JP2011220596A - Cooling system - Google Patents

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Kazunari Suzuki
一成 鈴木
Hiroyuki Toyoda
浩之 豊田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a cooling system using a thermosiphon capable of freely setting installation positions of a water cooling jacket, a radiator, and a pipe to connect the both.SOLUTION: The cooling system includes a water cooling jacket 101 that evaporates a liquid refrigerant by heat from a heat generator 109, a radiator 102 that transfers heat of the steam refrigerant transported from the water cooling jacket and condenses the steam, a steam passage 103 through which the refrigerant steam is transported from the water cooling jacket to the radiator, a condensate passage 104 through which condensate is transported from the radiator to the water cooling jacket, permeable membranes 108, 107 that separate the water cooling jacket 101 and the steam passage 103, and the radiator 102 and the condensate passage 104, respectively, and a mixed liquid of solute and refrigerant accommodated within the water cooling jacket 101, wherein the refrigerant is caused to circulate between the water cooling jacket 101 and the radiator 102.

Description

本発明は、冷却システムに係り、特に、熱サイフォンを用いた気化冷却システムに関する。   The present invention relates to a cooling system, and more particularly to an evaporative cooling system using a thermosyphon.

近年、パーソナルコンピュータやサーバ等の電子機器に搭載される中央処理装置(CPU)等の半導体デバイスは、小型化・高集積化により発熱量が益々増大してきている。前述のCPU等の半導体デバイスは、通常、所定の温度を超えるとその性能を維持することができなくなるばかりでなく、場合によっては破損することもある。そのため、半導体デバイスの温度管理が必要とされ、半導体デバイスに対して、その冷却が行われている。   In recent years, semiconductor devices such as a central processing unit (CPU) mounted on electronic devices such as personal computers and servers have increasingly increased in heat generation due to miniaturization and high integration. The above-mentioned semiconductor devices such as CPUs are usually not only unable to maintain their performance when a predetermined temperature is exceeded, but may be damaged in some cases. Therefore, the temperature management of the semiconductor device is required, and the semiconductor device is cooled.

従来、半導体デバイスの冷却は、一般的に、CPU等の発熱体にヒートシンクを取り付け、それに冷却風を送るファンを用いることによって実現してきた。しかし、前述したように、半導体デバイスの小型化・高集積化により発熱部位の局所化が生じ、ヒートシンクと、それに冷却風を送るファンとを用いる方法では、冷却が困難になってきている。また、近年の環境配慮型社会の要望から、電子機器の消費電力や騒音の低減が求められている。   Conventionally, cooling of a semiconductor device has generally been realized by attaching a heat sink to a heating element such as a CPU and using a fan that sends cooling air to the heat sink. However, as described above, the heat generation part is localized due to the miniaturization and high integration of the semiconductor device, and cooling using a method using a heat sink and a fan that sends cooling air to the heat sink becomes difficult. In addition, due to the recent demands of environmentally friendly society, reduction of power consumption and noise of electronic devices is required.

前述した半導体デバイスの冷却が困難になってきているという課題及び環境配慮型社会からの要望より、従来の空冷式の冷却システムに代わり、例えば、水等の冷媒を用いた液冷式の冷却システム等の効率的な冷却技術が強く求められている。液冷式の冷却システムの中でも冷媒の相転移を用いた気化冷却システムは、その冷却効率の良さが注目を集めている。   Due to the above-mentioned problem that cooling of semiconductor devices has become difficult and the demand from an environmentally friendly society, for example, a liquid cooling type cooling system using a refrigerant such as water instead of a conventional air cooling type cooling system. Efficient cooling technology such as the above is strongly demanded. Among the liquid cooling type cooling systems, the evaporative cooling system using the phase transition of the refrigerant is attracting attention because of its good cooling efficiency.

前述した気化冷却システムに関する従来技術として、例えば、特許文献1等に記載された技術が知られている。この従来技術は、半導体デバイスとしてのCPUの表面に設置した水冷ジャケットで冷媒を蒸発させて、その冷媒蒸気を金属性及びゴム製のチューブを介してラジエータに輸送し、そこで熱を外部に放出することにより前述の冷媒を凝縮させ、液化した冷媒をポンプにより再び水冷ジャケットに還流させるというものである。   As a conventional technique related to the evaporative cooling system described above, for example, a technique described in Patent Document 1 is known. This prior art evaporates the refrigerant with a water-cooled jacket installed on the surface of the CPU as a semiconductor device, transports the refrigerant vapor to the radiator through metallic and rubber tubes, and releases the heat there. As a result, the above-mentioned refrigerant is condensed, and the liquefied refrigerant is returned to the water-cooled jacket again by a pump.

前述で説明した空冷式の冷却システムは、ヒートシンクによってCPU等の局所的発熱体の直上で熱を放出しなければならないが、前述の気化冷却システムは、熱を放出するラジエータの位置を自由に選択することができるため、発熱部位の局所化が著しい近年の電子機器の冷却に非常に有用なものである。   The air-cooled cooling system described above must release heat directly above a local heating element such as a CPU by means of a heat sink. However, the evaporative cooling system described above can freely select the position of the radiator that releases heat. Therefore, it is very useful for cooling electronic devices in recent years, in which the heat generation site is localized.

