JP2011228606A - Mounting structure of substrate and droplet discharge head - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mounting structure of a flexible circuit board capable of preventing occurrence of failure in electrical junction, with reliable junction structure available in stable manner.SOLUTION: Relating to a mounting structure of a flexible circuit board, a flexible circuit board 27 is bent along the direction across the extending direction of a wiring 71, and under such state as the wirings 71 of a board banding part 27A positioned closer to a substrate tip end side than the bent point are arranged to face terminals 74 of a flow path formation substrate 22, the flow path formation substrate 22 and the flexible circuit board 27 are bonded together by NCP79. A dimension L1 in the extending direction of a junction part 75 contacting directly to the wiring 71, among the terminals 74 of the flow path formation substrate 22, is smaller than a dimension L2 in the extending direction of the wiring 71 at the substrate bending part 27A of the flexible circuit board 27.

Description

本発明は、基板の実装構造、およびこの実装構造を備えた液滴吐出ヘッドに関する。   The present invention relates to a substrate mounting structure and a droplet discharge head including the mounting structure.

マイクロデバイスを製造する方法の一つとして液滴吐出法(インクジェット法)が提案されている。この液滴吐出法は、デバイスを形成するための材料を含む流体を液滴状にして、液滴吐出ヘッドから吐出する方法である。インクジェット方式の液滴吐出ヘッドには、流体を吐出する圧力を生成する圧電素子等の駆動素子が備えられており、この駆動素子に外部の回路基板から駆動信号が供給される構成となっている。したがって、液滴吐出ヘッドは、ヘッド本体に回路基板が実装された構成を有している。例えば、特許文献1には、ワイヤーボンディング技術を用いて半導体チップの上面に設けられた端子と回路基板上の端子とを電気的に配線接続する一般的な技術が開示されている。また、特許文献2には、駆動素子(圧電素子)が駆動デバイス(ドライバーIC)にワイヤーボンディングで接続された液滴吐出ヘッドが開示されている。   A droplet discharge method (inkjet method) has been proposed as one method for manufacturing a microdevice. This droplet discharge method is a method in which a fluid containing a material for forming a device is formed into droplets and discharged from a droplet discharge head. An ink jet type droplet discharge head includes a driving element such as a piezoelectric element that generates a pressure for discharging a fluid, and a driving signal is supplied to the driving element from an external circuit board. . Therefore, the droplet discharge head has a configuration in which a circuit board is mounted on the head body. For example, Patent Document 1 discloses a general technique for electrically connecting a terminal provided on an upper surface of a semiconductor chip and a terminal on a circuit board using a wire bonding technique. Patent Document 2 discloses a droplet discharge head in which a driving element (piezoelectric element) is connected to a driving device (driver IC) by wire bonding.

近年、液滴吐出法を用いてマイクロデバイスを製造する際、マイクロデバイスの更なる微細化の要求に応えるために、アウターリードとして機能する配線パターンを予め形成したフレキシブル回路基板を用いて、アウターリードボンディング(OLB:Outer Lead Bonding)接続を行う方法が提案されている。この方法によれば、ワイヤー同士の電気的短絡等の不都合を生じさせることなく、駆動素子と駆動回路部(ドライバーIC)との間の電気的接続を行うことができる(下記の特許文献3参照)。   In recent years, when microdevices are manufactured using the droplet discharge method, outer leads are used by using a flexible circuit board in which a wiring pattern that functions as outer leads is formed in order to meet the demand for further miniaturization of microdevices. A method of performing bonding (OLB: Outer Lead Bonding) connection has been proposed. According to this method, electrical connection between the drive element and the drive circuit unit (driver IC) can be performed without causing inconvenience such as an electrical short circuit between the wires (see Patent Document 3 below). ).

特開2002−9235号公報JP 2002-9235 A 特開2003−159800号公報JP 2003-159800 A 特開2000−68989号公報JP 2000-68989 A

ところで、圧電素子等の駆動素子が形成された素子基板にフレキシブル回路基板を実装する方法として、駆動素子の各端子とフレキシブル回路基板の各配線とを異方性導電性接着材(Anisotropic Conductive Paste,以下、ACPと略記する)を介して電気的に接続する方法が知られている。微細な導電性粒子を樹脂中に含んだACPの使用により、隣接する端子間での電気的短絡を生じさせることなく、各端子と各配線とを電気的に接続することができる。しかしながら、液滴吐出ヘッドの小型化や高解像度化に伴って、隣接する駆動素子間の間隔が狭くなると端子間の距離が短くなり、ACPを用いたとしても、隣接する端子間で電気的短絡が生じる虞があった。そこで、ACPに代えて、非導電性接着材(Non-Conductive Paste,以下、NCPと略記する)を用いたフレキシブル回路基板の実装方法が検討されている。   By the way, as a method of mounting a flexible circuit board on an element substrate on which a driving element such as a piezoelectric element is formed, an anisotropic conductive adhesive (Anisotropic Conductive Paste, Hereinafter, a method of electrical connection via ACP) is known. By using ACP containing fine conductive particles in a resin, each terminal and each wiring can be electrically connected without causing an electrical short circuit between adjacent terminals. However, as the size of the droplet discharge head is reduced and the resolution is increased, the distance between adjacent drive elements is reduced as the distance between adjacent drive elements is reduced. Even if ACP is used, an electrical short circuit occurs between adjacent terminals. There was a risk of occurrence. Therefore, a flexible circuit board mounting method using a non-conductive adhesive (hereinafter abbreviated as NCP) instead of ACP has been studied.

ACPを用いた実装構造では、駆動素子の各端子とフレキシブル回路基板の各配線との間に導電性粒子が介在しているのに対し、NCPを用いた実装構造では、駆動素子の端子とフレキシブル回路基板の配線とを直接圧着して電気的接続を図るとともに、両者を樹脂接着材で固定している。したがって、実装プロセスでは、素子基板の端子上にNCPを塗布した後、その上にフレキシブル回路基板を配置した状態で圧着ツールを用いて荷重を加え、各端子と各配線との接合面からNCPを排除しつつ各端子と各配線とを圧着する必要がある。これにより、各端子と各配線とが直接接触した状態で接合され、排除されたNCPによって各端子と各配線とが接合面の周囲で固定される。   In the mounting structure using the ACP, conductive particles are interposed between each terminal of the driving element and each wiring of the flexible circuit board, whereas in the mounting structure using the NCP, the terminal of the driving element is flexible. The circuit board wiring is directly crimped to achieve electrical connection, and both are fixed with a resin adhesive. Therefore, in the mounting process, after applying NCP on the terminals of the element substrate, a load is applied using a crimping tool with the flexible circuit board placed thereon, and NCP is applied from the joint surface between each terminal and each wiring. It is necessary to crimp each terminal and each wiring while eliminating them. Thereby, each terminal and each wiring are joined in a direct contact state, and each terminal and each wiring are fixed around the joint surface by the excluded NCP.

しかしながら、従来の実装プロセスでは、圧着ツールによって接合面に加えられる圧力が不十分となる場合があり、接合面にNCP(絶縁性樹脂)が残りやすく、接合不良が生じる虞があった。したがって、特に微細パターンを有するフレキシブル回路基板を実装する際に、電気的接続の信頼性の高い製品を安定して製造するのが難しいという問題があった。   However, in the conventional mounting process, the pressure applied to the bonding surface by the crimping tool may be insufficient, and NCP (insulating resin) tends to remain on the bonding surface, which may cause a bonding failure. Therefore, there is a problem that it is difficult to stably manufacture a product with high reliability of electrical connection, particularly when a flexible circuit board having a fine pattern is mounted.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、電気的接合不良の発生を防止でき、信頼性の高い接合構造が安定して得られる基板の実装構造を提供することを目的とする。また、このような実装構造を備えることで、高品質の液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a substrate mounting structure that can prevent the occurrence of defective electrical bonding and stably obtain a highly reliable bonding structure. To do. It is another object of the present invention to provide a high-quality liquid droplet ejection head by providing such a mounting structure.

上記の目的を達成するために、本発明の基板の実装構造は、第1面を有し、第1方向に延在する端子が前記第1面に設けられた第1基板と、前記第1面に対向する対向面を有し、前記第1方向に延在する配線が前記対向面に設けられた第2基板と、前記第1面と前記対向面との間に設けられ、前記端子と前記配線とが対向して直接接触した状態で前記第1基板と前記第2基板とを接着する非導電性接着材と、を備え、前記端子における前記配線と直接接触する接合部の前記第1方向の長さは、前記対向面における前記配線の前記第1方向の長さよりも短いことを特徴とする。   To achieve the above object, the substrate mounting structure of the present invention includes a first substrate having a first surface and a terminal extending on the first surface and extending in a first direction, and the first substrate. A second substrate having an opposing surface facing the surface and extending in the first direction provided between the opposing surface, the first surface and the opposing surface, and the terminal A non-conductive adhesive for adhering the first substrate and the second substrate in a state in which the wiring is opposed and in direct contact with the wiring, and the first portion of the joint portion in direct contact with the wiring in the terminal The length in the direction is shorter than the length in the first direction of the wiring on the facing surface.

