JP2011166524A - Solid-state imaging apparatus, camera module, and electronic information device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solid-state imaging apparatus in which the position where a foreign substance such as dust generated in or entering a camera module is deposited on transparent glass of the solid-state imaging apparatus, is promptly specified, the position of the foreign substance affecting image quality is specified in a short period of time as needed while using an electronic device with the camera module packaged therein, and image deterioration caused by the foreign substance deposition is improved with the electronic device in use. <P>SOLUTION: A solid-state imaging apparatus 1 is equipped with: a solid-state imaging device 11 for imaging a subject and transparent glass 13 mounted on the solid-state imaging device so as to cover an imaging area of the solid-state imaging device. The solid-state imaging apparatus 1 is further equipped with a position detection unit 10a which detects the position of the foreign substance deposited on a surface of the transparent glass 13, while including a photo resistor layer 10 where a portion light-shielded with the foreign substance becomes high resistance. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、固体撮像装置、カメラモジュール、および電子情報機器に関し、特に、固体撮像装置の透光性蓋部に付着した異物の位置を特定し、信号処理により異物の陰の影響を排除する機能を備えた固体撮像装置、このような固体撮像装置を搭載したカメラモジュール、該カメラモジュールを用いた電子情報機器に関するものである。   The present invention relates to a solid-state imaging device, a camera module, and an electronic information device, and in particular, a function of identifying the position of a foreign substance attached to a light-transmitting lid portion of the solid-state imaging apparatus and eliminating the influence of the shadow of the foreign substance by signal processing. The present invention relates to a solid-state imaging device including the above, a camera module equipped with such a solid-state imaging device, and an electronic information device using the camera module.

携帯電話等に使用される撮像用カメラモジュールは、固体撮像素子(CCDイメージセンサやCMOSイメージセンサとしてのICチップ)、赤外線フィルタ、端子を有する配線基板、レンズとレンズ保持具が一体となったパッケージ構造を有している。   An imaging camera module used for a mobile phone or the like is a package in which a solid-state imaging device (IC chip as a CCD image sensor or a CMOS image sensor), an infrared filter, a wiring board having terminals, a lens and a lens holder are integrated. It has a structure.

最近では、固体撮像素子のプロセスの微細化が進み、カメラモジュールで使用している固体撮像素子の受光部分やリッドガラス(IRカットフィルタ)の光路上にゴミやダストが微小な異物(30μm以下20μm以上の程度の大きさ)として存在する場合に、撮像画面に異物の影が黒色の点やシミとして写し出されて画像不良になる。   Recently, the process of the solid-state image sensor has been miniaturized, and dust or dust is very small (30 μm to 20 μm) on the light receiving portion of the solid-state image sensor used in the camera module and the optical path of the lid glass (IR cut filter). In the case where the image has a size as described above, the shadow of the foreign matter is projected as a black dot or a spot on the imaging screen, resulting in an image defect.

また、前述の異物の大きさの範囲では、光の波の性質から、異物の位置が固体撮像素子(受光部)近傍であるほど、ゴミ、ダストなどの異物の影が撮像画像にはっきりと映し出されて画像の欠陥となる。一方、固体撮像素子(受光部)から離れたIRフィルタ又は透明ガラスに異物が付着している場合には、撮像画像にシミとして異物の陰が現われ、また、固体撮像素子(受光部)からより離れたレンズに異物が付着した場合は、撮像画像にあまり影響がでないこともある。   In addition, within the range of the size of the foreign matter described above, due to the nature of light waves, the shadow of foreign matter such as dust and dust appears more clearly in the captured image as the position of the foreign matter is near the solid-state image sensor (light receiving unit). Image defects. On the other hand, when a foreign object adheres to the IR filter or transparent glass away from the solid-state image sensor (light-receiving part), the shadow of the foreign substance appears as a stain on the captured image, and moreover from the solid-state image sensor (light-receiving part). If a foreign object adheres to a distant lens, the captured image may not be significantly affected.

以下、具体的な従来技術として特許文献1〜3に開示のものを挙げて説明する。   Hereinafter, specific examples disclosed in Patent Documents 1 to 3 will be described.

特に、特許文献2、3で示されている撮像素子の画素欠陥に対する対策では、通常、この画素欠陥が固体撮像素子(IC)のテスト時に見つかる数個程度の欠陥であれば、撮像素子内部に代替の画素を持たせたり、テスト結果から欠陥画素の位置情報をカメラモジュールに組み込まれたDSPにプログラムしたりして、欠陥画素の補正を欠陥画素の周辺画素の情報を用いて行っている。   In particular, in the countermeasures against pixel defects of the image pickup devices disclosed in Patent Documents 2 and 3, if the pixel defects are several defects that are usually found during the test of the solid-state image pickup device (IC), A defective pixel is corrected by using information on peripheral pixels of the defective pixel by providing an alternative pixel or by programming the position information of the defective pixel in the DSP incorporated in the camera module from the test result.

なお、黒点とは、カメラで撮像した画像に黒い点として写ったものであり、シミとは例えば白い壁を映した場合に、撮像画像にぼやっと黒又は茶色に着色されて現われる部分である。いずれもゴミなどの異物が光路上に付着したときの影が撮像画像に映り込んだもので、黒点は、合焦(ピントが合った)状態での異物の陰の画像であり、シミはピントがぼけた状態での異物の陰の画像である。   A black spot is a black spot that appears in an image captured by a camera, and a spot is a portion that appears in a black or brown color in a captured image when, for example, a white wall is projected. In both cases, the shadow when foreign matter such as dust adheres to the optical path is reflected in the captured image, the black dot is an image of the shadow of the foreign matter in the focused state, and the spot is in focus It is an image behind a foreign object in a blurred state.

また、これらの微小な異物には、カメラモジュールの構成部品の入荷時に付着していたものや製造工程での発塵により生じたもの、また、カメラを製品として使用している状態でAF(オートフォーカス)、ズーム等の動作時に機構部品の摩耗によって新たに発生するものがある。   These minute foreign objects include those that were attached when the camera module components were received, those that were generated by dust generation during the manufacturing process, and AF (automatic) when the camera was used as a product. Some of them are newly generated due to wear of mechanism parts during operations such as focusing and zooming.

まず、前者のカメラモジュールの構成部品の入荷時に付着していた異物には微小な樹脂片が多く、製造工程での発塵はカメラモジュールの組立て装置によるものが多い。   First, the foreign material adhering when the components of the former camera module are received has many fine resin pieces, and dust generation in the manufacturing process is often caused by the camera module assembling apparatus.

カメラモジュールの製造工程における出荷検査の際、ゴミが固体撮像素子の受光部分やリッドガラス上(即ち光路上)にある場合であれば、ゴミをリジェクトできるが、ゴミが固体撮像素子の受光部分以外のレンズ保持部の壁面や配線基板上に一時的に付着している場合は、出荷検査では異物の検出ができず、検査されたカメラモジュールは良品として出荷される。   During shipping inspection in the camera module manufacturing process, if dust is on the light receiving part of the solid-state image sensor or on the lid glass (that is, on the optical path), the dust can be rejected. If it is temporarily attached to the wall surface of the lens holding part or the wiring board, foreign matter cannot be detected in the shipping inspection, and the inspected camera module is shipped as a non-defective product.

その後、カメラモジュールの搬送、運送の過程で振動や衝撃が加えられ、ゴミが固体撮像素子の受光面やリッドガラス等の光路上に移動すると、出荷先(ユーザ)で不良となる。   Thereafter, vibrations or impacts are applied in the process of transporting and transporting the camera module, and if the dust moves on the light path of the solid-state imaging device or the lid glass, it becomes defective at the shipping destination (user).

後者のオートフォーカスやズーム動作の際に、マクロレンズを含む可動部分の樹脂の摩擦により発塵する場合、エンドユーザー(例えばカメラ付携帯電話利用者)がカメラモジュールを使用している最中に、撮像画面に同様に黒色の点やシミが写し出されるといった不具合が生じる。   During the latter autofocus and zoom operations, when dust is generated due to the friction of the resin of the movable part including the macro lens, while the end user (for example, a mobile phone user with a camera) is using the camera module, Similarly, black spots and spots appear on the imaging screen.

従来では、これらの対策としてカメラモジュールに使用している部品に付着しているダスト又はゴミなどの異物は、組立て前の部品受入れ時にスクリーニングを行い、程度によってはエアブローでの吹飛ばしや、超音波を用いた水洗浄、HFE(ハイドロフルオロエーテル)洗浄といった洗浄処理を行う。   Conventionally, foreign substances such as dust or debris adhering to the parts used in the camera module are screened at the time of receiving the parts before assembling, and depending on the degree, they can be blown off by air blow or ultrasonic. A cleaning process such as water cleaning using HFE and HFE (hydrofluoroether) cleaning is performed.

また、製造工程で発塵(カメラモジュールの部品に付着)するゴミについては、個々の工程で要求されるクリーン度を上げる必要があるが、クリーンルームの設備投資やその維持管理に加えて、工程メンテナンス管理、つまり装置のクリーニングや磨耗する部品の交換などが必要になる。   In addition, it is necessary to increase the cleanliness required for each process for dust generated in the manufacturing process (attached to camera module parts), but in addition to capital investment and maintenance of clean rooms, process maintenance Management, that is, cleaning the equipment and replacing worn parts is necessary.

また、カメラモジュールの出荷時点で、更にカメラモジュールの振動を一定時間加えて再度撮像テストを繰り返し、カメラモジュール内部のダスト(その時点での可動性の異物)の有無を検証する必要があった。   Further, at the time of shipment of the camera module, it is necessary to repeat the imaging test by adding vibration of the camera module for a certain period of time to verify the presence of dust (movable foreign substance at that time) inside the camera module.

このようなカメラモジュールにおける異物の問題を鑑み、特許文献1では、カメラモジュールにおいて、カメラモジュール内部でのダスト発生個所及びダスト発生過程に着目して、ダスト発生自体を防ぐとともに発生個所近傍にてダストを捕捉してしまおうとするものが提案されている。   In view of such a problem of foreign matter in the camera module, in Patent Document 1, in the camera module, focusing on the dust generation location and the dust generation process inside the camera module, dust generation itself is prevented and dust is generated in the vicinity of the generation location. There are proposals to try to catch up.

図11は、特許文献1に開示のカメラモジュールを示す図である。   FIG. 11 is a diagram illustrating a camera module disclosed in Patent Document 1. In FIG.

この文献に開示のカメラモジュール30aは、被写体像を形成する光学構造体3を保持するレンズホルダ4と、光学構造体30bによって形成された被写体像を電気信号に変換する固体撮像素子21と、該固体撮像素子21が載置された配線基板2とを有している。このカメラモジュール1には、光学構造体30bの光路を避けるように、グリース7が塗布されている。製造時および使用時に発生するゴミDは、グリース7に付着するため、ゴミDによる画像不良を防止することができる。   The camera module 30a disclosed in this document includes a lens holder 4 that holds an optical structure 3 that forms a subject image, a solid-state image sensor 21 that converts a subject image formed by the optical structure 30b into an electrical signal, And a wiring board 2 on which the solid-state imaging device 21 is placed. The camera module 1 is coated with grease 7 so as to avoid the optical path of the optical structure 30b. Since dust D generated during manufacture and use adheres to the grease 7, image defects due to the dust D can be prevented.

なお、光学構造体30bは、中央にレンズ31を保持したレンズ部32,レンズ部32を保持するレンズバレル(鏡筒)33,レバー5の操作によりレンズ部32を昇降させるためのテンションリング34とを有している。レンズ31の光軸は、レンズバレル33の中心軸と一致している。なお、図11中、6は透光性蓋部、22は配線基板2と固体撮像素子21とを接続するボンディングワイヤであり、A及びBは空間、Fは部品同士が接触して摩擦が生ずる摩擦部分である。   The optical structure 30b includes a lens portion 32 holding a lens 31 in the center, a lens barrel (lens barrel) 33 holding the lens portion 32, a tension ring 34 for raising and lowering the lens portion 32 by operating the lever 5. have. The optical axis of the lens 31 coincides with the central axis of the lens barrel 33. In FIG. 11, 6 is a translucent lid, 22 is a bonding wire for connecting the wiring board 2 and the solid-state imaging device 21, A and B are spaces, and F is a friction between parts when they come into contact with each other. It is a friction part.

図12は、特許文献2に開示の固体撮像素子検査装置を示すブロック図である。   FIG. 12 is a block diagram showing a solid-state image sensor inspection device disclosed in Patent Document 2. As shown in FIG.

この特許文献2では、ごみ(異物)の付着場所を特定しごみ(異物)の削除可能な位置であれば削除を行う方法を提示している。つまり、異物の付着位置が固体撮像素子パッケージの透明カバー上(パッケージの外側)か内部(透明カバーの内側かデバイス上)を判定し、透明カバー上(外側)であればゴミを削除して救済して良品とし、透明カバーの内側であれば不良品とする。   This Patent Document 2 presents a method of identifying a place where dust (foreign matter) is attached and deleting it if it is a position where dust (foreign matter) can be deleted. In other words, it is judged whether the foreign matter is attached on the transparent cover (outside of the package) or inside (on the inside of the transparent cover or on the device) of the solid-state imaging device package. If it is inside the transparent cover, it will be defective.

