JP2011237708A - Electrophoresis display device, manufacturing method of the same and electronic equipment - Google Patents

Electrophoresis display device, manufacturing method of the same and electronic equipment Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrophoresis display device capable of reliably sealing an electrophoresis layer while improving the quality of display, and further to provide a manufacturing method of the electrophoresis display device and an electronic equipment.SOLUTION: An electrophoresis display device includes: a first substrate 31 and a second substrate 41 oppositely disposed to each other; an electrophoresis layer 33 interposed between the first substrate 31 and the second substrate 41; pixel electrodes 21 interposed between the first substrate 31 and the electrophoresis layer 33; a common electrode 22 interposed between the second substrate 41 and the electrophoresis layer 33; and partitions 35 for partitioning the electrophoresis layer 33 into each cell region. A second insulating layer 42 containing components similar or identical to main components of which the partitions 35 are composed is disposed on a surface of the second substrate 41 opposite to the partitions 35 through the common electrode 22.

Description

本発明は、電気泳動表示装置、電気泳動表示装置の製造方法、及び電子機器に関する。   The present invention relates to an electrophoretic display device, a method for manufacturing an electrophoretic display device, and an electronic apparatus.

上記電気泳動表示装置として、一対の基板間を隔壁によって複数の空間に区画し、各空間内に電気泳動粒子および分散媒を含む電気泳動分散液を封入した構成のものが知られている。   As the electrophoretic display device, one having a configuration in which a pair of substrates is partitioned into a plurality of spaces by partition walls and an electrophoretic dispersion liquid containing electrophoretic particles and a dispersion medium is sealed in each space is known.

上記電気泳動表示装置の製造方法としては、一方の基板上に隔壁を形成した後、隔壁で囲まれた中に電気泳動分散液を入れる。次に、一方の基板上の全体を封止する。封止の方法としては、例えば、一方の基板と他方の基板とを接着剤を用いて接合したり、特許文献1に記載のように、隔壁により区画された領域内に注入された電気泳動分散液と隔壁の両方の上に、電気泳動分散液に対して非相溶性でかつ光、熱、あるいは乾燥により硬化する液体を塗布して硬化させ天板として封止する方法が知られている。   As a method for manufacturing the electrophoretic display device, a partition wall is formed on one substrate, and then an electrophoretic dispersion is placed in the space surrounded by the partition wall. Next, the whole on one substrate is sealed. As a sealing method, for example, one substrate and the other substrate are bonded using an adhesive, or electrophoretic dispersion injected into a region partitioned by a partition as described in Patent Document 1. A method is known in which a liquid that is incompatible with the electrophoretic dispersion liquid and cured by light, heat, or drying is applied onto both the liquid and the partition walls, and then cured and sealed as a top plate.

特開2005−10796号公報JP-A-2005-1079

しかしながら、上記分散媒に溶解した場合、例えば、電気泳動粒子の分散性に悪影響を与えるという問題がある。これにより、上記接着剤や封止用の上記液体が、分散媒に溶解しないような材料に限定されるという課題がある。   However, when dissolved in the dispersion medium, for example, there is a problem that the dispersibility of the electrophoretic particles is adversely affected. Thereby, the subject that the said adhesive agent and the said liquid for sealing are limited to the material which does not melt | dissolve in a dispersion medium occurs.

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

[適用例1]本適用例に係る電気泳動表示装置は、対向して配置された第1基板及び第2基板と、前記第1基板と前記第2基板との間に設けられた電気泳動層と、前記第1基板と前記電気泳動層との間に設けられた第1電極と、前記第2基板と前記電気泳動層との間に設けられた第2電極と、前記電気泳動層を複数のセルに区分けする隔壁と、を有し、前記第2基板の前記隔壁と接する面に、前記隔壁の主成分と類似する成分を含む絶縁層が設けられていることを特徴とする。   Application Example 1 An electrophoretic display device according to this application example includes a first substrate and a second substrate which are disposed to face each other, and an electrophoretic layer provided between the first substrate and the second substrate. A plurality of electrophoretic layers, a first electrode provided between the first substrate and the electrophoretic layer, a second electrode provided between the second substrate and the electrophoretic layer, and And an insulating layer including a component similar to the main component of the partition wall is provided on a surface of the second substrate in contact with the partition wall.

この構成によれば、隔壁と絶縁層(封止層)とが互いに類似する主成分を含む絶縁層で構成されているので、接着剤などを用いることなく、隔壁と絶縁層との密着性を向上させることができる。よって、接着剤などを用いた場合のように、電気泳動層を構成する分散媒に接着剤が溶解し、電気泳動粒子の分散性に悪影響を与えることを防ぐことができる。   According to this configuration, since the partition wall and the insulating layer (sealing layer) are composed of insulating layers containing similar main components, adhesion between the partition wall and the insulating layer can be improved without using an adhesive or the like. Can be improved. Therefore, it is possible to prevent the adhesive from being dissolved in the dispersion medium constituting the electrophoretic layer and adversely affecting the dispersibility of the electrophoretic particles as in the case of using an adhesive or the like.

[適用例2]上記適用例に係る電気泳動表示装置において、前記隔壁と前記絶縁層とは主成分が同じであることが好ましい。   Application Example 2 In the electrophoretic display device according to the application example, it is preferable that the partition walls and the insulating layer have the same main component.

この構成によれば、隔壁と絶縁層との主成分が同じなので、隔壁と絶縁層との密着性を向上させることができる。   According to this configuration, since the main components of the partition and the insulating layer are the same, the adhesion between the partition and the insulating layer can be improved.

[適用例3]上記適用例に係る電気泳動表示装置において、前記隔壁は、主成分としてオレフィン系樹脂材料を含むことが好ましい。   Application Example 3 In the electrophoretic display device according to the application example, it is preferable that the partition includes an olefin resin material as a main component.

この構成によれば、絶縁層と隔壁とを溶着させることが可能となり、絶縁層と隔壁との密着性を向上させることができる。   According to this structure, it becomes possible to weld an insulating layer and a partition, and can improve the adhesiveness of an insulating layer and a partition.

[適用例4]上記適用例に係る電気泳動表示装置において、前記絶縁層は、前記隔壁と接すると共に、前記隔壁よりも大きい平面積を有していることが好ましい。   Application Example 4 In the electrophoretic display device according to the application example described above, it is preferable that the insulating layer is in contact with the partition and has a larger planar area than the partition.

この構成によれば、絶縁層が隔壁よりも大きい平面積を有しているので、隔壁の絶縁層への密着性を向上させることができる。よって、接着剤などを用いることなく、隔壁と絶縁層との密着性を向上させることができる。つまり、隔壁上を封止することができる。   According to this configuration, since the insulating layer has a larger planar area than the partition wall, the adhesion of the partition wall to the insulating layer can be improved. Therefore, the adhesion between the partition walls and the insulating layer can be improved without using an adhesive or the like. That is, the partition wall can be sealed.

[適用例5]上記適用例に係る電気泳動表示装置において、前記絶縁層は、前記第2電極と前記電気泳動層との間に、前記複数のセルのうち一のセルにおいて少なくとも前記第2電極を覆うように設けられていることが好ましい。   Application Example 5 In the electrophoretic display device according to the application example described above, the insulating layer includes at least the second electrode in one of the plurality of cells between the second electrode and the electrophoretic layer. It is preferable that it is provided so as to cover.

この構成によれば、一のセルにおいて、第2電極を覆うように絶縁層が設けられているので、第2電極と電気泳動層とが直接接触することを防ぐことができる。よって、電気泳動層に含まれる電気泳動粒子が第2電極に付着することなく、第1電極と第2電極との間に生ずる電界によって電気泳動粒子を容易に移動させることができる。   According to this configuration, since the insulating layer is provided so as to cover the second electrode in one cell, it is possible to prevent the second electrode and the electrophoretic layer from directly contacting each other. Therefore, the electrophoretic particles contained in the electrophoretic layer can be easily moved by the electric field generated between the first electrode and the second electrode without adhering to the second electrode.

[適用例6]上記適用例に係る電気泳動表示装置において、前記絶縁層の厚みは、100nm〜100μmであることが好ましい。   Application Example 6 In the electrophoretic display device according to the application example, it is preferable that the insulating layer has a thickness of 100 nm to 100 μm.

この構成によれば、上記のように絶縁層の厚みを設定することにより、絶縁膜として機能させることができると共に、電気泳動層に適正な範囲の実効電圧を印加させることができる。なお、絶縁層の厚みにおいて、更に、10μm〜50μmであることが好ましい。これによれば、隔壁との密着性(接着強度)を向上させることができる。   According to this configuration, by setting the thickness of the insulating layer as described above, it can function as an insulating film, and an effective voltage in an appropriate range can be applied to the electrophoretic layer. In addition, it is preferable that it is 10 micrometers-50 micrometers in the thickness of an insulating layer. According to this, adhesiveness (adhesion strength) with a partition can be improved.