従来の実装構造においては、所定の方向に延在する端子と配線との接合部における延在方向の寸法が同一であり、端子と配線との双方が延在方向の全体にわたって接触した状態で接合されていた。したがって、実装プロセスにおいて圧着ツール等を用いて接合部に荷重を加えても、端子と配線との接合面積が大きいために圧力が分散され、十分な荷重が接合面全体に均一に加わらない場合があった。また、端子と配線との接合面が大きいため、接合面上からNCPの絶縁性樹脂を完全に排除できない場合があった。これらの要因により、接合不良が生じる虞があった。   In the conventional mounting structure, the dimension in the extending direction at the joint portion between the terminal and the wiring extending in the predetermined direction is the same, and the terminal and the wiring are joined in a state in which they are in contact with each other in the extending direction. It had been. Therefore, even when a load is applied to the joint using a crimping tool or the like in the mounting process, the pressure is dispersed due to the large joint area between the terminal and the wiring, and a sufficient load may not be applied uniformly to the entire joint surface. there were. In addition, since the joint surface between the terminal and the wiring is large, the NCP insulating resin may not be completely eliminated from the joint surface. Due to these factors, there is a risk of poor bonding.

これに対して、本発明の基板の実装構造によれば、第1基板の端子のうち、配線と直接接触する接合部の第1方向の長さが、第2基板の対向面における配線の第1方向の長さよりも短いため、第2基板の対向面の寸法が従来と同じであったとしても、端子と配線との接合面積、実質的には(配線と直接接触する)接合部と配線との接合面積が従来よりも小さくなっている。そのため、圧着ツール等を用いて従来と同じ荷重を加えても、接合面積が小さい分、接合部に荷重が集中し、単位面積あたりに加わる圧力は従来よりも大きくなる。よって、接合部と配線とが十分に圧着される。   On the other hand, according to the mounting structure of the substrate of the present invention, the length in the first direction of the joint portion in direct contact with the wiring among the terminals of the first substrate is the first of the wiring on the opposing surface of the second substrate. Since it is shorter than the length in one direction, even if the size of the facing surface of the second substrate is the same as the conventional one, the junction area between the terminal and the wiring, substantially the junction and the wiring (directly in contact with the wiring) The bonding area is smaller than before. For this reason, even when the same load as before is applied using a crimping tool or the like, the load is concentrated on the joint portion because the joint area is small, and the pressure applied per unit area becomes larger than before. Therefore, the bonding portion and the wiring are sufficiently crimped.

さらに、本発明の実装構造によれば、第2基板側の配線の全てにわたって第1基板側の接合部が対向するのではなく、接合部が存在しない部分では第1基板と第2基板との間に接合部の厚さ分の微小な空間(間隙)が生じる。これにより、NCPの絶縁性樹脂が接合面から排除されつつこの空間に残存し、接合部と配線とが安定して固定される。このようにして、電気的接合不良の発生を防止でき、信頼性の高い接合構造が安定して得られる基板の実装構造を提供することができる。   Furthermore, according to the mounting structure of the present invention, the joint portion on the first substrate side does not face the entire wiring on the second substrate side, and the portion between the first substrate and the second substrate is not present in the portion where the joint portion does not exist. A minute space (gap) corresponding to the thickness of the joint portion is generated between them. As a result, the NCP insulating resin is removed from the bonding surface and remains in this space, and the bonding portion and the wiring are stably fixed. In this manner, it is possible to provide a substrate mounting structure that can prevent the occurrence of defective electrical bonding and stably obtain a highly reliable bonding structure.

本発明の実装構造において、前記端子が、前記接合部と、前記接合部と電気的に接続され前記第1方向と交差する第2方向に延在する配線折曲部と、を備える構成を採用しても良い。
この構成によれば、配線折曲部を備えたことにより、接合部の前記第1方向の長さが短くなるとともに、NCPが排出される空間が形成されるため、本発明の作用、効果が十分に得られる。また、第1基板上の配線から端子にかけての配線パターンの設計を変更するのみでこの構成を容易に実現することができる。
In the mounting structure of the present invention, the terminal includes the joint, and a wiring bent portion that is electrically connected to the joint and extends in a second direction intersecting the first direction. You may do it.
According to this configuration, since the wiring bent portion is provided, the length of the joint portion in the first direction is shortened and a space for discharging NCP is formed. Fully obtained. In addition, this configuration can be easily realized only by changing the design of the wiring pattern from the wiring on the first substrate to the terminal.

上記の構成を採用した場合、前記配線折曲部が、前記第1方向に対して斜めに交差する方向に延在していることが望ましい。
この構成によれば、端子間のスペースを十分に確保でき、端子同士の短絡の発生を防止することができる。
When the above configuration is adopted, it is preferable that the wiring bent portion extends in a direction obliquely intersecting the first direction.
According to this configuration, a sufficient space between the terminals can be secured, and occurrence of a short circuit between the terminals can be prevented.

あるいは、本発明の実装構造において、前記端子が、前記第1基板の第1面に設けられた前記接合部と、前記第1基板の前記第1面とは異なる第2面に設けられた導電部と、前記第1面と前記第2面との間の層を貫通する貫通孔内に形成された中継導通部と、を備え、前記接合部と前記導電部とが前記中継導通部を介して電気的に接続されている構成を採用しても良い。
この構成によれば、接合部を設けた第1面とは異なる第2面に導電部が設けられたことで、第1面上で接合部が孤立した状態となるので、接合部の前記延在方向の寸法が小さくなるとともに、NCPが排出される空間が形成され、本発明の作用、効果が十分に得られる。また、第1基板において配線の多層構造化が必要になるものの、上記の配線折曲部が必要なくなるため、基板の法線方向から見て配線および接合部を同一直線上に形成することができ、配線の引き回しの設計が容易になる。
Alternatively, in the mounting structure of the present invention, the terminal is provided on the second surface different from the first surface of the first substrate and the bonding portion provided on the first surface of the first substrate. And a relay conducting portion formed in a through hole that penetrates a layer between the first surface and the second surface, and the joint portion and the conductive portion are interposed via the relay conducting portion. Alternatively, an electrically connected configuration may be employed.
According to this configuration, since the conductive portion is provided on the second surface different from the first surface provided with the joint portion, the joint portion is isolated on the first surface. As the dimension in the current direction becomes smaller, a space for discharging NCP is formed, and the functions and effects of the present invention can be sufficiently obtained. In addition, although a wiring multilayer structure is required on the first substrate, the above-mentioned wiring bent portion is not necessary, so that the wiring and the joint can be formed on the same straight line when viewed from the normal direction of the substrate. Wiring routing design becomes easy.

本発明の実装構造において、前記接合部の接合面および前記配線の接合面が平坦面であることが望ましい。
この構成によれば、接合部の前記第1方向の寸法を小さくした上で接合部と配線とを確実に圧着することができる。
In the mounting structure of the present invention, it is desirable that the joint surface of the joint portion and the joint surface of the wiring are flat surfaces.
According to this configuration, the joint portion and the wiring can be reliably crimped while reducing the dimension of the joint portion in the first direction.

本発明の液滴吐出ヘッドは、第1面に設けられ第1方向に延在する端子と、前記端子と電気的に接続され液滴を吐出させる圧力を発生させるための駆動素子と、が設けられた第1基板と、前記第1面に対向する対向面に設けられ前記第1方向に延在する配線と、前記配線と電気的に接続され前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、が設けられた第2基板と、前記第1面と前記対向面との間に設けられ、前記端子と前記配線とが対向して直接接触した状態で前記第1基板と前記第2基板とを接着する非導電性接着材と、を備え、前記端子における前記配線と直接接触する接合部の前記第1方向の長さは、前記対向面における前記配線の前記第1方向の長さよりも短いことを特徴とする。
この構成によれば、配線と直接接触する接合部の第1方向の長さが、第2基板の対向面における配線の第1方向の長さよりも短いため、第2基板の対向面の寸法が従来と同じであったとしても、端子と配線との接合面積、実質的には(配線と直接接触する)接合部と配線との接合面積が従来よりも小さい。そのため、圧着ツール等を用いて従来と同じ荷重を加えても、接合面積が小さい分、接合部に荷重が集中し、単位面積あたりに加わる圧力は従来よりも大きくなる。よって、接合部と配線とが十分に圧着される。これにより、電気的接続の信頼性が高く、高品質の液滴吐出ヘッドを実現することができる。
A droplet discharge head according to the present invention includes a terminal provided on a first surface and extending in a first direction, and a drive element that is electrically connected to the terminal and generates a pressure for discharging a droplet. A first substrate formed, a wiring provided on a facing surface facing the first surface and extending in the first direction, and a driving circuit unit electrically connected to the wiring and driving the driving element, Adhering the first substrate and the second substrate in a state of being provided between the provided second substrate and the first surface and the facing surface, the terminal and the wiring being opposed and in direct contact with each other A non-conductive adhesive, and a length of the joint in the terminal in direct contact with the wiring is shorter than a length of the wiring in the first direction on the facing surface. Features.
According to this configuration, since the length in the first direction of the joint portion in direct contact with the wiring is shorter than the length in the first direction of the wiring on the facing surface of the second substrate, the dimension of the facing surface of the second substrate is Even if it is the same as the prior art, the junction area between the terminal and the wiring, and substantially the junction area between the joint and the wiring (which is in direct contact with the wiring) is smaller than the conventional one. For this reason, even when the same load as before is applied using a crimping tool or the like, the load is concentrated on the joint portion because the joint area is small, and the pressure applied per unit area becomes larger than before. Therefore, the bonding portion and the wiring are sufficiently crimped. Thereby, it is possible to realize a high-quality liquid droplet ejection head with high reliability of electrical connection.