図12を用いて具体的に説明すると、この検査装置50では、光源51から出射した光は、集光レンズ52によって絞り53が配置された平面上に集光される。ここに、絞り53は、照明光学系54の前側焦点位置に配置されている。   More specifically with reference to FIG. 12, in the inspection apparatus 50, the light emitted from the light source 51 is condensed by the condenser lens 52 on a plane on which the diaphragm 53 is disposed. Here, the diaphragm 53 is disposed at the front focal position of the illumination optical system 54.

照明光学系54に入射し、そこから出射した光束は、透明カバー55を透過し、撮像素子56の撮像面にテレセントリック結像される。これにより、撮像面は均一に照明される。撮像素子56の駆動端子には駆動部60が接続されており、該駆動部60が撮像素子56の画素を電気的に駆動すると、照明光により発生される信号電荷に対応する画像信号が撮像素子56の外部に出力される。また、撮像素子56の信号端子には画像解析部61が接続され、発生した信号電荷による画像信号が画像解析部61に取り込まれる。そして、この画像信号に基づいて、異物の検出が行われる。なお、固体撮像素子の電気的検査は、例えば、無出力の画素の検出や画素間のクロストーク検査などであり、上述した画像信号に基づいて、図示しない電気的検査部が行う。   A light beam incident on the illumination optical system 54 and emitted from the illumination optical system 54 passes through the transparent cover 55 and is telecentrically imaged on the imaging surface of the imaging element 56. Thereby, the imaging surface is illuminated uniformly. A drive unit 60 is connected to the drive terminal of the image sensor 56, and when the drive unit 60 electrically drives the pixels of the image sensor 56, an image signal corresponding to the signal charge generated by the illumination light is captured by the image sensor. 56 is output to the outside. An image analysis unit 61 is connected to the signal terminal of the image sensor 56, and an image signal based on the generated signal charge is taken into the image analysis unit 61. Based on this image signal, foreign matter is detected. The electrical inspection of the solid-state imaging device is, for example, detection of non-output pixels or crosstalk inspection between pixels, and is performed by an electrical inspection unit (not shown) based on the above-described image signal.

さらに、画像解析部61には、判定部62が接続されており、この判定部62は、異物の付着場所がどこであるかを判定する。なお、付着場所は、透明カバー55の外側表面(照明光学系54側)、透明カバー55の内側表面(撮像素子56側)、撮像素子56の撮像面である。   Further, a determination unit 62 is connected to the image analysis unit 61, and the determination unit 62 determines where the foreign matter is attached. The attachment location is the outer surface of the transparent cover 55 (illumination optical system 54 side), the inner surface of the transparent cover 55 (imaging element 56 side), and the imaging surface of the imaging element 56.

また、カメラモジュール内部には、上記のような異物の有無を判定する構成とは別に、撮像信号をカメラ外部へディジタル信号として出力する際に出力フォーマットの変換、画像のフィルタリングをするために、DSP(信号処理回路)が組み込まれている。このDSPには、電気的な信号処理と同時に固体撮像素子(即ちCMOS/CCDセンサ)の画素欠陥や、前述のゴミによる画像への陰や(画像にシミが生じたように見える)や微小な欠けを補正する機能を組込まれたものがある。   In addition to the configuration for determining the presence or absence of foreign matter as described above, a DSP is used for converting the output format and filtering the image when the imaging signal is output as a digital signal to the outside of the camera. (Signal processing circuit) is incorporated. In this DSP, simultaneously with electrical signal processing, pixel defects of a solid-state image sensor (ie, a CMOS / CCD sensor), shadows on an image due to the above-mentioned dust (the image appears to be spotted) and minute Some have built-in functions to correct chipping.

この補正の方法は大まかに(1)画素欠陥とゴミによる影響(シミ等で位置が可動)との見極めと位置の検出、(2)欠陥やシミを信号処理して補正する二つのステップからなる。この技術ではレンズの光軸方向に沿った経路でのゴミの位置を検出する。   This correction method roughly consists of two steps: (1) determination of pixel defects and influence of dust (position is movable due to spots and the like) and position detection; and (2) correction of defects and spots by signal processing. . In this technique, the position of dust on the path along the optical axis direction of the lens is detected.

さらに、特許文献3に挙げられている方法では、欠陥画素は欠陥画素から出てくる信号に基づいて判定する。つまり、カメラ外部又は内部の光源を受けた画素信号を所定値と比較して、画素信号が小さい場合にゴミが付着しているかどうかの判断と位置の検出を1画素ずつ行う。この特許文献3の方法は、欠陥画素は避けてゴミ付着の判断を行う方式である。なお、この文献に開示の技術は固体撮像素子の平面上での位置を検出する技術である。   Further, in the method described in Patent Document 3, a defective pixel is determined based on a signal coming out of the defective pixel. That is, the pixel signal received by the light source outside or inside the camera is compared with a predetermined value, and when the pixel signal is small, it is determined whether or not dust is attached and the position is detected pixel by pixel. The method disclosed in Patent Document 3 is a method for determining dust adhesion while avoiding defective pixels. The technique disclosed in this document is a technique for detecting the position of the solid-state imaging device on the plane.

以下図13を用いて具体的に説明する。   This will be specifically described below with reference to FIG.

図13は、特許文献3に開示の欠陥画素の補正処理のフローを示している。   FIG. 13 shows a flow of a defective pixel correction process disclosed in Patent Document 3.

まず、この特許文献3に開示の欠陥画素の補正処理では、撮影により画像を取得し(ステップS301)、画像信号を1画素毎に読み出して(ステップS302)、読み出した画像信号が欠陥画素のものであるか否かの判定を行う(ステップS303)。この画像信号が欠陥画素のものである場合は、欠陥画素の補正値を作成するために周辺の画素の画像信号が異物付着の影響を受けているか否かの判定を行う。異物付着の影響を受けている場合は、異物付着の影響を受けている画像信号を使わないようにして欠陥画素の画像信号を補正する(ステップS308、306)。異物付着の影響を受けていない場合は、通常の方法で欠陥画素の画像信号をその周辺画素の画像信号を用いて補正する(ステップS305)。1画素分の補正動作が完了するたびに、全画素分の動作が完了したか判定し(ステップS307)、全画素について、補正動作を行う。   First, in the defective pixel correction process disclosed in Patent Document 3, an image is acquired by photographing (step S301), an image signal is read out for each pixel (step S302), and the read image signal is a defective pixel. It is determined whether or not (step S303). If this image signal is of a defective pixel, it is determined whether or not the image signal of the surrounding pixels is affected by foreign matter adhesion in order to create a correction value for the defective pixel. If it is affected by foreign matter adhesion, the image signal of the defective pixel is corrected without using the image signal affected by foreign matter adhesion (steps S308 and S306). If not affected by the adhesion of foreign matter, the image signal of the defective pixel is corrected by using the image signal of the surrounding pixels by a normal method (step S305). Each time the correction operation for one pixel is completed, it is determined whether the operation for all pixels is completed (step S307), and the correction operation is performed for all pixels.

特許4064431号明細書Patent 4064431 specification 特開2006−19356号公報JP 2006-19356 A 特開2008−131607号公報JP 2008-131607 A

ところが、カメラモジュールの組み立て工場内のクリーンルーム(外界との遮断された空間の確保)設置や空気循環のための設備(エアカーテン、空気循環、ろ過設備、洗浄設備)への投資や維持管理に関して膨大な費用をかけ、前述の様にカメラモジュールの組立て時にゴミの混入を防いでも、昨今ではモジュール使用時に光学機構の可動部品(オートフォーカスやズームのレンズ駆動)が組み込まれ、カメラ内部にて発塵の可能性があり、組み立て工程のクリーン度確保だけでは、ゴミによる画質劣化対策は充分ではなくなってきている。つまり、カメラモジュール内部の固体撮像素子周りのクリーン度を上げる(ゴミ対策)のみでなく、レンズやリッドガラスを含めた光学系全体に対策する必要があるが、これらは、カメラモジュールの製造上の対策に過ぎない。   However, there is a huge amount of investment and maintenance in the clean room in the camera module assembly plant (to secure a space that is isolated from the outside world) and in equipment for air circulation (air curtain, air circulation, filtration equipment, cleaning equipment). Even if the camera module is assembled as described above and dust is prevented from being mixed as described above, moving parts of the optical mechanism (autofocus and zoom lens drive) are now built in when the module is used, and dust is generated inside the camera. Therefore, it is no longer sufficient to take measures against image quality degradation due to dust if the cleanliness of the assembling process alone is ensured. In other words, it is necessary not only to increase the cleanliness around the solid-state image sensor inside the camera module (to prevent dust), but also to take measures against the entire optical system including the lens and lid glass. It is only a countermeasure.

ところで、特許文献1について、現実にはカメラモジュールは携帯機器(特に携帯電話)に組み込まれた場合、例えば携帯電話の落下の衝撃や連続した一定期間の振動(バイブレーションモード)によって思わぬ、ダスト(ゴミ)の発生や光路外にあったダスト(ゴミ)の光路上への侵入により、異物の画質への悪影響が顕在化するおそれがある。   By the way, with respect to Patent Document 1, in reality, when a camera module is incorporated in a mobile device (particularly a mobile phone), for example, an unexpected dust due to a drop impact of the mobile phone or continuous vibration (vibration mode) for a certain period of time. There is a possibility that an adverse effect on the image quality of foreign matter may be manifested due to the occurrence of dust) or the entry of dust (dust) outside the optical path into the optical path.

これらのダストは、緩衝部材に塗布(又は注入)されたグリースでは捕捉しきれず、この技術のみでは、異物が撮像部分に付着して、黒傷、シミとして画像に映り込む可能性がある。   These dusts cannot be captured by the grease applied (or injected) to the buffer member, and with this technique alone, there is a possibility that foreign matter will adhere to the imaging portion and appear in the image as black scratches or spots.

また、特許文献2に記載の技術は、位置を特定するためにレンズを移動させてゴミ(この特許文献2の異物)の撮像素子へ投影する影を大きくしたり小さくしたりすることで、ゴミの位置を特定するものである。この特許文献2に開示の技術では、光源の入射方法(角度)を固定する必要があり、次に述べる特許文献3と同様であるが、ゴミの影の大小を測ることは固体撮像素子のすべての画素素子(又は画像の画素)を少なくとも一度は順次スキャンする必要がある。   Further, the technique described in Patent Document 2 moves the lens in order to specify the position, and increases or decreases the shadow of dust (foreign material of Patent Document 2) projected on the image sensor. The position of is specified. In the technique disclosed in Patent Document 2, it is necessary to fix the incident method (angle) of the light source, which is the same as Patent Document 3 described below, but measuring the size of dust shadows is the same for all solid-state imaging devices. The pixel elements (or image pixels) must be sequentially scanned at least once.

昨今では、撮像素子が高画素化(画素素子が多くなる:12M=1200万個等)になってきているため、順次キャンするには時間を要するが、この特許文献3の開示の技術は、根本的に異物は可動物であるという発想がないため、出荷時等に一度スキャンを実行すればよいという思想である。このため、画像信号を画素毎にスキャンしてゴミの位置を特定する機能を組み込まれたカメラモジュールを、電子機器に組み込んだとしても、電子機器が振動や衝撃を受けたときにゴミチェックを行う場合、あるいはユーザ(携帯機器の使用者)が任意にゴミチェックをしようとする場合には、膨大な時間、光源を固定したまま検査実行の終了を待たなければならない。   In recent years, since the number of pixels of an image sensor has increased (the number of pixel elements increases: 12M = 12,000,000, etc.), it takes time to sequentially scan, but the technique disclosed in Patent Document 3 Since there is no idea that the foreign substance is basically a movable object, the idea is that the scan only needs to be executed once at the time of shipment. For this reason, even if a camera module that incorporates a function that scans an image signal for each pixel to identify the position of dust is incorporated in an electronic device, dust checking is performed when the electronic device is subjected to vibration or impact. In this case, or when the user (user of the portable device) intends to check the dust arbitrarily, it is necessary to wait for the end of the inspection execution with the light source fixed for a long time.

このように特許文献3についても、特許文献2と同様に、ゴミチェックを行う際、カメラの高画素化により個々の画素をスキャンして所定値と比較するには時間がかかりすぎることが問題として挙げられる。   As described above, in Patent Document 3, as in Patent Document 2, when performing a dust check, it is a problem that it takes too much time to scan individual pixels and compare them with a predetermined value by increasing the number of pixels of the camera. Can be mentioned.

本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、カメラモジュール内部にて発生または侵入したゴミなどの異物が固体撮像素子の透光性蓋部に付着している位置を、迅速に特定することができ、カメラモジュールを搭載した電子機器の使用状態にて必要に応じて、画質に影響する異物の位置を短時間で特定することができ、異物の付着による画質劣化を使用状態で改善することができる固体撮像装置、該固体撮像装置を搭載したカメラモジュール、及びカメラモジュールを用いた電子情報機器を得ることを目的とする。   The present invention has been made in order to solve the above-described problems. The position where foreign matter such as dust generated or invaded inside the camera module is attached to the translucent lid portion of the solid-state imaging device. It is possible to quickly identify the position of a foreign object that affects the image quality in a short time if necessary in the state of use of an electronic device equipped with a camera module, and the deterioration of the image quality due to the adhesion of a foreign object. It is an object of the present invention to obtain a solid-state imaging device that can be improved in use, a camera module equipped with the solid-state imaging device, and an electronic information device using the camera module.

