JP2011196929A - プローブユニット支持方法及び装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 帯状電極に対し、プローブが傾斜して接触しても電極が損傷しないようにする。
【解決手段】 本発明は、帯状電極に接触可能なプローブが設けられたプローブユニットを支持するプローブユニット支持装置に関する。そして、帯状電極にプローブが接触していないときに、プローブユニットを懸架し、帯状電極及びプローブユニットの相対移動により帯状電極にプローブが接触した以降、プローブが帯状電極上に接触した状態を維持したまま、プローブユニットの懸架状態を解放する懸架部材を有することを特徴とする。
【選択図】 図３

Description

本発明はプローブユニット支持方法及び装置に関し、例えば、太陽電池における短絡部を検出したり除去したりする装置に適用し得るものである。

アモルファス半導体などを用いた太陽電池パネルを製造する際に、例えば、発電に寄与する光電変換半導体層を挟む基板側電極と裏面電極との電極間や、２つの裏面電極間又は各層内等に短絡部が生じることがある。例えば、太陽電池パネルでは、縦横１ｍ程度の１枚のガラス基板上に、表面電極、光電変換層及び裏面電極を積層させた複数の太陽電池セルを並設させて配置している。例えば、基板上に、基板側電極や光電変換半導体層や裏面電極などを積層させる工程は、複数の太陽電池セルで共通であり、各層（電極を含む）をレーザ光などを用いて切り分け、隣接する太陽電池セル間に数十μｍ程度の溝（スクライブ溝）を形成させて幅が数ｍｍ〜１０ｍｍ程度の複数の太陽電池セルを形成させる。この太陽電池セルは、製造上、太陽電池セル内部、あるいは、各セル間の溝などに混入した不純物、工程による欠陥などで導通箇所が生じることがあり、この箇所がいわゆる短絡部と呼ばれ、太陽電池特性性能の低下の主たる原因となっている。しかしながら、太陽電池セルは、前述のように、数十μｍ程度の溝で隔てられた幅１０ｍｍ前後、長さ１ｍ程度の細長い形状をしていることが一般的であるため、このような短絡部は製造上いかなる場所で生じているかは分からず、従って、その部分の補修、絶縁化は、太陽電池セルに設けられた裏面電極間に逆バイアス電圧を印加し、太陽電池セル間又は内部に流れる電流により生じるジュール熱で焼損させる方法を用いることが一般的である。このとき、逆バイアス電圧の印加は、分割された太陽電池セルの光透過性のガラス基板に最初に積層された透明電極、すなわち、表面電極と、さらにこの表面電極に積層された光電変換層の最上層に、通常の使用時では太陽等の光照射面から見て裏面となる裏面電極との間に逆バイアス電圧が印加される。実際上は、この表面電極は対象としている太陽電池セルに隣接するどちらかの太陽電池セルの裏面電極と接続されて直列状態となっているため、逆バイアス電圧の印加は隣り合う太陽電池セルの裏面電極にそれぞれの極性の電圧を印加することで足りる。裏面電極は、銀、あるいはアルミニウムなどの材料からなるものの、スパッタや蒸着などにより薄膜化して形成されるため金属電極とはいえ相当程度の抵抗を持っている。前述のように、太陽電池セルが長さ１ｍにもおよび、短絡部がいかなる場所にあるかが不明なとき、例えば、逆バイアス電圧が印加される位置によっては裏面電極の抵抗による電圧損失によって短絡部への印加電圧に差が生じる。逆に、逆バイアス電圧の印加位置が一定の場合でも同様に、短絡部の位置によって電圧損失が生じ、短絡部へかかる電圧が異なってしまうので、その焼損効果に差が生じることとなる。さらに、こういった裏面電極に用いられる材料は、今後の研究開発により、例えば有機系材料など電気抵抗がより高く、また軟質ではあるものの成膜性が良く、またコスト効果が高く、総じて高い生産性、商品性の得られる材料が使用される可能性も大きいものであるため、かかる電圧損失による焼損効果の変動は今後も無視し得ない。

特許文献１には、このために太陽電池セルの長手方向に複数のプローブピンを多数並べてできるだけ位置誤差をなくし、平均した逆バイアス電圧を印加することが開示されている。

特開平１０−４２０２号公報

前述のように、太陽電池セルは、幅が１０ｍｍ後、長さ１ｍ程度の細長い形状をしていることが一般的であり、従って、配置されるプローブピンの最も離間している距離も太陽電池セルの大きさに応じ、この例では略１ｍにも及ぶこととなる。

