JP2011154809A - Organic el element and its manufacturing method - Google Patents

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Hiroyuki Nakasumi
博行 中澄
Shigeyuki Yagi
繁幸 八木
Yoshiharu Iinuma
芳春 飯沼
Tomoyuki Hase
知行 長谷
Machiko Mine
真知子 峯
Atsushi Takada
篤史 高田
Yoshiaki Sakurai
芳昭 櫻井
Takashi Matsunaga
崇 松永
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Yamada Chemical Co Ltd
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Osaka Prefecture University
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate having a simple manufacturing process and moreover capable of obtaining an external extraction efficiency of a higher light emission and provide an organic EL element using the above. <P>SOLUTION: The organic EL element is provided with a substrate, a transparent electrode arranged on the substrate, an organic EL layer, a transparent inorganic insulation layer surrounding the organic EL layer, and a reflection electrode. It is desirable that the transparent inorganic insulation layer has a larger refractive index than that of the transparent electrode. The manufacturing method of the element is provided. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、各種ディスプレイ、表示素子、液晶用バックライト等に用いられる面発光体、詳しくは、面発光体からの光取り出し効率(外部量子効率)を向上させる素子の構造とその製造方法、ならびに該構造を有する有機EL素子に関するものである。   The present invention relates to a surface light emitter used for various displays, display elements, liquid crystal backlights, and the like, and more specifically, a structure of an element for improving light extraction efficiency (external quantum efficiency) from the surface light emitter, a manufacturing method thereof, The present invention relates to an organic EL element having the structure.

近年、情報化社会の進展に伴って、薄膜型の発光体としては無機EL、無機LED、バックライトを有した透過型液晶など各種のディスプレイが開発されている。このようなディスプレイに用いられる薄膜型の発光素子の代表的なもの一つとして、例えば有機エレクトロルミネッセンス(EL)素子がある。   In recent years, various displays such as an inorganic EL, an inorganic LED, and a transmissive liquid crystal having a backlight have been developed as a thin film type light emitter with the progress of the information society. As a typical thin film type light emitting element used for such a display, there is, for example, an organic electroluminescence (EL) element.

有機EL素子は自発光素子であり、視認性が高く無機EL素子に比べて低消費電力化が図れるなどの大きな利点がある。ディスプレイパネル等の表示装置の画素、または面光源としての利用を目的に開発が活発に進められている。有機EL素子を画素として用いる場合、複数の有機EL素子を同一平面状に配置し、電圧を印加する配線をマトリックスに構成し独立に駆動させることで、所望の表示を行う。また薄膜状で面光源を構成できるため、例えばプリンタの読み取り光源や書き込み光源などの発光源を備えた素子や装置に用いることで、容易に小型化及び軽量化が図れる。   An organic EL element is a self-luminous element, and has a great advantage such as high visibility and low power consumption compared to an inorganic EL element. Development has been actively promoted for the purpose of use as a pixel of a display device such as a display panel or a surface light source. When an organic EL element is used as a pixel, a plurality of organic EL elements are arranged on the same plane, and wiring for applying a voltage is configured in a matrix and driven independently to perform a desired display. In addition, since the surface light source can be configured in a thin film shape, for example, it can be easily reduced in size and weight by being used in an element or apparatus having a light source such as a reading light source or a writing light source of a printer.

図1は従来技術の有機EL素子の構造を断面図にて概略的に示す。有機EL素子は、図1の基板100/透明電極200/有機EL層300/反射電極400の積層構造を有し、有機EL発光源からの光は基板100を通して基板100の大気側表面から出射されることによって、大気に取り出されるようになっている。具体的には、図1に示す有機EL素子においては、基板100と透明電極200の屈折率が異なるために、それらの界面において約45%の光が全反射によって透明電極200内を導波される光504または基板100/透明電極200界面を横方向に導波される光503として失われる。次いで、基板100内へと透過した光は、基板100/空気の界面において、臨界角よりも小さい入射角を有する光501が外部に取り出されるものの、臨界角以上の入射角を有する光502は基板/空気界面を横方向に導波されて外部へと取り出すことができない。実際、基板100から外部に出射する光は、有機EL層300において発光した光の20%程度に過ぎない。この現象は、有機EL素子の発光の外部取出効率を低く留めている大きな原因の1つである。   FIG. 1 schematically shows a structure of a conventional organic EL device in a cross-sectional view. The organic EL element has a laminated structure of the substrate 100 / transparent electrode 200 / organic EL layer 300 / reflecting electrode 400 in FIG. 1, and light from the organic EL light source is emitted from the atmosphere side surface of the substrate 100 through the substrate 100. By doing so, it is taken out to the atmosphere. Specifically, in the organic EL element shown in FIG. 1, since the refractive index of the substrate 100 and the transparent electrode 200 is different, about 45% of light is guided through the transparent electrode 200 by total reflection at the interface between them. Light 504 or light 503 guided laterally through the substrate 100 / transparent electrode 200 interface. Next, light 501 having an incident angle smaller than the critical angle is extracted outside the substrate 100 / air interface, but light 502 having an incident angle greater than the critical angle is extracted from the substrate 100 / air. / The air interface is guided in the lateral direction and cannot be taken out. Actually, the light emitted from the substrate 100 to the outside is only about 20% of the light emitted from the organic EL layer 300. This phenomenon is one of the main causes for keeping the external extraction efficiency of light emission of the organic EL element low.

従来、そのような現象を回避して基板100の露出表面からの光の取り出し効率を高めるための工夫が種々為されている。   Conventionally, various contrivances have been made to avoid such a phenomenon and increase the light extraction efficiency from the exposed surface of the substrate 100.

基板の表示側最外表面および積層表面に凹凸を施して、光の取り出し効率を向上させることが提案されている(特許文献1参照)。しかしながら、この構成においては、凹凸を有する積層表面上に一対の電極(陽極および陰極)および有機EL層を積層するために、一対の電極間に形成される有機EL層の膜厚が不均一となり、陽極および陰極間の短絡、有機EL層の絶縁破壊などの欠陥が発生するおそれがある。   It has been proposed to improve the light extraction efficiency by providing irregularities on the display side outermost surface and the laminated surface of the substrate (see Patent Document 1). However, in this configuration, since the pair of electrodes (anode and cathode) and the organic EL layer are stacked on the uneven surface, the thickness of the organic EL layer formed between the pair of electrodes becomes non-uniform. In addition, defects such as a short circuit between the anode and the cathode and dielectric breakdown of the organic EL layer may occur.

可視光のカットオフ波長よりも小さい光学膜厚を有し、および超微細構造を有する低屈折率多孔体(1.003〜1.300の屈折率)からなる透明層(たとえば、エアロゲル層)をガラス基板とITO透明電極の間に挿入した有機EL素子が提案されている(非特許文献1参照)。また、基板の表面に、基板の屈折率より低い屈折率の充填剤と、充填剤の屈折率より屈折率の高いバインダーとからなる複合薄膜が形成されている複合薄膜保持基板を用いて、発光の外部取り出し効率を向上させることが提案されている(特許文献2および3参照)。最近では、有機EL素子において、透明電極層と基板との間に、低屈折率材料からなるマトリックス中に光を散乱させる粒子を含有させた浸み出し光拡散層を設けることにより、発光の外部取出効率を向上する提案もなされている(特許文献4〜6参照)。   A transparent layer (for example, an airgel layer) made of a low refractive index porous body (refractive index of 1.003 to 1.300) having an optical film thickness smaller than the cut-off wavelength of visible light and having an ultrafine structure An organic EL element inserted between a glass substrate and an ITO transparent electrode has been proposed (see Non-Patent Document 1). Also, light emission is made by using a composite thin film holding substrate in which a composite thin film is formed on the surface of the substrate, which is composed of a filler having a refractive index lower than that of the substrate and a binder having a refractive index higher than that of the filler. It has been proposed to improve the external extraction efficiency (see Patent Documents 2 and 3). Recently, in an organic EL element, an external light diffusion layer containing a light scattering particle containing light scattering particles in a matrix made of a low refractive index material is provided between a transparent electrode layer and a substrate. Proposals for improving the extraction efficiency have also been made (see Patent Documents 4 to 6).

あるいはまた、ガラス基板上に複数のメサ型構造を形成し、該メサ型構造の上表面に有機EL素子を形成することで、ガラス基板内の導波モードを抑制する方法が提案されている(非特許文献2参照)。この提案においては、光線解析の結果から、メサ型構造のテーパ角が35〜40°、アスペクト比を0.7としたパネルにおいて、電流輝度効率は約2倍に改善された。   Alternatively, a method for suppressing a waveguide mode in a glass substrate by forming a plurality of mesa structures on a glass substrate and forming an organic EL element on the upper surface of the mesa structure has been proposed ( Non-patent document 2). In this proposal, based on the results of ray analysis, the current luminance efficiency was improved by a factor of about 2 in a panel having a mesa structure with a taper angle of 35-40 ° and an aspect ratio of 0.7.

