JP2011163941A - Optical fiber sensor - Google Patents
Optical fiber sensor Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011163941A JP2011163941A JP2010027301A JP2010027301A JP2011163941A JP 2011163941 A JP2011163941 A JP 2011163941A JP 2010027301 A JP2010027301 A JP 2010027301A JP 2010027301 A JP2010027301 A JP 2010027301A JP 2011163941 A JP2011163941 A JP 2011163941A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stress
- optical fiber
- grating
- gratings
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、特定波長の光を反射するグレーティングを配列した光ファイバを有する光ファイバセンサに関する。 The present invention relates to an optical fiber sensor having an optical fiber in which gratings that reflect light of a specific wavelength are arranged.
従来より、シート体の内部に埋設した光ファイバのコアに複数個のグレーティング(回折格子)を設けた、FBG(Fiber Bragg Grating)センサと呼称される光ファイバセンサでは、物体から応力を受けると前記グレーティングに歪みが発生して反射光の波長が変化する現象を利用し、該歪みの発生に伴う前記反射光の波長(反射波長)のシフト量を検出して、検出した該シフト量に基づき前記応力を検出する(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, in an optical fiber sensor called an FBG (Fiber Bragg Grating) sensor in which a plurality of gratings (diffraction gratings) are provided in an optical fiber core embedded in a sheet body, when the stress from an object is received, Utilizing the phenomenon that the wavelength of the reflected light changes due to distortion in the grating, the shift amount of the wavelength of the reflected light (reflection wavelength) accompanying the generation of the distortion is detected, and the shift amount is detected based on the detected shift amount. Stress is detected (for example, refer to Patent Document 1).
特許文献1の光ファイバセンサにおいて、検出面である被測定エリアのうち、隣接する2つのグレーティング間に対応する箇所に物体が接触し、該物体から前記対応する箇所に水平応力が付与された場合に、一方のグレーティングは、前記水平応力によって伸張すると共に、他方のグレーティングは、前記水平応力によって圧縮される。これにより、2つのグレーティングの歪み量や反射波長のシフト量が互いに異なる大きさとなり、前記被測定エリアに付与された水平応力の位置、大きさ及び方向を検出することが可能となる。 In the optical fiber sensor of Patent Document 1, when an object comes into contact with a corresponding portion between two adjacent gratings in a measurement area that is a detection surface, and horizontal stress is applied from the object to the corresponding portion. In addition, one grating is stretched by the horizontal stress, and the other grating is compressed by the horizontal stress. As a result, the distortion amounts and the shift amounts of the reflected wavelengths of the two gratings have different sizes, and the position, size, and direction of the horizontal stress applied to the measurement area can be detected.
しかしながら、平面視で前記被測定エリアよりも大きな物体が該被測定エリア全体に接触して水平応力が付与される場合には、前記2つのグレーティングを含む全てのグレーティングが同じような構造変化(歪み)を起こすので、該各グレーティングの歪み量の差分や反射波長のシフト量の差分が水平応力を検出できる程度の明確な差分とはならず、該水平応力の検出が困難になるという問題があった。 However, when an object larger than the measurement area in plan view comes into contact with the entire measurement area and a horizontal stress is applied, all the gratings including the two gratings have the same structural change (distortion). Therefore, the difference in the distortion amount of each grating and the difference in the shift amount of the reflection wavelength are not clear differences enough to detect the horizontal stress, which makes it difficult to detect the horizontal stress. It was.
本発明は、前記の問題に鑑みなされたものであり、物体との接触面である被測定エリア全体に前記物体が接触して水平応力が付与される場合でも、該水平応力を検出することができる光ファイバセンサを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and even when the object is in contact with the entire area to be measured which is a contact surface with the object and the horizontal stress is applied, the horizontal stress can be detected. An object of the present invention is to provide an optical fiber sensor that can be used.
本発明に係る光ファイバセンサは、
特定波長の光を反射するグレーティングを配列した光ファイバからなる複数の応力検出センサ部と、外部応力を前記グレーティングを配列した方向の応力に変換して前記各グレーティングに伝達する応力方向変換部とを備え、
前記各応力検出センサ部及び前記応力方向変換部は、前記外部応力を受ける被測定エリア内に配置され、
前記複数の応力検出センサ部は、平面視で前記応力方向変換部に内包されるように配置され、前記応力方向変換部から伝達された応力によって前記グレーティングが伸縮する第1の応力検出センサ部と、前記被測定エリアにおける前記応力方向変換部の外方に配置された第2の応力検出センサ部とであることを特徴としている。
The optical fiber sensor according to the present invention is
A plurality of stress detection sensor units composed of optical fibers in which gratings that reflect light of a specific wavelength are arrayed, and a stress direction conversion unit that converts external stress into stress in the direction in which the gratings are arrayed and transmits the stress to each grating. Prepared,
Each of the stress detection sensor units and the stress direction conversion unit are disposed in a measurement area that receives the external stress,
The plurality of stress detection sensor units are arranged so as to be included in the stress direction conversion unit in a plan view, and a first stress detection sensor unit in which the grating expands and contracts by the stress transmitted from the stress direction conversion unit; And a second stress detection sensor unit disposed outside the stress direction conversion unit in the measurement area.
本発明によれば、前記応力方向変換部に内包されるように前記第1の応力検出センサ部が配置されると共に、前記応力方向変換部の外方に前記第2の応力検出センサ部が配置されている。そのため、物体から前記被測定エリアに外部応力としての水平応力が付与された場合に、前記第1の応力検出センサ部のグレーティングは、前記水平応力に応じて伸縮し、一方で、前記第2の応力検出センサ部のグレーティングは、前記応力方向変換部の外方に配置されているので、前記第1の応力検出センサ部のグレーティングとは異なる伸縮を示す。 According to the present invention, the first stress detection sensor unit is disposed so as to be included in the stress direction conversion unit, and the second stress detection sensor unit is disposed outside the stress direction conversion unit. Has been. Therefore, when a horizontal stress as an external stress is applied from the object to the area to be measured, the grating of the first stress detection sensor unit expands and contracts according to the horizontal stress, while the second stress Since the grating of the stress detection sensor unit is disposed outside the stress direction conversion unit, it exhibits expansion and contraction different from the grating of the first stress detection sensor unit.