本発明の液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出させる圧力を発生させるための駆動素子と、所定の延在方向に延在する複数の端子と、を備えた第1基板に、前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、前記延在方向と同一の方向に延在する複数の配線と、を備えたフレキシブル回路基板からなる第2基板が実装され、各端子と各配線とが電気的に接合されたことにより前記駆動素子と前記駆動回路部とが電気的に接続された液滴吐出ヘッドであって、前記第2基板が前記延在方向と交差する方向に折り曲げられ、前記第2基板の折り曲げられた箇所よりも基板先端側にあたる基板折曲部の前記各配線と前記第1基板の各端子とが対向配置された状態で、前記第1基板と前記第2基板とが非導電性接着材により接着され、前記第1基板の前記各端子のうち、前記配線と直接接触する接合部の前記延在方向の寸法が、前記第2基板の前記基板折曲部における前記配線の前記延在方向の寸法よりも小さいことを特徴とする。   A droplet discharge head according to the present invention includes a drive element for generating a pressure for discharging a droplet, and a plurality of terminals extending in a predetermined extending direction. A second substrate made of a flexible circuit board having a driving circuit section to be driven and a plurality of wirings extending in the same direction as the extending direction is mounted, and each terminal and each wiring are electrically joined. As a result, a droplet discharge head in which the drive element and the drive circuit unit are electrically connected, wherein the second substrate is bent in a direction intersecting the extending direction, The first substrate and the second substrate are non-conductively bonded in a state where the respective wirings of the substrate bent portion, which is closer to the tip of the substrate than the bent portion, and the respective terminals of the first substrate are arranged to face each other. Of the terminals of the first substrate, bonded by a material The extending direction of the dimension of the joint which contacts the wiring and directly, characterized in that the smaller than the extending direction of the dimension of the wiring in the board bent portion of the second substrate.

本発明の液滴吐出ヘッドによれば、第1基板の端子のうち、配線と直接接触する接合部の前記延在方向の寸法が、第2基板の基板折曲部における配線の前記延在方向の寸法よりも小さいため、フレキシブル回路基板の折曲部の寸法が従来と同じであったとしても、端子と配線との接合面積、実質的には(配線と直接接触する)接合部と配線との接合面積が従来よりも小さくなっている。そのため、圧着ツール等を用いて従来と同じ荷重を加えても、接合面積が小さい分、接合部に荷重が集中し、単位面積あたりに加わる圧力は従来よりも大きくなる。よって、接合部と配線とが十分に圧着される。これにより、電気的接続の信頼性が高く、高品質の液滴吐出ヘッドを実現することができる。   According to the droplet discharge head of the present invention, among the terminals of the first substrate, the dimension in the extending direction of the joint portion that is in direct contact with the wiring is such that the extending direction of the wiring in the substrate bent portion of the second substrate. Therefore, even if the dimensions of the bent portion of the flexible circuit board are the same as the conventional size, the junction area between the terminal and the wiring, substantially (the direct contact with the wiring) The bonding area is smaller than before. For this reason, even when the same load as before is applied using a crimping tool or the like, the load is concentrated on the joint portion because the joint area is small, and the pressure applied per unit area becomes larger than before. Therefore, the bonding portion and the wiring are sufficiently crimped. Thereby, it is possible to realize a high-quality liquid droplet ejection head with high reliability of electrical connection.

本発明の第1実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構成を示す外観斜視図である。1 is an external perspective view showing a configuration of a droplet discharge head according to a first embodiment of the present invention. 液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a droplet discharge head. 液滴吐出ヘッドを一部破断した状態でノズル開口側から見た斜視図である。It is the perspective view seen from the nozzle opening side in the state where a droplet discharge head was partially broken. 図1のA−A線矢視断面図である。It is AA arrow sectional drawing of FIG. OLB接続部の要部を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows the principal part of an OLB connection part. 端子部の平面図である。It is a top view of a terminal part. 端子部にフレキシブル回路基板を重ね合わせた状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which piled up the flexible circuit board on the terminal part. 本発明の第2実施形態に係るフレキシブル回路基板の実装構造における端子部の平面図である。It is a top view of the terminal part in the mounting structure of the flexible circuit board concerning 2nd Embodiment of this invention. 端子部にフレキシブル回路基板を重ね合わせた状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which piled up the flexible circuit board on the terminal part. 本発明の第3実施形態に係るフレキシブル回路基板の実装構造における断面図である。It is sectional drawing in the mounting structure of the flexible circuit board based on 3rd Embodiment of this invention. 端子部の平面図である。It is a top view of a terminal part. 端子部にフレキシブル回路基板を重ね合わせた状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which piled up the flexible circuit board on the terminal part. 本発明の第4実施形態に係るフレキシブル回路基板の実装構造における断面図である。It is sectional drawing in the mounting structure of the flexible circuit board which concerns on 4th Embodiment of this invention. 端子部の平面図である。It is a top view of a terminal part. 端子部にフレキシブル回路基板を重ね合わせた状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which piled up the flexible circuit board on the terminal part. 従来のフレキシブル回路基板の実装構造における断面図である。It is sectional drawing in the mounting structure of the conventional flexible circuit board. 端子部の平面図である。It is a top view of a terminal part. 端子部にフレキシブル回路基板を重ね合わせた状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which piled up the flexible circuit board on the terminal part.

以下、本発明の実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In each drawing used for the following description, the scale of each member is appropriately changed to make each member a recognizable size.

[第1実施形態]
本発明の液滴吐出ヘッドおよびフレキシブル回路基板の実装構造の第1実施形態について、図1〜図7を参照しながら説明する。
図1は本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構成を示す外観斜視図である。図2は液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。図3は液滴吐出ヘッドを一部破断した状態でノズル開口側から見た斜視図である。図4は図1のA−A線矢視断面図である。図5はフレキシブル回路基板の接続部を拡大して示す断面図である。図6は流路形成基板の端子部の平面図である。図7は端子部にフレキシブル回路基板を重ね合わせた状態を示す平面図である。
[First Embodiment]
A first embodiment of a mounting structure for a droplet discharge head and a flexible circuit board according to the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is an external perspective view showing a configuration of a droplet discharge head according to the present embodiment. FIG. 2 is an exploded perspective view of the droplet discharge head. FIG. 3 is a perspective view of the droplet discharge head as viewed from the nozzle opening side in a partially broken state. 4 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing the connection portion of the flexible circuit board. FIG. 6 is a plan view of the terminal portion of the flow path forming substrate. FIG. 7 is a plan view showing a state in which the flexible circuit board is overlaid on the terminal portion.

液滴吐出ヘッド1は、図1〜図4に示すように、機能液の液滴を吐出するものであり、液滴が吐出されるノズル開口が形成されたノズル基板21と、ノズル基板21の上面に設けられ液滴が流れる流路を形成する流路形成基板22(第1基板)と、流路形成基板22の上面に設けられて圧電素子23(駆動素子:図4参照)の駆動により変位する振動板24と、振動板24の上面に設けられ、リザーバ37(図4参照)を形成するためのリザーバ形成基板25と、リザーバ形成基板25の上面側に設けられるケース部材101と、2つのドライバーIC26(26A,26B:駆動回路部)がそれぞれ実装された一対のフレキシブル回路基板27(第2基板)と、を備えた基体1Aを主体に構成されている。
なお、本実施形態においては、一つの基体1Aにより液滴吐出ヘッド1を構成しているが、複数の基体1Aをユニット化することで液滴吐出ヘッドを構成するようにしてもよい。
As shown in FIGS. 1 to 4, the liquid droplet ejection head 1 ejects functional liquid droplets, and includes a nozzle substrate 21 in which nozzle openings for ejecting liquid droplets are formed, and the nozzle substrate 21. A flow path forming substrate 22 (first substrate) that is provided on the upper surface and forms a flow path through which droplets flow, and a piezoelectric element 23 (driving element: see FIG. 4) provided on the upper surface of the flow path forming substrate 22 is driven. Displaceable diaphragm 24, reservoir forming substrate 25 for forming reservoir 37 (see FIG. 4) provided on the upper surface of diaphragm 24, case member 101 provided on the upper surface side of reservoir forming substrate 25, and 2 The main body 1A includes a pair of flexible circuit boards 27 (second boards) on which two driver ICs 26 (26A, 26B: drive circuit units) are mounted.
In the present embodiment, the droplet discharge head 1 is configured by one substrate 1A. However, the droplet discharge head may be configured by unitizing a plurality of substrates 1A.

フレキシブル回路基板27は、ドライバーIC26A,26Bを後述の圧電素子23と電気的に接続するものであり、各ドライバーIC26A,26Bの各能動面側が対向するように、端部が折り曲げられた状態で実装されている。     The flexible circuit board 27 electrically connects the driver ICs 26A and 26B to the piezoelectric element 23 described later, and is mounted in a state where the ends are bent so that the active surfaces of the driver ICs 26A and 26B face each other. Has been.

ケース部材101は、ステンレスによって構成されている。このケース部材101は、液滴吐出ヘッド1を液滴吐出装置に搭載する際の取付け部材として利用されるものである。     Case member 101 is made of stainless steel. The case member 101 is used as an attachment member when the droplet discharge head 1 is mounted on a droplet discharge device.

ケース部材101のX軸方向における中央部には、Y軸方向に沿って形成される開口部102が形成されている。開口部102は、図2に示すように、少なくともリザーバ形成基板25に形成された2つの開口部60の開口領域を含む大きさとされている。この開口部102内には、フレキシブル回路基板27が挿入されることから、その所定箇所にドライバーIC26の保持領域103が切欠状に形成されている。     An opening 102 formed along the Y-axis direction is formed at the center of the case member 101 in the X-axis direction. As shown in FIG. 2, the opening 102 has a size including at least the opening regions of the two openings 60 formed in the reservoir forming substrate 25. Since the flexible circuit board 27 is inserted into the opening 102, a holding region 103 of the driver IC 26 is formed in a predetermined shape at a predetermined position.