発光層から基板面に対して斜めに出射された光を、基板の出射面に設けられたマイクロレンズアレイで基板面に対して垂直方向に屈折させて装置の外部に出射させて、発光の外部取出効率を向上させることが提案されている(特許文献7、非特許文献3参照)。したがって、発光層から出射された光のほとんど全てを有機EL装置の外へ出射させることができ、その光を肉眼へ到達させることができる。   Light emitted obliquely with respect to the substrate surface from the light emitting layer is refracted in a direction perpendicular to the substrate surface by a microlens array provided on the substrate emission surface and emitted to the outside of the device, so that the outside of the light emission It has been proposed to improve the extraction efficiency (see Patent Document 7 and Non-Patent Document 3). Therefore, almost all of the light emitted from the light emitting layer can be emitted out of the organic EL device, and the light can reach the naked eye.

波長オーダーの二次元的な周期構造(フォトニックアレイ)を基板の片面に形成し、基板内導波光の回折効果を利用して、光波の反射角度を前面方向へ変換することで、基板内導波光を外部に取り出すことが提案されている(非特許文献4参照)。   A two-dimensional periodic structure (photonic array) of the wavelength order is formed on one side of the substrate, and the reflection angle of the light wave is converted to the front direction by utilizing the diffraction effect of the guided light in the substrate. It has been proposed to extract wave light to the outside (see Non-Patent Document 4).

2つの反射電極と、該電極に挟持された有機EL層からなる有機EL発光部からの発光を有機EL層の端面から取り出し、基板上に形成した三角形状のマイクロミラーにより基板前面方向へ出射させて、発光の外部取出効率の改善を図る方法が提案されている(非特許文献5参照)。   The light emitted from the organic EL light-emitting part composed of the two reflective electrodes and the organic EL layer sandwiched between the electrodes is taken out from the end face of the organic EL layer, and emitted toward the front surface of the substrate by a triangular micromirror formed on the substrate. Thus, a method for improving the external extraction efficiency of light emission has been proposed (see Non-Patent Document 5).

基板と有機EL発光素子を構成している下部透明電極との間に、有機EL発光素子と平面視上1対1に対応するように集光用レンズを設けることが提案されている(特許文献8参照)。ここで、「有機EL発光素子と集光用レンズとが平面視上1対1に対応する」とは、(a)1つの有機EL発光素子は1つの集光用レンズとしか重ならないこと、(b)集光用レンズの光軸と有機EL発光素子の平面視上の中心とが実質的に一致していること、(c)有機EL発光素子の大きさが当該有機EL発光素子に重なっている集光用レンズに外接する大きさ以下、好ましくは互いに重なる大きさ以下、さらに好ましくは内接する大きさ以下であることを、同時に満たすことを意味する。さらに、基板と下部透明電極との間に下地層を設けて、下部透明電極基板を形成するための実質的に平坦な面を提供し、同時に集光用レンズと下部透明電極との間の距離を調整して、正面から見た際に高い発光輝度を実現することができる。   It has been proposed that a condensing lens is provided between the substrate and the lower transparent electrode constituting the organic EL light emitting element so as to correspond to the organic EL light emitting element in a one-to-one correspondence in plan view (Patent Document). 8). Here, “the organic EL light emitting element and the condensing lens correspond one-to-one in plan view” means (a) that one organic EL light emitting element overlaps only one condensing lens; (B) The optical axis of the condensing lens and the center of the organic EL light emitting element in plan view substantially coincide with each other, and (c) the size of the organic EL light emitting element overlaps the organic EL light emitting element. This means that the size is less than or equal to the size circumscribing the condensing lens, preferably the size that overlaps each other, more preferably the size that is less than the size that is inscribed, and at the same time. In addition, an underlayer is provided between the substrate and the lower transparent electrode to provide a substantially flat surface for forming the lower transparent electrode substrate, and at the same time the distance between the condenser lens and the lower transparent electrode. By adjusting the above, it is possible to achieve high emission luminance when viewed from the front.

特開2004−258380号公報JP 2004-258380 A 特開2003−216061号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-216061 特開2005−274741号公報JP 2005-274741 A 特開2004−296437号公報JP 2004-296437 A 特開2001−202827号公報JP 2001-202827 A 特開2002−260845号公報JP 2002-260845 A 特開2004−39500号公報JP 2004-39500 A 特開平10−172756号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-172756 特開2002−352956号公報JP 2002-352956 A 特開平11−71103号公報JP-A-11-71103 特開平11−228139号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-228139 特開平11−79746号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-79746 特開2002−206062号公報JP 2002-206062 A 特開平5−330825号公報JP-A-5-330825 特開平11−263620号公報JP-A-11-263620 特表平11−512336号公報Japanese National Patent Publication No. 11-512336 欧州特許公開第0335773号公報European Patent Publication No. 0335773 特開2003−288029号公報JP 2003-288029 A 特開平11−233262号公報JP-A-11-233262 特開2000−182774号公報JP 2000-182774 A

横川、有機分子バイオエレクトロニクス分科会、2001.3.9.;T.Tsutsui, M.Yahiro, H.Yokogawa, Advanced materials, 13, No.15, P.1149 (2001)Yokogawa, Organic Molecular Bioelectronics Subcommittee, 2001.3.9 .; T. Tsutsui, M. Yahiro, H. Yokogawa, Advanced materials, 13, No. 15, P.1149 (2001) G.Gu, D.Z.Garbuzov, P.E.Burrows, S.Venkatesh, S.Venkatesh, S.R.Forrest, Optics Lett., 22,No.6, P.396 (1997)G.Gu, D.Z.Garbuzov, P.E.Burrows, S.Venkatesh, S.Venkatesh, S.R.Forrest, Optics Lett., 22, No.6, P.396 (1997) C.F.Madigan, M.H.Lu, J.C.Sturm, Appl. Phys. Lette., 76, p.1650 (2000)C.F.Madigan, M.H.Lu, J.C.Sturm, Appl.Phys. Lette., 76, p.1650 (2000) T.Yamadaki, K.Sumioka, T.Tsutsui, Appl.Phys.Lett., 76, No. 10, p,1243 (2000)T. Yamadaki, K. Sumioka, T. Tsutsui, Appl. Phys. Lett., 76, No. 10, p, 1243 (2000) W.M.Cranton, C.B.Thomas, R.Steavens, Information Display, 4&5/02, p.22 (22)W.M.Cranton, C.B.Thomas, R.Stavens, Information Display, 4 & 5/02, p.22 (22) 田部浩三等編、「金属酸化物と複合酸化物」((株)講談社、1978年刊行)Kozo Tabe et al., "Metal oxides and complex oxides" (Kodansha, Ltd., published in 1978) Jpn. J. Appl. Phys., 32, 4158-4162 (1993)Jpn. J. Appl. Phys., 32, 4158-4162 (1993) 権田俊一、石川順三、上条栄治編、「イオンビーム応用技術」((株)シーエムシー)、1989Shunichi Gonda, Junzo Ishikawa, Eiji Kamijo, "Ion Beam Applied Technology" (CMC Corporation), 1989 青木 康、表面科学、18(5),262,1998Yasushi Aoki, Surface Science, 18 (5), 262, 1998 安保正一等、表面科学、20(2),60,1999Masakazu Anbo, Surface Science, 20 (2), 60, 1999

発光の外部取出効率向上を達成するために提案されている先行技術の有機EL素子構成は、作製プロセスが複雑である、または発光の外部取り出し効率がさらなる改良を要する等の問題点を有する。   The prior art organic EL device configuration proposed for achieving an improvement in the external extraction efficiency of light emission has problems such as a complicated manufacturing process or a further improvement in the external extraction efficiency of light emission.

従って、本発明は、作製プロセスが単純で、より高い発光の外部取出効率が得られる有機EL素子構成、その構成を含む有機EL素子、及びその製造方法の提供を課題とする。   Accordingly, it is an object of the present invention to provide an organic EL element configuration that has a simple manufacturing process and that can obtain higher emission external extraction efficiency, an organic EL element including the configuration, and a manufacturing method thereof.

本発明は、基板と、基板上に設けられた透明電極、有機EL層および反射電極とを含んでなる有機EL素子であって、前記有機EL層は、透明無機絶縁層で囲まれてなる有機EL素子に関するものである。     The present invention is an organic EL element comprising a substrate and a transparent electrode, an organic EL layer and a reflective electrode provided on the substrate, wherein the organic EL layer is surrounded by a transparent inorganic insulating layer. The present invention relates to an EL element.

本発明の有機EL素子において、前記透明無機絶縁層の屈折率は透明電極の屈折率より大きいことが好ましい。   In the organic EL element of the present invention, the refractive index of the transparent inorganic insulating layer is preferably larger than the refractive index of the transparent electrode.