これにより、前記第1の応力検出センサ部のグレーティングと、前記第2の応力検出センサ部のグレーティングとの間では、グレーティングの歪み量や反射波長のシフト量が互いに異なる大きさとなるので、前記歪み量の差分や前記シフト量の差分が前記水平応力を検出できる程度の明確な差分となる。この結果、前記被測定エリア全体に前記水平応力が付与されても、付与された前記水平応力の位置、大きさ及び方向を検出することが可能となる。 Accordingly, the amount of distortion of the grating and the amount of shift of the reflected wavelength are different between the grating of the first stress detection sensor unit and the grating of the second stress detection sensor unit. The difference in amount and the difference in shift amount are clear differences to the extent that the horizontal stress can be detected. As a result, even if the horizontal stress is applied to the entire area to be measured, the position, magnitude, and direction of the applied horizontal stress can be detected.
このように、本発明によれば、前記被測定エリアにおいて、前記応力方向変換部に内包させるように前記第1の応力検出センサ部を配置すると共に、前記応力方向変換部の外方に前記第2の応力検出センサ部を配置することにより、前記物体との接触面である前記被測定エリア全体に該物体が接触して前記水平応力が付与された場合でも、該水平応力を検出することが可能となる。 As described above, according to the present invention, in the area to be measured, the first stress detection sensor unit is disposed so as to be included in the stress direction conversion unit, and the first stress detection sensor unit is disposed outside the stress direction conversion unit. By disposing the stress detection sensor unit 2, the horizontal stress can be detected even when the horizontal stress is applied when the object is in contact with the entire area to be measured which is a contact surface with the object. It becomes possible.
ここで、前記光ファイバは、前記応力方向変換部を貫通するように前記被測定エリアに沿って配置され、前記第1の応力検出センサ部は、前記光ファイバに配置された第1のグレーティングを有すると共に、前記第2の応力検出センサ部は、前記光ファイバに配置された第2のグレーティングを有してもよい。 Here, the optical fiber is disposed along the area to be measured so as to penetrate the stress direction conversion section, and the first stress detection sensor section includes a first grating disposed in the optical fiber. The second stress detection sensor unit may include a second grating disposed on the optical fiber.
これにより、前記被測定エリアに前記水平応力が付与されたときに、前記水平応力に起因して前記第1のグレーティングが伸縮すると同時に、前記第2のグレーティングも伸縮するので、前記水平応力の検出を効率よく行うことができる。 Accordingly, when the horizontal stress is applied to the area to be measured, the first grating expands and contracts due to the horizontal stress, and at the same time, the second grating expands and contracts. Can be performed efficiently.
また、前記応力方向変換部は、前記被測定エリアに沿って延在する平坦部と、前記平坦部から前記光ファイバにおける前記第1のグレーティングの一端部側に橋架された第1の応力伝達部と、前記平坦部から前記光ファイバにおける前記第1のグレーティングの他端部側に橋架された第2の応力伝達部とを有する。 The stress direction conversion section includes a flat section extending along the measurement area, and a first stress transmission section bridged from the flat section to one end of the first grating in the optical fiber. And a second stress transmission portion bridged from the flat portion to the other end portion side of the first grating in the optical fiber.
これにより、前記水平応力を前記第1のグレーティングに効率よく伝達することができる。 Thereby, the horizontal stress can be efficiently transmitted to the first grating.
さらに、前記第2のグレーティングを前記光ファイバにおける前記第1の応力伝達部の近傍又は前記第2の応力伝達部の近傍に配置すれば、前記第1のグレーティングの配列方向と、前記第2のグレーティングの配列方向とを略一致させることができるので、前記水平応力が前記被測定エリアに付与された際に、前記第1のグレーティング及び前記第2のグレーティングを同軸上でそれぞれ歪ませることが可能となる。従って、前記第1のグレーティング及び前記第2のグレーティングの歪み量及び反射波長のシフト量から前記水平応力を容易に算出することが可能となる。 Further, if the second grating is disposed in the vicinity of the first stress transmission portion or in the vicinity of the second stress transmission portion in the optical fiber, the arrangement direction of the first grating, and the second Since the grating arrangement direction can be made substantially coincident, it is possible to distort the first grating and the second grating on the same axis when the horizontal stress is applied to the measurement area. It becomes. Therefore, it is possible to easily calculate the horizontal stress from the distortion amount and the reflection wavelength shift amount of the first grating and the second grating.
また、前記応力方向変換部を貫通するように前記被測定エリアに沿って第1の光ファイバを配置し、前記応力方向変換部を貫通すると共に平面視で前記第1の光ファイバと直交するように第2の光ファイバを前記被測定エリアに沿って配置し、前記第1の光ファイバ及び前記第2の光ファイバに前記第1のグレーティングをそれぞれ配置し、前記第1の光ファイバ及び前記第2の光ファイバの少なくとも一方に前記第2のグレーティングを配置してもよい。 In addition, a first optical fiber is disposed along the measurement area so as to penetrate the stress direction conversion portion, and penetrates the stress direction conversion portion and is orthogonal to the first optical fiber in plan view. The second optical fiber is disposed along the area to be measured, the first grating is disposed on the first optical fiber and the second optical fiber, and the first optical fiber and the second optical fiber are disposed on the first optical fiber and the second optical fiber, respectively. The second grating may be disposed on at least one of the two optical fibers.
これにより、例えば、前記第1の光ファイバを前記被測定エリアに沿ったX方向に配置し、前記第2の光ファイバを前記被測定エリアに沿ったY方向に配置すれば、前記水平応力をX方向及びY方向の成分に分離して検出することも可能となる。 Thereby, for example, if the first optical fiber is arranged in the X direction along the measured area and the second optical fiber is arranged in the Y direction along the measured area, the horizontal stress is reduced. It is also possible to detect the components separately in the X direction and the Y direction.
本発明によれば、被測定エリアにおいて、応力方向変換部に内包させるように第1の応力検出センサ部を配置すると共に、前記応力方向変換部の外方に第2の応力検出センサ部を配置することにより、物体との接触面である前記被測定エリア全体に前記物体が接触して水平応力が付与された場合でも、該水平応力を検出することが可能となる。 According to the present invention, in the area to be measured, the first stress detection sensor unit is disposed so as to be included in the stress direction conversion unit, and the second stress detection sensor unit is disposed outside the stress direction conversion unit. As a result, even when the object comes into contact with the entire area to be measured, which is a contact surface with the object, and a horizontal stress is applied, the horizontal stress can be detected.