[適用例7]上記適用例に係る電気泳動表示装置において、前記第1電極は画素電極であり、前記複数のセルのうち一のセルに複数の前記第1電極が設けられていることが好ましい。   Application Example 7 In the electrophoretic display device according to the application example, it is preferable that the first electrode is a pixel electrode, and one of the plurality of cells is provided with a plurality of the first electrodes. .

この構成によれば、一のセルが複数の画素電極を含む構成なので、例えば、画素電極を高精細に設けても隔壁の構成を簡略化できる。   According to this configuration, since one cell includes a plurality of pixel electrodes, for example, the configuration of the partition walls can be simplified even if the pixel electrodes are provided with high definition.

[適用例8]本適用例に係る電気泳動表示装置の製造方法は、対向して配置された第1基板及び第2基板と、前記第1基板と前記第2基板との間に設けられた電気泳動層と、前記第1基板と前記電気泳動層との間に設けられた第1電極と、前記第2基板と前記電気泳動層との間に設けられた第2電極と、前記電気泳動層を複数のセルに区分けする前記第1基板上に設けられた隔壁と、を有する電気泳動表示装置の製造方法であって、前記第2基板における前記隔壁と接する面に、前記隔壁の主成分と類似する成分を含む絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、前記第1基板と前記第2基板とを対向配置して、前記隔壁と前記絶縁層とを互いに接着させる接着工程と、を有することを特徴とする。   [Application Example 8] A method for manufacturing an electrophoretic display device according to this application example is provided between a first substrate and a second substrate which are arranged to face each other, and between the first substrate and the second substrate. An electrophoresis layer, a first electrode provided between the first substrate and the electrophoresis layer, a second electrode provided between the second substrate and the electrophoresis layer, and the electrophoresis And a partition provided on the first substrate for dividing the layer into a plurality of cells, wherein the main component of the partition is formed on a surface of the second substrate in contact with the partition. An insulating layer forming step of forming an insulating layer containing a component similar to the above, and an adhering step of arranging the first substrate and the second substrate facing each other and bonding the partition and the insulating layer to each other It is characterized by that.

この方法によれば、隔壁と絶縁層(封止層)とが互いに類似する主成分を含む絶縁材料で形成されているので、接着剤などを用いることなく、隔壁と絶縁層との密着性を向上させることができる。よって、接着剤などを用いた場合のように、電気泳動層を構成する分散媒に接着剤が溶解し、電気泳動粒子の分散性に悪影響を与えることを防ぐことができる。   According to this method, since the partition and the insulating layer (sealing layer) are formed of an insulating material containing similar main components, the adhesion between the partition and the insulating layer can be improved without using an adhesive or the like. Can be improved. Therefore, it is possible to prevent the adhesive from being dissolved in the dispersion medium constituting the electrophoretic layer and adversely affecting the dispersibility of the electrophoretic particles, as in the case of using an adhesive or the like.

[適用例9]上記適用例に係る電気泳動表示装置の製造方法において、前記隔壁は、第1感光性材料から形成されており、前記絶縁層形成工程は、前記隔壁の主成分と類似する成分を含む第2感光性材料を用いて前記絶縁層を形成し、前記接着工程は、前記隔壁と前記絶縁層とを互いに接触させた後、前記隔壁及び前記絶縁層を加熱することによって樹脂化する樹脂化工程を有することが好ましい。   Application Example 9 In the method for manufacturing an electrophoretic display device according to the application example, the partition is formed of a first photosensitive material, and the insulating layer forming step is a component similar to the main component of the partition. The insulating layer is formed using a second photosensitive material containing, and in the bonding step, the partition wall and the insulating layer are brought into contact with each other, and then the partition wall and the insulating layer are heated to form a resin. It is preferable to have a resinification step.

この方法によれば、隔壁及び絶縁層に熱を加えて(例えば、ポストベーク処理)樹脂化するので、絶縁層と隔壁との密着性を向上させることができる。   According to this method, since heat is applied to the partition walls and the insulating layer (for example, post-baking treatment) to form a resin, the adhesion between the insulating layer and the partition walls can be improved.

[適用例10]上記適用例に係る電気泳動表示装置の製造方法において、前記樹脂化工程は、前記第1基板及び前記第2基板の両方から加熱することが好ましい。   Application Example 10 In the method for manufacturing an electrophoretic display device according to the application example described above, it is preferable that the resinification step is heated from both the first substrate and the second substrate.

この方法によれば、両方の基板(第1基板、第2基板)側から加熱するので、隔壁及び絶縁層へ均一に熱を加えることができる。よって、隔壁及び絶縁層を均一に樹脂化させることができ、密着性を向上させることができる。   According to this method, since heating is performed from both substrates (first substrate and second substrate), heat can be uniformly applied to the partition walls and the insulating layer. Therefore, the partition walls and the insulating layer can be uniformly made into resin, and the adhesion can be improved.

[適用例11]上記適用例に係る電気泳動表示装置の製造方法において、前記隔壁は、主成分としてオレフィン系樹脂材料を含むことが好ましい。   Application Example 11 In the method for manufacturing an electrophoretic display device according to the application example, it is preferable that the partition wall includes an olefin resin material as a main component.

この方法によれば、オレフィン系の樹脂材料を含む絶縁材料を用いるので、例えば、熱を加えることによって、絶縁層と隔壁とを溶着させることが可能となり、密着性を向上させることができる。   According to this method, since the insulating material containing the olefin-based resin material is used, for example, by applying heat, the insulating layer and the partition wall can be welded, and the adhesion can be improved.

[適用例12]上記適用例に係る電気泳動表示装置の製造方法において、前記絶縁層形成工程は、少なくとも前記第2電極を覆うように前記絶縁層を形成することが好ましい。   Application Example 12 In the method for manufacturing an electrophoretic display device according to the application example, it is preferable that the insulating layer forming step forms the insulating layer so as to cover at least the second electrode.

この方法によれば、一のセルにおいて、第2電極を覆うように絶縁層が設けられているので、第2電極と電気泳動層とが直接接触することを防ぐことができる。よって、電気泳動層に含まれる電気泳動粒子が第2電極に付着することなく、第1電極と第2電極との間に生ずる電界によって電気泳動粒子を容易に移動させることができる。   According to this method, since the insulating layer is provided so as to cover the second electrode in one cell, it is possible to prevent the second electrode and the electrophoretic layer from directly contacting each other. Therefore, the electrophoretic particles contained in the electrophoretic layer can be easily moved by the electric field generated between the first electrode and the second electrode without adhering to the second electrode.

[適用例13]本適用例に係る電子機器は、上記に記載の電気泳動表示装置を備えることを特徴とする。   Application Example 13 An electronic apparatus according to this application example includes the electrophoretic display device described above.

この構成によれば、上記に記載した電気泳動表示装置を備えるので、電気泳動粒子の分散性が低下することが抑えられ、安定した表示品質が得られる電子機器を提供することができる。   According to this configuration, since the electrophoretic display device described above is provided, it is possible to provide an electronic apparatus in which the dispersibility of the electrophoretic particles is prevented from being lowered and stable display quality can be obtained.

電気泳動表示装置の電気的な構成を示す等価回路図。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram illustrating an electrical configuration of the electrophoretic display device. 電気泳動表示装置の構造を示す模式断面図。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating a structure of an electrophoretic display device. 図2に示す電気泳動表示装置を上方から見た模式平面図。FIG. 3 is a schematic plan view of the electrophoretic display device shown in FIG. 2 viewed from above. 電気泳動表示装置の製造方法を工程順に示すフローチャート。The flowchart which shows the manufacturing method of an electrophoretic display device in order of a process. 電気泳動表示装置の製造方法のうち一部の工程を説明する模式断面図。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view illustrating a part of the manufacturing method of the electrophoretic display device. 電気泳動表示装置の製造方法のうち一部の工程を説明する模式断面図。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view illustrating a part of the manufacturing method of the electrophoretic display device. 電気泳動表示装置の製造方法のうち一部の工程を説明する模式断面図。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view illustrating a part of the manufacturing method of the electrophoretic display device. 絶縁層の厚みと接着強度との関係を示す図表。The chart which shows the relationship between the thickness of an insulating layer, and adhesive strength. 電気泳動表示装置を備えた電子機器の一例として電子ペーパーの構成を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the structure of electronic paper as an example of the electronic device provided with the electrophoretic display apparatus. 変形例である電気泳動表示装置の構造を示す模式断面図。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view illustrating a structure of an electrophoretic display device that is a modified example.

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings. Note that the drawings to be used are appropriately enlarged or reduced so that the part to be described can be recognized.

なお、以下の形態において、「上」とは、基板から見て電気泳動層が配置された方向を示し、「○○上に」と記載された場合、○○の上に接するように配置される場合または○○の上に他の構成物を介して配置される場合または○○の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を表すものとする。   In the following embodiments, “upper” indicates the direction in which the electrophoretic layer is disposed when viewed from the substrate. When “above” is described, it is disposed so as to be in contact with XX. Or when placed on XX via other components, or placed partially on XX and partly placed via other components Shall.

