JP2011211181A - 露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平面モータ30により駆動されるウエハステージWST1,WST2の位置をエンコーダシステムを用いて計測し、エンコーダシステムからのウエハステージWST1,WST2のそれぞれについての位置計測情報と、両ステージWST1,WST2の位置に応じたエンコーダシステムの位置計測誤差の補正情報とに基づいて、ウエハステージWST1を駆動する。これにより、主として両ウエハステージWST1,WST2の移動に伴う周辺磁場の変動に起因する誤差を補正することができる。
【選択図】図7
Description
+(cosθz−sinθz)Y/√2+√2psinθz…(1)
C2=−(cosθz−sinθz)X/√2
−(cosθz+sinθz)Y/√2+√2psinθz…(2)
C3= (cosθz+sinθz)X/√2
−(cosθz−sinθz)Y/√2+√2psinθz…(3)
C4= (cosθz−sinθz)X/√2
+(cosθz+sinθz)Y/√2+√2psinθz…(4)
ただし、pは、図5に示されるように、ウエハテーブルWTB1(WTB2)の中心からのヘッドのX軸及びY軸方向に関する距離である。
D2= ptanθy+ptanθx+Z …(6)
D3= ptanθy−ptanθx+Z …(7)
D4=−ptanθy−ptanθx+Z …(8)
ただし、pは、ウエハテーブルWTB1(WTB2)の中心からのヘッドのX軸及びY軸方向に関する距離(図5参照)である。
Claims (33)
- エネルギビームで物体を露光して前記物体上にパターンを形成する露光方法であって、
所定平面に平行なガイド面を有する定盤上で平面モータによって個別に駆動される第1、第2移動体のそれぞれに対する位置計測系による第1及び第2位置情報と、前記第1及び第2移動体の位置に応じた第1補正情報とに基づいて、前記物体を保持する前記第1移動体を駆動することを含む露光方法。 - 前記第1補正情報は、前記第2移動体が所定の位置にあるときの、前記位置計測系によって計測される前記第1移動体に対する第1位置情報に含まれる前記第1移動体の位置に応じた位置計測誤差の補正情報を含む請求項1に記載の露光方法。
- 前記第1補正情報は、前記第1移動体が所定の位置にあるときの、前記位置計測系によって計測される前記第1移動体に対する第1位置情報に含まれる前記第2移動体の位置に応じた位置計測誤差の補正情報を含む請求項1に記載の露光方法。
- 前記位置計測系により、前記エネルギビームが光学部材を介して前記物体に照射される照射位置の近傍の領域で前記物体を保持する前記第1移動体の第1位置情報が計測され、第2移動体に存在するマークを検出するマーク検出系の近傍の領域で前記第2移動体の第2位置情報が計測される請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記光学部材及び前記マーク検出系を支持するフレームに前記位置計測系の一部が設けられている請求項4に記載の露光方法。
- 前記駆動することに先立って、前記位置計測系でその位置を計測しつつ前記第1移動体を前記ガイド面上の複数の位置に順次位置決めし、各位置決め位置に対する位置決め状態で、前記位置計測系でその位置を計測しつつ前記第2移動体を前記ガイド面上の複数位置に位置決めし、位置決め位置毎に、前記第1移動体又は前記物体上に形成されたマーク像の位置を、前記位置計測系の計測情報を用いて求め、この結果に基づいて前記第1補正情報を算出することをさらに含む請求項4又は5に記載の露光方法。
- 前記駆動することに先立って、前記位置計測系でその位置を計測しつつ前記第2移動体を前記ガイド面上の複数の位置に順次位置決めし、各位置決め位置に対する位置決め状態で、前記位置計測系でその位置を計測しつつ前記第1移動体を前記ガイド面上の複数位置に位置決めし、位置決め位置毎に、前記第1移動体又は前記物体上に形成されたマーク像の位置を、前記位置計測系の計測情報を用いて求め、この結果に基づいて前記第1補正情報を算出することをさらに含む請求項4又は5に記載の露光方法。
- 前記第1移動体の各位置決め位置について、前記第2移動体の位置決め位置毎に、前記第1計測系の計測情報を用いて前記第1移動体の位置を制御しつつ、前記物体上に転写形成したマークの転写像であり、
前記マーク像の位置は、前記物体上に形成された転写像の位置を計測することで求められる請求項6又は7に記載の露光方法。 - 前記マーク像は、前記第1計測系でその位置が計測される前記第1移動体上に前記光学部材を介して形成されたマークの空間像であり、