ノズル基板21は、図3に示すように、例えばステンレスやガラスセラミックスによって構成されており、ノズル基板21を貫通する貫通孔であって、機能液の液滴を吐出するノズル開口31が複数形成されている。そして、Y軸方向に複数並んで形成されたノズル開口31によってノズル開口群310が構成されている。本実施形態においては、X軸方向およびY軸方向に2つずつ計4つのノズル開口群310が設けられている。
なお、図3では、各ノズル開口群310がそれぞれ6個のノズル開口31によって構成されているように示されているが、実際には、例えば720個程度のノズル開口31が形成されている。
As shown in FIG. 3, the nozzle substrate 21 is made of, for example, stainless steel or glass ceramics. The nozzle substrate 21 is a through-hole penetrating the nozzle substrate 21, and a plurality of nozzle openings 31 for discharging functional liquid droplets are formed. ing. A plurality of nozzle openings 31 formed side by side in the Y-axis direction constitute a nozzle opening group 310. In the present embodiment, a total of four nozzle aperture groups 310 are provided, two in the X-axis direction and two in the Y-axis direction.
In FIG. 3, each nozzle opening group 310 is shown as having six nozzle openings 31, but actually, for example, about 720 nozzle openings 31 are formed.

流路形成基板22は、例えば剛体であるシリコン単結晶によって形成されており、複数の隔壁35は、流路形成基板22の母材であるシリコン単結晶基板を異方性エッチングすることで形成されている。また、流路形成基板22の下面には例えば接着剤や熱溶着フィルムなどを介してノズル基板21が固定されている一方、流路形成基板22の上面(図3においては下面側)には振動板24が設けられている。     The flow path forming substrate 22 is formed of, for example, a rigid silicon single crystal, and the plurality of partition walls 35 are formed by anisotropically etching the silicon single crystal substrate that is the base material of the flow path forming substrate 22. ing. Further, the nozzle substrate 21 is fixed to the lower surface of the flow path forming substrate 22 via, for example, an adhesive or a heat-welded film, while the upper surface (the lower surface side in FIG. 3) of the flow path forming substrate 22 is vibrated. A plate 24 is provided.

圧力発生室36は、ノズル開口31より吐出される機能液が配置される部分であって、図4に示すように、複数の隔壁35を有する流路形成基板22と、ノズル基板21と、振動板24とで囲まれた空間によって形成されている。この圧力発生室36は、4つのノズル開口群310のそれぞれを構成する複数のノズル開口31に対応するようにして、Y軸方向に複数並んで形成されている。そして、複数の圧力発生室36によって圧力発生室群360が各ノズル開口群310に対応して4つ構成されている。     The pressure generation chamber 36 is a portion where the functional liquid discharged from the nozzle opening 31 is disposed. As shown in FIG. 4, the flow path forming substrate 22 having a plurality of partition walls 35, the nozzle substrate 21, and the vibration A space surrounded by the plate 24 is formed. A plurality of pressure generation chambers 36 are formed side by side in the Y-axis direction so as to correspond to the plurality of nozzle openings 31 constituting each of the four nozzle opening groups 310. A plurality of pressure generation chambers 360 is configured by a plurality of pressure generation chambers 36 corresponding to each nozzle opening group 310.

各圧力発生室群360を構成する複数の圧力発生室36の一方の端部は、それぞれリザーバ37の一部を構成する供給路38を介して連通部39によって互いに連通されている。     One end portions of the plurality of pressure generation chambers 36 constituting each pressure generation chamber group 360 are communicated with each other by a communication portion 39 via a supply path 38 constituting a part of the reservoir 37.

振動板24は、流路形成基板22とリザーバ形成基板25との間に配置され、流路形成基板22の上面を覆うように設けられた弾性膜41と、弾性膜41の上面に設けられた下電極膜42とを備えている。弾性膜41は、例えば厚さ1〜2μm程度の二酸化シリコンによって形成されており、下電極膜42は、例えば厚さ0.2μm程度の白金などによって形成されている。なお、本実施形態において、下電極膜42は、複数の圧電素子23で共有する電極となっている。     The diaphragm 24 is disposed between the flow path forming substrate 22 and the reservoir forming substrate 25, and is provided on the upper surface of the elastic film 41 and an elastic film 41 provided to cover the upper surface of the flow path forming substrate 22. And a lower electrode film 42. The elastic film 41 is made of, for example, silicon dioxide having a thickness of about 1 to 2 μm, and the lower electrode film 42 is made of, for example, platinum having a thickness of about 0.2 μm. In the present embodiment, the lower electrode film 42 is an electrode shared by the plurality of piezoelectric elements 23.

圧電素子23は、振動板24を変位させるための駆動素子であって、下電極膜42の上面に設けられた圧電体膜45と、圧電体膜45の上面に設けられた上電極膜46と、上電極膜46の引出配線であるリード電極47とを備えている。     The piezoelectric element 23 is a driving element for displacing the diaphragm 24, and includes a piezoelectric film 45 provided on the upper surface of the lower electrode film 42, and an upper electrode film 46 provided on the upper surface of the piezoelectric film 45. And a lead electrode 47 that is a lead-out wiring for the upper electrode film 46.

圧電体膜45は、例えば厚さ1μm程度の金属酸化物によって構成されている。また、上電極膜46は、例えば厚さ0.1μm程度の白金などによって構成され、リード電極47は、例えば厚さ0.1μm程度の金などによって構成されている。なお、リード電極47と下電極膜42との間には、絶縁膜(図示略)が設けられている。     The piezoelectric film 45 is made of, for example, a metal oxide having a thickness of about 1 μm. The upper electrode film 46 is made of, for example, platinum having a thickness of about 0.1 μm, and the lead electrode 47 is made of, for example, gold having a thickness of about 0.1 μm. An insulating film (not shown) is provided between the lead electrode 47 and the lower electrode film 42.

圧電素子23は、複数のノズル開口31および圧力発生室36の各々に対応するように複数設けられている。すなわち、圧電素子23は、ノズル開口31ごと(圧力発生室36ごと)に設けられている。そして、上述のように、下電極膜42が複数の圧電素子23の共通電極として機能し、上電極膜46及びリード電極47が複数の圧電素子23の個別電極として機能する。     A plurality of piezoelectric elements 23 are provided so as to correspond to each of the plurality of nozzle openings 31 and the pressure generation chamber 36. That is, the piezoelectric element 23 is provided for each nozzle opening 31 (for each pressure generation chamber 36). As described above, the lower electrode film 42 functions as a common electrode for the plurality of piezoelectric elements 23, and the upper electrode film 46 and the lead electrode 47 function as individual electrodes for the plurality of piezoelectric elements 23.

また、ノズル開口群310を構成する各ノズル開口31と対応するようにY軸方向に複数並んで設けられた圧電素子23により、圧電素子群230が形成される。ここでは、各々ノズル開口群310に対応して4つの圧電素子群230が設けられている。なお、これら4つの圧電素子群230のうち、ドライバーIC26Aに対応するものを圧電素子群230Aとし、ドライバーIC26Bに対応するものを圧電素子群230Bとする。これら圧電素子群230Aと圧電素子群230Bとは互いに近接した状態で並列に配置されている。     In addition, a piezoelectric element group 230 is formed by a plurality of piezoelectric elements 23 provided side by side in the Y-axis direction so as to correspond to the nozzle openings 31 constituting the nozzle opening group 310. Here, four piezoelectric element groups 230 are provided corresponding to the nozzle opening groups 310, respectively. Of these four piezoelectric element groups 230, one corresponding to the driver IC 26A is referred to as a piezoelectric element group 230A, and one corresponding to the driver IC 26B is referred to as a piezoelectric element group 230B. The piezoelectric element group 230A and the piezoelectric element group 230B are arranged in parallel while being close to each other.

なお、圧電素子23は、圧電体膜45、上電極膜46およびリード電極47に加えて、下電極膜42を含むものであってもよい。すなわち、本実施形態における下電極膜42は、圧電素子23としての機能と振動板24としての機能とを兼ね備える構成としてもよい。また、本実施形態では、弾性膜41および下電極膜42によって振動板24が構成されているが、弾性膜41を省略して下電極膜42のみが弾性膜41の機能を兼ね備える構成としてもよい。     The piezoelectric element 23 may include a lower electrode film 42 in addition to the piezoelectric film 45, the upper electrode film 46 and the lead electrode 47. That is, the lower electrode film 42 in the present embodiment may be configured to have both the function as the piezoelectric element 23 and the function as the diaphragm 24. In this embodiment, the diaphragm 24 is constituted by the elastic film 41 and the lower electrode film 42. However, the elastic film 41 may be omitted and only the lower electrode film 42 may have the function of the elastic film 41. .

また、リザーバ形成基板25は、剛体で構成され、例えばガラス、セラミック材料などの流路形成基板22の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板22と同一材料のシリコン単結晶基板が用いられている。     Further, the reservoir forming substrate 25 is formed of a rigid body, and it is preferable to use a material substantially the same as the coefficient of thermal expansion of the channel forming substrate 22 such as glass or ceramic material. In this embodiment, the channel forming substrate 22 is used. A silicon single crystal substrate of the same material is used.

リザーバ形成基板25には、図4に示すように、連通部39のそれぞれと対応するリザーバ部51がY軸方向に延びるように形成されている。このリザーバ部51と上述した連通部39とによってリザーバ37が構成される。また、リザーバ形成基板25には、各連通部39の側壁に接続されて各連通部39に機能液を導入する導入路52が形成されている。     As shown in FIG. 4, reservoir portions 51 corresponding to the respective communicating portions 39 are formed on the reservoir forming substrate 25 so as to extend in the Y-axis direction. The reservoir portion 51 and the communication portion 39 described above constitute a reservoir 37. In addition, the reservoir forming substrate 25 is formed with an introduction path 52 that is connected to the side wall of each communication portion 39 and introduces the functional liquid into each communication portion 39.