本発明に係る固体撮像装置は、被写体の撮像を行う固体撮像素子と、該固体撮像素子の撮像領域を覆うよう、該固体撮像素子に取り付けられた透光性蓋部とを備えた固体撮像装置であって、該透光性蓋部の表面に付着した異物の位置を検出する位置検出部を有しており、そのことにより上記目的が達成される。   A solid-state imaging device according to the present invention includes a solid-state imaging device that captures an image of a subject, and a translucent lid attached to the solid-state imaging device so as to cover an imaging region of the solid-state imaging device. And it has the position detection part which detects the position of the foreign material adhering to the surface of this translucent cover part, and the said objective is achieved by it.

本発明は、上記固体撮像装置において、前記位置検出部は、前記透光性蓋部上に形成され、光の照射された領域の抵抗が光照射量に応じて変化する光依存性抵抗層を有し、該光依存性抵抗層上での異物の陰により生ずる該光依存性抵抗層での局所的な抵抗変化に基づいて、該透光性蓋部上での異物の位置を検出するものであることが好ましい。   The present invention provides the solid-state imaging device, wherein the position detection unit is formed on the translucent lid, and includes a light-dependent resistance layer in which a resistance of a region irradiated with light changes according to a light irradiation amount. And detecting the position of the foreign matter on the translucent lid based on a local resistance change in the light-dependent resistive layer caused by the shadow of the foreign matter on the light-dependent resistive layer It is preferable that

本発明は、上記固体撮像装置において、前記光依存性抵抗層は、該光依存性抵抗層に形成された異物の陰の位置が、該異物の陰による該光依存性抵抗層の局所的な抵抗変化に基づいて検出されるよう、所定の平面パターンを持たせたものであることが好ましい。   According to the present invention, in the solid-state imaging device, the light-dependent resistance layer has a position where the shadow of the foreign matter formed on the light-dependent resistance layer is located locally on the light-dependent resistance layer due to the shadow of the foreign matter. It is preferable to have a predetermined plane pattern so that it can be detected based on a resistance change.

本発明は、上記固体撮像装置において、前記平面パターンを有する光依存性抵抗層は、前記透光性蓋部上に帯状の高抵抗半導体層を、前記固体撮像素子の撮像領域の水平方向あるいは垂直方向に延びるよう、複数配列してなるものであることが好ましい。   In the solid-state imaging device according to the aspect of the invention, the light-dependent resistance layer having the planar pattern may include a strip-shaped high-resistance semiconductor layer on the translucent lid, and a horizontal or vertical direction of an imaging region of the solid-state imaging device. It is preferable that a plurality are arranged so as to extend in the direction.

本発明は、上記固体撮像装置において、前記位置検出部は、前記透光性蓋部上に形成された第1の光依存性抵抗層と、該第1の光依存性抵抗層上に絶縁膜を介して形成された第2の光依存性抵抗層とを有し、該第1の光依存性抵抗層は、該透光性蓋部上に高抵抗の下側帯状半導体層を互いに平行に複数配列してなるものであり、該第2の光依存性抵抗層は、該透光性蓋部上に該下側帯状半導体層と絶縁膜を介して交差するよう、高抵抗の上側帯状半導体層を複数配列してなるものであることが好ましい。   The present invention provides the solid-state imaging device, wherein the position detection unit includes a first light-dependent resistance layer formed on the translucent lid, and an insulating film on the first light-dependent resistance layer. A second light-dependent resistance layer formed through the first light-dependent resistance layer, wherein the first light-dependent resistance layer has a high-resistance lower-band semiconductor layer parallel to each other on the translucent lid portion. A plurality of the second light-dependent resistance layers are arranged on the light-transmitting lid portion so as to intersect the lower band-shaped semiconductor layer with an insulating film interposed therebetween. It is preferable that a plurality of layers are arranged.

本発明は、上記固体撮像装置において、前記複数の下側帯状半導体層は、前記固体撮像素子の長方形形状の撮像領域の垂直方向及び水平方向の一方と平行に配列され、前記複数の上側帯状半導体層は、該固体撮像素子の長方形形状の撮像領域の垂直方向及び水平方向の他方と平行に配列されていることが好ましい。   The present invention provides the solid-state imaging device, wherein the plurality of lower band-shaped semiconductor layers are arranged in parallel with one of a vertical imaging direction and a horizontal direction of a rectangular imaging region of the solid-state imaging element, The layer is preferably arranged in parallel with the other of the rectangular imaging region of the solid-state imaging device in the vertical and horizontal directions.

本発明は、上記固体撮像装置において、前記複数の下側帯状半導体層の配列ピッチと、前記複数の上側帯状半導体層の配列ピッチとは同一であり、かつ、該下側帯状半導体層の幅と該上側帯状半導体層の幅とは同一であることが好ましい。   In the solid-state imaging device according to the present invention, the arrangement pitch of the plurality of lower band-shaped semiconductor layers and the arrangement pitch of the plurality of upper band-shaped semiconductor layers are the same, and the width of the lower band-shaped semiconductor layer is The width of the upper strip semiconductor layer is preferably the same.

本発明は、上記固体撮像装置において、前記長方形形状の撮像領域は横長の形状を有し、前記複数の下側帯状半導体層の配列ピッチ及び該下側帯状半導体層の幅と、前記複数の上側帯状半導体層の配列ピッチ及び該上側帯状半導体層の幅とは、水平方向と垂直方向とで、該複数の下側帯状半導体層の数と該複数の上側帯状半導体層の数とが等しくなるよう設定されていることが好ましい。   In the solid-state imaging device according to the present invention, the rectangular imaging region has a horizontally long shape, the arrangement pitch of the plurality of lower band-shaped semiconductor layers, the width of the lower band-shaped semiconductor layer, and the plurality of upper sides The arrangement pitch of the band-shaped semiconductor layers and the width of the upper band-shaped semiconductor layer are such that the number of the plurality of lower band-shaped semiconductor layers is equal to the number of the plurality of upper band-shaped semiconductor layers in the horizontal direction and the vertical direction. It is preferable that it is set.

本発明は、上記固体撮像装置において、前記位置検出部により検出された異物の位置に基づいて、前記固体撮像素子の撮像領域における、前記異物の陰になっている領域に配置されている画素の画素値を補正する画素補正部を有することが好ましい。   According to the present invention, in the solid-state imaging device, pixels arranged in an area behind the foreign substance in the imaging area of the solid-state imaging element based on the position of the foreign substance detected by the position detection unit. It is preferable to have a pixel correction unit that corrects the pixel value.

本発明は、上記固体撮像装置において、前記位置検出部は、前記透光性蓋部上に配列されている複数の帯状の高抵抗半導体層のうちから、前記異物の陰により抵抗値が変化した高抵抗半導体層を選択し、該選択した高抵抗半導体層の、該撮像領域上での水平方向あるいは垂直方向における位置を該異物の位置として検出することが好ましい。   According to the present invention, in the solid-state imaging device, the position detection unit has a resistance value changed by a shadow of the foreign matter from among a plurality of strip-shaped high-resistance semiconductor layers arranged on the translucent lid. It is preferable to select a high-resistance semiconductor layer and detect the position of the selected high-resistance semiconductor layer in the horizontal direction or the vertical direction on the imaging region as the position of the foreign matter.

本発明は、上記固体撮像装置において、前記位置検出部は、前記複数の下側帯状半導体層のうちから、前記異物の陰により抵抗値が変化した下側帯状半導体層を選択するとともに、前記複数の上側帯状半導体層のうちから、該異物の陰により抵抗値が変化した上側帯状半導体層を選択し、選択した下側帯状半導体層と選択した上側帯状半導体層との交差位置を該異物の位置として検出することが好ましい。   According to the present invention, in the solid-state imaging device, the position detection unit selects a lower band-shaped semiconductor layer whose resistance value has changed due to the shadow of the foreign substance from the plurality of lower band-shaped semiconductor layers, and The upper band-shaped semiconductor layer whose resistance value has changed due to the shadow of the foreign substance is selected from the upper band-shaped semiconductor layer of the first layer, and the intersection position of the selected lower band-shaped semiconductor layer and the selected upper band-shaped semiconductor layer is defined as the position of the foreign substance. It is preferable to detect as

本発明は、上記固体撮像装置において、前記位置検出部により選択した高抵抗半導体層の配置されている領域内に位置する画素を補正対象画素として、該補正対象画素の画素値及び該補正対象画素の周辺に位置する周辺画素の画素値を補正する画素補正部を有することが好ましい。   In the solid-state imaging device according to the present invention, a pixel located in a region where the high resistance semiconductor layer selected by the position detection unit is arranged is a correction target pixel, and the pixel value of the correction target pixel and the correction target pixel It is preferable to have a pixel correction unit that corrects pixel values of peripheral pixels located in the vicinity of the pixel.

本発明は、上記固体撮像装置において、前記位置検出部により選択した下側帯状半導体層と、該位置検出部により選択した上側帯状半導体層とが重なる領域内に位置する画素を補正対象画素として、該補正対象画素の画素値及び該補正対象画素の周辺に位置する周辺画素の画素値を補正する画素補正部を有することが好ましい。   According to the present invention, in the solid-state imaging device, a pixel located in a region where the lower band-shaped semiconductor layer selected by the position detection unit and the upper band-shaped semiconductor layer selected by the position detection unit overlap is set as a correction target pixel. It is preferable to include a pixel correction unit that corrects the pixel value of the correction target pixel and the pixel values of peripheral pixels located around the correction target pixel.

本発明に係るカメラモジュールは、上述した本発明に係る固体撮像装置を格納したカメラモジュールであって、該固体撮像装置は、基板上に実装され、該基板には、集光レンズを保持するレンズホルダが、該固体撮像装置を覆うよう取り付けられており、そのことにより上記目的が達成される。   A camera module according to the present invention is a camera module in which the above-described solid-state imaging device according to the present invention is stored. The solid-state imaging device is mounted on a substrate, and a lens that holds a condenser lens on the substrate. A holder is attached to cover the solid-state imaging device, thereby achieving the above object.

本発明に係るカメラモジュールは、上述した本発明に係る固体撮像装置を格納したカメラモジュールであって、該固体撮像装置は、基板上に実装されて封止樹脂により封止されており、該封止樹脂には、集光レンズを保持するレンズホルダが、該固体撮像装置を覆うよう取り付けられており、そのことにより上記目的が達成される。   A camera module according to the present invention is a camera module storing the above-described solid-state imaging device according to the present invention. The solid-state imaging device is mounted on a substrate and sealed with a sealing resin. A lens holder for holding the condenser lens is attached to the stop resin so as to cover the solid-state imaging device, and thereby the above-described object is achieved.

本発明に係る電子情報機器は、被写体の撮像を行う撮像部を備えた電子情報機器であって、該撮像部は、上述した本発明に係るカメラモジュールであり、そのことにより上記目的が達成される。   An electronic information device according to the present invention is an electronic information device including an image pickup unit that picks up an image of a subject, and the image pickup unit is the above-described camera module according to the present invention, whereby the above object is achieved. The

次に本発明の作用について説明する。   Next, the operation of the present invention will be described.

本発明においては、被写体の撮像を行う固体撮像素子と、該固体撮像素子の撮像領域を覆うよう、該固体撮像素子に取り付けられた透光性蓋部とを備えた固体撮像装置において、透光性蓋部の表面に付着した異物の位置を検出する位置検出部を備えたので、固体撮像装置を搭載したカメラモジュール内部にて発生または侵入したゴミなどの異物が固体撮像装置の透光性蓋部に付着している位置を、迅速に特定することができ、カメラモジュールを搭載した電子機器の使用状態にて必要に応じて、画質に影響する異物の位置を短時間で特定することができ、異物の付着による画質劣化を使用状態で改善することができる。   In the present invention, in a solid-state imaging device including a solid-state imaging device that captures an image of a subject and a translucent lid attached to the solid-state imaging device so as to cover an imaging region of the solid-state imaging device, Since the position detection unit for detecting the position of the foreign matter adhering to the surface of the cover is provided, foreign matter such as dust generated or intruded inside the camera module equipped with the solid-state image pickup device The position attached to the part can be quickly identified, and the position of the foreign matter that affects the image quality can be identified in a short time if necessary in the usage state of the electronic device equipped with the camera module. In addition, it is possible to improve the image quality deterioration due to the adhesion of foreign matter in the use state.

本発明においては、位置検出部は、異物の陰により抵抗値が変化する光依存性抵抗層を含み、該光依存性抵抗層は、透光性蓋部上に帯状の高抵抗半導体層を、前記固体撮像素子の撮像領域の水平方向あるいは垂直方向に延びるよう、複数配列してなるものであるので、異物の位置を、撮像領域の水平方向あるいは垂直方向における位置として簡単に特定することができる。   In the present invention, the position detection unit includes a light-dependent resistance layer whose resistance value changes due to the shadow of a foreign substance, and the light-dependent resistance layer includes a strip-shaped high-resistance semiconductor layer on the translucent lid. Since a plurality of arrays are arranged so as to extend in the horizontal direction or the vertical direction of the imaging region of the solid-state imaging device, the position of the foreign matter can be easily specified as the position in the horizontal direction or the vertical direction of the imaging region. .