前述したようなポンプを用いる気化冷却システムに対して、熱サイフォンを用いた気化冷却システムがあり、この熱サイフォン式気化冷却システムは、水冷ジャケットとラジエータとを要する点、及び、効率性や局所的発熱部位の冷却に対する利点で前述のポンプを用いる気化冷却システムと同様であるが、ポンプを用いることなく重力のみで作動液が動作するため、ポンプを用いる気化冷却システムと比べて装置の信頼性が高いという特徴を有している。但し、熱サイフォン式気化冷却システムは、凝縮した冷媒の水冷ジャケットへの輸送が重力によってなされるため、水冷ジャケット、ラジエータ及び両者を接続する配管の設置位置に制約のあるものであった。   In contrast to the evaporative cooling system using a pump as described above, there is an evaporative cooling system using a thermosyphon. This thermosiphon evaporative cooling system requires a water-cooling jacket and a radiator, as well as efficiency and locality. It is the same as the evaporative cooling system using the above-mentioned pump because of the advantage for cooling the heat generating part, but since the working fluid operates only by gravity without using the pump, the reliability of the apparatus is higher than that of the evaporative cooling system using the pump. It has the feature of being high. However, in the thermosyphon type evaporative cooling system, since the condensed refrigerant is transported to the water cooling jacket by gravity, the installation position of the water cooling jacket, the radiator, and the pipe connecting the both is limited.

また、重力に代わり毛細管力で凝縮した冷媒液を還流させる熱輸送装置を用いる冷却システムとしてヒートパイプによるものが知られている。しかし、ヒートパイプの駆動力は、グルーブやウィック等で得られる毛細管力であるため、液の圧力損失が大きく作動液を効率良く循環させることができない。このため、毛細管力を用いて熱輸送装置を行う冷却システムは、前述した熱サイフォンを用いた気化冷却システムと比べて熱輸送量が小さなものである。このような欠点を改良した従来技術として、例えば、特許文献2等に記載された技術が知られている。この従来技術は、浸透圧を用いることにより大きな熱輸送の駆動圧を発生させることを可能としたヒートパイプによる冷却システムに関するものである。   A cooling system using a heat pipe is known as a cooling system using a heat transport device that recirculates a refrigerant liquid condensed by capillary force instead of gravity. However, since the driving force of the heat pipe is a capillary force obtained by a groove, a wick or the like, the pressure loss of the liquid is large and the working liquid cannot be circulated efficiently. For this reason, the cooling system which performs a heat transport device using capillary force has a smaller heat transport amount than the evaporative cooling system using the thermosyphon described above. As a conventional technique that improves such a defect, for example, a technique described in Patent Document 2 is known. This prior art relates to a cooling system using a heat pipe that can generate a driving pressure for large heat transport by using osmotic pressure.

特開2006−237188号公報JP 2006-237188 A 特開昭63−14087号公報JP 63-14087 A

前述したように、気化冷却システムには主に3つのタイプが存在する。第1のシステムは、ポンプを用いてラジエータから水冷ジャケットへ凝縮した冷媒液を還流させる水冷システムである。このポンプを用いる気化冷却システムは、熱輸送量が大きいという利点を有しているが、一方、ポンプとこれを駆動する電源、冷却水を貯めるリザーブタンク等を設置するスペースが必要となるという問題点を有している。また、このシステムは、前述したポンプが電力を消費し、かつ、騒音源にもなり、信頼性の点でも問題になるという問題点を有している。   As described above, there are mainly three types of evaporative cooling systems. The first system is a water cooling system that recirculates the refrigerant liquid condensed from the radiator to the water cooling jacket using a pump. The evaporative cooling system using this pump has the advantage that the amount of heat transport is large, but on the other hand, there is a need for a space for installing a pump, a power source for driving the pump, a reserve tank for storing cooling water, and the like. Has a point. In addition, this system has a problem that the above-described pump consumes electric power, becomes a noise source, and is problematic in terms of reliability.

第2のシステムは、ヒートパイプを使用する冷却システムである。このヒートパイプを用いる冷却システムは、信頼性が高く、ポンプを要しないため、電源の設置スペース、ポンプ、騒音に関する懸念がないという利点を有している。しかし、ヒートパイプを用いる冷却システムは、凝縮した冷媒液の還流を毛細管力に頼っているために、輸送することができる冷媒の量が小さく、そのため熱輸送量が小さいという問題点を有している。   The second system is a cooling system that uses heat pipes. The cooling system using the heat pipe is highly reliable and does not require a pump, and therefore has an advantage that there is no concern about the installation space of the power source, the pump, and noise. However, the cooling system using a heat pipe has a problem that the amount of refrigerant that can be transported is small because the recirculation of the condensed refrigerant liquid depends on the capillary force, and therefore the amount of heat transport is small. Yes.

第3のシステムは、熱サイフォンを用いた気化冷却システムである。この熱サイフォンを用いた気化冷却システムは、ヒートパイプを用いる冷却システムの利点に加えて、熱輸送量も大きいという特徴を有している。しかし、このシステムは、冷媒の駆動力が重力であるために、水冷ジャケット、ラジエータ及び両者を接続する配管の設置位置に制約が存在するという問題点を有している。このため、例えば、ラックマウント型の1Uサーバに用いる場合、1U(約4.5cm)の高さ内にラジエータと水冷ジャケットとの相対位置に落差を設けなければならないことになる。また、1Uあるいは2Uの厚さのブレード筐体が縦置きに設置されるブレードサーバや、縦置き、横置き双方で運用されるタワー型サーバに適用する場合、筐体デザインや部品レイアウトに特別な制約が生じる。   The third system is a vaporization cooling system using a thermosyphon. The evaporative cooling system using the thermosyphon has a feature that the amount of heat transport is large in addition to the advantage of the cooling system using the heat pipe. However, since the driving force of the refrigerant is gravity, this system has a problem in that there are restrictions on the installation positions of the water cooling jacket, the radiator, and the pipe connecting the two. For this reason, for example, when used for a rack-mount type 1U server, it is necessary to provide a drop in the relative position between the radiator and the water cooling jacket within a height of 1U (about 4.5 cm). In addition, when applied to a blade server in which a 1U or 2U thickness blade case is installed vertically, or a tower type server that is operated both vertically and horizontally, there is a special case design and component layout. Restrictions arise.

