性体コアの製造方法によって得られた磁性体コアの貫通孔に、銅製の平帯板が導体として挿入されてなることを特徴とするものである。   Next, the inductor according to claim 8 is configured such that a flat plate made of copper is inserted as a conductor into the through hole of the magnetic core obtained by the method for manufacturing a magnetic core according to any one of claims 1 to 7. It is characterized by.

また、請求項9に記載の発明は、請求項8に記載の発明において、上記磁性体コアの上記貫通孔から延出する上記導体の両端部が、上記磁性体コアの底面レベルまで屈曲されていることを特徴とするものである。   The invention according to claim 9 is the invention according to claim 8, wherein both end portions of the conductor extending from the through hole of the magnetic core are bent to a bottom surface level of the magnetic core. It is characterized by being.

さらに、請求項10に記載の発明は、請求項3に記載の磁性体コアの製造方法によって得られた磁性体コアの貫通孔に、それぞれ銅製の平帯板が導体として挿入されてなり、かつこれら導体間に位置する上記磁性体コアの表面に、上記導体の延在方向に沿って溝部が形成されていることを特徴とするものである。   Furthermore, the invention described in claim 10 is a structure in which a flat plate made of copper is inserted as a conductor in each of the through holes of the magnetic core obtained by the method of manufacturing a magnetic core according to claim 3, and A groove is formed on the surface of the magnetic core located between the conductors along the extending direction of the conductor.

請求項1〜7に記載の磁性体コアの製造方法によれば、磁性体粉末と有機バインダとを混練した磁性体スラリを乾燥させることにより上部層および下部層のグリーンシートを成形し、かつ上記中間層のグリーンシートには、磁性体粉末と有機バインダとを含む少なくとも2本の帯状の磁性体層および上記磁性体粉末とは異なる材質からなる少なくとも1本の帯状の異材質層を水平方向に交互に形成するとともに、これらを積層したグリーンシート積層体を焼結して、中間層の異材質層を除去することにより、最終的に異材質層の形成位置に貫通孔が形成された厚さ寸法が1mm以下といった超低背の磁性体コアを容易に製造することができる。   According to the method for producing a magnetic core according to any one of claims 1 to 7, an upper layer and a lower layer green sheet are formed by drying a magnetic slurry obtained by kneading a magnetic powder and an organic binder, and the above The green sheet of the intermediate layer includes at least two strip-shaped magnetic layers including magnetic powder and an organic binder, and at least one strip-shaped dissimilar material layer made of a material different from the magnetic powder in the horizontal direction. The thickness at which the through-holes are finally formed at the formation position of the different material layer by alternately forming and sintering the green sheet laminate in which these layers are laminated and removing the different material layer of the intermediate layer An ultra-low magnetic core having a dimension of 1 mm or less can be easily manufactured.

この際に、請求項2に記載の発明のように、上記グリーンシート積層体を、中間層のグリーンシートにおける1本の上記異材質層を間に挟んだ位置において切断すれば、導体を挿入するための貫通孔が1本形成された断面口字状の磁性体コアを得ることができる。   At this time, as in the invention described in claim 2, if the green sheet laminate is cut at a position sandwiching one of the different material layers in the green sheet of the intermediate layer, a conductor is inserted. Therefore, a magnetic core having a cross-sectional shape in which one through hole is formed can be obtained.

これに対して、請求項3に記載の発明によれば、上記グリーンシート積層体を、中間層のグリーンシートにおける2本の異材質層を間に挟んだ位置において切断することにより、導体を挿入するための貫通孔が磁性体層による壁部を間に介して2本形成された日字状の磁性体コアを得ることができる。この結果、インダクタのアレイ化にも容易に対応することができる。   On the other hand, according to the invention described in claim 3, the conductor is inserted by cutting the green sheet laminate at a position sandwiching two different material layers in the green sheet of the intermediate layer. Therefore, it is possible to obtain a letter-shaped magnetic core in which two through holes are formed with a wall portion formed by the magnetic layer interposed therebetween. As a result, it is possible to easily cope with arraying of inductors.

さらに、請求項4に記載の発明によれば、中間層のグリーンシートの磁性体層に含まれる磁性体の透磁率μ1を、上部層および下部層のグリーンシートに含まれる磁性体の透磁率μ0に対して変化させることにより、請求項8〜10に記載の最終製品であるインダクタにおけるインダクタンスを、事前に適宜値に調整することができる。 Furthermore, according to the invention described in claim 4, the magnetic permeability μ 1 of the magnetic substance contained in the magnetic layer of the green sheet of the intermediate layer is set to the permeability of the magnetic substance contained in the green sheet of the upper layer and the lower layer. By changing the value with respect to μ 0 , the inductance of the inductor as the final product according to claims 8 to 10 can be adjusted to an appropriate value in advance.