また、本発明においては、位置検出部は、前記透光性蓋部上に形成され、異物の陰により抵抗値が変化する第1の光依存性抵抗層と、該第1の光依存性抵抗層上に絶縁膜を介して形成され、異物の陰により抵抗値が変化する第2の光依存性抵抗層とを有し、該第1の光依存性抵抗層は、該透光性蓋部上に高抵抗の下側帯状半導体層を互いに平行に複数配列してなるものであり、該第2の光依存性抵抗層は、該透光性蓋部上に該下側帯状半導体層と絶縁膜を介して交差するよう、高抵抗の上側帯状半導体層を複数配列してなるものであるので、異物の位置を二次元平面上で正確に特定することができる。   In the present invention, the position detection unit is formed on the light-transmitting lid, and has a first light-dependent resistance layer whose resistance value is changed by the shadow of the foreign matter, and the first light-dependent resistance. And a second light-dependent resistance layer whose resistance value is changed by the shadow of a foreign substance, and the first light-dependent resistance layer includes the light-transmitting lid portion. A plurality of high-resistance lower band-shaped semiconductor layers are arranged in parallel with each other, and the second light-dependent resistance layer is insulated from the lower band-shaped semiconductor layer on the translucent lid. Since a plurality of high-resistance upper band semiconductor layers are arranged so as to cross each other through the film, the position of the foreign matter can be accurately specified on a two-dimensional plane.

以上のように、本発明によれば、カメラモジュール内部にて発生または侵入したゴミなどの異物が固体撮像素子の透光性蓋部に付着している位置を、迅速に特定することができ、カメラモジュールを搭載した電子機器の使用状態にて必要に応じて、画質に影響する異物の位置を短時間で特定することができ、異物の付着による画質劣化を使用状態で改善することができる効果がある。   As described above, according to the present invention, it is possible to quickly identify the position where foreign matter such as dust generated or invaded inside the camera module adheres to the translucent lid portion of the solid-state imaging device, The effect of being able to identify the position of a foreign object that affects image quality in a short time as needed in the usage state of an electronic device equipped with a camera module, and to improve the image quality deterioration due to the adhesion of a foreign object in the usage state There is.

図1は、本発明の実施形態1によるカメラモジュールを説明する図であり、図1(a)は、レンズホルダにより固体撮像装置を封止したもの、図1(b)は、固体撮像装置の封止に封止樹脂を用いたものを示している。1A and 1B are diagrams illustrating a camera module according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 1A illustrates a solid-state imaging device sealed with a lens holder, and FIG. 1B illustrates a solid-state imaging device. The thing using sealing resin for sealing is shown. 図2は、本発明の実施形態1によるカメラモジュールを構成する固体撮像装置の基本構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a basic configuration of the solid-state imaging device constituting the camera module according to Embodiment 1 of the present invention. 図3は、本発明の実施形態1によるカメラモジュールにおける固体撮像装置を説明する図であり、図3(a)は斜視図、図3(b)は断面図である。3A and 3B are diagrams for explaining the solid-state imaging device in the camera module according to Embodiment 1 of the present invention, in which FIG. 3A is a perspective view and FIG. 3B is a cross-sectional view. 図4は、図3に示す固体撮像装置におけるフォトレジスタ部(位置検出部)の構造を説明する図であり、図4(a)は、フォトレジスタ部を構成する上下のフォトレジスタ層及び絶縁膜を分解して示す斜視図、図4(b)は、フォトレジスタ部の外観を示す斜視図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the structure of the photoresist portion (position detection portion) in the solid-state imaging device shown in FIG. 3, and FIG. 4A shows the upper and lower photoresist layers and insulating films that constitute the photoresist portion. FIG. 4B is a perspective view showing the external appearance of the photoresistor section. 図5は、本発明の実施形態1の動作を説明する図であり、図5(a)は、図4に示すフォトレジスタ部を用いて異物の位置を検出する方法を説明する図であり、図5(b)は異物のサイズを示す図である。FIG. 5 is a diagram for explaining the operation of the first embodiment of the present invention. FIG. 5 (a) is a diagram for explaining a method for detecting the position of a foreign object using the photoresistor unit shown in FIG. FIG. 5B is a diagram showing the size of the foreign matter. 図6は、本発明の実施形態1の説明図であり、透明ガラス上に形成されたフォトレジスタ層の引出し部と、透明ガラスの裏面に形成された電極との接続構造の一例を示す図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of Embodiment 1 of the present invention, and shows an example of a connection structure between a lead portion of a photoresist layer formed on transparent glass and an electrode formed on the back surface of the transparent glass. is there. 図7は、本発明の実施形態1の説明図であり、透明ガラス上に形成されたフォトレジスタの引出し部と、透明ガラスの裏面に形成された電極との接続構造の他の例を示す図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of Embodiment 1 of the present invention, and shows another example of a connection structure between a lead-out portion of a photoresist formed on transparent glass and an electrode formed on the back surface of the transparent glass. It is. 図8は、図3に示す固体撮像装置の接着部の構造を説明する図であり、図8(a)は、固体撮像素子における接着部の配置を示し、図8(b)は、該接続部の具体的な構造を示している。FIG. 8 is a diagram for explaining the structure of the bonding portion of the solid-state imaging device shown in FIG. 3, FIG. 8 (a) shows the arrangement of the bonding portion in the solid-state imaging device, and FIG. 8 (b) shows the connection. The specific structure of the part is shown. 図9は、図3に示す固体撮像素子のパッドを説明する図であり、図9(a)は、固体撮像素子における接着部の配置を示し、図9(b)は、固体撮像素子におけるパッドの配置を示し、図9(c)は、該固体撮像素子に搭載されている信号処理回路を示している。9A and 9B are diagrams for explaining the pads of the solid-state imaging device shown in FIG. 3, FIG. 9A shows the arrangement of the adhesive portions in the solid-state imaging device, and FIG. 9B shows the pads in the solid-state imaging device. FIG. 9C shows a signal processing circuit mounted on the solid-state imaging device. 図10は、本発明の実施形態2として、上記実施形態1のカメラモジュールを撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。FIG. 10 is a block diagram illustrating a schematic configuration example of an electronic information device using the camera module of the first embodiment as an imaging unit as the second embodiment of the present invention. 図11は、特許文献1に開示のカメラモジュールを示す図である。FIG. 11 is a diagram illustrating a camera module disclosed in Patent Document 1. In FIG. 図12は、この特許文献2に開示の固体撮像素子検査装置を示すブロック図である。FIG. 12 is a block diagram showing a solid-state image sensor inspection device disclosed in Patent Document 2. As shown in FIG. 図13は、特許文献3に開示の欠陥画素の補正処理のフローを示している。FIG. 13 shows a flow of a defective pixel correction process disclosed in Patent Document 3.

まず、本発明の基本原理について説明する。   First, the basic principle of the present invention will be described.

最も致命的なのは、固体撮像素子の受光部にゴミ(異物)が付着した場合であり、この場合は、ゴミの影が即、表示画像に黒点となる画像の部分的な欠落が現われる。固体撮像素子の受光部は、その表面に各画素用のマイクロレンズが備え付けられており、断面形状が凸凹しているため、ゴミを補足しやすく、一旦、ゴミが付着すると、容易に排除できない。   The most fatal case is when dust (foreign matter) adheres to the light receiving portion of the solid-state imaging device. In this case, the shadow of the dust immediately appears and a partial omission of an image that becomes a black spot appears in the display image. The light-receiving portion of the solid-state imaging device is provided with a microlens for each pixel on the surface thereof, and since the cross-sectional shape is uneven, it is easy to catch dust, and once dust is attached, it cannot be easily removed.

この対策として、従来から、固体撮像素子(CCDイメージセンサやCMOSイメージセンサのICチップ)の受光部分に透明のガラス(石英、水晶)の覆いを接着して、固体撮像装置をパッケージ化し、この覆いを接着するまではクリーン度の高い工場(Class10:0.5umのゴミが1フィート立法あたり10個)で作業を行い、その後は、カメラモジュールの筺体の組み立て、及びレンズの組み込み等は、クリーン度の低い工程で行うという方法がある(特開2004−296453号公報)。   Conventionally, as a countermeasure, a transparent glass (quartz, quartz) cover is bonded to a light receiving portion of a solid-state image sensor (CCD image sensor or CMOS image sensor IC chip) to package a solid-state image pickup device. Work at a factory with a high degree of cleanliness (Class 10: 10 pieces of 0.5um trash per foot), and then the assembly of the camera module housing and the incorporation of the lens, etc. There is a method of performing in a low process (Japanese Patent Laid-Open No. 2004-296453).

この方法であれば、特許文献2(特開2006−19356号公報)のように固体撮像素子パッケージの内部にゴミが混入する虞は低いが、上述したように、透明ガラスの覆い表面にゴミ、ダストなどの異物が付着した場合に黒点やシミとして画像に映り込む。   With this method, there is a low possibility that dust will be mixed inside the solid-state imaging device package as in Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 2006-19356), but as described above, dust on the cover surface of the transparent glass, When foreign matter such as dust adheres, it appears in the image as black spots or spots.

この場合に透明ガラスの覆い自体にゴミの有無や、位置を検出できる機能があれば、その後のゴミ除去の作業やカメラモジュールに組み込まれたDSPにて画像の黒点、シミの補正を高精度かつ高速に実現できる。   In this case, if the transparent glass cover itself has a function for detecting the presence or position of dust and the position, it is possible to correct the black spots and spots of the image with high accuracy and the subsequent dust removal work and the DSP incorporated in the camera module. Realized at high speed.

そこで、本発明では、ゴミ、異物が付着した場合には異物の影ができることに着目し、光量で電気抵抗が変化するフォトレジスタ(photoresistor)からなる層を透明ガラス上に網状に配置して、異物の検出を行うようにしている。   Therefore, in the present invention, paying attention to the fact that foreign matter shadows are formed when dust or foreign matter adheres, a layer composed of a photoresistor whose electrical resistance changes with the amount of light is arranged on a transparent glass in a net-like manner, Foreign matter detection is performed.

フォトレジスタとは、入射する光の強度が増加すると、電気抵抗が低下する性質があり、光依存性抵抗(light−dependent resistor, LDR)や光導電体(photoconductor)、フォトセル(photocell)とも呼ばれる。   Photoresistors have the property that electrical resistance decreases as the intensity of incident light increases, and are also called light-dependent resistors (LDR), photoconductors, or photocells. .

フォトレジスタは、高抵抗の半導体材料でできている。充分に周波数の高い光が半導体に入ると、半導体に吸収された光子のエネルギーにより束縛電子が伝導帯に飛び込む。その結果として生じる自由電子(と対になるホール)によって電流が流れ、電気抵抗が低くなる。   The photoresistor is made of a high-resistance semiconductor material. When sufficiently high-frequency light enters the semiconductor, bound electrons jump into the conduction band due to the energy of photons absorbed by the semiconductor. As a result, free electrons (and holes paired therewith) cause a current to flow, resulting in a low electrical resistance.

このような高抵抗半導体材料からなる半導体層(フォトレジスタ層)ではゴミなどの異物によって光が遮られた部分が逆に高抵抗となる。この高抵抗部分を検出することで、ゴミなどの異物の有無や位置を特定することが可能である。   In the semiconductor layer (photoresist layer) made of such a high resistance semiconductor material, the portion where light is blocked by foreign matters such as dust becomes high resistance. By detecting this high resistance portion, it is possible to specify the presence and position of foreign matter such as dust.

昨今では、薄膜形成技術により透明ガラスを極力透明に保ったまま電極を形成する技術、すなわち、液晶ディスプレイや有機EL(エレクトロ・ルミネッセンス)ディスプレイに一般に用いられている透明電極形成技術があり、上記フォトレジスタ層の形成にも、金属元素を、蒸着、CVD(Chemical Vapor Deposition)、スパッタリングなどで薄膜形成して、微細なパタ−ンに加工する技術を利用することができる。   In recent years, there is a technology for forming electrodes while keeping transparent glass as transparent as possible by thin film formation technology, that is, transparent electrode formation technology generally used for liquid crystal displays and organic EL (electroluminescence) displays. For the formation of the resistor layer, it is possible to use a technique in which a metal element is formed into a thin film by vapor deposition, CVD (Chemical Vapor Deposition), sputtering or the like and processed into a fine pattern.

以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings.

(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1によるカメラモジュールを説明する図であり、図1(a)は、レンズホルダにより固体撮像装置を封止したもの、図1(b)は、封止樹脂を用いて固体撮像装置を封止したものを示している。
(Embodiment 1)
1A and 1B are diagrams illustrating a camera module according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 1A illustrates a solid-state imaging device sealed with a lens holder, and FIG. 1B illustrates a sealing resin. The solid-state imaging device is used and sealed.

カメラモジュールの構成は大きく分けると、図1(a)に示すタイプAのカメラモジュール100と、図1(b)に示すタイプBのカメラモジュール100aとに分けられる。   The configuration of the camera module is roughly divided into a type A camera module 100 shown in FIG. 1A and a type B camera module 100a shown in FIG.

本発明の実施形態1によるカメラモジュールは、前記いずれのタイプのカメラモジュールであってもよい。   The camera module according to Embodiment 1 of the present invention may be any type of the camera module.