リザーバ形成基板25のX軸方向における中央部には、Y軸方向に延びる溝状の開口部60が形成されている。開口部60においては、流路形成基板22の一部が露出している。開口部60のX軸方向外側の領域には、各圧電素子群230を振動板24との間で封止する封止部61A,61Bが形成されている。     A groove-shaped opening 60 extending in the Y-axis direction is formed at the center of the reservoir forming substrate 25 in the X-axis direction. In the opening 60, a part of the flow path forming substrate 22 is exposed. Sealing portions 61 </ b> A and 61 </ b> B for sealing each piezoelectric element group 230 with the diaphragm 24 are formed in the region outside the opening 60 in the X-axis direction.

リザーバ形成基板25のうち、各圧電素子群230に対向する領域には、これらを構成する複数の圧電素子23の駆動を阻害しない程度の空間を確保した状態で、その空間を密閉可能な圧電素子保持部62が形成されている。圧電素子保持部62は、封止部61A,61Bの各々に対応して形成されており、各圧電素子群230を覆う大きさで形成されている。
また、圧電素子23のうち、少なくとも圧電体膜45は、この圧電素子保持部62内に密封されている。
Piezoelectric elements that can seal the space in the reservoir forming substrate 25 in a state facing the respective piezoelectric element groups 230 in a state in which a space that does not hinder the driving of the plurality of piezoelectric elements 23 constituting these is secured. A holding part 62 is formed. The piezoelectric element holding part 62 is formed corresponding to each of the sealing parts 61 </ b> A and 61 </ b> B, and has a size that covers each piezoelectric element group 230.
Of the piezoelectric elements 23, at least the piezoelectric film 45 is sealed in the piezoelectric element holding portion 62.

このように、リザーバ形成基板25は、圧電素子23を外部環境から遮断し、圧電素子23を封止するための封止部材としての機能を有している。リザーバ形成基板25で圧電素子23を封止することにより、水分などの外部環境による圧電素子23の破壊を防止することができる。     As described above, the reservoir forming substrate 25 has a function as a sealing member for blocking the piezoelectric element 23 from the external environment and sealing the piezoelectric element 23. By sealing the piezoelectric element 23 with the reservoir forming substrate 25, it is possible to prevent the piezoelectric element 23 from being damaged by an external environment such as moisture.

また、封止部61(圧電素子保持部62)によって封止されている圧電素子23のうち、リード電極47の一方の端部は、封止部61の外側まで延びており、開口部60において露出した流路形成基板22上に配置されている。
リード電極のうち、フレキシブル回路基板27と接続される端部にあたる部分であって、流路形成基板22の開口部60において露出した部分を、以下、「端子」と称する。
In addition, among the piezoelectric elements 23 sealed by the sealing portion 61 (piezoelectric element holding portion 62), one end portion of the lead electrode 47 extends to the outside of the sealing portion 61. It is disposed on the exposed flow path forming substrate 22.
A portion of the lead electrode corresponding to an end connected to the flexible circuit board 27 and exposed at the opening 60 of the flow path forming substrate 22 is hereinafter referred to as a “terminal”.

また、リザーバ形成基板25の上面には、コンプライアンス基板53が接合されている。このコンプライアンス基板53は、封止膜54および固定板55を有する。封止膜54は、例えば厚さ6μm程度のポリフェニレンスルフィドフィルムのような剛性が低く、可撓性を有する材料によって形成されている。そして、封止膜54によってリザーバ部51の上部が封止されている。     A compliance substrate 53 is bonded to the upper surface of the reservoir forming substrate 25. The compliance substrate 53 has a sealing film 54 and a fixing plate 55. The sealing film 54 is formed of a material having low rigidity and flexibility, such as a polyphenylene sulfide film having a thickness of about 6 μm. The upper portion of the reservoir 51 is sealed with the sealing film 54.

固定板55は、例えば厚さ30μm程度のステンレス鋼のような金属などの硬質の材料によって形成されている。固定板55のうち、リザーバ部51に対応する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部56となっている。したがって、リザーバ部51の上部は、可撓性を有する封止膜54のみによって封止されたものとなっており、したがって、内部圧力の変化によって変形可能な可撓部57となっている。また、コンプライアンス基板53上には、ケース部材101が設けられている。     The fixing plate 55 is formed of a hard material such as a metal such as stainless steel having a thickness of about 30 μm. A region of the fixed plate 55 corresponding to the reservoir 51 is an opening 56 that is completely removed in the thickness direction. Therefore, the upper part of the reservoir 51 is sealed only by the flexible sealing film 54, and thus is a flexible part 57 that can be deformed by a change in internal pressure. A case member 101 is provided on the compliance substrate 53.

また、リザーバ部51の外側のコンプライアンス基板53およびケース部材101には、導入路52に連通してリザーバ部51に機能液を供給するための機能液導入口58が形成されている。通常、機能液導入口58からリザーバ部51に機能液が供給されると、例えば圧電素子23の駆動時の機能液の流れや周囲の熱などによってリザーバ部51内に圧力変化が生じる。しかしながら、上述のように、リザーバ部51の上部が封止膜54のみによって封止された可撓部57となっているので、可撓部57が撓み変形してその圧力変化を吸収する。したがって、リザーバ部51内は一定の圧力に保持される。なお、他の部分は固定板55によって十分な強度に保持されている。また、ケース部材101は、可撓部57の変形を損なわないように可撓部57に非接触状態で設けられている。     In addition, the compliance substrate 53 and the case member 101 outside the reservoir unit 51 are provided with a functional liquid introduction port 58 that communicates with the introduction path 52 and supplies the functional liquid to the reservoir unit 51. Normally, when the functional liquid is supplied from the functional liquid introduction port 58 to the reservoir section 51, a pressure change occurs in the reservoir section 51 due to, for example, the flow of the functional liquid when the piezoelectric element 23 is driven or the surrounding heat. However, as described above, since the upper portion of the reservoir portion 51 is the flexible portion 57 sealed only by the sealing film 54, the flexible portion 57 is bent and deformed to absorb the pressure change. Therefore, the inside of the reservoir 51 is maintained at a constant pressure. The other portions are held at a sufficient strength by the fixing plate 55. The case member 101 is provided in a non-contact state with the flexible portion 57 so as not to impair the deformation of the flexible portion 57.

フレキシブル回路基板27は、図4に示すように、ケース部材101に設けられた開口部102と、リザーバ形成基板25に形成された開口部60とに、その接続部27Aが挿入された状態で実装されている。     As shown in FIG. 4, the flexible circuit board 27 is mounted in a state where the connection part 27 </ b> A is inserted into the opening part 102 provided in the case member 101 and the opening part 60 formed in the reservoir forming board 25. Has been.

以下、図5〜図7を用いて、本実施形態のフレキシブル回路基板の実装構造について説明する。
フレキシブル回路基板27は、図5〜図7に示すように、基材70と、基材70の一面に形成された複数の配線71とで形成されている。複数の配線71は、互いに所定の間隔をおいて離間し、互いに平行に所定の延在方向(第1方向)に延在するように形成されている。フレキシブル回路基板27は、複数の配線71が形成された側の面を外側にして、配線71の延在方向と略直交する方向に折り曲げられている。ここで、フレキシブル回路基板27の折り曲げられた箇所よりも基板先端側にあたる部分を基板折曲部27Aと称することにする。基板折曲部27Aの各配線71と流路形成基板22上のリード電極47の各端子74とが対向配置された状態で、流路形成基板22とフレキシブル回路基板27とが非導電性接着材79(NCP)により固定されている。
なお、基板折曲部27Aの端子74と対向する面が、特許請求の範囲における「対向面」に相当する。
Hereinafter, the mounting structure of the flexible circuit board of the present embodiment will be described with reference to FIGS.
As shown in FIGS. 5 to 7, the flexible circuit board 27 is formed of a base material 70 and a plurality of wirings 71 formed on one surface of the base material 70. The plurality of wirings 71 are formed so as to be separated from each other at a predetermined interval and to extend in parallel to each other in a predetermined extending direction (first direction). The flexible circuit board 27 is bent in a direction substantially orthogonal to the extending direction of the wiring 71 with the surface on which the plurality of wirings 71 are formed facing outside. Here, the portion of the flexible circuit board 27 that is closer to the tip of the substrate than the bent portion is referred to as a substrate bent portion 27A. In a state in which each wiring 71 of the substrate bent portion 27A and each terminal 74 of the lead electrode 47 on the flow path forming substrate 22 are arranged to face each other, the flow path forming substrate 22 and the flexible circuit board 27 are non-conductive adhesive. 79 (NCP).
In addition, the surface facing the terminal 74 of the substrate bent portion 27A corresponds to the “facing surface” in the claims.