本発明はまた、有機EL素子を製造する方法であって、
基板上に設けられた透明電極上に、有機EL層を囲むこととなる透明無機絶縁層を形成する工程、
前記透明電極上に有機EL層を形成する工程、および
前記有機EL層上に反射電極を形成する工程
を含んでなる、有機EL素子の製造方法に関するものである。
The present invention is also a method for producing an organic EL device,
Forming a transparent inorganic insulating layer that surrounds the organic EL layer on the transparent electrode provided on the substrate;
The present invention relates to a method for producing an organic EL element, comprising a step of forming an organic EL layer on the transparent electrode and a step of forming a reflective electrode on the organic EL layer.

以上のような構成を採ることによって、本発明の有機EL素子は、高い光取り出し効率を実現することができ、正面から見たときの輝度を向上させた高品質な表示が可能となる。また、上記の製造方法においては、製造プロセスが単純であり、製造コスト的に有利に有機EL素子を製造することができる。   By adopting the configuration as described above, the organic EL device of the present invention can realize high light extraction efficiency, and display with high quality with improved brightness when viewed from the front. Further, in the above manufacturing method, the manufacturing process is simple, and the organic EL element can be manufactured advantageously in terms of manufacturing cost.

図1は、従来型構造の有機EL素子における光の伝播を模式的に説明する断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically illustrating light propagation in an organic EL element having a conventional structure. 図2は、本発明の有機EL素子における光の伝播を模式的に説明する断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view for schematically explaining the propagation of light in the organic EL device of the present invention. 図3は、本発明の有機EL素子の有機EL層での平面模式図である。FIG. 3 is a schematic plan view of the organic EL layer of the organic EL element of the present invention. 図4は、本発明の実施例1の有機EL素子を模式的に説明する断面図に、各層の構成成分を記載した模式図である。FIG. 4 is a schematic view illustrating the constituent components of each layer in a cross-sectional view schematically illustrating the organic EL element of Example 1 of the present invention.

本発明の有機EL素子は、有機EL層が透明無機絶縁層で囲まれてなることを特徴とする。また、本発明の透明無機絶縁層は、透明電極の屈折率より大きい屈折率を有することが好ましい。このような素子構成とすることで、有機EL層からの発光取り出し効率が大幅に向上したことは、驚くべき効果である。   The organic EL element of the present invention is characterized in that the organic EL layer is surrounded by a transparent inorganic insulating layer. Moreover, it is preferable that the transparent inorganic insulating layer of this invention has a refractive index larger than the refractive index of a transparent electrode. It is a surprising effect that the light emission extraction efficiency from the organic EL layer is greatly improved by adopting such an element configuration.

前記透明無機絶縁層は、好ましくは、透明電極の屈折率より大きい屈折率を有する透明金属酸化物層、または透明無機粒子とマトリクスとからなる、透明電極の屈折率より大きい屈折率を有する層から構成されてよい。前記透明無機絶縁層は、好ましくは無色であってよい。   The transparent inorganic insulating layer is preferably a transparent metal oxide layer having a refractive index higher than that of the transparent electrode, or a layer having a refractive index higher than that of the transparent electrode, comprising transparent inorganic particles and a matrix. May be configured. The transparent inorganic insulating layer may preferably be colorless.

前記透明無機絶縁層は、好ましくは、2.3以上の屈折率を有してよい。   The transparent inorganic insulating layer may preferably have a refractive index of 2.3 or higher.

より具体的には、前記透明金属酸化物は、周期表第2族〜第15族の金属、例えば、Ti、Zn、Sb、Sn、Zr、Ce、Ta、LaおよびInのいずれか一種の金属の酸化物、またはTi酸化物と周期表第2族〜第15族金属、例えば、Sr、Ni、Zn、CoおよびZr、のいずれか一種の第二金属酸化とからなる複合酸化物であってよい。   More specifically, the transparent metal oxide is a metal of Group 2 to Group 15 of the periodic table, for example, any one of Ti, Zn, Sb, Sn, Zr, Ce, Ta, La, and In. Or a complex oxide composed of a Ti oxide and a second metal oxide of any one of Group 2 to Group 15 metals of the periodic table, for example, Sr, Ni, Zn, Co and Zr. Good.

以下、本発明を更に詳細に説明する。
本発明で用いる基板は、ガラス、PETなどの熱可塑性樹脂、または光硬化性樹脂等であってよい。基板は、透明無機絶縁層の屈折率よりも小さい屈折率を有することが好ましく、例えば、1.3〜1.7の屈折率を有してよい。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
The substrate used in the present invention may be glass, a thermoplastic resin such as PET, or a photocurable resin. It is preferable that a board | substrate has a refractive index smaller than the refractive index of a transparent inorganic insulating layer, for example, may have a refractive index of 1.3-1.7.

有機EL層を囲む透明無機絶縁層は、透明電極よりも大きな屈折率つまり2.3以上の屈折率を有することが好ましい。この範囲の屈折率とすることによって、有機EL層内で発生した光を透明無機絶縁層内に簡単に導波することを防ぐ事ができる。つまり、有機EL層および透明無機絶縁層界面での光の反射、伝搬および閉じ込めが円滑に行われる機構によって、発光の外部取出効率を向上させることができるものと推定されるが、本発明はこの機構に何ら囚われるものではない。   The transparent inorganic insulating layer surrounding the organic EL layer preferably has a refractive index larger than that of the transparent electrode, that is, a refractive index of 2.3 or more. By setting the refractive index within this range, it is possible to prevent light generated in the organic EL layer from being easily guided in the transparent inorganic insulating layer. That is, it is presumed that the efficiency of external extraction of light emission can be improved by a mechanism that smoothly reflects, propagates and confines light at the interface between the organic EL layer and the transparent inorganic insulating layer. There is nothing to be caught in the mechanism.

有機EL層を囲む透明無機絶縁層は、透明金属酸化膜層または透明無機粒子とマトリクスとを有する層である。ここで云う透明とは、JIS−R−3106規格に準じて測定して、可視光に対する透過率が、例えば、70%以上、好ましくは80%以上、更には90%以上であってよい。ここで云う絶縁層とは、その電気抵抗率が、通常、10Ω・m以上、例えば、1010Ω・m以上の値を示す層であってよい。 The transparent inorganic insulating layer surrounding the organic EL layer is a layer having a transparent metal oxide film layer or transparent inorganic particles and a matrix. The term “transparent” as used herein means that the transmittance with respect to visible light is 70% or more, preferably 80% or more, and more preferably 90% or more, as measured according to JIS-R-3106 standard. The insulating layer referred to here may be a layer whose electrical resistivity usually exhibits a value of 10 5 Ω · m or more, for example, 10 10 Ω · m or more.

本発明における透明金属酸化膜層は、好ましくは2.3以上の屈折率を有し、好ましくは無色の透明金属酸化物であってよい。または、複数の金属から形成される金属ドープ複合金属酸化物であってよい。用いることができる透明金属酸化物は、高い酸素含有率を有するTi、Zn、Sb、Sn、Zr、Ce、Ta、La及びIn等の高抵抗性の酸化物を含んでよい。これらの内、Ti酸化物が特に好ましい。また、用いることができる金属ドープ複合酸化物は、チタン酸化物と少なくとも1種の第2金属の酸化物とを含む複合酸化物に、少なくとも1種のドープ金属をドーピングしたものである。ここで、少なくとも1種の第2金属は、当該第2金属の酸化物が、好ましくは2.3以上の屈折率を呈する金属から選択される。本発明において、非ドープの複合酸化物は、好ましくは2.3以上の屈折率を有してよい。透明金属複合酸化物中のチタン酸化物の含有量は、二酸化チタン換算で、複合酸化物の質量を基準として60〜99質量%、好ましくは70〜95質量%、より好ましくは75〜90質量%である。用いることができる第2金属は、Sr、Ni、Zn、CoおよびZrを含む。複合酸化物は、ルチル結晶構造、ルチル/アナターゼ混晶構造、アナターゼ結晶構造またはアモルファス構造を有してもよく、特にルチル結晶構造を有することが好ましい。複合酸化物層は、焼結法、ゾルゲル法、スパッタリング法、CVD法などの当該技術において公知の方法によって形成することができる(特許文献10〜13、非特許文献6および7参照)。   The transparent metal oxide film layer in the present invention preferably has a refractive index of 2.3 or more, and may preferably be a colorless transparent metal oxide. Alternatively, it may be a metal-doped mixed metal oxide formed from a plurality of metals. Transparent metal oxides that can be used may include high resistance oxides such as Ti, Zn, Sb, Sn, Zr, Ce, Ta, La and In having a high oxygen content. Of these, Ti oxide is particularly preferable. The metal-doped composite oxide that can be used is a composite oxide containing titanium oxide and an oxide of at least one second metal doped with at least one doped metal. Here, the at least one second metal is selected from metals in which an oxide of the second metal preferably exhibits a refractive index of 2.3 or more. In the present invention, the undoped composite oxide may preferably have a refractive index of 2.3 or more. The content of the titanium oxide in the transparent metal composite oxide is 60 to 99 mass%, preferably 70 to 95 mass%, more preferably 75 to 90 mass%, based on the mass of the composite oxide, in terms of titanium dioxide. It is. Second metals that can be used include Sr, Ni, Zn, Co and Zr. The composite oxide may have a rutile crystal structure, a rutile / anatase mixed crystal structure, an anatase crystal structure, or an amorphous structure, and particularly preferably has a rutile crystal structure. The composite oxide layer can be formed by a method known in the art such as a sintering method, a sol-gel method, a sputtering method, and a CVD method (see Patent Documents 10 to 13 and Non-Patent Documents 6 and 7).