本発明に係る光ファイバセンサの好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。 A preferred embodiment of an optical fiber sensor according to the present invention will be described with reference to the drawings.
先ず、本実施形態の説明に先立ち、本実施形態の前提となる光ファイバセンサとしてのFBGセンサ(Fiber Bragg Grating Sensor)を利用した応力検出の概要について、図1〜図10を参照しながら説明する。 First, prior to the description of the present embodiment, an outline of stress detection using an FBG sensor (Fiber Bragg Grating Sensor) as an optical fiber sensor which is a premise of the present embodiment will be described with reference to FIGS. .
図1は、本実施形態の前提となる複数のFBGセンサ14A〜14Dが組み込まれた圧力センサ10の斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a
圧力センサ10は、可撓性を有するシート体12の内部に、1本の光ファイバケーブル20がシート体12の表面方向(X−Y方向)に沿って埋設され、この光ファイバケーブル20に沿って複数のFBGセンサ14A〜14Dを配置することにより構成される。
In the
すなわち、光ファイバケーブル20は、Y方向に向かって蛇行することにより長手方向がX方向とされた光ファイバ(第1の光ファイバ)20xと、X方向に向かって蛇行することにより長手方向がY方向とされた光ファイバ(第2の光ファイバ)20yとから構成されている。この場合、光ファイバ20xと光ファイバ20yとは、互いに異なる高さに配置されているが(図3及び図4参照)、平面視では、光ファイバ20xと光ファイバ20yとが直交し(図2参照)、直交した箇所にFBGセンサ14A〜14Dが設けられている。
That is, the
そして、光ファイバケーブル20とFBGセンサ14A〜14Dとを、プラスチックや樹脂等の可撓性を有する材料でモールドすることによりシート体12が形成される。なお、シート体12は、FBGセンサ14A〜14Dを該シート体12の内部に固定すると共に、外部から付与される過度の応力や熱等からFBGセンサ14A〜14Dを保護するために形成される。
Then, the
また、図1及び図2では、2×2のマトリックス状に4個のFBGセンサ14A〜14Dが配置されてアドレス化された場合を図示しているが、シート体12に埋設されるFBGセンサ14A〜14Dの個数は、4個に限定されることはなく、増やしてもよいし、あるいは、少なくしてもよい。
1 and 2 show a case where four
さらに、図1〜図4では、光ファイバ20yの下方に光ファイバ20xを配置した場合を図示しているが、光ファイバ20yの上方に光ファイバ20xを配置してもよいことは勿論である。さらにまた、図1及び図2に示すように、シート体12において、X方向に直交する1つの側面に光ファイバ20xの端部が外部に露呈すると共に、Y方向に直交する他の1つの側面に光ファイバ20yの端部が外部に露呈している。これらの端部は、外部から光を入射し、あるいは、光ファイバ20x、20yから光を出射することが可能である。
1 to 4 illustrate the case where the
また、圧力センサ10では、図1におけるシート体12の上面が外部からの応力を検出するための被測定エリア(検出面)22とされている。
In the
ここで、FBGセンサ14A〜14Dについて、図2〜図4を参照しながら詳細に説明する。
Here, the
光ファイバ20xと光ファイバ20yとが直交する箇所には、応力方向変換部18が配置されている。また、該直交する箇所において、光ファイバ20xのコア24xには、グレーティング26xが形成されると共に、光ファイバ20yのコア24yには、グレーティング26yが形成され、これらのグレーティング26x、26yにより1つの応力検出センサ部(第1の応力検出センサ部)16が構成される。
The stress
つまり、圧力センサ10の各FBGセンサ14A〜14Dは、1つの応力検出センサ部16と、1つの応力方向変換部18とをそれぞれ備えている。また、図2に示すように、各FBGセンサ14A〜14Dの応力検出センサ部16は、平面視で応力方向変換部18に内包されるようにそれぞれ配置されている。従って、シート体12の内部において、光ファイバ20x、20yは、各応力方向変換部18を貫通するように被測定エリア22に沿って配置されている。なお、全てのグレーティング26x、26yは、互いに異なる格子間隔と反射波長とを有する。
That is, each of the
外部からの応力に対する受感部材としての応力方向変換部18は、ゴムや樹脂等の弾性体からなる。この場合、応力方向変換部18は、X−Y方向に沿ってシート体12と平行に延在する矩形状の平坦部28と、該平坦部28の対向する二辺から光ファイバ20xにおけるグレーティング26xの両端部側にそれぞれ橋架された2つの応力伝達部30x(第1の応力伝達部、第2の応力伝達部)と、平坦部28の対向する他の二辺から光ファイバ20yにおけるグレーティング26yの両端部側にそれぞれ橋架された2つの応力伝達部30y(第1の応力伝達部、第2の応力伝達部)とを有する。
The stress
また、互いに対向するように形成された2つの応力伝達部30xは、平坦部28に連なると共に光ファイバ20xに向かって傾斜した傾斜部32xと、該傾斜部32xに連なると共に光ファイバ20xの外周面の一部を囲繞する接合部34xとをそれぞれ有する。この場合、図4及び図5に示すように、2つの応力伝達部30xの間では、平坦部28と傾斜部32xとのなす角度は互いに等しく設定されると共に、傾斜部32xと接合部34xとのなす角度も互いに等しく設定されている。
The two
一方、互いに対向するように形成された2つの応力伝達部30yも、応力伝達部30xと同様に、平坦部28に連なると共に光ファイバ20yに向かって傾斜した傾斜部32yと、該傾斜部32yに連なると共に光ファイバ20yの外周面の一部を囲繞する接合部34yとをそれぞれ有する。また、2つの応力伝達部30yの間でも、平坦部28と傾斜部32yとのなす角度は互いに等しく設定されると共に、傾斜部32yと接合部34yとのなす角度も互いに等しく設定されている。
On the other hand, the two
なお、前述したように、シート体12の内部において、光ファイバ20xは、光ファイバ20yよりも低い位置に埋設されているので(図1〜図4参照)、接合部34xの上面は、接合部34yの上面よりも低い位置に設定されている。
As described above, since the
次に、シート体12の被測定エリア22に物体40が接触して、該物体40から被測定エリア22に垂直応力FP(Z方向に沿った応力)が付与されたときの該垂直応力FPの検出について、図5を参照しながら説明する。
Next, the vertical stress F P when the
ここでは、被測定エリア22における物体40との接触面積がFBGセンサ14A〜14Dに応じた面積(FBGセンサ14A〜14Dを被測定エリア22に投影したときの投影像の面積)程度である場合について説明する。なお、図5では、説明の容易化のために、Y方向に沿って配置された光ファイバ20y及び応力伝達部30yの図示を省略する。
Here, the contact area with the
応力付与前の応力方向変換部18の形状は、図1〜図3に示すように、平坦部28を中心として略回転対称の構造(図5では平坦部28を中心とした左右対称の構造)であるため、物体40から被測定エリア22にZ方向に沿った垂直応力FPが付与されて、平坦部28が該垂直応力FPを受けたときに、各応力伝達部30xには、理想的に、Z方向に沿った応力F´(F´=FP/4)がそれぞれ付与される。