このことは、図１に示すように、逆バイアス電圧を印加すべき対象の太陽電池セル１に対し、複数のプローブピンが配置されたプローブユニット２が傾斜状態（平行ではない）で下降接近してくる場合、プローブユニット２の下降に伴うプローブピンの太陽電池セル１への接触は、最下位置(はじめに接触する)のプローブピン３ａが最初に接触してから時間をおいて、最上位置(最後に接触する)のプローブピン３ｂが遅れて接触することになる。最下位置のプローブピン３ａが最初に接触しても、プローブユニット２は全てのプローブピン、なかんずく最上位置のプローブピン３ｂが接触するまで依然下降を続けており、最初に接触した最下位置のプローブピン３ａなどは太陽電池セル１に対しプローブユニット２の傾斜角とほぼ同じ角度を以って接触しているため、プローブユニット２の下降動作によりほぼ水平方向に力を受けて、破損、もしくは撓みを生じることになる。最初に接触したプローブピン３ａは、破損を免れたとしても最上位置のプローブピン例えば３ｂが太陽電池セル表面に到達し、太陽電池セル１とプローブユニット２が平行状態になろうとすることで、太陽電池セル表面に最後に到達したプローブピン３ｂの接触点を軸として、プローブピン３aに偶力がかかることになる。このような偶力の作用によるプローブピン３ａの撓みの是正において、プローブピン３ａの先端が接触している裏面電極の表面を移動して、太陽電池セル１の表面に垂直状態になろうとするために、太陽電池セル表面を摺擦するため、裏面電極表面、あるいはその下層の光電変換層まで損傷が及ぶ可能性がある。そのため、太陽電池セル１に対し、プローブユニット２の相対的な配置、移動、そして接触時はできるだけ平行でほぼ同時であることが好ましい。そのため、例えば、短絡部除去装置を製造ラインの所定箇所に設置する際には、太陽電池セル１に平行にプローブユニット２が取り付けられているかを充分に確認したり、平行度が不満足である場合には調整するなどの作業が必要である。

従来技術において、このような確認、調整が、細かな測定と、試料太陽電池セルを用いて損傷程度の確認を行いながらの修正とを繰り返す手作業であったため、作業者の熟練等により、その精度が不均一であったり錯誤による調整ミスが惹起されたりし、さらに、その修正をも含めた短絡部除去装置の設置に要する確認・調整作業が長時間に及び、短絡部除去装置の設置に要するコストの増大を招いていた。

本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、帯状電極にプローブが接触をする際に帯状電極を損傷することを防止できるプローブユニット支持方法及び装置を提供しようとするものである。

かかる課題を解決するため、第１の本発明は、帯状電極に接触可能なプローブが設けられたプローブユニットを支持するプローブユニット支持装置において、前記帯状電極に前記プローブが接触していないときに、前記プローブユニットを懸架し、前記帯状電極及び前記プローブユニットの相対移動により前記帯状電極に前記プローブが接触した以降、前記プローブが前記帯状電極上に接触した状態を維持したまま、前記プローブユニットの懸架状態を解放する懸架部材を有することを特徴とする。

また、第２の本発明は、帯状電極に接触可能なプローブが設けられたプローブユニットを支持するプローブユニット支持方法において、前記帯状電極に前記プローブが接触していないときに、懸架部材が、前記プローブユニットを懸架し、前記帯状電極及び前記プローブユニットの相対移動により前記帯状電極に前記プローブが接触した以降、前記プローブが前記帯状電極上に接触した状態を維持したまま、前記懸架部材が前記プローブユニットの懸架状態を解放することを特徴とする。

本発明によれば、懸架部材に懸架されているプローブユニットのプローブが、帯状電極に接触した後、プローブが帯状電極に接触した状態を維持したまま、プローブユニットの懸架状態を解放するようにしたので、プローブが傾斜して帯状電極と接触しても、プローブにはプローブユニットの自重がほぼ垂直方向に働くのみで、帯状電極面上をプローブを移動させるほぼ水平方向の力の作用がないので、プローブが帯状電極を損傷することを防ぐことができる。

従来の課題の説明図である。 実施形態に係る太陽電池短絡部除去装置の概略構成を示す説明図である。 実施形態の太陽電池短絡部除去装置におけるプローブユニットの支持装置の構成を示す概略縦断面図（１）である。 実施形態の太陽電池短絡部除去装置におけるプローブユニットの支持装置の構成を示す概略横断面図である。 実施形態の太陽電池短絡部除去装置におけるプローブユニットの支持装置の構成を示す概略縦断面図（２）である。 実施形態の太陽電池短絡部除去装置におけるプローブユニットの支持装置の構成を示す概略縦断面図（３）である。