この際に、上記中間層を、一層ではなく複数層のグリーンシートによって構成し、その内の一層のグリーンシートにおける磁性体層中の磁性体の透磁率を変化させることもでき、このような構成を採用することにより、より一層細かなインダクタンスの調整を行うことが可能になる。   At this time, the intermediate layer is constituted by a plurality of layers of green sheets instead of one layer, and the magnetic permeability of the magnetic substance in the magnetic layer in one of the green sheets can be changed. By adopting, it becomes possible to adjust the inductance more finely.

また、最終的に異材質層の形成位置に貫通孔を形成するための、中間層のグリーンシートに形成した当該異材質層中の異材質の除去は、焼成前、焼成時または焼成後に行うことができる。
例えば、請求項5に記載の発明のように、上記異材質層として水溶性材質を用いた場合には、上記グリーンシート積層体の焼成前に、当該グリーンシート積層体を超音波洗浄して、上記異材質を除去することができる。
In addition, the removal of the different material in the different material layer formed in the green sheet of the intermediate layer for finally forming the through hole at the position where the different material layer is formed should be performed before firing, during firing or after firing. Can do.
For example, when a water-soluble material is used as the dissimilar material layer as in the invention described in claim 5, the green sheet laminate is ultrasonically cleaned before firing the green sheet laminate, The foreign material can be removed.

また、請求項6に記載の発明のように、上記異材質層として、例えば上部層および下部層のグリーンシートに含まれる有機バインダと同質の有機バインダ等を用いた場合には、上記グリーンシート積層体の焼成時に、上記異材質層も同時に除去することができる。この場合には、別途異材質を除去するための工程が必要で無いために、製造が容易になる。   Further, as in the invention described in claim 6, when the different material layer is an organic binder having the same quality as the organic binder contained in the upper layer and lower layer green sheets, the green sheet laminate The foreign material layer can be removed at the same time as the body is fired. In this case, since a separate process for removing the different material is not necessary, the manufacturing becomes easy.

さらに、上部層および下部層のグリーンシートが極薄である場合には、積層時や焼結時においても全体としての形状を保持しておく必要があることから、請求項7に記載の発明のように、上記異材質層として上記磁性体粉末と一体化しない有機バインダと粉体との混合物を用いることが好ましい。この様な場合には、上記グリーンシート積層体の焼成時に、有機バインダは除去されるために、焼成後に、残留した上記粉体のみを除去することができる。   Furthermore, when the green sheets of the upper layer and the lower layer are extremely thin, it is necessary to maintain the shape as a whole even during lamination and sintering. Thus, it is preferable to use a mixture of an organic binder and powder that is not integrated with the magnetic powder as the different material layer. In such a case, since the organic binder is removed when the green sheet laminate is fired, only the residual powder can be removed after firing.

したがって、請求項8〜10のいずれかに記載のインダクタによれば、上記請求項1〜7のいずれかに記載の発明によって得られた磁性体コアの貫通孔に銅製の平帯板を導体として挿入することにより、そのインダクタンスおよび電気抵抗が小さく、かつ1mm以下といった超低背を実現することができる。   Therefore, according to the inductor according to any one of claims 8 to 10, a copper flat strip is used as a conductor in the through hole of the magnetic core obtained by the invention according to any one of claims 1 to 7. By inserting, the inductance and electric resistance are small, and an ultra-low height of 1 mm or less can be realized.

しかも、請求項9に記載の発明にように、上記磁性体コアの貫通孔から延出する導体の両端部を、当該磁性体コアの底面レベルまで屈曲することにより、そのまま実装端子として利用することができ、よって容易にSMT(Surface Mount Technology)化に対応することができる。   Moreover, as in the ninth aspect of the invention, by bending both end portions of the conductor extending from the through hole of the magnetic core to the bottom surface level of the magnetic core, it can be used as a mounting terminal as it is. Therefore, it is possible to easily cope with SMT (Surface Mount Technology).

さらに、請求項10に記載の発明のように、断面日字状の磁性体コアに並列的に形成された2本の貫通孔に、それぞれ銅製の平帯板を導体として挿入することにより、そのままインダクタアレイ部品として用いることも可能になる。しかも、2本の導体間に位置する磁性体コアの表面に、上記導体の延在方向に沿って溝部を形成すれば、当該溝部の深さや幅等を調整することにより、簡易な方法によって、両導体間の結合係数を調整して適宜値のインダクタンスを有するインダクタとすることが可能なる。   Further, as in the invention described in claim 10, by inserting a copper flat strip as a conductor into each of two through holes formed in parallel in a magnetic core having a Ni-shaped cross section, It can also be used as an inductor array component. Moreover, if a groove is formed on the surface of the magnetic core located between the two conductors along the extending direction of the conductor, by adjusting the depth, width, etc. of the groove, by a simple method, By adjusting the coupling coefficient between the two conductors, an inductor having an appropriate value of inductance can be obtained.

