JP2011112532A - プローブクリーニング部材 - Google Patents
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Abstract
【目的】 本発明の目的は、狭ピッチ間隔で配列されたプローブの先端部を、磨耗を抑えてクリーニングすることができるプローブクリーニング部材を提供する。
【構成】 前記プローブクリーニング部材は、基板100と、この基板100の面上の全領域に設けられており且つ鉄(Fe)やコバルト(Co)等の金属粒子の層である触媒粒子層200と、この触媒粒子層200に束状に林立されており且つ基板100に対する直角方向に延伸した複数のカーボンナノチューブ300とを備えている。
【選択図】 図1
【構成】 前記プローブクリーニング部材は、基板100と、この基板100の面上の全領域に設けられており且つ鉄(Fe)やコバルト(Co)等の金属粒子の層である触媒粒子層200と、この触媒粒子層200に束状に林立されており且つ基板100に対する直角方向に延伸した複数のカーボンナノチューブ300とを備えている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、プローブの先端部をクリーニングするためのプローブクリーニング部材に関する。
この種のプローブクリーニング部材としては、微粉研磨材が表面に固着されたクリーニング用薄膜と、このクリーニング用薄膜の下層に設けられた弾性シートと、この弾性シートの下層に設けられた基板とを備えたものがある(特許文献1参照)。このプローブクリーニング部材にプローブカードを相対的に接近させ、該プローブカードのプローブの先端部を前記プローブクリーニング部材に押し付けることにより、プローブの先端部に付着した金属屑をクリーニングしている。
前記プローブクリーニング部材はプローブの先端部が押し付けられると、前記クリーニング用薄膜及び弾性シートのプローブの先端部に押圧された部分及びその周辺部分が大きく凹むので、プローブの先端部の先端面及び周面をクリーニングするためには、前記プローブカードと前記プローブクリーニング部材とを更に接近させ、プローブの先端が前記プローブクリーニング部材に押し付けられる量(すなわち、オーバードライブ量)を増加させる必要がある。しかし、オーバードライブ量を増加させると、プローブの先端部に対する負荷が大きくなる。すなわち、最低限のオーバードライブ量が増加傾向にあるため、プローブの先端部が磨耗され易くなり、プローブの短寿命化を招来している。
また、近年のプローブカードは、半導体デバイスの高集積化に伴って、プローブの狭ピッチ化(例えば、前記半導体デバイスがDRAMデバイスである場合、プローブのピッチ間隔は60〜80μm)が進んでいる。このプローブの先端部を前記プローブクリーニング部材に押し付けると、プローブの先端部に押圧された前記プローブクリーニング部材のクリーニング用薄膜及び弾性シートの一部分が局所的に凹む一方、該クリーニング用薄膜及び弾性シートの前記一部分の周辺部分が盛り上がる。このため、前記プローブの隣のプローブの先端部を前記プローブクリーニング部材のクリーニング用薄膜及び弾性シートに十分に押し付けることができず、そのクリーニングが不十分になることがあった。
本発明は、上記事情に鑑みて創案されたものであって、その目的とするところは、狭ピッチ間隔で配列されたプローブの先端部を、磨耗を抑えてクリーニングすることができるプローブクリーニング部材を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明のプローブクリーニング部材は、触媒層が設けられた基板と、前記触媒層に束状に林立するカーボンナノ材料とを備えている。