<電気泳動表示装置の構成>
図1は、電気泳動表示装置の電気的な構成を示す等価回路図である。以下、電気泳動表示装置の電気的な構成を、図1を参照しながら説明する。
<Configuration of electrophoretic display device>
FIG. 1 is an equivalent circuit diagram showing an electrical configuration of the electrophoretic display device. Hereinafter, the electrical configuration of the electrophoretic display device will be described with reference to FIG.

図1に示すように、電気泳動表示装置11は、複数のデータ線12と、複数の走査線13とを有し、データ線12と走査線13とが交差する部分に画素14が配置される。具体的には、電気泳動表示装置11は、データ線12と走査線13とに沿ってマトリクス状に配置された複数の画素14を有している。各画素14は、第1電極としての画素電極21と第2電極としての共通電極22との間に配置された電気泳動粒子を含む分散液15を有する。   As shown in FIG. 1, the electrophoretic display device 11 includes a plurality of data lines 12 and a plurality of scanning lines 13, and pixels 14 are arranged at portions where the data lines 12 and the scanning lines 13 intersect. . Specifically, the electrophoretic display device 11 has a plurality of pixels 14 arranged in a matrix along the data lines 12 and the scanning lines 13. Each pixel 14 has a dispersion liquid 15 containing electrophoretic particles disposed between a pixel electrode 21 as a first electrode and a common electrode 22 as a second electrode.

画素電極21は、トランジスター16を介してデータ線12に接続されている。また、トランジスター16のゲート電極は、走査線13に接続されている。なお、図1は、例示であり、必要に応じて保持容量などの他の素子が組み込まれてもよい。   The pixel electrode 21 is connected to the data line 12 via the transistor 16. The gate electrode of the transistor 16 is connected to the scanning line 13. Note that FIG. 1 is an example, and other elements such as a storage capacitor may be incorporated as necessary.

図2は、電気泳動表示装置の構造を示す模式断面図である。図3は、図2に示す電気泳動表示装置を上方(対向基板側)から見た模式平面図である。以下、電気泳動表示装置の構造を、図2及び図3を参照しながら説明する。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the electrophoretic display device. FIG. 3 is a schematic plan view of the electrophoretic display device shown in FIG. 2 as viewed from above (opposite substrate side). Hereinafter, the structure of the electrophoretic display device will be described with reference to FIGS.

図2に示すように、電気泳動表示装置11は、素子基板51と、対向基板52と、電気泳動層33とを有する。素子基板51を構成する、例えば透光性を有するガラス基板からなる第1基板31上には、各画素14毎に画素電極21が配置されている。詳述すると、図3に示すように、画素14(画素電極21)は、平面的にマトリクス状に形成されている。画素電極21の材料としては、例えば、ITO(錫を添加した酸化インジウム:Indium Tin Oxide)などの光透過性材料が用いられる。   As shown in FIG. 2, the electrophoretic display device 11 includes an element substrate 51, a counter substrate 52, and an electrophoretic layer 33. A pixel electrode 21 is disposed for each pixel 14 on a first substrate 31 that constitutes the element substrate 51 and is made of, for example, a transparent glass substrate. More specifically, as shown in FIG. 3, the pixels 14 (pixel electrodes 21) are formed in a matrix in a plane. As a material of the pixel electrode 21, for example, a light transmissive material such as ITO (Indium Tin Oxide added with tin) is used.

第1基板31と画素電極21との間には、図示しない回路部が設けられており、回路部の中にトランジスター16などが形成されている。トランジスター16は、図示しないコンタクト部を介して、各画素電極21と電気的に接続されている。なお、図示しないが、回路部の中には、トランジスター16の他、各種配線(例えば、データ線12や走査線13など)や素子(例えば、容量素子)などが配置されている。画素電極21上を含む第1基板31上の全面には、第1絶縁層32が形成されている。   A circuit unit (not shown) is provided between the first substrate 31 and the pixel electrode 21, and the transistor 16 and the like are formed in the circuit unit. The transistor 16 is electrically connected to each pixel electrode 21 through a contact portion (not shown). Although not shown, in the circuit portion, in addition to the transistor 16, various wirings (for example, the data line 12 and the scanning line 13) and elements (for example, capacitive elements) are arranged. A first insulating layer 32 is formed on the entire surface of the first substrate 31 including the pixel electrode 21.

対向基板52を構成する、例えば透光性を有するガラス基板からなる第2基板41上には、複数の画素14に対して共通した(全面ベタ状の)共通電極22が形成されている。共通電極22としては、例えば、ITOなどの光透過性材料が用いられる。共通電極22上には、隔壁35の材料の主成分と類似する成分を含む第2絶縁層42(絶縁層)が形成されている。又は、隔壁35の材料と主成分が同じである。   A common electrode 22 that is common to the plurality of pixels 14 is formed on the second substrate 41 that constitutes the counter substrate 52 and is made of, for example, a light-transmitting glass substrate. As the common electrode 22, for example, a light transmissive material such as ITO is used. A second insulating layer 42 (insulating layer) including a component similar to the main component of the material of the partition wall 35 is formed on the common electrode 22. Or the material and the main component of the partition 35 are the same.

第1絶縁層32と第2絶縁層42との間には、電気泳動層33が設けられている。電気泳動層33を構成する電気泳動粒子34の分散液15は、第1絶縁層32、第2絶縁層42、隔壁35で形成された空間に充填されている。隔壁35は、例えば、図3に示すように、碁盤目状に配置されており、各画素14を区画している。なお、隔壁35は、透光性材料であることが好ましい。   An electrophoretic layer 33 is provided between the first insulating layer 32 and the second insulating layer 42. The dispersion liquid 15 of the electrophoretic particles 34 constituting the electrophoretic layer 33 is filled in a space formed by the first insulating layer 32, the second insulating layer 42, and the partition walls 35. For example, as shown in FIG. 3, the partition walls 35 are arranged in a grid pattern and partition each pixel 14. In addition, it is preferable that the partition 35 is a translucent material.

図2及び図3においては、電気泳動粒子34として白色粒子と黒色粒子とを示してある。例えば、画素電極21と共通電極22との間に電圧を印加すると、これらの間に生じる電界にしたがって、電気泳動粒子34はいずれかの電極(画素電極21、共通電極22)に向かって電気泳動する。例えば、白色粒子が正荷電を有する場合、画素電極21を負電位とすると、白色粒子は、画素電極21側(下側)に移動して集まり、黒表示となる。   2 and 3, white particles and black particles are shown as the electrophoretic particles 34. For example, when a voltage is applied between the pixel electrode 21 and the common electrode 22, the electrophoretic particles 34 are electrophoresed toward one of the electrodes (the pixel electrode 21 and the common electrode 22) according to the electric field generated between them. To do. For example, when the white particles have a positive charge, if the pixel electrode 21 is set to a negative potential, the white particles move to the pixel electrode 21 side (lower side) and gather to display black.

逆に、画素電極21を正電位とすると、白色粒子は、共通電極22側(上側)に移動して集まり、白表示となる。このように、表示側の電極に集合する白色粒子の有無や数等に応じて、所望の情報(画像)が表示される。なお、ここでは、電気泳動粒子34として白色粒子や黒色粒子を用いたが、他の有色粒子を用いてもよい。   Conversely, when the pixel electrode 21 is set to a positive potential, the white particles move to the common electrode 22 side (upper side) and gather to display white. In this manner, desired information (image) is displayed according to the presence or absence or the number of white particles gathering on the display-side electrode. Here, although white particles or black particles are used as the electrophoretic particles 34, other colored particles may be used.

また、電気泳動粒子34としては無機顔料系の粒子、有機顔料系の粒子または高分子微粒子等を用いることができ、各種粒子を2種以上混合して用いてもよい。電気泳動粒子34の径は、例えば、0.05μm〜10μm程度のものを用い、好ましくは、0.2μm〜2μm程度のものを用いる。   Further, as the electrophoretic particles 34, inorganic pigment-based particles, organic pigment-based particles, polymer fine particles, or the like can be used, and two or more kinds of various particles may be mixed and used. The diameter of the electrophoretic particles 34 is, for example, about 0.05 μm to 10 μm, and preferably about 0.2 μm to 2 μm.

また、分散液15に対する割合は、例えば、5wt%〜90wt%程度で調整し、好ましくは、10wt%〜80wt%程度に調整する。分散液15を構成する分散媒に制限はないが、例えば、芳香族系炭化水素、ヘキサン、シクロヘキサン、ケロシン、アイソパー、パラフィン系炭化水素等の脂肪族炭化水素類、ハロゲン化炭化水素類、リン酸エステル類、フタル酸エステル類、カルボン酸エステル類、塩素化パラフィン、シリコーン類等を用いることができる。   Moreover, the ratio with respect to the dispersion liquid 15 is adjusted to about 5 wt% to 90 wt%, for example, and preferably adjusted to about 10 wt% to 80 wt%. Although there is no restriction | limiting in the dispersion medium which comprises the dispersion liquid 15, For example, aliphatic hydrocarbons, halogenated hydrocarbons, phosphoric acid, such as aromatic hydrocarbons, hexane, cyclohexane, kerosene, isopar, and paraffin hydrocarbons Esters, phthalic acid esters, carboxylic acid esters, chlorinated paraffin, silicones and the like can be used.