As shown in FIGS. 1 to 3, the shape of the stress
すなわち、平坦部28の各辺から4つの傾斜部32x、32yがそれぞれ延在しているので、1つの応力伝達部30xに付与される応力F´は、理想的に、垂直応力FPの1/4の大きさのFP/4となる。
That is, the four inclined portions from the sides of the
応力F´の傾斜部32xに沿った方向の成分(力)F´´は、Z方向(応力F´)と傾斜部32xとの成す角度をφとすれば、F´´=F´cosφ=(FP/4)×cosφとなる。
The component (force) F ″ in the direction along the
また、力F´´と光ファイバ20xの長手方向(X方向)との成す角度は、(90°−φ)であるので、光ファイバ20x及び接合部34xに付与される力F´´´は、F´´´=F´´cos(90°−φ)=F´sinφ=(FP/4)×cosφ×sinφとなる。
In addition, since the angle formed between the force F ″ and the longitudinal direction (X direction) of the
この力F´´´が光ファイバ20xに付与されることで、グレーティング26xがX方向に歪んで(伸張して)、該グレーティング26xの格子間隔が変化(増加)する。すなわち、FBGセンサ14A〜14Dが左右対称の構造であるため、グレーティング26xの左右両側には同じ力F´´´が互いに逆向きに作用し、この結果、応力方向変換部18を設けない場合よりも、グレーティング26xの歪み量や反射波長のシフト量を大きくすることができる。従って、圧力センサ10及びFBGセンサ14A〜14Dでは、前記歪み量及び前記シフト量に基づいて垂直応力FPを容易に検出(算出)することができる。
By applying this force F ″ ″ to the
なお、図5では、説明の容易化のために、垂直応力FPに対して、F´、F´´及びF´´´を誇張して図示している。また、図5では、グレーティング26xに力F´´´が付与された場合について説明したが、グレーティング26yに力F´´´が作用する場合でも、同様にして、グレーティング26yに大きな歪みが発生し、反射波長のシフト量を大きくすることができるので、垂直応力FPを容易に検出(算出)することが可能である。 In FIG. 5, for ease of explanation, with respect to the vertical stress F P, F', it is exaggerated for F'' and F'''. In FIG. 5, the case where the force F ″ ″ is applied to the grating 26x has been described. However, even when the force F ″ ″ is applied to the grating 26y, a large distortion is generated in the grating 26y in the same manner. , it is possible to increase the shift amount of the reflection wavelength, it is possible to normal stress F P detected easily (calculated).
次に、シート体12の被測定エリア22に物体50が接触して、該物体50から被測定エリア22に水平応力FH(X方向に沿った応力)が付与されたときの該水平応力FHの検出について、図6及び図7を参照しながら説明する。
Next, the horizontal stress F H when the
ここでは、被測定エリア22における物体50との接触面積がFBGセンサ14A(14B)の左端部からFBGセンサ14C(14D)の右端部までの距離よりも短い長さに応じた面積である場合について説明する。
Here, the contact area with the
図6に示すように、物体50が被測定エリア22におけるFBGセンサ14A(14B)とFBGセンサ14C(14D)との間の箇所に接触し、図7に示す水平応力FHが物体50から被測定エリア22に付与されたときに、圧力センサ10は、応力付与前(図6及び図7の二点鎖線)と比較して、全体的に、水平応力FHによって左右非対称に変形した形状(図7の実線に示す形状)となる。
As shown in FIG. 6, the
すなわち、FBGセンサ14A(14B)の右側の応力伝達部30xは、水平応力FHにより図7の右側に移動すると共に、FBGセンサ14C(14D)の左側の応力伝達部30xは、水平応力FHにより図7の右側に移動する。
That is, the right
この場合、前記右側の応力伝達部30xの接合部34xと光ファイバ20xとの接合部分、及び、前記左側の応力伝達部30xの接合部34xと光ファイバ20xとの接合部分には、水平応力FHがそれぞれ伝達されるので、FBGセンサ14A(14B)のグレーティング26xにかかる水平応力FHは、該グレーティング26xの格子間隔を伸張させるための力となり、一方で、FBGセンサ14C(14D)のグレーティング26xにかかる水平応力FHは、該グレーティング26xの格子間隔を圧縮させるための力となる。
In this case, the horizontal stress F is applied to the joint portion between the
そのため、各グレーティング26xに水平応力FHがかかることにより、各グレーティング26xは、X方向に沿って互いに異なる量だけ歪むので、格子間隔も互いに異なる量だけ変化し、この結果、各グレーティング26xの反射波長のシフト量は、互いに異なる値となる。これにより、水平応力FHの付与の前後での各グレーティング26xにおける反射波長のシフト量の差分に基づいて水平応力FHを算出することが可能となる。 Therefore, when the horizontal stress F H is applied to each grating 26x, each grating 26x is distorted by an amount different from each other along the X direction, so that the lattice spacing is also changed by an amount different from each other. As a result, the reflection of each grating 26x The shift amounts of the wavelengths are different from each other. Accordingly, the horizontal stress F H can be calculated based on the difference in the shift amount of the reflection wavelength in each grating 26x before and after the application of the horizontal stress F H.
なお、図6及び図7は、X方向に沿って水平応力FHが付与される場合について説明したが、Y方向に沿って水平応力FHが付与される場合においても、同様にして、水平応力FHを検出できることは勿論である。 6 and 7 have been described with respect to the case where the horizontal stress F H is applied along the X direction, but the horizontal stress F H is applied similarly when the horizontal stress F H is applied along the Y direction. Of course, the stress F H can be detected.