例えば、カメラモジュール(タイプA)100は、固体撮像装置1がそのままむき出しになった状態でカメラモジュール内に組み込まれた構造となっている。   For example, the camera module (type A) 100 has a structure in which the solid-state imaging device 1 is incorporated in the camera module in a state where it is exposed as it is.

つまり、このカメラモジュール100では、固体撮像装置1は、基板101上に実装され、該基板101には、集光レンズ(以下、単にレンズともいう。)121を保持するレンズホルダ20が、固体撮像装置1を覆うよう、接着剤102により取り付けられている。   That is, in this camera module 100, the solid-state imaging device 1 is mounted on a substrate 101, and a lens holder 20 that holds a condenser lens (hereinafter simply referred to as a lens) 121 is mounted on the substrate 101. An adhesive 102 is attached so as to cover the device 1.

また、カメラモジュール(タイプB)100aは、固体撮像装置1がその上面が露出した状態で封止樹脂30により封止されて、該カメラモジュール内に組み込まれた構造となっている。   The camera module (type B) 100a has a structure in which the solid-state imaging device 1 is sealed with a sealing resin 30 with its upper surface exposed and incorporated in the camera module.

つまり、このカメラモジュール100aでは、固体撮像装置1は、基板101上に実装されて封止樹脂30により封止されており、該封止樹脂30には、集光レンズ121を保持するレンズホルダ20aが、該固体撮像装置1を覆うよう接着剤102aにより取り付けられている。   That is, in this camera module 100 a, the solid-state imaging device 1 is mounted on the substrate 101 and sealed with the sealing resin 30. The lens holder 20 a that holds the condenser lens 121 is attached to the sealing resin 30. Is attached by an adhesive 102 a so as to cover the solid-state imaging device 1.

図2は、前記カメラモジュールに搭載されている固体撮像装置1の構成を説明する図である。   FIG. 2 is a diagram for explaining the configuration of the solid-state imaging device 1 mounted on the camera module.

ここで、固体撮像装置1は、被写体の撮像を行う固体撮像素子11と、この固体撮像素子の撮像領域を覆うよう固体撮像素子1に取り付けられた、IRフィルタを兼ねる保護用の透明ガラス(透光性蓋部)13と、該カメラモジュール11と透明ガラス13とを接着する接着部12とを有している。この固体撮像装置1は、上記のとおり、基板101上に搭載されており、固体撮像装置1を構成する固体撮像素子11と基板101とはボンディングワイヤ14にて電気的に接続されている。   Here, the solid-state imaging device 1 includes a solid-state imaging device 11 that captures an image of a subject, and a protective transparent glass (translucent glass) that is attached to the solid-state imaging device 1 so as to cover an imaging area of the solid-state imaging device. Optical cover) 13 and an adhesive part 12 for adhering the camera module 11 and the transparent glass 13 to each other. As described above, the solid-state imaging device 1 is mounted on the substrate 101, and the solid-state imaging element 11 and the substrate 101 constituting the solid-state imaging device 1 are electrically connected by the bonding wires 14.

このようなカメラモジュール100あるいは100aでは、レンズ121と固体撮像装置1とは高精度に位置決めされている。具体的には、レンズ121の光学中心と固体撮像素子の光学中心との位置合わせ、およびレンズの焦点距離に対するレンズと固体撮像素子との距離が高精度に位置決めされている。また、図1では、カメラモジュールとして、レンズが固定式の固定焦点方式のものを示しているが、カメラモジュールとしては、光学部分にズーム機構やAF機構が含まれた、レンズが可動式の可動焦点方式のものでもよい。   In such a camera module 100 or 100a, the lens 121 and the solid-state imaging device 1 are positioned with high accuracy. Specifically, the alignment between the optical center of the lens 121 and the optical center of the solid-state imaging device, and the distance between the lens and the solid-state imaging device with respect to the focal length of the lens are positioned with high accuracy. In FIG. 1, the camera module is shown with a fixed focus type lens with a fixed lens. However, the camera module includes a zoom mechanism and an AF mechanism in the optical part, and the lens is movable. A focus type may be used.

また、本実施形態1の固体撮像装置1は、固体撮像装置1の透明ガラス13上に付着したゴミなどの異物の位置を検出する位置検出部を有しており、この位置検出部は、透明ガラス13上に形成され、光の照射された領域の抵抗が光照射量に応じて変化する光依存性抵抗層(以下、フォトレジスタ層ともいう。)10を有し、該光依存性抵抗層上での異物の陰により生ずる該光依存性抵抗層での局所的な抵抗変化に基づいて、該透光性蓋部上での異物の位置を検出するものである。   In addition, the solid-state imaging device 1 according to the first embodiment includes a position detection unit that detects the position of foreign matter such as dust attached on the transparent glass 13 of the solid-state imaging device 1, and the position detection unit is transparent. A light-dependent resistance layer (hereinafter also referred to as a photoresist layer) 10 that is formed on the glass 13 and in which the resistance of a region irradiated with light changes according to the amount of light irradiation is provided. The position of the foreign matter on the translucent lid is detected based on a local resistance change in the light-dependent resistive layer caused by the shadow of the foreign matter.

図3は、本発明の実施形態1によるカメラモジュールにおける固体撮像装置を説明する図であり、特に、該固体撮像装置における光依存性抵抗層を、斜視図(図3(a))及び断面図(図3(b))により示している。   FIG. 3 is a diagram for explaining the solid-state imaging device in the camera module according to Embodiment 1 of the present invention. (FIG. 3B).

図3(a)及び(b)には、固体撮像装置1の透明ガラス13には、光依存性抵抗層(フォトレジスタ層)のパターンが形成されている。   3A and 3B, a pattern of a light-dependent resistance layer (photoresist layer) is formed on the transparent glass 13 of the solid-state imaging device 1.

また、図4は、図3に示す固体撮像装置におけるフォトレジスタ層の具体的な構造を説明する図であり、図4(a)は、下側及び上側のフォトレジスタ層の各層を分解して示す斜視図、図4(b)は、2層のフォトレジスタ層の外観を示す斜視図である。   FIG. 4 is a diagram for explaining a specific structure of the photoresist layer in the solid-state imaging device shown in FIG. 3, and FIG. 4A is an exploded view of each of the lower and upper photoresist layers. FIG. 4B is a perspective view showing the appearance of the two photoresist layers.

ここで、フォトレジスタ層10としては、透明ガラス13上に絶縁膜(図示せず)を挟んで二層形成されている。つまり、下側フォトレジスタ層110は、透明ガラス13上に形成され、上側フォトレジスタ層120は、該下側フォトレジスタ層110上に絶縁膜を介して形成されている。   Here, two layers of the photoresist layer 10 are formed on the transparent glass 13 with an insulating film (not shown) interposed therebetween. That is, the lower photoresistor layer 110 is formed on the transparent glass 13, and the upper photoresistor layer 120 is formed on the lower photoresistor layer 110 via an insulating film.

下側フォトレジスタ層(第1の光依存性抵抗層)110は、透明ガラス13上に高抵抗の下側帯状半導体層111を互いに平行に複数配列してなるものである。上側フォトレジスタ層(第2の光依存性抵抗層)120は、透明ガラス13上に下側帯状半導体層111と直交するよう、高抵抗の上側帯状半導体層121を複数配列してなるものである。下側帯状半導体層111と上側帯状半導体層121との間には絶縁膜130が形成されている。   The lower photoresistor layer (first light-dependent resistance layer) 110 is formed by arranging a plurality of high-resistance lower strip semiconductor layers 111 on the transparent glass 13 in parallel with each other. The upper photoresist layer (second light-dependent resistance layer) 120 is formed by arranging a plurality of high-resistance upper strip semiconductor layers 121 on the transparent glass 13 so as to be orthogonal to the lower strip semiconductor layer 111. . An insulating film 130 is formed between the lower band-shaped semiconductor layer 111 and the upper band-shaped semiconductor layer 121.

下側フォトレジスタ層110を構成する下側帯状半導体層111は、その本体部分111aが透明ガラス13の中央からその周縁に向かって延びており、その両端部111bは、固体撮像素子11と電気的な接続をする引延し部(電極端子)111bとなっている。また、上側フォトレジスタ層120を構成する上側帯状半導体層121も、その本体部分121aが透明ガラス13の中央からその周縁に向かって延びており、その両端部は、固体撮像素子11と電気的な接続をする引延し部(電極端子)121bとなっている。   The lower belt-like semiconductor layer 111 constituting the lower photoresistor layer 110 has a main body portion 111a extending from the center of the transparent glass 13 toward the periphery thereof, and both end portions 111b thereof are electrically connected to the solid-state imaging device 11. It becomes the extended part (electrode terminal) 111b which makes an easy connection. Further, the upper band-shaped semiconductor layer 121 constituting the upper photoresist layer 120 also has a main body portion 121a extending from the center of the transparent glass 13 toward the periphery thereof, and both ends thereof are electrically connected to the solid-state imaging device 11. It becomes the extended part (electrode terminal) 121b which connects.

図5は、上側フォトレジスタ層及び下側フォトレジスタ層の平面パターンのサイズ(図5(a))と、検出できるゴミのサイズ(図5(b))とを示している。   FIG. 5 shows the size of the planar pattern of the upper and lower photoresist layers (FIG. 5A) and the size of dust that can be detected (FIG. 5B).

図5に示すように、下側フォトダイオード層を構成する複数の下側帯状半導体層では、隣接する下側帯状半導体層の遠い側の辺の間隔を20μmにし、上側フォトダイオード層を構成する複数の上側帯状半導体層では、隣接する上側帯状半導体層の遠い側の辺の間隔を20μmにすることにより、概略20μm以上の大きさのゴミの有無の検出と位置の特定ができる。ここで、X方向は、例えば、固体撮像素子1の撮像領域の水平方向であり、またY方向は固体撮像素子1の撮像領域の垂直方向に対応する。さらに、ここでは、各帯状半導体層111、121の本体部分111a、121aの幅は9μm、両端の引延し部111b、121bの幅は3μmであり、これらの帯状半導体層の配置間隔は2μmとしている。ただし、帯状半導体層の配置間隔は、実質的には、上側及び下側の帯状半導体層が交差する部分の面積の総計が、実質的に固体撮像素子の撮像領域の面積(受光部面積)になるように、できるだけ狭く設定することが望ましい。   As shown in FIG. 5, in the plurality of lower band semiconductor layers constituting the lower photodiode layer, the distance between the far sides of the adjacent lower band semiconductor layers is set to 20 μm, and the plurality of the upper photodiode layers are formed. In this upper band-shaped semiconductor layer, the distance between the far sides of the adjacent upper band-shaped semiconductor layers is set to 20 μm, so that the presence or absence of dust having a size of approximately 20 μm or more can be detected and the position can be specified. Here, the X direction is, for example, the horizontal direction of the imaging region of the solid-state imaging device 1, and the Y direction corresponds to the vertical direction of the imaging region of the solid-state imaging device 1. Furthermore, here, the width of the main body portions 111a and 121a of the respective band-shaped semiconductor layers 111 and 121 is 9 μm, the width of the extending portions 111b and 121b at both ends is 3 μm, and the arrangement interval of these band-shaped semiconductor layers is 2 μm. Yes. However, the arrangement interval of the band-shaped semiconductor layers is substantially equal to the total area of the portions where the upper and lower band-shaped semiconductor layers intersect substantially the area of the imaging region of the solid-state imaging device (light receiving area). It is desirable to set it as narrow as possible.

例えば、図5に示すように異物が付着している場合、Y方向における位置〔1〕〜〔4〕のうちの位置〔1〕、〔2〕の上側帯状半導体層と、X方向における位置〔ア〕〜〔エ〕のうちの位置〔ウ〕、〔エ〕の下側帯状半導体層とが高抵抗となり、ゴミの位置はこれら下側及び上側の帯状半導体層の交差部であることが分かる。   For example, when foreign matter is attached as shown in FIG. 5, the upper band-shaped semiconductor layer at positions [1] and [2] among the positions [1] to [4] in the Y direction and the position [ It can be seen that the positions [C] and [D] of [A] to [D] have a high resistance with the lower band-shaped semiconductor layer, and the position of dust is the intersection of the lower and upper band-shaped semiconductor layers. .

ゴミの存在の確認方法として、Y方向とX方向で同時に高抵抗となる帯状半導体層が存在すれば、その帯状半導体層の交差する部分又はその近傍部分にゴミが存在する。   As a method for confirming the presence of dust, if there is a band-like semiconductor layer having a high resistance in the Y direction and the X direction at the same time, dust is present at a portion where the belt-like semiconductor layer intersects or in the vicinity thereof.

例えば、Y方向に並ぶ上側帯状半導体層の引延し部分にゴミが付着していた場合は、上側帯状半導体層の引延し部分の上には、X方向に並ぶ下側帯状半導体層が存在しないため、ゴミの付着が認識されない。このため、上側帯状半導体層の引延し部分は、固体撮像素子の撮像領域の外側に位置している。同様に、下側帯状半導体層の引延し部分も、固体撮像素子の撮像領域の外側に位置している。   For example, when dust adheres to the extended portion of the upper strip semiconductor layer aligned in the Y direction, the lower strip semiconductor layer aligned in the X direction exists on the extended portion of the upper strip semiconductor layer. Therefore, the adhering of dust is not recognized. For this reason, the extended portion of the upper band-shaped semiconductor layer is located outside the imaging region of the solid-state imaging device. Similarly, the extended portion of the lower belt-shaped semiconductor layer is also located outside the imaging region of the solid-state imaging device.