本発明の目的は、前述した従来技術の問題点を解決し、凝縮した冷媒液を還流させるための新たな駆動力を備え、水冷ジャケット、ラジエータ及び両者を連結する配管の設置位置を自由に設定することができる熱サイフォンを用いた冷却システムを提供することにある。   The object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, have a new driving force for recirculating the condensed refrigerant liquid, and freely set the installation position of the water cooling jacket, the radiator and the pipe connecting the two It is an object of the present invention to provide a cooling system using a thermosyphon that can be used.

本発明によれば前記目的は、発熱体からの熱により液体冷媒を蒸発させる水冷ジャケットと、該水冷ジャケットから輸送された蒸気冷媒の熱を外部に伝達して蒸気を凝縮させるラジエータと、前記水冷ジャケットから前記ラジエータへ冷媒蒸気を輸送する蒸気通路と、前記ラジエータから前記水冷ジャケットへ凝縮液を輸送する凝縮液通路と、前記水冷ジャケットと前記蒸気通路との間及び前記ラジエータと前記凝縮液通路との間のそれぞれを仕切る浸透膜と、前記水冷ジャケット内に収容した溶質と前記冷媒との混合液とにより構成され、前記冷媒を前記水冷ジャケットと前記ラジエータとの間で循環させることにより達成される。   According to the present invention, the object is to provide a water cooling jacket that evaporates the liquid refrigerant by heat from the heating element, a radiator that condenses the vapor by transferring the heat of the vapor refrigerant transported from the water cooling jacket to the outside, and the water cooling A steam passage for transporting refrigerant vapor from a jacket to the radiator; a condensate passage for transporting condensate from the radiator to the water cooling jacket; a space between the water cooling jacket and the steam passage; and the radiator and the condensate passage. And a mixed solution of the solute and the refrigerant accommodated in the water-cooling jacket, and is achieved by circulating the refrigerant between the water-cooling jacket and the radiator. .

本発明によれば、浸透膜による浸透圧によって下部にあるラジエータから上部にある水冷ジャケットに向かい重力に逆らって冷媒を還流させることができ、これにより、大きな熱輸送量を備えつつ、水冷ジャケット、ラジエータ及び両者を連結する配管の設置位置を自由に設定可能として、高い冷却効果を得ることができる。   According to the present invention, the refrigerant can be recirculated against the gravity from the lower radiator to the upper water cooling jacket by the osmotic pressure by the osmosis membrane, thereby providing a large heat transport amount, The installation position of the radiator and the pipe connecting the both can be freely set, and a high cooling effect can be obtained.

本発明の一実施形態による熱サイフォン構造を有する気化冷却システムの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the vaporization cooling system which has the thermosiphon structure by one Embodiment of this invention. 水冷ジャケットの詳細な構造を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the detailed structure of a water cooling jacket. ラジエータの詳細な構造を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the detailed structure of a radiator. ラジエータを構成するラジエータチューブの構造を説明する一部拡大図を含む断面図である。It is sectional drawing containing the partially expanded view explaining the structure of the radiator tube which comprises a radiator. 本発明の他の実施形態による熱サイフォン構造を有する気化冷却システムの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the vaporization cooling system which has the thermosiphon structure by other embodiment of this invention. 他の実施形態における蒸気通路となる配管の長手方向に沿った微細溝構造を説明する図である。It is a figure explaining the fine groove structure along the longitudinal direction of piping used as the steam passage in other embodiments. ラックに収容したラックサーバ及びブレードサーバの概略図である。It is the schematic of the rack server accommodated in the rack and a blade server.

以下、本発明による冷却システムの実施形態を図面を用いて詳細に説明する。ここで説明する本発明の実施形態は、従来のシステムでは凝縮した冷却液の還流が重力によっていたために不可能であったトップヒートモード(蒸発部が上部、凝縮部が下部)での動作を可能とした熱サイフォン構造の気化冷却システムの例である。   Hereinafter, embodiments of a cooling system according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The embodiment of the present invention described here is an operation in the top heat mode (the evaporation unit is on the upper side and the condensation unit is on the lower side) which is impossible because the reflux of the condensed cooling liquid is caused by gravity in the conventional system. It is an example of the evaporative cooling system of the thermosiphon structure made possible.

図1は本発明の一実施形態による熱サイフォン構造を有する気化冷却システムの概略構成を示す図である。   FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an evaporative cooling system having a thermosiphon structure according to an embodiment of the present invention.

本発明の実施形態による熱サイフォン構造を有する気化冷却システムは、図1に示すように、冷媒としての水の蒸発部となる水冷ジャケット101と、蒸発した水の凝縮部となるラジエータ102とが設けられ、両者の間を配管である蒸気通路103と、凝縮液通路104とにより接続して冷媒が循環するループを形成するように構成されている。   As shown in FIG. 1, a vaporization cooling system having a thermosyphon structure according to an embodiment of the present invention is provided with a water cooling jacket 101 serving as an evaporation unit of water as a refrigerant and a radiator 102 serving as a condensing unit of evaporated water. The two are connected by a vapor passage 103 that is a pipe and a condensate passage 104 to form a loop in which the refrigerant circulates.