また、上述のような、グレーティング26x、26yの配列方向(X方向、Y方向)に沿った力が付与されたときのグレーティング26x、26yの歪み量と、反射波長のシフト量と、垂直応力及び水平応力の検出とについては、例えば、特開2009−276127号公報に開示されているので、その詳細な説明については省略する。
In addition, as described above, the strain amount of the
次に、図8に示すように、平面視で被測定エリア22よりも大きな物体60が該被測定エリア22に接触して、物体60から被測定エリア22に水平応力FHが付与された場合について、図8〜図10を参照しながら説明する。
Next, as shown in FIG. 8, when an
この場合、物体60は、被測定エリア22全体を覆うように接触するので(図8及び図9参照)、図10に示すように、物体60から被測定エリア22に水平応力FHが付与されたときに、圧力センサ10は、応力付与前(図9及び図10の二点鎖線)と比較して、全体的に、水平応力FHの付与方向に変形した形状(図10の実線に示す形状)となる。
In this case, since the
すなわち、FBGセンサ14A〜14Dの各応力伝達部30xは、水平応力FHにより図10の右側に移動する。この場合、各応力伝達部30xの接合部34xと光ファイバ20xとの接合部分には、水平応力FHがそれぞれ伝達される。この結果、FBGセンサ14A〜14Dのグレーティング26xには、水平応力FHがそれぞれかかって、同じ構造変化を起こして伸縮する。
That is, each
ここで、水平応力FHの付与による各グレーティング26xの格子間隔の変化分、すなわち、各接合部34xの変化分をa、b、c、dとする。また、水平応力FHの付与前におけるFBGセンサ14A(14B)のグレーティング26xの格子間隔をΔ0とし、FBGセンサ14C(14D)のグレーティング26xの格子間隔をΔ0´とする。さらに、各グレーティング26xの格子数をNとし、コア24xの有効屈折率をneffとする。
Here, changes in the lattice spacing of each grating 26x due to the application of the horizontal stress F H , that is, changes in each joint 34x are a, b, c, and d. Further, the lattice spacing of the grating 26x of the
この場合、水平応力FHの付与の前後において、FBGセンサ14A(14B)のグレーティング26xにおける反射波長のシフト量Δλは、下記の(1)式で表わされ、一方で、FBGセンサ14C(14D)のグレーティング26xにおける反射波長のシフト量Δλは、下記の(2)式で表わされる。
Δλ=2×neff×{Δ0+(b−a)/N} (1)
Δλ=2×neff×{Δ0´+(d−c)/N} (2)
In this case, before and after the application of the horizontal stress F H , the reflection wavelength shift amount Δλ in the grating 26x of the
Δλ = 2 × n eff × {Δ 0 + ( ba ) / N} (1)
Δλ = 2 × n eff × {Δ 0 ′ + (dc) / N} (2)
前述したように、各グレーティング26xは、水平応力FHの付与によって同じ構造変化を起こすので、格子間隔の変化分(各接合部34xの変化分)a、b、c、dは、下記の(3)式のように、互いに同じ量となる。
a=b=c=d (3)
As described above, since each grating 26x undergoes the same structural change due to the application of the horizontal stress F H , changes in the lattice spacing (changes in each joint 34x) a, b, c, and d are as follows: 3) The amounts are the same as each other.
a = b = c = d (3)
従って、(3)式を(1)式及び(2)式に代入すると、(1)式は、(4)式のように変形され、(2)式は、(5)式のように変形される。
Δλ=2×neff×{Δ0+(b−a)/N}
=2×neff×Δ0 (4)
Δλ=2×neff×{Δ0´+(d−c)/N}
=2×neff×Δ0´ (5)
Therefore, when the expression (3) is substituted into the expressions (1) and (2), the expression (1) is transformed into the expression (4), and the expression (2) is transformed into the expression (5). Is done.
Δλ = 2 × n eff × {Δ 0 + ( ba ) / N}
= 2 × n eff × Δ 0 (4)
Δλ = 2 × n eff × {Δ 0 ′ + (dc) / N}
= 2 × n eff × Δ 0 ′ (5)
neff、Δ0及びΔ0´は、予め設定された値であり、各格子間隔Δ0、Δ0´が互いに近い値に設定されていれば、シフト量の差分を大きくすることができない。 n eff , Δ 0, and Δ 0 ′ are preset values. If the lattice intervals Δ 0 , Δ 0 ′ are set to values close to each other, the difference in shift amount cannot be increased.