分散液15に対する分散媒の割合は、例えば、20wt%〜90wt%程度に調整し、好ましくは40wt%〜60wt%程度に調整する。分散液15には、分散媒の他、必要に応じて、例えば、電解質、界面活性剤等からなる荷電制御剤、潤滑剤、安定化剤等の各種添加剤を添加してもよい。また、各種染料を溶解するようにしてもよい。   The ratio of the dispersion medium to the dispersion liquid 15 is adjusted to, for example, about 20 wt% to 90 wt%, and preferably adjusted to about 40 wt% to 60 wt%. In addition to the dispersion medium, for example, various additives such as a charge control agent composed of an electrolyte, a surfactant, a lubricant, and a stabilizer may be added to the dispersion 15 as necessary. Various dyes may be dissolved.

なお、以降においては、分散液15中の電気泳動粒子34以外の液体の部分を「分散媒」と呼ぶものとする。また、平面的に隔壁35で囲まれた領域をセル36と呼ぶ。1つのセル36は、画素電極21、共通電極22、電気泳動層33を含む。   Hereinafter, the liquid portion other than the electrophoretic particles 34 in the dispersion 15 is referred to as a “dispersion medium”. A region surrounded by the partition walls 35 in a plan view is called a cell 36. One cell 36 includes a pixel electrode 21, a common electrode 22, and an electrophoretic layer 33.

以上のように、隔壁35と第2絶縁層42とが同じ主成分の材料で構成されているので、隔壁35と第2絶縁層42との密着性を向上させることができる。つまり、素子基板51と対向基板52とは、隔壁35と第2絶縁層42とが密着することにより接着(接合)され、素子基板51に設けられた電気泳動層33を対向基板52によって封止することができる。以下、電気泳動表示装置11の製造方法を説明する。   As described above, since the partition wall 35 and the second insulating layer 42 are made of the same main component material, the adhesion between the partition wall 35 and the second insulating layer 42 can be improved. That is, the element substrate 51 and the counter substrate 52 are bonded (bonded) when the partition wall 35 and the second insulating layer 42 are in close contact with each other, and the electrophoretic layer 33 provided on the element substrate 51 is sealed by the counter substrate 52. can do. Hereinafter, a method for manufacturing the electrophoretic display device 11 will be described.

<電気泳動表示装置の製造方法>
図4は、電気泳動表示装置の製造方法を工程順に示すフローチャートである。図5〜図7は、電気泳動表示装置の製造方法のうち一部の工程を示す模式断面図である。以下、電気泳動表示装置の製造方法を、図4〜図7を参照しながら説明する。
<Method for Manufacturing Electrophoretic Display Device>
FIG. 4 is a flowchart showing a method of manufacturing the electrophoretic display device in the order of steps. 5 to 7 are schematic cross-sectional views illustrating some steps in the method of manufacturing the electrophoretic display device. Hereinafter, a method for manufacturing the electrophoretic display device will be described with reference to FIGS.

最初に、素子基板51側の製造方法を説明する。ステップS11では、ガラス等の透光性材料からなる第1基板31上に、ITOなどの光透過性材料からなる画素電極21などを形成する。具体的には、周知の成膜技術、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて、第1基板31上に画素電極21や配線などを形成する。なお、以降の断面図を用いた説明においては、画素電極21などの説明及び図示を省略する。   First, a manufacturing method on the element substrate 51 side will be described. In step S11, the pixel electrode 21 made of a light transmissive material such as ITO is formed on the first substrate 31 made of a light transmissive material such as glass. Specifically, the pixel electrode 21, the wiring, and the like are formed on the first substrate 31 using a well-known film formation technique, photolithography technique, and etching technique. In the following description using the sectional views, description and illustration of the pixel electrode 21 and the like are omitted.

ステップS12(図5(a)参照)では、第1基板31上に、絶縁材料を主成分とする第1絶縁層32となる第1レジスト膜32a(第1感光性材料)を塗布する。塗布する方法は、例えば、スピンコート法である。また、第1レジスト膜32aは、ネガ型のレジスト膜である。塗布する第1レジスト膜32aの厚みは、例えば、600nmである。第1レジスト膜32aの粘度は、例えば、100cpである。   In step S12 (see FIG. 5A), a first resist film 32a (first photosensitive material) to be the first insulating layer 32 containing an insulating material as a main component is applied on the first substrate 31. The application method is, for example, a spin coating method. The first resist film 32a is a negative resist film. The thickness of the first resist film 32a to be applied is 600 nm, for example. The viscosity of the first resist film 32a is, for example, 100 cp.

第1レジスト膜32aの材料としては、オレフィン系の樹脂材料を含む。これに限らず、その他の樹脂材料としては、例えば、アクリレート、メタクリレート、シアノアクリレート、エポキシ系、パラフィン系、酢酸ビニル系、ウレタン系、アイオノマー系、エラストマー系、シリコーン系、フッ素系等のモノマー、オリゴマーやポリマーなどが挙げられる。   The material of the first resist film 32a includes an olefin resin material. Other resin materials include, but are not limited to, for example, acrylate, methacrylate, cyanoacrylate, epoxy, paraffin, vinyl acetate, urethane, ionomer, elastomer, silicone, fluorine, and other monomers and oligomers. And polymers.

次に、図5(b)に示す工程(ステップS13)では、塗布した第1レジスト膜32aにプリベーク処理を行う。具体的な処理条件は、1回目として、加熱温度が60℃であり、加熱時間が5分である。更に、2回目として、加熱温度が90℃であり、加熱時間が30分である。加熱する方法としては、例えば、ホットプレート43が用いられる。   Next, in the step (step S13) shown in FIG. 5B, a pre-baking process is performed on the applied first resist film 32a. Specific treatment conditions are as follows: the heating temperature is 60 ° C., and the heating time is 5 minutes. Furthermore, as the second time, the heating temperature is 90 ° C. and the heating time is 30 minutes. As a heating method, for example, a hot plate 43 is used.

このように、第1レジスト膜32aに対し2段階に分けて熱処理(プリベーク処理)を行うことにより、第1レジスト膜32aの表面だけでなく、膜の全体をむらなく硬化させて、プリベーク処理後に硬化した第1レジスト膜32bを得ることができる。   As described above, the first resist film 32a is subjected to heat treatment (pre-bake treatment) in two stages, so that not only the surface of the first resist film 32a but also the entire film is uniformly cured, and after the pre-bake treatment. The cured first resist film 32b can be obtained.

次に、図5(c)に示す工程(ステップS14)では、プリベーク処理を施した第1レジスト膜32bの全面を露光する。ネガ型の第1レジスト膜32bに露光処理することにより、第1レジスト膜32cが硬化する。   Next, in the step shown in FIG. 5C (step S14), the entire surface of the first resist film 32b subjected to the pre-baking process is exposed. By exposing the negative first resist film 32b to light, the first resist film 32c is cured.

次に、図5(d)に示す工程(ステップS15)では、第1レジスト膜32cにベーク処理を施して第1絶縁層32の手前の段階である絶縁層前駆体膜32dを形成する。ベーク処理の条件としては、加熱温度が90℃であり、加熱時間が5分である。   Next, in the step shown in FIG. 5D (step S15), the first resist film 32c is baked to form an insulating layer precursor film 32d that is a stage before the first insulating layer 32. The baking conditions are a heating temperature of 90 ° C. and a heating time of 5 minutes.

次に、図6(e)に示す工程(ステップS21)では、絶縁層前駆体膜32d上に隔壁35となる第2レジスト膜35aを塗布する。第2レジスト膜35aの材料は、例えば、上記した第1レジスト膜32aと同じである(なお、主成分が類似していればよい)。塗布する第2レジスト膜35aの厚みは、例えば、45μm〜50μmである。第2レジスト膜35aの粘度は、例えば、2000cpである。   Next, in the step shown in FIG. 6E (step S21), a second resist film 35a to be a partition wall 35 is applied on the insulating layer precursor film 32d. The material of the second resist film 35a is, for example, the same as that of the first resist film 32a described above (assuming that the main components are similar). The thickness of the second resist film 35a to be applied is, for example, 45 μm to 50 μm. The viscosity of the second resist film 35a is, for example, 2000 cp.