本発明における透明無機粒子は、好ましくは2.3以上の屈折率を有し、透明金属酸化物であってよい。または、複数の金属から形成される金属ドープ複合酸化物であってよい。用いることができる透明金属酸化物は、高い酸素含有率を有するTi、Zn、Sb、Sn、Zr、Ce、Ta、La及びIn等の高抵抗性の酸化物を含んでよい。また、用いることができる金属ドープ複合酸化物は、チタン酸化物と少なくとも1種の第2金属の酸化物とを含む複合金属酸化物に、少なくとも1種のドープ金属をドーピングしたものである。ここで、少なくとも1種の第2金属は、当該第2金属の酸化物が、好ましくは2.3以上の屈折率を有する金属から選択される。本発明において、非ドープの複合酸化物は、好ましくは2.3以上の屈折率を有してよい。透明無機複合酸化物中のチタン酸化物の含有量は、二酸化チタン換算で、複合酸化物の質量を基準として60〜99質量%、好ましくは70〜95質量%、より好ましくは75〜90質量%である。用いることができる第2金属は、Sr、Ni、Zn、CoおよびZrを含んでよい。複合酸化物は、ルチル結晶構造、ルチル/アナターゼ混晶構造、アナターゼ結晶構造またはアモルファス構造を有してよく、特にルチル結晶構造を有することが好ましい。複合酸化物層は、焼結法、ゾルゲル法、スパッタリング法、CVD法などの当該技術において公知の方法によって形成することができる(特許文献10〜13、非特許文献6および7参照)。   The transparent inorganic particles in the present invention preferably have a refractive index of 2.3 or more and may be a transparent metal oxide. Alternatively, it may be a metal-doped composite oxide formed from a plurality of metals. Transparent metal oxides that can be used may include high resistance oxides such as Ti, Zn, Sb, Sn, Zr, Ce, Ta, La and In having a high oxygen content. The metal-doped composite oxide that can be used is a composite metal oxide containing titanium oxide and an oxide of at least one second metal doped with at least one doped metal. Here, the at least one second metal is selected from metals in which the oxide of the second metal preferably has a refractive index of 2.3 or more. In the present invention, the undoped composite oxide may preferably have a refractive index of 2.3 or more. The content of titanium oxide in the transparent inorganic composite oxide is 60 to 99 mass%, preferably 70 to 95 mass%, more preferably 75 to 90 mass%, based on the mass of the composite oxide, in terms of titanium dioxide. It is. The second metal that can be used may include Sr, Ni, Zn, Co and Zr. The composite oxide may have a rutile crystal structure, a rutile / anatase mixed crystal structure, an anatase crystal structure or an amorphous structure, and particularly preferably has a rutile crystal structure. The composite oxide layer can be formed by a method known in the art such as a sintering method, a sol-gel method, a sputtering method, and a CVD method (see Patent Documents 10 to 13 and Non-Patent Documents 6 and 7).

本発明における金属酸化物または複合金属酸化物のドーピングに用いられる少なくとも1種のドープ金属は、Co、ZrまたはAlであり、好ましくはCoまたはZrであり、特に好ましくはCoである。ドープ金属は、金属ドープ複合酸化物中で、金属単体または金属イオンのいずれとして存在してもよい。また、ドープ金属は、金属ドープ複合酸化物の表面または内部のいずれかに偏在してもよいが、好ましくは該表面および内部に均質に存在する。ドープ金属は、金属ドープ複合酸化物を構成する全金属(チタンおよび第2金属)の質量を基準として25質量%以下、好ましくは0.05〜10質量%、より好ましくは0.1〜5質量%、最も好ましくは0.3〜3質量%の量で含まれ得る。このような範囲内のドーピング量を用いることによって、波長380〜650nmの範囲における透明性が良好であり、屈折率が高く、かつ望ましくないチタンの光触媒活性を抑制ないし排除した金属ドープ複合酸化物粒子が得られる。得られる金属ドープ複合金属酸化物の屈折率は、ドーピング量に依存して2.3〜2.60、より詳細には2.4〜2.60の範囲内で調製することができる。複合金属酸化物にドープ金属をドープする方法としては、イオン注入法など当該技術において公知の方法を用いることができる(特許文献14〜17、非特許文献8〜10参照)。 The at least one doped metal used for doping the metal oxide or composite metal oxide in the present invention is Co, Zr or Al, preferably Co or Zr, and particularly preferably Co. The doped metal may be present as either a simple metal or a metal ion in the metal-doped composite oxide. Further, the doped metal may be unevenly distributed on the surface or inside of the metal-doped composite oxide, but it is preferably present homogeneously on the surface and inside. The doped metal is 25% by mass or less, preferably 0.05 to 10% by mass, more preferably 0.1 to 5% by mass based on the mass of all metals (titanium and second metal) constituting the metal-doped composite oxide. %, Most preferably 0.3 to 3% by weight. By using a doping amount within such a range, metal-doped composite oxide particles having good transparency in the wavelength range of 380 to 650 nm, a high refractive index, and suppressing or eliminating undesirable photocatalytic activity of titanium. Is obtained. The refractive index of the metal-doped composite metal oxide obtained can be adjusted in the range of 2.3 to 2.60, more specifically in the range of 2.4 to 2.60, depending on the doping amount. As a method for doping a mixed metal oxide with a doped metal, methods known in the art such as an ion implantation method can be used (see Patent Documents 14 to 17 and Non-Patent Documents 8 to 10).

本発明における透明無機絶縁層において、透明無機粒子のマトリクスとして用いられる材料は、透明無機粒子を分散させ、透明電極と接触する上面を平坦にするための成膜性を透明無機絶縁層に付与する材料である。用いることができるマトリクス用材料は、フルオレン系エポキシ樹脂(たとえば、ビスアリールフルオレンを基本骨核とするエポキシ樹脂(長瀬産業株式会社製)など)を含む。金属ドープ複合酸化物およびマトリクスの含有量は、それぞれの材料の屈折率および得られる透明無機絶縁層の所望の屈折率などに依存して変化する。あるいはまた、屈折率が高い無機高分子を、直接的にマトリクスとして使用することができる。例えば、ラサ工業製の透明無機ポリマーを用いることができる。該無機ポリマーの塗布液をスピンコート法によって製膜し、ポストベーク時の温度を制御することにより、得られる膜の屈折率を2.3〜2.4の間で調整することが可能である。ここで、より大きな膜厚の透明膜を形成するために、製膜工程を繰り返して行うこともできる。   In the transparent inorganic insulating layer in the present invention, the material used as a matrix of transparent inorganic particles disperses the transparent inorganic particles and imparts a film forming property to the transparent inorganic insulating layer for flattening the upper surface in contact with the transparent electrode. Material. Matrix materials that can be used include fluorene-based epoxy resins (for example, epoxy resins having bisarylfluorene as the basic core (manufactured by Nagase Sangyo Co., Ltd.)). The contents of the metal-doped composite oxide and the matrix vary depending on the refractive index of each material and the desired refractive index of the transparent inorganic insulating layer to be obtained. Alternatively, an inorganic polymer having a high refractive index can be used directly as a matrix. For example, a transparent inorganic polymer manufactured by Rasa Industries can be used. It is possible to adjust the refractive index of the obtained film between 2.3 and 2.4 by forming the coating solution of the inorganic polymer by spin coating and controlling the temperature at the post-baking. . Here, in order to form a transparent film having a larger film thickness, the film forming process can be repeated.