端子74は、図5に示すように、流路形成基板22の上面(第1面)の絶縁膜(図示略)上に形成された接合部75と、図6に示すように、絶縁膜(図示略)上に形成されたリード電極47(配線)の延長線Dを第1面内で折り曲げた方向に延在する配線折曲部76と、を有している。また、複数の端子74は、互いに所定の間隔をおいて離間し、互いに平行に所定の延在方向(第1方向)に延在するように形成されている。接合部75は、フレキシブル回路基板27の配線71と直接接触する部分であり、電気的接続に主に寄与する部分である。配線折曲部76は、リード電極47(配線)の延長線Dに対して斜めに交差する方向に延在している。リード電極47(配線)の延長線Dと配線折曲部76の延在方向Eとのなす角度θは20°〜30°程度とするのが望ましい。この程度の角度に設定すれば、隣接する配線折曲部76間の間隔を、隣接する接合部75間の間隔と略同じだけ確保できるので、隣接する配線折曲部76間の短絡の発生を防止することができる。   As shown in FIG. 5, the terminal 74 includes a junction 75 formed on an insulating film (not shown) on the upper surface (first surface) of the flow path forming substrate 22, and an insulating film (as shown in FIG. And a wiring bent portion 76 extending in a direction in which the extension line D of the lead electrode 47 (wiring) formed on the first surface is bent in the first surface. The plurality of terminals 74 are formed so as to be spaced apart from each other at a predetermined interval and to extend in parallel to each other in a predetermined extending direction (first direction). The joint portion 75 is a portion that directly contacts the wiring 71 of the flexible circuit board 27 and is a portion that mainly contributes to electrical connection. The wiring bent portion 76 extends in a direction that obliquely intersects the extension line D of the lead electrode 47 (wiring). The angle θ formed by the extension line D of the lead electrode 47 (wiring) and the extending direction E of the wiring bent portion 76 is preferably about 20 ° to 30 °. If the angle is set to such an angle, the interval between the adjacent wiring bent portions 76 can be ensured to be substantially the same as the interval between the adjacent joint portions 75, so that a short circuit between the adjacent wiring bent portions 76 can be prevented. Can be prevented.

また、接合部75は、図6に示すように、配線折曲部76と一体に形成されるとともに、リード電極47(配線)の延長線D上から外れた位置(図6における延長線Dよりも下側)に配置されている。以上の構成により、流路形成基板22の端子74上にフレキシブル回路基板27の配線71を重ね合わせると、図7のようになり、端子74のうち、接合部75および配線折曲部76の一部は配線71と重なり、配線折曲部76の一部とリード電極47(配線)の延長部分47aは配線71と重ならない状態となる。   Further, as shown in FIG. 6, the joint portion 75 is formed integrally with the wiring bent portion 76, and at a position deviated from the extension line D of the lead electrode 47 (wiring) (from the extension line D in FIG. 6). Is also located on the lower side. With the above configuration, when the wiring 71 of the flexible circuit board 27 is overlaid on the terminal 74 of the flow path forming substrate 22, the result is as shown in FIG. The portion overlaps the wiring 71, and a part of the wiring bent portion 76 and the extended portion 47 a of the lead electrode 47 (wiring) are not overlapped with the wiring 71.

図7におけるフレキシブル回路基板27の配線71の中心軸を切断線A−A’とする断面構造を示したものが図5である。図5に示すように、接合部75の延在方向の寸法L1が、フレキシブル回路基板27の基板折曲部27Aにおける配線71の延在方向の寸法L2よりも小さくなっている。寸法L1は寸法L2の1/2〜2/3程度とすることが望ましい。寸法L1が寸法L2の1/2よりも小さいと、接合面積が小さくなり過ぎ、電気的接続の信頼性が低下する。寸法L1が寸法L2の2/3よりも大きいと、小さい接合面積に荷重を集中させて圧着性を向上させる本発明の効果が得られない。   FIG. 5 shows a cross-sectional structure in which the central axis of the wiring 71 of the flexible circuit board 27 in FIG. 7 is a cutting line A-A ′. As shown in FIG. 5, the dimension L <b> 1 in the extending direction of the joint portion 75 is smaller than the dimension L <b> 2 in the extending direction of the wiring 71 in the board bending portion 27 </ b> A of the flexible circuit board 27. The dimension L1 is desirably about 1/2 to 2/3 of the dimension L2. When the dimension L1 is smaller than ½ of the dimension L2, the junction area becomes too small, and the reliability of electrical connection is lowered. When the dimension L1 is larger than 2/3 of the dimension L2, the effect of the present invention that improves the pressure-bonding performance by concentrating the load on a small joining area cannot be obtained.

また、接合部75の接合面と配線71の接合面はともに平坦な面とされている。これにより、接合部75の延在方向の寸法を小さくした上で接合部75と配線71とを確実に圧着することができる。   Further, the joint surface of the joint portion 75 and the joint surface of the wiring 71 are both flat. As a result, the junction 75 and the wiring 71 can be securely bonded to each other after the dimension in the extending direction of the junction 75 is reduced.

ここで、従来のフレキシブル回路基板の実装構造と比較する。
図16は従来の実装構造における断面図である。図17は従来の端子部の平面図である。図18は従来の端子部にフレキシブル回路基板を重ね合わせた状態を示す平面図である。
従来の端子部は、図17に示すように、リード電極からそのまま互いに平行に延在する複数の端子110を有していた。したがって、端子110上にフレキシブル回路基板27の配線71を重ね合わせると、図16、図18に示すように、端子110の全体が配線71と重なっていた。また、図16に示すように、NCP79がフレキシブル回路基板27の端部と折り曲げた部分の周囲に残存した状態で、流路形成基板22とフレキシブル回路基板27とが固定されていた。
Here, it compares with the mounting structure of the conventional flexible circuit board.
FIG. 16 is a cross-sectional view of a conventional mounting structure. FIG. 17 is a plan view of a conventional terminal portion. FIG. 18 is a plan view showing a state in which a flexible circuit board is superimposed on a conventional terminal portion.
As shown in FIG. 17, the conventional terminal portion has a plurality of terminals 110 extending from the lead electrode as they are in parallel to each other. Therefore, when the wiring 71 of the flexible circuit board 27 is overlaid on the terminal 110, the entire terminal 110 overlaps the wiring 71 as shown in FIGS. Further, as shown in FIG. 16, the flow path forming substrate 22 and the flexible circuit substrate 27 are fixed in a state where the NCP 79 remains around the end portion of the flexible circuit substrate 27 and the bent portion.

従来の実装構造においては、端子110と配線71との接合部の延在方向の寸法が同一であり、端子110と配線71とが全体にわたって接触しているため、実装プロセスにおいて圧着ツール等を用いて接合部に荷重を加えても、端子110と配線71との接合面積が大きいために圧力が分散され、十分な荷重が接合面全体に均一に加わらない場合があった。また、端子110と配線71との接合面が大きいため、接合面上からNCP79の絶縁性樹脂を完全に排除できない場合があった。これらの要因により、接合不良が生じる虞があった。   In the conventional mounting structure, since the dimension in the extending direction of the joint portion between the terminal 110 and the wiring 71 is the same and the terminal 110 and the wiring 71 are in contact with each other, a crimping tool or the like is used in the mounting process. Even when a load is applied to the joint portion, the joint area between the terminal 110 and the wiring 71 is large, so that the pressure is dispersed, and a sufficient load may not be uniformly applied to the entire joint surface. In addition, since the joint surface between the terminal 110 and the wiring 71 is large, the NCP79 insulating resin may not be completely removed from the joint surface. Due to these factors, there is a risk of poor bonding.

これに対して、本実施形態のフレキシブル回路基板27の実装構造によれば、端子74のうち、配線71と直接接触する接合部75の延在方向の寸法L1が、基板折曲部27Aにおける配線71の延在方向の寸法L2よりも小さいため、フレキシブル回路基板27の折曲部27Aの寸法が従来と同じであったとしても、端子74と配線71との接合面積、実質的には接合部75と配線71との接合面積が従来よりも小さくなる。そのため、圧着ツール等を用いて従来と同じ荷重を加えても、接合面積が小さい分、接合部75に荷重が集中し、単位面積あたりに加わる圧力は従来よりも大きくなる。よって、接合部75と配線71とが十分に圧着される。   On the other hand, according to the mounting structure of the flexible circuit board 27 of the present embodiment, the dimension L1 in the extending direction of the joining portion 75 that is in direct contact with the wiring 71 among the terminals 74 is the wiring at the board bent portion 27A. Since the dimension of the bent portion 27A of the flexible circuit board 27 is the same as the conventional size because the dimension is smaller than the dimension L2 in the extending direction of 71, the junction area between the terminal 74 and the wiring 71, substantially the junction. The junction area between 75 and the wiring 71 is smaller than the conventional one. For this reason, even when the same load as before is applied using a crimping tool or the like, the load is concentrated on the joining portion 75 as the joining area is small, and the pressure applied per unit area becomes larger than before. Therefore, the joining portion 75 and the wiring 71 are sufficiently crimped.

さらに、本実施形態の実装構造によれば、フレキシブル回路基板27側の配線71の全てにわたって流路形成基板22側の接合部75が対向するのではなく、接合部75が存在しない部分では流路形成基板22とフレキシブル回路基板27との間に接合部75の厚さ分(例えば数μm程度)の微小な空間(間隙)が生じる。これにより、NCP79の絶縁性樹脂が接合面から円滑に排除されつつ、この空間に残存し、接合部75と配線71とが安定して固定される。このようにして、電気的接合不良の発生を防止でき、信頼性の高い接合構造が安定して得られるフレキシブル回路基板27の実装構造を提供することができる。また、流路形成基板22上のリード電極47から端子74にかけてのパターン設計を変更するのみでこの構成を容易に実現することができる。   Furthermore, according to the mounting structure of the present embodiment, the joint 75 on the flow path forming substrate 22 side does not face the entire wiring 71 on the flexible circuit board 27 side. A minute space (gap) corresponding to the thickness of the joint 75 (for example, about several μm) is formed between the formation substrate 22 and the flexible circuit board 27. As a result, the insulating resin of NCP 79 is smoothly removed from the bonding surface and remains in this space, and the bonding portion 75 and the wiring 71 are stably fixed. In this way, it is possible to provide a mounting structure for the flexible circuit board 27 that can prevent the occurrence of defective electrical bonding and stably obtain a highly reliable bonding structure. In addition, this configuration can be easily realized only by changing the pattern design from the lead electrode 47 to the terminal 74 on the flow path forming substrate 22.