本発明に係るインダクタの一実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view showing one embodiment of an inductor concerning the present invention. 図1のインダクタの変形例を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a modification of the inductor in FIG. 1. 図1の磁性体コアの製造方法を段階的に示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the magnetic body core of FIG. 1 in steps. 図3の製造方法における異材質層の除去を示す3種類の工程図である。FIG. 4 is three types of process diagrams showing removal of a different material layer in the manufacturing method of FIG. 3. 図1のインダクタのSMT化を図った変形例を示すもので、(a)は全体の斜視図、(b)はその電気部品としての回路図である。1A and 1B show a modified example in which the inductor of FIG. 1 is made into SMT, in which FIG. 1A is a perspective view of the whole, and FIG. 1B is a circuit diagram as its electrical component. 本発明に係るインダクタの他の実施形態を示すもので、(a)は全体の斜視図、(b)はその電気部品としての回路図である。FIG. 4 shows another embodiment of the inductor according to the present invention, in which (a) is a perspective view of the whole, and (b) is a circuit diagram as its electrical component. 図6のインダクタにおける磁性体コアの変形例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the modification of the magnetic body core in the inductor of FIG. 図6のインダクタの他の変形例を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing another modification of the inductor in FIG. 6. 図8のインダクタにおける磁路を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the magnetic path in the inductor of FIG.

先ず、図3および図4に基づいて、本発明に係る磁性体コアの製造方法の実施形態について説明する。
この製造方法においては、例えばMn−Zn系等のフェライト粉末(磁性体粉末)と、PVB(ポリビニルブチラール)等の有機バインダとを混練してフェライトスラリ1とし、この磁性体スラリをドクターブレード法や押出成形機等のシート成型機によってシート状に成形して乾燥させることにより、所定厚さの上部層のグリーンシート2および下部層のグリーンシート3(図3(d)参照。)を製作する。
First, an embodiment of a method for manufacturing a magnetic core according to the present invention will be described with reference to FIGS.
In this manufacturing method, for example, ferrite powder (magnetic powder) such as Mn—Zn and an organic binder such as PVB (polyvinyl butyral) are kneaded to form a ferrite slurry 1, and this magnetic slurry is treated with a doctor blade method or An upper layer green sheet 2 and a lower layer green sheet 3 (see FIG. 3D) having a predetermined thickness are manufactured by forming into a sheet shape and drying using a sheet molding machine such as an extruder.

またこれと併行して、同図(a)に示すように、フェライトとは異なる異材質からなるスラリを、同様にドクターブレード法等によってシート状に成形して乾燥させることにより、所定厚さの中間層のグリーンシート4を製作する。ここで、上記異材質スラリとしては、焼結の前後において、フェライトスラリ1または焼結フェライトと一定的に結合しない材質を含むスラリであって、PVA(ポリビニルアルコール)等の水溶性材質のスラリや、PVB(ポリビニルブチラール)等の有機バインダ、あるいはアルミナ、シリカ、ジルコニア等の粉体と上記有機バインダ、分散材、溶剤、可塑剤を混練したスラリが適用可能である。   In parallel with this, as shown in FIG. 5A, a slurry made of a different material different from ferrite is similarly formed into a sheet shape by a doctor blade method or the like and dried to obtain a predetermined thickness. The intermediate green sheet 4 is manufactured. Here, the foreign material slurry is a slurry containing a material that is not fixedly bonded to the ferrite slurry 1 or the sintered ferrite before and after sintering, and is a slurry of a water-soluble material such as PVA (polyvinyl alcohol). An organic binder such as PVB (polyvinyl butyral), or a slurry obtained by kneading powder such as alumina, silica, zirconia and the above organic binder, a dispersing material, a solvent, and a plasticizer can be applied.

そして次に、同図(b)に示すように、このグリーンシート4に、パンチング加工等によって所定の幅寸法を有する複数本の帯状の溝部4aを、水平方向に等間隔をおいて穿設する。そして、同図(c)に示すように、各々の溝部4aに、上記フェライトスラリ1を充填して乾燥させる。これにより中間層のグリーンシート4には、水平方向に帯状の異材質層5と磁性体層6とが交互に形成されることになる。   Then, as shown in FIG. 4B, a plurality of strip-shaped groove portions 4a having a predetermined width dimension are formed in the green sheet 4 at equal intervals in the horizontal direction by punching or the like. . Then, as shown in FIG. 3C, each of the grooves 4a is filled with the ferrite slurry 1 and dried. As a result, the belt-like different material layers 5 and the magnetic layers 6 are alternately formed in the horizontal direction on the green sheet 4 of the intermediate layer.