水冷ジャケット101と蒸気通路103との間、及び、ラジエータ102と凝縮液通路104と間は、それぞれ浸透膜108、107で仕切られ、ラジエータ102の下部には、凝縮液ジャケット302が構成されて溶媒105が配置され、水冷ジャケット101内には溶質と溶媒との混合液106が封入されている。   Between the water cooling jacket 101 and the steam passage 103 and between the radiator 102 and the condensate passage 104 are partitioned by permeation membranes 108 and 107, respectively, and a condensate jacket 302 is formed below the radiator 102 to form a solvent. 105 is disposed, and a mixed solution 106 of a solute and a solvent is sealed in the water cooling jacket 101.

前述のように構成される水冷ジャケット101は、その底面部がCPU等の半導体デバイスによる発熱体109の上面に、熱伝導性の高いシート、グリース等を介して小さい熱抵抗で接するように設置されて使用される。また、図示していないが、ラジエータ102の近傍に、空気流を生成するファンが設けられ、生成された空気流が、ラジエータ102を構成する後述の放熱フィンを介してラジエータ102の冷却を促進する。   The water-cooling jacket 101 configured as described above is installed such that the bottom surface thereof is in contact with the upper surface of the heating element 109 by a semiconductor device such as a CPU with a small thermal resistance through a sheet having high thermal conductivity, grease, or the like. Used. Although not shown, a fan that generates an air flow is provided in the vicinity of the radiator 102, and the generated air flow promotes cooling of the radiator 102 through a heat-dissipating fin, which will be described later, constituting the radiator 102. .

前述した本発明の実施形態による冷却システムは、ラジエータ102が、蒸気通路103と凝縮液通路104とを介して水冷ジャケット101に接続されており、蒸気通路103と凝縮液通路104との経路を任意に設定することができる。これにより、ラジエータ102を任意の位置に設置することができ、本発明の実施形態では、ラジエータ102の凝縮液ジャケット302を水冷ジャケット101より低い位置に配置するようにすることができる。   In the cooling system according to the above-described embodiment of the present invention, the radiator 102 is connected to the water cooling jacket 101 via the steam passage 103 and the condensate passage 104, and the route between the steam passage 103 and the condensate passage 104 is optional. Can be set to Thereby, the radiator 102 can be installed in an arbitrary position, and in the embodiment of the present invention, the condensate jacket 302 of the radiator 102 can be arranged at a position lower than the water cooling jacket 101.

本発明の実施形態では、冷媒として水を使用することとし、水冷ジャケット101の内部を減圧し環境温度における飽和蒸気圧の飽和水として用いる。冷媒として水は、滲透圧を得るために水に混合して使用する溶質に対する溶媒ともなるものであり、溶質としてはベンゾトリアゾール(C)系防錆剤を用いる。これにより、水冷ジャケット101、ラジエータ102、蒸気通路103、凝縮液通路104のループにより構成される熱サイフォンの材質である銅の腐食を抑制する作用も期待することができ有効である。また、浸透膜としてはセルロース膜を用いている。 In the embodiment of the present invention, water is used as the refrigerant, and the inside of the water cooling jacket 101 is decompressed and used as saturated water having a saturated vapor pressure at the environmental temperature. Water as a refrigerant serves as a solvent for a solute used by mixing with water in order to obtain an osmotic pressure, and a benzotriazole (C 6 H 5 N 3 ) -based rust inhibitor is used as the solute. Accordingly, it is possible to expect the effect of suppressing corrosion of copper which is a material of the thermosyphon composed of the loop of the water cooling jacket 101, the radiator 102, the steam passage 103, and the condensate passage 104, which is effective. Further, a cellulose membrane is used as the osmotic membrane.

図2は水冷ジャケットの詳細な構造を説明する断面図である。水冷ジャケット101は、図2に示すように、CPU等の半導体デバイスである発熱体109と接触するジャケットベース202とジャケットカバー201とにより構成されており、ジャケットベース202の内側の表面には冷媒の速やかな沸騰を促進する気化促進構造物203として、その上面に、開口寸法及びトンネルピッチを最適化した(例えば、0.2mm×0.2mmの角孔をピッチ0.5mmで縦横2方向に多数形成した)溝構造を形成した多孔質銅による微細化構造物が設けられている。蒸気通路103の入り口であり、水冷ジャケット101の蒸気出口には浸透膜108が配置されており、これにより、溶質の蒸気通路103への侵入を阻止して、水冷ジャケット101及び凝縮液通路104内に作動溶液である溶媒と溶質との混合液を封入することができる。   FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the detailed structure of the water cooling jacket. As shown in FIG. 2, the water cooling jacket 101 includes a jacket base 202 and a jacket cover 201 that are in contact with a heating element 109 that is a semiconductor device such as a CPU. As the vaporization promoting structure 203 that promotes rapid boiling, the opening size and tunnel pitch are optimized on the upper surface (for example, a large number of 0.2 mm × 0.2 mm square holes in a vertical and horizontal direction with a pitch of 0.5 mm). A refined structure made of porous copper having a groove structure formed) is provided. An osmotic membrane 108 is disposed at the steam passage 103 entrance and at the steam outlet of the water cooling jacket 101, thereby preventing the solute from entering the steam passage 103, and thereby inside the water cooling jacket 101 and the condensate passage 104. It is possible to enclose a mixed solution of a solvent and a solute which is a working solution.

図3はラジエータの詳細な構造を説明する断面図である。ラジエータ102は、図3に示すように、上部に設けられた蒸気ジャケット301と下部に設けられた凝縮液ジャケット302と、蒸気ジャケット301及び凝縮液ジャケット302の相互間を接続する1または複数のラジエータチューブ303と、ラジエータチューブ303の周囲に設けられた多数の放熱フィン304とにより構成されている。   FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating the detailed structure of the radiator. As shown in FIG. 3, the radiator 102 includes a steam jacket 301 provided in the upper part, a condensate jacket 302 provided in the lower part, and one or a plurality of radiators connecting the steam jacket 301 and the condensate jacket 302. The tube 303 and a large number of radiation fins 304 provided around the radiator tube 303 are configured.