前記マーク像の位置は、前記第1移動体の各位置決め位置について、前記第2移動体の位置決め位置毎に、前記空間像計測装置により計測された前記マークの空間像のプロファイルから求められる前記マーク像の結像位置を含む請求項6に記載の露光方法。 - 前記マーク像は、前記第1計測系でその位置を計測が計測される前記第1移動体上に前記光学部材を介して形成されたマークの空間像であり、
前記マーク像の位置は、前記第2移動体の各位置決め位置について、前記第1移動体の位置決め位置毎に、前記空間像計測装置により計測された前記マークの空間像のプロファイルから求められる前記マーク像の結像位置を含む請求項7に記載の露光方法。 - 前記位置計測系からの前記第1移動体の第1位置情報と、前記位置計測系からの前記第2移動体の第2位置情報と、前記第2及び第1移動体の位置に応じた第2補正情報とに基づいて、前記第2移動体を駆動することをさらに含む請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記第2移動体を駆動することに先立って、前記位置計測系でその位置を計測しつつ前記第2移動体を前記ガイド面上の複数位置に位置決めし、各位置決め位置に対する位置決め状態で、
前記第1計測系でその位置を計測しつつ前記第1移動体を前記ガイド面上の複数位置に位置決めし、位置決め位置毎に、前記位置計測系と前記マーク検出系とを用いて所定のマークの位置情報を計測し、該位置情報を用いて前記第2補正情報を算出することをさらに含む請求項11に記載の露光方法。 - 前記位置計測系は、前記第1移動体と該第1移動体の外部との一方に設けられた計測面に計測光を照射し、前記計測面からの戻り光を受光する前記第1移動体と該第1移動体の外部との他方に設けられた少なくとも1つのヘッド部を有し、該ヘッド部の出力に基づいて前記第1移動体の位置を計測するエンコーダシステムを含む請求項1〜12のいずれか一項に記載の露光方法。
- 請求項1〜13のいずれか一項に記載の露光方法を用いて、物体上にパターンを形成することと、
前記パターンが形成された前記物体を現像することと、
を含むデバイス製造方法。 - エネルギビームで物体を露光して前記物体上にパターンを形成する露光装置であって、
所定平面に平行なガイド面を有する定盤と、
前記定盤内に設けられた固定子と、前記ガイド面を介して前記固定子に対向する第1及び第2可動子とを含んで構成される平面モータと、
前記第1及び第2可動子をそれぞれ有し、前記平面モータにより前記ガイド面に沿って駆動される第1及び第2移動体と、
前記第1及び第2移動体のそれぞれの位置を計測する位置計測系と、
前記位置計測系からの前記第1移動体の位置情報と、前記位置計測系からの前記第2移動体の位置情報と、前記第1及び第2移動体の位置に応じた第1補正情報とに基づいて、前記物体を保持する前記第1移動体を駆動する駆動装置と、を備える露光装置。 - 前記第1補正情報は、前記第2移動体が所定の位置にあるときの、前記位置計測系によって計測される前記第1移動体に対する第1位置情報に含まれる前記第1移動体の位置に応じた位置計測誤差の補正情報を含む請求項15に記載の露光装置。
- 前記第1補正情報は、前記第1移動体が所定の位置にあるときの、前記位置計測系によって計測される前記第1移動体に対する第1位置情報に含まれる前記第2移動体の位置に応じた位置計測誤差の補正情報を含む請求項15に記載の露光装置。
- 前記エネルギビームを前記物体に照射する光学部材と、
前記第2移動体に存在するマークを検出するマーク検出系と、をさらに備え、
前記位置計測系は、前記エネルギビームの照射位置の近傍の領域で前記物体を保持する前記第1移動体の位置情報を計測する第1計測系と、前記マーク検出系の近傍の領域で前記第2移動体の位置情報を計測する第2計測系とを含む請求項15〜17のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1計測系の少なくとも一部は、前記光学部材を支持するフレームに設置されている請求項18に記載の露光装置。
- 前記第2計測系の少なくとも一部は、前記マーク検出系を支持するフレームに設置されている請求項18又は19に記載の露光装置。
- 前記光学部材と前記マーク検出系とは同一のフレームに支持されている請求項18〜20のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1補正情報は、前記第1計測系でその位置を計測しつつ前記第1移動体を前記ガイド面上の複数の位置に順次位置決めし、各位置決め位置に対する位置決め状態で、