また、下側帯状半導体層及び上側帯状半導体層は、その横幅の全体がゴミでふさがれないと(光が暗くならないと)高抵抗にならないものである。   Further, the lower band-shaped semiconductor layer and the upper band-shaped semiconductor layer do not have high resistance unless their entire width is blocked by dust (unless the light becomes dark).

このように、透明ガラス13上に、複数の下側帯状半導体層111と複数の上側帯状半導体層121とを直交するよう配置することで、透明ガラス13上にゴミなどの異物が付着した場合は、異物の陰により、抵抗が高くなった下側帯状半導体層及び上側帯状半導体層の交差位置(交差部分)を、異物の位置として求めることができる。   As described above, when a plurality of lower band-shaped semiconductor layers 111 and a plurality of upper band-shaped semiconductor layers 121 are arranged on the transparent glass 13 so as to be orthogonal to each other, foreign matters such as dust adhere to the transparent glass 13. The crossing position (crossing portion) of the lower band-shaped semiconductor layer and the upper band-shaped semiconductor layer whose resistance is increased by the shadow of the foreign object can be obtained as the position of the foreign object.

図6は、透明ガラス13上に形成された下側帯状半導体層の引延し部と、透明ガラスの裏面に形成された裏面電極との接続構造の一例を示す図である。   FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a connection structure between the extended portion of the lower band-shaped semiconductor layer formed on the transparent glass 13 and the back electrode formed on the back surface of the transparent glass.

透明ガラス13上に形成された下側帯状半導体層111の引延し部111bは、透明ガラス13に形成された貫通孔13aを介して、該透明ガラス13の裏面に形成された裏面電極111cと電気的に接続されている。上側帯状半導体層121の引延し部121bと、透明ガラスの裏面に形成された裏面電極111cとの接続構造も、下側帯状半導体層111の引延し部111bと、透明ガラスの裏面に形成された裏面電極111cとの接続構造と同一である。   The extended portion 111b of the lower band-shaped semiconductor layer 111 formed on the transparent glass 13 is connected to the back electrode 111c formed on the back surface of the transparent glass 13 through the through-hole 13a formed in the transparent glass 13. Electrically connected. The connection structure between the extended portion 121b of the upper band-shaped semiconductor layer 121 and the back electrode 111c formed on the back surface of the transparent glass is also formed on the extended portion 111b of the lower band-shaped semiconductor layer 111 and the back surface of the transparent glass. This is the same as the connection structure with the back electrode 111c.

なお、透明ガラス上に形成された帯状半導体層の引延し部と、透明ガラスの裏面に形成された裏面電極との接続構造は、図6に示すものに限らず、図7に示すものでもよい。   In addition, the connection structure of the extended part of the strip | belt-shaped semiconductor layer formed on transparent glass, and the back surface electrode formed in the back surface of transparent glass is not restricted to what is shown in FIG. 6, but what is shown in FIG. Good.

例えば、図7に示す接続構造では、透明ガラス13上に形成された下側帯状半導体層(あるいは上側帯状半導体層)の引延し部111b(あるいは121b)は、透明ガラス13の側面に形成されたまわし込み配線111dを介して、該透明ガラス13の裏面に形成された裏面電極111cと電気的に接続されている。   For example, in the connection structure shown in FIG. 7, the extended portion 111 b (or 121 b) of the lower band-shaped semiconductor layer (or upper band-shaped semiconductor layer) formed on the transparent glass 13 is formed on the side surface of the transparent glass 13. It is electrically connected to a back electrode 111c formed on the back surface of the transparent glass 13 through a twisted wiring 111d.

図8は、図3に示す固体撮像素子の接着部の構造を説明する図であり、図8(a)は、固体撮像素子における接着部12の配置を示し、図8(b)は、この接着部の具体的な構造を示している。   FIG. 8 is a diagram for explaining the structure of the bonding portion of the solid-state imaging device shown in FIG. 3. FIG. 8A shows the arrangement of the bonding portion 12 in the solid-state imaging device, and FIG. The specific structure of the bonding portion is shown.

この接着部12は、接着剤としての樹脂12aに導電部材として導線12bを埋め込んだものであり、固体撮像素子(センサチップ)1に透明ガラス13を固着するとともに、透明ガラス13の裏面電極と固体撮像素子(センサチップ)1のパッド(図示せず)とを電気的に接続するものである。ここで、樹脂はエポキシ樹脂、ゴム、シリコンゴム、エラストマ等である。また、導電部材は、一例として細い銅又は銀、金等の導電性の細線を複数本束ねて構成したものであるが、導電性細線を粒体として樹脂に混入して加圧することで、接着部12の垂直方向にのみ導電性を示す異方性導電特性を持たせたものでもよい。   The adhesive portion 12 is obtained by embedding a conductive wire 12b as a conductive member in a resin 12a as an adhesive, and fixes the transparent glass 13 to the solid-state image pickup device (sensor chip) 1 and the back electrode of the transparent glass 13 and the solid electrode. A pad (not shown) of the image sensor (sensor chip) 1 is electrically connected. Here, the resin is an epoxy resin, rubber, silicon rubber, elastomer or the like. In addition, the conductive member is formed by bundling a plurality of thin conductive wires such as copper, silver, or gold as an example. It may be provided with anisotropic conductive properties that show conductivity only in the vertical direction of the portion 12.

図9は、図3に示す固体撮像素子を説明する図であり、図9(a)は、固体撮像素子における接着部の配置を示し、図9(b)は、固体撮像素子におけるパッドの配置を示し、図9(c)は、該固体撮像素子に搭載されている信号処理回路を示している。   9 is a diagram for explaining the solid-state imaging device shown in FIG. 3. FIG. 9A shows the arrangement of the bonding portions in the solid-state imaging device, and FIG. 9B shows the arrangement of the pads in the solid-state imaging device. FIG. 9C shows a signal processing circuit mounted on the solid-state imaging device.

図9(b)に示すように、固体撮像素子11の周辺部には、外部との信号の入出力を行うための入出力パッド11aが配置されており、また、その内側の接着部12が接着される接着領域11cには、下側フォトレジスタ層の各帯状半導体層の抵抗値、及び上側フォトレジスタ層の各帯状半導体層の抵抗値を測定するための抵抗値測定パッド11bが配置されており、この抵抗値測定パッド11bは、上述した接着部12の導電部材12bと接続されるものである。   As shown in FIG. 9B, an input / output pad 11a for inputting / outputting signals to / from the outside is disposed in the peripheral portion of the solid-state imaging device 11, and an adhesive portion 12 inside the input / output pad 11a is provided. In the bonding region 11c to be bonded, a resistance value measuring pad 11b for measuring the resistance value of each band-shaped semiconductor layer of the lower photoresist layer and the resistance value of each band-shaped semiconductor layer of the upper photoresist layer is arranged. The resistance value measuring pad 11b is connected to the conductive member 12b of the bonding portion 12 described above.

さらに、この固体撮像素子11には、上記帯状半導体層の抵抗値を測定する抵抗測定器11eが内蔵されている。この抵抗測定器11eは、この抵抗測定器は1つのみでも、あるいは複数個設けてもよい。   Further, the solid-state imaging device 11 includes a resistance measuring device 11e that measures the resistance value of the band-shaped semiconductor layer. The resistance measuring instrument 11e may be provided with only one resistance measuring instrument or a plurality of resistance measuring instruments.

例えば、抵抗測定器が1つのみ設けられている場合は、フォトレジスタ層を構成する帯状半導体層を、1つづつ選択して電流を印加してその両端の電圧の測定を行う。また、抵抗測定器が複数個設けられている場合は、フォトレジスタ層を構成する複数の帯状半導体層に同時に電流を印加して、それぞれの抵抗測定器で、各帯状半導体層の両端の端子電圧を測定する。   For example, when only one resistance measuring device is provided, the band-shaped semiconductor layers constituting the photoresistor layer are selected one by one and current is applied to measure the voltage at both ends. In addition, when a plurality of resistance measuring devices are provided, a current is simultaneously applied to the plurality of semiconductor strips constituting the photoresistor layer, and the terminal voltages at both ends of each semiconductor strip are detected by the respective resistance measuring devices. Measure.

また、この固体撮像素子11には、この測定結果をもって、透明ガラス13に表面に付着したゴミなどの異物の存在の有無の判断と、異物の陰になっている補正すべき画素の特定とを行う位置特定部11fが内蔵されている。この位置特定部11fは、複数の下側帯状半導体層のうちで、抵抗値が本来の抵抗値よりも高い下側帯状半導体層を選択するとともに、複数の上側帯状半導体層のうちで、抵抗値が本来の抵抗値よりも高い上側帯状半導体層を選択し、選択した下側及び上側の帯状半導体層の交差部分を異物の位置として特定する。   In addition, the solid-state imaging device 11 determines whether or not there is foreign matter such as dust attached to the surface of the transparent glass 13 based on the measurement result, and specifies the pixel to be corrected that is behind the foreign matter. A position specifying unit 11f to perform is incorporated. The position specifying unit 11f selects a lower band-shaped semiconductor layer having a resistance value higher than the original resistance value among the plurality of lower band-shaped semiconductor layers, and also selects a resistance value among the plurality of upper band-shaped semiconductor layers. The upper band-shaped semiconductor layer having a resistance value higher than the original resistance value is selected, and the intersection of the selected lower and upper band-shaped semiconductor layers is specified as the position of the foreign matter.

そして、この実施形態1では、下側帯状半導体層111及び上側帯状半導体層112を有する光依存性抵抗層10と、抵抗測定器11eと、位置特定部11fとは、異物の位置を検出する位置検出部10aを構成しており、位置特定部11fにより特定された位置が、位置検出部10aにより検出された位置(異物の位置)となる。   In the first embodiment, the light-dependent resistance layer 10 including the lower band-shaped semiconductor layer 111 and the upper band-shaped semiconductor layer 112, the resistance measuring device 11e, and the position specifying unit 11f are positions that detect the position of the foreign matter. The position which comprised the detection part 10a and was specified by the position specific | specification part 11f becomes a position (position of a foreign material) detected by the position detection part 10a.

さらに、この実施形態1の固体撮像装置11は、位置検出部10aで検出した異物の位置に基づいて、前記固体撮像素子の撮像領域における、選択した下側及び上側の帯状半導体層の交差部分に配置されている画素の画素値を補正する画素補正部11gを有している。ここで、上記抵抗測定器11e、位置特定部11f、及び画素補正部11gは、例えば、DSP(デジタル信号処理プロセッサ)内に構成されている。   Furthermore, the solid-state imaging device 11 according to the first embodiment is based on the position of the foreign substance detected by the position detection unit 10a at the intersection of the selected lower and upper band-shaped semiconductor layers in the imaging region of the solid-state imaging device. The pixel correction unit 11g that corrects the pixel value of the arranged pixel is provided. Here, the resistance measuring device 11e, the position specifying unit 11f, and the pixel correcting unit 11g are configured in a DSP (digital signal processor), for example.

なお、前記画素補正部11fは、前記位置検出部10aにより検出した帯状フォトレジスタ層の配置されている領域内に位置する画素を補正対象画素として、該補正対象画素の画素値及び該補正対象画素の周辺に位置する周辺画素の画素値を補正するものでもよい。ここで、周辺画素の範囲は、選択した下側及び上側の帯状半導体層の交差部分の両側に位置する2つの下側帯状半導体層の中心線に挟まれ、かつ交差部分の両側に位置する2つの上側帯状半導体層の中心線に挟まれた領域とする。   The pixel correction unit 11f uses the pixel located in the region where the band-like photoresist layer detected by the position detection unit 10a is disposed as the correction target pixel, and the pixel value of the correction target pixel and the correction target pixel It is also possible to correct pixel values of peripheral pixels located in the vicinity of the. Here, the range of the peripheral pixels is 2 between the center lines of the two lower band-shaped semiconductor layers located on both sides of the intersection of the selected lower and upper band-shaped semiconductor layers and located on both sides of the intersection. A region sandwiched between the center lines of the two upper band semiconductor layers.

次に動作について説明する。   Next, the operation will be described.

本実施形態1のカメラモジュールにおいても、被写体の撮像動作は従来の固体撮像装置と同様に行われる。   Also in the camera module of the first embodiment, the subject imaging operation is performed in the same manner as a conventional solid-state imaging device.

そして、この実施形態1のカメラモジュール100では、異物の付着による画質劣化を信号処理により改善する動作が必要に応じて行われる。   In the camera module 100 according to the first embodiment, an operation for improving image quality degradation due to adhesion of foreign matter by signal processing is performed as necessary.

この画質を改善する動作は、このカメラモジュールが組み込まれた携帯電話などの携帯機器に強い衝撃や振動が加えられた後に自動で起動されるものであってもよいし、また、携帯機器の利用者の操作により起動されるものでもよい。   The operation for improving the image quality may be started automatically after a strong impact or vibration is applied to a mobile device such as a mobile phone in which the camera module is incorporated. It may be activated by an operator's operation.