図4はラジエータを構成するラジエータチューブの構造を説明する一部拡大図を含む断面図である。ラジエータチューブ303は、円柱状または偏平円柱状の断面を持つ構造であり、その内部に、図4の拡大図に示しているように、ナイフエッジを有する下向き微細フィン構造(例えば、深さ0.1mm、幅0.1mm、ピッチ0.3mmのフィン構造)401を有する。この微細フィン構造401は、冷媒蒸気の凝縮を促進すると共に、凝縮面からの凝縮した冷媒液の排除を促進する案内板の役割をも果たす。   FIG. 4 is a cross-sectional view including a partially enlarged view for explaining the structure of the radiator tube constituting the radiator. The radiator tube 303 has a structure having a cylindrical or flat cylindrical cross section, and as shown in the enlarged view of FIG. 4, a downward fine fin structure (for example, a depth of 0.1 mm) having a knife edge is provided therein. A fin structure 401 having a width of 1 mm, a width of 0.1 mm, and a pitch of 0.3 mm. The fine fin structure 401 also serves as a guide plate that promotes the condensation of the refrigerant vapor and promotes the elimination of the condensed refrigerant liquid from the condensation surface.

次に、前述したように構成される本発明の実施形態による熱サイフォンを用いた気化冷却システムの動作について説明する。   Next, the operation of the evaporative cooling system using the thermosyphon according to the embodiment of the present invention configured as described above will be described.

CPU等の半導体デバイスによる発熱体109によってジャケットベース202が加熱されると、水冷ジャケット101内の作動溶液の温度が上昇する。水冷ジャケット101の内部は減圧され、環境温度における飽和蒸気圧になっており、作動溶液である溶媒と溶質との混合液の溶媒は、100℃以下の低温、例えば、60℃〜50℃で沸点に達するように調整されている。このとき、水冷ジャケット101内の気化促進構造物203は、溶媒液の速やかな沸騰を促す作用をする。   When the jacket base 202 is heated by the heating element 109 made of a semiconductor device such as a CPU, the temperature of the working solution in the water cooling jacket 101 rises. The inside of the water cooling jacket 101 is depressurized to a saturated vapor pressure at the environmental temperature, and the solvent of the mixed solution of the solvent and the solute as the working solution has a boiling point at a low temperature of 100 ° C. or lower, for example, 60 ° C. to 50 ° C. Has been adjusted to reach. At this time, the vaporization accelerating structure 203 in the water cooling jacket 101 acts to promote rapid boiling of the solvent liquid.

そして、本発明の実施形態では溶媒として水を使用し、溶質としてベンゾトリアゾール系の防錆剤を使用しており、水の方がベンゾトリアゾール系の防錆剤より沸点が低いため、沸騰して蒸気となるのは水であり、発生した水蒸気は、蒸気通路103を通ってラジエータ102に輸送される。そして、ラジエータ102に運ばれた水蒸気は、蒸気ジャケット301からラジエータチューブ303に導かれ、ラジエータチューブ303に取り付けられている放熱フィンに熱を伝達して冷却される。このとき、ラジエータチューブ303内に設けられた図4に示して説明した微細フィン構造により、溶媒の速やかな凝縮が促進される。また、ラジエータチューブ303から凝縮液ジャケット302への凝縮した冷媒液のスムーズな輸送が行われる。そして、純水である凝縮した冷媒液は、ラジエータ下部の凝縮液ジャケット302に貯まり、浸透膜107を通して凝縮液通路104内の水溶液(ベンゾトリアゾール系の防錆剤を含む)と接し、浸透膜107の浸透圧により、純水が凝縮液通路104内へ浸透する。   In the embodiment of the present invention, water is used as a solvent, and a benzotriazole rust inhibitor is used as a solute. Since water has a lower boiling point than a benzotriazole rust inhibitor, it boils. The steam is water, and the generated water vapor is transported to the radiator 102 through the steam passage 103. Then, the water vapor carried to the radiator 102 is guided from the steam jacket 301 to the radiator tube 303, and is cooled by transferring heat to the radiation fins attached to the radiator tube 303. At this time, rapid condensation of the solvent is promoted by the fine fin structure shown in FIG. 4 provided in the radiator tube 303. Further, the condensed refrigerant liquid is smoothly transported from the radiator tube 303 to the condensate jacket 302. The condensed refrigerant liquid, which is pure water, is stored in the condensate jacket 302 below the radiator, contacts the aqueous solution (including the benzotriazole rust preventive agent) in the condensate passage 104 through the osmotic membrane 107, and the osmotic membrane 107 Due to the osmotic pressure, pure water permeates into the condensate passage 104.