（Ａ）主たる実施形態
以下、本発明に係るプローブユニット支持方法及び装置を、太陽電池短絡部除去装置に適用した一実施形態を、図面を参照しながら説明する。

まず、実施形態の太陽電池短絡部除去装置の概略構成、動作について説明する。図２は、実施形態の太陽電池短絡部除去装置の概略構成を示す説明図である。

実施形態の太陽電池短絡部除去装置は、薄膜太陽電池が短絡部を有するものか否かを判別することなく、短絡部を除去しようとするものである。実施形態の太陽電池短絡部除去装置（複数設置されていても良い）は、例えば、製造ラインを流れる全ての薄膜太陽電池を処理対象としている。

図２において、太陽電池短絡部除去装置１０は、短絡部除去対象太陽電池搬送機構１１、プローブユニット１２、奇偶切替スイッチ群１３、奇数位置用の短絡部除去制御部１４、偶数位置用の短絡部除去制御部１５、及び、情報処理部１６を有する。プローブユニット１２は、複数のプローブピン２０と、全てのプローブピン２０を取り付けているプローブユニット基板２１とを有する。

なお、プローブユニット１２は、奇偶切替スイッチ群１３、奇数位置用の短絡部除去制御部１４、偶数位置用の短絡部除去制御部１５等も搭載するものであっても良い。

短絡部除去対象太陽電池搬送機構１１は、例えば、搬送モータや搬送コンベア等でなり、情報処理部１６の制御下で、太陽電池パネル３０を短絡部除去処理位置まで搬送して短絡部除去させ、短絡部除去処理の終了後に、太陽電池パネル３０を次の工程の実行装置等へ搬送するものである。

太陽電池短絡部除去装置１０に搬送される太陽電池パネル３０は、例えば、ガラス基板上に、基板側電極や光電変換半導体層や裏面電極３１を積層させた状態のもの、言い換えると、裏面電極３１に対するいまだ保護膜等の被覆がなされず、裏面電極３１が露出している状態のものである。なお、図２においては、図示の簡略化のために、太陽電池セルの積層構造の図示を省略し、プローブピンの接触対象である裏面電極３１だけを取り出して描いており、また、太陽電池セル間の直列接続構造の図示も省略している。１つの帯状の裏面電極３１には、その長手方向（図２の紙面の垂直方向）に、所定間隔を開けてほぼ等間隔に配列されている複数のプローブピン２０が接触されるものであり、同一の裏面電極３１に接触する複数のプローブピン２０はプローブユニット基板２１上で電気的に接続されている。図２において、符号２０−１は、１番目の裏面電極３１−１に接触する複数のプローブピン２０の列を表している。

プローブユニット１２は、情報処理部１６の制御下で、後述する昇降機構により、所定距離だけ上下動し得るものである。プローブユニット１２は、短絡部除去対象太陽電池搬送機構１１が太陽電池パネル３０を太陽電池短絡部除去位置へ搬入しているときなどにおいては、上方の待機位置にあり、太陽電池パネル３０の搬送に障害とならないようにされる。プローブユニット１２は、短絡部除去処理時には、プローブピン２０を太陽電池パネル３０の裏面電極３１に電気的に接続させるものである。

奇数位置用の短絡部除去制御部１４はそれぞれ、太陽電池パネル３０の搬送方向先端側から数えて奇数番目（例えば３１−１）の位置の裏面電極３１とその次の偶数番目（例えば３１−２）の位置の裏面電極３１との間で逆バイアス電圧を印加して短絡部を除去するものである。例えば、奇数位置用の１番目の短絡部除去制御部１４−１は、太陽電池パネル３０の搬送方向先端側から数えて１番目の位置の裏面電極３１−１とその次の２番目の位置の裏面電極３２−２との間で逆バイアス電圧を印加して短絡部を除去するものである。偶数位置用の短絡部除去制御部１５は、太陽電池パネル３０の搬送方向先端側から数えて偶数番目（例えば３１−２）の位置の裏面電極３１とその次の奇数番目（例えば３１−３）の位置の裏面電極３１との間で逆バイアス電圧を印加して短絡部を除去するものである。例えば、偶数位置用の１番目の短絡部除去制御部１５−１は、太陽電池パネル３０の搬送方向先端側から数えて２番目の位置の裏面電極３１−２とその次の３番目の位置の裏面電極３１−３との間で逆バイアス電圧を印加して短絡部を除去するものである。