次に、図6(f)に示す工程(ステップS22)では、第2レジスト膜35aにプリベーク処理を施す。具体的な処理条件としては、1回目として、加熱温度が60℃であり、加熱時間が5分である。更に、2回目として、加熱温度が90℃であり、加熱時間が30分である。加熱する方法としては、ホットプレート43が用いられる。これにより、第2レジスト膜35bの全体が硬化する。   Next, in the step shown in FIG. 6F (step S22), the second resist film 35a is pre-baked. As specific treatment conditions, as the first time, the heating temperature is 60 ° C., and the heating time is 5 minutes. Furthermore, as the second time, the heating temperature is 90 ° C. and the heating time is 30 minutes. As a heating method, a hot plate 43 is used. Thereby, the entire second resist film 35b is cured.

次に、図6(g)に示す工程(ステップS23)では、第2レジスト膜35bを露光する。具体的には、マスクを用いて、隔壁35の形状に沿って露光することにより、第2レジスト膜35cがパターニングされる。   Next, in the step (step S23) shown in FIG. 6G, the second resist film 35b is exposed. Specifically, the second resist film 35c is patterned by exposing along the shape of the partition wall 35 using a mask.

次に、図6(h)に示す工程(ステップS24)では、第2レジスト膜35cにベーク処理を施す。ベーク処理の条件としては、加熱温度が90℃であり、加熱時間が5分である。これにより、現像する前の段階である第2レジスト膜35dが形成される。   Next, in the step (step S24) shown in FIG. 6H, the second resist film 35c is baked. The baking conditions are a heating temperature of 90 ° C. and a heating time of 5 minutes. Thereby, the second resist film 35d, which is a stage before development, is formed.

次に、図7(i)に示す工程(ステップS25)では、第2レジスト膜35dを現像する。これにより、第2レジスト膜35dから隔壁35の形状となった隔壁前駆体膜35eが形成される。現像後の隔壁前駆体膜35eの高さとしては、例えば、5μm〜100μmである。なお、電気泳動粒子34の移動性や表示特性の点で、20μm〜60μmであることが好ましい。なお、ここでは、隔壁前駆体膜35e(隔壁)の高さとして、例えば、45μmとする。また、絶縁層前駆体膜32dは、図5(c)に示す工程において露光されているので、膜が硬化している。よって、現像を行っても、絶縁層前駆体膜32dはその状態のまま残る。   Next, in the step (step S25) shown in FIG. 7I, the second resist film 35d is developed. Thereby, a partition wall precursor film 35e having the shape of the partition wall 35 is formed from the second resist film 35d. The height of the partition wall precursor film 35e after development is, for example, 5 μm to 100 μm. In addition, it is preferable that it is 20 micrometers-60 micrometers from the point of the mobility of electrophoretic particle 34 and a display characteristic. Here, the height of the partition wall precursor film 35e (partition wall) is, for example, 45 μm. Further, since the insulating layer precursor film 32d is exposed in the process shown in FIG. 5C, the film is cured. Therefore, even if development is performed, the insulating layer precursor film 32d remains in that state.

次に、図7(j)に示す工程(ステップS26)では、絶縁層前駆体膜32d及び隔壁前駆体膜35eにポストベーク処理を施して、絶縁層前駆体膜32d及び隔壁前駆体膜35eを樹脂化する。ポストベーク処理の条件としては、例えば、加熱温度が210℃であり、加熱時間が60分である。これにより、樹脂化された第1絶縁層32及び隔壁35が完成する。隔壁35のリブ幅としては、例えば、20μmである。ポストベーク処理を行うことにより、第1絶縁層32と隔壁35との密着性を向上させることができる。以上により、素子基板51側が完成する。   Next, in the step shown in FIG. 7J (step S26), the insulating layer precursor film 32d and the partition wall precursor film 35e are subjected to a post-bake treatment to form the insulating layer precursor film 32d and the partition wall precursor film 35e. Resin. As conditions for the post-bake treatment, for example, the heating temperature is 210 ° C. and the heating time is 60 minutes. Thereby, the resin-made first insulating layer 32 and the partition wall 35 are completed. The rib width of the partition wall 35 is, for example, 20 μm. By performing the post-bake treatment, the adhesion between the first insulating layer 32 and the partition wall 35 can be improved. Thus, the element substrate 51 side is completed.

続いて、図4及び図7(k)を参照しながら、対向基板52側の製造方法を説明する。ステップS31では、第2基板41上に共通電極22を形成する。具体的には、ガラス基板などの透光性材料からなる第2基板41上の全面に、周知の成膜技術を用いて共通電極22を形成する。   Next, a manufacturing method on the counter substrate 52 side will be described with reference to FIGS. 4 and 7 (k). In step S <b> 31, the common electrode 22 is formed on the second substrate 41. Specifically, the common electrode 22 is formed on the entire surface of the second substrate 41 made of a translucent material such as a glass substrate by using a well-known film forming technique.

ステップS32(絶縁層形成工程)では、共通電極22上に第2絶縁層42を形成する。第2絶縁層42の厚みは、例えば、20μmである。なお、第2絶縁層42の厚みとしては、例えば、100nm〜100μmである。更に、第2絶縁層42としての機能、及び、電気泳動層33に印加する実効電圧の許容範囲の点から、10μm〜50μmであることが好ましい。   In step S <b> 32 (insulating layer forming step), the second insulating layer 42 is formed on the common electrode 22. The thickness of the second insulating layer 42 is, for example, 20 μm. The thickness of the second insulating layer 42 is, for example, 100 nm to 100 μm. Furthermore, from the viewpoint of the function as the second insulating layer 42 and the allowable range of the effective voltage applied to the electrophoretic layer 33, the thickness is preferably 10 μm to 50 μm.

第2絶縁層42の材料は、第1レジスト膜32aの主成分と類似している成分を含む材料(第2感光性材料)を用いる。当然ながら、第2感光性材料と第1感光性材料とが同じ材料でもよい。第2絶縁層42の形成方法は、上記した第1レジスト膜32aと同じである。すなわち、2段階のプリベーク処理が施され、満遍なく硬化が促進されている。以上により、対向基板52側が完成する。続いて、図4及び図7(l)を参照しながら、素子基板51と対向基板52とを貼り合わせる方法を説明する。   As the material of the second insulating layer 42, a material (second photosensitive material) containing a component similar to the main component of the first resist film 32a is used. Of course, the second photosensitive material and the first photosensitive material may be the same material. The formation method of the second insulating layer 42 is the same as that of the first resist film 32a. That is, a two-stage pre-bake treatment is performed, and curing is promoted uniformly. Thus, the counter substrate 52 side is completed. Subsequently, a method of bonding the element substrate 51 and the counter substrate 52 will be described with reference to FIGS. 4 and 7L.

まず、ステップS41では、素子基板51における隔壁35で囲まれた領域に、電気泳動粒子34を有する分散液15を注入する。分散液15の注入方法としては、基板全面に対し一度に注入してもよいし、画素14(セル36)ごとに液滴吐出法などを用いて所定量ずつ吐出するようにしてもよい。   First, in step S41, the dispersion liquid 15 having the electrophoretic particles 34 is injected into a region surrounded by the partition walls 35 in the element substrate 51. As a method for injecting the dispersion liquid 15, it may be injected at once to the entire surface of the substrate, or may be discharged by a predetermined amount for each pixel 14 (cell 36) using a droplet discharge method or the like.

分散液15を構成する電気泳動粒子34としては、有色または無色(白)の無機顔料粒子、有機顔料粒子、高分子微粒子等が挙げられる。これらを1種又は2種以上の混合で用いる。電気泳動粒子34の径は、0.05μmから10μmの物が用いられ、更に、0.2μmから2μmが好ましい。分散液15に対する割合は、5wt%〜90wt%で用いるのが好ましく、更に、10wt%から80wt%で用いるのが望ましい。   Examples of the electrophoretic particles 34 constituting the dispersion 15 include colored or colorless (white) inorganic pigment particles, organic pigment particles, and polymer fine particles. These are used alone or in combination of two or more. The diameter of the electrophoretic particles 34 is 0.05 μm to 10 μm, more preferably 0.2 μm to 2 μm. The ratio with respect to the dispersion 15 is preferably 5 wt% to 90 wt%, and more preferably 10 wt% to 80 wt%.

分散液15を構成する分散媒としては芳香族系炭化水素、ヘキサン、シクロヘキサン、ケロシン、アイソパー、パラフィン系炭化水素等の脂肪族炭化水素類、ハロゲン化炭化水素類、リン酸エステル類、フタル酸エステル類、カルボン酸エステル類、塩素化パラフィン、シリコーン類等が挙げられるが、これに限定されるものではない。分散液15に対する分散媒の割合は20wt%から90wt%となるようにするのが好ましく、更に、40wt%から60wt%が望ましい。なお、電気泳動層33の厚みとしては、例えば、45μmである。   The dispersion medium constituting the dispersion 15 includes aromatic hydrocarbons, hexane, cyclohexane, kerosene, isopar, paraffin hydrocarbons and other aliphatic hydrocarbons, halogenated hydrocarbons, phosphate esters, and phthalate esters. , Carboxylic acid esters, chlorinated paraffin, silicones and the like, but are not limited thereto. The ratio of the dispersion medium to the dispersion 15 is preferably 20 wt% to 90 wt%, and more preferably 40 wt% to 60 wt%. The thickness of the electrophoretic layer 33 is, for example, 45 μm.