一般に、浸透圧Pは、溶質の種類を問わず、溶質のモル濃度と温度とのみに依存し、
P=MRT
として示される式で表される。ここで、Mは溶液の容積モル濃度[mol/L]、Rは気体定数、Tは絶対温度である。例えば、溶液として水100mlに1gの1H−ベンゾトリアゾール(C)を溶かしたものを用い、常温(300K)で動作させる条件を考えると、浸透圧は、約2.1kg/cm となる。この圧力は、一般的なウィック型ヒートパイプにおける駆動圧である0.002kg/cm の約1000倍の大きさとなり、下部にあるラジエータ102の底部から上部にある水冷ジャケット101まで21mの揚水が可能であることを意味している。これにより、トップヒートモード(蒸発部が上部、凝縮部が下部)での動作を可能とした熱サイフォン構造の冷却システムを構成することができる。
In general, the osmotic pressure P depends only on the molar concentration and temperature of the solute, regardless of the type of solute,
P = MRT
It is represented by the formula shown as Here, M is the molar concentration of the solution [mol / L], R is the gas constant, and T is the absolute temperature. For example, using a solution obtained by dissolving 1 g of 1H-benzotriazole (C 6 H 5 N 3 ) in 100 ml of water as a solution, and considering the conditions of operating at room temperature (300 K), the osmotic pressure is about 2.1 kg / cm 2. 2 . This pressure is about 1000 times as large as 0.002 kg / cm 2 , which is a driving pressure in a general wick type heat pipe, and 21 m of water is pumped from the bottom of the radiator 102 at the bottom to the water cooling jacket 101 at the top. It means that it is possible. Thereby, the cooling system of the thermosyphon structure which enabled the operation | movement in top heat mode (an evaporation part is an upper part and a condensation part is a lower part) can be comprised.

前述した本発明の実施形態による冷却システムは、一般的なブレードサーバの冷却に適用された場合、半導体デバイス等の発熱体109のサーバ内部での位置にかかわらず、ラジエータ102の凝縮液ジャケット302がサーバの最も低い位置になるように、また蒸気ジャケット301がサーバの最も高い位置になるように配置することができる。そして、この場合、一般的なブレードサーバの高さが10U(約44.5cm)であり、浸透膜107により、この高さだけの揚水を行うことができればよく、水100mlに対してベンゾトリアゾールを約21.4mg(濃度214ppm)だけ加えれば、必要な滲透圧を得ることができる。   When the cooling system according to the above-described embodiment of the present invention is applied to cooling of a general blade server, the condensate jacket 302 of the radiator 102 is provided regardless of the position of the heating element 109 such as a semiconductor device inside the server. It can be arranged so that it is at the lowest position of the server and the steam jacket 301 is at the highest position of the server. In this case, the height of a general blade server is 10 U (about 44.5 cm), and it is only necessary that the permeation membrane 107 can pump water of this height, and benzotriazole is added to 100 ml of water. If only about 21.4 mg (concentration 214 ppm) is added, the necessary permeation pressure can be obtained.

また、前述した本発明の実施形態による冷却システムは、一時的に溶媒である水の蒸発量が増大した等の理由により、水冷ジャケット101内の溶液が減少した場合、溶液の濃度が上昇するために浸透圧も濃度に比例して上昇する。この結果、水冷ジャケット101内への水の輸送が促進され、ドライアウト(作動液が完全に蒸発)することを防止することができる。   In addition, the cooling system according to the above-described embodiment of the present invention increases the concentration of the solution when the solution in the water cooling jacket 101 decreases due to a temporary increase in the evaporation amount of water as a solvent. In addition, the osmotic pressure also increases in proportion to the concentration. As a result, the transport of water into the water cooling jacket 101 is promoted, and it is possible to prevent dryout (the working fluid is completely evaporated).

また、前述した本発明の実施形態による冷却システムは、従来技術として説明した浸透圧型ヒートパイプと比べると溶媒の輸送量が大きく、ラジエータ102による効率的な冷却も可能となるため熱輸送量が非常に大きいという利点を有する。   In addition, the cooling system according to the above-described embodiment of the present invention has a large amount of solvent transport compared to the osmotic heat pipe described as the prior art, and enables efficient cooling by the radiator 102. Has the advantage of being large.

前述した本発明の実施形態は、熱サイフォンの材質として銅を使用するとして説明したが、本発明は、銅以外にもアルミ等の熱伝導率の高い金属を用いることができる。また、溶質としては、蔗糖(C122211)やアルカリ金属のホウ酸塩(例えば、NaBO)等を使用することができる。また、浸透膜としては、90℃以下の低温で作動する場合、アセチルセルロース膜、セルロース系あるいはナイロン系の中空状膜を使用するのが適当であり、90℃以上の高温で使用する場合、多孔質ガラス、多孔質セラミックス等の材質のものを使用するのが適当である。 Although the above-described embodiment of the present invention has been described as using copper as the material of the thermosyphon, the present invention can use a metal having high thermal conductivity such as aluminum in addition to copper. As the solute, sucrose (C 12 O 22 H 11 ), an alkali metal borate (for example, Na 3 BO 3 ), or the like can be used. As the osmotic membrane, when operating at a low temperature of 90 ° C. or lower, it is appropriate to use an acetyl cellulose membrane, a cellulose-based or nylon-based hollow membrane, and when used at a high temperature of 90 ° C. or higher, it is porous. It is appropriate to use a material such as porous glass or porous ceramics.

図5は本発明の他の実施形態による熱サイフォン構造を有する気化冷却システムの概略構成を示す図、図6は他の実施形態における蒸気通路となる配管の長手方向に沿った微細溝構造でを説明する図である。ここで説明する本発明の他の実施形態は、図1に示して説明した気化冷却システムにおける浸透膜108を除いて構成したものである。   FIG. 5 is a diagram showing a schematic configuration of an evaporative cooling system having a thermosyphon structure according to another embodiment of the present invention, and FIG. 6 shows a fine groove structure along the longitudinal direction of a pipe serving as a steam passage in another embodiment. It is a figure explaining. Another embodiment of the present invention described here is configured by removing the osmotic membrane 108 in the evaporative cooling system shown and described in FIG.