具体的には、位置検出部10aでは、抵抗測定器11eが、下側フォトレジスタ層110を構成する各帯状半導体層111の抵抗値、および上側フォトレジスタ層120を構成する各帯状半導体層121の抵抗値を測定し、位置特定部11fは、帯状半導体層の平均的な抵抗値に比べて抵抗値の高い下側帯状半導体層111及び上側帯状半導体層121を検出し、検出した下側帯状半導体層111及び上側帯状半導体層121の交差領域を特定する。位置検出部10aは、特定した交差領域を異物の位置として検出する。   Specifically, in the position detection unit 10 a, the resistance measuring instrument 11 e includes the resistance value of each strip semiconductor layer 111 constituting the lower photoresist layer 110 and the strip semiconductor layer 121 constituting the upper photoresist layer 120. The resistance value is measured, and the position specifying unit 11f detects the lower band-shaped semiconductor layer 111 and the upper band-shaped semiconductor layer 121, which have higher resistance values than the average resistance value of the band-shaped semiconductor layer, and detects the detected lower band-shaped semiconductor. The intersection region of the layer 111 and the upper strip semiconductor layer 121 is specified. The position detection unit 10a detects the specified intersection area as the position of the foreign object.

そして、位置検出部10aで検出された異物の位置に基づいて、画素補正部11gは画素値の補正を行う。   Then, based on the position of the foreign object detected by the position detection unit 10a, the pixel correction unit 11g corrects the pixel value.

例えば、画素補正部11gは、前記固体撮像素子の撮像領域における、前記異物の陰になっている領域に配置されている画素の画素値を補正する。具体的には、画素補正部11gは、抵抗値の高い下側帯状半導体層111と抵抗値の高い上側帯状半導体層121とが重なるオーバラップ領域に含まれる画素の画素値を所定値と比較して異物の陰の影響を受けているか否かを判定し、異物の陰の影響を受けている場合は、異物の陰の影響を受けている画素の画素値を、オーバラップ領域外部の異物の陰の影響を受けておらず、かつ欠陥画素でない正常な画素の抵抗値から得られる画素値と置き換えるようにする。   For example, the pixel correction unit 11g corrects a pixel value of a pixel arranged in an area behind the foreign object in the imaging area of the solid-state imaging device. Specifically, the pixel correction unit 11g compares a pixel value of a pixel included in an overlap region where the lower strip semiconductor layer 111 having a high resistance value and the upper strip semiconductor layer 121 having a high resistance overlap with a predetermined value. If it is affected by the shadow of the foreign object, the pixel value of the pixel affected by the shadow of the foreign object is set to the value of the foreign object outside the overlap area. The pixel value obtained from the resistance value of a normal pixel that is not affected by the shadow and is not a defective pixel is replaced.

つまり、画素補正部11gは、異物の位置が検出され、異物の陰の影響を受けていると判定する処理を行った後は、次にこの処理を行うまでは、いずれの画素が異物の陰の影響を受けている画素であるか、また、この異物の陰の影響を受けている画素の画素値をどの画素の画素値と置き換えるかを、テーブルなどを用いて対応付けして、DSP(デジタル信号処理プロセッサ)内の記憶部に記憶しておく。   In other words, after the pixel correction unit 11g detects the position of the foreign object and determines that it is affected by the shadow of the foreign object, any pixel remains in the shadow of the foreign object until the next process is performed. The pixel value of the pixel that is affected by the foreign object and the pixel value of the pixel that is affected by the influence of the foreign object is associated with the pixel value using a table or the like, and the DSP ( It is stored in a storage unit in a digital signal processor.

そして、次に異物の位置を検出して異物の陰の影響を受けている画素を判定すると、画素補正部11gは、記憶している、異物の陰の影響を受けている画素の画素値をどの画素の画素値と置き換えるかを示す対応関係を、新たな対応関係に書き換える。   Then, when the position of the foreign object is detected and a pixel that is affected by the shadow of the foreign object is determined, the pixel correction unit 11g stores the pixel value of the pixel that is stored that is affected by the shadow of the foreign object. The correspondence relationship indicating which pixel value to replace with is rewritten to a new correspondence relationship.

これにより、撮像時には常に、異物の陰の影響を受けている画素の画素値は、異物の陰の影響を受けていない画素の画素値で補正されるため、異物が移動しても、異物の陰の影響により画質劣化を引き起こされるのを改善することができる。   As a result, the pixel value of the pixel affected by the shadow of the foreign object is always corrected at the time of imaging with the pixel value of the pixel not affected by the shadow of the foreign object. It is possible to improve the deterioration of the image quality due to the influence of the shade.

このように本実施形態では、被写体の撮像を行う固体撮像素子11と、該固体撮像素子の撮像領域を覆うよう、該固体撮像素子に取り付けられた透明ガラス(透光性蓋部)13とを備えた固体撮像装置1を格納したカメラモジュールにおいて、該透明ガラスの表面に付着した異物の位置を検出する位置検出部10aを備えたので、カメラモジュール内部にて発生または侵入したゴミなどの異物が固体撮像装置の透明ガラスに付着している位置を、迅速に特定することができ、カメラモジュールを搭載した電子機器の使用状態にて必要に応じて、画質に影響する異物の位置を短時間で特定することができ、異物の付着による画質劣化を使用状態で改善することができる。   As described above, in this embodiment, the solid-state imaging device 11 that captures an image of a subject, and the transparent glass (translucent lid) 13 attached to the solid-state imaging device so as to cover the imaging region of the solid-state imaging device. Since the camera module storing the solid-state imaging device 1 provided with the position detection unit 10a for detecting the position of the foreign matter attached to the surface of the transparent glass, foreign matter such as dust generated or intruded inside the camera module is provided. The position attached to the transparent glass of the solid-state imaging device can be quickly identified, and the position of the foreign matter that affects the image quality can be determined in a short time if necessary in the usage state of the electronic device equipped with the camera module. The image quality deterioration due to the adhesion of foreign matter can be improved in the usage state.

言い換えると、本発明の実施形態1では、異物の影の部分の画素の画素値を補正することにより黒傷やシミのない撮影画像を得るために、固体撮像装置内部の特に撮像素子の、IRフィルタを兼ねる保護ガラス(透明ガラス)に付着したゴミやダストなどの異物の有無や位置を示す情報を簡単な構成で即座に得ることができる。   In other words, in the first embodiment of the present invention, in order to obtain a captured image free from black scratches and spots by correcting the pixel value of the shadow portion of the foreign object, the IR of the imaging device in the solid-state imaging device is used. Information indicating the presence and position of foreign matter such as dust and dust attached to the protective glass (transparent glass) that also serves as a filter can be obtained immediately with a simple configuration.

この結果、携帯機器製作メーカーや最終ユーザにカメラモジュールがゆきわたった時点で発生する黒傷やシミ不良を柔軟にかつ迅速に低減するとともに、この撮像装置を適用するシステム(携帯機器)でも、黒傷、シミを自動検出して補正することが可能となる。   As a result, it is possible to flexibly and quickly reduce black scratches and spot defects that occur when a camera module is distributed to a mobile device manufacturer or end user, and even in a system (mobile device) to which this imaging apparatus is applied, Scratches and spots can be automatically detected and corrected.

また、本実施形態1では、透明ガラス上に配置された複数の下側フォトレジスタ層と、複数の下側フォトレジスタ層上にこれと直交するよう絶縁膜を介して配置された上側フォトレジスタ層とを備え、抵抗値が増大した下側フォトレジスタ層と抵抗値が増大した上側フォトレジスタ層との交差部を異物の位置として検出するので、異物の位置を二次元平面上で正確に特定することができる。   Further, in the first embodiment, a plurality of lower photoresist layers disposed on the transparent glass, and an upper photoresist layer disposed on the plurality of lower photoresist layers via an insulating film so as to be orthogonal thereto. And the intersection of the lower photoresist layer having an increased resistance value and the upper photoresist layer having an increased resistance value is detected as the position of the foreign matter, so that the position of the foreign matter is accurately identified on a two-dimensional plane. be able to.

なお、上記実施形態1では、フォトレジスタ層として、固体撮像素子の撮像領域の水平方向と平行に延びる複数の帯状半導体層を含む上側フォトレジスタ層と、固体撮像素子の撮像領域の垂直方向と平行に延びる複数の帯状半導体層を含む下側フォトレジスタ層とを有するものを示したが、フォトレジスタ層は、上記上側フォトレジスタ層と下側フォトレジスタ層のいずれか一方のみ設けてもよい。   In the first embodiment, the upper register layer including a plurality of strip-like semiconductor layers extending in parallel with the horizontal direction of the imaging region of the solid-state imaging device and the vertical direction of the imaging region of the solid-state imaging device are used as the photoresist layer. In this embodiment, the lower photoresist layer including a plurality of strip-like semiconductor layers extending in the direction is shown. However, only one of the upper photoresist layer and the lower photoresist layer may be provided as the photoresist layer.

この場合、異物の陰により抵抗値が変化した帯状半導体層が選択されると、画素補正部は、選択された帯状半導体層の、撮像領域上での水平方向あるいは垂直方向における位置を異物の位置として検出するので、異物の位置を、撮像領域の水平方向あるいは垂直方向における位置として簡単に特定することができる。   In this case, when the band-shaped semiconductor layer whose resistance value has changed due to the shadow of the foreign object is selected, the pixel correction unit determines the position of the selected band-shaped semiconductor layer in the horizontal direction or the vertical direction on the imaging region as the position of the foreign object. Therefore, the position of the foreign object can be easily specified as the position in the horizontal direction or the vertical direction of the imaging region.

また、上記実施形態1では、複数の下側帯状半導体層の配列ピッチと、複数の上側帯状半導体層の配列ピッチとは同一であり、かつ、下側帯状半導体層の幅と上側帯状半導体層の幅とは同一であるが、これに限定されるものではない。   In the first embodiment, the arrangement pitch of the plurality of lower band-shaped semiconductor layers and the arrangement pitch of the plurality of upper band-shaped semiconductor layers are the same, and the width of the lower band-shaped semiconductor layer and the width of the upper band-shaped semiconductor layer The width is the same, but is not limited to this.

例えば、横長の長方形形状をした撮像領域を含む固体撮像装置において、複数の下側帯状半導体層の配列ピッチ及び下側帯状半導体層の幅と、複数の上側帯状半導体層の配列ピッチ及び上側帯状半導体層の幅とは、水平方向と垂直方向とで、複数の下側帯状半導体層の数と複数の上側帯状半導体層の数とが等しくなるよう設定してもよい。   For example, in a solid-state imaging device including an imaging region having a horizontally-long rectangular shape, the arrangement pitch and the width of the lower band-shaped semiconductor layer of the plurality of lower band-shaped semiconductor layers, the arrangement pitch of the plurality of upper band-shaped semiconductor layers and the upper band-shaped semiconductor The width of the layer may be set so that the number of the plurality of lower band-shaped semiconductor layers is equal to the number of the plurality of upper band-shaped semiconductor layers in the horizontal direction and the vertical direction.

さらに、上記実施形態1では、特に説明しなかったが、上記実施形態1のカメラモジュールを撮像部に用いた、例えばデジタルビデオカメラ、デジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、画像入力カメラ、スキャナ、ファクシミリ、カメラ付き携帯電話装置などの、画像入力デバイスを有した電子情報機器について以下簡単に説明する。
(実施形態2)
図10は、本発明の実施形態2として、実施形態1のカメラモジュールを撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。
Further, although not specifically described in the first embodiment, a digital camera such as a digital video camera or a digital still camera, an image input camera, a scanner, or a facsimile using the camera module of the first embodiment as an imaging unit. An electronic information device having an image input device such as a camera-equipped mobile phone device will be briefly described below.
(Embodiment 2)
FIG. 10 is a block diagram illustrating a schematic configuration example of an electronic information device using the camera module of Embodiment 1 as an imaging unit as Embodiment 2 of the present invention.

図10に示す本発明の実施形態2による電子情報機器90は、本発明の上記実施形態1のカメラモジュールを、被写体の撮影を行う撮像部91として備えたものであり、このような撮像部による撮影により得られた高品位な画像データを記録用に所定の信号処理した後にデータ記録する記録メディアなどのメモリ部92と、この画像データを表示用に所定の信号処理した後に液晶表示画面などの表示画面上に表示する液晶表示装置などの表示部93と、この画像データを通信用に所定の信号処理をした後に通信処理する送受信装置などの通信部94と、この画像データを印刷(印字)して出力(プリントアウト)する画像出力部95とのうちの少なくともいずれかを有している。   An electronic information device 90 according to the second embodiment of the present invention shown in FIG. 10 includes the camera module according to the first embodiment of the present invention as an image capturing unit 91 that captures an image of a subject. Memory unit 92 such as a recording medium for recording data after high-quality image data obtained by shooting is subjected to predetermined signal processing for recording, and a liquid crystal display screen or the like after this image data is subjected to predetermined signal processing for display A display unit 93 such as a liquid crystal display device displayed on the display screen, a communication unit 94 such as a transmission / reception device that performs communication processing after performing predetermined signal processing for the image data, and printing (printing) the image data. And at least one of an image output unit 95 for outputting (printing out).

以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。   As mentioned above, although this invention has been illustrated using preferable embodiment of this invention, this invention should not be limited and limited to this embodiment. It is understood that the scope of the present invention should be construed only by the claims. It is understood that those skilled in the art can implement an equivalent range based on the description of the present invention and the common general technical knowledge from the description of specific preferred embodiments of the present invention. It is understood that the patent documents cited in the present specification should be incorporated by reference into the present specification in the same manner as the content itself is specifically described in the present specification.