次いで、同図(d)に示すように、上部層のグリーンシート2と下部層のグリーンシート3との間に、中間層のグリーンシート4を配置して積層し、熱圧着によってこれらを一体化してグリーンシート積層体7を成形する。そして、このグリーンシート積層体7を、中間層のグリーンシート4における異材質層5を間に挟んで磁性体層6の中央部においてその延在方向に沿って切断することにより、複数本の帯状のグリーンシート積層体7aを製作する。   Next, as shown in FIG. 4D, an intermediate layer green sheet 4 is placed between the upper layer green sheet 2 and the lower layer green sheet 3 and laminated, and these are integrated by thermocompression bonding. Thus, the green sheet laminate 7 is formed. The green sheet laminate 7 is cut along the extending direction at the central portion of the magnetic layer 6 with the different material layer 5 in the green sheet 4 of the intermediate layer interposed therebetween, so that a plurality of strips are formed. The green sheet laminate 7a is manufactured.

次いで、これら帯状のグリーンシート積層体7aを焼成するとともに、グリーンシート積層体7aの焼成前、焼成時または焼成後に、異材質層5を除去することにより、最終的に上記異材質層5の形成位置に貫通孔が形成された磁性体コアを得る。   Next, the band-like green sheet laminate 7a is fired, and the different material layer 5 is removed before, during or after firing the green sheet laminate 7a, thereby finally forming the different material layer 5. A magnetic core having a through-hole formed at a position is obtained.

すなわち、各々のグリーンシート2、3、4が、比較的高い強度を有している場合には、図4(a)に示すように、異材質層5としてPVA等の水溶性材質を用いことができ、この場合には、焼成前にグリーンシート積層体7aを超音波洗浄して、上記異材質層5を除去した後に、焼結炉において焼成して磁性体コアを製造することができる。   That is, when each of the green sheets 2, 3, 4 has a relatively high strength, use a water-soluble material such as PVA as the different material layer 5 as shown in FIG. In this case, the green sheet laminate 7a is ultrasonically cleaned before firing to remove the foreign material layer 5, and then fired in a sintering furnace to produce a magnetic core.

また、図4(b)に示すように、上記異材質層5として、グリーンシート2、3の原料となるフェライトスラリ1と同様のPVB(ポリビニルブチラール)等の有機バインダを用いることもできる。この場合には、グリーンシート積層体7aを脱脂した後に、そのまま焼結炉に供給して焼結することにより、上記異材質層5が除去された磁性体コアを製造することができる。   Further, as shown in FIG. 4B, an organic binder such as PVB (polyvinyl butyral) similar to the ferrite slurry 1 that is a raw material of the green sheets 2 and 3 can be used as the different material layer 5. In this case, after degreasing the green sheet laminate 7a, the magnetic core from which the foreign material layer 5 is removed can be manufactured by supplying the green sheet laminate 7a to the sintering furnace as it is and sintering it.

さらに、各々のグリーンシート2、3、4の強度が比較的低い場合には、図4(c)に示すように、焼結時までグリーンシート積層体7aの形状を保持するために、異材質層5として、アルミナ、シリカ、ジルコニア等の粉体と、バインダ、分散剤、溶剤、可塑剤とを混練したスラリを用いることが好適である。この場合には、グリーンシート積層体7aを焼結炉において焼成することにより、上記異材質層5中のバインダ等が除去される。そして、焼結後に、残存した上記粉体5aを超音波洗浄によって除去することができる。   Further, when the strength of each of the green sheets 2, 3, 4 is relatively low, as shown in FIG. 4 (c), different materials are used to maintain the shape of the green sheet laminate 7 a until sintering. As the layer 5, it is preferable to use a slurry obtained by kneading a powder such as alumina, silica, zirconia and the like, a binder, a dispersant, a solvent, and a plasticizer. In this case, the binder etc. in the said different material layer 5 are removed by baking the green sheet laminated body 7a in a sintering furnace. After the sintering, the remaining powder 5a can be removed by ultrasonic cleaning.

以上の工程により製造された磁性体コアは、図4に示すように、グリーンシート2、3によって形成された天板部8、底板部9および中間層のグリーンシート4における磁性体層6によって形成された側壁部10からなり、異材質層5の形成位置に貫通孔が形成されたる断面ロ字状をなしている。そして、本発明者等による試作によれば、上記天板部8および底板部9の厚さ寸法を0.17mm、側壁部10の厚さ寸法を0.09mmにすることにより、全体としての厚さ寸法を0.43mmといった超低背に形成することが可能である。   As shown in FIG. 4, the magnetic core manufactured by the above steps is formed by the top plate portion 8, the bottom plate portion 9 formed by the green sheets 2 and 3, and the magnetic layer 6 in the green sheet 4 of the intermediate layer. The side wall portion 10 is formed and has a cross-sectionally R shape in which a through hole is formed at a position where the different material layer 5 is formed. Then, according to the trial production by the present inventors, the thickness of the top plate 8 and the bottom plate 9 is set to 0.17 mm, and the thickness of the side wall 10 is set to 0.09 mm. It is possible to form an extremely low profile such as 0.43 mm.