このようなプローブクリーニング部材による場合、カーボンナノ材料が触媒層に束状に林立している。このカーボンナノ材料のうちの複数本のカーボンナノ材料にプローブカードのプローブの先端部を各々押し付けると、該プローブの先端部に押圧された複数本のカーボンナノ材料が各々弾性変形する一方、その周辺のカーボンナノ材料は弾性変形しない。このため、最低限のオーバードライブ量でプローブの先端部をクリーニングすることができるので、オーバードライブ量に比例するプローブの先端部に対する負荷を小さくすることができる。よって、プローブの先端部の磨耗を低減することができ、プローブの先端部の長寿命化を図ることができる。また、プローブの先端部に押圧された複数本のカーボンナノ材料の周辺のカーボンナノ材料が弾性変形しないため、狭ピッチ間隔で配列されたプローブの先端部をクリーニングすることができる。更に、クリーニング時に、プローブの先端部は弾性変形した複数本のカーボンナノ材料の応力を受けるだけであるため、プローブの先端部が前記応力により弾性変形し、隣のプローブの先端部に接触することを防ぐことができる。また、プローブの先端の高さ位置にバラツキがある場合であっても、プローブの先端部に押圧され、複数本のカーボンナノチューブが各々弾性変形することにより、前記バラツキを吸収し、プローブの先端部をクリーニングすることできる。
前記基板に設けられた触媒層が複数種類の領域に分かれた構成とすることができる。この場合、触媒層の各領域に異なるカーボンナノ材料を林立させることができるので、各領域に林立するカーボンナノ材料によるプローブの先端部に対するクリーニング効果を相違させることができる。
以下、本発明の実施の形態に係るプローブクリーニング部材について図1乃至図3を参照しつつ説明する。図1に示すプローブクリーニング部材は、プローブカードのプローブ10(図2及び図3参照)をクリーニングするための部材であって、基板100と、触媒粒子層200(触媒層)と、複数のカーボンナノチューブ300(カーボンナノ材料)とを備えている。以下、各部について説明する。
基板100は、前記プローブカードを用いて電気的諸特性が測定される半導体ウエハと略同じ形状を有するシリコンウエハ、セラミックス、石英ガラス等の板体である。この基板100の面上の全領域には触媒粒子層200が形成されている。触媒粒子層200は、鉄(Fe)やコバルト(Co)等の金属粒子の層である。この触媒粒子層200に複数の六円環網状のカーボンナノチューブ300が束状に林立している。このカーボンナノチューブ300は基板100に対する直角方向に延伸している。カーボンナノチューブ300としては、単層ナノチューブ、二層ナノチューブ及び多層ナノチューブのいずれも用いることが可能である。また、カーボンナノチューブ300は、直径5〜20nmが適当であり、高さ寸法は数μm〜数mmとなっている。カーボンナノチューブ300の高さ寸法はクリーニングするプローブに応じて適宜選択設定することができるが、本実施の形態ではカーボンナノチューブ300の高さ寸法は1mmとなっている。また、カーボンナノチューブ300の密度は数万本(好ましくは、10000〜30000本)/cm2となっている。カーボンナノチューブ300は、高弾性(超塑性)を有している。このため、カーボンナノチューブ300の先端にプローブ10(図3参照)の負荷が加わると、基板100に対する直角方向に座屈し弾性変形するようになっている。
以下、前述したプローブクリーニング部材の製造方法を詳しく説明する。まず、基板100の面上に触媒粒子層200を下記の周知の形成方法を用いて均一に形成する。前記形成方法としては、PVD又はスパッタ法により金属触媒粒子を基板100の面上に累積させ、触媒粒子層200を形成する方法がある。この場合、触媒粒子層200は、前記金属触媒粒子間に繋がりがなく、該金属触媒粒子による膜が形成される前の状態とすることが好ましい。別の形成方法としては、金属化合物(例えば、酸化鉄(Fe203))が混入された溶液(例えば、蛋白質フェリチン)を基板100の面上に滴下した後、加熱処理することにより基板100の面上に触媒粒子層200を残存させる方法がある。
基板100の面上に触媒粒子層200が形成されると、該基板100及び触媒粒子層200をCVD真空装置内の台に設置する。そして、公知の熱フィラメントCVD製造法を用いて触媒粒子層200にカーボンナノチューブ300を成長させる。具体的には、CVD真空装置を真空状態(10〜0.001Pa)とする。その後、ガス供給手段により水分を含む炭素ガス類(メタン、アルコール、エチレンやアセチレン等)及び不活性雰囲気ガス(ヘリウムやアルゴン等)をCVD真空装置内に流通させつつ、CVD真空装置の近傍に配置されたヒーターにより基板100及び触媒粒子層200を約600〜700℃で約10分間加熱する。すると、前記炭素ガスが熱分解され、炭素と水素にとなる。