本実施形態によれば、上述した実装構造を用いて流路形成基板22上にフレキシブル回路基板27が実装されているため、電気的接続の信頼性が高く、高品質の液滴吐出ヘッド1を実現することができる。   According to this embodiment, since the flexible circuit board 27 is mounted on the flow path forming substrate 22 using the mounting structure described above, the electrical connection reliability is high, and the high-quality liquid droplet ejection head 1 is provided. Can be realized.

[第2実施形態]
以下、本発明の第2実施形態のフレキシブル回路基板の実装構造について、図8〜図9を用いて説明する。
図8は流路形成基板の端子部の平面図である。図9は端子部にフレキシブル回路基板を重ね合わせた状態を示す平面図である。
[Second Embodiment]
Hereinafter, the mounting structure of the flexible circuit board of 2nd Embodiment of this invention is demonstrated using FIGS. 8-9.
FIG. 8 is a plan view of the terminal portion of the flow path forming substrate. FIG. 9 is a plan view showing a state in which the flexible circuit board is overlaid on the terminal portion.

第1実施形態では、図6に示したように、流路形成基板22の開口部60の一方側(図6の右側)から端子74が延在している構成例を示した。これに対して、本実施形態では、図8に示すように、流路形成基板22の開口部60の対向する2辺(図8の右側および左側)から端子74A,74Bが延在している。そして、図9に示すように、図8の右側から延在する複数の端子74A、図8の左側から延在する複数の端子74Bに対して1枚のフレキシブル回路基板27の配線71が重ね合わせられ、電気的接続がなされている。   In the first embodiment, as illustrated in FIG. 6, the configuration example in which the terminal 74 extends from one side (the right side in FIG. 6) of the opening 60 of the flow path forming substrate 22 has been described. On the other hand, in this embodiment, as shown in FIG. 8, the terminals 74A and 74B extend from the two opposite sides (the right side and the left side in FIG. 8) of the opening 60 of the flow path forming substrate 22. . Then, as shown in FIG. 9, the wiring 71 of one flexible circuit board 27 is superimposed on the plurality of terminals 74A extending from the right side of FIG. 8 and the plurality of terminals 74B extending from the left side of FIG. And electrical connection is made.

本実施形態においても第1実施形態と同様、端子74A,74Bは、配線折曲部76と接合部75とから構成され、接合部75はリード電極47(配線)の延長線D上から外れた位置(図8における延長線Dよりも下側)に配置されている。   Also in the present embodiment, as in the first embodiment, the terminals 74A and 74B are composed of a wiring bent portion 76 and a joint portion 75, and the joint portion 75 is separated from the extension line D of the lead electrode 47 (wiring). It is arranged at a position (below the extension line D in FIG. 8).

本実施形態の実装構造においても、端子74A,74Bと配線71との接合面積が小さくなることで、接合部75と配線71との圧着性およびNCPの排出性が高まるため、電気的接合不良の発生を防止でき、信頼性の高い接合構造が安定して実現できる、といった第1実施形態と同様の効果が得られる。   Also in the mounting structure of the present embodiment, since the bonding area between the terminals 74A and 74B and the wiring 71 is reduced, the press bonding property between the bonding portion 75 and the wiring 71 and the discharge property of NCP are increased. The same effects as those of the first embodiment can be obtained such that generation can be prevented and a highly reliable joint structure can be stably realized.

[第3実施形態]
以下、本発明の第3実施形態のフレキシブル回路基板の実装構造について、図10〜図12を用いて説明する。
図10は本実施形態のフレキシブル回路基板の実装構造を示す断面図である。図11は流路形成基板の端子部の平面図である。図12は端子部にフレキシブル回路基板を重ね合わせた状態を示す平面図である。
[Third Embodiment]
Hereinafter, the mounting structure of the flexible circuit board of 3rd Embodiment of this invention is demonstrated using FIGS. 10-12.
FIG. 10 is a cross-sectional view showing the flexible circuit board mounting structure of the present embodiment. FIG. 11 is a plan view of the terminal portion of the flow path forming substrate. FIG. 12 is a plan view showing a state in which the flexible circuit board is overlaid on the terminal portion.

第1、第2実施形態では、流路形成基板22上のリード電極47と接合部75とが同一面上に位置していた。これに対して、本実施形態の実装構造では、図10に示すように、接合部85が流路形成基板22の上面(第1面)の絶縁膜(図示略)上に形成される一方、リード電極47の延長部47b(導電部)が絶縁膜(図示略)上面とは異なる面(第2面)上に形成されている。また、第1面と第2面との間の任意の層83を貫通する貫通孔81が形成され、貫通孔81内に導電性材料が埋め込まれることで中継導通部82が形成されている。中継導通部82は、製造プロセスに応じてリード電極47の延長部47bと一体に形成されても良いし、接合部85と一体に形成されても良い。   In the first and second embodiments, the lead electrode 47 and the joint 75 on the flow path forming substrate 22 are located on the same plane. On the other hand, in the mounting structure of the present embodiment, as shown in FIG. 10, the bonding portion 85 is formed on the insulating film (not shown) on the upper surface (first surface) of the flow path forming substrate 22, An extension 47b (conductive portion) of the lead electrode 47 is formed on a surface (second surface) different from the upper surface of the insulating film (not shown). In addition, a through hole 81 penetrating an arbitrary layer 83 between the first surface and the second surface is formed, and a conductive material is embedded in the through hole 81 to form the relay conduction portion 82. The relay conduction part 82 may be formed integrally with the extension part 47b of the lead electrode 47 or may be formed integrally with the joint part 85 according to the manufacturing process.

本実施形態の場合、リード電極47の延長部47bが絶縁膜上面とは異なる面上に形成されたことで、各接合部85は、図11に示すように、絶縁膜上面において孤立した形態となる。この構成により、接合部85の配線延在方向の寸法は、フレキシブル回路基板27の基板折曲部27Aにおける配線71の延在方向の寸法と比べて小さくなる。また、接合部85とリード電極47の延長部47bとが中継導通部82を介して電気的に接続される。   In the case of the present embodiment, since the extended portion 47b of the lead electrode 47 is formed on a surface different from the upper surface of the insulating film, each bonding portion 85 has an isolated form on the upper surface of the insulating film as shown in FIG. Become. With this configuration, the dimension of the bonding portion 85 in the wiring extending direction is smaller than the dimension of the wiring 71 in the extending direction of the wiring 71 in the board bending portion 27 </ b> A of the flexible circuit board 27. Further, the joint portion 85 and the extension portion 47 b of the lead electrode 47 are electrically connected via the relay conduction portion 82.

リード電極47の延長部47b(導電部)を形成する位置(層)は、様々な形態が考えられる。例えば、図4において、絶縁膜(図示略)、下電極膜42、および弾性膜41を貫通する貫通孔を形成し、弾性膜41の下層側に配置しても良い。さらに、上記の層に加えて流路形成基板22を貫通する貫通孔を形成し、流路形成基板22の下面側に配置しても良い。   There are various possible forms (layers) for forming the extended portion 47b (conductive portion) of the lead electrode 47. For example, in FIG. 4, a through-hole penetrating the insulating film (not shown), the lower electrode film 42, and the elastic film 41 may be formed and disposed on the lower layer side of the elastic film 41. Furthermore, in addition to the above layers, a through-hole penetrating the flow path forming substrate 22 may be formed and disposed on the lower surface side of the flow path forming substrate 22.

本実施形態の実装構造においても、接合部85と配線71との接合面積が小さくなることで接合部85と配線71との圧着性およびNCPの排出性が高まるため、電気的接合不良の発生を防止でき、信頼性の高い接合構造が安定して実現できる、といった第1、第2実施形態と同様の効果が得られる。また、本実施形態の場合、第1、第2実施形態のような配線折曲部が必要ないため、基板の法線方向から見て配線および接合部を同一直線上に形成することができ、配線の引き回しの設計が容易になる。   Also in the mounting structure of the present embodiment, since the bonding area between the bonding portion 85 and the wiring 71 is reduced, the bonding property between the bonding portion 85 and the wiring 71 and the NCP discharge performance are increased. The same effects as those of the first and second embodiments can be obtained, such that a highly reliable joint structure can be stably realized. In the case of this embodiment, since the wiring bent portion as in the first and second embodiments is not necessary, the wiring and the joint can be formed on the same straight line when viewed from the normal direction of the substrate. Wiring routing design becomes easy.

[第4実施形態]
以下、本発明の第4実施形態のフレキシブル回路基板の実装構造について、図13〜図15を用いて説明する。
図13は本実施形態のフレキシブル回路基板の実装構造を示す断面図である。図14は流路形成基板の端子部の平面図である。図15は端子部にフレキシブル回路基板を重ね合わせた状態を示す平面図である。
[Fourth Embodiment]
Hereinafter, the mounting structure of the flexible circuit board of 4th Embodiment of this invention is demonstrated using FIGS.
FIG. 13 is a cross-sectional view showing the flexible circuit board mounting structure of the present embodiment. FIG. 14 is a plan view of the terminal portion of the flow path forming substrate. FIG. 15 is a plan view showing a state in which the flexible circuit board is overlaid on the terminal portion.