奇偶切替スイッチ群１３は、情報処理部１６の制御下で、プローブピン列２０−１、２０−２、…を奇数位置用の短絡部除去制御部１４−１、１４−２、…に接続させる状態と、プローブピン列２０−１、２０−２、…を偶数位置用の短絡部除去制御部１５−１、１５−２、…に接続させる状態とを切り替えるものである。

情報処理部１６は、短絡部の除去ために全体を制御したりするものである。情報処理部１６は、まず、奇数位置用の短絡部除去制御部１４（１４−１、１４−２、…）による短絡部除去処理を実行させ、その後、偶数位置用の短絡部除去制御部１５（１５−１、１５−２、…）による短絡部除去処理を実行させる。各奇数位置用の短絡部除去制御部１４による短絡部除去処理は平行して実行される。例えば、奇数位置用の１番目の短絡部除去制御部１４−１が、１番目の位置の太陽電池セル（裏面電極３１−１を要素とする太陽電池セル）と２番目の位置の太陽電池セル（裏面電極３１−２を要素とする太陽電池セル）とを対象とした短絡部除去処理を実行する際には、２番目の短絡部除去制御部１４−２が、３番目の位置の太陽電池セル（裏面電極３１−３を要素とする太陽電池セル）と４番目の位置の太陽電池セル（裏面電極３１−４を要素とする太陽電池セル）とを対象とした短絡部除去処理を実行し、他の奇数位置用の短絡部除去制御部１４も同様に、短絡部除去処理を実行する。各偶数位置用の短絡部除去制御部１５による短絡部除去処理も、同様な方法で順次並行して実行される。ここでは、奇数位置を先行して該除去処理をすることを述べたが、奇数位置と偶数位置との短絡部除去を交互に実行するようにしても良い。また電源その他に充分な準備ができ、特定の太陽電池セル間への逆バイアス電圧の印加が他の太陽電池セルに影響を与えないように電気的に隔離するならば、同時に複数の太陽電池セルへの短絡部除去処理も実行することもできる。

図３は、プローブユニット１２の支持装置の構成を示す概略縦断面図である。図４は、プローブユニット１２の支持装置の構成を示す概略横断面図である。なお、図３の紙面垂直方向は裏面電極３１の長手方向であり、図３におけるＸ方向は複数の裏面電極３１の並設方向である。また、図３は、プローブユニット１２が待機位置にある場合の構成を示している。ここで、待機位置とは、太陽電池パネル３０を短絡部の除去処理を行う位置に搬出入する際のプローブユニット１２の位置である。

図３及び図４において、プローブユニット１２の支持装置４０は、右側板４１、左側板４２、手前側板４３、奥側板４４、天井板４５、底板４６を有する概ね直方体形状をしている。

底板４６は、矩形状の大きな開口４７を有している。プローブユニット１２は、底板４６の内面によって懸架されており、このプローブユニット１２の懸架状態において、プローブユニット１２に設けられている全てのプローブピン２０は、開口４７より、太陽電池パネル３０側に露出している。

底板４６の内面の数か所には係合凸部４８が設けられており、プローブユニット基板２１の下面周辺部には、係合凸部４８と係合する係合凹部４９が設けられている。なお、逆に、プローブユニット基板２１の下面周辺部に係合凸部が設けられ、底板４６の内面に係合凹部が設けられていても良い。係合凸部４８は、例えば、半球状、円錐状又は角錐状の凸部であり、係合凹部４９は、係合凸部４８に対して密着係合し得る半球状、円錐状又は角錐状の凹部である。なお、凸部や凹部として、長く伸びている凸条、凹条を適用するようにしても良い。

天井板４５には昇降軸部材５０が固着されており、昇降軸部材５０は昇降駆動部５１に接続されている。昇降駆動部５１は、例えば、情報処理部１６の制御下で、下降方向の駆動力又は上昇方向の駆動力を生成する原動機と、原動機の駆動力を昇降軸部材５０に伝えてプローブユニット支持装置４０を上下動させる動力伝達機構などを備える。原動機としては例えば、正逆回転可能なステッピングモータを適用でき、動力伝達機構としては、モータの回転軸に軸が連結されているピニオンと、ピニオンの回転に応じて直動する、昇降軸部材５０に連結されているラックとの組を挙げることができる。