従って、本実施形態の前提となるFBGセンサ14A〜14D及びこれらを組み込んだ圧力センサ10では、被測定エリア22全面にかかった水平応力FHを、隣接する2つのFBGセンサ14A(14B)、14C(14D)で検出することが困難である。
Therefore, in the
次に、このような問題を解決するための本実施形態に係る圧力センサ70(のFBGセンサ14A〜14D)について、図11〜図19を参照しながら説明する。
Next, the pressure sensor 70 (the
なお、圧力センサ70の説明では、図1〜図10で説明した圧力センサ10と同じ構成要素については、同じ参照符号を付けて、その詳細な説明を省略する。
In the description of the
本実施形態に係る圧力センサ70は、各FBGセンサ14A〜14Dにおいて、応力方向変換部18外方の光ファイバ20x、20yに、第2の応力検出センサ部及び第2のグレーティングとしてのグレーティング72x、72yが配置されている点で、本実施形態の前提となる圧力センサ10とは異なる。
In each of the
すなわち、図11及び図12の圧力センサ70において、FBGセンサ14A〜14Dは、1つの応力検出センサ部16と、1つの応力方向変換部18と、2つのグレーティング72x、72yとをそれぞれ有する。
That is, in the
各グレーティング72x、72yは、シート体12内において、該シート体12の側面に対向する各接合部34x、34yの近傍に配置されている。また、平面視で、応力方向変換部18の外方に配置されたグレーティング72xと、応力方向変換部18に内包されるように配置されたグレーティング26xとは、略同軸に配置され、一方で、応力方向変換部18の外方に配置されたグレーティング72yと、応力方向変換部18に内包されるように配置されたグレーティング26yとについても、略同軸に配置されている。
The
なお、本実施形態に係る圧力センサ70において、垂直応力FPの検出原理や、平面視で被測定エリア22よりも小さな物体50から付与される水平応力FHの検出原理は、圧力センサ10の場合と同様である。
Incidentally, in the
従って、ここでは、平面視で被測定エリア22よりも大きな物体60から該被測定エリア22に付与される水平応力FHの検出について、図13〜図16を参照しながら説明する。
Therefore, here, the detection of the horizontal stress F H applied to the
物体60から被測定エリア22に水平応力FHがX方向に沿って付与されたときに、圧力センサ10の場合と同様に(図8〜図10参照)、圧力センサ70は、全体的に、水平応力FHの付与方向(X方向)に変形した形状となる(図15の二点鎖線で示す状態から図15の実線に示す形状への変形)。
When the horizontal stress F H is applied from the
すなわち、各応力伝達部30xは、水平応力FHにより図15の右側に移動する。この場合、各応力伝達部30xの接合部34xと光ファイバ20xとの接合部分には、水平応力FHがそれぞれ伝達されるので、FBGセンサ14A〜14Dのグレーティング26xには、水平応力FHがそれぞれかかって、同じ構造変化を起こして伸縮する。
That is, each
これに対して、FBGセンサ14A、14Bの左側に配置されたグレーティング72xは、FBGセンサ14A、14Bの左側の接合部34xと光ファイバ20xとの接合部分の右側への移動によって、水平応力FHが引張力として作用する。この結果、グレーティング72xは、水平応力FHがかかることにより、格子間隔が伸張するように歪む。
On the other hand, the grating 72x disposed on the left side of the
ここで、水平応力FHがかかる前の該グレーティング72xの格子間隔をΔ0´´とすれば、水平応力FHの付与の前後におけるグレーティング72xでの反射波長のシフト量Δλは、下記の(6)式で表わされる。
Δλ=2×neff×(Δ0´´+a) (6)
Here, if the lattice spacing of the grating 72x before the horizontal stress F H is applied is Δ 0 ″ , the reflection wavelength shift amount Δλ at the grating 72x before and after the application of the horizontal stress F H is as follows: 6) It is represented by the formula.
Δλ = 2 × n eff × (Δ 0 ″ + a) (6)
このように、(6)式には、グレーティング72xの格子間隔の変化分aが含まれているので、グレーティング72xでの反射波長のシフト量Δλと、(4)式又は(5)式で示されるグレーティング26xでの反射波長のシフト量Δλとの差分を求めることにより、圧力センサ10の場合と比較して、シフト量Δλの差分が水平応力FHを検出できる程度の差分にまで十分に大きくなり、この結果、該差分に基づいて水平応力FHを容易に検出することが可能となる。
As described above, since the change (a) in the grating spacing of the grating 72x is included in the expression (6), the reflection wavelength shift amount Δλ at the grating 72x is expressed by the expression (4) or (5). By calculating the difference from the reflected wavelength shift amount Δλ at the grating 26x, the difference in the shift amount Δλ is sufficiently larger than the
なお、上述の説明では、図15に示すように、+X方向に沿って水平応力FHが被測定エリア22に付与されたときに、左側のグレーティング72xの反射波長のシフト量Δλを用いて水平応力FHを検出する場合について説明した。 In the above description, as shown in FIG. 15, when the horizontal stress F H is applied to the area to be measured 22 along the + X direction, the reflection wavelength shift amount Δλ of the left grating 72x is used to The case where the stress F H is detected has been described.
これに対して、−X方向(図15の右側から左側への方向)に水平応力FHが付与された場合には、右側のグレーティング72xの反射波長のシフト量Δλを用いて水平応力FHを検出すればよい。この場合、(6)式中の格子間隔の変化分を「a」から「d」に置き換えればよい。 On the contrary, when the horizontal stress F H is applied to the -X direction (the direction from the right side of FIG. 15 to the left), the right side of the grating 72x horizontal stress F H using a shift amount Δλ of the reflected wavelength of May be detected. In this case, the change in the lattice spacing in equation (6) may be replaced from “a” to “d”.
図16は、水平応力FHと、図15の右側及び左側の各グレーティング72xでの反射波長のシフト量Δλとの関係を示すグラフである。+X方向に沿った水平応力FH(正方向の水平応力)が付与されると、左側のグレーティング72xでの反射波長のシフト量Δλが増加し、一方で、−X方向に沿った水平応力FH(負方向の水平応力)が付与されると、右側のグレーティング72xでの反射波長のシフト量Δλが増加することが容易に理解できる。
FIG. 16 is a graph showing the relationship between the horizontal stress F H and the reflection wavelength shift amount Δλ of each of the right and left
なお、図5で説明したように、垂直応力FPが被測定エリア22に付与された場合、応力方向変換部18では、平坦部28に対して左右の応力伝達部30xが異なる構造変化を起こすことにより、グレーティング26xの格子間隔が変化するが、この構造変化の影響は、応力方向変換部18の外方に配置された各グレーティング72xには及ばない。従って、圧力センサ70においては、被測定エリア22に垂直応力FPが付与されても、各グレーティング72xの格子間隔は変化しない(反応しない)。
As described with reference to FIG. 5, when the normal stress FP is applied to the
また、上記の説明では、X方向に沿って配置されたグレーティング72xを用いて水平応力FHを検出する場合について説明したが、Y方向に沿って水平応力FHが付与された場合であっても、グレーティング72xと同様に、各グレーティング72yにも(6)式に示す反射波長のシフト量Δλが発生し、水平応力FHの検出が容易になることは勿論である。 In the above description, the case where the horizontal stress F H is detected using the grating 72x arranged along the X direction has been described, but the case where the horizontal stress F H is applied along the Y direction is described. However, like the grating 72x, the reflection wavelength shift amount Δλ shown in the equation (6) also occurs in each grating 72y, so that the horizontal stress F H can be easily detected.
さらに、被測定エリア22に沿った任意の方向に水平応力FHが付与された場合でも、上述したグレーティング72x、72yを用いて、X方向の成分と、Y方向の成分とをそれぞれ検出することにより、該水平応力FHを成分毎に分離して検出することができる。
Furthermore, even when a horizontal stress F H is applied in an arbitrary direction along the measured
また、本実施形態は、図11〜図16の構成に限定されるものではなく、図17〜図19の構成を採用することも可能である。 Further, the present embodiment is not limited to the configurations of FIGS. 11 to 16, and the configurations of FIGS. 17 to 19 can also be adopted.