この炭素が触媒粒子層200の作用により再構築され、六円環網状のカーボンナノチューブ300となる。このようにして触媒粒子層200にカーボンナノチューブ300が基板100に対する直角方向に約10Sec〜60Secで成長する。このとき、カーボンナノチューブ300の均一性を確保するために、基板100及び触媒粒子層200を周方向に回転させることが好ましい。また、前記炭素ガスの流量は10〜50Sccm、前記不活性雰囲気ガスの流量は10〜50Sccmであり、前記炭素ガスと前記不活性雰囲気ガスの流量比は1:1〜1:5である。なお、前記不活性雰囲気ガスの導入は、成長したカーボンナノチューブ300の高純度を保持するために用いている。
以下、上記プローブクリーニング部材を用いてプローブカードのプローブの先端部に付着した金属屑を除去するクリーニング方法について詳しく説明する。まず、プローブカードを用いて半導体ウエハの電気的諸特性を測定するための周知の測定装置の連続検査ラインのステージに、半導体ウエハ数枚毎(例えば、半導体ウエハ10枚毎)に一枚の割合でプローブクリーニング部材をセットする。ここでクリーニングを行う前記プローブカードのプローブ10は、図3に示すように、直径100〜150μmの針であって、先端部がクラウン形状となっている。このプローブ10はマトリックス状に配列されており、そのピッチ間隔が150〜200μmとなっている。プローブ10の先端の高さ位置は、寸法公差及び/又は測定時の磨耗によってバラツキが生じている。このバラツキはプローブ配列エリアが大きくなる程大きくなる傾向にある。例えば、前記プローブカードが8インチの半導体ウエハを一括測定することができるものである場合、図2(a)に示すように、プローブ10の先端の高さ位置のバラツキの最大値R(すなわち、最も上方に位置するプローブ10の先端の高さ位置と、最も下方に位置するプローブ10の先端の高さ位置との間の距離)は約100〜200μmとなる。
前記測定装置を操作すると、半導体ウエハが該測定装置の測定位置に順次搬送され、前記プローブカードを用いて該半導体ウエハの検査が行われる。その後、前記測定位置に前記プローブクリーニング部材が搬送されると、前記プローブカードとステージ上の前記プローブクリーニング部材とが相対的に近接し、図2(b)に示すように、該プローブカードのプローブ10の先端部が前記プローブクリーニング部材の全カーボンナノチューブ300のうち複数本のカーボンナノチューブ300に各々押し付けられる。これにより、複数本のカーボンナノチューブ300が基板100に対する直角方向に各々屈曲して弾性変形し、該カーボンナノチューブ300の先端がプローブ10の先端部をブラッシングする(これが、一回のクリーニング工程となる)。一方、複数本のカーボンナノチューブ300の周辺のカーボンナノチューブ300は座屈しない。換言すると、プローブ10の先端部の先端面の面積と同等の面積の複数本のカーボンナノチューブ300のみが各々弾性変形する。前記クリーニング工程を複数回繰り返すことにより、プローブ10の先端部に付着した金属屑が複数本のカーボンナノチューブ300に削り取られる。
このようなクリーニング工程では、プローブの先端部がプローブクリーニング部材に押し付けられる距離(すなわち、オーバードライブ量)は、クリーニング回数に応じて適宜可変されるものであるが、従来のクリーニング部材では一般的に150〜200μm位が多用されている。これに対して、本実施の形態のプローブクリーニング部材では、プローブ10の先端部が複数本のカーボンナノチューブ300に各々押し付けられる距離(すなわち、オーバードライブ量)が、全プローブ10がカーボンナノチューブ300に押し付けられることを保証するために、先端の高さ位置が最も上方に位置するプローブ10を基準として約150μmに設定されている。すなわち、先端の高さ位置が最も上方に位置するプローブ10が複数本のカーボンナノチューブ300に約150μm押し付けられるようになっている。この場合、先端の高さ位置が最も下方に位置するプローブ10は、バラツキの最大値Rが約100〜200μmであることから、該プローブ10は複数本のカーボンナノチューブ300に最大350μm(150μm+200μm)で押し付けられることになる。このとき、前者のカーボンナノチューブ300の屈曲率は15%であり、後者のカーボンナノチューブ300の屈曲率は35%である。なお、カーボンナノチューブ300の弾性限界を考慮すると、オーバードライブ量の最大値は前述の通り350μmとなるが、カーボンナノチューブ300の高さ寸法を1mm以上とすれば、前記最大値を上げることができる。