右側板４１、左側板４２、手前側板４３、奥側板４４又は天井板４５には、図示は省略するが、プローブユニット１２と支持装置４０外部の奇偶切替スイッチ群１３とを接続する電気配線を通している窓部が設けられている。

短絡部除去対象太陽電池搬送機構１１によって、新たな処理対象の太陽電池パネル３０が太陽電池短絡部除去装置１０まで搬送されると、情報処理部１６は、昇降駆動部５１に下降を指示する。これにより、昇降駆動部５１は、図３のような待機位置にあるプローブユニット１２を懸架している支持装置４０を下降させる。

支持装置４０の下降により、プローブユニット１２に配設されたプローブピン２０は、図５に示すように、太陽電池３０に配設された裏面電極３１に接触するようになる。プローブユニット支持装置４０の下降量は、プローブユニット１２に配設されたプローブピン２０が太陽電池パネル３０に配設された裏面電極３１に接触した後も停止せずに下降し、所定位置にプローブユニット支持装置４０が到達して停止した状態を図６に示す。図６のように、プローブユニット１２は、係合凸部４８と係合凹部４９が離れ、支持装置４０に懸架されていた状態から解放される。プローブユニット１２は自重によって薄膜太陽電池３０に載置されている状態になる。

従来のプローブユニットの支持装置においては、プローブユニットがプローブユニット支持装置に固定されて接触動作を強制されるために、太陽電池短絡部除去装置１０に対するプローブユニット１２が傾斜して設置されている場合、太陽電池パネル３０の裏面電極３１への接触がプローブユニット１２に配設されたピン位置により時間的差を生じることで、前述のように、太陽電池パネル３０の裏面電極３１の表面への損傷を与えるが、この実施形態の装置では、太陽電池パネル３０の裏面電極３１へのプローブピン２０の最初の接触以降、プローブユニット１２が支持装置４０より解放されるので、プローブユニット１２に下降力が加わらず、従来の技術の課題で説明した、損傷を与えるようなプローブユニット１２を回転させようとする水平方向への偶力は生じない。

その後、支持装置４０に懸架されていた状態から解放されたプローブユニット１２の全てのプローブピン２０が対応する裏面電極３１に接触している状態で、前述した短絡部の除去動作が実行される。

太陽電池パネル３０に対する短絡部の除去処理が終了すると、情報処理部１６は、昇降駆動部５１に上昇を指示する。この指示時点では、図６に示すように、プローブユニット１２は支持装置４０に懸架されていない状態である。支持装置４０の上昇の過程で、支持装置４０の底板４６の内面がプローブユニット基板２１の下面に接し、上昇に伴う底板４６の内面の係合凸部４８とプローブユニット基板２１の係合凹部４９との係合により、プローブユニット基板２１は、支持装置４０に所定位置で安定的に懸架され、かつ正規の位置に保持されプローブユニット１２の待機位置まで復帰する。

前記実施形態によれば、プローブユニット１２を支持装置４０に懸架した状態で下降させて、プローブピン２０を裏面電極３１に接触させ、その後も支持装置４０を下降させてプローブユニット１２を懸架状態から解放するようにしたので、プローブピン２０が傾いて裏面電極３１に接触しても、プローブピン２０の先端が裏面電極３１を摺擦する力は働かず、裏面電極３１を損傷することもない。

また、前記実施形態によれば、プローブユニット１２がプローブユニットの支持装置４０に固定されていないので、支持装置などの定期的メンテナンスや交換などの作業が簡単になる。

さらに、前記実施形態によれば、プローブユニット１２が太陽電池パネル３０に接触した以降も、プローブユニットの支持装置４０が下降するので、接触時の下降速度がシビアである必要はなく、下降速度の制御を簡単なものとすることができる。

（Ｂ）他の実施形態
前記実施形態の説明においても、種々変形実施形態について説明したが、さらに、以下に例示するような変形実施形態を挙げることができる。

前記実施形態の太陽電池短絡部除去装置１０は、プローブユニット１２が下降して太陽電池パネル３０と接触するものを示したが、太陽電池パネル３０が上昇してプローブユニット１２に接触する太陽電池短絡部除去装置に本発明を適用することができる。すなわち、接触前にはプローブユニットが支持装置に懸架されており、太陽電池パネルが上昇してプローブユニットが太陽電池パネルに接触した以降は、懸架状態を解放するように構成すれば良い。