図17では、シート体12の内部に4つのグレーティング72x、72yが配置されている。具体的に、2つのグレーティング72x、72yは、シート体12の側面と接合部34x、34yとの間にそれぞれ配置されている。また、残り2つのグレーティング72x、72yに関し、1つのグレーティング72xは、2つの接合部34x間の光ファイバケーブル20の湾曲部分中、シート体12の側面に近接する箇所にX方向に沿って配置され、他の1つのグレーティング72yは、2つの接合部34y間の光ファイバケーブル20の湾曲部分中、シート体12の側面に近接する箇所にY方向に沿って配置されている。
In FIG. 17, four
これにより、X方向に沿って水平応力FHが付与された場合には、2つのグレーティング72xのうち、少なくとも1つのグレーティング72xの反射波長のシフト量Δλを用いて水平応力FHを検出し、一方で、Y方向に沿って水平応力FHが付与された場合には、2つのグレーティング72yのうち、少なくとも1つのグレーティング72yの反射波長のシフト量Δλを用いて水平応力FHを検出すればよい。従って、より少ない数のグレーティング72x、72yを用いて水平応力FHを効率よく検出することができる。
Thereby, when the horizontal stress F H is applied along the X direction, the horizontal stress F H is detected using the reflection wavelength shift amount Δλ of at least one of the two
また、図18では、シート体12の内部に9個のFBGセンサ14A〜14Iがマトリックス状に配置され、該シート体12の各側面に対向する全ての接合部34x、34yと、前記各側面との間にグレーティング72x、72yが配置されている。これにより、被測定エリア22にかかる水平応力FHの分布を精度良く検出することが可能となる。
Further, in FIG. 18, nine FBG sensors 14 </ b> A to 14 </ b> I are arranged in a matrix shape inside the
さらに、図19では、シート体12の内部に9個のFBGセンサ14A〜14Iがマトリックス状に配置され、2つのグレーティング72xが同軸に配置されると共に、2つのグレーティング72yも同軸に配置されている。この場合でも、より少ない数のグレーティング72x、72yを用いて水平応力FHを効率よく検出することができる。
Further, in FIG. 19, nine FBG sensors 14 </ b> A to 14 </ b> I are arranged in a matrix shape inside the
以上説明したように、本実施形態に係る圧力センサ70及び該圧力センサ70を構成するFBGセンサ14A〜14Iによれば、応力方向変換部18に内包されるように応力検出センサ部(第1の応力検出センサ部)16が配置されると共に、応力方向変換部18の外方に第2の応力検出センサ部及び第2のグレーティングとしてのグレーティング72x、72yが配置されている。そのため、物体60から被測定エリア22に外部応力としての水平応力FHが付与された場合に、応力検出センサ部16のグレーティング26x、26yは、応力方向変換部18で水平応力FHに応じて伸縮し、一方で、グレーティング72x、72yは、応力方向変換部18の外方に配置されているので、グレーティング26x、26yとは異なる伸縮を示す。
As described above, according to the
これにより、グレーティング26x、26yと、グレーティング72x、72yとの間では、グレーティング26x、26y、72x、72yの歪み量や反射波長のシフト量Δλが互いに異なる大きさとなるので、前記歪み量の差分やシフト量Δλの差分が水平応力FHを検出できる程度の明確な差分となる。この結果、被測定エリア22全体に水平応力FHが付与されても、付与された水平応力FHの位置、大きさ及び方向を検出することが可能となる。
Thereby, between the
このように、本実施形態によれば、被測定エリア22において、応力方向変換部18に内包させるように応力検出センサ部16を配置すると共に、応力方向変換部18の外方にグレーティング72x、72yを配置することにより、物体60との接触面である被測定エリア22全体に該物体60が接触して水平応力FHが付与された場合でも、該水平応力FHを検出することが可能となる。
As described above, according to the present embodiment, the stress
また、光ファイバ20x、20yは、応力方向変換部18を貫通するように被測定エリア22に沿って配置されているので、被測定エリア22に水平応力FHが付与されたときに、水平応力FHに起因してグレーティング26x、26yが伸縮すると同時に、グレーティング72x、72yも伸縮するので、水平応力FHの検出を効率よく行うことができる。
Further, since the
また、応力方向変換部18は、被測定エリア22に沿って延在する平坦部28と、平坦部28から光ファイバ20x、20yにおけるグレーティング26x、26yの両端部側に橋架された応力伝達部30x、30yとを有するので、水平応力FHをグレーティング26x、26yに効率よく伝達することができる。
The stress
さらに、グレーティング72x、72yを光ファイバケーブル20における応力伝達部30x、30yの接合部34x、34yの近傍に配置すれば、グレーティング26x、26yの配列方向と、グレーティング72x、72yの配列方向とを略一致させることができるので、水平応力FHが被測定エリア22に付与された際に、グレーティング26x、26y及びグレーティング72x、72yを同軸上でそれぞれ歪ませることが可能となる。従って、各グレーティング26x、26y、72x、72yの歪み量及び反射波長のシフト量Δλから水平応力FHを容易に算出することが可能となる。
Furthermore, if the
また、応力方向変換部18において、光ファイバ20x、20yが平面視で直交し、直交する箇所にグレーティング26x、26yが配置されると共に、グレーティング72x、72yが応力方向変換部18外方で光ファイバ20x、20yにそれぞれ配置されているので、水平応力FHをX方向及びY方向の成分に分離して検出することも可能となる。
Further, in the stress
なお、本発明は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることは勿論である。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that various configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.
10、70…圧力センサ 12…シート体
14A〜14I…FBGセンサ 16…応力検出センサ部
18…応力方向変換部 20x、20y…光ファイバ
22…被測定エリア
26x、26y、72x、72y…グレーティング
28…平坦部 30x、30y…応力伝達部
32x、32y…傾斜部 34x、34y…接合部
40、50、60…物体
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記各応力検出センサ部及び前記応力方向変換部は、前記外部応力を受ける被測定エリア内に配置され、
前記複数の応力検出センサ部は、
平面視で前記応力方向変換部に内包されるように配置され、前記応力方向変換部から伝達された応力によって前記グレーティングが伸縮する第1の応力検出センサ部と、
前記被測定エリアにおける前記応力方向変換部の外方に配置された第2の応力検出センサ部と、
であることを特徴とする光ファイバセンサ。 A plurality of stress detection sensor units composed of optical fibers in which gratings that reflect light of a specific wavelength are arrayed, and a stress direction conversion unit that converts external stress into stress in the direction in which the gratings are arrayed and transmits the stress to each grating. Prepared,
Each of the stress detection sensor units and the stress direction conversion unit are disposed in a measurement area that receives the external stress,
The plurality of stress detection sensor units are:
A first stress detection sensor unit which is arranged so as to be included in the stress direction conversion unit in plan view and in which the grating expands and contracts due to the stress transmitted from the stress direction conversion unit;
A second stress detection sensor unit disposed outside the stress direction conversion unit in the measurement area;
An optical fiber sensor.