透明無機粒子としての高屈折無機粒子とマトリクスとを有する層は、例えば、金属ドープ複合金属酸化物およびマトリクスを溶媒中に分散させた塗布液を、スピンコート、ナイフコート、ロールコートなどの当該技術において知られている任意の方法で両表面に凹凸を有する支持体の片面に塗布し、次いで、溶媒を揮発させることによって形成することができる。塗布液の塗布の前に、支持体の塗布面の表面処理を実施してもよい。用いることができる表面処理は、UV処理、プラズマ処理、界面活性剤処理、研磨などを含む。これらの表面処理は、得られる透明無機絶縁層上面の平坦性の向上、あるいはパーティクルの低減などに有効であり、さらに有機EL素子製造における歩留まりの向上、および得られる有機EL素子の品質向上に寄与する。   The layer having the highly refractive inorganic particles and the matrix as the transparent inorganic particles is, for example, a technique in which a metal-doped composite metal oxide and a coating liquid in which the matrix is dispersed in a solvent are used, such as spin coating, knife coating, and roll coating. Can be formed by applying to one side of a support having irregularities on both surfaces and then volatilizing the solvent. Prior to application of the coating solution, surface treatment of the coated surface of the support may be performed. Surface treatments that can be used include UV treatment, plasma treatment, surfactant treatment, polishing and the like. These surface treatments are effective in improving the flatness of the top surface of the obtained transparent inorganic insulating layer or reducing particles, and contribute to improving the yield in the production of organic EL elements and improving the quality of the obtained organic EL elements. To do.

本発明の特徴である透明無機絶縁層は、有機発光層を囲む複数の区画を有することが好ましく、例えば、透明電極上の有機発光層が形成され得る部分をマスクで覆った後に、透明無機絶縁層を構成する材料を、例えば蒸着法、スパッタ法(反応性スパッタ法を含む)、化学気相堆積(CVD)法、又はスピンコート法等の方法で適用して透明無機絶縁層を形成する。   The transparent inorganic insulating layer, which is a feature of the present invention, preferably has a plurality of sections surrounding the organic light emitting layer. For example, after covering a portion where the organic light emitting layer on the transparent electrode can be formed with a mask, the transparent inorganic insulating layer The material constituting the layer is applied by a method such as a vapor deposition method, a sputtering method (including a reactive sputtering method), a chemical vapor deposition (CVD) method, or a spin coating method to form a transparent inorganic insulating layer.

マスクは種々の形態のものが使用し得るが、例えば、メタル(ステンレス、アルミニウム等)製マスク、リソグラフィにより基板上に形成されたレジスト又は金属製パターン等である。マスク中の有機発光層を囲む複数の区画の形状、数、寸法も特に限定されない。例えば、区画の形状は、多角形、楕円、扇形、ルーローの多角形、数は、1個以上、寸法は、有機発光層の陰極及び陽極の大きさ等により決定される。ここで、本発明の要旨の1つが有機発光層および透明無機絶縁層界面での光の反射、伝搬および閉じ込めを円滑に行ない、発光の外部取出効率を向上させることにあることを勘案すれば、マスク中の有機発光層を囲む複数の区画の形状としては、四角形等の多角形または円形や楕円形とすることができる。区画の数は1個以上、例えば4個以上、好ましくは10個以上とすることができる。区画の寸法は、有機発光層の陰極の大きさ等で決めることが好ましい。   Various types of masks can be used. For example, a mask made of metal (stainless steel, aluminum, etc.), a resist formed on a substrate by lithography, a metal pattern, or the like. The shape, number, and dimensions of the plurality of sections surrounding the organic light emitting layer in the mask are not particularly limited. For example, the shape of the compartment is a polygon, an ellipse, a fan, or a Roule polygon, the number is one or more, and the dimensions are determined by the size of the cathode and anode of the organic light emitting layer. Here, considering that one of the gist of the present invention is to smoothly reflect, propagate and confine light at the interface between the organic light emitting layer and the transparent inorganic insulating layer and improve the external extraction efficiency of light emission, The shape of the plurality of sections surrounding the organic light emitting layer in the mask may be a polygon such as a quadrangle, a circle or an ellipse. The number of compartments can be 1 or more, for example 4 or more, preferably 10 or more. The size of the compartment is preferably determined by the size of the cathode of the organic light emitting layer.

透明無機絶縁層の膜厚も、本発明の要旨の1つが有機発光層および透明無機絶縁層界面での光の反射、伝搬および閉じ込めを円滑に行ない、発光の外部取出効率を向上させることにあることを勘案すれば、透明無機絶縁層の膜厚は有機発光層の膜厚と同等かそれ以上であることが好ましいが、素子構造全体の最適効率を勘案して定めることができる。例えば、透明無機絶縁層の膜厚は、通常、100〜10000nm、好ましくは、100〜2000nm、特に好ましくは、100〜1000nmであってよい。   Regarding the film thickness of the transparent inorganic insulating layer, one of the gist of the present invention is to smoothly reflect, propagate and confine light at the interface between the organic light emitting layer and the transparent inorganic insulating layer, and to improve the external extraction efficiency of light emission. In view of this, the thickness of the transparent inorganic insulating layer is preferably equal to or greater than the thickness of the organic light emitting layer, but can be determined in consideration of the optimum efficiency of the entire device structure. For example, the film thickness of the transparent inorganic insulating layer is usually 100 to 10,000 nm, preferably 100 to 2000 nm, and particularly preferably 100 to 1000 nm.

例示としての図2、3および4を用いて、本発明における透明無機絶縁層を説明すると、透明無機絶縁層は酸化チタンからなり、パターニングしたITO電極上に開口部分(2mm×2mm)を3カ所およびITO電極と導線をつなぐコンタクト部分を残す形で形成されている。なお、酸化チタンの屈折率は、約2.3である。   The transparent inorganic insulating layer in the present invention will be described with reference to FIGS. 2, 3 and 4 as examples. The transparent inorganic insulating layer is made of titanium oxide, and three openings (2 mm × 2 mm) are formed on the patterned ITO electrode. In addition, a contact portion connecting the ITO electrode and the conductive wire is left. The refractive index of titanium oxide is about 2.3.

実施態様の1つを例示すると、陽極部、発光部以外をマスクしたITO電極付きガラス基板に、スパッタリング法により酸化チタンの透明無機絶縁層を形成し、マスクをはがし、洗浄したITO電極付きガラス基板上に、PEDOT/PSS(ポリ(3,4−エチレンジオキシ)−2,5−チオフェン/ポリスチレンスルホン酸)をスピンコート法により製膜して正孔注入層を得ることができる。次いで、正孔移動層用としてのPVCz(ポリビニルカルバゾール)、電子輸送性材料としてのPBD(2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール)、及び蛍光性発色色素としての化合物を溶媒(トルエン等)に溶解させ、スピンコート法により発光層を得ることができる。さらにその上に、フッ化リチウム蒸着して電子注入層とした後、アルミニウムを蒸着して陰極としての反射電極を形成して有機EL素子を得ることができる。   To illustrate one embodiment, a glass substrate with an ITO electrode masked except for the anode part and the light emitting part, a transparent inorganic insulating layer of titanium oxide is formed by sputtering, the mask is removed, and the glass substrate with an ITO electrode is washed. Further, PEDOT / PSS (poly (3,4-ethylenedioxy) -2,5-thiophene / polystyrenesulfonic acid) can be formed by spin coating to obtain a hole injection layer. Next, PVCz (polyvinylcarbazole) for the hole transport layer and PBD (2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadi as an electron transport material Azole) and a compound as a fluorescent coloring dye can be dissolved in a solvent (toluene or the like), and a light emitting layer can be obtained by a spin coating method. Further, after vapor deposition of lithium fluoride to form an electron injection layer thereon, aluminum is deposited to form a reflective electrode as a cathode, whereby an organic EL element can be obtained.

次に、有機EL素子を構成する各構成要素について説明する。
透明電極は、有機EL素子の陽極(正孔注入電極)として機能する電極であり、正孔注入障壁を低減するために大きい仕事関数を有する材料で作製される。透明電極を形成するための材料としては、インジウム−スズ酸化物(ITO)、インジウム−亜鉛酸化物(IZO)、SnO、ZnO、TiN、ZrN、HfN、TiO、VO、CuI、InN、GaN、CuAlO、CuGaO、SrCu、LaB、RuOなどの導電性無機化合物を用いることができる。これらの中で、インジウム−スズ酸化物(ITO)、インジウム−亜鉛酸化物(IZO)、SnO、ZnOが好ましく用いられ、より好ましくは、インジウム−スズ酸化物(ITO)、インジウム−亜鉛酸化物(IZO)が用いられる。透明電極は、蒸着法、スパッタ法(反応性スパッタ法を含む)または化学気相堆積(CVD)法を用いて形成され、好ましくはスパッタ法(反応性スパッタ法を含む)を用いて形成される。透明電極は、通常50nm以上、好ましくは50nm〜1μm、より好ましくは100〜300nmの範囲内の厚さを有することが望ましい。また、後述するように複数の部分電極からなる透明電極が必要になる場合には、導電性無機化合物を全面にわたって均一に形成し、その後に所望のパターンを与えるようにエッチングを行って、複数の部分電極からなる透明電極を形成してもよい。あるいはまた、所望の形状を与えるマスクを用いて複数の部分電極からなる透明電極を形成してもよい。
Next, each component which comprises an organic EL element is demonstrated.
The transparent electrode is an electrode that functions as an anode (hole injection electrode) of the organic EL element, and is made of a material having a large work function in order to reduce the hole injection barrier. Materials for forming the transparent electrode include indium-tin oxide (ITO), indium-zinc oxide (IZO), SnO 2 , ZnO 2 , TiN, ZrN, HfN, TiO x , VO x , CuI, and InN. , GaN, CuAlO 2 , CuGaO 2 , SrCu 2 O 2 , LaB 6 , RuO 2 and other conductive inorganic compounds can be used. Among these, indium-tin oxide (ITO), indium-zinc oxide (IZO), SnO 2 and ZnO 2 are preferably used, and more preferably indium-tin oxide (ITO) and indium-zinc oxide. The product (IZO) is used. The transparent electrode is formed using a vapor deposition method, a sputtering method (including a reactive sputtering method), or a chemical vapor deposition (CVD) method, and preferably formed using a sputtering method (including a reactive sputtering method). . The transparent electrode usually has a thickness of 50 nm or more, preferably 50 nm to 1 μm, more preferably 100 to 300 nm. When a transparent electrode composed of a plurality of partial electrodes is required as will be described later, a conductive inorganic compound is uniformly formed over the entire surface, and then etched to give a desired pattern. You may form the transparent electrode which consists of a partial electrode. Or you may form the transparent electrode which consists of a some partial electrode using the mask which gives a desired shape.