本実施形態の実装構造においても、第3実施形態と同様、図13に示すように、リード電極47の延長部47c(導電部)が絶縁膜(図示略)上面とは異なる面(第2面)上に形成されている。また、第1面と第2面との間の層83を貫通する貫通孔91が形成され、貫通孔91内に導電性材料が埋め込まれることで中継導通部92が形成されている。この構成により、接合部95の配線延在方向の寸法は、フレキシブル回路基板27の基板折曲部27Aにおける配線71の延在方向の寸法と比べて小さくなり、接合部95とリード電極47の延長部47cとが中継導通部92を介して電気的に接続される。   Also in the mounting structure of the present embodiment, as in the third embodiment, as shown in FIG. 13, the extended portion 47c (conductive portion) of the lead electrode 47 is a surface (second surface) different from the upper surface of the insulating film (not shown). ) Is formed on. In addition, a through hole 91 that penetrates the layer 83 between the first surface and the second surface is formed, and a conductive material is embedded in the through hole 91 to form the relay conduction portion 92. With this configuration, the dimension of the bonding portion 95 in the wiring extending direction is smaller than the dimension of the wiring 71 in the extending direction of the wiring 71 in the board bending portion 27A of the flexible circuit board 27, and the bonding portion 95 and the lead electrode 47 are extended. The part 47 c is electrically connected via the relay conduction part 92.

本実施形態の場合、中継導通部92の形成位置が第3実施形態と異なっている。すなわち、第3実施形態において、中継導通部82は、フレキシブル回路基板27の配線71が接合される接合部85の接合領域内に形成されていた。これに対して、本実施形態の実装構造において、中継導通部92は、図13に示すように、フレキシブル回路基板27の配線71が接合される接合部95の接合領域より外側であって、基板折曲部27Aの外側に配置されている。   In the case of this embodiment, the formation position of the relay conduction | electrical_connection part 92 differs from 3rd Embodiment. That is, in the third embodiment, the relay conducting portion 82 is formed in the joining region of the joining portion 85 to which the wiring 71 of the flexible circuit board 27 is joined. On the other hand, in the mounting structure of the present embodiment, as shown in FIG. 13, the relay conducting portion 92 is outside the joining region of the joining portion 95 to which the wiring 71 of the flexible circuit board 27 is joined, It arrange | positions on the outer side of the bending part 27A.

本実施形態の実装構造においても、接合部95と配線71との接合面積が小さくなることで接合部95と配線71との圧着性およびNCPの排出性が高まるため、電気的接合不良の発生を防止でき、信頼性の高い接合構造が安定して実現できる、といった第1〜第3実施形態と同様の効果が得られる。また、配線71および接合部95を同一直線上に形成することができるため、配線の引き回しの設計が容易になる、といった第3実施形態と同様の効果が得られる。   Also in the mounting structure of the present embodiment, since the bonding area between the bonding portion 95 and the wiring 71 is reduced, the press bonding property between the bonding portion 95 and the wiring 71 and the NCP discharge property are increased. The same effects as those of the first to third embodiments can be obtained, which can be prevented and a highly reliable joint structure can be realized stably. In addition, since the wiring 71 and the joint portion 95 can be formed on the same straight line, the same effect as that of the third embodiment can be obtained in that the wiring design is facilitated.

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。上記実施形態におけるフレキシブル回路基板の実装構造、およびこの実装構造を用いた液滴吐出ヘッドの各部の具体的な構成は、上記実施形態に限定されず、適宜変更が可能である。   The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. The mounting structure of the flexible circuit board in the above embodiment and the specific configuration of each part of the droplet discharge head using this mounting structure are not limited to the above embodiment, and can be changed as appropriate.

1…液滴吐出ヘッド、22…流路形成基板(第1基板)、23…圧電素子(駆動素子)、26,26A,26B…ドライバーIC(駆動回路部)、27…フレキシブル回路基板(第2基板)、71…配線、74,74A,74B…端子、75,85,95…接合部、76…配線折曲部、79…非導電性接着材、81,91…貫通孔、82,92…中継導通部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge head, 22 ... Channel formation board | substrate (1st board | substrate), 23 ... Piezoelectric element (drive element), 26, 26A, 26B ... Driver IC (drive circuit part), 27 ... Flexible circuit board (2nd) Substrate), 71 ... wiring, 74, 74A, 74B ... terminal, 75, 85, 95 ... junction, 76 ... wiring bent part, 79 ... non-conductive adhesive, 81, 91 ... through hole, 82, 92 ... Relay conduction part.

Claims (7)

第1面を有し、第1方向に延在する端子が前記第1面に設けられた第1基板と、
前記第1面に対向する対向面を有し、前記第1方向に延在する配線が前記対向面に設けられた第2基板と、
前記第1面と前記対向面との間に設けられ、前記端子と前記配線とが対向して直接接触した状態で前記第1基板と前記第2基板とを接着する非導電性接着材と、を備え、
前記端子における前記配線と直接接触する接合部の前記第1方向の長さは、前記対向面における前記配線の前記第1方向の長さよりも短いことを特徴とする基板の実装構造。
A first substrate having a first surface and a terminal extending in the first direction provided on the first surface;
A second substrate having a facing surface facing the first surface and having a wiring extending in the first direction provided on the facing surface;
A non-conductive adhesive that is provided between the first surface and the facing surface, and that bonds the first substrate and the second substrate in a state where the terminal and the wiring face each other in direct contact with each other; With
The board mounting structure according to claim 1, wherein a length in the first direction of the joint portion in direct contact with the wiring in the terminal is shorter than a length in the first direction of the wiring on the facing surface.
前記端子が、前記接合部と、前記接合部と電気的に接続され前記第1方向と交差する第2方向に延在する配線折曲部と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の基板の実装構造。   The said terminal is provided with the said junction part, and the wiring bending part extended in the 2nd direction electrically connected with the said junction part and crossing the said 1st direction. PCB mounting structure. 前記配線折曲部が、前記第1方向に対して斜めに交差する方向に延在していることを特徴とする請求項2に記載の基板の実装構造。   The board mounting structure according to claim 2, wherein the wiring bent portion extends in a direction obliquely intersecting the first direction. 前記端子が、前記第1基板の第1面に設けられた前記接合部と、前記第1基板の前記第1面とは異なる第2面に設けられた導電部と、前記第1面と前記第2面との間の層を貫通する貫通孔内に形成された中継導通部と、を備え、
前記接合部と前記導電部とが前記中継導通部を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の基板の実装構造。
The terminal includes the joint provided on the first surface of the first substrate, the conductive portion provided on a second surface different from the first surface of the first substrate, the first surface, and the A relay conduction part formed in a through hole penetrating the layer between the second surface,
The board mounting structure according to claim 1, wherein the joint portion and the conductive portion are electrically connected via the relay conducting portion.
前記接合部の接合面および前記配線の接合面が、平坦面であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板の実装構造。   5. The substrate mounting structure according to claim 1, wherein a bonding surface of the bonding portion and a bonding surface of the wiring are flat surfaces. 6. 第1面に設けられ第1方向に延在する端子と、前記端子と電気的に接続され液滴を吐出させる圧力を発生させるための駆動素子と、が設けられた第1基板と、
前記第1面に対向する対向面に設けられ前記第1方向に延在する配線と、前記配線と電気的に接続され前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、が設けられた第2基板と、
前記第1面と前記対向面との間に設けられ、前記端子と前記配線とが対向して直接接触した状態で前記第1基板と前記第2基板とを接着する非導電性接着材と、を備え、
前記端子における前記配線と直接接触する接合部の前記第1方向の長さは、前記対向面における前記配線の前記第1方向の長さよりも短いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
A first substrate provided with a terminal provided on the first surface and extending in a first direction; and a driving element that is electrically connected to the terminal and generates a pressure for discharging a droplet;
A second substrate provided with a wiring provided on a facing surface facing the first surface and extending in the first direction; and a drive circuit unit electrically connected to the wiring and driving the drive element; ,
A non-conductive adhesive that is provided between the first surface and the facing surface, and that bonds the first substrate and the second substrate in a state where the terminal and the wiring face each other in direct contact with each other; With
The droplet discharge head according to claim 1, wherein a length in the first direction of the joint portion in direct contact with the wiring in the terminal is shorter than a length in the first direction of the wiring in the facing surface.
液滴を吐出させる圧力を発生させるための駆動素子と、所定の延在方向に延在する複数の端子と、を備えた第1基板に、前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、前記延在方向と同一の方向に延在する複数の配線と、を備えたフレキシブル回路基板からなる第2基板が実装され、各端子と各配線とが電気的に接合されたことにより前記駆動素子と前記駆動回路部とが電気的に接続された液滴吐出ヘッドであって、
前記第2基板が前記延在方向と交差する方向に折り曲げられ、前記第2基板の折り曲げられた箇所よりも基板先端側にあたる基板折曲部の前記各配線と前記第1基板の各端子とが対向配置された状態で、前記第1基板と前記第2基板とが非導電性接着材により接着され、
前記第1基板の前記各端子のうち、前記配線と直接接触する接合部の前記延在方向の寸法が、前記第2基板の前記基板折曲部における前記配線の前記延在方向の寸法よりも小さいことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
A drive circuit section for driving the drive element on a first substrate having a drive element for generating a pressure for discharging droplets and a plurality of terminals extending in a predetermined extending direction; A second substrate made of a flexible circuit board provided with a plurality of wirings extending in the same direction as the current direction, and each of the terminals and each of the wirings are electrically connected to each other so that the driving element and the wiring A droplet discharge head electrically connected to the drive circuit unit,
The second substrate is bent in a direction intersecting with the extending direction, and the wirings of the substrate bent portion and the terminals of the first substrate, which are closer to the front end side of the substrate than the bent portion of the second substrate, In a state of being opposed to each other, the first substrate and the second substrate are bonded by a non-conductive adhesive,
Among the terminals of the first substrate, the dimension in the extending direction of the joint portion that is in direct contact with the wiring is larger than the dimension in the extending direction of the wiring in the substrate bent portion of the second substrate. A droplet discharge head characterized by being small.
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