そして、この貫通孔に、導体11として銅製の平帯板を挿入することにより、図1に示すようなパワーインダクタ12とすることができる。
なお、図2に示すように、最終製品のパワーインダクタ13において、比較的大きなインダクタンスが必要な場合には、磁性体コア14の長さ寸法を大きくすることによって対応することができるが、当該磁性体コア14を製造する際に、図4(a)や図4(c)に示したように異材質層5として、水溶性材質や、有機バインダと粉体との混合物を用いた場合には、これらの除去を容易とするために、中間層のグリーンシートにおける磁性体層の長手方向中央部に、開口部6aを形成しておくことが好ましい。
Then, by inserting a copper flat strip as the conductor 11 into the through hole, a power inductor 12 as shown in FIG. 1 can be obtained.
As shown in FIG. 2, in the power inductor 13 of the final product, when a relatively large inductance is required, it can be dealt with by increasing the length dimension of the magnetic core 14. When the body core 14 is manufactured, a water-soluble material or a mixture of an organic binder and powder is used as the different material layer 5 as shown in FIGS. 4 (a) and 4 (c). In order to easily remove these, it is preferable to form an opening 6a in the center in the longitudinal direction of the magnetic layer in the green sheet of the intermediate layer.

さらに、上記実施の形態においては、上部層のグリーンシート2、下部層のグリーンシート3および中間層のグリーンシート4の磁性体層6に含まれる磁性体として、いずれもMn−Zn系等のフェライト粉末を用いた場合について示したが、これに限らず、中間層のグリーンシート4の磁性体6層に含まれる磁性体として、Zn系、Mn系、Co系、Ni系、Zn−Ni系、Zn−Co系等の最終製品において天板部8および底板部9とは透磁率が異なる他のフェライト粉末を用いることができる。   Further, in the above embodiment, as the magnetic substance contained in the magnetic layer 6 of the upper layer green sheet 2, the lower layer green sheet 3, and the intermediate layer green sheet 4, all are ferrites such as Mn—Zn type. Although it showed about the case where powder was used, not only this but as a magnetic substance contained in magnetic body 6 layer of green sheet 4 of an intermediate layer, Zn system, Mn system, Co system, Ni system, Zn-Ni system, In the final product such as Zn—Co, other ferrite powders having different magnetic permeability from the top plate portion 8 and the bottom plate portion 9 can be used.

そして、このように中間層のグリーンシート4の磁性体粉末として、上下部層のグリーンシート2、3の磁性体粉末と、互いの透磁率が異なるものを用いることにより、最終製品であるパワーインダクタ12、13におけるインダクタンスを事前に適宜値に調整することができる。   Then, as the magnetic powder of the green sheet 4 of the intermediate layer in this way, the magnetic powder of the green sheets 2 and 3 of the upper and lower layers and the one having different magnetic permeability from each other are used. The inductances at 12 and 13 can be adjusted to appropriate values in advance.

さらに、図5に示すように、パワーインダクタ12の磁性体コアから延出する導体11の両端部11aを、その下面が磁性体コアの底面と同一のレベルまで屈曲すれば、当該端部11aをそのまま実装端子として利用することができ、よって容易にSMT化に対応することもできる。   Further, as shown in FIG. 5, if both ends 11a of the conductor 11 extending from the magnetic core of the power inductor 12 are bent to the same level as the bottom surface of the magnetic core, the end 11a is It can be used as a mounting terminal as it is, and therefore can be easily adapted to SMT.

次いで、図6(a)、(b)は、本発明に係る磁性体コアの製造方法の他の実施形態によって得られた磁性体コア20およびこれを用いたカップルド・インダクタ21を示すものである。
先ず、磁性体コア20の製造方法について説明すると、所定厚さの上部層のグリーンシート2、下部層のグリーンシート3および帯状の異材質層5と磁性体層6とが水平方向に交互に形成された中間層のグリーンシート4を製作し、これらを積層して熱圧着により一体化してグリーンシート積層体7を成形する工程は、図3に示したものと同様である。
Next, FIGS. 6A and 6B show a magnetic core 20 obtained by another embodiment of the method for manufacturing a magnetic core according to the present invention and a coupled inductor 21 using the same. is there.
First, the manufacturing method of the magnetic core 20 will be described. The upper layer green sheet 2, the lower layer green sheet 3, the strip-like dissimilar material layer 5 and the magnetic layer 6 having a predetermined thickness are alternately formed in the horizontal direction. The process of manufacturing the green sheet 4 of the intermediate layer, laminating these and integrating them by thermocompression bonding to form the green sheet laminate 7 is the same as that shown in FIG.