反射電極は、有機EL素子の陰極(電子注入電極)として機能する電極であり、電子注入障壁を低減するために小さい仕事関数を有する材料で作製される。反射電極を形成するための材料としては、Liなどのアルカリ金属、Mg、Caなどのアルカリ土類金属、Euなどの希土類金属の金属単体;前述のアルカリ金属、アルカリ金属、希土類金属とAl、AgまたはInなどとの合金;Al、Zr、Ti、Y、ScまたはSiなどの金属/半導体、およびこれらの金属/半導体を含有する合金を用いることができる(特許文献19および20参照)。あるいはまた、反射性金属/透明導電性酸化物(ITO、IZO、SnO、ZnOなど)/バッファ層(アルカリ金属、アルカリ土類金属またはそれらを含む合金、希土類金属、あるいはそれら金属のフッ化物など)の積層体を反射電極として用いてもよい。これらの中で、好ましくは、Mg、Caなどのアルカリ土類金属、前述のアルカリ土類金属とAl、Agとの合金、Al、Agなどの金属、反射性金属/透明導電性酸化物(ITO、IZO、SnO、ZnOなど)/バッファ層(アルカリ金属、アルカリ土類金属またはそれらを含む合金、希土類金属、あるいはそれら金属のフッ化物など)の積層体が用いられ、より好ましくは、Mg、Caなどのアルカリ土類金属とAl、Agとの合金、Al、Agなどの金属、反射性金属/透明導電性酸化物(ITO、IZO)/バッファ層(アルカリ金属、アルカリ土類金属またはそれらを含む合金、希土類金属、あるいはそれら金属のフッ化物など)の積層体が用いられる。 The reflective electrode is an electrode that functions as a cathode (electron injection electrode) of the organic EL element, and is made of a material having a small work function in order to reduce the electron injection barrier. Materials for forming the reflective electrode include alkali metals such as Li, alkaline earth metals such as Mg and Ca, and rare earth metals such as Eu; simple alkali metals, alkali metals, rare earth metals and Al, Ag Alternatively, alloys with In or the like; metals / semiconductors such as Al, Zr, Ti, Y, Sc or Si, and alloys containing these metals / semiconductors can be used (see Patent Documents 19 and 20). Alternatively, reflective metal / transparent conductive oxide (ITO, IZO, SnO 2 , ZnO, etc.) / Buffer layer (alkali metal, alkaline earth metal or alloys containing them, rare earth metals, fluorides of these metals, etc. ) May be used as a reflective electrode. Among these, preferably, alkaline earth metals such as Mg and Ca, alloys of the above alkaline earth metals and Al and Ag, metals such as Al and Ag, reflective metals / transparent conductive oxides (ITO , IZO, SnO 2 , ZnO, etc.) / Buffer layer (alkali metal, alkaline earth metal or alloys containing them, rare earth metals, or fluorides of these metals), more preferably Mg, Alloys of alkaline earth metals such as Ca and alloys of Al and Ag, metals such as Al and Ag, reflective metals / transparent conductive oxides (ITO, IZO) / buffer layers (alkaline metals, alkaline earth metals or those A laminated body of alloys, rare earth metals, or fluorides of these metals).

本実施の形態における有機EL層30としては、発光物質を含む単層膜、あるいは多層膜で形成することができる。多層膜で形成する場合の構成例としては、正孔輸送層、電子輸送性発光層または正孔輸送性発光層、電子輸送層からなる2層構造や正孔輸送層、発光層、電子輸送層からなる3層構造、さらには、必要に応じて正孔(又は、電子)注入機能と正孔(又は、電子)輸送機能を分けたり、正孔(又は、電子)の輸送をブロックする層などを挿入することにより、さらに多層に形成することがより好ましい。具体的な素子構造を次に例示する。発光層が単層膜の場合、陽極/発光層/陰極となる。多層膜の場合は、陽極/正孔輸送層/電子輸送性発光層/陰極、陽極/正孔輸送性発光層/電子輸送層/陰極からなる2層構造型素子、陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極からなる3層構造型素子、陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極、陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極、陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極からなる多層構造型素子等である。なお、それぞれの層構造において正孔の輸送をブロックする層(正孔ブロッキング層)は、発光層と陰極との間に、電子の輸送をブロックする層(電子ブロッキング層)は、発光層と陽極との間に挿入することができる。
正孔輸送材料の例としては、銅フタロシアニン、テトラ(t−ブチル)銅フタロシアニン等の金属フタロシアニン類及び無金属フタロシアニン類、キナクリドン化合物、1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン、N,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン等の芳香族アミン系低分子正孔注入輸送材料や、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリビニルカルバゾール、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸との混合物などの高分子正孔輸送材料、ポリチオフェンオリゴマー材料、その他既存の正孔輸送材料の中から選ぶことができる。
The organic EL layer 30 in the present embodiment can be formed of a single layer film containing a light emitting substance or a multilayer film. Examples of the configuration in the case of forming a multilayer film include a hole transport layer, an electron transporting light emitting layer or a hole transporting light emitting layer, a two-layer structure comprising an electron transport layer, a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer. A three-layer structure composed of, and further, if necessary, a layer that blocks hole (or electron) injection function and hole (or electron) transport function, or blocks hole (or electron) transport It is more preferable to form a multi-layer by inserting. A specific element structure is illustrated below. When the light emitting layer is a single layer film, it is anode / light emitting layer / cathode. In the case of a multilayer film, an anode / hole transport layer / electron transport light emitting layer / cathode, anode / hole transport light emitting layer / electron transport layer / cathode two-layer structure type element, anode / hole transport layer / Three-layer structure type device comprising light emitting layer / electron transport layer / cathode, anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / cathode, anode / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer A multilayer structure type device comprising: / electron injection layer / cathode, anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode. In each layer structure, the layer that blocks the transport of holes (hole blocking layer) is between the light emitting layer and the cathode, and the layer that blocks the transport of electrons (electron blocking layer) is the light emitting layer and the anode. Can be inserted between.
Examples of hole transport materials include metal phthalocyanines such as copper phthalocyanine and tetra (t-butyl) copper phthalocyanine, and metal-free phthalocyanines, quinacridone compounds, 1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) Cyclohexane, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine, N, N′-di (1-naphthyl) -N, Aromatic amine low molecular hole injection and transport materials such as N′-diphenyl-1,1′-biphenyl-4,4′-diamine, polyaniline, polythiophene, polyvinylcarbazole, poly (3,4-ethylenedioxythiophene) ) And polystyrene sulfonic acid and other polymer hole transport materials, polythiophene oligomer materials, and other existing hole transport materials Door can be.