本発明は、固体撮像装置、カメラモジュール、および電子情報機器の分野において、カメラモジュール内部にて発生または侵入したゴミなどの異物が固体撮像装置の透光性蓋部に付着している位置を、迅速に特定することができ、カメラモジュールを搭載した電子機器の使用状態にて必要に応じて、画質に影響する異物の位置を短時間で特定することができ、異物の付着による画質劣化を使用状態で改善することができる固体撮像装置を提供できるものであり、固体撮像装置を用いたカメラモジュールを搭載するカメラ付き携帯電話やディジタルスチルカメラ、セキュリティカメラなどの技術分野において有用なものである。   The present invention, in the field of solid-state imaging device, camera module, and electronic information equipment, the position where foreign matter such as dust generated or entered inside the camera module is attached to the translucent lid of the solid-state imaging device, It is possible to quickly identify the position of the foreign material that affects the image quality in a short time as needed in the usage state of the electronic device equipped with the camera module, and use the image quality deterioration due to the adhesion of the foreign material. The present invention can provide a solid-state imaging device that can be improved in a state, and is useful in technical fields such as a mobile phone with a camera, a digital still camera, and a security camera equipped with a camera module using the solid-state imaging device.

1 固体撮像装置
10 フォトレジスタ層(光依存性抵抗層)
10a 位置検出部
11 固体撮像素子
11a 入出力パッド
11b 抵抗値測定パッド
11c 接着領域
11e 抵抗測定器
11f 位置特定部
11g 画素補正部
12 接着部
12a 樹脂
12b 導線
13 透明ガラス(透光性蓋部)
13a 貫通孔
14 ボンディングワイヤ
20、20a レンズホルダ
30 封止樹脂
90 電子情報機器
91 撮像部
92 メモリ部
93 表示手段
94 通信手段
95 画像出力手段
100、100a カメラモジュール
101 基板
121 集光レンズ
102 接着剤
110 下側フォトレジスタ層
120 上側フォトレジスタ層
130 絶縁膜
111 下側帯状半導体層
111a、121a 本体部分
111b、121b 引延し部(電極端子)
111c 裏面電極
121 上側帯状半導体層
1 Solid-state imaging device 10 Photoresist layer (light-dependent resistance layer)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10a Position detection part 11 Solid-state image sensor 11a Input / output pad 11b Resistance value measurement pad 11c Adhesion area | region 11e Resistance measuring device 11f Position specification part 11g Pixel correction part 12 Adhesion part 12a Resin 12b Conductor 13 Transparent glass (translucent cover part)
13a Through-hole 14 Bonding wire 20, 20a Lens holder 30 Sealing resin 90 Electronic information equipment 91 Imaging unit 92 Memory unit 93 Display unit 94 Communication unit 95 Image output unit 100, 100a Camera module 101 Substrate 121 Condensing lens 102 Adhesive 110 Lower photoresist layer 120 Upper photoresist layer 130 Insulating film 111 Lower strip semiconductor layer 111a, 121a Body portion 111b, 121b Extending portion (electrode terminal)
111c Back electrode 121 Upper strip semiconductor layer

Claims (16)

被写体の撮像を行う固体撮像素子と、該固体撮像素子の撮像領域を覆うよう、該固体撮像素子に取り付けられた透光性蓋部とを備えた固体撮像装置であって、
該透光性蓋部の表面に付着した異物の位置を検出する位置検出部を有する、固体撮像装置。
A solid-state imaging device comprising a solid-state imaging device for imaging a subject and a translucent lid attached to the solid-state imaging device so as to cover an imaging region of the solid-state imaging device,
A solid-state imaging device having a position detection unit that detects the position of a foreign substance attached to the surface of the translucent lid.
請求項1に記載の固体撮像装置において、
前記位置検出部は、前記透光性蓋部上に形成され、光の照射された領域の抵抗が光照射量に応じて変化する光依存性抵抗層を有し、
該光依存性抵抗層上での異物の陰により生ずる該光依存性抵抗層での局所的な抵抗変化に基づいて、該透光性蓋部上での異物の位置を検出するものである、固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 1,
The position detection unit includes a light-dependent resistance layer that is formed on the translucent lid, and the resistance of the region irradiated with light changes according to the amount of light irradiation.
Based on a local resistance change in the light-dependent resistance layer caused by the shadow of the foreign substance on the light-dependent resistance layer, the position of the foreign substance on the translucent lid is detected. Solid-state imaging device.
請求項2に記載の固体撮像装置において、
前記光依存性抵抗層は、該光依存性抵抗層に形成された異物の陰の位置が、該異物の陰による該光依存性抵抗層の局所的な抵抗変化に基づいて検出されるよう、所定の平面パターンを持たせたものである、固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 2,
The light-dependent resistance layer is detected based on a local change in resistance of the light-dependent resistance layer caused by the shadow of the foreign matter, so that the shadow position of the foreign matter formed in the light-dependent resistance layer is detected. A solid-state imaging device having a predetermined plane pattern.
請求項3に記載の固体撮像装置において、
前記平面パターンを有する光依存性抵抗層は、
前記透光性蓋部上に帯状の高抵抗半導体層を、前記固体撮像素子の撮像領域の水平方向あるいは垂直方向に延びるよう、複数配列してなるものである、固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 3,
The light-dependent resistance layer having the planar pattern is
A solid-state imaging device in which a plurality of strip-like high-resistance semiconductor layers are arranged on the translucent lid so as to extend in the horizontal direction or the vertical direction of the imaging region of the solid-state imaging device.
請求項1に記載の固体撮像装置において、
前記位置検出部は、前記透光性蓋部上に形成された第1の光依存性抵抗層と、該第1の光依存性抵抗層上に絶縁膜を介して形成された第2の光依存性抵抗層とを有し、
該第1の光依存性抵抗層は、該透光性蓋部上に高抵抗の下側帯状半導体層を互いに平行に複数配列してなるものであり、
該第2の光依存性抵抗層は、該透光性蓋部上に該下側帯状半導体層と絶縁膜を介して交差するよう、高抵抗の上側帯状半導体層を複数配列してなるものである、固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 1,
The position detection unit includes a first light-dependent resistance layer formed on the translucent lid, and a second light formed on the first light-dependent resistance layer via an insulating film. A dependent resistance layer,
The first light-dependent resistance layer is formed by arranging a plurality of high-resistance lower band-shaped semiconductor layers in parallel with each other on the translucent lid,
The second light-dependent resistance layer is formed by arranging a plurality of high-resistance upper band-shaped semiconductor layers on the translucent lid so as to intersect the lower band-shaped semiconductor layer via an insulating film. A solid-state imaging device.
請求項5に記載の固体撮像装置において、
前記複数の下側帯状半導体層は、前記固体撮像素子の長方形形状の撮像領域の垂直方向及び水平方向の一方と平行に配列され、
前記複数の上側帯状半導体層は、該固体撮像素子の長方形形状の撮像領域の垂直方向及び水平方向の他方と平行に配列されている、固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 5,
The plurality of lower belt-like semiconductor layers are arranged in parallel with one of the vertical and horizontal directions of the rectangular imaging region of the solid-state imaging device,
The solid-state imaging device, wherein the plurality of upper band-shaped semiconductor layers are arranged in parallel with the other of the rectangular imaging region of the solid-state imaging device in the vertical direction and the horizontal direction.
請求項6に記載の固体撮像装置において、
前記複数の下側帯状半導体層の配列ピッチと、前記複数の上側帯状半導体層の配列ピッチとは同一であり、かつ、該下側帯状半導体層の幅と該上側帯状半導体層の幅とは同一である、固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 6,
The arrangement pitch of the plurality of lower band semiconductor layers and the arrangement pitch of the plurality of upper band semiconductor layers are the same, and the width of the lower band semiconductor layer and the width of the upper band semiconductor layer are the same. A solid-state imaging device.
請求項7に記載の固体撮像装置において、
前記長方形形状の撮像領域は横長の形状を有し、
前記複数の下側帯状半導体層の配列ピッチ及び該下側帯状半導体層の幅と、前記複数の上側帯状半導体層の配列ピッチ及び該上側帯状半導体層の幅とは、水平方向と垂直方向とで、該複数の下側帯状半導体層の数と該複数の上側帯状半導体層の数とが等しくなるよう設定されている、固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 7,
The rectangular imaging region has a horizontally long shape,
The arrangement pitch of the plurality of lower band-shaped semiconductor layers and the width of the lower band-shaped semiconductor layer, and the arrangement pitch of the plurality of upper band-shaped semiconductor layers and the width of the upper band-shaped semiconductor layer are horizontal and vertical. A solid-state imaging device in which the number of the plurality of lower band-shaped semiconductor layers is set to be equal to the number of the plurality of upper band-shaped semiconductor layers.
請求項1に記載の固体撮像装置において、
前記位置検出部により検出された異物の位置に基づいて、前記固体撮像素子の撮像領域における、前記異物の陰になっている領域に配置されている画素の画素値を補正する画素補正部を有する、固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 1,
A pixel correction unit configured to correct a pixel value of a pixel arranged in an area behind the foreign object in an imaging region of the solid-state imaging device based on the position of the foreign object detected by the position detection unit; , Solid-state imaging device.
請求項4に記載の固体撮像装置において、
前記位置検出部は、前記透光性蓋部上に配列されている複数の帯状の高抵抗半導体層のうちから、前記異物の陰により抵抗値が変化した高抵抗半導体層を選択し、該選択した高抵抗半導体層の、該撮像領域上での水平方向あるいは垂直方向における位置を該異物の位置として検出する、固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 4,
The position detection unit selects a high-resistance semiconductor layer whose resistance value has changed due to the shadow of the foreign substance from a plurality of strip-shaped high-resistance semiconductor layers arranged on the translucent lid, and the selection A solid-state imaging device that detects the position of the high-resistance semiconductor layer in the horizontal direction or the vertical direction on the imaging region as the position of the foreign matter.
請求項5に記載の固体撮像装置において、
前記位置検出部は、前記複数の下側帯状半導体層のうちから、前記異物の陰により抵抗値が変化した下側帯状半導体層を選択するとともに、前記複数の上側帯状半導体層のうちから、該異物の陰により抵抗値が変化した上側帯状半導体層を選択し、選択した下側帯状半導体層と選択した上側帯状半導体層との交差位置を該異物の位置として検出する、固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 5,
The position detection unit selects a lower band-shaped semiconductor layer whose resistance value has changed due to the shadow of the foreign substance from the plurality of lower band-shaped semiconductor layers, and includes the plurality of upper band-shaped semiconductor layers, A solid-state imaging device that selects an upper band-shaped semiconductor layer whose resistance value has changed due to the shadow of a foreign object, and detects an intersection position of the selected lower band-shaped semiconductor layer and the selected upper band-shaped semiconductor layer as the position of the foreign object.
請求項10に記載の固体撮像装置において、
前記位置検出部により選択した高抵抗半導体層の配置されている領域内に位置する画素を補正対象画素として、該補正対象画素の画素値及び該補正対象画素の周辺に位置する周辺画素の画素値を補正する画素補正部を有する、固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 10,
The pixel value of the pixel to be corrected and the pixel value of the peripheral pixel located around the pixel to be corrected are defined as pixels to be corrected that are located in the region where the high resistance semiconductor layer selected by the position detection unit is arranged. A solid-state imaging device having a pixel correction unit that corrects the above.
請求項11に記載の固体撮像装置において、
前記位置検出部により選択した下側帯状半導体層と、該位置検出部により選択した上側帯状半導体層とが重なる領域内に位置する画素を補正対象画素として、該補正対象画素の画素値及び該補正対象画素の周辺に位置する周辺画素の画素値を補正する画素補正部を有する、固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 11,
The pixel value of the correction target pixel and the correction are determined by setting a pixel located in a region where the lower band-shaped semiconductor layer selected by the position detection unit and the upper band-shaped semiconductor layer selected by the position detection unit overlap. A solid-state imaging device having a pixel correction unit that corrects pixel values of peripheral pixels located around a target pixel.
請求項1に記載の固体撮像装置を格納したカメラモジュールであって、
該固体撮像装置は、基板上に実装され、該基板には、集光レンズを保持するレンズホルダが、該固体撮像装置を覆うよう取り付けられている、固体撮像装置。
A camera module storing the solid-state imaging device according to claim 1,
The solid-state imaging device is mounted on a substrate, and a lens holder that holds a condenser lens is attached to the substrate so as to cover the solid-state imaging device.
請求項1に記載の固体撮像装置を格納したカメラモジュールであって、
該固体撮像装置は、基板上に実装されて封止樹脂により封止されており、該封止樹脂には、集光レンズを保持するレンズホルダが、該固体撮像装置を覆うよう取り付けられている、カメラモジュール。
A camera module storing the solid-state imaging device according to claim 1,
The solid-state imaging device is mounted on a substrate and sealed with a sealing resin, and a lens holder that holds a condenser lens is attached to the sealing resin so as to cover the solid-state imaging device. ,The camera module.
被写体の撮像を行う撮像部を備えた電子情報機器であって、
該撮像部は、請求項14あるいは15に記載のカメラモジュールである電子情報機器。
An electronic information device having an imaging unit for imaging a subject,
The electronic information device, wherein the imaging unit is the camera module according to claim 14 or 15.
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