ステップS42(接着工程、樹脂化工程)では、素子基板51と対向基板52とを貼り合わせる(接着する)。具体的には、ホットプレートを用いて貼り合わせる。まず、素子基板51上に対向基板52を載せた状態で、ホットプレート上に載置する。更に、対向基板52側からも熱が加わるように、対向基板52上に略30gのアルミ板(図示せず)を載せる。処理条件としては、加熱温度が90℃であり、加熱時間が10分である。これにより、隔壁35と第2絶縁層42とが密着した状態で樹脂化する。以上により、素子基板51及び対向基板52によって挟持された空間が封止され、電気泳動表示装置11が完成する。   In step S42 (adhesion process, resinification process), the element substrate 51 and the counter substrate 52 are bonded (bonded). Specifically, they are bonded using a hot plate. First, the counter substrate 52 is placed on the element substrate 51 and placed on the hot plate. Further, an approximately 30 g aluminum plate (not shown) is placed on the counter substrate 52 so that heat is also applied from the counter substrate 52 side. As processing conditions, the heating temperature is 90 ° C. and the heating time is 10 minutes. As a result, the partition wall 35 and the second insulating layer 42 are made into a resin while being in close contact with each other. As described above, the space sandwiched between the element substrate 51 and the counter substrate 52 is sealed, and the electrophoretic display device 11 is completed.

このように、隔壁35及び第2絶縁層42を、同じ絶縁材料から形成しており、熱を加えて互いを接着しているので、接着剤などを用いることなく、隔壁35と第2絶縁層42との密着性を向上させることができる。なお、上記したように、主成分が類似する絶縁材料を用いるようにしてもよい。よって、接着剤などを用いた場合のように、電気泳動層33を構成する分散媒に接着剤が溶解し、電気泳動粒子34の分散性に悪影響を与えることを防ぐことができる。   In this way, the partition wall 35 and the second insulating layer 42 are formed of the same insulating material and are bonded to each other by applying heat. Therefore, the partition wall 35 and the second insulating layer are not used without using an adhesive or the like. Adhesion with 42 can be improved. As described above, an insulating material having a similar main component may be used. Therefore, it is possible to prevent the adhesive from being dissolved in the dispersion medium constituting the electrophoretic layer 33 and adversely affecting the dispersibility of the electrophoretic particles 34 as in the case of using an adhesive or the like.

また、一のセル36において、共通電極22は第2絶縁層42によって覆われているので、電気泳動粒子34が共通電極22と直接接触しない。よって、共通電極22に電気泳動粒子34が付着することによって泳動しなくなる、ということがなく、良好な電気泳動を得ることができる。ただし、図示していないが、共通電極22と駆動回路とを電気的に接続するために、分散液15が設けられない領域には、第2絶縁層42が設けられていない領域が設けられている。   In one cell 36, the common electrode 22 is covered with the second insulating layer 42, so that the electrophoretic particles 34 are not in direct contact with the common electrode 22. Therefore, the electrophoretic particles 34 are not attached to the common electrode 22 so that the electrophoretic particles do not move, and good electrophoresis can be obtained. Although not shown, in order to electrically connect the common electrode 22 and the drive circuit, a region where the second insulating layer 42 is not provided is provided in a region where the dispersion liquid 15 is not provided. Yes.

図8は、絶縁層(第2絶縁層)の厚みと接着強度との関係を示す図表である。以下、図8を参照しながら、絶縁層の厚みと接着強度との関係について説明する。   FIG. 8 is a chart showing the relationship between the thickness of the insulating layer (second insulating layer) and the adhesive strength. Hereinafter, the relationship between the thickness of the insulating layer and the adhesive strength will be described with reference to FIG.

図8に示す図表は、電気泳動表示装置11に用いる第2絶縁層42の厚みを5段階で変えたときの、電気泳動表示装置11に印加する実効電圧、及び第2絶縁層42と隔壁35との接着強度を「○」、「×」、「△」で評価したものである。なお、ここでの実効電圧とは、電気泳動表示装置11を必要なコントラストで駆動するために必要な電圧である。また、接着強度を評価するための縦方向とは、例えば、素子基板51と対向基板52とを剥がすように加えた力の方向のことである。横方向とは、素子基板51と対向基板52とを互いにずらすように加えた力の方向のことである。   The chart shown in FIG. 8 shows the effective voltage applied to the electrophoretic display device 11 when the thickness of the second insulating layer 42 used in the electrophoretic display device 11 is changed in five stages, and the second insulating layer 42 and the partition wall 35. Are evaluated with “◯”, “×”, and “Δ”. Here, the effective voltage is a voltage necessary for driving the electrophoretic display device 11 with a necessary contrast. The longitudinal direction for evaluating the adhesive strength is, for example, the direction of the force applied so as to peel off the element substrate 51 and the counter substrate 52. The lateral direction is a direction of a force applied so that the element substrate 51 and the counter substrate 52 are shifted from each other.

図8に示すように、第2絶縁層42の厚みが10nmの場合、電気泳動表示装置11に印加する実効電圧は20Vであり、接着強度は×である。具体的には、接着強度を評価する縦方向の強度及び横方向の強度は、共に×である。   As shown in FIG. 8, when the thickness of the second insulating layer 42 is 10 nm, the effective voltage applied to the electrophoretic display device 11 is 20 V, and the adhesive strength is x. Specifically, the strength in the vertical direction and the strength in the horizontal direction for evaluating the adhesive strength are both x.

第2絶縁層42の厚みが100nmの場合、実効電圧は30Vであり、接着強度は△である。なお、縦方向の強度は△であり、横方向の強度は○である。また、第2絶縁層42の厚みが600nmの場合、実効電圧は40Vであり、接着強度は△である。なお、縦方向の強度は△であり、横方向の強度は○である。   When the thickness of the second insulating layer 42 is 100 nm, the effective voltage is 30 V and the adhesive strength is Δ. In addition, the intensity | strength of a vertical direction is (triangle | delta) and the intensity | strength of a horizontal direction is (circle). When the thickness of the second insulating layer 42 is 600 nm, the effective voltage is 40 V and the adhesive strength is Δ. In addition, the intensity | strength of a vertical direction is (triangle | delta) and the intensity | strength of a horizontal direction is (circle).

また、第2絶縁層42の厚みが5μmの場合、実効電圧は40V〜60Vであり、接着強度は△である。なお、縦方向の強度は△であり、横方向の強度は○である。また、第2絶縁層42の厚みが20μmの場合、実効電圧は60Vであり、接着強度は○である。なお、縦方向及び横方向の強度は、共に○である。   When the thickness of the second insulating layer 42 is 5 μm, the effective voltage is 40V to 60V and the adhesive strength is Δ. In addition, the intensity | strength of a vertical direction is (triangle | delta) and the intensity | strength of a horizontal direction is (circle). When the thickness of the second insulating layer 42 is 20 μm, the effective voltage is 60 V and the adhesive strength is ◯. The vertical and horizontal strengths are both ◯.

このように、第2絶縁層42の厚みが厚くなると、電気泳動表示装置11を駆動するための実効電圧が大きくなる。また、第2絶縁層42の厚みが厚くなると、素子基板51と対向基板52(隔壁35と第2絶縁層42)との接着強度が良好な状態となることがわかる。   Thus, as the thickness of the second insulating layer 42 increases, the effective voltage for driving the electrophoretic display device 11 increases. In addition, it can be seen that when the thickness of the second insulating layer 42 is increased, the adhesive strength between the element substrate 51 and the counter substrate 52 (the partition wall 35 and the second insulating layer 42) becomes good.

しかし、第2絶縁層42が上記厚みより厚くなりすぎると、第2絶縁層42に隔壁35が入り込んでしまい、電気泳動層33となる空間が狭くなるという問題がある。また、第2絶縁層42の材料の選択が不適切であると、第2絶縁層42と分散媒とが混合したり、第2絶縁層42と隔壁35との接着強度が弱くなったりするという問題が生じる。   However, if the second insulating layer 42 becomes thicker than the above thickness, there is a problem that the partition wall 35 enters the second insulating layer 42 and the space that becomes the electrophoretic layer 33 becomes narrow. In addition, if the material of the second insulating layer 42 is inappropriately selected, the second insulating layer 42 and the dispersion medium are mixed, or the adhesive strength between the second insulating layer 42 and the partition wall 35 is weakened. Problems arise.