また、前記測定装置ではなく、プローブクリーニング装置のステージに前記プローブクリーニング部材をセットして、前記プローブカードのプローブ10をクリーニングすることも可能である。前記プローブクリーニング装置は、前記測定装置そのものであって、同測定装置の制御部のメモリが半導体ウエハ用の測定プログラムから、プローブ10のクリーニングプログラムに書き換えられたものである。このようなプローブクリーニング装置を用いた場合であっても、前記プローブカードとステージ上の前記プローブクリーニング部材とが相対的に近接し、該プローブカードのプローブ10の先端部が前記プローブクリーニング部材の全カーボンナノチューブ300のうち複数本のカーボンナノチューブ300に各々押し付けられるクリーニング工程を複数回繰り返すことにより、該プローブ10の先端部がクリーニングされる。
このようなプローブクリーニング部材による場合、プローブ10の先端部に押圧された複数本のカーボンナノチューブ300が弾性変形する一方、その周辺のカーボンナノチューブ300は弾性変形しない。このため、最小限のオーバードライブ量で前記プローブカードの全エリアのプローブ10の先端部の金属屑を除去することができるので、オーバードライブ量に比例するプローブ10の先端部に対する負荷を軽減することができる。よって、プローブ10の先端部の磨耗を低減することができ、プローブ10の先端部の長寿命化を図ることができる。
また、プローブ10の先端部に押圧された複数本のカーボンナノチューブ300の周辺のカーボンナノチューブ300が弾性変形しないことから、狭ピッチ間隔で配列されたプローブ10の先端部をクリーニングすることができる。更に、クリーニング時に、プローブ10の先端部は弾性変形した複数本のカーボンナノチューブ300の応力を受けるだけであるため、プローブ10の先端部が複数本のカーボンナノチューブ300の応力により弾性変形し、隣のプローブ10の先端部に接触することを防ぐことができる。
また、プローブ10の先端の高さ位置のバラツキが大きい場合、従来のプローブクリーニング部材は、その弾性変形量が小さく、プローブ10の先端部に付着した金属屑が除去し難くなるため、プローブ10の先端部との接触回数を増やす必要があるが、前記接触回数が増加すると、プローブ10の先端部に対する損傷ダメージが大きくなり、その結果、プローブ10の先端部の磨耗が促進される。これに対して、本実施の形態におけるプローブクリーニング部材は、カーボンナノチューブ300の弾性変形量が大きいため、プローブ10の先端部との接触回数を低減することができ、その結果、プローブ10の先端部に対する損傷ダメージが小さくなり、該プローブ10の先端部の磨耗を低減することができるので、プローブ10の先端部の長寿命化を図ることができる。
なお、上述したプローブクリーニング部材は、上記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載の範囲において任意に設計変更することが可能である。以下、詳しく述べる。
上記実施の形態では、上記プローブクリーニング部材でプローブ10のクラウン形状の先端部をクリーニングするとしたが、これに限定されるものではない。例えば、図4(a)に示す先端部が円錐状のプローブ20、図4(b)に示す先端部が台形状のプローブ30や図4(c)に示す先端部に略Y字状の突起が設けられたプローブ40等も同様に前記プローブクリーニング部材でクリーニングすることができる。なお、後述するプローブクリーニング部材の変形例においても、プローブ10〜40等の各種のプローブをクリーニングすることができる。
上記実施の形態におけるカーボンナノチューブ300の高さ寸法、直径や密度等は、その一例を挙げたものであって、これに限定されるものではない。触媒粒子層200の金属粒子の径や密度を可変することにより、カーボンナノチューブ300の高さ寸法、直径や密度等を適宜変更すること可能である。