本発明の他の実施形態は、図1に示して説明したものと同様に、冷媒としての水の蒸発部となる水冷ジャケット101と、蒸発した水の凝縮部となるラジエータ102とが設けられ、両者の間を配管である蒸気通路103と、凝縮液通路104とにより接続して冷媒が循環するループを形成するように構成されている。   Other embodiments of the present invention are provided with a water cooling jacket 101 that serves as an evaporating part of water as a refrigerant and a radiator 102 that serves as a condensing part of evaporated water, in the same manner as described with reference to FIG. The two are connected by a vapor passage 103 which is a pipe and a condensate passage 104 to form a loop in which the refrigerant circulates.

そして、ラジエータ102と凝縮液通路104と間は、浸透膜107で仕切られ、ラジエータ102の下部には、凝縮液ジャケット302が構成されて溶媒105が配置され、水冷ジャケット101内には溶質と溶媒との混合液106が封入されている。   The radiator 102 and the condensate passage 104 are partitioned by a osmotic membrane 107, and a condensate jacket 302 is formed in the lower part of the radiator 102, and a solvent 105 is disposed in the water-cooled jacket 101. And a mixed liquid 106 are enclosed.

前述したような本発明の他の実施形態が図1に示したものと相違する点は、水冷ジャケット101と蒸気通路103との間を仕切っている浸透膜108が設けられていない点、蒸気通路103を、水冷ジャケット101側を低くして一様な勾配を持つものとすると共に充分な長さを有する配管により構成した点、及び、蒸気通路103となる配管の内側の壁面に、図6に示すような配管の長手方向に沿った微細溝構造501が設けられている点である。   The other embodiment of the present invention as described above is different from that shown in FIG. 1 in that the osmotic membrane 108 that partitions the water cooling jacket 101 and the steam passage 103 is not provided. FIG. 6 illustrates a configuration in which the water cooling jacket 101 side is made to have a uniform gradient and the pipe 103 has a sufficient length, and the inner wall surface of the pipe that becomes the steam passage 103. This is that a fine groove structure 501 is provided along the longitudinal direction of the pipe as shown.

図1に示している浸透膜108は、水冷ジャケット101内の溶質が蒸発して蒸気通路103を通ってラジエータ102内の溶媒に混入しないために設けられている。通常、溶質の蒸発温度は、溶媒である水より高いため、ジャケット101内で蒸発する量はそれほど多くはない。そこで、図6に示す本発明の他の実施形態では、浸透膜108を設置せず、に代わりに蒸気通路103を、前述したように一様な勾配と充分な長さを有する配管で構成すると共に、蒸気ジャケット103の近傍を除く配管内壁面に図6に示すような微細溝構造501を、配管の長手方向に沿って設けることとした。前述の配管内壁面に設けた微細溝構造501は、毛細管力によって蒸気通路103内に侵入し、液化した溶質を水冷ジャケットへ輸送する機能を有し、これにより、ラジエータ102内の溶媒である水への溶質の混入を防止することができる。   The permeation membrane 108 shown in FIG. 1 is provided so that the solute in the water-cooled jacket 101 does not evaporate and mix with the solvent in the radiator 102 through the vapor passage 103. Usually, since the evaporation temperature of the solute is higher than that of water as the solvent, the amount of evaporation in the jacket 101 is not so large. Therefore, in another embodiment of the present invention shown in FIG. 6, the osmotic membrane 108 is not installed, and instead, the steam passage 103 is configured by piping having a uniform gradient and a sufficient length as described above. In addition, a fine groove structure 501 as shown in FIG. 6 is provided along the longitudinal direction of the pipe on the inner wall surface of the pipe excluding the vicinity of the steam jacket 103. The fine groove structure 501 provided on the inner wall surface of the above-described pipe has a function of entering the vapor passage 103 by capillary force and transporting the liquefied solute to the water-cooled jacket. It is possible to prevent the solute from being mixed in.

本発明の他の実施形態は、前述したような構成を備えることによって、図1に説明した本発明の実施形態と比較して浸透膜108の存在によって生じる圧力損失をなくすことができ、冷却効率を向上させることができる。   Other embodiments of the present invention can eliminate the pressure loss caused by the presence of the osmotic membrane 108 as compared with the embodiment of the present invention described in FIG. Can be improved.

図7はラックに収容したラックサーバ及びブレードサーバの概略図である。通常、ラックマウントサーバ703は、図7(a)に示すように、ラックドア702を備えるラック701内に複数台が横置きに設置されている。ラックマウントサーバ701は、その高さが1U(約4.5cm)の整数倍に構成されている。   FIG. 7 is a schematic view of a rack server and a blade server housed in a rack. Normally, as shown in FIG. 7A, a plurality of rack mount servers 703 are installed horizontally in a rack 701 including a rack door 702. The rack mount server 701 has a height that is an integral multiple of 1U (about 4.5 cm).

このようなラックマウントサーバ703内に本発明の実施形態による冷却システムを設ける場合、基板上に載置されている半導体デバイス等の発熱体の配置位置にかかわらず、その高さ寸法の全体を使用して、冷却システムを構成することができる。   When the cooling system according to the embodiment of the present invention is provided in such a rack mount server 703, the entire height dimension is used regardless of the arrangement position of a heating element such as a semiconductor device mounted on the substrate. Thus, a cooling system can be configured.

また、ブレードサーバ705は、一般に、1Uあるいは2Uの厚さで高さが10U(約44.5cm)に構成されて、図7(b)に示すように、ラック701内に設けられるブレードサーバ筐体704内に複数台が縦置きに設置されている。   Further, the blade server 705 is generally configured to have a thickness of 1U or 2U and a height of 10U (about 44.5 cm), and as shown in FIG. A plurality of units are installed vertically in the body 704.