そして、本実施形態においては、グリーンシート積層体7を、中間層のグリーンシート4における2本の異材質層5を間に挟んで、その外側の磁性体層6の中央部において延在方向に沿って切断することにより、2本の異材質層5を並列的に含む複数本の帯状のグリーンシート積層体を製作する。   In the present embodiment, the green sheet laminate 7 is sandwiched between the two different material layers 5 in the intermediate green sheet 4, and extends in the central direction of the outer magnetic layer 6. By cutting along, a plurality of strip-shaped green sheet laminates including two different material layers 5 in parallel are manufactured.

次いで、図4に示したものと同様にして、帯状の上記グリーンシート積層体を焼成するとともに、グリーンシート積層体の焼成前、焼成時または焼成後に、2本の異材質層5を除去することにより、最終的に上記異材質層5の形成位置に2本の貫通孔が間隔をおいて平行に形成された磁性体コアを得る。
そして、各々の貫通孔に導体22a、22bとして、それぞれ銅製の平帯板を挿入することにより、上記カップルド・インダクタ21を得ることができる。
Next, in the same manner as shown in FIG. 4, the strip-shaped green sheet laminate is fired, and the two dissimilar material layers 5 are removed before, during or after firing the green sheet laminate. As a result, a magnetic core in which two through holes are formed in parallel at an interval at the formation position of the different material layer 5 is finally obtained.
The coupled inductor 21 can be obtained by inserting copper flat strips as the conductors 22a and 22b into the respective through holes.

ここで、上記カップルド・インダクタ21においては、図6(b)に示すように、一方の導線22aによるインダクタンス成分は、自己インダクタンスL1と、その漏れインダクタンスL1´との和になる。また、他方の導線22bによるインダクタンス成分は、自己インダクタンスL2と、その漏れインダクタンスL2´との和になる。 Here, in the coupled-inductor 21, as shown in FIG. 6 (b), an inductance component due to one of the conductors 22a includes a self-inductance L 1, the sum of the leakage inductance L 1 '. Further, the inductance component by the other conductor 22b has a self-inductance L 2, the sum of the leakage inductance L 2 '.

そして、この種のカップルド・インダクタ21は、定常状態においては、自己インダクタンスL1、L2が主となって、インダクタンスが大きくなることから低リップルになる。これに対して、過渡状態においては、漏れインダクタンスL1´、L2´が主となって、インダクタンスが小さくなり、高速応答が可能になるという特性を有する。
加えて、上記導体22a、22bとして、銅製の平帯板を用いているために、電気抵抗が小さくなっている。
And, this type of coupled inductor 21 has a low ripple because, in a steady state, self-inductances L 1 and L 2 are mainly used and inductance increases. On the other hand, in the transient state, the leakage inductances L 1 ′ and L 2 ′ are mainly used, and the inductance is reduced and the high-speed response is possible.
In addition, since copper flat strips are used as the conductors 22a and 22b, the electrical resistance is small.

このような、低電圧・大電流対応、低リップルおよび高速応答といった特性は、特に上述したモバイルパソコン等のデジタル機器類用の電源として要求されている特性であることから、上記構成からなるカップルド・インダクタ21は、降圧型DC−DCコンバータ用のインバータとして好適に用いることができる。   Such characteristics such as low voltage and large current compatibility, low ripple, and high-speed response are characteristics particularly required as a power source for digital devices such as the above-mentioned mobile personal computers. The inductor 21 can be suitably used as an inverter for a step-down DC-DC converter.

この際に、図6(a)に示すように、導体22a、22bの磁性体コア20から延出する両端部を、その下面が磁性体コア20の底面と同一のレベルまで屈曲すれば、図5に示したものと同様に当該端部をそのまま実装端子として利用することができる。   At this time, as shown in FIG. 6A, if both end portions of the conductors 22a and 22b extending from the magnetic core 20 are bent to the same level as the bottom surface of the magnetic core 20, The end can be used as a mounting terminal as it is as shown in FIG.

また、図2に示したものと同様に、磁性体コア20の長さ寸法を大きくすることによってインダクタンスを調整した場合には、貫通孔20a部分に充填されていた異材質層の除去を容易とするために、上記異材質層(貫通孔20a)間であって長手方向中央部に、当該貫通孔22aに連通する開口部23を形成しておくことが好ましい。   Similarly to the case shown in FIG. 2, when the inductance is adjusted by increasing the length of the magnetic core 20, it is easy to remove the different material layer filled in the through hole 20a. In order to achieve this, it is preferable to form an opening 23 communicating with the through hole 22a at the center in the longitudinal direction between the different material layers (through holes 20a).