発光材料としては、9,10−ジアリールアントラセン誘導体、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、トリス(8−キノリノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、ビス(8−キノリノラート)亜鉛錯体、トリス(4−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、トリス(8−キノリノラート)スカンジウム錯体、ビス〔8−(パラ−トシル)アミノキノリン〕亜鉛錯体及びカドミウム錯体、1,2,3,4−テトラフェニルシクロペンタジエン、ペンタフェニルシクロペンタジエン、ポリ−2,5−ジヘプチルオキシ−パラ−フェニレンビニレン、クマリン系蛍光体、ペリレン系蛍光体、ピラン系蛍光体、アンスロン系蛍光体、ポルフィリン系蛍光体、キナクリドン系蛍光体、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系蛍光体、ナフタルイミド系蛍光体、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系蛍光体等、Ir錯体等の燐光性発光体などの低分子系発光材料や、ポリフルオレン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリチオフェン、ポリスピロ、ポリビニルカルバゾールなどの高分子材料や、これら高分子材料に前記低分子材料の分散または共重合した材料や、その他既存の発光材料を用いることができる。   As the light-emitting material, 9,10-diarylanthracene derivatives, pyrene, coronene, perylene, rubrene, 1,1,4,4-tetraphenylbutadiene, tris (8-quinolinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-8-) Quinolinolato) aluminum complex, bis (8-quinolinolato) zinc complex, tris (4-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-5-cyano-8-quinolinolato) aluminum complex, Bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) [4- (4-cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, bis (2-methyl-5-cyano-8-quinolinolato) [4- (4- Cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, tri (8-quinolinolato) scandium complex, bis [8- (para-tosyl) aminoquinoline] zinc complex and cadmium complex, 1,2,3,4-tetraphenylcyclopentadiene, pentaphenylcyclopentadiene, poly-2,5- Diheptyloxy-para-phenylene vinylene, coumarin phosphor, perylene phosphor, pyran phosphor, anthrone phosphor, porphyrin phosphor, quinacridone phosphor, N, N'-dialkyl-substituted quinacridone phosphor Low molecular weight light emitting materials such as phosphorescent light emitters such as Ir complexes, polyfluorene, polyparaphenylene vinylene, polythiophene, polyspiro, naphthalimide phosphor, N, N′-diaryl substituted pyrrolopyrrole phosphor, etc. Polymer materials such as polyvinyl carbazole, and these polymers The materials and dispersed or copolymerization of low molecular weight material, it is possible to use other existing luminescent material cost.

電子輸送材料の例としては、2−(4−ビフィニルイル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ビス(1−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール、オキサジアゾール誘導体やビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノリノラート)ベリリウム錯体、トリアゾール化合物等を用いることができる。
有機EL層30の膜厚は、単層または積層により形成する場合においても通常、1000nm以下であり、好ましくは、30〜1000nm、より好ましくは、50〜500nm、特に好ましいのは50〜150nmであってよい。特に、高分子EL素子の正孔輸送材料は、基材や陽極層の表面突起を覆う効果が大きく、好ましくは、10〜200、より好ましくは、20〜100nm程度の厚い膜を成膜することがより好ましい。
有機EL層30の形成方法としては、材料に応じて、真空蒸着法や、スピンコート、スプレーコート、ノズルコート、フレキソ、グラビア、マイクログラビア、凹版オフセットなどのコーティング法や印刷法、インクジェット法などを用いることができる。
Examples of the electron transport material include 2- (4-bifinylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole, 2,5-bis (1-naphthyl) -1, 3,4-oxadiazole, oxadiazole derivatives, bis (10-hydroxybenzo [h] quinolinolato) beryllium complexes, triazole compounds, and the like can be used.
The film thickness of the organic EL layer 30 is usually 1000 nm or less, preferably 30 to 1000 nm, more preferably 50 to 500 nm, and particularly preferably 50 to 150 nm even when the organic EL layer 30 is formed as a single layer or a stacked layer. It's okay. In particular, the hole transport material of the polymer EL element has a large effect of covering the surface protrusions of the base material and the anode layer, and preferably forms a thick film of about 10 to 200, more preferably about 20 to 100 nm. Is more preferable.
As a method for forming the organic EL layer 30, depending on the material, a vacuum deposition method, a coating method such as spin coating, spray coating, nozzle coating, flexo, gravure, micro gravure, intaglio offset, printing method, ink jet method, etc. Can be used.

図2に、本発明の有機EL素子の例を示す。図2の例においては、基板10においては、透明電極20と反射電極40は有機EL層30を挟み、透明電極20と反射電極40が重ならない部分には、透明電極20よりも高い屈折率を有する透明無機絶縁層12が形成されている。
図3に、本発明の有機EL素子の有機EL層30と透明無機絶縁層12の配列例を示す。図3の例においては、透明無機絶縁層12は有機EL層30を挟み、透明無機絶縁層12と有機EL層30は重ならないように形成されている。
図4は、本願実施例1及び2の有機EL素子構造及び各構成要素の内容を模式的に示す。有機EL層(膜厚120nm)は、PVCz+OBDからなる正孔移動層、透明無機絶縁層で囲まれた蛍光発光色素を含む有機発光層、および電子輸送性材料層からなる。そして、有機EL層は、陰極(反射電極:Al:膜厚200nm)及び陽極(透明電極:ITO)によって挟持されている。
FIG. 2 shows an example of the organic EL element of the present invention. In the example of FIG. 2, in the substrate 10, the transparent electrode 20 and the reflective electrode 40 sandwich the organic EL layer 30. A transparent inorganic insulating layer 12 is formed.
FIG. 3 shows an arrangement example of the organic EL layer 30 and the transparent inorganic insulating layer 12 of the organic EL element of the present invention. In the example of FIG. 3, the transparent inorganic insulating layer 12 is formed so as to sandwich the organic EL layer 30 so that the transparent inorganic insulating layer 12 and the organic EL layer 30 do not overlap.
FIG. 4 schematically shows the organic EL element structure and the contents of each component in Examples 1 and 2 of the present application. The organic EL layer (thickness 120 nm) is composed of a hole transfer layer made of PVCz + OBD, an organic light emitting layer containing a fluorescent light emitting dye surrounded by a transparent inorganic insulating layer, and an electron transporting material layer. The organic EL layer is sandwiched between a cathode (reflecting electrode: Al: film thickness 200 nm) and an anode (transparent electrode: ITO).

以下、本発明を実施例によってさらに具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further more concretely, this invention is not limited to these.

実施例において、蒸着物質の成膜速度の制御や膜厚の制御は該蒸着機に取付けている。水晶振動子を使用した成膜モニターCRTM−8000(株式会社アルバック製)を使用した。また、成膜後の実質膜厚の測定には、テンコール(Tencor)社製P10触針式段差計を用いた。素子の特性評価には、ケースレー(KEITHLEY)社ソースメータ2400、トプコンBM−8輝度計を使用した。
実施例においては、特に断りのない限り、混合比は全て重量比を示す。真空蒸着法は10−4Paの真空中で行った。また、素子の発光特性評価においては、電極面積2mm×2mmの有機EL素子の特性を測定した。
In the embodiment, the deposition rate control and the film thickness control of the deposition material are attached to the deposition machine. A film formation monitor CRTM-8000 (manufactured by ULVAC, Inc.) using a crystal resonator was used. In addition, a P10 stylus type step gauge manufactured by Tencor was used for measurement of the actual film thickness after film formation. For the device characteristic evaluation, a Keithley source meter 2400 and a Topcon BM-8 luminance meter were used.
In the examples, all mixing ratios are weight ratios unless otherwise specified. The vacuum deposition method was performed in a vacuum of 10 −4 Pa. In the evaluation of the light emission characteristics of the element, the characteristics of an organic EL element having an electrode area of 2 mm × 2 mm were measured.

実施例1
陽極部、発光部以外をマスクしたITO電極付きガラス基板に、スパッタリング法により酸化チタンの透明無機絶縁層を形成した(膜厚200nm)。マスクをはがし、洗浄したITO電極付きガラス基板上に、PEDOT/PSS(ポリ(3,4−エチレンジオキシ)−2,5−チオフェン/ポリスチレンスルホン酸)をスピンコート法により製膜し、膜厚40nmの正孔注入層を得た。次いで、正孔移動層用としてのPVCz(ポリビニルカルバゾール)を69.7wt%、電子輸送性材料としてのPBD(2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール)を30wt%、蛍光性発色色素としての化合物1を0.3wt%の濃度でトルエンに溶解させ、スピンコート法により120nmの膜厚の発光層を得た。さらにその上に、フッ化リチウムを0.5nm蒸着して電子注入層とした後、アルミニウムを200nm蒸着して陰極としての反射電極を形成して有機EL素子を得た。この素子について通電試験を行ったところ、最大発光輝度3125cd/mの緑色発光が得られた。
Example 1
A transparent inorganic insulating layer of titanium oxide was formed by sputtering on a glass substrate with an ITO electrode masked except for the anode part and the light emitting part (film thickness 200 nm). PEDOT / PSS (poly (3,4-ethylenedioxy) -2,5-thiophene / polystyrene sulfonic acid) is formed on the cleaned glass substrate with an ITO electrode by spin coating, and the film thickness is removed. A 40 nm hole injection layer was obtained. Next, 69.7 wt% of PVCz (polyvinylcarbazole) for the hole transfer layer and PBD (2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3 as an electron transporting material , 4-oxadiazole) was dissolved in toluene at a concentration of 30 wt% and a fluorescent coloring dye at a concentration of 0.3 wt%, and a light emitting layer having a thickness of 120 nm was obtained by spin coating. Further thereon, 0.5 nm of lithium fluoride was deposited to form an electron injection layer, and then 200 nm of aluminum was deposited to form a reflective electrode as a cathode to obtain an organic EL device. When an energization test was performed on this device, green light emission with a maximum light emission luminance of 3125 cd / m 2 was obtained.