前述の実施形態では、プローブユニット１２が下降して、プローブユニット１２のプローブピン２０が太陽電池パネル３０の裏面電極３１と接触状態では、プローブユニット１２の自重が接触圧を付与していたが、支持装置に接触圧を増加させる構成を設けることもできる。例えば、支持装置４０の内部に弾性体を配置し、プローブユニット１２のプローブピン２０が太陽電池３０の裏面電極３１と接触した後の支持装置４０の下降量が所定量になったときに、プローブユニット１２の上面に弾性体が接して下方に圧力を印加するようにしても良い。

また、前述の実施形態では、プローブユニット１２の４辺全ての近傍で懸架するものを示したが、プローブユニット１２の対向する２辺の近傍だけで懸架するものであっても良い。

さらに、前述の実施形態では、面接触でプローブユニット１２を懸架するものを示したが、他の懸架方法も適用できる。例えば、プローブユニット１２の４辺をそれぞれ、棒状、フォークの歯状あるいは板状の部材で懸架するようにしても良い。

前述の実施形態では、１つの裏面電極に複数のプローブピンが接触するものを示したが、線状の接触子（これも特許請求の範囲ではプローブと呼んでいる）あるいは面状の接触子（これも特許請求の範囲ではプローブと呼んでいる）で裏面電極に接触するものであっても良い。

前述の実施形態では、支持装置によって支持されるプローブユニットが複数の裏面電極に接触するプローブを有するものであったが、プローブユニットが少なくとも１つの裏面電極に接触するプローブを有するものであっても良い。また、プローブユニットが複数に分割され、それぞれの分割部分毎に懸架されているものであっても良い。

前述の実施形態では、プローブピンの形式を説明しなかったが、例えば、内部にばねを有するいわゆるポコピン形状のものを適用することができる。この場合、内部のばね強度を選定することにより、プローブユニットをその自重によって太陽電池パネルに接触させたとしても確実な接触を得ることができる。また、太陽電池パネルへの過度な接触圧を回避するように、圧縮状態にないプローブピンより短く、圧縮によって最も短くなったプローブピンの長さより長い長さを有するスペーサを太陽電池パネル又はプローブユニットに設けるようにしても良い。

なお、プローブピンを弾性材料を介してプローブユニットに取り付けることにより、プローブユニットをその自重によって太陽電池パネルに接触させたとしても確実な接触を得ることができるようにしても良い。

前述の実施形態では、太陽電池短絡部除去装置に本発明を適用したものを示したが、本発明が対象とする装置はこれに限定されず、プローブユニットと太陽電池パネルとの接触を要する装置であれば、本発明を適用することができる。例えば、短絡部の存在を確認する装置や、太陽電池のＩ−Ｖ特性を測定する装置などに本発明を適用することができる。

前記の実施形態では、太陽電池セルが１層の太陽電池パネルを用いて説明したが、太陽電池セルが２層のタンデム構造の太陽電池パネルに対しても本発明を適用でき、さらには、電池セルが３層以上の構造の太陽電池パネルに対しても本発明を適用できる。

本発明は、太陽電池パネルに限らず、裏面電極と同様な電極を有する半導体装置やリチウム電池パネルなど、本発明を適用することができる。

１０…太陽電池短絡部除去装置、１２…プローブユニット、１６…情報処理部、２０…プローブピン、３０…太陽電池パネル、３１…裏面電極、４０…プローブユニットの支持装置、５１…昇降駆動部。

Claims (3)

1. 帯状電極に接触可能なプローブが設けられたプローブユニットを支持するプローブユニット支持装置において、
   前記帯状電極に前記プローブが接触していないときに、前記プローブユニットを懸架し、前記帯状電極及び前記プローブユニットの相対移動により前記帯状電極に前記プローブが接触した以降、前記プローブが前記帯状電極上に接触した状態を維持したまま、前記プローブユニットの懸架状態を解放する懸架部材を有することを特徴とするプローブユニット支持装置。
2. 前記プローブユニットの懸架状態で互いに係合する第１の係合部を前記プローブユニットが備えると共に、第２の係合部を前記懸架部材が有することを特徴とする請求項１に記載のプローブユニット支持装置。
3. 帯状電極に接触可能なプローブが設けられたプローブユニットを支持するプローブユニット支持方法において、
   前記帯状電極に前記プローブが接触していないときに、懸架部材が、前記プローブユニットを懸架し、前記帯状電極及び前記プローブユニットの相対移動により前記帯状電極に前記プローブが接触した以降、前記プローブが前記帯状電極上に接触した状態を維持したまま、前記懸架部材が前記プローブユニットの懸架状態を解放することを特徴とするプローブユニット支持方法。

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