さらに、この種のカップルド・インダクタ21においては、低リップルおよび高速応答という特性をバランス良く実現するには、両導体22a、22bによって構成されるコイル部分の結合係数を精度良く設定することが重要である。   Furthermore, in this type of coupled inductor 21, it is important to accurately set the coupling coefficient of the coil portion constituted by the two conductors 22 a and 22 b in order to realize the characteristics of low ripple and high-speed response in a balanced manner. It is.

図8および図9は、このような要請に応えうる本発明に係るインダクタの他の実施形態を示すもので、このカップルド・インダクタ25は、図6に示したカップルド・インダクタ21の磁性体コア20の天板部20aおよび底板部20bであって、かつ導体22a、22b間に、これら導体22a、22bと平行に溝部24を形成したものである。   FIGS. 8 and 9 show another embodiment of the inductor according to the present invention that can meet such a demand. The coupled inductor 25 is a magnetic body of the coupled inductor 21 shown in FIG. A top plate portion 20a and a bottom plate portion 20b of the core 20, and a groove portion 24 is formed between the conductors 22a and 22b in parallel with the conductors 22a and 22b.

そして、これらの溝部24の深さ寸法を適宜調整して、図9に実線矢印でしめす結合する磁路(コモン磁路)と、点線矢印で示す結合しない磁路(ノーマル磁路)の比率を変えることにより、上記結合係数を0から1の範囲内における所望の値に高い精度で設定することができる。   And the depth dimension of these groove parts 24 is adjusted appropriately, and the ratio of the magnetic path to be coupled (common magnetic path) shown by the solid line arrow in FIG. By changing it, the coupling coefficient can be set to a desired value within the range of 0 to 1 with high accuracy.

なお、上記実施形態においては、磁性体粉末と有機バインダとを含む複数本の帯状の磁性体層6およびこれとは異なる材質からなる複数本の帯状の異材質層5とが水平方向に交互に形成された中間層のグリーンシート4を得るに際して、先ず異材質からなる所定厚さの中間層のグリーンシート4を製作し、これに溝部4aを形成してフェライトスラリ1を充填した場合についてのみ説明したが、これに限るものではなく、逆に、フェライトスラリ1によって所定厚さの中間層のグリーンシートを製作し、これに溝部を形成して上記異材質スラリを充填・乾燥させることにより、同様に水平方向に帯状の異材質層5と磁性体層6とが交互に形成された中間層のグリーンシートを製作することも可能である。   In the above embodiment, a plurality of strip-shaped magnetic layers 6 including magnetic powder and an organic binder and a plurality of strip-shaped different material layers 5 made of a different material are alternately arranged in the horizontal direction. In order to obtain the formed intermediate layer green sheet 4, only the case where the intermediate layer green sheet 4 made of a different material and having a predetermined thickness is first manufactured, and the groove 4 a is formed in this to be filled with the ferrite slurry 1 will be described. However, the present invention is not limited to this, and conversely, a ferrite sheet 1 is used to produce a green sheet of an intermediate layer having a predetermined thickness, and a groove is formed on the green sheet to fill and dry the above-mentioned different material slurry. It is also possible to manufacture an intermediate layer green sheet in which strip-like different material layers 5 and magnetic layers 6 are alternately formed in the horizontal direction.

インダクタンスおよび電気抵抗が小さく、かつ1mm以下といった超低背の磁性体コアの製造方法およびこれを用いたインダクタとして利用可能である。   It can be used as a method for manufacturing an ultra-low magnetic core having a small inductance and electrical resistance and having a thickness of 1 mm or less, and an inductor using the same.

2 上部層のグリーンシート
3 下部層のグリーンシート
4 中間層のグリーンシート
5 異材質層
6 磁性体層
7 グリーンシート積層体
7a 帯状のグリーンシート積層体
11、22a、22b 導体
11a 端部
12、13 パワーインダクタ
14、20 磁性体コア
20a 貫通孔
21、25 カップルド・インダクタ
24 溝部
2 Green sheet of the upper layer 3 Green sheet of the lower layer 4 Green sheet of the intermediate layer 5 Dissimilar material layer 6 Magnetic layer 7 Green sheet laminate 7a Band-shaped green sheet laminate 11, 22a, 22b Conductor 11a End portion 12, 13 Power inductor 14, 20 Magnetic core 20a Through hole 21, 25 Coupled inductor 24 Groove

Claims (10)