前記第2計測系でその位置を計測しつつ前記第2移動体を前記ガイド面上の複数位置に位置決めし、位置決め位置毎に、前記第1移動体又は前記物体上に形成されたマーク像の位置を、前記第1計測系の計測情報を用いて求めることで予め算出される請求項18〜21のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1補正情報は、前記第2計測系でその位置を計測しつつ前記第2移動体を前記ガイド面上の複数の位置に順次位置決めし、各位置決め位置に対する位置決め状態で、
前記第1計測系でその位置を計測しつつ前記第1移動体を前記ガイド面上の複数位置に位置決めし、位置決め位置毎に、前記第1移動体又は前記物体上に形成されたマーク像の位置を、前記第1計測系の計測情報を用いて求めることで予め算出される請求項18〜21のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記マーク像は、
前記第1移動体の各位置決め位置について、前記第2移動体の位置決め位置毎に、前記第1計測系の計測情報を用いて前記第1移動体の位置を制御しつつ、前記物体上に転写形成したマークの転写像であり、
前記マーク像の位置は、前記物体上に形成された転写像の位置を計測することで求められる請求項22又は23に記載の露光装置。 - 前記第1移動体上に少なくとも一部が設けられ、前記第1計測系でその位置情報が計測される前記第1移動体上に前記光学部材を介して形成されたマークの空間像を計測する空間像計測装置をさらに備え、
前記マーク像の位置は、前記第1移動体の各位置決め位置について、前記第2移動体の位置決め位置毎に、前記空間像計測装置により計測された前記マークの空間像のプロファイルから求められる前記マーク像の結像位置を含む請求項22に記載の露光装置。 - 前記第1移動体上に少なくとも一部が設けられ、前記第1計測系でその位置情報が計測される前記第1移動体上に前記光学部材を介して形成されたマークの空間像を計測する空間像計測装置をさらに備え、
前記マーク像の位置は、前記第2移動体の各位置決め位置について、前記第1移動体の位置決め位置毎に、前記空間像計測装置により計測された前記マークの空間像のプロファイルから求められる前記マーク像の結像位置を含む請求項23に記載の露光装置。 - 前記駆動装置は、前記位置計測系からの前記第1移動体の位置情報と、前記位置計測系からの前記第2移動体の位置情報と、前記第2及び第1移動体の位置に応じた第2補正情報とに基づいて、前記第2移動体を駆動する請求項18〜26のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2補正情報は、前記第2計測系でその位置を計測しつつ前記第2移動体を前記ガイド面上の複数位置に位置決めし、各位置決め位置に対する位置決め状態で、
前記第1計測系でその位置を計測しつつ前記第1移動体を前記ガイド面上の複数位置に位置決めし、位置決め位置毎に、前記第2計測系と前記マーク検出系とを用いて計測された所定のマークの位置情報を用いて、予め算出される請求項27に記載の露光装置。 - 前記位置計測系は、前記第1移動体と該第1移動体の外部との一方に設けられた計測面に計測光を照射し、前記計測面からの戻り光を受光する前記第1移動体と該第1移動体の外部との他方に設けられた少なくとも1つのヘッド部を有し、該ヘッド部の出力に基づいて前記第1移動体の位置を計測するエンコーダシステムを含む請求項15〜28のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記ヘッド部と前記計測面の一方は、前記フレーム部に設置されている請求項29に記載の露光装置。
- 前記計測面には、前記所定平面内の少なくとも一軸方向を周期方向とする回折格子が設けられ、
前記ヘッド部は、少なくとも前記一軸方向に関する前記第1移動体の位置を計測する請求項29又は30に記載の露光装置。 - 前記ヘッド部は、前記所定平面に垂直な方向に関する前記第1移動体の位置を計測する請求項29〜31のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記平面モータは、前記第1、第2可動子にコイルが配置されたムービングコイル型である請求項15〜32のいずれか一項に記載の露光装置。
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