Figure 2011154809
PEDOT/PSS
Figure 2011154809
PEDOT / PSS

Figure 2011154809
PVCz
Figure 2011154809
PVCz

Figure 2011154809
PBD
Figure 2011154809
PBD

Figure 2011154809
化合物1
Figure 2011154809
Compound 1

実施例2
陽極部、発光部以外をマスクしたITO電極付きガラス基板に、スパッタリング法により酸化チタンの透明無機絶縁層を形成した(膜厚200nm)。マスクをはがし、洗浄したITO電極付きガラス基板上に、PEDOT/PSS(ポリ(3,4−エチレンジオキシ)−2,5−チオフェン/ポリスチレンスルホン酸)をスピンコート法により製膜し、膜厚40nmの正孔注入層を得た。次いで、正孔移動層用としてのPVCz(ポリビニルカルバゾール)を69.7wt%、電子輸送性材料としてのPBD(2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール)を30wt%、蛍光性発色色素としての化合物1を0.3wt%の濃度でトルエンに溶解させ、スピンコート法により120nmの膜厚の発光層を得た。さらにその上に、フッ化セシウムを1nm蒸着して電子注入層とした後、アルミニウムを200nm蒸着して陰極としての反射電極を形成して有機EL素子を得た。この素子について通電試験を行ったところ、最大発光輝度9246cd/mの緑色発光が得られた。
Example 2
A transparent inorganic insulating layer of titanium oxide was formed by sputtering on a glass substrate with an ITO electrode masked except for the anode part and the light emitting part (film thickness 200 nm). PEDOT / PSS (poly (3,4-ethylenedioxy) -2,5-thiophene / polystyrene sulfonic acid) is formed on the cleaned glass substrate with an ITO electrode by spin coating, and the film thickness is removed. A 40 nm hole injection layer was obtained. Next, 69.7 wt% of PVCz (polyvinylcarbazole) for the hole transfer layer and PBD (2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3 as an electron transporting material , 4-oxadiazole) was dissolved in toluene at a concentration of 30 wt% and a fluorescent coloring dye at a concentration of 0.3 wt%, and a light emitting layer having a thickness of 120 nm was obtained by spin coating. Further thereon, 1 nm of cesium fluoride was deposited to form an electron injection layer, and then 200 nm of aluminum was deposited to form a reflective electrode as a cathode to obtain an organic EL device. When an energization test was performed on this device, green light emission with a maximum light emission luminance of 9246 cd / m 2 was obtained.

比較例1
実施例1の酸化チタンのスパッタリングをしない他は、実施例1と同様にして有機ELを作製した。この素子について通電試験を行ったところ、最大発光輝度2781cd/mの緑色発光が得られた。
Comparative Example 1
An organic EL was produced in the same manner as in Example 1 except that titanium oxide in Example 1 was not sputtered. When this device was subjected to an energization test, green light emission with a maximum light emission luminance of 2781 cd / m 2 was obtained.

比較例2
実施例2の酸化チタンのスパッタリングをしない他は、実施例2と同様にして有機ELを作製した。この素子について通電試験を行ったところ、最大発光輝度6865cd/mの緑色発光が得られた。

これらの素子の評価結果を表1に示す。
Comparative Example 2
An organic EL was produced in the same manner as in Example 2 except that titanium oxide in Example 2 was not sputtered. When an energization test was performed on this element, green light emission with a maximum light emission luminance of 6865 cd / m 2 was obtained.

Table 1 shows the evaluation results of these elements.

表1

Figure 2011154809
Table 1
Figure 2011154809

実施例3
実施例2における蛍光性発色色素としての化合物1に代えてイリジウム錯体 Ir-1を用いる他は、実施例2と同様にして有機ELを作製した。この素子について通電試験を行ったところ、最大発光輝度7842cd/mの緑色発光が得られた。
Example 3
An organic EL was prepared in the same manner as in Example 2 except that the iridium complex Ir-1 was used in place of the compound 1 as the fluorescent coloring dye in Example 2. When this device was subjected to an energization test, green light emission with a maximum light emission luminance of 7842 cd / m 2 was obtained.

Figure 2011154809
Figure 2011154809

比較例3
実施例3の酸化チタンのスパッタリングをしない他は、実施例3と同様にして有機ELを作製した。この素子について通電試験を行ったところ、最大発光輝度6897cd/mの緑色発光が得られた。
Comparative Example 3
An organic EL was produced in the same manner as in Example 3 except that titanium oxide in Example 3 was not sputtered. When this device was subjected to an energization test, green light emission with a maximum light emission luminance of 6897 cd / m 2 was obtained.

10 基板
12 透明無機絶縁層
20、200 透明電極
30、300 有機EL層
40、400 反射電極
100 基板
501、502,503、504 光
10 Substrate 12 Transparent inorganic insulating layer 20, 200 Transparent electrode 30, 300 Organic EL layer 40, 400 Reflective electrode 100 Substrate 501, 502, 503, 504 Light

Claims (9)

基板と、基板上に設けられた透明電極、有機EL層および反射電極とを含んでなる有機EL素子であって、前記有機EL層は透明無機絶縁層で囲まれてなる有機EL素子。   An organic EL device comprising a substrate and a transparent electrode, an organic EL layer and a reflective electrode provided on the substrate, wherein the organic EL layer is surrounded by a transparent inorganic insulating layer. 前記透明無機絶縁層の屈折率は透明電極の屈折率より大きい、請求項1に記載された有機EL素子。   The organic EL element according to claim 1, wherein a refractive index of the transparent inorganic insulating layer is larger than a refractive index of the transparent electrode. 前記透明無機絶縁層は、透明金属酸化物層、または透明無機粒子とマトリクスとを有する層である、請求項1または2に記載された有機EL素子。   The organic EL element according to claim 1, wherein the transparent inorganic insulating layer is a transparent metal oxide layer or a layer having transparent inorganic particles and a matrix. 前記透明無機絶縁層は2.3以上の屈折率を有する、請求項1〜3のいずれか1つに記載された有機EL素子。   The organic EL element according to claim 1, wherein the transparent inorganic insulating layer has a refractive index of 2.3 or more. 前記透明金属酸化物層は、Ti、Zn、Sb、Sn、Zr、Ce、Ta、LaおよびInのいずれか一種の金属の酸化物、またはTi酸化物とSr、Ni、Zn、CoおよびZrのいずれか一種の第二金属の酸化物とからなる複合金属酸化物の層である、請求項3または4に記載された有機EL素子。   The transparent metal oxide layer is made of an oxide of any one of Ti, Zn, Sb, Sn, Zr, Ce, Ta, La and In, or Ti oxide and Sr, Ni, Zn, Co and Zr. The organic EL element according to claim 3, wherein the organic EL element is a layer of a composite metal oxide composed of any one kind of second metal oxide. 前記透明無機粒子は、Ti、Zn、Sb、Sn、Zr、Ce、Ta、LaおよびInのいずれか一種の金属の酸化物、またはTi酸化物とSr、Ni、Zn、CoおよびZrのいずれか一種の第二金属の酸化物とからなる複合金属酸化物である、請求項3または4に記載された有機EL素子。   The transparent inorganic particles are any one of Ti, Zn, Sb, Sn, Zr, Ce, Ta, La and In metal oxide, or Ti oxide and Sr, Ni, Zn, Co and Zr. The organic EL element according to claim 3, wherein the organic EL element is a composite metal oxide composed of a kind of a second metal oxide. 有機EL素子を製造する方法であって、
基板上に設けられた透明電極上に、有機EL層を囲むこととなる透明無機絶縁層を形成する工程、
前記透明電極上に有機EL層を形成する工程、および
前記有機EL層上に反射電極を形成する工程
を含んでなる、有機EL素子の製造方法。
A method for producing an organic EL device, comprising:
Forming a transparent inorganic insulating layer that surrounds the organic EL layer on the transparent electrode provided on the substrate;
The manufacturing method of an organic EL element including the process of forming an organic electroluminescent layer on the said transparent electrode, and the process of forming a reflective electrode on the said organic electroluminescent layer.
前記透明無機絶縁層は、透明電極の屈折率より大きい屈折率を有する、請求項7に記載された製造方法。   The said transparent inorganic insulating layer is a manufacturing method described in Claim 7 which has a refractive index larger than the refractive index of a transparent electrode. 前記透明無機絶縁層は2.3以上の屈折率を有する、請求項7または8に記載された製造方法。   The manufacturing method according to claim 7 or 8, wherein the transparent inorganic insulating layer has a refractive index of 2.3 or more.
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