磁性体粉末と有機バインダとを含む上部層および下部層のグリーンシートと、磁性体粉末と有機バインダとを含む少なくとも2本の帯状の磁性体層および上記磁性体粉末とは異なる材質からなる少なくとも1本の帯状の異材質層とが水平方向に交互に形成された中間層のグリーンシートを形成し、
次いで、上記上部層、中間層および下部層のグリーンシートを積層して熱圧着により接着することによりグリーンシート積層体を成形した後に、このグリーンシート積層体を、上記中間層のグリーンシートにおける上記異材質層を間に挟んだ位置において上記磁性体層をその延在方向に沿って切断し、
これにより得られた帯状の上記グリーンシート積層体を焼成するとともに、当該グリーンシート積層体の上記焼成前、焼成時または焼成後に、上記異材質層を除去することにより、最終的に上記異材質層の形成位置に貫通孔が形成された磁性体コアを得ることを特徴とする磁性体コアの製造方法。
The upper and lower green sheets containing the magnetic powder and the organic binder, at least two belt-like magnetic layers containing the magnetic powder and the organic binder, and at least one made of a material different from the magnetic powder Form a green sheet of an intermediate layer in which strips of different material layers are alternately formed in the horizontal direction,
Next, after the green sheets of the upper layer, the intermediate layer, and the lower layer are laminated and bonded by thermocompression bonding, the green sheet laminate is formed. The magnetic layer is cut along the extending direction at a position between which the material layer is sandwiched,
The strip-shaped green sheet laminate thus obtained is fired, and the foreign material layer is finally removed by removing the foreign material layer before, during or after the firing of the green sheet laminate. A method for producing a magnetic core, comprising: obtaining a magnetic core having a through-hole formed at a position where the magnetic core is formed.
上記グリーンシート積層体を、上記中間層のグリーンシートにおける1本の上記異材質層を間に挟んだ位置において切断することを特徴とする請求項1に記載の磁性体コアの製造方法。   2. The method of manufacturing a magnetic core according to claim 1, wherein the green sheet laminate is cut at a position where one of the different material layers in the green sheet of the intermediate layer is sandwiched. 上記グリーンシート積層体を、上記中間層のグリーンシートにおける2本の上記異材質層を間に挟んだ位置において切断することを特徴とする請求項1に記載の磁性体コアの製造方法。   2. The method of manufacturing a magnetic core according to claim 1, wherein the green sheet laminate is cut at a position where the two different material layers in the green sheet of the intermediate layer are sandwiched therebetween. 上記中間層のグリーンシートにおける上記磁性体層は、上記上部層および下部層のグリーンシートに含まれる上記磁性体粉末と透磁率が異なる磁性体粉末が含まれていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の磁性体コアの製造方法。   2. The magnetic layer in the green sheet of the intermediate layer includes magnetic powder having a magnetic permeability different from that of the magnetic powder contained in the green sheets of the upper layer and the lower layer. The manufacturing method of the magnetic body core in any one of thru | or 3. 上記異材質層として水溶性材質を用い、上記グリーンシート積層体を焼成する前に、当該グリーンシート積層体を超音波洗浄して、上記異材質層を除去することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の磁性体コアの製造方法。   The water-soluble material is used as the foreign material layer, and the green sheet laminate is ultrasonically cleaned to remove the foreign material layer before firing the green sheet laminate. 5. A method for producing a magnetic core according to any one of 4 above. 上記異材質層として上記有機バインダを用い、上記グリーンシート積層体の焼成時に、上記異材質層を除去することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の磁性体コアの製造方法。   5. The method of manufacturing a magnetic core according to claim 1, wherein the organic binder is used as the foreign material layer, and the foreign material layer is removed when the green sheet laminate is fired. 上記異材質層として上記有機バインダと粉体との混合物を用い、上記グリーンシート積層体を焼成した後に、残留した上記粉体を除去することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の磁性体コアの製造方法。   The mixture of the organic binder and powder is used as the foreign material layer, and the remaining powder is removed after the green sheet laminate is fired. The manufacturing method of the magnetic body core. 請求項1ないし7のいずれかに記載の磁性体コアの製造方法によって得られた磁性体コアの貫通孔に、銅製の平帯板が導体として挿入されてなることを特徴とするインダクタ。   8. An inductor comprising a copper flat strip inserted as a conductor in a through hole of a magnetic core obtained by the method for manufacturing a magnetic core according to claim 1. 上記磁性体コアの上記貫通孔から延出する上記導体の両端部が、上記磁性体コアの底面レベルまで屈曲されていることを特徴とする請求項8に記載のインダクタ。   The inductor according to claim 8, wherein both end portions of the conductor extending from the through hole of the magnetic core are bent to a bottom surface level of the magnetic core. 請求項3に記載の磁性体コアの製造方法によって得られた磁性体コアの貫通孔に、それぞれ銅製の平帯板が導体として挿入されてなり、かつこれら導体間に位置する上記磁性体コアの表面に、上記導体の延在方向に沿って溝部が形成されていることを特徴とするインダクタ。   A flat plate made of copper is inserted as a conductor in each of the through holes of the magnetic core obtained by the method for manufacturing a magnetic core according to claim 3, and the magnetic core located between these conductors An inductor having a groove formed on the surface along the extending direction of the conductor.
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