上記実施の形態では、カーボンナノ材料として、カーボンナノチューブ300を用いるとしたが、カーボンナノホーン、カーボンナノファイバやグラファイトナノファイバ等のその他のカーボンナノ材料を用いることが可能である。また、上記実施の形態では、熱フィラメントCVD製造法を用いてカーボンナノチューブ300を得るとしたが、プラズマCVD法や、ウエット式の電気泳動法等の方法によっても、カーボンナノチューブ300を得ることが可能である。
上記実施の形態では、触媒粒子層200は、鉄(Fe)やコバルト(Co)等の金属粒子の層であるとしたが、カーボンナノ材料を成長させ得る触媒層である限り任意に選択設定することが可能である。また、上記実施の形態では、基板100の全面に触媒粒子層200が形成されているとしたが、これに限定されるものではなく、基板100上に金属粒子の径や密度が異なる複数種類の触媒層を形成することが可能である。換言すると、触媒層を金属粒子の径や密度が異なる複数種類の領域に分けることができる。この場合、各触媒層(各領域)に、長さ、直径や密度等が異なる複数種のカーボンナノチューブを林立させ、該カーボンナノチューブのプローブの先端部に対するクリーニング効果を相違させることができる。例えば、図5に示すように、基板100の面上の左右略半分の領域に金属粒子の径や密度が異なる触媒粒子層200a、200bを形成することが可能である。この場合、触媒粒子層200aに林立するカーボンナノチューブ300aは、高さ寸法が1mm、密度が10000本/cm2となっているのに対し、触媒粒子層200bに林立するカーボンナノチューブ300bは、高さ寸法が0.5mm、密度が30000本/cm2となっている。このカーボンナノチューブ300a、300bにより、プローブの先端部を各々ブラッシングすることにより、クリーニング効果の異なるクリーニングを行うことができる。
上記実施の形態では、基板100が、シリコンウエハ、セラミックス、石英ガラス等の板体であるとしたが、面上に触媒層及びカーボンナノ材料が設け得るものである限りどのようなものを用いても構わない。
なお、上記実施の形態では、プローブクリーニング部材の各部を構成する素材、形状、寸法及び配置等はその一例を説明したものであって、同様の機能を実現し得る限り任意に設計変更することが可能である。
100・・・基板
200・・・触媒粒子層(触媒層)
300・・・カーボンナノチューブ
10〜40・プローブ
200・・・触媒粒子層(触媒層)
300・・・カーボンナノチューブ
10〜40・プローブ
Claims (2)
- 触媒層が設けられた基板と、
前記触媒層に束状に林立するカーボンナノ材料とを備えていることを特徴とするプローブクリーニング部材。 - 基板に設けられた触媒層が、複数種類の領域に分かれていることを特徴とする請求項1記載のプローブクリーニング部材。
Priority Applications (1)
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JP2009269770A JP2011112532A (ja) | 2009-11-27 | 2009-11-27 | プローブクリーニング部材 |
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JP2009269770A JP2011112532A (ja) | 2009-11-27 | 2009-11-27 | プローブクリーニング部材 |
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ID=44234969
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JP (1) | JP2011112532A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016031618A1 (ja) * | 2014-08-25 | 2016-03-03 | 日東電工株式会社 | クリーニング部材 |
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-
2009
- 2009-11-27 JP JP2009269770A patent/JP2011112532A/ja not_active Withdrawn
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