第1絶縁層32の厚さとしては、第1絶縁層32と隔壁35との間の接着強度の観点及び実効電圧の観点から、第2絶縁層42と同様に、100nm〜100μmであることが好ましく、更に、10μm〜50μmであることが望ましい。   The thickness of the first insulating layer 32 is 100 nm to 100 μm, similar to the second insulating layer 42, from the viewpoint of the adhesive strength between the first insulating layer 32 and the partition wall 35 and the effective voltage. Preferably, it is further desirable that it is 10 micrometers-50 micrometers.

<電子機器の構成>
図9は、上記した電気泳動表示装置を備えた電子機器の一例として電子ペーパー(EPD:Electronic Paper Display)の構成を模式的に示す斜視図である。以下、電気泳動表示装置を備えた電子ペーパーの構成を、図9を参照しながら説明する。
<Configuration of electronic equipment>
FIG. 9 is a perspective view schematically illustrating a configuration of an electronic paper (EPD) as an example of an electronic apparatus including the above-described electrophoretic display device. Hereinafter, the configuration of the electronic paper including the electrophoretic display device will be described with reference to FIG.

図9に示すように、電子ペーパー61は、紙と同様の質感および柔軟性を有するリライタブルシートで構成される本体62と、表示ユニット63とを備えている。このような電子ペーパー61では、表示ユニット63が、前述したような電気泳動表示装置11で構成されている。   As shown in FIG. 9, the electronic paper 61 includes a main body 62 composed of a rewritable sheet having the same texture and flexibility as paper, and a display unit 63. In such an electronic paper 61, the display unit 63 is configured by the electrophoretic display device 11 as described above.

以上詳述したように、本実施形態の電気泳動表示装置11、電気泳動表示装置11の製造方法、及び電子機器によれば、以下に示す効果が得られる。   As described above in detail, according to the electrophoretic display device 11, the manufacturing method of the electrophoretic display device 11, and the electronic apparatus of the present embodiment, the following effects can be obtained.

(1)本実施形態によれば、隔壁35と第2絶縁層42とが互いに同じ又は類似する主成分を含む絶縁材料を用いているので、接着剤などを用いることなく、隔壁35と第2絶縁層42との密着性を向上させることができる。よって、接着剤などを用いた場合のように、電気泳動層33を構成する分散液15に接着剤が溶解し、電気泳動粒子34の分散性に悪影響を与えることを防ぐことができる。   (1) According to the present embodiment, since the partition wall 35 and the second insulating layer 42 are made of an insulating material containing the same or similar main components, the partition wall 35 and the second insulating layer 42 are not used without using an adhesive or the like. Adhesion with the insulating layer 42 can be improved. Therefore, it is possible to prevent the adhesive from being dissolved in the dispersion liquid 15 constituting the electrophoretic layer 33 and adversely affecting the dispersibility of the electrophoretic particles 34 as in the case of using an adhesive or the like.

(2)本実施形態によれば、第2絶縁層42によって共通電極22上の全面が覆われるので、共通電極22と電気泳動層33とが直接接触することを防ぐことができる。よって、電気泳動層33に含まれる電気泳動粒子34が共通電極22に付着することなく、画素電極21と共通電極22との間に生ずる電界によって電気泳動粒子34を容易に移動させることができる。   (2) According to the present embodiment, since the entire surface of the common electrode 22 is covered with the second insulating layer 42, it is possible to prevent the common electrode 22 and the electrophoretic layer 33 from being in direct contact. Therefore, the electrophoretic particles 34 included in the electrophoretic layer 33 can be easily moved by the electric field generated between the pixel electrode 21 and the common electrode 22 without adhering to the common electrode 22.

(3)本実施形態によれば、上記に記載した電気泳動表示装置11を電子ペーパー61に備えるので、電気泳動粒子34の分散性が低下することが抑えられ、安定した表示品質を得ることができる。   (3) According to the present embodiment, since the electrophoretic display device 11 described above is provided in the electronic paper 61, it is possible to suppress the dispersibility of the electrophoretic particles 34 from being lowered and to obtain a stable display quality. it can.

なお、実施形態は上記に限定されず、以下のような形態で実施することもできる。   In addition, embodiment is not limited above, It can also implement with the following forms.

(変形例1)
上記したように、一のセル36において共通電極22を覆うように第2絶縁層42を設けることに限定されず、例えば、図10に示すような形態でもよい。図10は、電気泳動表示装置の構造を示す模式断面図である。
(Modification 1)
As described above, the second insulating layer 42 is not limited to be provided so as to cover the common electrode 22 in one cell 36. For example, a form as shown in FIG. FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the electrophoretic display device.

図10に示す電気泳動表示装置111は、一のセル36において共通電極22を覆うように第2絶縁層42が設けられているのではなく、第2基板41上の隔壁35と平面視で重なる領域およびその周辺のみに形成されている部分が、上記した実施形態と異なっている。   In the electrophoretic display device 111 shown in FIG. 10, the second insulating layer 42 is not provided so as to cover the common electrode 22 in one cell 36, but overlaps the partition wall 35 on the second substrate 41 in plan view. The part formed only in the region and its periphery is different from the above-described embodiment.

これによれば、第2基板41上に設けられた共通電極22の一部と、電気泳動層33とが接触する構成になるものの、隔壁35と第2絶縁層142とが同じ主成分の材料で構成されているので、第2絶縁層142と隔壁35との密着性(封止性)を向上させることができる。また、セル36における共通電極22の全面が第2絶縁層142で覆われていないので、電気泳動層33に印加される実効電圧を低下させることができる。   According to this, although the part of the common electrode 22 provided on the second substrate 41 and the electrophoretic layer 33 are in contact with each other, the partition 35 and the second insulating layer 142 are the same main component material. Therefore, the adhesion (sealing property) between the second insulating layer 142 and the partition wall 35 can be improved. Further, since the entire surface of the common electrode 22 in the cell 36 is not covered with the second insulating layer 142, the effective voltage applied to the electrophoretic layer 33 can be reduced.

(変形例2)
上記した実施形態のように、隔壁35を形成するのにフォトリソグラフィ法を用いることに限定されず、例えば、ハーフトーンマスクやダブルパターニング法などを利用して、隔壁35及び第1絶縁層32を形成するようにしてもよい。具体的には、レジスト膜において隔壁35となる部分に第1強度の露光を行い、レジスト膜において第1絶縁層32となる一部の部分に第1強度より強度が弱い第2強度の露光を行うようにする。また、これらの方法に限定されず、スクリーン印刷法、凸版印刷法、グラビア印刷法などの印刷プロセスで形成するようにしてもよい。
(Modification 2)
As in the above-described embodiment, the partition 35 is not limited to using the photolithography method, and for example, the partition 35 and the first insulating layer 32 are formed using a halftone mask or a double patterning method. You may make it form. Specifically, the resist film is exposed to the first intensity on the portion that becomes the partition wall 35, and the resist film is exposed to the second intensity that is lower than the first intensity on a part of the resist film that becomes the first insulating layer 32. To do. Moreover, it is not limited to these methods, You may make it form by printing processes, such as a screen printing method, a relief printing method, and a gravure printing method.

(変形例3)
上記したように、第1基板31及び第2基板41は、表示側に光透過性を有する材料を用いればよく、ガラス基板の他、プラスチックや金属よりなるフレキシブル基板を用いるようにしてもよい。プラスチックを用いる場合、例えば、上記したポストベーク処理の温度を150℃程度に低下させ、加熱時間を2〜3時間行うようにする。この場合、電気泳動表示装置11に、薄膜トランジスターとしてフレキシブル性を有する有機薄膜トランジスター(有機TFT)を備えることが好ましい。
(Modification 3)
As described above, the first substrate 31 and the second substrate 41 may be made of a light-transmitting material on the display side, and may be a flexible substrate made of plastic or metal in addition to a glass substrate. In the case of using plastic, for example, the temperature of the above-described post-bake treatment is lowered to about 150 ° C. and the heating time is performed for 2 to 3 hours. In this case, the electrophoretic display device 11 is preferably provided with an organic thin film transistor (organic TFT) having flexibility as a thin film transistor.

(変形例4)
上記したように、隔壁35と第2絶縁層42とが同じ主成分の材料同士で構成されることに限定されず、以下のように類似した材料同士を組み合わせて構成するようにしてもよい。例えば、アクリレートに対しては、ポリプロピレンやポリエチレンに代表されるポリオレフィン系の材料を組み合わせるようにしてもよい。なお、組成の中にベンゼン環を持たないものが良い。また、エポキシ系に対しても同様に、ポリプロピレンやポリエチレンに代表されるポリオレフィン系の材料を組み合わせるようにしてもよい。なお、組成の中にベンゼン環を持たないものが良い。
(Modification 4)
As described above, the partition wall 35 and the second insulating layer 42 are not limited to being composed of the same main component materials, and may be configured by combining similar materials as follows. For example, for acrylate, a polyolefin-based material typified by polypropylene or polyethylene may be combined. In addition, the thing which does not have a benzene ring in a composition is good. Similarly, an epoxy material may be combined with a polyolefin material typified by polypropylene or polyethylene. In addition, the thing which does not have a benzene ring in a composition is good.