前記光ファイバは、前記応力方向変換部を貫通するように前記被測定エリアに沿って配置され、
前記第1の応力検出センサ部は、前記光ファイバに配置された第1のグレーティングを有すると共に、前記第2の応力検出センサ部は、前記光ファイバに配置された第2のグレーティングを有することを特徴とする光ファイバセンサ。 The sensor according to claim 1, wherein
The optical fiber is disposed along the area to be measured so as to penetrate the stress direction changing portion,
The first stress detection sensor unit includes a first grating disposed in the optical fiber, and the second stress detection sensor unit includes a second grating disposed in the optical fiber. An optical fiber sensor.
前記応力方向変換部は、前記被測定エリアに沿って延在する平坦部と、前記平坦部から前記光ファイバにおける前記第1のグレーティングの一端部側に橋架された第1の応力伝達部と、前記平坦部から前記光ファイバにおける前記第1のグレーティングの他端部側に橋架された第2の応力伝達部とを有することを特徴とする光ファイバセンサ。 The sensor according to claim 2, wherein
The stress direction conversion portion includes a flat portion extending along the measurement area, a first stress transmission portion bridged from the flat portion to one end portion side of the first grating in the optical fiber, An optical fiber sensor comprising: a second stress transmission portion bridged from the flat portion to the other end portion side of the first grating in the optical fiber.
前記第2のグレーティングは、前記光ファイバにおける前記第1の応力伝達部の近傍又は前記第2の応力伝達部の近傍に配置されていることを特徴とする光ファイバセンサ。 The sensor according to claim 3, wherein
The optical fiber sensor, wherein the second grating is disposed in the vicinity of the first stress transmission part or in the vicinity of the second stress transmission part in the optical fiber.
前記応力方向変換部を貫通するように前記被測定エリアに沿って第1の光ファイバが配置され、
前記応力方向変換部を貫通すると共に、平面視で前記第1の光ファイバと直交するように第2の光ファイバが前記被測定エリアに沿って配置され、
前記第1のグレーティングは、前記第1の光ファイバ及び前記第2の光ファイバにそれぞれ配置され、
前記第2のグレーティングは、前記第1の光ファイバ及び前記第2の光ファイバの少なくとも一方に配置されていることを特徴とする光ファイバセンサ。 The sensor according to any one of claims 2 to 4,
A first optical fiber is disposed along the area to be measured so as to penetrate the stress direction changing portion;
A second optical fiber is disposed along the measured area so as to pass through the stress direction converter and to be orthogonal to the first optical fiber in plan view.
The first grating is disposed in each of the first optical fiber and the second optical fiber,
The optical fiber sensor, wherein the second grating is disposed in at least one of the first optical fiber and the second optical fiber.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010027301A JP2011163941A (en) | 2010-02-10 | 2010-02-10 | Optical fiber sensor |
US12/873,812 US8547534B2 (en) | 2009-09-03 | 2010-09-01 | Optical fiber sensor, pressure sensor, end effector and sensor signal processor |
DE102010040143.9A DE102010040143B4 (en) | 2009-09-03 | 2010-09-02 | Fiber optic sensor, pressure sensor, gripping device and sensor signal processor |
CN2010102723026A CN102012289B (en) | 2009-09-03 | 2010-09-02 | Optical fiber sensor, pressure sensor, end effector and sensor signal processor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010027301A JP2011163941A (en) | 2010-02-10 | 2010-02-10 | Optical fiber sensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011163941A true JP2011163941A (en) | 2011-08-25 |
Family
ID=44594791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010027301A Withdrawn JP2011163941A (en) | 2009-09-03 | 2010-02-10 | Optical fiber sensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011163941A (en) |
-
2010
- 2010-02-10 JP JP2010027301A patent/JP2011163941A/en not_active Withdrawn
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8547534B2 (en) | Optical fiber sensor, pressure sensor, end effector and sensor signal processor | |
KR102007058B1 (en) | Fbg strain sensor for curved surfaces | |
JP2007212460A (en) | Optical fiber strain gage | |
NO20072911L (en) | Device for monitoring the packing of a bulkhead in a building system | |
KR20020073479A (en) | Flexible fiber optic microbend device, sensors, and method of use | |
GB2421075A (en) | Optical-fibre interstice displacement sensor | |
GB2468609A (en) | Optical fibre sensor which converts compressive stress into tensile stress | |
CN203908504U (en) | Fiber grating displacement apparatus having function of temperature measurement | |
CN112229553A (en) | Flexible touch sensor based on light attenuation, array and preparation method thereof | |
JP6864375B2 (en) | Fiber optic sensor | |
JP2009276127A (en) | Tactile sensor | |
JP2018159927A (en) | Flat profile optical fiber cable for distributed sensing applications | |
US20110102766A1 (en) | Optical fiber sensor, pressure sensor, end effector and stress detecting method using the same | |
JP2005091151A (en) | Fbg strain gauge | |
CN103697828B (en) | A kind of fiber Bragg grating strain sensor of supporting decoupling zero temperature and strain | |
JP2011163941A (en) | Optical fiber sensor | |
CN103162876A (en) | Optic fiber monitoring device for shell component stress | |
JP2011163943A (en) | Optical fiber sensor, pressure sensor, and end effector | |
JP2011237241A (en) | Optical fiber sensor | |
ES2285390T3 (en) | LINEAR ENCODER WITH TEMPERATURE COMPENSATION. | |
WO2017150457A1 (en) | Optical fiber holding sheet | |
JP5394171B2 (en) | Optical fiber sensor, distributed pressure sensor, and sensor signal processing apparatus | |
WO2020166122A1 (en) | Strain sensor | |
JP2010054359A (en) | Optical fiber sensor | |
JP5394198B2 (en) | Optical fiber sensor and pressure sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20130507 |