このようなブレードサーバ内に本発明の実施形態による冷却システムを設ける場合、ラックマウントサーバ703の場合と同様に、基板上に載置されている半導体デバイス等の発熱体の配置位置にかかわらず、その高さ寸法の全体(10U)を使用して、冷却システムを構成することができる。   When providing the cooling system according to the embodiment of the present invention in such a blade server, as in the case of the rack mount server 703, regardless of the arrangement position of a heating element such as a semiconductor device mounted on a substrate, The entire height dimension (10 U) can be used to construct a cooling system.

101 水冷ジャケット
102 ラジエータ
103 蒸気通路
104 凝縮液通路
105 溶媒
106 溶液
107、108 浸透膜
109 発熱体
201 ジャケットカバー
202 ジャケットベース
203 気化促進構造
301 蒸気ジャケット
302 凝縮液ジャケット
303 ラジエータチューブ
304 放熱フィン
401 微細フィン構造
501 微細溝構造
DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 Water cooling jacket 102 Radiator 103 Steam passage 104 Condensate passage 105 Solvent 106 Solution 107, 108 Permeation membrane 109 Heating element 201 Jacket cover 202 Jacket base 203 Evaporation promotion structure 301 Steam jacket 302 Condensate jacket 303 Radiator tube 304 Radiation fin 401 Fine fin Structure 501 Fine groove structure

Claims (7)

発熱体からの熱により液体冷媒を蒸発させる水冷ジャケットと、該水冷ジャケットから輸送された蒸気冷媒の熱を外部に伝達して蒸気を凝縮させるラジエータと、前記水冷ジャケットから前記ラジエータへ冷媒蒸気を輸送する蒸気通路と、前記ラジエータから前記水冷ジャケットへ凝縮液を輸送する凝縮液通路と、前記水冷ジャケットと前記蒸気通路との間及び前記ラジエータと前記凝縮液通路との間のそれぞれを仕切る浸透膜と、前記水冷ジャケット内に収容した溶質と前記冷媒との混合液とにより構成され、前記冷媒を前記水冷ジャケットと前記ラジエータとの間で循環させることを特徴とする冷却システム。   A water cooling jacket that evaporates liquid refrigerant by heat from the heating element, a radiator that condenses the vapor by transferring the heat of the vapor refrigerant transported from the water cooling jacket to the outside, and transports refrigerant vapor from the water cooling jacket to the radiator A steam passage, a condensate passage for transporting condensate from the radiator to the water cooling jacket, a permeation membrane that partitions between the water cooling jacket and the steam passage and between the radiator and the condensate passage. A cooling system comprising a solute contained in the water cooling jacket and a mixed liquid of the refrigerant, and circulating the refrigerant between the water cooling jacket and the radiator. 請求項1記載の冷却システムおいて、
前記水冷ジャケット内に前記冷媒の気化を促進する溝構造が形成された多孔質銅による微細化構造物が設けられていることを特徴とする冷却システム。
The cooling system according to claim 1,
A cooling system, characterized in that a refined structure made of porous copper in which a groove structure for promoting vaporization of the refrigerant is formed in the water cooling jacket.
請求項1記載の冷却システムにおいて、
前記ラジエータは、その内部に冷媒の液化を促進し、冷媒の凝縮面からの凝縮液の排除を促進する微細フィン構造が施されていることを特徴とする冷却システム。
The cooling system of claim 1, wherein
The radiator is provided with a fine fin structure that promotes the liquefaction of the refrigerant and promotes the elimination of the condensate from the condensation surface of the refrigerant.
請求項1記載の冷却システムにおいて、
前記溶質は、金属材料の腐食を抑制する機能を有する溶質であることを特徴とする冷却システム。
The cooling system of claim 1, wherein
The cooling system, wherein the solute is a solute having a function of suppressing corrosion of a metal material.
発熱体からの熱により液体冷媒を蒸発させる水冷ジャケットと、該水冷ジャケットから輸送された蒸気冷媒の熱を外部に伝達して蒸気を凝縮させるラジエータと、前記水冷ジャケットから前記ラジエータへ冷媒蒸気を輸送する蒸気通路と、前記ラジエータから前記水冷ジャケットへ凝縮液を輸送する凝縮液通路と、前記ラジエータと前記凝縮液通路との間を仕切る浸透膜と、前記水冷ジャケット内に収容した溶質と前記冷媒との混合液とにより構成され、前記冷媒を前記水冷ジャケットと前記ラジエータとの間で循環させることを特徴とする冷却システム。   A water cooling jacket that evaporates liquid refrigerant by heat from the heating element, a radiator that condenses the vapor by transferring the heat of the vapor refrigerant transported from the water cooling jacket to the outside, and transports refrigerant vapor from the water cooling jacket to the radiator A steam passage, a condensate passage for transporting condensate from the radiator to the water-cooling jacket, a permeation membrane partitioning the radiator and the condensate passage, a solute contained in the water-cooling jacket, and the refrigerant A cooling system, wherein the refrigerant is circulated between the water cooling jacket and the radiator. 請求項5記載の冷却システムにおいて、
前記蒸気通路は、一様な勾配と充分な長さを有する配管により構成されていることを特徴とする冷却システム。
The cooling system of claim 5, wherein
The cooling system is characterized in that the steam passage is constituted by a pipe having a uniform gradient and a sufficient length.
請求項6記載の冷却システムにおいて、
前記蒸気通路となる配管の内壁面に、微細溝構造が前記配管の長手方向に沿って設けられていることを特徴とする冷却システム。
The cooling system of claim 6.
A cooling system, wherein a fine groove structure is provided along a longitudinal direction of the pipe on an inner wall surface of the pipe serving as the steam passage.
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