(変形例5)
上記したように、隔壁35の形状は、平面的に格子状(図3参照)であることに限定されず、例えば、ハニカム形状、多角形状、丸形状、三角形状などの形状であってもよい。
(Modification 5)
As described above, the shape of the partition wall 35 is not limited to a planar lattice shape (see FIG. 3), and may be, for example, a honeycomb shape, a polygonal shape, a round shape, a triangular shape, or the like. .

(変形例6)
上記したように、電気泳動表示装置11は白黒表示の構造であることに限定されず、カラー表示が可能な構造にしてもよい。例えば、1つのセル36の中に複数の画素電極21を含む構成にし、3つの色をもったそれぞれの電気泳動粒子を入れて各色を表示するようにしてもよい。また、1つのセル36の中に複数の画素電極21を備えることにより、隔壁35の構成を簡略化して高精細表示させることができる。
(Modification 6)
As described above, the electrophoretic display device 11 is not limited to a monochrome display structure, and may have a structure capable of color display. For example, a configuration may be adopted in which a plurality of pixel electrodes 21 are included in one cell 36, and each color is displayed by inserting respective electrophoretic particles having three colors. Further, by providing the plurality of pixel electrodes 21 in one cell 36, the configuration of the partition wall 35 can be simplified and high-definition display can be performed.

11,111…電気泳動表示装置、12…データ線、13…走査線、14…画素、15…分散液、16…トランジスター、21…第1電極としての画素電極、22…第2電極としての共通電極、31…第1基板、32…第1絶縁層、32a,32b,32c…第1感光性材料としての第1レジスト膜、32d…絶縁層前駆体膜、33…電気泳動層、34…電気泳動粒子、35…隔壁、35a,35b,35c,35d…第2レジスト膜、35e…隔壁前駆体膜、36…セル、41…第2基板、42,142…絶縁層としての第2絶縁層、43…ホットプレート、51…素子基板、52…対向基板、61…電子機器としての電子ペーパー、62…本体、63…表示ユニット。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 11,111 ... Electrophoretic display apparatus, 12 ... Data line, 13 ... Scan line, 14 ... Pixel, 15 ... Dispersion liquid, 16 ... Transistor, 21 ... Pixel electrode as 1st electrode, 22 ... Common as 2nd electrode Electrode 31 ... first substrate 32 ... first insulating layer 32a, 32b, 32c ... first resist film as first photosensitive material 32d ... insulating layer precursor film 33 ... electrophoretic layer 34 ... electricity Electrophoretic particles, 35 ... barrier ribs, 35a, 35b, 35c, 35d ... second resist film, 35e ... barrier rib precursor film, 36 ... cell, 41 ... second substrate, 42, 142 ... second insulating layer as insulating layer, DESCRIPTION OF SYMBOLS 43 ... Hot plate, 51 ... Element board | substrate, 52 ... Opposite board | substrate, 61 ... Electronic paper as an electronic device, 62 ... Main body, 63 ... Display unit.

Claims (13)

対向して配置された第1基板及び第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板との間に設けられた電気泳動層と、
前記第1基板と前記電気泳動層との間に設けられた第1電極と、
前記第2基板と前記電気泳動層との間に設けられた第2電極と、
前記電気泳動層を複数のセルに区分けする隔壁と、
を有し、
前記第2基板の前記隔壁と接する面に、前記隔壁の主成分と類似する成分を含む絶縁層が設けられていることを特徴とする電気泳動表示装置。
A first substrate and a second substrate disposed opposite to each other;
An electrophoretic layer provided between the first substrate and the second substrate;
A first electrode provided between the first substrate and the electrophoretic layer;
A second electrode provided between the second substrate and the electrophoretic layer;
A partition wall dividing the electrophoretic layer into a plurality of cells;
Have
An electrophoretic display device, wherein an insulating layer containing a component similar to a main component of the partition wall is provided on a surface of the second substrate in contact with the partition wall.
請求項1に記載の電気泳動表示装置であって、
前記隔壁と前記絶縁層とは主成分が同じであることを特徴とする電気泳動表示装置。
The electrophoretic display device according to claim 1,
The electrophoretic display device, wherein the partition wall and the insulating layer have the same main component.
請求項1又は請求項2に記載の電気泳動表示装置であって、
前記隔壁は、主成分としてオレフィン系樹脂材料を含むことを特徴とする電気泳動表示装置。
The electrophoretic display device according to claim 1 or 2,
The partition includes an olefin resin material as a main component.
請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置であって、
前記絶縁層は、前記隔壁と接すると共に、前記隔壁よりも大きい平面積を有していることを特徴とする電気泳動表示装置。
An electrophoretic display device according to any one of claims 1 to 3,
The electrophoretic display device, wherein the insulating layer is in contact with the partition wall and has a larger plane area than the partition wall.
請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置であって、
前記絶縁層は、前記第2電極と前記電気泳動層との間に、前記複数のセルのうち一のセルにおいて少なくとも前記第2電極を覆うように設けられていることを特徴とする電気泳動表示装置。
An electrophoretic display device according to any one of claims 1 to 4,
The electrophoretic display, wherein the insulating layer is provided between the second electrode and the electrophoretic layer so as to cover at least the second electrode in one of the plurality of cells. apparatus.
請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置であって、
前記絶縁層の厚みは、100nm〜100μmであることを特徴とする電気泳動表示装置。
An electrophoretic display device according to any one of claims 1 to 5,
The electrophoretic display device, wherein the insulating layer has a thickness of 100 nm to 100 μm.
請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置であって、
前記第1電極は画素電極であり、前記複数のセルのうち一のセルに複数の前記第1電極が設けられていることを特徴とする電気泳動表示装置。
An electrophoretic display device according to any one of claims 1 to 6,
The electrophoretic display device, wherein the first electrode is a pixel electrode, and a plurality of the first electrodes are provided in one of the plurality of cells.
対向して配置された第1基板及び第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板との間に設けられた電気泳動層と、
前記第1基板と前記電気泳動層との間に設けられた第1電極と、
前記第2基板と前記電気泳動層との間に設けられた第2電極と、
前記電気泳動層を複数のセルに区分けする前記第1基板上に設けられた隔壁と、
を有する電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記第2基板における前記隔壁と接する面に、前記隔壁の主成分と類似する成分を含む絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
前記第1基板と前記第2基板とを対向配置して、前記隔壁と前記絶縁層とを互いに接着させる接着工程と、
を有することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
A first substrate and a second substrate disposed opposite to each other;
An electrophoretic layer provided between the first substrate and the second substrate;
A first electrode provided between the first substrate and the electrophoretic layer;
A second electrode provided between the second substrate and the electrophoretic layer;
A partition provided on the first substrate for dividing the electrophoretic layer into a plurality of cells;
A method for producing an electrophoretic display device comprising:
An insulating layer forming step of forming an insulating layer containing a component similar to the main component of the partition wall on a surface of the second substrate in contact with the partition wall;
An adhesion step in which the first substrate and the second substrate are arranged to face each other and the partition and the insulating layer are adhered to each other;
A method for producing an electrophoretic display device, comprising:
請求項8に記載の電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記隔壁は、第1感光性材料から形成されており、
前記絶縁層形成工程は、前記隔壁の主成分と類似する成分を含む第2感光性材料を用いて前記絶縁層を形成し、
前記接着工程は、前記隔壁と前記絶縁層とを互いに接触させた後、前記隔壁及び前記絶縁層を加熱することによって樹脂化する樹脂化工程を有することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
A method for manufacturing an electrophoretic display device according to claim 8,
The partition is made of a first photosensitive material,
The insulating layer forming step forms the insulating layer using a second photosensitive material containing a component similar to the main component of the partition wall,
The method of manufacturing an electrophoretic display device, wherein the bonding step includes a resinification step in which the partition wall and the insulating layer are brought into contact with each other and then the partition wall and the insulating layer are heated to form a resin. .
請求項9に記載の電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記樹脂化工程は、前記第1基板及び前記第2基板の両方から加熱することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
A method of manufacturing an electrophoretic display device according to claim 9,
The method for producing an electrophoretic display device is characterized in that the resinification step heats both the first substrate and the second substrate.
請求項8乃至請求項10のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記隔壁は、主成分としてオレフィン系樹脂材料を含むことを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
A method for manufacturing an electrophoretic display device according to any one of claims 8 to 10,
The method for manufacturing an electrophoretic display device, wherein the partition wall includes an olefin resin material as a main component.
請求項8乃至請求項11のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記絶縁層形成工程は、少なくとも前記第2電極を覆うように前記絶縁層を形成することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
A method for manufacturing an electrophoretic display device according to any one of claims 8 to 11,
In the method for manufacturing an electrophoretic display device, the insulating layer forming step forms the insulating layer so as to cover at least the second electrode.
請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置を備えることを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the electrophoretic display device according to claim 1.
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